JP2004228319A - Method of manufacturing laminated ceramic electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品の製造方法に関し、より詳細には、複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、積層体を得る工程が改良された積層セラミック電子部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、積層セラミック電子部品の製造に際しては、複数枚のセラミックグリーンシートが積層されてマザーの積層体が得られている。この複数枚のセラミックグリーンシートを積層する方法の一例が、下記の特許文献1に記載されている。特許文献1に記載の方法では、積層セラミックコンデンサの製造に際し、長尺状のセラミックグリーンシートに内部電極が印刷される。しかる後、内部電極が印刷された長尺状のセラミックグリーンシートから所定のサイズのセラミックグリーンシートが打ち抜かれ、積層ステージにおいて積層される。このようにして、順次複数枚のセラミックグリーンシートが積層され、しかる後複数枚のセラミックグリーンシートを厚み方向に加圧することによりマザーのセラミック積層体が得られている。
【0003】
【特許文献1】
特開平8−97074号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の積層セラミック電子部品の製造に際しては、図5(a)に示すように、積層ステージ101上において複数枚のセラミックグリーンシート102〜104が積層されていく。この場合、複数枚のセラミックグリーンシート同士は、セラミックグリーンシートが有機バインダー及び溶剤を含むため密着する。しかしながら、積層ステージ101はステンレスなどの金属から構成されているため、セラミックグリーンシートが積層ステージ101に密着し難い。従って、積層体105が乾燥等により収縮すると、図5(b)に示すように、積層体105の端部が積層ステージ101の上面101aから浮くことがあった。
【0005】
このような浮きが生じている積層体部分、特に、コーナー部分では、積層されているセラミックグリーンシートにしわが寄ったり、積層体が部分的に収縮したりし、それによって積層ずれが生じるという問題があった。積層ずれが生じたマザーのセラミック積層体から、個々の積層セラミック電子部品単位の積層体を切断した場合、内部電極が個々の積層セラミック電子部品単位の積層体中において正しい位置に配置されないことになる。例えば、図6に示すように、積層体111において、複数の内部電極112が幅方向中央に位置していなければならないにも関わらず、積層ずれにより、側面111a側から側面111b側にずれて配置されることがあった。甚だしき場合には、内部電極112が、側面111bに露出することさえあった。
【0006】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、複数枚のセラミックグリーンシートを積層するにあたり、積層ずれが生じ難い工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法に関する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、積層ステージの積層面上において、複数枚のセラミックグリーンシートを順次積層する工程と、複数枚のセラミックグリーンシートを積層することにより得られた未焼成のセラミック積層体を積層ステージから取り出し、焼成する工程と、焼成により得られた焼結体の外表面に外部電極を形成する工程とを備える積層セラミック電子部品の製造方法において、前記複数枚のセラミックグリーンシートを積層ステージ上において積層するにあたり、積層ステージの積層面に、表面張力でセラミックグリーンシートを密着させるとともに焼成に際して焼失する液体を塗布し、しかる後複数枚のセラミックグリーンシートを積層することを特徴とする。
【0008】
本発明においては、上記積層ステージの上面に、焼成に際して焼失する液体が塗布された後、複数枚のセラミックグリーンシートが積層される。この液体は、積層ステージ上において液膜を形成し、従って、表面張力により最初に積層されるセラミックグリーンシートの下面を積層ステージの上面にその表面張力により付着するように作用する。従って、複数枚のセラミックグリーンシートを積層ステージ上に積層した場合、積層体の端部における浮きが生じ難い。
【0009】
本発明においては、上記焼成時に焼失する液体としては、特に限定されないが、好ましくは、セラミック積層体に悪影響を与えない不活性な液体が望ましく、セラミックグリーンシートを溶解、膨潤させない溶剤としては、例えばオクタノール、ジイソブチルケトン、またはジヒドロターピネオールアセテートなどが用いられ得る。
【0010】
本発明においては、複数枚のセラミックグリーンシートを積層する工程は特に限定されないが、上記液体を積層ステージ上に塗布した後、少なくとも1枚のセラミックグリーンシート毎にセラミックグリーンシートが積層ステージ上において積層される。この場合、好ましくは、積層ステージ上において、積層面または先に積層されていたセラミックグリーンシートに少なくとも1枚のセラミックグリーンシートを圧着することにより積層が行われ、それによってセラミックグリーンシート同士が十分に密着された積層体を容易に得ることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施形態の製造方法を説明することにより、本発明を明らかにする。
【0012】
