JP2006102753A - Thermosetting flux, flux sheet, and multilayer printed circuit board - Google Patents

Thermosetting flux, flux sheet, and multilayer printed circuit board Download PDF

Info

Publication number
JP2006102753A
JP2006102753A JP2004288991A JP2004288991A JP2006102753A JP 2006102753 A JP2006102753 A JP 2006102753A JP 2004288991 A JP2004288991 A JP 2004288991A JP 2004288991 A JP2004288991 A JP 2004288991A JP 2006102753 A JP2006102753 A JP 2006102753A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
flux
resin
norbornene
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004288991A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ryoichi Okada
亮一 岡田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Bakelite Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Bakelite Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Bakelite Co Ltd filed Critical Sumitomo Bakelite Co Ltd
Priority to JP2004288991A priority Critical patent/JP2006102753A/en
Publication of JP2006102753A publication Critical patent/JP2006102753A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermosetting flux, which can surely carry out a solder joining operation, and does not need to remove the remaining flux by washing after the solder joining operation, and can keep the electric insulation resistance even in a hot and moist atmosphere, and is excellent in the dielectric characteristic, and can achieve a highly reliable solder joining, and further to provide a flux sheet and a multilayer printed circuit board. <P>SOLUTION: The thermosetting flux serving as a flux in the solder joining operation contains a resin (A) having a phenolic hydroxy group, a resin (B) serving as a hardening agent for the resin (A), and a cyclo-olefinic resin (C). The multilayer printed circuit board has interlayer joined portions joined by the solder joining operation through the thermocompression bonding of heating and pressing a joining layer and a layer to be joined via a flux layer composed of the thermosetting flux, the joining layer having wiring patters, conductor posts formed on the wiring patterns, and solder layers formed on the surfaces of the tip ends of the conductor posts, and the layer to be joined having interlayer joining lands for the conductor posts. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、熱硬化性フラックス、フラックスシートおよび多層配線板に関するものである。   The present invention relates to a thermosetting flux, a flux sheet, and a multilayer wiring board.

ほとんどの電子部品、電子機器には電気的、機械的接続において半田接合が使用されている。近年、環境への関心が世界的に高まっている中、これらの電子部品、電子機器の鉛フリー化への取り組みが半導体業界および電子機器業界で広まりつつある。このような中、半導体パッケージにとっての最大の課題は、鉛フリー製品の接合で必要となるリフロー温度が、従来のスズ−鉛共晶半田による半田接合に比べて高いことであり、この最大値は260℃とされるのが一般的である。これは、半導体搭載用基板に搭載される部品のすべてが、鉛フリー・ハンダの融点にさらされることを意味し、リフロー温度の高温化に対応した高耐熱、低吸水率のパッケージ用材料が求められている。   Solder bonding is used for electrical and mechanical connections in most electronic components and electronic devices. In recent years, as the concern for the environment has increased worldwide, efforts to make these electronic components and electronic devices lead-free are spreading in the semiconductor industry and the electronic equipment industry. Under these circumstances, the biggest problem for semiconductor packages is that the reflow temperature required for joining lead-free products is higher than that of conventional solder joints using tin-lead eutectic solder, and this maximum value is In general, the temperature is set to 260 ° C. This means that all components mounted on the semiconductor mounting substrate are exposed to the melting point of lead-free solder, and there is a need for packaging materials with high heat resistance and low water absorption that can cope with higher reflow temperatures. It has been.

一方で、従来より、熱硬化性樹脂、活性剤、及び溶剤を含有することを特徴とする半田付け用フラックスが知られている(例えば、特許文献1参照。)が、昨今の鉛フリー半田対応の温度の高いリフロープロファイルにおいては、リフロー前の乾燥等の処理を厳密に行わないと半田接合時にボイドが発生してしまう場合が考えられる。また、接合が問題なく達成されたとしても、鉛フリー対応のリフロープロファイルでの吸湿耐熱信頼試験などにより膨れ、接着界面剥離などの問題が発生する恐れがある。   On the other hand, conventionally, a soldering flux characterized by containing a thermosetting resin, an activator, and a solvent is known (for example, see Patent Document 1). In a reflow profile with a high temperature, voids may occur during solder bonding unless processing such as drying before reflow is performed strictly. Even if the bonding is achieved without problems, there is a possibility that problems such as swell due to a moisture absorption heat resistance test with a lead-free reflow profile, and adhesion interface peeling may occur.

また、近年の電子機器の使用においては、情報伝達に高速伝送が行われており、高速伝送においては電気信号の劣化が問題となっており、特に、多層配線板の層間絶縁材料の誘電特性に起因する誘電体損失は、電気信号周波数を増加させると、顕著に劣化することから、この問題を解決するために、絶縁材料において対応が求められている。このような対応は、これまで配線板などの電子部品の絶縁材料として用いられてきたエポキシ樹脂やポリイミド樹脂では、誘電率および誘電正接の電気特性が不足する場合があり、高速伝送化に対応することが困難である。   Also, in recent use of electronic equipment, high-speed transmission is performed for information transmission, and deterioration of electrical signals is a problem in high-speed transmission, and in particular, due to the dielectric properties of the interlayer insulating material of multilayer wiring boards. The resulting dielectric loss is significantly degraded when the electric signal frequency is increased. Therefore, in order to solve this problem, a countermeasure is required for the insulating material. This is because the epoxy resin or polyimide resin that has been used as an insulating material for electronic parts such as wiring boards may have insufficient electrical characteristics such as dielectric constant and dielectric loss tangent, and is compatible with high-speed transmission. Is difficult.

特開平8−90283号公報JP-A-8-90283

本発明は、確実に半田接合することができ、半田接合後の残存フラックスの洗浄除去が必要なく、高温、多湿雰囲気でも電気絶縁性を保持し、誘電特性に優れ、信頼性の高い半田接合を可能とする、熱硬化性フラックス、フラックスシートおよび多層配線板を提供することを目的とする。   The present invention enables reliable solder bonding, and does not require cleaning and removal of residual flux after solder bonding, maintains electrical insulation even in high temperature and high humidity atmospheres, and has excellent dielectric characteristics and high reliability. An object of the present invention is to provide a thermosetting flux, a flux sheet, and a multilayer wiring board that can be used.

即ち、本発明は、
1. 半田接合時にフラックスとして作用する熱硬化性フラックスであって、フェノール性水酸基を有する樹脂(A)、該樹脂の硬化剤である樹脂(B)および環状オレフィン系樹脂(C)を含むことを特徴とする熱硬化性フラックス、
2. 環状オレフィン系樹脂は、ノルボルネン系樹脂を含むものである第1項に記載の熱硬化性フラックス、
3. 前記ノルボルネン系樹脂は、ノルボルネン型モノマーの付加重合体である第2項に記載の熱硬化性フラックス、
4. 前記ノルボルネン系樹脂は、下記一般式(1)で表される繰返し単位を有するものである第2項または第3項に記載の熱硬化性フラックス、
That is, the present invention
1. A thermosetting flux that acts as a flux at the time of soldering, comprising a resin (A) having a phenolic hydroxyl group, a resin (B) that is a curing agent of the resin, and a cyclic olefin resin (C) Thermosetting flux,
2. The thermosetting flux according to item 1, wherein the cyclic olefin-based resin includes a norbornene-based resin,
3. The thermosetting flux according to item 2, wherein the norbornene-based resin is an addition polymer of a norbornene monomer.
4). The thermosetting flux according to the second or third item, wherein the norbornene-based resin has a repeating unit represented by the following general formula (1):

[式(1)中のXは、−О−,−CH−または−CHCH−を示し、R、R、R、およびRはそれぞれ水素、あるいは、アルキル基、シクロアルキル基、ビニル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデニル基、アリール基、アラルキル基、シリル基、エステル基、エーテル基、(メタ)アクリル基およびエポキシ基から選ばれる基を示し、これらの基はアルキル基、エーテル基、エステル基を介して結合していても良く、同一であっても異なっていても良い。mは10〜10000の整数、nは0〜5までの整数である。] [X in Formula (1) represents —O—, —CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, and R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each hydrogen, an alkyl group, cyclo A group selected from an alkyl group, a vinyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an alkylidenyl group, an aryl group, an aralkyl group, a silyl group, an ester group, an ether group, a (meth) acryl group, and an epoxy group. These groups are alkyl groups. They may be bonded via a group, an ether group or an ester group, and may be the same or different. m is an integer of 10 to 10000, and n is an integer of 0 to 5. ]

5. 前記ノルボルネン系樹脂は、下記一般式(2)で表されるモノマーの付加共重合体である第2項乃至第4項のいずれかに記載の熱硬化性フラックス、 5). The thermosetting flux according to any one of Items 2 to 4, wherein the norbornene-based resin is an addition copolymer of a monomer represented by the following general formula (2):

[式(1)中のXは、−О−,−CH−または−CHCH−を示し、R、R、R、およびRはそれぞれ水素、あるいは、アルキル基、シクロアルキル基、ビニル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデニル基、アリール基、アラルキル基、シリル基、エステル基、エーテル基、(メタ)アクリル基およびエポキシ基から選ばれる基を示し、これらの基はアルキル基、エーテル基、エステル基を介して結合していても良く、同一であっても異なっていても良い。mは10〜10000の整数、nは0〜5までの整数である。] [X in Formula (1) represents —O—, —CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, and R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each hydrogen, an alkyl group, cyclo A group selected from an alkyl group, a vinyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an alkylidenyl group, an aryl group, an aralkyl group, a silyl group, an ester group, an ether group, a (meth) acryl group, and an epoxy group. These groups are alkyl groups. They may be bonded via a group, an ether group or an ester group, and may be the same or different. m is an integer of 10 to 10000, and n is an integer of 0 to 5. ]

6. フェノール性水酸基を有する樹脂(A)が、フェノールフタリンおよびジヒドロキシ安息香酸から選ばれる少なくとも1種類以上であることを特徴とする第1項乃至第5項のいずれかに記載の熱硬化性フラックス、
7. 第1項乃至第6項のいずれかに記載の熱硬化性フラックスからなるフラックス層と、少なくとも一層以上の剥離可能な保護フィルム層で構成されることを特徴とするフラックスシート、
8. 配線パターンと、該配線パターン上に形成された導体ポストと、該導体ポストの先端表面に形成された半田層とを有する接続層と、該導体ポストとの層間接続用ランドを有する被接続層とを、第1項乃至第6項のいずれかに記載の熱硬化性フラックスからなるフラックス層を介して、加熱・加圧して熱圧着することにより半田接合させた層間接続部を有する多層配線板、
9. 前記フラックス層は、請求項7に記載のフラックスシートをラミネートして得られたものである第8項に記載の多層配線板、
を提供するものである。
6). The thermosetting flux according to any one of Items 1 to 5, wherein the resin (A) having a phenolic hydroxyl group is at least one selected from phenolphthaline and dihydroxybenzoic acid,
7). A flux sheet comprising a flux layer made of the thermosetting flux according to any one of items 1 to 6, and at least one protective film layer that can be peeled off,
8). A connection layer having a wiring pattern, a conductor post formed on the wiring pattern, a solder layer formed on a front end surface of the conductor post, and a connected layer having a land for interlayer connection with the conductor post; A multilayer wiring board having an interlayer connection portion soldered by heating and pressurizing and thermocompression bonding through a flux layer made of the thermosetting flux according to any one of items 1 to 6;
9. The multilayer wiring board according to claim 8, wherein the flux layer is obtained by laminating the flux sheet according to claim 7.
Is to provide.

