JP2004307284A

JP2004307284A - 炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法

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Publication number: JP2004307284A
Application number: JP2003104294A
Authority: JP
Inventors: Takefumi Ito; 武文伊藤; Masasane Kume; 将実久米; Takeshi Ozaki; 毅志尾崎
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2003-04-08
Filing date: 2003-04-08
Publication date: 2004-11-04

Abstract

【課題】炭素繊維が主表面方向に二次元的に無秩序に配列し、かつ主表面に垂直な方向に層状に配列したＣ／ＳｉＣを得ることが可能なＣ／ＳｉＣ前駆体を、膨れや層状割れや変形を生じさせることなく製造するための方法を得る。
【解決手段】炭素繊維成形体を収容可能な寸法の形状保持容器に、炭素繊維成形体を収容する工程と、形状保持容器に収容された炭素繊維成形体に、炭素化可能な含浸剤を含浸する工程と、炭素繊維成形体に含浸剤を含浸して得られた含浸済み炭素繊維成形体を形状保持容器から取り出し、含浸済み炭素繊維成形体を加圧しながら炭化焼成する工程と、含浸済み炭素繊維成形体を炭化焼成して得られた炭化焼成体を加圧しながら黒鉛化焼成する工程とを行う。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は宇宙用赤外線望遠鏡の反射鏡等に使用される炭素繊維強化炭化珪素複合材料の前駆体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
強度、耐熱性、耐酸性等に優れた材料として、炭素繊維強化炭化珪素複合材料（以下、Ｃ／ＳｉＣという）が知られている。
【０００３】
従来のＣ／ＳｉＣの製造方法として、高強度グラファイト繊維及び合成樹脂からなるプリプレグの少なくとも２層を圧縮し、この圧縮によって得られた圧縮物を硬化する第１工程と、第１工程により得られた圧縮物を炭化する第２工程と、第２工程により得られた多孔性の圧縮物を炭素化可能な含浸剤で含浸し、しかる後含浸された圧縮物を炭化する第３工程と、第３工程により得られた炭化物をグラファイト化する第４工程と、第４工程により得られたグラファイト化された炭化物を粉砕する第５工程と、第５工程により得られた粉砕された粉末体の少なくとも一部を合成樹脂、ピッチ、合成樹脂及びピッチの混合物のグループから選ばれた炭素を含む結合剤と混合する第６工程と、第６工程により得られた混合物を成形し硬化する第７工程と、第７工程により得られた成形体を炭化する第８工程と、第８工程により得られた多孔体を液状シリコンで浸透し、同時にこの多孔体の炭素マトリクスを、この多孔体に存在するグラファイト短繊維を維持したままシリコンカーバイトに変換する第９工程とが順次行われる方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−２５１０６５号公報（請求項５）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来のＣ／ＳｉＣの製造方法では、グラファイト化された炭化物を粉砕するので、炭素繊維が主表面方向に二次元的に無秩序に配列し、かつ主表面に垂直な方向に層状に配置したＣ／ＳｉＣを得ることが難しかった。このため、強度が低く、且つ主表面方向の一層の低熱膨張化ができないという問題点があった。
【０００６】
この発明は上記のような問題点を解決するためになされたもので、炭素繊維が主表面方向に二次元的に無秩序に配列し、かつ主表面に垂直な方向に層状に配置したＣ／ＳｉＣを得ることが可能な炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体（以下、Ｃ／ＳｉＣ前駆体という）を、膨れや層状割れや変形を生じさせることなく製造するための方法を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法は、炭素繊維成形体を収容可能な寸法の形状保持容器に、炭素繊維成形体を収容する工程と、形状保持容器に収容された炭素繊維成形体に、炭素化可能な含浸剤を含浸する工程と、炭素繊維成形体に含浸剤を含浸して得られた含浸済み炭素繊維成形体を形状保持容器から取り出し、含浸済み炭素繊維成形体を加圧しながら炭化焼成する工程と、含浸済み炭素繊維成形体を炭化焼成して得られた炭化焼成体を加圧しながら黒鉛化焼成する工程とを備えたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法を示す断面工程図である。