本実施形態では、積層セラミック電子部品として積層セラミックコンデンサが製造される。そして、本実施形態では、図2に示す製造装置が用いられる。図2に示すように、供給リール1から長尺状のマザーのセラミックグリーンシート2が送り出される。長尺状のマザーのセラミックグリーンシート2の上面に、印刷機3により導電ペーストが印刷されて、複数の内部電極パターンが印刷される。しかる後、乾燥炉4で乾燥された後、切断・積層装置5により矩形のセラミックグリーンシートが打ち抜かれる。切断・積層装置5は、打ち抜かれた矩形のセラミックグリーンシートを下面に吸引保持するように構成されている。
【0013】
上記のようにして打ち抜かれた矩形のマザーのセラミックグリーンシートが、切断・積層装置5の下面に保持された状態で、切断・積層装置5が積層ステージ6の上方に移動され、積層ステージ6の積層面6a上においてマザーのセラミックグリーンシートが積層される。
【0014】
なお、本実施形態では、積層ステージ6は、環状側壁6bを有し、上方に開口を有する。この場合において、積層面6aは、上記環状側壁bで囲まれた底面部となる。この積層ステージ6は、後工程でプレス金型となるものである。もっとも、上面が積層面とされている環状側壁のない積層ステージを用いてもよい。
【0015】
本実施形態では、上記積層ステージ6における積層に先立ち、図1(a)に示すように、積層ステージ6の積層面6a上に予め液体7が塗布される。液体7としては、後述の焼成構成においてセラミックスに影響を与えない適宜の液体が用いられる。このような液体としては、オクタノール、ジイソブチルケトン、またはジヒドロターピネオールアセテートなどが遅乾性であるため好適に用いられ、より好ましくはジヒドロターピネオールアセテートが用いられる。
【0016】
本実施形態では、上記液体7が積層ステージ6の積層面6aに塗布された後に、1枚目のセラミックグリーンシート2Aが積層される。すなわち、切断・積層装置5の下面に1枚目のセラミックグリーンシート2Aが保持された状態で積層部に移動し、積層ステージ6が上昇して、図1(b)に示すように、積層ステージ6の積層面6aにセラミックグリーンシート2Aが載置される。
【0017】
このとき、図1(c)に示すように、セラミックグリーンシート2Aの端部が液体7の表面張力により積層ステージ6の積層面6aに密着される。
しかる後、切断・積層装置5を再度駆動することにより、2枚目以降のセラミックグリーンシートがセラミックグリーンシート2A上に順次積層されていく。
【0018】
本実施形態では、このように切断・積層装置5の下面に保持されたセラミックグリーンシートが積層ステージ6の積層面6aまたは先に積層されていたセラミックグリーンシートの上面に圧着されつつ積層される。従って、セラミックグリーンシート同士の密着性が高められる。
【0019】
上記のようにして、所定の枚数のセラミックグリーンシートが積層された後、得られた積層体を厚み方向に加圧することにより、マザーの積層体が得られる。なお、図1では、明瞭ではないが、積層セラミックコンデンサの製造に際しては、内部電極が印刷されていない無地のセラミックグリーンシートを積層した後に、内部電極パターンが印刷されたセラミックグリーンシートが適宜の枚数積層され、さらに内部電極パターンが印刷されていない無地のセラミックグリーンシートが適宜の枚数積層される。
【0020】
上記のようにして得られた積層体を図3(a)に略図的正面断面図で示す。マザーの積層体11では、複数の内部電極12がセラミック層を介して重なり合うように配置されている。
【0021】
上記マザーのセラミック積層体11を厚み方向に切断し、個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体が得られる。このようにして得られた積層体を図3(b)に示す。積層体13においては、内部電極14a〜14dがセラミック層を介して重なり合っている。
【0022】
しかる後、積層体13を焼成することにより、図4に示すセラミック焼結体15が得られる。セラミック焼結体15の端面15a,15bに外部電極16,17を形成することにより、積層セラミックコンデンサ18が得られる。
【0023】
前述したように、上記実施形態では、1枚目のセラミックグリーンシート2Aの積層に際し、積層ステージ6の積層面6aに予め液体7が塗布されているため、液体7の表面張力によりセラミックグリーンシート2Aの下面が積層ステージ6の積層面6Aに密着される。従って、複数枚のセラミックグリーンシートを積層して得られたマザーのセラミック積層体の端部において積層面6aからの浮きが生じ難い。従って、従来技術で問題となっていた積層ずれの発生を効果的に抑制することができる。よって、最終的に得られた個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体及び該積層体を焼成して得られた焼結体における積層ずれや内部電極の位置の偏りが生じ難い。
【0024】
次に、具体的な実験例につき説明する。
チタン酸バリウム系セラミック組成物を用い、ポリビニルブチラールをバインダーとして用い、厚み2μmの複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、マザーの積層体を得た。上記実施例に従って、積層に際しては、予めジヒドロターピネオールアセテートを主に鋼からなる積層ステージの積層面6a上に塗布しておいた。得られた積層体における積層ずれを評価した。積層ずれの評価は、マザーのセラミック積層体から得られた多数の個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体のうち、n=約7000個についての積層ずれが発生している積層体の割合を測定することにより行った。
【0025】
また、比較のために、上記ジヒドロターピネオールアセテートを塗布しなかったことを除いては上記実施例と同様にして、積層体を得、評価した。その結果、上記実施例では、積層ずれの発生率は0.5%であったのに対し、ジヒドロターピネオールアセテートを塗布しなかった場合には60.0%と、非常に高い割合で積層ずれが生じていた。
【0026】
