JP2004254352A - 動圧気体軸受けモータ及びこれを備えた磁気ディスク駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】軸受およびこの軸受を備えたモータ、さらにこのモータを備えた装置に悪影響を及ぼすことなく回転部材と静止部材とを導通させることのできる動圧気体軸受けモータおよび磁気ディスク駆動装置を提供することにある。
【解決手段】シャフトを有する静止部材２と、動圧気体軸受けとなる微小間隙を介してシャフトと対向するスリーブを有する回転部材３と、静止部材に取り付けられたステータ４と、ステータ４と対向するように回転部材３に取り付けられたマグネット５とを備えた動圧気体軸受けモータ１において、一端が静止部材２に取り付けられ、他端が電気的制御に基づいて変位して回転部材３と接触することにより前記静止部材２と回転部材３とを導通させるバイモルフ変位素子７等の導通手段を備えることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ハードディスクなどの磁気ディスクを回転させるモータや、ポリゴンミラーを搭載したモータのような高速で高精度回転が要求される動圧気体軸受けモータ及びこれを備えた磁気ディスク駆動装置に属する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】特開平５−２８８２１４号公報
【特許文献２】特開平９−１４４７５８号公報
【特許文献３】特開２００１−１５３１２５号公報
【特許文献４】特開２０００−３２９１４１号公報
【特許文献５】特開２００１−１４６９１５号公報
高速で高精度回転が要求されるモータとして、例えばハードディスクのような磁気ディスクを回転させるモータがある。この磁気ディスクを回転させるモータの軸受け手段として、安定した回転運動が得られる動圧流体軸受けが普及し始めている。これは、一般的に、円柱状のシャフトの一端又は両端に円板状のスラスト板を配置してなる第１の部材と、シャフトの外周面及びスラスト板の平面に各々ラジアル間隙及びスラスト間隙を介して対向して配置してなる円筒状の第２の部材とからなり、それら間隙を形成する面（軸受面という）にヘリングボーン状やスパイラル状の動圧発生用溝が形成され、それら間隙には潤滑流体が介在したものである。そして、第１及び第２の部材の何れか一方が他方に対して相対的に回転すると、上記潤滑流体が動圧発生用溝のポンプ作用でラジアル間隙とスラスト間隙のそれぞれにおいて流体圧力を増し、それとともに第１及び第２の部材の回転側が静止側に対して浮上し、回転中に両者の非接触状態が保たれる。その潤滑流体には、油のような液体が使用される場合（動圧液体軸受けという）と、空気のような気体が使用される場合（動圧気体軸受けという）とがある。
【０００３】
動圧気体軸受けの場合は動圧液体軸受けの場合に比べて、油の飛散に起因する汚染の問題が無い点で優れている。反面、動圧気体軸受けは、モータの起動時（停止中のモータが回転し始めて回転部材が浮上するまでの状態）、および停止時（回転中のモータが減速して停止するまでの状態）に軸受面が摺動するときの摩擦によって発生する静電気の問題がある。
この静電気は、潤滑流体が気体であるため摺動を避けられず発生を阻止することは困難である。静電気を放置すると、回転中に回転部材が浮上して非接触状態となったときに回転部材に電荷が蓄積され、この動圧気体軸受が磁気ディスク駆動用モータに使用されると回転部材に搭載された磁気ディスクに伝わり、磁気ヘッドとの間で放電し、磁気ヘッドが破損すると同時に磁気ディスクに記録された情報を破壊したり情報の書き込みが不能となる可能性をもたらす。また、回転部材は、高速回転するため回転中に気体との摩擦により静電気を帯び、これが上記と同様に磁気ディスクへの不具合をもたらすこともある。
