JP2004264652A - アクティブマトリクス基板、液晶装置、液晶装置の駆動方法、投射型表示装置 - Google Patents
アクティブマトリクス基板、液晶装置、液晶装置の駆動方法、投射型表示装置 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】本発明は、アクティブマトリクス基板及びこの基板を備えた液晶装置、液晶装置の駆動方法、投射型表示装置に関し、高い開口率を維持しながらオフリーク電流を十分に低減できるようにすることを目的とする。
【解決手段】互いに交差して設けられた複数のゲート線3a及び複数のデータ線6aと、これらデータ線6aとゲート線3aとに導電接続されたTFT30と、TFT30に導電接続された画素電極9と、TFT30に対して画素電極9と並列に設けられたストレージ容量60とを備えるとともに、TFT30を構成するp−Si半導体42とゲート線3aとを複数箇所で交差させてマルチゲート化し、更に、p−Si半導体42のドレイン部を前段のゲート線の形成領域に延設し、容量用絶縁膜を介して対向配置されたドレイン部と前段のゲート線との間で上述のストレージ容量60を構成する。
【選択図】 図6
【解決手段】互いに交差して設けられた複数のゲート線3a及び複数のデータ線6aと、これらデータ線6aとゲート線3aとに導電接続されたTFT30と、TFT30に導電接続された画素電極9と、TFT30に対して画素電極9と並列に設けられたストレージ容量60とを備えるとともに、TFT30を構成するp−Si半導体42とゲート線3aとを複数箇所で交差させてマルチゲート化し、更に、p−Si半導体42のドレイン部を前段のゲート線の形成領域に延設し、容量用絶縁膜を介して対向配置されたドレイン部と前段のゲート線との間で上述のストレージ容量60を構成する。
【選択図】 図6
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクティブマトリクス基板及びこのアクティブマトリクス基板を備えた液晶装置、液晶装置の駆動方法、投射型表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶装置をはじめとする表示装置の分野では、高輝度化や高精細化に対するニーズが高く、このようなニーズに応えるものとして、アクティブマトリクス型の表示装置の研究が盛んに行なわれている。このアクティブマトリクス型表示装置では、画素毎に設けた薄膜トランジスタ(TFT)によって各画素を個別にスイッチングしているため、高精細化された場合でも画素に十分な駆動電圧を供給でき、高コントラスト且つ高輝度な表示を可能としている。中でも、低温ポリシリコン(p−Si)型の薄膜トランジスタ(TFT)は、アモルファスシリコン(a−Si)型のTFTと比較して移動度が2〜3桁高いため、駆動回路をガラス基板上に内蔵できトランジスタの小型化も可能となる。このため、低温p−Si型TFTを用いた液晶装置は、a−Si型TFTを用いたものに比べて、より高精細化に適している。さらに最近、ガラス基板上に結晶方位が比較的そろった連続粒界シリコンにより薄膜トランジスタを作成する技術もある。
【0003】
しかしながら、低温p−Si型TFTは、活性層であるシリコンが多結晶である性格上、粒界に存在する欠陥を介したオフリーク電流(漏れ電流)が大きい。このオフリーク電流による液晶印加電圧の低下分Voffは、Voff∝exp(−t/τ)と表わされる。ここで、τ=Roff・(Clc+Cst)、Roff:TFTのオフ抵抗、Clc:液晶容量、Cst:ストレージ容量、である。よって、液晶印加電圧の低下を抑えるためには、Roff,Clc、Cstの内のいずれかを大きくする必要がある。
【0004】
ところが、RoffはTFTのオフ特性で決まる抵抗値であり、トランジスタのW(ゲート幅)/L(ゲート長)に反比例するが、トランジスタのパターンルールや信頼性の制限から、高精細パネルではW/Lをそれ程小さくすることはできない。一方、液晶容量Clcは画素面積に比例するため、高精細化するにつれて1画素あたりの液晶容量は画素ピッチの2乗に反比例して小さくなる。したがって、Voffを低減するためには、ストレージ容量Cstを大きくする必要がある。しかし、ストレージ容量を大きくすると画素の開口率が低下するため、このような開口率の低下を極力抑えるために、従来より、ストレージ容量の配置を工夫した画素構造が種々提案されている(例えば特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平8−328036号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、表示を高精細化していくと、画素面積が小さくなる一方、ストレージ容量の形成面積は大きくしなければならない。
上述の特許文献1の画素構造は高精細化の画素設計として現在一般に考えられるものであるが、一段の高精細化が求められた場合には、このような画素設計でも表示に必要な開口率は得られなくなる。
本発明は、上述の課題に鑑み創案されたもので、高い開口率を維持しながらオフリーク電流を十分に低減できるようにしたアクティブマトリクス基板及びこのアクティブマトリクス基板を備えた液晶装置、液晶装置の駆動方法、投射型表示装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、高精細化により画素に形成できる全容量の減少に見合うように薄膜トランジスタのオフリーク電流を低減すべく、このオフリーク電流に対する影響度の高い設計パラメータを研究した。
【0008】
p−Si型TFTのオフ電流は、高電圧端子であるドレイン接合部の少数キャリアーに着目して、PN接合ダイオードの逆バイアスの理論と同様に考えて良い。しかし、p−Si型TFT特有の多少の修正が必要である。実測した結果から検討した結果、オフリーク電流IoffはNチャネルのp−Si型TFTについて、
Ioff∝q(Gp+Gt)Lp+q(Gp+Gt+Ge)W
と表せることがわかった。ここで、qは素電荷、Gpは光照射による正孔の発生割合、Gtは熱励起による正孔の発生割合、Geはトネリングまたはエミッションによりドレイン接合部を通り抜けてくる正孔を他と同じように発生割合として示したもの、Lpは正孔の拡散長、Wは空乏層幅である。Pチャネルのp−Si型TFTについても、少数キャリアである電子について考えれば同様である。ただし、実測ではPチャネルTFTのIoffは、同条件測定でのNチャネルTFTとそれと比較して、Gp、Gt、Geが小さく、Ioffを小さくできる。
【0009】
TFTに入射される光強度をIとするとGp∝I、絶対温度をT、活性化エネルギーをEa、ボルツマン定数をkとすると、Gt∝exp(Ea/kT)と表される。Geは例えばドレイン接合部を通り抜けるエミッションを考えた場合は、Ge∝Vds’・exp(―b/Vds’)である。bは定数で、Vds’はドレイン側接合部に印加される電圧であるが、ドレイン−ソース間電圧Vdsが大きいときはそれにほぼ等しいと考えて良い。
【0010】
そして、得られた式に基づいて、液晶装置で求められる各パラメータの想定される可変範囲内でIoffに対する影響度を調べた結果、そのような可変範囲内ではVdsに対するIoffの変化係数が最も大きくなることがわかった。このため、薄膜トランジスタをマルチゲート化して1つのTFTに印加されるVdsを小さくすることが極めて有効な手段となる。
【0011】
ところで、トランジスタをマルチゲート化するとトランジスタを複数形成することになるのでトランジスタの占有面積が増えて画素の開口率が低下する。そのため、マルチゲート化によるトランジスタ面積の増大を補償する手段が必要となる。この方法としては、例えば特許文献1に開示されるような設計が考えられる。しかし、この従来の画素設計の手法に、例えば3重ゲート或いは4重ゲートを盛り込むと、画素の精細度が300ppi(ppiは25.4mmに含まれる画素数の単位)を越えるようになった場合に開口率を確保することが難しくなり破綻をきたす。
【0012】
そこで、容量線を別途設けず、ポリシリコン半導体のドレイン部を前段のゲート線まで延設しこの前段のゲート線との間でストレージ容量を形成する、所謂ゲートストレージ方式を採用することが有効となる。ここで、「前段のゲート線」とは、両側に隣接して配置されたゲート線の内、1つ前に走査されるゲート線をいい、逆に、1つ後に走査されるゲート線を「後段のゲート線」という。同様に、両側に隣接するデータ線の内、1つ前に走査されるデータ線を「前段のデータ線」、1つ後に走査されるデータ線を「後段のデータ線」という。
【0013】
ほとんどの場合、p−Si型TFTにおいてはストレージ容量の形成方法がa−Si型のものと異なり(具体的にはドープしたp−Si層とゲート線間でストレージ容量を形成する)、ゲートストレージ方式は用いられない。これは、p−Si型TFTのドレイン電極を延長して前段のゲート線部分の容量形成部に接続しなければならないので、低精細度の画素ではそのような延長線は無駄な領域であり、長く引き出すことによる抵抗値の増加が問題となるためである。これに対して、ある程度の精細度以上(例えば、600ppi以上)になると、ゲート線同士の距離が短くなるので、上述の抵抗値の増大は大きな問題ではなくなる。他方、開口率を確保しながら、マルチゲート化によりトランジスタ形成部分の面積が増加しても、このようなゲートストレージ方式を採用できる優位性が見出せる。
【0014】
このような観点から、上記目的を達成するために、本発明のアクティブマトリクス基板は、互いに交差して設けられた複数のゲート線及び複数のデータ線と、前記データ線と前記ゲート線との交差部に対応して設けられた薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタと前記ゲート線とに対応して設けられたストレージ容量とを備え、前記薄膜トランジスタは、ゲート電極部と、半導体層と、前記半導体層につながるドレイン部とソース部とを有し、前記ゲート電極部と前記ソース部はそれぞれゲート線とデータ線に導電接続され、前記半導体層は前記ゲート線もしくは前記ゲート線の分岐部と複数箇所で交差し、前記ドレイン部は、前記ゲート線に隣接する前段のゲート線の形成領域に延設されて前記ストレージ容量が構成されたことを特徴とする。
【0015】
本構成では、ポリシリコンや連続粒界シリコン等からなる半導体層とゲート線とを複数箇所で交差させてマルチゲート化しているため、ドレイン−ソース間電圧Vdsを大きく低減することができる。これにより、必要とされるストレージ容量が、ゲートストレージ方式で十分にカバーできる程度に小さくなり、高開口率化を実現できる。
【0016】
上述の薄膜トランジスタはN型トランジスタ又はP型トランジスタのいずれであってもよいが、薄膜トランジスタをP型トランジスタとした場合には、N型トランジスタとした場合に比べてオフリーク電流をより小さくすることができるためより好ましい。
一般的にP型の薄膜トランジスタはオフリーク電流が小さくなることは知られているが、研究の結果から光照射をした場合の光オフリーク電流の増加割合がむしろN型より高いことがわかり、後に述べる遮光構造を採用するとP型の本来の低オフ電流の特徴が活かせる。
【0017】
ところで、薄膜トランジスタをマルチゲート化するための具体的な構成としては、例えば、前記ゲート線が、前記データ線に交差する方向に延在するゲート線本線部と、前記ゲート線本線部から前記ゲート線に交差する方向に分岐したゲート線分岐部とを有し、前記ゲート線分岐部は前記半導体層と交差した複数の前記ゲート電極部を有する構成を挙げることができる。この場合、ゲート電極部と平面的に重なるポリシリコン半導体の領域がチャネル部となり、それらチャネル部がゲート線方向に平行に直列に配置されたマルチゲート構造が得られる。
この構成では、半導体層のドレイン部を、ゲート線に近接する位置から、前段のゲート線まで大きく引き回さなければならず、この引き回し配線部により画素の開口率を低下させるおそれがある。それを回避するため、半導体層のドレイン部を前記データ線又は前段若しくは後段のデータ線と一部平面的に重なるように配置することが好ましい。
【0018】
