JP2004228597A - Ｘｙステージ - Google Patents

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Abstract

【課題】 可動部が高速移動した後の振動を十分に抑制することができ、容易にその移動を制御することができるＸＹステージを提供する。
【解決手段】 可動テーブル５のＸ軸方向の側方にＸ軸ＶＣＭ６が配置され、可動テーブル５のＹ軸方向の側方には、Ｙ軸ＶＣＭ７が配置されている。ている。Ｘ軸ＶＣＭ６には、土台に固定され可動テーブル５側に開口部を有するヨーク部６ｃが設けられている。そして、可動テーブル５の側面に連結されたＸ軸可動子６ａ及びこのＸ軸可動子６ａに巻き付けられたコイル６ｂがヨーク部６ｃ内にその開口部から挿入されている。開口部の大きさは可動テーブル５のＹ軸方向における可動範囲と同程度又はそれ以上であり、可動子６ａ及びコイル６ｂはＹ軸方向で拘束されることなく移動可能である。Ｙ軸ＶＣＭ７は、Ｘ軸ＶＣＭ６と同様の構成を有する。
【選択図】 図１

Description

本発明はワイヤボンダに好適なＸＹステージに関し、特に、高速移動による振動の防止及び制御性の向上を図ったＸＹステージに関する。
半導体装置である大規模集積回路（ＬＳＩ）とリードフレームとを金線等で接続する際には、ＸＹステージを備えたワイヤボンダが使用されている。このようなＸＹステージには、高速で高精度の位置決めが要求されており、駆動／停止後の残留振動は低いことが必要とされる。
図２０は従来のワイヤボンダステージの構造を示す模式図であり、図２１は図２０に示す従来のワイヤボンダステージ上にボンディングヘッドが取り付けられた状態を示す模式図である。
従来のワイヤボンダステージには、正方形板状のベース１０１上に２本のＸ軸ガイド１０２が設けられている。２本のＸ軸ガイド１０２は相互に平行な方向に延びており、この方向をＸ軸方向とする。Ｘ軸ガイド１０２上にＸ軸テーブル１０３が設けられている。Ｘ軸テーブル１０３の下面には、Ｘ軸ガイド１０２に倣うＸ軸倣い部（図示せず）が形成されており、Ｘ軸テーブル１０３はＸ軸方向に移動可能である。一方、Ｘ軸テーブル１０３の上面には、Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向に延びる２本のＹ軸ガイド１０４が設けられている。そして、Ｙ軸ガイド１０４上に可動テーブル１０５が設けられている。可動テーブル１０５の下面には、Ｙ軸ガイド１０４に倣うＹ軸倣い部（図示せず）が形成されており、可動テーブル１０５はＹ軸方向に移動可能であると共に、Ｘ軸テーブル１０３及びＸ軸ガイド１０２によりＸ軸方向にも移動可能である。可動テーブル１０５の上面は平面となっており、ここに、ボンディングヘッド１１０が固定される。
また、可動テーブル１０５のＸ軸方向の側方にＸ軸ボイスコイルモータ（以下、ボイスコイルモータをＶＣＭという。）１０６が配置され、Ｙ軸方向の側方にＹ軸ＶＣＭ１０７が配置されている。
Ｘ軸ＶＣＭ１０６には、土台に固定され横方向に貫通する開口部を有する角筒状のヨーク部１０６ｃが設けられている。ヨーク部１０６ｃの中間高さには、開口部を２つの空間に仕切る鉄芯１０６ｄが設けられている。また、Ｘ軸ＶＣＭ１０６には、可動テーブル１０５に連結されるＸ軸可動子１０６ａ及びこのＸ軸可動子１０６ａに巻き付けられたコイル１０６ｂが設けられている。コイル１０６ｂは鉄芯１０６ｄを包囲するように巻かれている。なお、コイル１０６ｂの横方向の長さは可動テーブル１０５の可動範囲と同程度又はそれ以上であり、Ｘ軸可動子１０６ａ及びコイル１０６ｂはＹ軸方向で拘束されることなく移動可能である。また、ヨーク部１０６ｃの内部の上面及び底面には磁石が取り付けられ、コイル１０６ｂの内部及び周囲に磁界を形成する磁気回路が形成されている。
同様に、Ｙ軸ＶＣＭ１０７には、土台に固定され横方向に貫通する開口部を有する角筒状のヨーク部１０７ｃが設けられている。ヨーク部１０７ｃの中間高さには、開口部を２つの空間に仕切る鉄芯１０７ｄが設けられている。また、Ｙ軸ＶＣＭ１０７には、可動テーブル１０５に連結されるＹ軸可動子１０７ａ及びこのＹ軸可動子１０７ａに巻き付けられたコイル１０７ｂが設けられている。コイル１０７ｂは鉄芯１０７ｄを包囲するように巻かれている。なお、コイル１０７ｂの横方向の長さは可動テーブル１０５の可動範囲と同程度又はそれ以上であり、Ｙ軸可動子１０７ａ及びコイル１０７ｂはＸ軸方向で拘束されることなく移動可能である。また、ヨーク部１０７ｃの内部の上面及び底面には磁石が取り付けられ、コイル１０７ｂの内部及び周囲に磁界を形成する磁気回路が形成されている。
そして、可動テーブル１０５及びＹ軸可動子１０７ａからステージ上段部１０８が構成され、Ｘ軸テーブル１０３及びＸ軸可動子１０６ａからステージ中段部１０９が構成されている。
なお、ボンディングヘッド１１０の質量は、上段部１０８及び中段部１０９のそれと比して大きい。このため、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能な部材であるボンディングヘッド１１０、上段部１０８及び中段部１０９の全体的な重心は、一体化されたボンディングヘッド１１０及び上段部１０８を一つの部材とすると、この部材の重心位置とほぼ一致している。
このように構成された従来のワイヤボンダステージにおいては、中段部１０９はＸ軸ガイド１０２に倣ってベース１０１に対してＸ軸方向に案内され、上段部１０８はＹ軸ガイド１０４に倣ってＸ軸テーブル１０３に対してＹ軸方向に案内されると共に、中段部１０９と一体となってＸ軸方向にも移動可能である。
また、このような可動部を外部からガイドを介して間接的に２次元駆動するＸＹステージでは、位置精度が低いとし、この欠点を解決すべく可動テーブルを直接的に位置決めするＸＹステージが提案されている（特開平１−２９１１９４号公報）。
