JP2004238610A - Curable resin composition with low dielectric constant and printed-wiring board given by using the same - Google Patents

Curable resin composition with low dielectric constant and printed-wiring board given by using the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition having a low dielectric constant and capable of easily forming wiring on its surface, by applying metal plating treatment to the surface, and to provide a wiring board given by using the same as an interlaminar insulating layer. <P>SOLUTION: This resin composition with the low dielectric constant contains an aromatic formaldehyde resin, a curing agent capable of curing the aromatic formaldehyde resin, an oxidizing agent, and a component which is roughened by at least one kind selected from an acid or an alkali. Therefore, the surface of the resin composition is chemically roughened, so that an anchor effect of the composition improves adhesion of a metal layer formed by electroless copper plating. Thus, the resin composition making it possible that the good metal layer causing no bulging nor peeling is formed on the surface is obtainable. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

本発明は、低誘電率硬化性樹脂組成物、特にプリント配線基板の層間絶縁材料等に用いることが可能な低誘電率硬化性樹脂組成物と、それを用いたプリント配線基板に関する。   The present invention relates to a low dielectric constant curable resin composition, particularly to a low dielectric constant curable resin composition that can be used as an interlayer insulating material of a printed wiring board, and a printed wiring board using the same.

一般に、多層プリント配線基板には、硬化性樹脂組成物が層間絶縁膜として用いられている。そのような層間絶縁膜には、高い信頼性(特に、耐吸湿性、高密着性)が要求されるばかりでなく、さらには、公知のビルドアップ法により製造する際において、その表面上に無電解銅メッキ並びに電解銅メッキにより配線を形成可能であることが求められる。   In general, a curable resin composition is used as an interlayer insulating film in a multilayer printed wiring board. Such an interlayer insulating film is required not only to have high reliability (especially, moisture absorption resistance and high adhesion), but also to have no surface on the surface when manufacturing by a known build-up method. It is required that wiring can be formed by electrolytic copper plating and electrolytic copper plating.

また近年、電子機器の小型化、情報通信の高速化に伴い、プリント配線基板にも、小型化及び高密度実装化や、優れた高周波特性とが要求されている。そのため、層間絶縁膜には低誘電率、低誘電損失が要求されるが、これまで使用されてきたエポキシ樹脂を中心とした材料は極性が高く、誘電率や誘電損失が大きいという欠点を持つ。そこで、エポキシ樹脂に代わる低誘電材料として、熱硬化性ポリフェニレンエーテルや液晶ポリマー、ポリイミド、フッ素化樹脂等を使用する試みがなされている(特許文献1〜5)。   In recent years, with the miniaturization of electronic devices and the speeding up of information communication, printed wiring boards have also been required to be miniaturized, have high-density mounting, and have excellent high-frequency characteristics. Therefore, a low dielectric constant and a low dielectric loss are required for the interlayer insulating film. However, the materials mainly used for the epoxy resin, which have been used so far, have a high polarity and a high dielectric constant and a large dielectric loss. Therefore, attempts have been made to use thermosetting polyphenylene ether, liquid crystal polymer, polyimide, fluorinated resin, or the like as a low dielectric material instead of an epoxy resin (Patent Documents 1 to 5).

特開平11−21503号公報JP-A-11-21503 特開平07−64914号公報JP-A-07-64914 特開2001−53416号公報JP 2001-53416 A 特開平06−210795号公報JP-A-06-210795 特開2002−50851号公報JP-A-2002-50851

上記低誘電材料のうち、熱硬化性ポリフェニレンエーテル(特許文献1、2)は、これまで主に使用される過マンガン酸による粗化だけでは無電解銅メッキが困難であるため、無電解銅メッキではなく、凹凸のある金属箔を接着することにより配線を形成していた。しかし、このような方法では、微細配線の形成は不可能であった。液晶ポリマー(特許文献3)は、無電解銅メッキ用触媒をあらかじめ樹脂に混入させておかないとメッキ処理が不可能であり、配線形成が困難であった。ポリイミド(特許文献4)は、メッキ処理を行うには表面粗化された銅箔上にポリイミド膜を形成した後、銅箔を除去し、銅箔の表面粗度を転写する必要があり、配線形成が困難であった。また、フッ素化系化合物は一般に金属との接着性、成形・加工性に劣り、無電解銅メッキが不可能である。以上のように、層間絶縁膜に低誘電率と、無電解銅メッキによる配線形成の容易さとを同時に持たせることはできなかった。   Among the above low dielectric materials, thermosetting polyphenylene ether (Patent Documents 1 and 2) is difficult to perform electroless copper plating only by roughening with permanganic acid, which has been mainly used so far. Instead, the wiring is formed by bonding a metal foil having irregularities. However, with such a method, it has been impossible to form fine wiring. The liquid crystal polymer (Patent Document 3) cannot be plated unless a catalyst for electroless copper plating is mixed in the resin in advance, and it is difficult to form wiring. In order to perform a plating process on polyimide (Patent Document 4), it is necessary to form a polyimide film on a copper foil having a roughened surface, remove the copper foil, and transfer the surface roughness of the copper foil. It was difficult to form. In addition, fluorinated compounds generally have poor adhesion to metals and poor moldability and workability, and are incapable of electroless copper plating. As described above, the interlayer insulating film cannot have both a low dielectric constant and ease of wiring formation by electroless copper plating.

本発明は、まさに上記問題を鑑みてなされたものであり、低誘電率を有し、且つその表面上にメッキ処理による配線形成が容易な樹脂組成物、及びそれを層間絶縁層に用いた配線基板を提供するものである。   The present invention has been made in view of the above problems, and has a resin composition having a low dielectric constant and easily forming a wiring by plating on the surface thereof, and a wiring using the same as an interlayer insulating layer. A substrate is provided.

課題を解決するための手段・発明の効果Means for Solving the Problems / Effects of the Invention

上記課題を解決するため、本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物では、
芳香族ホルムアルデヒド樹脂と、該芳香族ホルムアルデヒド樹脂を硬化させることが可能な硬化剤と、酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分(以下、粗化される成分ともいう)と、を含有することを特徴とする。
In order to solve the above problems, in the low dielectric constant curable resin composition of the present invention,
An aromatic formaldehyde resin, a curing agent capable of curing the aromatic formaldehyde resin, and a component roughened by at least one selected from an oxidizing agent, an acid, and an alkali (hereinafter, also referred to as a roughened component) And containing.

芳香族ホルムアルデヒド樹脂は芳香環やエーテル結合を含むため極性が低く、これに芳香族ホルムアルデヒド樹脂を硬化させることが可能な硬化剤を加えて硬化させた樹脂組成物は、耐熱性や耐吸湿性に優れた低誘電率硬化性樹脂組成物となる。しかし、無電解銅メッキによってその表面にメッキ層を形成した場合、樹脂組成物に対するメッキ層の密着性が不十分で、膨れや剥れが発生してしまい、プリント配線基板の層間絶縁膜としての実用化は困難であった。そこで、このような問題を解決するために、上記成分に加えて、酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種(以下、粗化剤ともいう)により粗化される成分を、樹脂組成物に含有させることを見出した。これにより、樹脂組成物の表面を化学的に粗化させることができ、無電解銅メッキによるメッキ層の密着性を、アンカー効果により向上させることができる。このようにして、膨れや剥れのない良好なメッキ層をその表面上に形成することが可能な樹脂組成物を得ることができる。   Aromatic formaldehyde resin has a low polarity because it contains an aromatic ring and an ether bond, and a resin composition cured by adding a curing agent capable of curing the aromatic formaldehyde resin to heat resistance and moisture absorption resistance. It becomes an excellent low dielectric constant curable resin composition. However, when a plating layer is formed on the surface by electroless copper plating, the adhesion of the plating layer to the resin composition is insufficient, and swelling or peeling occurs, which causes an interlayer insulating film as a printed wiring board. Practical application was difficult. Therefore, in order to solve such a problem, in addition to the above components, a component roughened by at least one selected from oxidizing agents, acids and alkalis (hereinafter, also referred to as a roughening agent) is added to the resin composition. It has been found that it is contained. Thereby, the surface of the resin composition can be chemically roughened, and the adhesion of the plating layer by electroless copper plating can be improved by the anchor effect. In this way, a resin composition capable of forming a good plating layer without swelling or peeling on its surface can be obtained.

また、上記芳香族ホルムアルデヒド樹脂において、その分子中に含まれる芳香環に属する水素原子のうち、少なくとも一つ以上が炭化水素系基によって置換されている芳香族ホルムアルデヒド樹脂は、炭化水素系基が電子供与性を具備しているので硬化反応が促進される特徴を持つため、硬化性に優れた低誘電率硬化性樹脂組成物の成分として用いるのに好適である。また、その硬化体は接着性及び可撓性にも優れており、これらの特徴はプリント配線基板の層間絶縁膜として用いるのに有利である。そのような芳香族ホルムアルデヒド樹脂としては、具体的には、キシレンホルムアルデヒド樹脂及び/又はメシチレンホルムアルデヒド樹脂(通常「キシレン樹脂」と呼ばれるもの)が好ましい。   Further, in the aromatic formaldehyde resin, the aromatic formaldehyde resin in which at least one or more of the hydrogen atoms belonging to the aromatic ring contained in the molecule is substituted with a hydrocarbon group, the hydrocarbon group is an electron. Since it has a donating property, it has a characteristic that the curing reaction is accelerated, and thus is suitable for use as a component of a low dielectric constant curable resin composition having excellent curability. Further, the cured product has excellent adhesiveness and flexibility, and these features are advantageous for use as an interlayer insulating film of a printed wiring board. Specifically, such an aromatic formaldehyde resin is preferably a xylene formaldehyde resin and / or a mesitylene formaldehyde resin (commonly referred to as “xylene resin”).

