JP2004243470A - ワークの面取り装置 - Google Patents

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Kazuo Mochiki
一夫 持木
Atsushi Hayashida
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Abstract

【課題】ワークの板厚に応じた面取り量の設定が容易であり、各ワークに対して余計な負荷をかけることなく、ほぼ一定の圧力をもって回転砥石を接触させて、最適かつ安定した面取りを可能とする。
【解決手段】モータ112によって往復的に駆動される第1レバー200と、回転砥石Gを有し、バネ230によってワーク10側に向けて常時一方向に付勢される第2レバー300とを同一回転軸301上に設け、第1レバー200に、非研磨位置Pから研磨位置Qまでの間は第2レバー300を第1レバー200とともに一体として回動させ、回転砥石Gが研磨位置Qに到来してワーク10に接触した後においては第2レバー300から離れる係合部240を設ける。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークのエッジに存在しているバリなどを回転砥石により研磨して除去するワークの面取り装置に関し、さらに詳しく言えば、回転砥石をほぼ一定の圧力でワークに接触させるとともに、その圧力調整も容易に行える、特に液晶パネルに好適なワークの面取り装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
きわめて鋭利な切断工具を用いたとしても、物体をきれいに切断することは難しく、その材質が硬くなるほど、往々にしてその切断面にバリや欠けが生じやすい。特に、ガラス基板を用いる液晶パネルは、マザー基板から数度の切断工程を経て切り出されるが、通常、その切り出しは分断により行われるため、その切断面にバリや欠けそれにヒビが生ずることが多い。
【0003】
なお、分断とは、ガラス基板を切断工具にて完全に切断するのではなく、例えばロールカッタなどにてガラス基板にその厚さの半分程度の溝を入れた後、その溝部分に折り曲げ応力を加えて強制的に分割する手法を言う。これによりできたバリは他の製品に傷を付けたり、新たな欠けの要因となり、また、欠けやヒビは、そこからさらに進行するおそれがあるため、研磨して除去する必要がある。
【0004】
そこで、従来では、図3(a)の側面図および図3(b)の平面図に模式的に示すように、液晶パネル10の切断面を回転砥石Gに当てて、そのエッジ(縁)を研磨するようにしている。この例は、液晶パネル10の端子部11のエッジを研磨する場合のもので、回転砥石Gを固定位置とし、液晶パネル10をチャック20に取り付けて、回転砥石Gの回転軸線Lに対して平行に移動させながら、端子部11のエッジを研磨する。これとは別の方法として、液晶パネル10を回転砥石Gの回転軸線Lに対して直交する方向から当接する場合もある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
いずれの方法によるにせよ、面取り量(研磨量)は、ガラス基板の板厚に応じて変更する必要があるが、従来では、その調整を人手によって行っているため、最適量に調整するまでに時間がかかるばかりでなく、何枚かの良品が犠牲になることもある。特に、ガラス基板が0.4mm厚位の薄板になると、圧力のかけ方を少しでも間違えると、却って欠けなどが発生し、製品自体が不良品となってしまう場合がある。
【0006】
したがって、本発明の課題は、ワークの板厚に応じた面取り量の設定が容易であり、各ワークに対して余計な負荷をかけることなく、ほぼ一定の圧力をもって回転砥石を接触させることができ、全体として最適かつ安定した面取りを可能としたワークの面取り装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、ワークのエッジを回転砥石により研磨するワークの面取り装置において、装置基台上に設置されたベース板に対して、上記ワークをほぼ水平状態として所定高さ位置に支持するワーク支持手段と、上記ベース板に立設された左右一対の支持板間に、上記ワークのエッジと平行な同一の回転軸線を共有し、それぞれが自