JP2004221542A - プロセスチャンバと真空ラインをクリーニングするためのシステムと方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】プロセスチャンバまたは真空ラインをクリーニングするためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】プロセスチャンバまたは真空ラインのクリーニングの進捗は、プロセスチャンバまたは真空ラインの内部表面のサンプルの清浄度を測定することによってモニタされる。この目的のために、表面サンプルは、クリーニングガスの作用に何回か曝され、テストプラズマソースによって発生されたテストプラズマの作用に他の何回か曝される。テストプラズマは表面サンプル上の原子を励起し、分光計によって測定される放射を生成し、分光計は、クリーニングが十分であるときに、プロセスチャンバまたは真空ラインにクリーニングガスを供給するための電磁バルブを閉じるために制御手段に信号を送る。これは、プロセスチャンバまたは真空ラインの内部表面を劣化させがちである過剰かつ長すぎるクリーニングを防止する。
【選択図】 図1
【解決手段】プロセスチャンバまたは真空ラインのクリーニングの進捗は、プロセスチャンバまたは真空ラインの内部表面のサンプルの清浄度を測定することによってモニタされる。この目的のために、表面サンプルは、クリーニングガスの作用に何回か曝され、テストプラズマソースによって発生されたテストプラズマの作用に他の何回か曝される。テストプラズマは表面サンプル上の原子を励起し、分光計によって測定される放射を生成し、分光計は、クリーニングが十分であるときに、プロセスチャンバまたは真空ラインにクリーニングガスを供給するための電磁バルブを閉じるために制御手段に信号を送る。これは、プロセスチャンバまたは真空ラインの内部表面を劣化させがちである過剰かつ長すぎるクリーニングを防止する。
【選択図】 図1
Description
本出願は、開示の全体が参照により本明細書に組み込まれ、その優先権が主張される2002年11月21日出願の仏国特許出願第0214571号に基づく。
本願明細書に記載される発明は、半導体コンポーネントおよび微細加工技術コンポーネントを製造するための設備のプロセスチャンバおよび真空ラインのクリーニングに関する。
半導体コンポーネントおよび微細加工技術コンポーネントは、通常、プロセスチャンバ内で真空中で製造される。製造工程は多くのステップ、特に、固相堆積物を生成するために1つまたは複数のガスが固体表面と反応する化学気相成長(CVD)ステップを含む。たとえば電気回路を作成するために、この方法で半導体基板上にさまざまな固体層を堆積することができる。しかし、固体堆積物は半導体基板上だけでなく、プロセスチャンバの壁の全体上に、および、プロセスチャンバの真空を作り出し、維持する真空ラインの壁上にも生成される。
後続バッチの半導体ウェハ上への堆積によって後続バッチのコンポーネントを作成するために、同じプロセスチャンバが使用される。1つのバッチのコンポーネントを製造するときにプロセスチャンバの壁に堆積された固体堆積物は、次の製造手順のために続いてチャンバ内に導入される他のバッチの半導体ウェハを汚染しがちである。したがって、手順ごとの汚染を防止するために、プロセスチャンバの清浄度を保全することが必要である。プロセスチャンバは2つの連続する製造手順の間でクリーニングされる。
たとえば、シリコン酸化物(SiO2)固体堆積物は、高密度化学気相成長(HDPCVD)工程において生成され、高い反応性を持つガスである三フッ化窒素(NF3)を使用して除去される。NF3分子はプラズマによって解離され、F2分子および原子状フッ素Fの励起原子を形成する。フッ素原子はシリコン酸化物と反応して、四フッ化シリコン(SiF4)および他のガス分子を形成する。これらのガスは、真空ラインを介してプロセスチャンバの外にポンプ排気される。現在、HDPCVDの手順はシリコンウェハ上に7,500Åのシリコン酸化物の層を形成するために数分かかる。2つの堆積手順間のクリーニングステップは、プロセスチャンバの壁上のシリコン酸化物の不要な層を除去するために数分かかる。クリーニング時間は、プロセスチャンバの壁の金属を重大には侵食することなくプロセスチャンバの壁からシリコンの層を除去するためにその時間がちょうど十分であるように調整される。
