JP2004239876A - 走査型プローブ顕微鏡、プローブホルダおよび搬送用プローブホルダ装着部材 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡、プローブホルダおよび搬送用プローブホルダ装着部材 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】プローブ(55,56)を保持するプローブ保持部(57)とステージ用プローブホルダ装着部材(29)により保持されるステージ用被保持部(58)と、搬送用プローブホルダ装着部材(36)により保持される搬送用被保持部(59)とを有するプローブホルダ(PH)が着脱可能に装着される搬送用プローブホルダ装着部材(36)は、搬送棒連結部(37h)と、複数の搬送用保持部材(43)と、記ホルダ搬送棒(61)の移動に応じて前記複数の搬送用保持部材(43)を前記離脱位置に同時に移動させる離脱位置移動部材(52)とを有する。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、STM(Scanning Tunneling Microscope 走査型トンネル顕微鏡)およびAFM(Atomic Force Microscope 原子間力顕微鏡)等のSPM(Scanning Probe Microscope 走査型プローブ顕微鏡)、前記SPMで使用可能なプローブホルダおよびプローブホルダ装着部材に関する。
【0002】
【従来の技術】
STM(走査型トンネル顕微鏡)またはAFM(Atomic Force Microscope 原子間力顕微鏡)等のSPM(Scanning Probe Microscope 走査型プローブ顕微鏡)は、1つのチップ(プローブ(探針))またはプローブステージに1以上の複数のカンチレバー(プローブ(探針))を試料表面に近づけることにより得られるトンネル電流またはカンチレバーの変形等を利用して表面の凹凸や試料表面の原子配列等の情報、または試料表面の摩擦力の情報等を得るために使用されている。
前記SPM(走査型プローブ顕微鏡)で使用するプローブホルダ搬送部材としては、次の技術が従来公知である。
(1)特許文献1(特開2000−258439号公報)記載の技術
この公報には、プローブホルダ7を操作棒9の先端に連結したホルダ保持手段10によりスキャナ5に装着する技術が記載されている。
この公報記載の技術では、複数のプローブホルダを同時に使用して試料表面の観察、測定等を行うことができない。
【0003】
前記SPMにおいて、試料表面の複数箇所を同時に計測したり観察したりする場合には、ステージ用試料ホルダ装着部材に近接して配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材に、それぞれプローブホルダを装着する必要がある。
【0004】
【特許文献1】特開2000−258439号公報(要約の欄)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
複数のプローブホルダの着脱が可能な前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に、複数のプローブホルダを着脱する際、プローブホルダを1個づつ着脱すると、着脱作業に時間がかかる。したがって、プローブホルダの着脱作業の時間を短縮するためには、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材の各々にプローブホルダを同時に搬送し且つ、搬送した複数のプローブホルダを複数のステージ用プローブホルダ装着部材に同時に装着したり、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に装着された複数のプローブホルダを同時に離脱させて搬送することが可能な搬送用プローブホルダ装着部材が必要となる。
【0006】
前述のような搬送用プローブホルダ装着部材および複数のステージ用プローブホルダ装着部材が有れば、一方のホルダ装着部材に装着された前記複数のプローブホルダを同時に離脱させて他方のホルダ装着部材に同時に装着させることが可能となり、着脱作業時間が短縮されて便利である。
【0007】
本発明は、前述の問題点に鑑み、下記の記載内容(O01),(O02)を課題とする。
(O01)SPMで使用する複数のプローブホルダを着脱可能な複数のステージ用プローブホルダ装着部材に対して、複数のプローブホルダを同時に着脱できるようにすること。
(O02)複数のプローブホルダを同時に着脱可能な搬送用プローブホルダ装着部材を提供すること。
【0008】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【0009】
(第1発明)
前記課題を解決するために、第1発明の走査型プローブ顕微鏡(SPM)は、下記の構成要件(A01),(A02)を備えたことを特徴とする。
(A01)直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダ(SH)が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔(6a)を有するステージ用試料ホルダ装着部材(6)、
(A02)プローブ(55,56)を保持するプローブ保持部(57)と搬送用プローブホルダ装着部材(36)により保持される搬送用被保持部(59)とステージ用被保持部(58)とを有する複数のプローブホルダ(PH)が、搬送用プローブホルダ装着部材(36)により前記試料ホルダ装着孔(6a)を+Z側に貫通して同時に搬送されたときに、前記複数の各プローブホルダ(PH)のステージ用被保持部(58)をそれぞれ同時に着脱可能に保持するステージ用ホルダ保持部(32)を有する複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)、
(A03)複数のプローブホルダ(PH)が前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)の各ステージ用ホルダ保持部(32)にそれぞれ保持された状態で前記複数の各ステージ用プローブホルダ装着部材(29)を+Z側に同時に移動させるホルダ装着時移動部材(22)。
【0010】
(第1発明の作用)
前記構成を備えた第1発明の走査型プローブ顕微鏡(SPM)では、ステージ用試料ホルダ装着部材(6)の試料ホルダ装着孔(6a)には、直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダ(SH)が着脱可能に装着される。
