JP2004301824A - 測定誤差の補正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定装置2の同軸接続面における誤差要因を同定する。測定対象電子部品11Aの実測測定治具測定値S21T,S11Tと、測定対象電子部品11Aの基準測定治具測定値S21D,S11Dとの間の相対関係を算定する。誤差要因を相対関係に基づいて修正することで当該測定装置の新たな誤差要因を同定する。測定装置2で測定した測定対象電子部品の実測測定治具測定値S21T,S11Tから新たな誤差要因を取り除くことで補正を行う。
【選択図】 図24
Description
Agilent Technologies 8720ES Network Analyzer User’s Guide p.6-29 to p.6-32 Advantest R3860 コンポーネントアナライザ 取扱説明書 p.5-1 to p.5-6
前記測定対象電子部品の前記実測測定治具測定値と、前記測定対象電子部品を前記基準測定治具に実装した状態で前記測定装置もしくは前記他の測定装置で前記測定対象電子部品を測定する場合に得られると推定される電気特性との間の相対関係を算定する工程と、
前記誤差要因を前記相対関係に基づいて修正することで当該測定装置の新たな誤差要因として同定する工程と、
前記同軸接続面に前記実測測定治具を接続したうえで前記実測測定治具に前記測定対象電子部品を実装しこの状態で前記測定対象電子部品の電気特性を前記測定装置で測定する工程と、
測定により得られた前記測定対象電子部品の電気特性から前記新たな誤差要因を取り除く工程と、
を含んでいる。
前記測定対象電子部品の前記実測測定治具測定値と、前記測定対象電子部品を前記基準測定治具に実装した状態で前記測定装置もしくは前記他の測定装置で前記測定対象電子部品を測定する場合に得られると推定される電気特性との間の相対関係を算定する工程と、
前記測定装置に前記実測測定治具を接続したうえで前記実測測定治具に前記測定対象電子部品を実装し、この状態で前記測定対象電子部品の電気特性を前記測定装置で測定する工程と、
測定により得られた前記測定対象電子部品の電気特性から前記誤差要因を取り除くことで前記実測測定治具に接続された前記測定対象電子部品の電気特性を得る工程と、
誤差要因を取り除くことで得られた前記実測測定治具に接続された前記測定対象電子部品の電気特性を前記相対関係に基づいて修正する工程と、
を含んでいる。
まず、本実施の形態の補正方法の基本構成が説明される。本実施の形態では、表面実装型のSAWフィルタを測定対象電子部品として、このSAWフィルタの電気特性を、ネットワークアナライザを有する測定装置で測定する際の測定誤差の補正方法やその補正方法を採用した電気特性測定装置において本発明が実施される。なお、本発明は、2ポート以上、特に3ポート以上の複数ポートでの測定結果の補正方法に実施可能であるが、本実施形態の以下の説明では、3ポートでの測定結果の補正方法やその補正方法を採用した電気特性測定装置において本発明が説明される。しかしながら、4ポート以上の測定結果の補正方法やその補正方法を採用した装置においても本発明は同様に実施可能である。さらには、1ポートの測定結果の補正方法やその補正方法を採用した装置においても、また、2ポートの測定結果の補正方法やその補正方法を採用した装置においても同様に実施できる。
N1 3=C1 11N1 1+C1 12N1 4 …(3)
各ノードにおいても上記した関係がそれぞれ成立する。このような関係を整理すると、次の(4)式群が得られる。なお、(4)式群は各ポート毎に機械的に求めることができるので、計算機処理を行う際には任意のnポートについてこの関係式を算定することは容易である (4)式群の左側に記した式はポート1に、右側に記した式はポート2に対応している。両者はポート番号を除き全く同じ式であり、さらにポート数が増えても計算機アルゴリズムで自動生成できる 。
N1 3=C1 11N1 1+C1 12N1 4 N2 3=C2 11N2 1+C2 12N2 4
N1 4=S11TN1 2+S12TN2 2 N2 4=S22TN2 2+S21TN1 2
…(4)
定数条件となる既知量が以下に説明される。順方向測定の場合には、ポート1側の信号源出力は1と見なされる。また、ポート2側の信号入力は0と見なされる。これより、以下に示す(5)式の条件が得られる。
測定対象電子部品11A(試料DUT):不平衡入力-平行出力SAWフィルタ(fn=1842.5MHz)(SAFSD1G84CB0T00)であって、これら電子部品の良品(3個)と不良品(2個)とが測定対象電子部品11Aとして用意される。
補正データ取得試料11B:SMAコネクタに直接チップ部品がはんだ付けされる等の処理が施されることで略開放・略短絡・略終端が設定された3種の電子部品が補正データ取得試料11Bとして用意される。
基準測定治具5A:上記測定対象電子部品11A(試料DUT)が実装可能なKMM製の治具が基準測定治具5Aとして用意される。