現在、クリーニング時間は試行錯誤によって調整され、使用される工程に適する概ねの継続時間は何回かの試行の過程にわたって実験的に決定されている。調整は使用される工程の各タイプに対して達成されなければならない。この方法は時間がかかり、工程のいかなる変形、改変、または、ドリフトも迅速かつ効果的には補償できない。
米国特許出願第2002/0020429号明細書は、プロセスチャンバの内部部品への侵食性が低い遠隔プラズマソースを使用してプロセスチャンバをクリーニングすることを提案する。
同文献は、プロセスチャンバ内に存在するガスからプラズマを発生するためにプロセスチャンバ内に直接設置され、このようにして発生されるテストプラズマを分光的に分析するための手段と連結される第2のテストプラズマソースを使用することによってクリーニングステップの「終点」を決定することを提案する。テストプラズマはプロセスチャンバの壁には作用せず、そのパワーは、それが遠隔プラズマソースを使用して行われるクリーニング動作に影響しないように十分低くなければならない。
分光分析手段が、核種または副産物の強度または比が所定の定常レベルに到達しことを示し、チャンバが完全にクリーニングされたことを示すときにクリーニングが完了したと考えられる。
上述の技術は、遠隔プラズマソースによって発生されたクリーニングプラズマ内のクリーニング副産物の不在を登録する間接的な方法である。
結果が、遠隔プラズマソース自体およびそのクリーニング能力にも依存するため、テストプラズマ発生器によって提供される情報は信頼できない。さらに、この方法はプロセスチャンバの完全なクリーニングの後にのみ情報を提供し、その時点のクリーニングステップの進捗に関する情報を提供できない。これの他の結果は、この方法が不正確であることである。
問題は、プロセスチャンバを十分に、かつ、過剰でなくクリーニングするために必要な時間を迅速に、効率的に、かつ、信頼性高く決定することである。もしクリーニング時間が短めに評価されれば、プロセスチャンバの壁上のシリコン酸化物層は完全には除去されない。逆に、クリーニング時間を長めに評価することは、フッ素原子のプロセスチャンバの壁自体の金属との反応を引き起こす。
さらに、クリーニングガスNF3は高価であり、使用される量を最小に抑えることが有益である。1回のクリーニングサイクルは、1キログラム当り約400ユーロする約3.5リットルのNF3を使用する。1個のカセットは25枚のシリコンウェハを収容し、NF3の22kgのボンベ1本が、84個のカセットの処理の間にチャンバをクリーニングするために十分である。これは、カセット当り約100ユーロのクリーニングコストに相当する。このコストは無視できず、これを低減することが有益である。
さらに、クリーニングガスNF3は生物学的に有害であり、したがって、環境を悪化させることを防止するために、使用される量を低減することには生態学的利益がある。
本発明は、プロセスチャンバおよび真空ラインのちょうど十分なクリーニングを提供するためにプロセスチャンバおよび真空ラインのクリーニングをモニタすることを目的とし、それによって、不十分なクリーニングおよび過剰なクリーニングの双方を防止する。これは、プロセスチャンバ内で行われる処理工程の高い品質を保証し、使用されるクリーニングガスの量を最初に抑える。モニタは、すべてのタイプの工程への適合を可能にするために、かつ、工程の高いレベルのフレキシブル性を保証するために、高速、効率的、かつ、高信頼性でなければならない。
クリーニングはこのようにしてモニタされるため、より少ないクリーニングガスを使用することができ、同時にプロセスチャンバおよび真空ラインの壁の劣化を防止する。
クリーニングは自動化することもでき、満足なクリーニング時間を選択するために、熟練したオペレータの経験に頼る必要を回避する。
本発明の基本的思想は、プロセスチャンバまたは真空ラインの清浄度を直接決定するためのシステムを設計することであり、システムは、プロセスチャンバまたは真空ラインが十分にクリーニングされていない限りクリーニングステップの継続を、および、プロセスチャンバまたは真空ラインが十分にクリーニングされるや否やクリーニングステップの中断を命令する。
