JP2004261960A - ポリッシング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターンテーブル1とトップリング2の間に板状の被研磨物(半導体ウエハF)を介在させ、所定の力で該被研磨物を押圧し、該被研磨物の表面を研磨するポリッシング装置において、トップリング2に被研磨物を装着した状態で露出した該研磨面に光を投光する投光部3と、該被研磨物で反射する光を受光する受光部4を設け、該受光部4で受光する反射光から該被研磨物の研磨終了点を検出する研磨終了点検出手段を設け、該研磨終了時点は表面に異材質が露出した時点とする。
【選択図】図1
Description
2 トップリング
3 投光部
4 受光部
5 増幅部
6 アナログフィルタ
7 A/D変換部
8 演算部
9 制御部
F 半導体ウエハ
L1〜L5 投射光
LP1〜LP5 照射点
LR1〜LR5 反射光
Claims (9)
- 対向し各々独立して回転するターンテーブルとトップリングを具備し、該ターンテーブルとトップリングの間に板状の被研磨物を介在させ、所定の力で該被研磨物を押圧し、該被研磨物の表面を研磨するポリッシング装置において、
前記トップリングに前記被研磨物を装着した状態で露出した研磨面に光を投光する投光部と、該被研磨物で反射する光を受光する受光部を設け、該受光部で受光する反射光から該被研磨物の研磨終了点を検出する研磨終了点検出手段を設け、該研磨終了時点は表面に異材質が露出した時点とすることを特徴とするポリッシング装置。 - 請求項1に記載のポリッシング装置において、
前記研磨終了点検出手段は、研磨終了点を検出した場合、停止信号を制御部に送り研磨運転を停止することを特徴とするポリッシング装置。 - 請求項1又は2に記載のポリッシング装置において、
前記研磨終了点検出手段は、研磨終了点を検出しない場合は、停止信号を制御部に出力せず、研磨を継続することを特徴とするポリッシング装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のポリッシング装置において、
前記投光部の投光と反射光の経路と入射・反射角度が全て同一であることを特徴とするポリッシング装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のポリッシング装置において、
前記投光部と受光部は、前記被研磨物の被測定面に対して、投光と反射光が一定の角度をなすように配置されていることを特徴とするポリッシング装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のポリッシング装置において、
前記投光部と受光部はそれぞれ複数あり、1対1対応の配置関係にあることを特徴とするポリッシング装置。 - 請求項6に記載のポリッシング装置において、
前記複数の投光部の投光と、前記複数の受光部が受光する反射光の経路距離と入射・反射角度が同一であることを特徴とするポリッシング装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のポリッシング装置において、
前記終了点検出手段は、反射光の強度の変化を酸化膜で反射された反射光強度と、金属部分で反射した反射光強度の変化により研磨終了点を検出することを特徴とするポリッシング装置。 - 請求項8に記載のポリッシング装置において、
前記研磨終了点検出手段は、酸化膜で反射した反射光強度を初期値として設定することを特徴とするポリッシング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004141312A JP2004261960A (ja) | 2004-05-11 | 2004-05-11 | ポリッシング装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014504041A (ja) * | 2011-01-28 | 2014-02-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 多数の光ヘッドからのスペクトルの収集 |
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2004
- 2004-05-11 JP JP2004141312A patent/JP2004261960A/ja active Pending
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JP2014504041A (ja) * | 2011-01-28 | 2014-02-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 多数の光ヘッドからのスペクトルの収集 |
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