JP2004306228A

JP2004306228A - 硬質皮膜

Info

Publication number: JP2004306228A
Application number: JP2003106049A
Authority: JP
Inventors: Takashi Ishikawa; 剛史石川
Original assignee: Hitachi Tool Engineering Ltd
Current assignee: Moldino Tool Engineering Ltd
Priority date: 2003-04-10
Filing date: 2003-04-10
Publication date: 2004-11-04

Abstract

【課題】（ＡｌＣｒ）Ｎ系皮膜の耐高温酸化特性、密着性及び耐摩耗性を改良し、高硬度を有する硬質皮膜を提供することを目的とする。
【解決手段】アーク放電式イオンプレーティング法により被覆された硬質皮膜であって、該硬質皮膜は、（ＡｌｘＣｒ１−ｘ−ｙ−ｚＳｉｙＭｚ）（Ｎ１−α−β−γＢαＣβＯγ）、但し、ｘ、ｙ、ｚ、α、β、γは夫々原子比率を示し、０．４５＜ｘ＜０．８５、０≦ｙ＜０．３５、０．５０≦ｘ＋ｙ＋ｚ＜１．０、０＜ｚ＜０．２０、０≦α＜０．１５、０≦β＜０．６５、０＜γ＜０．６５、０＜α＋β＋γ≦１．０、ＭはＣａ、Ｍｎ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｅｒ、Ｙｂのいずれか１種又は２種以上の元素から選択され、Ｘ線回折で岩塩構造型の（２００）面に回折強度を有し、その半価幅が、０．５度以上、２．０度以下、Ｘ線光電子分光分析における５２５ｅＶから５３５ｅＶの範囲に、少なくともＡｌ、Ｃｒ、Ｍ及び／又はＳｉと酸素との結合エネルギーを有する。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明が属する技術分野】
本願発明は、超硬合金、高速度鋼、ダイス鋼等に被覆する耐摩耗性、密着性及び耐高温酸化特性に優れた硬質皮膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＡｌＣｒ系皮膜は、耐高温酸化特性に優れた硬質皮膜材として、下記に示す特許文献１から３が開示されている。
【特許文献１】特許第３０２７５０２号公報（第６頁、図１）
【特許文献２】特許第３０３９３８１号公報（第４頁、図１）
【特許文献３】特開平２００２−１６０１２９号公報（第３頁、図１）
【０００３】
特許文献１は金属成分としてＡｌＣｒとＣ、Ｎ、Ｏの１種より選択されるＡｌＣｒ系硬質膜において、高硬度を有する非晶質膜に関する事例が開示されている。しかしこの非晶質膜の硬度は最大でもヌープ硬さ２１ＧＰａ程度であり、超硬エンドミルとして、耐摩耗効果は改善されず、密着性に関しても十分ではない。特許文献２及び特許文献３に開示されている硬質皮膜はＡｌＣｒの窒化物であり、約１０００℃の耐高温酸化特性を有しているが、１０００℃以上の耐酸化特性の検討は行われていない。