JP2001013189A - Control method for circuit board inspection device - Google Patents

Control method for circuit board inspection device

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JP2001013189A
JP2001013189A JP11186565A JP18656599A JP2001013189A JP 2001013189 A JP2001013189 A JP 2001013189A JP 11186565 A JP11186565 A JP 11186565A JP 18656599 A JP18656599 A JP 18656599A JP 2001013189 A JP2001013189 A JP 2001013189A
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JP
Japan
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circuit board
data
moving means
dent
board
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Pending
Application number
JP11186565A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigenori Shinkai
成典 新海
Kenji Ikeda
健司 池田
Tsuneaki Takizawa
恒明 滝沢
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Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To correct a 'kink' present in a table moving means to accurately position an X-Y table. SOLUTION: In advance of inspection of a circuit board D, a surface of an X-Y table 4 is sectionalized into plural blocks, while the X-Y table 4 is moved to a position of a board inspection jig 6 on the basis of preset position designation data in design, and the respective blocks are marked with strike marks by a probe pin. Then, an image of the strike marks of the respective blocks is picked up by a camera 11, and strike mark position data are acquired by an image processing means. Difference between the strike mark position data and the position designation data is calculated and maintained as offset data. When subsequently inspecting the circuit board D, table moving means 2, 3 are controlled with the offset data added to the position designation data.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は回路基板検査装置の
制御方法に関し、さらに詳しく言えば、被検査回路基板
を基板検査治具の位置にまで運ぶX−Yテーブルの移動
制御方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for controlling a circuit board inspection apparatus, and more particularly, to a method for controlling the movement of an XY table for transporting a circuit board to be inspected to a board inspection jig. .

【0002】[0002]

【従来の技術】回路基板検査装置には大きく分けて、ピ
ンボート式とX−Y式とがある。ピンボード式によれ
ば、一度に多点の検査を行なうことができるため、検査
基板数が多い場合に好適とされている。反面、基板の種
類が変わるごとに高価なピンボードを作製する必要があ
る。
2. Description of the Related Art Circuit board inspection apparatuses are roughly classified into a pin boat type and an XY type. According to the pin board method, since multiple points can be inspected at a time, it is suitable when the number of inspection boards is large. On the other hand, it is necessary to produce an expensive pin board every time the type of substrate changes.

【0003】これに対して、X−Y式は2〜3本のプロ
ーブピンをあらかじめプログラムされた位置データに基
づいて検査個所に移動させて検査を行なうものであるた
め、高価なピンボードが不要であり、検査基板数が比較
的少ない場合に好適とされている。しかしながら、1枚
の基板検査にかかる時間が長くなる。
On the other hand, in the XY method, an inspection is performed by moving a few probe pins to an inspection location based on pre-programmed position data, so that an expensive pin board is not required. This is suitable when the number of test boards is relatively small. However, the time required for inspecting one substrate becomes longer.

【0004】このように両方式は一長一短である。そこ
で、折衷案的な方式として、X−Yテーブル式のものが
ある。これは、特に多面取り回路基板の検査に向いてお
り、図4の概略的な模式図により、その基本的な構成に
ついて説明する。
As described above, both types have advantages and disadvantages. Therefore, as an eclectic scheme, there is an XY table type. This is particularly suitable for inspection of a multi-circuit board, and its basic configuration will be described with reference to the schematic diagram of FIG.

【0005】すなわち、この回路基板検査装置1は、X
軸方向に配置されたX軸移動手段2と、Y軸方向に配置
されたY軸移動手段3とを備えている。X軸移動手段2
およびY軸移動手段3は、送りねじ軸もしくはリニアガ
イドレールなどからなり、それぞれ駆動手段としての例
えばサーボモータ2a,3aにより、その送りが制御さ
れる。
That is, this circuit board inspection apparatus 1
The apparatus includes an X-axis moving unit 2 arranged in the axial direction and a Y-axis moving unit 3 arranged in the Y-axis direction. X axis moving means 2
The Y-axis moving means 3 comprises a feed screw shaft, a linear guide rail, or the like, and its feed is controlled by, for example, servo motors 2a and 3a as driving means.