この公報に記載されたＸＹステージにおいては、ベース上に２個のリニアモータが配設され、各リニアモータのコイルが可動テーブルの裏面に直接連結されている。また、Ｘ軸ガイドレール及びＸ軸リニアガイドによってＸ軸方向に案内されるＬの字型のＸ軸ステージが可動テーブルと同一平面に設けられている。Ｘ軸ステージの一直線部はＹ軸ガイドレールとして機能し、これとＹ軸リニアガイドによって可動テーブルがＹ軸方向に案内される。Ｘ軸ステージ及び可動テーブルとベースとの間には、平面軸受が設けられている。このようにして、可動テーブルがガイドを介することなくリニアモータにより直接的に駆動される。
また、移動を高速化するために可動テーブルをベース表面に平行に保持するリンク機構を設けたＸＹステージが提案されている（特開平１１−１４８９８４号公報）。
この公報に記載されたＸＹステージにおいては、可動テーブルにコイルが固定された２個のＶＣＭが設けられている。また、可動テーブルには、複数のリンクが連結されており、可動テーブルがベースから宙に浮いた状態で、可動テーブル表面とベース表面の平行が保持されている。このような構成とすることにより、テーブルは１個で足りるため、ＸＹステージ自体を小型化することも可能である。
特開平１−２９１１９４号公報 特開平１１−１４８９８４号公報 特開平１１−８２６３号公報 特開平２−５３５４０号公報
しかしながら、図２０及び２１に示した従来のワイヤボンダステージでは、前述のように、ボンディングヘッド１１０の質量が大きいので、動作時にモーメントが発生しやすく、それに耐えるだけの剛性がガイドに必要とされている。図２２はボンディングヘッド１１０をＹ軸方向に移動させたときの可動部の重心ｇの位置の変化を示す図であって、（ａ）は移動前の位置を示す模式図、（ｂ）は移動後の位置を示す模式図である。
通常、ボンディングヘッド１１０は上段部１０８及び中段部１０９より重く、一体化されたボンディングヘッド１１０及び上段部１０８からなる部材の総質量は中段部１０９より重いため、上段部１０８及びボンディングヘッド１１０がＹ軸方向に移動すると、図２２（ａ）及び（ｂ）に示すように、可動部の重心ｇの位置が大きく変化する。このため、この状態でＸ軸ＶＣＭ１０６を駆動した場合、平面視で可動部の重心ｇから著しくずれた位置に駆動力が作用することになる。また、可動テーブル１０５をＸ軸方向に移動させる場合、可動テーブル１０５のＹ軸方向の位置に関係して可動部の重心ｇの位置が変化する。このため、モーメント力が発生し、ヨーイング方向の振動が問題となっている。ワイヤボンダでは、ＸＹステージが停止した直後にボンディングする工程が行われるが、上述のような振動があると位置決め精度が劣る等してボンディング性が著しく損われることになる。そこで、前述のように、Ｘ軸ガイド１０２及びＹ軸ガイド１０４には、可動テーブル１０５及びボンディングヘッド１１０の移動によるモーメント荷重を支え得るだけの剛性が必要とされる。このため、ＸＹステージ自体の小型化が困難であるという問題点がある。
また、特開平１−２９１１９４号公報に記載された従来のＸＹステージにおいては、ＶＣＭのコイルの高さと可動テーブルの高さとが相異しているため、ＶＣＭからの駆動力は可動部の重心には作用しない。このため、可動ステージの高速移動により生じる振動を十分に抑制することは困難である。
更に、位置検出器が設けられている位置が可動テーブルの上方であるため、位置検出の精度は十分ではない。このため、位置制御が困難となる場合がある。
更にまた、特開平１１−１４８９８４号公報に記載された従来のＸＹステージによれば、所期の目的は達成することができたものの、可動ステージの高速移動により生じるヨーイング方向の振動を抑制することは困難である。
また、これらの従来のＸＹステージにおいては、ヨーイング方向の振動が生じるため、振動による影響を低減するためにはフィードバック制御を行う必要があり、また、制御帯域が狭いという問題点がある。
更に、Ｘ軸ＶＣＭ１０６からの推力が作用する部材には、Ｘ軸テーブル１０３、Ｙ軸ガイド１０４、可動テーブル１０５、Ｙ軸可動子１０７ａ及びＹ軸ＶＣＭ１０７のコイル１０７ｂが含まれるので、高推力が必要とされる場合には、Ｘ軸ＶＣＭ１０６には極めて大型なＶＣＭを使用する必要がある。このため、可動部全体の慣性が大きくなり、低い周波数で共振するヨーイング方向等の振動が問題になっている。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、可動部が高速移動した後の振動を十分に抑制することができ、容易にその移動を制御することができるＸＹステージを提供することを目的とする。
本発明に係るＸＹステージは、ベースと、このベース上にＸ−Ｙ平面内でＸ方向及びＹ方向に移動可能に配置された可動テーブルと、この可動テーブル上に設けられた作業部材と、前記可動テーブル及び作業部材からなる可動部の重心位置と同一の高さ位置にて前記可動テーブルに夫々Ｘ方向及びＹ方向の駆動力を与える第１及び第２のリニアモータと、を有することを特徴とする。
前記第１及び第２のリニアモータは、前記可動テーブルに直接連結されていてもよい。
なお、前記ベースに固定され前記Ｘ方向に延びる第１の案内部材と、前記第１の案内部材に案内されて前記Ｘ方向に移動する中間テーブルと、この中間テーブルに固定され前記Ｙ方向に延びる第２の案内部材と、を有し、前記可動テーブルは、前記第２の案内部材により前記Ｙ方向に案内されてもよい。
本発明のＸＹステージにおいては、前記作業部材は、例えばボンディングヘッドであり、ワイヤボンディングに使用される。
また、前記リニアモータは、前記可動部側に前記可動部の可動範囲以上の大きさの開口部を有し土台に固定される固定子と、前記可動テーブルに連結された可動子と、この可動子に巻き付けられ前記開口部内に挿入されるコイルと、を有することができる。この場合、前記コイルは、例えばそのコイル軸を前記可動テーブルの表面に垂直にして巻回される。