また、導き出されたオフリーク電流Ioffの式に示されるように、オフリーク電流Ioffはトランジスタに光照射を行なうことによっても増大する。その防止のために、半導体層のチャネル部に遮光膜を設けても設けることが好ましい。具体的には、上記半導体層のソース部と導電接続されたデータ線、若しくは、このデータ線に隣接する前段又は後段のデータ線を、ゲート線に交差する方向に延在するデータ線本線部と、このデータ線本線部から分岐し上記半導体層のチャネル部に平面的に重なる遮光性のデータ線分岐部とから構成し、このデータ線分岐部により上記チャネル部を遮光するようにしてもよい。
【0019】
また、マルチゲート化するための他の構成としては、例えば、前記ゲート線が、前記データ線に交差する方向に延在するゲート線本線部と、前記ゲート線本線部から前記ゲート線と交差する方向に分岐した第1のゲート線分岐部と、前記第1のゲート線分岐部からさらに分岐した第2のゲート線分岐部とを有し、前記第2のゲート線分岐部は前記半導体層と交差した複数のゲート電極部を有する構成を挙げることができる。この場合、ゲート電極部と平面的に重なる半導体層の領域がチャネル部となり、それらチャネル部がゲート線に交差する方向に直列に配置されたマルチゲート構造が得られる。
この構成では、半導体層のドレイン部が前段のゲート線に近接して配置されるため、このドレイン部を前段のゲート線まで引き回す際の引き回し部分の電気抵抗を小さくすることができる。
【0020】
また、この構成では、半導体層のチャネル部を上記データ線と平面的に重なるように配置し、データ線によってチャネル部が遮光されるようにすることが好ましい。これにより、光リーク電流の発生を防止できるとともに、開口率を高めることができる。特に、半導体層の複数のチャネル部がゲート線に交差する方向に配置される上記構成では、半導体層のソース部,チャネル部,ドレイン部を全て上記データ線と平面的に重ねることが可能であり、このような構成とすることで、画素の開口率を最大限高めることができる。
【0021】
また、マルチゲート化するための更に他の構成としては、前記ゲート線がスリット部を有し、前記半導体層が前記スリット部を介して前記ゲート線と複数箇所で交差する構成を挙げることができる。この場合、スリット部を介してゲート線と平面的に重なる半導体層の領域がチャネル部となる。
この構成では、単にゲート線にスリット部を形成するのみでマルチゲート化することができるため、上述のようにゲート電極部を新たに設けるものに比べて構造が簡単になり、画素の開口率を更に高めることができる。
【0022】
また、この構成において、ソース部,ドレイン部を上記データ線と平面的に重ねるように配置することが好ましい。これにより、半導体層による画素開口率の低下を最大限高めることができる。
また、この構成において、半導体層のチャネル部を上記データ線と平面的に重なるように配置し、このデータ線によって遮光されるようにすることで、更にオフリーク電流を低減することができる。
【0023】
なお、前記前段のゲート線は、前記データ線に交差する方向に延在する前段ゲート線本線部と、前記前段ゲート線本線部から前記ゲート線に交差する方向に分岐し、前記半導体層の前記ドレイン部の一部に平面的に重なる前段ゲート線分岐部とを有することが好ましい。
このような構成とすることで、半導体層のドレイン部を前段のゲート線まで引き回す際の引き回し部分の抵抗を小さくすることができるとともに、有効な容量を増やすこともできる。
【0024】
本発明の液晶装置は、上述のアクティブマトリクス基板を備えたことを特徴とする。例えば、液晶装置には、アクティブマトリクス基板と、このアクティブマトリクス基板に対向する対向基板が設けられ、前記対向基板の側から光が入射されて前記アクティブマトリクス基板側へ出射されることで表示が行なわれる。
本構成によれば、p−Si型TFTを用いて高輝度且つ高精細な表示を実現できるとともに、TFTのオフ特性が安定することで、高コントラストな表示も可能となる。
【0025】
ところで、画素を800ppi以上に高精細化した場合、開口率の低下のみならず駆動においても課題が生じることが判明した。つまり、これまで低精細表示においては、a−Si型TFTで問題になってp−Si型TFTで問題のなかったゲート−ドレイン間のフィードスルー電圧による画質劣化の問題が、表示を800ppi以上に高精細化することで、p−Si型TFTにおいても問題となることが判明した。このため、本発明では、このフィードスルー電圧を補償すべく、上述の液晶装置を駆動する方法として、以下の方法を採用した。
【0026】
すなわち、本発明の液晶装置の駆動方法は、上記ゲート線に供給される走査信号は、高電圧の第1の電位と、上記第1の電位よりも低電圧の第2の電位と、上記第2の電位よりも低電圧の第3の電位との3電位状態をとり、所定のフレームで上記第2の電位から上昇して上記第1の電位を1水平走査期間保持した後、上記第3の電位まで下降し、更にこの電位を後段のゲート線に供給される走査信号が第3の電位まで下降した後に上記第2の電位に復帰するとともに次フレームの開始まで上記第2の電位を保持し、上記画像信号と等電位にある上記画素電極電位が上記薄膜トランジスタの導通状態から非導通状態への遷移時に上記画像信号電圧が変動したときに、上記第3の電位保持期間内に上記画素電極電位を上記画像信号と等しい電位に復帰させることを特徴とする。
【0027】
また、本発明の投射型表示装置は、光源と、上記光源から出射された光を変調して画像光を形成する上述の液晶装置と、上記液晶装置から出射された画像光を拡大投影する投射光学系とを備えたことを特徴とする。本構成によれば、高輝度,高精細,高コントラストな表示が可能となる。
【0028】
【発明の実施の形態】
[第1実施形態]
以下、図1〜図6を参照しながら本発明の第1実施形態に係る液晶装置について説明する。図1は本実施形態の液晶装置を各構成要素とともに対向基板の側から見た平面図、図2は図1のH−H′線に沿う断面図、図3は液晶表示装置の画像表示領域においてマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路図、図4は本液晶装置の駆動方法を説明するための波形図である。なお、以下の説明に用いた各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
【0029】
[液晶装置の全体構成]
図1および図2に示すように、本実施形態の液晶装置100は、TFTアレイ基板10(アクティブマトリクス基板)と対向基板20とがシール材52によって貼り合わされ、このシール材52によって区画された領域内に液晶層50が封入されて構成されている。シール材52の形成領域の内側の領域には、遮光性材料からなる遮光膜(周辺見切り)53が形成されている。シール材52の外側の領域には、データ線駆動回路201および外部回路実装端子202がTFTアレイ基板10の一辺に沿って形成されており、この一辺に隣接する2辺に沿ってゲート線駆動回路204が形成されている。TFTアレイ基板10の残る一辺には、画像表示領域の両側に設けられたゲート線駆動回路204の間を接続するための複数の配線205が設けられている。また、対向基板20の角部においては、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的導通をとるための基板間導通材206が配設されている。本実施形態の液晶装置100は透過型の液晶装置として構成され、対向基板20側に配置された光源(図示略)からの光を変調してTFTアレイ基板10側から出射するようになっている。
【0030】
なお、データ線駆動回路201およびゲート線駆動回路204をTFTアレイ基板10の上に形成する代わりに、例えば、駆動用LSIが実装されたCOF(Chip On Flexible cable)基板とTFTアレイ基板10の周辺部に形成された端子群とを異方性導電膜を介して電気的および機械的に接続するようにしてもよい。また、液晶表示装置100においては、使用する液晶の種類、すなわち、TN(Twisted Nematic)モード、STN(Super Twisted Nematic)モード等の動作モードや、ノーマリホワイトモード/ノーマリブラックモードの別に応じて、位相差板、偏光板等が所定の向きに配置されるが、ここでは図示を省略する。
【0031】
このような構造を有する液晶装置100の画像表示領域には、図3に示すように、複数の画素41がマトリクス状に配置されており、これらの画素41の各々には、画素スイッチング用としてP型のp−SiTFT30が形成されている。このTFT30にはマルチゲート構造が採用されており、シングルゲート構造を採用したものに比べて、TFT30の1つのTFTに印加されるドレイン−ソース間電圧を低減できるようになっている。p−SiTFT30の半導体層に不純物を導入するドレインは、LDD(Lightly Doped Drain)構造にするのが良い。
【0032】
このTFT30の複数のゲート31〜33にはゲート線3aが電気的に接続されており、ゲート線3aから所定のタイミングでパルス状の走査信号G1、G2、…、Gmがこの順に線順次で印加されるようになっている。また、TFT30のソース部にはデータ線6aが電気的に接続されており、1走査期間内に画像信号S1、S2、…、Snが供給されるようになっている。なお、データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、…、Snは、この順に順次供給する方法(点順次駆動)と、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、データを同時一括(線順次駆動)もしくは群毎(セレクタースイッチ)に供給する方法のいずれでもよい。
【0033】
TFT30のドレイン部には画素電極9が電気的に接続されており、1走査期間内にデータ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snが各画素に所定のタイミングで書き込まれるようになっている。このようにして画素電極9を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、図2に示す対向基板20の対向電極21との間で一定期間保持される。また、保持された画像信号S1、S2、…、Snがリークするのを防ぐために、画素電極9と対向電極21との間に形成される液晶容量Clcと並列にストレージ容量60が付加されている。本実施形態では、ストレージ容量の形成方法としてゲートストレージ方式が採用されており、ストレージ容量60は、TFT30のドレイン部を延在して形成された容量電極44と、この容量電極44に対して容量用絶縁膜を介して対向配置された前段のゲート線3aとの間で形成されている。
【0034】
ところで、本実施形態のようにポリシリコン半導体を用いて高精細化を図る場合、TFT30のゲート−ソース間の寄生容量Cgsにより大きなフィードスルー電圧が発生する。このため、本実施形態では、このようなフィードスルー電圧による画質の低下を防止すべく、補償駆動を行なっている。
図4,図5は、本液晶装置の駆動方法を説明するための図であり、図4はその波形図、図5は1画素の詳細な等価回路図である。図4において、図4(a)は(n−1)本目のゲート線に供給される走査信号波形、図4(b)はn本目のゲート線に供給される走査信号波形、図4(c)はn本目のデータ線に供給される画像信号波形、図4(d)はn本目のゲート線及びn本目のデータ線に導電接続された画素電極9の電圧変化波形を示している。電圧波形は混乱を避けるために従来標準のN型の薄膜トランジスタを画素に用いている場合について示している。P型の場合にはいわば電圧の高低が逆になるので注意を要する。
【0035】
本実施形態では、図4に示すように、TFTにはゲート線Xn−1((n−1)本目に走査されるゲート線)から電圧Vgで信号幅1水平走査期間を有する走査信号およびこの信号に続いて、電圧Vxで信号幅2水平走査期間の変調信号が重畳された走査信号XGが供給される。このとき、図5の等価回路において、
C=Clc+Cgs+Cx1+Cx2+Cy1+Cy2
Cn=Cgs+Cx1
Cn−1=Cx2
とする。ここで、Cx1はドレイン−ソース間の寄生容量、Cx2はストレージ容量、Cy1はゲート線とドレインとの間の寄生容量、Cy2はデータ線とドレインとの間の寄生容量、Cは総容量、である。
【0036】
一方、ゲート線Xn(n本目に走査されるゲート線)に接続されたn番目のTFT30に供給される信号XGがHレベルからLレベルに変化する時刻(図4のA点)の画素電極Clcの電圧変化ΔV1は、