【0006】この例では、Y軸移動手段3がX軸移動手
段2によりX軸方向に移動されるようになされており、
そのY軸移動手段3に被検査回路基板Dが載置されるテ
ーブル4が取り付けられている。したがって、制御手段
としてのCPU(central processin
g unit)5により所定の位置データに基づいてサ
ーボモータ2a,3aを駆動制御することにより、テー
ブル4がX−Y方向に動かされる。
In this example, the Y-axis moving means 3 is moved in the X-axis direction by the X-axis moving means 2,
A table 4 on which the circuit board D to be inspected is mounted is attached to the Y-axis moving means 3. Therefore, CPU (central processin) as control means
g unit) 5 controls the driving of the servomotors 2a and 3a based on the predetermined position data, so that the table 4 is moved in the XY directions.

【0007】テーブル4の移動範囲が図4の鎖線枠内で
あるとすると、その範囲内の所定位置に基板検査治具6
が設けられている。図4には詳しくは示されていない
が、基板検査治具6は複数のプローブピンが植設された
ピンボードを備えている。被検査回路基板Dが複数の回
路基板形成領域を有する多面取り回路基板の場合、ピン
ボードは1つの回路基板形成領域に対応する大きさもし
くは複数の回路基板形成領域に跨る大きさのいずれかと
される。
Assuming that the moving range of the table 4 is within the chain line frame in FIG. 4, the board inspection jig 6 is located at a predetermined position within the range.
Is provided. Although not shown in detail in FIG. 4, the board inspection jig 6 includes a pin board on which a plurality of probe pins are implanted. In the case where the circuit board D to be inspected is a multiple circuit board having a plurality of circuit board formation areas, the pin board has either a size corresponding to one circuit board formation area or a size extending over a plurality of circuit board formation areas. You.

【0008】この回路基板検査装置1によれば、被検査
回路基板(多面取り回路基板)Dはテーブル4上に載置
された状態で、X−Y式のようにX軸移動手段2および
Y軸移動手段3により基板検査治具6の下方位置にまで
運ばれる。そして、基板検査治具6により、ピンボード
式の検査が行なわれる。
According to the circuit board inspecting apparatus 1, the circuit board to be inspected (multiple circuit board) D is placed on the table 4 and the X-axis moving means 2 and Y It is carried to a position below the substrate inspection jig 6 by the axis moving means 3. Then, a pin board type inspection is performed by the substrate inspection jig 6.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年ますま
す回路パターンが高精細化されてきており、これに伴な
ってテーブル4にもμ単位での高い位置精度が要求され
ている。
By the way, in recent years, circuit patterns have been increasingly refined, and accordingly, the table 4 is also required to have a high positional accuracy in μ units.

【0010】しかしながら、X軸移動手段2およびY軸
移動手段3が、送りねじ軸もしくはリニアガイドレール
からなるにしても、その軸やレールには微妙な「よれ」
が存在する。すなわち、図5の拡大図に示されているよ
うに、設計上は図示鎖線のように理想的に真っ直ぐに設
計されるが、実際の加工工程でどうしても図示実線のよ
うな「よれ」が発生してしまう。
However, even if the X-axis moving means 2 and the Y-axis moving means 3 are composed of feed screw shafts or linear guide rails, the shafts and rails are slightly skewed.
Exists. In other words, as shown in the enlarged view of FIG. 5, the design is designed to be ideally straight, as shown by the dashed line in the drawing, but in the actual machining process, the "deformation" as shown by the solid line in the drawing occurs. Would.