更に、前記リニアモータは、水平方向に貫通する開口部を有し土台に固定される固定子と、前記可動テーブルに連結された可動子と、この可動子に巻き付けられ水平方向の長さが前記可動部の可動範囲以上であり前記開口部内に挿入されるコイルと、を有することができる。この場合、前記コイルは、例えばそのコイル軸を前記Ｘ方向又はＹ方向に平行にして巻回される。
更にまた、前記第１及び第２のリニアモータは、夫々土台に固定される固定子と、前記可動テーブルに連結された可動子と、この可動子に巻き付けられたコイルと、を有し、前記第１のリニアモータの可動子を前記可動テーブルとは独立して前記Ｙ方向に移動可能な状態で前記可動テーブルに連結する第１の連結部材と、前記第２のリニアモータの可動子を前記可動テーブルとは独立して前記Ｘ方向に移動可能な状態で前記可動テーブルに連結する第２の連結部材と、を有することができる。この場合、前記第１の連結部材は、前記第１のリニアモータの可動子に前記Ｘ方向に並べて固定された２個の第１の突起部と、これらの２個の第１の突起部の間を通って前記Ｙ方向に延出し前記可動テーブルに固定された第１の突起部案内部材と、を有し、前記第２の連結部材は、前記第２のリニアモータの可動子に前記Ｙ方向に並べて固定された２個の第２の突起部と、これらの２個の第２の突起部の間を通って前記Ｘ方向に延出し前記可動テーブルに固定された第２の突起部案内部材と、を有していてもよい。また、前記第１の連結部材は、前記可動テーブルに前記Ｘ方向に並べて固定された２個の第１の突起部と、これらの２個の第１の突起部の間を通って前記Ｙ方向に延出し前記第１のリニアモータの可動子に固定された第１の突起部案内部材と、を有し、前記第２の連結部材は、前記可動テーブルに前記Ｙ方向に並べて固定された２個の第２の突起部と、これらの２個の第２の突起部の間を通って前記Ｘ方向に延出し前記第２のリニアモータの可動子に固定された第２の突起部案内部材と、を有していてもよい。更に、前記第１及び第２の連結部材は、クロスローラ及びリニアガイドからなる群から選択された１種の直動案内装置であってもよい。
本発明においては、平面視で前記重心を通り前記Ｘ方向に延びる直線上に配置され前記可動部の前記Ｘ方向における移動量を検出する第１の位置検出器と、平面視で前記重心を通り前記Ｙ方向に延びる直線上に配置され前記可動部の前記Ｙ方向における移動量を検出する第２の位置検出器と、を有することができる。また、平面視で前記重心の位置に配置され前記可動部の前記Ｘ方向及びＹ方向における移動量を検出する位置検出器を有していてもよい。これらの場合、例えば前記位置検出器は、光学センサを有していてもよく、例えば前記ベース表面に前記Ｘ方向及びＹ方向における移動量を示す目盛が設けられる。
また、前記リニアモータは、前記固定子内に鉛直方向の磁界を形成する磁気回路を有することができ、前記磁気回路は、例えば上下方向で相異する極が対向するように配置された少なくとも２個の磁石を有する。
また、前記位置検出器により検出された移動量に基づいて前記リニアモータの動作を制御するフィードバック制御部を有してもよく、前記リニアモータは、ＡＣリニアモータであってもよい。
本発明においては、可動部がリニアモータによって駆動される際にリニアモータからの力が可動部の重心に作用する。このため、可動テーブルの位置がその駆動方向に直交する方向にずれても、常に重心を駆動することになるので、可動テーブルを高速移動しても、モーメント力はほとんど発生せず、ヨーイング方向の振動はほとんど生じない。このため、可動部を案内するために従来のものよりも剛性が低い案内部材を使用しても、安定した動作が可能であるため、軽量化・小型化が可能となる。また、ヨーイング方向の振動が抑制されるので、制御可能な周波数帯域が広くなる。
以上詳述したように、本発明によれば、可動部がリニアモータによって駆動される際にリニアモータからの力が可動部の重心に作用するので、可動テーブルの位置がその駆動方向に直交する方向にずれても、常に重心を駆動することができる。このため、可動テーブルを高速移動しても、モーメント力はほとんど発生せず、高速移動による振動を防止することができる。また、ヨーイング方向の振動を抑制することができるので、制御可能な周波数帯域を広げ、制御性を向上させることができる。
更に、可動部を案内するために従来のものよりも剛性が低い案内部材を使用しても、安定した動作が可能であるため、ＸＹステージ自体を軽量化・小型化することができる。
特に、請求項９乃至１２に係る発明によれば、可動部と両軸のリニアモータの可動子とを独立して移動可能としているので、冗長性（移動のための余裕）を低減することができると共に、推力が作用する部材数を低減することができる。このため、リニアモータを小型化することができる。従って、可動部の慣性が小さくなって固有振動数が高くなるので、振動をより一層容易に抑制することができる。
以下、本発明の実施例に係るワイヤボンダステージについて、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明の第１の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図であり、図２は図１に示すワイヤボンダステージ上にボンディングヘッドが取り付けられた状態を示す模式図である。
本実施例においては、例えば正方形板状のベース１上に２本のＸ軸ガイド（第１の案内部材）２が設けられている。２本のＸ軸ガイド２は相互に平行な方向に延びており、この方向をＸ軸方向とする。Ｘ軸ガイド２上にＸ軸テーブル（中間テーブル）３が設けられている。Ｘ軸テーブル３の下面には、Ｘ軸ガイド２に倣うＸ軸倣い部（図示せず）が形成されており、Ｘ軸テーブル３はＸ軸方向に移動可能である。一方、Ｘ軸テーブル３の上面には、Ｘ軸方向に対して直交するＹ軸方向に延びる２本のＹ軸ガイド（第２の案内部材）４が設けられている。そして、Ｙ軸ガイド４上に可動テーブル５が設けられている。可動テーブル５の下面には、Ｙ軸ガイド４に倣うＹ軸倣い部（図示せず）が形成されており、可動テーブル５はＹ軸方向に移動可能であると共に、Ｘ軸テーブル３及びＸ軸ガイド２によりＸ軸方向にも移動可能である。可動テーブル５の上面は平面となっており、ここに、ボンディングヘッド（作業部材）１０が固定される。