そのためには、堆積物層の原子の存在または不在を検出するために、センサは、プロセスチャンバまたは真空ラインの壁の内部表面のサンプルの表面層の性質を試験する。
上述および他の目的を達成するために、本発明は、プロセスチャンバおよび真空ラインのクリーニングをモニタするためのシステムを提供し、システムは、テストプラズマのソース、テストプラズマから光を受け取るスペクトル発光測定手段、テストプラズマ内に存在する原子の性質を決定するために前記スペクトル発光測定手段から得られる信号を分析するための手段、および、プロセスチャンバもしくは真空ラインの内部のガスに対して、または、テストプラズマソースからのテストプラズマに対して、プロセスチャンバまたは真空ラインのモニタされる内部表面のサンプルを交互に露出する手段を含む。
テストプラズマは試験される表面サンプルに作用し、テストプラズマ内で励起され、各原子に固有の遷移エネルギに相当するスペクトルで光子を発光する表面原子をそれから除去する。発光された光学的スペクトルを分析するためのスペクトル発光測定手段を使用することによって原子を識別することが可能であり、発光される光子の数は分析されるサンプル内に存在する原子の数に比例する。
サンプルはプロセスチャンバの内部表面の全体の状態を表すものである。したがって、本モニタ法は直接的、高信頼性、かつ、正確である。
モニタシステムは比較的かさ張り、プロセスチャンバの内部に完全かつ恒久的には設置できず、分析される内部表面サンプルに向けて指向させることができない。したがって、外部のスペクトル発光測定手段を分析される表面サンプルに断続的に接続するインターフェイスを提供することが必要であり、これはプロセスチャンバの内部に向けて必ず配向される。
第1の実施形態は、プロセスチャンバまたは真空ライン内に据え付けられ、分析される表面サンプルの活性表面が、プロセスチャンバまたは真空ライン内のガスにそれを露出するため、および、堆積物を受け取るためにプロセスチャンバまたは真空ラインの内部に向けて配向された第1のサンプリング状態と、分析される表面サンプルの活性表面が、テストプラズマに対してそれを露出するためにテストプラズマソースに対面するプロセスチャンバまたは真空ラインの外部に向けて配向される第2のサンプリング状態との間で移動可能である可動である分析される表面サンプルを使用する。第1の状態において、表面サンプルは、プロセスチャンバまたは真空ラインの内部表面のすべての他の部分のように、堆積物を受け取る。第2の状態において、表面サンプルは、それがテストプラズマに対して露出できるように接近可能である。
第2の実施形態は、テストプラズマをプロセスチャンバまたは真空ラインの壁の内部表面の領域に向けて、所定の時間だけ指向させることができるようにプロセスチャンバまたは真空ライン内で移動させることができる、外部スペクトル発光測定手段とテストプラズマソースとの間のフレキシブル光ファイバを使用する。テストプラズマソースは、プロセスチャンバまたは真空ライン内のガスが分析される表面サンプルに作用することを可能にするために、分析される表面サンプルから離れている第1の状態、および、テストプラズマが分析される表面サンプルに作用することを可能にするために、分析される表面サンプルに対面する第2の状態を想定する。
本発明によるシステムは、好ましくは、存在する原子が堆積物の原子を含む限りにわたり、クリーニングステップの継続を命令するため、および、存在する原子が堆積物の原子を最早含まなくなるや否やクリーニングステップを中断するために、テストプラズマに存在する原子の性質に関する情報を分析手段から受け取るための制御手段を含む。
本発明はプロセスチャンバまたは真空ラインをクリーニングする方法も提供し、方法は、プロセスチャンバまたは真空ラインの内部壁上の堆積物を分解するための1つまたは複数のクリーニングガスを使用するクリーニングステップ、および、上記に定義したモニタシステムを使用して、クリーニングされるプロセスチャンバまたは真空ラインの内部壁の少なくともサンプル上の堆積物の原子の存在が、テストプラズマを表面サンプル上の前記堆積物に作用させることによって検出される1つまたは複数の中間モニタステップを含む。
中間モニタステップは所定の時刻に行うことができる。
所定の時刻は、好ましくはクリーニングの予測可能な終了時刻の近くに選ばれる。