【０００９】
Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造する場合、先ず、炭素繊維成形体１を準備する（図１（ａ））。炭素繊維成形体１は、ピッチ系炭素繊維やＰＡＮ系炭素繊維などの炭素繊維とバインダーとを溶媒中に分散して攪拌した後、ろ過し、続いて、ろ過して得られた固体成分を金型に入れ、加圧して繊維体積率を調整することにより得られる。この場合、加圧時に、加圧方向に垂直に向いていた炭素繊維は、加圧によって加圧方向に垂直な方向に倒れ、二次元的に無秩序に配列され、かつ主表面に垂直な方向に層状に配置される。
【００１０】
炭素繊維成形体１の繊維体積率は２５〜５０％の範囲が好ましい。２５％未満では、Ｃ／ＳｉＣの強度が不足しかつＣ／ＳｉＣの低熱膨張効果が低減し、５０％超では、Ｃ／ＳｉＣ前駆体に金属Ｓｉが溶浸しにくくなる。また、炭素繊維のアスペクト比（繊維長／繊維直径）は１〜１０００の範囲が好ましい。この範囲であれば、炭素繊維が主表面方向に二次元的に無秩序に配列し、かつ主表面に垂直な方向に層状に配置する。１未満では、炭素繊維がすり潰された形態となり、Ｃ／ＳｉＣの強度が不足し、１０００超では、炭素繊維を均一に分散することが難しく、Ｃ／ＳｉＣの特性にばらつきが生じる。
【００１１】
その後、炭素繊維成形体１を収容可能な寸法の形状保持容器２に、炭素繊維成形体１を収容する（図１（ｂ））。形状保持容器２は、炭素繊維成形体１の寸法に合わせた枠１２と、その上下面に配置されたメッシュ状カバー１３ａ，１３ｂとから構成される。枠１２やメッシュ状カバー１３ａ，１３ｂは、含浸剤を含浸する環境に耐えることができる材料のものを用いる。また、メッシュ状カバー１３ａ，１３ｂは、炭素繊維成形体１に含浸剤を含浸する際に、溶融した含浸剤が通過でき、炭素繊維の流出を防止でき、変形や目詰まりを起こさず、炭素繊維成形体１から放出されるガスの妨げとならないものを用いる。例えば、メッシュ状カバー１３ａ，１３ｂとして、目開きが１０ｍｍ以下の工業用金属金網や、その工業用金属金網を２種以上を組み合わせたものや、その工業用金属金網と多数の孔が開いた板とを組み合わせたものを用いる。
【００１２】
その後、形状保持容器２に収容された炭素繊維成形体１に、炭素化可能な含浸剤５を含浸する（図１（ｃ））。含浸剤５としては、コールタールのピッチや、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フラン樹脂、ポリイミド樹脂などの熱硬化性樹脂を用いる。炭素繊維成形体への含浸剤５としてピッチを用いる場合、炭素繊維成形体１への含浸剤５の含浸は、含浸炉３内で溶融している含浸剤５中に、形状保持容器２に収容された炭素繊維成形体１を浸漬し、Ｎ_２ガスやＡｒガスや真空などの非酸化雰囲気４中で、所定の温度で所定の時間保持することにより行われる。この場合、炭素繊維成形体１への含浸剤５の含浸が非酸化雰囲気４中で行われるため、炭素繊維の酸化が防止される。
【００１３】
含浸する温度は１５０〜３００℃の範囲が好ましい。１５０℃未満では、ピッチの粘性が高く、炭素繊維成形体１にピッチが含浸しにくく、３００℃超では、ピッチが分解してピッチ中の油分が揮発し粘性が高くなり、炭素繊維成形体１にピッチが含浸しにくくなる。また、含浸する時間は１時間以上が好ましい。１時間以上であれば、炭素繊維成形体１に含浸するピッチの量が飽和値に達する。また、含浸剤５として熱硬化性樹脂を用いる場合、熱硬化性樹脂の粘性が変化しない温度で大気圧中で加圧する方法や、大気圧よりも低い圧力の真空中で含浸する。これらの圧力や真空度は、炭素繊維成形体の繊維体積率や大きさにあわせて任意の条件を設定すればよく、特に制限するものではない。
【００１４】
その後、炭素繊維成形体１に含浸剤５を含浸して得られた含浸済み炭素繊維成形体６を形状保持容器２から取り出し、含浸済み炭素繊維成形体６を加圧しながら炭化焼成する（図１（ｄ））。ピッチ含浸炭素繊維成形体６の炭化焼成は、形状保持容器２から取り出した含浸済み炭素繊維成形体６を、その上に重し７を載せて１×１０^−４ＭＰａ以上３．５×１０^−２ＭＰａ未満の範囲、好ましくは１．０×１０^−４〜２．６×１０^−２ＭＰａの範囲の圧力が加わる状態で炭化焼成炉８内に配置し、Ｎ_２ガスやＡｒガスや真空などの非酸化雰囲気４で、所定の温度で所定の時間加熱することにより行われる。この場合、含浸済み炭素繊維成形体６中の含浸剤５が分解し、炭化する。また、含浸済み炭素繊維成形体６中に、含浸剤５に比べて少量であるが含まれているバインダーも分解し、炭化する。
【００１５】
