JP2004226610A - Manufacturing method of polarized light separating element, the same element manufactured with the same method, optical pickup using the same element and sticking device of organic birefringence film for it - Google Patents

Manufacturing method of polarized light separating element, the same element manufactured with the same method, optical pickup using the same element and sticking device of organic birefringence film for it Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polarized light separating element and its manufacturing method which can suppress extrusion and deviation of an organic birefringence film from a transparent substrate at the time of sticking the organic birefringence film on the transparent substrate and an optical pickup which can be miniaturized and the sticking device of the film for it. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the polarized light separating element comprizes a sticking process for sticking an organic birefringence film 6 whose refractive indexes are different to different planes of vibration of an incident light on a transparent substrate 3 and a process for forming a periodic mask on the organic birefringence film 6 and for forming a periodic diffraction grating by etching the film 6 using the periodic mask pattern. In the sticking process, ultraviolet ray setting type adhesives 5 are applied to the whole surface of the transparent substrate 3 while giving first rotation to the substrate 3 (b, c) and the film 6 is placed on the ultraviolet ray type adhesives 5 (d) and the surface of the film 6 is flattened by giving second rotation to the substrate 3 and a plurality of pins 2 (e) and the adhesives 5 are hardened by irradiating the substrate 3 with ultraviolet rays 8 (g). <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、偏光分離素子の作製技術に関し、特に透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを抑制することを可能にした偏光分離素子の作製方法、該作製方法を用いて作製した偏光分離素子、該偏光分離素子を用いた光ピックアップ、およびそのために用いる有機複屈折膜の接着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスク用ピックアップでは、光源からの入射光と光ディスクからの反射光（情報信号）を分離して、反射光（情報信号）を効率よく受光素子に導くために、偏光分離素子が用いられている。従来、プリズムを接着したビームスプリッタとλ／４波長板の組み合わせが用いられるのが普通であったが、ピックアップの小型化、低コスト化の要求に答えるため、ビームスプリッタの替わりに薄型の偏光分離素子が実現できる複屈折回折格子型偏光分離素子が開発されつつある。
【０００３】
直交する２つの偏光成分を分離する方法として、特開２０００−７５１３０号公報（特許文献１）では透明基板上に入射光の異なる振動面に対し屈折率が異なる有機複屈折膜を接着し、かつ有機複屈折膜表面に周期的な凹凸格子（以降回折格子と略す）を形成した偏光分離素子が提案されている。なお有機複屈折膜は延伸した有機高分子材料からなる。
【０００４】
上記の偏光分離素子では、接着剤を用いて有機複屈折膜を透明基板へ接着するが、接着の際に、回折格子面内で光路を一定とするため接着層厚さを均一にする必要がある。
【０００５】
また、接着層に気泡が入ると光（入射光、出射光）が気泡によって散乱し回折効率が低下するため、気泡を巻きこまないような接着法が必要となる。
【０００６】
以上の点から、透明基板へ有機複屈折膜を接着する方法は、貼り合せ光ディスクで用いられているスピンナー法が適している。
【０００７】
以下、スピンナー法について説明する。
図２１は、スピンナー法による貼り合せ光ディスクの作製工程を説明するための図である。
【０００８】
（１）第１の基板８０３のハブ８０４をスピンテーブル８０１のセンターピン８０２にさし込み、スピンテーブル８０１を回転させながら第１の基板８０３に紫外線硬化型接着剤８０５を滴下する（図２１（ａ）参照）。
【０００９】
（２）第１の基板８０３全面に紫外線硬化型接着剤８０５が広がったらスピンテーブル８０１の回転を停止する（図２１（ｂ）参照）。
【００１０】
（３）その後、第２の基板８０６のハブ８０７をスピンテーブル８０１のセンターピン８０２にさし込み、第１の基板８０３と第２の基板８０６を紫外線硬化型接着剤８０５を介して合わせる（図２１（ｃ）参照）。
【００１１】
（４）その後、スピンテーブル８０１を回転させ、余分な紫外線硬化型接着剤８０５を振り切り接着層の厚さを一定にする（図２１（ｄ）参照）。
【００１２】
（５）その後、スピンテーブル８０１の回転を停止し、紫外線（ＵＶ）８０８を照射して接着層を硬化し、貼り合せ光ディスク８０９を完成させる（図２１（ｅ）参照）。
【００１３】
ここで、上記の方法を有機複屈折膜の接着に用いる場合の構成例と、そのときに生じる問題点を述べる。
【００１４】
偏光分離素子は大きさが数ｍｍ程度であるため、直径４〜８インチの透明基板に接着された有機複屈折膜上に数１０〜数１００個の回折格子をアレイ状に作製し、その後ダイシングによって個々の偏光分離素子を取り出すようにしている。
【００１５】
また、１枚の基板から取れる偏光分離素子数を多くするため、有機複屈折膜や透明基板にハブは設けない構成を採用する。そのためスピンテーブルに透明基板を真空吸着し、その後透明基板の中央に紫外線硬化型接着剤を滴下し、スピンテーブルを回転して接着剤を透明基板全面に広げた後、有機複屈折膜を透明基板上に載せるが、有機複屈折膜にはハブがないためセンターピンで固定できず、フリーな状態で透明基板に載る。
【００１６】
一般的には載置装置を用いて有機複屈折膜を接着剤が塗布された透明基板に載せているが、スピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心を正確に合せることは載置装置の機械的精度の点から困難な場合が多い。
【００１７】
図２２は、スピンテーブル上の有機複屈折膜が位置ずれを起こす例を説明するための図である。図２２（ａ）に示すように、有機複屈折膜９０６が正確にスピンテーブル９０１の回転中心に載っていない場合にスピンテーブル９０１を回転させると、同図（ｂ）に示すように、有機複屈折膜９０６が位置ずれを起こすことになる。同図において、９０３は透明基板、９０５は紫外線硬化型接着剤を示している。
【００１８】
位置ずれが大きい場合は透明基板９０３から有機複屈折膜９０６がはみ出してしまう。紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤９０５を硬化させた後、回折格子を形成するためリソグラフィー／ドライエッチングを行うが、装置内や工程間の搬送は基板側面をクランプして行うことが多く、透明基板９０３から有機複屈折膜９０６がはみ出していると搬送が困難になり、回折格子を形成できない。
【００１９】
そのため、スピンテーブル９０１の回転中に有機複屈折膜９０６の位置ずれが発生した場合は、スピンテーブル９０１の回転を一旦停止し、適切な位置へ有機複屈折膜９０６を戻す作業を行った後、再びスピンテーブル９０１を回転させる必要があった。このような作業の繰り返しが、貼り合せ工程のスループットを悪くする原因になっていた。また上記作業を行った場合、スピンテーブル９０１の回転時間を一定にすることができず、基板間で接着層厚さが不均一になってしまうという問題を生じていた。
【００２０】
スピンテーブル９０１の回転中に有機複屈折膜９０６の位置ずれを起こさないためには、回転中に紫外線を照射する方法が考えられる。例えば、貼り合せ光ディスクの作製方法としては、特開平１０−３３４５２１号公報（特許文献２）や特開２０００−２６８４１６号公報（特許文献３）において、回転中に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化する方法が提案されている。しかしながら偏光分離素子の作製においては、基板をある程度回転させて接着層厚さを均一化させた後に紫外線を照射しなければならないので、有機複屈折膜の位置ずれを完全に防止することは困難であった。
【００２１】
また、載置装置に画像認識機能を搭載し、スピンテーブルの回転中心と有機複屈折膜の中心を検出し、載置装置にフィードバック制御を掛けながらスピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心を置く方法は、スピンテーブルの回転中心と有機複屈折膜の中心との位置合せ精度を著しく向上できるため、スピンテーブルの回転中に有機複屈折膜の位置ずれが起きにくいという利点がある。
【００２２】
しかしながら、この構成を採用する場合、載置装置にＣＣＤなどを用いた検出機構やフィードバック機構を設ける必要があり、載置装置のコストが上昇するという問題がある。また、貼り合せ時に位置検出やフィードバック制御を行うため、貼り合せ工程のスループットが低下してしまうという問題も生じる。そのため、この方法では安価に偏光分離素子を作製することが困難となる。
【００２３】
【特許文献１】
特開２０００−７５１３０号公報
【特許文献２】
特開平１０−３３４５２１号公報
【特許文献３】
特開２０００−２６８４１６号公報
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を解消することを目的とするものである。以下、請求項毎の目的を述べる。
【００２５】
請求項１〜１２に記載の発明は、透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを抑制することが可能な偏光分離素子の作製方法を提供することを目的としている。
請求項１３に記載の発明は、歩留が向上できる偏光分離素子を提供することを目的としている。
【００２６】
請求項１４に記載の発明は、従来よりも小型化が実現できる光ピックアップを提供することを目的としている。
【００２７】
請求項１５〜１８に記載の発明は、透明基板に有機複屈折膜を接着する際に有機複屈折膜の透明基板からのはみ出しや位置ズレを起こすことを抑制できる有機複屈折膜の接着装置を提供することを目的としている。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る偏光分離素子の作製方法，偏光分離素子，光ピックアップ，および有機複屈折膜の接着装置は、各々、次の如き構成を採用したことを特徴としている。以下、請求項毎の構成の特徴を記す。
【００２９】
ａ）請求項１記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングし周期的な回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、透明基板に第１の回転を与えて透明基板全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、該紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと透明基板に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、透明基板に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴としている。
【００３０】
ｂ）請求項２記載の発明は、請求項１記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能としたことを特徴としている。
【００３１】
ｃ）請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けたことを特徴としている。
【００３２】
ｄ）請求項４記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて前記有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、透明基板に第１の回転を与えて全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと透明基板に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、透明基板に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴としている。
【００３３】
ｅ）請求項５記載の発明は、請求項４記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能としたことを特徴としている。
【００３４】
ｆ）請求項６記載の発明は、請求項４または５記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けたことを特徴としている。
【００３５】
ｇ）請求項７記載の発明は、請求項４から６のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法において、有機複屈折膜は、透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を備え、透明基板に第１の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴としている。
【００３６】
ｈ）請求項８記載の発明は、請求項４から６のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法において、有機複屈折膜は、透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を備え、透明基板に第２の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離することを特徴としている。
【００３７】
ｉ）請求項９記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて前記有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、有機複屈折膜に第１の回転を与えて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと有機複屈折膜に第２の回転を与えるステップと、有機複屈折膜に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップとを有することを特徴としている。
【００３８】
ｊ）請求項１０記載の発明は、請求項９記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けたことを特徴としている。
【００３９】
ｋ）請求項１１記載の発明は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、接着工程が、有機複屈折膜に第１の回転を与えて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと有機複屈折膜に第２の回転を与えるステップと、該第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、有機複屈折膜に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴としている。
【００４０】
ｌ）請求項１２記載の発明は、請求項１１記載の偏光分離素子の作製方法において、複数のピンを、透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けたことを特徴としている。
【００４１】
ｍ）請求項１３記載の発明は、請求項１から１２のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法によって作られたことを特徴とする偏光分離素子である。
【００４２】
ｎ）請求項１４記載の発明は、請求項１３項の偏光分離素子を用いたことを特徴とする光ピックアップである。
【００４３】
ｏ）請求項１５記載の発明は、透明基板を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、透明基板に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、透明基板上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置する載置機構と、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと、前記透明基板に紫外線を照射する紫外線照射機構を有することを特徴としている。
【００４４】
ｐ）請求項１６記載の発明は、請求項１５記載の有機複屈折膜の接着装置において、複数のピンをスピンテーブルから着脱する着脱機構を有することを特徴としている。
【００４５】
ｑ）請求項１７記載の発明は、有機複屈折膜を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、有機複屈折膜に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、有機複屈折膜に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置する載置機構と、透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンと、有機複屈折膜に紫外線を照射する紫外線照射機構を有することを特徴としている。
【００４６】
ｒ）請求項１８記載の発明は、請求項１７記載の有機複屈折膜の接着装置において、スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面が多孔質であることを特徴としている。
【００４７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を、図面を用いて詳細に説明する。
【００４８】
＜実施例１＞
図１および図２は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例を示す図である。
以下、図１（ａ）〜（ｇ）および図２（ａ）〜（ｃ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【００４９】
（１）まず、図１（ａ）に示すように、透明基板を固定するスピンテーブル１に、後述する図１（ｄ）の工程で紫外線硬化型接着剤の上に載置する有機複屈折膜の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピン２を設けておく。本実施例では、図３（ａ）の正面図、および同図（ｂ）の側面図に詳しく示した如く、有機複屈折膜６の直径方向で対向する４箇所のうち３箇所にピン２を設けている。
【００５０】
（２）次に、図１（ｂ）に示すように、直径１００ｍｍ、厚さ１．０ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板３をスピンテーブル１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル１に固定する。なお、図１（ｂ）の工程では有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所のうちピンを設けなかった１箇所から透明基板３をスピンテーブル１に載せるようにする。
【００５１】
その後スピンテーブル１を１０〜５０ｒｐｍで回転させながら、透明基板３の中央部にディスペンサー４を用いて屈折率１．５２、粘度５００ｃｐのアクリル系紫外線硬化型接着剤５を３〜１０ｇ滴下する。その後、スピンテーブル１を１５０〜５００ｒｐｍで回転（第１の回転）させ、透明基板３の全面に紫外線硬化型接着剤５を広げる。
【００５２】
（３）その後、図１（ｃ）に示すように、スピンテーブル１の回転を停止する。
【００５３】
（４）その後、図１（ｄ）に示すように、有機複屈折膜の中心をスピンテーブルの回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤５の上に直径９０ｍｍ、厚さ１００μｍの有機複屈折膜６を載せる。その際、有機複屈折膜６の側面は、スピンテーブル１に設けた複数のピン２と近接ないし接触するようにしておく。
【００５４】
（５）その後、図１（ｅ）に示すように、スピンテーブル１を１０００〜３０００ｒｐｍで回転（第２の回転）させ、紫外線硬化型接着剤５を振り切り、接着層厚さを基板面内で一定にして有機複屈折膜表面を平坦化する。
【００５５】
なお、複数のピン２は、スピンテーブル１に設けられているので、第２の回転によって透明基板３と同時に回転することになる。
【００５６】
（６）さらに、図１（ｆ）に示すように、第２の回転中にイソプロピルアルコールなどの有機溶剤７を滴下しながら紫外線硬化型接着剤５を振り切り、有機複屈折膜表面をさらに平坦化する。
【００５７】
なお、イソプロピルアルコールは、本実施例に用いたアクリル系紫外線硬化型接着剤５を溶解しかつ有機複屈折膜６を溶解しない有機溶媒である。本工程を行うことにより透明基板３の周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤５はイソプロピルアルコールなどの有機溶剤７によって除去される。
【００５８】
（７）その後、図１（ｇ）に示すように、スピンテーブル１の回転を停止し、有機複屈折膜６側から高圧水銀灯を用いて紫外線８を照射し、紫外線硬化型接着剤５を硬化させる。
【００５９】
（８）その後、有機複屈折膜６を接着した透明基板（以下、単に基板と略す）３をスピンテーブル１から外し、有機複屈折膜６上にポジレジストを０．７μｍの厚さに塗布し、６０℃３０分のプリベークを行う。その後、基板３を縮小投影露光装置（ＮＡ＝０．３０、波長；ｉ線）に装着し、０．９μｍラインアンドスペースパターンのレチクルを用いて露光を行い、現像液ＮＭＤ−３（商標）を用いて現像を行い、周期的なレジストパターンを完成させる。
【００６０】
その後、前記のレジストパターン上に真空蒸着法によってＡｌを６０ｎｍ蒸着し、引き続きアセトンを用いてレジストを溶解してＡｌのリフトオフを行い、レジストパターンを反転させたＡｌパターンを完成させる。
【００６１】
その後、ＮＬＤ （Ｎｅｕｔｒａｌ Ｌｏｏｐ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）エッチング装置を用い酸素ガスを主成分とするエッチングガス雰囲気中で、前記のＡｌパターンを金属マスクにして有機複屈折膜６を深さ３μｍエッチングする。
【００６２】
その後、リン酸系のＡｌエッチング液を用いてＡｌパターンを除去し、図２（ａ）に示すように、凹凸格子（以後回折格子９と記述）を完成させる。
【００６３】
（９）その後、平面加工したφ２００ｍｍ、厚み５０ｍｍのステンレス台上に回折格子を形成した基板を置き、回折格子面に光学的に等方的なアクリル系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）１１をマイクロシリンジで１．０ｍＬ滴下する。
【００６４】
次に、両面を光学研磨した直径１００ｍｍ、厚み１．５ｍｍの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスＢＫ７）１２を前記の等方性接着剤１１を塗布した基板面に載せ、さらに対向透明基板１２上に光学研磨した光学ガラスを載せ、対向透明基板１２に１００ｇｆ／ｃｍ２の圧力を加え、等方性接着剤１１を被接着面全面に広げる。図２（ｂ）は、このときの構成を示す図である。
【００６５】
なお、対向透明基板１２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。この状態で対向透明基板１２を通して紫外線を照射し、等方性接着剤１１を硬化させる。
【００６６】
（１０）その後、図２（ｃ）に示すように、ダイシングソー１３を用いて５ｍｍ角に切りだし、複数の偏光分離素子１４を完成させる。
【００６７】
本方法によると、紫外線硬化型接着剤５上に載置された有機複屈折膜６の側面には近接ないし接触して複数のピン２がある。そのためスピンテーブル１の回転中心に有機複屈折膜６の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピン２を設けた３方向については有機複屈折膜はその側面がピン２に接触する位置までしかずれないため、大きな位置ずれが生じるのを抑制できる。その結果、紫外線を照射して接着剤を硬化させた後、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を小さくすることができる。
【００６８】
また、従来位置ずれ修正のため行われていた作業（有機複屈折膜の位置ずれが起きた場合スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻す作業を繰り返す）を少なくすることができるため、貼り付け工程のスループットが向上する。
【００６９】
なお、本実施例では有機複屈折膜６の直径方向で対向する４箇所のうち３箇所にピン２を設けたが、対向する２箇所のみに設けた場合は、少なくとも有機複屈折膜の位置ずれを２方向で制限できるため、本実施例の効果よりも小さいが、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を低下させることができる。
【００７０】
本実施例では、透明基板３をスピンテーブル１に固定した後、スピンテーブル１を回転させながら透明基板３の中央部にアクリル系紫外線硬化型接着剤５を滴下して接着剤を塗布するようにしたが、紫外線硬化型接着剤５の塗付方法は本方法に限定される必要は無く、透明基板３をスピンテーブル１に固定した後、スピンテーブル１を停止したまま透明基板３の中央部に紫外線硬化型接着剤５を滴下し、その後スピンテーブル１を回転させて透明基板３全面に紫外線硬化型接着剤を広げるようにしてもよい。
【００７１】
また、本実施例では紫外線硬化型接着剤５を室温で塗布したが、紫外線硬化型接着剤５の粘度が高く有機複屈折膜６を載せた時に紫外線硬化型接着剤５の流動性が乏しく、気泡を巻き込みやすい時は、紫外線硬化型接着剤５が塗布された透明基板３をオーブンや赤外線ランプなどを用いて加熱し、紫外線硬化型接着剤５の粘度を低下させた後に有機複屈折膜６を載せるのがよい。または紫外線硬化型接着剤５をオーブンなどを用いて予め加熱し、紫外線硬化型接着剤５の粘度を低下させた後に、第１の回転によって透明基板３に塗布し、その後に有機複屈折膜６を載せるのがよい。
【００７２】
＜実施例２＞
図４および図５は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
以下、図４（ａ）〜（ｈ）および図５（ａ）〜（ｃ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【００７３】
（１）本実施例では、透明基板を固定するスピンテーブルに、後述する図４（ｃ）の工程で紫外線硬化型接着剤２５の上に載置する有機複屈折膜２６の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピン２２をスピンテーブル２１から着脱可能に設けておく。本実施例では、図６（ａ）の正面図、および同図（ｂ）の側面図に詳しく示した如く、有機複屈折膜２６の直径方向で対向する４箇所にピン２２を設けている。
【００７４】
（２）まず、図４（ａ）および（ｂ）に示すように、直径１００ｍｍ、厚さ１．０ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板２３をスピンテーブル２１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル２１に固定する。その後、実施例１と同様に屈折率１．５２、粘度５００ｃｐのアクリル系紫外線硬化型接着剤２５を透明基板２３の全面に塗布する。
【００７５】
（３）その後、図４（ｃ）に示すように、有機複屈折膜２６の中心をスピンテーブル２１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤２５の上に直径９０ｍｍ、厚さ８５μｍの有機複屈折膜２６を載せる。
【００７６】
（４）その後、図４（ｄ）に示すように、有機複屈折膜２６の側面と近接ないし接触するように、スピンテーブル２１に着脱可能な複数のピン２２を設置・固定する。
【００７７】
（５）その後、図４（ｅ）に示すように、スピンテーブル２１に第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤２５を振り切り、接着層の厚さを透明基板２３面内で一定にして有機複屈折膜２６の表面を平坦化する。
なお、本実施例では、着脱可能な複数のピン２２は、スピンテーブル２１に固定されているため、第２の回転によって透明基板２３と同時に回転することになる。
【００７８】
（６）さらに、図４（ｆ）に示すように、第２の回転中にイソプロピルアルコールなどの有機溶剤２７を滴下しながら紫外線硬化型接着剤２５を振り切り、透明基板２３の周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤２５を除去する。
【００７９】
（７）その後、図４（ｇ）に示すように、スピンテーブル２１の回転を停止し、着脱可能な複数のピン２２をスピンテーブル２１から外して退避させる。
【００８０】
（８）その後、図４（ｈ）に示すように、有機複屈折膜２６側から高圧水銀灯を用いて紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤２５を硬化させる。
【００８１】
（９）その後、有機複屈折膜を接着した透明基板（以下基板と略す）をスピンテーブル２１から外し、実施例１と同様にレジストパターンを形成し、その後Ａｌ蒸着後、リフトオフによって金属パターンを形成し、ＮＬＤを用い有機複屈折膜を３μｍの深さでエッチングし、Ａｌを除去して、図５（ａ）に示すように回折格子２９を作製する。
【００８２】
（１０）その後、平面加工したステンレス台上に回折格子２９を形成した基板を置き、回折格子面にアクリル性の等方性接着剤３１を滴下し、両面を光学研磨した直径１００ｍｍ、厚み１．５ｍｍの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスＢＫ７）３２を接着した。図５（ｂ）は、このときの構成を示す図である。なお、対向透明基板３２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。
【００８３】
（１１）その後、図５（ｃ）に示すように、ダイシングソー３３を用いて５ｍｍ角に切りだし、複数の偏光分離素子３４を完成させる。
【００８４】
本方法によると、透明基板２３を回転するスピンテーブル２１から着脱可能な複数のピン２２が紫外線硬化型接着剤２５上に載置された有機複屈折膜２６の側面に近接ないし接触する構造となる。
【００８５】
そのため、図４（ａ）の工程ではスピンテーブル２１から複数のピン２２を外した状態で透明基板２３をスピンテーブル２１に載せることができ、透明基板２３をスピンテーブル２１に載せるための空間を確保するため、ピン２２を設置できない領域を作る必要がない。上記実施例１では有機複屈折膜６の直径方向で対向する４箇所のうちピンを設けなかった１箇所が、透明基板をスピンテーブルに載せるための空間を確保するためにピン設置ができない領域に相当している。
【００８６】
その結果、図４（ｄ）の工程で、有機複屈折膜２６の側面に近接ないし接触するようにスピンテーブル２１に複数のピン２２を設置する場合、ピン２２の配置を自由に設定することができる。
【００８７】
本実施例では、実施例１よりもピン数を１個多くすることができ、有機複屈折膜２６の直径方向で対向する４箇所にピン２２を設けることができる。そのため、有機複屈折膜２６の中心がスピンテーブル２１の回転中心に完全には載っていない場合においても、全てのピン２２が有機複屈折膜２６の側面に接触している時は第２の回転中に有機複屈折膜２６の位置ずれを防止することができる。
【００８８】
また、ピン２２が有機複屈折膜２６の側面に近接している時は、上記実施例１と比較してピン２２を設けられない禁止領域がないため、第２の回転中に有機複屈折膜が最大で動ける範囲はピン２２と有機複屈折膜２６の側面との距離に限定され、大きな位置ずれを抑制できる。
【００８９】
その結果、紫外線２８を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させた後、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を飛躍的に減少させることができる。
【００９０】
また、従来、位置ずれ修正のため行われていた作業（有機複屈折膜の位置ずれが起きた場合スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻す作業を繰り返す）が必要ないため、貼り付け工程のスループットが向上する。
【００９１】
さらに、位置ずれ修正のため行われていた作業を無くすことによって、スピンテーブルの回転時間を一定にでき、基板間で接着層厚さを均一にすることが可能となる。
【００９２】
よって偏光分離分離素子の製造コストを低減でき、かつ基板間で均一な接着層を実現できることから素子間でも接着層厚さの変動を抑制でき、均一な接着層を持つ偏光分離素子が作製できる。
【００９３】
なお、有機複屈折膜の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限するためには、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンは少なくとも有機複屈折膜のＸ，Ｙの４方向に設けることが望ましい。