プローブ(55,56)を保持するプローブ保持部(57)と搬送用プローブホルダ装着部材(36)により保持される搬送用被保持部(59)とステージ用被保持部(58)とを有する複数のプローブホルダ(PH)が、搬送用プローブホルダ装着部材(36)により前記試料ホルダ装着孔(6a)を+Z側に貫通して同時に搬送されたときに、複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)の各ステージ用ホルダ保持部(32)は、前記複数の各プローブホルダ(PH)のステージ用被保持部(58)をそれぞれ同時に着脱可能に保持する。
複数のプローブホルダ(PH)が前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)の各ステージ用ホルダ保持部(32)にそれぞれ同時に保持された状態で、ホルダ装着時移動部材(22)は、前記複数の各ステージ用プローブホルダ装着部材(29)を+Z側に同時に移動させる。このとき、前記搬送用プローブホルダ装着部材(36)から複数の各プローブホルダ(PH)を同時に離脱させて複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)に同時に装着することができる。
【0011】
前記第1発明の走査型プローブ顕微鏡(SPM)において次の構成要件(A04)を備えることが可能である。
(A04)磁性材料製の前記ステージ用被保持部(58)を着脱可能に保持する永久磁石により構成された前記ステージ用ホルダ保持部(32)。
前記構成要件(A04)を備えた走査型プローブ顕微鏡(SPM)では、永久磁石により構成された前記ステージ用ホルダ保持部(32)は、プローブホルダ(PH)の磁性材料製のステージ用被保持部(58)を着脱可能に保持する。
【0012】
(第2発明)
第2発明のプローブホルダ(PH)は、下記の構成要件(B01),(B02)を備えたことを特徴とする。
(B01)複数のプローブホルダ(PH)を同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の各搬送用保持部材(43)によりそれぞれ保持される搬送用被保持部(59)と、複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)の各ステージ用ホルダ保持部(32)によりそれぞれ保持されるステージ用被保持部(58)と、プローブ(55,56)を保持するプローブ保持部(57)とを有するプローブホルダ(PH)、
(B02)永久磁石を有する前記ステージ用ホルダ保持部(32)により着脱可能に吸着される磁性材料製の前記ステージ用被保持部(58)。
【0013】
(第2発明の作用)
前記構成要件(B01),(B02)を備えた第2発明のプローブホルダ(PH)は、プローブ保持部(57)によりプローブ(55,56)を保持する。複数のプローブホルダ(PH)の各ステージ用被保持部(58)は、複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)の各ステージ用ホルダ保持部(32)によりそれぞれ保持される。また、複数のプローブホルダ(PH)の各搬送用被保持部(59)は、複数のプローブホルダ(PH)を同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の各搬送用保持部材(43)によりそれぞれ保持される。
前記プローブホルダ(PH)のる磁性材料製の前記ステージ用被保持部(58)は、永久磁石を有する前記ステージ用ホルダ保持部(32)により着脱可能に吸着されて保持される。
【0014】
(第3発明)
第3発明のプローブホルダ(PH)は、下記の構成要件(B01),(B03)を備えたことを特徴とする。
(B01)複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)の各ステージ用ホルダ保持部(32)によりそれぞれ保持されるステージ用被保持部(58)と、複数のプローブホルダ(PH)を同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の各搬送用保持部材(43)によりそれぞれ保持される搬送用被保持部(59)と、プローブ(55,56)を保持するプローブ保持部(57)とを有するプローブホルダ(PH)、
(B03)保持位置と離脱位置との間で移動可能で且つ保持位置に移動した時に前記プローブホルダ(PH)を保持し且つ前記離脱位置に移動した時に前記プローブホルダ(PH)から離脱する回転可能なフック(43)により構成された搬送用保持部材(43)により着脱可能に保持される前記搬送用被保持部(59)。
【0015】
(第3発明の作用)
前記構成要件(B01),(B03)を備えた第3発明のプローブホルダ(PH)は、プローブ保持部(57)によりプローブ(55,56)を保持する。複数のプローブホルダ(PH)の各ステージ用被保持部(58)は、複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)の各ステージ用ホルダ保持部(32)によりそれぞれ保持される。また、複数のプローブホルダ(PH)の各搬送用被保持部(59)は、複数のプローブホルダ(PH)を同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の各搬送用保持部材(43)によりそれぞれ保持される。
複数の前記プローブホルダ(PH)の各搬送用被保持部(59)は、搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の回転可能なフック(43)により構成された搬送用保持部材(43)によりそれぞれ着脱可能に保持される。前記フック(43)により構成された搬送用保持部材(43)は、保持位置と離脱位置との間で移動可能であり、前記プローブホルダ(PH)の搬送用被保持部(59)はフック(43)が前記保持位置に移動した時に保持され且つ前記離脱位置に移動した時に前記フック(43)から離脱する。
【0016】
(第2発明または第3発明の実施態様)
前記第2発明または第3発明のプローブホルダ(PH)において、下記の構成要件(B04)を備えることが可能である。
(B04)直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダ(SH)が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔(6a)を有するステージ用試料ホルダ装着部材(6)と前記試料ホルダ装着孔(6a)の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)とを有する走査型プローブ顕微鏡(SPM)の前記試料ホルダ装着孔(6a)を、前記搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の各搬送用保持部材(43)によりそれぞれ保持された複数のプローブホルダ(PH)が同時に貫通可能且つ前記ステージ用プローブホルダ装着部材(29)との間で同時に受渡し可能に構成された前記プローブホルダ(PH)。