炭化焼成温度は５００〜１５００℃の範囲が好ましい。５００℃未満では、炭化が十分に進行せず、１５００℃超では、特殊な炉が必要になる。
【００１６】
その後、含浸済み炭素繊維成形体６を炭化焼成して得られた炭化焼成体９を加圧しながら黒鉛化焼成する（図１（ｅ））。炭化焼成体９の黒鉛化焼成は、炭化焼成体９を、その上に重し７を載せて１×１０^−４ＭＰａ以上３．５×１０^−２ＭＰａ未満の範囲、好ましくは１．０×１０^−４〜２．５×１０^−２ＭＰａの範囲の圧力が加わる状態で黒鉛化焼成炉１０内に配置し、Ｎ_２ガスやＡｒガスや真空などの非酸化雰囲気４中で、所定の温度で所定の時間加熱することにより行われる。この場合、炭化した含浸剤５やバインダーが結晶化し、黒鉛となる。
【００１７】
黒鉛化温度は１７００℃〜３０００℃の範囲が好ましい。１７００℃未満では、黒鉛化が十分に進行せず、３０００℃超では、炉自体の製作が難しく、炉内寸法が小さく制限されるため工業的な生産にはむかず、生産性に欠ける。
【００１８】
このようにして、膨れや層状割れや変形が無いＣ／ＳｉＣ前駆体１１を製造する（図１（ｆ））。
【００１９】
この実施の形態で製造されたＣ／ＳｉＣ前駆体１１は、炭素繊維が主表面方向に二次元的に無秩序に配列し、かつ主表面に垂直な方向に層状に配置したものである。このため、この実施の形態で製造されたＣ／ＳｉＣ前駆体１１から、炭素繊維が主表面方向に二次元的に無秩序に配列し、かつ主表面に垂直な方向に層状に配置したＣ／ＳｉＣを製造することができる。
この実施の形態で製造されたＣ／ＳｉＣ前駆体１１からＣ／ＳｉＣを製造する場合、先ず、所定の形状にＣ／ＳｉＣ前駆体１１を加工し、その上に金属Ｓｉを載せる。その後、非酸化雰囲気中で、１５００℃〜２０００℃で所定の時間加熱する。この場合、Ｃ／ＳｉＣ用前駆体の間隙に金属Ｓｉが溶浸し、溶浸した金属Ｓｉと黒鉛とが反応して炭化珪素（ＳｉＣ）となる。このようにして、Ｃ／ＳｉＣを製造する。
【００２０】
なお、この実施の形態では、枠の上下面に配置されたメッシュ状カバーにより、形状保持容器のメッシュ状部分を構成する場合について説明したが、枠自体にメッシュ状部分を設ける場合であってもよい。
また、この実施の形態１では、炭化と黒鉛化とを異なる炉を用いて行う場合について説明したが、同じ炉を用いて連続的に行う場合であってもよい。
また、この実施の形態１では、重しにより加圧する場合について説明したが、ボルト締めやバネにより加圧する場合であってもよい。
【００２１】
以下、この発明の実施例及び比較例を説明する。
実施例１．
先ず、直径１０μｍ、長さ５００μｍ（アスペクト比が５０）のピッチ系炭素繊維とセルロース系バインダーとを溶媒中に分散して攪拌した後、ろ過し、続いて、ろ過して得られた固体成分を金型に入れ、加圧することにより、ピッチ系炭素繊維が二次元的に無秩序に配列され、かつ主表面に垂直な方向に層状に配列された、繊維体積率が３５％である、直径１００ｍｍ、厚さ２０ｍｍの円柱形状の炭素繊維成形体を形成した。
【００２２】
その後、炭素繊維成形体を金属製枠に入れ、その上下面に工業用織金網を配置し、金属製枠と工業用織金網とを針金で固定した。
その後、含浸炉内で溶融している軟化点約８０℃のコールタールピッチ中に、金属製枠と工業用織金網とから構成された形状保持容器に収容された炭素繊維成形体を浸漬し、Ｎ_２ガス雰囲気中で２００℃で２０時間保持した。
【００２３】
その後、形状保持容器から取り出したピッチ含浸済み炭素繊維成形体を、その上に金属製の重しを載せて１．３×１０^−４ＭＰａの圧力が加わる状態で炭化焼成炉内に配置し、Ａｒガス雰囲気で、４０℃／ｍｉｎの昇温速度で１０００℃まで昇温し、２時間保持した後、炉冷した。
その後、炭化焼成体を、その上にカーボン製の重しを載せて２．５×１０^−３ＭＰａの圧力が加わる状態で黒鉛化焼成炉内に配置し、真空雰囲気で１０℃／ｍｉｎの昇温速度で２０００℃まで昇温し、１時間保持した後、炉冷した。
このようにして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。
【００２４】
実施例２．
炭化焼成時の加圧力は２．５×１０^−３ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。
【００２５】
実施例３．
炭化焼成時の加圧力は２．６×１０^−２ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。
【００２６】
実施例４．
炭化焼成時の加圧力は２．５×１０^−３ＭＰａであり、黒鉛化焼成時の加圧力は１．０×１０^−４ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。
【００２７】
実施例５．