本発明によれば、半導体チップの搭載時及び多層配線板の層間接続等の半田接合において、確実に半田接合することができ、半田接合後の残存フラックスの洗浄除去が必要なく、高温、多湿雰囲気でも電気絶縁性を保持し、誘電特性に優れ、信頼性の高い良好な接合を得ることができる。   According to the present invention, it is possible to surely perform solder bonding at the time of mounting a semiconductor chip and solder bonding such as interlayer connection of a multilayer wiring board, and it is not necessary to clean and remove residual flux after solder bonding, and a high temperature, high humidity atmosphere. However, it is possible to obtain a good bond that retains electrical insulation, has excellent dielectric characteristics, and is highly reliable.

本発明は、半田接合時にフラックスとして作用する熱硬化性フラックスであって、フェノール性水酸基を有する樹脂(A)、該樹脂の硬化剤である樹脂(B)および環状オレフィン系樹脂(C)を含むことを特徴とする熱硬化性フラックスである。
本発明の熱硬化性フラックスは、半田接合時にフラックスとして作用し、次いで加熱することにより、硬化して層間の接着剤として作用する。また、本発明の熱硬化性フラックスは、半田接合の際に、被半田接合金属面及び半田表面の酸化物などを除去し、高温、多湿雰囲気でも電気絶縁性を保持し、誘電特性に優れ、信頼性の高い良好な接合を可能にする。
更に、本発明の熱硬化性フラックスは、半田接合後に洗浄などにより除去する必要がなく、そのまま加熱することにより、三次元架橋した樹脂となり、密着力に優れた、多層配線板、半導体素子と多層配線板等の層間の接着剤として作用する。また、これを用いたフラックスシートは、熱硬化性フラックスの未硬化状態でのシート性も良好である。
また、配線パターンと、該配線パターン上に形成された導体ポストと、該導体ポストの先端表面に形成された半田層とを有する接続層と、該導体ポストとの層間接続用ランドを有する被接続層とを、加熱・加圧して熱圧着することにより半田接合させた層間接続部を有する多層配線板において、前記接続層と被接続層とを、前記熱硬化性フラックスからなるフラックス層を介して、接合することにより、高温、多湿雰囲気でも電気絶縁性を保持し、誘電特性に優れ、信頼性の高い半田接合有する多層配線板が得られる。
The present invention is a thermosetting flux that acts as a flux during solder joining, and includes a resin (A) having a phenolic hydroxyl group, a resin (B) that is a curing agent of the resin, and a cyclic olefin resin (C). It is the thermosetting flux characterized by this.
The thermosetting flux of the present invention acts as a flux at the time of solder bonding, and then cures by heating to act as an adhesive between layers. Moreover, the thermosetting flux of the present invention removes oxides on the solder-bonded metal surface and the solder surface at the time of soldering, retains electrical insulation even at high temperature and high humidity, and has excellent dielectric properties. Enables reliable and good bonding.
Furthermore, the thermosetting flux of the present invention does not need to be removed by washing after soldering, and is heated as it is to become a three-dimensionally cross-linked resin, which has excellent adhesion, multilayer wiring boards, semiconductor elements and multilayers. Acts as an adhesive between layers such as wiring boards. Further, the flux sheet using this has good sheet properties in the uncured state of the thermosetting flux.
In addition, a connection layer having a wiring pattern, a conductor post formed on the wiring pattern, a solder layer formed on the front end surface of the conductor post, and a land to be connected to the conductor post having an interlayer connection land In a multilayer wiring board having an interlayer connection part which is soldered by heating and pressurizing and thermocompression bonding the layer, the connection layer and the connection layer are connected via a flux layer made of the thermosetting flux. By bonding, it is possible to obtain a multilayer wiring board having solder bonding that maintains electrical insulation even in a high temperature and high humidity atmosphere, has excellent dielectric characteristics, and has high reliability.

前記環状オレフィン系樹脂の中でも、一般に、ノルボルネン系樹脂は、その主鎖骨格が脂環構造であるため低吸湿性を特徴とする。これにより、硬化前のシート単体の吸水率を下げることができるため、本発明の硬化性フラックスを用いて半田接合する際の高温時のボイド発生を抑制することができる。また、熱硬化後も吸水率の低い硬化物が得られるため高温高湿雰囲気下での吸湿処理後のリフロー耐熱試験による界面剥離、膨れ、接合部の損傷、ポップコーン・クラック等の不具合を回避することができる。   Among the cyclic olefin-based resins, norbornene-based resins are generally characterized by low hygroscopicity because their main chain skeleton has an alicyclic structure. Thereby, since the water absorption rate of the sheet | seat single body before hardening can be lowered | hung, the void generation | occurrence | production at the time of high temperature at the time of soldering using the curable flux of this invention can be suppressed. In addition, a cured product with low water absorption can be obtained even after heat curing, avoiding problems such as interfacial debonding, blistering, joint damage, popcorn cracking, etc. due to a reflow heat resistance test after moisture absorption treatment in a high temperature and high humidity atmosphere. be able to.

本発明に用いる環状オレフィン樹脂は、環状オレフィンモノマーとして、例えばシクロヘキセン、シクロオクテン等の単環体、ノルボルネン、ノルボルナジエン、ジシクロペンタジエン、ジヒドロジシクロペンタジエン、テトラシクロドデセン、トリシクロペンタジエン、ジヒドロトリシクロペンタジエン、テトラシクロペンタジエン、ジヒドロテトラシクロペンタジエン等の多環体などより重合したものが挙げられる。   The cyclic olefin resin used in the present invention includes, as cyclic olefin monomers, for example, monocyclic compounds such as cyclohexene and cyclooctene, norbornene, norbornadiene, dicyclopentadiene, dihydrodicyclopentadiene, tetracyclododecene, tricyclopentadiene, dihydrotricyclohexane. Polymerized from polycyclic compounds such as pentadiene, tetracyclopentadiene and dihydrotetracyclopentadiene.

このような環状オレフィンモノマーの重合体には、例えば環状オレフィンモノマーの(共)重合体、環状オレフィンモノマ−とα−オレフィン類等の共重合可能な他のモノマ−との共重合体、およびこれらの共重合体の水素添加物等が挙げられる。これらの公知の重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体等が挙げられる。これら環状オレフィン系樹脂は、公知の重合法により製造することが可能であり、その重合方法には付加重合法と開環重合法とが挙げられる。このうち、ノルボルネン型モノマーを重合(特に、付加(共)重合)することによって得られたポリマーが好ましいが、本発明はなんらこれに限定されるものではない。   Such polymers of cyclic olefin monomers include, for example, (co) polymers of cyclic olefin monomers, copolymers of cyclic olefin monomers and other monomers capable of copolymerization such as α-olefins, and the like. And hydrogenated products of the copolymer. Examples of these known polymers include random copolymers, block copolymers, and alternating copolymers. These cyclic olefin-based resins can be produced by a known polymerization method, and examples of the polymerization method include an addition polymerization method and a ring-opening polymerization method. Of these, polymers obtained by polymerizing norbornene-type monomers (particularly addition (co) polymerization) are preferred, but the present invention is not limited thereto.

環状オレフィン系樹脂の付加重合体としては、例えば(1)ノルボルネン型モノマーを付加(共)重合して得られるノルボルネン型モノマーの付加(共)重合体、(2)ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との付加共重合体、(3)ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、および必要に応じて他のモノマーとの付加共重合体が挙げられる。これらの樹脂は公知のすべての重合方法で得ることができる。   Examples of addition polymers of cyclic olefin resins include (1) addition (co) polymers of norbornene monomers obtained by addition (co) polymerization of norbornene monomers, (2) norbornene monomers and ethylene or α- Addition copolymers with olefins, (3) addition copolymers with norbornene-type monomers and non-conjugated dienes, and other monomers as required. These resins can be obtained by all known polymerization methods.

このような環状オレフィン系樹脂の付加重合体は、金属触媒による配位重合またはラジカル重合によって得られる。このうち、配位重合においては、モノマーを、遷移金属触媒存在下、溶液中で重合することによってポリマーが得られる(NiCOLE R. GROVE et al. Journal of Polymer Science:part B,Polymer Physics, Vol.37, 3003−3010(1999))。
配位重合に用いる金属触媒として代表的なニッケルと白金触媒は、PCT WO 9733198とPCT WO 00/20472に述べられている。配位重合用金属触媒の例としては、(トルエン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、(メシレン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、(ベンゼン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(テトラヒドロ)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(エチルアセテート)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(ジオキサン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル等の公知の金属触媒が挙げられる。
Such an addition polymer of a cyclic olefin resin is obtained by coordination polymerization or radical polymerization using a metal catalyst. Among them, in coordination polymerization, a polymer is obtained by polymerizing monomers in a solution in the presence of a transition metal catalyst (NiCOLE R. GROVE et al. Journal of Polymer Science: part B, Polymer Physics, Vol. 1). 37, 3003-3010 (1999)).
Representative nickel and platinum catalysts as metal catalysts for coordination polymerization are described in PCT WO 9733198 and PCT WO 00/20472. Examples of metal catalysts for coordination polymerization include (toluene) bis (perfluorophenyl) nickel, (mesylene) bis (perfluorophenyl) nickel, (benzene) bis (perfluorophenyl) nickel, bis (tetrahydro) bis ( Known metal catalysts such as perfluorophenyl) nickel, bis (ethyl acetate) bis (perfluorophenyl) nickel, and bis (dioxane) bis (perfluorophenyl) nickel may be mentioned.

また、ラジカル重合技術については、Encyclopedia of Polymer Science, John Wiley & Sons,13,708(1998)に述べられている。
一般的にはラジカル重合はラジカル開始剤の存在下、温度を50℃〜150℃に上げ、モノマーを溶液中で反応させる。ラジカル開始剤としてはアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウリル、アゾビスイソカプトロニトリル、アゾビスイソレロニトリル、t−ブチル過酸化水素等である。
The radical polymerization technique is described in Encyclopedia of Polymer Science, John Wiley & Sons, 13, 708 (1998).
Generally, in radical polymerization, the temperature is raised to 50 ° C. to 150 ° C. in the presence of a radical initiator, and the monomer is reacted in a solution. Examples of the radical initiator include azobisisobutyronitrile (AIBN), benzoyl peroxide, lauryl peroxide, azobisisocapronitrile, azobisisoleronitrile, t-butyl hydrogen peroxide, and the like.

環状オレフィン系樹脂の開環重合体としては、例えば(4)ノルボルネン型モノマーの開環(共)重合体、および必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂、(5)ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との開環共重合体、および必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂、(6)ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、または他のモノマーとの開環共重合体、および必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂が挙げられる。これらの樹脂は公知のすべての重合方法で得ることができる。   Examples of the ring-opening polymer of the cyclic olefin-based resin include (4) a ring-opening (co) polymer of a norbornene-type monomer, and a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary, (5) a norbornene-type resin A ring-opening copolymer of a monomer and ethylene or an α-olefin, and a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary, (6) a norbornene-type monomer and a non-conjugated diene, or another monomer Examples thereof include a ring-opening copolymer and a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary. These resins can be obtained by all known polymerization methods.

