JP2004221084A - 二重ゲート構造を有する電界放出素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板110と、前記基板の上に形成されるカソード層120と、前記カソード層120の上に形成されており、前記カソード層120の一部を露出させるキャビティ170を有するゲート絶縁層130と、前記キャビティ170の底部において露出する前記カソード層120の上に備えられる電界放出源190と、前記ゲート絶縁層内部130に設けられた第1ゲート層140と、前記ゲート絶縁層130の上に形成されており、前記キャビティ170に対応する部分に第2ゲートホール160aが形成された第2ゲート層160とを備え、前記第1ゲート層140には、前記キャビティ170の直径よりも大きな直径を有する第1ゲートホール140aが設けられている電界放出素子とした。
【選択図】 図4
Description
このような電界放出素子の電界放出源として、従来にはモリブデン(Mo)のような金属よりなるマイクロチップが多用されたが、近年はCNT(Carbon Nano Tube:CNT)が主に使われている。炭素ナノチューブを使用する電界放出素子は広視野角、高解像度、低電力及び温度安定性などにおいて長所を有するので、自動車航法装置(カーナビゲーションシステム)、ハンディカメラのような電子的な映像装置のビューファインダーなどの多様な分野に利用可能性がある。特に、パソコン、PDA端末機、医療機器、HDTVなどで代替ディスプレー装置として利用できる。
第1及び第2絶縁層12、14には所定の直径を有するキャビティ(窪み)17が形成されており、第1ゲート層13と、第2ゲート層と15には、このキャビティ17に対応させて、第1ゲートホール13aと第2ゲートホール15aとがそれぞれ形成されている。
そして、キャビティ17内に露出するカソード層11の上には電界放出源19が備えられている。
ここで、基板10としては、ガラス基板が主に使われ、カソード層11は透明な導電性物質であるITO(Indium Tin Oxide)より構成される。そして、電界放出源19は前述したようにCNTまたは金属チップより構成される。
これは、比較的高い電圧が印加される第1ゲート層13、23が絶縁層12、14、22、24の外部に露出されており、また第1ゲート層13、23と電界放出源19、29との間や、第2ゲート15、25層との間の間隔が狭いためである。
このような現象が発生すると、スクリーン上でライン切れが生じるといった欠陥が発生すると共に、また、短絡により発生した過電流によって電界放出素子と駆動回路とが損傷し、これらの寿命が短くなるという問題があった。
このような場合には、電界放出源19と第1ゲート層13間に電気的短絡現象が発生しやすいという問題点がある。そして、電界放出源19から放出された電子が第1ゲート層13の露出された部位に非常に強く衝突してその部位が損傷され、これにより電界放出素子の安定性が低下する。
また、前記c段階は、前記第1絶縁層の上に、導電性金属物質を蒸着して蒸着膜を形成する段階と、パターニング処理により、前記キャビティの直径よりも大きい直径を有する第1ゲートホールを前記蒸着膜に形成する段階とを含むことが好ましい。
したがって、短絡に起因する電界放出素子の欠陥が抑えられるので、電界放出素子の寿命を長くすることができる。
すなわち、第1ゲート層140には、前述のキャビティ170の直径よりも大きい直径を有する第1ゲートホール140aが形成されており、この第1ゲートホール140aの内側には、キャビティ170の同じ直径の穴を形成されるように、ゲート絶縁層130を構成する物質が介在させられている。
よって、第1ゲート層140はキャビティ170の内周面(内側)に露出していない状態で、ゲート絶縁層130内に収容されている。
第2ゲートホール160aの直径は、キャビティ170の直径と同じでもよいが、キャビティ170の直径よりも大きいことが望ましい。特に、第2ゲートホール160aの直径は第1ゲートホール140aの直径と実質的に同じであることがさらに望ましい。
この場合には、第2ゲート層160に生じる電子ビームのフォーカシング(集束)性能が向上するが、その一方で、第1ゲート層140による電子ビーム放出に対する制御が困難になり、電界放出源190からの電子ビーム放出性能が低下するという短所がある。
さらに、第1ゲート層140は、絶縁層130によって、電界放出源190から放出される電子から保護されるので、第1ゲート層140と電界放出源190との間に生じる電気的短絡現象が防止できると共に、電界放出素子の安定性を向上させることが可能となる。
厚膜工程は、ペースト状の絶縁物質をスクリーン印刷技術を利用して塗布することにより、後述する第1絶縁層と第2絶縁層とを肉厚に形成する工程をいう。
そして、薄膜工程は、シリコン酸化物のような絶縁物質を、化学気相蒸着法(Chemical Vapor Deposition:CVD)を利用して蒸着することにより、第1絶縁層と第2絶縁層とを薄厚で形成する工程をいう。