【0017】
(第2発明または第3発明の実施態様の作用)
前記構成要件(B04)を備えた第2発明または第3発明のプローブホルダ(PH)では、前記搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の各搬送用保持部材(43)によりそれぞれ保持された複数のプローブホルダ(PH)は、直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された際に、試料ホルダ(SH)が着脱可能に装着される走査型プローブ顕微鏡(SPM)のステージ用試料ホルダ装着部材(6)の試料ホルダ装着孔(6a)を貫通する。そして前記試料ホルダ装着孔(6a)を貫通した複数のプローブホルダ(PH)は、前記試料ホルダ装着孔(6a)の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)と、搬送用プローブホルダ装着部材(36)との間で同時に受渡しされる。
したがって、複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)に対する複数のプローブホルダ(PH)の着脱を同時に行うことができる。
【0018】
(第4発明)
第4発明の搬送用プローブホルダ装着部材(36)は、下記の構成要件(C01),(C02)を備えたことを特徴とする。
(C01)プローブ(55,56)を保持するプローブ保持部(57)とステージ用プローブホルダ装着部材(29)により保持されるステージ用被保持部(58)と、搬送用プローブホルダ装着部材(36)により保持される搬送用被保持部(59)とを有するプローブホルダ(PH)が着脱可能に装着される搬送用プローブホルダ装着部材(36)、
(C02)ホルダ搬送棒(61)の進退移動により前記ホルダ搬送棒(61)に連結・離脱可能な搬送棒連結部(37h)と、前記搬送用被保持部(59)を保持する保持位置および前記搬送用被保持部(59)から離脱した離脱位置の間で移動可能な複数の搬送用保持部材(43)と、前記搬送用保持部材(43)を前記保持位置に移動させる保持位置移動部材(44+45)と、前記ホルダ搬送棒(61)の移動に応じて前記複数の搬送用保持部材(43)を前記離脱位置に同時に移動させる離脱位置移動部材(52)とを有する前記搬送用プローブホルダ装着部材(36)。
【0019】
(第4発明の作用)
前記構成要件(C01),(C02)を備えた第4発明の搬送用プローブホルダ装着部材(36)では、搬送用プローブホルダ装着部材(36)は、プローブ(55,56)を保持するプローブ保持部(57)とステージ用プローブホルダ装着部材(29)により保持されるステージ用被保持部(58)とを有するプローブホルダ(PH)の搬送用被保持部(59)が着脱可能に装着される。
搬送用プローブホルダ装着部材(36)の搬送棒連結部(37h)には、ホルダ搬送棒(61)の進退移動により前記ホルダ搬送棒(61)が連結・離脱可能に連結される。
前記搬送用プローブホルダ装着部材(36)の保持位置および離脱位置の間で移動可能な複数の搬送用保持部材(43)は、前記保持位置に移動したときに複数のプローブホルダ(PH)の搬送用被保持部(59)を保持し、前記離脱位置に移動したときに前記搬送用被保持部(59)から離脱する。保持位置移動部材(44+45)は前記搬送用保持部材(43)を前記保持位置に移動させる。離脱位置移動部材(52)は、前記ホルダ搬送棒(61)の移動に応じて前記複数の搬送用保持部材(43)を前記離脱位置に同時に移動させる。
【0020】
(第4発明の実施態様)
前記第4発明の搬送用プローブホルダ装着部材(36)は、下記の構成要件(C03)を備えることが可能である。
(C03)前記保持位置および離脱位置の間で回転移動可能で、前記保持位置に移動したときに前記搬送用被保持部(59)を保持し且つ前記離脱位置に移動したときに前記搬送用被保持部(59)から離脱するフック(43)により構成される前記搬送用保持部材(43)。
前記構成要件(C03)を備えた搬送用プローブホルダ装着部材(36)では、前記保持位置および離脱位置の間で回転移動可能なフック(43)により構成される前記搬送用保持部材(43)は、前記保持位置に移動したときに前記プローブホルダ(PH)の搬送用被保持部(59)を保持し且つ前記離脱位置に移動したときに前記搬送用被保持部(59)から離脱する。
【0021】
また、前記第4発明の搬送用プローブホルダ装着部材(36)または前記構成要件(C03)を備えた搬送用プローブホルダ装着部材(36)は、下記の構成要件(C04)を備えることが可能である。
(C04)直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダ(SH)が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔(6a)を有するステージ用試料ホルダ装着部材(6)と前記試料ホルダ装着孔(6a)の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)とを有する走査型プローブ顕微鏡(SPM)に対して、搬送用プローブホルダ装着部材(36)に装着された複数のプローブホルダ(PH)が+Z方向に搬送され且つ前記試料ホルダ装着孔(6a)を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)に接近した状態で、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)との間で複数のプローブホルダ(PH)の受渡しを同時に行う前記複数の搬送用保持部材(43)。
【0022】
前記構成要件(C04)を備えた搬送用プローブホルダ装着部材(36)は、直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダ(SH)が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔(6a)を有するステージ用試料ホルダ装着部材(6)と前記試料ホルダ装着孔(6a)の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)とを有する走査型プローブ顕微鏡(SPM)に対して、搬送用プローブホルダ装着部材(36)に装着された複数のプローブホルダ(PH)を+Z方向に搬送し且つ前記試料ホルダ装着孔(6a)を貫通させて前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)に接近させる。そして前記接近した状態で、前記複数の搬送用保持部材(43)は、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)との間で複数のプローブホルダ(PH)の受渡しを同時に行う。
