JP2004261887A

JP2004261887A - 研磨パッド、その製造方法および製造装置

Info

Publication number: JP2004261887A
Application number: JP2003052345A
Authority: JP
Inventors: Takuji Komukai; 拓治小向; Kazutaka Miyamoto; 一隆宮本; Katsumi Kawase; 克己川瀬; Mitsutoshi Nishimura; 光敏西村
Original assignee: Rodel Nitta Inc
Current assignee: Nitta DuPont Inc
Priority date: 2003-02-28
Filing date: 2003-02-28
Publication date: 2004-09-24

Abstract

【課題】孔あけ加工が施され高い研磨性能を有する一体型窓付き研磨パッドを提供すること、およびこのパッドを効率よく製造することができる製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】被研磨物を研磨する表面の一部に透光性窓部２を有し、かつこの窓部および窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分３を除く研磨面に研磨剤を保持するための複数の孔４が均一に形成して得られる一体型窓付き研磨パッドである。このパッドの製造方法によれば、窓部およびその周辺部分を除く研磨面に前記複数の孔が効率よく形成される。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＨＤ，ＦＰＤ等に用いられるガラス、半導体、集積回路等において、平滑化加工を行うのに使用される一体型窓付き研磨パッド、その製造方法および製造装置に関する。
【従来の技術】
【０００２】
半導体ウェハーのケミカル・メカニカル・ポリシング法（ＣＭＰ法）による研磨においては、半導体ウェハーを研磨パッドの表面に押圧して両方を同方向に回転させ、それらの間にシリカ粒子などの研磨剤を供給しながら研磨を行う。研磨パッドとしては、通常、ポリウレタンを含浸させた不織布の上に硬質の発泡ポリウレタンシートを積層したものや、硬質の発泡ポリウレタンシートなどが使用される。
【０００３】
近時、半導体ウェハーが所望の平坦度に研磨されたことを測定するために、ウェハーの表面状態を光学的に検出することが行われている。この方法によると、研磨の終点を簡単に検出することができ、過研磨を防止することができる。このような光学的終点検出を行うために、研磨パッドにレーザー光等が透過する窓を設けた研磨パッドが開発されている。例えば、下記特許文献１には、研磨パッドの表面の一部に透光性窓部を一体に設けた一体型窓付き研磨パッドが開示されている。
【０００４】
図８（ａ）および（ｂ）はこのような一体型窓付き研磨パッドを示している。同図に示すように、研磨パッド５０はその一部に透光性樹脂からなる窓部５１が設けられている。研磨パッド５０は、ポリウレタン含浸不織布や発泡ポリウレタンなどからなる下地層５２上に積層接着される。下地層５２は、前記窓部５１に相当する部分に貫通穴５３が設けられており、この貫通穴５３および窓部５１を経て終点検出用の光が通過する。同図において、５４および５５は粘着剤層（ＰＳＡ）である。
【０００５】
一方、研磨剤を保持して、半導体ウェハーのエッジにより研磨剤が掻き出されることなく、研磨剤をウェハーの表面に接触させるために多数の孔が形成されている研磨パッドがよく知られている（例えば下記特許文献２）。このような孔加工は、高い研磨性能（研磨レート安定性、研磨平坦性など）を得るためには必要である。
【０００６】
そこで、図９（ａ）および（ｂ）に示すように、研磨パッド５７に窓部５６を設け、かつ多数の孔５８を形成したものが開発されている。この研磨パッド５７は、あらかじめ孔５８を形成した研磨パッド５７の一部を切り欠き、この切り欠き部５９内に窓部５６をはめ込んで、下地層５２上に貼り合せたものである。