在に回動可能に軸支された第1レバーおよび第2レバーと、上記ベース板上に配置され、上記第1レバーを往復的に駆動する第1モータと、上記第2レバーに設けられた第2モータと、上記第2レバーを上記ワーク方向に向けて回動するように付勢する第2レバー付勢手段と、上記各モータおよび上記第2レバー付勢手段の付勢力を制御する制御手段とを含み、上記第2レバーに、上記第2モータにて駆動される回転砥石が上記ワークのエッジに当接する位置に設けられており、上記第1レバーには、上記回転砥石が上記ワークに当接する研磨位置までは上記第2レバーに係合し、当接後には上記第1レバーの回動に伴って上記第2レバーから離れる係合部が設けられているとともに、上記レバーのいずれか一方には、上記係合部の上記第2レバーに対する係合・離脱を検出するセンサが配置されており、上記制御手段は、上記第1モータを駆動して上記第1レバーに上記第2レバーを従えさせて非研磨位置から研磨位置にまで回動させるとともに、上記センサからの離脱信号が出力された時点で上記第1モータを停止させて、上記第2レバー付勢手段の付勢力のみによって上記回転砥石を上記ワークに当接させ、研磨に要する所定時間経過後には、上記第1モータを逆転駆動して上記第1レバーを上記第2レバーとともに非研磨位置にまで戻すことを特徴としている。
【0008】
上記回転砥石の偏摩耗を防止するには、ベース板駆動手段により、上記ベース板を上記装置基台上において上記ワークのエッジと平行な方向に沿って直線的に往復動可能とし、上記センサからの離脱信号が出力された時点で、上記ベース板駆動手段により上記ベース板を上記ワークのサイズに応じて往復動させることが好ましい。
【0009】
また、上記第2レバー付勢手段を、上記回転砥石を上記ワークに向けて付勢する引っ張りコイルバネと、ワイヤを介して上記引っ張りバネの一端に連結され、上記制御手段からの指示信号により、そのバネ力を調整する第3モータとを備えた構成とすることにより、上記ワークに対する上記回転砥石の押し付け力をきめ細かく設定することができる。
【0010】
また、上記第2レバーが回動しても、上記第2レバー付勢手段による付勢力が変わらないようにするため、上記第3モータは、上記第1レバーに取り付けられていることが好ましい。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に、図1および図2を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、図1は本発明によるワークの面取り装置を示す正面図、図2はその左側面図である。この実施形態の説明において、ワークは液晶パネル10で、研磨する箇所はその端子部11のエッジ11aである。以下、このエッジ11aを単にワークエッジ11aと言う。
【0012】
このワークの面取り装置は、頑丈な鋼材などよりなる装置基台100を備えている。ワークとしての液晶パネル10は、チャック20を介してインデックステーブル(割り出しテーブル)30により、ほぼ水平状態として装置基台100の所定高さ位置に支持されている。チャック20は、ワーク押さえ21とワーク吸着板22とを備えた構成であってよい。
【0013】
装置基台100上には、ベース板110がリニアガイドレール101を介して直線的に往復動し得るように載置されている。ベース板110の移動方向は、ワークエッジ11aと平行な方向である。また、図2に示すように、装置基台100には、ベース板110の駆動手段102が設けられている。この例において、駆動手段102には送りねじ軸が用いられているが、ベルト駆動方式などであってもよい。
【0014】
ベース板110上には、ワークエッジ11aと平行な方向に沿って所定の間隔をもって左右一対の支持板111,111が立設されている。この支持板111,111の間には、第1レバー200と第2レバー300とが同軸的に軸支されている。
【0015】
すなわち、図1に示すように、第2レバー300は、その回転軸301が支持板111,111の各々に設けられているラジアル軸受け112,112によりワークエッジ11aと平行となるように軸支されており、第1レバー200は、ラジアル軸受け201,201を介して第2レバー300の回転軸301に軸支されている。したがって、第1レバー200と第2レバー300は無関係に回動自在である。