【0011】この「よれ」の大きさに規則性はなく位置
によって異なる。したがって、多面取り基板Dの例えば
対角関係にある回路基板形成領域D1とD8とを見た場
合、一方の回路基板形成領域D1を基板検査治具6の下
方に位置させたときの「よれ」の大きさ(ΔX1,ΔY
1)と、回路基板形成領域D8を基板検査治具6の下方
に位置させたときの「よれ」の大きさ(ΔX8,ΔY
8)とが異なることになるため、CPU5で補正するに
しても容易ではなかった。
The size of the "skew" has no regularity and differs depending on the position. Therefore, when looking at, for example, the circuit board forming regions D1 and D8 in a diagonal relationship on the multi-surface substrate D, when one of the circuit board forming regions D1 is positioned below the board inspection jig 6, the “skew” occurs. Size (ΔX1, ΔY
1) and the size of the “skew” (ΔX8, ΔY) when the circuit board formation region D8 is positioned below the board inspection jig 6.
8) is different, so that it is not easy to correct by the CPU 5.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するためになされたもので、その目的は、X−
Y移動手段に存在する「よれ」を補正可能として、X−
Yテーブルの高精度の位置決めを行なうことができるよ
うにした回路基板検査装置の制御方法を提供することに
ある。
The present invention has been made to solve such a problem.
It is possible to correct the “skew” existing in the Y moving means,
An object of the present invention is to provide a control method of a circuit board inspection apparatus capable of performing high-accuracy positioning of a Y table.

【0013】上記目的を達成するため、本発明は、被検
査回路基板が載置されるテーブルと、同テーブルをX軸
方向およびY軸方向に移動させるテーブル移動手段と、
上記テーブルの移動範囲内の所定位置に設けられ、上記
被検査回路基板に対して選択的に接触するプローブピン
を有する基板検査治具と、上記テーブル移動手段および
上記基板検査治具の動作を制御する制御手段とを備え、
上記テーブルを上記基板検査治具の位置にまで移動させ
る際のテーブル移動量を制御する回路基板検査装置の制
御方法において、上記テーブル面上を撮像するカメラお
よびその画像処理手段を備え、上記テーブル面上を複数
のブロックに区画して、上記制御手段にあらかじめ設定
された設計上の位置指定データに基づいて、上記テーブ
ルを上記基板検査治具の位置にまで移動させて上記プロ
ーブピンにて上記各ブロックごとに打痕を付けた後、上
記カメラにより上記各ブロックの打痕を撮像して上記画
像処理手段によりその打痕位置データを求めるととも
に、上記制御手段にて上記打痕位置データと上記位置指
定データとの差を算出し、以後、上記制御手段はその差
データを上記位置指定データに加算して上記テーブル移
動手段を制御することを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention provides a table on which a circuit board to be inspected is mounted, a table moving means for moving the table in the X-axis direction and the Y-axis direction,
A board inspection jig provided at a predetermined position within a moving range of the table and having a probe pin selectively contacting the circuit board to be inspected, and controlling operations of the table moving means and the board inspection jig; Control means for performing
A control method of a circuit board inspection apparatus for controlling a table moving amount when the table is moved to a position of the substrate inspection jig, comprising: a camera for imaging the table surface; The upper part is divided into a plurality of blocks, and the table is moved to the position of the board inspection jig based on the design position designation data set in advance in the control means, and each of the tables is moved by the probe pins. After making a dent for each block, the camera captures the dent of each block, obtains the dent position data by the image processing means, and obtains the dent position data and the position by the control means. After calculating the difference with the designated data, the control means controls the table moving means by adding the difference data to the position designation data. It is characterized in.

【0014】すなわち、回路基板の検査に先立って、テ
ーブルの各ブロックごとにX−Y移動手段の「よれ」に
よる補正データを求め、回路基板の検査時にはその補正
データにより位置指定データを補正する。これによれ
ば、基板検査治具に対して各ブロックを正確に位置決め
することができる。
That is, prior to the inspection of the circuit board, correction data due to the “Y” of the XY moving means is obtained for each block of the table, and when inspecting the circuit board, the position designation data is corrected by the correction data. According to this, each block can be accurately positioned with respect to the board inspection jig.