ΔV1=−(Vg+Vx)Cn /C
となる。また、信号XGがLレベルの時刻(図4のB点)およびLレベルからHレベルに変化する時刻(図4のC点)の画素電極Clcの電圧変化をそれぞれΔV2,ΔV3とすると、
ΔV2=Vx・Cn−1/C
ΔV3=Vx・Cn/C
で表される。したがって、フィードスルー電圧ΔV1,ΔV2およびΔV3を補正するには、ΔV1+ΔV2+ΔV3=0とすればよいから、それぞれの値を代入すると、
ΔV1+ΔV2+ΔV3=−Cn (VG+Vx)/C+Vx・Cn−1/C+Vx・Cn/C=0
−Vg・Cn/C+Cn−1 ・Vx=0
Vx=Vg・Cn/Cn−1
となり、この式を満足するようにVxを設定する。
【0037】
本実施における走査信号XGとしては、高電圧の第1の電位VDDと、この第1の電位よりも低電圧で基準電位となる第2の電位VEE1と、この第2の電位よりも低電圧にある第3の電位VEE2との3状態の電位が与えられる。この走査信号波形は第2の電位VEE1から上昇して第1の電位VDDレベル(走査信号電圧Vg)を1水平走査期間保持した後、第3の電位VEE2レベル(変調信号電圧Vx)まで低下し、さらにこの第3の電位を2水平走査期間保持した後に第2の電位に復帰するとともに次フレームまでそのレベルを維持する。また各ゲート線にはこの信号波形と同じ信号波形が印加されるが、その位相はそれぞれ前段の選択信号波形に対して1水平走査期間分遅延した関係にある。
ここで、「第3の電位を2水平走査期間保持」する例を示したが次段のゲート線の走査信号が第3の第3のレベルVEE2まで低下した後であれば、必ずしも「2走査期間保持」で無くとも良い。
【0038】
したがって、ある1つのゲート線に接続されたTFTのゲート電極に電圧VDDを1水平走査期間供給してTFTをON状態にした後、その電位を電位VEE2まで低下させてTFTをOFFにする。このOFFになるタイミングに応答して後段の走査信号XGの電位を電圧VEE1レベルから電圧VDDレベルに上昇させ、前段同様に電位VDDレベルを1水平走査期間保持した後、電位VEE2に下降させる。このVEE2レベルの保持期間中に前段の選択信号XGレベルを電位VEE2レベルから電位VEE1レベルに復帰させ、しかる後に後段のゲート線上の選択信号XGも電位VEE2レベルから電位VEE1レベルに復帰させる。
【0039】
図4(c)に示すように、画像信号Vsは、対向電極COMの電位を中心にして1フレーム期間(奇数フィールド)Hレベルを維持し次フレーム期間(偶数フィールド)ではLレベルを維持している。この画像信号VsのHレベル供給期間において、ゲート線Xnに接続されたTFTのゲート電極には上述の走査信号XGの電圧Vgが供給されて導通状態となり、ドレイン電圧、すなわち画素電極電圧Vdの電圧は画像信号VsのHレベルと等レベルにまで上昇する(A点→B点)。この上昇した電位は前段の走査信号XGの電圧Vgが電位VEE2レベルへの下降に応答して低下(B点;前述のΔV1=−(Vg+Vx)Cn/C)する。
【0040】
次に前段の走査信号Yn−1 が2水平走査期間を経過後、電圧VEE1レベルに復帰するのに応答して画素電極電圧VdはΔV2だけ上昇する(C点;前述のΔV2=Vx・Cn−1/C)。さらに走査信号Yn の走査信号XGの電圧Vxが2水平走査期間を経過後、VEE1レベルに順次復帰するのに応答して画素電極電圧VdはΔV2だけ上昇し(D点;前述のΔV3=Vx・Cn/C)、再び上述の画像信号電圧Vsと等レベルのHレベルに復帰する。
【0041】
一方、画像信号VsのLレベル供給期間(偶数フィールド)においては、ゲート線Ynに接続されたTFTのゲート電極には上述同様に選択信号XGの電圧Vgが供給されて導通状態となりドレイン電極、すなわち画素電極電圧Vdの電圧は画像信号VsのLレベルと等レベルにまで下降する(E点→F点))。この下降した電位は前段のゲート線Yn−1上の選択信号XGの電圧Vgが電位VEE2レベルへの下降に応答して更に電圧ΔV1低下(F点)するが、ゲート線Yn−1およびYnの選択信号XGの電圧Vxがそれぞれ2水平走査期間を経過後順次に電位VEE1レベルに復帰するのに応答して電圧ΔV2およびΔV3を経て再び上述の画像信号VsのLレベルと等レベルにまで復帰する(H点)。したがって、本実施例の駆動方法では奇数フィールドおよび偶数フィールドのいずれにおいてもTFTをONするための選択信号XGの電圧Vxg(走査信号Vgおよび変調信号電圧Vx)のそれぞれは同様な3状態の電圧値を有し、画素電極電圧Vdの変化は上述のHレベルの場合のA点〜D点、およびLレベルの場合のE点〜H点までの各遷移期間は電圧ΔV1(=ΔV2+ΔV3)のレベル変動があるもののその後はΔV1+ΔV2+ΔV3=0となりフィードスルー電圧が補正される。
【0042】
[1画素の詳細構成]
図6は、本実施形態の液晶装置100を構成するTFTアレイ基板上の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図7は、図6のA−A’線に沿う断面図である。本実施の形態のTFTアレイ基板は、トップゲート型のp−SiTFTを備えた例である。
【0043】
データ線6aとゲート線3aとが互いに交差して設けられ、これらデータ線6aとゲート線3aによって区画された画素領域41に略U字状の半導体層42が設けられている。ゲート線3aは、データ線6aに交差するゲート線本線部31と、この本線部31から前段のゲート線3a側に向けて分岐した複数(図6では3つ)のゲート電極部32〜34とを有しており、これらのゲート電極部32〜34が、それぞれU字状の半導体層42と交差することでトリプルゲート構造のTFTを構成している。U字状の半導体層42の一端はソースコンタクトホール43を介してデータ線6aに接続される一方、他端は前段のゲート線3aまで延設され、TFT30の半導体層42と一体化した容量電極44を構成している。そして、この容量電極44と前段のゲート線3aとが平面的に重なる部分でストレージ容量60が構成されている。図中符号9の破線で示す矩形は画素電極の輪郭を示しており、画素電極9の縁はデータ線6aとゲート線3aに沿うように形成されている。
【0044】
本実施形態において、画素電極9とTFT30の半導体層42とは中継導電層45(図7参照)を介して電気的に接続されている。すなわち、画素コンタクトホール46を介して画素電極9と中継導電層45とが電気的に接続され、ドレインコンタクトホール47を介して中継導電層45とTFT30の半導体層42とが電気的に接続されたことにより、画素電極9とTFT30の半導体層42とが電気的に接続されている(図7参照)。
【0045】
本実施形態の液晶装置100のTFTアレイ基板10は、図7に示すように、例えば石英、ガラス、プラスチック等からなる基板本体10Aの全面に下地絶縁膜12が形成され、下地絶縁膜12上にTFT30が設けられている。下地絶縁膜12は基板本体10Aの表面の荒れや汚染等でTFT30の特性変化を防止する機能を有している。TFT30は、上述したように、トリプルゲート構造であり、かつ、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有している。よって、TFT30は、ゲート電極部32〜34(ゲート線3a)、当該ゲート電極部32〜34からの電界によりチャネルが形成される半導体層42のチャネル領域1a、ゲート電極部32〜34と半導体層42とを絶縁するゲート絶縁膜をなす絶縁薄膜2、半導体層42の低濃度ソース領域1bおよび低濃度ドレイン領域1c、半導体層42の高濃度ソース領域1dおよび高濃度ドレイン領域1eを備えている。半導体層42には、多結晶シリコンが用いられている。
【0046】
半導体層42の高濃度ドレイン領域1eは、そのまま前段のゲート線3a側に延設されて容量電極44となっている。そして、容量電極44の上方には、絶縁薄膜2を介してゲート線3aが形成されている。よって、容量電極44とゲート線3aとが絶縁薄膜(容量用絶縁膜)2を介して配向配置されていることでストレージ容量60が構成されている。ゲート線3aを覆うように第1層間絶縁膜13が形成されており、第1層間絶縁膜13上にはデータ線6aおよび中継導電層45が同層で形成されている。データ線6aおよび中継導電層45は、例えばアルミニウム等の低抵抗金属で構成することができる。また、第1層間絶縁膜13を貫通するソースコンタクトホール43が形成され、ソースコンタクトホール43を介してデータ線6aと半導体層42の高濃度ソース領域1dとが電気的に接続されている。一方、第1層間絶縁膜13を貫通するドレインコンタクトホール47が形成され、ドレインコンタクトホール47を介して中継導電層45と半導体層42の高濃度ドレイン領域1eとが電気的に接続されている。
【0047】
データ線6aおよび中継導電層45を覆うように第2層間絶縁膜14が形成されており、第2層間絶縁膜14上に画素電極9が形成されている。画素電極9は例えばITO、IZO等の透明導電膜で形成されている。そして、第2層間絶縁膜14を貫通する画素コンタクトホール46が形成され、画素コンタクトホール46を介して画素電極9と中継導電層45とが電気的に接続されている。以上の構成により、中継導電層45を介して半導体層42の高濃度ドレイン領域1eと画素電極9とが電気的に接続されている。なお、図7においては図示を省略したが、液晶表示装置に用いるアクティブマトリクス基板として、画素電極9の上方を含むTFTアレイ基板10の最表面には、ラビング処理等の配向処理が施されたポリイミド膜等からなる配向膜が設けられている。
【0048】
他方、対向基板20側については図示を省略するが、基板本体上の全面にわたってITOなどの透明導電膜からなる共通電極が設けられ、共通電極の全面には、TFTアレイ基板側と同様の配向膜が設けられている。また、カラー表示を行う場合には、各画素領域に対応して例えばR(赤)、G(緑)、B(青)の着色層を備えたカラーフィルターを基板本体上に形成すれば良い。
したがって、本実施形態の液晶装置では、TFT30をマルチゲート化して1つのTFTに印加されるドレイン−ソース間の電圧を低減しているため、オフリーク電流を低減することができる。これにより、ストレージ容量60の形成領域を小さくできるとともに、ゲートストレージ方式を採用しているので超高精細であるにもかかわらず高い開口率を得ることができる。
また、本実施形態では、TFT30をP型のトランジスタとして構成しているため、既に述べたようにTFT30をN型とした場合に比べてオフリーク電流をより低減することができる。
【0049】
[第2実施形態]
次に、図8を参照しながら、本発明の第2実施形態に係る液晶装置について説明する。図8は、本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図6に対応する図である。なお、上記第1実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態は、上記第1実施形態のTFT30のドレイン部の配置を変形したものである。すなわち、多結晶シリコン半導体層42のドレイン部を前段のデータ線6aに沿って引き回して容量電極44を形成している。そして、これ以外は上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第1実施形態と同様の効果が得られる他、半導体層42のドレイン部をデータ線6aと平面的に重ねて配置しているため、開口率を更に向上できる。
【0050】
[第3実施形態]
次に、図9,図10を参照しながら、本発明の第3実施形態に係る液晶装置について説明する。図9は本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり図6に対応する図、図10は図9のB−B′線に沿う断面図であり図7に対応する図である。なお、上記第1実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0051】