また、可動テーブル５のＸ軸方向の側方にＸ軸ＶＣＭ（リニアモータ）６が配置されている。図３はＸ軸ＶＣＭ６の構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線による断面図である。
Ｘ軸ＶＣＭ６には、土台に固定され可動テーブル５側に開口部を有するヨーク部６ｃが設けられている。そして、可動テーブル５の側面に連結されたＸ軸可動子６ａ及びこのＸ軸可動子６ａに巻き付けられたコイル６ｂがヨーク部６ｃ内にその開口部から挿入されている。コイル６ｂは可動テーブル５の表面と平行に巻かれている。開口部の大きさは可動テーブル５のＹ軸方向における可動範囲と同程度又はそれ以上であり、可動子６ａ及びコイル６ｂはＹ軸方向で拘束されることなく移動可能である。また、ヨーク部６ｃの内部の上面には、Ｓ極が下方を向く磁石６ｄ及びＮ極が下方を向く磁石６ｅが取り付けられている。更に、ヨーク部６ｃの内部の底面には、Ｎ極が上方を向く磁石６ｆ及びＳ極が上方を向く磁石６ｇが夫々磁石６ｄ及び６ｅと対向する位置に取り付けられている。このようにして、Ｘ軸ＶＣＭ６にコイル６ｂの内部及び周囲に磁界を形成する磁気回路が形成されている。
このように構成されたＸ軸ＶＣＭ６においては、図３（ｂ）に矢印で示すような磁界が形成され、図３（ｂ）に示す方向の電流がコイル６ｂに流れた場合、図中の右方向に可動子６ａが移動する。
また、可動テーブル５のＹ軸方向の側方には、Ｙ軸ＶＣＭ（リニアモータ）７が配置されている。Ｙ軸ＶＣＭ７には、Ｘ軸ＶＣＭ６と同様に、土台に固定され可動テーブル５側に開口部を有するヨーク部７ｃが設けられている。そして、可動テーブル５の側面に連結されたＹ軸可動子７ａ及びこのＹ軸可動子７ａに巻き付けられたコイル７ｂがヨーク部７ｃ内にその開口部から挿入されている。コイル７ｂは可動テーブル５の表面と平行に巻かれている。開口部の大きさは可動テーブル５のＸ軸方向における可動範囲と同程度又はそれ以上であり、可動子７ａ及びコイル７ｂはＸ軸方向で拘束されることなく移動可能である。また、Ｙ軸ＶＣＭ７には、Ｘ軸ＶＣＭ６と同様に、コイル７ｂの内部及び周囲に磁界を形成する磁気回路が形成されている。
そして、Ｙ軸倣い部を含む可動テーブル５、Ｘ軸可動子６ａ及びＹ軸可動子７ａからステージ上段部８が構成され、Ｘ軸倣い部を含むＸ軸テーブル３及びＹ軸ガイド４からステージ中段部９が構成されている。また、可動テーブル５及びボンディングヘッド１０から可動部が構成されている。
なお、ボンディングヘッド１０の質量は、上段部８及び中段部９のそれと比して大きい。このため、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動可能な部材であるボンディングヘッド１０、上段部８及び中段部９からなる可動部の全体的な重心は、一体化されたボンディングヘッド１０及び上段部８を一つの部材とすると、この部材の重心位置とほぼ一致することになる。従って、ボンディングヘッド１０をＸ軸方向及びＹ軸方向のいずれの方向に移動させる場合でも、重心の位置も実質的に同じ距離だけ同じ方向に同時に移動することになる。
更に、Ｘ軸テーブル３の下面には、可動部のベース１に対するＸ軸方向の相対的な位置を検出するＸ軸方向位置検出器（図示せず）が取り付けられ、可動テーブル５の下面には、可動部のベース１に対するＹ軸方向の相対的な位置を検出するＹ軸方向位置検出器（図示せず）が取り付けられている。なお、Ｘ軸方向位置検出器が取り付けられた位置を通りＸ軸方向に平行な直線は、可動部の重心を通りＸ軸方向に平行な直線と平面視で実施的に重なり、Ｙ軸方向位置検出器が取り付けられた位置を通りＹ軸方向に平行な直線は、可動部の重心を通りＹ軸方向に平行な直線と平面視で実質的に重なっている。Ｘ軸位置検出器及びＹ軸位置検出器としては、例えば一次元の光学センサ及び磁気センサ等が使用可能である。光学センサを使用する場合、例えば、これと対向するベース１の表面の位置にＸ軸方向及びＹ軸方向の移動量を示す目盛が設けられる。
また、Ｘ軸位置検出器及びＹ軸位置検出器の替わりに、平面内の移動量を検出することができる二次元光学センサからなる位置検出器を使用することもできる。この場合、位置検出器は可動テーブル５の下面に取り付けられ、ベース１の表面にＸ軸方向及びＹ軸方向の移動量を示す目盛が設けられる。
次に、上述のように構成された第１の実施例のワイヤボンダステージの動作について説明する。図４はボンディングヘッド１０をＹ軸方向に移動させたときの可動部の重心Ｇの位置の変化を示す図であって、（ａ）は移動前の位置を示す模式図、（ｂ）は移動後の位置を示す模式図である。
可動テーブル５をＹ軸方向に移動させる場合には、Ｙ軸ＶＣＭ７を駆動する。これにより、可動テーブル５がＹ軸ガイド４に倣ってＸ軸テーブル３に対してＹ軸方向に案内される。この際に可動テーブル５のＸ軸方向の位置が変化しても、Ｙ軸可動子７ａはＸ軸方向に拘束されることなく移動することが可能であり、また、一体化されたボンディングヘッド１０と上段部８とからなる部材の総質量が中段部９のそれよりも重いため、可動部の重心Ｇの位置はほとんど変化しない。従って、Ｙ軸ＶＣＭ７からの力は可動部の重心Ｇの位置に作用することになる。
一方、可動テーブル５をＸ軸方向に移動させる場合には、Ｘ軸ＶＣＭ６を駆動する。これにより、Ｘ軸テーブル３がＸ軸ガイド２に倣ってベース１に対してＸ軸方向に案内され、この上に設けられている可動テーブル５がＸ軸方向に移動する。この際に上段部８のＹ軸方向の位置が変化しても、可動テーブル５に直接連結されたＸ軸可動子６ａはＹ軸方向に拘束されることなく移動することが可能であるため、可動部の重心Ｇの位置はほとんど変化しない。従って、Ｘ軸ＶＣＭ６からの力は可動部の重心Ｇの位置に作用することになる。