本発明の他の目的、特徴、および、長所は、添付の図面を参照して与える本発明の特定の実施形態の以下の説明から分かる。
図1に示す実施形態において、モニタシステムは、ガスをプロセスチャンバ1の外にポンプ廃棄するためのポンピング手段2aを含む真空ライン2に連結されるプロセスチャンバ1に適用される。
モニタシステムはテストプラズマ5を発生するためのテストプラズマソース3を含む。インターフェイス4は、モニタされるプロセスチャンバ1または真空ライン2の内部表面のサンプル6に向けてテストプラズマ5を指向するために使用される。スペクトル発光測定手段7はテストプラズマ5のスペクトル発光を測定する。
スペクトル発光測定手段7によって作成された信号は、テストプラズマ5内に存在する原子の性質を決定するために信号を分析する分析手段8に送られる。
制御手段9は分析手段8から信号を受け取り、プロセスチャンバ1または真空ライン2をクリーニングするステップの継続または中断をモニタする。このために、制御手段9は、クリーニングガスソース12からプロセスチャンバ1内にクリーニングガスを搬送するためのクリーニングガス供給パイプ11に取り付けられた電磁バルブ10を制御する。
本発明によれば、プロセスチャンバ1または真空ライン2の内部のガスに対して、および、インターフェイス4を介してテストプラズマソース3から供給されるテストプラズマ5に対して表面サンプル6を交互に露出するための手段が設けられる。
図2および3は、テストプラズマソース3の1つの特定の実施形態をより詳細に示す。テストプラズマソースはプラズマ発生器とすることができる。
この実施形態において、テストプラズマソース3は、試験されるプロセスチャンバ1または真空ライン2の内部大気と連絡する第1の端部3a、および、塞がれた第2の端部3bを有する密閉石英チューブを含む。チューブは、チューブ内にテストプラズマ5を発生するための無線周波数電気エネルギを磁気励起アンテナ13に供給する無線周波数発生器14に連結される磁気励起アンテナ13によって取り囲まれる(図3)。
この手のプラズマ発生器は、内部ガス圧力が一般に100Paから1,000Paにかかる範囲にわたって動作することができる。
たとえば発光分光計から構成されるスペクトル発光測定手段7は、チューブ内に存在するテストプラズマ5によって発光される光放射15をチューブの壁を介して受け取るために、テストプラズマソース3のチューブの塞がれた端部3bに対面して配置される。
したがって、テストプラズマ5からスペクトル発光測定手段7に伝播する光放射15は、密閉石英チューブの壁を介して通過する。
次に、図2および3を参照して説明するインターフェイス4の第1の実施形態を考える。この第1の実施形態において、インターフェイス4は、図2に示す第1の状態と図3に示す第2の状態との間で、モニタされるプロセスチャンバ1の内部表面のサンプル6を移動させるために使用される。
図2に示す第1の状態において、表面サンプル6は、モニタされるプロセスチャンバ1または真空ライン2の内部に向けて配向され、したがって、プロセスチャンバ1または真空ライン2内のガス16、たとえばNF3などのクリーニングガスに露出される。その結果、活性工程の各ステップの間、表面サンプル6はプロセスチャンバ1内の活性プラズマに露出され、これがプロセスチャンバ1の内部表面の全体上、特に表面サンプル6上に堆積物6aを生成する。続いて、プロセスチャンバ1をクリーニングするステップの間、表面サンプル6は、堆積物6aを排除するためのクリーニングガス16の作用に露出される。本発明の目的は、クリーニングガス16の作用のために堆積物6aがいつ消滅したのかを正確に検出することである。
図3に示す第2の状態において、表面サンプル6はプロセスチャンバ1または真空ライン2の外部に向けて配向され、テストプラズマ5に露出されるためにテストプラズマソース3に対面する。その結果、テストプラズマ5は堆積物6aのいかなる原子も表面サンプル6から分離させ、それらの原子は、スペクトル発光測定手段7に向かって伝播する光放射15内に含まれるスペクトル発光を発生する。
すべての実施形態において、表面サンプル6は小さな寸法、たとえば僅か数ミリを有することができる。
