JP2004290858A - エアフィルタ用濾材の巻回体、そのエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタユニットの製造方法 - Google Patents

エアフィルタ用濾材の巻回体、そのエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタユニットの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ピンホールの発生が抑制されたエアフィルタ用濾材、それを用いたエアフィルタユニットを提供できる。
【解決手段】本発明のエアフィルタ用濾材の巻回体は、少なくとも1層のPTFE多孔質膜と少なくとも1層の通気性支持材とを含むエアフィルタ用濾材1と、エアフィルタ用濾材1の一方の面に重ねられた帯状の導電性シート4とが、ロール状に巻き取られていることを特徴とする。導電性シート4の幅は、エアフィルタ用濾材1の幅より大きく、導電性シート4の幅方向の両端部のうち、少なくとも1方の端部4aが、エアフィルタ用濾材1からはみ出ていることが好ましい。導電性シート4は、金属、導電性樹脂、カーボンブラックから選ばれる少なくとも1種の導電性物質を含むことが好ましい。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリテトラフルオロエチレン(以下「PTFE」という)多孔質膜を含むエアフィルタ用濾材の巻回体、そのエアフィルタ用濾材を用いたエアフィルタユニットの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
PTFEはクリーンな材料であり、近年、PTFE多孔質膜を含む濾材が、半導体工業などのクリーンルームに用いられる高性能エアフィルタの濾材として広く使用されている。PTFE多孔質膜はコシがないため、通常、補強のために不織布などの通気性を有する支持材(以下、「通気性支持材」という)と積層してから濾材として使用される。この濾材は連続したW字状に折り畳まれ(プリーツ加工され)、さらに金属枠などで枠付けされてエアフィルタユニットとなる(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
【0003】
【特許文献1】
特表平9−504737号公報(第9−10頁、第1−4図)
【0004】
【特許文献2】
特開平9−302121号公報(第2頁)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
エアフィルタ用濾材は、PTFE多孔質膜と通気性支持材とを積層する工程において帯電しやすい。特に、PTFEは極めて誘電率が高く、容易に帯電するうえに、帯電した静電気の減衰に長時間を必要とする。適切な帯電除去を行わないと、エアフィルタ用濾材の帯電圧は10〜50kVになる場合がある。帯電したエアフィルタ用濾材をロール状に巻き取った場合、エアフィルタ用濾材に帯電した電荷は、その後の保管、輸送工程においてほとんど放出されずにエアフィルタ用濾材に滞留する。そのため、ロール状に巻き取られたエアフィルタ用濾材をプリーツ加工などの次工程において引き出した際、エアフィルタ用濾材と他の物体との間で静電気放電が発生してエアフィルタ用濾材にピンホールが形成され、エアフィルタ用濾材の捕集効率を低下させてしまうことがある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアフィルタ用濾材の巻回体は、少なくとも1層のPTFE多孔質膜と少なくとも1層の通気性支持材とを含む帯状のエアフィルタ用濾材と、前記エアフィルタ用濾材の一方の面に重ねられた帯状の導電性シートとが、ロール状に巻き取られていることを特徴とする。
【0007】
本発明のエアフィルタユニットの製造方法は、本発明のエアフィルタ用濾材の巻回体から引き出された前記エアフィルタ用濾材を用いることを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明のエアフィルタ用濾材の巻回体の一例について図面を参照しながら説明する。
【0009】