そこで、このような事態を防止するために回転部材に蓄積された電荷をグランドに逃がす手法として、シャフトの上端面に軸方向にへこんだ穴を設け、その穴にバネを配置し、バネの上に球状の導電体を取り付けて回転部材に付勢したモータが提案されている（特許文献１）。通常、シャフトを含む静止部材は接地されていることから、バネの弾力によって導電体を回転部材に押しつけるとともに、導電体を介してシャフトと回転部材を導通させ、回転部材の接地接続を図ったものである。バネと球状の導電体の組み合わせに代えて、バネを介した導電性ブラシを使用したり（特許文献２）、導電性のリングをその中心軸線がシャフトと直交するように配置したり、導電性の繊維の束を配置したりする構造も提案されている（いずれも特許文献３）。また、特許文献１または２と同様の位置で、導通手段に磁性流体を使用する動圧気体軸受けも提案されている（特許文献４または５）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、導電性の球、リング、繊維束などの固体を介して静止部材と回転部材を導通させる上記従来の構成では、それらの静止部材及び回転部材の互いの接触抵抗に起因する回転トルクの増加により駆動用の電流値が増加する。また、その接触面が摩耗して摩耗粉が発生すると、軸受内に蓄積され回転運動の抵抗となったり、軸受外に流出して回転部材に搭載された磁気ディスクに到達して、磁気ヘッドの情報の読み書きが不安定となる（場合によっては読み書き不能になる）。また、摩耗の進行に応じて回転部材の浮上量に影響して軸方向位置が変わり、回転部材に搭載された磁気ディスクの軸方向位置も変動するため、磁気ヘッドによる情報の読み書きが不安定となる（場合によっては読み書き不能になる）。さらに、磁性流体を介して導通させる上記従来のもう一つの構成では、温度上昇による膨張や衝撃により磁性流体の飛散の問題がある（磁性流体が磁気ディスクに付着して読み書き不能になる。また、磁性流体が軸受内に浸入して軸受性能の悪化につながることもある）。何れの手法とも、回転部材と静止部材との間に導通手段が常時接触する構成であることから発生する問題であり、磁気ディスク駆動用のように高速で回転し高精度が要求されるモータでは、致命的な不具合を引き起こす。
このような静電気の問題は、モータが磁気ディスク駆動用である場合を例に説明したが、他の用途であっても回転部材が帯電していると不具合の原因になることがあるため、できるだけ帯電しないようにすることが望ましい。
それ故、この発明の課題は、軸受およびこの軸受を備えたモータ、さらにこのモータを備えた装置に悪影響を及ぼすことなく回転部材と静止部材とを導通させることのできる動圧気体軸受けモータおよび磁気ディスク駆動装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
その課題を解決するために、この発明の動圧気体軸受けモータは、
シャフトを有する静止部材と、動圧気体軸受けとなる微小間隙を介してシャフトと対向するスリーブを有する回転部材と、静止部材に取り付けられたステータと、ステータと対向するように回転部材に取り付けられたマグネットとを備えた動圧気体軸受けモータにおいて、
一端が静止部材に取り付けられ、他端が電気的制御に基づいて変位して回転部材と接触することにより前記静止部材と回転部材とを導通させる導通手段を備えることを特徴とする。
【０００６】
この発明によれば、静止部材と回転部材との導通手段を電気的制御に基づいて変位させるので、モータの動作状態に関係なく接触による導通と非接触による絶縁の切替を選択的かつ瞬時に行うことができる。従って、起動時、停止直前時、回転中における異常接触、及び回転中における回転部材と気体との摩擦発生時などのように静電気が発生して蓄積された電荷が許容限界に近くなった時に応じて導通させ、回転部材が帯びた電荷を静止部材を経てグランドに放出させることができる。換言すると、静電気が発生していない時や、回転部材が電荷を帯びていても悪影響を及ぼさない量（つまり許容限界の範囲）である時は、その導通手段を回転部材に接触させないようにすることができる。また、導通の切替は、電気的制御であるため導通手段の変位動作を瞬時に行え、変位動作の遅れにより電荷量が許容限界を超えたり、電荷が放出後であるため接触させる必要がないのにもかかわらず接触状態のままであるといった無駄な状態がない。このように、導通手段は回転部材に対して必要なときのみ接触するため、磨耗の問題や電流値の増大といった不具合を大幅に低減することができる。導通手段としては、典型的には圧電素子が好ましく挙げられる。軽量且つ小型であるうえ、電子部品であるにもかかわらず電力をあまり消費しないし、周辺部品に磁気的影響を与えないからである。特に前記回転部材が、スリーブの外側に嵌合されシャフトの自由端側の端部において閉じた円筒状のハブを有し、前記圧電素子がシャフトの自由端に取り付けられていると、シャフトが回転中心に位置することから回転部材との接触面積が最小となり、摩擦トルクが一層減る。圧電素子のなかでもバイモルフ変位素子が好ましい。素子が小さい割に変位量を大きく取ることができるからである。