【００９４】
本実施例では、図６に示すように、有機複屈折膜２６の直径方向で対向する４箇所にピン２２を設けているため、最小のピン数で有機複屈折膜２６の位置ずれをＸ，Ｙの４方向で抑制できる。
【００９５】
なお、有機複屈折膜の直径方向で対向する６箇所以上に着脱可能なピンを設けた場合も有機複屈折膜の位置ずれを少なくともＸ，Ｙ方向の両方向で抑制できるので、本実施例と同等の効果を期待できる。
【００９６】
また、本実施例では、有機複屈折膜２６の側面に近接ないし接触するように複数のピン２２を設けたが、有機複屈折膜２６を紫外線硬化型接着剤２５に置く位置精度を考えると、有機複屈折膜２６の側面が複数のピン２２と接触するように置くためには、載置装置に画像認識機能を搭載し、スピンテーブル２１の回転中心と有機複屈折膜２６の中心を検出し、載置装置にフィードバック制御を掛けながらスピンテーブル２１の回転中心に有機複屈折膜２６の中心を置く必要があり、載置装置のコストアップにつながる。
【００９７】
そのため、載置装置のコストを抑えるためには、有機複屈折膜２６の側面に近接して複数のピン２２を設けることが望ましい。複数のピン２２と有機複屈折膜２６の側面との間隔は有機複屈折膜２６を置く載置装置の位置精度や有機複屈折膜２６や透明基板２３の大きさおよび公差などを考慮して決めればよいが、一般的には有機複屈折膜２６を置く載置装置の位置精度は容易に１ｍｍ以下に抑え込めるので、１．５ｍｍ程度にしておけば、第２の回転中に有機複屈折膜２６が位置ずれを起こしても最大で１．５ｍｍまでしか動かないので、有機複屈折膜２６が透明基板２３からはみ出すことがほとんど起こらなくなる。
【００９８】
＜実施例３＞
図７および図８は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
以下、図７（ａ）〜（ｇ）および図８（ａ）〜（ｃ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【００９９】
（１）本実施例では、実施例１と同様、図７（ａ）に示すように、有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所のうち３箇所に、紫外線硬化型接着剤の上に載置する有機複屈折膜の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピン４２をスピンテーブル４１に設けておく。
【０１００】
（２）次に、図７（ｂ）（ｃ）に示すように、直径１００ｍｍ、厚さ１．０ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板４３をスピンテーブル４１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル４１に固定する。
【０１０１】
（３）その後、実施例１と同様、屈折率１．５２、粘度５００ｃｐのアクリル系紫外線硬化型接着剤４５を透明基板４３の全面に塗布する。
【０１０２】
（４）その後、図７（ｄ）に示すように、有機複屈折膜４６の中心をスピンテーブル４１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤４５の上に直径９０ｍｍ、厚さ１００μｍの有機複屈折膜４６を載せる。その際、有機複屈折膜４６の側面はスピンテーブル４１に設けた複数のピン４２と近接ないし接触するようにしておく。
【０１０３】
（５）その後、図７（ｅ）に示すように、スピンテーブル４１に第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤４５を振り切り、接着層厚さを透明基板４３の面内で一定にして有機複屈折膜４６の表面を平坦化する。
【０１０４】
なお、本実施例では、複数のピン４２はスピンテーブル４１に固定されているため、第２の回転によって透明基板と同時に回転することになる。
【０１０５】
（６）さらに、図７（ｆ）に示すように、第２の回転中にイソプロピルアルコールなどの有機溶剤４７を滴下し、かつ有機複屈折膜４６側から高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射する。本工程により、透明基板周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤４６は除去され、かつ紫外線硬化型接着剤４６は半硬化する。
【０１０６】
ここで、第１の紫外線の照射エネルギーを実施例１，２の紫外線の照射エネルギーよりも小さくし、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤４５は重合して高粘度化する程度に留め、紫外線硬化型接着剤４６の完全硬化は、後述する図７（ｇ）の工程における第２の紫外線照射によって行われるようにしておく。
【０１０７】
（７）その後、図７（ｇ）に示すように、スピンテーブル４１の回転を停止し、有機複屈折膜４６側から高圧水銀灯を用いて第２の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤４６を完全硬化させる。
【０１０８】
（８）その後、有機複屈折膜を接着した透明基板（以下基板と略す）をスピンテーブルから外し、実施例１と同様にレジストパターンを形成し、その後Ａｌ蒸着後、リフトオフによって金属パターンを形成し、ＮＬＤを用い有機複屈折膜を３μｍの深さでエッチングし、Ａｌを除去して回折格子を作製する。図８（ａ）はこのときの構成を示す図である。
【０１０９】
（９）その後、平面加工したステンレス台上に回折格子４９を形成した基板を置き、回折格子面にアクリル性の等方性接着剤５１を滴下し、両面を光学研磨した直径１００ｍｍ、厚み１．５ｍｍの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスＢＫ７）５２を接着する。図８（ｂ）はそのときの構成を示す図である。なお、対向透明基板５２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。
【０１１０】
（１０）その後、図８（ｃ）に示すように、ダイシングソー５３を用いて５ｍｍ角に切りだし、複数の偏光分離素子５４を完成させる。
【０１１１】
本方法によると、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、透明基板の回転によって起こる有機複屈折膜の位置ずれを低減できる。その結果有機複屈折膜が透明基板からはみ出す頻度が小さくなり、本実施例のようにＸ，Ｙの３方向にのみピンを設けた場合も実施例１よりも搬送不良を低減でき、より低コストで偏光分離素子を実現できる。
【０１１２】
なお、接着層の厚さを均一化するため、透明基板を回転させてある程度接着剤を振り切らなければならないので、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤が急激に高粘度することを避ける必要があり、第１の紫外線は比較的弱い強度で照射するのがよく、本実施例では実施例１，２の紫外線の１／１０の強度で紫外線照射を行った。
【０１１３】
また、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤が高粘度化するため、接着層厚さを均一化するためには透明基板の回転数を最適化する必要があり、本実施例では第１の紫外線照射中に３ステップで回転数を上昇させた。
【０１１４】
なお、本実施例では有機溶媒の滴下中に透明基板を回転しながら第１の紫外線を照射したが、第１の紫外線の照射は本実施例に限定される必要はなく、前記の有機溶媒の滴下前、あるいは滴下後の一方であっても何ら構わず、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤が重合を始め、高粘度化して有機複屈折膜との固着力が大きくなればよい。
【０１１５】
＜実施例４＞
図９および図１０は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
以下、図９（ａ）〜（ｈ）および図１０（ａ）〜（ｄ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【０１１６】
（１）本実施例では、実施例２と同様、透明基板６３を固定するスピンテーブル６１に、図９（ｃ）の工程で紫外線硬化型接着剤の上に載置する有機複屈折膜の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピンをスピンテーブルから着脱可能にしておく。本実施例でも複屈折膜の直径方向で対向する４箇所にピンを設けている。
【０１１７】
（２）まず、図９（ａ）に示すように、直径１００ｍｍ、厚さ１．０ｍｍショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板６３をスピンテーブル６１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル６１に固定する。その後、スピンテーブル６１を１０〜５０ｒｐｍで回転させながら、透明基板６３の中央部にディスペンサー６４を用いて屈折率１．５８、粘度６００ｃｐのエポキシ系紫外線硬化型接着剤６５を３〜８ｇ滴下する。
【０１１８】
その後、スピンテーブル６１を１５０〜５００ｒｐｍで回転（第１の回転）させ、透明基板６３全面に紫外線硬化型接着剤６５を広げる。その後、スピンテーブル６１の回転を停止する。図９（ｂ）はこのときの構成を示す図である。
【０１１９】
（３）その後、図９（ｃ）示すように、有機高分子からなる保護膜６６１が粘着剤６６２によって貼りついた有機複屈折膜（直径９０ｍｍ、厚さ７０μｍ）６６を、その中心をスピンテーブル６１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤６５の上に載せる。
【０１２０】
（４）その後、図９（ｄ）に示すように、有機複屈折膜６６の側面と近接ないし接触するように、スピンテーブル６１に着脱可能な複数のピン６２を設置・固定する。
【０１２１】
（５）その後、図９（ｅ）に示すように、スピンテーブル６１に１０００〜３０００ｒｐｍの第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤６５を振り切り、接着層厚さを基板面内で一定にして有機複屈折膜６６の表面を平坦化する。
【０１２２】
なお、着脱可能な複数のピン６２はスピンテーブル６１に固定されているため、第２の回転によって透明基板６３と同時に回転することになる。
【０１２３】
（６）さらに、図９（ｆ）に示すように、第２の回転中にアセトンなどの有機溶剤６７を滴下し、かつ保護膜６６１上から高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射する。本工程により、透明基板６３周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤６５は除去され、かつ紫外線硬化型接着剤６５は半硬化する。
【０１２４】
ここで、第１の紫外線の照射エネルギーは紫外線硬化型接着剤６５が硬化に必要なエネルギーの１／５〜１／１０程度とし、紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤６５は重合して高粘度化する程度に留め、紫外線硬化型接着剤６５の完全硬化は図１０（ａ）の工程での第２の紫外線照射によって行われるようにしておく。
【０１２５】
なお、アセトンは保護膜６６１および有機複屈折膜６６を溶解せず、未硬化の紫外線硬化型接着剤６５を溶解する有機溶媒である。
【０１２６】
（７）その後、図９（ｇ）に示すように、スピンテーブル６１の回転を停止し、着脱可能な複数のピン６２をスピンテーブル６１から外して退避させる。
【０１２７】
（８）その後、図９（ｈ）に示すように、ピンセットなどを用いて、有機複屈折膜６６から保護膜６６１を剥離する。
【０１２８】
（９）次に、図１０（ａ）に示すように、有機複屈折膜６６側から高圧水銀灯を用いて第２の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤６５を完全硬化させる。
【０１２９】
（１０）その後、有機複屈折膜６６を接着した透明基板（以下基板と略す）６３をスピンテーブル６１から外し、有機複屈折膜６６上にスパッタ法によりＣｒを成膜し、その後、ポジレジストを０．７μｍの厚さに塗布し、６０℃３０分のプリベークを行う。
【０１３０】
その後、基板を縮小投影露光装置（ＮＡ＝０．３０、波長；ｉ線）に装着し、０．８μｍラインアンドスペースパターンのレチクルを用いて露光を行い、現像液ＮＭＤ−３（商標）を用いて現像し、ポストべークを行って周期的なレジストパターンを完成させた。
【０１３１】
その後、硝酸セリウムアンモニウム系のエッチング液でＣｒをエッチングし、その後レジストをアセトンで除去してＣｒパターンを完成させる。その後ＮＬＤエッチング装置を用い酸素ガスを主成分とするエッチングガス雰囲気中で、前記のＣｒパターンを金属マスクにして有機複屈折膜を深さ３μｍエッチングする。
【０１３２】
その後、前記のエッチング液を用いてＣｒパターンを除去し、凹凸格子（以後回折格子と記述）６９を完成させる。図１０（ｂ）はそのときの構成を示す図である。
【０１３３】
（１１）その後、平面加工したφ２００ｍｍ、厚み５０ｍｍのステンレス台上に回折格子６９を形成した基板を置き、回折格子面に光学的に等方的なエポキシ系紫外線硬化型接着剤（等方性接着剤）７１をマイクロシリンジで１．０ｍＬ滴下する。そして両面を光学研磨した直径１００ｍｍ、厚み１．５ｍｍの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスＢＫ７）７２を前記の等方性接着剤７１を塗布した基板面に載せ、さらに対向透明基板７２上に光学研磨した光学ガラスを載せ、対向透明基板７２に１００ｇｆ／ｃｍ２の圧力を加え、等方性接着剤７１を被接着面全面に広げる。図１０（ｃ）は、このときの構成を示す図である。
【０１３４】
なお、対向透明基板７２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。この状態で対向透明基板７２を通して紫外線を照射し、等方性接着剤７１を硬化する。
【０１３５】
（１２）その後、図１０（ｄ）に示すように、ダイシングソー７３を用いて５ｍｍ角に切りだし、複数の偏光分離素子７４を完成させる。
【０１３６】
本方法によると、第２の回転中は有機複屈折膜に粘着剤を介して保護膜がついている。そのため有機複屈折膜の剛性が大きくなり、第２の回転中に有機複屈折膜側面がピンに接触した場合も有機複屈折膜が変形しにくくなり、有機複屈折膜表面の平面性が改善される期待がある。
【０１３７】
また、保護膜を比較的厚くしてピンが保護膜のみに接触するようにした場合は、ピン先端とスピンテーブルとの間隔を大きくでき、Ｚ方向でのピン先端の位置精度を緩くでき、ピンの着脱機構を簡素化できる。
【０１３８】
さらに、透明基板と有機複屈折膜の貼り合せ工程は、有機複屈折膜の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で行うことができる。そのため貼り合せ工程で回折格子を形成する面にキズや異物を付ける確率が著しく減る。
【０１３９】
特に、スピンテーブルを回転させ、紫外線硬化型接着剤を振り切る工程において、振り切った接着剤のミストが回折格子を形成する面に付着しない（接着剤のミストは保護膜に付き、紫外線照射後保護膜を剥離するので、有機複屈折膜表面には残らない）ため、異物の非常に少ない有機複屈折膜表面を実現できる。そのためリソグラフィー工程において異物やキズによって発生するパターン欠陥を低減でき、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。
【０１４０】
また、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、透明基板の回転によって起こる有機複屈折膜の位置ずれをさらに低減できる。
【０１４１】
＜実施例５＞
図１１および図１２は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
以下、図１１（ａ）〜（ｈ）および図１２（ａ）〜（ｄ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【０１４２】
（１）本実施例では、実施例４と同様に透明基板８３を固定するスピンテーブル８１に、図１１（ｃ）の工程で紫外線硬化型接着剤の上に載置する有機複屈折膜の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピンをスピンテーブルから着脱可能にしておく。本実施例でも複屈折膜の直径方向で対向する４箇所にピンを設けている。
【０１４３】
（２）まず、図１１（ａ）に示すように、直径１００ｍｍ、厚さ１．０ｍｍショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板８３をスピンテーブル８１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル８１に固定する。その後、実施例４と同様に屈折率１．５８、粘度６００ｃｐのエポキシ系紫外線硬化型接着剤８５を透明基板８３の全面に塗布する。図１１（ｂ）はこのときの構成を示す図である。
【０１４４】
（３）その後、図１１（ｃ）に示すように、有機高分子からなる保護膜８６１が粘着剤８６２によって付着された有機複屈折膜（直径９０ｍｍ、厚さ７０μｍ）８６を、その中心をスピンテーブル８１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤８５の上に載せる。
【０１４５】
（４）その後、図１１（ｄ）に示すように、有機複屈折膜８６の側面と近接ないし接触するように、スピンテーブル８１に着脱可能な複数のピン８２を設置・固定する。
【０１４６】
（５）その後、図１１（ｅ）に示すように、スピンテーブルに１０００〜３０００ｒｐｍの第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤８５を振り切り、接着層厚さを基板面内で一定にして有機複屈折膜８６の表面を平坦化する。なお、着脱可能な複数のピン８２はスピンテーブル８１に固定されているため、第２の回転によって透明基板８３と同時に回転することになる。
【０１４７】
（６）さらに、図１１（ｆ）に示すように、第２の回転中にアセトンなどの有機溶媒８７を滴下し、かつ保護膜８６１上から高圧水銀灯を用いて第１の紫外線を照射する。本工程により、透明基板８３の周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤８５は除去され、かつ紫外線硬化型接着剤８５は半硬化する。
【０１４８】
（７）その後、図１１（ｇ）に示すように、スピンテーブル８１の回転を停止し、着脱可能な複数のピン８２をスピンテーブル８１から外して退避させる。
【０１４９】
（８）そして、図１１（ｈ）に示すように、保護膜８６１側から高圧水銀灯を用いて第２の紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤８５を完全硬化させる。なお、第２の紫外線のエネルギーは保護膜８６１での吸収を考慮し、実施例４の１．１倍とする。
【０１５０】
（９）その後、図１２（ａ）に示すように、ピンセットなどを用いて、有機複屈折膜８６から保護膜８６１を剥離する。
【０１５１】
（１０）その後、有機複屈折膜８６を接着した透明基板（以下基板と略す）８３をスピンテーブル８１から外し、実施例４と同様にして有機複屈折膜８６に回折格子８９を形成する。図１２（ｂ）は、このときの構成を示す図である。
【０１５２】
（１１）その後、平面加工したφ２００ｍｍ、厚み５０ｍｍのステンレス台上に回折格子を形成した基板を置き、回折格子面にエポキシ系等方性接着剤９１を滴下し、両面を光学研磨した直径１００ｍｍ、厚み１．５ｍｍの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスＢＫ７）９２を接着する。図１２（ｃ）は、このときの構成を示す図である。なお、対向透明基板９２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。
【０１５３】
（１２）その後、図１２（ｄ）に示すように、ダイシングソー９３を用いて５ｍｍ角に切りだし、複数の偏光分離素子９４を完成させる。
【０１５４】
本方法によっても、実施例４と同様に以下の効果が期待できる。すなわち、第２の回転中は有機複屈折膜に粘着剤を介して保護膜がついているため、有機複屈折膜の剛性を大きくできる。
【０１５５】
また、保護膜を比較的厚くしてピンが保護膜のみに接触するようにした場合は、Ｚ方向でのピン先端の位置精度を緩くでき、ピンの着脱機構を簡素化できる。さらに、有機複屈折膜の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で透明基板と有機複屈折膜の貼り合せを行うことができる。
【０１５６】
＜実施例６＞
図１３および図１４は、本発明に係る偏光分離素子の作製方法の別の一実施例を示す図である。
【０１５７】
ドライエッチング装置では基板周辺をクランプし、裏面から冷却しながらエッチングを行う場合が多い。クランプ時の応力によって有機複屈折膜や接着剤などの比較的軟質な材料は破壊する懸念があるため、基板周辺では有機複屈折膜を無くして透明基板を直接クランプすることが望ましい。そのため透明基板は有機複屈折膜よりも大きくして行う場合が多い。そのため、上記実施例１〜５においてはφ９０ｍｍの有機複屈折膜とφ１００ｍｍの透明基板を接着している。
【０１５８】
本実施例では、スピンテーブルに有機複屈折膜を固定し、紫外線硬化型接着剤を塗布後、有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載せる方法を採用する。そのためスピンテーブルに設ける複数のピンのうち対向する２本のピンの間隔は透明基板の直径と同等以上にしているので、透明基板よりも小さい有機複屈折膜は複数のピンに邪魔されず、スピンテーブルの上に載置することができる。
【０１５９】
以下、図１３（ａ）〜（ｇ）および図１４（ａ）〜（ｃ）に沿って本実施例における偏光分離素子の作製方法を説明する。
【０１６０】
（１）図１３（ａ）に示すように、有機複屈折膜を固定するスピンテーブル１０１に、図１３（ｄ）の工程で紫外線硬化型接着剤の上に載置する透明基板１０３の側面に近接ないし接触することが可能な複数のピン１０２を設けておく。本実施例では、図１５（ａ）の正面図、および同図（ｂ）の側面図に詳しく示した如く、透明基板１０３の直径方向で対向する４箇所にピン１０２を設けている。
【０１６１】
（２）図１３（ｂ）の工程では複数のピン１０２の上方から有機複屈折膜１０６をスピンテーブル１０１に載せるようにする。直径９０ｍｍ、厚さ１００μｍの有機複屈折膜１０６をスピンテーブル１０１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル１０１に固定する。その後、実施例５と同様に屈折率１．５８、粘度６００ｃｐのエポキシ系紫外線硬化型接着剤１０５を有機複屈折膜１０６の全面に塗布する。
（３）図１３（ｃ）は、このときの構成を示す図である。
【０１６２】
（４）その後、図１３（ｄ）に示すように、透明基板の中心をスピンテーブル１０１の回転中心にほぼ合せながら、載置装置を用いて紫外線硬化型接着剤１０５の上に直径１００ｍｍ、厚さ１．０ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板１０３を載せる。その際、透明基板１０３の側面はスピンテーブル１０１に設けた複数のピン１０２と近接ないし接触するようにしておく。
【０１６３】
（５）その後、図１３（ｅ）に示すように、スピンテーブル１０１に第２の回転を与え、紫外線硬化型接着剤１０５を振り切り、接着層厚さを基板面内で一定にする。なお、複数のピン１０２はスピンテーブル１０１に固定されているため、第２の回転によって有機複屈折膜１０６と同時に回転することになる。
【０１６４】
（６）さらに、図１３（ｆ）に示すように、第２の回転中にスピンテーブル１０１の下方からアセトンなどの有機溶媒１０７を噴霧し、透明基板１０３の周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤１０５を除去する。
【０１６５】
（７）その後、図１３（ｇ）に示すように、スピンテーブル１０１の回転を停止し、透明基板１０３側から高圧水銀灯を用いて紫外線を照射し、紫外線硬化型接着剤１０５を硬化させる。
【０１６６】
（８）その後、有機複屈折膜１０６を接着した透明基板（以下基板と略す）１０３をスピンテーブル１０１から外し、実施例４と同様に有機複屈折膜１０６に回折格子１０９を形成する。図１４（ａ）は、このときの構成を示す図である。
【０１６７】
（９）その後、平面加工したφ２００ｍｍ、厚み５０ｍｍのステンレス台上に回折格子１０９を形成した透明基板１０３を置き、回折格子面にエポキシ系等方性接着剤１１１を滴下し、両面を光学研磨した直径１００ｍｍ、厚み１．５ｍｍの対向透明基板（材質；ショット製光学ガラスＢＫ７）１１２を接着する。図１４（ｂ）は、このときの構成を示す図である。なお、対向透明基板１１２の被接着面と対向する面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図示せず）を形成している。
【０１６８】
（１０）その後、図１４（ｃ）に示すように、ダイシングソー１１３を用いて５ｍｍ角に切りだし、複数の偏光分離素子１１４を完成させる。
【０１６９】
本方法によると、スピンテーブル１０１に設ける複数のピン１０２は透明基板１０３と近接ないし接触している。そのため、対向する２本のピン１０２の間隔は透明基板１０３の直径と同等以上となる。そのため、透明基板１０３よりも小さい有機複屈折膜１０６は複数のピン１０２に邪魔されず、スピンテーブル１０１の上に載置することが可能となり、スピンテーブル１０１から着脱できないピン１０２であっても、上記実施例１，３とは異なりピン１０２の配置を自由に設定できる。
【０１７０】
なお、透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限するためには、透明基板の側面に近接ないし接触する複数のピンは少なくとも透明基板のＸ，Ｙの４方向でピンを設けることが望ましい。
【０１７１】
本実施例では、図１５（ａ）の正面図および図１５（ｂ）の側面図に示すように、透明基板の直径方向で対向する４箇所にピンを設けているため、最小のピン数で透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向で抑制できた。
【０１７２】
なお、透明基板の直径方向で対向する６箇所以上に着脱可能なピンを設けた場合も透明基板の位置ずれを少なくともＸ，Ｙ方向の両方向で抑制できるので、本実施例と同等の効果を期待できる。
【０１７３】
また、本実施例では透明基板の側面に近接ないし接触するように複数のピンを設けたが、透明基板を紫外線硬化型接着剤に置く位置精度を考えると、透明基板が複数のピンと接触するように置くためには、載置装置に画像認識機能を搭載し、スピンテーブルの回転中心と透明基板の中心を検出し、載置装置にフィードバック制御を掛けながらスピンテーブルの回転中心の中心を置く必要があり、載置装置のコストアップにつながる。
【０１７４】
そのため、載置装置のコストを抑えるためには、透明基板の側面に近接して複数のピンを設けることが望ましい。複数のピンと透明基板との間隔は透明基板を置く載置装置の位置精度や透明基板や有機複屈折膜の大きさや公差などを考慮して決めればよいが、一般的には載置装置の位置精度は容易に１ｍｍ以下に抑え込めるので、１．５ｍｍ程度にしておけば、第２の回転中に透明基板が位置ずれを起こしても最大で１．５ｍｍまでしか動かないので、有機複屈折膜が透明基板からはみ出すことがほとんど起こらない。
【０１７５】
なお、本実施例ではスピンテーブルに有機複屈折膜を真空吸着で固定している。スピンテーブルの吸着穴が大きいと、有機複屈折膜が引きこまれてしまい表面に凹部ができて好ましくない。
【０１７６】
よって、スピンテーブルの吸着穴を有機複屈折膜の膜厚に対し十分小さくすることが望ましい。しかし機械加工の精度を考慮すると微細な穴を加工することは容易ではない。
【０１７７】
そこで、スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面をアルミナやジルコニアなどの多孔質材料で作り、多孔質材料のマイクロポアを吸着穴に用いると、有機複屈折膜が吸着穴に引き込まれず、接着後平滑な有機複屈折膜表面を得ることができる。
【０１７８】
なお、接着後の有機複屈折膜の平面性はスピンテーブルの平面性にも強く影響されるため、通常のスピンテーブルよりも吸着面の平面性を向上させておく必要がある。
【０１７９】
また、実施例３のように、第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化し、その後、有機複屈折膜に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化すると、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、有機複屈折膜の回転によって起こる透明基板の位置ずれをさらに低減できるのでより望ましい。
【０１８０】
また、実施例４〜５のように有機複屈折膜に粘着剤を介して保護膜をつけて接着を行ってもよい。
【０１８１】
以上のように、実施例１〜６の作製方法によると、有機複屈折膜の接着工程では透明基板から有機複屈折膜がはみ出す頻度を小さくできることから、偏光分離素子の製造歩留を向上することが可能となる。また有機複屈折膜を透明基板に接着して作製しているので、従来のプリズムを接着したビームスプリッタよりも小さい偏光分離素子を作製できる。
【０１８２】
特に、実施例２，４，５，６の作製方法によると、有機複屈折膜ないし透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向で制限できるため、有機複屈折膜が透明基板からはみ出すことがほとんどない。
【０１８３】
そのため、従来位置ずれ修正のため行われていた作業（スピンテーブルの回転中に有機複屈折膜の位置ずれが発生した場合、スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻し、再びスピンテーブルを回転させる）が不要となる。その結果スピンテーブルの回転時間を一定にすることができ、基板間で接着層厚さを均一にできる。
【０１８４】
＜実施例７＞
図１６は、本発明に係る光ピックアップの構成の一実施例を示す図である。
本実施例におけるＣＤ用光ピックアップでは、レーザーダイオード２０１から出射された波長７８０ｎｍの光は実施例１の偏光分離素子２０２とコリメータレンズ２０３、λ／４波長板２０４、対物レンズ２０５を通った後、ＣＤ（図はＣＤ−ＲＷの例）２０６を照射し、ＣＤ２０６の記録ピットからの反射光はλ／４波長板２０４で直線偏光になった後、偏光分離素子２０２で回折してフォトダイオード２０７に導かれ、フォーカス検出、トラック検出、信号検出が行われる。
【０１８５】
本実施例の光ピックアップを用い、ＣＤ−ＲＷに信号を記録し、その後、同じ光ピックアップで信号の再生を行ったところ、プリズムを接着したビームスプリッタとλ／４波長板を組み合わせた従来のＣＤ用光ピックアップと同等の再生信号出力を得ることができ、本実施例の光ピックアップが従来の光ピックアップと同等の記録／再生特性を持つことが確認できた。
【０１８６】
また、本実施例のピックアップでは、偏光分離素子２０２が、プリズムを接着した従来型のビームスプリッタよりも小さくなっており、従来の光ピックアップと比較して小型化が実現できた。
【０１８７】
＜実施例８＞
図１７は、本発明に係る光ピックアップの構成の別の一実施例を示す図である。
本実施例におけるＤＶＤ用光ピックアップでは、レーザーダイオード３０１から出射された波長６８０ｎｍの光は実施例３の偏光分離素子３０２とコリメータレンズ３０３、λ／４波長板３０４、対物レンズ３０５を通った後、ＤＶＤ３０６を照射し、ＤＶＤ３０６の記録ピットからの反射光はλ／４波長板３０４で直線偏光になった後、偏光分離素子３０２で回折してフォトダイオード３０７に導かれ、フォーカス検出、トラック検出、信号検出が行われる。
【０１８８】
本実施例の光ピックアップを用い、ＤＶＤ−ＲＯＭから情報信号の再生を行ったところ、プリズムを接着したビームスプリッタとλ／４波長板を組み合わせた従来のＤＶＤ用光ピックアップと同等の信号出力を得ることができ、本実施例の光ピックアップが従来の光ピックアップと同等の再生特性を持つことが確認できた。
【０１８９】
また、本実施例のピックアップでは、偏光分離素子３０２がプリズムを接着した従来型のビームスプリッタよりも小さくなっているため、従来の光ピックアップよりも小型になっている。
【０１９０】
＜実施例９＞
図１８は、本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の一実施例を示す図である。
本実施例における有機複屈折膜の接着装置は、透明基板４０３を保持するスピンテーブル４０１と、前記スピンテーブル４０１を回転させるステッピングモーターなどからなる回転機構（図示されていない）と、前記透明基板４０３に紫外線硬化型接着剤を塗布するディスペンサー４０４からなる塗布機構と、２本の吸着アーム４０７によって有機複屈折膜４０６の両端を保持し、透明基板４０３上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜４０６を載置する載置機構４０８と、有機複屈折膜４０６側面に近接ないし接触する複数のピン４０２と、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜４０６を溶解しない有機溶媒を透明基板４０３に滴下するリンス機構４０９と透明基板４０３に紫外線を照射する高圧水銀灯やメタルハライドランプなどからなる紫外線照射機構４１０から構成されている。
【０１９１】
なお、スピンテーブル４０１上において複数のピン４０２は、有機複屈折膜４０６の直径方向で対向する４箇所のうち３箇所に設置・固定している。
【０１９２】
本実施例の接着装置を用いて有機複屈折膜を接着する手順を次に述べる。
有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所のうちピンを設けなかった１箇所から、直径１６５ｍｍ、厚さ１．５ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板４０３をスピンテーブル４０１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル４０１に固定する。その後、透明基板４０３の中央部にロボットアーム４０５によってディスペンサー４０４を移動し、スピンテーブル４０１を２０ｒｐｍで回転させながら、透明基板４０３の中央部にディスペンサー４０４を用いて屈折率１．５２のアクリル系紫外線硬化型接着剤を１０ｇ滴下する。
【０１９３】
その後、ディスペンサー４０４を元の位置に戻し、スピンテーブル４０１を３００ｒｐｍで回転（第１の回転）させ、透明基板４０３全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後、スピンテーブル４０１の回転を停止する。
【０１９４】
その後、直径１５５ｍｍ、厚さ８０μｍの有機複屈折膜４０６の両端を載置機構４０８の２本の吸着アーム４０７に真空吸着して保持し、載置機構４０８を透明基板４０３上へ移動し、有機複屈折膜４０６の中心をスピンテーブル４０１の回転中心にほぼ合せながら２本の吸着アーム４０７の真空吸着を徐々に解除して紫外線硬化型接着剤の上に有機複屈折膜４０６を載せる。その際、スピンテーブル４０１に固定された複数のピン４０２は有機複屈折膜４０６側面と０．５〜１．５ｍｍの距離で近接させるようにする。
