JP2004282957A - 電動シリンダ - Google Patents

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Masanori Suematsu
正典 末松
Kazukuni Miwa
一州 三和
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Yaskawa Electric Corp
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Yaskawa Electric Corp
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Abstract

【課題】エネルギー消費が少なく、構造が簡単な電動シリンダを提供する。
【解決手段】シリンダ101と、シリンダ101に進退自在に支持されたロッド110と、シリンダ110の内部に配置された固定子と、ロッド110に固定された可動子111からなる電動シリンダ100において、シリンダ101の両端に第1の固定子102と第2の固定子103を備えるものである。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータで駆動される電動シリンダに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
シリンダに進退自在に支持されたロッドをリニアモータで駆動する電動シリンダあるいはシリンダ型リニアモータと呼ばれる装置が知られている(例えば、特許文献1、特許文献2など)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−286121号公報
【特許文献2】
特開2001−352747号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の電動シリンダはストローク全長にわたって、固定子コイルを配置しているので、可動子の推力発生に寄与しない部分にも通電することになるため、エネルギー消費が大きい問題という問題があった。また、特定のコイルにだけ通電するような仕掛けを備えると、装置が大掛かりになるという問題があった。ストローク全長にわたって固定子コイルを配置する代わりに、永久磁石あるいは2次導体をストローク全長に伸ばすと、可動子の質量が過大になるのでエネルギー消費が大きくなる。
そこで、本発明はエネルギー消費が少なく、構造が簡単な電動シリンダを提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明はシリンダと、前記シリンダに進退自在に支持されたロッドと、前記シリンダの内部に配置された固定子と、前記ロッドに固定された可動子からなる電動シリンダにおいて、前記シリンダの両端に第1の固定子と第2の固定子を備えるものである。また、前記シリンダに前記シリンダの長さ方向に延びるスリットを開口するとともに、前記ロッドに対して直角方向に枝ロッドを取り付け、前記枝ロッドを前記スリットから外部に突出させるものである。また、前記第1の固定子と前記第2の固定子の間に中間固定子を備えるものである。また、前記シリンダと前記ロッドを円弧状に曲げるものである。また、空気式ブレーキを備えるものである。また、前記シリンダの端部に永久磁石を取り付けて、前記永久磁石の磁力で前記ロッドを制動するものである。また、前記永久磁石の吸引力を電磁コイルで制御するものである。コイルばね形の形状記憶合金製の部品で前記ロッドを制動するものである。また、静電力を発生する円板を前記シリンダと前記ロッドに取り付けて前記ロッドを制動するものである。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1の実施例を示す電動シリンダの断面図であり、(a)および(b)はロッドが始端にある状態と終端にある状態を示す。図において、100は電動シリンダであり、101はシリンダである。シリンダ101の左右端近くの内面には第1の固定子102と第2の固定子103が取付けられている。第1の固定子102はコア104にコイル105を巻回した電機子である。同様に、第2の固定子103はコア106にコイル107を巻回した電機子である。シリンダ101の両端にはフレーム108が固定され、フレーム108の中心にはリニアブッシュ109が取付けられ、ロッド110がシリンダ101に対して自由に進退(図の左右方向に直動)するように支持されている。111は可動子であり、可動子111はロッド110に固定された2次導体である。
図1(a)の状態にあるとき、可動子111に右方向の推力が発生するように、第1の固定子102に通電される。そしてロッド110が右に移動して、図1(b)の状態近くになると、第2の固定子103に通電して可動子111に左向きの推力を与えて制動する。図1(b)の状態から図1(a)の状態に移動させるには、逆の手順で操作する。この通電のタイミングは図示しない位置検出器で検出することによりコントロールできる。
【0007】
図2は本発明の第2の実施例を示す図であり、(a)は電動シリンダの側断面図であり、(b)は(a)のA−A’線で切断した縦断面図である。図において、121はロッド110に固定されて、ロッド110に対して直角方向つまり、シリンダ101の半径方向に伸びる枝ロッドである。枝ロッド121はシリンダ101の長さ方向に延びるスリット122から、シリンダ101の外部に突出して、図示しない操作対象と結合する。
図2(b)に示すように、第2の固定子103は、枝ロッド121との干渉を避けるために、円周方向に分割されている。第1の固定子102も同様に円周方向に分割される。
【0008】
図3は本発明の第3の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。図において、131は中間固定子であり、第1の固定子102および第2の固定子103の中間に設けた電機子である。この実施例の構造は、全ストロークの中間位置での作業を要する時や、全ストローク中間点で加速する必要がある時に有効な構造となる。
【0009】
図4は本発明の第4の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。この電動シリンダ100はロッド110を円弧移動させるために、全体を円弧状に構成している。
【0010】
電動シリンダを停止させた後、ロッドを所望の位置で保持するための機械的ブレーキを備えた例を以下に示す。
図5は本発明の第5の実施例を示す電動シリンダの縦断面図である。図において、151は圧縮空気で駆動される空気ブレーキであり、可動子111を挟持してロッド110を保持するブレーキである。
【0011】
図6は本発明の第6の実施例を示す電動シリンダの縦断面図である。図において、161は保持ブレーキであり、保持ブレーキ161はベース162と、ベース162に固定された形状記憶合金製のコイルばね163と、コイルばね163に取付けられたブレーキシュー164と、コイルばね163に電力を供給する電源165からなる。電源165からコイルばね163に通電すると、コイルばね163は昇温して、ブレーキシュー164を可動子111に押し付けて、ロッド110を保持する。
【0012】
図7は本発明の第7の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。図において、171はフレーム108に固定された永久磁石であり、可動子111を吸着してロッド110を保持する。
図8は本発明の第8の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。この第8の実施例は第7の実施例のさらなる変形例であり、シリンダ101の端部に電磁コイル181を設け、起動時に通電して、永久磁石171の吸引力を相殺して、円滑な起動ができるようにした例である。
【0013】
また、永久磁石に換えて、静電力を発生する円板をシリンダ101とロッド110に取付けて、静電力でロッド110を保持してもよい。
【0014】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は次のような効果を奏する。
請求項1に記載の発明は、電動シリンダのストロークの両端にだけ固定子を配置したので、構造が簡単で、消費電力の少ない電動シリンダが得られるという効果がある。また、請求項2に記載の発明は、枝ロッドをシリンダの側面から突出させたので、枝ロッドに操作対象物の機器を結合でき、電動シリンダを利用する装置の設計の自由度が増す効果がある。
また、請求項3に記載の発明は、中間固定子を備えたので、スロークの中間での加減速が容易な電動シリンダが得られる効果がある。
また、請求項4に記載の発明は、電動シリンダを円弧形状に曲げたので、円弧状の動作をする電動シリンダが得られる効果がある。
また、請求項5ないし請求項9に記載の発明は、ロッドを所定の位置に保持するブレーキを備えたので、外乱等によって過大な力が印加されても、ロッドが動かないという効果がある。
【発明の効果】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示す電動シリンダの断面図である。
【図3】本発明の第3の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。
【図4】本発明の第4の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。
【図5】本発明の第5の実施例を示す電動シリンダの縦断面図である。
【図6】本発明の第6の実施例を示す電動シリンダの縦断面図である。
【図7】本発明の第7の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。
【図8】本発明の第8の実施例を示す電動シリンダの側断面図である。
【符号の説明】
100:電動シリンダ 101:シリンダ 102:第1の固定子 103:第2の固定子 104:コア 105:コイル 106:コア 107:コイル
108:フレーム 109:リニアブッシュ 110:ロッド 111:可動子
121:枝ロッド 122:スリット 131:中間固定子 151:空気ブレーキ 161:保持ブレーキ 162:ベース 163:コイルばね 164:ブレーキシュー 165:電源 171:永久磁石 181:電磁コイル
ト光 6:十字パターン光 7:載置ステージ上の位置決めマーク
8:薄型治具 9:薄型治具上の位置決めマーク 10:載置ステージ

