JP4124554B2 - ボンディング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイスの組立工程において、被ボンディング部品となるICチップ上のパッド(電極)と、ICチップが貼着されている被ボンディング部品となるリードフレーム等に形成された外部リードとをボンディングワイヤ等で接続するボンディング装置における、前記ICチップ、前記外部リード等の位置の検出を行うことが可能なボンディング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ICチップ上のパッド(電極)と外部リードとを接続するボンディング装置としては、図8に示すようなワイヤボンディング装置が知られている。
【0003】
図8に示すように、ワイヤボンディング装置は、カメラヘッド1a、光学レンズ1b(以下レンズという)等を備えた撮像手段としてのカメラ1と、キャピラリ2aが先端に装着されたボンディングアーム2と、ボンディングアーム2を上下に駆動するボンディングヘッド3と、ボンディングアーム2及びボンディングヘッド3からなるボンディング手段及び撮像手段を搭載してX方向及びY方向に二次元的に移動させて位置決めする位置決め手段としてのXYテーブル4と、キャピラリ2a及びボンディングアーム2等からなるボンディングヘッド3によるボンディング作業が行なわれるボンディングステージ7を有する搬送装置5とを備えている。また、ボンディングステージ7は、リードフレームL/F等を加熱するヒータ7aを有している。
【0004】
また、図8に示すように、ワイヤボンディング装置は、カメラ1からの撮像信号を受ける画像処理装置30と、画像処理装置30からの出力を受けるモニタ9と、マイクロプロセッサを含む制御装置10と、XYテーブル4を手動にて移動させるための信号を制御装置10に出力するマニュピュレータ17と、制御装置10からの指令信号に応じてボンディングヘッド3及びXYテーブル4への駆動信号を発する駆動装置11とが設けられている。
【0005】
ワイヤボンディング装置においては、図9に示すように、複数のICチップ6が長手方向に並べて貼着されたリードフレームL/Fが扱われる。図8に示すように、作業開始に際して搬送装置5により加熱されているボンディングステージ7上にリードフレームL/Fが搬入され、且つ、最先のICチップ6がボンディング作業位置に位置決めされる。この状態で、上記ボンディングアーム2及びXYテーブル4が作動されて最先のICチップ6に関するボンディング作業が行われる。
【0006】
ICチップ6は、例えば正方形にしてその上面外周に沿って多数のパッド12aが並設され、リードフレームL/Fに形成されたランド部14に貼着されている。そして、リードフレームL/Fには、これらパッド12a各々に対応するリード20が設けられている。
【0007】
次に、ボンディング作業に先立ち予め行われるセルフティーチに関して説明する。セルフティーチは、ボンディング対象たるパッド12a及びリード20上の各ボンディング位置等に関する各種条件の設定を行うものである。
【0008】
図8に示すように、作業者は、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニュピュレータ17を操作して前記XYテーブル4を移動させて、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点をICチップ6上の少なくとも2個所の定点に合わせる。なお、クロスライン9aの交点をICチップ6上の2個所の定点に合わせたときのXYテーブル4の位置を第1基準点及び第2基準点と称する。
【0009】
ICチップ6上の定点でのXYテーブル4の第1基準点及び第2基準点の位置座標が制御装置10内のメモリ(記憶装置)に記憶され、また、XYテーブル4の第1基準点及び第2基準点でのモニタ9上のウインド9b内のICチップ6の定点を中心とする画像が基準パターンとして画像処理装置30のメモリ(記憶装置)に記憶される。
【0010】
次に、カメラ1からの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニュピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させて、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点をリードフレームL/F上の1個所の定点に合わせる。なお、リードフレームL/F上の定点に合わせたときのXYテーブル4の位置を第3基準点と称する。XYテーブル4の第3基準点の位置座標が制御装置10内のメモリに記憶され、また、XYテーブル4の第3基準点でのモニタ9上のウインド9b内のリードフレームL/F上の定点を中心とする画像が基準パターンとして画像処理装置30のメモリに記憶される。
【0011】
次に、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点に、マニュピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させてリード20又はパッド12a上の所定位置、すなわちボンディングを行うべき位置に可能な限り正確に合わせる(この操作を目合わせと称する)。目合わせが完了した時点で、XYテーブル4の位置をボンディング点の位置座標として制御装置10内のメモリに記憶する。