このような環状オレフィン系樹脂の開環重合体は、公知の開環重合法により、チタンやタングステン化合物を触媒として、少なくとも一種以上のノルボルネン型モノマ−を開環(共)重合して開環(共)重合体を製造し、次いで必要に応じて通常の水素添加方法により前記開環(共)重合体中の炭素−炭素二重結合を水素添加して熱可塑性飽和ノルボルネン系樹脂を製造することによって得られる。   Such a ring-opening polymer of a cyclic olefin resin is obtained by ring-opening (co) polymerizing at least one or more norbornene-type monomers by a known ring-opening polymerization method using titanium or a tungsten compound as a catalyst. A co) polymer, and then, if necessary, a hydrogenated carbon-carbon double bond in the ring-opened (co) polymer by a conventional hydrogenation method to produce a thermoplastic saturated norbornene resin. Obtained by.

前記付加重合および開環重合に用いる重合溶媒としては、炭化水素や芳香族溶媒が挙げられる。炭化水素溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、やシクロヘキサンなどであるがこれに限定されない。芳香族溶媒の例としては、ベンゼン、トルエン、キシレンやメシチレンなどであるがこれに限定されない。ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチルアセテート、エステル、ラクトン、ケトン、アミドも使用できる。これら溶剤を単独や混合しても重合溶媒として使用できる。   Examples of the polymerization solvent used for the addition polymerization and ring-opening polymerization include hydrocarbons and aromatic solvents. Examples of the hydrocarbon solvent include pentane, hexane, heptane, and cyclohexane, but are not limited thereto. Examples of the aromatic solvent include, but are not limited to, benzene, toluene, xylene and mesitylene. Diethyl ether, tetrahydrofuran, ethyl acetate, ester, lactone, ketone, amide can also be used. These solvents can be used alone or as a polymerization solvent.

上記環状オレフィン系樹脂において、特に、付加型のノルボルネン系樹脂は耐熱性にも優れるものであり、中でも、下記一般式(1)で表される構造を有する付加型のノルボルネン系樹脂の化学構造における主鎖骨格は、ガラス転移温度が300℃前後の耐熱性を有し好適である。   In the above cyclic olefin-based resin, in particular, the addition-type norbornene-based resin is excellent in heat resistance, and in particular, in the chemical structure of the addition-type norbornene-based resin having a structure represented by the following general formula (1). The main chain skeleton has a heat resistance with a glass transition temperature of about 300 ° C., which is preferable.

式(1)中のXは、−О−,−CH−または−CHCH−を示し、R、R、R、およびRはそれぞれ水素、あるいは、アルキル基、シクロアルキル基、ビニル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデニル基、アリール基、アラルキル基、シリル基、エステル基、エーテル基および(メタ)アクリル基、エポキシ基から選ばれる基を示し、これらの基はアルキル基、エーテル基、エステル基を介して結合していても良く、同一であっても異なっていても良い。mは10〜10000の整数、nは0〜5までの整数である。 X in the formula (1) represents —O—, —CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, and R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each hydrogen, an alkyl group or cycloalkyl. Group, vinyl group, alkenyl group, alkynyl group, alkylidenyl group, aryl group, aralkyl group, silyl group, ester group, ether group, (meth) acryl group, and a group selected from epoxy groups, and these groups are alkyl groups , May be bonded via an ether group or an ester group, and may be the same or different. m is an integer of 10 to 10000, and n is an integer of 0 to 5.

前記アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基およびイソブチル基などの側鎖を有していても良い(C1−C20)アルキル基、前記シクロアルキル基としては、例えば、シクロヘキシル基、シクロペンチル基およびメチルシクロヘキシル基などの(C3−C15)シクロアルキル基、前記アルケニル基としては、例えば、(C3−C10)アルケニル基、前記アルキニル基としては、例えば、エチニル基、プロペニル基、ヘキセイニル基、オクテニル基およびヘプテニル基などの(C2−C20)アルキニル基、前記アルキリデニル基としては、例えば、(C1−C6)アルキリデニル基、前記アリール基としては、例えば、フェニル基、トリル基、ナフチル基、ベンジル基およびフェニルエチニル基などの(C6−C40)アリール基、前記アラルキル基としては、例えば、(C7−C15)アラルキル基、前記シリル基としては、例えば、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基、トリエトキシシリル基およびトリエトキシシリルエチル基などのシリル基、前記エステル基としては、例えば、メチルエステル基、エチルエステル基、n−ブチルエステル基、t−ブチルエステル基およびn−プロピルエステル基などのエステル基、前記(メタ)アクリル基としては、例えば、メタクリロキシメチル基などの(メタ)アクリル基、前記エポキシ基としては、例えば、グリシジルエーテル基などのエポキシ基が挙げられる。   Examples of the alkyl group include (C1-C20) alkyl groups that may have a side chain such as a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, and an isobutyl group, and the cyclo group. Examples of the alkyl group include (C3-C15) cycloalkyl groups such as cyclohexyl group, cyclopentyl group, and methylcyclohexyl group. Examples of the alkenyl group include (C3-C10) alkenyl group and examples of the alkynyl group include , An ethynyl group, a propenyl group, a hexenyl group, an octenyl group and a heptenyl group (C2-C20) alkynyl group, the alkylidenyl group, for example, (C1-C6) alkylidenyl group, the aryl group, for example, phenyl Group, tolyl group, naphthyl group, benzyl group and Examples of the (C6-C40) aryl group such as phenylethynyl group and the aralkyl group include (C7-C15) aralkyl group and the silyl group include, for example, a trimethoxysilyl group, a triethoxysilyl group, and a triethoxysilyl group. Group and silyl group such as triethoxysilylethyl group, as the ester group, for example, ester group such as methyl ester group, ethyl ester group, n-butyl ester group, t-butyl ester group and n-propyl ester group, Examples of the (meth) acryl group include a (meth) acryl group such as a methacryloxymethyl group, and examples of the epoxy group include an epoxy group such as a glycidyl ether group.

本発明においては、ノルボルネン型モノマーの付加重合体であることが好ましく、特に、上記の置換基を有するノルボルネン型モノマーである一般式(2)で表されるモノマーを2種以上用いて付加共重合体とすることにより、密着性や電気特性などの特性をバランスよく付与することができるので、より好ましい。   In the present invention, it is preferably an addition polymer of a norbornene-type monomer, and in particular, an addition copolymer using two or more monomers represented by the general formula (2) which is a norbornene-type monomer having the above-described substituent. By combining, properties such as adhesion and electrical properties can be imparted in a well-balanced manner, which is more preferable.

[式(1)中のXは、−О−,−CH−または−CHCH−を示し、R、R、R、およびRはそれぞれ水素、あるいは、アルキル基、シクロアルキル基、ビニル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデニル基、アリール基、アラルキル基、シリル基、エステル基、エーテル基、(メタ)アクリル基およびエポキシ基から選ばれる基を示し、これらの基はアルキル基、エーテル基、エステル基を介して結合していても良く、同一であっても異なっていても良い。mは10〜10000の整数、nは0〜5までの整数である。] [X in Formula (1) represents —O—, —CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, and R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each hydrogen, an alkyl group, cyclo A group selected from an alkyl group, a vinyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an alkylidenyl group, an aryl group, an aralkyl group, a silyl group, an ester group, an ether group, a (meth) acryl group, and an epoxy group. These groups are alkyl groups. They may be bonded via a group, an ether group or an ester group, and may be the same or different. m is an integer of 10 to 10000, and n is an integer of 0 to 5. ]