【0023】
(第5発明)
第5発明のプローブホルダ着脱方法は、直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダ(SH)が着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔(6a)を有するステージ用試料ホルダ装着部材(6)と前記試料ホルダ装着孔(6a)の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)とを有する走査型プローブ顕微鏡(SPM)と、前記試料ホルダ装着孔(6a)を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)に接近可能で且つプローブホルダ(PH)を保持する保持位置とプローブホルダ(PH)から離脱した離脱位置との間で移動可能な複数の搬送用保持部材(43)および前記複数の搬送用保持部材(43)を前記保持位置と離脱位置との間で同時に移動させる移動部材(44+45+52)を有する搬送用プローブホルダ装着部材(36)との間でプローブホルダ(PH)の着脱を行うポローブホルダ着脱方法において、下記の構成要件(D01)を備えたことを特徴とする。
(D01)前記ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)に接近した前記搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の搬送用保持部材(43)および前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)のうちの一方の複数の部材に装着された複数のプローブホルダ(PH)を同時に離脱させると同時に他方の複数の部材に同時に装着させるプローブホルダ着脱方法。
【0024】
(第5発明の作用)
第5発明のプローブホルダ着脱方法では、直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダ(SH)は、走査型プローブ顕微鏡(SPM)のステージ用試料ホルダ装着部材(6)の試料ホルダ装着孔(6a)に着脱可能に装着される。搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の搬送用保持部材(43)は、前記試料ホルダ装着孔(6a)を貫通して、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の前記試料ホルダ装着孔(6a)の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)に接近する。前記接近した位置において、移動部材(44+45+52)により保持位置と離脱位置との間で移動する複数の搬送用保持部材(43)は、前記保持位置において、プローブホルダ(PH)を保持し、離脱位置においてプローブホルダ(PH)から離脱する。
したがって、前記ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)に接近した前記搬送用プローブホルダ装着部材(36)の複数の搬送用保持部材(43)と前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材(29)とは、一方の複数の部材に装着された複数のプローブホルダ(PH)を同時に離脱させると同時に他方の複数の部材に同時に装着させる。すなわち複数のプローブホルダ(PH)の着脱を同時に行うことができる。
【0025】
【実施の形態】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をX軸方向、左右方向をY軸方向、上下方向をZ軸方向とし、矢印X,−X,Y,−Y,Z,−Zで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【0026】
(実施の形態1)
(走査型プローブ顕微鏡)
図1は本発明の実施の形態1のSPM(走査型プローブ顕微鏡)の正断面図である。
図2は前記図1のSPMの試料ステージの要部説明図で、図2Aは前記図1の要部を示す図、図2Bは前記図2Aの矢印IIB−IIBから見た図で下面図である。
【0027】
図1、図2において、SEM(走査型電子顕微鏡)の鏡筒1の下方にはSPM(走査型プローブ顕微鏡)が配置されている。SPM(走査型プローブ顕微鏡)1は、ステージ支持部材2(図1の2点鎖線参照)を有しており、ステージ支持部材2には貫通孔2aが形成されている。
前記ステージ支持部材2の上面には試料ステージSTが支持されている。試料ステージSTは、前記ステージ支持部材2の上面に支持される環状プレート3を有しており、前記環状プレート3の内周部上面にはステージ用試料ホルダ装着部材6が支持されている。
ステージ用試料ホルダ装着部材6は円板状の試料ホルダ装着部材本体7と前記試料ホルダ装着部材本体7の上面に固定されたリング状抜止プレート8とを有している。
【0028】
前記試料ホルダ装着部材本体7には貫通孔7aが形成されている。貫通孔7aの下端部には内方に突出するリング状内方突出部7bが形成されており、前記リング状内方突出部7bには円周方向に180°離れた位置に一対の挿入用第1切除部7c,7cが形成されている。また、前記リング状内方突出部7bには、前記挿入用第1切除部7c,7cに対して円周方向に90°離れた位置に挿入用第2切除部7d,7dが形成されている。
前記リング状抜止プレート8には貫通孔8aが形成されており、前記貫通孔8aの内径はリング状内方突出部7bの内径よりも小さい。前記貫通孔7aおよび8aにより試料ホルダ装着孔6aが構成されている。
【0029】
前記リング状内方突出部7bには円周方向に90°離れた位置に合計4個の長孔状の電極板挿入孔7eが形成されている。前記4個の電極板挿入孔7eは、前記4個の挿入用切除部7c,7c,7d,7dの丁度中間に配置されている。
前記リング状内方突出部7bの下面には前記4個の電極板挿入孔7eに隣接してそれぞれ絶縁ブロック(図示せず)が固定されており、前記絶縁ブロックの下面には板バネ状の電極板11が支持されている。電極板11の先端は、前記電極板挿入孔7eを下面側から上面側に貫通して斜めに延びている。
前記符号3〜11で示された要素により試料ステージSTが構成されている。
【0030】
