JP2004231510A - ガラス管の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光ファイバ・プリフォームに使われるガラス管の製造において、出発部材の1つの端面に第一の密度を有する多孔質の円筒状コア・スート16を堆積し、次いでその周辺にスート16の密度よりも大きな第二の密度を有し、かつSiO2を含む多孔質のクラッド・スート20を堆積する。その後、ス−ト16、20はコア・ガラスとクラッド・ガラスを形成するための焼結に十分な温度でいっしょに加熱される。スート16は、焼結中にスート20よりも大きな割合で縮径するので、コア・ガラスはクラッド・ガラスから半径方向に分離、あるいは剥離する。それからコア・ガラスを除去した管状のクラッド・ガラスを光ファイバ・プリフォームの一部材として適する高純度ガラス管とするために処理する。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明により、光ファイバ・プリフォーム用に適した高純度ガラス管を製造するための処理の概略図である。この製法の最初の機械的なセットアップは、上に述べたプリフォームを製造する従来のVAD法で使われるそれと同等、あるいは類似している。
例えばSiCl4とGeCl4からなる前駆ガスが火炎24の中で反応して所望量のGeが添加された石英のクラッド・スート20が形成されるようにクラッド・トーチ18に供給される。もし、純粋な石英単体のクラッド・スートを作るのであれば、クラッド・トーチ18の前駆ガスはSiCl4だけでもよい。同様に、純石英のコア・スート16を作るためには火炎22の中での反応のためにSiCl4だけの前駆ガスがコア・トーチ14に供給されればよい。
火炎により堆積したコア・スート16とクラッド・スート20からなる所望の軸長の多孔質ガラス母材が得られたら、それは焼結の前に適宜脱水される。例えば、多孔質ガラス母材は約1200℃の塩素、およびヘリウム・ガス中で最高1時間処理される。塩素濃度は、通常0〜10%の範囲であり、特定の条件のもとでよく知られた方法により決定される。
脱水工程の後、脱水された多孔質ガラス母材は1〜15mm/分の移動速度で加熱領域を通しながら最高約1600℃の温度で焼結して透明なガラスにされる。より低い密度と、より高い密度の特定の表面域を有するスートは、より高い密度と、より低い密度の特定の表面域を有するスートより早く縮径するので、焼結過程で焼結した多孔質ガラス母材のコア・ガラス30はクラッド・ガラス32から分離、あるいは剥離する。焼結された本体の軸の両端付近で軸に対して垂直方向に切断し、小さなガラス棒の形になったコア・ガラス30を除去すると、本体中央部にガラス管32になる穴が残る。それからガラス管32が光ファイバに線引きされるプリフォームとして使われる前に要求特性を満足させるために管の内面を削り、滑らかにしてから、形を整える(一般的には引き伸ばす)処理が施される。
14 コア・トーチ
16 コア・スート
18 クラッド・トーチ
20 クラッド・スート
22 火炎
24 火炎
30 コア・ガラス
32 クラッド・ガラス
Claims (10)
- 軸を有する出発部材を準備し、前記出発部材の所定の軸端にスートを堆積させるべく前記出発部材を配置し、前記軸端に第一の密度を有しかつ前記出発部材とほぼ軸が一致した細長い円筒状のコア・スートを形成し、さらに少なくとも前記コア・スートの周囲の領域において前記第一の密度よりも大きな第二の密度を有するクラッド・ス−トを形成するために、前記コア・スートの周囲にSiO2を含むクラッド・スートを堆積させて所望の軸長の多孔質ガラス母材を作製し、前記コア・スートと前記クラッド・スートがコア・ガラスとクラッド・ガラスになる際に、前記コア・スートが前記クラッド・スートよりも大きな割合で縮径して前記コア・ガラスが前記クラッド・ガラスから半径方向に分離するように焼結させるのに十分な温度で前記多孔質ガラス母材を加熱して、前記クラッド・ガラスの内部から前記コア・ガラスを取り除くことにより、ガラス管を得ることを特徴とするガラス管の製造方法。
- 前記多孔質ガラス母材を焼結して前記コア・ガラスと前記クラッド・ガラスとする前に前記多孔質ガラス母材を脱水することを特徴とする請求項1に記載のガラス管の製造方法。
- 前記クラッド・ガラス中に所望量のGeが添加されるように前記コア・スートの上に前記クラッド・スートを堆積させることを特徴とする請求項1に記載のガラス管の製造方法。
- 前記クラッド・ガラス中に所望量のフッ素が添加されるように、焼結中に前記クラッド・スートに所定濃度のフッ素を加えることを特徴とする請求項1に記載のガラス管の製造方法。
- 前記クラッド・ガラスの内部から前記コア・ガラスを除去するために両方の軸端近傍で焼結された前記多孔質ガラス母材を切断することを特徴とする請求項1に記載のガラス管の製造方法。
- コア・トーチの火炎中でSiCl4を前駆ガスとして反応させ、前記コア・トーチの火炎を前記出発部材の端部に向けることにより、前記出発部材の端部に前記コア・スートを堆積させることを特徴とする請求項1に記載のガラス管の製造方法。
- クラッド・トーチの火炎中でSiCl4を前駆ガスとして反応させ、前記クラッド・トーチの火炎を前記コア・スートの周囲に向けることにより前記コア・スートの周囲に前記クラッド・スートを堆積させることを特徴とする請求項1に記載のガラス管の製造方法。
- 前記クラッド・ガラス中に所望量のGeを添加するために、前記クラッド・トーチの火炎中で前駆ガスとしてGeCl4を反応させることを特徴とする請求項7に記載のガラス管の製造方法。
- 前記クラッド・スートの密度が、前記第二の密度から減少するように前記コア・スートの周辺から半径方向の外側に向けて傾斜するような工程を前記クラッド・スートが経ることを特徴とする請求項1に記載のガラス管の製造方法。
- 前記クラッド・スートの平均密度が前記コア・スートの平均密度よりも小さくなるように、前記クラッド・スート密度が傾斜するような工程を前記クラッド・スートが経ることを特徴とする請求項9に記載のガラス管の製造方法。
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US7021083B2 (en) * | 2003-01-29 | 2006-04-04 | Fitel Usa Corp. | Manufacture of high purity glass tubes |
JP4463605B2 (ja) * | 2003-05-09 | 2010-05-19 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材およびその製造方法 |
US20080053155A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Sanket Shah | Optical fiber preform having large size soot porous body and its method of preparation |
JP5173660B2 (ja) * | 2008-08-04 | 2013-04-03 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ用母材の製造方法 |
US8468852B2 (en) * | 2009-12-03 | 2013-06-25 | Corning Incorporated | Soot pressing for optical fiber overcladding |
