JP2004276089A - Method and device for dividing data for a plurality of axes in laser beam machining machine - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数(n)個の走査ユニットで1枚のワークに加工を行なうレーザ加工機において、複数個のそれぞれの走査ユニットに加工対象位置を振り分ける際の複数軸間データ分割方法及び装置に係り、特に、レーザビームを照射してプリント配線基板等に複数の穴あけ加工を行なうレーザ穴あけ機に用いるのに好適な、データの分布や加工方法等によって加工時間を短縮する最適な分割方法を選択可能なレーザ加工機の複数軸間データ分割方法及び装置、該データ分割方法や装置を用いた加工方法及び装置、該加工方法を実施するためのコンピュータプログラム、前記加工装置を実現するためのコンピュータプログラム、及び、該コンピュータプログラムに記録された、コンピュータ読取り可能な記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザビームを照射してプリント配線基板等のワークに複数の穴あけ加工を行なうレーザ穴あけ機の1つに、出願人が特許文献1で提案したような、レーザビームを2つに分岐し、2個の走査ユニットで1枚のワークに穴あけを行なうレーザ穴あけ機がある。
【0003】
このような2軸レーザ加工機において、図1に示す如く、レーザ発振器10から出力されたレーザ光12は、光分岐ユニット14を通って2つに分かれ、2軸の走査ユニット、例えばガルバノスキャナを用いたガルバノスキャナユニット(加工ヘッドとも称する)21、22に入力される。各ガルバノスキャナユニット21、22は、加工対象であるプリント基板8上の穴位置へそれぞれ独立してレーザ光を位置決めして、穴あけを行なう。ガルバノスキャナユニット21、22の動作範囲は50mm角程度であるため、これを超える領域を加工するときは、プリント基板8をXYステージ30で移動させる。図において、24は、例えば一方の加工ヘッド(図では第1加工ヘッド21)を移動して2軸の間隔Lを変えるための加工ヘッド移動用軸、32は、プリント基板8をXYステージ30に吸着固定するための吸着プレートである。
【0004】
このような2軸レーザ加工機においては、図2に示す如く、2式のガルバノスキャナユニット21、22間の距離Lによって、同時に加工されるプリント基板8上の領域が決まる。この際、ガルバノスキャナユニット間距離Lとプリント基板上の分割距離は等しくなる。従って、プリント基板8上のどこの位置で分割を行なうかによって、各ガルバノスキャナユニット21、22のどちらが加工を行なうか、好適条件(穴数、穴位置配置等)が変化する。図において、8Hはプリント基板8の加工対象穴である。
【0005】
【特許文献1】
特許第3213882号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来は、加工時間を短縮する最適な分割方法を簡単且つ的確に選択する方法は提案されていなかった。
【0007】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、データの分布や加工方法等によって、加工時間を短縮する最適な分割方法を選択可能とすることを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数(n)個(nは2以上の自然数)の走査ユニットで1枚のワークに加工を行なうレーザ加工機において、複数個のそれぞれの走査ユニットに加工対象位置を振り分ける際に、ワーク上の加工範囲をn等分に分割するようにして、前記課題を解決したものである。
【0009】
本発明は、又、複数個の走査ユニットで1枚のワークに加工を行なうレーザ加工機において、複数個のそれぞれの走査ユニットに加工対象位置を振り分ける際に、加工位置データが、まとまった単位パターンで記述されている場合、その単位パターンの位置に基づいて分割するようにして、前記課題を解決したものである。
【0010】
本発明は、又、前記のデータ分割方法により分割されたデータを用いて加工を行なう加工方法を提供するものである。
【0011】
又、前記のデータ分割方法又は加工方法を実施するためのコンピュータプログラムを提供するものである。
【0012】
本発明は、又、複数(n)個の走査ユニットで1枚のワークに加工を行なうレーザ加工機のために、複数個のそれぞれの走査ユニットに加工対象位置を振り分ける複数軸間データ分割装置において、ワーク上の加工範囲をn等分に分割する手段を備えることにより、同じく前記課題を解決したものである。
【0013】
本発明は、又、複数個の走査ユニットで1枚のワークに加工を行なうレーザ加工機のために、複数個のそれぞれの走査ユニットに加工対象位置を振り分ける複数軸間データ分割装置において、加工位置データが、まとまった単位パターンで記述されている場合、その単位パターンの位置に基づいて分割する手段を備えることにより、同じく前記課題を解決したものである。
【0014】