Claims (9)

  1. シリンダと、前記シリンダに進退自在に支持されたロッドと、前記シリンダの内部に配置された固定子と、前記ロッドに固定された可動子からなる電動シリンダにおいて、
    前記シリンダの両端に第1の固定子と第2の固定子を備えたことを特徴とする電動シリンダ。
  2. 前記シリンダに前記シリンダの長さ方向に延びるスリットを開口するとともに、前記ロッドに対して直角方向に枝ロッドを取り付け、前記枝ロッドを前記スリットから外部に突出させたことを特徴とする請求項1に記載の電動シリンダ。
  3. 前記第1の固定子と前記第2の固定子の間に中間固定子を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電動シリンダ。
  4. 前記シリンダと前記ロッドを円弧状に曲げたことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の電動シリンダ。
  5. 空気式ブレーキを備えたことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の電動シリンダ。
  6. 前記シリンダの端部に永久磁石を取り付けて、前記永久磁石の磁力で前記ロッドを制動することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の電動シリンダ。
  7. 前記永久磁石の吸引力を電磁コイルで制御することを特徴とする請求項6に記載の電動シリンダ。
  8. コイルばね形の形状記憶合金製の部品で前記ロッドを制動することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の電動シリンダ。
  9. 静電力を発生する円板を前記シリンダと前記ロッドに取り付けて前記ロッドを制動することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のシリンダ。
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