また硬度はビッカ−ス硬さ２１ＧＰａ程度で硬度の改善が不十分であり耐摩耗性に乏しい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明は、上記の問題点を改善し、（ＡｌＣｒ）Ｎ系皮膜の欠点である硬度を高めることにより耐摩耗性を著しく改善し、耐酸化性を更に改善し、その結果優れた工具寿命を発揮する硬質皮膜を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、アーク放電式イオンプレーティング法により被覆される硬質皮膜であって、該硬質皮膜は、（Ａｌ_ｘＣｒ_{１−ｘ−ｙ−ｚ}Ｓｉ_ｙＭ_ｚ）（Ｎ_{１−α−β−γ}Ｂ_αＣ_βＯ_γ）、但し、ｘ、ｙ、ｚ、α、β、γは夫々原子比率を示し、０．４５＜ｘ＜０．８５、０≦ｙ＜０．３５、０．５０≦ｘ＋ｙ＋ｚ＜１．０、０＜ｚ＜０．２０、０≦α＜０．１５、０≦β＜０．６５、０＜γ＜０．６５、０＜α＋β＋γ≦１．０で示される少なくとも１層以上からなり、ＭはＣａ、Ｍｎ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｅｒ、Ｙｂのいずれか１種又は２種以上の元素から選択され、θ−２θ法によるＸ線回折において測定される岩塩構造型の（２００）面に回折強度を有し、その回折ピークの２θの半価幅が、０．５度以上、２．０度以下であり、Ｘ線光電子分光分析における５２５ｅＶから５３５ｅＶの範囲に、少なくともＡｌ、Ｃｒ、Ｍ及び／又はＳｉと酸素との結合エネルギーを有することを特徴とする硬質皮膜である。上記構成を採用することにより、基体と硬質皮膜との密着性に優れ、高硬度化することが可能となり、耐酸化性を更に改善し、その結果、優れた耐摩耗性を発揮する本発明の硬質皮膜を完成させた。
【０００６】
本発明硬質皮膜は、θ−２θ法によるＸ線回折で測定される岩塩構造型の（１１１）面の回折強度をＩ（１１１）、（２００）面の回折強度をＩ（２００）とした時、０．３＜Ｉ（２００）／Ｉ（１１１）＜１２である場合、硬質皮膜内に残留する圧縮応力が低減され、基体との密着性に優れるとともに、皮膜硬度並びに耐酸化性改善への寄与が大きい。また、ナノインデンテーションによる硬度測定法により接触深さと最大荷重時の最大変位量が求められる（Ｗ．Ｃ．ＯｌｉｖｅｒａｎｄＧ．Ｍ．Ｐｈａｒｒ：Ｊ．Ｍａｔｅｒ．Ｒｅｓ．，Ｖｏｌ．７，Ｎｏ．６，Ｊｕｎｅ、１９９２、１５６４−１５８３）。この数値を用いて、
Ｅ＝１００−｛（接触深さ）／（最大荷重時の最大変位量）｝
の数式で、弾性回復率Ｅを定義し、２８％≦Ｅ≦４０％とすることにより、耐摩耗性と密着性のバランスが最適となる。更に、該硬質皮膜の最表面から深さ方向に５００ｎｍ以内の深さ領域で酸素濃度が最大となる場合、耐高温酸化特性並びに耐摩耗特性改善に極めて有効である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明硬質皮膜を構成する金属元素の組成は、（Ａｌ_ｘＣｒ_{１−ｘ−ｙ−ｚ}Ｓｉ_ｙＭ_ｚ）において、ｘが０．４５＜ｘ＜０．８５、ｙが０≦ｙ＜０．３５、０．５０≦ｘ＋ｙ＋ｚ＜１．０、０＜ｚ＜０．２０を満足する必要がある。ｘの値が０．４５以下、またｘ＋ｙ＋ｚの値が０．５よりも少なくなる場合では皮膜硬度並びに耐高温酸化特性の改善効果が十分ではなく、ｘの値が０．８５以上またはｘ＋ｙ＋ｚの値が１の場合、皮膜硬度の著しい低下を招き耐摩耗性に劣る。またｙの値が０．３５以上では、硬質皮膜内に残留する圧縮応力が過大になり、被覆直後に自己破壊を誘発するなどの基体密着強度を著しく低下させる場合がある。ｚの値が０であると耐酸化性を向上させるのに十分な効果を得ることができない。