図1および図2に示すように、エアフィルタ用濾材1の巻回体21は、少なくとも1層のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜2と少なくとも1層の通気性支持材3とを含む帯状のエアフィルタ用濾材1と、このエアフィルタ用濾材1の一方の面に重ねられた帯状の導電性シート4とが、ロール状に巻き取られた構造をしている。本実施の形態のエアフィルタ用濾材1の巻回体21では、エアフィルタ用濾材1と、このエアフィルタ用濾材1の一方の面に重ねられた帯状の導電性シート4とがロール状に巻き取られているので、エアフィルタ用濾材1における電荷の蓄積が抑制され、エアフィルタ用濾材1と他の物体との間で発生する静電気放電により、エアフィルタ用濾材1にピンホールが形成されることを抑制できる。
【0010】
図1に示すように、導電性シート4の幅がエアフィルタ用濾材1の幅より大きく、導電性シート4の幅方向の両端部4aのうち、少なくとも一方の端部がエアフィルタ用濾材1からはみ出た状態で、エアフィルタ濾材1と導電性シート4とが巻き取られていることが好ましい。その端部4aを導体などに接触させて、導体と導電性シート4とを短絡させることにより、エアフィルタ用濾材1に蓄積された電荷を、長尺なエアフィルタ用濾材1の長手方向にわたって効果的に除去できるからである。導電性シート4の幅方向の両端部4aがエアフィルタ用濾材1からはみ出た状態で、エアフィルタ濾材1と導電性シート4とが巻き取られていれば、導電性シート4の各端部4aを導体と接触させることにより、エアフィルタ用濾材1に蓄積された電荷をさらに効果的に除去できる。
【0011】
導電性シート4の材料は、エアフィルタ用濾材1に蓄積された電荷を減衰させることができるものであれば特に制限はないが、例えば、金属、導電性樹脂、カーボンブラックから選ばれる少なくとも1種の導電性物質を含んでいることが好ましい。これらの導電性物質を含む導電性シート4の比抵抗は10−6〜10Ωcmであることが望ましい。金属には、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、鉄、ステンレスまたはニッケルが挙げられ、導電性樹脂には、例えば、ポリアセチレン、ポリピロール、ポリチオフェンまたはポリアニリン等が挙げられる。
【0012】
導電性シートの形態についても特に制限はないが、上記金属を含む金属箔もしくはプラスチックシート、または金属メッシュ、上記金属によりメッキ処理された織布または不織布、導電性繊維が織り込まれた織布または不織布、上記導電性樹脂を含むプラスチックシート等が好適である。上記導電性繊維には、例えば、金属線、金属メッキ繊維、またはカーボンブラックを混入した繊維等を用いることができる。
【0013】
PTFE多孔質膜2は、使用用途に応じた捕集機能が発揮されるものであれば、孔径、構造、形態などについて特に限定されないが、通常、平均孔径0.01〜5μm、平均繊維径0.02〜0.3μm、厚み2〜50μm、5.3cm/sの流速で空気を透過させたときの圧力損失が50〜1000Paである膜が好ましい。
【0014】
上記したPTFE多孔質膜2は、従来から用いられてきた方法により作製することができる。以下にその作製方法の一例を説明する。
【0015】
まず、PTFEファインパウダーに液状潤滑剤を加えたペースト状の混合物を予備成形する。液状潤滑剤としては、PTFEファインパウダーの表面を濡らすことができ、抽出や加熱することより除去できるものであれば特に限定されず、例えば、ナフサ、ホワイトオイルなどの炭化水素を使用できる。液状潤滑剤の添加量は、PTFEファインパウダー100重量部に対して5〜50重量部程度が適当である。上記した予備成形は、液状潤滑剤が絞り出されない程度の圧力で行う。次に、予備成形体を押出しおよび/または圧延してシート状に成形し、このようにして得られたシート状の成形体を少なくとも一軸方向に延伸してPTFE多孔質膜を得る。尚、延伸は、液状潤滑剤を除去してから行うとよい。延伸条件は、適宜設定でき、通常、温度は30〜320℃であり、延伸倍率は、縦方向、横方向ともに2〜30倍である。また、延伸後にPTFE多孔質膜をPTFEの融点以上に加熱して焼成すれば、強度を高めることができる。
【0016】
通気性支持材3は、PTFE多孔質膜2を保護および補強するとともに、プレフィルタとしても機能する。通気性支持材3は、材質、構造、形態について特に限定されないが、PTFE多孔質膜2より通気性に優れた材料、例えば、不織布、織布、メッシュ(網目状シート)、その他の多孔質材料を用いることが好ましい。特に、強度、柔軟性、作業性の点からは不織布が好ましい。通気性支持材3の材料について特に制限はなく、ポリオレフィン(ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)など)、ポリアミド、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート(PET)など)、芳香族ポリアミド、あるいはこれらの複合材などからなるものを用いることができる。一部または全部の繊維が芯鞘構造の複合繊維を用いることが一般的であり、芯繊維が鞘繊維より相対的に融点が高い合成繊維を用いることが好ましい。