【０１９５】
その後、載置装置４０８を元の位置に戻し、スピンテーブル４０１を３ステップで４００ｒｐｍから９００ｒｐｍに回転数を上げ（第２の回転）、紫外線硬化型接着剤を振り切り、接着層厚さを面内で一定にした。なお、スピンテーブル４０１に固定されている複数のピン４０２も第２の回転では透明基板４０３と同時に回転する。
【０１９６】
また９００ｒｐｍになってから有機複屈折膜４０６上にリンス機構４０９を移動して、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜４０６を溶解しない有機溶媒（本実施例ではイソプロピルアルコールを使用）を滴下し、基板周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤を除去する。
【０１９７】
その後、スピンテーブル４０１の回転を停止し、リンス機構４０９を元の位置に戻す。そして透明基板４０３上に紫外線照射機構４１０を移動し、有機複屈折膜４０６側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させる。紫外線照射終了後、紫外線照射機構４１０を元の位置に戻し、スピンテーブル４０１の真空吸着を解除して有機複屈折膜４０６を接着した透明基板４０３を取り出す。
【０１９８】
上記のように本実施例の接着装置を用いると、実施例１の偏光分離素子の作製方法を実現できるため、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを抑制できる。
【０１９９】
また、本実施例では、第２の回転の終了後に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化したが、第２の回転中に透明基板４０３上に紫外線照射機構４１０を移動し、有機複屈折膜４０６側から第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させ、その後、スピンテーブル４０１の回転を停止し、リンス機構４０９を元の位置に戻し、さらに、紫外線照射機構４１０を用いて有機複屈折膜４０６側から第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させると実施例３の偏光分離素子の作製方法を実現できることから、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しや位置ズレをさらに抑制できる。
【０２００】
なお、本実施例では紫外線照射機構４１０は１つであるため、第１、第２の紫外線照射では照射時間や照射距離などを変えて第１の紫外線と第２の紫外線を照射するが、光強度の異なる２つの紫外線照射機構を設け、各々第１の紫外線と第２の紫外線を照射してもよい。
【０２０１】
＜実施例１０＞
図１９は、本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一実施例を示す図である。
【０２０２】
本実施例における有機複屈折膜の接着装置は、透明基板５０３を保持するスピンテーブル５０１と、前記スピンテーブル５０１を回転させるステッピングモーターなどからなる回転機構（図示されていない）と、前記透明基板５０３に紫外線硬化型接着剤を塗布するディスペンサー５０４からなる塗布機構と、２本の吸着アーム５０７によって有機複屈折膜５０６の両端を保持し、透明基板５０３上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜５０６を載置する載置機構５０８と、有機複屈折膜５０６側面に近接ないし接触する複数のピン５０２と、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜５０６を溶解しない有機溶媒を透明基板５０３に滴下するリンス機構５０９と透明基板５０３に紫外線を照射する高圧水銀灯やメタルハライドランプなどからなる紫外線照射機構５１０から構成されている。
【０２０３】
なお、スピンテーブル５０１上において複数のピン５０２は、図示しない着脱機構によって遠隔操作でスピンテーブル５０１に固定でき、有機複屈折膜５０６の直径方向で対向する４箇所に配置できる。さらに、複数のピン５０２は前記の着脱機構によってスピンテーブル５０１からの取り外しが遠隔操作で行なえる。
【０２０４】
本実施例の接着装置を用いて有機複屈折膜を接着する手順を次に述べる。
直径１６５ｍｍ、厚さ１．５ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板５０３をスピンテーブル５０１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル５０１に固定する。
【０２０５】
その後、透明基板５０３の中央部にロボットアーム５０５によってディスペンサー５０４を移動し、スピンテーブル５０１を２０ｒｐｍで回転させながら、透明基板５０３の中央部にディスペンサー５０４を用いて屈折率１．５２のアクリル系紫外線硬化型接着剤を１０ｇ滴下する。
【０２０６】
その後、ディスペンサー５０４を元の位置に戻し、スピンテーブル５０１を３００ｒｐｍで回転（第１の回転）させ、透明基板５０３全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後スピンテーブル５０１の回転を停止する。
【０２０７】
その後、直径１５５ｍｍ、厚さ８０μｍの有機複屈折膜５０６の両端を載置機構５０８の２本の吸着アーム５０７に真空吸着して保持し、載置機構５０８を透明基板５０３上へ移動し、有機複屈折膜５０６の中心をスピンテーブル５０１の回転中心にほぼ合せながら２本の吸着アーム５０７の真空吸着を徐々に解除して紫外線硬化型接着剤の上に有機複屈折膜５０６を載せる。
【０２０８】
その後、載置機構５０８を元の位置に戻し、図示しない着脱機構によって複数のピン５０２を動かし、スピンテーブル５０１の開孔（図示せず）に複数のピン５０２を挿し込んで固定し、複数のピン５０２と有機複屈折膜５０６側面との距離を１〜２ｍｍとした。
【０２０９】
その後、スピンテーブル５０１を３ステップで４００ｒｐｍから９００ｒｐｍに回転数を上げ（第２の回転）、紫外線硬化型接着剤を振り切り、接着層厚さを面内で一定にした。なお、スピンテーブル５０１に固定されている着脱可能な複数のピン５０２も第２の回転では透明基板５０３と同時に回転する。
【０２１０】
また、９００ｒｐｍになってから有機複屈折膜５０６上にリンス機構５０９を移動して、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜５０６を溶解しない有機溶媒（本実施例ではイソプロピルアルコールを使用）を滴下し、基板周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤を除去する。
【０２１１】
その後、スピンテーブル５０１の回転を停止し、リンス機構５０９を元の位置に戻す。その後、着脱機構によって複数のピン５０２をスピンテーブル５０１の開孔から外して退避させた後、透明基板５０３上に紫外線照射機構５１０を移動し、有機複屈折膜５０６側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させる。
【０２１２】
紫外線照射終了後、紫外線照射機構５１０を元の位置に戻し、スピンテーブル５０１の真空吸着を解除して有機複屈折膜５０６を接着した透明基板５０３を取り出す。
【０２１３】
上記のように、本実施例の接着装置を用いると、実施例２の偏光分離素子の作製方法を実現できるため、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを防止できる。
【０２１４】
また、本実施例では、第２の回転の終了後に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化したが、第２の回転中に透明基板５０３上に紫外線照射機構５１０を移動し、有機複屈折膜５０６側から第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させ、その後、スピンテーブル５０１の回転を停止し、リンス機構５０９を元の位置に戻し、さらに、紫外線照射機構５１０から有機複屈折膜５０６側から第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させてもよい。
【０２１５】
さらに、有機複屈折膜５０６に粘着剤を介して保護膜を付けると、実施例４、５の偏光分離素子の作製方法を実現できる。その結果、第２の回転中に有機複屈折膜５０６の剛性が向上し、有機複屈折膜５０６の側面がピン５０２に接触した場合も有機複屈折膜５０６が変形しにくくなり、有機複屈折膜５０６表面の平面性が改善される期待がある。
【０２１６】
また、保護膜を比較的厚くしてピン５０２が保護膜のみに接触するようにした場合は、ピン５０２の先端とスピンテーブル５０１との間隔を大きくでき、Ｚ方向でのピン先端の位置精度を緩くでき、ピンの着脱機構を簡素化できる。
【０２１７】
さらに、有機複屈折膜５０６の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で行うことができるため、貼り合せ工程で回折格子を形成する面にキズや異物を付ける確率を著しく減らすことが可能となる。
【０２１８】
＜実施例１１＞
図２０は、本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一実施例を示す図である。
【０２１９】
本発明に係る有機複屈折膜の接着装置は、有機複屈折膜６０６を保持するスピンテーブル６０１と、前記スピンテーブル６０１を回転させるステッピングモーターなどからなる回転機構（図示されていない）と、前記有機複屈折膜６０６に紫外線硬化型接着剤を塗布するディスペンサー６０４からなる塗布機構と、２本の吸着アーム６０７によって透明基板６０３の両端を保持し、有機複屈折膜６０６上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に透明基板６０３を載置する載置機構６０８と、透明基板６０３側面に近接ないし接触する複数のピン６０２と、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜６０６を溶解しない有機溶媒を透明基板６０３に噴霧するリンス機構６０９と透明基板６０３に紫外線を照射する高圧水銀灯やメタルハライドランプなどからなる紫外線照射機構６１０から構成されている。
【０２２０】
なお、スピンテーブル６０１上において複数のピン６０２は、透明基板６０３の直径方向で対向する４箇所に設置・固定している。
【０２２１】
本実施例の接着装置を用いて有機複屈折膜を接着する手順を次に述べる。
直径１５５ｍｍ、厚さ８０μｍの有機複屈折膜６０６をスピンテーブル６０１に載せ、真空吸着によってスピンテーブル６０１に固定する。その後、有機複屈折膜６０６の中央部にロボットアーム６０５によってディスペンサー６０４を移動し、スピンテーブル６０１を２０ｒｐｍで回転させながら、有機複屈折膜６０６の中央部にディスペンサー６０４を用いて屈折率１．５８のエポキシ系紫外線硬化型接着剤を１１ｇ滴下する
【０２２２】
なお、スピンテーブル６０１は有機複屈折膜６０６と接触する面が多孔質のアルミナから形成されており、スピンテーブル６０１表面の表面粗さは３ｕｍ以下に抑えられている。
【０２２３】
その後、ディスペンサー６０４を元の位置に戻し、スピンテーブル６０１を３００ｒｐｍで回転（第１の回転）させ、有機複屈折膜６０６全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後、スピンテーブル６０１の回転を停止する。
【０２２４】
その後、直径１６５ｍｍ、厚さ１．５ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板６０３の両端を載置機構６０８の２本の吸着アーム６０７に真空吸着して保持し、載置機構６０８を有機複屈折膜６０６上へ移動し、透明基板６０３の中心をスピンテーブル６０１の回転中心にほぼ合せ、透明基板６０３を斜めに倒すように吸着アーム６０７を動かして紫外線硬化型接着剤の上に透明基板６０３を載せる。その際、スピンテーブル６０１に固定された複数のピン６０２は透明基板６０３側面と０．５〜１．５ｍｍの距離で近接させるようにする。
【０２２５】
その後、載置装置６０８を元の位置に戻し、スピンテーブル６０１を３ステップで４００ｒｐｍから９００ｒｐｍに回転数を上げ（第２の回転）、紫外線硬化型接着剤を振り切り、接着層厚さを面内で一定にした。
【０２２６】
なお、スピンテーブル６０１に固定されている複数のピン６０２も第２の回転では有機複屈折膜６０６と同時に回転する。また９００ｒｐｍになってから透明基板６０３の下部にリンス機構６０９を移動して、硬化前の紫外線硬化型接着剤を溶解しかつ有機複屈折膜６０６を溶解しない有機溶媒（本実施例ではアセトンを使用）を噴霧し、基板周辺部に残っていた紫外線硬化型接着剤を除去する。
【０２２７】
その後、スピンテーブル６０１の回転を停止し、リンス機構６０９を元の位置に戻す。そして透明基板６０３上に紫外線照射機構６１０を移動し、透明基板６０３側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させる。紫外線照射終了後、紫外線照射機構６１０を元の位置に戻し、スピンテーブル６０１の真空吸着を解除して有機複屈折膜６０６を接着した透明基板６０３を取り出す。
【０２２８】
上記のように本実施例の接着装置を用いると、実施例６の偏光分離素子の作製方法を実現できるため、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しを防止できる。
【０２２９】
また、スピンテーブル６０１の有機複屈折膜６０６と接触する面が多孔質であるため、真空吸着によってスピンテーブル６０１に有機複屈折膜６０６を固定する際に吸着穴に有機複屈折膜６０６が引き込まれないので、接着後は平面性のよい有機複屈折膜表面を得ることができる。
【０２３０】
また、本実施例では、第２の回転の終了後に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化したが、第２の回転中に透明基板６０３上に紫外線照射機構６１０を移動し、透明基板６０３側から第１の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を半硬化させる。
【０２３１】
その後、スピンテーブル６０１の回転を停止し、リンス機構６０９を元の位置に戻し、さらに、紫外線照射機構６１０により透明基板６０３側から第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させると、透明基板６０３の位置ずれをさらに抑制できるのでより望ましい。
【０２３２】
なお、本実施例では紫外線照射機構６１０は１つであるため、第１、第２の紫外線照射では照射時間や照射距離などを変えて第１の紫外線と第２の紫外線を照射するが、光強度の異なる２つの紫外線照射機構を設け、各々第１の紫外線と第２の紫外線を照射してもよい。
【０２３３】
【発明の効果】
以下、本発明の効果を請求項毎に述べる。
【０２３４】
ａ）請求項１に記載の偏光分離素子の作製方法は、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程が、透明基板に第１の回転を与えて透明基板全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、該紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと透明基板に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、透明基板に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有するようにしている。
【０２３５】
そのため、スピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピンを設けた方向については有機複屈折膜はその側面がピンに接触する位置までしかずれないため大きな位置ずれを抑制できる。
【０２３６】
その結果、紫外線を照射して接着剤を硬化させた後、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を小さくすることができる。
【０２３７】
また、従来位置ずれ修正のため行われていた作業（有機複屈折膜の位置ずれが起きた場合スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻す作業を繰り返す）を少なくすることができるため、貼り付け工程のスループットが向上する。
【０２３８】
ｂ）請求項２に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンが透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能となっている。
【０２３９】
そのため、透明基板をスピンテーブルに載せる時は複数のピンを外した状態で行うことができ、透明基板をスピンテーブルに載せるための空間を確保するためにピンを設置できない領域を作る必要がない。その結果スピンテーブルに複数のピンを自由に配置できる。
【０２４０】
請求項３に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンは有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けている。
【０２４１】
そのため、最小のピン数で有機複屈折膜の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限することができる。
【０２４２】
請求項４に記載の偏光分離素子の作製方法においては、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程が、透明基板に第１の回転を与えて全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと透明基板に第２の回転を与えて有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、該第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、透明基板に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有するようにしている。
【０２４３】
そのため、スピンテーブルの回転中心に有機複屈折膜の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピンを設けた方向については有機複屈折膜はその側面がピンに接触する位置までしかずれないため大きな位置ずれを抑制できる。
【０２４４】
さらに、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、透明基板の回転によって起こる有機複屈折膜の位置ずれを低減できる。その結果、有機複屈折膜が透明基板からはみ出す頻度をさらに小さくできる。
【０２４５】
請求項５に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンが透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能となっている。
【０２４６】
そのため、透明基板をスピンテーブルに載せる時は複数のピンを外した状態で行うことができ、透明基板をスピンテーブルに載せるための空間を確保するためにピンを設置できない領域を作る必要がない。その結果スピンテーブルに複数のピンを自由に配置できる。
【０２４７】
請求項６に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜側面に近接ないし接触する複数のピンは有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けている。
【０２４８】
そのため、最小のピン数で有機複屈折膜の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限することができる。
【０２４９】
請求項７に記載の偏光分離素子の作製方法においては、有機複屈折膜は透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜が付いており、透明基板に第１の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離する。
【０２５０】
また、請求項８に記載の偏光分離素子の作製方法において、有機複屈折膜は透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜が付いており、透明基板に第２の紫外線を照射した後に有機複屈折膜から保護膜を剥離する。
【０２５１】
そのため、第２の回転中は有機複屈折膜に粘着剤を介して保護膜がついているので、有機複屈折膜の剛性が大きくなり、第２の回転中に有機複屈折膜側面がピンに接触した場合も有機複屈折膜が変形しにくくなり、有機複屈折膜表面の平面性が改善される。
【０２５２】
また、保護膜を比較的厚くしてピンが保護膜のみに接触するようにした場合は、ピン先端とスピンテーブルとの間隔を大きくでき、Ｚ方向でのピン先端の位置精度を緩くでき、ピンの着脱機構を簡素化できる。
【０２５３】
さらに、透明基板と有機複屈折膜の貼り合せる場合に、有機複屈折膜の面のうち回折格子を形成する面を保護膜で被覆した状態で行うことができる。そのため貼り合せ工程で回折格子を形成する面にキズや異物を付ける確率が著しく減らすことができる。
【０２５４】
特に、スピンテーブルを回転させ、紫外線硬化型接着剤を振り切る工程において、振り切った接着剤のミストが回折格子を形成する面に付着しない（接着剤のミストは保護膜に付き、紫外線照射後保護膜を剥離するので、有機複屈折膜表面には残らない）ため、異物の非常に少ない有機複屈折膜表面を実現できる。そのためリソグラフィー工程において異物やキズによって発生するパターン欠陥を低減でき、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。
【０２５５】
請求項９に記載の偏光分子素子の作製方法においては、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程が、有機複屈折膜に第１の回転を与えて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと有機複屈折膜に第２の回転を与えるステップと、有機複屈折膜に紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップとを有するようにしたものである。
【０２５６】
そのため、スピンテーブルの回転中心に透明基板の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピンを設けた方向については透明基板はその側面がピンに接触する位置までしかずれないため大きな位置ずれを抑制できる。
【０２５７】
その結果、紫外線を照射して接着剤を硬化させた後、次工程や装置内で基板を搬送する際に搬送不良が起きる確率を小さくすることができる。
【０２５８】
また、透明基板は有機複屈折膜よりも大きいため、スピンテーブルに設ける複数のピンのうち対向する２本のピンの間隔は透明基板の直径と同等以上にしているので、透明基板よりも小さい有機複屈折膜は複数のピンに邪魔されず、スピンテーブルの上に載置することができる。その結果、スピンテーブルに複数のピンを自由に配置できる。
【０２５９】
請求項１０に記載の偏光分離素子の作製方法においては、透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンは透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けているので、最小のピン数で透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限することができる。
【０２６０】
請求項１１に記載の偏光分離素子の作製方法においては、透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程が、有機複屈折膜に第１の回転を与えて有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと有機複屈折膜に第２の回転を与えるステップと、該第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、有機複屈折膜に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有するようにしたものである。
【０２６１】
そのため、スピンテーブルの回転中心に透明基板の中心が完全には載っていない場合においても、第２の回転中では少なくともピンを設けた方向については透明基板はその側面がピンに接触する位置までしかずれないため大きな位置ずれを抑制できる。
【０２６２】
さらに、第１の紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤は重合を開始して高粘度化するため、紫外線硬化型接着剤と有機複屈折膜との固着力が強まり、有機複屈折膜の回転によって起こる透明基板の位置ずれを低減できる。その結果、有機複屈折膜が透明基板からはみ出す頻度をさらに小さくできる。
【０２６３】
請求項１２に記載の偏光分離素子の作製方法において、透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンは透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けている。そのため最小のピン数で透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向（＋Ｘ，−Ｘ，＋Ｙ，−Ｙ方向）で制限することができる。
【０２６４】
請求項１３の偏光分離素子は請求項１〜１２の方法によって作製されている。そのため有機複屈折膜の接着工程では透明基板から有機複屈折膜がはみ出す頻度を小さくできることから、偏光分離素子の製造歩留が向上する。
【０２６５】
また、有機複屈折膜を透明基板に接着して作製しているので、従来のプリズムを接着したビームスプリッタよりも小さい偏光分離素子を作製できる。
【０２６６】
特に、請求項３，６，１０の方法によると、有機複屈折膜ないし透明基板の位置ずれをＸ，Ｙの４方向で制限できるため、有機複屈折膜が透明基板からはみ出すことがほとんどない。
【０２６７】
そのため、従来位置ずれ修正のため行われていた作業（スピンテーブルの回転中に有機複屈折膜の位置ずれが発生した場合、スピンテーブルの回転を停止し、適切な位置へ有機複屈折膜を戻し、再びスピンテーブルを回転させる）が不要となる。その結果スピンテーブルの回転時間を一定にすることができ、基板間で接着層厚さを均一にできる。
【０２６８】
請求項１４の光ピックアップは請求項１３の偏光分離素子を用いているので、プリズムを接着したビームスプリッタを用いる従来のピックアップよりも小型にできる。
【０２６９】
請求項１５の有機複屈折膜の接着装置は、透明基板を保持するスピンテーブルと、スピンテーブルを回転させる回転機構と、透明基板に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、透明基板上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置する載置機構と、有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けた複数のピンと、透明基板に紫外線を照射する紫外線照射機構からなるので、請求項１、４の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７０】
また、有機複屈折膜に透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を付けると、請求項７、８の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７１】
請求項１６の有機複屈折膜の接着装置は、複数のピンをスピンテーブルから着脱する着脱機構を有しているので、請求項２、５の偏光分離素子の作製方法を実現できる。また複数のピンを有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けると、請求項３、６の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７２】
さらに、有機複屈折膜は透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を付けると、請求項７、８の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７３】
請求項１７の有機複屈折膜の接着装置は、有機複屈折膜を保持するスピンテーブルと、スピンテーブルを回転させる回転機構と、有機複屈折膜に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、有機複屈折膜に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置する載置機構と、透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンと、有機複屈折膜に紫外線を照射する紫外線照射機構からなるので、請求項９、１１の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７４】
また、複数のピンを透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けると、請求項１０、１２の偏光分離素子の作製方法を実現できる。
【０２７５】
請求項１８に記載の有機複屈折膜の接着装置においては、スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面が多孔質である。そのためマイクロポアを吸着穴として利用できるため、有機複屈折膜を真空吸着で固定する際に吸着穴に有機複屈折膜を引き込まず、接着後では平滑な有機複屈折膜表面を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例１）を示す図である（その１）。
【図２】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例１）を示す図である（その２）。
【図３】実施例１におけるピン配置を示す図である。
【図４】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例２）を示す図である（その１）。
【図５】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例２）を示す図である（その２）。
【図６】実施例２におけるピン配置を示す図である。
【図７】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例３）を示す図である（その１）。
【図８】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例３）を示す図である（その２）。
【図９】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例４）を示す図である（その１）。
【図１０】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例４）を示す図である（その２）。
【図１１】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例５）を示す図である（その１）。
【図１２】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例５）を示す図である（その２）。
【図１３】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例６）を示す図である（その１）。
【図１４】本発明に係る偏光分離素子の作製方法の一実施例（実施例６）を示す図である（その２）。
【図１５】実施例６におけるピン配置を示す図である。
【図１６】本発明に係る光ピックアップ（ＣＤ用）の構成の一実施例（実施例７）を示す図である。
【図１７】本発明に係る光ピックアップ（ＤＶＤ用）の構成の一実施例（実施例８）を示す図である。
【図１８】本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の一実施例（実施例９）を示す図である。
【図１９】本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一実施例（実施例１０）を示す図である。
【図２０】本発明に係る有機複屈折膜の接着装置の別の一実施例（実施例１１）を示す図である。
【図２１】スピンナー法による貼り合せ光ディスクの作製工程を説明するための図である。
【図２２】スピンテーブル上の有機複屈折膜が位置ずれを起こす例を説明するための図である。
【．符号の説明】
１，２１，４１，６１，８１，１０１，４０１，５０１，６０１，８０１，９０１：スピンテーブル、
２，２２，４２，６２，８２，１０２，４０２，５０２，６０２：ピン、
３，２３，４３，６３，８３，１０３，４０３，５０３，６０３，９０３：透明基板、
４，４４，６４，１０４，４０４，５０４，６０４：ディスペンサー、
５，２５，４５，６５，８５，１０５，８０５，９０５：紫外線硬化型接着剤、
６，２６，４６，６６，８６，１０６，４０６，５０６，６０６，９０６：有機複屈折膜、
７，２７，４７，６７，８７，１０７：有機溶剤、
８，２８：紫外線、
９，２９，４９，６９，８９，１０９：回折格子、
１１，３１，５１，７１，９１，１１１：等方性接着剤、
１２，３２，５２，７２，９２，１１２：対向透明基板、
１３，３３，５３，７３，９３，１１３：ダイシングソー、
１４，３４，５４，７４，９４，１１４：偏光分離素子、
２０１，３０１：レーザーダイオード、
２０２，３０２：偏光分離素子、
２０３，３０３：コリメータレンズ、
２０４，３０４：λ／４波長板、
２０５，３０５：対物レンズ、
２０６：ＣＤ−ＲＷ、
２０７，３０７：フォトダイオード、
３０６：ＤＶＤ、
４０５，５０５，６０５：ロボットアーム、
４０７，５０７，６０７：吸着アーム、
４０８，５０８，６０８：載置機構、
４０９，５０９，６０９：リンス機構、
４１０，５１０，６１０：紫外線照射機構、
６６１，８６１：保護膜、
６６２，８６２：粘着剤、
８０２：センターピン、
８０３：第１の基板、
８０４，８０７：ハブ、
８０６：第２の基板、
８０８：紫外線（ＵＶ）
８０９：貼り合せ光ディスク。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a technique for manufacturing a polarization separation element, and particularly to a polarization separation element capable of suppressing an organic birefringent film from sticking out of a transparent substrate and a positional shift when an organic birefringent film is bonded to a transparent substrate. The present invention relates to a manufacturing method, a polarization splitting element manufactured by using the manufacturing method, an optical pickup using the polarization splitting element, and an organic birefringent film bonding apparatus used therefor.