【0016】
第1レバー200は片腕型のレバーであるのに対して、第2レバー300は両腕型で、上腕部310と下腕部320とを備えている。なお、各レバー200,300は、実際にはともに門型のフレーム状に構成されている。
【0017】
第1レバー200は、ベース板110上に設置されている第1サーボモータ112にタイミングベルト202を介して連結されている。また、第1レバー200は、第3サーボモータ210を備えており、第3サーボモータ210のプーリー211には、例えばステンレス線からなるワイヤ220の一端が巻き付けられている。
【0018】
ワイヤ220の他端は引っ張りコイルバネ230を介して第2レバー300の下腕部320に連結されている。なお、この例では、第3サーボモータ210のプーリー211と引っ張りコイルバネ230との間には、ワイヤ220を方向転換させるための中間プーリ221が設けられている。
【0019】
第2レバー300は、その回転軸301と同軸的に配置された第2サーボモータ310を備えている。第2レバー300の上腕部310には、回転砥石Gがワークエッジ11aと当接する位置に設けられており、回転砥石Gはタイミングベルト331を介して第2サーボモータ310に連結されている。
【0020】
この例では、回転砥石Gを交換可能とするため、第2レバー300の上腕部310には、回転砥石Gを両側から保持する一対のチャック駒341,342が設けられており、その一方のチャック駒341はエアシリンダ340により進退可能とされている。なお、第2サーボモータ310を回転軸301と同軸的に配置した理由は全体をコンパクトにまとめるためで、必ずしも同軸に配置する必要はない。
【0021】
第2レバー300は、引っ張りコイルバネ230により常にワークエッジ11aと当接する方向(図2において時計方向)に付勢されているため、非研磨時には、回転砥石Gをワークエッジ11aから離れた位置(非研磨位置)に止めておく必要がある。
【0022】
そのため、第1レバー200は、図2に示すように、第2レバー300のバネ付勢による回動を所定の回動角まで押さえる係合手段240を備えている。この例では、第2レバー300の上腕部310に舌片311を連設するとともに、第1レバー200側には、上記係合手段240として、その舌片311の上面(回動方向の前面側)に当接する係合片241を設けている。
【0023】
第1レバー200と第2レバー300は、その各々が自由に回動可能であるため、係合片241は、舌片311と接触している状態(舌片311を上から押さえている状態)において、例えば手動にて第2レバー300を引っ張りコイルバネ230の引っ張り力に抗して反時計方向に回動させると、舌片311から離れる。
【0024】
このワークの面取り装置は、係合片241と舌片311との係合・離脱を検出するためのセンサ401およびその検出信号に基づいて、上記ベース板110の駆動手段102や上記各サーボモータ112,210,330などの動作を制御する制御手段400を備えている。制御手段400には、CPU(中央演算処理ユニット)やマイクロコンピュータが用いられてよい。
【0025】
センサ401には、例えばリードスイッチなどの近接スイッチを用いることができ、この例では、センサ401を係合片241側に取り付けているが、センサ401は舌片311側に設けられてもよい。近接スイッチに代えて、マイクロスイッチなどの機械式スイッチを使用することもできる。
【0026】
次に、図2を参照して、本発明によるワークの面取り装置の動作の一例について説明する。この面取り装置においては、ワーク(液晶パネル10)に対して回転砥石G側が動いて、そのワークエッジ11aに当接する構成であるため、まず、第3サーボモータ210により、ワークエッジ11aに対する回転砥石Gの押圧力(推力)を調整する。
【0027】
すなわち、第3サーボモータ210により、ワイヤ220の巻き上げ量を調整することにより、引っ張りコイルバネ230のバネ力を可変して、ワークエッジ11aに対する回転砥石Gの最適な押圧力を設定する。この設定は、あらかじめワークの板厚と面取り量の最適な相関データを制御手段400のメモリに書き込んでおくことにより、容易に行うことができる。
【0028】