またｚの値が０．２０を超えて大きい場合は、皮膜の硬さが著しく低下して、耐摩耗性が劣化する傾向にあるため、０＜ｚ＜０．２０、の範囲とした。ＡｌＣｒ系皮膜の中にＭで示されるＣａ、Ｍｎ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｅｒ、Ｙｂのいずれか１種又は２種以上の元素から選択され、上記の値の量で添加することにより、硬質皮膜の耐酸化性を向上させることが可能である。これらの元素の添加により皮膜構造内に非常に緻密な酸化物が形成される。この酸化物の存在によって皮膜全体の酸化の進行が、該酸化物内の酸素拡散律速により進行するため、皮膜の酸化速度が著しく抑制されることになる。従って、例えば切削工具の場合の様に、高速切削の条件において、皮膜温度が１０００℃程度の高温となり、非常に酸化進行が早い状態にあっても、皮膜の酸化の進行は皮膜表面のみに留まり、皮膜内部にまで酸化が進行することを妨げることができるのである。この保護効果により、工具の寿命を延ばすことが可能となった。非金属元素の組成は、（Ｎ_{１−α−β−γ}Ｂ_αＣ_βＯ_γ）において、αは０．１５以上では皮膜が脆化し、好ましいαの上限値は０．０７である。硼素の添加は被加工物との耐溶着性と高温環境下での摩擦係数を低減し、潤滑性を向上させる効果がある。βは０．６５以上で皮膜が著しく脆化する。炭素の含有量の上限値は、炭素を含有する層厚に依存する。炭素を含有する層厚が０．５μｍ未満であれば、βの上限値は０．５である。炭素の添加は硬質皮膜の硬度を高めると同時に、摩擦係数を低減し、潤滑性を向上させる効果がある。γは０を超えて大きく、０．６５未満にすることが必要である。γが０の場合、耐高温酸化特性並びに皮膜硬度が充分ではなく耐摩耗性に乏しい。０．６５以上でも皮膜硬度が低下する。好ましいγの値は、酸素を含有する層厚に依存するが、０．５μｍ未満であれば、γの上限値は０．３である。酸素の添加は、硬質皮膜内に残留する圧縮応力を低減し、基体と皮膜との密着性を向上させる作用に加え、皮膜が緻密化することによる高硬度化と酸素の拡散経路である基体と垂直方向の結晶粒界を減少させることより、耐高温酸化性の改善に効果的である。更に、金属元素のＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｍに対する非金属元素のＮ、Ｂ、Ｃ、Ｏの比は、化学量論的に（Ｎ、Ｂ、Ｃ、Ｏ）／（Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｍ）＞１．０がより好ましい。
【０００８】
本発明の硬質皮膜はθ−２θ法によるＸ線回折において測定される岩塩構造型の（２００）面に回折強度を有し、その回折ピークの２θの半価幅が、０．５度以上、２．０度以下とした。その理由は、０．５未満の場合は結晶粒が粗大化し、皮膜硬度並びに高温酸化特性が充分ではなく、耐摩耗性に乏しく、２．０を超えると皮膜が脆化し、基体密着強度を著しく劣化させるためである。
【０００９】