[0002]
[Prior art]
In an optical disk pickup, a polarization separation element is used to separate incident light from a light source and reflected light (information signal) from an optical disk and efficiently guide the reflected light (information signal) to a light receiving element. Conventionally, a combination of a beam splitter with a bonded prism and a λ / 4 wavelength plate has been usually used. However, in order to meet demands for downsizing and cost reduction of pickups, a thin polarization splitter is used instead of a beam splitter. A birefringent diffraction grating type polarization splitting element that can realize the element is being developed.
[0003]
As a method of separating two orthogonal polarization components, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-75130 (Patent Document 1) discloses that an organic birefringent film having a different refractive index is adhered to a vibrating surface having different incident light on a transparent substrate, and A polarization splitting element in which a periodic uneven grating (hereinafter, abbreviated as a diffraction grating) is formed on the surface of an organic birefringent film has been proposed. The organic birefringent film is made of a stretched organic polymer material.
[0004]
In the above polarization separation element, the organic birefringent film is adhered to the transparent substrate using an adhesive, but it is necessary to make the thickness of the adhesive layer uniform in order to keep the optical path constant within the diffraction grating plane. is there.
[0005]
In addition, when air bubbles enter the adhesive layer, light (incident light, outgoing light) is scattered by the air bubbles and the diffraction efficiency is reduced. Therefore, an adhesive method that does not involve air bubbles is required.
[0006]
From the above points, the spinner method used for the bonded optical disk is suitable as the method of bonding the organic birefringent film to the transparent substrate.
[0007]
Hereinafter, the spinner method will be described.
FIG. 21 is a diagram for explaining a manufacturing process of a bonded optical disc by the spinner method.
[0008]
(1) The hub 804 of the first substrate 803 is inserted into the center pin 802 of the spin table 801, and the ultraviolet curable adhesive 805 is dropped on the first substrate 803 while rotating the spin table 801 (see FIG. a)).
[0009]
(2) When the UV curable adhesive 805 spreads over the entire surface of the first substrate 803, the rotation of the spin table 801 is stopped (see FIG. 21B).
[0010]
(3) Then, the hub 807 of the second substrate 806 is inserted into the center pin 802 of the spin table 801, and the first substrate 803 and the second substrate 806 are joined via the ultraviolet curing adhesive 805 (FIG. 21 (c)).
[0011]
(4) After that, the spin table 801 is rotated to remove excess UV-curable adhesive 805 to make the thickness of the adhesive layer constant (see FIG. 21D).
[0012]
(5) Thereafter, the rotation of the spin table 801 is stopped, and the adhesive layer is cured by irradiating ultraviolet rays (UV) 808 to complete the bonded optical disc 809 (see FIG. 21E).
[0013]
Here, a configuration example in the case where the above method is used for bonding an organic birefringent film, and a problem occurring at that time will be described.
[0014]
Since the polarization separation element is about several mm in size, several tens to several hundreds of diffraction gratings are formed in an array on an organic birefringent film adhered to a transparent substrate having a diameter of 4 to 8 inches, and then dicing is performed. To take out each polarized light separating element.
[0015]
Further, in order to increase the number of polarization separation elements that can be obtained from one substrate, a configuration is adopted in which no hub is provided on the organic birefringent film or the transparent substrate. Therefore, the transparent substrate is vacuum-adsorbed onto the spin table, then an ultraviolet-curing adhesive is dropped at the center of the transparent substrate, and the spin table is rotated to spread the adhesive over the entire transparent substrate. Although placed on top, the organic birefringent film has no hub and cannot be fixed with the center pin, and is placed on the transparent substrate in a free state.
[0016]
In general, an organic birefringent film is mounted on a transparent substrate coated with an adhesive using a mounting device, but it is necessary to precisely align the center of the organic birefringent film with the center of rotation of the spin table. Are often difficult in terms of mechanical accuracy.
[0017]
FIG. 22 is a diagram for explaining an example in which the organic birefringent film on the spin table causes a displacement. When the spin table 901 is rotated when the organic birefringent film 906 is not accurately placed on the rotation center of the spin table 901 as shown in FIG. The refraction film 906 will be displaced. In the figure, reference numeral 903 denotes a transparent substrate, and 905 denotes an ultraviolet curable adhesive.
[0018]
When the displacement is large, the organic birefringent film 906 protrudes from the transparent substrate 903. After the ultraviolet-curing adhesive 905 is cured by ultraviolet irradiation, lithography / dry etching is performed to form a diffraction grating. If the organic birefringent film 906 protrudes from 903, it becomes difficult to convey it, and a diffraction grating cannot be formed.
[0019]
Therefore, when the position shift of the organic birefringent film 906 occurs during the rotation of the spin table 901, the operation of temporarily stopping the rotation of the spin table 901 and returning the organic birefringent film 906 to an appropriate position is performed. It was necessary to rotate the spin table 901 again. Such repetition of the operation has caused a decrease in the throughput of the bonding step. In addition, when the above operation is performed, the rotation time of the spin table 901 cannot be made constant, causing a problem that the thickness of the adhesive layer becomes uneven between the substrates.
[0020]
In order to prevent the displacement of the organic birefringent film 906 during rotation of the spin table 901, a method of irradiating ultraviolet rays during rotation is conceivable. For example, as a method for manufacturing a bonded optical disk, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-334521 (Patent Document 2) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-268416 (Patent Document 3) disclose an ultraviolet-curing adhesive during rotation. Methods for curing agents have been proposed. However, in the production of the polarization splitting element, it is difficult to completely prevent the displacement of the organic birefringent film because the substrate must be rotated to some extent and the thickness of the adhesive layer must be uniform to irradiate ultraviolet rays. there were.
[0021]
In addition, an image recognition function is mounted on the mounting device, and the center of rotation of the spin table and the center of the organic birefringent film are detected. Is advantageous in that the alignment accuracy between the rotation center of the spin table and the center of the organic birefringent film can be remarkably improved, so that the displacement of the organic birefringent film hardly occurs during the rotation of the spin table.
[0022]
However, when this configuration is adopted, it is necessary to provide a detection mechanism and a feedback mechanism using a CCD or the like in the mounting device, and there is a problem that the cost of the mounting device increases. In addition, since position detection and feedback control are performed at the time of bonding, there is a problem that the throughput of the bonding process is reduced. Therefore, it is difficult to manufacture a polarization separation element at low cost by this method.
[0023]
[Patent Document 1]
JP 2000-75130 A
[Patent Document 2]
JP-A-10-334521
[Patent Document 3]
JP 2000-268416 A
[0024]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to solve the above problems. The purpose of each claim is described below.
[0025]
The invention according to claims 1 to 12 is directed to a method for manufacturing a polarization splitting element capable of suppressing the organic birefringent film from sticking out of the transparent substrate and displacing when the organic birefringent film is bonded to the transparent substrate. It is intended to provide.
An object of the invention described in claim 13 is to provide a polarization beam splitting element capable of improving the yield.
[0026]
An object of the invention described in claim 14 is to provide an optical pickup that can be made smaller than before.
[0027]
The invention according to claims 15 to 18 is directed to a bonding apparatus for an organic birefringent film that can suppress the organic birefringent film from sticking out of the transparent substrate and causing misalignment when the organic birefringent film is bonded to the transparent substrate. It is intended to provide.
[0028]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a method for manufacturing a polarization separation element, a polarization separation element, an optical pickup, and an apparatus for bonding an organic birefringent film according to the present invention each have the following configuration. . Hereinafter, the features of the configuration for each claim will be described.
[0029]
a) The invention according to claim 1 is a method of bonding an organic birefringent film having a different refractive index to a vibrating surface of different incident light on a transparent substrate, and forming a periodic mask pattern on the organic birefringent film. Forming a periodic diffraction grating by etching the organic birefringent film using the mask pattern, wherein the bonding step includes: applying a first rotation to the transparent substrate to obtain a transparent substrate; Applying an ultraviolet-curable adhesive to the entire surface of the substrate, placing an organic birefringent film on the ultraviolet-curable adhesive, and providing a plurality of organic birefringent films provided so as to approach or contact the side surfaces of the organic birefringent film. The method comprises the steps of: applying a second rotation to the pins and the transparent substrate to flatten the surface of the organic birefringent film; and irradiating the transparent substrate with ultraviolet rays to cure the ultraviolet-curable adhesive.
[0030]
b) The invention according to claim 2 is characterized in that, in the method for manufacturing a polarization separation element according to claim 1, a plurality of pins are detachable from a spin table for rotating a transparent substrate.
[0031]
c) The invention according to claim 3 is characterized in that, in the method for manufacturing a polarization splitting element according to claim 1 or 2, a plurality of pins are provided at four locations facing each other in a diameter direction of the organic birefringent film. .
[0032]
d) a bonding step of bonding organic birefringent films having different refractive indices to vibrating surfaces of different incident light on a transparent substrate; and a periodic mask pattern on the organic birefringent film. Forming a periodic diffraction grating by etching the organic birefringent film using the mask pattern, wherein the bonding step includes performing a first rotation on the transparent substrate. Applying an ultraviolet-curing adhesive to the entire surface, placing an organic birefringent film on the ultraviolet-curing adhesive, and providing a plurality of Applying a second rotation to the pin and the transparent substrate to flatten the surface of the organic birefringent film, irradiating the first ultraviolet ray during the second rotation to semi-curing the ultraviolet-curable adhesive; The second UV It is characterized by the step of curing the ultraviolet curing adhesive shines.
[0033]
e) The invention according to claim 5 is characterized in that, in the method for manufacturing a polarization separation element according to claim 4, a plurality of pins are detachable from a spin table for rotating a transparent substrate.
[0034]
f) The invention according to claim 6 is characterized in that, in the method for manufacturing a polarization splitting element according to claim 4 or 5, a plurality of pins are provided at four locations diametrically opposed to each other in the organic birefringent film. .
[0035]
g) The invention according to claim 7 is the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to any one of claims 4 to 6, wherein the organic birefringent film is provided with an adhesive on a surface opposed to a surface adhered to the transparent substrate. A protective film, and the protective film is separated from the organic birefringent film after the transparent substrate is irradiated with the first ultraviolet ray.
[0036]
h) The invention according to claim 8 is the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to any one of claims 4 to 6, wherein the organic birefringent film is provided with an adhesive on a surface opposed to a surface adhered to the transparent substrate. A protective film, and the protective film is separated from the organic birefringent film after irradiating the transparent substrate with the second ultraviolet ray.
[0037]
i) a bonding step of bonding organic birefringent films having different refractive indices to vibrating surfaces of different incident light on a transparent substrate; and a periodic mask pattern on the organic birefringent film. And forming a periodic diffraction grating by etching the organic birefringent film using the mask pattern, wherein the bonding step comprises: Applying a UV curable adhesive to the entire surface of the organic birefringent film by applying a rotation, placing a transparent substrate larger than the organic birefringent film on the UV curable adhesive, The method includes a step of giving a second rotation to the plurality of pins and the organic birefringent film provided so as to be close to or in contact with each other, and a step of irradiating the organic birefringent film with ultraviolet rays to cure the ultraviolet curable adhesive. Special It is set to.
[0038]
j) According to a tenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the ninth aspect, a plurality of pins are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the transparent substrate.
[0039]
k) a bonding step of bonding organic birefringent films having different refractive indices to vibrating surfaces of different incident light on a transparent substrate, and a periodic mask pattern on the organic birefringent film. Forming a periodic diffraction grating by etching the organic birefringent film using the mask pattern, wherein the bonding step includes the step of first rotating the organic birefringent film on the organic birefringent film. Applying an ultraviolet-curable adhesive over the entire surface of the organic birefringent film, placing a transparent substrate larger than the organic birefringent film on the ultraviolet-curable adhesive, Or applying a second rotation to the plurality of pins and the organic birefringent film provided to be in contact with each other, and irradiating the first ultraviolet ray during the second rotation to semi-harden the ultraviolet-curable adhesive. , Organic bijo It is characterized by the step of curing the second ultraviolet was irradiated ultraviolet curable adhesive film.