キシレンホルムアルデヒド樹脂及び/又はメシチレンホルムアルデヒド樹脂は、例えばメタキシレン及び/又はメシチレンとホルムアルデヒドより合成されるオリゴマーであり、分子内にメチロール基、ジメチレンエーテル基、アセタール基等の反応基を有するものである。特に、キシレンホルムアルデヒド樹脂は、酸触媒によって高い反応性を示すとともに、得られた硬化体は極性基が少ないため低誘電率のものとなる。また、その他の芳香族ホルムアルデヒド樹脂としては、トルエン、エチルベンゼン、プソイドクメン、炭素数が10以上の単環芳香族炭化水素化合物、あるいはナフタレン、メチルナフタレン等の多環芳香族炭化水素化合物、あるいはこれらの誘導体又は混合物をホルムアルデヒドにて反応させた反応生成物(オリゴマー)等を例示することができる。   The xylene formaldehyde resin and / or mesitylene formaldehyde resin is, for example, an oligomer synthesized from meta-xylene and / or mesitylene and formaldehyde, and has a reactive group such as a methylol group, a dimethylene ether group, or an acetal group in a molecule. . In particular, the xylene formaldehyde resin shows high reactivity due to the acid catalyst, and the obtained cured product has a low dielectric constant since it has few polar groups. Other aromatic formaldehyde resins include toluene, ethylbenzene, pseudocumene, monocyclic aromatic hydrocarbon compounds having 10 or more carbon atoms, or polycyclic aromatic hydrocarbon compounds such as naphthalene and methylnaphthalene, or derivatives thereof. Alternatively, a reaction product (oligomer) obtained by reacting the mixture with formaldehyde can be exemplified.

また、本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物は、上記成分に加えて、ポリフェノール化合物を含むものとすることができる。芳香族ホルムアルデヒド樹脂を硬化させた場合、硬化収縮が大きいため硬化体にクラック等が発生してしまう場合がある。そこで、樹脂組成物にポリフェノール化合物を含有させると、硬化体におけるクラック発生を防止ないし抑制することが可能となり、さらに、ポリフェノール化合物を含有しない場合と比較して、低誘電率を確保しつつも、より硬化性に優れ、耐熱性が良好な硬化体を得ることができる。ここで、ポリフェノール化合物は、1分子中にフェノール性水酸基を2個以上含有する化合物のことをいい、例えば、ビスフェノール類、ノボラック類、レゾール類、ヒドロキシビニルフェノール類、その他フェノール付加体などを例示することができる。該ポリフェノール化合物は、そのフェノール性水酸基のオルト位及びパラ位が芳香族ホルムアルデヒド樹脂と反応して架橋が起こるため、フェノール性水酸基のオルト位及びパラ位は置換されていないことが望ましい。   In addition, the low dielectric constant curable resin composition of the present invention may contain a polyphenol compound in addition to the above components. When the aromatic formaldehyde resin is cured, cracks or the like may occur in the cured product due to large curing shrinkage. Therefore, when the resin composition contains a polyphenol compound, it is possible to prevent or suppress the occurrence of cracks in the cured product, and further, while ensuring a low dielectric constant as compared with the case where the polyphenol compound is not contained, A cured product having more excellent curability and good heat resistance can be obtained. Here, the polyphenol compound refers to a compound containing two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, and examples thereof include bisphenols, novolaks, resols, hydroxyvinylphenols, and other phenol adducts. be able to. In the polyphenol compound, since the ortho position and the para position of the phenolic hydroxyl group react with the aromatic formaldehyde resin to cause crosslinking, it is desirable that the ortho position and the para position of the phenolic hydroxyl group are not substituted.

なお、上記芳香族ホルムアルデヒドを硬化させる手段には、熱硬化及び光硬化の2種類が考えられ、それぞれに対応する硬化剤を用いることになる。
芳香族ホルムアルデヒド樹脂を熱硬化し得る硬化剤は、加熱によって酸が発生し、その酸によってキシレン樹脂などの芳香族ホルムアルデヒド樹脂を硬化、及びポリフェノール化合物とキシレン樹脂との架橋反応が促進されるものであればよい。例えば、ヘキサフルオロアンチモン塩、トリクロロメチルトリアジン化合物、ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニウム塩等のイオン性化合物、カルボン酸、スルホン酸のエステルやアミド誘導体等の非イオン性化合物、リン化合物などを使用することができる。
As the means for curing the aromatic formaldehyde, two types of heat curing and light curing can be considered, and corresponding curing agents are used.
A curing agent that can thermally cure an aromatic formaldehyde resin is one that generates an acid by heating, cures an aromatic formaldehyde resin such as a xylene resin, and promotes a crosslinking reaction between a polyphenol compound and the xylene resin. I just need. For example, use of ionic compounds such as hexafluoroantimony salts, trichloromethyltriazine compounds, diazonium salts, iodonium salts, and sulfonium salts, carboxylic acids, nonionic compounds such as sulfonic acid esters and amide derivatives, and phosphorus compounds. Can be.

芳香族ホルムアルデヒド樹脂を光硬化し得る硬化剤は、例えば光が照射されることにより活性種を発生する光活性種発生剤とすることができ、その活性種により芳香族ホルムアルデヒド樹脂が硬化されるものとすることができる。芳香族ホルムアルデヒド樹脂は、例えば芳香環の水素の一部がメチロール基やジメチレンエーテル基、アセタール基等の酸素含有置換基により置換されたものとすることができ、なかでもメチロール基にて置換された芳香族ホルムアルデヒド樹脂を含む組成物は優れた感光性を示す。これら酸素を含む置換基は、例えば酸触媒下で活性水素を有する化合物と反応することで、カルボカチオン等の反応活性種を生成し、該反応活性種により分子間縮合反応が進行するものと推察される。したがって、光硬化剤はカチオン重合を開始させる光カチオン重合開始剤とすることができ、さらには光照射により酸を発生する光酸発生剤とすることができる。このような光硬化剤としては、例えば、ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニウム塩等のイオン性化合物、カルボン酸、スルホン酸のエステルやアミド誘導体等の非イオン性化合物など公知のものを使用することができる。   The curing agent capable of photocuring the aromatic formaldehyde resin can be, for example, a photoactive species generator that generates an active species by irradiating light, and the active form cures the aromatic formaldehyde resin. It can be. The aromatic formaldehyde resin may be, for example, one in which a part of the hydrogen of the aromatic ring is substituted by an oxygen-containing substituent such as a methylol group, a dimethylene ether group, or an acetal group. The composition containing the aromatic formaldehyde resin exhibits excellent photosensitivity. It is presumed that these oxygen-containing substituents react with a compound having active hydrogen under an acid catalyst to generate reactive species such as carbocations, and the reactive species causes an intermolecular condensation reaction to proceed. Is done. Therefore, the photo-curing agent can be a photo-cationic polymerization initiator for initiating cationic polymerization, and further a photo-acid generator for generating an acid upon irradiation with light. As such a photocuring agent, it is possible to use known ones such as ionic compounds such as diazonium salts, iodonium salts and sulfonium salts, and nonionic compounds such as carboxylic acid and sulfonic acid esters and amide derivatives. it can.

次に、本発明では、上記低誘電硬化性樹脂組成物において、硬化後の比誘電率が3.3以下、もしくは硬化後の誘電正接が0.04以下であることを特徴とする。これは、プリント配線基板の層間絶縁膜として用いた場合に、信号の伝播速度が速くなり、且つ信号の減衰を抑えることが十分に可能となる範囲である。比誘電率、誘電正接のどちらも、その値がより小さければ、前記のような効果をより得られるので、下限については特に限定されない(ただし0を除く)。さらには硬化後の比誘電率が3.3以下、且つ硬化後の誘電正接が0.04以下であることが望ましい。   Next, the present invention is characterized in that the low dielectric curable resin composition has a relative dielectric constant after curing of 3.3 or less or a dielectric loss tangent after curing of 0.04 or less. This is a range in which when used as an interlayer insulating film of a printed wiring board, the signal propagation speed is high and the signal attenuation can be sufficiently suppressed. If the values of both the relative permittivity and the dielectric loss tangent are smaller, the above-mentioned effects can be obtained more, and the lower limit is not particularly limited (except 0). Further, it is desirable that the relative dielectric constant after curing is 3.3 or less and the dielectric loss tangent after curing is 0.04 or less.