炭化焼成時の加圧力は２．５×１０^−３ＭＰａであり、黒鉛化焼成時の加圧力は１．３×１０^−２ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。
【００２８】
実施例６．
炭化焼成時の加圧力は２．６×１０^−２ＭＰａであり、黒鉛化焼成時の加圧力は２．５×１０^−２ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。
【００２９】
実施例７．
炭素繊維成形体の繊維体積率は２５％であり、炭化焼成時の加圧力は２．６×１０^−３ＭＰａであり、黒鉛化焼成時の加圧力は２．６×１０^−３ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。
【００３０】
実施例８．
炭素繊維成形体の繊維体積率は４５％であり、炭化焼成時の加圧力は２．６×１０^−３ＭＰａであり、黒鉛化焼成時の加圧力は２．６×１０^−３ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。
【００３１】
実施例１〜３は炭化焼成時の加圧力を変化させた場合を示し、実施例４〜６は黒鉛化焼成時の加圧力を変化させた場合を示し、実施例７，８は炭素繊維成形体の繊維体積率を変化された場合を示す。
いずれの実施例の場合も、炭素繊維成形体が崩れず、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体が得られた。また、膨れや層状割れや変形が見られず、外観及び断面状況が良好な炭化焼成体が得られた。また、膨れや層状割れや変形が見られず、外観及び断面状況が良好なＣ／ＳｉＣ前駆体が得られた。
【００３２】
比較例１．
形状保持容器を使用しない。それ以外は実施例１の場合と同様にして、ピッチの含浸までを行った。この場合、形状保持用容器を使用せずにピッチの含浸を行ったので、炭素繊維成形体が崩れてしまい、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体が得られなかった。
【００３３】
比較例２．
炭化焼成時に加圧しない。それ以外は実施例１の場合と同様にして、炭化焼成までを行った。この場合、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体が得られたが、加圧せずに炭化焼成を行ったので、ピッチの熱分解により発生したガスの影響で、炭化焼成体に膨れや層状割れが見られた。
【００３４】
比較例３．
炭化焼成時に加圧しない。黒鉛化焼成時の加圧力は３．０×１０^−２ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。この場合、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体が得られたが、加圧せずに炭化焼成を行ったので、ピッチの熱分解により発生したガスの影響で、炭化焼成体に膨れや層状割れが見られた。膨れや層状割れが見られた炭化焼成体を３．０×１０^−２ＭＰａの圧力を加えながら黒鉛化焼成を行っても、膨れや層状割れを無くすことができなかった。
【００３５】
比較例４．
炭化焼成時の加圧力は３．５×１０^−２ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、炭化焼成までを行った。この場合、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体が得られたが、３．５×１０^−２ＭＰａの高い圧力を加えながら炭化焼成を行ったので、炭化焼成体に変形が見られた。
【００３６】
比較例５．
炭化焼成時の加圧力は２．５×１０^−２ＭＰａである。黒鉛化焼成時の加圧力は３．５×１０^−２ＭＰａである。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。この場合、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体及び炭化焼成体が得られたが、３．５×１０^−２ＭＰａの高い圧力を加えながら黒鉛化焼成を行ったので、Ｃ／ＳｉＣ前駆体に変形が見られた。
【００３７】
比較例６．
炭化焼成時の加圧力は１．０×１０^−４ＭＰａである。黒鉛化焼成時に加圧しない。それ以外は、実施例１の場合と同様にして、Ｃ／ＳｉＣ前駆体を製造した。この場合、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体及び炭化焼成体が得られたが、加圧せずに黒鉛化焼成を行ったので、炭化焼成時に残留した内部ガスなどにより、Ｃ／ＳｉＣ前駆体に膨れや層状割れが見られた。
【００３８】
表１にこの発明の実施例及び比較例の結果を示す。
【表１】

【００３９】