このように、本実施例のワイヤボンダステージによれば、可動テーブル５がＸ軸方向及びＹ軸方向のいずれの方向に移動する場合であっても、重心Ｇの位置がほとんど変化せず重心駆動となるため、モーメント力はほとんど発生しない。従って、例えば、可動テーブル５がＹ軸方向に移動しても、Ｘ軸方向のＶＣＭ駆動力に対する位置の伝達特性上ヨーイングピークは小さいため、ＸＹ平面内の振動に関しては、Ｙ軸ガイド４のＸ軸並進方向の剛性に着目すればよい。また、Ｙ軸方向の駆動時には、モーメント荷重を支える剛性を考慮しなくてよい。一般に、並進方向の剛性は、ヨーイング方向に対する剛性より大きいので、本実施例では、Ｘ軸ガイド２及びＹ軸ガイド４には、従来のものと比して剛性が低いガイドを使用しても安全である。剛性が低いガイドを使用する場合、ガイドを小型化することが可能であり、ガイドを保持する部分をも小型化することができる。この結果、可動部総質量が小さくなるため、その移動を高速化することができる。
また、上段部８の側面にＸ軸可動子６ａ及びＹ軸可動子７ａを直接連結することにより得られる効果として、ガイドに起因する振動が抑制される。図５（ａ）は本発明の実施例のようにＸ軸可動子が可動テーブルに連結されているモデルを示す模式図、（ｂ）は従来のようにＸ軸可動子がＸ軸テーブルに連結されているモデルを示す模式図である。
図５（ａ）に示すモデルにおける上段部及びボンディングヘッドからなる部材２１及び中段部２２の運動方程式は、夫々下記数式１及び２で表される。
Figure 2004228597
Figure 2004228597
但し、Ｍは部材２１の総質量、ｍは中段部２２の質量、Ｋは中段部２２上に設けられたＹ軸ガイドの剛性値、ｋはベース２３上に設けられたＸ軸ガイドの剛性値、ＦはＸ軸ＶＣＭによる駆動力である。
また、このモデルの共振周波数ωは下記数式３で表される。
Figure 2004228597
一方、図５（ｂ）に示すモデルにおける上段部及びボンディングヘッドからなる部材２１及び中段部２２の運動方程式は、夫々下記数式４及び５で表される。
Figure 2004228597
Figure 2004228597
このモデルの共振周波数は、図５（ａ）に示すモデルと同様に、下記数式６で表される。
Figure 2004228597
なお、いずれのモデルにおいても、剛性値ｋはスライド方向のものとなるため、０となる。
図６は中段部２２の質量ｍが部材２１の総質量Ｍと等しいときの周波数特性を示す図であって、（ａ）は利得と周波数との関係を示すグラフ図、（ｂ）は位相と周波数との関係を示すグラフ図である。図７は中段部２２の質量ｍが部材２１の総質量Ｍより小さいときの周波数特性を示す図であって、（ａ）は利得と周波数との関係を示すグラフ図、（ｂ）は位相と周波数との関係を示すグラフ図である。また、図８（ａ）及び（ｂ）は図６（ａ）及び（ｂ）に対する閉ループ特性を示すグラフ図であり、図９（ａ）及び（ｂ）は図７（ａ）及び（ｂ）に対する閉ループ特性を示すグラフ図である。
数式３及び６より、上段部とボンディングヘッドとからなる部材２１及び中段部２２からなる可動部の総質量が一定ならば、中段部２２の質量ｍが部材２１の総質量Ｍと等しいとき、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、共振周波数ωは最も低くなる。なお、通常、ワイヤボンダのボンディングヘッドは、上段部及び中段部と比較して重く、部材２１の総質量は中段部２２と比較して大きい。
前述の本発明の実施例では、上段部８にＸ軸可動子６ａ及びＹ軸可動子７ａの双方が直接連結されているため、中段部９に一方の軸方向に駆動するＶＣＭの可動子が連結されている場合と比して、中段部の質量と比較した上段部８及びボンディングヘッド１０からなる部材の総質量はより重くなり、可動部全体の質量が一定であるならば、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、固有振動数（共振周波数）が高くなる。また、ＸＹステージに対しフィードバック制御を行う場合には、制御上も問題となる固有振動数が高くなるため、図８（ａ）及び（ｂ）と図９（ａ）及び（ｂ）とを比較すると分かるように、制御帯域が広がって制御性が向上する。
本実施例によれば、前述のように、ヨーイング方向の振動を抑制することができる。以下、この効果について、図面を参照して説明する。図１０は従来のワイヤボンダステージにおける周波数特性を示す図であって、（ａ）は利得と周波数との関係を示すグラフ図、（ｂ）は位相と周波数との関係を示すグラフ図である。図１１は本発明の実施例に係るワイヤボンダステージにおける周波数特性を示す図であって、（ａ）は利得と周波数との関係を示すグラフ図、（ｂ）は位相と周波数との関係を示すグラフ図である。また、図１２（ａ）及び（ｂ）は図１０（ａ）及び（ｂ）に対する閉ループ特性を示すグラフ図であり、図１３（ａ）及び（ｂ）は図１１（ａ）及び（ｂ）に対する閉ループ特性を示すグラフ図である。
従来のワイヤボンダステージでは、重心駆動でないために生じるヨーイング方向の振動が生じており、この振動が制御上問題となっていた。このヨーイング方向の振動は、図１０（ａ）及び（ｂ）に示すように、並進方向の振動よりも低い周波数で生じている。一方、本発明の実施例では、可動部の重心位置が駆動されるので、図１１（ａ）及び（ｂ）に示すように、ヨーイング方向の振動が抑制されている。また、メカ共振ピークの影響を制御上受けにくくなるため、図１２（ａ）及び（ｂ）と図１３（ａ）及び（ｂ）とを比較すると分かるように、安定した広い制御帯域を得ることができる。
図１４は一次元センサの位置検出器の位置による検出量の変化を説明するための模式図である。可動部の重心を原点Ｏとする座標系において、位置検出器が重心からｒの距離でＸ軸からθ゜回転した位置Ａに設けられている場合に、この位置検出器が更にＸ軸からθ0゜回転すると、その位置検出器がＸ軸方向位置検出器であるときの検出量及びＹ軸方向位置検出器であるときの検出量は、夫々下記数式７及び８で表される。
Figure 2004228597
Figure 2004228597