上記置換基を有するノルボルネンモノマーとしては、例えば、アルキル基を有するものとして、5−メチル−2−ノルボルネン、5−エチル−2−ノルボルネン、5−プロピル−2−ノルボルネン、5−ブチル−2−ノルボルネン、5−ペンチル−2−ノルボルネン、5−ヘキシル−2−ノルボルネン、5−ヘプチル−2−ノルボルネン、5−オクチル−2−ノルボルネン、5−ノニル−2−ノルボルネン、5−デシル−2−ノルボルネン、5−メチレン−2−ノルボルネンなど;、シクロアルキル基を有するものとして、5−シクロヘキシル−2−ノルボルネンおよび5−シクロヘキセニル−2−ノルボルネンなど;、アルケニル基を有するものとして、5−ビニル−2−ノルボルネンおよび5−アリル−2−ノルボルネンなど;、アルキニル基を有するものとしては、5−(2−プロペニル)−2−ノルボルネン、5−(3−ブテニル)−2−ノルボルネン、5−(1−メチル−2−プロペニル)−2−ノルボルネン、5−(4−ペンテニル)−2−ノルボルネン、5−(1−メチル−3−ブテニル)−2−ノルボルネン、5−(5−ヘキセニル)−2−ノルボルネン、5−(1−メチル−4−ペンテニル)−2−ノルボルネン、5−(2,3−ジメチル−3−ブテニル)−2−ノルボルネン、5−(2−エチル−3−ブテニル)−2−ノルボルネン、5−(3,4−ジメチル−4−ペンテニル)−2−ノルボルネン、5−(7−オクテニル)−2−ノルボルネン、5−(2−メチル−6−ヘプテニル)−2−ノルボルネン、5−(1,2−ジメチル−5−ヘキセニル)−2−ノルボルネン、5−(5−エチル−5−ヘキセニル)−2−ノルボルネン、5−(1,2,3−トリメチル−4−ペンテニル)−2−ノルボルネンなど;、アルキリデニル基を有するものとしては、5−エチリデン−2−ノルボルネンおよび5−イソプロピリデン−2−ノルボルネンなど;、アリール基を有するものとしては、5−フェニル−2−ノルボルネン、5−ベンジル−2−ノルボルネン、5−フェネチル−2−ノルボルネン、5−ペンタフルオロフェニル−2−ノルボルネン、5−ペンタフルオロフェニルメタン−2−ノルボルネン、5−(2−ペンタフルオロフェニルエチル)−2−ノルボルネン、5−(3−ペンタフルオロフェニルプロピル)−2−ノルボルネンなど;、シリル基を有するものとしては、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチル−1,5−ジメチルビス((2−(5−ノルボルネン−2−イル)エチル)トリシロキサン、5−トリメトキシシリル−2−ノルボルネン、5−トリエトキシシリル−2−ノルボルネン、5−(2−トリメトキシシリルエチル)−2−ノルボルネン、5−(2−トリエトキシシリルエチル)−2−ノルボルネン、5−(3−トリメトキシプロピル)−2−ノルボルネン、5−(4−トリメトキシブチル)−2−ノルボルネン、5−トリメチルシリルメチルエーテル−2−ノルボルネン、ジメチルビス((5−ノルボルネン−2−イル)メトキシ))シランなど;、エポキシ基を有するものとしては、5−アリルグリシジル−エーテル−2−ノルボルネンなど;、
また、ヒドロキシル基、カルボキシル基、エステル基、アクリロイル基またはメタクリロイル基を有するものとしては、5−ノルボルネン−2−メタノール、酢酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、プロピオン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、酪酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、吉草酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、カプロン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、カプリル酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、カプリン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、ラウリン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、ステアリン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、オレイン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、リノレン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸、5−ノルボルネン−2−カルボン酸メチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸エチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸t−ブチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸i−ブチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸トリメチルシリルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸トリエチルシリルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸イソボニルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸2−ヒドロキシエチルエステル、5−ノルボルネン−2−メチル−2−カルボン酸メチルエステル、ケイ皮酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、5−ノルボルネン−2−メチルエチルカルボネート、5−ノルボルネン−2−メチルn−ブチルカルボネート、5−ノルボルネン−2−メチルt−ブチルカルボネート、5−メトキシ−2−ノルボルネン、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−エチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−n−ブチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−n―プロピルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−i−ブチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−i−プロピルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−ヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−オクチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−デシルエステルなど;が挙げられる。
Examples of the norbornene monomer having the substituent include, for example, those having an alkyl group, such as 5-methyl-2-norbornene, 5-ethyl-2-norbornene, 5-propyl-2-norbornene, and 5-butyl-2-norbornene. 5-pentyl-2-norbornene, 5-hexyl-2-norbornene, 5-heptyl-2-norbornene, 5-octyl-2-norbornene, 5-nonyl-2-norbornene, 5-decyl-2-norbornene, 5 -Methylene-2-norbornene, etc .; as having a cycloalkyl group, 5-cyclohexyl-2-norbornene, 5-cyclohexenyl-2-norbornene, etc .; as having an alkenyl group, 5-vinyl-2-norbornene And 5-allyl-2-norbornene; Examples of the group having 5- group include 5- (2-propenyl) -2-norbornene, 5- (3-butenyl) -2-norbornene, 5- (1-methyl-2-propenyl) -2-norbornene, 5- (4-pentenyl) -2-norbornene, 5- (1-methyl-3-butenyl) -2-norbornene, 5- (5-hexenyl) -2-norbornene, 5- (1-methyl-4-pentenyl)- 2-norbornene, 5- (2,3-dimethyl-3-butenyl) -2-norbornene, 5- (2-ethyl-3-butenyl) -2-norbornene, 5- (3,4-dimethyl-4-pentenyl) ) -2-norbornene, 5- (7-octenyl) -2-norbornene, 5- (2-methyl-6-heptenyl) -2-norbornene, 5- (1,2-dimethyl-5-hexenyl) -2- Examples of those having an alkylidenyl group include 5- (5-ethyl-5-hexenyl) -2-norbornene, 5- (1,2,3-trimethyl-4-pentenyl) -2-norbornene; Ethylidene-2-norbornene, 5-isopropylidene-2-norbornene, etc .; those having an aryl group include 5-phenyl-2-norbornene, 5-benzyl-2-norbornene, 5-phenethyl-2-norbornene, 5 -Pentafluorophenyl-2-norbornene, 5-pentafluorophenylmethane-2-norbornene, 5- (2-pentafluorophenylethyl) -2-norbornene, 5- (3-pentafluorophenylpropyl) -2-norbornene, etc. ;, As those having a silyl group, 1,1,3,3,5, 5-hexamethyl-1,5-dimethylbis ((2- (5-norbornen-2-yl) ethyl) trisiloxane, 5-trimethoxysilyl-2-norbornene, 5-triethoxysilyl-2-norbornene, 5- (2-trimethoxysilylethyl) -2-norbornene, 5- (2-triethoxysilylethyl) -2-norbornene, 5- (3-trimethoxypropyl) -2-norbornene, 5- (4-trimethoxybutyl) ) -2-norbornene, 5-trimethylsilylmethyl ether-2-norbornene, dimethylbis ((5-norbornen-2-yl) methoxy)) silane, etc .; those having an epoxy group include 5-allylglycidyl-ether- 2-norbornene, etc .;
Further, those having a hydroxyl group, carboxyl group, ester group, acryloyl group or methacryloyl group include 5-norbornene-2-methanol, acetic acid 5-norbornene-2-methyl ester, and propionic acid 5-norbornene-2-methyl ester. , Butyric acid 5-norbornene-2-methyl ester, valeric acid 5-norbornene-2-methyl ester, caproic acid 5-norbornene-2-methyl ester, caprylic acid 5-norbornene-2-methyl ester, capric acid 5-norbornene- 2-methyl ester, lauric acid 5-norbornene-2-methyl ester, stearic acid 5-norbornene-2-methyl ester, oleic acid 5-norbornene-2-methyl ester, linolenic acid 5-norbornene-2-methyl ester, 5 -Nor Lunene-2-carboxylic acid, 5-norbornene-2-carboxylic acid methyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid ethyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid t-butyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid i-butyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid trimethylsilyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid triethylsilyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid isobornyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid 2- Hydroxyethyl ester, 5-norbornene-2-methyl-2-carboxylic acid methyl ester, cinnamic acid 5-norbornene-2-methyl ester, 5-norbornene-2-methylethyl carbonate, 5-norbornene-2-methyl n -Butyl carbonate, 5- Rubornene-2-methyl t-butyl carbonate, 5-methoxy-2-norbornene, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-methyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-ethyl ester, (meth) Acrylic acid 5-norbornene-2-n-butyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-n-propyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-i-butyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-i-propyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-hexyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-octyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2- Decyl ester and the like.

これらのモノマーより得られた重合体の例として、前記一般式(1)で表される構造を有する付加型のノルボルネン系樹脂において、置換基R、R、R、およびRは、目的に応じて、その置換基の種類と該置換基を有する繰り返し単位の割合を調整することにより、特性を好ましいものとすることができる。例えば、前記一般式(1)において、Xは−CH−とし、RおよびRは水素とし、nは0の場合、RおよびRとして、例えば、前記アルキル基を導入した場合、可とう性に優れるポリノルボルネン樹脂フィルムを得ることができるので好ましい。また、トリメトキシシリル基、またはトリエトキシシリル基を導入した場合、銅などの金属との密着性が向上するので好ましい。ただし、トリエトキシシリル基、トリメトキシシリル基の割合が多い場合、ポリノルボルネン樹脂の誘電正接が大きくなることがあるため、トリエトキシシリル基および/またはトリメトキシシリル基を有するノルボルネンの繰り返し単位は、一般式(1)で表されるノルボルネン1分子において、5〜80mol%の範囲にすることが好ましい。さらに好ましくは5〜50mol%である。 As an example of a polymer obtained from these monomers, in the addition-type norbornene resin having the structure represented by the general formula (1), the substituents R 1 , R 2 , R 3 , and R 4 are: According to the purpose, the characteristics can be made favorable by adjusting the kind of the substituent and the ratio of the repeating unit having the substituent. For example, in the general formula (1), X is —CH 2 —, R 3 and R 4 are hydrogen, n is 0, and R 1 and R 2 are introduced, for example, when the alkyl group is introduced, It is preferable because a polynorbornene resin film having excellent flexibility can be obtained. In addition, when a trimethoxysilyl group or a triethoxysilyl group is introduced, adhesion with a metal such as copper is improved, which is preferable. However, when the ratio of triethoxysilyl group and trimethoxysilyl group is large, the dielectric loss tangent of the polynorbornene resin may increase, so the repeating unit of norbornene having a triethoxysilyl group and / or trimethoxysilyl group is In 1 molecule of norbornene represented by the general formula (1), it is preferably in the range of 5 to 80 mol%. More preferably, it is 5-50 mol%.

中でも、特に、可とう性、密着性および誘電特性が良好な樹脂フィルムを得る上で、一般式(1)において、n−ブチル基を有するノルボルネン90mol%とトリエトシキシシリル基を有するノルボルネン10mol%からなるポリノルボルネン、未置換(置換基が水素原子)ノルボルネン90mol%とトリエトシシリル基を有するノルボルネン10mol%からなるポリノルボルネン、および未置換ノルボルネン75mol%とn−ヘキシル基を有するノルボルネン25mol%からなるポリノルボルネンが好ましい。   Among them, in order to obtain a resin film having particularly good flexibility, adhesion and dielectric properties, 90 mol% of norbornene having an n-butyl group and 10 mol% of norbornene having a triethoxysilyl group in the general formula (1) Polynorbornene comprising 90 mol% unsubstituted (substituent is a hydrogen atom) norbornene having 10 mol% having norethoxysilyl group, polynorbornene having 75 mol% unsubstituted norbornene and 25 mol% norbornene having n-hexyl group Is preferred.

また、前記側鎖にトリエトキシシリル基、トリメトキシシリル基の替わりに、エポキシ基を有するノルボルネン5〜95モル%、好ましくは、20〜80モル%、さらに好ましくは30〜70%の割合で使用する場合、基材との密着性を向上することができる。   Further, in place of the triethoxysilyl group and trimethoxysilyl group in the side chain, norbornene having an epoxy group is used in an amount of 5 to 95 mol%, preferably 20 to 80 mol%, more preferably 30 to 70%. When it does, adhesiveness with a base material can be improved.

前記環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、1,000〜1,000,000が好ましく、特に5,000〜500,000が好ましく、10,000〜250,000がより好ましく、さらには、12,000〜70,000が好ましい。重量平均分子量(Mw)が前記範囲内であると、耐熱性、半田接合性、フラックスシートのシート性、成形物表面の平滑性等がバランスに優れる。
前記重量平均分子量は、例えばシクロヘキサン又はトルエンを有機溶剤とするゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)で測定されるポリスチレン換算で評価することができる。
The weight average molecular weight of the cyclic olefin-based resin is not particularly limited, but is preferably 1,000 to 1,000,000, particularly preferably 5,000 to 500,000, more preferably 10,000 to 250,000, Furthermore, 12,000-70,000 is preferable. When the weight average molecular weight (Mw) is within the above range, the heat resistance, solder bondability, sheet properties of the flux sheet, smoothness of the surface of the molded article, etc. are excellent in balance.
The weight average molecular weight can be evaluated in terms of polystyrene measured by, for example, gel permeation chromatography (GPC) using cyclohexane or toluene as an organic solvent.

前記環状オレフィン系樹脂の分子量分布[重量平均分子量:Mwと、数平均分子量:Mnとの比(Mw/Mn)]は、特に限定されないが、5以下が好ましく、特に4以下が好ましく、特に1〜3が好ましい。分子量分布が前記範囲内であると、電気特性に特に優れる。
前記分子量分布を測定する方法としては、例えばシクロヘキサンまたはトルエンを有機溶剤とするGPCで測定することができる。
また、上記方法で重量平均分子量や分子量分布が測定できない環状オレフィン系樹脂の場合には、通常の溶融加工法により樹脂層を形成し得る程度の溶融粘度や重合度を有するものを使用することができる。前記環状オレフィン系樹脂のガラス転移温度は、使用目的に応じて適宜選択できるが、通常50℃以上、好ましくは70℃以上、より好ましくは100℃以上、さらに好ましくは125℃以上である。
The molecular weight distribution of the cyclic olefin-based resin [the ratio of the weight average molecular weight: Mw to the number average molecular weight: Mn (Mw / Mn)] is not particularly limited, but is preferably 5 or less, particularly preferably 4 or less, particularly 1 ~ 3 is preferred. When the molecular weight distribution is within the above range, the electrical characteristics are particularly excellent.
As a method for measuring the molecular weight distribution, for example, it can be measured by GPC using cyclohexane or toluene as an organic solvent.
In the case of a cyclic olefin resin whose weight average molecular weight or molecular weight distribution cannot be measured by the above method, it is possible to use a resin having a melt viscosity and a degree of polymerization that can form a resin layer by an ordinary melt processing method. it can. Although the glass transition temperature of the said cyclic olefin resin can be suitably selected according to a use purpose, it is 50 degreeC or more normally, Preferably it is 70 degreeC or more, More preferably, it is 100 degreeC or more, More preferably, it is 125 degreeC or more.