次に、本発明では、前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分は、酸化剤により粗化される成分であることを特徴とする。一般に、酸やアルカリは粗化させる力が、酸化剤と比較して弱いため、良好な粗化面を形成するには長時間の粗化処理を必要とする。そのため、粗化を意図しない樹脂表面を傷めてしまう場合が考えられる。酸化剤は粗化させる力が強いので、酸やアルカリを用いた場合よりも、比較的短時間の粗化処理で良好な粗化面を得ることができ、上記のような樹脂表面を傷める惧れを回避することができる。さらには、酸化剤は過マンガン酸塩であることがより好ましい。過マンガン酸塩には、過マンガン酸カリウム、ナトリウム、カルシウム等の種類があり、強力な酸化力(これが粗化させる力となる)を持ち、また後述する脂肪族成分(鎖式構造部)の分解や、二重結合を切断させる反応を起こすのに特に有効な酸化剤である。   Next, the present invention is characterized in that the component roughened by at least one selected from the group consisting of an oxidizing agent, an acid and an alkali is a component roughened by an oxidizing agent. In general, an acid or alkali has a weaker roughening force than an oxidizing agent, and therefore requires a long roughening treatment to form a good roughened surface. For this reason, it is conceivable that the resin surface not intended for roughening may be damaged. Since the oxidizing agent has a strong roughening power, a good roughened surface can be obtained by a relatively short roughening treatment compared with the case where an acid or an alkali is used, and the resin surface as described above may be damaged. Can be avoided. More preferably, the oxidizing agent is a permanganate. There are various types of permanganate, such as potassium, sodium, and calcium permanganate, which have a strong oxidizing power (this is a power for roughening), and a fatty acid (chain-type structural portion) described later. It is an oxidizing agent that is particularly effective for causing decomposition and reactions that break double bonds.

次に、本発明では、前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分には、脂肪族化合物を用いることが有効である。これは、粗化剤が酸化剤である場合に特に有効な成分である。脂肪族化合物は、脂肪族成分(鎖式構造部)が酸化剤によって分解されやすいという特徴を持つため、粗化面を形成するのに有効である。なかでも、分子内に二重結合を持つものは、二重結合が酸化剤と非常に反応しやすいという性質を持つため、さらに有効である。脂肪族化合物であるポリブタジエンには、分子内にそのような二重結合が多数含まれている。また、ポリブタジエンの末端が酸化されやすい水酸基で置換されている水酸基末端ポリブタジエンは、さらに粗化されやすく、粗化面を容易に形成することが可能となる。   Next, in the present invention, it is effective to use an aliphatic compound as a component roughened by at least one selected from the oxidizing agent, acid and alkali. This is a particularly effective component when the roughening agent is an oxidizing agent. Aliphatic compounds are effective in forming a roughened surface because they have a characteristic that an aliphatic component (chain-type structure portion) is easily decomposed by an oxidizing agent. Of these, those having a double bond in the molecule are more effective because the double bond has a property of being very easily reacted with an oxidizing agent. Polybutadiene, which is an aliphatic compound, contains many such double bonds in the molecule. Further, the hydroxyl-terminated polybutadiene in which the terminal of polybutadiene is substituted with a hydroxyl group which is easily oxidized is more easily roughened, and a roughened surface can be easily formed.

なお、上記のような成分は、粗化剤が酸化剤である場合に特に有効であるが、酸またはアルカリに対しても粗化される。また、酸やアルカリは、粗化剤として積極的に用いなくても、プリント配線基板の製造工程で表面処理等に用いられるため、その際に粗化剤として働くことも考えられる。一方、粗化剤に酸もしくはアルカリを積極的に用いる場合には、それらに対応する粗化される成分を選択することになる。粗化される成分としては次のようなものが考えられる。粗化剤に酸を用いる場合には、アルカリ性を示すアミノ基を有する化合物(アミン)等、粗化剤にアルカリを用いる場合には、酸性を示すカルボキシル基を有する化合物(カルボン酸)、フェノールを有する化合物、チオール基を有する化合物等が好適に用いられる。   The above-mentioned components are particularly effective when the roughening agent is an oxidizing agent, but are also roughened against an acid or an alkali. Further, even if an acid or an alkali is not actively used as a roughening agent, it is used for a surface treatment or the like in a manufacturing process of a printed wiring board, and therefore, it is considered that the acid or alkali may act as a roughening agent at that time. On the other hand, when an acid or an alkali is positively used as a roughening agent, a component to be roughened corresponding to them is selected. The following can be considered as components to be roughened. When an acid is used as a roughening agent, a compound having an amino group showing an alkalinity (amine) is used. When an alkali is used as a roughening agent, a compound having a carboxyl group showing an acidity (carboxylic acid) or phenol is used. And a compound having a thiol group.

また、前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分は、25℃で粘度が3000Pa.s以下の液状もしくは粘性体であることが望ましい。上記低誘電率硬化性樹脂組成物の粗化表面上に微細な配線(例えば、幅100μm程度以下)を形成するには、粗化表面の凹凸も微細でなくてはならず、前記粗化される成分は、上記のような状態の液状もしくは粘性体であることが必要である。前記粗化される成分が液状もしくは粘性体であれば、固体である場合と比較して、前記粗化される成分を芳香族ホルムアルデヒド樹脂中に相溶させやすく、より微細に分散させることができるので、硬化物に粗化処理を施すと、粗化表面はより微細な凹凸を有することになる。さらには、前記粗化される成分は、25℃で1500Pa.s以下であることがより好ましい。   The component roughened by at least one selected from the oxidizing agent, acid and alkali has a viscosity of 3000 Pa.s at 25 ° C. It is desirable that the material be a liquid or viscous material of s or less. In order to form fine wiring (for example, about 100 μm or less in width) on the roughened surface of the low dielectric constant curable resin composition, the unevenness of the roughened surface must also be fine. The component must be a liquid or viscous substance in the above-described state. If the component to be roughened is a liquid or viscous material, the component to be roughened is easily compatible with the aromatic formaldehyde resin and can be finely dispersed as compared with a case where the component is a solid. Therefore, when the cured product is subjected to a roughening treatment, the roughened surface has finer irregularities. Furthermore, the component to be roughened is 1500 Pa. More preferably, it is not more than s.

また、酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分には、アセタール化合物を用いることが有効である。ここで「アセタール化合物」とは、アルデヒド水和物(オルトアルデヒド)とアルキル基がエーテル結合している構造を持つ化合物(別名:ジアルコキシ体
RCH(OR´))の総称である。このようなアセタール化合物を粗化される成分とした場合、上述と同様の効果が得られるとともに、さらには通常よりも低熱膨張率の樹脂組成物が得られることになる。このような低膨張率の樹脂組成物は、プリント配線基板の層間絶縁膜として用いるのに有利である。具体的には、アセタール化合物としてブチラール樹脂等を用いることができる。ブチラール樹脂は、主鎖部分がポリビニルアルコール、側鎖部分がブチルアルデヒドとして構成された樹脂である。
In addition, it is effective to use an acetal compound as a component roughened by at least one selected from an oxidizing agent, an acid, and an alkali. Here, the “acetal compound” is a general term for a compound having a structure in which an aldehyde hydrate (ortho aldehyde) and an alkyl group are ether-bonded (alias: dialkoxy compound RCH (OR ′) 2 ). When such an acetal compound is used as a component to be roughened, the same effects as described above can be obtained, and a resin composition having a lower coefficient of thermal expansion than usual can be obtained. Such a resin composition having a low expansion coefficient is advantageous for use as an interlayer insulating film of a printed wiring board. Specifically, a butyral resin or the like can be used as the acetal compound. The butyral resin is a resin in which the main chain is composed of polyvinyl alcohol and the side chain is composed of butyraldehyde.

また、前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分は、前記芳香族ホルムアルデヒド樹脂と相溶し透明なワニスとなることが望ましい。上記低誘電率硬化性樹脂組成物の粗化表面上に微細な配線(例えば、幅100μm程度以下)を形成するには、粗化表面の凹凸も微細でなくてはならず、芳香族ホルムアルデヒド樹脂と相溶し透明となる成分を選択することが重要である。ワニスが透明になるということは、前記ホルムアルデヒド樹脂と前記粗化される成分が分子レベルで混合されていることを意味し、硬化物に粗化処理を施すと、粗化表面は分子レベル程度のオーダーの凹凸を有することになる。一方、ワニスが相溶せずに濁ってしまう場合、上記粗化される成分は塊(集合体)となって上記樹脂中に存在しているため、この状態で粗化処理を施すと、粗化面の凹凸が大きくなり過ぎて、微細な配線を正確に形成することが困難となる。なお、ここで透明とは、人が目視で透明と感じる程度のものであり、具体的には、紫外・可視吸収スペクトルの透過率により評価する。詳しくは、光路長1cmのセルに樹脂組成物を入れ、200〜900nmの範囲の吸収スペクトルを測定し、樹脂組成物固有の吸収ピークを除く領域で透過率が70%以上あるものを透明であると判定する。   Further, it is desirable that the component roughened by at least one selected from the oxidizing agent, acid and alkali is compatible with the aromatic formaldehyde resin to form a transparent varnish. In order to form fine wiring (eg, about 100 μm or less in width) on the roughened surface of the low dielectric constant curable resin composition, the unevenness of the roughened surface must be fine, and the aromatic formaldehyde resin It is important to select a component that is compatible with the material and becomes transparent. The fact that the varnish becomes transparent means that the formaldehyde resin and the component to be roughened are mixed at a molecular level, and when a roughening treatment is performed on the cured product, the roughened surface has a molecular level of about. It will have order irregularities. On the other hand, when the varnish becomes cloudy without being compatible, the components to be roughened are present as a lump (aggregate) in the resin. The roughness of the surface becomes too large, and it is difficult to accurately form fine wiring. Here, the term “transparent” means a degree to which a person visually perceives the transparency, and specifically, the evaluation is made based on the transmittance of an ultraviolet / visible absorption spectrum. Specifically, the resin composition is placed in a cell having an optical path length of 1 cm, and the absorption spectrum in the range of 200 to 900 nm is measured. Those having a transmittance of 70% or more in a region excluding the absorption peak unique to the resin composition are transparent. Is determined.