【0015】被検査回路基板が複数の回路基板形成領域
を有する多面取り回路基板である場合においては、その
各回路基板形成領域に合わせてテーブル面上を複数のブ
ロックに区画することが好ましい。
When the circuit board to be inspected is a multiple circuit board having a plurality of circuit board formation areas, it is preferable to divide the table surface into a plurality of blocks in accordance with each circuit board formation area.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】次に、本発明を図面に示されてい
る実施例により説明する。図1は、この実施例の概略的
な模式図であり、先に説明した図4の従来例と同一もし
くは同一と見なされる部分にはそれと同じ参照符号が付
されている。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention will now be described with reference to an embodiment shown in the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram of this embodiment, and the same reference numerals as those in the conventional example of FIG. 4 described above denote the same parts.

【0017】この回路基板検査装置10においても、X
軸移動手段2とY軸移動手段3とを備えている。各移動
手段2,3は、例えばサーボモータ2a,3aなどによ
り駆動される送りねじ軸もしくはリニアガイドレールな
どであってよい。
In this circuit board inspection apparatus 10, X
An axis moving means 2 and a Y axis moving means 3 are provided. Each of the moving means 2 and 3 may be, for example, a feed screw shaft or a linear guide rail driven by a servo motor 2a, 3a or the like.

【0018】被検査回路基板Dが載置されるテーブル
(X−Yテーブル)4はY軸移動手段3側に取り付けら
れている。この実施例では、Y軸移動手段3がX軸移動
手段2によりX軸方向に移動可能となっているが、テー
ブル4をX軸移動手段2側に設けるとともに、X軸移動
手段2をY軸移動手段3によりY軸方向に移動可能とし
てもよい。
A table (XY table) 4 on which the circuit board D to be inspected is mounted is attached to the Y-axis moving means 3 side. In this embodiment, the Y-axis moving means 3 is movable in the X-axis direction by the X-axis moving means 2, but the table 4 is provided on the X-axis moving means 2 side, and the X-axis moving means 2 is moved to the Y-axis direction. The moving means 3 may be movable in the Y-axis direction.

【0019】いずれにしても、テーブル4の移動範囲内
の所定位置に基板検査治具6が設けられている。図2に
示されているように、基板検査治具6にはピンボード6
bが設けられており、このピンボード6bには複数のプ
ローブピン6aが植設されている。
In any case, the board inspection jig 6 is provided at a predetermined position within the moving range of the table 4. As shown in FIG. 2, the board inspection jig 6 includes a pin board 6.
b is provided, and a plurality of probe pins 6a are implanted on the pin board 6b.

【0020】この基板検査治具6および移動手段の各サ
ーボモータ2a,3aは制御手段としてのCPU5によ
り、その駆動が制御される。この他に、本発明によれ
ば、カメラ(例えばCCDカメラ)11およびその画像
処理手段12を備えている。カメラ11は、好ましくは
基板検査治具6に隣接して配置され、テーブル面上を撮
像する。画像処理手段12にて処理された画像データが
CPU5に送られる。
The driving of the board inspection jig 6 and the servomotors 2a and 3a of the moving means is controlled by the CPU 5 as control means. In addition, according to the present invention, a camera (for example, a CCD camera) 11 and its image processing means 12 are provided. The camera 11 is preferably arranged adjacent to the board inspection jig 6 and captures an image on the table surface. The image data processed by the image processing means 12 is sent to the CPU 5.

【0021】本発明によれば、各移動手段2,3の「よ
れ」による影響を排除するため、テーブル4の移動量は
次のようにして制御される。まず、図3に示されている
ように、テーブル4の面を複数のブロックに区画する。
According to the present invention, the amount of movement of the table 4 is controlled in the following manner in order to eliminate the influence of the "skew" of each of the moving means 2 and 3. First, as shown in FIG. 3, the surface of the table 4 is partitioned into a plurality of blocks.