【0012】
以下、全てのパッド12a及びリード20の目合わせを行い、ボンディング点の位置座標を制御装置10内のメモリに記憶する。
【0013】
次に、ボンディング装置によるワイヤボンディングの動作について説明を行う。ワイヤボンディング作業では、最初に、ICチップ6、リード20のずれ量の検出が行われる。
【0014】
図9に示すように、リードフレームL/F上に複数のICチップ6が長手方向に導電性の接合材で並べて貼着されたICチップ6の位置は、貼着されるべき所定の位置に対してずれた位置となっている場合がある(図9の破線で示す6’がICチップ6の所定の位置である)。また、搬送装置5でリードフレームL/Fをボンディングステージ7上に搬送したとき、ボンディングステージ7上でのリードフレームL/Fの位置がX方向にばらつくことがある。
【0015】
このためワイヤボンディング作業を行う前に、セルフティーチで設定されたICチップ6上の2個所の定点の位置を検出して、ICチップ6の所定の位置に対するずれ量を算出する。
【0016】
ICチップ6のずれ量の算出は、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1を第1基準点(図9のa)及び第2基準点(図9のb)に移動して、XYテーブル4の移動完了後カメラ1でICチップ6を撮像し、その撮像信号を画像処理装置30に入力して画像認識を行い、第1基準点及び第2基準点からのICチップ6上の定点(図9に示す、a’、b’)までの各ずれ量(図9のΔXa、ΔYa及びΔXb、ΔYb))を求める。前記ずれ量のデータに基づき予め記憶された各パッド12aのボンディング位置座標を演算して、ICチップ6のボンディングすべきパッド12aの位置を算出する。
【0017】
また、第2ボンディング点となるリード20の位置もリードフレームL/F上の1個所の定点の位置を検出して、リードフレームL/F上の所定の位置に対するずれ量を算出する。すなわち、リードフレームL/Fのずれ量は、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1を第3基準点に移動して、XYテーブル4の移動完了後カメラ1でリードフレームL/Fを撮像し、その撮像信号を画像処理装置30に入力し、第3基準点からのリードフレーム上の定点のずれ量を求め、このずれ量に基づき予め記憶されたリード20のボンディング位置座標を演算してリード20の位置を求める。
【0018】
また、リード20の本数が多く、各リード20の位置がばらついている場合には、リードロケイタ(リードのボンディング位置を画像認識により検出する機能)により各リード20の位置を検出してリードのボンディング位置座標の修正を行い、実際のリード20の位置を求める。
【0019】
以上説明したICチップ6のパッド12a及びリード20の各位置を検出後、ボンディングアーム2の先端にボールが形成されたワイヤが挿通されたキャピラリ2aをXYテーブル4の作動によりボンディング位置座標に基づきパッド12aの直上に位置決めする。
【0020】
この位置決めが完了したら、図8に示すボンディングヘッド3によりボンディングアーム2を駆動しキャピラリ2aを下降させ、パッド12a上のボールを押しつぶして熱圧着ボンディングを行う。このとき、図示しない超音波励振手段を用いてキャピラリ2aを励振することも行われる。
【0021】
この第1ボンディング点への接続が終わると、ボンディングアーム2の昇降動作及びXYテーブル4の動作が適時行われ、所定のループコントロールに従ってワイヤが引き出され、第1ボンディング点に対すると同様にしてリード20上の第2ボンディング点へのボンディングが行われ、ワイヤがリード20上に圧接される。その後、ボンディングアーム2を所定の高さまで上昇させる過程でワイヤのカットが行われ、一組のパッド12a及びリード20の接続が完了する。以後、ICチップ6に設けられた各パッド12aとこれらに対応して配設された各リード20について上記の一連の動作が繰り返される。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、従来のワイヤボンディング装置では、ワイヤボンディングを行う際に、前もつて設定されている第1基準点、第2基準点及び第3基準点にXYテーブル4上に搭載されたカメラ1を移動し、XYテーブル4の移動完了後カメラ1で被ボンディング部品となるICチップ6及びリードフレームL/Fを撮像し、その撮像信号を画像処理装置30に入力して画像処理を行い、各基準点からICチップ上の定点及びリードフレームL/F上の定点の各ずれ量を求め、このずれ量に基づいて予め記憶されているパッド及びリード20のボンディング位置座標の補正を行い、補正した各パッドの位置及び各リード20の位置にワイヤをボンディング接続する。
【0023】
近年、半導体デバイスの小型化、軽量化に伴って、ICチップ6のパットサイズの縮小化及びリード20の幅の微細化が行われている。このため、ボンディングにおけるICチップ6のパッド12a上のボールの位置の精度及びリード20上のワイヤの圧接位置の精度を高める必要がある。
【0024】
パッド12a上のボールの位置の精度及びリード20上のワイヤの圧接位置の精度を高めるには、高倍率のレンズを使用して、ICチップ6及びリードフレームL/Fの各定点のずれ量の検出精度を向上させることが必要となる。しかしながら、レンズ1bの倍率等を大きくすることにより、カメラ1の撮像範囲が狭くなり、ICチップ6上の定点がカメラ1の撮像範囲外に位置することがあり、ICチップ6上の定点を検出できないときがある。