【０００７】
しかし、窓部５６を貼り合せているため、窓部５６と研磨パッド５７との間に隙間ができ、そこから滲みこんだ研磨剤スラリーが終点検出光の透過を阻害するため、終点検出不良が生じてパッド寿命が短くなるという問題がある。また、窓部５６の貼り合せ作業やパッド枚葉毎の窓部５６の高さ設定や検査が必要であるため製造工程が煩雑となり、工数削減が困難であるといった欠点がある。
【０００８】
また、パッド表面の上記孔５８は、通常、約７千個〜２万５千個（２０〜３６”）にも及ぶため、前記した一体型窓付き研磨パッド５０の窓部５１のみを孔加工なしで、パッド全面に孔加工を行なうためには、１孔／秒の速度で孔加工を行なったとしても、パッド１枚あたり２〜７時間を要するため工業的生産には適さない。また、窓部分を打抜かない専用金型にてパッド全体をパンチングプレスを行なおうとすれば大型の機械導入が必要である上に、大型の金型をパッドの種類の数だけ用意する必要があることから、現実的ではない。
【０００９】
【特許文献１】
特表平１１−５１２９７７号公報
【特許文献２】
特開昭９‐１１７８５５号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の主たる目的は、孔加工が施され、高い研磨性能を有する一体型窓付き研磨パッドを提供することである。
本発明の他の目的は、孔加工が施された一体型窓付研磨パッドを効率よく製造することができる製造方法および製造装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の研磨パッドは、以下の構成からなる。
【００１２】
（１）被研磨物を研磨する表面の一部に透光性窓部が一体に形成されており、かつこの窓部およびこの窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分を除く研磨面に研磨剤を保持するための複数の孔が均一に形成されていることを特徴とする一体型窓付き研磨パッド。
（２）前記複数の孔が直径０．１〜１０ｍｍを有し、かつ最も近い孔同士が１〜２０ｍｍの間隔で規則的に形成されている（１）記載の研磨パッド。
（３）前記複数の孔が、前記窓部および窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分を除く研磨面に均一に形成されている（１）または（２）記載の研磨パッド。
（４）下地層上に積層されて多層構造を形成する（１）〜（３）のいずれかに記載の研磨パッド。
（５）窓部およびこの窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分を除く研磨面に、研磨剤を保持するための複数の孔を均一に形成することを特徴とする一体型窓付き研磨パッドの製造方法。
（６）前記複数の孔が、前記窓部およびその周辺部分では孔あけ加工を行わず、窓部およびその周辺部分を除く研磨領域では孔あけ加工を行うようにプログラミングされた制御機構を備えた孔あけ手段によって行われる（５）記載の研磨パッドの製造方法。
（７）前記孔あけ手段がドリル加工機またはレーザー加工機である（６）記載の研磨パッドの製造方法。
（８）一部に透光性窓部が形成された研磨パッド材を一定方向に走行させながら、研磨パッドの走行方向と直交する方向に所定の間隔で並設された複数の孔あけ手段を上下動させて、複数の孔を形成する研磨パッドの製造方法であって、
前記透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置に入ったとき、前記複数の孔あけ手段のうち当該窓部およびその周辺部分の領域内に存在する孔あけ手段のみが孔あけ加工を行わず、ついで前記透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置を通過したとき、孔あけ加工を再開することを特徴とする一体型窓付き研磨パッドの製造方法。