【0017】
PTFE多孔質膜2と通気性支持材3とは、単に重ね合わせるだけでもよいが、接合されていてもよい。例えば、接着剤ラミネート、熱ラミネートなどの方法を適用することができる。特に、熱により通気性支持材3の一部を溶融させ、隣接する層の対向する面に部分的に接着する熱ラミネートが好ましい。このように接着剤を用いずに接着すると、余分な重量増加がなく容易に接着することができ、接着後に行うプリーツ加工も行い易い。
【0018】
上記の方法によりPTFE多孔質膜2と通気性支持材3とが積層されて得られたエアフィルタ用濾材1は、導電性シート4とともにロール状に巻き取られて、エアフィルタ用濾材1の巻回体21となる。
【0019】
導電性シート4とともに巻き取られたエアフィルタ用濾材1は、エアフィルタ用濾材1の巻回体21から引き出され、必要に応じて所定の長さに切断された後、プリーツ加工される。プリーツ加工は、図3に示すように、外周にブレード5を配置した1対のドラム6を回転させながらエアフィルタ用濾材1をひだ折りしていくロータリー方式、図4に示すように、エアフィルタ用濾材1の移送方向に間隔をおいて配置した一対のブレード5を、軌跡7を描くように移動させながらエアフィルタ用濾材1を両面から交互に折り畳んでいくレシプロ方式等を採用できる。プリーツ加工されたエアフィルタ用濾材1は、図5に示すように、アルミニウム等からなる支持枠22などにより枠付けされて、エアフィルタユニットとなる。
【0020】
【実施例】
以下、実施例により本発明のエアフィルタ用濾材の巻回体の一例をさらに具体的に説明する。
【0021】
(実施例1)
PTFEファインパウダー(旭・ICIフロロポリマーズ社製、“フルオンCD−123”)100重量部に対して液状潤滑剤(ナフサ)17重量部を均一に混合し、この混合物を20kg/cmの条件で予備成形した。次いでこの予備成形体をロッド状にペースト押出成形し、さらにこのロッド状成形体を1対の金属圧延ロール間に通して、厚さ250μmの長尺シートを得た。このシートを290℃の延伸温度でシート長手方向に10倍延伸し、さらにテンター法により80℃の延伸温度でシート幅方向に30倍延伸し、未焼成PTFE多孔質膜を得た。この未焼成PTFE多孔質膜を、熱風発生炉を用いて400℃で3秒間焼成し、焼成されたPTFE多孔質膜を得た(厚さ10μm、圧力損失15mmHO)。
【0022】
芯鞘構造の不織布(ユニチカ社製、“エルベスTO303WDO”、厚さ150μm、目付量30g/m、芯成分PET、鞘成分PE、PEの融点129℃)を2枚用意し、2枚の不織布の間に上記PTFE多孔質膜を配置し、これらを135℃に加熱した一対の熱ロール間に通し、連続的に熱ラミネートして、エアフィルタ用濾材を得た(厚さ250μm、圧力損失17mmHO、幅600mm、長さ20m)。
【0023】
上記エアフィルタ用濾材の一方の面に、ステンレス網(30メッシュ、幅800mm、長さ20m、比抵抗10−5Ωcm)をその幅方向の両端部が上記エアフィルタ用濾材からはみ出るように重ねながら、エアフィルタ用濾材とステンレス網とをポリエチレン製のロール(直径82mm)に巻きつけ、エアフィルタ用濾材の巻回体を得た。
【0024】
(実施例2)
実施例1で得たエアフィルタ用濾材の一方の面に、ステンレス網に代えて導電性ナイロン織布(カネボウ合繊株式会社、“タッファー”、幅800mm、長さ20m、比抵抗10Ωcm)をその幅方向の両端部が上記エアフィルタ用濾材からはみ出るように重ねながら、エアフィルタ用濾材と導電性ナイロン織布とをポリエチレン製のロール(直径82mm)に巻きつけ、エアフィルタ用濾材の巻回体を得た。
【0025】
(比較例)
実施例1で得たエアフィルタ用濾材を単独でポリエチレン製のロール(直径82mm)に巻き付け、エアフィルタ用濾材の巻回体を得た。
【0026】
実施例および比較例において得られたエアフィルタ用濾材の巻回体を、PE製ロールが回転しないようにシャフトに固定し、図6に示すように、エアフィルタ用濾材の巻回体の外周面13を、矢印の方向へナイロン製織布12で摩擦して帯電させた(速度0.5m/sec、30往復)。摩擦後のエアフィルタ用濾材および摩擦前のエアフィルタ用濾材のそれぞれについて、除電していないゴムロール(外径40mm)3本に沿わせながら10m引き出し、それらの圧力損失、捕集効率を下記の方法により測定し、リーク試験を下記の方法で行った。その結果を表1に示す。