図2および3の実施形態において、図3に示すように、インターフェイス4は、クリーニングまたは活性工程ステップの間、テストプラズマソース3の第1の端部3aを閉鎖する位置と、テストステップの間、第1の端部3aを開く位置との間で可動の閉鎖フラップ17をさらに含む。
図5および6に示す第2の実施形態において、テストプラズマソース3は、図6に示す第1の状態および図5に示す第2の状態を仮定して、プロセスチャンバ1または真空ライン2内で、それ自体が移動可動である。
この実施形態において、無線周波数発生器14によって無線周波数電気エネルギを供給される磁気励起アンテナ(図示しない)を備え、試験されるプロセスチャンバ1または真空ライン2の内部の大気と連絡するための第1の端部3aを有するチューブの形態に模式的に示すテストプラズマソース3がやはりある。
同じく再び示すのは、スペクトル発光測定手段7、たとえば発光分光計である。
図6に示す第1の状態において、テストプラズマソース3は分析される表面サンプル6から離れていて、これはプロセスチャンバ1または真空ライン2の壁の一部となっている。この状態で、プロセスチャンバ1または真空ライン2内のガスは分析される表面サンプル6に作用する。たとえば、クリーニングガス16は、クリーニングステップの間、分析される表面サンプル6上の堆積物6aを次第に低減する。
図5に示す第2の状態において、テストプラズマソース3は、磁気励起アンテナを励振する無線周波数発生器14によって発生されるテストプラズマ5を、分析される表面サンプル6に作用させるように、プロセスチャンバ1または真空ライン2の内部にあり、分析される表面サンプル6に対面する。
テストプラズマソース3がモニタシステムの2つの状態の間で移動することを可能にするために、それは、テストプラズマソース3からスペクトル発光測定手段7に光を搬送するフレキシブル光ファイバ19によってスペクトル発光測定手段7に接続される。フレキシブル光ファイバ19は、無線周波数発生器14からテストプラズマソース3の磁気励起アンテナに無線周波数電気エネルギを搬送するフレキシブル電気供給回線20に結合される。
図6に示す第1の状態において、テストプラズマソース3は、モータまたはピストン/シリンダアクチュエータなどの操作手段4bによって操作される閉鎖フラップ17によって、プロセスチャンバ1の内部のプラズマまたはクリーニングガス16の作用から隔離された区画21の内部にある。図5に示す第2の状態において、テストプラズマソース3は、閉鎖フラップ17が操作手段4bの操作によって開かれた後にプロセスチャンバ1の内部に移動される。テストプラズマソースは、図5に単に矢印で示すピストン/シリンダアクチュエータなどの駆動手段4cによって移動される。
双方の実施形態において、モータまたはピストン/シリンダアクチュエータなどの操作手段4aおよび4b、および、適用可能な場合には駆動手段4cは、モニタシステムを、その第1と第2の状態との間で移動する。
たとえば、図2および3の実施形態において、操作手段が図2に示す第1の状態と図3に示す第2の状態との間で表面サンプル6を枢動するためのピストン/シリンダアクチュエータなどの第1の部材4aを含む一方、第2のピストン/シリンダアクチュエータなどの第2の部材4bは図2に示す第1の状態と図3に示す第2の状態との間で閉鎖フラップ17を枢動する。
図5および6の第2の実施形態は、閉鎖フラップ17、および、テストプラズマソース3からの隔離を提供する区画21を開放または閉鎖するためのそれの開放手段4bをやはり含み、前記テストプラズマソース3は図6および5にそれぞれ示すその2つの状態の間で駆動手段4cによって移動される。
操作において、図1に示すようなプロセスチャンバは1枚または複数枚の半導体ウェハ18を受け取る。活性工程ステップの間、半導体ウェハ18は、プロセスチャンバ1内のメインプラズマソースによって発生される活性プラズマを使用する化学的堆積、エッチング、および、他のステップの対象となる。これらのステップは、プロセスチャンバ1の内部表面の全体にわたって、および、特に表面サンプル6上に堆積物6aなどの固体堆積物を生成する。
プロセスチャンバ1の内部大気に放出されがちであるこれらの堆積物による半導体ウェハ18のその後の汚染を防止するために、クリーニングステップが行われ、その間、クリーニングガス供給パイプ11を介してクリーニングガスが流れる電磁バルブ10を開くことによってクリーニングガスソース12からプロセスチャンバ1にクリーニングガスを受け入れることによって、1つまたは複数のクリーニングガス16が反応させられる。電磁バルブ10は制御手段9によって開かれる。