（９）前記透光性窓部およびその周辺部分の領域内に存在する孔あけ手段は、鉛直方向の長さが他の部位の孔あけ手段よりも短く、かつ透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置にあるときには、該孔あけ手段の先端が前記窓部に接触しないように孔あけ手段の上下動距離を短くするか、または孔あけ手段の下降開始位置を高くするように構成されている（８）記載の研磨パッドの製造方法。
（１０）前記透光性窓部およびその周辺部分の領域内に存在する孔あけ手段は、透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置にあるときに、先端が前記窓部に接触しないように先端の位置が他の部位の孔あけ手段よりも高い位置にあるように高さ調整可能に構成されている（８）記載の研磨パッドの製造方法。
（１１）前記孔あけ手段が、上下動する上金型に保持された複数の打抜き具である（８）〜（１０）のいずれかに記載の研磨パッドの製造方法。
（１２）一部に透光性窓部が形成された研磨パッド材を一定方向に走行させるための移送手段と、
前記研磨パッド材の走行方向と直交する方向に所定の間隔で並設され、上下動によって前記研磨パッド材に孔あけ加工する複数の孔あけ手段と、
前記透光性窓部の位置を検知する検知手段と、
前記透光性窓部およびこの窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分が孔あけ位置に入ったとき、前記検知手段からの検知信号に基づいて前記窓部およびその周辺部分が通過する領域に存在する孔あけ手段の先端が前記窓部に接触しないように、かつ前記透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置を通過したとき、孔あけ加工を再開するように当該孔あけ手段の鉛直方向の上下動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする一体型窓付き研磨パッドの製造装置。
（１３）前記複数の孔あけ手段が、上下動する上金型に保持された複数の打抜き具からなる（１２）記載の研磨パッドの製造装置。
（１４）前記窓部およびその周辺部分が通過する領域内に存在する打抜き具は、鉛直方向の長さが他の部位の打抜き具よりも短く形成されて他の部位の打抜き具と共に上金型に保持されており、かつ透光性窓部が打抜き位置にあるときには打抜き具の先端が前記窓部に接触しないように上金型が上昇し、かつ前記透光性窓部が打抜き位置を通過したとき、上金型が下降するように上金型の昇降手段が設けられ、この昇降手段が制御手段からの制御信号を受けて上金型を昇降させるように構成されている（１２）または（１３）記載の研磨パッドの製造装置。
（１５）前記窓部およびその周辺部分が通過する領域に存在する打抜き具は、透光性窓部が打抜き位置にあるときに先端が前記窓部およびその周辺部分に接触しないように鉛直方向上向きに上昇し、かつ前記窓部およびその周辺部分が打抜き位置を通過したとき下降するように、前記領域に存在する打抜き具の昇降手段を備えており、この昇降手段が制御手段からの制御信号をうけて打抜き具を昇降させるように構成されている（１２）または（１３）記載の研磨パッドの製造装置。
【００１３】
上記（１）〜（４）の構成によれば、複数の孔が前記窓部およびその周辺部分を除く研磨領域の表面に均一に形成されているため、研磨剤を保持するという孔の作用が最大限に発揮され、また窓部が一体化されているため、窓部とパッドの隙間から研磨剤スラリーが漏れることもない。従って、本発明の研磨パッドは高い研磨性能（研磨レート安定性、研磨平坦性、研磨パッド寿命など）に優れており、特にスラリー漏れがなくなったことによる結果としてパッドライフを伸ばすことができ、生産効率が向上する。
【００１４】
上記（５）〜（１５）の構成によれば、複数の孔が前記窓部およびその周辺部分を除く研磨領域の表面に均一に形成された一体型窓付き研磨パッドを精度よくかつ高能率で製造することができるので、工業的に製造するのに好適である。