本発明に用いる環状オレフィン系樹脂の含有量としては、硬化性フラックス全体の5wt%以上50wt%以下であることが好ましい。前記含有量において、未硬化状態のシート性、硬化後の密着力、可撓性および半田接合性がより好ましい。   The content of the cyclic olefin resin used in the present invention is preferably 5 wt% or more and 50 wt% or less of the entire curable flux. In the content, uncured sheet properties, adhesive strength after curing, flexibility, and solderability are more preferable.

本発明に用いるフェノール性水酸基を有する樹脂(A)としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールノボラック樹脂および多価フェノールノボラック樹脂などのノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂樹脂、ポリビニルフェノール樹脂などが好適に用いることができる。これらの内、多価フェノールノボラック樹脂は、1個のベンゼン環に2個以上のフェノール性ヒドロキシル基有するので、単官能のフェノールノボラック樹脂に比べて、半田接合のフラックスとして、より飛躍的に向上した性能を有する。また、2,4−ジヒドロキシ安息香酸および2,5−ジヒドロキシ安息香酸などのジヒドロキシ安息香酸、1−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸および2−ヒドロキシ−3−ナフトエ酸などのヒドロキシナフトエ酸、フェノールフタリン、ヒドロキシ安息香酸、ヒドロキシフェニル酢酸、4-ヒドロキシ-3-メトキシ安息香酸、ジフェノール酸、4−ヒドロキシ−3−ニトロ安息香酸などは、分子内にカルボキシル基を有するため、半田及び金属表面の酸化物などの汚れを除去する作用が向上し、安定した半田接合を達成するのに好適であり、中でも、ジヒドロキシ安息香酸、フェノールフタリンがより好ましい。   As the resin (A) having a phenolic hydroxyl group used in the present invention, for example, novolak type phenol resins such as phenol novolak resin, alkylphenol novolak resin and polyhydric phenol novolak resin, resol type phenol resin resin, polyvinyl phenol resin and the like are preferable. Can be used. Among these, the polyhydric phenol novolac resin has two or more phenolic hydroxyl groups in one benzene ring, so that it has dramatically improved as a solder joint flux compared to a monofunctional phenol novolac resin. Has performance. In addition, dihydroxybenzoic acid such as 2,4-dihydroxybenzoic acid and 2,5-dihydroxybenzoic acid, hydroxynaphthoic acid such as 1-hydroxy-2-naphthoic acid and 2-hydroxy-3-naphthoic acid, phenolphthaline, Hydroxybenzoic acid, hydroxyphenylacetic acid, 4-hydroxy-3-methoxybenzoic acid, diphenolic acid, 4-hydroxy-3-nitrobenzoic acid and the like have a carboxyl group in the molecule, and therefore, oxides on solder and metal surfaces The action of removing such stains is improved, and it is suitable for achieving a stable solder joint, and among them, dihydroxybenzoic acid and phenolphthaline are more preferable.

本発明に用いるフェノール性水酸基を有する樹脂の、硬化剤として作用する樹脂(B)としては、具体的には、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂系、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂系、ビフェノール型エポキシ樹脂系、ナフトール型エポキシ樹脂やレソルシノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂や、上記樹脂と同じ骨格のイソシアネート樹脂やシアネート樹脂であってもよい。また、脂肪族、環状脂肪族や不飽和脂肪族等の骨格をベースとして変性されたエポキシ化合物やイソシアネート化合物が挙げられる。例えばシリコン変性のエポキシ樹脂が挙げられる。   Specific examples of the resin (B) that acts as a curing agent for the resin having a phenolic hydroxyl group used in the present invention include bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, and cresol novolac epoxy. Resin, alkylphenol novolac type epoxy resin type, biphenol type epoxy resin type, epoxy resin such as naphthol type epoxy resin, resorcinol type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, isocyanate resin or cyanate resin having the same skeleton as the above resin. May be. Moreover, the epoxy compound and isocyanate compound modified | denatured based on skeletons, such as aliphatic, cycloaliphatic, and unsaturated aliphatic, are mentioned. For example, a silicone-modified epoxy resin can be used.

本発明の熱硬化性フラックスにおいて、フェノール性水酸基を有する樹脂は、5wt%以上80wt%以下で含まれることが好ましい。5重量%未満であると、金属表面を清浄化する作用が低下し、半田接合できなくなる恐れがある。また、80重量%より多いと、十分な硬化物が得られず、接合強度と信頼性が低下する恐れがある。フェノール性水酸基を有する樹脂の硬化剤として作用する樹脂の配合量は、例えば、エポキシ基当量またはイソシアネート基当量が、少なくともフェノール性水酸基を有する樹脂のヒドロキシル基当量に対し0.5倍以上、1.5倍以下が好ましいが、良好な金属接合性と硬化物物性が得られる場合はこの限りではない。   In the thermosetting flux of the present invention, the resin having a phenolic hydroxyl group is preferably contained in an amount of 5 wt% to 80 wt%. If it is less than 5% by weight, the effect of cleaning the metal surface is lowered, and there is a possibility that soldering cannot be performed. On the other hand, if it is more than 80% by weight, a sufficient cured product cannot be obtained, and the bonding strength and reliability may be lowered. The compounding amount of the resin acting as a curing agent for the resin having a phenolic hydroxyl group is, for example, at least 0.5 times the epoxy group equivalent or isocyanate group equivalent of the hydroxyl group equivalent of the resin having a phenolic hydroxyl group. Although 5 times or less is preferable, it is not this limitation when favorable metal bondability and hardened | cured material property are obtained.

本発明の熱硬化性フラックスには、フラックスシートにおけるフラックス層のシート性を向上する上で、上記特性を損ねない範囲で熱可塑性樹脂を用いることができる。前記熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリエステル樹脂類、ポリウレタン樹脂類、ポリイミドシロキサン樹脂、ポリプロピレン、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−メタクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、ポリ酢酸ビニル樹脂、ナイロン、スチレン−イソプレン共重合体、スチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体、ポリメチルメタクリレート樹脂などを挙げることができる。
また、接着剤には、上記成分の他に、無機充填材、硬化触媒、着色料、消泡剤、難燃剤、カップリング剤等の各種添加剤や、溶剤を添加しても良い。
In the thermosetting flux of the present invention, a thermoplastic resin can be used in a range that does not impair the above characteristics when improving the sheet properties of the flux layer in the flux sheet. Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl butyral resin, polyester resin, polyurethane resin, polyimide siloxane resin, polypropylene, styrene-butadiene-styrene copolymer, polyacetal resin, polyamide resin, acrylonitrile-butadiene copolymer. Polymer, acrylonitrile-butadiene-methacrylic acid copolymer, acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer, polyvinyl acetate resin, nylon, styrene-isoprene copolymer, styrene-butylene-styrene block copolymer, styrene-ethylene-butylene -A styrene block copolymer, a polymethylmethacrylate resin, etc. can be mentioned.
Moreover, you may add various additives, such as an inorganic filler, a curing catalyst, a coloring agent, an antifoamer, a flame retardant, a coupling agent, and a solvent other than the said component to an adhesive agent.

本発明の熱硬化性フラックスは、前記各成分を所望の割合で配合し混合して得られる。得られた熱硬化性フラックスは、溶媒に混合して熱硬化性フラックスワニスとして用いることができる。前記溶媒としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、トルエン、メシチレン、キシレン、ヘキサン、イソブタノール、n−ブタノール、1−メトキシ,2−プロパノールアセテート、ブチルセルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブ、セルソルブアセテート、乳酸エチル、酢酸エチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチル、ジエチレングリコール、安息香酸−n−ブチル、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフラン、γ−ブチルラクトン、アニソール等が挙げられる。   The thermosetting flux of the present invention is obtained by blending and mixing the respective components in a desired ratio. The obtained thermosetting flux can be mixed with a solvent and used as a thermosetting flux varnish. Examples of the solvent include acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, toluene, mesitylene, xylene, hexane, isobutanol, n-butanol, 1-methoxy, 2-propanol acetate, butyl cellosolve, ethyl cellosolve, and methyl cellosolve. , Cellosolve acetate, ethyl lactate, ethyl acetate, dimethyl phthalate, diethyl phthalate, dibutyl phthalate, diethylene glycol, n-butyl benzoate, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, tetrahydrofuran, γ-butyl lactone And anisole.

本発明のフラックスシートは、熱硬化性フラックスからなるフラックス層と、少なくとも一層以上の剥離可能な保護フィルム層で構成されるであり、以下に本発明のフラックスシートの製造方法について記載する。まず、フラックスシートの材料となる樹脂ワニスを調整する。剥離可能な保護フィルム上に、硬化性フラックスワニスを塗布して、熱硬化性フラックス層を形成し、乾燥して、フラックスシートを得ることができる。保護フィルムとしては、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリフェンレンスルフィド、ポリ塩化ビニル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン等が挙げられる。塗布方法としては、印刷、カーテンコート、バーコート、コンマコート、ダイコート等が挙げられる。熱硬化性フラックス層の厚みは、加工性、フラックス活性、接着力、熱応力緩和効果等との関係で適宜選択できるが、0.5〜500μmが好ましく、1〜250μmがさらに好ましい。乾燥温度としては、使用する溶媒にも依存するが、60℃〜180℃が好ましく、70℃〜150℃がさらに好ましい。また、巻き取りの再に硬化性フラックスシート面と保護フィルム離面の融着防止のために、乾燥後のフラックスシートの塗布面に剥離可能なカバーフィルムを張り合わせてもよい。   The flux sheet of the present invention is composed of a flux layer composed of a thermosetting flux and at least one protective film layer that can be peeled off. The method for producing the flux sheet of the present invention will be described below. First, the resin varnish used as the material of a flux sheet is adjusted. On the peelable protective film, a curable flux varnish is applied to form a thermosetting flux layer and dried to obtain a flux sheet. Examples of the protective film include polyester, polyolefin, polyphenylene sulfide, polyvinyl chloride, polytetrafluoroethylene, polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, polyvinyl alcohol, polycarbonate, polyimide, polyether ether ketone, and the like. Examples of the application method include printing, curtain coating, bar coating, comma coating, and die coating. Although the thickness of a thermosetting flux layer can be suitably selected in relation to workability, flux activity, adhesive force, thermal stress relaxation effect, etc., 0.5-500 micrometers is preferred and 1-250 micrometers is still more preferred. The drying temperature depends on the solvent used, but is preferably 60 ° C to 180 ° C, and more preferably 70 ° C to 150 ° C. Moreover, in order to prevent the curable flux sheet surface and the protective film separation surface from being fused after rewinding, a peelable cover film may be bonded to the dried flux sheet application surface.