【0022】この区画は均等区画が好ましい。この実施
例では、4×5のマトリクス状に20ブロックに区画さ
れている。この区画割りは例えばCPU5内で仮想的に
行なわれるが、テーブル4の面上に実際に線を引いても
よい。なおこの実施例によると、テーブル4上に打痕シ
ート4aが載置される。
This section is preferably an equal section. In this embodiment, it is divided into 20 blocks in a 4 × 5 matrix. This partitioning is performed virtually, for example, in the CPU 5, but a line may be actually drawn on the surface of the table 4. According to this embodiment, the dent sheet 4a is placed on the table 4.

【0023】そして、CPU5から各サーボモータ2
a,3aに位置指定データを出力させて、テーブル4の
下方にまで移動させる。この位置指定データは図示しな
い操作部よりCPU5にあらかじめ設定されたもので、
例えば(X1,Y1)などのX,Y座標値で表される。
位置指定データは各ブロックごとに設定される。
Then, each servo motor 2
The position designation data is output to a and 3a, and is moved to below the table 4. The position designation data is preset in the CPU 5 by an operation unit (not shown).
For example, it is represented by X, Y coordinate values such as (X1, Y1).
The position designation data is set for each block.

【0024】これにより、各ブロックが所定の順序でピ
ンボード6bの真下位置に送られ、ピンボード6bの下
降により、各ブロックごとにプローブピン6aにより打
痕シート4aに打痕が付けられる。
As a result, each block is sent to a position immediately below the pin board 6b in a predetermined order, and a dent is made on the dent sheet 4a by the probe pin 6a for each block as the pin board 6b is lowered.

【0025】この打痕付けは、各ブロックごとに1つで
あってもよいし、複数個であってもよい。しかる後、今
度は各ブロックをカメラ11の真下位置に移動させて、
カメラ11で打痕を撮像し、画像処理手段12で打痕の
位置データを得る。この打痕位置データはCPU5に与
えられる。
The number of the dents may be one for each block or a plurality of dents. Then, move each block to the position directly below the camera 11
The dent is imaged by the camera 11, and the position data of the dent is obtained by the image processing means 12. The dent position data is given to the CPU 5.

【0026】CPU5においては、先に各サーボモータ
2a,3aに送出した位置指定データ(本来、打痕が付
けられるべき位置データ)と、打痕位置データ(実際に
付けられた打痕の位置データ)との差(ずれ)を算出
し、その差分をオフセットデータとして保持する。
In the CPU 5, the position designation data previously sent to each of the servomotors 2a and 3a (the position data where a dent should be originally made) and the dent position data (the position data of the dent actually made) ) Is calculated, and the difference is held as offset data.

【0027】そして、以後において行なわれる回路基板
検査時には、CPU5は位置指定データにそのオフセッ
トデータを加算してX軸移動手段2およびY軸移動手段
3の移動量を制御する。これにより、各移動手段2,3
の軸の「よれ」が補正され、μ単位の正確な制御が可能
となる。
Then, at the time of the circuit board inspection performed thereafter, the CPU 5 controls the amount of movement of the X-axis moving means 2 and the Y-axis moving means 3 by adding the offset data to the position designation data. Thereby, each moving means 2, 3
Is corrected, and accurate control in μ units becomes possible.

【0028】なお、被検査回路基板Dが先に説明した多
面取り基板である場合には、その各回路基板形成領域に
合わせて、テーブル4上を複数のブロックに区画するこ
とが好ましい。
When the circuit board D to be inspected is the multiple board described above, it is preferable to divide the table 4 into a plurality of blocks in accordance with each circuit board forming area.