本発明は、又、前記のデータ分割装置を含む加工装置を提供するものである。
【0015】
又、前記のデータ分割装置又は加工装置を実現するためのコンピュータプログラムを提供するものである。
【0016】
又、前記のコンピュータプログラムが記録された、コンピュータ読取り可能な記録媒体を提供するものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、2軸(n=2)のレーザ穴あけ機に適用した本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0018】
本発明の第1実施形態は、図3に示す如く、プリント基板8上の加工対象穴8Hの穴位置の範囲から左右2等分に分割するものである。
【0019】
具体的には、プリント基板8上の穴座標のうち、X方向の最小座標の穴x1と最大座標の穴x2を抽出し、その2点の座標x1、x2から、次式により、2等分となる分割位置Lを求める。
【0020】
L=(|x1|+|x2|)/2 …(1)
【0021】
左右のガルバノスキャナユニット21、22は、この分割位置Lの間隔で設定する。
【0022】
この分割方法では、各ガルバノスキャナユニット21、22で加工するプリント基板8上の領域は、同じ面積となる。左右の領域内の穴配置は等しくなくても、各ガルバノスキャナユニットからのレーザ光は、決められた穴位置へ導かれる。もし左右のガルバノスキャナユニットの加工ブロック(ガルバノスキャナの稼動範囲内で加工できる範囲)で、穴数が違っていた場合は、穴数が少ない方のレーザ光は、シャッタ等で遮断され、プリント基板8上へは照射されない。
【0023】
本実施形態によれば、穴の配置が左右で等しくなくても、全てのプリント基板に使用できる。又、左右それぞれの領域の穴数が同程度であれば、ほとんどの穴が2穴同時に加工できる。
【0024】
なお、ガルバノスキャナユニットの数は2個に限定されず、同一方向(横方向)にn個ある場合は、次式に示す如く、穴位置データをスキャナユニット数nで割った領域を分割位置とすれば良い。
【0025】
L=(|x1|+|x2|)/n …(2)
【0026】
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
【0027】
本実施形態は、加工穴位置データが、図4に示す如く、m1〜m12のまとまった単位パターン9で記述されている場合、その単位パターンの位置に基づいて分割するものである。
【0028】
具体的には、単位パターン9毎に記述されたプリント基板8上の穴座標から、単位パターンのX方向最小座標の穴(x1)を起点として、各パターン間の等しい距離ピッチPから、次式により、分割位置Lを求める。
【0029】
L=(m/2)×P …(3)
【0030】
ここで、mはX方向のパターン数(2以上の自然数)であり、mが奇数の場合は、次式のように切り上げる。
【0031】
L={(m+1)/2}×P …(4)
【0032】
左右のガルバノスキャナユニット21、22は、この分割位置Lの間隔で設定する。
【0033】
この分割方法では、両方のガルバノスキャナユニット21、22で加工するプリント基板8上の穴配置が等しくなる。従って、パターン列数mが偶数の場合、2個のガルバノスキャナユニット21、22からプリント基板8上に導かれるレーザ光は、常に2つ同時に照射されることになる。なお、パターン列数mが奇数の場合は、1軸のガルバノスキャナユニットへの照射はシャッタ等で遮断される。
【0034】
2軸のガルバノスキャナユニットは、精度維持の為、加工中は移動を行なわないようになっているので、各パターン間の距離ピッチが等しくない場合は、同じピッチ部分のみが2軸同時加工されるので、図5のような位置で手動分割を行うか、CADデータの1番最初に記述するピッチを(ピッチc)にするようにして対応する。これらの場合、パターン(1)及び(2)が同時に加工される。
【0035】
第2実施形態では、同じ加工穴パターンが基板上に配置されていて、左右のガルバノスキャナユニットが、それぞれのパターンの真上になるように分割位置が決定される。その為、各ユニットが受け持つことになる加工エリア内では、同じ加工穴パターンを加工するので、穴数・位置が全く同じになる。
【0036】
従って、各ガルバノスキャナユニットが加工する動作が全く同じになるので、1軸のみの加工(穴数が違う場合は、少ないほうの軸が加工しない)部分が無くなり、加工速度の向上が見込まれる。
【0037】
加工穴パターンが違うパターンが存在した場合は、穴数・位置とも違うので、第1実施形態の場合と同様になり、第2実施形態では分割が出来ない。
【0038】
1部だけが違うパターンの場合は、第1と第2実施形態が混在することになる。
【0039】
但し、違うパターンでもパターン間ピッチが等しい場合は、第2実施形態での分割は可能であるが、パターン内の穴数・位置が違うので第2実施形態のメリットは減少される。
【0040】