次に、本発明のフラックスシートを用いた多層配線板の製造方法の一例を示す。
本発明の多層配線板の製造方法としては、まず、金属箔101と絶縁層102からなる2層構造体を用意し、絶縁層102にビアホール103を形成する(図1(a))。2層構造体は、金属箔101上に樹脂ワニスを印刷、カーテンコート、バーコート等の方法で直接塗布することにより得ることができる。さらには、市販の樹脂付銅箔(例えば、ポリイミド付銅箔)のような2層構造体を用意しても良い。また、2層構造体は、ガラスエポキシ両面銅張積層板の一方の銅箔を全面エッチングして得ることもできる。
Next, an example of the manufacturing method of the multilayer wiring board using the flux sheet of this invention is shown.
As a method for manufacturing a multilayer wiring board of the present invention, first, a two-layer structure comprising a metal foil 101 and an insulating layer 102 is prepared, and a via hole 103 is formed in the insulating layer 102 (FIG. 1A). The two-layer structure can be obtained by directly applying a resin varnish on the metal foil 101 by a method such as printing, curtain coating, or bar coating. Furthermore, a two-layer structure such as a commercially available copper foil with resin (for example, copper foil with polyimide) may be prepared. The two-layer structure can also be obtained by etching one copper foil of the glass epoxy double-sided copper-clad laminate.

ビアホール103の形成方法は、この製造方法に適する方法であればどのような方法でも良く、レーザー、プラズマによるドライエッチング、ケミカルエッチング等が挙げられる。レーザーとしては、炭酸ガスレーザー、紫外線レーザー、エキシマレーザー等を使用することができる。絶縁層102がガラスエポキシのように補強繊維を含む場合には、樹脂とガラスクロスを貫通してビアホール103を形成することができる炭酸ガスレーザーを使用することが好ましい。絶縁層102がポリイミド等の補強繊維を含まない場合には、より微細なビアホール103を形成できる紫外線レーザーを使用することが好ましい。また、絶縁層102を感光性樹脂とした場合には、絶縁層102を選択的に感光し、現像することでビアホール103を形成することもできる。   Any method may be used for forming the via hole 103 as long as it is suitable for this manufacturing method, and examples thereof include dry etching using laser and plasma, chemical etching, and the like. As the laser, a carbon dioxide laser, an ultraviolet laser, an excimer laser, or the like can be used. When the insulating layer 102 includes a reinforcing fiber such as glass epoxy, it is preferable to use a carbon dioxide gas laser that can penetrate the resin and the glass cloth to form the via hole 103. When the insulating layer 102 does not include a reinforcing fiber such as polyimide, it is preferable to use an ultraviolet laser that can form a finer via hole 103. In the case where the insulating layer 102 is made of a photosensitive resin, the via hole 103 can be formed by selectively exposing and developing the insulating layer 102.

次に、金属箔101を電解めっき用リード(給電用電極)として、電解めっきにより、導体ポスト104をビアホール103内に形成し、続いて、導体ポスト104の先端表面に、半田層105を形成する(図1(b))。電解めっきにより導体ポスト104を形成すれば、導体ポスト104の先端の形状を自由に制御することができ、導体ポストは、絶縁層102の表層面と同じか、もしくは、表層面より突出していることが望ましい。表層面より導体ポストを突出させることで、導体ポスト先端に形成された半田が溶融し補強構造を形成した半田接合が得られるからである。   Next, the conductive post 104 is formed in the via hole 103 by electrolytic plating using the metal foil 101 as an electrolytic plating lead (feeding electrode), and subsequently, the solder layer 105 is formed on the front end surface of the conductive post 104. (FIG. 1 (b)). If the conductor post 104 is formed by electrolytic plating, the shape of the tip of the conductor post 104 can be freely controlled, and the conductor post should be the same as the surface layer surface of the insulating layer 102 or protrude from the surface layer surface. Is desirable. This is because by making the conductor post project from the surface layer surface, the solder formed at the tip of the conductor post is melted and a solder joint in which a reinforcing structure is formed is obtained.

導体ポスト104の材質としては、この製造方法に適するものであればどのようなものでも良く、例えば、銅、ニッケル、金、錫、銀およびパラジウム等が挙げられる。特に、銅を用いることで、低抵抗で安定した導体ポスト104が得られる。   The material of the conductor post 104 may be any material suitable for this manufacturing method, and examples thereof include copper, nickel, gold, tin, silver, and palladium. In particular, by using copper, a stable conductor post 104 can be obtained with low resistance.

半田層105の形成方法としては、無電解めっきにより形成する方法、金属箔101を電解めっき用リード(給電用電極)として電解めっきにより形成する方法、半田を含有するペーストを印刷する方法などの方法が挙げられる。印刷による方法では、印刷用マスクを導体ポスト104に対して精度良く位置合せする必要があるが、無電解めっきや電解めっきによる方法では、導体ポスト104の先端表面以外に半田層105が形成されることがないため、導体ポスト104の微細化・高密度化にも対応しやすい。特に、電解めっきによる方法では、無電解めっきによる方法よりも、めっき可能な金属が多種多様であり、また薬液の管理も容易であるため、非常に好適である。   As a method for forming the solder layer 105, a method such as a method of forming by electroless plating, a method of forming the metal foil 101 as an electrolytic plating lead (power supply electrode) by electrolytic plating, a method of printing a paste containing solder, and the like. Is mentioned. In the printing method, it is necessary to align the printing mask with respect to the conductor post 104 with high accuracy. However, in the method using electroless plating or electrolytic plating, the solder layer 105 is formed in addition to the tip surface of the conductor post 104. Therefore, the conductor posts 104 can be easily miniaturized and densified. In particular, the electrolytic plating method is very suitable because the metal that can be plated is more diverse and the chemical solution can be easily managed than the electroless plating method.

半田層105の材質としては、SnやIn、もしくはSn、Ag、Cu、Zn、Bi、Pd、Sb、Pb、In、Auの少なくとも二種からなる半田を使用することが好ましい。より好ましくは、環境に優しいPbフリー半田である。   As a material of the solder layer 105, it is preferable to use Sn or In, or solder composed of at least two of Sn, Ag, Cu, Zn, Bi, Pd, Sb, Pb, In, and Au. More preferably, it is an environmentally friendly Pb-free solder.

次に、金属箔101を選択的にエッチングすることにより、配線パターン106を形成して、接続層110を得る(図1(c))。   Next, the metal foil 101 is selectively etched to form a wiring pattern 106 to obtain a connection layer 110 (FIG. 1C).

次に、前記接続層110の導体ポスト104に対応して配設された層間接続用ランド107を有する被接続層120の表面にフラックスシート108を形成する(図1(d))。フラックスシート108の形成方法としては、使用する樹脂に応じて適した方法で良く、例えば、真空ラミネートおよび真空プレス等の方法により積層する方法が挙げられる。図1においては、被接続層120の表面に接着剤層を形成する方法を示したが、接続層110の半田バンプが形成された面に接着剤層を形成しても良い。   Next, a flux sheet 108 is formed on the surface of the connection layer 120 having the interlayer connection lands 107 arranged corresponding to the conductor posts 104 of the connection layer 110 (FIG. 1D). A method for forming the flux sheet 108 may be a method suitable for the resin to be used, and examples thereof include a method of laminating by a method such as vacuum lamination and vacuum press. Although FIG. 1 shows a method for forming an adhesive layer on the surface of the connection layer 120, an adhesive layer may be formed on the surface of the connection layer 110 on which the solder bumps are formed.

次に、接続層110と被接続層120とを位置合わせする(図1(e))。位置合わせは、接続層110および被接続層120に、予め形成されている位置決めマークを、画像認識装置により読み取り位置合わせする方法、位置合わせ用のピン等で位置合わせする方法等の方法を用いることができる。   Next, the connecting layer 110 and the connected layer 120 are aligned (FIG. 1E). The alignment uses a method such as a method of reading and aligning a positioning mark formed in advance on the connection layer 110 and the layer to be connected 120 with an image recognition apparatus, a method of aligning with a positioning pin or the like. Can do.

次に、接着剤層108と、接続層110および被接続層120とを密着させる(図1(e))。密着させる方法としては、例えば、真空プレスまたは加圧式真空ラミネーターを用いて、加熱・加圧することにより、接着剤層108を軟化させる方法が挙げられる。上記工程においては、半田層105と層間接続用ランド107とが非接触に保たれていることが好ましい。   Next, the adhesive layer 108 is brought into close contact with the connection layer 110 and the connected layer 120 (FIG. 1E). Examples of the close contact method include a method of softening the adhesive layer 108 by heating and pressurizing using a vacuum press or a pressure type vacuum laminator. In the above process, it is preferable that the solder layer 105 and the interlayer connection land 107 are kept in non-contact.

次いで、接続層110と被接続層120とを、半田層105を構成する半田の融点以上の温度に加熱して、半田を溶融させるとともに、加圧して半田接合させる(図1(f))。最後に、接着剤層108の硬化、必要によりソルダーレジスト形成、個片化等の所望の工程を経て、本発明の多層配線板130を得る。   Next, the connection layer 110 and the connection layer 120 are heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the solder constituting the solder layer 105 to melt the solder and pressurize it to join the solder (FIG. 1 (f)). Finally, the multilayer wiring board 130 of the present invention is obtained through a desired process such as curing of the adhesive layer 108 and, if necessary, formation of a solder resist and singulation.

以下、実施例により更に具体的に説明するが、本発明はこれによって何ら限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.

(1)接着剤ワニス1の調合
m,p−クレゾールノボラック樹脂(日本化薬(株)製PAS−1、OH基当量120)105gと、ジアリルビスフェノールA型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製RE−810NM、エポキシ当量220)500gと、フェノールフタリン150gとポリノルボルネン溶液700g(プロメラス社製、アバトレル(ブチルノルボルネン90mol%とトリエトキシシランノルボルネン10mol%の付加共重合体の30wt%メシチレン溶液))を混合・攪拌し、硬化性フラックスワニスを作製した。次に、上記で得た硬化性フラックスワニスをポリエステル(ダイアホイルヘキスト(株)製、T−100G、厚み25μm)フィルムに塗布後、100℃で20分乾燥し、50μm厚の硬化性フラックス層を形成し、硬化性フラックスシートを得た。
(1) Preparation of adhesive varnish 1 105 g of m, p-cresol novolac resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. PAS-1, OH group equivalent 120) and diallyl bisphenol A type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd.) 500 g of RE-810NM, epoxy equivalent 220), 150 g of phenolphthalene and 700 g of polynorbornene solution (manufactured by Promelas, abaterol (30 wt% mesitylene solution of 90 mol% butyl norbornene and 10 mol% triethoxysilane norbornene)) Were mixed and stirred to prepare a curable flux varnish. Next, after applying the curable flux varnish obtained above to a polyester (Diafoil Hoechst Co., Ltd., T-100G, thickness 25 μm) film, it is dried at 100 ° C. for 20 minutes to form a 50 μm thick curable flux layer. Formed to obtain a curable flux sheet.