回転砥石Gは、非研磨位置Pと研磨位置Qとの間を往復するが、研磨作業を行うに先立って、制御手段400は、第1サーボモータ112を反時計方向回転として駆動して第1レバー200を反時計方向に回動させる。
【0029】
このとき、係合片241は舌片311に当接しているため、第1レバー200の動きに追随して第2レバー300も引っ張りコイルバネ230のバネ付勢力に抗して反時計方向に回動する。回転砥石Gが非研磨位置Pに到来した時点で、制御手段400は第1サーボモータ112を停止させる。
【0030】
ワーク(液晶パネル)10が、インデックステーブル30により回転砥石Gと対向する位置に搬送されると、制御手段400は、第2サーボモータ330を駆動して回転砥石Gを回転させるとともに、第1サーボモータ112を時計方向回転として駆動して第1レバー200を研磨位置Q側に向けて時計方向に回動させる。
【0031】
これに伴って、第2レバー300も引っ張りコイルバネ230のバネ付勢力により、第1レバー200と一体となって時計方向に回動する。なお、回転砥石Gは常時回転させてもよいし、研磨作業時のみ適宜回転させるようにしてもよい。また、回転砥石Gの回転は一方向回転で、その方向は時計方向,反時計方向のいずれでもよい。
【0032】
そして、回転砥石Gが研磨位置Qに至りワークエッジ11aと接触すると、第2レバー300は研磨位置Qに止まるが、制御手段400は、なおも第1サーボモータ112を駆動し続け、第1レバー200をさらに時計方向に回動させる。これにより、係合片241が舌片311から離れ、センサ401から離脱信号が出力される。
【0033】
すると、制御手段400は、第1サーボモータ112を停止させる一方で、ベース板110の駆動手段102を起動し、ベース板110を図1において左右方向に往復動させる。これにより、回転砥石Gはワーク10に対して平行に移動しながら、ワークエッジ11aを研磨することになるため、回転砥石Gの偏摩耗が防止される。回転砥石Gの平行移動量は、ワークエッジ11aの辺の長さに応じて適宜設定することができる。
【0034】
所定の研磨時間が終了すると、制御手段400は、第1サーボモータ112を反時計方向回転として駆動して第1レバー200を非研磨位置P側に向けて反時計方向に回動させる。その途中で、係合片241が舌片311に当接するため、第2レバー300も引っ張りコイルバネ230のバネ付勢力に抗して反時計方向に回動する。
【0035】
これにより、回転砥石Gはワーク10から離され、非研磨位置Qに到達した時点で、制御手段400は第1サーボモータ112を停止させる。以下、各ワークごとに、これが繰り返される。
【0036】
なお、研磨位置Pから非研磨位置Qまでの移動量(後退量)を、制御手段400内の図示しないタイマにて管理することにより、回転砥石Gの径が変化したとしても、待機時のワーク10から回転砥石Gまでの距離が一定に保たれ、タクトが延びることはない。この例において、非研磨位置Qは固定的な位置ではなく、可変的な位置である。
【0037】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、引っ張りコイルバネ230のバネ付勢力を調整する第3サーボモータ210を第1レバー200に取り付けることにより、第1レバー200が回動しても一旦調整したバネ付勢力が変わらないようにしているが、場合によっては、第3サーボモータ210をベース板110上に搭載してもよい。また、第1〜第3の各モータをサーボモータとしているが、回転砥石G用の第2モータはサーボ機能を持たない通常のモータであってよい。ワークもガラス基板に限られない。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、モータによって往復的に駆動される第1レバーと、回転砥石を有し、バネによってワーク側に向けて常時一方向に付勢される第2レバーとを同一回転軸上に設け、第1レバーに、非研磨位置から研磨位置までの間は第2レバーを第1レバーとともに一体として回動させ、回転砥石が研磨位置に到来してワークに接触した後においては第2レバーから離れる係合部を設けたことにより、ワークの板厚に応じた面取り量の設定が容易であり、各ワークに対して余計な負荷をかけることなく、ほぼ一定の圧力をもって回転砥石を接触させることができ、全体として最適かつ安定した面取りを可能としたワークの面取り装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるワークの面取り装置を示す正面図。