図1において前記環状プレート3の上面には左右一対のY軸ガイド13,13が固定されており、前記Y軸ガイド13,13にはY軸スライダ14,14がY軸方向にスライド移動可能に支持されている。前記Y軸スライダ14,14およびそれを移動させるスライダ移動機構は従来公知の種々の技術を使用可能である。なお、本実施の形態1の前記Y軸スライダ14,14は圧電体(図示せず)にスライダ移動用パルスが印加される度にY軸方向(左右方向)に移動可能に構成されており、このような、スライダ駆動機構は市販されている。
【0031】
前記Y軸スライダ14,14の上面にはそれぞれXガイド16,16が固定されており、前記X軸ガイド16,16にはX軸スライダ17,17がX軸方向(前後方向)にスライド移動可能に支持されている。前記X軸スライダ17,17は前記Y軸スライダ14,14と同様に、圧電体(図示せず)にスライダ移動用パルスが印加される度にX軸方向に移動可能である。
【0032】
前記X軸スライダ17,17の上面にはそれぞれL字型ブラケット18,18が固定されており、前記L字型ブラケット18,18の水平部18a,18aの外端部にはそれぞれバランサ部分(バランス調節用の重り部分)18b,18bが形成され且つバランサ19,19が固定されている。
前記L字型ブラケット18,18の鉛直部18c,18cにはそれぞれZ軸ガイド21,21が固定されており、前記Z軸ガイド21,21にはZ軸スライダ(ホルダ装着時移動部材)22,22がZ軸方向(上下方向)にスライド移動可能に支持されている。前記Z軸スライダ22,22は前記Y軸スライダ14,14と同様に、圧電体(図示せず)にスライダ移動用パルスが印加される度にZ軸方向に移動可能である。
【0033】
前記Z軸スライダ22,22の鉛直面にはそれぞれL字型のスキャナ連結ブラケット23,23が固定されており、前記スキャナ連結ブラケット23,23の水平部23a,23aの下面には下方に突出する連結ブロック24,24が固定されている。前記各連結ブロック24,24の下端部には上側絶縁体25,25が固定されており、前記上側絶縁体25,25の下端部にはチューブ状圧電体26,26が下方に突出するように支持されている。前記チューブ状圧電体26,26の下端部には下側絶縁体27,27が固定されている。また、前記連結ブロック24,24および上側絶縁体25,25の外周面に固定された円筒状の電場シールド部材28,28は、前記チューブ状圧電体26,26き外側を被覆するように配置されている。
【0034】
前記下側絶縁体27,27にはステージ用プローブホルダ装着部材29,29が固定されている。ステージ用プローブホルダ装着部材29は、装着部材本体31とその下面に固定したマグネット(ステージ用ホルダ保持部)32と、下方に突出するガイドピン33とを有している。
前記マグネット32はプローブホルダPH(図3により後述する)の被保持部の磁性材(鉄)を吸着するための部材である。
【0035】
前記図1では、左右一対のステージ用プローブホルダ装着部材29,29が示されておりそれについて説明したが、実際には図1の画面に垂直なX軸方向(前後方向)にも前後一対のステージ用プローブホルダ装着部材29,29が設けられている。この図示されていない前後一対のステージ用プローブホルダ装着部材29,29は、前記左右一対のステージ用プローブホルダ装着部材29,29と同様に構成されており、それらを支持するX軸スライダ、Y軸スライダ、Z軸スライダ等の構成もほぼ同様である。
【0036】
(搬送用プローブホルダ装着部材)
図3は本発明の実施の形態1の搬送用プローブホルダ装着部材の説明図であり、図3Aは正断面図で後述の図3BのIIIA−IIIA線断面図、図3Bは前記図3AのIIIB−IIIB線断面図、図3Cは前記図3AのIIIC−IIIC線断面図、図3Dは前記3Aの矢印IIIDから見た図である。
図4は本発明の実施の形態1の搬送用プローブホルダ装着部材に対するプローブホルダの着脱方法の説明図で、図4Aはプローブホルダが装着されている状態を示す図、図4Bはプローブホルダを離脱させる状態を示す図である。
図3、図4において、搬送用プローブホルダ装着部材36は、搬送用装着部材本体37を有している。搬送用装着部材本体37は、円筒壁37aと、前記円筒壁37aの上端部に形成された上端壁37bと、前記上端壁37bの中心部から下方に突出する棒状の中心軸部37cと、前記円筒壁の下部から半径方向外側に突出する一対の第1突出部37d,37dと、一対の第2突出部37e,37eとを有している。前記上端壁37bは中央部上面が円形に凹んで形成されている。前記突出部37d,37d、37e,37eの上端面は前記リング状抜止プレート8の下面に当接して位置決めされる当り面として形成されている。
【0037】
前記一対の第1突出部37d,37dは円周方向に180°離れて配置されており、一対の第2突出部37e,37eは前記第1突出部37d,37dと円周方向に90°離れた位置に配置されている。
前記上端壁37bには円周方向に90°離れた位置で且つ前記第1、第2突出部37d,37d、37e,37eに対応した位置に合計4個のフック貫通孔37fが形成されている。また、前記円筒壁37aには円周方向に90°離れた位置に合計4個の連結ネジ孔37gが形成されている。
前記棒状の中心軸部37cの下端部には搬送棒連結部37hが形成されており、搬送棒連結部37hにはピン38が軸に垂直に貫通して固定されている。したがって、ピン38はその両外端部が棒状の搬送棒連結部37hの外側面から突出している。
【0038】
前記円筒壁37aの内側且つ前記中心軸部37cの外側であってさらに前記上端壁37bの下方の空間には肉厚円筒状のフック保持部材40が収容されており、フック保持部材40には前記4個の連結ネジ孔37gに対応して4個のネジ貫通孔40aが形成されている。そして、搬送用装着部材本体37とフック保持部材40とは、前記ネジ貫通孔40aを貫通し且つ前記連結ネジ孔37gに螺合する4個の連結ネジN1により、連結されている。
前記肉厚円筒状のフック保持部材40の上端には、円周方向に90°の間隔で一対の板状上方突出部40b,40bが形成されている。一対の板状上方突出部40b,40bは数mm離れて配置されており、それらの間にはロッド41およびストッパ軸42(図3C参照)が設けられている。
【0039】
前記ロッド41にはフック(搬送用保持部材)43が回転可能に支持されており、フック43の先端部43aは前記搬送用装着部材本体37の上端壁37b(図3B参照)に形成されたフック貫通孔37fを貫通して上方に突出可能である。フック43には前記ストッパ軸42が貫通するストッパ貫通孔43b(図3A参照)が形成されており、ストッパ貫通孔43bの内径は前記ストッパ軸42の外径よりも少し大きく形成されている。このため、フック43は前記ストッパ軸42とストッパ貫通孔43bとの間の遊び(隙間)の分だけ、前記ロッド41回りに回転可能である。