続いて、クリーニングガス16は、プロセスチャンバ1の内部表面および特に表面サンプル6の内部表面を次第にクリーニングする。
活性工程ステップおよびクリーニングステップの間、インターフェイス4は、表面サンプル6がプロセスチャンバ1内の活性プラズマまたはクリーニングプラズマの作用の対象となるそれの第1の状態にある。
クリーニング段階は、上記に説明したモニタシステムを使用し、表面サンプル6上の堆積物原子を検出しようとする1つまたは複数の中間モニタステップを含む。これのためには、表面サンプル6がテストプラズマ5の作用に露出されるように、各中間モニタステップにおいて、制御手段9は操作手段4aおよび4b、および、適用可能な場合には駆動手段4cに、インターフェイス4をその第1の状態から第2の状態に移動させる。
たとえば、図2および3において、操作手段4aおよび4bは、表面サンプル6をテストプラズマソース3に向かって枢動させ、閉鎖フラップ17をテストプラズマソース3から枢動して離れさせる。図5および6において、駆動手段4cはテストプラズマソース3を図6に示すその第1の状態から図5に示すその第2の状態に移動させ、操作手段4bは閉鎖フラップ17を枢動させる。
続いて、中間モニタステップの間、制御手段9は無線周波数発生器14を動作させ、これがテストプラズマソース3のチューブの内部のガスを励起してテストプラズマ5を発生させる。続いて、テストプラズマ5は表面サンプル6上の堆積物6aに働き、原子を開放し、続いて、これは励起され、スペクトル発光測定手段7によって感知される光15を作り出し、続いて、スペクトル発光測定手段7は分析手段8に信号を送り、これがテストプラズマ内に存在する原子の性質を決定し、その情報を制御手段9に通信する。
もし信号が堆積物原子の存在を示したなら、操作手段4aおよび4bにインターフェイス4をその第1の状態に戻させ、それによって、表面サンプル6をクリーニングガス16の作用に曝させた後、最後に中間モニタステップが開始される特定の時間にわたって、上記と同じ条件で、制御手段9はクリーニングステップを継続する。
もし中間モニタステップの間に制御手段9が、最早堆積物原子がないという趣旨の情報を受け取ったなら、制御手段9は、クリーニングガスの受け入れを中断し、クリーニングステップを終了するように電磁バルブ10を操作する。続いて、プロセスチャンバ1を活性工程ステップのためにその動作状態に戻すために、制御手段はインターフェイス4をその第1の状態に戻す。
中間モニタステップの間、堆積物原子の量が所定の閾値を下回って低下し、クリーニングが間もなく終了することを示すことを検出することも可能である。この場合、制御手段9は、クリーニングが十分であり、したがって、終了されると見積もられた所定の時間にわたってクリーニングステップを単に継続することができる。
図4は図1、3、5、および、6からの装置の操作手段の全体図である。
したがって、この図は発光スペクトル分光計などのスペクトル発光測定手段7を再び示し、これはその出力信号を分析手段8に送り、これはテストプラズマ5内に存在する原子の性質を決定する。分析手段はその信号を制御手段9に送り、制御手段9は、先ず、クリーニングステップを継続または中断させるように電磁バルブ10を操作して、かつ、プロセスチャンバ1内のモニタシステムの状態を修正するように、操作または駆動手段4a(および/または4bおよび/または4c)を操作する。制御手段9も、テストプラズマ5を発生させるようにテストプラズマソース3内のガスの原子を励起する磁気励起アンテナ13を励振するように無線周波数発生器14を操作する。
本発明により、プロセスチャンバおよび真空ラインのクリーニングは、クリーニングされる堆積物を前に発生した工程によらず、かつ、クリーニング工程にもよらず、十分だが過剰でないクリーニングを保証して、効率的かつ好ましくモニタすることができる。
本発明は上記に明示的に説明された実施形態に限定されないが、当業者に明らかである本発明の改変および一般化を含む。
1 プロセスチャンバ
2 真空ライン
2a ポンピング手段
3 テストプラズマソース
