JP2004273950A - ボンディング方法及びボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボンディング位置の座標と、前記ボンディング手段と前記撮像手段とのオフセット量から、前記ボンディング手段がボンディング位置に位置するときの前記撮像手段で撮像可能なチップを算出し、チップのボンディング動作の順序に対応したチップの検出順序を決定するようにする。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイスの組立工程において、被ボンディング部品となるチップ上のパッド(電極)と、このチップが貼着されている被ボンディング部品となるリードフレーム等に形成された外部リードとをボンディングワイヤ等で接続するボンディング方法及びボンディング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、リードフレーム、基板上に複数のLED、トランジスタ等からなるチップを帖着した被ボンディング部品は、ボンディングエリア内で、最初に1つのチップのずれ量を検出し、次に、ずれ量データによりチップ上のパッドの位置を補正して、チップのパッドとリードフレーム上のリードとのボンディングが行われる。以下、所定のチップ数に対してずれ量検出、ボンディングを順次繰り返す。
【0003】
また、最初に、ボンディングエリア内の全チップのずれ量の検出を行い、ずれ量の検出後に一括してパッドとリードとのボンディングを行うこともある。
【0004】
しかしながら、ボンディング工程におけるチップのずれ量の検出と、パッドとリードとのボンディングをシーケンシャルに行っているため、ボンディング工程におけるずれ量の検出時間の占める割合が大きいため、被ボンディング部品の生産性が低かった。
【0005】
このため、ずれ量の検出と同時に、補正されたデータに基づいて検出済デバイスをワイヤボンディングするボンディング方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
【0006】
以下に、特許文献1で開示されたボンディング方法について図7により説明する。検出器(カメラ)は、工具(キャピラリ)から2デバイス分のピッチでボンディングヘッドに取り付けている。最初の10番目のデバイスのペレット(チップ)上の任意の基準の1点又は2点の映像が検出器(カメラ)によって検出記憶され、その後記憶された映像に基づいて基準点に対する実際の検出点のずれ量がコンピュータで算出され、予めコンピュータに記憶されたボンディング点が補正されて記憶される。検出が終了すると、Xモータが1デバイス分駆動して第9番目のペレットの上方に検出器が位置して9番目のデバイスのボンディング点が同様に検出及び補正されて、記憶される。次に、Xモータが1デバイス分駆動して第8番目のペレットの上方に検出器が位置すると、工具は第10番目の上方に位置し、先に検出記憶された第10番目のペレットのボンディング点とリードのボンディング点の検出信号に従ってモータが駆動してボンディングヘッドが移動し、工具がボンディング点に導かれて第10番目のペレットのボンディング点とリードのボンディング点にワイヤを接続してボンディングを行う。このボンディング時にボンディングヘッドが停止している間に第8番目のデバイスのボンディング点が前記と同様に検出及び補正され、コンピュータに記憶される。以後、上記動作を順次繰り返して検出及びワイヤボンディングを行う。
【0007】
図7に示すように、工程1,2においてデバイス第10,第9番目については検出のみを行う。工程3から10においてはデバイス第8から第1について検出を行うと同時にデバイス第10から第3番目についてボンディングを行う。工程11,12においてはデバイス第2,第1番目についてボンディングを行う。
【0008】
これにより、複数のデバイスでボンディングと位置検出とを同時に行うため、ずれ量の検出時間が短縮される。
【0009】
【特許文献1】特開昭58−220435号公報(第6頁、第4図)
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
従来のボンディング方法では、ワイヤボンディングを行う際に、セルフティーチ等で前もつて設定されているパッド及びリードのボンディング位置座標に従って行われる。チップのずれ量の検出は、ボンディングするチップのn個先のチップを検出するシーケンスとなっている。検出したチップのずれ量のデータは、現在ボンディングしているチップのn個先のチップに対応したものである。また、チップのずれ量検出の検出順番とチップをボンディングする順番とは同一となっている。
【0011】