以上のことから、上記の動圧気体軸受けモータと、前記回転部材に搭載された磁気ディスクと、磁気ディスクに対して情報を読み書きする磁気ヘッドとを備えることを特徴とする磁気ディスク駆動装置は、内部が常に清浄に保たれ、しかも異常に静電気を蓄積することがない。従って、情報記録の信頼性に優れる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
この発明の実施形態を図面と共に説明する。図１は、実施形態に係るハードディスク装置を模式的に示す回転中心軸方向（以下、軸方向という。）断面図である。ハードディスク装置１０は、内部が清浄に保たれたハウジング１１と、ハウジング１１内に設置された動圧軸受けモータ（以下、単にモータという。）１及びアクチュエータ１２を備えている。モータ１には複数枚（図示では４枚）の磁気ディスク６が軸方向に搭載されている。磁気ディスク６はモータ１の駆動によって所定方向に回転する。他方、アクチュエータ１２には、磁気ディスク６に対して磁気ヘッド１３を有するアーム１４が径方向に延びるように取り付けられている。磁気ヘッド１３は、この装置の非使用時はアーム１４とともに磁気ディスク６から離れた位置に退避しており、モータ１の駆動とともにアクチュエータ１２の作動によって旋回し、磁気ディスク６に接近して情報を読み書きする。
【０００８】
図２は、そのハードディスク装置１０に用いられているモータ１を示す軸方向断面図である。但し、破断線Ｘ−Ｘを境として一部は正面図で示す。モータ１は、ハウジング１１の内面に固定された静止部材２と、後述の動圧気体軸受けを介して静止部材２に対して回転可能に支持されている回転部材３と、ステータ４と、マグネット５と、バイモルフ変位素子７とを備えている。
静止部材２は、凹部を有するほぼ円盤状のブラケット２１、インナーシャフト２２、アウターシャフト２３、上スラスト板２４及び下スラスト板２５から主になる。インナーシャフト２２とブラケット２１は、後述する回転部材３の電荷をグランドに放出しやすくするために導電性材料である。ブラケット２１の中央には図略の貫通孔が形成され、その孔の周縁が肉厚となってボス２１ａを形成している。また、ブラケット２１は、周縁に肉厚の壁２１ｂを有し、その壁２１ｂの内面にステータ４が取り付けられている。ステータ４のコイルは、ブラケット２１の所定部に設けられたフレキシブル回路基板（図示省略）を通じて外部電源から電流が供給される。インナーシャフト２２は、円柱状で、下端が上記貫通孔に嵌合されてボス２１ａによって支持されている。アウターシャフト２３は、円筒状で、ボス２１ａより露出したインナーシャフト２２の外周に嵌合されている。下スラスト板２５は、アウターシャフト２３よりも径方向に張り出しており、アウターシャフト２３の下端面とボス２１ａとで挟持するようにインナーシャフト２２に嵌合されている。上スラスト板２４もアウターシャフト２３よりも径方向に張り出しており、アウターシャフト２３の上端面に接してインナーシャフト２２に嵌合されている。そして、インナーシャフト２２の上端面にバイモルフ変位素子７が図略の導電性接着剤にて取り付けられている。
【０００９】
回転部材３は、上端が閉じたほぼ円筒状で下端付近の外周面に鍔３１ａを有するハブ３１、ハブ３１の内周面に嵌合された円筒状のスリーブ３２、クランパ３３ａ及び複数（図示では４個）のスペーサ３３からなる。スリーブ３２は、その上下端面が微小間隙（以下、スラスト間隙という。）３２ａ，３２ｃを介して上下のスラスト板２４，２５と対向するように挟まれるとともに、その内周面が微小間隙（以下、ラジアル間隙という。）３２ｂを介してアウターシャフト２３の外周面と対向している。ハブ３１は、スリーブ３２の上下に露出する内周面にて上下のスラスト板２４，２５及びボス２１ａを包囲し、鍔３１ａより下の外周面にてマグネット５を保持している。マグネット５はステータ４と対向している。スペーサ３３は、ハブ３１の鍔３１ａより上位の外周面に各々張り出して磁気ディスク６同士の軸方向間隔を定めるものである。クランパ３３ａは、ハブ３１に対して複数（図示では４枚）の磁気ディスク６およびスペーサ３３を固定するための固定手段である。