[0040]
1) A twelfth aspect of the present invention is the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the eleventh aspect, wherein a plurality of pins are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the transparent substrate.
[0041]
m) A thirteenth aspect of the present invention is a polarization beam splitting element produced by the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to any one of the first to twelfth aspects.
[0042]
n) An invention according to claim 14 is an optical pickup using the polarization separation element according to claim 13.
[0043]
o) The invention according to claim 15 is a spin table that holds a transparent substrate, a rotation mechanism that rotates the spin table, an application mechanism that applies an ultraviolet-curable adhesive to the transparent substrate, and a coating mechanism that is applied on the transparent substrate. A mounting mechanism for mounting the organic birefringent film on the ultraviolet curable adhesive, a plurality of pins provided so as to be close to or in contact with the side surface of the organic birefringent film, and ultraviolet irradiation for irradiating the transparent substrate with ultraviolet light. It is characterized by having a mechanism.
[0044]
p) The invention according to claim 16 is the bonding device for an organic birefringent film according to claim 15, characterized in that it has an attachment / detachment mechanism for attaching / detaching a plurality of pins from / to a spin table.
[0045]
q) The invention according to claim 17 is a spin table for holding an organic birefringent film, a rotation mechanism for rotating the spin table, a coating mechanism for applying an ultraviolet curable adhesive to the organic birefringent film, A mounting mechanism for mounting a transparent substrate having a size larger than the organic birefringent film on the ultraviolet curable adhesive applied to the refractive film, a plurality of pins approaching or in contact with the side of the transparent substrate, and an organic birefringent film. It has an ultraviolet irradiation mechanism for irradiating ultraviolet light.
[0046]
r) The invention according to claim 18 is characterized in that, in the organic birefringent film bonding apparatus according to claim 17, the surface of the spin table that contacts the organic birefringent film is porous.
[0047]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0048]
<Example 1>
1 and 2 are views showing one embodiment of a method for producing a polarization beam splitter according to the present invention.
Hereinafter, a method for manufacturing a polarization beam splitting element in the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 (a) to 1 (g) and FIGS. 2 (a) to 2 (c).
[0049]
(1) First, as shown in FIG. 1A, an organic birefringent film placed on an ultraviolet-curable adhesive in a step of FIG. 1D described later on a spin table 1 for fixing a transparent substrate. Are provided with a plurality of pins 2 which can be close to or in contact with the side surface of. In the present embodiment, as shown in detail in the front view of FIG. 3A and the side view of FIG. 3B, the pins 2 are provided at three of the four diametrically opposed locations of the organic birefringent film 6. Provided.
[0050]
(2) Next, as shown in FIG. 1B, a transparent substrate 3 made of shot optical glass BK7 having a diameter of 100 mm and a thickness of 1.0 mm is placed on the spin table 1 and fixed to the spin table 1 by vacuum suction. I do. In the step of FIG. 1B, the transparent substrate 3 is placed on the spin table 1 from one of the four locations facing the organic birefringent film in the diameter direction where no pins are provided.
[0051]
Thereafter, while the spin table 1 is rotated at 10 to 50 rpm, 3 to 10 g of an acrylic ultraviolet curable adhesive 5 having a refractive index of 1.52 and a viscosity of 500 cp is dropped on the center of the transparent substrate 3 using the dispenser 4. Thereafter, the spin table 1 is rotated at 150 to 500 rpm (first rotation), and the ultraviolet curable adhesive 5 is spread over the entire surface of the transparent substrate 3.
[0052]
(3) Thereafter, as shown in FIG. 1C, the rotation of the spin table 1 is stopped.
[0053]
(4) Thereafter, as shown in FIG. 1D, while the center of the organic birefringent film is substantially aligned with the center of rotation of the spin table, the mounting device is used to place a 90 mm diameter on the ultraviolet curing adhesive 5 using a mounting device. An organic birefringent film 6 having a thickness of 100 μm is placed. At this time, the side surface of the organic birefringent film 6 is made to approach or contact a plurality of pins 2 provided on the spin table 1.
[0054]
(5) Thereafter, as shown in FIG. 1 (e), the spin table 1 is rotated at 1000 to 3000 rpm (second rotation) to shake off the ultraviolet curable adhesive 5, and the thickness of the adhesive layer is reduced within the substrate plane. The surface of the organic birefringent film is flattened at a constant level.
[0055]
Since the plurality of pins 2 are provided on the spin table 1, the pins 2 are rotated simultaneously with the transparent substrate 3 by the second rotation.
[0056]
(6) Further, as shown in FIG. 1 (f), the ultraviolet curable adhesive 5 is shaken off while the organic solvent 7 such as isopropyl alcohol is dropped during the second rotation to further flatten the surface of the organic birefringent film. I do.
[0057]
It should be noted that isopropyl alcohol is an organic solvent that dissolves the acrylic UV-curable adhesive 5 used in the present embodiment and does not dissolve the organic birefringent film 6. By performing this step, the ultraviolet curable adhesive 5 remaining on the periphery of the transparent substrate 3 is removed by an organic solvent 7 such as isopropyl alcohol.
[0058]
(7) Thereafter, as shown in FIG. 1 (g), the rotation of the spin table 1 is stopped, and ultraviolet rays 8 are irradiated from the organic birefringent film 6 side using a high-pressure mercury lamp to cure the ultraviolet curable adhesive 5. Let it.
[0059]
(8) Thereafter, the transparent substrate (hereinafter simply abbreviated as “substrate”) 3 to which the organic birefringent film 6 is adhered is removed from the spin table 1, and a positive resist is applied on the organic birefringent film 6 to a thickness of 0.7 μm. Pre-bake at 60 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the substrate 3 is mounted on a reduction projection exposure apparatus (NA = 0.30, wavelength; i-line), and is exposed using a reticle having a 0.9 μm line and space pattern, and a developing solution NMD-3 (trademark) is supplied. To develop a periodic resist pattern.
[0060]
Thereafter, Al is vapor-deposited on the resist pattern by a vacuum vapor deposition method to a thickness of 60 nm, and then the resist is dissolved using acetone to lift off Al, thereby completing an Al pattern in which the resist pattern is inverted.
[0061]
Thereafter, the organic birefringent film 6 is etched to a depth of 3 μm using an NLD (Neutral Loop Discharge) etching apparatus in an etching gas atmosphere containing oxygen gas as a main component and using the Al pattern as a metal mask.
[0062]
Thereafter, the Al pattern is removed by using a phosphoric acid-based Al etching solution to complete a concavo-convex grating (hereinafter referred to as a diffraction grating 9) as shown in FIG.
[0063]
(9) After that, the substrate on which the diffraction grating is formed is placed on a flat surface-processed stainless steel table having a thickness of 200 mm and a thickness of 50 mm, and an acrylic ultraviolet curing adhesive (isotropic adhesive) optically isotropic on the diffraction grating surface. ) 11 was added dropwise with a microsyringe (1.0 mL).
[0064]
Next, an opposing transparent substrate (material: optical glass BK7 made of SCHOTT) 12 having a diameter of 100 mm and a thickness of 1.5 mm, both surfaces of which are optically polished, is placed on the substrate surface coated with the isotropic adhesive 11, and the opposing transparent substrate is further placed. The optically polished optical glass is placed on the substrate 12, and a pressure of 100 gf / cm 2 is applied to the opposing transparent substrate 12 to spread the isotropic adhesive 11 over the entire surface to be bonded. FIG. 2B is a diagram showing the configuration at this time.
[0065]
An anti-reflection film (not shown) is formed on the surface of the opposing transparent substrate 12 facing the surface to be adhered so as to minimize the reflection of incident light. In this state, ultraviolet rays are irradiated through the opposing transparent substrate 12 to cure the isotropic adhesive 11.
[0066]
(10) Thereafter, as shown in FIG. 2C, the light is cut into a square of 5 mm using a dicing saw 13 to complete a plurality of polarization splitters 14.
[0067]
According to this method, there are a plurality of pins 2 close to or in contact with the side surface of the organic birefringent film 6 placed on the ultraviolet curing adhesive 5. Therefore, even when the center of the organic birefringent film 6 is not completely located at the center of rotation of the spin table 1, the organic birefringent film has a side surface in at least the three directions where the pins 2 are provided during the second rotation. Since the displacement is limited only to the position where it contacts the pin 2, it is possible to suppress the occurrence of a large displacement. As a result, after the adhesive is cured by irradiating ultraviolet rays, the probability of occurrence of transport failure when transporting the substrate in the next step or in the apparatus can be reduced.
[0068]
In addition, the work conventionally performed to correct the displacement (repeating the operation of stopping the rotation of the spin table and returning the organic birefringent film to an appropriate position when the displacement of the organic birefringent film occurs) is reduced. Therefore, the throughput of the attaching step is improved.
[0069]
In the present embodiment, the pins 2 are provided at three of the four locations facing each other in the diametrical direction of the organic birefringent film 6. Can be limited in two directions, which is less than the effect of the present embodiment, but can reduce the probability of occurrence of transport failure when transporting the substrate in the next step or in the apparatus.
[0070]
In the present embodiment, after fixing the transparent substrate 3 to the spin table 1, an acrylic UV curable adhesive 5 is dropped onto the center of the transparent substrate 3 while rotating the spin table 1 so that the adhesive is applied. However, the method of applying the UV-curable adhesive 5 does not need to be limited to this method, and after fixing the transparent substrate 3 to the spin table 1, the spin table 1 is stopped and the transparent substrate 3 is applied to the center of the transparent substrate 3. The ultraviolet curable adhesive 5 may be dropped, and then the spin table 1 may be rotated to spread the ultraviolet curable adhesive over the entire surface of the transparent substrate 3.
[0071]
In this embodiment, the UV-curable adhesive 5 is applied at room temperature. However, when the UV-curable adhesive 5 has a high viscosity and the organic birefringent film 6 is placed thereon, the fluidity of the UV-curable adhesive 5 is poor. When bubbles are easily entrained, the transparent substrate 3 coated with the ultraviolet-curable adhesive 5 is heated using an oven or an infrared lamp to lower the viscosity of the ultraviolet-curable adhesive 5 and then the organic birefringent film 6. It is good to put. Alternatively, the UV-curable adhesive 5 is heated in advance using an oven or the like to reduce the viscosity of the UV-curable adhesive 5, and then applied to the transparent substrate 3 by a first rotation. It is good to put.
[0072]
<Example 2>
4 and 5 are views showing another embodiment of the method for producing the polarization beam splitter according to the present invention.
Hereinafter, a method of manufacturing the polarization beam splitting element according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 (a) to 4 (h) and FIGS. 5 (a) to 5 (c).
[0073]
(1) In the present embodiment, the side surface of the organic birefringent film 26 placed on the ultraviolet curable adhesive 25 in the step of FIG. A plurality of pins 22 are provided so as to be detachable from the spin table 21. In the present embodiment, as shown in detail in the front view of FIG. 6A and the side view of FIG. 6B, the pins 22 are provided at four locations diametrically opposed to the organic birefringent film 26.
[0074]
(2) First, as shown in FIGS. 4A and 4B, a transparent substrate 23 made of shot optical glass BK7 having a diameter of 100 mm and a thickness of 1.0 mm is placed on a spin table 21, and the spin table is vacuum-adsorbed. Fix to 21. Thereafter, an acrylic UV curable adhesive 25 having a refractive index of 1.52 and a viscosity of 500 cp is applied to the entire surface of the transparent substrate 23 as in the first embodiment.
[0075]
(3) Thereafter, as shown in FIG. 4C, the center of the organic birefringent film 26 is substantially aligned with the center of rotation of the spin table 21, and the diameter is placed on the ultraviolet-curable adhesive 25 using a mounting device. An organic birefringent film 26 having a thickness of 90 mm and a thickness of 85 μm is placed thereon.
[0076]
(4) Thereafter, as shown in FIG. 4D, a plurality of detachable pins 22 are mounted and fixed to the spin table 21 so as to approach or contact the side surface of the organic birefringent film 26.
[0077]
(5) Thereafter, as shown in FIG. 4 (e), the spin table 21 is given a second rotation to shake off the ultraviolet curable adhesive 25, and the thickness of the adhesive layer is made constant within the surface of the transparent substrate 23. The surface of the organic birefringent film 26 is flattened.
In this embodiment, since the plurality of detachable pins 22 are fixed to the spin table 21, the pins 22 are simultaneously rotated with the transparent substrate 23 by the second rotation.
[0078]
(6) Further, as shown in FIG. 4 (f), the ultraviolet curable adhesive 25 is shaken off while the organic solvent 27 such as isopropyl alcohol is dropped during the second rotation, and remains on the periphery of the transparent substrate 23. The removed ultraviolet curable adhesive 25 is removed.
[0079]
(7) Thereafter, as shown in FIG. 4G, the rotation of the spin table 21 is stopped, and the detachable pins 22 are removed from the spin table 21 and retracted.
[0080]
(8) Thereafter, as shown in FIG. 4H, ultraviolet rays are irradiated from the organic birefringent film 26 side using a high-pressure mercury lamp to cure the ultraviolet curable adhesive 25.
[0081]
(9) Then, the transparent substrate (hereinafter abbreviated as a substrate) to which the organic birefringent film is adhered is removed from the spin table 21, a resist pattern is formed in the same manner as in Example 1, and then a metal pattern is formed by lift-off after Al deposition. Then, the organic birefringent film is etched to a depth of 3 μm using NLD to remove Al, and a diffraction grating 29 is formed as shown in FIG.
[0082]
(10) After that, the substrate on which the diffraction grating 29 is formed is placed on a stainless steel table which has been flattened, an acrylic isotropic adhesive 31 is dropped on the surface of the diffraction grating, and both surfaces are optically polished. An opposing transparent substrate (material: optical glass BK7 made by Shot) 32 of 5 mm was bonded. FIG. 5B is a diagram showing the configuration at this time. An anti-reflection film (not shown) is formed on the surface of the opposing transparent substrate 32 facing the surface to be bonded so as to minimize the reflection of incident light.
[0083]
(11) Thereafter, as shown in FIG. 5C, the light is cut into a square of 5 mm using a dicing saw 33 to complete a plurality of polarization splitters.
[0084]
According to this method, a plurality of pins 22 that can be detached from the spin table 21 that rotates the transparent substrate 23 approach or contact the side surface of the organic birefringent film 26 placed on the ultraviolet-curable adhesive 25. .
[0085]
Therefore, in the step of FIG. 4A, the transparent substrate 23 can be placed on the spin table 21 with the plurality of pins 22 removed from the spin table 21, and a space for placing the transparent substrate 23 on the spin table 21 is secured. Therefore, there is no need to create an area where the pins 22 cannot be placed. In the first embodiment, one of the four diametrically opposed portions of the organic birefringent film 6 where no pins are provided is located in an area where pins cannot be provided in order to secure a space for mounting the transparent substrate on the spin table. Equivalent.
[0086]
As a result, when the plurality of pins 22 are installed on the spin table 21 so as to approach or contact the side surface of the organic birefringent film 26 in the step of FIG. 4D, the arrangement of the pins 22 can be freely set. it can.
[0087]
In the present embodiment, the number of pins can be increased by one as compared with the first embodiment, and the pins 22 can be provided at four locations facing the organic birefringent film 26 in the diameter direction. Therefore, even when the center of the organic birefringent film 26 is not completely placed on the center of rotation of the spin table 21, the second rotation is performed when all the pins 22 are in contact with the side surfaces of the organic birefringent film 26. The misalignment of the organic birefringent film 26 can be prevented.
[0088]
Further, when the pin 22 is close to the side surface of the organic birefringent film 26, there is no prohibited area where the pin 22 is not provided as compared with the first embodiment. Is limited by the distance between the pin 22 and the side surface of the organic birefringent film 26, and a large displacement can be suppressed.
[0089]
As a result, after irradiating the ultraviolet rays 28 to cure the ultraviolet-curable adhesive, the probability of occurrence of a transport failure when transporting the substrate in the next step or in the apparatus can be drastically reduced.
[0090]
In addition, work that was conventionally performed to correct the misalignment (repeating the operation of stopping the rotation of the spin table and returning the organic birefringent film to an appropriate position when the misalignment of the organic birefringent film occurs) is required. Therefore, the throughput of the attaching step is improved.
[0091]
Furthermore, by eliminating the work that has been performed to correct the displacement, the rotation time of the spin table can be made constant, and the thickness of the adhesive layer can be made uniform between the substrates.
[0092]
Therefore, the manufacturing cost of the polarization separation / separation element can be reduced, and a uniform adhesive layer can be realized between the substrates. Therefore, the fluctuation of the adhesive layer thickness can be suppressed between the elements, and a polarization separation element having a uniform adhesive layer can be manufactured.
[0093]
In order to limit the displacement of the organic birefringent film in four directions of X and Y (+ X, -X, + Y and -Y directions), at least a plurality of pins approaching or in contact with the side surface of the organic birefringent film are required. It is desirable to provide the organic birefringent film in four directions of X and Y.
[0094]
In the present embodiment, as shown in FIG. 6, since the pins 22 are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the organic birefringent film 26, the displacement of the organic birefringent film 26 can be reduced by X, X with the minimum number of pins. It can be suppressed in four directions of Y.
[0095]
In addition, even when detachable pins are provided at six or more locations facing each other in the diameter direction of the organic birefringent film, the displacement of the organic birefringent film can be suppressed at least in both the X and Y directions. The effect of can be expected.
[0096]
Further, in the present embodiment, the plurality of pins 22 are provided so as to be close to or in contact with the side surface of the organic birefringent film 26. However, considering the positional accuracy of placing the organic birefringent film 26 on the ultraviolet curing adhesive 25, In order to place the organic birefringent film 26 so that the side surface thereof is in contact with the plurality of pins 22, an image recognition function is mounted on the mounting device, and the rotation center of the spin table 21 and the center of the organic birefringent film 26 are detected. In addition, it is necessary to place the center of the organic birefringent film 26 at the center of rotation of the spin table 21 while applying feedback control to the mounting device, which leads to an increase in the cost of the mounting device.
[0097]
Therefore, in order to reduce the cost of the mounting device, it is desirable to provide a plurality of pins 22 near the side surface of the organic birefringent film 26. The distance between the plurality of pins 22 and the side surface of the organic birefringent film 26 is determined in consideration of the positional accuracy of the mounting device on which the organic birefringent film 26 is placed, the size and tolerance of the organic birefringent film 26 and the transparent substrate 23, and the like. In general, the positioning accuracy of the mounting device on which the organic birefringent film 26 is placed can easily be suppressed to 1 mm or less. Even if the 26 is displaced, it moves only up to 1.5 mm at the maximum, so that the organic birefringent film 26 hardly protrudes from the transparent substrate 23.
[0098]
<Example 3>
7 and 8 are views showing another embodiment of the method for manufacturing the polarization beam splitter according to the present invention.
Hereinafter, a method for manufacturing the polarization beam splitting element in the present embodiment will be described with reference to FIGS. 7A to 7G and FIGS. 8A to 8C.
[0099]
(1) In this example, as in Example 1, as shown in FIG. 7A, three out of four diametrically opposed portions of the organic birefringent film were placed on the ultraviolet-curable adhesive. A plurality of pins 42 capable of approaching or contacting the side surface of the organic birefringent film to be mounted are provided on the spin table 41.
[0100]
(2) Next, as shown in FIGS. 7B and 7C, a transparent substrate 43 made of shot optical glass BK7 having a diameter of 100 mm and a thickness of 1.0 mm is placed on the spin table 41, and the spin table is vacuum-adsorbed. Fix to 41.
[0101]
(3) Then, similarly to the first embodiment, an acrylic UV curable adhesive 45 having a refractive index of 1.52 and a viscosity of 500 cp is applied to the entire surface of the transparent substrate 43.
[0102]
(4) Then, as shown in FIG. 7D, the center of the organic birefringent film 46 is substantially aligned with the center of rotation of the spin table 41, and the diameter of the organic birefringent film 46 is set on the ultraviolet curable adhesive 45 by using a mounting device. An organic birefringent film 46 having a thickness of 90 mm and a thickness of 100 μm is placed thereon. At this time, the side surface of the organic birefringent film 46 is made to approach or contact a plurality of pins 42 provided on the spin table 41.
[0103]
(5) Then, as shown in FIG. 7 (e), a second rotation is applied to the spin table 41 to shake off the ultraviolet curable adhesive 45, and to make the thickness of the adhesive layer constant within the plane of the transparent substrate 43. The surface of the organic birefringent film 46 is flattened.
[0104]
In this embodiment, since the plurality of pins 42 are fixed to the spin table 41, the pins 42 are simultaneously rotated with the transparent substrate by the second rotation.
[0105]
(6) Further, as shown in FIG. 7F, an organic solvent 47 such as isopropyl alcohol is dropped during the second rotation, and the first ultraviolet light is applied from the organic birefringent film 46 side using a high-pressure mercury lamp. Irradiate. In this step, the ultraviolet-curable adhesive 46 remaining on the periphery of the transparent substrate is removed, and the ultraviolet-curable adhesive 46 is semi-cured.
[0106]
Here, the irradiation energy of the first ultraviolet light is made smaller than the irradiation energy of the ultraviolet light of Examples 1 and 2, and the ultraviolet curable adhesive 45 is polymerized by the first irradiation of the ultraviolet light so as to have a high viscosity. The complete curing of the ultraviolet-curable adhesive 46 is performed by the second ultraviolet irradiation in the step of FIG.
[0107]
(7) After that, as shown in FIG. 7 (g), the rotation of the spin table 41 is stopped, and second ultraviolet rays are irradiated from the organic birefringent film 46 side using a high-pressure mercury lamp, and the ultraviolet curable adhesive 46 is irradiated. Is completely cured.
[0108]
(8) After that, the transparent substrate (hereinafter abbreviated as “substrate”) to which the organic birefringent film is adhered is removed from the spin table, a resist pattern is formed in the same manner as in Example 1, and after Al deposition, a metal pattern is formed by lift-off. Then, the organic birefringent film is etched to a depth of 3 μm using NLD to remove Al and form a diffraction grating. FIG. 8A is a diagram showing the configuration at this time.
[0109]
(9) After that, the substrate on which the diffraction grating 49 is formed is placed on a stainless steel table which has been flattened, an acrylic isotropic adhesive 51 is dropped on the surface of the diffraction grating, and both surfaces are optically polished. A 5 mm opposing transparent substrate (material: optical glass BK7 made by Shot) 52 is adhered. FIG. 8B is a diagram showing the configuration at that time. An anti-reflection film (not shown) is formed on the surface of the opposing transparent substrate 52 facing the surface to be adhered so as to minimize the reflection of incident light.
[0110]
(10) Thereafter, as shown in FIG. 8C, the light is cut into a square of 5 mm using a dicing saw 53, and a plurality of polarization splitters 54 are completed.
[0111]
According to this method, the UV-curable adhesive starts polymerization and becomes highly viscous by the first UV irradiation, so that the fixing force between the UV-curable adhesive and the organic birefringent film is increased, and the rotation of the transparent substrate causes The resulting displacement of the organic birefringent film can be reduced. As a result, the frequency of the organic birefringent film protruding from the transparent substrate is reduced, and even when the pins are provided only in the three directions of X and Y as in the present embodiment, the transport failure can be reduced as compared with the first embodiment, resulting in lower cost. Thus, a polarization separation element can be realized.