【0025】
例えば、同一のカメラ1でレンズの倍率を4倍から6倍に変更すると、図10に示すように6倍のレンズでの撮像範囲は、4倍のレンズと比較して4倍のレンズの撮像範囲の56%に減少する。このため、図10に示すように、4倍のレンズの撮像範囲内に位置していたICチップ6の定点が、6倍のレンズでは撮像範囲外に位置することがある。
【0026】
従って、従来のレンズの倍率では検出できていたものが、レンズの倍率を大きくすることにより、ICチップ6上の定点又はリードフレームL/F上の定点を検出できないときがある。
【0027】
これに対して、高倍率のレンズを用いて撮像範囲を広げる手段としては、図11に示すように基準点Oを中心としてXYテーブル4上に搭載されたカメラ1をa、b、c、dの位置へ順に移動して、各位置でずれ量を検出することにより、撮像範囲を図11に示す実線の枠より点線の枠までに広げることが可能となる。しかしながら、XYテーブル4上に搭載されたカメラ1の移動の順序は、前もって固定されており、リードフレームL/Fのランド部14上に貼着されたICチップ6の位置によっては、最大4回のXYテーブル4の移動動作及び検出動作が必要となる。このため、XYテーブル4の移動時間及びずれ量の検出時間が増加して、ボンディング工程における半導体デバイスの生産数が低下してしまう。このため、ICチップ6等の定点がカメラ1の撮像範囲外であっても、短時間でずれ量を検出することが望まれている。
【0028】
そこで、本発明は、従来のボンディング装置が有する課題に鑑みてなされたものであり、撮像手段は、被ボンディング部品の視野の中心を共有した撮像範囲の異なる撮像信号を出力する出力手段を具備し、前記撮像手段の出力手段からの撮像範囲の異なる撮像信号を指定範囲より画像データとして切り出す画像切り出し手段とを備え、画像切り出し手段で切り出された画像データをテンプレートとして、撮像範囲の異なる撮像信号と該撮像信号のテンプレートとのパターンマッチングを行い、被ボンディング部品の定点のずれ量の検出を高速で行うことが可能なボンディング装置を提供することを目的としている。
【0029】
【課題を解決するための手段】
本発明によるボンディング装置は、被ボンディング部品に対する視野の中心を共有し、レンズ倍率の異なる2種類の光学レンズと撮像素子からなり、前記光学レンズのレンズ倍率に基づいた撮像範囲の異なる撮像信号を出力する撮像手段と、前記光学レンズ毎の前記撮像手段からの撮像信号を選択する切替手段と、前記切替手段で選択した撮像信号を画像データに変換して前記被ボンディング部品の定点を含む指定範囲より基準パターンとして切り出す画像切り出し手段と、光学レンズ毎の前記基準パターンを記憶する記憶手段と、前記切替手段で選択した光学レンズの前記撮像手段の撮像信号から変換した画像データと該光学レンズに対応した前記記憶手段の基準パターンとのパターンマッチングを行って被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する画像認識装置とからなる前記画像認識手段とを備え、ボンディング時に、前記画像認識手段は、撮像範囲の狭い前記光学レンズの前記撮像手段からの撮像信号による前記パターンマッチングを行い、前記パターンマッチングがエラーとなったとき、撮像範囲の広い前記光学レンズの前記撮像手段からの撮像信号による前記パターンマッチングを行って、前記被ボンディング部品の定点が撮像範囲の狭い前記光学レンズの撮像範囲外であってもずれ量を検出できるようにしたものである。
【0031】
また、本発明によるボンディング装置の前記画像認識手段の前記画像切り出し手段は、撮像範囲の異なる一方の撮像信号の基準パターンを切り出す指定範囲のデータから、撮像範囲の異なる他方の撮像信号の前記被ボンディング部品上での基準パターンとして切り出す範囲が撮像範囲の異なる一方の撮像信号のものと同一となるように、撮像範囲の異なる他方の撮像信号の指定範囲のデータを算出し、算出した該データにより撮像範囲の異なる他方の撮像信号の基準パターンを切り出すようにしたものである。
【0033】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明によるボンディング装置について説明する。なお、図8に示す従来のワイヤボンディング装置と同一の構成及び機能を有する部分については、同じ符号を用いて説明する。
【0034】
図1に示すように、本発明によるボンディング装置は、被ボンディング部品の撮像を行う撮像手段としてのカメラ21とボンディングアーム2の先端に取り付けられたキャピラリ2a等を含むボンディング手段としてのボンディングヘッド3と、カメラ21及びボンディングヘッド3をX方向及びY方向の二次元方向に移動可能な位置決め手段としてのXYテーブル(XYステージ)4と、カメラ21によって撮像される被ボンディング部品としてのICチップ6を搭載したリードフレームL/Fをボンディングステージ7へ搬送する搬送装置5と、カメラ21からの出力を受けて被ボンディング部品の定点の位置の検出を行う画像認識手段としての画像認識装置8と、この画像認識装置8からの出力を受ける表示手段としてのモニタ9と、駆動手段としての駆動装置11への制御信号を生成するマイクロプロセッサ及び情報を記憶するメモリ(記憶装置)を含む制御装置10と、XYテーブル4を手動にて移動させるための信号を制御装置10に出力するマニュピュレータ17と、制御装置10からの指令信号に応じてボンディングヘッド3及びXYテーブル4への駆動信号を発する駆動手段としての駆動装置11とが設けられている。また、制御装置10には、画像の切り出し範囲等を設定するキーボード(図示せず)が接続されている。