厚膜工程は、大面積の表示装置を容易に製造でき、量産性の確保及びコスト削減といった長所があるが、微細な電界放出素子を高集積度で製造することが難しいという短所がある。
一方、薄膜工程は、この厚膜工程の長所と短所に対して反対の長所と短所とを有している。
同様の理由により、カソード層120は、導電性のある透明な物質であるITO(インジウム−錫酸化物)より構成されている。
本実施の形態の場合、ITOを、ガラス基板120上に所定の厚さ、例えば800Å〜2,000Åの厚さで蒸着した後、これを所定形状、例えば、ストライプ状にパターニングする。
ここで、カソード層120のパターニングは、フォトレジストの塗布、露光、現像によるエッチングマスクの形成、そしてこのエッチングマスクを利用したカソード層120のエッチングといって工程を含んで構成される従来公知の物質層のパターニング方法に従って行われる。
第1絶縁層131を厚膜工程によって形成する場合には、ペースト状の絶縁物質をスクリーン印刷技術を利用して所定の厚さで塗布した後に、約550(C以上の温度で処理して、絶縁物質を流動化(塑性化)させて約10(m〜12(m程度の厚さの第1絶縁層131を形成する。この流動化(塑性化)させる温度は、絶縁物質の種類によって異なるものである。
一方、第1絶縁層131を薄膜工程によって形成する場合には、シリコン酸化膜のような絶縁膜を、化学気相蒸着(Chemical Vapor Deposition:CVD)法を利用して、約1(m〜1.5(m程度の厚さで蒸着することによって第1絶縁層131を形成する。
この際、第1ゲート層140に、所定の直径を有する第1ゲートホール140aを形成する。
第1ゲートホール140aは、後述するキャビティ(図7Dの170)よりも大きい直径を有するように、キャビティ170が形成される位置に対応させて形成される。
ここで、第1ゲートホール140aの直径は、第1絶縁層131が厚膜工程によって形成された場合には、約30(m〜40(m程度に設定することができ、第1絶縁層131が薄膜工程によって形成された場合には約5(m〜10(m程度に設定することができる。
このような第1ゲート層140のパターニングは、前述の物質層のパターニング方法を利用して行われる。
第2絶縁層132は、第1絶縁層131の形成方法と同じ方法で形成することができる。但し、第2絶縁層132が厚膜工程によって形成される場合には、約30(m〜40(m程度の厚さを有するように形成され、第2絶縁層132が薄膜工程によって形成される場合には約1(m〜1.5(m程度の厚さを有するように形成される。
次に、第2ゲート層160のパターニングにより、後述するキャビティ(図7Dの170)キャビティ170と同じ直径を有するように、キャビティ170が形成される位置に対応させて、第2ゲートホール160aが形成される。
例えば、第2ゲートホール160aの直径は、第1及び第2絶縁層131、132が厚膜工程によって形成された場合には約25(m〜30(m程度であり、第1及び第2絶縁層131、132が薄膜工程によって形成された場合には約3(m〜5(m程度である。このような第2ゲート層160のパターニングも前述した物質層のパターニング方法によって行われる。
この時、第2ゲート層160はエッチングマスクとして利用されるので、前記キャビティ170は、第2ゲートホール160aと同じ直径を有するように設定されている。したがって、キャビティ170より大きい直径の第1ゲートホール140aを有する第1ゲート層140は、エッチングにより形成されるキャビティ170の内周面に露出することがない。すなわち、第1絶縁層131と第2絶縁層132とにより、第1ゲート層140は、キャビティ170内に露出することなく、完全に遮断された状態で設けられることになる。
次いで、所定温度、例えば、約460℃程度、の温度で流動化(塑性化)処理を行うことにより、CNTエミッタ190は、流動化(塑性化)と同時に収縮して、所望の高さを有するようになる。この流動化(塑性化)させる温度は、CNTペーストの種類や、これを構成する成分によって異なるものである。
本実施の形態の場合、第1及び第2絶縁層131、132が厚膜工程によって形成された場合には、CNTエミッタ190の高さは、約2(m〜4(m程度であり、第1及び第2絶縁層131、132が薄膜工程によって形成された場合には、CNTエミッタ190の高さは、約0.5(m〜1(m程度である。
本発明は開示された実施例を参照して説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これより多様な変形及び均等な他の実施例が可能である。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲によって定められねばならない。
120 カソード層
130 ゲート絶縁層
140 第1ゲート層
140a 第1ゲートホール
160 第2ゲート層
160a 第2ゲートホール
170 キャビティ
190 電界放出源
Claims (16)
- 基板と、
前記基板の上に形成されるカソード層と、