[0112]
In addition, in order to make the thickness of the adhesive layer uniform, the transparent substrate must be rotated to shake off the adhesive to some extent. Therefore, it is necessary to avoid a sudden increase in the viscosity of the ultraviolet curable adhesive due to the first ultraviolet irradiation. Therefore, it is preferable to irradiate the first ultraviolet ray at a relatively low intensity. In this embodiment, the first ultraviolet ray is irradiated at an intensity of 1/10 of the ultraviolet rays of the first and second embodiments.
[0113]
In addition, since the UV curable adhesive is increased in viscosity by the first UV irradiation, it is necessary to optimize the number of rotations of the transparent substrate in order to make the thickness of the adhesive layer uniform. Was increased in three steps during the UV irradiation.
[0114]
In this embodiment, the first ultraviolet ray is irradiated while rotating the transparent substrate during the dropping of the organic solvent. However, the irradiation of the first ultraviolet ray is not limited to the present embodiment, and the irradiation of the organic solvent is not limited to the first embodiment. It does not matter whether it is before or after dropping, as long as the UV-curable adhesive starts to be polymerized by the first UV irradiation, increases the viscosity, and increases the adhesive force with the organic birefringent film.
[0115]
<Example 4>
9 and 10 are views showing another embodiment of the method for manufacturing the polarization beam splitter according to the present invention.
Hereinafter, a method of manufacturing the polarization beam splitting element according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 9A to 9H and FIGS. 10A to 10D.
[0116]
(1) In the present embodiment, similarly to the second embodiment, the side surface of the organic birefringent film placed on the ultraviolet curable adhesive in the step of FIG. A plurality of pins that can approach or come into contact with the device are made detachable from the spin table. Also in this embodiment, pins are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the birefringent film.
[0117]
(2) First, as shown in FIG. 9A, a transparent substrate 63 made of shot optical glass BK7 having a diameter of 100 mm and a thickness of 1.0 mm is placed on a spin table 61 and fixed to the spin table 61 by vacuum suction. Then, while rotating the spin table 61 at 10 to 50 rpm, 3 to 8 g of an epoxy-based UV-curable adhesive 65 having a refractive index of 1.58 and a viscosity of 600 cp is dropped on the central portion of the transparent substrate 63 using a dispenser 64.
[0118]
Thereafter, the spin table 61 is rotated at 150 to 500 rpm (first rotation), and the ultraviolet curable adhesive 65 is spread over the entire surface of the transparent substrate 63. Thereafter, the rotation of the spin table 61 is stopped. FIG. 9B is a diagram showing the configuration at this time.
[0119]
(3) Thereafter, as shown in FIG. 9C, an organic birefringent film (diameter: 90 mm, thickness: 70 μm) 66 on which a protective film 661 made of an organic polymer is adhered by an adhesive 662, and the center thereof is placed on a spin table. While being substantially aligned with the rotation center of 61, it is placed on the ultraviolet curable adhesive 65 using a placing device.
[0120]
(4) Thereafter, as shown in FIG. 9D, a plurality of detachable pins 62 are installed and fixed to the spin table 61 so as to approach or contact the side surface of the organic birefringent film 66.
[0121]
(5) Thereafter, as shown in FIG. 9E, a second rotation of 1000 to 3000 rpm is applied to the spin table 61 to shake off the ultraviolet curable adhesive 65, and to make the thickness of the adhesive layer constant within the substrate surface. Thus, the surface of the organic birefringent film 66 is flattened.
[0122]
Since the plurality of detachable pins 62 are fixed to the spin table 61, the pins 62 are rotated simultaneously with the transparent substrate 63 by the second rotation.
[0123]
(6) Further, as shown in FIG. 9F, an organic solvent 67 such as acetone is dropped during the second rotation, and the first ultraviolet ray is irradiated from above the protective film 661 using a high-pressure mercury lamp. In this step, the ultraviolet curable adhesive 65 remaining on the periphery of the transparent substrate 63 is removed, and the ultraviolet curable adhesive 65 is semi-cured.
[0124]
Here, the irradiation energy of the first ultraviolet ray is set to about 1/5 to 1/10 of the energy required for the ultraviolet curable adhesive 65 to cure, and the ultraviolet curable adhesive 65 is polymerized by the ultraviolet irradiation to increase the viscosity. In this case, the complete curing of the ultraviolet-curable adhesive 65 is performed by the second ultraviolet irradiation in the step of FIG.
[0125]
Acetone is an organic solvent that does not dissolve the protective film 661 and the organic birefringent film 66 but dissolves the uncured UV-curable adhesive 65.
[0126]
(7) Thereafter, as shown in FIG. 9G, the rotation of the spin table 61 is stopped, and the detachable pins 62 are detached from the spin table 61 and retracted.
[0127]
(8) Thereafter, as shown in FIG. 9H, the protective film 661 is peeled from the organic birefringent film 66 using tweezers or the like.
[0128]
(9) Next, as shown in FIG. 10A, a second ultraviolet ray is irradiated from the organic birefringent film 66 side using a high-pressure mercury lamp to completely cure the ultraviolet-curable adhesive 65.
[0129]
(10) Thereafter, the transparent substrate (hereinafter abbreviated as substrate) 63 to which the organic birefringent film 66 is adhered is removed from the spin table 61, Cr is formed on the organic birefringent film 66 by a sputtering method, and then a positive resist is formed. It is applied to a thickness of 0.7 μm and prebaked at 60 ° C. for 30 minutes.
[0130]
Thereafter, the substrate is mounted on a reduction projection exposure apparatus (NA = 0.30, wavelength; i-line), exposed using a 0.8 μm line and space pattern reticle, and using a developing solution NMD-3 (trademark). And developed and post-baked to complete a periodic resist pattern.
[0131]
Thereafter, Cr is etched with a cerium ammonium nitrate-based etchant, and then the resist is removed with acetone to complete the Cr pattern. Thereafter, the organic birefringent film is etched to a depth of 3 μm using an NLD etching apparatus in an etching gas atmosphere containing oxygen gas as a main component, using the Cr pattern as a metal mask.
[0132]
After that, the Cr pattern is removed by using the above-mentioned etching solution to complete a concave / convex grating (hereinafter referred to as a diffraction grating) 69. FIG. 10B shows the configuration at that time.
[0133]
(11) After that, the substrate on which the diffraction grating 69 is formed is placed on a stainless steel table having a thickness of 200 mm and a thickness of 50 mm that has been flattened, and an epoxy isotropic ultraviolet curing adhesive (isotropic adhesive) optically isotropic on the diffraction grating surface. 1.0 mL of the agent 71 was added dropwise with a microsyringe. Then, an opposing transparent substrate (material: optical glass BK7 made of SCHOTT) 72 having a diameter of 100 mm and a thickness of 1.5 mm, both surfaces of which are optically polished, is placed on the substrate surface coated with the isotropic adhesive 71, and further on the opposing transparent substrate 72. An optical glass which has been optically polished is placed thereon, and a pressure of 100 gf / cm 2 is applied to the opposite transparent substrate 72 to spread the isotropic adhesive 71 over the entire surface to be bonded. FIG. 10C shows the configuration at this time.
[0134]
An anti-reflection film (not shown) is formed on the surface of the opposing transparent substrate 72 facing the surface to be adhered so as to minimize the reflection of incident light. In this state, ultraviolet rays are irradiated through the opposing transparent substrate 72 to cure the isotropic adhesive 71.
[0135]
(12) Thereafter, as shown in FIG. 10 (d), a dicing saw 73 is used to cut out a piece of 5 mm square to complete a plurality of polarized light separating elements 74.
[0136]
According to this method, the organic birefringent film is provided with the protective film via the adhesive during the second rotation. Therefore, the rigidity of the organic birefringent film is increased, and the organic birefringent film is less likely to be deformed even when the side surface of the organic birefringent film contacts the pin during the second rotation, and the flatness of the surface of the organic birefringent film is improved. There are expectations.
[0137]
When the protective film is relatively thick so that the pin contacts only the protective film, the distance between the pin tip and the spin table can be increased, the positional accuracy of the pin tip in the Z direction can be reduced, and the pin can be loosened. Can be simplified.
[0138]
Further, the step of bonding the transparent substrate and the organic birefringent film can be performed in a state where the surface of the organic birefringent film on which the diffraction grating is formed is covered with a protective film. Therefore, the probability of attaching a scratch or foreign matter to the surface on which the diffraction grating is formed in the bonding step is significantly reduced.
[0139]
In particular, in the step of rotating the spin table to shake off the ultraviolet-curable adhesive, the mist of the shaken-off adhesive does not adhere to the surface on which the diffraction grating is formed. Is not left on the surface of the organic birefringent film because of peeling off), so that the surface of the organic birefringent film with very little foreign matter can be realized. Therefore, pattern defects caused by foreign matters and scratches in the lithography process can be reduced, and the production yield of the polarization separation element can be improved.
[0140]
In addition, since the UV-curable adhesive starts polymerization and becomes highly viscous by the first UV irradiation, the adhesive force between the UV-curable adhesive and the organic birefringent film is increased, and the organic compound caused by the rotation of the transparent substrate is hardened. The displacement of the refractive film can be further reduced.
[0141]
<Example 5>
FIG. 11 and FIG. 12 are views showing another embodiment of the method for producing the polarization beam splitter according to the present invention.
Hereinafter, a method of manufacturing the polarization beam splitting element in this embodiment will be described with reference to FIGS. 11A to 11H and FIGS. 12A to 12D.
[0142]
(1) In the present embodiment, the side surface of the organic birefringent film placed on the ultraviolet curing adhesive in the step of FIG. A plurality of pins that can approach or come into contact with the device are made detachable from the spin table. Also in this embodiment, pins are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the birefringent film.
[0143]
(2) First, as shown in FIG. 11A, a transparent substrate 83 made of shot optical glass BK7 having a diameter of 100 mm and a thickness of 1.0 mm is placed on a spin table 81 and fixed to the spin table 81 by vacuum suction. Thereafter, similarly to the fourth embodiment, an epoxy-based UV-curable adhesive 85 having a refractive index of 1.58 and a viscosity of 600 cp is applied to the entire surface of the transparent substrate 83. FIG. 11B is a diagram showing the configuration at this time.
[0144]
(3) Thereafter, as shown in FIG. 11C, an organic birefringent film (diameter 90 mm, thickness 70 μm) 86 on which a protective film 861 made of an organic polymer is adhered by an adhesive 862, While being substantially aligned with the center of rotation of the table 81, it is placed on the ultraviolet curable adhesive 85 by using a placing device.
[0145]
(4) Thereafter, as shown in FIG. 11D, a plurality of detachable pins 82 are installed and fixed to the spin table 81 so as to approach or contact the side surface of the organic birefringent film 86.
[0146]
(5) Thereafter, as shown in FIG. 11E, a second rotation of 1000 to 3000 rpm is given to the spin table to shake off the ultraviolet curable adhesive 85, and the thickness of the adhesive layer is kept constant within the substrate surface. The surface of the organic birefringent film 86 is flattened. Since the plurality of detachable pins 82 are fixed to the spin table 81, the pins 82 rotate simultaneously with the transparent substrate 83 by the second rotation.
[0147]
(6) Further, as shown in FIG. 11F, an organic solvent 87 such as acetone is dropped during the second rotation, and the first ultraviolet ray is irradiated from above the protective film 861 using a high-pressure mercury lamp. In this step, the ultraviolet curable adhesive 85 remaining on the peripheral portion of the transparent substrate 83 is removed, and the ultraviolet curable adhesive 85 is semi-cured.
[0148]
(7) Thereafter, as shown in FIG. 11G, the rotation of the spin table 81 is stopped, and the detachable pins 82 are detached from the spin table 81 and retracted.
[0149]
(8) Then, as shown in FIG. 11H, a second ultraviolet ray is irradiated from the protective film 861 side using a high-pressure mercury lamp, and the ultraviolet-curable adhesive 85 is completely cured. The energy of the second ultraviolet ray is set to 1.1 times that of the fourth embodiment in consideration of the absorption in the protective film 861.
[0150]
(9) Thereafter, as shown in FIG. 12A, the protective film 861 is peeled from the organic birefringent film 86 using tweezers or the like.
[0151]
(10) After that, the transparent substrate (hereinafter abbreviated as “substrate”) 83 to which the organic birefringent film 86 is adhered is removed from the spin table 81, and a diffraction grating 89 is formed on the organic birefringent film 86 in the same manner as in the fourth embodiment. FIG. 12B is a diagram showing the configuration at this time.
[0152]
(11) After that, a substrate on which a diffraction grating is formed is placed on a stainless steel table having a flat surface of 200 mm and a thickness of 50 mm, and an epoxy isotropic adhesive 91 is dropped on the surface of the diffraction grating, and both surfaces are optically polished to a diameter of 100 mm. An opposite transparent substrate (material: optical glass BK7 made by Shot) 92 having a thickness of 1.5 mm is bonded. FIG. 12C is a diagram showing the configuration at this time. An anti-reflection film (not shown) is formed on the surface of the opposing transparent substrate 92 facing the surface to be adhered so as to minimize the reflection of incident light.
[0153]
(12) Thereafter, as shown in FIG. 12D, the light is cut into 5 mm squares using a dicing saw 93, and a plurality of polarization splitters 94 are completed.
[0154]
According to this method, the following effects can be expected as in the fourth embodiment. That is, during the second rotation, the organic birefringent film is provided with the protective film via the adhesive, so that the rigidity of the organic birefringent film can be increased.
[0155]
In the case where the protection film is relatively thick so that the pin contacts only the protection film, the position accuracy of the tip of the pin in the Z direction can be reduced, and the mechanism for attaching and detaching the pin can be simplified. Further, the transparent substrate and the organic birefringent film can be bonded together in a state where the surface of the organic birefringent film on which the diffraction grating is formed is covered with the protective film.
[0156]
<Example 6>
FIG. 13 and FIG. 14 are views showing another embodiment of the method for producing the polarization beam splitter according to the present invention.
[0157]
In many cases, a dry etching apparatus clamps the periphery of a substrate and performs etching while cooling from the back surface. Since a relatively soft material such as an organic birefringent film or an adhesive may be broken by stress at the time of clamping, it is desirable to eliminate the organic birefringent film around the substrate and directly clamp the transparent substrate. Therefore, the transparent substrate is often made larger than the organic birefringent film. Therefore, in Examples 1 to 5, the organic birefringent film having a diameter of 90 mm and the transparent substrate having a diameter of 100 mm are bonded.
[0158]
In the present embodiment, a method is employed in which an organic birefringent film is fixed on a spin table, an ultraviolet-curable adhesive is applied, and a transparent substrate larger in size than the organic birefringent film is placed. Therefore, the distance between two opposing pins of the plurality of pins provided on the spin table is equal to or greater than the diameter of the transparent substrate, so that an organic birefringent film smaller than the transparent substrate is not disturbed by the plurality of pins, and Can be placed on the table.
[0159]
Hereinafter, a method of manufacturing the polarization beam splitting element according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 13A to 13G and FIGS. 14A to 14C.
[0160]
(1) As shown in FIG. 13 (a), a spin table 101 on which an organic birefringent film is fixed is placed on a side surface of a transparent substrate 103 placed on an ultraviolet curable adhesive in the step of FIG. 13 (d). A plurality of pins 102 that can approach or contact each other are provided. In the present embodiment, as shown in detail in the front view of FIG. 15A and the side view of FIG. 15B, the pins 102 are provided at four locations facing the transparent substrate 103 in the diameter direction.
[0161]
(2) In the step of FIG. 13B, the organic birefringent film 106 is placed on the spin table 101 from above the plurality of pins 102. An organic birefringent film 106 having a diameter of 90 mm and a thickness of 100 μm is placed on the spin table 101 and fixed to the spin table 101 by vacuum suction. Thereafter, similarly to the fifth embodiment, an epoxy-based ultraviolet curable adhesive 105 having a refractive index of 1.58 and a viscosity of 600 cp is applied to the entire surface of the organic birefringent film 106.
(3) FIG. 13C is a diagram showing the configuration at this time.
[0162]
(4) Then, as shown in FIG. 13 (d), while the center of the transparent substrate is substantially aligned with the center of rotation of the spin table 101, the mounting device is used to place the transparent substrate on the ultraviolet curing adhesive 105 with a diameter of 100 mm and a thickness of 100 mm. A transparent substrate 103 made of shot optical glass BK7 having a thickness of 1.0 mm is placed. At this time, the side surface of the transparent substrate 103 is made to approach or contact a plurality of pins 102 provided on the spin table 101.
[0163]
(5) Thereafter, as shown in FIG. 13 (e), the spin table 101 is given a second rotation to shake off the ultraviolet curable adhesive 105, and the thickness of the adhesive layer is made constant within the substrate surface. Since the plurality of pins 102 are fixed to the spin table 101, the pins 102 are rotated simultaneously with the organic birefringent film 106 by the second rotation.
[0164]
(6) Further, as shown in FIG. 13 (f), an organic solvent 107 such as acetone is sprayed from below the spin table 101 during the second rotation, and the ultraviolet curing type remaining on the peripheral portion of the transparent substrate 103. The adhesive 105 is removed.
[0165]
(7) Thereafter, as shown in FIG. 13G, the rotation of the spin table 101 is stopped, and ultraviolet light is irradiated from the transparent substrate 103 side using a high-pressure mercury lamp to cure the ultraviolet curable adhesive 105.
[0166]
(8) Thereafter, the transparent substrate (hereinafter abbreviated as “substrate”) 103 to which the organic birefringent film 106 is adhered is removed from the spin table 101, and a diffraction grating 109 is formed on the organic birefringent film 106 as in the fourth embodiment. FIG. 14A is a diagram showing the configuration at this time.
[0167]
(9) After that, the transparent substrate 103 on which the diffraction grating 109 was formed was placed on a stainless steel table having a diameter of 200 mm and a thickness of 50 mm that had been flattened, and an epoxy isotropic adhesive 111 was dropped on the diffraction grating surface, and both surfaces were optically polished. An opposing transparent substrate (material: optical glass BK7 made by Shot) 112 having a diameter of 100 mm and a thickness of 1.5 mm is bonded. FIG. 14B is a diagram showing the configuration at this time. An anti-reflection film (not shown) is formed on the surface of the opposing transparent substrate 112 facing the surface to be adhered so as to minimize the reflection of incident light.
[0168]
(10) Thereafter, as shown in FIG. 14C, the light is cut into a 5-mm square using a dicing saw 113 to complete a plurality of polarization separation elements 114.
[0169]
According to this method, the plurality of pins 102 provided on the spin table 101 are close to or in contact with the transparent substrate 103. Therefore, the distance between the two opposing pins 102 is equal to or greater than the diameter of the transparent substrate 103. Therefore, the organic birefringent film 106 smaller than the transparent substrate 103 can be placed on the spin table 101 without being disturbed by the plurality of pins 102, and even if the pin 102 cannot be detached from the spin table 101, Unlike the first and third embodiments, the arrangement of the pins 102 can be freely set.
[0170]
In order to limit the displacement of the transparent substrate in the four directions of X and Y (+ X, -X, + Y and -Y directions), at least a plurality of pins approaching or contacting the side surface of the transparent substrate are required. It is desirable to provide pins in four directions of X and Y.
[0171]
In the present embodiment, as shown in the front view of FIG. 15A and the side view of FIG. 15B, the pins are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the transparent substrate, so that the number of pins is minimum. The displacement of the transparent substrate could be suppressed in four directions of X and Y.
[0172]
In the case where detachable pins are provided at six or more locations facing each other in the diametrical direction of the transparent substrate, the displacement of the transparent substrate can be suppressed at least in both the X and Y directions. it can.
[0173]
Further, in the present embodiment, a plurality of pins are provided so as to be close to or in contact with the side surface of the transparent substrate.However, considering the positional accuracy of placing the transparent substrate on the ultraviolet-curable adhesive, the transparent substrate may be in contact with the plurality of pins. In order to place on the mounting device, it is necessary to mount the image recognition function on the mounting device, detect the rotation center of the spin table and the center of the transparent substrate, and place the center of the rotation center of the spin table while applying feedback control to the mounting device This leads to an increase in the cost of the mounting device.
[0174]
Therefore, in order to reduce the cost of the mounting device, it is desirable to provide a plurality of pins near the side surface of the transparent substrate. The distance between the plurality of pins and the transparent substrate may be determined in consideration of the positional accuracy of the mounting device on which the transparent substrate is placed and the size and tolerance of the transparent substrate and the organic birefringent film. Since the precision can be easily suppressed to 1 mm or less, if the distance is set to about 1.5 mm, even if the transparent substrate is displaced during the second rotation, the transparent substrate moves only up to 1.5 mm. Hardly protrude from the transparent substrate.
[0175]
In this embodiment, the organic birefringent film is fixed to the spin table by vacuum suction. If the absorption hole of the spin table is large, the organic birefringent film is drawn in, and a concave portion is formed on the surface, which is not preferable.
[0176]
Therefore, it is desirable to make the suction holes of the spin table sufficiently smaller than the thickness of the organic birefringent film. However, considering the precision of machining, it is not easy to machine fine holes.
[0177]
Therefore, if the surface of the spin table that contacts the organic birefringent film is made of a porous material such as alumina or zirconia, and micropores of porous material are used for the suction holes, the organic birefringent film will not be drawn into the suction holes and will be bonded. After that, a smooth organic birefringent film surface can be obtained.
[0178]
Since the flatness of the organic birefringent film after adhesion is strongly affected by the flatness of the spin table, it is necessary to improve the flatness of the adsorption surface as compared with a normal spin table.
[0179]
Further, as in the third embodiment, the first ultraviolet ray is irradiated during the second rotation to partially cure the ultraviolet-curable adhesive, and then the second birefringent film is irradiated with the second ultraviolet ray to cure the ultraviolet-curable adhesive. When the adhesive is cured, the UV-curable adhesive starts to be polymerized by the first UV irradiation and becomes highly viscous, so that the adhesive force between the UV-curable adhesive and the organic birefringent film is increased, and the organic birefringent film is cured. This is more desirable because the displacement of the transparent substrate caused by the rotation of the substrate can be further reduced.
[0180]
Also, as in Examples 4 and 5, the organic birefringent film may be adhered by attaching a protective film via an adhesive.
[0181]
As described above, according to the manufacturing methods of Examples 1 to 6, the frequency of the organic birefringent film protruding from the transparent substrate can be reduced in the bonding step of the organic birefringent film, so that the production yield of the polarization splitting element is improved. Becomes possible. In addition, since the organic birefringent film is manufactured by bonding to the transparent substrate, a polarization splitting element smaller than a conventional beam splitter to which a prism is bonded can be manufactured.
[0182]
In particular, according to the manufacturing methods of Examples 2, 4, 5, and 6, since the displacement of the organic birefringent film or the transparent substrate can be limited in the four directions of X and Y, the organic birefringent film may protrude from the transparent substrate. rare.
[0183]
Therefore, the work conventionally performed to correct the misalignment (if the misalignment of the organic birefringent film occurs during the rotation of the spin table, the rotation of the spin table is stopped and the organic birefringent film is returned to an appropriate position. , The spin table is rotated again). As a result, the rotation time of the spin table can be made constant, and the thickness of the adhesive layer can be made uniform between the substrates.
[0184]
<Example 7>
FIG. 16 is a diagram showing one embodiment of the configuration of the optical pickup according to the present invention.