なお、本発明において研磨パッドに形成される孔は貫通孔でもよく、非貫通孔であってもよい。また、一体型窓付き研磨パッドの窓は１つに限定されず、２つまたはそれ以上の窓部が形成されているものであってもよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を説明する。図１（ａ）および（ｂ）はこの実施形態に係る一体型窓付き研磨パッドを概略的に示している。同図に示すように、この研磨パッド１は、被研磨物を研磨する表面の一部に透光性窓部２を有し、かつこの窓部２およびその周辺部分３を除く表面に研磨剤を保持するための複数の孔４が均一に形成されたものである。
【００１６】
前記窓部２は、研磨終点を検出するための光が透過するのに適した透光性を有する熱可塑性樹脂材からなる。より具体的には、この熱可塑性樹脂材は、波長が１９０〜５００ナノメーターの光が透過する透光性を有しているのが好ましい。このような熱可塑性樹脂材としては、例えばポリウレタン、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ナイロン、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリエーテルサルホン、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレンなどがあげられる。窓部２は注型、押出成形などによって所定形状に成形される。
【００１７】
また、パッド材料としては熱可塑性樹脂および／または熱硬化性樹脂が使用され、これらの樹脂を硬化剤などの添加物と共にモールド中に充填し、所定の温度で加熱して成形する。前記樹脂としては、例えば硬質の発泡ポリウレタンなどがあげられる。
【００１８】
前記窓部２をパッド本体と一体化させるには、あらかじめ成形した窓部を前記モールド内に挿入し、ついで熱可塑性樹脂および／または熱硬化性樹脂を加熱して成形する。得られた成形物は、必要に応じてスライスして、所望の厚み（通常０．５〜３．０ｍｍの厚み）の研磨パッドが得られる。
【００１９】
本発明では、このようにして得られた一体型窓付き研磨パッドに孔あけ加工を行って複数の孔４を形成する。孔４は直径が０．１〜１０ｍｍ、好ましくは０．５〜２ｍｍ程度であるのが好ましい。また、最も近い孔４同士は１〜２０ｍｍ、好ましくは２〜１０ｍｍの間隔で規則的に並ぶように形成されている。このように複数の孔４が均一に形成されているので、孔４を設ける目的である研磨剤を保持し、研磨剤を半導体ウェハーに接触させるという役割がうまく成し遂げられる。その結果、研磨レートの安定性および研磨平坦性を向上させることができる。
【００２０】
孔４の形成位置は、少なくとも窓部２およびその周辺部分３を除く研磨表面である。窓部２の他、窓部２の周辺部分３をも除外するのは、孔あけ加工時の位置ズレ等による窓部２への孔加工防止のためである。窓部２の周辺部分３は窓部２から０〜２０ｍｍ、好ましくは０〜１０ｍｍの範囲である。孔あけ加工されない周辺部分３が窓部２から２０ｍｍを超えると、スラリーを保持する孔のない部分が無視できない面積となり、研磨性能が低下するおそれがある。
【００２１】
なお、上記周辺部分３の数値範囲から明らかなように、本発明では、孔４は窓部２のみを除く研磨面全体に形成されてもよいが、以下の説明では、便宜上、窓部２およびその周辺部分３を除く研磨面に孔４が形成されるものとする。
【００２２】
孔４の形状は、必ずしも円形である必要はなく、楕円形や多角形などどのような形状であっても可能であり、研磨スラリ液の流動性や保持性能などによって自由に設計することが出来る。また、研磨パッド１自体も円形に限定されるものではない。
【００２３】
図２〜４は孔あけ加工を行うための装置を示している。図２に示すように、この装置は、位置決めテーブル５、移送用のニップロール６およびクランクプレス機７がパッド材８の移送方向に沿ってこの順に設置されている。
【００２４】
パッド材８は、窓部２の位置に合わせて両側部および先端部が打抜きまたは切削により所定寸法に形成されている。位置決めテーブル５は両側にガイド板１０，１０が配置され、このガイド板１０，１０に設けた複数の長穴１１，１１…にパッド位置調整ねじ９，９…が係合している。従って、ねじ９，９…を緩めて、パッド材８の幅や窓部２の位置に応じてガイド板１０，１０を左右に移動させ、パッド材８の位置決めを行うことができる。