本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物は、例えば低誘電率が要求されるプリント配線基板の絶縁層等に適用することができる。具体的には、公知のビルドアップ法により製造される多層プリント配線基板に適用することが可能で、この場合、本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物は層間絶縁膜に適用される。そのような層間絶縁膜の表面は容易に粗化することができ、それにより無電解銅メッキによる配線の形成が容易となる。このようにして得られたプリント配線基板は、低誘電率、低誘電正接の層間絶縁膜を有するため、伝送信号の信号遅延の低減や伝送信号の損失の低減がなされ、優れた高周波特性のものとなる。   The low dielectric constant curable resin composition of the present invention can be applied to, for example, an insulating layer of a printed wiring board requiring a low dielectric constant. Specifically, the present invention can be applied to a multilayer printed wiring board manufactured by a known build-up method. In this case, the low dielectric constant curable resin composition of the present invention is applied to an interlayer insulating film. The surface of such an interlayer insulating film can be easily roughened, thereby facilitating the formation of wiring by electroless copper plating. Since the printed wiring board thus obtained has an interlayer insulating film having a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent, the signal delay of the transmission signal and the loss of the transmission signal are reduced, and the high-frequency characteristics are excellent. It becomes.

また、本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物による絶縁膜は、低誘電率、低誘電正接であるとともに、耐熱性、成形性、可撓性、絶縁性、耐吸水性に優れており、製造も比較的容易にできる。なお、このような有利性を持つため、本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物は、プリント配線基板において、層間絶縁膜のみならず、ソルダーレジスト層に用いることも可能である。ただし、ソルダーレジスト層上には配線は形成されないので、上述のような配線形成の際の利点とは無関係となる。   Further, the insulating film of the low dielectric constant curable resin composition of the present invention has a low dielectric constant, a low dielectric loss tangent, and is excellent in heat resistance, moldability, flexibility, insulation, and water absorption resistance, Manufacturing is relatively easy. Due to such advantages, the low dielectric constant curable resin composition of the present invention can be used not only for an interlayer insulating film but also for a solder resist layer in a printed wiring board. However, since no wiring is formed on the solder resist layer, it has nothing to do with the above-described advantage in forming the wiring.

さらに、上記低誘電率硬化性樹脂組成物には、必要に応じてシリカフィラー等の充填剤、熱可塑性樹脂等の可撓性付与剤、消泡剤や増感剤等の微量添加剤、ワニス化する場合の揮発性溶剤などを添加して、プリント配線基板の絶縁層(特には、層間絶縁膜)に用いることが可能である。   Further, if necessary, the low dielectric constant curable resin composition may contain a filler such as a silica filler, a flexibility imparting agent such as a thermoplastic resin, a trace additive such as an antifoaming agent or a sensitizer, and a varnish. It can be used for an insulating layer (especially, an interlayer insulating film) of a printed wiring board by adding a volatile solvent or the like in the case of forming.

以下、本発明の実施の形態を、図面に示す実施例を参照して説明する。図1は、本発明の一実施例たるプリント配線基板1の一例を示しており、図2はその断面構造を示している。プリント配線基板1は、例えば約25mm角、板厚約1mmであり、以下のような構造をなす。すなわち、耐熱性樹脂板(例えばビスマレイミド−トリアジン樹脂板)や、繊維強化樹脂板(例えばガラス繊維強化エポキシ樹脂)等で構成された板状のコア材2の両表面に、所定のパターンにコア配線パターン層3、13がそれぞれ形成される。これらコア配線パターン層3、13はコア材2の表面の大部分を被覆するように形成され、電源層又は接地層として用いられるものである。他方、コア材2には、ドリル等により穿設されたスルーホール12が形成され、その内壁面にはコア配線パターン層3、13を互いに導通させるスルーホール導体30が形成されている。また、スルーホール12は、エポキシ樹脂等の樹脂製穴埋め材31により充填されている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to examples shown in the drawings. FIG. 1 shows an example of a printed wiring board 1 as one embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a cross-sectional structure thereof. The printed wiring board 1 is, for example, about 25 mm square and about 1 mm thick, and has the following structure. That is, a core is formed in a predetermined pattern on both surfaces of a plate-shaped core material 2 made of a heat-resistant resin plate (for example, a bismaleimide-triazine resin plate) or a fiber-reinforced resin plate (for example, a glass fiber-reinforced epoxy resin). The wiring pattern layers 3 and 13 are respectively formed. These core wiring pattern layers 3 and 13 are formed so as to cover most of the surface of the core material 2 and are used as power supply layers or ground layers. On the other hand, a through-hole 12 formed by a drill or the like is formed in the core material 2, and a through-hole conductor 30 that connects the core wiring pattern layers 3 and 13 to each other is formed on the inner wall surface. The through hole 12 is filled with a resin filling material 31 such as an epoxy resin.

また、コア配線パターン層3、13の上層には、硬化性樹脂により第一樹脂ビルドアップ層4、14がそれぞれ形成されている。さらに、その表面にはそれぞれ第一配線パターン層5、15が銅メッキ(後述)により形成されている。なお、コア配線パターン層3、13と第一配線パターン層5、15とは、それぞれビア導体32、33により層間接続がなされている。同様に、第一配線パターン層5、15の上層には、硬化性樹脂により第二樹脂ビルドアップ層6、16がそれぞれ形成されている。その表面にはそれぞれ第二配線パターン層7、17が銅メッキ(後述)により形成されている。これら第一配線パターン層5、15と第二配線パターン層7、17とも、それぞれビア導体34、35により層間接続がなされている。   Further, first resin build-up layers 4 and 14 are respectively formed of a curable resin on the core wiring pattern layers 3 and 13. Further, first wiring pattern layers 5 and 15 are formed on the surface thereof by copper plating (described later). The core wiring pattern layers 3 and 13 and the first wiring pattern layers 5 and 15 are interconnected by via conductors 32 and 33, respectively. Similarly, second resin buildup layers 6 and 16 are formed of a hardening resin on the first wiring pattern layers 5 and 15, respectively. Second wiring pattern layers 7 and 17 are formed on the surface by copper plating (described later), respectively. The first wiring pattern layers 5 and 15 and the second wiring pattern layers 7 and 17 are connected to each other by via conductors 34 and 35, respectively.

ここで、絶縁樹脂ビルドアップ層4、14、6、16は、層の主体となる樹脂材料が、本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物からなる低誘電率絶縁性プラスチック材料で構成されている。このような絶縁樹脂ビルドアップ層4、14、6、16は、低誘電率、低誘電正接であるとともに、耐熱性、成形性、可撓性、絶縁性、耐吸水性に優れている。具体的には、本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物は、質量%で、芳香族ホルムアルデヒド樹脂を15〜80%、該芳香族ホルムアルデヒド樹脂を硬化させることが可能な硬化剤を0.1〜5%、酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分を5〜50%含有する。また、ポリフェノール化合物を20〜70%含有させることもできる。   Here, the insulating resin build-up layers 4, 14, 6, and 16 are made of a low dielectric constant insulating plastic material made of a low dielectric constant curable resin composition of the present invention, in which a resin material that is a main component of the layers is formed. I have. Such insulating resin build-up layers 4, 14, 6, and 16 have a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent, and are excellent in heat resistance, moldability, flexibility, insulation, and water absorption. Specifically, the low dielectric constant curable resin composition of the present invention contains, by mass%, 15 to 80% of an aromatic formaldehyde resin and 0.1% of a curing agent capable of curing the aromatic formaldehyde resin. 5 to 50% of a component roughened by at least one selected from an oxidizing agent, an acid and an alkali. Further, a polyphenol compound may be contained in an amount of 20 to 70%.

なお、第一樹脂ビルドアップ層4、14及び第二樹脂ビルドアップ層6、16の各表面は、製造工程において、その表面上に無電解銅メッキによる配線パターンを形成する前段階において、例えば過マンガン酸塩(過マンガン酸ナトリウム、カリウム、カルシウム等)等の酸化剤により表面粗化処理が施される。また、無電解銅メッキによる配線パターン上には、例えば電解銅メッキ等のメッキ処理をさらに施すことにより、銅メッキ配線パターン層5、15、7、17となる。   The surfaces of the first resin build-up layers 4 and 14 and the second resin build-up layers 6 and 16 are formed, for example, in a manufacturing process before forming a wiring pattern by electroless copper plating on the surfaces. The surface is roughened with an oxidizing agent such as a manganate (sodium, potassium, calcium, etc.). Further, a copper plating wiring pattern layer 5, 15, 7, 17 is formed by further performing a plating process such as electrolytic copper plating on the wiring pattern formed by electroless copper plating.