硬質皮膜はＸ線光電子分光分析にて、５２５ｅＶから５３５ｅＶの範囲に少なくともＡｌ、Ｃｒ、Ｍ及び／又はＳｉと酸素との結合エネルギーを有することが必要である。これは、これら金属元素が酸素との結合を有することにより、皮膜が緻密化し高硬度化され、さらに酸化雰囲気において酸素の拡散経路となる基体に対して垂直方向の結晶粒界が減少し、酸素の内向拡散を抑制する機能を有することによるものである。本発明皮膜の特徴である、Ｃｒ、Ａｌ、Ｍ及び／又はＳｉと酸素との結合状態を形成するには、最適な被覆条件と一定以上の酸素を硬質皮膜内に含有させることが必要である。
【００１０】
本発明の硬質皮膜において、該硬質皮膜のθ−２θ法によるＸ線回折で測定される岩塩構造型の（１１１）面の回折強度をＩ（１１１）、（２００）面の回折強度をＩ（２００）とした時、０．３＜Ｉ（２００）／Ｉ（１１１）＜１２とすることが好ましい。皮膜の密着性は残留圧縮応力に強く依存し、この残留圧縮応力は被覆条件であるイオンエネルギーに強く依存している。即ち、イオンエネルギーが低い条件下では皮膜の残留圧縮応力は低い結果となる。逆に、イオンエネルギーが高い条件下では皮膜の残留圧縮応力は高い結果となる。ここで、イオンエネルギーを決定する要素は、具体的には成膜条件であるバイアス電圧、反応ガス圧力であり、これによって制御することができる。本発明は、残留圧縮応力が高い場合、Ｘ線回折において皮膜は（１１１）面に強く配向し、皮膜の硬度も、この高い残留圧縮応力の影響を受けて高硬度とする事が可能となる。一方、皮膜の密着性に着目すると、硬質皮膜内の残留圧縮応力を高くすると、皮膜の高硬度化を達成できるが、基体と皮膜界面近傍においてせん断応力が増大する方向に作用するため、密着性を損なうこととなり、好ましくない。従って、基体と皮膜との密着性及び皮膜硬度とのバランスを最適に制御することが重要となる。本発明では、０．３＜Ｉ（２００）／Ｉ（１１１）＜１２とすることにより、両者のバランスを最適に制御することを可能にした。
【００１１】
ナノインデンテーションによる硬度測定法によるＥは、２８％≦Ｅ≦４０％であり、皮膜の成膜条件であるバイアス電圧、反応ガス圧やその分圧比、成膜時の基体温度を最適に制御することにより達成でき好ましい。Ｅが４０％を超える場合、硬質皮膜内に残留圧縮応力が高くなり過ぎて靭性に乏しくなり密着性を劣化させる場合がある。３０％よりも小さくなる場合は強度不足による異常摩耗等により耐摩耗性が十分でない場合が確認された。さらに好ましいＥの値は３０％〜３５％である。
【００１２】
更に、該硬質皮膜の最表面から深さ方向に５００ｎｍ以内の深さ領域で酸素濃度が最大となる場合、例えば切削工具に適用すると、特に切削寿命に優れ好ましい。切削過程における硬質皮膜の酸化は硬質皮膜最表面からの酸素の拡散が支配的である。従って、硬質皮膜表面を酸素リッチにすることにより、結晶が緻密化し酸素の拡散経路となる基体と垂直方向成分の結晶粒界を減少させることができ、より耐高温酸化特性に優れ切削寿命が向上する。また、硬質皮膜最表面を酸素リッチにすることにより、切り屑流れを助長する効果も確認され、潤滑特性を改善することが可能となり好ましい。
【００１３】
本発明である該硬質皮膜は、アークイオンプレーティング法による被覆により、基体との密着性に特に優れ、緻密で耐高温酸化特性、高硬度を有する極めて長寿命を有する硬質皮膜が得られる。
【００１４】