従って、０≦θ≦１８０゜の範囲では、Ｘ軸方向位置検出器をθ＝０゜の位置Ｂに配置し、Ｙ軸方向位置検出器をθ＝９０゜の位置Ｃに配置した時にそれらの検出量は最も小さくなる。従って、一次元センサを使用する場合には、いずれかの駆動軸方向の位置検出器を可動部の重心を通るその駆動軸上に配置すると、制御系からはメカ共振ピークが認識されにくくなるため、移動量に基づいて制御を行うフィードバック制御部を設け制御的フィードバックを構成したときの閉ループ制御帯域の拡大が可能となり、制御性が向上する。一方、二次元センサを使用する場合には、位置検出器を可動部の重心に配置すれば、同様に制御性が向上する。
なお、ＶＣＭの構造は、図３（ａ）及び（ｂ）に示すものに限定されるものではない。図１５は他のＶＣＭの構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線による断面図である。
このＶＣＭには、土台に固定され横方向に貫通する開口部を有する角筒状のヨーク部３１が設けられている。ヨーク部３１の中間高さには、開口部を２つの空間に仕切る鉄芯３２が設けられている。また、ＶＣＭには、可動テーブルに連結される可動子３３及びこの可動子３３に巻き付けられたコイル３４が設けられている。コイル３４は鉄芯３２を包囲するように巻かれている。可動子３３には、可動テーブルに固定される固定部３３ａ及びこの固定部３３ａとコイル３４が巻き付けられた部分とを連結する連結部３３ｂが設けられている。なお、コイル３４の横方向の長さは可動テーブルの可動範囲と同程度又はそれ以上であり、可動子３３及びコイル３４はその駆動方向と直交する方向で拘束されることなく移動可能である。また、ヨーク部３１の内部の上面には、Ｎ極が下方を向く磁石３５が取り付けられている。更に、ヨーク部３１の内部の底面には、Ｓ極が上方を向く磁石３６が磁石３５と対向する位置に取り付けられている。このようにして、ＶＣＭにコイル３４の内部及び周囲に磁界を形成する磁気回路が形成されている。
このように構成されたＶＣＭにおいては、図１５（ｂ）に矢印で示すような磁界が形成され、図１５（ｂ）に示す方向の電流がコイル３４に流れた場合、図中の右方向に可動子３３が移動する。
また、リニアモータは、ＶＣＭに限定されるものではなく、例えば、ＡＣリニアモータを使用しても本発明による効果が得られる。
更に、前述の実施例においては、案内部材を使用して機械的に可動テーブルを案内しているが、可動部の重心を駆動する構成とすれば、空気軸受けを使用してもよい。
次に、本発明の第２の実施例について説明する。第２の実施例においては、Ｘ軸ＶＣＭの可動子及びＹ軸ＶＣＭの可動子が夫々可動テーブルのＹ軸方向及びＸ軸方向での移動に拘束されない構成となっている。図１６は本発明の第２の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。なお、図１６に示す第２の実施例において、図１等に示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
第２の実施例においては、可動テーブル５のＸ軸方向の端部上にＹ軸方向に延びる板状のカムフォロワガイド（第１の突起部案内部材）５１が設けられ、可動テーブル５のＹ軸方向の端部上にＸ軸方向に延びる板状のカムフォロワガイド（第２の突起部案内部材）５２が設けられている。本実施例では、図１６に示すように、カムフォロワガイド５１及び５２は互いに連結されているが、分離していてもよい。
また、可動テーブル５のカムフォロワガイド５１が設けられた側の端部の側方にＸ軸ＶＣＭ５６が配置され、カムフォロワガイド５２が設けられた側の端部の側方にＹ軸ＶＣＭ５７が配置されている。
Ｘ軸ＶＣＭ５６には、土台に固定され横方向に貫通する開口部を有する角筒状のヨーク部５６ｃが設けられている。ヨーク部５６ｃの中間高さには、開口部を２つの空間に仕切る鉄芯５６ｄが設けられている。また、Ｘ軸ＶＣＭ５６には、可動テーブル５の上方まで延びるＸ軸可動子５６ａ及びこのＸ軸可動子５６ａに巻き付けられたコイル５６ｂが設けられている。コイル５６ｂは鉄芯５６ｄを包囲するように巻かれている。なお、コイル５６ｂの縦方向及び横方向の長さは、例えば鉄心５６ｄに接触しない程度のものである。Ｘ軸可動子５６ａの端部には、垂直方向に延びる２本のカムフォロワ（第１の突起部）５６ｆ及び５６ｇが固定されている。２本のカムフォロワ５６ｆ及び５６ｇは、それらの間にカムフォロワガイド５１を挟むようにして配置されている。また、ヨーク部５６ｃの内部の上面及び底面には磁石（図示せず）が取り付けられ、コイル５６ｂの内部及び周囲に磁界を形成する磁気回路が形成されている。即ち、Ｘ軸ＶＣＭ５６は、図３に示すような構造を有している。更に、ヨーク部５６ｃの両側方で土台に固定されたコイルガイド５６ｈが設けられている。このコイルガイド５６ｈに倣ってＸ軸可動子５６ａがＸ軸方向に移動する。
同様に、Ｙ軸ＶＣＭ５７には、土台に固定され横方向に貫通する開口部を有する角筒状のヨーク部５７ｃが設けられている。ヨーク部５７ｃの中間高さには、開口部を２つの空間に仕切る鉄芯５７ｄが設けられている。また、Ｙ軸ＶＣＭ５７には、可動テーブル５の上方まで延びるＹ軸可動子５７ａ及びこのＹ軸可動子５７ａに巻き付けられたコイル５７ｂが設けられている。コイル５７ｂは鉄芯５７ｄを包囲するように巻かれている。なお、コイル５７ｂの縦方向及び横方向の長さは、例えば鉄心５７ｄに接触しない程度のものである。Ｙ軸可動子５７ａの端部には、垂直方向に延びる２本のカムフォロワ５７（第２の突起部）ｆ及び５７ｇが固定されている。２本のカムフォロワ５７ｆ及び５７ｇは、それらの間にカムフォロワガイド５２を挟むようにして配置されている。また、ヨーク部５７ｃの内部の上面及び底面には磁石が取り付けられ、コイル５７ｂの内部及び周囲に磁界を形成する磁気回路が形成されている。即ち、Ｙ軸ＶＣＭ５７は、図３に示すような構造を有している。更に、ヨーク部５７ｃの両側方で土台に固定されたコイルガイド５７ｈが設けられている。このコイルガイド５７ｈに倣ってＹ軸可動子５７ａがＹ軸方向に移動する。