前記カソード層の上に形成されており、前記カソード層の一部を露出させるキャビティを有するゲート絶縁層と、
前記キャビティの底部において露出する前記カソード層の上に備えられる電界放出源と、
前記ゲート絶縁層内部に設けられた第1ゲート層と、
前記ゲート絶縁層上に形成されており、前記キャビティに対応する部分に第2ゲートホールが形成された第2ゲート層とを備え、
前記第1ゲート層には、前記キャビティの直径よりも大きな直径を有する第1ゲートホールが設けられていることを特徴とする電界放出素子。 - 前記ゲート絶縁層は、第1絶縁層と第2絶縁層とより構成されており、前記第1ゲート層は、前記第1絶縁層と前記第2絶縁層との間に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電界放出素子。
- 前記第2ゲートホールの直径は、前記キャビティの直径よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の電界放出素子。
- 前記第2ゲートホールの直径は、前記第1ゲートホールの直径と略同一であることを特徴とする請求項3に記載の電界放出素子。
- 前記電界放出源は、カーボンナノチューブ(CNT)であることを特徴とする請求項1に記載の電界放出素子。
- 透明な基板の上に透明なカソード層を形成するa段階と、
前記透明なカソード層の上に、第1絶縁層を形成するb段階と、
前記第1絶縁層の上に、第1ゲートホールを有する第1ゲート層を形成するc段階と、
前記第1ゲート層と前記ゲートホールの内側で露出する前記第1絶縁層との上に、第2絶縁層を形成するd段階と、
前記第2絶縁層の上に、前記第1ゲートホールより小さい直径の第2ゲートホールを有する第2ゲート層を形成するe段階と、
前記第2ゲートホールの内側で露出する前記第2絶縁層と、前記第1絶縁層の前記第2ゲートホールの下側に位置する部分とをエッチングして、前記カソード層の一部を露出させるキャビティを形成するf段階と、
前記第2ゲート層を所定形状でパターニングするg段階と、
前記キャビティの底に露出された前記カソード層上に電界放出源を形成するh段階と
を備えることを特徴とする電界放出素子の製造方法。 - 前記a段階は、前記透明な基板の上に、ITO物質層を形成した後、これをストライプ状でパターニングすることによって前記カソード層を形成することを特徴とする請求項6に記載の電界放出素子の製造方法。
- 前記第1絶縁層と第2絶縁層とは、ペースト状の絶縁物質をスクリーン印刷技術を利用して塗布した後に、これを塑性化することによって形成されることを特徴とする請求項6に記載の電界放出素子の製造方法。
- 前記第1絶縁層と第2絶縁層とは、化学気相蒸着法によって形成されることを特徴とする請求項6に記載の電界放出素子の製造方法。
- 前記c段階は、
前記第1絶縁層の上に、導電性金属物質を蒸着して蒸着膜を形成する段階と、
パターニング処理により、前記キャビティの直径よりも大きい直径を有する第1ゲートホールを前記蒸着膜に形成する段階とを含むことを特徴とする請求項6に記載の電界放出素子の製造方法。 - 前記e段階は、
前記第2絶縁層の上に、導電性金属物質を蒸着して蒸着膜を形成する段階と、
前記蒸着膜に、前記キャビティと同じ直径の第2ゲートホールを形成する段階とを含むことを特徴とする請求項6に記載の電界放出素子の製造方法。 - 前記導電性金属物質の蒸着は、スパッタリングによって行われることを特徴とする請求項10または11に記載の電界放出素子の製造方法。
- 前記f段階は、前記第2ゲート層をエッチングマスクとして利用して、前記第2絶縁層と、前記第1絶縁層の前記第2ゲートホールの下側に位置する部分とをエッチングすることによって、前記第2ゲートホールと実質的に同じ直径を有する前記キャビティを形成することを特徴とする請求項6に記載の電界放出素子の製造方法。
- 前記g段階では、前記第2ゲートホールを、前記キャビティの直径よりも大きい直径に拡大することを特徴とする請求項6に記載の電界放出素子の製造方法。
- 前記第2ゲートホールの直径は、前記第1ゲートホールの直径と実質的に同一になるように拡大されることを特徴とする請求項14に記載の電界放出素子の製造方法。
- 前記h段階は、
前記基板の全面にフォトレジストを塗布した後、これをパターニングして前記キャビティの底面に、前記カソード層の一部を露出させる段階と、
前記フォトレジストが塗布された前記基板の全面に、感光性を有するカーボンナノチューブ(CNT)ペーストを塗布する段階と、
前記基板の後面側から紫外線を照射して、前記カーボンナノチューブ(CNT)ペーストを選択的に露光する段階と、
現像剤を使用して、前記フォトレジストと共に、前記カーボンナノチューブ(CNT)ペーストのうち、露光されていない部分を除去する段階と、
残存するカーボンナノチューブ(CNT)ペーストを塑性化して、電界放出源であるカーボンナノチューブ(CNT)エミッタを形成する段階と
を含むことを特徴とする請求項6に記載の電界放出素子の製造方法。
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