また、コア配線パターン3,13、第一配線パターン層5,15及び第二配線パターン層7,17の各表面は、上層の樹脂層との密着強度を上げるために表面粗化処理(例えば黒化処理やキレートエッチング処理等の化学的な処理に基づくもの)が施されている。   The surfaces of the core wiring patterns 3 and 13, the first wiring pattern layers 5 and 15, and the second wiring pattern layers 7 and 17 are subjected to a surface roughening treatment (for example, blackening) in order to increase the adhesion strength to the upper resin layer. (Based on a chemical treatment such as a chemical treatment or a chelate etching treatment).

次に、第二樹脂ビルドアップ層6上には、金属目印層9が形成されている。金属目印層9は、例えば最表面部が金メッキ層(例えば厚さ0.04μm)として形成され、例えば、図1に示すように、チップ実装時の基板へのチップ位置合わせ用に使用されるアライメントマーク9aや、基板位置決め用に使用されるフィディシャルマーク9b等を含むものである。これらはいずれも表面が平滑で、比較的強い金属光沢外観を示すものとなっている。さらに、第二樹脂ビルドアップ層6上には、第二配線パターン層7と導通する下地導電性パッド10が多数設けられている。これら下地導電性パッド10は、無電解Ni−PメッキおよびAuメッキにより基板のほぼ中央部分に正方形状に配列し、各々その上に形成された半田バンプ11とともにチップ搭載部40を形成している。   Next, a metal mark layer 9 is formed on the second resin build-up layer 6. The metal mark layer 9 is formed, for example, as a gold plating layer (for example, 0.04 μm in thickness) on the outermost surface, and for example, as shown in FIG. It includes a mark 9a, a fiducial mark 9b used for positioning the substrate, and the like. All of these have a smooth surface and a relatively strong metallic luster appearance. Further, on the second resin build-up layer 6, a large number of underlying conductive pads 10 electrically connected to the second wiring pattern layer 7 are provided. These underlying conductive pads 10 are arranged in a square shape at substantially the center of the substrate by electroless Ni-P plating and Au plating, and form a chip mounting portion 40 together with the solder bumps 11 formed thereon. .

他方、第二配線パターン層7が形成されている側、及び第二配線パターン層17が形成されている側には、それら配線パターン層7、17を覆う樹脂ソルダーレジスト層8、18がそれぞれ形成されている。なお、配線パターン層7側においては、金属目印層9は樹脂ソルダーレジスト層8から露出している。このような構造は、例えば金属目印層を一旦全て覆う形で樹脂ソルダーレジスト層を形成し、その後、その樹脂ソルダーレジスト層の、金属目印層に対する被覆部分を除去すれば得ることができる。   On the other hand, on the side where the second wiring pattern layer 7 is formed and on the side where the second wiring pattern layer 17 is formed, resin solder resist layers 8 and 18 that cover the wiring pattern layers 7 and 17 are formed respectively. Have been. On the wiring pattern layer 7 side, the metal mark layer 9 is exposed from the resin solder resist layer 8. Such a structure can be obtained, for example, by forming a resin solder resist layer in such a manner as to once cover the entire metal mark layer, and then removing the portion of the resin solder resist layer that covers the metal mark layer.

本発明の低誘電率硬化性樹脂組成物について以下の試験を行った。まず、図3に示す重量比にてキシレン樹脂、フェノール樹脂、熱硬化剤、粗化される成分を混合し、実施例1〜4及び比較例1の各樹脂組成物を調製した。   The following tests were performed on the low dielectric constant curable resin composition of the present invention. First, a xylene resin, a phenol resin, a thermosetting agent, and a component to be roughened were mixed at a weight ratio shown in FIG. 3 to prepare resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1.

キシレン樹脂には、三菱ガス化学製ニカノールL、H(未変性品)を用いた。なお、LとHでは粘度が異なる(Lでは12.6Pa.s、Hでは200Pa.s)。比較例1には、キシレン樹脂ではなくエポキシ樹脂、具体的にはビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン製エピコート828)を用いた。
フェノール樹脂には、液状ポリブタジエンとフェノールを合成した組成を有し、分子内にデカヒドロナフタレン構造が生成され、OH当量420g/eq.、分子量2000の樹脂(日本石油化学製PP−1000−240)、もしくはノボラック型特殊フェノールの組成を有し、OH当量104g/eq.、分子量500の樹脂(大日本インキ製TD−2131)を用いた。
熱硬化材には、芳香族スルホニウム塩(三新化学工業製SI−100L)を用いた。
粗化される成分には、水酸基末端ポリブタジエンゴム(出光石油化学R−15HT)を用いた。
Nixanol L and H (unmodified products) manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. were used as the xylene resin. The viscosities of L and H are different (12.6 Pa.s for L, 200 Pa.s for H). In Comparative Example 1, an epoxy resin, specifically, a bisphenol A type epoxy resin (Epicoat 828 manufactured by Japan Epoxy Resin) was used instead of the xylene resin.
The phenol resin has a composition in which liquid polybutadiene and phenol are synthesized, a decahydronaphthalene structure is generated in the molecule, and the OH equivalent is 420 g / eq. , A resin having a molecular weight of 2000 (PP-1000-240 manufactured by Nippon Petrochemical) or a novolak-type special phenol, and having an OH equivalent of 104 g / eq. And a resin having a molecular weight of 500 (TD-2131 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.).
As the thermosetting material, an aromatic sulfonium salt (SI-100L manufactured by Sanshin Chemical Industry) was used.
Hydroxyl-terminated polybutadiene rubber (Idemitsu Petrochemical R-15HT) was used as the component to be roughened.

次いで、得られた樹脂組成物を、基板上に厚さが約40μmとなるように塗布し、70℃で30分乾燥後、130℃で2時間加熱し、樹脂組成物を硬化させて試料板を作製した。その後、以下に記述するような評価試験を行った。   Next, the obtained resin composition is applied on a substrate so as to have a thickness of about 40 μm, dried at 70 ° C. for 30 minutes, and then heated at 130 ° C. for 2 hours to cure the resin composition and to prepare a sample plate. Was prepared. Thereafter, an evaluation test as described below was performed.

「熱硬化性試験」
樹脂組成物の硬化具合を下記の方法により判断した。試料板において、硬化した樹脂組成物表面を、アセトンを含ませた布で擦り、溶解するか否か、傷がつくか否かを確認した。傷がつかない場合を「良好」、多少の傷がある場合を「ほぼ良好」、溶解する場合を「不良」と判断した。
`` Thermosetting test ''
The degree of curing of the resin composition was determined by the following method. On the sample plate, the surface of the cured resin composition was rubbed with a cloth impregnated with acetone to check whether or not the resin composition was dissolved or damaged. The case where no damage was found was judged as “good”, the case where there was some damage was judged as “almost good”, and the case where dissolution was found was judged as “poor”.

「電気特性(比誘電率と誘電正接)の測定」
硬化した樹脂組成物(厚さが約40μmの膜)の1MHzにおける誘電率と誘電損失を、JISK6911(日本電子工業規格)に準じて測定した。尚、測定機は、インピーダンスアナライザー(ヒューレットパッカード製HP4194A)を用いた。
"Measurement of electrical characteristics (relative permittivity and dielectric loss tangent)"
The dielectric constant and the dielectric loss at 1 MHz of the cured resin composition (film having a thickness of about 40 μm) were measured according to JIS K6911 (Japan Electronic Industry Standard). The measuring instrument used was an impedance analyzer (HP4194A manufactured by Hewlett-Packard).

「樹脂の粗化・メッキ」
図5及び6の工程に示すように、硬化した樹脂組成物の表面に対して粗化処理を行い、その後、無電解銅メッキによりメッキ層の形成を行った。図中の薬液はそれぞれ市販されているものである。そして、無電解銅メッキにより形成されたメッキ層(以下、無電解メッキ層という)に膨れや剥れがないかどうか目視にて検査を行った(メッキ状態評価)。
また、無電解メッキ層上に、硫酸銅溶液を用いて電解銅メッキを施すことにより厚さが計25μm程度のメッキ層(以下、配線メッキ層という)を形成した。そして、配線メッキ層に1cm幅の切れ目を入れ、配線メッキ層を90度の方向に引き剥がすために要する力を測定した(ピール強度測定)。
"Roughening and plating of resin"
As shown in the steps of FIGS. 5 and 6, the surface of the cured resin composition was subjected to a roughening treatment, and thereafter, a plating layer was formed by electroless copper plating. The chemicals in the figure are each commercially available. Then, a plating layer formed by electroless copper plating (hereinafter referred to as an electroless plating layer) was visually inspected for swelling or peeling (evaluation of plating state).
Further, a plating layer having a thickness of about 25 μm (hereinafter referred to as a wiring plating layer) was formed on the electroless plating layer by electrolytic copper plating using a copper sulfate solution. Then, a cut having a width of 1 cm was made in the wiring plating layer, and a force required to peel the wiring plating layer in a direction of 90 degrees was measured (peel strength measurement).