硬質皮膜の結晶粒のアスペクト比について、本発明の皮膜破断面の膜厚Ｔについて、膜厚Ｔの２５％から５０％の厚みであるＴ１に相当する上下膜厚方向の上端位置と下端位置とを求める。この時、上端位置と下端位置は、Ｔ／２に相当する基準位置より上下膜厚方向に略均等となる様に割り振る。各上下端位置における水平方向の上端側粒径Ｋと下端側粒径Ｌを求める。そこで、アスペクト比をＴ１／（（Ｋ＋Ｌ）／２）とすると、柱状結晶構造からなる該硬質皮膜の結晶粒のアスペクト比が、０．２から１２である。アスペクト比が１２を超えて大きくなると、結晶粒が膜厚方向に細長くなり、皮膜の靭性が低下し好ましくない。０．２未満では粒状結晶が増加する傾向となり、皮膜硬度が低下し好ましくない。更に、該硬質皮膜の残留圧縮応力が、０．５ＧＰａ以上、４．０ＧＰａ以下であることが、硬質皮膜に靭性を持たせ、皮膜硬度と基体密着性とのバランスに適した範囲となり、性能の改善に効果的である。
【００１５】
更に、本発明の硬質皮膜において金属成分の１０原子％未満を周期律表の４ａ、５ａ、６ａ族、の金属成分、Ｍ以外の希土類元素の少なくとも１種以上で置き換えた場合、また本発明に関わる硬質皮膜を１層以上含有する複層構造においても、同様な効果が確認され好ましく、本発明の技術的範囲に含まれるものである。以下、実施例に基づき、本発明を具体的に説明する。
【００１６】
【実施例】
（実施例１）
成膜には酸素を３２００ｐｐｍ含有した粉末法により作成した合金ターゲットを用い、基本となる被覆条件は、反応ガスを真空装置内に導入後、全圧を１０Ｐａ、バイアス電圧を−１２０Ｖ、被覆温度を４５０℃、膜厚を約３．５μｍとし、（Ａｌ_{０．６５０}Ｃｒ_{０．３４５}Ｙ_{０．００５}）（Ｎ_０．８０Ｃ_０．０８Ｏ_０．１０Ｂ_０．０２）からなる硬質皮膜を被覆し、本発明例１とした。皮膜組成は、電子プローブＸ線マイクロアナリシス及びオージェ電子分光法により決定した。硬質皮膜の酸素との結合状態を解析するためのＸ線光電子分光分析は、ＰＨＩ社製１６００Ｓ型Ｘ線光電子分光分析装置を用い、Ｘ線源はＭｇＫαを用い４００Ｗとし、分析領域を直径０．４ｍｍの円内部を分析した。十分に脱脂洗浄した後、真空装置内で硬質皮膜表面に付着した汚染物質等を除去するために５分間Ａｒイオンガンを用いて表面をエッチングした後、ワイドスペクトルを測定し、更に３０秒間エッチングした後、ナロースペクトルを測定した。ＡｒイオンガンによるエッチングレートはＳｉＯ２換算で１．９ｎｍ／分であった。本発明例１のＸ線光電子分光分析結果を図１に示す。図１は結合エネルギーが５３０ｅＶ近傍のナロースペクトル示し、Ｃｒ−Ｏ及びＡｌ−Ｏの結合の存在を示す。図２はＣｒ−Ｎ及びＣｒ−Ｏの結合の存在を示す。図３はＡｌ−Ｎ及びＡｌ−Ｏの結合の存在を示す。図４は、本発明例１のθ−２θ法によるＸ線回折結果を示す。
【００１７】
（実施例２）
実施例１と同様に、（Ａｌ_ｘＣｒ_{１−ｘ−ｙ−ｚ}Ｓｉ_ｙＹ_ｚ）（Ｎ_０．９５Ｏ_０．０５）を成膜し、比較例２、ｘ＝０．２０、ｙ＝０、ｚ＝０．００５、比較例３、ｘ＝０．３０、ｙ＝０、ｚ＝０．００５、本発明例４、ｘ＝０．５０、ｙ＝０、ｚ＝０．００５、本発明例５、ｘ＝０．６０、ｙ＝０、ｚ＝０．００５、本発明例６、ｘ＝０．７０、ｙ＝０、ｚ＝０．００５、本発明例７、ｘ＝０．８０、ｙ＝０、ｚ＝０．００５及び（ＡｌｘＣｒ１−ｘ）Ｎ系の比較例８、ｘ＝９０、ｙ＝０、従来例９、ｘ＝０．２０、従来例１０、ｘ＝０．５０、従来例１１、ｘ＝０．７０、を製作し、押込硬さを測定した。試験機は微小押込み硬さ試験機を用い、圧子はダイヤモンド製の対稜角１１５度の三角錐圧子を用い、最大荷重を４９ｍＮ、荷重負荷ステップ４．