本実施形態は、上記第1実施形態のデータ線6aの構造を変形したものである。すなわち、データ線6aは、ゲート線3aに交差するデータ線本線部61と、この本線部61から前段のデータ線6a側に向けて分岐し半導体層42のチャネル部1aに平面的に重なるように設けられたデータ線分岐部62とを有しており、この分岐部62によってチャネル部1aが遮光されるようになっている。この分岐部62は、図10に示すように、第1層間絶縁膜13上に(即ち、中継導電層45と同層に)形成されており、例えば、中継導電層と同じアルミニウム等の低抵抗金属により構成されている。そして、これ以外は上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第1実施形態と同様の効果が得られる他、チャネル部1aをデータ線6aにより遮光しているため、光リーク電流の発生を防止することができる。
【0052】
[第4実施形態]
次に、図11を参照しながら、本発明の第4実施形態に係る液晶装置について説明する。図11は、本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図6に対応する図である。なお、上記第1実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態は、上記第1実施形態の構成において、ポリシリコン半導体層42の構造及び配置と、ゲート線3aの構造とを変形したものである。すなわち、本実施形態のTFTは30′は、L字状の半導体層42がゲート線3aと3回交差することでトリプルゲート構造のTFTを構成している。この半導体層42はデータ線6aと平面的に重なる第1の領域と、この第1の領域から屈曲してゲート線3aと平面的に重なる第2の領域とを有しており、この第2の領域が容量電極44として構成されている。
【0053】
一方、ゲート線3aは、データ線6aに交差する本線部31と、この本線部31から前段のゲート線3aに向けて分岐したゲート線分岐部35と、この分岐部35から櫛歯状に分岐した複数(図11では3つ)のゲート電極部36〜38とを有しており、各ゲート電極部36〜38はそれぞれデータ線6aの形成領域において上記半導体層42の第1の領域と平面的に重なるように配置されている。
そして、これら以外は上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第1実施形態と同様の効果が得られる他、半導体層42のドレイン部が前段のゲート線3aに近接して配置されるため、このドレイン部を前段のゲート線まで引き回す際の引き回し部分の電気抵抗を小さくすることができる。また、半導体層42のチャネル部1aがデータ線6aと平面的に重なるように配置されて遮光されるようになっているため、光リーク電流の発生を防止することができる。さらに、半導体層42のソース部及びドレイン部もデータ線6aと平面的に重なるように配置されているため、極めて高い開口率を得ることができる。
【0054】
[第5実施形態]
次に、図12を参照しながら、本発明の第5実施形態に係る液晶装置について説明する。図12は、本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図11に対応する図である。なお、上記第4実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0055】
本実施形態は、上記第4実施形態の構成において、ゲート線3aの構造を変形したものである。すなわち、本実施形態では、ゲート線3aに分岐部35を設ける代わりに、ゲート線3aに複数(図12では4つ)のスリット部3bを設け、このスリット部3bの形成された領域に半導体層42の第1の領域を平面的に重ねることで、5重ゲート構造のTFTを構成している。このスリット部3bはゲート線3aとデータ線6aとが交差する位置に設けられており、半導体層42のソース部,チャネル部1aの全て、及び、ドレイン部の一部がデータ線6aと平面的に重なるように配置されている。そして、これら以外は上記第4実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第4実施形態と同様の効果が得られる他、ゲート線3aに対して単にスリット部3bを設けるのみの簡単な構成でマルチゲート構造を実現しているため、ゲート線3aに分岐部35を設けた上記第4実施形成のものに比べて画素の開口率を更に高めることができる。
【0056】
[第6実施形態]
次に、図13を参照しながら、本発明の第6実施形態に係る液晶装置について説明する。図13は、本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図6に対応する図である。なお、上記第1実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0057】
本実施形態は、上記第1実施形態のゲート線3aの構造を変形したものである。すなわち、ゲート線3aは、データ線6aに交差する本線部31と、この本線部31から後段のゲート線3a側に向けて分岐したゲート線分岐部39とを有しており、この分岐部39は後段側の半導体層42のドレイン部の一部と平面的に重なるように構成されている。そして、これ以外は上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第1実施形態と同様の効果が得られる他、半導体層42のドレイン部が前段のゲート線3aに近接して配置されるため、このドレイン部を前段のゲート線まで引き回す際の引き回し部分の電気抵抗を小さくすることができ、しかも有効な容量を増やすことができる。
【0058】
[投射型表示装置]
次に、上述した液晶装置を備えた投射型表示装置の例について説明する。
図14は、上述の液晶装置をライトバルブとして備えた投射型表示装置の構成を示す平面図である。本投射型液晶表示装置1110は、前記のアクティブマトリクス基板を用いた液晶装置100を各々RGB用のライトバルブ100R、100G、100Bとして用いた3板式のプロジェクタとして構成されている。この液晶プロジェクタ1110では、メタルハライドランプなどの白色光源のランプユニット1112から光が出射されると、3枚のミラー1116および2枚のダイクロイックミラー1118によって、R、G、Bの3原色に対応する光成分R、G、Bに分離され(光分離手段)、対応するライトバルブ100R、100G、100B(液晶装置100/液晶ライトバルブ)に各々導かれる。この際に、光成分Bは、光路が長いので、光損失を防ぐために入射レンズ1132、リレーレンズ1123、および出射レンズ1134からなるリレーレンズ系1131を介して導かれる。そして、ライトバルブ100R、100G、100Bによって各々変調された3原色に対応する光成分R、G、Bは、ダイクロイックプリズム1122(光合成手段)に3方向から入射され、再度合成された後、投射レンズ(投射光学系)1124を介してスクリーン1130などにカラー画像として拡大投影される。
この投射型表示装置ではオフリーク電流を十分に低減した液晶装置を用いているため、高輝度,高精細,高コントラストな表示が可能となる。
【0059】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、上記実施形態では、TFTを3重ゲート構造又は5重ゲート構造とした例を示したが、本発明はこれに限定されず、2重ゲートや4重ゲート、或いは、6重ゲート以上としてもよい。また、上記実施形態では遮光膜をTFTを作成する基板上の対向基板側にのみ設けた構成を例示したが、TFTの下層側にも遮光膜を設けることで、遮光を確実にすることができる。さらに、上記実施形態ではP型でLDD構造のトランジスタを作製した例を示したが、本発明はこれに限定されず、TFTをP型のオフセット構造もしくはセルフアライン構造としてもよい。勿論、TFTをN型のLDD構造或いはN型のオフセット構造もしくはセルフアライン構造とすることも可能である。PとNどちらの型のどの構造を選択するかは、精細度やストレージ容量に応じて要求されるオフリーク電流の値次第である。
【0060】
また、パターン形状や断面構造、各膜の構成材料等に関する記載はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
また、本発明のアクティブマトリクス基板は、例えば、エレクトロルミネッセンス(EL)、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、あるいはプラズマ発光や電子放出による蛍光等を用いた様々な電気光学素子を用いた電気光学装置、およびこの電気光学装置を備えた電子機器に対しても適用可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る液晶装置の平面図である。
【図2】図1のH−H′線に沿う断面図である。
【図3】同、液晶装置の複数の画素における等価回路図である。
【図4】同、液晶装置の駆動方法を説明するための波形図である。
【図5】同、液晶装置の1画素における等価回路図である。
【図6】同、液晶装置の1画素の概略構成を示す平面図である。
【図7】図6のA−A′線に沿う断面図である。
【図8】本発明の第2実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図9】本発明の第3実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図10】図9のB−B′線に沿う断面図である。
【図11】本発明の第4実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図12】本発明の第5実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図13】本発明の第6実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図14】本発明の投射型表示装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
1a…チャネル部、3a…ゲート線、3b…スリット部、6a…データ線、10…TFTアレイ基板(アクティブマトリクス基板)、30…TFT(薄膜トランジスタ)、31…ゲート線本線部、35,39…ゲート線分岐部、32〜34,36〜38…ゲート電極部、42…半導体層、44…容量電極、60…ストレージ容量、61…データ線本線部、62…データ線分岐部、100…液晶装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクティブマトリクス基板及びこのアクティブマトリクス基板を備えた液晶装置、液晶装置の駆動方法、投射型表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶装置をはじめとする表示装置の分野では、高輝度化や高精細化に対するニーズが高く、このようなニーズに応えるものとして、アクティブマトリクス型の表示装置の研究が盛んに行なわれている。このアクティブマトリクス型表示装置では、画素毎に設けた薄膜トランジスタ(TFT)によって各画素を個別にスイッチングしているため、高精細化された場合でも画素に十分な駆動電圧を供給でき、高コントラスト且つ高輝度な表示を可能としている。中でも、低温ポリシリコン(p−Si)型の薄膜トランジスタ(TFT)は、アモルファスシリコン(a−Si)型のTFTと比較して移動度が2〜3桁高いため、駆動回路をガラス基板上に内蔵できトランジスタの小型化も可能となる。このため、低温p−Si型TFTを用いた液晶装置は、a−Si型TFTを用いたものに比べて、より高精細化に適している。さらに最近、ガラス基板上に結晶方位が比較的そろった連続粒界シリコンにより薄膜トランジスタを作成する技術もある。
【0003】
しかしながら、低温p−Si型TFTは、活性層であるシリコンが多結晶である性格上、粒界に存在する欠陥を介したオフリーク電流(漏れ電流)が大きい。このオフリーク電流による液晶印加電圧の低下分Voffは、Voff∝exp(−t/τ)と表わされる。ここで、τ=Roff・(Clc+Cst)、Roff:TFTのオフ抵抗、Clc:液晶容量、Cst:ストレージ容量、である。よって、液晶印加電圧の低下を抑えるためには、Roff,Clc、Cstの内のいずれかを大きくする必要がある。
【0004】