【００２５】
テーブル５の前方に設けられたニップロール６は、クランクプレス機７のストローク上昇時のタイミングに合わせてパッド材８を一定距離だけピッチ送りする。また、クランクプレス機７の前方には、このニップロール６と同調する第２のニップロール１２が設けられている。
【００２６】
クランクプレス機７は、図２に示すように、上金型１３と下金型１４とからなる。上金型１３は上下方向に一定のストロークで往復動する。上金型１３には、図３に示すように、上台１５の下面にスぺーサー１６を介してパンチプレート１７が取付けられており、このパンチプレート１７には上面が上台１５に当接した複数の打抜き具１８、１９（孔あけ手段）が取り付けられている。
【００２７】
一方、下金型１４は、下台２０の上面にスペーサー２１、ダイプレート２２およびストリッパープレート２３がこの順に取付けられている。下金型１４には、前記打抜き具１８、１９が挿入されかつ打抜き屑を排出するための複数の貫通孔２４が設けられる。下金型１４の下方には、打抜き屑を受けるプレート２５が設置されている。プレート２５に落下した打抜き屑は、図示しない集塵機へと排出される。
【００２８】
パッド材８はダイプレート２２上を紙面に対して垂直な方向に搬送される。図３はパッド材８の窓部２が孔あけ位置にあるときの打抜き状態を示している。同図から明らかなように、窓部２およびその周辺部分３が通過する領域に存在する打抜き具１９は、鉛直方向の長さが他の部位の打抜き具１８よりも短く形成されている。このため、窓部２およびその周辺部分３は打ち抜かれず、他の部位のみが打ち抜かれることになる。
【００２９】
一方、窓部２およびその周辺部分３以外では、打抜き具１８、１９によって打抜き、すなわち孔あけ加工が行われなければならない。このため、クランクプレス機７には、前記透光性窓部２の位置を検知する窓位置読取りセンサ２６（検知手段）が設けられる。そして、窓部２および周辺部分３が孔あけ位置に入ったとき、前記センサ２６からの検知信号に基づいて、窓部２およびその周辺部分３が通過する領域に存在する打抜き具１９は先端が窓部２およびその周辺部分３に接触しないように（孔あけ加工しないように）、かつ窓部２およびその周辺部分３が孔あけ位置を通過したとき、打抜き具１９が孔あけ加工を再開できるように上金型１３の鉛直方向の昇降を行わせるための制御手段２７（シーケンサ）が設けられる。
【００３０】
具体的には、透光性窓部２およびその周辺部分３が打抜き位置にあるときには、制御手段２７からの制御信号を受けて上金型１３がわずかに上昇し、打抜き具１９の先端が窓部２およびその周辺部分３に接触しないようにする。そして、窓部２およびその周辺部分３が打抜き位置を通過したとき、上金型１３はもとの位置に下降するようにする。上金型１３を昇降させる昇降手段としては、例えば油圧、モーター、ギア、ボールネジ等の組み合わせによる機械的方法などが採用可能である。
【００３１】
図４は、窓部２およびＺ型の周辺部分３の直前までの孔あけ加工の状態を概略的に示している。図４では、窓部２およびＺ型の周辺部分３を含む領域に６本の打抜き具１９が配置され、その他の領域には打抜き具１８が配置されている。孔あけ加工されたパッド材８は円形などの所定形状および所定寸法に切断または打抜き加工されて、研磨パッドを得る。
【００３２】
ちなみに、前記打抜き具１９（パンチ）の長さをその他の打抜き具１８より０．５〜１０ｍｍ、好ましくは打抜き具１８の長さより（被加工パッド材の厚み＋１〜３ｍｍ）だけ短くし、窓部２およびその周辺部分３以外を打ち抜くときは打抜き具１９の先端がダイプレート２２の貫通孔２４（打ち抜き工具受け側）に０〜５ｍｍ程度入り込むストロークで打ち抜きを行い、窓部２およびその周辺部分３を打ち抜く際には打抜き具１９の先端がダイプレート２２の上面から１〜５ｍｍ程度（好ましくは被加工パッド材の厚み＋０〜１ｍｍ）上方で止まるように上金型１３のストローク量を設定した条件で穴加工を行うことにより窓部２および周辺部分３を除くパッド面全体に均一に孔４を形成することができた。