形状保持用容器を使用してピッチの含浸を行った実施例１〜８及び比較例２〜６の場合、炭素繊維成形体が崩れず、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体が得られた。一方、形状保持用容器を使用せずにピッチの含浸を行った比較例１の場合、炭素繊維成形体が崩れてしまい、外観及び断面状況が良好なピッチ含浸済み炭素繊維成形体が得られなかった。この結果から、形状保持用容器を使用してピッチの含浸を行う必要がある。
【００４０】
１．０×１０^−４〜２．６×１０^−２ＭＰａの範囲の圧力を加えて炭化焼成を行った実施例１〜８並びに比較例５及び６の場合、膨れや層状割れや変形が見られず、外観及び断面状況が良好な炭化焼成体が得られた。一方、加圧せずに炭化焼成を行った比較例２及び３の場合、炭化焼成体に膨れや層状割れが見られた。また、３．５×１０^−２ＭＰａの高い圧力を加えて炭化焼成を行った比較例４の場合、炭化焼成体に変形が見られた。この結果から、１．０×１０^−４ＭＰａ以上３．５×１０^−２ＭＰａ未満の圧力を加えて炭化焼成を行うことが好ましい。より好ましくは、炭化焼成時の加圧力は１．０×１０^−４〜２．６×１０^−２ＭＰａの範囲である。
【００４１】
１．０×１０^−４〜２．５×１０^−２ＭＰａの範囲の圧力を加えて炭化焼成を行った実施例１〜８の場合、膨れや変形が見られず、外観及び断面状況が良好なＣ／ＳｉＣ前駆体が得られた。一方、加圧せずに黒鉛化焼成を行った比較例６の場合、Ｃ／ＳｉＣ前駆体に膨れや層状割れが見られた。また、３．５×１０^−２ＭＰａの高い圧力を加えて黒鉛化焼成を行った比較例５の場合、炭化焼成体に変形が見られた。この結果から、１．０×１０^−４ＭＰａ以上３．５×１０^−２ＭＰａ未満の圧力を加えて黒鉛化焼成を行うことが好ましい。より好ましくは、黒鉛化焼成時の加圧力は１．０×１０^−４〜２．５×１０^−２ＭＰａの範囲である。
【００４２】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、炭素繊維成形体を収容可能な寸法の形状保持容器に、炭素繊維成形体を収容する工程と、形状保持容器に収容された炭素繊維成形体に、炭素化可能な含浸剤を含浸する工程と、炭素繊維成形体に含浸剤を含浸して得られた含浸済み炭素繊維成形体を形状保持容器から取り出し、含浸済み炭素繊維成形体を加圧しながら炭化焼成する工程と、含浸済み炭素繊維成形体を炭化焼成して得られた炭化焼成体を加圧しながら黒鉛化焼成する工程とを備えるように炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法を構成したので、炭素繊維が主表面方向に二次元的に無秩序に配列し、かつ主表面に垂直な方向に層状に配置したＣ／ＳｉＣを得ることが可能なＣ／ＳｉＣ前駆体を、膨れや層状割れや変形を生じさせることなく製造することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１による炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法を示す断面工程図である。
【符号の説明】
１炭素繊維成形体、２形状保持容器、３含浸炉、４非酸化雰囲気、５含浸剤、６含浸済み炭素繊維成形体、７重し、８炭化焼成炉、９炭化焼成体、１０黒鉛化焼成炉、１２枠、１３ａ，１３ｂメッシュ状カバー。

Claims

炭素繊維成形体を準備する工程と、
上記炭素繊維成形体を収容可能な寸法の形状保持容器に、上記炭素繊維成形体を収容する工程と、
上記形状保持容器に収容された上記炭素繊維成形体に、炭素化可能な含浸剤を含浸する工程と、
上記炭素繊維成形体に上記含浸剤を含浸して得られた含浸済み炭素繊維成形体を上記形状保持容器から取り出し、上記含浸済み炭素繊維成形体を加圧しながら炭化焼成する工程と、
上記含浸済み炭素繊維成形体を炭化焼成して得られた炭化焼成体を加圧しながら黒鉛化焼成する工程と
を備えた炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法。
形状保持容器は、溶融した含浸剤が通過可能なメッシュ状部分を有することを特徴とする請求項１記載の炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法。
炭化焼成は、含浸済み炭素繊維成形体を１×１０^−４以上３．５×１０^−２ＭＰａ未満の範囲内の圧力で加圧しながら行うことを特徴とする請求項１記載の炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法。
黒鉛化焼成は、炭化焼成体を１×１０^−４以上３×１０^−２ＭＰａ未満の範囲内の圧力で加圧しながら行うことを特徴とする請求項１記載の炭素繊維強化炭化珪素複合材料用前駆体の製造方法。