実測測定治具5B:上記治具の校正面に誤差要因として、ポート1に50cmの同軸ケーブルが取り付けられ、ポート2に30mmのアダプタが取り付けられ、ポート3に−3dBの減衰器が取り付けられたものが実測測定治具5Bとして用意される。
基準測定装置1や実測測定装置2を構成する測定器:ADVANTEST社製 R3860 (〜8GHzの4ポートネットワークアナライザ)が測定器として用意される。上記基準測定治具5Aが接続された測定器が基準測定装置1となり、上記実測測定治具5Bが接続された測定器が実測測定装置2となる。
周波数範囲:1650MHz〜2050MHz
データ数:401点
IF帯域幅等:1000Hz(平均化処理無し)
測定方法:
1.上記基準測定治具5Aに3種の上記補正データ取得試料11Bがそれぞれ実装される。試料11B実装状態の基準測定治具5Aが上記測定装置に接続されてその特性が測定される。この場合、測定装置は基準測定装置1と見なされる。測定された特性が補正データ取得試料11Bの基準測定治具測定値S21D,S11Dと見なされる。
2.同様に、上記実測測定治具5Bに3種の上記補正データ取得試料11Bがそれぞれ実装される。試料11B実装状態の実測測定治具5Bが上記測定装置に接続されてその特性が測定される。この場合、測定装置は実測測定装置2と見なされる。測定された特性が補正データ取得試料11Bの実測測定治具測定値S21T,S11Tと見なされる。
3.補正データ取得試料11Bの測定結果である基準測定治具測定値S21D,S11Dと実測測定治具測定値S21T,S11Tとが、前述された(1)式に代入されることで、相対補正アダプタ31の誤差要因が算定される。
4.上記基準測定治具5Aに測定対象電子部品11Aがそれぞれ実装される。部品11A実装状態の基準測定治具5Aが上記測定装置に接続されてその特性が測定される。この場合、測定装置は基準測定装置1と見なされる。測定された特性が測定対象電子部品11Aの基準測定治具測定値S21D,S11Dと見なされる。
5.同様に、上記実測測定治具5Bに上記測定対象電子部品11Aがそれぞれ実装される。部品11A実装状態の実測測定治具5Bが上記測定装置に接続されてその特性が測定される。この場合、測定装置は実測測定装置2と見なされる。測定された特性が測定対象電子部品11Aの実測測定治具測定値S21T,S11Tと見なされる。
6.測定対象電子部品11Aの実測測定治具測定値S21T,S11Tが前述された(2)式に代入されることで、測定対象電子部品11Aの基準測定治具測定値S21D,S11Dが推定される。
T11,T12,T21,T22:相対補正係数(Tパラメータ)
次に、変換された相対補正アダプタ31の相対補正係数(Tパラメータ)が逆行列に変換されることで、中和アダプタ32の相対補正係数(Tパラメータ)が生成される。逆行列変換は、誤差要因同定手段24等により実施される。逆行列変換は、例えば、次の(12)式に基づいて実施される。
X11,X12,X21,X22:逆変換後の相対補正係数(Tパラメータ)
一方、実測測定装置2では、その校正面(同軸接続面)における校正(フル2ポート補正)がSOLT補正等により実施される。これにより、実測測定装置2の誤差ENA1,ENA2の誤差係数(誤差要因)が設定され、設定された誤差係数が実測測定装置2のメモリ23に記録される(S2404)。誤差係数の設定は誤差要因同定手段24等により実施される。メモリ23の記録制御は制御部本体22より行われる。メモリ23に書き込まれる誤差係数はSパラメータのデータ形態を有している。
次に、第2の実施形態が説明される。本実施形態の相対補正方法が実施される実測測定装置2や基準測定装置1の構成やその基本的な補正アダプタ型相対補正法の構成は、第1の実施の形態と同様である。そのため、以下の説明では、装置の構成要素等については、第1の実施の形態で用いた符号等がそのまま用いられる。
2 実測測定装置
3A,3B ネットワークアナライザ
4A,4B,4C 同軸ケーブル
5A 基準測定治具
5B 実測測定治具
6 同軸ケーブルコネクタ
7 絶縁基板
7A 基板表面
8A,8B 信号伝送路
8C〜8i接地線路
9A,9B,9C 同軸コネクタ
10 スルーホール接続部
11A 測定対象電子部品
11B 補正データ取得試料
11a 基板裏面
12a,12b 伝送路端子
12C〜12f 接地端子
13 枠体
20 ネットワークアナライザ本体
21 制御部
22 制御部本体
23 メモリ
24 誤差要因同定手段
25 補正算定手段
30 誤差除去アダプタ
31 相対補正アダプタ
32 中和アダプタ
S11 順方向反射係数
S21 順方向伝達係数
S12 逆方向伝達係数
S22 逆方向反射係数
S21DUT,S11DUT 試料真値
S21D,S11D 基準測定治具測定値
S21T,S11T 実測測定治具測定値
ED1,ED2 基準測定治具誤差
ET1,ET2 実測測定治具誤差
ET1 -1,ET2 -1 第1誤差除去アダプタの誤差
C1,C2 相対補正アダプタの誤差