ところが、RoffはTFTのオフ特性で決まる抵抗値であり、トランジスタのW(ゲート幅)/L(ゲート長)に反比例するが、トランジスタのパターンルールや信頼性の制限から、高精細パネルではW/Lをそれ程小さくすることはできない。一方、液晶容量Clcは画素面積に比例するため、高精細化するにつれて1画素あたりの液晶容量は画素ピッチの2乗に反比例して小さくなる。したがって、Voffを低減するためには、ストレージ容量Cstを大きくする必要がある。しかし、ストレージ容量を大きくすると画素の開口率が低下するため、このような開口率の低下を極力抑えるために、従来より、ストレージ容量の配置を工夫した画素構造が種々提案されている(例えば特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平8−328036号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、表示を高精細化していくと、画素面積が小さくなる一方、ストレージ容量の形成面積は大きくしなければならない。
上述の特許文献1の画素構造は高精細化の画素設計として現在一般に考えられるものであるが、一段の高精細化が求められた場合には、このような画素設計でも表示に必要な開口率は得られなくなる。
本発明は、上述の課題に鑑み創案されたもので、高い開口率を維持しながらオフリーク電流を十分に低減できるようにしたアクティブマトリクス基板及びこのアクティブマトリクス基板を備えた液晶装置、液晶装置の駆動方法、投射型表示装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、高精細化により画素に形成できる全容量の減少に見合うように薄膜トランジスタのオフリーク電流を低減すべく、このオフリーク電流に対する影響度の高い設計パラメータを研究した。
【0008】
p−Si型TFTのオフ電流は、高電圧端子であるドレイン接合部の少数キャリアーに着目して、PN接合ダイオードの逆バイアスの理論と同様に考えて良い。しかし、p−Si型TFT特有の多少の修正が必要である。実測した結果から検討した結果、オフリーク電流IoffはNチャネルのp−Si型TFTについて、
Ioff∝q(Gp+Gt)Lp+q(Gp+Gt+Ge)W
と表せることがわかった。ここで、qは素電荷、Gpは光照射による正孔の発生割合、Gtは熱励起による正孔の発生割合、Geはトネリングまたはエミッションによりドレイン接合部を通り抜けてくる正孔を他と同じように発生割合として示したもの、Lpは正孔の拡散長、Wは空乏層幅である。Pチャネルのp−Si型TFTについても、少数キャリアである電子について考えれば同様である。ただし、実測ではPチャネルTFTのIoffは、同条件測定でのNチャネルTFTとそれと比較して、Gp、Gt、Geが小さく、Ioffを小さくできる。
【0009】
TFTに入射される光強度をIとするとGp∝I、絶対温度をT、活性化エネルギーをEa、ボルツマン定数をkとすると、Gt∝exp(Ea/kT)と表される。Geは例えばドレイン接合部を通り抜けるエミッションを考えた場合は、Ge∝Vds’・exp(―b/Vds’)である。bは定数で、Vds’はドレイン側接合部に印加される電圧であるが、ドレイン−ソース間電圧Vdsが大きいときはそれにほぼ等しいと考えて良い。
【0010】
そして、得られた式に基づいて、液晶装置で求められる各パラメータの想定される可変範囲内でIoffに対する影響度を調べた結果、そのような可変範囲内ではVdsに対するIoffの変化係数が最も大きくなることがわかった。このため、薄膜トランジスタをマルチゲート化して1つのTFTに印加されるVdsを小さくすることが極めて有効な手段となる。
【0011】
ところで、トランジスタをマルチゲート化するとトランジスタを複数形成することになるのでトランジスタの占有面積が増えて画素の開口率が低下する。そのため、マルチゲート化によるトランジスタ面積の増大を補償する手段が必要となる。この方法としては、例えば特許文献1に開示されるような設計が考えられる。しかし、この従来の画素設計の手法に、例えば3重ゲート或いは4重ゲートを盛り込むと、画素の精細度が300ppi(ppiは25.4mmに含まれる画素数の単位)を越えるようになった場合に開口率を確保することが難しくなり破綻をきたす。
【0012】
そこで、容量線を別途設けず、ポリシリコン半導体のドレイン部を前段のゲート線まで延設しこの前段のゲート線との間でストレージ容量を形成する、所謂ゲートストレージ方式を採用することが有効となる。ここで、「前段のゲート線」とは、両側に隣接して配置されたゲート線の内、1つ前に走査されるゲート線をいい、逆に、1つ後に走査されるゲート線を「後段のゲート線」という。同様に、両側に隣接するデータ線の内、1つ前に走査されるデータ線を「前段のデータ線」、1つ後に走査されるデータ線を「後段のデータ線」という。
【0013】
ほとんどの場合、p−Si型TFTにおいてはストレージ容量の形成方法がa−Si型のものと異なり(具体的にはドープしたp−Si層とゲート線間でストレージ容量を形成する)、ゲートストレージ方式は用いられない。これは、p−Si型TFTのドレイン電極を延長して前段のゲート線部分の容量形成部に接続しなければならないので、低精細度の画素ではそのような延長線は無駄な領域であり、長く引き出すことによる抵抗値の増加が問題となるためである。これに対して、ある程度の精細度以上(例えば、600ppi以上)になると、ゲート線同士の距離が短くなるので、上述の抵抗値の増大は大きな問題ではなくなる。他方、開口率を確保しながら、マルチゲート化によりトランジスタ形成部分の面積が増加しても、このようなゲートストレージ方式を採用できる優位性が見出せる。
【0014】
このような観点から、上記目的を達成するために、本発明のアクティブマトリクス基板は、互いに交差して設けられた複数のゲート線及び複数のデータ線と、前記データ線と前記ゲート線との交差部に対応して設けられた薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタと前記ゲート線とに対応して設けられたストレージ容量とを備え、前記薄膜トランジスタは、ゲート電極部と、半導体層と、前記半導体層につながるドレイン部とソース部とを有し、前記ゲート電極部と前記ソース部はそれぞれゲート線とデータ線に導電接続され、前記半導体層は前記ゲート線もしくは前記ゲート線の分岐部と複数箇所で交差し、前記ドレイン部は、前記ゲート線に隣接する前段のゲート線の形成領域に延設されて前記ストレージ容量が構成されたことを特徴とする。
【0015】
本構成では、ポリシリコンや連続粒界シリコン等からなる半導体層とゲート線とを複数箇所で交差させてマルチゲート化しているため、ドレイン−ソース間電圧Vdsを大きく低減することができる。これにより、必要とされるストレージ容量が、ゲートストレージ方式で十分にカバーできる程度に小さくなり、高開口率化を実現できる。
【0016】
上述の薄膜トランジスタはN型トランジスタ又はP型トランジスタのいずれであってもよいが、薄膜トランジスタをP型トランジスタとした場合には、N型トランジスタとした場合に比べてオフリーク電流をより小さくすることができるためより好ましい。
一般的にP型の薄膜トランジスタはオフリーク電流が小さくなることは知られているが、研究の結果から光照射をした場合の光オフリーク電流の増加割合がむしろN型より高いことがわかり、後に述べる遮光構造を採用するとP型の本来の低オフ電流の特徴が活かせる。
【0017】
ところで、薄膜トランジスタをマルチゲート化するための具体的な構成としては、例えば、前記ゲート線が、前記データ線に交差する方向に延在するゲート線本線部と、前記ゲート線本線部から前記ゲート線に交差する方向に分岐したゲート線分岐部とを有し、前記ゲート線分岐部は前記半導体層と交差した複数の前記ゲート電極部を有する構成を挙げることができる。この場合、ゲート電極部と平面的に重なるポリシリコン半導体の領域がチャネル部となり、それらチャネル部がゲート線方向に平行に直列に配置されたマルチゲート構造が得られる。
この構成では、半導体層のドレイン部を、ゲート線に近接する位置から、前段のゲート線まで大きく引き回さなければならず、この引き回し配線部により画素の開口率を低下させるおそれがある。それを回避するため、半導体層のドレイン部を前記データ線又は前段若しくは後段のデータ線と一部平面的に重なるように配置することが好ましい。
【0018】
また、導き出されたオフリーク電流Ioffの式に示されるように、オフリーク電流Ioffはトランジスタに光照射を行なうことによっても増大する。その防止のために、半導体層のチャネル部に遮光膜を設けても設けることが好ましい。具体的には、上記半導体層のソース部と導電接続されたデータ線、若しくは、このデータ線に隣接する前段又は後段のデータ線を、ゲート線に交差する方向に延在するデータ線本線部と、このデータ線本線部から分岐し上記半導体層のチャネル部に平面的に重なる遮光性のデータ線分岐部とから構成し、このデータ線分岐部により上記チャネル部を遮光するようにしてもよい。
【0019】
また、マルチゲート化するための他の構成としては、例えば、前記ゲート線が、前記データ線に交差する方向に延在するゲート線本線部と、前記ゲート線本線部から前記ゲート線と交差する方向に分岐した第1のゲート線分岐部と、前記第1のゲート線分岐部からさらに分岐した第2のゲート線分岐部とを有し、前記第2のゲート線分岐部は前記半導体層と交差した複数のゲート電極部を有する構成を挙げることができる。この場合、ゲート電極部と平面的に重なる半導体層の領域がチャネル部となり、それらチャネル部がゲート線に交差する方向に直列に配置されたマルチゲート構造が得られる。
この構成では、半導体層のドレイン部が前段のゲート線に近接して配置されるため、このドレイン部を前段のゲート線まで引き回す際の引き回し部分の電気抵抗を小さくすることができる。
【0020】
また、この構成では、半導体層のチャネル部を上記データ線と平面的に重なるように配置し、データ線によってチャネル部が遮光されるようにすることが好ましい。これにより、光リーク電流の発生を防止できるとともに、開口率を高めることができる。特に、半導体層の複数のチャネル部がゲート線に交差する方向に配置される上記構成では、半導体層のソース部,チャネル部,ドレイン部を全て上記データ線と平面的に重ねることが可能であり、このような構成とすることで、画素の開口率を最大限高めることができる。
【0021】
また、マルチゲート化するための更に他の構成としては、前記ゲート線がスリット部を有し、前記半導体層が前記スリット部を介して前記ゲート線と複数箇所で交差する構成を挙げることができる。この場合、スリット部を介してゲート線と平面的に重なる半導体層の領域がチャネル部となる。
この構成では、単にゲート線にスリット部を形成するのみでマルチゲート化することができるため、上述のようにゲート電極部を新たに設けるものに比べて構造が簡単になり、画素の開口率を更に高めることができる。
【0022】
また、この構成において、ソース部,ドレイン部を上記データ線と平面的に重ねるように配置することが好ましい。これにより、半導体層による画素開口率の低下を最大限高めることができる。
また、この構成において、半導体層のチャネル部を上記データ線と平面的に重なるように配置し、このデータ線によって遮光されるようにすることで、更にオフリーク電流を低減することができる。
【0023】
なお、前記前段のゲート線は、前記データ線に交差する方向に延在する前段ゲート線本線部と、前記前段ゲート線本線部から前記ゲート線に交差する方向に分岐し、前記半導体層の前記ドレイン部の一部に平面的に重なる前段ゲート線分岐部とを有することが好ましい。
このような構成とすることで、半導体層のドレイン部を前段のゲート線まで引き回す際の引き回し部分の抵抗を小さくすることができるとともに、有効な容量を増やすこともできる。
【0024】
本発明の液晶装置は、上述のアクティブマトリクス基板を備えたことを特徴とする。例えば、液晶装置には、アクティブマトリクス基板と、このアクティブマトリクス基板に対向する対向基板が設けられ、前記対向基板の側から光が入射されて前記アクティブマトリクス基板側へ出射されることで表示が行なわれる。
本構成によれば、p−Si型TFTを用いて高輝度且つ高精細な表示を実現できるとともに、TFTのオフ特性が安定することで、高コントラストな表示も可能となる。
【0025】