【図2】図1の左側面図。
【図3】従来のワークの面取り装置を説明するための(a)模式的側面図,(b)模式的平面図。
【符号の説明】
10 ワーク(液晶パネル)
11a ワークエッジ
30 インデックステーブル
100 装置基台
102 ベース板の駆動手段
110 ベース板
111 支持板
112 第1サーボモータ
200 第1レバー
210 第3サーボモータ
230 引っ張りバネ
240 係合部
300 第2レバー
310 上腕部
311 舌片
320 下腕部
330 第2サーボモータ
400 制御手段
401 センサ
G 回転砥石

Claims (4)

  1. ワークのエッジを回転砥石により研磨するワークの面取り装置において、
    装置基台上に設置されたベース板に対して、上記ワークをほぼ水平状態として所定高さ位置に支持するワーク支持手段と、上記ベース板に立設された左右一対の支持板間に、上記ワークのエッジと平行な同一の回転軸線を共有し、それぞれが自在に回動可能に軸支された第1レバーおよび第2レバーと、上記ベース板上に配置され、上記第1レバーを往復的に駆動する第1モータと、上記第2レバーに設けられた第2モータと、上記第2レバーを上記ワーク方向に向けて回動するように付勢する第2レバー付勢手段と、上記各モータおよび上記第2レバー付勢手段の付勢力を制御する制御手段とを含み、
    上記第2レバーに、上記第2モータにて駆動される回転砥石が上記ワークのエッジに当接する位置に設けられており、上記第1レバーには、上記回転砥石が上記ワークに当接する研磨位置までは上記第2レバーに係合し、当接後には上記第1レバーの回動に伴って上記第2レバーから離れる係合部が設けられているとともに、上記レバーのいずれか一方には、上記係合部の上記第2レバーに対する係合・離脱を検出するセンサが配置されており、
    上記制御手段は、上記第1モータを駆動して上記第1レバーに上記第2レバーを従えさせて非研磨位置から研磨位置にまで回動させるとともに、上記センサからの離脱信号が出力された時点で上記第1モータを停止させて、上記第2レバー付勢手段の付勢力のみによって上記回転砥石を上記ワークに当接させ、研磨に要する所定時間経過後には、上記第1モータを逆転駆動して上記第1レバーを上記第2レバーとともに非研磨位置にまで戻すことを特徴とするワークの面取り装置。
  2. 上記ベース板を上記装置基台上において上記ワークのエッジと平行な方向に沿って直線的に往復動させるベース板駆動手段をさらに備え、上記制御手段は、上記センサからの離脱信号が出力された時点で、上記ベース板駆動手段により上記ベース板を上記ワークのサイズに応じて往復動させる請求項1に記載のワークの面取り装置。
  3. 上記第2レバー付勢手段は、上記回転砥石を上記ワークに向けて付勢する引っ張りコイルバネと、ワイヤを介して上記引っ張りバネの一端に連結され、上記制御手段からの指示信号により、そのバネ力を調整する第3モータとを備えている請求項1または2に記載のワークの面取り装置。
  4. 上記第3モータは、上記第1レバーに取り付けられている請求項3に記載のワークの面取り装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2019187873A1 (ja) * 2018-03-29 2019-10-03 日本電気硝子株式会社 板ガラスの製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019187873A1 (ja) * 2018-03-29 2019-10-03 日本電気硝子株式会社 板ガラスの製造方法
JP2019171536A (ja) * 2018-03-29 2019-10-10 日本電気硝子株式会社 板ガラスの製造方法
CN111542414A (zh) * 2018-03-29 2020-08-14 日本电气硝子株式会社 板状玻璃的制造方法
CN111542414B (zh) * 2018-03-29 2022-06-17 日本电气硝子株式会社 板状玻璃的制造方法

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