なお、本発明は、上記積層セラミックコンデンサに限らず、セラミック多層基板、積層セラミックインダクタなどの様々な積層セラミック電子部品の製造方法に適用することができる。
【0027】
また、上記実施形態では、乾燥しにくいものとして、オクタノール、ジイソブチルケトン、ジヒドロターピネオールアセテートを例に挙げたが、これに限らず、例えばn−ヘプタン等を用いてもよい。
【0028】
【発明の効果】
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法によれば、積層ステージの積層面に、表面張力でセラミックグリーンシートを密着させるとともに、焼成に際して焼失する液体が塗布された後に、複数枚のセラミックグリーンシートが積層されて積層体が得られる。従って、最初に積層されるセラミックグリーンシートの下面が上記液体の表面張力により積層ステージの積層面に確実に密着されるため、得られた積層体の端部における浮きの発生を効果的に抑制することができる。よって、浮きの発生に起因する積層ずれを抑制することができ、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を提供することができるとともに、積層セラミック電子部品の良品率を効果的に高めることが可能となる。
【0029】
本発明において、オクタノール、ジイソブチルケトン、ジヒドロターピネオールアセテートを上記液体として用いた場合には、焼成に際してセラミックスに悪影響を与えないため、所望通りの特性の積層セラミック電子部品を確実にかつ高い良品率で得ることができる。
【0030】
少なくとも1枚のセラミックグリーンシート毎に、積層ステージ上において積層ステージまたは先に積層されていたセラミックグリーンシートに圧着されて複数枚のセラミックグリーンシートが積層される場合には、セラミックグリーンシート同士の密着性が高められ、それによってより一層積層ずれが少ない積層セラミック電子部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a),(b)及び(c)は、本発明の一実施形態において、積層ステージの積層面に液体を塗布した後に、1枚目のセラミックグリーンシートを積層する工程を説明するための各模式的正面断面図及び(b)中の円Aで囲まれた部分を拡大して示す断面図。
【図2】本発明の一実施形態で用いられるセラミックグリーンシート積層システムを説明するための概略構成図。
【図3】(a)及び(b)は、本発明の一実施形態で用意されるマザーのセラミック積層体及び個々の積層セラミックコンデンサ単位の積層体を示す各模式的正面断面図。
【図4】本発明の一実施形態で得られる積層セラミックコンデンサを示す正面断面図。
【図5】(a)及び(b)は、従来の積層セラミック電子部品の製造方法において、複数枚のセラミックグリーンシートを積層する工程及びその問題点を説明するための各模式的正面断面図。
【図6】従来法において、積層ずれが生じた場合の内部電極の位置の偏りを説明するためのセラミック積層体の横断面図。
【符号の説明】
1…供給リール
2…セラミックグリーンシート
2A…セラミックグリーンシート
3…印刷機
4…乾燥炉
5…切断・積層装置
6…積層ステージ
6a…積層面
6b…環状側壁
7…液体
11…マザーの積層体
12…内部電極
13…積層体
14a〜14d…内部電極
15…焼結体
15a,15b…端面
16,17…外部電極
18…積層セラミックコンデンサ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor, and more particularly, to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component in which a plurality of ceramic green sheets are stacked to obtain a multilayer body. About the method.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when manufacturing a multilayer ceramic electronic component, a plurality of ceramic green sheets are stacked to obtain a mother laminate. An example of a method of laminating a plurality of ceramic green sheets is described in Patent Document 1 below. In the method described in Patent Document 1, when manufacturing a multilayer ceramic capacitor, internal electrodes are printed on long ceramic green sheets. Thereafter, a ceramic green sheet having a predetermined size is punched from the long ceramic green sheet on which the internal electrodes are printed, and the ceramic green sheets are stacked in a stacking stage. In this way, a plurality of ceramic green sheets are sequentially laminated, and then a plurality of ceramic green sheets are pressed in the thickness direction to obtain a mother ceramic laminate.