【００１０】
上スラスト板２４の下面及び下スラスト板２５の上面には、各々内側から外側に向かって湾曲した深さ数μｍの多数の溝２４ａ，２５ａが周方向に同一間隔をあけて形成されている。これらの溝２４ａ，２５ａは、回転部材３の回転時にスラスト間隙３２ａに存在する空気を内側に向かって送るポンプ作用を生じ、それによってスラスト間隙３２ａ，３２ｃの動圧を発生させ、静止部材２と回転部材３との軸方向における非接触状態を保つ。また、アウターシャフト２３の外周面の上半分及び下半分には、各々「く」の字状に曲がった深さ数μｍの多数の溝２３ａ，２３ｂが周方向に同一間隔をあけて形成されている。これらの溝２３ａ，２３ｂは、回転部材３の回転時にラジアル間隙３２ｂに存在する空気を各溝の折り返し点に向かって送るポンプ作用を生じ、それによってラジアル間隙３２ｂの動圧を発生させ、静止部材２と回転部材３との径方向における非接触状態を保つ。こうしてスラスト間隙３２ａ，３２ｃ及びラジアル間隙３２ｂを構成する部位が、動圧気体軸受けとして機能する。
【００１１】
バイモルフ変位素子７は、図３に図２のＡ部拡大図で示すように、ともにチタン酸ジルコン酸鉛からなる２枚の分極されたセラミックス板７ａ、７ｂを金属膜からなる共通電極７ｃを介して貼り合わせたものである。そして、セラミックス板７ａの上面及び下面に各々上電極７ｄ及び下電極７ｅがいずれもニッケル鍍金等により形成されている。上電極７ｄの上面、下電極７ｅの下面及びセラミックス板７ａ，７ｂの側面（図３の左側）には樹脂等により絶縁膜７ｇが形成され、さらに、絶縁膜７ｇの外側にニッケル鍍金等による金属膜７ｋが形成されている。前記導電性接着剤７ｈは、金属膜７ｋの右半分及びそれに対向するインナーシャフト２２の上端面にのみ塗布されており、それによりバイモルフ変位素子７は片持ち梁式に固定されていることとなる。これにより、バイモルフ変位素子７の上面とインナーシャフト２２とが導通可能な構成となっている。絶縁層７ｇは、バイモルフ変位素子７の導通部と、回転部材３とグランドとの導通部とがショートするのを阻止するために設けられている。金属膜７ｋは、ハブ３１と導電性接着剤７ｈまたはインナーシャフト２２との導通を図るためと、バイモルフ変位素子７の保護のために設けられている。
そして、共通電極７ｃが電源７ｆを介して電極７ｄ，７ｅにそれぞれ接続されていて、バイモルフ変位素子７を制御する制御回路（図略）が電源７ｆ付近に設けられる。尚、電極７ｃと電源７ｆを電気的に接続する配線は、例えば、インナーシャフト２２に設けられた貫通孔に絶縁を保って通す。セラミックス板７ａ、７ｂは、変位方向が互いに異なり、それぞれに所定の電圧を加えるとセラミックス板７ａは縮む方向、セラミックス板７ｂは伸びる方向に変位しようとする。従って、上記の電圧を加えると、バイモルフ変位素子７全体としては導電性接着剤７ｈで固着されていない左端が図４に示すように上方に変位するように屈曲し、左端がハブ３１の下面と接触する。その電圧を解除するとそれぞれセラミック板７ａ，７ｂは原形に復帰しバイモルフ変位素子７の変位はなくなる。
【００１２】
次にモータ１の動作について説明する。
ステータ４のコイルに給電 すると、ステータ４とマグネット５との間で磁力が発生し、この磁力によりハブ３１がスリーブ３２とともに回転し始める。すると上記の通りスラスト間隙３２ａ，３２ｃ及びラジアル間隙３２ｂに動圧が発生し、回転部材３が静止部材２に対して非接触状態を保って回転し続ける。
モータの動圧気体軸受けは、停止中の回転部材が浮上して定格回転するまで起動時、および回転部材が定格回転から停止するまでの停止時、さらに定格回転中に任意に外部からモータに衝撃が加わった時に、軸受面が摺動して静電気が発生し、電荷が回転部材３に蓄積されたまま回転部材３が浮上することがある。また、回転中、回転部材３は空気との摩擦によって静電気を帯びて回転部材３に蓄積されることもある。