【0035】
次に、図1に示す画像認識装置8の構成について図2を参照して説明する。
【0036】
図2に示すように、画像認識装置8は、図2に示すように、クロック信号生成回路8aと、クロック信号生成回路8aからのクロック及び制御回路8fからの信号によりカメラ21に水平及び垂直同期信号などのカメラ制御信号を出力するカメラ制御信号生成回路8bと、カメラ21からの撮像信号を切り替えて増幅器8cに入力するカメラ切替回路8pと、カメラ切替回路8pから出力される撮像信号を増幅する増幅器8cと、増幅器8cから出力される信号を多値化又は二値化のデジタル値(画像データ)に変換する変換器8eと、変換器8eから出力される画像データとのパターンマッチング等の画像認識を行う画像処理回路8dと、位置検出用基準パターン等を記憶する記憶手段としての画像メモリ8gと、画像処理回路8d、カメラ制御信号生成回路8b等の制御を行うマイクロコンピュータを内蔵した制御回路8fと、制御回路8fからの制御信号によりモニタ9への表示信号を切り替え制御する表示制御回路8mと、制御装置10との通信を行う入出力回路8hよりなる。
【0037】
図3は、撮像手段としてのカメラ21の外観を示す図である。
【0038】
図3に示すように、カメラ21はレンズ21c、カメラヘッド21a及びカメラヘッド21dからなり、カメラヘッド21a及びカメラヘッド21dは固体撮像素子をそれそれ内蔵している。
【0039】
レンズ21cは、対物レンズ等のレンズ、ハーフミラー、プリズム等の偏光素子で構成されている。図4に示すようにレンズ21cの対物レンズ(図示せず)を通った入射光は2分割され、カメラヘッド21a及びカメラヘッド21dの各固体撮像素子の撮像面の手前に位置するレンズ倍率の異なる接眼レンズ(図示せず)により、倍率の異なる像が各固体撮像素子の撮像面に結像させる。
【0040】
なお、本発明では、カメラヘッド21aのレンズ倍率は6倍であり、カメラヘッド21dのレンズ倍率は3倍のレンズを使用している。また、カメラヘッド21a及びカメラヘッド21dは、同一の撮像エリアを持つ固体撮像素子を使用している。
【0041】
以上の構成よりなる撮像手段としてのカメラのカメラヘッド21a及びカメラヘッド21dの各固体撮像素子の撮像面には、視野の中心を共有した像が結像される。すなわち、図1に示すカメラ21は、被ボンディング部品を撮像したときのカメラヘッド21a及びカメラヘッド21dの各画像の中心位置は同じであり、撮像範囲の異なる撮像信号を出力する出力手段を備えている。
【0042】
なお、レンズ倍率3倍のカメラヘッド21dの撮像範囲は、レンズ倍率6倍のカメラヘッド21aの撮像範囲の4倍であり、撮像範囲の縦及び横の長さは、レンズ倍率6倍のカメラヘッド21aの2倍となる。以後、高倍率(倍率6倍)のレンズ使用したカメラヘッド21aを高倍率カメラと称し、低倍率(倍率3倍)のレンズ使用したカメラヘッド21dを低倍率カメラとそれぞれ称する。
【0043】
また、制御装置10のメモリには、以下に説明するセルフティーチ、ずれ量の検出等の各動作を行う制御プログラムが内蔵されている。
【0044】
以下に、上記構成よりなるボンディング装置におけるICチップ6の2個所の定点及びリードフレームL/F上の定点の各ずれ量を検出するための、各種の条件を設定するセルフティーチについて図5に示すフローチャートを用いて説明する。なお、セルフティーチ及び後述するずれ量の検出動作に於ける高倍率カメラ21a又は低倍率カメラ21dの選択は、画像認識装置8のカメラ切替回路8pの制御により自動選択されるようになっている。
【0045】
図1に示すように、画像認識装置8のカメラ切替回路8pにより高倍率カメラ21aを選択して、高倍率カメラ21aの撮像信号を増幅器8cに入力する。作業者は、高倍率カメラ21aからの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニュピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させて、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点をICチップ6上の第1の定点に合わせる(ステップS1)。ICチップ6上の定点にクロスライン9aの交点の合わせが完了後、モニタ9上の高倍率カメラ21aの切り出し範囲を表示するウインド9bのサイズを前記制御装置10に接続しているキーボード(図示せず)より設定する(ステップS2)。設定した切り出し範囲のデータは、制御装置10から画像認識装置8の入出力回路8hに出力されて制御回路8fで読み取られる。制御回路8fは、切り出し範囲を画像認識装置8の画像切り出し回路8kに設定後、XYテーブル4の位置座標を第1基準点として制御装置10内のメモリに記憶し(ステップS3)、また、第1基準点のモニタ9上のウインド9b内の画像が高倍率カメラ21aの基準パターンとして画像切り出し回路8kで切り出されて画像認識装置8の画像メモリ8gに記憶される(ステップS4)。
【0046】