S11M,S21M 実測測定装置2が観測する観測値
ENA1,ENA2 測定系の誤差
FNA1,FNA2 新たな測定系誤差
Claims (7)
- 測定装置の同軸接続面に実測測定治具を接続したうえで前記実測測定治具に測定対象電子部品を実装しこの状態で前記測定装置で測定した前記測定対象電子部品の実測測定治具測定値を、前記実測測定治具とは同一測定対象電子部品の電気特性の測定結果が異なる基準測定治具に実装した状態で前記測定装置もしくは前記測定装置と同等の測定特性を有すると見なせる他の測定装置で前記測定対象電子部品を測定する場合に得られると推定される電気特性に補正する測定誤差の補正方法であって、
前記同軸接続面における誤差要因を同定する工程と、
前記測定対象電子部品の前記実測測定治具測定値と、前記測定対象電子部品を前記基準測定治具に実装した状態で前記測定装置もしくは前記他の測定装置で前記測定対象電子部品を測定する場合に得られると推定される電気特性との間の相対関係を算定する工程と、
前記誤差要因を前記相対関係に基づいて修正することで当該測定装置の新たな誤差要因として同定する工程と、
前記同軸接続面に前記実測測定治具を接続したうえで前記実測測定治具に前記測定対象電子部品を実装しこの状態で前記測定対象電子部品の電気特性を前記測定装置で測定する工程と、
測定により得られた前記測定対象電子部品の電気特性から前記新たな誤差要因を取り除く工程と、
を含むことを特徴とする測定誤差の補正方法。 - 測定装置に実測測定治具を接続したうえで前記実測測定治具に測定対象電子部品を実装しこの状態で前記測定装置で測定した前記測定対象電子部品の実測測定治具測定値を、前記実測測定治具とは同一測定対象電子部品の電気特性の測定結果が異なる基準測定治具に実装した状態で前記測定装置もしくは前記測定装置と同等の測定特性を有すると見なせる他の測定装置で前記測定対象電子部品を測定する場合に得られると推定される電気特性に補正する測定誤差の補正方法であって、
前記同軸接続面における誤差要因を同定する工程と、
前記測定対象電子部品の前記実測測定治具測定値と、前記測定対象電子部品を前記基準測定治具に実装した状態で前記測定装置もしくは前記他の測定装置で前記測定対象電子部品を測定する場合に得られると推定される電気特性との間の相対関係を算定する工程と、
前記測定装置に前記実測測定治具を接続したうえで前記実測測定治具に前記測定対象電子部品を実装しこの状態で前記測定対象電子部品の電気特性を前記測定装置で測定する工程と、
測定により得られた前記測定対象電子部品の電気特性から前記誤差要因を取り除くことで前記実測測定治具に接続された前記測定対象電子部品の電気特性を得る工程と、
誤差要因を取り除くことで得られた前記実測測定治具に接続された前記測定対象電子部品の電気特性を前記相対関係に基づいて修正する工程と、
を含むことを特徴とする測定誤差の補正方法。 - 請求項1または2に記載の測定誤差の補正方法において、
前記相対関係を算定する工程は、
互いに異なる電気特性を有するとともに、各ポート間の伝達係数が極めて小さい補正用データ取得試料を少なくとも3個用意する手順と、
前記補正データ取得試料の電気特性を基準測定治具実装状態で前記測定装置もしくは前記他の測定装置で測定することで、前記補正データ取得試料の基準測定治具測定値を取得する手順と、
前記補正データ取得試料の電気特性を実測測定治具実装状態で前記測定装置もしくは前記他の測定装置で測定することで、前記補正データ取得試料の実測測定治具測定値を取得する手順と、
前記実測測定治具の前記測定装置側に位置する各ポートに接続される2ポート回路網からなり、測定対象電子部品実装状態の前記実測測定治具が発生させる電気特性を測定対象電子部品実装状態の前記基準測定治具が発生させる電気特性に変更する特性を有する相対補正アダプタを想定したうえで、想定した前記相対補正アダプタの誤差要因を、前記補正データ取得試料の前記基準測定治具測定値および前記実測測定治具測定値から同定する手順と、
を含み、
前記相対補正アダプタの誤差要因を前記相対関係とする、
ことを特徴とする測定誤差の補正方法。 - 請求項3に記載の測定誤差の補正方法において、
前記補正データ取得試料として、ポート間伝達係数が−20dB以下のものを用いる、
ことを特徴とする測定誤差の補正方法。 - 請求項3または4に記載の測定誤差の補正方法において、
前記補正データ取得試料として、各ポートの反射係数が試料間で互いに異なるものを用いる、
ことを特徴とする測定誤差の補正方法。
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JP2007519892A (ja) * | 2003-06-11 | 2007-07-19 | アジレント・テクノロジーズ・インク | 複数のテストフィクスチャを使用するときのテストシステム校正の補正および装置測定値の変換 |
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