図8(a)に基板30にマトリックス状に帖着したチップ20からなる被ボンディング部品の構成を示す。キャピラリとカメラの距離がX方向に1チップ分の間隔で設定されている場合(図8(a)でキャピラリがチップ番号c1上に位置しているときにカメラはチップ番号c5上に位置する)に、図8(a)に示す被ボンディング部品のボンディングは、図8(b)に示すようにチップ検出の順番とチップボンディングの順番とが同一であるため、XYテーブルに搭載されたカメラ、ボンディング工具としてのキャピラリは、シーケンス4から5、シーケンス8から9、シーケンス12から13で、図8(a)の点線で示すチップ番号c4からチップ番号c5の移動、チップ番号c8からチップ番号c9の移動、チップ番号c12からチップ番号c13の移動の各動作を行う必要がある。これにより、XYテーブルの移動動作が増加するため移動時間が長くなり、ボンディング工程に要する時間が増加して被ボンディング部品の生産数が低下してしまうという課題がある。
【0012】
そこで本発明は、ボンディングの順序に基づいて、最適な検出順序を決定することにより、被ボンディング部品の生産数を向上することが可能なボンディング方法及びボンディング装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明によるボンディング方法は、被ボンディング部品に対してボンディングを行うボンディング手段と、前記ボンディング手段を前記被ボンディング部品に対して二次元的に相対移動させて位置決めを行う位置決め手段と、前記位置決め手段に搭載された前記被ボンディング部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像信号からの画像データより前記被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する検出手段とからなるボンディング方法であって、ボンディング位置の座標と、前記ボンディング手段と前記撮像手段とのオフセット量から、前記ボンディング手段がボンディング位置に位置するときの前記撮像手段で撮像可能な被ボンディング部品としてのチップを算出して、ボンディング動作の順序に対応した前記チップの検出順序を決定するようにしたものである。
【0014】
また、本発明によるボンディング方法は、前記ボンディング手段がボンディング動作中に、ボンディング動作の順序に対応した前記チップの検出順序に基づいて前記撮像手段の画像データから前記検出手段により前記チップのずれ量を検出するようにしたものである。
【0015】
本発明によるボンディング装置は、被ボンディング部品に対してボンディングを行うボンディング手段と、前記ボンディング手段を前記被ボンディング部品に対して二次元的に相対移動させて位置決めを行う位置決め手段と、前記位置決め手段に搭載された前記被ボンディング部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像信号からの画像データより前記被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する検出手段とからなるボンディング装置であって、ボンディング位置の座標と、前記ボンディング手段と前記撮像手段とのオフセット量から、前記ボンディング手段がボンディング位置に位置するときの前記撮像手段で撮像可能な被ボンディング部品としてのチップを算出して、ボンディング動作の順序に対応した前記チップの検出順序を決定するようにしたものである。
【0016】
また、本発明によるボンディング装置は、前記ボンディング手段がボンディング動作中に、ボンディング動作の順序に対応した前記チップの検出順序に基づいて前記撮像手段の画像データから前記検出手段により前記チップのずれ量を検出するようにしたものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明によるボンディング方法及びボンディング装置の実施の形態について説明する。図1は、本発明によるボンディング装置の構成を示すブロック図、図2は、チップのずれ量検出の順番を決定する前検出テーブル作成のフローチャート、図3は、被ボンディング部品としての基板上にマトリックス状に帖着したチップの構成を示す図、図4は、図3に示すトリックス状に形成されたチップの前検出テーブルを示す図である。
【0018】
図1に示すように、ボンディング装置1は、撮像手段としてのカメラ3と、キャピラリ4aが先端に装着されたボンディングアーム4と、ボンディングアーム4を上下に駆動するボンディングヘッド5と、ボンディングアーム4及びボンディングヘッド5からなるボンディング手段及び撮像手段を搭載してX方向及びY方向に二次元的に移動させて位置決めする位置決め手段としてのXYテーブル6と、ボンディングヘッド5によるボンディング作業が行なわれるボンディングステージ8を有する搬送装置7とを備えており、ボンディングステージ8は、複数のチップが長手方向に並べて貼着されたリードフレーム等を加熱するヒータ(図示せず)を有している。
【0019】
また、図1に示すように、ボンディング装置1は、カメラ3からの撮像信号を受けて画像データから被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する検出手段としての画像検出装置10と、画像検出装置10からの映像出力を受けるモニタ11と、マイクロプロセッサ12aを含む制御装置12と、XYテーブル6を手動にて移動させるための信号を制御装置12に出力するマニュピュレータ15と、制御装置12からの指令信号に応じてボンディングヘッド5及びXYテーブル6への駆動信号を発する駆動装置12とが設けられている。