次に、画像認識装置8のカメラ切替回路8pにより低倍率カメラ21dを選択して低倍率カメラ21dの撮像信号を増幅器8cに入力する。ステップS2で前記高倍率カメラ21aで設定した切り出し範囲より切り出した基準パターンと同じパターンを切り出す範囲を演算して演算結果のデータを低倍率カメラ21dの切り出し範囲として画像切り出し回路8kに設定して(ステップS5)、切り出した画像データを低倍率カメラ21dの基準パターンとして画像認識装置8の画像メモリ8gに記憶する(ステップS6)。
【0047】
次に、低倍率カメラ21dでの切り出す範囲の算出法を図6を参照して説明する。
【0048】
図6(a)に示すように、高倍率カメラ21aの撮像範囲をX方向にXh、Y方向にYhとし、また、低倍率カメラ21dの撮像範囲をX方向にXt、Y方向にYtとし、ステップ2で設定した切り出し範囲をXch、Ychとすると、低倍率カメラ21dの切り出し範囲Xct、Yctは、Xct=Xh/Xt×Xch、Yct=Yh/Yt×Ychより算出して、算出した切り出し範囲Xct、Yctを画像切り出し回路8k(図2に図示)に設定して切り出すことにより、高倍率カメラ21aで切り出した基準パターンと同一の圧縮したパターンを低倍率カメラ21dの画像データから切り出すことができる。
【0049】
図6(b)は、高倍率カメラ21aで切り出した基準パターンを示し、図6(c)は、低倍率カメラ21dで切り出した基準パターンを示す図である。
【0050】
図6(c)に示すように、低倍率カメラ21dの切り出した基準パターンは、高倍率カメラ21aの基準パターンを圧縮したものとなっている。
【0051】
次に、図1に示すように、画像認識装置8のカメラ切替回路8pにより高倍率カメラ21aを選択して高倍率カメラ21aの撮像信号を増幅器8cに入力する。高倍率カメラ21aからの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニュピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動し、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点をICチップ6上の第2の定点に合わせる(ステップS7)。ICチップ6上の定点にクロスライン9aの交点の合わせが完了後、モニタ9上の切り出し範囲を表示するウインド9bのサイズを設定する(ステップS8)。ただし、第1基準点と同一の切り出し範囲のときには、この操作は不要である。
【0052】
前記切り出し範囲の設定完了後、XYテーブル4の位置座標を第2基準点として制御装置10内のメモリに記憶して(ステップS9)、また、第2基準点のモニタ9上のウインド9b内の画像が高倍率カメラ21aの基準パターンとして画像認識装置8の画像切り出し回路8kで切り出されて、画像メモリ8gに記憶する(ステップS10)。
【0053】
次に、画像認識装置8のカメラ切替回路8pにより低倍率カメラ21dを選択して、低倍率カメラ21dの撮像信号を増幅器8cに入力する。低倍率カメラ21dの撮像信号から、高倍率カメラ21aで切り出し範囲の基準パターンと同じパターンを切り出す範囲を演算して、演算結果のデータを画像切り出し回路8kに設定して(ステップS11)、切り出した画像データを低倍率カメラ21dの基準パターンとして画像認識装置8の画像メモリ8gに記憶する(ステップS12)。
【0054】
次に、画像認識装置8のカメラ切替回路8pにより高倍率カメラ21aを選択して、高倍率カメラ21aの撮像信号を増幅器8cに入力する。高倍率カメラ21aからの撮像信号による画像をモニタ9にて目視しながらマニュピュレータ17を操作してXYテーブル4を移動させて、モニタ9の画面上に設けられているクロスライン9aの交点をリードフレームL/F上の定点に合わせる(ステップS13)。リードフレームL/F上の定点にクロスライン9aの交点の合わせが完了後、モニタ9上の切り出し範囲を表示するウインド9bのサイズを設定する(ステップS14)。ただし、第2基準点と同一の切り出し範囲のときには、この操作は不要である。
【0055】
前記切り出し範囲の設定完了後、XYテーブル4の位置座標が第3基準点として制御装置10内のメモリに記憶し(ステップS15)、第3基準点のモニタ9上のウインド9b内の画像が高倍率カメラ21aの基準パターンとして画像認識装置8の画像切り出し回路8kで切り出されて、画像メモリ8g(記憶装置)に記憶される(ステップS16)。
【0056】
次に、画像認識装置8のカメラ切替回路8pにより低倍率カメラ21dを選択して撮像信号を増幅器8cに入力する。低倍率カメラ21dの撮像信号から高倍率カメラ21aで切り出し範囲の基準パターンと同じパターンを切り出す範囲を演算して、演算結果のデータを画像切り出し回路8kに設定して(ステップS17)、切り出した画像データを低倍率カメラ21dの基準パターンとして画像認識装置8の画像メモリ8gに記憶する(ステップS18)。
【0057】
以上により、ICチップ及びリードフレーム上の定点のずれ量の検出を行うための各基準点の位置座標、各基準点に対応した高倍率カメラ21aの基準パターン及び低倍率カメラ21dの基準パターンの設定が完了する。
【0058】
次に、ICチップ上の定点の基準点からのずれ量の検出について説明するが、その前に、画像認識装置8と制御装置10とのずれ量の処理形態について説明する。
【0059】