【００３３】
さらに、打抜きストローク量の変更機能、パッド材８の位置決めガイド板１０，１０、窓位置読取りセンサ２６等を設置することで自動操作にて窓部２および周辺部分３以外の全面パンチング孔加工を行うことができる。従って、一体型窓付きパットの孔加工品が工業的に量産可能になる。
【００３４】
なお、図２において、窓位置読取りセンサ２６の近傍には、パッド有無判定用センサ２８が設けられている。このセンサ２８はクランクプレス機７に移送されるパッド材８の有無を検知して、クランクプレス機７の駆動をオン・オフ制御するためのものである。
【００３５】
次に本発明の他の実施形態を図５〜７に基づいて説明する。前述の実施形態と同じ構成部材については同一符号を付して説明を省略する。図５はこの実施形態にかかるクランクプレス機２９を示す断面図である。図５から明らかなように、この実施形態は、前述の実施形態における打抜き具１９に代えて、高さ調整機構を備えた打抜き具３４を使用したものである。
【００３６】
すなわち、クランクプレス機２９の上金型３０は、上台３１の下面にスペーサー３２を介してパンチプレート３３が取付けられている。そして、窓部２および周辺部分３が通過する領域以外の孔あけ加工を行うために前記と同様な打抜き具１８が複数取付けられている。
【００３７】
一方、窓部２および周辺部分３が通過する領域には、独自に任意な高さに調整可能な複数の打抜き具３４が取付けられる。この打抜き具３４は、図６に示すように頭部３５が凹部３７内に収容したスプリング３８によって凹部３７の上方に付勢されている。凹部３７の上部には挿通穴３９が設けられており、この挿通穴３９内をシリンダ４０に連結されたスライド部材４１が横方向にスライド自在に挿入されている。スライド部材４１の下面には打抜き具３４の頭部３５が当接する高さ調整用の切り欠き部４２が突設されており、この切り欠き部４２の切り欠き面に打抜き具３４の頭部３５が当接している。切り欠き面は一部が傾斜面４２ａとなっているので、スプリング３８によって上方に付勢された打抜き具３４は、スライド部材４１のスライドに伴なって傾斜面４２ａに沿って上下動することになる。
【００３８】
すなわち、孔あけ加工を行う場合には、打抜き具３４の先端はダイプレート２２内まで下降する必要があるので、スライド部材４１をシリンダ４０から前方に押し出して、切り欠き部４２の下部水平面４２ｂに打抜き具３４の頭部３５を当接させる。そして、窓部２およびその周辺部分３が通過する場合には、スライド部材４１を後退させて、打抜き具３４の頭部３５が傾斜面４２ａに当接して傾斜面４２ａに沿って上方に移動するようにする。これによって打抜き具３４は、打ち抜き時のストローク量はそのままで高さのみが変わるので、先端がパッド材８に接触するのを回避することができる。打抜き具３４の高さ調整量はシリンダ４０によるスライド部材４１のスライド長さ（押出し長さ）を調整することによって調整可能である。シリンダ４０の駆動は、前記した窓位置読取りセンサ２６からの検知信号に基づいて制御手段２７によって制御される。
【００３９】
図７は、窓部２およびその周辺部分３の直前までの孔あけ加工の状態を概略的に示しており、窓部２およびその周辺部分３を含む領域に６本の打抜き具３４が配置され、その他の領域には打抜き具１８が配置されている。６本の打抜き具３４は、１つのシリンダ４０に連結したスライド部材４１下面の各対応位置に前記切り欠き部４２を設け、その切り欠き面に各打抜き具３４の頭部３５を当接させればよい。これによって６本の打抜き具３４を同時に昇降させかつ全て同じ高さに調整することが可能になる。
【００４０】
ちなみに、この実施形態において、窓部２およびその周辺部分３以外を打ち抜くときは、打抜き具３４を含めたすべての打抜き具３４，１８（パンチ）が０〜５ｍｍ程度ダイプレート２２（打ち抜き工具受け側）の貫通孔２４に入り込むストロークで打ち抜きを行い、窓部２およびその周辺部分３の通過時には打抜き具３４の先端が他の打抜き具１８のそれに比較して１〜５ｍｍ程度短くなるように設定した条件で孔あけ加工（打ち抜き加工）を行うことにより窓部２およびその周辺部分３を除くパッド面全体に孔を均一に形成することができた。