DE102012013134B4 (de) * | 2012-07-03 | 2014-04-03 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung von Zylindern aus Quarzglas |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2272342A (en) * | 1934-08-27 | 1942-02-10 | Corning Glass Works | Method of making a transparent article of silica |
JPS52121341A (en) * | 1976-04-06 | 1977-10-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production of optical fiber base materials and production apparatus fo r the same |
US4191545A (en) * | 1979-03-02 | 1980-03-04 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Optical fiber fabrication process |
DE3406148A1 (de) * | 1984-02-21 | 1985-09-05 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Verfahren zur herstellung von rohrfoermigen koerpern und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
CA1236695A (en) * | 1984-09-17 | 1988-05-17 | Koichi Abe | Optical fiber |
US4775401A (en) * | 1987-06-18 | 1988-10-04 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Method of producing an optical fiber |
US5201929A (en) * | 1990-03-09 | 1993-04-13 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Apparatus for producing flakes of glass |
DE4117816A1 (de) * | 1991-05-31 | 1992-12-03 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur herstellung einer vorform |
ES2120467T3 (es) * | 1992-11-19 | 1998-11-01 | Shinetsu Quartz Prod | Procedimiento para fabricar un tubo de vidrio de cuarzo de gran tamaño, una preforma y una fibra optica. |
US5281248A (en) * | 1993-02-22 | 1994-01-25 | Litespec, Inc. | VAd process improvements |
DE4418401C1 (de) * | 1994-05-26 | 1995-06-01 | Heraeus Quarzglas | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Platten aus Quarzglas |
JP3406107B2 (ja) * | 1995-01-31 | 2003-05-12 | 信越石英株式会社 | 石英ガラスの製造方法 |
US5827346A (en) * | 1996-01-31 | 1998-10-27 | Lucent Technologies Inc. | Method of making core holes in cast optical fiber preforms by drawing a wire therethrough during solidification |
US6131415A (en) * | 1997-06-20 | 2000-10-17 | Lucent Technologies Inc. | Method of making a fiber having low loss at 1385 nm by cladding a VAD preform with a D/d<7.5 |
US6405563B1 (en) * | 1997-10-16 | 2002-06-18 | Tosoh Corporation | Opaque silica glass article having transparent portion and process for producing same |
CA2336339A1 (en) * | 1998-06-30 | 2000-01-06 | Brian M. Laliberte | Method and apparatus for manufacturing a rare earth metal doped optical fiber preform |
US6236797B1 (en) * | 1998-11-05 | 2001-05-22 | Bridgestone Corporation | Light transmitting tube |
DE10012227C1 (de) * | 2000-03-14 | 2001-05-10 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaskörpers |
US6669892B2 (en) * | 2000-12-18 | 2003-12-30 | Rahul Ganguli | Method for preventing warpage of gel plates during sintering |
WO2002084362A1 (en) * | 2001-04-12 | 2002-10-24 | Omniguide Communications Inc. | High index-contrast fiber waveguides and applications |
US20030070451A1 (en) * | 2001-10-11 | 2003-04-17 | Luc Ouellet | Method of reducing stress-induced mechanical problems in optical components |
US7021083B2 (en) * | 2003-01-29 | 2006-04-04 | Fitel Usa Corp. | Manufacture of high purity glass tubes |
US7647792B2 (en) * | 2003-11-11 | 2010-01-19 | Fujikura Ltd. | Method for fabricating porous silica preform |
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2003
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