【0020】
また、図1に示すようにボンディングヘッド5に搭載したカメラ3は、キャピラリ4aから離れた位置に取り付けられている。なお、カメラ3の光学系の光軸とボンディングツール4aの軸心との距離をカメラツールオフセットと称する(以下CTDと記す)。通常、CTDは、搬送装置7の搬送方向と同一方向にリードフレーム上のチップ間隔の整数倍になるように設定される。
【0021】
ボンディング作業に先立ち予め行われるセルフティーチに関して説明する。セルフティーチは、ボンディング対象たるパッド及びリード上の各ボンディング位置等に関する各種条件の設定を行うものである。
【0022】
図1に示すように、オペレータは、カメラ3からの撮像信号による画像をモニタ11にて目視しながらマニピュレータ17を操作してXYテーブル6を移動させて、モニタ11の画面上に設けられているクロスライン11aの交点をチップ上の少なくとも1個所の定点に合わせる。図1に示すクロスライン11aの交点をセルフティーチによりチップ上の1個所の定点に合わせたときのXYテーブル6の位置を基準点aと称する。また、オペレータがマニュピュレータ15を操作してXYテーブル6上のカメラ3を移動させて、モニタ11の画面上に設けられているクロスライン11aの交点をチップ上の定点、パッドのボンディング点、リードのボンディング点等に合わせる操作を、以後、目合わせと称する。なお、カメラ3の位置とXYテーブル6の座標の位置とは異なるものであり、モニタ11の画面上からみた場合が目合わせであり、そのときのXYテーブル6の位置座標が基準点aである。
【0023】
そして、チップ上の定点におけるXYテーブル6の基準点aの位置座標が制御装置12内のメモリ(記憶装置)に記憶され、また、XYテーブル6の基準点aでのモニタ11上のウインド11b内のチップの定点を中心とする画像が基準パターンとして画像検出装置10のメモリ(記憶装置)12bに記憶される。
【0024】
前述した基準点aにおける目合わせは、チップ上の定点の目合わせであるが、それに加えてリードフレーム上の1個所の定点に目合わせを行う。図8に示すように、セルフティーチによりリードフレーム上で設定する定点であるXYテーブル6の位置を基準点cとする。
【0025】
そして、XYテーブル6の基準点cの位置座標が制御装置12内のメモリ12bに記憶され、また、XYテーブル6の第3基準点cでのモニタ11上のウインド11b内のリードフレーム上の定点を中心とする画像が基準パターンとして画像検出装置10のメモリに記憶される。
【0026】
なお、上述したセルフティーチではチップ上に基準点を1カ所設定した例であるが、チップ上に基準点を2カ所設定するようにしてもよく、また、リードフレームの搬送形態、リードの大きさ等によりリードフレーム上の基準点を設けなくてもよい。基準点の設定は、チップの種類、搬送形態等により適宜決定するようにする。
【0027】
以上の操作により、チップ及びリードの基準点、基準点における基準パターンが、制御装置12のメモリ12b及び画像検出装置10のメモリに記憶される。
【0028】
次に、XYテーブル6上のカメラ3を移動させてボンディングするパッドおよびリードのボンディング位置に目合わせを行う。以後、順次パッドおよびリードの目合わせを行って、全てのパッド及びリードの目合わせを行う。パッドおよびリードのボンディング点の位置座標を制御装置12内のメモリ12bに記憶する。
【0029】
次に、セルフティーチにより得られたパッドのボンディング位置座標より、チップのずれ量検出とボンディングを同時に行うための、前検出テーブルの作成について図2に示すフローチャートを用いて説明する。
【0030】
なお、図2に示す前検出テーブルの作成プログラムは図1に示す制御回路12の内のメモリ12bに記憶されており、マイクロプロセッサ12aがプログラムを実行することにより、前検出テーブルが作成される。
【0031】
図2に示すように、最初にチップ番号n及び検出チップ番号aの初期化を行う(ステップS1)。なお、チップ番号とは、ボンディングエリア内のチップを特定するための番号であり、ボンディングを行う順番に昇順でチップに番号を付けたものである。例えば、チップ番号n=1では、最初にボンディングするチップを示す。また、検出チップ番号とは、ボンディングの順番を示すチップ番号nに対する、ずれ量の検出を行うチップ番号を示すものである。
【0032】
次に、検出チップ番号aが前検出テーブルに登録済みであるかを、前検出テーブルを参照してチェックする(ステップS2)。検出チップ番号aが前検出テーブルに登録済みの場合には、ステップS7に移行して、検出チップ番号aに1を加算した値を検出チップ番号aとする(ステップS7)。検出チップ番号aが前検出テーブルに未登録の場合には、チップ番号nのボンディング位置座標データと検出チップ番号aのボンディング位置座標データとをメモリ12bから読み出して、チップ番号nと検出チップ番号aとの距離および方向を計算して(ステップS3)、キャピラリ4aがチップ番号nのボンディング位置で、検出チップ番号aのチップをカメラ3が撮像可能かをチェックする(ステップS4)。チェックは、ステップS3で計算した距離および方向がCTDを基準とした所定の範囲内の値であるかを判断することにより行われる。検出チップ番号aのチップがカメラ3で撮像で撮像できない場合には、検出チップ番号aが最終のチップであるかを判断して(ステップS5)、最終チップでない場合には、ステップS7へ移行する。最終チップの場合には、チップ番号nのチップのボンディング位置では、カメラ3で撮像できるチップが存在しないため、前検出テーブルに“0(ゼロ)”を書き込み(ステップS6)、ステップS9に移行する。検出チップ番号aのチップがカメラ3で撮像で撮像できる場合には、前検出テーブルに検出チップ番号である“a”を書き込む(ステップS8)。