【００４１】
なお、前記したスライド部材４１の切り欠き部４２に代えて、スライド部材４１の側面から切り欠き部４２の底面と同様な傾斜部を有する高さ調整板４２を突設させ、これに打抜き具３４の頭部３５が当接するようにしてもよい。その他は前述の実施形態と同様である。
【００４２】
以上の実施形態では主に打ち抜きによる孔あけ加工について説明したが、上下動する複数のドリルを用いて孔あけ加工する場合にも同様にして適用可能である。
【００４３】
また、研磨パッドの穴加工を加工プログラミングが可能な加工機（ドリル加工機など）を用いて加工をした後、パッドの研磨面側のバリをリーマー、ルーター等により除去することで表面状態を良好なものにする。
【００４４】
さらに、研磨パッドの孔あけ加工を加工プログラミングが可能なレーザー加工機を用いて行うこともできる。この場合も、加工後、パッドの研磨面側のバリをリーマー、ルーター等により除去することで表面状態を良好なものにする。すなわち、窓部およびその周辺部分では孔あけ加工を行わず、窓部およびその周辺部分を除く研磨領域では孔あけ加工を行うようにプログラミングされた制御機構を備えたレーザー加工機またはドリル機を用いることができる。
【００４５】
【発明の効果】
本発明の一体型窓付き研磨パッドによれば、被研磨物を研磨する表面の一部に透光性窓部を有し、かつこの窓部およびその周辺部分を除く研磨面に研磨剤を保持するための複数の孔が均一に形成されているので、高い研磨性能（研磨レート安定性、研磨平坦性、研磨パッド寿命など）を有するという効果がある。
また、本発明の製造方法および製造装置によれば、孔あけ加工が施された一体型窓付研磨パッドを効率よく製造することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施形態にかかる一体型窓付き研磨パッドを示す概略平面図および断面図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる一体型窓付き研磨パッドの製造装置を示す概略斜視図である。
【図３】図２に示すクランクプレス機の概略断面図である。
【図４】孔あけ加工の状態を概略的に示す説明図である。
【図５】本発明の他の実施形態にかかるクランクプレス機の概略断面図である。
【図６】打ち抜き具の動作を説明するための概略断面図である。
【図７】孔あけ加工の状態を概略的に示す説明図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）はそれぞれ通常の一体型窓付き研磨パッドを示す概略平面図および断面図である。
【図９】（ａ）および（ｂ）はそれぞれ孔あけ加工した従来の窓付き研磨パッドを示す概略平面図および断面図である。

Claims

被研磨物を研磨する表面の一部に透光性窓部が一体に形成されており、かつこの窓部およびこの窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分を除く研磨面に研磨剤を保持するための複数の孔が均一に形成されていることを特徴とする一体型窓付き研磨パッド。
前記複数の孔が直径０．１〜１０ｍｍを有し、かつ最も近い孔同士が１〜２０ｍｍの間隔で規則的に形成されている請求項１記載の研磨パッド。
前記複数の孔が、前記窓部および窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分を除く研磨面に均一に形成されている請求項１または２記載の研磨パッド。
下地層上に積層されて多層構造を形成する請求項１〜３のいずれかに記載の研磨パッド。
窓部およびこの窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分を除く研磨面に、研磨剤を保持するための複数の孔を均一に形成することを特徴とする一体型窓付き研磨パッドの製造方法。