画像認識装置8でのずれ量の検出処理は、画素単位で行われる。このため、高倍率カメラ21aと低倍率カメラ21dとでは、画像認識装置8におけるX軸及びY軸の1画素当たりの実際の長さ(μm)はそれぞれ異なった値となっている。また、制御装置10でのずれ量は、μm単位で処理する。そこで、画像認識装置8の1画素当たりの実際の長さ(μm)を表す係数を、高倍率カメラ21a及び低倍率カメラ21d用にワイヤボンディング装置上で前もつて自動計測して、制御装置10のメモリに倍率係数として記憶しておき、制御装置10でのずれ量の算出は、倍率係数と画像認識装置8から出力される画素単位のずれ量とを乗算して行う。なお、高倍率カメラ21aのX軸用の倍率係数をKhx、Y軸用の倍率係数をKhyとして、また、低倍率カメラ21dのX軸用の倍率係数をKsx、Y軸用の倍率係数をKsyとして以下に説明する。
【0060】
図7は、ICチップ上の定点の基準点からのずれ量の検出を説明するフローチャートである。
【0061】
図1、図2、図7に示すように、リードフレームL/Fを収納したマガジン(図示せず)からリードフレームL/Fがボンディングステージ7上に搬送されると、制御装置10は、制御装置10のメモリに記憶されている基準点情報に基づき駆動装置12を駆動させてXYテーブル4上に搭載されたカメラ21を前述したセルフティーチで設定した第1基準点の位置へ移動させる(ステップS30)。なお、前記第1基準点の位置座標を(Xp1、Yp1)とする。この時カメラ21の中心(検出範囲の中心)は、前記第1基準点の位置座標(Xp1、Yp1)に位置している。
【0062】
次に、制御装置10は、XYテーブル4の移動完了を確認後、画像認識装置8の制御回路8fにずれ量を検出するための制御信号を出力する。画像認識装置8の制御回路8fは、第1基準点の基準パターンとして記憶されている高倍率カメラ21a用の基準パターンを画像メモリ8gより読み出して画像処理回路8dへ転送し、転送完了後、画像処理回路8dに位置検出処理の制御信号を出力する。
【0063】
高倍率カメラ21aからの撮像信号は、増幅器8cで増幅して、変換器8eより画像処理回路8dへ入力する(ステップS31)。画像処理回路8dは入力された高倍率カメラ21aの画像データと画像メモリ8gから転送された高倍率カメラ21a用の基準パターンとのパターンマッチングを行い(ステップS32)、パターンマッチング結果の良否及びずれ量(画素単位)が、制御回路8fから制御装置10へ出力される。なお、X軸における画素単位の前記ずれ量をΔXhd、Y軸における画素単位の前記ずれ量をΔYhdとする。制御装置10は、制御回路8fから出力されたパターンマッチング結果の良否を判定して(ステップS33)、パターンマッチング結果が良のとき、正常に検出したと判断し、ステップS41のずれ量の算出を行い、XYテーブル4を次の基準点に移動するよう制御する。前記制御装置10によるステップS41のずれ量の算出は、以下の演算により行われる。すなわち、ステップS33で正常に検出されたと判断したときの定点のμm単位のずれ量をΔXa、ΔYaとすると、前記μm単位のずれ量ΔXa、ΔYaは、ΔXa=Khx×△Xhd、ΔYa=Khy×△Yhdより算出される。但し、Khx及びKhyは、高倍率カメラ21dにおける定数としての倍率係数を示す。
【0064】
一方、パターンマッチング結果が否のときは、検出が正常に行われなかったと判断し、以下の動作を行う。
【0065】
画像認識装置8の制御回路8fは、第1基準点の基準パターンとして記憶されている低倍率カメラ21d用の基準パターンを画像メモリ8gより読み出して画像処理回路8dへ転送する。画像認識装置8のカメラ切替回路8pにより低倍率カメラ21dを選択して、低倍率カメラ21dの撮像信号を増幅器8cに入力して、変換器8eより画像処理回路8dへ入力する(ステップS34)。画像処理回路8dは、低倍率カメラ21dの画像データと低倍率カメラ21d用の基準パターンとのパターンマッチングを行い(ステップS35)、パターンマッチング結果の良否及びずれ量(画素単位)を、制御回路8fから制御装置10へ出力する。なお、X軸における画素単位の前記ずれ量をΔXsd、Y軸における画素単位の前記ずれ量をΔYsdとする。
【0066】
制御装置10は、制御回路8fから出力されたパターンマッチング結果の良否を判定し(ステップS36)、パターンマッチング結果が良のとき、正常に検出したと判断し、ステップS37以後の動作に移行する。一方、パターンマッチング結果が否のときは、検出が正常に行われなかったと判断し、エラー信号を出力して(ステップS42)動作を停止する。
【0067】
ステップS36で正常に検出したと判断した場合には、制御装置10は、画像認識装置8から出力された画素単位のずれ量△Xsd、△Ysdより、低倍率カメラ21dによる定点のμm単位のずれ量を算出する。定点のμm単位のずれ量をΔXs、ΔYsとすると、前記ずれ量△Xs、△Ysは、△Xs=Ksx×△Xsd、△Ys=Ksy×△Ysdより算出される。但し、Ksx及びKsyは、低倍率カメラ21dにおける定数としての倍率係数を示す。
【0068】
次に、算出された前記ずれ量ΔXs、ΔYsより、XYテーブル4を第1基準点からX軸に△Xs、Y軸に△Ys移動するよう制御する。前記XYテーブル4がΔXs、ΔYs移動することにより、カメラ21は、ICチップ6上の定点の近傍に移動する(ステップS37)。この時の前記カメラ21の位置座標は、(Xp1+ΔXs、Yp1+ΔYs)である。