なお、前記実施形態においては、いずれも、ビームが光路分岐ユニットにより2つに分岐され、ビーム走査手段がガルバノスキャナユニットとされ、ワーク移動手段がステージとされていたが、2つ以上の複数のビームを得る方法、ビームやワークの走査/移動手段の種類や組合せはこれに限定されず、最初から複数のレーザ発振器を用いたり、例えば出願人が特開2000−71089や特開2000−334634で提案したような、リニアモータXYステージと高速加工機とを組合わせたスクリーンカットシステム、あるいは、フラッシュカットシステムであってもよい。
【0041】
又、適用対象も、点状の穴あけ加工を行なうレーザ穴あけ機に限定されず、線状の加工を行なうレーザ切断機、ヒューズ溶断機、マーキング装置、露光装置等にも同様に適用できる。
【0042】
【発明の効果】
本発明によれば、複数個の各走査ユニットに加工対象位置を振り分ける際に、データの分布や加工方法等によって加工時間を短縮する最適な分割方法を選択可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】2軸レーザ加工機の基本的な構成を示す概略構成図
【図2】2軸レーザ加工機における分割の概念を示す斜視図
【図3】本発明の第1実施形態における2等分分割方法を示す平面図
【図4】本発明の第2実施形態における加工穴パターン分割方法を示す平面図
【図5】第2実施形態で各パターン間のピッチが違う場合の加工穴パターン分割方法を示す平面図
【符号の説明】
8…プリント基板
8H…加工対象穴
9…単位パターン
10…レーザ発振器
12…レーザ光
14…光路分岐ユニット
21、22…ガルバノスキャナユニット(加工ヘッド)
24…加工ヘッド移動用軸
L…ガルバノスキャナユニット間距離
30…XYスステージ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a multi-axis data division method and apparatus for allocating a processing target position to each of a plurality of scanning units in a laser processing machine that processes a single workpiece with a plurality (n) of scanning units. In particular, select the most suitable division method that shortens the processing time by data distribution, processing method, etc., suitable for use in laser drilling machine that irradiates laser beam and performs multiple drilling processing on printed wiring board etc. A method and apparatus for dividing data between multiple axes of a possible laser beam machine, a machining method and apparatus using the data division method and apparatus, a computer program for executing the machining method, and a computer program for realizing the machining apparatus And a computer-readable recording medium recorded in the computer program.
[0002]
[Prior art]
One laser drilling machine that irradiates a laser beam with a plurality of holes on a work such as a printed wiring board is split into two laser beams as proposed by the applicant in
[0003]
In such a biaxial laser processing machine, as shown in FIG. 1, the
[0004]
In such a biaxial laser beam machine, as shown in FIG. 2, the area on the printed
[0005]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 3213882 [0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, conventionally, no method has been proposed for simply and accurately selecting an optimal dividing method for shortening the machining time.