図3Aにおいて、フック保持部材40には上下に延びる4個の保持位置移動部材収容孔40cが形成されており、各保持位置移動部材収容孔40c内部には押込み棒44および圧縮バネ45が収容されている。前記フック保持部材40の下端にはリングプレート46が4本のネジN2により固定されている。したがって、前記保持位置移動部材収容孔40cの下端はリングプレート46により塞がれている。
【0040】
前記保持位置移動部材収容孔40cに収容された押込み棒44は圧縮バネ45により上方に押圧されており、押込み棒44の上端部は前記フック保持部材40の上端から上方に突出している。前記押込み棒44の上端部は前記フック43に当接して、フック43を押圧している。前記押込み棒44により押圧されるフック43は、回転力(後述のプローブホルダPHを保持する位置(保持位置)に移動する回転力)を受けている。
前記押込み棒44および圧縮バネ45により、前記フック43を保持位置(後述のプローブホルダPHを保持する位置)に移動させる保持位置移動部材(44+45)が構成されている。
【0041】
図4A、図4Bにおいて、前記搬送用装着部材本体37の中心軸部37cの外側面には円筒状スライダ51が軸方向にスライド可能に装着されており、前記円筒状スライダ51の外側面には円筒状の離脱位置移動部材(前記フック43を離脱位置(後述のプローブホルダPHを離脱させる位置に移動させる部材)52がビス53により上下方向(Z軸方向)に一定距離だけスライド可能に支持されている。したがって、円筒状スライダ51および離脱位置移動部材52は、それらの一方が他方に対して前記一定距離だけ移動した後で前記中心軸部37cの軸方向に一体的にスライド可能である。
前記円筒状スライダ51の上端と前記搬送用装着部材本体37の上端壁37b下面との間には圧縮コイルバネ54が配置されている。前記圧縮コイルバネ54により、前記円筒状スライダ51は常時下方に押圧されており、その下端は前記ピン38に当接している。
【0042】
(プローブホルダPH)
図3A、図4において、前記搬送用装着部材本体37の上端壁37bの上面に着脱可能に装着されるプローブホルダPHが示されている。プローブホルダPHとしては、カンチレバーホルダPH1またはチップホルダPH2等が使用される。カンチレバーホルダPH1はカンチレバー(プローブ)55を保持するホルダであり、チップホルダPH2はチップ(プローブ、探針)56を保持するホルダである。
以後の説明では、プローブとしてカンチレバー55を使用したものについて説明する。
前記プローブホルダPHは前記カンチレバー(プローブ)55(図3A参照)を保持するプローブ保持部57を有している。
【0043】
図4A、図4Bにおいて、前記プローブホルダPHの上端部には磁性材料(鉄)により構成されたステージ用被保持部58が設けられており、下端面には傾斜した被係止孔により形成された搬送用被保持部59が設けられている。図3Aにおいて、フック43の先端部は前記搬送用装着部材本体37の上端壁37bの上面に突出して、プローブホルダPHの搬送用被保持部59に係合している。この状態では前記フック43によりプローブホルダPHは前記搬送用装着部材本体37の上端壁37bの上面に保持される。
なお、前記プローブホルダPHには前記ステージ用ホルダ装着部材29のガイドピン33(図1参照)が挿入されるピン挿入孔(図示せず)が形成されており、プローブホルダPHがステージ用ホルダ装着部材29に装着される際には、前記ピン挿入孔(図示せず)が前記ガイドピン33に嵌合し、ガイドされる。
【0044】
(搬送棒)
図4A、図4Bにおいて、ホルダ搬送棒61はその上端部に前記搬送用装着部材本体37の搬送棒連結部37hが挿入されて嵌合する嵌合孔61aと、U字溝61bとが形成されている。U字溝61bは、前記ホルダ搬送棒61により前記搬送用装着部材本体37の下端を支持したときに、ピン38が嵌合する溝である。前記ホルダ搬送棒61により前記搬送用装着部材本体37の下端を支持すると、前記圧縮コイルバネ54は搬送用プローブホルダ装着部材36の重量により僅かに圧縮される。前記圧縮により前記円筒状スライダ51と一体的に移動する前記離脱位置移動部材52は、前記フック43に接近するが接触しない程度に圧縮コイルバネ54の弾性が設定されている。
【0045】
(ステージ用プローブホルダ装着部材29へのプローブホルダPHの着脱)
図5はプローブホルダを装着した搬送用プローブホルダ装着部材をAFM(走査型プローブ顕微鏡)の試料ステージに搬送してから、ステージ用プローブホルダ装着部材を着脱位置に下降させた状態を示す図である。
図6は前記図5の状態で、プローブホルダを搬送用プローブホルダ装着部材から離脱させてステージ用プローブホルダ装着部材に装着させ、その後ステージ用ホルダ装着部材を上昇させてた後、搬送用プローブホルダ装着部材を試料ステージから後退させた状態を示す図である。
【0046】
前記図4Aの状態では、押込み棒44およびそれを上方に押し上げる圧縮バネ45により構成される4個の保持位置移動部材(44+45)により、フック(搬送用保持部材)43は、プローブホルダPHを保持する保持位置に移動している。すなわち図4Aの状態では、4個の(複数の)プローブホルダPHは、前記保持位置に移動しているフック43により、搬送用プローブホルダ装着部材36に保持されている。
前記図4Aの状態でホルダ搬送棒61を上方に移動させて、前記搬送用プローブホルダ装着部材36を上方に搬送する。その際、前記搬送用プローブホルダ装着部材36の前記第1、第2突出部37d,37d、37e,37eは、試料ホルダ装着部材本体7の挿入用第1および第2切除部7c,7c、7d,7d(図2参照)に挿入される。このとき、図5に示すように、搬送用プローブホルダ装着部材36の上端に保持された(装着された)プローブホルダPHは前記ステージ用試料ホルダ装着部材6の試料ホルダ装着孔6aを下側から上側に貫通する。
【0047】
その状態でホルダ搬送棒61を反時計方向に45°回転させると、前記電極板挿入孔7eを下面側から上面側に貫通して斜めに延びている前記板バネ状の4個の各電極板11の先端の上面に、前記搬送用プローブホルダ装着部材36の第1、第2突出部37d,37d、37e,37eの下面が当接する。前記板バネ状の4個の各電極板11の先端部により、前記搬送用プローブホルダ装着部材36の第1、第2突出部37d,37d、37e,37eの下面が持ち上げられて、上面は前記リング状抜止プレート8の下面に押圧される。その状態は、搬送用プローブホルダ装着部材36が試料ステージSTのステージ用試料ホルダ装着部材6の試料ホルダ装着孔6aに装着された状態である。
この状態になるまで、前記ステージ用ホルダ装着部材29はプローブホルダPHに接触しないように、前記Z軸スライダ22により上方位置に移動している。
【0048】
その状態で前記Z軸スライダ22を下降させると、ステージ用プローブホルダ装着部材29の下面のマグネット(ステージ用ホルダ保持部)32はプローブホルダPHの上端の磁性材料製のステージ用被保持部58に当接する。このとき図5に示すように、マグネット32によりプローブホルダPHのステージ用ホルダ保持部58は吸着される。