一方、バイモルフ変位素子７の制御回路には、次の設定がされている。即ち、モータの起動時および停止時は一定時間に電圧が加えられ、定格回転中では、定期的に電圧が加えられる。電圧が加えられると、バイモルフ変位素子７は変位して金属膜７ｋの左上部がハブ３１に接触する。回転部材３に帯電した電荷は、金属膜７ｋから導電性接着剤７ｈ、インナーシャフト２２を経由してグランドに放出される。バイモルフ変位素子７への電圧が解除されると、バイモルフ変位素子７はその左端が下降して再び真っ直ぐになる。
【００１３】
この一連の回転部材３の電圧の推移をグラフにして示すと図５のようになる。図５の実線はこの実施形態の推移を示し、一点鎖線は従来例として回転部材と静止部材とを導通する手段がない構成の推移を示す。従来例では、起動時に軸受面の摺動により静電気が発生して回転部材が帯電する。このとき、軸受面が接触するため一部の電荷はグランドに放出されて電圧はそれ程大きくならないが（一点鎖線▲１▼に相当）、場合によっては許容限界電圧を超えてしまうこともある（一点鎖線▲２▼に相当）。定格回転時は、高速回転するため回転部材と気体との摩擦による静電気が発生し、これにより回転部材はさらに電圧が上昇する。停止時、軸受面が再び摺動することで放電し若干、電圧は下がる。このように従来例では、起動時から許容限界電圧を超えやすい状態にあり、静電気による不具合が極めて発生しやすい状況にあることがわかる。一方、この実施形態では、起動時にバイモルフ変位素子７が作動して回転部材３と静止部材２とが導通しているため、起動時の電圧は実質的にゼロとなる。定格回転時は、回転部材と気体との摩擦による静電気が回転部材に蓄積されるため電圧が上がるが、定期的にバイモルフ変位素子７が作動しているため、許容限界電圧を超えることはない。また、図示はしていないが、仮に、定格回転中に外部衝撃により軸受面が摺動して静電気が発生して電圧が上がることがあっても、バイモルフ変位素子７が定期的に作動しているため、許容限界電圧を超えることはほとんどない。この許容限界電圧を超えているときは、磁気ヘッドの破壊や磁気ディスクとの放電により情報の読み書きが不安定となる状態に相当する。なお、図５に示す実施形態および従来例とも説明のために典型的な場合を示すものであって静電気の発生の有無またはその大きさは、条件によって異なる場合がある。
【００１４】
従って、この実施形態では、起動時および停止時、さらに定格回転中に回転部材３に溜まった静電気は、グランドに放出され許容限界電圧を超えることはない。起動時及び停止時に電圧をかける一定時間とは、回転部材３に静電気が発生する時間を実験等で予めある程度特定して、少なくともその摺動によって静電気が発生している間とするとよい。また、定格回転中の定期的とは任意であるが、定格回転中の回転部材における電圧の上昇傾向をある程度実験で特定し、許容限界電圧を超えるまでの時間を考慮して設定するとよい。また、外部衝撃の可能性は、例えば、磁気ディスク駆動装置が携帯型で使用される場合はそれだけ外部衝撃の可能性が高いため導通するまでの休止時間を短くして頻繁に導通させ、据え置き型で使用される場合はその可能性が低いので休止時間を長くするよい。また、磁気ディスク駆動装置の信頼性を上げるために頻繁に導通させるようにしてもよい。何れの場合も、磁気ディスク６とヘッドとの間で放電する前に静電気がグランドに移動するのは瞬間であるから、バイモルフ変位素子７の作動時間も僅かで足りる。
【００１５】
このようなモータの構成であることから次のような特徴がある。
・ 電気的制御によって回転部材３の電荷を放出するため、従来のように常時接触する場合に比べて、モータの動作状態に関係なく選択的且つ瞬時に静電気による不具合を阻止することができる。
・ バイモルフ変位素子７と回転部材３と接触時間は僅かであるため、ほとんど回転部材３の回転運動の抵抗とならない（つまり、ステータへの電流値が増加しない）。
・ バイモルフ変位素子７と回転部材３と接触時間は僅かであるため、従来のように常時接触する場合に比べて、バイモルフ変位素子７の金属膜７ｋおよびハブ３１側の接触部の磨耗がほとんど発生しない。