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-8-97074
[Problems to be solved by the invention]
As described above, when manufacturing a conventional multilayer ceramic electronic component, a plurality of ceramic
[0005]
In the laminated body portion in which such floating occurs, particularly, in the corner portion, there is a problem that the laminated ceramic green sheets are wrinkled or the laminated body is partially shrunk, thereby causing a lamination shift. there were. When a laminate of individual multilayer ceramic electronic component units is cut from a mother ceramic laminate in which lamination misalignment has occurred, the internal electrodes will not be arranged at correct positions in the laminate of individual multilayer ceramic electronic component units. . For example, as shown in FIG. 6, in the
[0006]
An object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art and to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component including a step in which lamination misalignment is less likely to occur when stacking a plurality of ceramic green sheets.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention provides a step of sequentially laminating a plurality of ceramic green sheets on a lamination surface of a lamination stage, and taking out an unfired ceramic laminate obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets from the lamination stage. Baking, and a step of forming an external electrode on the outer surface of the sintered body obtained by baking, wherein the plurality of ceramic green sheets are laminated on a lamination stage. In this case, a ceramic green sheet is brought into close contact with the lamination surface of the lamination stage by surface tension, and a liquid that burns off during firing is applied, and then a plurality of ceramic green sheets are laminated.
[0008]
In the present invention, a plurality of ceramic green sheets are laminated after a liquid that is burned off during firing is applied to the upper surface of the lamination stage. The liquid forms a liquid film on the stacking stage, and thus acts to adhere the lower surface of the ceramic green sheet to be stacked first by the surface tension to the upper surface of the stacking stage by the surface tension. Therefore, when a plurality of ceramic green sheets are stacked on the stacking stage, floating at the end of the stack is unlikely to occur.
[0009]
In the present invention, the liquid that is burned off during the firing is not particularly limited, but is preferably an inert liquid that does not adversely affect the ceramic laminate, and a solvent that does not dissolve and swell the ceramic green sheet is, for example, Octanol, diisobutyl ketone, or dihydroterpineol acetate may be used.
[0010]
In the present invention, the step of laminating a plurality of ceramic green sheets is not particularly limited, but after applying the liquid on the lamination stage, the ceramic green sheets are laminated on at least one ceramic green sheet on the lamination stage. Is done. In this case, it is preferable that the lamination is performed by pressing at least one ceramic green sheet on the lamination surface or the previously laminated ceramic green sheet on the lamination stage, whereby the ceramic green sheets are sufficiently bonded to each other. A closely adhered laminate can be easily obtained.
[0011]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be clarified by describing a manufacturing method according to an embodiment of the present invention with reference to the drawings.
[0012]
In the present embodiment, a multilayer ceramic capacitor is manufactured as a multilayer ceramic electronic component. In this embodiment, the manufacturing apparatus shown in FIG. 2 is used. As shown in FIG. 2, a long mother ceramic
[0013]
The cutting and laminating
[0014]
In the present embodiment, the
[0015]
In the present embodiment, prior to lamination in the
[0016]
In the present embodiment, the first ceramic
[0017]
At this time, as shown in FIG. 1C, the end of the ceramic
Thereafter, by driving the cutting / stacking
[0018]
In the present embodiment, the ceramic green sheets held on the lower surface of the cutting and
[0019]
After a predetermined number of ceramic green sheets are laminated as described above, the resulting laminate is pressed in the thickness direction to obtain a mother laminate. Although not clear in FIG. 1, when manufacturing a multilayer ceramic capacitor, after stacking plain ceramic green sheets on which internal electrodes are not printed, an appropriate number of ceramic green sheets on which internal electrode patterns are printed is formed. An appropriate number of plain ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are not printed are laminated.
[0020]
The laminate obtained as described above is shown in a schematic front sectional view in FIG. In the mother laminate 11, a plurality of
[0021]
The mother
[0022]
Thereafter, the
[0023]
As described above, in the above-described embodiment, when the first ceramic
[0024]
Next, specific experimental examples will be described.