【0029】以上、本発明を具体的な実施例により説明
したが、当業者であるならば容易に思い付くであろう変
形、改変、均等技術はすべて本発明に含まれる。例え
ば、上記実施例では画像処理手段12にて打痕位置デー
タを求め、CPU5でその打痕位置データと位置指定デ
ータの差を求めるようにしているが、画像処理手段12
で設計上打痕が付く座標位置と実際に打たれた打痕位置
とのずれを計測するようにしてもよい。
While the present invention has been described with reference to specific embodiments, all modifications, alterations, and equivalent techniques that can be easily conceived by those skilled in the art are included in the present invention. For example, in the above embodiment, the dent position data is obtained by the image processing means 12 and the difference between the dent position data and the position designation data is obtained by the CPU 5.
The deviation between the coordinate position where a dent is formed due to the design and the position of the dent actually hit may be measured.

【0030】また、上記実施例では、テーブル4上に打
痕シート4aを置いているが、打痕シート4aの代わり
に例えばスプレーなどによりテーブル4上に薄い塗膜を
形成するようにしてもよい。場合によっては、テーブル
4上にじかに打痕を付けるようにしてもよい。
In the above embodiment, the dent sheet 4a is placed on the table 4. However, instead of the dent sheet 4a, a thin coating film may be formed on the table 4 by spraying, for example. . In some cases, a dent may be directly formed on the table 4.

【0031】また、プローブピンにより打痕を付けてい
るが、プローブピンは損傷しやすく、高価でもあるた
め、打痕付けに限っては他のピンに代えてもよい。X軸
移動手段2およびY軸移動手段3の駆動源をサーボモー
タ2a,3aとしているが、駆動源はこれに限定されな
い。
Although the dents are formed by the probe pins, the probe pins are easily damaged and are expensive, so other pins may be used instead of the dents. Although the drive sources of the X-axis moving means 2 and the Y-axis moving means 3 are the servomotors 2a and 3a, the driving sources are not limited to these.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回路基板の検査に先立って、X−Yテーブル面上を複数
のブロックに区画するとともに、あらかじめ設定された
設計上の位置指定データに基づいて、X−Yテーブルを
基板検査治具の位置にまで移動させてプローブピンにて
各ブロックごとに打痕を付けた後、カメラにより各ブロ
ックの打痕を撮像して画像処理手段によりその打痕位置
データを求め、その打痕位置データと位置指定データと
の差を算出してオフセットデータとして保持し、以後の
回路基板検査時においては、そのオフセットデータを位
置指定データに加算してテーブル移動手段を制御するよ
うにしたことにより、テーブル移動手段に存在する「よ
れ」を補正可能として、X−Yテーブルの高精度の位置
決めを行なうことができる。
As described above, according to the present invention,
Prior to the inspection of the circuit board, the XY table surface is divided into a plurality of blocks, and the XY table is moved to the position of the board inspection jig based on preset design position designating data. After moving and making a dent for each block with a probe pin, the dent of each block is imaged with a camera, the dent position data is obtained by image processing means, and the dent position data and position designation data are obtained. Is calculated and held as offset data, and in the subsequent circuit board inspection, the offset data is added to the position designation data to control the table moving means, so that it is present in the table moving means. XY table can be corrected, and the XY table can be positioned with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を概略的に示した模式図。FIG. 1 is a schematic view schematically showing one embodiment of the present invention.

【図2】上記実施例から基板検査治具の部分を摘示した
側面図。
FIG. 2 is a side view showing a part of a board inspection jig from the above embodiment.

【図3】上記実施例において、X−Yテーブル面を複数
のブロックに区画する状態を示した平面図。
FIG. 3 is a plan view showing a state where an XY table surface is divided into a plurality of blocks in the embodiment.

【図4】従来例を示した模式図。FIG. 4 is a schematic diagram showing a conventional example.