図5の状態でホルダ搬送棒61を上方に移動させると、図4Bに示すように、前記圧縮コイルバネ54が収縮して、離脱位置移動部材52の上端が前記フック43を上方に押圧する。このとき、4個の(複数の)前記保持位置移動部材(44+45)により保持位置に移動していた4個のフック43は、保持位置から回転して離脱位置に移動し、4個のフック43の先端部は、前記プローブホルダPHの搬送用被保持部59から同時に離脱する。
前記保持位置移動部材(44+45)および前記離脱位置移動部材52により、前記フック43を保持位置および離脱位置に自動的に移動させる移動部材(44+45+52)が構成されている。
【0049】
その状態でスライダ22を上昇させると、プローブホルダPHは搬送用プローブホルダ装着部材36から離脱しステージ用プローブホルダ装着部材29に装着される。
前述の搬送用プローブホルダ装着部材36から複数のステージ用プローブホルダ装着部材29へプローブホルダPHを移動させる手順と逆の手順で着脱操作を行うことにより、前記ステージ用プローブホルダに装着された4個のプローブホルダPHを、同時に離脱させて搬送用プローブホルダ装着部材36に同時に装着することができる。
【0050】
前記試料ステージSTの試料ホルダ装着部材6に装着した状態でプローブホルダPHを搬送用プローブホルダ装着部材36からステージ用プローブホルダ装着部材29に移動させた後で、前記搬送用プローブホルダ装着部材36を試料ステージSTの試料ホルダ装着部材6から離脱させるには、前記装着時と逆方向(時計方向)にホルダ搬送棒61を45°回転させてから下降させる。そのとき、4個のプローブホルダPHは4個のステージ用プローブホルダ装着部材29に装着された状態で、搬送用プローブホルダ装着部材36のみ下方に移動する。
【0051】
(ステージ用試料ホルダ装着部材6への試料ホルダSHの着脱)
図7は、ステージ用試料ホルダ装着部材とそこに装着された試料ホルダとを示す図である。
図7において、前記SPMの複数のステージ用プローブホルダ装着部材29にそれぞれプローブホルダPHを装着した状態で、試料Sを保持した試料ホルダSHを前記ステージ用試料ホルダ装着部材6に装着する。このステージ用試料ホルダ装着部材6に対する試料ホルダSHの着脱方法は、前記ステージ用ホルダ装着部材6に対するプローブホルダPHの着脱方法と同じである。
前記図7に示す状態で、前記Y軸スライダ14、X軸スライダ17およびZ軸スライダ22によりプローブホルダPHおよびプローブ55の位置を移動させて試料Sに対するプローブ55の位置決めを行い、その後、SPM(走査型プローブ顕微鏡)により試料S表面の観察または測定を行う。
なお、SEM(走査型電子顕微鏡)により、試料表面の観察を行うこともできる。
【0052】
(変更例)
以上、本発明の実施の形態を詳述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施の形態を下記に例示する。
(H01)前記図4〜図6の説明では、プローブホルダPHとしてカンチレバーホルダPH1を同時に搬送してステージ用プローブホルダ装着部材29に着脱させる例について説明したが、4個のチップホルダPH2(図3Aに1個図示)を同時に搬送して4個のステージ用プローブホルダ装着部材29に着脱することが可能である。
【0053】
【発明の効果】
前述の本発明の長尺シート用給紙装置は、下記の効果(E01),(E02)を奏することができる。
(E01)SPM(走査型プローブ顕微鏡)で使用する複数のプローブホルダを着脱可能な複数のステージ用プローブホルダ装着部材に対して、複数のプローブホルダを同時に着脱することができる。
(E02)複数のプローブホルダを同時に着脱可能な搬送用プローブホルダ装着部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施の形態1のSPM(走査型プローブ顕微鏡)の正断面図である。
【図2】図2は前記図1のSPMの試料ステージの要部説明図で、図2Aは前記図1の要部を示す図、図2Bは前記図2Aの矢印IIB−IIBから見た図で下面図である。
【図3】図3は本発明の実施の形態1の搬送用プローブホルダ装着部材の説明図であり、図3Aは正断面図で後述の図3BのIIIA−IIIA線断面図、図3Bは前記図3AのIIIB−IIIB線断面図、図3Cは前記図3AのIIIC−IIIC線断面図、図3Dは前記3Aの矢印IIIDから見た図である。
【図4】図4は本発明の実施の形態1の搬送用プローブホルダ装着部材に対するプローブホルダの着脱方法の説明図で、図4Aはプローブホルダが装着されている状態を示す図、図4Bはプローブホルダを離脱させる状態を示す図である。
【図5】図5はプローブホルダを装着した搬送用プローブホルダ装着部材をAFM(走査型プローブ顕微鏡)の試料ステージに搬送してから、ステージ用プローブホルダ装着部材を着脱位置に下降させた状態を示す図である。
【図6】図6は前記図5の状態で、プローブホルダを搬送用プローブホルダ装着部材から離脱させてステージ用プローブホルダ装着部材に装着させ、その後ステージ用ホルダ装着部材を上昇させてた後、搬送用プローブホルダ装着部材を試料ステージから後退させた状態を示す図である。
【図7】図7は、ステージ用試料ホルダ装着部材とそこに装着された試料ホルダとを示す図である。
【符号の説明】
PH…プローブホルダ、SH…試料ホルダ、ST…試料ステージ、
6…ステージ用試料ホルダ装着部材、6a…試料ホルダ装着孔、22…ホルダ装着時移動部材、29…ステージ用プローブホルダ装着部材、32…ステージ用ホルダ保持部、36…搬送用プローブホルダ装着部材、37h…搬送棒連結部、
43…搬送用保持部材、52…離脱位置移動部材、55,56…プローブ、57…プローブ保持部、58…ステージ用被保持部、59…搬送用被保持部、61…ホルダ搬送棒、
(44+45)…保持位置移動部材。
Claims (9)
- 下記の構成要件(A01)〜(A03)を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡、
(A01)直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダが着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔を有するステージ用試料ホルダ装着部材、
(A02)プローブを保持するプローブ保持部と搬送用プローブホルダ装着部材により保持される搬送用被保持部とステージ用被保持部とを有する複数のプローブホルダが、搬送用プローブホルダ装着部材により前記試料ホルダ装着孔を+Z側に貫通して同時に搬送されたときに、前記複数の各プローブホルダのステージ用被保持部をそれぞれ同時に着脱可能に保持するステージ用ホルダ保持部を有する複数のステージ用プローブホルダ装着部材、