【0069】
前記XYテーブル4の移動完了後、画像認識装置8のカメラ切替回路8pにより高倍率カメラ21aを選択する。画像認識装置8の制御回路8fは、第1基準点の基準パターンとして記憶されている高倍率カメラ21a用の基準パターンを画像メモリ8gより読み出して画像処理回路8dへ転送し、転送完了後、画像処理回路8dに位置検出処理の制御信号を出力する。高倍率カメラ21aからの撮像信号は、増幅器8cで増幅して、変換器8eより画像処理回路8dへ入力する(ステップS38)。画像処理回路8dは入力された高倍率カメラ21aの画像データと画像メモリ8gから転送された高倍率カメラ21a用の基準パターンとのパターンマッチングを行い(ステップS39)、パターンマッチング結果の良否及びずれ量(画素単位)が、制御回路8fから制御装置10へ出力される。なお、X軸における画素単位の前記ずれ量をΔXhe、Y軸における画素単位の前記ずれ量をΔYheとする。
【0070】
前記制御装置10は、制御回路8fから出力されたパターンマッチング結果の良否を判定し(ステップS40)、パターンマッチング結果が良のとき、正常に検出したと判断し、ステップS41の定点のずれ量の算出を行う。
【0071】
一方、パターンマッチング結果が否のときは、検出が正常に行われなかったと判断し、エラー信号を出力して(ステップS42)、動作を停止する。
【0072】
ステップS41の定点のずれ量の算出は、以下の演算により行われる。ステップS38でのカメラ21の位置座標は、(Xp1+△Xs、Yp1+△Ys)である。前記位置座標(Xp1+△Xs、Yp1+△Ys)での前記画像認識装置8から出力された前記ずれ量△Xhe、△Yheは、XYテーブルの位置座標(Xp1+△Xs、Yp1+△Ys)を原点とするICチップ6の定点の画素単位のずれ量を示す。また、μm単位のずれ量を△Xha、△Yhaとすると、前記ずれ量△Xha、△Yhaは、ΔXha=Khx×△Xhe、ΔYha=Khy×△Yheより算出される。但し、Khx及びKhyは、高倍率カメラ21dにおける定数としての倍率係数を示す。
【0073】
そして、μm単位の前記ずれ量△Xha、△Yhaより、ICチップ6の定点の位置座標は、(Xp1+△Xs+ΔXha、Yp1+△Ys+ΔYha)となる。
【0074】
以上により、ステップS34からの低倍率カメラ21d及び高倍率カメラ21aによる第1基準点の位置(Xp1、Yp1)からの定点のずれ量ΔXa、ΔYaは、ΔXa=△Xs+△Xha、ΔYa=△Ys+△Yhaとして算出される。
【0075】
なお、第2基準点及び第3基準点でのずれ量の検出も、図7に示したフローチャートに従って、各基準点からのずれ量を検出することができる。
【0076】
以上、図7に示すフローチャートでずれ量検出の説明を行ったが、図7に示すステップS37からの動作は、ICチップ6の定点の検出精度を向上させるためのものである。このため、定点の検出精度が低倍率カメラ21dの検出精度で十分なとき、例えば、ダイオード、トランジスタ等のディスクリート品を搭載した混成IC等のずれ量検出では、ステップS37からの動作を省略して、ステップS41のずれ量の算出のみを行うようにしてもよい。
【0077】
また、本発明によるボンディング装置は、低倍率カメラ21dによるパターンマッチングでずれ量を検出したとき、前記ずれ量を制御装置10のメモリに記憶し、ずれ量の平均値を演算し、演算した平均値を基準点に加算して、撮像手段を移動する基準点の補正手段を有している。これは、ずれ量の平均値を基準点に加算することにより撮像手段を被ボンディング部品の定点付近に移動させるためのものである。以下に、ずれ量の平均値を基準点に加算する動作について詳述する。
【0078】
図7に示す定点の基準点からのずれ量の検出動作で、ステップS35で得られた基準点からの画素単位のずれ量より、μm単位のずれ量を算出して、算出したμm単位の前記ずれ量を制御装置10内のメモリに記憶する。また、前記制御装置10内のメモリに基準点からのずれ量を記憶した回数も同時に記憶する。なお、基準点からのずれ量の前記制御装置10内のメモリへの記憶は、各基準点毎に、記憶するようにする。
【0079】
そして、前記制御装置10内のメモリへの記憶された前記ずれ量は、例えば、ステップS35でのずれ量がICチップ6の検出動作で連続してN回続いたとき、N個のずれ量データが記憶されている。ステップS35でのずれ量が検出動作がN回連続して続いたとき、前記制御装置10内のメモリへの記憶されたN個の前記ずれ量データの平均値を演算し、演算した結果を基準点の位置座標に加算し、以後、XYテーブルは、ずれ量を加算した基準点に移動する。
【0080】
これにより、例えば、ICチップのリードフレームL/Fの貼着で、ICチップ6の貼着位置が、所定の位置より一方向にずれているときなどに、基準点をずれ量の平均値で修正することにより、検出時に、XYテーブル4上のカメラ21がICチップ6の定点付近に移動するため、以後、低倍率カメラ21dでの検出動作を行うことなく、ずれ量を短時間で検出できる。
【0081】
なお、本発明によるボンディング装置は、ワイヤボンディング装置について述べたが、テープボンディング装置におけるICチップ、テープキャリア上のリードの位置検出等にも適用できる。