[0007]
The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to make it possible to select an optimal division method that shortens the processing time according to data distribution, a processing method, and the like.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, in a laser processing machine that processes a single workpiece with a plurality (n) (n is a natural number of 2 or more) of scanning units, when a processing target position is allocated to each of a plurality of scanning units, The problem is solved by dividing the machining range on the workpiece into n equal parts.
[0009]
The present invention also provides a unit pattern in which processing position data is collected when a processing target position is assigned to each of a plurality of scanning units in a laser processing machine that processes a workpiece with a plurality of scanning units. The above problem is solved by dividing based on the position of the unit pattern.
[0010]
The present invention also provides a processing method for performing processing using the data divided by the data dividing method.
[0011]
The present invention also provides a computer program for implementing the data dividing method or processing method.
[0012]
The present invention is also directed to a multi-axis data dividing device for assigning a processing target position to each of a plurality of scanning units for a laser processing machine that processes a workpiece with a plurality (n) of scanning units. The above-mentioned problem is similarly solved by providing means for dividing the machining range on the workpiece into n equal parts.
[0013]
The present invention also provides a machining position in a multi-axis data division device that allocates a machining target position to each of a plurality of scanning units for a laser processing machine that performs machining on a single workpiece by a plurality of scanning units. In the case where data is described in a unit pattern, a problem is solved by providing means for dividing the data based on the position of the unit pattern.
[0014]
The present invention also provides a processing apparatus including the data dividing apparatus.
[0015]
The present invention also provides a computer program for realizing the data dividing device or the processing device.
[0016]
The present invention also provides a computer-readable recording medium in which the computer program is recorded.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention applied to a two-axis (n = 2) laser drilling machine will be described in detail with reference to the drawings.
[0018]
In the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, the left and right halves are divided from the range of the hole position of the
[0019]
Specifically, out of the hole coordinates on the printed
[0020]
L = (| x1 | + | x2 |) / 2 (1)
[0021]
The left and right
[0022]
In this division method, regions on the printed
[0023]
According to this embodiment, even if the hole arrangement is not equal on the left and right, it can be used for all printed boards. If the number of holes in each of the left and right regions is about the same, almost all holes can be processed simultaneously.
[0024]
The number of galvano scanner units is not limited to two. When there are n galvano scanner units in the same direction (lateral direction), the area obtained by dividing the hole position data by the number n of scanner units is defined as the division position as shown in the following equation. Just do it.
[0025]
L = (| x1 | + | x2 |) / n (2)
[0026]
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
[0027]
In the present embodiment, when the processing hole position data is described in a unit pattern 9 of m1 to m12 as shown in FIG. 4, the processing hole position data is divided based on the position of the unit pattern.
[0028]
Specifically, from the hole coordinates on the printed
[0029]
L = (m / 2) × P (3)
[0030]
Here, m is the number of patterns in the X direction (a natural number greater than or equal to 2), and when m is an odd number, it is rounded up as follows.
[0031]
L = {(m + 1) / 2} × P (4)
[0032]
The left and right
[0033]
In this dividing method, the hole arrangement on the printed
[0034]
In order to maintain accuracy, the biaxial galvano scanner unit is not moved during machining. Therefore, if the distance pitch between patterns is not equal, only the same pitch portion is machined at the same time. Therefore, manual division is performed at a position as shown in FIG. 5, or the pitch described first in the CAD data is set to (pitch c). In these cases, patterns (1) and (2) are processed simultaneously.
[0035]
In the second embodiment, the same hole pattern is arranged on the substrate, and the division positions are determined so that the left and right galvano scanner units are directly above the respective patterns. For this reason, since the same hole pattern is machined in the machining area that each unit will handle, the number and position of holes are exactly the same.
[0036]
Accordingly, the machining operations of the respective galvano scanner units are exactly the same, so that there is no machining of only one axis (if the number of holes is different, the smaller axis is not machined), and an improvement in machining speed is expected.