前記複数の孔が、前記窓部およびその周辺部分では孔あけ加工を行わず、窓部およびその周辺部分を除く研磨領域では孔あけ加工を行うようにプログラミングされた制御機構を備えた孔あけ手段によって行われる請求項５記載の研磨パッドの製造方法。
前記孔あけ手段がドリル加工機またはレーザー加工機である請求項６記載の研磨パッドの製造方法。
一部に透光性窓部が形成された研磨パッド材を一定方向に走行させながら、研磨パッドの走行方向と直交する方向に所定の間隔で並設された複数の孔あけ手段を上下動させて、複数の孔を形成する研磨パッドの製造方法であって、
前記透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置に入ったとき、前記複数の孔あけ手段のうち当該窓部およびその周辺部分の領域内に存在する孔あけ手段のみが孔あけ加工を行わず、ついで前記透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置を通過したとき、孔あけ加工を再開することを特徴とする一体型窓付き研磨パッドの製造方法。
前記透光性窓部およびその周辺部分の領域内に存在する孔あけ手段は、鉛直方向の長さが他の部位の孔あけ手段よりも短く、かつ透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置にあるときには、該孔あけ手段の先端が前記窓部およびその周辺部分に接触しないように孔あけ手段の上下動距離を短くするか、または孔あけ手段の下降開始位置を高くするように構成されている請求項８記載の研磨パッドの製造方法。
前記透光性窓部およびその周辺部分の領域内に存在する孔あけ手段は、透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置にあるときに、先端が前記窓部に接触しないように先端の位置が他の部位の孔あけ手段よりも高い位置にあるように高さ調整可能に構成されている請求項８記載の研磨パッドの製造方法。
前記孔あけ手段が、上下動する上金型に保持された複数の打抜き具である請求項８〜１０のいずれかに記載の研磨パッドの製造方法。
一部に透光性窓部が形成された研磨パッド材を一定方向に走行させるための移送手段と、
前記研磨パッド材の走行方向と直交する方向に所定の間隔で並設され、上下動によって前記研磨パッド材に孔あけ加工を行う複数の孔あけ手段と、
前記透光性窓部の位置を検知する検知手段と、
前記透光性窓部およびこの窓部から０〜２０ｍｍの周辺部分が孔あけ位置に入ったとき、前記検知手段からの検知信号に基づいて前記窓部およびその周辺部分が通過する領域に存在する孔あけ手段の先端が前記窓部に接触しないように、かつ前記透光性窓部およびその周辺部分が孔あけ位置を通過したとき、孔あけ加工を再開するように当該孔あけ手段の鉛直方向の上下動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする一体型窓付き研磨パッドの製造装置。
前記複数の孔あけ手段が、上下動する上金型に保持された複数の打抜き具からなる請求項１２記載の研磨パッドの製造装置。
前記窓部およびその周辺部分が通過する領域に存在する打抜き具は、鉛直方向の長さが他の部位の打抜き具よりも短く形成されて他の打抜き具と共に上金型に保持されており、かつ前記窓部およびその周辺部分が打抜き位置にあるときには打抜き具の先端が前記窓部に接触しないように上金型が上昇し、かつ前記窓部およびその周辺部分が打抜き位置を通過したとき、上金型が下降するように上金型の昇降手段が設けられ、この昇降手段が制御手段からの制御信号を受けて上金型を昇降させるように構成されている請求項１２または１３記載の研磨パッドの製造装置。
前記窓部およびその周辺部分が通過する領域に存在する打抜き具は、透光性窓部が打抜き位置にあるときに先端が前記窓部およびその周辺部分に接触しないように鉛直方向上向きに上昇し、かつ前記窓部およびその周辺部分が打抜き位置を通過したとき下降するように、前記領域に存在する打抜き具の昇降手段を備えており、この昇降手段が制御手段からの制御信号をうけて打抜き具を昇降させるように構成されている請求項１２または１３記載の研磨パッドの製造装置。