ところで、画素を800ppi以上に高精細化した場合、開口率の低下のみならず駆動においても課題が生じることが判明した。つまり、これまで低精細表示においては、a−Si型TFTで問題になってp−Si型TFTで問題のなかったゲート−ドレイン間のフィードスルー電圧による画質劣化の問題が、表示を800ppi以上に高精細化することで、p−Si型TFTにおいても問題となることが判明した。このため、本発明では、このフィードスルー電圧を補償すべく、上述の液晶装置を駆動する方法として、以下の方法を採用した。
【0026】
すなわち、本発明の液晶装置の駆動方法は、上記ゲート線に供給される走査信号は、高電圧の第1の電位と、上記第1の電位よりも低電圧の第2の電位と、上記第2の電位よりも低電圧の第3の電位との3電位状態をとり、所定のフレームで上記第2の電位から上昇して上記第1の電位を1水平走査期間保持した後、上記第3の電位まで下降し、更にこの電位を後段のゲート線に供給される走査信号が第3の電位まで下降した後に上記第2の電位に復帰するとともに次フレームの開始まで上記第2の電位を保持し、上記画像信号と等電位にある上記画素電極電位が上記薄膜トランジスタの導通状態から非導通状態への遷移時に上記画像信号電圧が変動したときに、上記第3の電位保持期間内に上記画素電極電位を上記画像信号と等しい電位に復帰させることを特徴とする。
【0027】
また、本発明の投射型表示装置は、光源と、上記光源から出射された光を変調して画像光を形成する上述の液晶装置と、上記液晶装置から出射された画像光を拡大投影する投射光学系とを備えたことを特徴とする。本構成によれば、高輝度,高精細,高コントラストな表示が可能となる。
【0028】
【発明の実施の形態】
[第1実施形態]
以下、図1〜図6を参照しながら本発明の第1実施形態に係る液晶装置について説明する。図1は本実施形態の液晶装置を各構成要素とともに対向基板の側から見た平面図、図2は図1のH−H′線に沿う断面図、図3は液晶表示装置の画像表示領域においてマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路図、図4は本液晶装置の駆動方法を説明するための波形図である。なお、以下の説明に用いた各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。
【0029】
[液晶装置の全体構成]
図1および図2に示すように、本実施形態の液晶装置100は、TFTアレイ基板10(アクティブマトリクス基板)と対向基板20とがシール材52によって貼り合わされ、このシール材52によって区画された領域内に液晶層50が封入されて構成されている。シール材52の形成領域の内側の領域には、遮光性材料からなる遮光膜(周辺見切り)53が形成されている。シール材52の外側の領域には、データ線駆動回路201および外部回路実装端子202がTFTアレイ基板10の一辺に沿って形成されており、この一辺に隣接する2辺に沿ってゲート線駆動回路204が形成されている。TFTアレイ基板10の残る一辺には、画像表示領域の両側に設けられたゲート線駆動回路204の間を接続するための複数の配線205が設けられている。また、対向基板20の角部においては、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的導通をとるための基板間導通材206が配設されている。本実施形態の液晶装置100は透過型の液晶装置として構成され、対向基板20側に配置された光源(図示略)からの光を変調してTFTアレイ基板10側から出射するようになっている。
【0030】
なお、データ線駆動回路201およびゲート線駆動回路204をTFTアレイ基板10の上に形成する代わりに、例えば、駆動用LSIが実装されたCOF(Chip On Flexible cable)基板とTFTアレイ基板10の周辺部に形成された端子群とを異方性導電膜を介して電気的および機械的に接続するようにしてもよい。また、液晶表示装置100においては、使用する液晶の種類、すなわち、TN(Twisted Nematic)モード、STN(Super Twisted Nematic)モード等の動作モードや、ノーマリホワイトモード/ノーマリブラックモードの別に応じて、位相差板、偏光板等が所定の向きに配置されるが、ここでは図示を省略する。
【0031】
このような構造を有する液晶装置100の画像表示領域には、図3に示すように、複数の画素41がマトリクス状に配置されており、これらの画素41の各々には、画素スイッチング用としてP型のp−SiTFT30が形成されている。このTFT30にはマルチゲート構造が採用されており、シングルゲート構造を採用したものに比べて、TFT30の1つのTFTに印加されるドレイン−ソース間電圧を低減できるようになっている。p−SiTFT30の半導体層に不純物を導入するドレインは、LDD(Lightly Doped Drain)構造にするのが良い。
【0032】
このTFT30の複数のゲート31〜33にはゲート線3aが電気的に接続されており、ゲート線3aから所定のタイミングでパルス状の走査信号G1、G2、…、Gmがこの順に線順次で印加されるようになっている。また、TFT30のソース部にはデータ線6aが電気的に接続されており、1走査期間内に画像信号S1、S2、…、Snが供給されるようになっている。なお、データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、…、Snは、この順に順次供給する方法(点順次駆動)と、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、データを同時一括(線順次駆動)もしくは群毎(セレクタースイッチ)に供給する方法のいずれでもよい。
【0033】
TFT30のドレイン部には画素電極9が電気的に接続されており、1走査期間内にデータ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snが各画素に所定のタイミングで書き込まれるようになっている。このようにして画素電極9を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、図2に示す対向基板20の対向電極21との間で一定期間保持される。また、保持された画像信号S1、S2、…、Snがリークするのを防ぐために、画素電極9と対向電極21との間に形成される液晶容量Clcと並列にストレージ容量60が付加されている。本実施形態では、ストレージ容量の形成方法としてゲートストレージ方式が採用されており、ストレージ容量60は、TFT30のドレイン部を延在して形成された容量電極44と、この容量電極44に対して容量用絶縁膜を介して対向配置された前段のゲート線3aとの間で形成されている。
【0034】
ところで、本実施形態のようにポリシリコン半導体を用いて高精細化を図る場合、TFT30のゲート−ソース間の寄生容量Cgsにより大きなフィードスルー電圧が発生する。このため、本実施形態では、このようなフィードスルー電圧による画質の低下を防止すべく、補償駆動を行なっている。
図4,図5は、本液晶装置の駆動方法を説明するための図であり、図4はその波形図、図5は1画素の詳細な等価回路図である。図4において、図4(a)は(n−1)本目のゲート線に供給される走査信号波形、図4(b)はn本目のゲート線に供給される走査信号波形、図4(c)はn本目のデータ線に供給される画像信号波形、図4(d)はn本目のゲート線及びn本目のデータ線に導電接続された画素電極9の電圧変化波形を示している。電圧波形は混乱を避けるために従来標準のN型の薄膜トランジスタを画素に用いている場合について示している。P型の場合にはいわば電圧の高低が逆になるので注意を要する。
【0035】
本実施形態では、図4に示すように、TFTにはゲート線Xn−1((n−1)本目に走査されるゲート線)から電圧Vgで信号幅1水平走査期間を有する走査信号およびこの信号に続いて、電圧Vxで信号幅2水平走査期間の変調信号が重畳された走査信号XGが供給される。このとき、図5の等価回路において、
C=Clc+Cgs+Cx1+Cx2+Cy1+Cy2
Cn=Cgs+Cx1
Cn−1=Cx2
とする。ここで、Cx1はドレイン−ソース間の寄生容量、Cx2はストレージ容量、Cy1はゲート線とドレインとの間の寄生容量、Cy2はデータ線とドレインとの間の寄生容量、Cは総容量、である。
【0036】
一方、ゲート線Xn(n本目に走査されるゲート線)に接続されたn番目のTFT30に供給される信号XGがHレベルからLレベルに変化する時刻(図4のA点)の画素電極Clcの電圧変化ΔV1は、
ΔV1=−(Vg+Vx)Cn /C
となる。また、信号XGがLレベルの時刻(図4のB点)およびLレベルからHレベルに変化する時刻(図4のC点)の画素電極Clcの電圧変化をそれぞれΔV2,ΔV3とすると、
ΔV2=Vx・Cn−1/C
ΔV3=Vx・Cn/C
で表される。したがって、フィードスルー電圧ΔV1,ΔV2およびΔV3を補正するには、ΔV1+ΔV2+ΔV3=0とすればよいから、それぞれの値を代入すると、
ΔV1+ΔV2+ΔV3=−Cn (VG+Vx)/C+Vx・Cn−1/C+Vx・Cn/C=0
−Vg・Cn/C+Cn−1 ・Vx=0
Vx=Vg・Cn/Cn−1
となり、この式を満足するようにVxを設定する。
【0037】
本実施における走査信号XGとしては、高電圧の第1の電位VDDと、この第1の電位よりも低電圧で基準電位となる第2の電位VEE1と、この第2の電位よりも低電圧にある第3の電位VEE2との3状態の電位が与えられる。この走査信号波形は第2の電位VEE1から上昇して第1の電位VDDレベル(走査信号電圧Vg)を1水平走査期間保持した後、第3の電位VEE2レベル(変調信号電圧Vx)まで低下し、さらにこの第3の電位を2水平走査期間保持した後に第2の電位に復帰するとともに次フレームまでそのレベルを維持する。また各ゲート線にはこの信号波形と同じ信号波形が印加されるが、その位相はそれぞれ前段の選択信号波形に対して1水平走査期間分遅延した関係にある。
ここで、「第3の電位を2水平走査期間保持」する例を示したが次段のゲート線の走査信号が第3の第3のレベルVEE2まで低下した後であれば、必ずしも「2走査期間保持」で無くとも良い。
【0038】
したがって、ある1つのゲート線に接続されたTFTのゲート電極に電圧VDDを1水平走査期間供給してTFTをON状態にした後、その電位を電位VEE2まで低下させてTFTをOFFにする。このOFFになるタイミングに応答して後段の走査信号XGの電位を電圧VEE1レベルから電圧VDDレベルに上昇させ、前段同様に電位VDDレベルを1水平走査期間保持した後、電位VEE2に下降させる。このVEE2レベルの保持期間中に前段の選択信号XGレベルを電位VEE2レベルから電位VEE1レベルに復帰させ、しかる後に後段のゲート線上の選択信号XGも電位VEE2レベルから電位VEE1レベルに復帰させる。
【0039】
図4(c)に示すように、画像信号Vsは、対向電極COMの電位を中心にして1フレーム期間(奇数フィールド)Hレベルを維持し次フレーム期間(偶数フィールド)ではLレベルを維持している。この画像信号VsのHレベル供給期間において、ゲート線Xnに接続されたTFTのゲート電極には上述の走査信号XGの電圧Vgが供給されて導通状態となり、ドレイン電圧、すなわち画素電極電圧Vdの電圧は画像信号VsのHレベルと等レベルにまで上昇する(A点→B点)。この上昇した電位は前段の走査信号XGの電圧Vgが電位VEE2レベルへの下降に応答して低下(B点;前述のΔV1=−(Vg+Vx)Cn/C)する。
【0040】
次に前段の走査信号Yn−1 が2水平走査期間を経過後、電圧VEE1レベルに復帰するのに応答して画素電極電圧VdはΔV2だけ上昇する(C点;前述のΔV2=Vx・Cn−1/C)。さらに走査信号Yn の走査信号XGの電圧Vxが2水平走査期間を経過後、VEE1レベルに順次復帰するのに応答して画素電極電圧VdはΔV2だけ上昇し(D点;前述のΔV3=Vx・Cn/C)、再び上述の画像信号電圧Vsと等レベルのHレベルに復帰する。
【0041】