９ｍＮ／ｓｅｃ、最大荷重時の保持時間は１秒とした。測定試料は、硬質皮膜断面を５度で傾斜させ鏡面加工したものを用い、膜厚が２〜３μｍになる測定位置において、１０点測定しその平均値を求めた。尚、本発明皮例４〜７のＸ線光電子分光分析結果から５２５ｅＶから５３５ｅＶの範囲に、Ａｌ、Ｃｒ及び／又はＳｉと酸素との結合エネルギーが存在することを確認した。図５より、本発明例４〜７、Ａｌ添加量、４５〜８５原子％の範囲で、酸素を含有しない従来例より著しい硬化が確認された。本発明の硬質皮膜は、酸素を含有し、且つ金属元素と酸素の結合を形成する事により、高硬度となり、４０ＧＰａ以上の硬度を得ることが出来る。これによって密着性並びに耐摩耗性に優れた硬質皮膜が得られる。
【００１８】
（実施例３）
実施例１と同様に、超硬合金（１０％Ｃｏ）、粉末高速度鋼（８％Ｃｏ、ＨＲＣ６７．５）及びダイス鋼（ＨＲＣ５１．８）を基体に用い、表１に示す皮膜組成の、本発明例１２〜３３、比較例３４〜４１及び従来例１０を製作した。表１に皮膜の組成等を示す。
【００１９】
【表１】

【００２０】
表１の試料を用いて、大気中１１００℃の酸化条件で処理した皮膜の酸化層の厚さ、実施例２同様に微小押込み硬さ、薄板の変形量より算出した残留圧縮応力、弾性回復率を測定した。表１より、酸化層厚さは、本発明例１２〜３３は、殆ど酸化進行が無く、耐高温酸化特性に優れていることが確認された。従来例１０は酸化進行が著しく、硬質皮膜は殆ど酸化物となり、酸素の内向拡散が激しく、酸化層は基体まで到達していた。押込み硬さも炭素、硼素を含有させることにより、更に高硬度となる。残留圧縮応力は、本発明例１２〜３３は低く、更に、図６に示す、本発明例１２及び従来例１０の荷重変位曲線より、本発明例１２は、最大荷重時における最大変位量が大きいにもかかわらず、塑性変形量が小さい。すなわち、同一応力が硬質皮膜に作用した際、弾性回復する割合が大きく、被覆基体の塑性変形に追従し易く、また塑性変形し難いことを示すものである。この荷重変位曲線より弾性回復率Ｅを求めた。Ｅが大きい程、弾性回復特性に優れる。表１より、本発明例１２〜３３は弾性回復特性に優れ、硬質皮膜の剥離やクラックの低減が可能となり、密着性に優れた硬質皮膜を得ることができる。これは、皮膜硬度差よりも大きな効果がある。
【００２１】
次に、表１の本発明例及び比較例を用いて圧痕試験による皮膜剥離状況を併記する。測定はロックウェル硬度計により１４７０Ｎの荷重で圧痕を形成し、光学顕微鏡により圧痕周辺部の剥離状況を観察した。本発明例１２〜３３は剥離が無く、優れた密着性を示した。これは本発明例が適正なＥ値の範囲内にあるためである。比較例３４〜４１、従来例１０は被覆基体の塑性変形に追従することができず、圧痕周辺部に膜剥離が発生した。
【００２２】
表１より、本発明例３２は硬質皮膜最表面の酸素濃度が高く、硬質皮膜内部が硬質皮膜最表面に比べ、低い場合の発明例を示すが、極めて耐酸化性に優れている。比較例３４は被覆条件をバイアス電圧−５００Ｖで被覆した硬質皮膜でありＸ線回折による（２００）面の半価幅が２．１と大きく、最強強度面指数が（２２０）面を示し、Ｉ（２００）／Ｉ（１１１）の値が０．２となり、半価幅が２．０以下の本発明例の方が耐酸化性及び密着性に優れている。比較例３５はターゲットに含有する酸素濃度が１２００ｐｐｍからなるターゲットを使用した場合を示すが、Ｘ線光電子分光分析により酸化物としての結合状態が確認されていない。