このように、第２の実施例においては、Ｘ軸可動子５６ａ及びＹ軸可動子５７ａは、カムフォロワ及びカムフォロワガイドを介して可動テーブル５に連結されている。
次に、上述のように構成された第２の実施例のワイヤボンダステージの動作について説明する。
可動テーブル５をＸ軸方向に移動させる場合には、Ｘ軸ＶＣＭ５６を駆動する。これにより、可動テーブル５に固定されたカムフォロワガイド５１にカムフォロワ５６ｆ又は５６ｇから駆動力が伝達されるので、Ｘ軸テーブル３がＸ軸ガイド２に倣ってベース１に対してＸ軸方向に案内され、この上に設けられている可動テーブル５がＸ軸方向に移動する。このとき、カムフォロワガイド５２もＸ軸方向に移動するが、カムフォロワガイド５２はカムフォロワ５７ｆ及び５７ｇの間を移動するのみで、これらを拘束しないので、Ｙ軸可動子５７ａは停止したままである。即ち、可動テーブル５はＹ軸ＶＣＭ５７とは独立して移動することになる。
一方、可動テーブル５をＹ軸方向に移動させる場合には、Ｙ軸ＶＣＭ５７を駆動する。これにより、可動テーブル５に固定されたカムフォロワガイド５２にカムフォロワ５７ｆ又は５７ｇから駆動力が伝達されるので、可動テーブル５がＹ軸ガイド４に倣ってＸ軸テーブル３に対してＹ軸方向に案内される。このとき、カムフォロワガイド５１もＹ軸方向に移動するが、カムフォロワガイド５１はカムフォロワ５６ｆ及び５６ｇの間を移動するのみで、これらを拘束しないので、Ｘ軸可動子５６ａは停止したままである。即ち、可動テーブル５はＸ軸ＶＣＭ５６とは独立して移動することになる。
このように、第２の実施例によれば、Ｘ軸ＶＣＭ５６のＸ軸可動子５６ａ、Ｙ軸ＶＣＭ５７のＹ軸可動子５７ａをカムフォロワ及びカムフォロワガイドを介して可動テーブル５に連結しているので、可動部と両軸のＶＣＭの可動子とが独立して移動することができる。このため、Ｙ軸可動子５７ａにＸ軸方向に広く移動可能となるような冗長性を持たせる必要がなく、Ｙ軸ＶＣＭ５７を小型化できる。また、Ｙ軸可動子５７ａが可動テーブル５に固定されていないため、従来と同程度のＸ軸方向の推力を可動テーブル５に印加する場合、従来と比較して小さなＸ軸ＶＣＭ５６を使用することができる。このため、可動部の慣性が小さくなって固有振動数が高くなるので、振動を抑制することができる。更に、両軸のＶＣＭの可動子が可動部に固定されないので、Ｘ軸ガイド２及びＹ軸ガイド４に作用する質量が小さくなる。この結果、Ｘ軸ガイド２及びＹ軸ガイド４に、従来のものよりも剛性が低いガイドを使用することができ、ワイヤボンダステージ自体を軽量化することができる。
更にまた、第２の実施例においても、上段部にＸ軸可動子５６ａ及びＹ軸可動子５７ａが連結されているので、Ｘ軸ガイド２及びＹ軸ガイド４の固有振動数が大きくなり、制御性が向上する。即ち、前述のように、ガイドに起因する振動周波数は、中段部と上段部とから構成される可動部の総質量が一定ならば、中段部及び上段部の質量が等しいときに一番低くなり、ＸＹステージは最も不利な構成となる。但し、ワイヤボンダの場合、一般にボンディングヘッドが他の部材と比して著しく重いため、ボンディングヘッド及び上段部の総質量が中段部の質量と比して大きく、振動周波数は大きい。特に、本実施例のように、Ｘ軸可動子５６ａ及びＹ軸可動子５７ａの両可動子を上段部に連結すると、上段部に対して中段部がより一層軽くなって固有振動数が大きくなるので、制御性が著しく向上する。
次に、本発明の第３の実施例について説明する。第３の実施例では、各ＶＣＭと可動テーブルとの連結方法が第２の実施例と異なっている。図１７は本発明の第３の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。
第３の実施例においては、可動テーブル５のＸ軸方向の端部上に２個のカムフォロワ５６ｉ及び５６ｊが形成されている。２個のカムフォロワ５６ｉ及び５６ｊはＸ軸方向に並んで配置されている。また、可動テーブル５のＹ軸方向の端部上に２個のカムフォロワ５７ｉ及び５７ｊが形成されている。２個のカムフォロワ５７ｉ及び５７ｊはＹ軸方向に並んで配置されている。
一方、Ｘ軸可動子５６ａの端部にはカムフォロワは設けられておらず、端部から下方向に突出した板状のカムフォロワガイド５３が設けられている。このカムフォロワガイド５３の端面はカムフォロワ５７ｉ及び５７ｊ間で可動テーブル５に当接する。
同様に、Ｙ軸可動子５７ａの端部にはカムフォロワは設けられておらず、端部から下方向に突出した板状のカムフォロワガイド５４が設けられている。このカムフォロワガイド５４の端面はカムフォロワ５７ｉ及び５７ｊ間で可動テーブル５に当接する。
このように構成された第３の実施例においては、カムフォロワ及びカムフォロワガイドが固定された部材が、第２の実施例と入れ替わっているのみであるので、第２の実施例と同様の動作により同様の効果が得られる。
次に、本発明の第４及び第５の実施例について説明する。第４及び第５の実施例においては、各可動子と可動テーブルとがスライダ及びレールから構成されるリニアガイドを介して連結されている。
図１８は本発明の第４の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図であり、図１９は本発明の第５の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。
第４の実施例においては、可動テーブル５のＸ軸方向の一側面にレール６１ａが取り付けられ、Ｙ軸方向の一側面にレール６２ａが取り付けられている。また、Ｘ軸可動子５６ａの端面にレール６１ａに倣って滑動するスライダ６１ｂが取り付けられ、Ｙ軸可動子５７ａの端面にレール６２ａに倣って滑動するスライダ６２ｂが取り付けられている。レール６１ａ及びスライダ６１ｂから１個のリニアガイドが構成され、レール６２ａ及びスライダ６２ｂから１個のリニアガイドが構成されている。なお、本実施例では、リニアガイドが設けられているので、コイルガイド５６ｈ及び５７ｈは、不要である。