・ バイモルフ変位素子７が回転部材３の回転中心に位置するため、接触面積が小さくほとんど回転部材３の回転運動の抵抗とならない（つまり、ステータへの電流値が増加しないし、磨耗量も少ない）。
・ 磨耗がほとんどないため、これに起因する不具合（軸受間隙に磨耗粉が蓄積され回転不良を起こすこと、磁気ヘッドの情報の読み書きが不安定となる（場合によっては読み書き不能となる）こと、回転部材３の軸方向位置が変動すること。）が発生しにくい。
・ バイモルフ変位素子７のハブ３１との接触時間は僅かであるため、その作動による消費電力は僅かである。
以上のような種々の特徴を有するモータ１を備えたハードディスク装置１０では、回転部材３は常時清浄な空間で安定した回転運動をするため、磁気ヘッドの情報の読み書きが正確になされ高性能なものとなる。
【００１６】
尚、この実施形態ではバイモルフ変位素子７の圧電材料としてセラミックスを示したが、バイモルフ変位素子７自体は、公知の素子であることから、同様の動作をするものであれば高分子材料といった材料、取付状態、寸法等の変更はされてもよい。また、バイモルフ変位素子７を動作させることができれば、その回路構成または配線箇所は上記に限定されない。また、バイモルフ変位素子７は、上記では制御回路を簡略化するために定型的な動作となるように制御されているが、例えば、回転部材３に蓄積された電荷を常時検出する手段を設け、その検出結果に基づいて電荷量が許容限界にあるかどうかを判別して導通の切替をするようにしてもよい。さらに、この実施形態では、モータを磁気ディスク駆動装置に適用した場合を例示したが、その他に例えば、レーザービームプリンタに使用されるポリゴンミラーを搭載したモータに適用することもできる。
【００１７】
【発明の効果】
以上のように、この発明の動圧気体軸受けモータによれば、回転部材に蓄積される静電気量が許容限界を超えないようにできるので、回転部材が常時安定した回転運動をする。特に、導通手段が電気的制御に基づいて制御されるため、モータの動作状態に関係なく必要なときにのみ導通させることができ、動圧気体軸受およびモータに悪影響を及ぼすことない。
また、このモータを磁気ディスク駆動装置に適用した場合、磁気ディスクとヘッドとの間で放電することがなく情報記録の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係るハードディスク装置を模式的に示す回転中心軸方向断面図である。
【図２】上記ハードディスク装置に用いられているモータを示す軸方向断面図である。
【図３】図２のＡ部拡大図である。
【図４】上記モータのバイモルフ変位素子の作動時を示す軸方向断面図である。
【図５】実施形態と従来とのモータにおいて、回転部材に帯電する電圧をモータの状態によって変化する推移を模式的に示したグラフである。
【符号の説明】
１ モータ
２ 静止部材
３ 回転部材
４ ステータ
５ マグネット
６ 磁気ディスク
７ バイモルフ変位素子

Claims (5)

1. シャフトを有する静止部材と、動圧気体軸受けとなる微小間隙を介してシャフトと対向するスリーブを有する回転部材と、静止部材に取り付けられたステータと、ステータと対向するように回転部材に取り付けられたマグネットとを備えた動圧気体軸受けモータにおいて、
   一端が静止部材に取り付けられ、他端が電気的制御に基づいて変位して回転部材と接触することにより前記静止部材と回転部材とを導通させる導通手段を備えることを特徴とする動圧気体軸受けモータ。
2. 前記導通手段は、圧電素子である請求項１に記載の動圧気体軸受けモータ。
3. 前記回転部材は、スリーブの外側に嵌合されシャフトの自由端側の端部において閉じた円筒状のハブを有し、前記圧電素子がシャフトの自由端に取り付けられている請求項２に記載の動圧気体軸受けモータ。
4. 前記圧電素子がバイモルフ変位素子である請求項２又は３に記載の動圧気体軸受けモータ。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載の動圧気体軸受けモータと、前記回転部材に搭載された磁気ディスクと、磁気ディスクに対して情報を読み書きする磁気ヘッドとを備えることを特徴とする磁気ディスク駆動装置。

Images