【0033】
次に、チップ番号nが最終チップであるかをチェックして(ステップS9)、最終チップでない場合には、チップ番号nに1を加算した値をチップ番号nとし、また、検出チップ番号aの初期化を行って(ステップS10)、ステップS2に移行する。
【0034】
最終チップの場合には、前検出テーブルから未検出チップの抽出を行う(ステップS11)。前検出テーブルより抽出した未検出チップの検出順序を決定する(ステップS12)。なお、未検出チップの検出順序は、CTD及びリードフレーム上のチップの配列からボンディングヘッド5の移動距離が最短となるように決める。以上により、前検出テーブルが作成される。
【0035】
以上述べた前検出テーブルについて基板上にマトリックス状に帖着したチップからなる被ボンディング部品を例に説明する。図3にマトリックス状に帖着したチップからなる被ボンディング部品を示す。また、図3に示す被ボンディング部品を前検出テーブルの作成プログラムによって作成した前検出テーブルを図4に示す。なお、キャピラリ4aとカメラ3の距離がX方向に1チップ分の間隔で設定されている。図4に示すように、ボンディング順序を示すテーブルに記憶された各チップ番号に対応したチップ番号が前検出テーブルに記憶されている。ボンディング順序のテーブルに示すチップ番号c1のボンディング時には、前検出テーブルよりチップ番号c8がカメラ3により撮像される。以下、チップ番号c12のボンディングまで検出動作が同時に行われる。なお、前検出テーブルよりボンディングと同時に検出されないチップ番号は、c1、c2、c3、c4であり、ボンディングのみを行うチップ番号は、c13、c14、c15、c16である。
【0036】
次に、図5に示すフローチャートによりボンディングのシーケンスについて述べる。最初に、制御装置12のメモリ12bに記憶されている前検出テーブルより検出のみを行うチップを検索する(ステップS20)。前検出テーブルのチップ番号からチップ検出位置のデータをメモリ12bから読み出して(ステップS21)、チップ検出位置のデータに基づいてカメラ3をチップの検出位置に移動する(ステップS22)。チップの検出位置に移動後に、画像検出装置10はカメラ3からの画像を取り込んで、チップのずれ量の検出し、ずれ量データを制御装置12に出力する(ステップS23)。検出のみの総てのチップのずれ量の検出が終了したかをチェックして(ステップS24)、終了していない場合には、ステップS21に移行して前検出テーブルより次のチップ検出位置のデータを読み出す。検出のみの総てのチップのずれ量の検出が終了した場合には、メモリ12bよりボンディング位置のデータを読み出して、チップのずれ量データにより位置補正を行い、位置補正したデータにツールオフセットと加算して、加算したデータに基づいてXYテーブル6を移動する。XYテーブル6の移動が完了後に、キャピラリ4aはボンディングすべきチップのパッド上に、また、カメラ3は前検出テーブルで指定されるチップ上にそれぞれ位置している。ボンディング位置でカメラ3によってチップの撮像を行う(ステップS25)。
【0037】
次に、ボンディングヘッド5によりキャピラリ4aを下降させてパッドにワイヤの接続を行う(ステップS26)。画像処理装置は、カメラ3からのチップの画像データよりチップずれ量の検出を行う(ステップS27)。次に、XYテーブル6をリードにボンディング位置に移動して、ボンディングヘッド5によりキャピラリ4aを下降させてリードにワイヤの接続を行う(ステップS28)。次に、検出とボンディングの同時動作を行う総てのチップの動作が終了したかをチェックする(ステップS29)。検出とボンディングの同時動作を行う総てのチップの動作が終了していない場合には、ステップS25に移行して、次のボンディング位置に移動するようにする。検出とボンディングの同時動作を行う総てのチップの動作が終了した場合には、未ボンディングチップのボンディングを行う(ステップS30)。このときには、ボンディングすべきチップのずれ量は既に検出しているため、検出動作は行わない。全チップのボンディングが終了したかをチェックし(ステップS31)、全チップのボンディングが終了していない場合には、ステップS30に移行して未ボンディングチップのボンディングを行う。全チップのボンディングが終了した場合には、搬送装置7でリードフレームの搬送を行う(ステップS32)。
【0038】