<多層配線板製造用配線基板の製造>
表面を粗化処理した厚み150μmの圧延銅板(金属板201・古川電気工業(株)製、EFTEC−64T)に、ドライフィルムレジスト(旭化成(株)製、AQ−2058)をロールラミネートし、所定のネガフィルムを用いて、露光・現像し、導体回路211の形成に必要なめっきレジストを形成した。次に、圧延銅板を電解めっき用リードとして、金層とニッケル層を電解めっきにより形成し、さらに、電解銅めっきすることにより、銅回路を形成して、導体回路を得た。導体回路は、線幅/線間/厚み=20μm/20μm /10μmとした。次に、樹脂付銅箔(住友ベークライト製)を、真空ラミネートにより、配線パターンの凹凸を埋め込みながら成形し、銅箔を全面エッチングして、25μm厚の絶縁層を形成した。
<Manufacture of wiring boards for manufacturing multilayer wiring boards>
A dry film resist (AQ-2058 manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd., AQ-2058) is roll-laminated on a rolled copper plate (metal plate 201, manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd., EFTEC-64T) having a thickness of 150 μm. The negative resist film was exposed and developed to form a plating resist necessary for forming the conductor circuit 211. Next, using a rolled copper plate as a lead for electrolytic plating, a gold layer and a nickel layer were formed by electrolytic plating, and further, electrolytic copper plating was performed to form a copper circuit to obtain a conductor circuit. The conductor circuit had a line width / interline / thickness = 20 μm / 20 μm / 10 μm. Next, a resin-coated copper foil (manufactured by Sumitomo Bakelite) was formed by vacuum lamination while embedding the wiring pattern irregularities, and the copper foil was entirely etched to form a 25 μm thick insulating layer.

次に、UV−YAGレーザーを用いて、絶縁層にトップ径が45μm、ボトム径が25μmのビアを形成した。ビア内部およびビア周辺部を、過マンガン酸樹脂エッチング液にて清浄化した後、裏面の圧延銅板を、電解めっき用リード(給電用電極)として、電解銅めっきを行って、ビアを銅で充填し、銅ポストを形成した。ここで、銅ポストの直径が45μmとなるよう、電解銅めっきの時間を調整した。次に、銅ポストの表面に、ニッケル層205を、電解めっきによって、1μmの厚みで形成し、続いて、Sn−Ag(2.5%)共晶半田被膜を、電解めっきによって、5μmの厚みで形成して、導体ポストを得た。なお、Sn−Ag(2.5%)共晶半田被膜の先端表面の絶縁層表面から突出している高さは、11μmであった。最後に、圧延銅板をエッチングして除去した。これにより、導体ポストが、銅ポスト、ニッケル層、半田被膜から構成され、導体回路が、銅回路、ニッケル層、金皮膜から構成される多層配線板製造用配線基板を得た。   Next, vias having a top diameter of 45 μm and a bottom diameter of 25 μm were formed in the insulating layer using a UV-YAG laser. After cleaning the inside of the via and the periphery of the via with a permanganate resin etchant, electrolytic copper plating is performed using the rolled copper plate on the back surface as a lead for electrolytic plating (power supply electrode), and the via is filled with copper. Then, a copper post was formed. Here, the electrolytic copper plating time was adjusted so that the diameter of the copper post was 45 μm. Next, a nickel layer 205 is formed on the surface of the copper post by electrolytic plating to a thickness of 1 μm, and subsequently a Sn—Ag (2.5%) eutectic solder coating is formed by electrolytic plating to a thickness of 5 μm. A conductor post was obtained. In addition, the height which protruded from the insulating layer surface of the front-end | tip surface of Sn-Ag (2.5%) eutectic solder film was 11 micrometers. Finally, the rolled copper plate was removed by etching. Thus, a wiring board for producing a multilayer wiring board was obtained in which the conductor post was composed of a copper post, a nickel layer, and a solder coating, and the conductor circuit was composed of a copper circuit, a nickel layer, and a gold coating.

<多層配線板の製造>
上述の方法によって得られた多層配線板製造用配線基板に対して、バーコートにより、上述の硬化性フラックスシートを、絶縁層の表面、すなわちSn−Pb共晶半田層が形成された面に、真空ラミネーターを用いてラミネートし、PETフィルムをはがして硬化性フラックス層を形成した。
<Manufacture of multilayer wiring boards>
The above-mentioned curable flux sheet is applied to the surface of the insulating layer, that is, the surface on which the Sn—Pb eutectic solder layer is formed by bar coating on the wiring board for producing a multilayer wiring board obtained by the above-described method. Lamination was performed using a vacuum laminator, and the PET film was peeled off to form a curable flux layer.

一方、厚み12μm銅箔が両面に形成されたFR−5相当のガラスエポキシ両面銅張積層板(住友ベークライト(株)製、ELC−4781)を用い、銅箔を、選択的にエッチングして、回路パターンを形成し、コア基板(コア基板230)を得た。   On the other hand, using a glass epoxy double-sided copper-clad laminate equivalent to FR-5 (ELC-4781 manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) having a 12 μm thick copper foil formed on both sides, the copper foil was selectively etched, A circuit pattern was formed to obtain a core substrate (core substrate 230).

次に、上述の工程により得られた多層配線板製造用配線基板と、コア基板に、予め、形成されている位置決めマークを、画像認識装置により、読み取り、両者を位置合わせし、250℃、0.5MPa、1分間の条件で熱圧着した。これにより、多層配線板を得た。さらに、硬化性フラックス層を硬化させるために、窒素雰囲気下で、250℃/60分間の熱処理を行った。得られた多層配線板をSAT(超音波映像装置)を用いて硬化性フラックス層とコア基板、または、多層配線板製造用配線基板との界面の剥離の有無を調査した結果、層間剥離およびボイドの発生は認められなかった。   Next, a positioning mark formed in advance on the wiring board for manufacturing a multilayer wiring board obtained by the above-described process and the core board is read by an image recognition apparatus, and both are aligned, and 250 ° C., 0 Thermocompression bonding was performed at a condition of 5 MPa for 1 minute. Thereby, a multilayer wiring board was obtained. Further, in order to cure the curable flux layer, heat treatment was performed at 250 ° C./60 minutes in a nitrogen atmosphere. As a result of investigating the presence or absence of peeling at the interface between the curable flux layer and the core substrate or the wiring substrate for manufacturing the multilayer wiring board, the obtained multilayer wiring board was delaminated using a SAT (ultrasonic imaging device). The occurrence of was not observed.

得られた多層配線板の導通を確認した後、−55℃で10分、125℃で10分を1サイクルとする温度サイクル試験を実施した。サンプル数は10個とした。温度サイクル試験1000サイクル後の断線不良接合部はゼロであった。   After confirming the continuity of the obtained multilayer wiring board, a temperature cycle test was conducted in which one cycle was −55 ° C. for 10 minutes and 125 ° C. for 10 minutes. The number of samples was 10. The disconnection defective joint after 1000 cycles of the temperature cycle test was zero.

得られた多層配線板をJEDEC規格レベル2に準拠した熱処理、吸湿処理を行い、吸湿耐熱信頼性評価を行った。具体的には、125℃/24時間のプレ乾燥を行った後、85℃60%RHで196時間の吸湿処理を行い、さらにピーク温度が260℃の鉛フリー半田対応リフロープロファイルの赤外リフロー炉を3回通した。リフロー後の多層配線板の外観を観察して膨れの有無を確認した。また、SAT(超音波映像装置)を用いて多層配線基板内部のボイドの発生、剥離状態について調査した。結果は、実態顕微鏡による外観観察からは膨れ箇所は認められなかった。また、SATの結果からも剥離、膨れ、ボイド等の不具合は認められなかった。   The obtained multilayer wiring board was subjected to heat treatment and moisture absorption treatment according to JEDEC standard level 2, and moisture absorption heat-resistant reliability evaluation was performed. Specifically, after pre-drying at 125 ° C./24 hours, moisture absorption treatment is performed at 85 ° C. and 60% RH for 196 hours, and a reflow profile corresponding to a lead-free solder having a peak temperature of 260 ° C. Was passed three times. The appearance of the multilayer wiring board after reflow was observed to confirm the presence or absence of swelling. In addition, the occurrence of voids in the multilayer wiring board and the peeled state were investigated using an SAT (ultrasonic imaging device). As a result, no swollen part was observed from the appearance observation with a microscope. Also, from the results of SAT, defects such as peeling, swelling and voids were not recognized.

また、絶縁層の誘電特性を測定するため、70μm厚の銅箔(商品名:3EC−VLP箔、三井金属(株)製)の光沢面に、上記で得たフラックスシートを、真空ラミネーターを用いてラミネートし窒素雰囲気の乾燥機により、180℃で1時間、熱処理して硬化させた。次いで、70μm厚の銅箔を、エッチング除去し、フラックスシートの硬化フィルムを得た。誘電特性の測定は、円筒空洞共振機を用いた摂動法で行い、マイクロ波ネットワークアナライザ HP8510B(Agilent Technologies社製)を用いた。その結果、誘電率は3.4、誘電正接は0.005であった。   Further, in order to measure the dielectric properties of the insulating layer, the flux sheet obtained above was applied to the glossy surface of a 70 μm thick copper foil (trade name: 3EC-VLP foil, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.) using a vacuum laminator. Then, they were cured by heat treatment at 180 ° C. for 1 hour using a dryer in a nitrogen atmosphere. Next, the 70 μm thick copper foil was removed by etching to obtain a cured film of a flux sheet. Dielectric characteristics were measured by a perturbation method using a cylindrical cavity resonator, and a microwave network analyzer HP8510B (manufactured by Agilent Technologies) was used. As a result, the dielectric constant was 3.4, and the dielectric loss tangent was 0.005.

以上のことから、本発明の硬化性フラックスを用いた多層配線板は高い接合部信頼性と高い吸湿耐熱信頼性を有しており、本発明の効果は明白である。   From the above, the multilayer wiring board using the curable flux of the present invention has high joint reliability and high moisture absorption heat resistance reliability, and the effects of the present invention are obvious.

本発明によれば、半導体チップの搭載時及び多層配線板の層間接続等の半田接合において、確実に半田接合することができ、半田接合後の残存フラックスの洗浄除去が必要なく、接着剤として高い吸湿耐熱信頼性を得ることができる。   According to the present invention, it is possible to surely perform solder bonding at the time of mounting a semiconductor chip and solder bonding such as interlayer connection of a multilayer wiring board, and it is not necessary to clean and remove the residual flux after solder bonding, which is high as an adhesive. Hygroscopic heat-resistant reliability can be obtained.

本発明のフラックスシートを用いた多層配線板の製造方法の一例を示す。An example of the manufacturing method of the multilayer wiring board using the flux sheet of this invention is shown.