一方、画像信号VsのLレベル供給期間(偶数フィールド)においては、ゲート線Ynに接続されたTFTのゲート電極には上述同様に選択信号XGの電圧Vgが供給されて導通状態となりドレイン電極、すなわち画素電極電圧Vdの電圧は画像信号VsのLレベルと等レベルにまで下降する(E点→F点))。この下降した電位は前段のゲート線Yn−1上の選択信号XGの電圧Vgが電位VEE2レベルへの下降に応答して更に電圧ΔV1低下(F点)するが、ゲート線Yn−1およびYnの選択信号XGの電圧Vxがそれぞれ2水平走査期間を経過後順次に電位VEE1レベルに復帰するのに応答して電圧ΔV2およびΔV3を経て再び上述の画像信号VsのLレベルと等レベルにまで復帰する(H点)。したがって、本実施例の駆動方法では奇数フィールドおよび偶数フィールドのいずれにおいてもTFTをONするための選択信号XGの電圧Vxg(走査信号Vgおよび変調信号電圧Vx)のそれぞれは同様な3状態の電圧値を有し、画素電極電圧Vdの変化は上述のHレベルの場合のA点〜D点、およびLレベルの場合のE点〜H点までの各遷移期間は電圧ΔV1(=ΔV2+ΔV3)のレベル変動があるもののその後はΔV1+ΔV2+ΔV3=0となりフィードスルー電圧が補正される。
【0042】
[1画素の詳細構成]
図6は、本実施形態の液晶装置100を構成するTFTアレイ基板上の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図7は、図6のA−A’線に沿う断面図である。本実施の形態のTFTアレイ基板は、トップゲート型のp−SiTFTを備えた例である。
【0043】
データ線6aとゲート線3aとが互いに交差して設けられ、これらデータ線6aとゲート線3aによって区画された画素領域41に略U字状の半導体層42が設けられている。ゲート線3aは、データ線6aに交差するゲート線本線部31と、この本線部31から前段のゲート線3a側に向けて分岐した複数(図6では3つ)のゲート電極部32〜34とを有しており、これらのゲート電極部32〜34が、それぞれU字状の半導体層42と交差することでトリプルゲート構造のTFTを構成している。U字状の半導体層42の一端はソースコンタクトホール43を介してデータ線6aに接続される一方、他端は前段のゲート線3aまで延設され、TFT30の半導体層42と一体化した容量電極44を構成している。そして、この容量電極44と前段のゲート線3aとが平面的に重なる部分でストレージ容量60が構成されている。図中符号9の破線で示す矩形は画素電極の輪郭を示しており、画素電極9の縁はデータ線6aとゲート線3aに沿うように形成されている。
【0044】
本実施形態において、画素電極9とTFT30の半導体層42とは中継導電層45(図7参照)を介して電気的に接続されている。すなわち、画素コンタクトホール46を介して画素電極9と中継導電層45とが電気的に接続され、ドレインコンタクトホール47を介して中継導電層45とTFT30の半導体層42とが電気的に接続されたことにより、画素電極9とTFT30の半導体層42とが電気的に接続されている(図7参照)。
【0045】
本実施形態の液晶装置100のTFTアレイ基板10は、図7に示すように、例えば石英、ガラス、プラスチック等からなる基板本体10Aの全面に下地絶縁膜12が形成され、下地絶縁膜12上にTFT30が設けられている。下地絶縁膜12は基板本体10Aの表面の荒れや汚染等でTFT30の特性変化を防止する機能を有している。TFT30は、上述したように、トリプルゲート構造であり、かつ、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有している。よって、TFT30は、ゲート電極部32〜34(ゲート線3a)、当該ゲート電極部32〜34からの電界によりチャネルが形成される半導体層42のチャネル領域1a、ゲート電極部32〜34と半導体層42とを絶縁するゲート絶縁膜をなす絶縁薄膜2、半導体層42の低濃度ソース領域1bおよび低濃度ドレイン領域1c、半導体層42の高濃度ソース領域1dおよび高濃度ドレイン領域1eを備えている。半導体層42には、多結晶シリコンが用いられている。
【0046】
半導体層42の高濃度ドレイン領域1eは、そのまま前段のゲート線3a側に延設されて容量電極44となっている。そして、容量電極44の上方には、絶縁薄膜2を介してゲート線3aが形成されている。よって、容量電極44とゲート線3aとが絶縁薄膜(容量用絶縁膜)2を介して配向配置されていることでストレージ容量60が構成されている。ゲート線3aを覆うように第1層間絶縁膜13が形成されており、第1層間絶縁膜13上にはデータ線6aおよび中継導電層45が同層で形成されている。データ線6aおよび中継導電層45は、例えばアルミニウム等の低抵抗金属で構成することができる。また、第1層間絶縁膜13を貫通するソースコンタクトホール43が形成され、ソースコンタクトホール43を介してデータ線6aと半導体層42の高濃度ソース領域1dとが電気的に接続されている。一方、第1層間絶縁膜13を貫通するドレインコンタクトホール47が形成され、ドレインコンタクトホール47を介して中継導電層45と半導体層42の高濃度ドレイン領域1eとが電気的に接続されている。
【0047】
データ線6aおよび中継導電層45を覆うように第2層間絶縁膜14が形成されており、第2層間絶縁膜14上に画素電極9が形成されている。画素電極9は例えばITO、IZO等の透明導電膜で形成されている。そして、第2層間絶縁膜14を貫通する画素コンタクトホール46が形成され、画素コンタクトホール46を介して画素電極9と中継導電層45とが電気的に接続されている。以上の構成により、中継導電層45を介して半導体層42の高濃度ドレイン領域1eと画素電極9とが電気的に接続されている。なお、図7においては図示を省略したが、液晶表示装置に用いるアクティブマトリクス基板として、画素電極9の上方を含むTFTアレイ基板10の最表面には、ラビング処理等の配向処理が施されたポリイミド膜等からなる配向膜が設けられている。
【0048】
他方、対向基板20側については図示を省略するが、基板本体上の全面にわたってITOなどの透明導電膜からなる共通電極が設けられ、共通電極の全面には、TFTアレイ基板側と同様の配向膜が設けられている。また、カラー表示を行う場合には、各画素領域に対応して例えばR(赤)、G(緑)、B(青)の着色層を備えたカラーフィルターを基板本体上に形成すれば良い。
したがって、本実施形態の液晶装置では、TFT30をマルチゲート化して1つのTFTに印加されるドレイン−ソース間の電圧を低減しているため、オフリーク電流を低減することができる。これにより、ストレージ容量60の形成領域を小さくできるとともに、ゲートストレージ方式を採用しているので超高精細であるにもかかわらず高い開口率を得ることができる。
また、本実施形態では、TFT30をP型のトランジスタとして構成しているため、既に述べたようにTFT30をN型とした場合に比べてオフリーク電流をより低減することができる。
【0049】
[第2実施形態]
次に、図8を参照しながら、本発明の第2実施形態に係る液晶装置について説明する。図8は、本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図6に対応する図である。なお、上記第1実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態は、上記第1実施形態のTFT30のドレイン部の配置を変形したものである。すなわち、多結晶シリコン半導体層42のドレイン部を前段のデータ線6aに沿って引き回して容量電極44を形成している。そして、これ以外は上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第1実施形態と同様の効果が得られる他、半導体層42のドレイン部をデータ線6aと平面的に重ねて配置しているため、開口率を更に向上できる。
【0050】
[第3実施形態]
次に、図9,図10を参照しながら、本発明の第3実施形態に係る液晶装置について説明する。図9は本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり図6に対応する図、図10は図9のB−B′線に沿う断面図であり図7に対応する図である。なお、上記第1実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0051】
本実施形態は、上記第1実施形態のデータ線6aの構造を変形したものである。すなわち、データ線6aは、ゲート線3aに交差するデータ線本線部61と、この本線部61から前段のデータ線6a側に向けて分岐し半導体層42のチャネル部1aに平面的に重なるように設けられたデータ線分岐部62とを有しており、この分岐部62によってチャネル部1aが遮光されるようになっている。この分岐部62は、図10に示すように、第1層間絶縁膜13上に(即ち、中継導電層45と同層に)形成されており、例えば、中継導電層と同じアルミニウム等の低抵抗金属により構成されている。そして、これ以外は上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第1実施形態と同様の効果が得られる他、チャネル部1aをデータ線6aにより遮光しているため、光リーク電流の発生を防止することができる。
【0052】
[第4実施形態]
次に、図11を参照しながら、本発明の第4実施形態に係る液晶装置について説明する。図11は、本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図6に対応する図である。なお、上記第1実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態は、上記第1実施形態の構成において、ポリシリコン半導体層42の構造及び配置と、ゲート線3aの構造とを変形したものである。すなわち、本実施形態のTFTは30′は、L字状の半導体層42がゲート線3aと3回交差することでトリプルゲート構造のTFTを構成している。この半導体層42はデータ線6aと平面的に重なる第1の領域と、この第1の領域から屈曲してゲート線3aと平面的に重なる第2の領域とを有しており、この第2の領域が容量電極44として構成されている。
【0053】
一方、ゲート線3aは、データ線6aに交差する本線部31と、この本線部31から前段のゲート線3aに向けて分岐したゲート線分岐部35と、この分岐部35から櫛歯状に分岐した複数(図11では3つ)のゲート電極部36〜38とを有しており、各ゲート電極部36〜38はそれぞれデータ線6aの形成領域において上記半導体層42の第1の領域と平面的に重なるように配置されている。
そして、これら以外は上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第1実施形態と同様の効果が得られる他、半導体層42のドレイン部が前段のゲート線3aに近接して配置されるため、このドレイン部を前段のゲート線まで引き回す際の引き回し部分の電気抵抗を小さくすることができる。また、半導体層42のチャネル部1aがデータ線6aと平面的に重なるように配置されて遮光されるようになっているため、光リーク電流の発生を防止することができる。さらに、半導体層42のソース部及びドレイン部もデータ線6aと平面的に重なるように配置されているため、極めて高い開口率を得ることができる。
【0054】
[第5実施形態]
次に、図12を参照しながら、本発明の第5実施形態に係る液晶装置について説明する。図12は、本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図11に対応する図である。なお、上記第4実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0055】
本実施形態は、上記第4実施形態の構成において、ゲート線3aの構造を変形したものである。すなわち、本実施形態では、ゲート線3aに分岐部35を設ける代わりに、ゲート線3aに複数(図12では4つ)のスリット部3bを設け、このスリット部3bの形成された領域に半導体層42の第1の領域を平面的に重ねることで、5重ゲート構造のTFTを構成している。このスリット部3bはゲート線3aとデータ線6aとが交差する位置に設けられており、半導体層42のソース部,チャネル部1aの全て、及び、ドレイン部の一部がデータ線6aと平面的に重なるように配置されている。そして、これら以外は上記第4実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第4実施形態と同様の効果が得られる他、ゲート線3aに対して単にスリット部3bを設けるのみの簡単な構成でマルチゲート構造を実現しているため、ゲート線3aに分岐部35を設けた上記第4実施形成のものに比べて画素の開口率を更に高めることができる。