3a 第1の端部
3b 第2の端部
4 インターフェイス
4a、4b 操作手段
4c 駆動手段
5 テストプラズマ
6 表面サンプル
6a 堆積物
7 スペクトル発光測定手段
8 分析手段
9 制御手段
10 電磁バルブ
11 クリーニングガス供給パイプ
12 クリーニングガスソース
13 磁気励起アンテナ
14 無線周波数発生器
15 光放射
16 クリーニングガス
17 閉鎖フラップ
18 ウェハ
19 フレキシブル光ファイバ
20 フレキシブル電気供給回線
21 区画
2 真空ライン
2a ポンピング手段
3 テストプラズマソース
3a 第1の端部
3b 第2の端部
4 インターフェイス
4a、4b 操作手段
4c 駆動手段
5 テストプラズマ
6 表面サンプル
6a 堆積物
7 スペクトル発光測定手段
8 分析手段
9 制御手段
10 電磁バルブ
11 クリーニングガス供給パイプ
12 クリーニングガスソース
13 磁気励起アンテナ
14 無線周波数発生器
15 光放射
16 クリーニングガス
17 閉鎖フラップ
18 ウェハ
19 フレキシブル光ファイバ
20 フレキシブル電気供給回線
21 区画
Claims (8)
- プロセスチャンバおよび真空ラインのクリーニングをモニタするためのシステムであって、テストプラズマのソース、前記テストプラズマから光を受け取るスペクトル発光測定手段、前記テストプラズマ内に存在する原子の性質を決定するために前記スペクトル発光測定手段から得られる信号を分析するための手段、および、プロセスチャンバもしくは真空ラインの内部のガスに対して、または、前記テストプラズマソースからの前記テストプラズマに対して、前記プロセスチャンバまたは前記真空ラインのモニタされる内部表面のサンプルを交互に露出する手段を含むシステム。
- 分析される前記表面サンプルが可動であり、前記プロセスチャンバまたは真空ライン内のガスに露出するために前記プロセスチャンバまたは真空ラインの内部に向けて配向される第1の状態を想定し、かつ、前記テストプラズマに露出するために前記プロセスチャンバまたは真空ラインの外部に向けて配向され、かつ、前記テストプラズマソースに対面する第2の状態を想定する、請求項1に記載のシステム。
- 前記テストプラズマソースが、試験される前記プロセスチャンバおよび真空ラインと連絡する端部、および、前記テストプラズマから前記スペクトル発光測定手段に伝播する光が通過する壁を有する密閉石英チューブを含む請求項2に記載のシステム。
- 前記テストプラズマが、フレキシブル光ファイバによって前記スペクトル発光測定手段に接続され、前記プロセスチャンバまたは真空ライン内のガスが前記分析される表面サンプルに作用するように前記分析される表面サンプルから離れている第1の状態と、前記テストプラズマが前記分析される表面サンプルに作用するように前記分析される表面サンプルに対面する第2の状態との間で、前記プロセスチャンバまたは真空ライン内で可動である前記プラズマソースの移動を可能にする請求項1に記載のシステム。
- 存在する前記原子が堆積物の原子を含む限り前記クリーニングのステップの継続を命令するため、および、存在する前記原子が堆積物の原子を最早含まなくなるや否や前記クリーニングのステップを中断するために、前記テストプラズマに存在する前記原子の性質に関する情報を、前記分析手段から受け取るための制御手段をさらに含む請求項1に記載のシステム。
- プロセスチャンバまたは真空ラインをクリーニングする方法であって、前記プロセスチャンバまたは真空ラインの内部壁上の堆積物を分解するための1つまたは複数のクリーニングガスを使用するクリーニングステップ、および、請求項1から5のいずれか一項に記載のモニタシステムを使用して、クリーニングされる前記プロセスチャンバまたは真空ラインの内部壁の少なくともサンプル上の堆積物の原子の存在が、テストプラズマを前記表面サンプル上の前記堆積物に作用させることによって、検出される1つまたは複数の中間モニタステップを含む方法。
- 前記中間モニタステップが所定の時刻に行われる請求項6に記載の方法。
- 前記所定の時刻がクリーニングの予測可能な終了時刻の近くに選ばれる請求項7に記載の方法。
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