このように構成された第４の実施例においても、可動テーブル５がＸ軸方向に移動するときは、Ｙ軸可動子５７ａは停止したままであり、可動テーブル５がＹ軸方向に移動するときは、Ｘ軸可動子５６ａは停止したままである。従って、第２の実施例と同様の効果が得られる。
第５の実施例においては、可動テーブル５の側面にスライダ６１ｂ及び６２ｂが取り付けられ、Ｘ軸可動子５６ａ及びＹ軸可動子５７ａの端面に夫々レール６１ａ及び６２ａが取り付けられている。本実施例においても、リニアガイドが設けられているので、コイルガイド５６ｈ及び５７ｈは、不要である。
このように構成された第５の実施例においては、スライダ及びレールが取り付けられた部材が、第４の実施例と入れ替わっているのみであるので、第４の実施例と同様の動作により、第２の実施例と同様の効果が得られる。
なお、リニアガイドの他にクロスローラ等の直動案内装置を使用することも可能である。また、第２乃至第５の実施例においては、図１５に示すようなＶＣＭを使用しているが、第１の実施例と同様な図３に示すようなＶＣＭを使用することもできる。更に、第１の実施例と同様、リニアモータは、ＶＣＭに限定されるものではなく、例えば、ＡＣリニアモータを使用しても本発明による効果が得られる。
本発明の第１の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。 図１に示すワイヤボンダステージ上にボンディングヘッドが取り付けられた状態を示す模式図である。 Ｘ軸ＶＣＭ６の構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線による断面図である。 ボンディングヘッド１０をＹ軸方向に移動させたときの可動部の重心Ｇの位置の変化を示す図であって、（ａ）は移動前の位置を示す模式図、（ｂ）は移動後の位置を示す模式図である。 （ａ）は従来のようにＸ軸可動子がＸ軸テーブルに連結されているモデルを示す模式図、（ｂ）は本発明の実施例のようにＸ軸可動子が可動テーブルに連結されているモデルを示す模式図である。 中段部２２の質量ｍが部材２１の総質量Ｍと等しいときの周波数特性を示す図であって、（ａ）は利得と周波数との関係を示すグラフ図、（ｂ）は位相と周波数との関係を示すグラフ図である。 中段部２２の質量ｍが部材２１の総質量Ｍより小さいときの周波数特性を示す図であって、（ａ）は利得と周波数との関係を示すグラフ図、（ｂ）は位相と周波数との関係を示すグラフ図である。 （ａ）及び（ｂ）は図６（ａ）及び（ｂ）に対する閉ループ特性を示すグラフ図である。 （ａ）及び（ｂ）は図７（ａ）及び（ｂ）に対する閉ループ特性を示すグラフ図である。 従来のワイヤボンダステージにおける周波数特性を示す図であって、（ａ）は利得と周波数との関係を示すグラフ図、（ｂ）は位相と周波数との関係を示すグラフ図である。 本発明の実施例に係るワイヤボンダステージにおける周波数特性を示す図であって、（ａ）は利得と周波数との関係を示すグラフ図、（ｂ）は位相と周波数との関係を示すグラフ図である。 （ａ）及び（ｂ）は図１０（ａ）及び（ｂ）に対する閉ループ特性を示すグラフ図である。 （ａ）及び（ｂ）は図１１（ａ）及び（ｂ）に対する閉ループ特性を示すグラフ図である。 一次元センサの位置検出器の位置による検出量の変化を説明するための模式図である。 他のＶＣＭの構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線による断面図である。 本発明の第２の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。 本発明の第３の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。 本発明の第４の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。 本発明の第５の実施例に係るワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。 従来のワイヤボンダステージの構造を示す模式図である。 図５に示す従来のワイヤボンダステージ上にボンディングヘッドが取り付けられた状態を示す模式図である。 ボンディングヘッド１１０をＹ軸方向に移動させたときの可動部の重心ｇの位置の変化を示す図であって、（ａ）は移動前の位置を示す模式図、（ｂ）は移動後の位置を示す模式図である。
符号の説明
１、１０１；ベース
２、１０２；Ｘ軸ガイド
３、１０３；Ｘ軸テーブル
４、１０４；Ｙ軸ガイド
５、１０５；可動テーブル
６、５６、１０６；Ｘ軸ＶＣＭ
６ａ、５６ａ、１０６ａ；Ｘ軸可動子
６ｂ、５６ｂ、１０６ｂ；Ｘ軸コイル
６ｃ、５６ｃ、１０６ｃ；ヨーク部
６ｄ、６ｅ、６ｆ、６ｇ；磁石
７、５７、１０７；Ｙ軸ＶＣＭ
７ａ、５７ａ、１０７ａ；Ｙ軸可動子
７ｂ、５７ｂ、１０７ｂ；Ｙ軸コイル
７ｃ、１０７ｃ；磁気回路
８、１０８；上段部
９、１０９；中段部
１０、１１０；ボンディングヘッド
２１；部材
２２；中段部
２３；ベース
３１；ヨーク部
３２、１０６ｄ；鉄芯
３３；可動子
３３ａ；固定部
３３ｂ；連結部
３４；コイル
３５、３６；磁石
５１、５２；カムフォロワガイド
５６ｆ、５６ｇ、５７ｆ、５７ｇ；カムフォロワ
５６ｈ、５７ｈ；コイルガイド
６１ａ、６２ａ；レール
６１ｂ、６２ｂ；スライダ
Ｇ、ｇ；重心

Claims (1)

  1. ベースと、このベース上にＸ−Ｙ平面内でＸ方向及びＹ方向に移動可能に配置された可動テーブルと、この可動テーブル上に設けられた作業部材と、前記可動テーブル及び作業部材からなる可動部の重心位置と同一の高さ位置にて前記可動テーブルに夫々Ｘ方向及びＹ方向の駆動力を与える第１及び第２のリニアモータと、を有することを特徴とするＸＹステージ。
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