In the optical pickup for CD according to the present embodiment, the light having a wavelength of 780 nm emitted from the laser diode 201 passes through the polarization splitter 202, the collimator lens 203, the λ / 4 wavelength plate 204, and the objective lens 205 of the first embodiment. A CD (illustrated as a CD-RW) 206 is irradiated, and the reflected light from the recording pits of the CD 206 is linearly polarized by the λ / 4 wavelength plate 204, then diffracted by the polarization splitting element 202 to the photodiode 207. Then, focus detection, track detection, and signal detection are performed.
[0185]
When a signal was recorded on a CD-RW using the optical pickup of the present embodiment, and then the signal was reproduced with the same optical pickup, a conventional CD combining a beam splitter with a prism and a λ / 4 wavelength plate was used. A reproduction signal output equivalent to that of the conventional optical pickup can be obtained, and it has been confirmed that the optical pickup of this embodiment has the same recording / reproducing characteristics as the conventional optical pickup.
[0186]
Further, in the pickup of the present embodiment, the polarization separation element 202 is smaller than a conventional beam splitter to which a prism is adhered, so that downsizing can be realized as compared with a conventional optical pickup.
[0187]
Example 8
FIG. 17 is a diagram showing another embodiment of the configuration of the optical pickup according to the present invention.
In the DVD optical pickup according to the present embodiment, the light having a wavelength of 680 nm emitted from the laser diode 301 passes through the polarization splitter 302, the collimator lens 303, the λ / 4 wavelength plate 304, and the objective lens 305 of the third embodiment. The DVD 306 is irradiated, and the reflected light from the recording pits of the DVD 306 is linearly polarized by the λ / 4 wavelength plate 304, then diffracted by the polarization separation element 302 and guided to the photodiode 307, and focus detection, track detection, signal Detection is performed.
[0188]
When an information signal was reproduced from a DVD-ROM using the optical pickup of this embodiment, a signal output equivalent to that of a conventional DVD optical pickup combining a beam splitter with a prism and a λ / 4 wavelength plate was obtained. As a result, it was confirmed that the optical pickup of this example had the same reproduction characteristics as the conventional optical pickup.
[0189]
Further, in the pickup of the present embodiment, the polarization separation element 302 is smaller than a conventional beam splitter to which a prism is adhered, so that it is smaller than a conventional optical pickup.
[0190]
<Example 9>
FIG. 18 is a view showing one embodiment of the organic birefringent film bonding apparatus according to the present invention.
The bonding apparatus for an organic birefringent film in this embodiment includes a spin table 401 for holding a transparent substrate 403, a rotation mechanism (not shown) including a stepping motor for rotating the spin table 401, and the like. A coating mechanism including a dispenser 404 that applies an ultraviolet-curable adhesive to the substrate, and two suction arms 407 holding both ends of the organic birefringent film 406, and applying the ultraviolet-curable adhesive applied on the transparent substrate 403 onto the ultraviolet-curable adhesive A mounting mechanism 408 on which the organic birefringent film 406 is mounted, a plurality of pins 402 approaching or in contact with the side surface of the organic birefringent film 406, and dissolving an ultraviolet-curable adhesive before curing and forming the organic birefringent film 406. A rinsing mechanism 409 for dropping an insoluble organic solvent onto the transparent substrate 403; And a UV irradiation mechanism 410 consisting of such as Le halide lamp.
[0191]
The plurality of pins 402 on the spin table 401 are installed and fixed at three of four locations facing each other in the diameter direction of the organic birefringent film 406.
[0192]
The procedure for bonding the organic birefringent film using the bonding apparatus of this embodiment will be described below.
A transparent substrate 403 made of shot optical glass BK7 having a diameter of 165 mm and a thickness of 1.5 mm is placed on a spin table 401 from one of the four locations opposed to each other in the diameter direction of the organic birefringent film where no pin is provided, and a vacuum is applied. It is fixed to the spin table 401 by suction. Thereafter, the dispenser 404 is moved to the center of the transparent substrate 403 by the robot arm 405, and while the spin table 401 is rotated at 20 rpm, the disperser 404 is used at the center of the transparent substrate 403 to form an acrylic ultraviolet ray having a refractive index of 1.52. 10 g of a curable adhesive is dropped.
[0193]
Thereafter, the dispenser 404 is returned to the original position, the spin table 401 is rotated at 300 rpm (first rotation), the UV curable adhesive is spread over the entire surface of the transparent substrate 403, and then the rotation of the spin table 401 is stopped.
[0194]
Thereafter, both ends of the organic birefringent film 406 having a diameter of 155 mm and a thickness of 80 μm are vacuum-adsorbed and held on the two suction arms 407 of the mounting mechanism 408, and the mounting mechanism 408 is moved onto the transparent substrate 403, The vacuum suction of the two suction arms 407 is gradually released while the center of the birefringent film 406 is substantially aligned with the center of rotation of the spin table 401, and the organic birefringent film 406 is placed on the ultraviolet curable adhesive. At this time, the plurality of pins 402 fixed to the spin table 401 are close to the side surface of the organic birefringent film 406 at a distance of 0.5 to 1.5 mm.
[0195]
After that, the mounting device 408 is returned to the original position, the rotation speed of the spin table 401 is increased from 400 rpm to 900 rpm in three steps (second rotation), the ultraviolet curable adhesive is shaken off, and the thickness of the adhesive layer is set in the plane. At constant. Note that the plurality of pins 402 fixed to the spin table 401 also rotate simultaneously with the transparent substrate 403 in the second rotation.
[0196]
After 900 rpm, the rinsing mechanism 409 is moved onto the organic birefringent film 406 to dissolve the ultraviolet curable adhesive before curing and dissolve the organic birefringent film 406 (an isopropyl alcohol in this embodiment). ) To remove the ultraviolet-curable adhesive remaining on the periphery of the substrate.
[0197]
Thereafter, the rotation of the spin table 401 is stopped, and the rinsing mechanism 409 is returned to the original position. Then, the ultraviolet irradiation mechanism 410 is moved onto the transparent substrate 403, and ultraviolet light is irradiated from the organic birefringent film 406 side to cure the ultraviolet curable adhesive. After the end of the ultraviolet irradiation, the ultraviolet irradiation mechanism 410 is returned to the original position, the vacuum suction of the spin table 401 is released, and the transparent substrate 403 to which the organic birefringent film 406 is adhered is taken out.
[0198]
As described above, when the bonding apparatus of this embodiment is used, the method of manufacturing the polarization splitting element of Embodiment 1 can be realized, and thus the protrusion of the organic birefringent film from the transparent substrate can be suppressed.
[0199]
Further, in this embodiment, the ultraviolet curable adhesive is cured by irradiating ultraviolet rays after the second rotation is completed. However, during the second rotation, the ultraviolet irradiating mechanism 410 is moved onto the transparent substrate 403 and the organic composite is cured. The first ultraviolet ray is irradiated from the side of the refraction film 406 to semi-harden the ultraviolet-curable adhesive, then the rotation of the spin table 401 is stopped, the rinsing mechanism 409 is returned to the original position, and the ultraviolet irradiation mechanism 410 is further irradiated. When the second ultraviolet ray is irradiated from the side of the organic birefringent film 406 to cure the UV-curable adhesive, the method of manufacturing the polarization splitting element of Example 3 can be realized. Extrusion and misalignment can be further suppressed.
[0200]
In this embodiment, since the number of the ultraviolet irradiation mechanism 410 is one, the first and second ultraviolet irradiations irradiate the first ultraviolet light and the second ultraviolet light by changing the irradiation time and the irradiation distance. Two ultraviolet irradiation mechanisms having different intensities may be provided to irradiate first and second ultraviolet rays, respectively.
[0201]
<Example 10>
FIG. 19 is a view showing another embodiment of the organic birefringent film bonding apparatus according to the present invention.
[0202]
The bonding apparatus for an organic birefringent film according to the present embodiment includes a spin table 501 for holding a transparent substrate 503, a rotation mechanism (not shown) including a stepping motor for rotating the spin table 501, and the like. A coating mechanism composed of a dispenser 504 for applying an ultraviolet-curable adhesive to the substrate and two ends of the organic birefringent film 506 held by two suction arms 507, and on the ultraviolet-curable adhesive applied on the transparent substrate 503. A mounting mechanism 508 on which the organic birefringent film 506 is mounted, a plurality of pins 502 which are close to or in contact with the side surface of the organic birefringent film 506, and an ultraviolet curable adhesive before curing are dissolved and the organic birefringent film 506 is removed. A rinsing mechanism 509 for dropping an insoluble organic solvent onto the transparent substrate 503 and a high-pressure mercury lamp or a mechanism for irradiating the transparent substrate 503 with ultraviolet rays. And a UV irradiation mechanism 510 consisting of such as Le halide lamp.
[0203]
The plurality of pins 502 on the spin table 501 can be remotely fixed to the spin table 501 by a detaching mechanism (not shown), and can be disposed at four locations diametrically opposed to the organic birefringent film 506. Further, the plurality of pins 502 can be detached from the spin table 501 by remote control by the attachment / detachment mechanism described above.
[0204]
The procedure for bonding the organic birefringent film using the bonding apparatus of this embodiment will be described below.
A transparent substrate 503 made of shot optical glass BK7 having a diameter of 165 mm and a thickness of 1.5 mm is placed on a spin table 501 and fixed to the spin table 501 by vacuum suction.
[0205]
Thereafter, the dispenser 504 is moved to the center of the transparent substrate 503 by the robot arm 505, and the spin table 501 is rotated at 20 rpm. 10 g of a curable adhesive is dropped.
[0206]
Thereafter, the dispenser 504 is returned to the original position, the spin table 501 is rotated at 300 rpm (first rotation), the UV curable adhesive is spread over the entire surface of the transparent substrate 503, and then the rotation of the spin table 501 is stopped.
[0207]
Thereafter, both ends of the organic birefringent film 506 having a diameter of 155 mm and a thickness of 80 μm are vacuum-adsorbed and held by the two suction arms 507 of the mounting mechanism 508, and the mounting mechanism 508 is moved onto the transparent substrate 503, The vacuum suction of the two suction arms 507 is gradually released while the center of the birefringent film 506 is substantially aligned with the center of rotation of the spin table 501, and the organic birefringent film 506 is placed on the ultraviolet curable adhesive.
[0208]
After that, the mounting mechanism 508 is returned to the original position, the plurality of pins 502 are moved by an unillustrated attachment / detachment mechanism, and the plurality of pins 502 are inserted into holes (not shown) of the spin table 501 and fixed. The distance between the pin 502 and the side surface of the organic birefringent film 506 was set to 1 to 2 mm.
[0209]
Thereafter, the rotation speed of the spin table 501 was increased from 400 rpm to 900 rpm in three steps (second rotation), the ultraviolet curable adhesive was shaken off, and the thickness of the adhesive layer was kept constant in the plane. The plurality of detachable pins 502 fixed to the spin table 501 also rotate simultaneously with the transparent substrate 503 in the second rotation.
[0210]
After 900 rpm, the rinsing mechanism 509 is moved onto the organic birefringent film 506 to dissolve the ultraviolet curing adhesive before curing and dissolve the organic birefringent film 506 in the organic solvent (isopropyl in this embodiment). (Using alcohol) is dropped, and the ultraviolet curable adhesive remaining on the peripheral portion of the substrate is removed.
[0211]
Thereafter, the rotation of the spin table 501 is stopped, and the rinse mechanism 509 is returned to the original position. Then, after the plurality of pins 502 are removed from the opening of the spin table 501 by the attaching / detaching mechanism and retracted, the ultraviolet irradiation mechanism 510 is moved onto the transparent substrate 503, and the ultraviolet light is irradiated from the organic birefringent film 506 side to emit the ultraviolet light. The curable adhesive is cured.
[0212]
After the ultraviolet irradiation, the ultraviolet irradiation mechanism 510 is returned to the original position, the vacuum suction of the spin table 501 is released, and the transparent substrate 503 to which the organic birefringent film 506 is adhered is taken out.
[0213]
As described above, by using the bonding apparatus of the present embodiment, the method for manufacturing the polarization splitting element of the second embodiment can be realized, so that the organic birefringent film can be prevented from protruding from the transparent substrate.
[0214]
Further, in the present embodiment, the ultraviolet curable adhesive was cured by irradiating ultraviolet rays after the second rotation, but the ultraviolet irradiation mechanism 510 was moved onto the transparent substrate 503 during the second rotation, and the organic composite was cured. The first ultraviolet ray is irradiated from the side of the refraction film 506 to semi-cure the ultraviolet-curable adhesive, and then the rotation of the spin table 501 is stopped, the rinsing mechanism 509 is returned to the original position, and the ultraviolet irradiation mechanism 510 is further irradiated. The second ultraviolet ray may be irradiated from the side of the organic birefringent film 506 to cure the ultraviolet curable adhesive.
[0215]
Further, when a protective film is attached to the organic birefringent film 506 via an adhesive, the method for manufacturing the polarization splitting elements of Examples 4 and 5 can be realized. As a result, the rigidity of the organic birefringent film 506 is improved during the second rotation, and even when the side surface of the organic birefringent film 506 comes into contact with the pin 502, the organic birefringent film 506 is hardly deformed, and the organic birefringent film 506 is hardly deformed. There is an expectation that the flatness of the 506 surface will be improved.
[0216]
In the case where the protection film is relatively thick so that the pin 502 contacts only the protection film, the distance between the tip of the pin 502 and the spin table 501 can be increased, and the positional accuracy of the pin tip in the Z direction can be improved. It can be loosened, and the pin attaching / detaching mechanism can be simplified.
[0219]
Further, since the surface of the organic birefringent film 506 can be formed while the surface on which the diffraction grating is formed is covered with the protective film, the probability of scratches and foreign matter on the surface on which the diffraction grating is formed in the bonding step is significantly increased. It becomes possible to reduce.
[0218]
<Example 11>
FIG. 20 is a view showing another embodiment of the organic birefringent film bonding apparatus according to the present invention.
[0219]
The bonding device for an organic birefringent film according to the present invention includes a spin table 601 for holding an organic birefringent film 606, a rotation mechanism (not shown) including a stepping motor for rotating the spin table 601 and the like. An application mechanism including a dispenser 604 for applying an ultraviolet-curable adhesive to the birefringent film 606, and two ends of the transparent substrate 603 held by two suction arms 607, and an ultraviolet-curable adhesive applied on the organic birefringent film 606. A mounting mechanism 608 for mounting the transparent substrate 603 on the adhesive, a plurality of pins 602 approaching or contacting the side surface of the transparent substrate 603, and dissolving the ultraviolet-curable adhesive before curing and forming the organic birefringent film 606 into A rinsing mechanism 609 for spraying an insoluble organic solvent onto the transparent substrate 603 and a high-pressure mercury lamp or metal for irradiating the transparent substrate 603 with ultraviolet rays And a UV irradiation mechanism 610 consisting of a halide lamp.
[0220]
The plurality of pins 602 are installed and fixed at four locations on the spin table 601 that face each other in the diameter direction of the transparent substrate 603.
[0221]
The procedure for bonding the organic birefringent film using the bonding apparatus of this embodiment will be described below.
An organic birefringent film 606 having a diameter of 155 mm and a thickness of 80 μm is placed on a spin table 601 and fixed to the spin table 601 by vacuum suction. Thereafter, the dispenser 604 is moved to the center of the organic birefringent film 606 by the robot arm 605, and the spin table 601 is rotated at 20 rpm, and the refractive index is 1.58 using the dispenser 604 at the center of the organic birefringent film 606. 11g of epoxy UV curable adhesive
[0222]
The surface of the spin table 601 that contacts the organic birefringent film 606 is formed of porous alumina, and the surface roughness of the surface of the spin table 601 is suppressed to 3 μm or less.
[0223]
Thereafter, the dispenser 604 is returned to the original position, the spin table 601 is rotated at 300 rpm (first rotation), the UV curable adhesive is spread over the entire surface of the organic birefringent film 606, and then the rotation of the spin table 601 is stopped. I do.
[0224]
Thereafter, both ends of a transparent substrate 603 made of shot optical glass BK7 having a diameter of 165 mm and a thickness of 1.5 mm are vacuum-adsorbed and held on two suction arms 607 of the mounting mechanism 608, and the mounting mechanism 608 is The transparent substrate 603 is moved onto the refraction film 606, the center of the transparent substrate 603 is substantially aligned with the rotation center of the spin table 601, and the suction arm 607 is moved so that the transparent substrate 603 is tilted obliquely, and the transparent substrate 603 is placed on the ultraviolet curing adhesive. Put. At this time, the plurality of pins 602 fixed to the spin table 601 are brought close to the side surface of the transparent substrate 603 at a distance of 0.5 to 1.5 mm.
[0225]
Thereafter, the mounting device 608 is returned to the original position, the rotation speed of the spin table 601 is increased from 400 rpm to 900 rpm in three steps (second rotation), the ultraviolet curable adhesive is shaken off, and the thickness of the adhesive layer is set in the plane. At constant.
[0226]
The plurality of pins 602 fixed to the spin table 601 also rotate simultaneously with the organic birefringent film 606 in the second rotation. After 900 rpm, the rinsing mechanism 609 is moved to the lower part of the transparent substrate 603 to dissolve the ultraviolet-curable adhesive before curing and dissolve the organic birefringent film 606 (in this embodiment, acetone is used). ) Is sprayed to remove the ultraviolet curable adhesive remaining on the periphery of the substrate.
[0227]
Thereafter, the rotation of the spin table 601 is stopped, and the rinse mechanism 609 is returned to the original position. Then, the ultraviolet irradiation mechanism 610 is moved onto the transparent substrate 603, and ultraviolet light is irradiated from the transparent substrate 603 side to cure the ultraviolet curable adhesive. After the ultraviolet irradiation, the ultraviolet irradiation mechanism 610 is returned to the original position, the vacuum suction of the spin table 601 is released, and the transparent substrate 603 to which the organic birefringent film 606 is adhered is taken out.
[0228]
As described above, by using the bonding apparatus of the present embodiment, the method of manufacturing the polarization splitting element of Embodiment 6 can be realized, and thus, it is possible to prevent the organic birefringent film from protruding from the transparent substrate.
[0229]
Further, since the surface of the spin table 601 that contacts the organic birefringent film 606 is porous, the organic birefringent film 606 is drawn into the suction hole when the organic birefringent film 606 is fixed to the spin table 601 by vacuum suction. Therefore, after bonding, an organic birefringent film surface having good flatness can be obtained.
[0230]
Further, in the present embodiment, the ultraviolet curable adhesive is cured by irradiating ultraviolet rays after the end of the second rotation. However, during the second rotation, the ultraviolet irradiation mechanism 610 is moved onto the transparent substrate 603 and the transparent substrate 603 is moved. The first ultraviolet ray is irradiated from the side 603 to partially cure the ultraviolet-curable adhesive.
[0231]
After that, the rotation of the spin table 601 is stopped, the rinsing mechanism 609 is returned to the original position, and the ultraviolet ray irradiating mechanism 610 irradiates the second ultraviolet ray from the transparent substrate 603 side to cure the ultraviolet curable adhesive. This is more preferable because the displacement of the transparent substrate 603 can be further suppressed.
[0232]
In this embodiment, since the number of the ultraviolet irradiation mechanism 610 is one, the first and second ultraviolet irradiations irradiate the first ultraviolet light and the second ultraviolet light by changing the irradiation time and the irradiation distance. Two ultraviolet irradiation mechanisms having different intensities may be provided to irradiate first and second ultraviolet rays, respectively.
[0233]
【The invention's effect】
Hereinafter, the effects of the present invention will be described for each claim.
[0234]
a) The method for manufacturing a polarization separation element according to claim 1, wherein the bonding step of bonding an organic birefringent film having a different refractive index to a vibrating surface of different incident light on the transparent substrate includes the first step of bonding the transparent substrate to the transparent substrate. Applying a UV-curable adhesive to the entire surface of the transparent substrate by applying rotation, placing an organic birefringent film on the UV-curable adhesive, and bringing the organic birefringent film close to or in contact with the side surface of the organic birefringent film. A step of applying a second rotation to the plurality of pins and the transparent substrate provided to flatten the surface of the organic birefringent film, and a step of irradiating the transparent substrate with ultraviolet rays to cure the ultraviolet-curable adhesive. I have.
[0235]
Therefore, even when the center of the organic birefringent film is not completely located at the center of rotation of the spin table, the side surface of the organic birefringent film is in contact with the pin at least in the direction in which the pin is provided during the second rotation. Since only the position is shifted, a large position shift can be suppressed.
[0236]
As a result, after the adhesive is cured by irradiating ultraviolet rays, the probability of occurrence of transport failure when transporting the substrate in the next step or in the apparatus can be reduced.
[0237]
In addition, the work conventionally performed to correct the displacement (repeating the operation of stopping the rotation of the spin table and returning the organic birefringent film to an appropriate position when the displacement of the organic birefringent film occurs) is reduced. Therefore, the throughput of the attaching step is improved.
[0238]
b) In the method for manufacturing a polarization splitting device according to the second aspect, a plurality of pins approaching or contacting the side surface of the organic birefringent film can be attached to and detached from a spin table for rotating the transparent substrate.
[0239]
Therefore, when the transparent substrate is mounted on the spin table, the operation can be performed with a plurality of pins removed, and there is no need to create an area where the pins cannot be placed in order to secure a space for mounting the transparent substrate on the spin table. As a result, a plurality of pins can be freely arranged on the spin table.
[0240]
In the method of manufacturing the polarization splitting element according to the third aspect, the plurality of pins which are close to or in contact with the side surface of the organic birefringent film are provided at four locations facing the organic birefringent film in the diameter direction.
[0241]
Therefore, the displacement of the organic birefringent film can be restricted in four directions of X and Y (+ X, -X, + Y and -Y directions) with the minimum number of pins.
[0242]
In the method of manufacturing a polarization separation element according to claim 4, the bonding step of bonding the organic birefringent films having different refractive indices to the vibrating surfaces of different incident light on the transparent substrate includes the first rotation on the transparent substrate. Applying an ultraviolet-curable adhesive to the entire surface of the substrate, placing an organic birefringent film on the ultraviolet-curable adhesive, and providing a plurality of Applying a second rotation to the pins and the transparent substrate to flatten the surface of the organic birefringent film, and irradiating the first ultraviolet ray during the second rotation to semi-harden the ultraviolet-curable adhesive; A step of irradiating the transparent substrate with second ultraviolet rays to cure the ultraviolet-curable adhesive is provided.
[0243]
Therefore, even when the center of the organic birefringent film is not completely located at the center of rotation of the spin table, the side surface of the organic birefringent film is in contact with the pin at least in the direction in which the pin is provided during the second rotation. Since only the position is shifted, a large position shift can be suppressed.
[0244]
Further, since the UV-curable adhesive starts polymerization and becomes highly viscous due to the first UV irradiation, the adhesive force between the UV-curable adhesive and the organic birefringent film is increased, and the organic compound caused by the rotation of the transparent substrate is hardened. The displacement of the refractive film can be reduced. As a result, the frequency of the organic birefringent film protruding from the transparent substrate can be further reduced.
[0245]
In the method of manufacturing the polarization splitting device according to the fifth aspect, a plurality of pins approaching or in contact with the side surface of the organic birefringent film can be attached to and detached from the spin table that rotates the transparent substrate.
[0246]
Therefore, when the transparent substrate is mounted on the spin table, the operation can be performed with a plurality of pins removed, and there is no need to create an area where the pins cannot be placed in order to secure a space for mounting the transparent substrate on the spin table. As a result, a plurality of pins can be freely arranged on the spin table.