従って、酸素の結合状態が確認される本発明例の方が、耐酸化性及び密着性に優っている。比較例３６、３７は、Ｍの成分元素を含まない為、Ｍ元素を含む本発明例の方が、耐酸化性及び密着性に優っている。比較例３８はＡｌ含有量が２０原子％の場合であり、弾性回復率が２８よりも低くなっおり、一方、Ａｌ含有量が４５原子％を超えて大きく、８５原子％未満の範囲にある本発明例の方が、耐酸化性及び密着性に優っている。比較例３９はＡｌ含有量が９０原子％の場合であり、比較例４０は酸素含有量が６８原子％の場合であり、比較例４１はＡｌ含有量が４３原子％の場合であるが、何れも本発明例の数値限定範囲外となっている事から、本発明例の方が、耐酸化性及び密着性に優っている。
【００２３】
【発明の効果】
本願発明を適用することにより、耐高温酸化特性を向上させることが出来、エンドミル、ドリル等の切削工具や耐摩耗工具に用いても充分な皮膜の硬さによって耐摩耗性を有し、密着性に優れた硬質皮膜を得ることが出来た。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明例のＣｒ−Ｏ及びＡｌ−Ｏの結合エネルギーを示す。
【図２】図２は、本発明例のＣｒ−Ｎ及びＣｒ−Ｏの結合エネルギーを示す。
【図３】図３は、本発明例のＡｌ−Ｎ及びＡｌ−Ｏの結合エネルギーを示す。
【図４】図４は、本発明例のＸ線回折結果を示す。
【図５】図５は、本発明例と従来例のＡｌ添加量と皮膜硬度の関係を示す。
【図６】図６は、本発明例１２及び従来例１０の荷重変位曲線を示す。

Claims

アーク放電式イオンプレーティング法により被覆される硬質皮膜であって、該硬質皮膜は、（Ａｌ_ｘＣｒ_{１−ｘ−ｙ−ｚ}Ｓｉ_ｙＭ_ｚ）（Ｎ_{１−α−β−γ}Ｂ_αＣ_βＯ_γ）、但し、ｘ、ｙ、ｚ、α、β、γは夫々原子比率を示し、０．４５＜ｘ＜０．８５、０≦ｙ＜０．３５、０．５０≦ｘ＋ｙ＋ｚ＜１．０、０＜ｚ＜０．２０、０≦α＜０．１５、０≦β＜０．６５、０＜γ＜０．６５、０＜α＋β＋γ≦１．０で示される少なくとも１層以上からなり、ＭはＣａ、Ｍｎ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｅｒ、Ｙｂのいずれか１種又は２種以上の元素から選択され、θ−２θ法によるＸ線回折において測定される岩塩構造型の（２００）面に回折強度を有し、その回折ピークの２θの半価幅が、０．５度以上、２．０度以下であり、Ｘ線光電子分光分析における５２５ｅＶから５３５ｅＶの範囲に、少なくともＡｌ、Ｃｒ、Ｍ及び／又はＳｉと酸素との結合エネルギーを有することを特徴とする硬質皮膜。
請求項１記載の硬質皮膜において、該硬質皮膜のθ−２θ法によるＸ線回折で測定される岩塩構造型の（１１１）面の回折強度をＩ（１１１）、（２００）面の回折強度をＩ（２００）とした時、０．３＜Ｉ（２００）／Ｉ（１１１）＜１２であることを特徴とする硬質皮膜。
請求項１又は２記載の硬質皮膜において、該硬質皮膜はナノインデンテーションによる硬度測定により求められる弾性回復率Ｅが、２８％≦Ｅ≦４０％であることを特徴とする硬質皮膜。
請求項１乃至３のいずれかに記載の硬質皮膜において、該硬質皮膜の最表面から深さ方向に５００ｎｍ以内の深さ領域で酸素濃度が最大となることを特徴とする硬質皮膜。