符号の説明Explanation of symbols

101 金属箔
102 絶縁層
103 ビアホール
104 導体ポスト
105 半田層
106 配線パターン
107 層間接続用ランド
108 フラックスシート(接着剤層)
110 接続層
120 被接続層
130 多層配線板130
101 Metal foil 102 Insulating layer 103 Via hole 104 Conductor post 105 Solder layer 106 Wiring pattern 107 Land 108 for interlayer connection Flux sheet (adhesive layer)
110 connection layer 120 connected layer 130 multilayer wiring board 130

Claims (9)

半田接合時にフラックスとして作用する熱硬化性フラックスであって、フェノール性水酸基を有する樹脂(A)、該樹脂の硬化剤である樹脂(B)および環状オレフィン系樹脂(C)を含むことを特徴とする熱硬化性フラックス。 A thermosetting flux that acts as a flux at the time of soldering, comprising a resin (A) having a phenolic hydroxyl group, a resin (B) that is a curing agent of the resin, and a cyclic olefin resin (C) Thermosetting flux. 環状オレフィン系樹脂は、ノルボルネン系樹脂を含むものである請求項1に記載の熱硬化性フラックス。 The thermosetting flux according to claim 1, wherein the cyclic olefin-based resin includes a norbornene-based resin. 前記ノルボルネン系樹脂は、ノルボルネン型モノマーの付加重合体である請求項2に記載の熱硬化性フラックス。 The thermosetting flux according to claim 2, wherein the norbornene-based resin is an addition polymer of a norbornene-type monomer. 前記ノルボルネン系樹脂は、下記一般式(1)で表される繰返し単位を有するものである請求項2または3に記載の熱硬化性フラックス。
[式(1)中のXは、−О−,−CH−または−CHCH−を示し、R、R、R、およびRはそれぞれ水素、あるいは、アルキル基、シクロアルキル基、ビニル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデニル基、アリール基、アラルキル基、シリル基、エステル基、エーテル基、(メタ)アクリル基およびエポキシ基から選ばれる基を示し、これらの基はアルキル基、エーテル基、エステル基を介して結合していても良く、同一であっても異なっていても良い。mは10〜10000の整数、nは0〜5までの整数である。]
The thermosetting flux according to claim 2 or 3, wherein the norbornene-based resin has a repeating unit represented by the following general formula (1).
[X in Formula (1) represents —O—, —CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, and R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each hydrogen, an alkyl group, cyclo A group selected from an alkyl group, a vinyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an alkylidenyl group, an aryl group, an aralkyl group, a silyl group, an ester group, an ether group, a (meth) acryl group, and an epoxy group. These groups are alkyl groups. They may be bonded via a group, an ether group or an ester group, and may be the same or different. m is an integer of 10 to 10000, and n is an integer of 0 to 5. ]
前記ノルボルネン系樹脂は、下記一般式(2)で表されるモノマーの付加共重合体である請求項2乃至4のいずれかに記載の熱硬化性フラックス。
[式(1)中のXは、−О−,−CH−または−CHCH−を示し、R、R、R、およびRはそれぞれ水素、あるいは、アルキル基、シクロアルキル基、ビニル基、アルケニル基、アルキニル基、アルキリデニル基、アリール基、アラルキル基、シリル基、エステル基、エーテル基、(メタ)アクリル基およびエポキシ基から選ばれる基を示し、これらの基はアルキル基、エーテル基、エステル基を介して結合していても良く、同一であっても異なっていても良い。mは10〜10000の整数、nは0〜5までの整数である。]
The thermosetting flux according to any one of claims 2 to 4, wherein the norbornene-based resin is an addition copolymer of a monomer represented by the following general formula (2).
[X in Formula (1) represents —O—, —CH 2 — or —CH 2 CH 2 —, and R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each hydrogen, an alkyl group, cyclo A group selected from an alkyl group, a vinyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an alkylidenyl group, an aryl group, an aralkyl group, a silyl group, an ester group, an ether group, a (meth) acryl group, and an epoxy group. These groups are alkyl groups. They may be bonded via a group, an ether group or an ester group, and may be the same or different. m is an integer of 10 to 10000, and n is an integer of 0 to 5. ]
フェノール性水酸基を有する樹脂(A)が、フェノールフタリンおよびジヒドロキシ安息香酸から選ばれる少なくとも1種類以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の熱硬化性フラックス。 The thermosetting flux according to any one of claims 1 to 5, wherein the resin (A) having a phenolic hydroxyl group is at least one selected from phenolphthalin and dihydroxybenzoic acid. 請求項1乃至6のいずれかに記載の熱硬化性フラックスからなるフラックス層と、少なくとも一層以上の剥離可能な保護フィルム層で構成されることを特徴とするフラックスシート。 A flux sheet comprising a flux layer comprising the thermosetting flux according to any one of claims 1 to 6 and at least one protective film layer that can be peeled off. 配線パターンと、該配線パターン上に形成された導体ポストと、該導体ポストの先端表面に形成された半田層とを有する接続層と、該導体ポストとの層間接続用ランドを有する被接続層とを、請求項1乃至6のいずれかに記載の熱硬化性フラックスからなるフラックス層を介して、加熱・加圧して熱圧着することにより半田接合させた層間接続部を有する多層配線板。 A connection layer having a wiring pattern, a conductor post formed on the wiring pattern, a solder layer formed on a front end surface of the conductor post, and a connected layer having a land for interlayer connection with the conductor post; A multilayer wiring board having an interlayer connection part which is solder-bonded by heating and pressurizing and thermocompression bonding via a flux layer made of the thermosetting flux according to any one of claims 1 to 6. 前記フラックス層は、請求項7に記載のフラックスシートをラミネートして得られたものである請求項8に記載の多層配線板。 The multilayer wiring board according to claim 8, wherein the flux layer is obtained by laminating the flux sheet according to claim 7.
JP2004288991A 2004-09-30 2004-09-30 Thermosetting flux, flux sheet, and multilayer printed circuit board Pending JP2006102753A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004288991A JP2006102753A (en) 2004-09-30 2004-09-30 Thermosetting flux, flux sheet, and multilayer printed circuit board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004288991A JP2006102753A (en) 2004-09-30 2004-09-30 Thermosetting flux, flux sheet, and multilayer printed circuit board

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006102753A true JP2006102753A (en) 2006-04-20

Family

ID=36373045

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004288991A Pending JP2006102753A (en) 2004-09-30 2004-09-30 Thermosetting flux, flux sheet, and multilayer printed circuit board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006102753A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008135438A (en) * 2006-11-27 2008-06-12 Sumitomo Bakelite Co Ltd Multilayer circuit board
JP2009154170A (en) * 2007-12-25 2009-07-16 Arakawa Chem Ind Co Ltd Soldering flux and solder paste
WO2010050193A1 (en) * 2008-10-30 2010-05-06 住友ベークライト株式会社 Multilayer wiring substrate and method for producing same
JP2011165982A (en) * 2010-02-10 2011-08-25 Sumitomo Bakelite Co Ltd Conductive connection sheet, method for connection between terminals, method for forming connection terminal, semiconductor device, and electronic apparatus
CN103817460A (en) * 2014-03-17 2014-05-28 苏州龙腾万里化工科技有限公司 Novel photo-curing soldering flux
US20160311970A1 (en) * 2013-12-13 2016-10-27 Transfert Plus, Société En Commandite Insertion polynorbornene-based thermoset resins
WO2020116403A1 (en) * 2018-12-03 2020-06-11 ナガセケムテックス株式会社 Flux sheet and solder bonding method using flux sheet

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008135438A (en) * 2006-11-27 2008-06-12 Sumitomo Bakelite Co Ltd Multilayer circuit board
JP2009154170A (en) * 2007-12-25 2009-07-16 Arakawa Chem Ind Co Ltd Soldering flux and solder paste
WO2010050193A1 (en) * 2008-10-30 2010-05-06 住友ベークライト株式会社 Multilayer wiring substrate and method for producing same
JP4518214B2 (en) * 2008-10-30 2010-08-04 住友ベークライト株式会社 Multilayer wiring board and manufacturing method thereof
JPWO2010050193A1 (en) * 2008-10-30 2012-03-29 住友ベークライト株式会社 Multilayer wiring board and manufacturing method thereof
US8787030B2 (en) 2008-10-30 2014-07-22 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Multilayer circuit board with resin bases and separators
KR101562086B1 (en) 2008-10-30 2015-10-20 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 Multilayer circuit board and method of manufacturing the same
JP2011165982A (en) * 2010-02-10 2011-08-25 Sumitomo Bakelite Co Ltd Conductive connection sheet, method for connection between terminals, method for forming connection terminal, semiconductor device, and electronic apparatus
US20160311970A1 (en) * 2013-12-13 2016-10-27 Transfert Plus, Société En Commandite Insertion polynorbornene-based thermoset resins
CN103817460A (en) * 2014-03-17 2014-05-28 苏州龙腾万里化工科技有限公司 Novel photo-curing soldering flux
CN103817460B (en) * 2014-03-17 2015-12-09 苏州龙腾万里化工科技有限公司 A kind of novel light solidified antiwelding agent
WO2020116403A1 (en) * 2018-12-03 2020-06-11 ナガセケムテックス株式会社 Flux sheet and solder bonding method using flux sheet
CN113165092A (en) * 2018-12-03 2021-07-23 长濑化成株式会社 Flux sheet and solder bonding method using flux sheet
CN113165092B (en) * 2018-12-03 2023-09-22 长濑化成株式会社 Soldering flux sheet and solder bonding method using the same
JP7407733B2 (en) 2018-12-03 2024-01-04 ナガセケムテックス株式会社 Flux sheet and soldering method using flux sheet

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10211143B2 (en) Semiconductor device having polyimide layer
KR100568491B1 (en) Adhesive for semiconductor components
CN101432876B (en) Semiconductor device and semiconductor device manufacturing method
JP3745335B2 (en) Electronic component manufacturing method and electronic component obtained by the method
TWI538579B (en) Multi-layer circuit board and multilayer circuit board manufacturing method
KR100547454B1 (en) Anisotropic conductive adhesive film
KR101497736B1 (en) Insulating resin composition for multilayer printed wiring board, insulating resin sheet with base material, multilayer printed wiring board, and semiconductor device
EP0933813A2 (en) Semiconductor plastic package, metal plate for said package, and method of producing copper-clad board for said package
JP5200405B2 (en) Multilayer wiring board and semiconductor package
KR101078168B1 (en) Liquid resin composition, semiconductor wafer having adhesive layer, semiconductor element having adhesive layer, semiconductor package, process for manufacturing semiconductor element and process for manufacturing semiconductor package
JPWO2008087972A1 (en) Insulating resin sheet laminate, multilayer printed wiring board formed by laminating the insulating resin sheet laminate
US20050175824A1 (en) Method for forming multilayer circuit structure and base having multilayer circuit structure
US6489013B2 (en) Resin compound, and adhesive film, metal-clad adhesive film, circuit board, and assembly structure, using the resin compound
JP2004291054A (en) Adhesive with hardening flux function, and sheet thereof
JP2006102753A (en) Thermosetting flux, flux sheet, and multilayer printed circuit board
JP2007201453A (en) Wiring board and insulating resin composition for solder resist used for same
JP2009212101A (en) Member for multilayer wiring board and method of manufacturing multilayer wiring board
JP4687196B2 (en) Wiring board
JP2009212098A (en) Member for multilayer wiring board and method of manufacturing multilayer wiring board
JP2003103398A (en) Hardenable flux and hardenable flux sheet
JP2011187999A (en) Multilayer wiring board
TW419795B (en) Semiconductor plastic package and method of producing printed wiring board
JP4293002B2 (en) Manufacturing method of multilayer wiring board
JP2005307156A (en) Resin composition, multilayer printed circuit board and method for producing the same
JP2007184388A (en) Printed wiring board and method of manufacturing same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20070613

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090929

A02 Decision of refusal

Effective date: 20100223

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02