Using a barium titanate-based ceramic composition and polyvinyl butyral as a binder, a plurality of 2 μm-thick ceramic green sheets were laminated to obtain a mother laminate. According to the above embodiment, when laminating, dihydroterpineol acetate was previously applied onto the
[0025]
For comparison, a laminate was obtained and evaluated in the same manner as in the above example, except that the dihydroterpineol acetate was not applied. As a result, in the above example, the occurrence rate of lamination misalignment was 0.5%, whereas the lamination misalignment was extremely high at 60.0% when dihydroterpineol acetate was not applied. Had occurred.
[0026]
The present invention is not limited to the above-described multilayer ceramic capacitor, and can be applied to various methods for manufacturing multilayer ceramic electronic components such as a multilayer ceramic substrate and a multilayer ceramic inductor.
[0027]
Further, in the above embodiment, octanol, diisobutyl ketone, and dihydroterpineol acetate are described as examples that are difficult to dry, but the present invention is not limited to this, and n-heptane, for example, may be used.
[0028]
【The invention's effect】
According to the method for manufacturing a laminated ceramic electronic component according to the present invention, the ceramic green sheet is brought into close contact with the lamination surface of the lamination stage by surface tension, and a plurality of ceramic green sheets are applied after a liquid that burns off during firing is applied. Are laminated to obtain a laminate. Therefore, since the lower surface of the ceramic green sheet to be laminated first is securely adhered to the lamination surface of the lamination stage by the surface tension of the liquid, the occurrence of floating at the end of the obtained laminated body is effectively suppressed. be able to. Therefore, it is possible to suppress the stacking deviation caused by the occurrence of the floating, to provide a multilayer ceramic electronic component having excellent reliability, and to effectively increase the non-defective rate of the multilayer ceramic electronic component. Become.
[0029]
In the present invention, when octanol, diisobutyl ketone, or dihydroterpineol acetate is used as the above-mentioned liquid, it does not adversely affect ceramics during firing, so that a multilayer ceramic electronic component having desired characteristics can be obtained reliably and at a high yield. be able to.
[0030]
When a plurality of ceramic green sheets are laminated on at least one ceramic green sheet by being pressed on the lamination stage or the previously laminated ceramic green sheet on the lamination stage, adhesion of the ceramic green sheets is performed. Thus, it is possible to provide a multilayer ceramic electronic component with less lamination displacement.
[Brief description of the drawings]
FIGS. 1A, 1B, and 1C illustrate a step of laminating a first ceramic green sheet after applying a liquid to a lamination surface of a lamination stage in one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic front cross-sectional view for illustrating an example of the present invention, and a cross-sectional view showing an enlarged portion surrounded by a circle A in FIG.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining a ceramic green sheet lamination system used in an embodiment of the present invention.
FIGS. 3A and 3B are schematic front sectional views showing a mother ceramic laminate and a laminate of individual multilayer ceramic capacitors prepared in an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a front sectional view showing a multilayer ceramic capacitor obtained in one embodiment of the present invention.
FIGS. 5A and 5B are schematic front cross-sectional views illustrating a process of laminating a plurality of ceramic green sheets and a problem in a conventional method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
FIG. 6 is a cross-sectional view of a ceramic laminate for explaining a deviation in the position of an internal electrode when a lamination shift occurs in a conventional method.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (3)
複数枚のセラミックグリーンシートを積層することにより得られた未焼成のセラミック積層体を積層ステージから取り出し、焼成する工程と、
焼成により得られた焼結体の外表面に外部電極を形成する工程とを備える積層セラミック電子部品の製造方法において、
前記複数枚のセラミックグリーンシートを積層ステージ上において積層するにあたり、積層ステージの積層面に、表面張力でセラミックグリーンシートを密着させるとともに焼成に際して焼失する液体を塗布し、しかる後複数枚のセラミックグリーンシートを積層することを特徴とする、積層セラミック電子部品の製造方法。A step of sequentially laminating a plurality of ceramic green sheets on a lamination surface of the lamination stage,
Removing the unfired ceramic laminate obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets from the lamination stage, and firing;
Forming an external electrode on the outer surface of the sintered body obtained by firing, a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component,
In laminating the plurality of ceramic green sheets on the lamination stage, the laminating surface of the lamination stage is applied with a liquid that is burned off during firing while applying the ceramic green sheets in close contact with surface tension. And a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
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