【0027】
[圧力損失] サンプルを有効面積100cmの円形ホルダーにセットし、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の流速を5.3cm/sに調整したときの圧力損失を圧力計(マノメーター)で測定した。
【0028】
[捕集効率] サンプルを有効面積100cmの円形ホルダーにセットし、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の流速を流速計で5.3cm/sに調整し、上流側に多分散ジオクチルフタレート(DOP)を、粒子径0.1〜0.2μmの粒子が4×10個/リットル、粒子径0.2〜0.3μmの粒子が6×10個/リットルとなるように供給し、上流側の粒子濃度とサンプルを透過してきた下流側の粒子濃度とをパーティクルカウンターで測定し、以下の式で捕集効率を求めた。
【0029】
捕集効率(%)=(1−下流側粒子濃度/上流側粒子濃度)×100
[リーク試験] 日本空気清浄協会のJACA No.10C「空気清浄装置性能試験基準法」の第4性能試験方法(暫定基準)に規定されているリーク試験法に準じて行った。具体的には、上記[捕集効率]の場合と同様なサンプルおよび装置を用意し、同様の条件で粒子を供給した。相対濃度計(直線目盛り)のプローブを、サンプルの下流側の面から25mm離れた所において、5cm/secの速度で走行させた。相対濃度計によって測定される下流側粒子濃度が上流側粒子濃度の0.01%以上である場合、リーク有りと判断した。
【0030】
【表1】
Figure 2004290858
【0031】
表1に示した結果より、エアフィルタ用濾材と導電性シートとがロール状に巻き取られた巻回体では、エアフィルタ用濾材についてピンホールの形成を抑制できることが確認できた。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、ピンホールの形成が抑制されたエアフィルタ用濾材、およびそれを用いたエアフィルタユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のエアフィルタ用濾材の巻回体の一例を示す斜視図
【図2】図1に示したエアフィルタ用濾材の巻回体に巻き取られたエアフィルタ用濾材の一例を示す断面図
【図3】プリーツ加工法の一例の概略を説明する図
【図4】プリーツ加工法の他の例の概略を説明する図
【図5】エアフィルタユニットの一例を示す斜視図
【図6】エアフィルタ用濾材の巻回体の外周面をナイロン製織布で摩擦する様子を説明する図
【符号の説明】
1 エアフィルタ用濾材
2 PTFE多孔質膜
3 通気性支持材
4 導電性シート
4a 導電性シートの幅方向の端部
21 エアフィルタ用濾材の巻回体

Claims (6)

  1. 少なくとも1層のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と少なくとも1層の通気性支持材とを含む帯状のエアフィルタ用濾材と、前記エアフィルタ用濾材の一方の面に重ねられた帯状の導電性シートとが、ロール状に巻き取られていることを特徴とするエアフィルタ用濾材の巻回体。
  2. 前記導電性シートの幅が、前記エアフィルタ用濾材の幅よりも大きい請求項1に記載のエアフィルタ用濾材の巻回体。
  3. 前記導電性シートの幅方向の両端部のうち、少なくとも一方の端部が前記エアフィルタ用濾材からはみ出ている請求項1または2に記載のエアフィルタ用濾材の巻回体。
  4. 前記導電性シートは、金属、導電性樹脂、カーボンブラックから選ばれる少なくとも1種の導電性物質を含む請求項1〜3のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材の巻回体。
  5. 前記導電性シートの比抵抗が10−6〜10Ωcmである請求項1〜4のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材の巻回体。
  6. 請求項1〜5のいずれかの項に記載のエアフィルタ用濾材の巻回体から引き出された前記エアフィルタ用濾材を用いることを特徴とするエアフィルタユニットの製造方法。
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