【図5】テーブル移動手段に存在する軸の「よれ」を説
明するための説明図。
FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining “skew” of an axis existing in a table moving unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 X軸移動手段 3 Y軸移動手段 4 X−Yテーブル 5 CPU(制御手段) 6 基板検査治具 11 カメラ 12 画像処理手段 D 被検査回路基板(多面取り回路基板) 2 X-axis moving means 3 Y-axis moving means 4 XY table 5 CPU (control means) 6 Board inspection jig 11 Camera 12 Image processing means D Circuit board to be inspected (multi-circuit board)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 滝沢 恒明 長野県上田市大字小泉字桜町81 日置電機 株式会社内 Fターム(参考) 2G011 AC06 AE01 AF06 AF07 2G014 AA02 AA03 AA08 AB59 AC10 2G032 AA00 AE01 AE04 AE12 AF01 AJ04 AK03  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Tsuneaki Takizawa 81 Sakuramachi, Koizumi, Ueda-shi, Nagano F-term (reference) 2G011 AC06 AE01 AF06 AF07 2G014 AA02 AA03 AA08 AB59 AC10 2G032 AA00 AE01 AE04 AE12 AF01 AJ04 AK03

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被検査回路基板が載置されるテーブル
と、同テーブルをX軸方向およびY軸方向に移動させる
テーブル移動手段と、上記テーブルの移動範囲内の所定
位置に設けられ、上記被検査回路基板に対して選択的に
接触するプローブピンを有する基板検査治具と、上記テ
ーブル移動手段および上記基板検査治具の動作を制御す
る制御手段とを備え、上記テーブルを上記基板検査治具
の位置にまで移動させる際のテーブル移動量を制御する
回路基板検査装置の制御方法において、 上記テーブル面上を撮像するカメラおよびその画像処理
手段を備え、上記テーブル面上を複数のブロックに区画
して、上記制御手段にあらかじめ設定された設計上の位
置指定データに基づいて、上記テーブルを上記基板検査
治具の位置にまで移動させて上記プローブピンにて上記
各ブロックごとに打痕を付けた後、上記カメラにより上
記各ブロックの打痕を撮像して上記画像処理手段により
その打痕位置データを求めるとともに、上記制御手段に
て上記打痕位置データと上記位置指定データとの差を算
出し、以後、上記制御手段はその差データを上記位置指
定データに加算して上記テーブル移動手段を制御するこ
とを特徴とする回路基板検査装置の制御方法。
A table on which a circuit board to be inspected is mounted; a table moving means for moving the table in the X-axis direction and the Y-axis direction; and a table moving means provided at a predetermined position within a moving range of the table. A board inspection jig having a probe pin selectively contacting an inspection circuit board; and a control means for controlling operations of the table moving means and the board inspection jig. A control method of a circuit board inspection apparatus for controlling an amount of movement of a table when the table is moved to a position, comprising a camera for imaging the table surface and image processing means for the camera, and dividing the table surface into a plurality of blocks. Then, the table is moved to the position of the board inspection jig based on design position designation data set in advance in the control means, and the table is moved. After making a dent for each of the blocks with a cubing pin, the dent of each of the blocks is imaged by the camera, and the dent position data is obtained by the image processing means. Calculating a difference between the position data and the position designation data, and thereafter, the control means controls the table moving means by adding the difference data to the position designation data; Method.
【請求項2】 上記被検査回路基板が複数の回路基板形
成領域を有する多面取り回路基板である場合において、
上記テーブル面上を複数のブロックに区画するにあたっ
て、上記多面取り回路基板の複数の回路基板形成領域に
合わせて区画することを特徴とする請求項1に記載の回
路基板検査装置の制御方法。
2. In the case where the circuit board to be inspected is a multiple board circuit board having a plurality of circuit board formation regions,
2. The control method according to claim 1, wherein, when the table surface is divided into a plurality of blocks, the plurality of circuit boards are divided in accordance with a plurality of circuit board formation regions.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007121183A (en) * 2005-10-31 2007-05-17 Hioki Ee Corp Device for inspecting circuit board
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