「熱膨張係数(CTE)」
硬化シートから長さ20mm×幅5mmの試験片を切り出し、熱膨張係数を理学製TMA−8310により測定した。熱膨張係数は次式により算出される。
CTE(ppm/℃)=((50℃での伸び率(%))―(20℃での伸び率(%)))/(50℃―20℃)×10000
また、測定条件は以下の通りである。
スパン:15mm、荷重:試験片の長さ方向に5gの引張荷重
温度条件:180℃まで昇温し、30分アニールした後、−55℃まで冷却し、10℃/minの昇温速度で270℃まで加熱し伸び率を測定
"Coefficient of thermal expansion (CTE)"
A test piece having a length of 20 mm and a width of 5 mm was cut out from the cured sheet, and the coefficient of thermal expansion was measured by Rigaku TMA-8310. The coefficient of thermal expansion is calculated by the following equation.
CTE (ppm / ° C.) = ((Elongation (%) at 50 ° C.) − (Elongation (%) at 20 ° C.)) / (50 ° C.-20 ° C.) × 10000
The measurement conditions are as follows.
Span: 15 mm, load: tensile load of 5 g in the length direction of the test piece Temperature condition: After raising the temperature to 180 ° C., annealing for 30 minutes, cooling to −55 ° C., and 270 at a rate of 10 ° C./min Heat to ℃ and measure elongation

以上のうち、硬化性と電気特性の評価結果を図4に示す。キシレン樹脂とフェノール樹脂と水酸基末端ポリブタジエンを組み合わせた場合(実施例1〜3)は、硬化性、電気特性(比誘電率2.8〜3.1、誘電正接0.01〜0.02)いずれも良好で低誘電率の層間絶縁膜材料として使用可能な範囲であった(電気特性が良好とは、比誘電率が3.3以下、誘電正接が0.04以下のものである)。また、フェノール樹脂を添加しなかった場合(実施例4)は、添加した実施例1〜3と比べて、やや硬化性に劣り、高温の加熱が必要であった。実施例4は実用上問題とならないが、フェノール樹脂を添加した方が、硬化性が向上するので、層間絶縁膜材料として用いるのにより好ましいことがわかる。   FIG. 4 shows the evaluation results of the curability and the electrical characteristics. When a xylene resin, a phenol resin and a hydroxyl-terminated polybutadiene are combined (Examples 1 to 3), both curability and electrical properties (relative permittivity 2.8 to 3.1, dielectric loss tangent 0.01 to 0.02) are used. This was within the range usable as a low dielectric constant interlayer insulating film material (good electrical characteristics are those having a relative dielectric constant of 3.3 or less and a dielectric loss tangent of 0.04 or less). When no phenol resin was added (Example 4), the curability was slightly inferior to that of Examples 1 to 3 in which phenol resin was added, and high-temperature heating was required. Although Example 4 does not pose a problem in practical use, it can be seen that adding a phenolic resin is more preferable for use as a material for an interlayer insulating film because the curability is improved.

一方、比較例1では、硬化性は良好であったが、電気特性(比誘電率3.6、誘電正接0.04)が良好ではなかった。これは、エポキシ樹脂を使用した場合は硬化に際してエポキシ基から水酸基が生成するため比誘電率、誘電正接が大きくなってしまうためと考えられる。以上の評価結果により、硬化の際に水酸基を生成しない芳香族ホルムアルデヒド(キシレン樹脂)をプリント配線基板の層間絶縁膜材料として使用することは、プリント配線基板の電気特性の向上に有効であることがわかる。   On the other hand, in Comparative Example 1, the curability was good, but the electrical characteristics (dielectric constant 3.6, dielectric loss tangent 0.04) were not good. This is presumably because when an epoxy resin is used, a hydroxyl group is generated from an epoxy group upon curing, so that the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent increase. According to the above evaluation results, the use of aromatic formaldehyde (xylene resin) that does not generate a hydroxyl group upon curing as an interlayer insulating film material of a printed wiring board is effective in improving the electrical characteristics of the printed wiring board. Understand.

次に、図7に示す重量比にてキシレン樹脂、フェノール樹脂、熱硬化剤、粗化される成分を混合し、実施例5〜11及び比較例2〜5の各樹脂組成物を調製した。図中の粘度は、25℃でB型回転粘度計を用いて剪断速度0.8(l/s)で測定した値である。また、粗化される成分をキシレン樹脂及びフェノール樹脂に混入しワニスとした際の透明度の評価を行った。その後、上述と同様に、試料板を作製し、硬化性、電気特性及びメッキ状態の評価を行った。図8に評価結果を示す。   Next, a xylene resin, a phenol resin, a thermosetting agent, and a component to be roughened were mixed at the weight ratio shown in FIG. 7 to prepare resin compositions of Examples 5 to 11 and Comparative Examples 2 to 5. The viscosity in the figure is a value measured at 25 ° C. using a B-type rotational viscometer at a shear rate of 0.8 (l / s). In addition, the components to be roughened were mixed in a xylene resin and a phenol resin, and the varnish was evaluated for transparency. Thereafter, a sample plate was prepared in the same manner as described above, and the curability, electrical characteristics, and plating state were evaluated. FIG. 8 shows the evaluation results.

粗化される成分として液状ゴム(水酸基末端ポリブタジエン等、それぞれの分子構造を図9に示す)を添加した実施例5〜11では、電気特性が良好であり、且つ無電解メッキ層に膨れや剥れが見られず、良好な無電解メッキ層が形成できていることがわかる。一方、粗化される成分を入れていない比較例2では、無電解メッキ層に膨れや剥れが見られる。したがって、粗化される成分を添加して粗化処理を行うことで、良好な無電解メッキ層が得られることがわかる。また、比較例3〜5は、本明細書の請求項1〜7の要件のみを満たすものであるが(本来は実施例とされるべきであるが、ここでは以下に記述する比較のため、便宜上比較例に分類している)、これらについても粗化される成分が添加されているので、無電解メッキ層が良好なものとなっている。   In Examples 5 to 11 in which a liquid rubber (the molecular structure of each of which is shown in FIG. 9 such as hydroxyl-terminated polybutadiene) is added as a component to be roughened, the electric characteristics are good and the electroless plating layer swells or peels off. This is not seen, indicating that a good electroless plating layer was formed. On the other hand, in Comparative Example 2 in which the component to be roughened was not added, swelling and peeling were observed in the electroless plating layer. Therefore, it is understood that a favorable electroless plating layer can be obtained by performing the roughening treatment by adding the component to be roughened. In addition, Comparative Examples 3 to 5 satisfy only the requirements of Claims 1 to 7 of the present specification (although they should be considered as Examples, here, for comparison described below, For the sake of convenience, they are classified into comparative examples), and since a component to be roughened is added to these, the electroless plating layer is excellent.

比較例3には、粗化される成分としてシリコーンレジン粒子(平均粒径5μm)が、比較例4には、粗化される成分としてシリカ粒子(平均粒径5μm)が添加されている。これらは、脂肪族化合物ではなく、過マンガン酸塩により粗化されない成分である。また常温で固体(微粒子)の成分であり、ワニスにやや白濁色の濁りが見られた。比較例5には、粗化される成分としてアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル共重合体微粒子(平均粒径0.5μm)が添加されている。これは常温で固体(塊状凝集体)の成分であり、ワニスに濁りが見られ、また固形物が浮いている状態であった。また、ワニスに対して前述の透過率測定を行ったところ、目視にて良好な透明性が得られた実施例5〜11は全て透過率が70%以上であったのに対し、やや白濁色の濁りが見られた比較例3及び4は透過率が30〜50%の範囲、濁りが見られ固形物が浮いている状態であった比較例5は透過率が1%以下とほぼ0%に近い値を示した。   Comparative Example 3 includes silicone resin particles (average particle size: 5 μm) as a component to be roughened, and Comparative Example 4 includes silica particles (average particle size: 5 μm) as a component to be roughened. These are not aliphatic compounds but components that are not roughened by permanganate. It was a solid (fine particle) component at room temperature, and the varnish was slightly cloudy. In Comparative Example 5, acrylic ester and methacrylic acid ester copolymer fine particles (average particle size: 0.5 μm) were added as components to be roughened. This was a solid (lumpy aggregate) component at normal temperature, turbidity was observed in the varnish, and the solid was floating. In addition, when the above-described transmittance measurement was performed on the varnish, the transmittance of each of Examples 5 to 11 in which good transparency was obtained visually was 70% or more, whereas the transmittance of the varnish was slightly cloudy. In Comparative Examples 3 and 4 where turbidity was observed, transmittance was in the range of 30 to 50%, and in Comparative Example 5 where turbidity was observed and solids were floating, transmittance was 1% or less and almost 0%. It showed a value close to.

以上の比較例3〜5では、その表面に形成した無電解メッキ層は膨れや剥れが見られず良好であったが、ピール強度が0.4〜0.6kN/mと、実施例5〜11の結果(0.8〜1.2kN/m)と比べて、約半分程度の強度しか得られなかった。   In Comparative Examples 3 to 5 described above, the electroless plating layer formed on the surface was good without any swelling or peeling, but the peel strength was 0.4 to 0.6 kN / m, which was the same as Example 5. As compared with the results (0.8 to 1.2 kN / m), only about half the strength was obtained.