[0037]
If there are patterns with different processing hole patterns, the number and positions of the holes are also different. Therefore, the pattern is the same as in the first embodiment, and division is not possible in the second embodiment.
[0038]
In the case where the pattern is different only in one part, the first and second embodiments are mixed.
[0039]
However, if the pitch between patterns is the same even in different patterns, the division in the second embodiment is possible, but the merit of the second embodiment is reduced because the number and positions of holes in the pattern are different.
[0040]
In each of the above embodiments, the beam is split into two by the optical path branching unit, the beam scanning means is the galvano scanner unit, and the workpiece moving means is the stage. The method of obtaining the beam and the type and combination of the beam / workpiece scanning / moving means are not limited to this, and a plurality of laser oscillators may be used from the beginning, for example, by the applicant in JP2000-71089A or JP2000-334634A. A screen cut system combining a linear motor XY stage and a high-speed processing machine as proposed, or a flash cut system may be used.
[0041]
Further, the object of application is not limited to a laser drilling machine that performs spot-like drilling, but can be similarly applied to a laser cutting machine, a fuse fusing machine, a marking device, an exposure device, etc. that perform linear machining.
[0042]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to select an optimal division method that shortens the processing time according to data distribution, a processing method, or the like when a processing target position is allocated to each of a plurality of scanning units.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a basic configuration of a biaxial laser processing machine. FIG. 2 is a perspective view showing a concept of division in the biaxial laser processing machine. FIG. 3 is a second embodiment in the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a plan view showing a processing hole pattern division method according to the second embodiment of the present invention. FIG. 5 is a processing hole pattern division when the pitch between patterns is different in the second embodiment. Plan view showing the method 【Explanation of symbols】
8 ... Printed
24 ... Processing head moving axis L ... Distance between galvano scanner units 30 ... XY stage
Claims (9)
ワーク上の加工範囲をn等分に分割することを特徴とするレーザ加工機の複数軸間データ分割方法。In a laser processing machine that processes one workpiece with a plurality (n) (n is a natural number of 2 or more) of scanning units, when assigning the processing target position to each of the plurality of scanning units,
A method of dividing data between a plurality of axes of a laser beam machine, wherein a machining range on a workpiece is divided into n equal parts.
加工位置データが、まとまった単位パターンで記述されている場合、その単位パターンの位置に基づいて分割することを特徴とするレーザ加工機の複数軸間データ分割方法。In a laser processing machine that processes a workpiece with a plurality of scanning units, when assigning the processing target position to each of the plurality of scanning units,
A method of dividing data between a plurality of axes of a laser beam machine, characterized in that when machining position data is described in a unit pattern, the division is performed based on the position of the unit pattern.
ワーク上の加工範囲をn等分に分割する手段を備えたことを特徴とするレーザ加工機の複数軸間データ分割装置。In a multi-axis data dividing device that allocates a processing target position to each of a plurality of scanning units for a laser processing machine that processes a workpiece with a plurality (n) of scanning units,
A device for dividing data between a plurality of axes of a laser beam machine, comprising means for dividing a machining range on a workpiece into n equal parts.
加工位置データが、まとまった単位パターンで記述されている場合、その単位パターンの位置に基づいて分割する手段を備えたことを特徴とするレーザ加工機の複数軸間データ分割装置。In a multi-axis data dividing device for allocating a processing target position to each of a plurality of scanning units for a laser processing machine that processes a single workpiece with a plurality of scanning units,
An apparatus for dividing data between a plurality of axes of a laser beam machine, comprising means for dividing, when machining position data is described in a unit pattern, based on the position of the unit pattern.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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ID=33289222
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---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN110076458A (en) * | 2019-05-09 | 2019-08-02 | 西安交通大学 | A kind of big width laser processing method |
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KR101270287B1 (en) | 2009-04-24 | 2013-05-31 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | Laser processing method, laser processing system and processing controller |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071119 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080108 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081105 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090224 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090226 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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