[0247]
In the method for manufacturing a polarization splitting element according to the sixth aspect, a plurality of pins which are close to or in contact with the side surface of the organic birefringent film are provided at four locations which are diametrically opposed to each other.
[0248]
Therefore, the displacement of the organic birefringent film can be restricted in four directions of X and Y (+ X, -X, + Y and -Y directions) with the minimum number of pins.
[0249]
In the method for manufacturing a polarization splitting element according to claim 7, the organic birefringent film has a protective film via a pressure-sensitive adhesive on a surface opposite to a surface bonded to the transparent substrate, and the transparent substrate has a first ultraviolet ray. , The protective film is peeled off from the organic birefringent film.
[0250]
Further, in the method for manufacturing a polarization separation element according to claim 8, the organic birefringent film has a protective film via an adhesive on a surface opposite to a surface adhered to the transparent substrate, and the transparent substrate has a second protective film. After irradiating with ultraviolet rays, the protective film is peeled off from the organic birefringent film.
[0251]
Therefore, during the second rotation, the organic birefringent film is provided with a protective film via an adhesive, so that the rigidity of the organic birefringent film increases, and the side surfaces of the organic birefringent film contact the pins during the second rotation. Also in this case, the organic birefringent film is hardly deformed, and the planarity of the surface of the organic birefringent film is improved.
[0252]
When the protective film is relatively thick so that the pin contacts only the protective film, the distance between the pin tip and the spin table can be increased, the positional accuracy of the pin tip in the Z direction can be reduced, and the pin can be loosened. Can be simplified.
[0253]
Furthermore, when the transparent substrate and the organic birefringent film are bonded together, it can be performed in a state where the surface of the organic birefringent film on which the diffraction grating is formed is covered with a protective film. Therefore, the probability of attaching a scratch or foreign matter to the surface on which the diffraction grating is formed in the bonding step can be significantly reduced.
[0254]
In particular, in the step of rotating the spin table to shake off the ultraviolet-curable adhesive, the mist of the shaken-off adhesive does not adhere to the surface on which the diffraction grating is formed. Is not left on the surface of the organic birefringent film because of peeling off), so that the surface of the organic birefringent film with very little foreign matter can be realized. Therefore, pattern defects caused by foreign matters and scratches in the lithography process can be reduced, and the production yield of the polarization separation element can be improved.
[0255]
In the method of manufacturing a polarizing molecular element according to the ninth aspect, the bonding step of bonding the organic birefringent films having different refractive indexes to the vibrating surfaces of different incident light on the transparent substrate includes the first step of bonding the organic birefringent film to the organic birefringent film. Applying a UV curable adhesive over the entire surface of the organic birefringent film by rotating the film, placing a transparent substrate larger than the organic birefringent film on the UV curable adhesive, Providing a second rotation to the plurality of pins and the organic birefringent film provided so as to be close to or in contact with, and irradiating the organic birefringent film with ultraviolet light to cure the ultraviolet curable adhesive. It was made.
[0256]
Therefore, even when the center of the transparent substrate is not completely placed on the center of rotation of the spin table, during the second rotation, at least in the direction in which the pins are provided, the transparent substrate can be moved only up to the position where the side surface contacts the pins. Since there is no displacement, a large displacement can be suppressed.
[0257]
As a result, after the adhesive is cured by irradiating ultraviolet rays, the probability of occurrence of transport failure when transporting the substrate in the next step or in the apparatus can be reduced.
[0258]
In addition, since the transparent substrate is larger than the organic birefringent film, the interval between two opposing pins of the plurality of pins provided on the spin table is equal to or larger than the diameter of the transparent substrate, so that the organic substrate is smaller than the transparent substrate. The birefringent film can be placed on the spin table without being hindered by the plurality of pins. As a result, a plurality of pins can be freely arranged on the spin table.
[0259]
In the method of manufacturing a polarization beam splitting device according to claim 10, since the plurality of pins which are close to or in contact with the side surface of the transparent substrate are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the transparent substrate, the transparent substrate has a minimum number of pins. Can be restricted in four directions of X and Y (+ X, -X, + Y and -Y directions).
[0260]
In the method of manufacturing a polarization separation element according to claim 11, the bonding step of bonding the organic birefringent films having different refractive indexes to the vibrating surfaces of different incident light on the transparent substrate includes the first step of bonding the organic birefringent film to the organic birefringent film. Applying a UV curable adhesive over the entire surface of the organic birefringent film by rotating the film, placing a transparent substrate larger than the organic birefringent film on the UV curable adhesive, Giving a second rotation to the plurality of pins and the organic birefringent film provided so as to be close to or in contact with, and irradiating the first ultraviolet ray during the second rotation to semi-harden the ultraviolet-curable adhesive. And a step of irradiating the organic birefringent film with a second ultraviolet ray to cure the ultraviolet-curable adhesive.
[0261]
Therefore, even when the center of the transparent substrate is not completely placed on the center of rotation of the spin table, during the second rotation, at least in the direction in which the pins are provided, the transparent substrate can be moved only up to the position where the side surface contacts the pins. Since there is no displacement, a large displacement can be suppressed.
[0262]
Further, the ultraviolet-curable adhesive starts polymerization by the first ultraviolet irradiation and becomes higher in viscosity, so that the fixing force between the ultraviolet-curable adhesive and the organic birefringent film is increased, and the rotation of the organic birefringent film is caused. The displacement of the transparent substrate can be reduced. As a result, the frequency of the organic birefringent film protruding from the transparent substrate can be further reduced.
[0263]
In the method of manufacturing a polarization beam splitting device according to the twelfth aspect, a plurality of pins that are close to or in contact with the side surface of the transparent substrate are provided at four locations facing the transparent substrate in the diameter direction. Therefore, the displacement of the transparent substrate can be restricted in four directions of X and Y (+ X, -X, + Y and -Y directions) with a minimum number of pins.
[0264]
The polarized light separating element of claim 13 is manufactured by the method of claims 1 to 12. Therefore, in the bonding step of the organic birefringent film, the frequency of the organic birefringent film protruding from the transparent substrate can be reduced, so that the production yield of the polarization separation element is improved.
[0265]
Also, since the organic birefringent film is manufactured by bonding to the transparent substrate, a polarization splitting element smaller than a conventional beam splitter to which a prism is bonded can be manufactured.
[0266]
In particular, according to the method of the third, sixth, and tenth aspects, the displacement of the organic birefringent film or the transparent substrate can be limited in the four directions of X and Y, so that the organic birefringent film hardly protrudes from the transparent substrate.
[0267]
Therefore, the work conventionally performed to correct the misalignment (if the misalignment of the organic birefringent film occurs during the rotation of the spin table, the rotation of the spin table is stopped and the organic birefringent film is returned to an appropriate position. , The spin table is rotated again). As a result, the rotation time of the spin table can be made constant, and the thickness of the adhesive layer can be made uniform between the substrates.
[0268]
Since the optical pickup according to the fourteenth aspect uses the polarization splitting element according to the thirteenth aspect, it can be made smaller than a conventional pickup using a beam splitter to which a prism is bonded.
[0269]
A bonding apparatus for an organic birefringent film according to claim 15, wherein a spin table that holds the transparent substrate, a rotation mechanism that rotates the spin table, an application mechanism that applies an ultraviolet curable adhesive to the transparent substrate, and A mounting mechanism for mounting the organic birefringent film on the applied ultraviolet-curable adhesive, a plurality of pins provided so as to be close to or in contact with the side surface of the organic birefringent film, and ultraviolet irradiation for irradiating the transparent substrate with ultraviolet light. Since it is constituted by a mechanism, the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to claims 1 and 4 can be realized.
[0270]
In addition, when a protective film is attached to the organic birefringent film via a pressure-sensitive adhesive on a surface facing the surface to be bonded to the transparent substrate, the method for manufacturing a polarization separation element according to claims 7 and 8 can be realized.
[0271]
The organic birefringent film bonding apparatus according to claim 16 has an attaching / detaching mechanism for attaching / detaching a plurality of pins to / from a spin table, so that the method for manufacturing a polarization separation element according to claims 2 and 5 can be realized. Further, when a plurality of pins are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the organic birefringent film, the method for manufacturing a polarization splitting element according to claims 3 and 6 can be realized.
[0272]
Further, when the organic birefringent film is provided with a protective film via a pressure-sensitive adhesive on the surface opposite to the surface to be bonded to the transparent substrate, the method for manufacturing a polarization separation element according to claims 7 and 8 can be realized.
[0273]
The bonding apparatus for an organic birefringent film according to claim 17, a spin table that holds the organic birefringent film, a rotation mechanism that rotates the spin table, a coating mechanism that applies an ultraviolet-curable adhesive to the organic birefringent film, A mounting mechanism for mounting a transparent substrate larger than the organic birefringent film on the ultraviolet-curable adhesive applied to the organic birefringent film, a plurality of pins approaching or contacting the side of the transparent substrate, and an organic birefringence Since the film is composed of an ultraviolet irradiation mechanism for irradiating the film with ultraviolet light, the method for manufacturing a polarization separation element according to claims 9 and 11 can be realized.
[0274]
Further, when a plurality of pins are provided at four locations facing each other in the diameter direction of the transparent substrate, the method of manufacturing the polarization separation element according to claims 10 and 12 can be realized.
[0275]
In the organic birefringent film bonding apparatus according to the eighteenth aspect, the surface of the spin table that contacts the organic birefringent film is porous. Therefore, since the micropores can be used as the suction holes, the organic birefringent film is not drawn into the suction holes when the organic birefringent film is fixed by vacuum suction, and a smooth organic birefringent film surface can be obtained after bonding.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view showing one example (Example 1) of a method for producing a polarization beam splitting element according to the present invention (Example 1).
FIG. 2 is a diagram showing one example (Example 1) of a method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the present invention (Example 2).
FIG. 3 is a diagram illustrating a pin arrangement according to the first embodiment.
FIG. 4 is a diagram showing one example (Example 2) of a method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the present invention (part 1).
FIG. 5 is a view showing an example (Example 2) of a method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the present invention (part 2).
FIG. 6 is a diagram illustrating a pin arrangement according to a second embodiment.
FIG. 7 is a view showing one example (Example 3) of a method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the present invention (part 1).
FIG. 8 is a view showing one example (Example 3) of the method for producing a polarization beam splitting element according to the present invention (part 2).
FIG. 9 is a view showing one example (Example 4) of the method for producing a polarization beam splitting element according to the present invention (Example 1).
FIG. 10 is a drawing showing an example (Example 4) of the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the present invention (Example 2).
FIG. 11 is a view showing an example (Example 5) of a method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the present invention (Example 1).
FIG. 12 is a drawing showing an example (Example 5) of the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the present invention (Example 2).
FIG. 13 is a view showing one example (Example 6) of the method for manufacturing the polarization beam splitting element according to the present invention (part 1).
FIG. 14 is a drawing illustrating an example (Example 6) of the method for manufacturing a polarization beam splitting element according to the present invention (Example 2).
FIG. 15 is a diagram illustrating a pin arrangement according to a sixth embodiment.
FIG. 16 is a diagram showing an embodiment (Embodiment 7) of the configuration of the optical pickup (for CD) according to the present invention.
FIG. 17 is a diagram showing an embodiment (Embodiment 8) of the configuration of the optical pickup (for DVD) according to the present invention.
FIG. 18 is a view showing one embodiment (Example 9) of the bonding device for an organic birefringent film according to the present invention.
FIG. 19 is a view showing another embodiment (Example 10) of the organic birefringent film bonding apparatus according to the present invention.
FIG. 20 is a view showing another embodiment (Example 11) of the organic birefringent film bonding apparatus according to the present invention.
FIG. 21 is a diagram for explaining a manufacturing process of a bonded optical disk by a spinner method.
FIG. 22 is a diagram for explaining an example in which an organic birefringent film on a spin table causes displacement.
[. Explanation of code]
1,21,41,61,81,101,401,501,601,801,901: spin table,
2, 22, 42, 62, 82, 102, 402, 502, 602: pins,
3, 23, 43, 63, 83, 103, 403, 503, 603, 903: transparent substrate,
4,44,64,104,404,504,604: Dispenser,
5, 25, 45, 65, 85, 105, 805, 905: UV curable adhesive,
6, 26, 46, 66, 86, 106, 406, 506, 606, 906: organic birefringent film,
7, 27, 47, 67, 87, 107: organic solvent,
8, 28: ultraviolet rays,
9, 29, 49, 69, 89, 109: diffraction grating,
11, 31, 51, 71, 91, 111: isotropic adhesive,
12, 32, 52, 72, 92, 112: opposing transparent substrate,
13, 33, 53, 73, 93, 113: dicing saw,
14, 34, 54, 74, 94, 114: polarization separation element,
201, 301: laser diode,
202, 302: polarization separation element,
203, 303: collimator lens,
204, 304: λ / 4 wavelength plate,
205, 305: objective lens,
206: CD-RW,
207, 307: photodiode,
306: DVD,
405, 505, 605: robot arm,
407, 507, 607: suction arm,
408, 508, 608: mounting mechanism,
409, 509, 609: rinsing mechanism,
410, 510, 610: UV irradiation mechanism,
661, 861: protective film,
662, 862: adhesive,
802: center pin,
803: a first substrate,
804, 807: hub,
806: second substrate,
808: Ultraviolet (UV)
809: Laminated optical disk.

Claims (18)

透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングし周期的な回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、
前記接着工程が、前記透明基板に第１の回転を与えて前記透明基板全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、該紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、前記有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと前記透明基板に第２の回転を与えて前記有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、前記透明基板に紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。A bonding step of bonding organic birefringent films having different refractive indices to different vibration planes of incident light on a transparent substrate, and forming a periodic mask pattern on the organic birefringent film, using the mask pattern. In a method for manufacturing a polarization separation element having a step of forming a periodic diffraction grating by etching an organic birefringent film,
A step of applying a first rotation to the transparent substrate to apply an ultraviolet-curable adhesive to the entire surface of the transparent substrate, and a step of placing an organic birefringent film on the ultraviolet-curable adhesive. Applying a second rotation to the plurality of pins and the transparent substrate provided to approach or contact the side surface of the organic birefringent film to flatten the surface of the organic birefringent film, and applying ultraviolet light to the transparent substrate. Irradiating the ultraviolet-curable adhesive to cure the ultraviolet-curable adhesive. 請求項１記載の偏光分離素子の作製方法において、
前記複数のピンは、前記透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能であることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。The method for manufacturing a polarization separation element according to claim 1,
The method according to claim 1, wherein the plurality of pins are detachable from a spin table that rotates the transparent substrate. 請求項１または２記載の偏光分離素子の作製方法において、前記複数のピンは、前記有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けられることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。3. The method according to claim 1, wherein the plurality of pins are provided at four positions facing each other in a diameter direction of the organic birefringent film. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて前記有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、
前記接着工程が、前記透明基板に第１の回転を与えて全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、前記紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置するステップと、前記有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと前記透明基板に第２の回転を与えて前記有機複屈折膜表面を平坦化するステップと、該第２の回転中に第１の紫外線を照射し紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、前記透明基板に第２の紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。A bonding step of bonding organic birefringent films having different refractive indices to different vibration planes of incident light on a transparent substrate, and forming a periodic mask pattern on the organic birefringent film, using the mask pattern. In a method for manufacturing a polarization separation element, comprising a step of forming a periodic diffraction grating by etching the organic birefringent film,
The bonding step of applying a first rotation to the transparent substrate to apply a UV curable adhesive to the entire surface, placing an organic birefringent film on the UV curable adhesive, Applying a second rotation to the plurality of pins provided so as to approach or contact the side surface of the birefringent film and the transparent substrate to flatten the surface of the organic birefringent film, and performing the first rotation during the second rotation. (C) semi-curing the ultraviolet-curable adhesive by irradiating the ultraviolet light, and irradiating the transparent substrate with second ultraviolet to cure the ultraviolet-curable adhesive. Method. 請求項４記載の偏光分離素子の作製方法において、
前記複数のピンは、前記透明基板を回転させるスピンテーブルに着脱可能であることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。The method for manufacturing a polarization separation element according to claim 4,
The method according to claim 1, wherein the plurality of pins are detachable from a spin table that rotates the transparent substrate. 請求項４または５記載の偏光分離素子の作製方法において、前記複数のピンは、有機複屈折膜の直径方向で対向する４箇所に設けられることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。The method for manufacturing a polarization beam splitting device according to claim 4, wherein the plurality of pins are provided at four positions facing each other in a diameter direction of the organic birefringent film. 請求項４から６のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法において、
前記有機複屈折膜は、前記透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を備え、前記透明基板に第１の紫外線を照射した後に前記有機複屈折膜から前記保護膜を剥離することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。The method for producing a polarization beam splitting element according to claim 4,
The organic birefringent film is provided with a protective film via a pressure-sensitive adhesive on a surface opposite to a surface adhered to the transparent substrate, and after irradiating the transparent substrate with a first ultraviolet ray, the organic birefringent film is protected from the organic birefringent film by the protective film. And a method for manufacturing a polarization separation element. 請求項４から６のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法において、
前記有機複屈折膜は、前記透明基板と接着する面と対向する面に粘着剤を介して保護膜を備え、前記透明基板に第２の紫外線を照射した後に前記有機複屈折膜から前記保護膜を剥離することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。The method for producing a polarization beam splitting element according to claim 4,
The organic birefringent film is provided with a protective film via a pressure-sensitive adhesive on a surface opposite to a surface adhered to the transparent substrate, and after irradiating the transparent substrate with a second ultraviolet ray, the organic birefringent film is protected from the organic birefringent film by the protective film. And a method for manufacturing a polarized light separating element. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて前記有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、
前記接着工程が、前記有機複屈折膜に第１の回転を与えて前記有機複屈折膜全面に前記紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、前記紫外線硬化型接着剤上に前記有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、前記透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと前記有機複屈折膜に第２の回転を与えるステップと、前記有機複屈折膜に紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を硬化するステップとを有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。A bonding step of bonding organic birefringent films having different refractive indices to different vibration planes of incident light on a transparent substrate, and forming a periodic mask pattern on the organic birefringent film, using the mask pattern. In a method for manufacturing a polarization separation element, comprising a step of forming a periodic diffraction grating by etching the organic birefringent film,
The bonding step of applying a first rotation to the organic birefringent film to apply the ultraviolet curable adhesive over the entire surface of the organic birefringent film; and forming the organic birefringent film on the ultraviolet curable adhesive. Mounting a transparent substrate having a larger size than the above, applying a second rotation to the plurality of pins and the organic birefringent film provided so as to approach or contact the side surface of the transparent substrate, and Irradiating the film with ultraviolet light to cure the ultraviolet-curable adhesive. 請求項９記載の偏光分離素子の作製方法において、
前記複数のピンは、前記透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けられることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。The method for manufacturing a polarization separation element according to claim 9,
The method according to claim 1, wherein the plurality of pins are provided at four positions facing each other in a diameter direction of the transparent substrate. 透明基板上に入射光の異なる振動面に対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程と、前記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成し、該マスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチングして周期的な回折格子を形成する工程を有する偏光分離素子の作製方法において、
前記接着工程が、前記有機複屈折膜に第１の回転を与えて前記有機複屈折膜全面に紫外線硬化型接着剤を塗布するステップと、前記紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置するステップと、前記透明基板側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと前記有機複屈折膜に第２の回転を与えるステップと、該第２の回転中に第１の紫外線を照射し前記紫外線硬化型接着剤を半硬化するステップと、前記有機複屈折膜に第２の紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を硬化するステップを有することを特徴とする偏光分離素子の作製方法。A bonding step of bonding organic birefringent films having different refractive indices to different vibration planes of incident light on a transparent substrate, and forming a periodic mask pattern on the organic birefringent film, using the mask pattern. In a method for manufacturing a polarization separation element having a step of forming a periodic diffraction grating by etching an organic birefringent film,
The bonding step of applying a first rotation to the organic birefringent film to apply an ultraviolet-curable adhesive to the entire surface of the organic birefringent film; Placing a transparent substrate having a large size, applying a second rotation to the plurality of pins and the organic birefringent film provided so as to approach or contact the side surface of the transparent substrate; Irradiating a first ultraviolet ray to semi-curing the ultraviolet curable adhesive; and irradiating the organic birefringent film with a second ultraviolet ray to cure the ultraviolet curable adhesive. A method for producing a polarization separation element. 請求項１１記載の偏光分離素子の作製方法において、
前記複数のピンは、前記透明基板の直径方向で対向する４箇所に設けられることを特徴とする偏光分離素子の作製方法。The method for manufacturing a polarization separation element according to claim 11,
The method according to claim 1, wherein the plurality of pins are provided at four positions facing each other in a diameter direction of the transparent substrate. 請求項１から１２のいずれかに記載の偏光分離素子の作製方法によって作られたことを特徴とする偏光分離素子。A polarization splitting element produced by the method for manufacturing a polarization splitting element according to claim 1. 請求項１３項の偏光分離素子を用いたことを特徴とする光ピックアップ。An optical pickup using the polarization separation element according to claim 13. 透明基板を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、前記透明基板に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、前記透明基板上に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載置する載置機構と、前記有機複屈折膜側面に近接ないし接触するように設けられた複数のピンと、前記透明基板に紫外線を照射する紫外線照射機構を有することを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。A spin table that holds the transparent substrate, a rotation mechanism that rotates the spin table, an application mechanism that applies an ultraviolet-curable adhesive to the transparent substrate, and an ultraviolet-curable adhesive that is applied to the transparent substrate. A mounting mechanism for mounting an organic birefringent film, a plurality of pins provided so as to approach or contact the side surface of the organic birefringent film, and an ultraviolet irradiation mechanism for irradiating the transparent substrate with ultraviolet light. Organic birefringent film bonding device. 請求項１５記載の有機複屈折膜の接着装置において、
前記複数のピンをスピンテーブルから着脱する着脱機構を有することを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。The bonding device for an organic birefringent film according to claim 15,
An apparatus for bonding an organic birefringent film, comprising an attaching / detaching mechanism for attaching and detaching the plurality of pins from a spin table. 有機複屈折膜を保持するスピンテーブルと、該スピンテーブルを回転させる回転機構と、前記有機複屈折膜に紫外線硬化型接着剤を塗布する塗布機構と、前記有機複屈折膜に塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜よりもサイズの大きい透明基板を載置する載置機構と、前記透明基板側面に近接ないし接触する複数のピンと、前記有機複屈折膜に紫外線を照射する紫外線照射機構を有することを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。A spin table for holding an organic birefringent film, a rotating mechanism for rotating the spin table, a coating mechanism for applying an ultraviolet-curable adhesive to the organic birefringent film, and an ultraviolet curing applied to the organic birefringent film A mounting mechanism for mounting a transparent substrate having a size larger than that of the organic birefringent film on the mold adhesive, a plurality of pins approaching or in contact with the side surface of the transparent substrate, and irradiating the organic birefringent film with ultraviolet light An organic birefringent film bonding apparatus having a mechanism. 請求項１７記載の有機複屈折膜の接着装置において、
前記スピンテーブルの有機複屈折膜と接触する面が多孔質であることを特徴とする有機複屈折膜の接着装置。The bonding apparatus for an organic birefringent film according to claim 17,
An organic birefringent film bonding apparatus, wherein a surface of the spin table that contacts the organic birefringent film is porous.
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