実施例5〜11では、粗化される成分が、過マンガン酸塩に分解されやすい脂肪族化合物で構成されている。また常温で液状のため、キシレン樹脂及びフェノール樹脂中に相溶させることが容易で、成分を微細に分散させることが可能である。したがって、粗化処理により微細な凹凸を有する粗化面を得ることができ、強固なアンカー効果により無電解メッキ層の密着性が向上していると考えられる。   In Examples 5 to 11, the component to be roughened is composed of an aliphatic compound which is easily decomposed into permanganate. Further, since it is liquid at room temperature, it is easy to make it compatible with the xylene resin and the phenol resin, and the components can be finely dispersed. Therefore, it is considered that a roughened surface having fine irregularities can be obtained by the roughening treatment, and the adhesion of the electroless plating layer is improved by a strong anchor effect.

また、実施例5〜11の粗化される成分が、キシレン樹脂及びフェノール樹脂に対して高い相溶性を持つのは、その分子内に水酸基、カルボキシル基、エポキシ基等の極性基を有するためであることも考えられる。これらの極性基の中でも、フェノール樹脂との相溶性がより高い水酸基を持つ成分を含有する実施例5及び6は、ピール強度が他のものと比べて大きくなっているため、より微細な凹凸を有する粗化面が得られていると考えられる。
また、分子中に酸化剤と反応しやすい二重結合を多数含んでいる実施例5、9及び11も、ピール強度が他のものと比べて大きくなっている。これは酸化剤(過マンガン酸塩)による二重結合の分解によって、より微細な凹凸を有する粗化面が得られていると考えられる。
さらには、以上の2つの要件を有する、つまり、二重結合を多数含み、且つその末端に水酸基を有する水酸基末端ポリブタジエンを粗化される成分として含有する実施例5は、実施例5〜11のなかでピール強度が1.2kN/mと最も大きく、最も微細な凹凸を有する粗化面が形成されていると考えられる。
Further, the components to be roughened in Examples 5 to 11 have high compatibility with the xylene resin and the phenol resin because they have polar groups such as a hydroxyl group, a carboxyl group, and an epoxy group in the molecule. It is also possible. Among these polar groups, Examples 5 and 6, which contain a component having a hydroxyl group having higher compatibility with the phenolic resin, have higher peel strengths than those of other examples. It is considered that a roughened surface having the same was obtained.
In Examples 5, 9 and 11, in which a large number of double bonds which easily react with the oxidizing agent were contained in the molecule, the peel strength was higher than those of Examples. This is considered to be due to the decomposition of the double bond by the oxidizing agent (permanganate), whereby a roughened surface having finer irregularities was obtained.
Furthermore, Example 5 having the above two requirements, that is, containing a large number of double bonds and containing a hydroxyl-terminated polybutadiene having a hydroxyl group at its terminal as a component to be roughened, Among them, the peel strength is the largest at 1.2 kN / m, and it is considered that a roughened surface having the finest unevenness is formed.

一方、比較例3及び4では、粗化される成分が脂肪族化合物ではなく、過マンガン酸塩には粗化されないものであったために、樹脂中に分散した粒子のうち、表面付近に存在する粒子が脱落することによって表面が粗化されたと考えられる。したがって、実施例5〜11の場合と比べて、粗化面の凹凸が巨大なものとなり、無電解メッキ層がアンカー効果を十分に得られず、密着性が劣るものとなったと推測される。   On the other hand, in Comparative Examples 3 and 4, since the component to be roughened was not an aliphatic compound and was not roughened to permanganate, it was present near the surface among the particles dispersed in the resin. It is considered that the surface was roughened by the particles falling off. Therefore, it is presumed that the roughness of the roughened surface became huge as compared with the cases of Examples 5 to 11, and the electroless plating layer could not sufficiently obtain the anchor effect, resulting in poor adhesion.

また、比較例5では、粗化される成分として常温で固体(塊状凝集体、一次粒子平均粒径0.5μm)のものを用いており、またワニスに濁りが見られた。これは、樹脂組成物の作製段階において、キシレン樹脂及びフェノール樹脂中に粗化される成分を混入した際に、粗化される成分は微小な一次粒子となるまで分散されず、凝集物の状態のまま樹脂組成物中に存在していたと考えられる。そして、凝集物の粗化もしくは脱落により粗化面が形成されたので、実施例5〜11の場合と比べて、粗化面の凹凸が巨大なものとなり、無電解メッキ層がアンカー効果を十分に得られず、密着性が劣るものとなったと推測される。   In Comparative Example 5, a solid component (lumpy agglomerate, primary particle average particle size: 0.5 μm) at room temperature was used as a component to be roughened, and the varnish was turbid. This is because when the components to be roughened are mixed into the xylene resin and the phenol resin at the stage of preparing the resin composition, the components to be roughened are not dispersed until they become fine primary particles, and the state of the aggregates It is considered that the compound was present in the resin composition as it was. Then, since the roughened surface was formed by roughening or falling off of the aggregate, the unevenness of the roughened surface became huge as compared with the case of Examples 5 to 11, and the electroless plating layer provided a sufficient anchor effect. It is presumed that the adhesiveness was not obtained.

以上の結果より、粗化される成分には、(1)樹脂との相溶が容易である液状の成分で、(2)酸化剤(過マンガン酸塩)に分解されやすい脂肪族化合物であることが望ましく、さらには、その分子内に(3)酸化剤(過マンガン酸塩)と反応しやすい二重結合や、(4)キシレン樹脂及びフェノール樹脂との相溶性がより高い水酸基を持つ成分であることがより望ましいとの知見を得た。   From the above results, the components to be roughened are (1) a liquid component that is easily compatible with the resin, and (2) an aliphatic compound that is easily decomposed by an oxidizing agent (permanganate). It is further desirable that a component having (3) a double bond easily reacting with an oxidizing agent (permanganate) and (4) a hydroxyl group having higher compatibility with a xylene resin and a phenol resin in the molecule. Was found to be more desirable.

次に、図10に示す重量比にてキシレン樹脂、フェノール樹脂、熱硬化剤、粗化される成分を混合し、実施例12〜15及び比較例6〜9の各樹脂組成物を調製した。なお、実施例13〜15には、粗化される成分としてブチラール樹脂を用いている。図10中においてブチラール樹脂1は積水化学社製KS‐1を、ブチラール樹脂2は積水化学社製KS‐3Zを、ブチラール樹脂3は積水化学社製KS‐5Zを指す。また、実施例12〜15及び比較例6のキシレン樹脂には、三菱ガス化学製ニカノールG(粘度1Pa.s(75℃))を用いた。   Next, a xylene resin, a phenol resin, a thermosetting agent, and a component to be roughened were mixed at the weight ratio shown in FIG. 10 to prepare resin compositions of Examples 12 to 15 and Comparative Examples 6 to 9. In Examples 13 to 15, butyral resin was used as a component to be roughened. In FIG. 10, butyral resin 1 indicates KS-1 manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., butyral resin 2 indicates KS-3Z manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., and butyral resin 3 indicates KS-5Z manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. In addition, as the xylene resins of Examples 12 to 15 and Comparative Example 6, Nikanol G (viscosity 1 Pa.s (75 ° C.)) manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company was used.

そして、上述と同様に、粗化される成分をキシレン樹脂及びフェノール樹脂に混入しワニスとした際の透明度の評価を行い、さらに、試料板を作製し、硬化性、ピール強度、熱膨張係数(CTE)及びメッキ状態の評価を行った。図10に透明度の評価結果、図11にその他の評価結果を示す。   Then, similarly to the above, the components to be roughened are mixed in xylene resin and phenol resin, and the varnish is evaluated for transparency. Further, a sample plate is prepared, and the curability, peel strength, and coefficient of thermal expansion ( CTE) and the plating state were evaluated. FIG. 10 shows the evaluation results of the transparency, and FIG. 11 shows the other evaluation results.

図10によると、ブチラール樹脂を用いた実施例13、14、15並びに比較例9のワニスは良好な透明性を有していた。ブチラール樹脂は、ポリビニルアルコールとブチルアルデヒドの反応で合成され、分子内に相溶性の高い水酸基を持つ。図9(h)にブチラール樹脂の構造式を示す。したがって、キシレン樹脂やエポキシ樹脂との相溶性が良く、常温では固体だが、溶解させることによりワニスの透明度が良好になる。   According to FIG. 10, the varnishes of Examples 13, 14, 15 and Comparative Example 9 using butyral resin had good transparency. Butyral resin is synthesized by the reaction of polyvinyl alcohol and butyraldehyde, and has a highly compatible hydroxyl group in the molecule. FIG. 9H shows the structural formula of butyral resin. Therefore, the varnish has good compatibility with the xylene resin and the epoxy resin and is solid at normal temperature, but the varnish has good transparency by being dissolved.