【0056】
[第6実施形態]
次に、図13を参照しながら、本発明の第6実施形態に係る液晶装置について説明する。図13は、本実施形態の液晶装置を構成するTFTアレイ基板の1つの画素の概略構成を示す平面図であり、図6に対応する図である。なお、上記第1実施形態と同様の部位については同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0057】
本実施形態は、上記第1実施形態のゲート線3aの構造を変形したものである。すなわち、ゲート線3aは、データ線6aに交差する本線部31と、この本線部31から後段のゲート線3a側に向けて分岐したゲート線分岐部39とを有しており、この分岐部39は後段側の半導体層42のドレイン部の一部と平面的に重なるように構成されている。そして、これ以外は上記第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
したがって、本実施形態では、上記第1実施形態と同様の効果が得られる他、半導体層42のドレイン部が前段のゲート線3aに近接して配置されるため、このドレイン部を前段のゲート線まで引き回す際の引き回し部分の電気抵抗を小さくすることができ、しかも有効な容量を増やすことができる。
【0058】
[投射型表示装置]
次に、上述した液晶装置を備えた投射型表示装置の例について説明する。
図14は、上述の液晶装置をライトバルブとして備えた投射型表示装置の構成を示す平面図である。本投射型液晶表示装置1110は、前記のアクティブマトリクス基板を用いた液晶装置100を各々RGB用のライトバルブ100R、100G、100Bとして用いた3板式のプロジェクタとして構成されている。この液晶プロジェクタ1110では、メタルハライドランプなどの白色光源のランプユニット1112から光が出射されると、3枚のミラー1116および2枚のダイクロイックミラー1118によって、R、G、Bの3原色に対応する光成分R、G、Bに分離され(光分離手段)、対応するライトバルブ100R、100G、100B(液晶装置100/液晶ライトバルブ)に各々導かれる。この際に、光成分Bは、光路が長いので、光損失を防ぐために入射レンズ1132、リレーレンズ1123、および出射レンズ1134からなるリレーレンズ系1131を介して導かれる。そして、ライトバルブ100R、100G、100Bによって各々変調された3原色に対応する光成分R、G、Bは、ダイクロイックプリズム1122(光合成手段)に3方向から入射され、再度合成された後、投射レンズ(投射光学系)1124を介してスクリーン1130などにカラー画像として拡大投影される。
この投射型表示装置ではオフリーク電流を十分に低減した液晶装置を用いているため、高輝度,高精細,高コントラストな表示が可能となる。
【0059】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、上記実施形態では、TFTを3重ゲート構造又は5重ゲート構造とした例を示したが、本発明はこれに限定されず、2重ゲートや4重ゲート、或いは、6重ゲート以上としてもよい。また、上記実施形態では遮光膜をTFTを作成する基板上の対向基板側にのみ設けた構成を例示したが、TFTの下層側にも遮光膜を設けることで、遮光を確実にすることができる。さらに、上記実施形態ではP型でLDD構造のトランジスタを作製した例を示したが、本発明はこれに限定されず、TFTをP型のオフセット構造もしくはセルフアライン構造としてもよい。勿論、TFTをN型のLDD構造或いはN型のオフセット構造もしくはセルフアライン構造とすることも可能である。PとNどちらの型のどの構造を選択するかは、精細度やストレージ容量に応じて要求されるオフリーク電流の値次第である。
【0060】
また、パターン形状や断面構造、各膜の構成材料等に関する記載はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
また、本発明のアクティブマトリクス基板は、例えば、エレクトロルミネッセンス(EL)、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、あるいはプラズマ発光や電子放出による蛍光等を用いた様々な電気光学素子を用いた電気光学装置、およびこの電気光学装置を備えた電子機器に対しても適用可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る液晶装置の平面図である。
【図2】図1のH−H′線に沿う断面図である。
【図3】同、液晶装置の複数の画素における等価回路図である。
【図4】同、液晶装置の駆動方法を説明するための波形図である。
【図5】同、液晶装置の1画素における等価回路図である。
【図6】同、液晶装置の1画素の概略構成を示す平面図である。
【図7】図6のA−A′線に沿う断面図である。
【図8】本発明の第2実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図9】本発明の第3実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図10】図9のB−B′線に沿う断面図である。
【図11】本発明の第4実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図12】本発明の第5実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図13】本発明の第6実施形態の液晶装置の1画素の概略構成図。
【図14】本発明の投射型表示装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
1a…チャネル部、3a…ゲート線、3b…スリット部、6a…データ線、10…TFTアレイ基板(アクティブマトリクス基板)、30…TFT(薄膜トランジスタ)、31…ゲート線本線部、35,39…ゲート線分岐部、32〜34,36〜38…ゲート電極部、42…半導体層、44…容量電極、60…ストレージ容量、61…データ線本線部、62…データ線分岐部、100…液晶装置
Claims (17)
- 互いに交差して設けられた複数のゲート線及び複数のデータ線と、
前記データ線と前記ゲート線との交差部に対応して設けられた薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタと前記ゲート線とに対応して設けられたストレージ容量とを備え、
前記薄膜トランジスタは、ゲート電極部と、半導体層と、前記半導体層につながるドレイン部とソース部とを有し、
前記ゲート電極部と前記ソース部はそれぞれゲート線とデータ線に導電接続され、
前記半導体層は前記ゲート線もしくは前記ゲート線の分岐部と複数箇所で交差し、
前記ドレイン部は、前記ゲート線に隣接する前段のゲート線の形成領域に延設されて前記ストレージ容量が構成されたことを特徴とする、アクティブマトリクス基板。 - 前記薄膜トランジスタはP型のトランジスタとして構成されたことを特徴とする、請求項1記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記ゲート線は、前記データ線に交差する方向に延在するゲート線本線部と、前記ゲート線本線部から前記ゲート線に交差する方向に分岐したゲート線分岐部とを有し、
前記ゲート線分岐部は前記半導体層と交差した複数の前記ゲート電極部を有することを特徴とする、請求項1又は2記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記ドレイン部は、前記データ線又は隣接する前段若しくは後段のデータ線と一部平面的に重なることを特徴とする、請求項3記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記データ線、若しくは前記データ線に隣接する前段又は後段のデータ線は、前記ゲート線に交差する方向に延在するデータ線本線部と、前記データ線本線部から分岐し、前記半導体層のチャネル部に平面的に重なる遮光性のデータ線分岐部とを有することを特徴とする、請求項3又は4記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記ゲート線は、前記データ線に交差する方向に延在するゲート線本線部と、前記ゲート線本線部から前記ゲート線と交差する方向に分岐した第1のゲート線分岐部と、前記第1のゲート線分岐部からさらに分岐した第2のゲート線分岐部とを有し、
前記第2のゲート線分岐部は前記半導体層と交差した複数のゲート電極部を有することを特徴とする、請求項1又は2記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記半導体層のチャネル部は、前記データ線と平面的に重なるように配置され、前記データ線により遮光されたことを特徴とする、請求項6記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記ドレイン部もしくは前記ドレイン部から延設された部分が、前記データ線と一部平面的に重なるように配置されたことを特徴とする、請求項6又は7記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記ゲート線はスリット部を有し、
前記半導体層は前記スリット部を介して前記ゲート線と複数箇所で交差することを特徴とする、請求項1又は2記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記ソース部および前記ドレイン部が前記データ線と平面的に重なるように配置されたことを特徴とする、請求項9記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記半導体層のチャネル部は、前記データ線と平面的に重なるように配置され、前記データ線により遮光されたことを特徴とする、請求項9又は10記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記前段のゲート線は、前記データ線に交差する方向に延在する前段ゲート線本線部と、前記前段ゲート線本線部から前記ゲート線に交差する方向に分岐し、前記半導体層の前記ドレイン部の一部に平面的に重なる前段ゲート線分岐部とを有することを特徴とする、請求項1〜11のいずれかの項に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記半導体層は、ポリシリコン又は連続粒界シリコンであることを特徴とする請求項1〜11のいずれかの項に記載のアクティブマトリクス基板。
- 請求項1〜13のいずれかの項に記載のアクティブマトリクス基板を備えたことを特徴とする、液晶装置。
- 前記液晶装置は、前記アクティブマトリクス基板と対向する対向基板を備え、前記対向基板の側から光を入射して前記アクティブマトリクス基板側へ出射して表示することを特徴とする、請求項14記載の液晶装置。
- 請求項14又は15記載の液晶装置の駆動方法であって、前記ゲート線に供給される走査信号は、第1の電位と、前記第1の電位よりも低電圧の第2の電位と、前記第2の電位よりも低電圧の第3の電位との3電位状態をとり、
所定のフレームで前記第2の電位から上昇して前記第1の電位を1水平走査期間保持した後、前記第3の電位まで下降し、更にこの電位を後段のゲート線に供給される走査信号が第3の電位まで下降した後に前記第2の電位に復帰するとともに次フレームの開始まで前記第2の電位を保持し、前記画像信号と等電位にある前記画素電極電位が前記薄膜トランジスタの導通状態から非導通状態への遷移時に前記画像信号電圧が変動したときに、前記第3の電位保持期間内に前記画素電極電位を前記画像信号と等しい電位に復帰させることを特徴とする、液晶装置の駆動方法。 - 光源と、
前記光源から出射された光を変調して画像光を形成する請求項14又は15記載の液晶装置と、
前記液晶装置から出射された画像光を拡大投影する投射光学系とを備えたことを特徴とする、投射型表示装置。
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