【0082】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によるボンディング装置によれば、撮像範囲の異なる撮像信号を出力する出力手段により、撮像範囲の狭い撮像信号と撮像信号のテンプレートとのパターンマッチングを行って、検出できないときに、撮像範囲の広い撮像信号と撮像信号のテンプレートとのパターンマッチングを行って、被ボンディング部品の定点の位置を検出する。ICチップ6等の定点が、撮像範囲の狭いカメラの撮像範囲外に位置していても、従来のように、XYテーブルを順次移動して、撮像範囲を広げる必要がないため、高速に位置検出を行うことができる。
【0083】
また、本発明によるボンディング装置によれば、基準点からのICチップ上の定点までのずれ量を検出する際に、過去に検出されたずれ量がメモリ上に記憶され、ずれ量の平均値を演算し、その平均値を基準点に加算し、加算された位置にカメラを移動することにより、ICチップ上の定点が検出範囲内に位置し、ICチップのずれ量の検出を短時間で行うことができるため、ボンディング工程における半導体デバイスの生産数を向上することができる。
【0084】
また、本発明によるボンディング装置は、高倍率カメラと低倍率カメラとを有しており、高い検出精度を必要としないダイオード、トランジスタ等のディスクリート品の位置検出には、低倍率カメラを使用することにより、広範囲の半導体デバイスに対応するため、汎用性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるワイヤボンディング装置の構成を示すブロック図である。
【図2】図1に示す画像認識装置の回路構成を示すブロック図である。
【図3】カメラヘッド21a、カメラヘッド21d、レンズ21cよりなるカメラ21の外観図である。
【図4】レンズ21の入射光の経路を示す図である。
【図5】第1基準点での画像認識装置8の画像メモリへの記憶動作等を示すフローチャートである。
【図6】(a)は、高倍率カメラ21a及び低倍率カメラ21dの撮像範囲及び高倍率カメラ21aの切り出し範囲を示し、(b)は、高倍率カメラ21aで切り出した基準パターンを示し、(c)は、低倍率カメラ21dで切り出した基準パターンを示す図である。
【図7】ICチップ上の定点の基準点からのずれ量の検出を示すフローチャートである。
【図8】従来のワイヤボンディング装置の構成を示すブロック図である。
【図9】リードフレームに貼着されたICチップの位置を示し、基準点からのICチップの定点のずれ量を示す図である。
【図10】レンズ倍率4倍及び6倍の撮像範囲及びICチップ上の定点を示す図である。
【図11】撮像範囲を広げるための移動点及びそのときの撮像範囲をを点線で示した図である。
【符号の説明】
L/F リードフレーム
21 カメラ
21a カメラヘッド(高倍率カメラ)
21d カメラヘッド(低倍率カメラ)
21c 光学レンズ(レンズ)
2 ボンディングアーム
2a キャピラリ
3 ボンディングヘッド
4 XYテーブル
5 搬送装置
6 ICチップ
7 ボンディングステージ
7a ヒータ
8 画像認識装置
8a クロック信号生成回路
8b カメラ制御信号生成回路
8c 増幅器
8d 画像処理回路
8e 変換器
8f 制御回路
8g 画像メモリ
8h 入出力回路
8k 画像切り出し回路
8m 表示制御回路
8p カメラ切替回路
9 モニタ
9a クロスライン
9b ウインド
10 制御装置
11 駆動装置
12a パッド
14 ランド部
17 マニュピュレータ
20 リード
30 画像処理装置
Claims (2)
- 被ボンディング部品に対する視野の中心を共有し、レンズ倍率の異なる2種類の光学レンズと撮像素子からなり、前記光学レンズのレンズ倍率に基づいた撮像範囲の異なる撮像信号を出力する撮像手段と、
前記光学レンズ毎の前記撮像手段からの撮像信号を選択する切替手段と、前記切替手段で選択した撮像信号を画像データに変換して前記被ボンディング部品の定点を含む指定範囲より基準パターンとして切り出す画像切り出し手段と、光学レンズ毎の前記基準パターンを記憶する記憶手段と、前記切替手段で選択した光学レンズの前記撮像手段の撮像信号から変換した画像データと該光学レンズに対応した前記記憶手段の基準パターンとのパターンマッチングを行って被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する画像認識装置とからなる前記画像認識手段とを備え、
ボンディング時に、前記画像認識手段は、撮像範囲の狭い前記光学レンズの前記撮像手段からの撮像信号による前記パターンマッチングを行い、前記パターンマッチングがエラーとなったとき、撮像範囲の広い前記光学レンズの前記撮像手段からの撮像信号による前記パターンマッチングを行って、前記被ボンディング部品の定点が撮像範囲の狭い前記光学レンズの撮像範囲外であってもずれ量を検出できるようにしたことを特徴とするボンディング装置。 - 前記画像認識手段の前記画像切り出し手段は、撮像範囲の異なる一方の撮像信号の基準パターンを切り出す指定範囲のデータから、撮像範囲の異なる他方の撮像信号の前記被ボンディング部品上での基準パターンとして切り出す範囲が撮像範囲の異なる一方の撮像信号のものと同一となるように、撮像範囲の異なる他方の撮像信号の指定範囲のデータを算出し、算出した該データにより撮像範囲の異なる他方の撮像信号の基準パターンを切り出すようにしたものであることを特徴とする請求項1記載のボンディング装置。
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