図11によると、実施例12〜15では、比較例と比べて、良好なピール強度且つ良好な外観の銅メッキが得られている。これは粗化される成分として相溶性の良いブタジエン系ゴムやブチラール樹脂を用いたため、メッキが良好にでき、高いピール強度が得られたものと考えられる。また、実施例12〜15は上述の実施例と同様に、極性の低いキシレン樹脂(芳香族ホルムアルデヒド樹脂)を用いているため、低誘電率と低誘電正接が達成されている。さらに、ブチラール樹脂を用いた実施例13〜15は、比較例と比べて、低熱膨張である。これは、分子量の大きいブチラール樹脂を添加・相溶させることにより、樹脂全体を強固に硬化させることが出来るようになったためであると考えられる。このような低熱膨張の樹脂組成物は、プリント基板などに使用する場合に熱応力を低下させることができるので有利である。   According to FIG. 11, in Examples 12 to 15, copper plating having better peel strength and better appearance was obtained as compared with the comparative example. This is presumably because a butadiene-based rubber or a butyral resin having good compatibility was used as a component to be roughened, so that plating was successfully performed and high peel strength was obtained. In Examples 12 to 15, similarly to the above-described examples, a low-polarity xylene resin (aromatic formaldehyde resin) is used, so that a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent are achieved. Furthermore, Examples 13 to 15 using butyral resin have lower thermal expansion as compared with Comparative Examples. It is considered that this is because the addition of the butyral resin having a high molecular weight and compatibility with each other make it possible to harden the entire resin. Such a low thermal expansion resin composition is advantageous because it can reduce thermal stress when used for a printed circuit board or the like.

また、比較例6〜9に関しては、比較例6は、エポキシ樹脂を使用していないので低誘電率・低誘電正接であるが、粗化される成分を有さないためメッキが形成できなかった。比較例7は、粗化される成分を有さないためメッキが形成できず、またエポキシ樹脂を使用しているため低誘電率・低誘電正接でなかった。比較例8は、粗化される成分を有しているためメッキの形成が可能であったが、エポキシ樹脂を使用しているため低誘電率・低誘電正接でなかった。比較例9は、粗化される成分にブチラール樹脂を用いているため、メッキが可能で、且つ低熱膨張ではあったが、エポキシ樹脂を使用しているため低誘電率・低誘電正接でなかった。   In Comparative Examples 6 to 9, Comparative Example 6 did not use an epoxy resin and thus had a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent, but did not have any components to be roughened, so that plating could not be formed. . Comparative Example 7 did not have a component to be roughened, so that plating could not be formed, and the use of an epoxy resin did not result in a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent. Comparative Example 8 had a component to be roughened, so that plating could be formed. However, since the epoxy resin was used, the dielectric constant and the dielectric loss tangent were not low. In Comparative Example 9, plating was possible and low thermal expansion because butyral resin was used as a component to be roughened, but it was not low dielectric constant and low dielectric loss tangent because epoxy resin was used. .

本発明のプリント配線基板の一実施例を示す平面図FIG. 2 is a plan view showing one embodiment of the printed wiring board of the present invention. その断面構造を模式的に示す図Diagram schematically showing the cross-sectional structure 実施例1〜4及び比較例1の樹脂組成物に関する成分表Component Table for Resin Compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1 実施例1〜4及び比較例1の樹脂組成物に関する評価結果Evaluation results for resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1 粗化工程Roughening process 無電解銅メッキ工程Electroless copper plating process 実施例5〜11及び比較例2〜5の樹脂組成物に関する成分表Component Table for Resin Compositions of Examples 5 to 11 and Comparative Examples 2 to 5 実施例5〜11及び比較例2〜5の樹脂組成物に関する評価結果Evaluation results for resin compositions of Examples 5 to 11 and Comparative Examples 2 to 5 (a)水酸基末端ポリブタジエンの分子構造[実施例5] (b)水酸基末端エポキシ化ポリブタジエンの分子構造[実施例6] (c)エポキシ−1、4−ブタジエンゴムの分子構造[実施例7] (d)エポキシ−1、2−ブタジエンゴムの分子構造[実施例8] (e)カルボキシル末端−1、2−ビニルブタジエンゴムの分子構造[実施例9] (f)水素化カルボキシル末端−1、2−ビニルブタジエンゴムの分子構造[実施例10] (g)カルボキシル末端イソブレンゴムの分子構造[実施例11] (h)ブチラール樹脂の分子構造[実施例13〜15](A) Molecular structure of hydroxyl-terminated polybutadiene [Example 5] (b) Molecular structure of hydroxyl-terminated epoxidized polybutadiene [Example 6] (c) Molecular structure of epoxy-1,4-butadiene rubber [Example 7] ( d) Molecular structure of epoxy-1,2-butadiene rubber [Example 8] (e) Molecular structure of carboxyl terminal-1,2-vinylbutadiene rubber [Example 9] (f) Hydrogenated carboxyl terminal-1,2 -Molecular structure of vinyl butadiene rubber [Example 10] (g) Molecular structure of carboxyl-terminated isoprene rubber [Example 11] (h) Molecular structure of butyral resin [Examples 13 to 15] 実施例12〜15及び比較例6〜9の樹脂組成物に関する成分表Component Table for Resin Compositions of Examples 12 to 15 and Comparative Examples 6 to 9 実施例12〜15及び比較例6〜9の樹脂組成物に関する評価結果Evaluation results for resin compositions of Examples 12 to 15 and Comparative Examples 6 to 9

符号の説明Explanation of reference numerals

1 プリント配線基板
4、14 第一絶縁樹脂ビルドアップ層
5、15 第一配線パターン層
6、16 第二絶縁樹脂ビルドアップ層
7、17 第二配線パターン層
8、18 樹脂ソルダーレジスト層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Printed wiring board 4, 14 First insulating resin buildup layer 5, 15 First wiring pattern layer 6, 16 Second insulating resin buildup layer 7, 17 Second wiring pattern layer 8, 18 Resin solder resist layer

Claims (17)

芳香族ホルムアルデヒド樹脂と、該芳香族ホルムアルデヒド樹脂を硬化させることが可能な硬化剤と、酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分と、を含有することを特徴とする低誘電率硬化性樹脂組成物。   An aromatic formaldehyde resin, a curing agent capable of curing the aromatic formaldehyde resin, and a component roughened by at least one selected from an oxidizing agent, an acid, and an alkali. Dielectric curable resin composition. 前記芳香族ホルムアルデヒド樹脂に含まれる芳香環に属する水素原子のうち、少なくとも一つ以上が炭化水素系基によって置換されていることを特徴とする請求項1に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to claim 1, wherein at least one or more hydrogen atoms belonging to an aromatic ring contained in the aromatic formaldehyde resin are substituted with a hydrocarbon group. . 前記芳香族ホルムアルデヒド樹脂は、キシレンホルムアルデヒド樹脂及びメシチレンホルムアルデヒド樹脂のうち少なくとも何れかであることを特徴とする請求項2に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to claim 2, wherein the aromatic formaldehyde resin is at least one of a xylene formaldehyde resin and a mesitylene formaldehyde resin. ポリフェノール化合物を含有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising a polyphenol compound. 硬化した後の比誘電率が、3.3以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the cured resin has a relative dielectric constant of 3.3 or less. 硬化した後の誘電正接が、0.04以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein a dielectric loss tangent after curing is 0.04 or less. 前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分は、酸化剤により粗化される成分であることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The component roughened by at least one selected from the group consisting of an oxidizing agent, an acid and an alkali is a component roughened by an oxidizing agent, according to any one of claims 1 to 6, wherein Low dielectric constant curable resin composition. 前記酸化剤は、過マンガン酸塩であることを特徴とする請求項7に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   8. The low dielectric constant curable resin composition according to claim 7, wherein the oxidizing agent is a permanganate. 前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分は、脂肪族化合物であることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable composition according to any one of claims 1 to 8, wherein the component roughened by at least one selected from the group consisting of an oxidizing agent, an acid and an alkali is an aliphatic compound. Resin composition. 前記脂肪族化合物は、分子内に二重結合を持つことを特徴とする請求項9に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to claim 9, wherein the aliphatic compound has a double bond in a molecule. 前記脂肪族化合物は、ポリブタジエンであることを特徴とする請求項10に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to claim 10, wherein the aliphatic compound is polybutadiene. 前記脂肪族化合物は、水酸基末端ポリブタジエンであることを特徴とする請求項10に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to claim 10, wherein the aliphatic compound is hydroxyl-terminated polybutadiene. 前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分は、25℃で粘度が3000Pa.s以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項12のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The component roughened by at least one selected from the group consisting of an oxidizing agent, an acid and an alkali has a viscosity of 3000 Pa.s at 25 ° C. 13. The low dielectric constant curable resin composition according to any one of claims 1 to 12, wherein the composition is not more than s. 前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分は、アセタール化合物であることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin according to any one of claims 1 to 8, wherein the component roughened by at least one selected from the group consisting of an oxidizing agent, an acid and an alkali is an acetal compound. Composition. アセタール化合物は、ブチラール樹脂であることを特徴とする請求項14に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The low dielectric constant curable resin composition according to claim 14, wherein the acetal compound is a butyral resin. 前記酸化剤、酸及びアルカリから選ばれる少なくとも一種により粗化される成分は、前記芳香族ホルムアルデヒド樹脂と相溶し透明なワニスとなることを特徴とする請求項1ないし請求項15のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物。   The component roughened by at least one selected from the group consisting of an oxidizing agent, an acid, and an alkali is compatible with the aromatic formaldehyde resin to form a transparent varnish. Item 4. The low dielectric constant curable resin composition according to item 1. 請求項1ないし請求項16のいずれか1項に記載の低誘電率硬化性樹脂組成物からなる絶縁層の表面上に銅メッキにより配線を形成したプリント配線基板。   A printed wiring board comprising a wiring formed by copper plating on a surface of an insulating layer made of the low dielectric constant curable resin composition according to any one of claims 1 to 16.
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