(A03)複数のプローブホルダが前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材の各ステージ用ホルダ保持部にそれぞれ保持された状態で前記複数の各ステージ用プローブホルダ装着部材を+Z側に同時に移動させるホルダ装着時移動部材。 - 下記の構成要件(A04)を備えたことを特徴とする請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡、
(A04)磁性材料製の前記ステージ用被保持部を着脱可能に保持する永久磁石により構成された前記ステージ用ホルダ保持部。 - 下記の構成要件(B01),(B02)を備えたことを特徴とするプローブホルダ、
(B01)複数のステージ用プローブホルダ装着部材の各ステージ用ホルダ保持部によりそれぞれ保持されるステージ用被保持部と、複数のプローブホルダを同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材の複数の各搬送用保持部材によりそれぞれ保持される搬送用被保持部と、プローブを保持するプローブ保持部とを有するプローブホルダ、
(B02)永久磁石を有する前記ステージ用ホルダ保持部により着脱可能に吸着される磁性材料製の前記ステージ用被保持部。 - 下記の構成要件(B01),(B03)を備えたことを特徴とするプローブホルダ、
(B01)複数のステージ用プローブホルダ装着部材の各ステージ用ホルダ保持部によりそれぞれ保持されるステージ用被保持部と、複数のプローブホルダを同時に搬送する搬送用プローブホルダ装着部材の複数の各搬送用保持部材によりそれぞれ保持される搬送用被保持部と、プローブを保持するプローブ保持部とを有するプローブホルダ、
(B03)保持位置と離脱位置との間で移動可能で且つ保持位置に移動した時に前記プローブホルダを保持し且つ前記離脱位置に移動した時に前記プローブホルダから離脱する回転可能なフックにより構成された搬送用保持部材により着脱可能に保持される前記搬送用被保持部。 - 下記の構成要件(B04)を備えたことを特徴とする請求項4記載のプローブホルダ、
(B04)直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダが着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔を有するステージ用試料ホルダ装着部材と前記試料ホルダ装着孔の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材とを有する走査型プローブ顕微鏡の前記試料ホルダ装着孔を、前記搬送用プローブホルダ装着部材の複数の各搬送用保持部材によりそれぞれ保持された複数のプローブホルダが同時に貫通可能且つ前記ステージ用プローブホルダ装着部材との間で同時に受渡し可能に構成された前記プローブホルダ。 - 下記の構成要件(C01),(C02)を備えたことを特徴とする搬送用プローブホルダ装着部材、
(C01)プローブを保持するプローブ保持部とステージ用プローブホルダ装着部材により保持されるステージ用被保持部と、搬送用プローブホルダ装着部材により保持される搬送用被保持部とを有するプローブホルダが着脱可能に装着される搬送用プローブホルダ装着部材、
(C02)ホルダ搬送棒の進退移動により前記ホルダ搬送棒に連結・離脱可能な搬送棒連結部と、前記搬送用被保持部を保持する保持位置および前記搬送用被保持部から離脱した離脱位置の間で移動可能な複数の搬送用保持部材と、前記搬送用保持部材を前記保持位置に移動させる保持位置移動部材と、前記ホルダ搬送棒の移動に応じて前記複数の搬送用保持部材を前記離脱位置に同時に移動させる離脱位置移動部材とを有する前記搬送用プローブホルダ装着部材。 - 下記の構成要件(C03)を備えたことを特徴とする請求項5記載の搬送用プローブホルダ装着部材、
(C03)前記保持位置および離脱位置の間で回転移動可能で、前記保持位置に移動したときに前記搬送用被保持部を保持し且つ前記離脱位置に移動したときに前記搬送用被保持部から離脱するフックにより構成される前記搬送用保持部材。 - 下記の構成要件(C04)を備えたことを特徴とする請求項5または6記載の搬送用プローブホルダ装着部材、
(C04)直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダが着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔を有するステージ用試料ホルダ装着部材と前記試料ホルダ装着孔の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材とを有する走査型プローブ顕微鏡に対して、搬送用プローブホルダ装着部材に装着された複数のプローブホルダが+Z方向に搬送され且つ前記試料ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に接近した状態で、前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材との間で複数のプローブホルダの受渡しを同時に行う前記複数の搬送用保持部材。 - 直線に沿って設定されたZ軸に沿って前記Z軸の一端側の−Z側から他端側の+Z側に搬送された試料ホルダが着脱可能に装着される試料ホルダ装着孔を有するステージ用試料ホルダ装着部材と前記試料ホルダ装着孔の+Z側に配置された複数のステージ用プローブホルダ装着部材とを有する走査型プローブ顕微鏡と、前記試料ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に接近可能で且つプローブホルダを保持する保持位置とプローブホルダから離脱した離脱位置との間で移動可能な複数の搬送用保持部材および前記複数の搬送用保持部材を前記保持位置と離脱位置との間で同時に移動させる移動部材を有する搬送用プローブホルダ装着部材との間でプローブホルダの着脱を行うポローブホルダ着脱方法において、下記の構成要件(D01)を備えたことを特徴とするプローブホルダ着脱方法、
(D01)前記ホルダ装着孔を貫通して前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材に接近した前記ホルダ装着部材の複数の搬送用保持部材および前記複数のステージ用プローブホルダ装着部材のうちの一方の複数の部材に装着された複数のプローブホルダを同時に離脱させると同時に他方の複数の部材に同時に装着させるプローブホルダ着脱方法。
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