図6に、図3に示すチップの検出順序、ボンディング順序のテーブル示す。図6に示すように、シーケンス1から4で、チップ番号c4、c3、c2、c1の順に検出動作を行い、シーケンス5でチップ番号c1のボンディング時に、チップ番号c8の検出を行い、以下シーケンス16まで検出及びボンディングを同時に行い、シーケンス17より残りのチップ番号c13、c14、c15、c16のボンディングを行う。これにより、図3に示すようにXYテーブル6の移動(図3に矢印の線で示す)を最適化することができるため、ボンディング工程の時間を短縮すること可能となり、被ボンディング部品の生産数を増やすことができる。
【0039】
なお、以上述べたボンディング方法及びボンディング装置では、キャピラリとカメラの距離(CTD)がX方向に1チップ分の間隔で設定されている場合について述べたが、リードフレーム、基板等に帖着したチップ間隔の整数倍にCTDを設定した場合にも適用することができる。
【0040】
また、本発明によるボンディング方法及びボンディング装置では、適用可能ななチップはLED、トランジスタに限らず、例えば、チップサイズの小さいICでもよい。
【0041】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のボンディング方法及びボンディング装置によれば、ボンディングの順序に基づいて、最適な検出順序を決定することにより、XYテーブルの無駄な移動がなくなり、被ボンディング部品の生産数を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ボンディング装置の構成を示すブロック図である。
【図2】チップ検出の順序を決定するフローチャートである。
【図3】被ボンディング部品としての基板上にマトリックス状に帖着したチップの構成を示す図である。
【図4】図3に示すマトリックス状に帖着したチップの前検出テーブルを示す図である。
【図5】ボンディングのシーケンスのフローチャートである。
【図6】図3に示す基板上にマトリックス状に帖着したチップのボンディング工程を示す図である。
【図7】従来の検出及びボンディング工程を示す図である。
【図8】(a)は、基板上にマトリックス状に帖着したチップからなる被ボンディング部品の構成図、(b)は、(a)に示す被ボンディング部品の検出及びボンディング工程を示す図である。
【符号の説明】
1 ボンディング装置
3 カメラ
4 ボンディングアーム
4a キャピラリ
5 ボンディングヘッド
6 XYテーブル
7 搬送装置
8 ボンディングステージ
10 画像検出装置
11 モニタ
11a クロスライン
11b ウインド
12 制御装置
12a マイクロプロセッサ
12b メモリ
13 駆動装置
15 マニュピュレータ
20 チップ
30 リードフレーム(基板)
Claims (4)
- 被ボンディング部品に対してボンディングを行うボンディング手段と、前記ボンディング手段を前記被ボンディング部品に対して二次元的に相対移動させて位置決めを行う位置決め手段と、前記位置決め手段に搭載された前記被ボンディング部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像信号からの画像データより前記被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する検出手段とからなるボンディング方法であって、
ボンディング位置の座標と、前記ボンディング手段と前記撮像手段とのオフセット量から、前記ボンディング手段がボンディング位置に位置するときの前記撮像手段で撮像可能な被ボンディング部品としてのチップを算出して、ボンディング動作の順序に対応した前記チップの検出順序を決定することを特徴とするボンディング方法。 - 前記ボンディング手段がボンディング動作中に、ボンディング動作の順序に対応した前記チップの検出順序に基づいて前記撮像手段の画像データから前記検出手段により前記チップのずれ量を検出することを特徴とする請求項1記載のボンディング方法。
- 被ボンディング部品に対してボンディングを行うボンディング手段と、前記ボンディング手段を前記被ボンディング部品に対して二次元的に相対移動させて位置決めを行う位置決め手段と、前記位置決め手段に搭載された前記被ボンディング部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像信号からの画像データより前記被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する検出手段とからなるボンディング装置であって、
ボンディング位置の座標と、前記ボンディング手段と前記撮像手段とのオフセット量から、前記ボンディング手段がボンディング位置に位置するときの前記撮像手段で撮像可能な被ボンディング部品としてのチップを算出して、ボンディング動作の順序に対応した前記チップの検出順序を決定することを特徴とするボンディング装置。 - 前記ボンディング手段がボンディング動作中に、ボンディング動作の順序に対応した前記チップの検出順序に基づいて前記撮像手段の画像データから前記検出手段により前記チップのずれ量を検出することを特徴とする請求項3記載のボンディング装置。
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