JP2004218062A - Molded product, and method and device for injection molding - Google Patents

Molded product, and method and device for injection molding Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a molded product with a surface thereof reformed so as to be applicable to, for example, electroless plating totally or selectively without roughening the surface during the injection molding, a method for manufacturing the same, a die used therefor, and an injection molding device. <P>SOLUTION: The mold product is formed of thermoplastic resin. Supercritical fluid of molten organic matters such as organometallic complex is introduced in a flow-front part of the thermoplastic resin, and injection-molded. The organometallic complex or metal particles with ligands thereof removed therefrom are segregated from a portion in a vicinity of the surface of the molding to the surface thereof. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般には、熱可塑性樹脂(又は溶融樹脂)からなる射出成形品、射出成形を利用した当該成形品の製造方法、かかる射出成形に使用される金型及び射出成形装置に係り、特に、射出成形を利用した成形品の表面改質に関する。
【0002】
【従来の技術】
射出成形により作製されるプラスチック成形品は多々あるが、可塑化溶融される樹脂材料によってその物性は決まる。また、プラスチック成形品は用途によっては、各種の印刷や塗装、導電体や金属膜の形成、成形品同士の接合、その他の後加工が施される場合がある。こうした後加工を施す必要のある場合には、通常、加工性向上のため、プラスチック成形品の表面を活性化させて表面改質することが一般に行われている。
【0003】
一方、プラスチック成形品よりなる電子機器の表面に金属導電膜を形成する手段として、無電解メッキが広く採用されている。プラスチックの無電解メッキ工程は材料等により多少異なるが、一般的には図15に示すフローで行われる。
【0004】
まず成形品の「脱脂」により表面の油等を取り除き、次に「エッチング」により表面の粗面化を行う。エッチングにはクロム酸溶液やアルカリ金属水酸化物溶液などを用いるが、これらエッチング液は「中和」等の後処理が必要のため、コスト高の要因となっている他、毒性の高いエッチャントを用いることによる取り扱い上の問題がある。次に、界面活性剤水溶液で処理することによる「湿潤化」により濡れ性を改善した後、「キャタリスト(触媒付与)」によりプラスチック表面に触媒を付着させる。「キャタリスト」プロセスでは、例えば、パラジウム触媒の場合、塩化スズと塩化パラジウムの塩酸酸性水溶液にプラスチックを含浸させる。「キャタリスト」の後は、「アクセレーター(触媒活性化)」により硫酸、塩酸などの酸に接触させてメッキ用触媒を活性化させる。以上のプロセスを経た後、はじめて「無電解メッキ」が可能になる。
【0005】
エッチングによる粗面化の必要のないプロセスは、従来から幾つか提案されている(例えば、特許文献1及び2)。これらはメッキ触媒の含有する薄膜を有機バインダーや紫外線硬化樹脂によりプラスチック表面に形成するものである。更に、アミン化合物等のガス雰囲気で紫外線レーザーをプラスチック表面に照射し改質する技術も既に提案されている(例えば、特許文献3)。これ以外でもコロナ放電処理、プラズマ処理、紫外線処理等による改質技術は従来から知られている。
【0006】
一方、無電解メッキや電解メッキにより回路基板上に配線を形成する方法としてセミアディティブ法が知られている。このフローを図16に示す。かかる方法は、まず、前記と同様なプロセスで「無電解メッキ」により基板全体に1〜2μmのメッキ層を形成する。次に「感光性フィルムやレジスト」を形成した後、マスキングして「露光及び現像」を行うことで配線パターンが設けられたフィルムやレジストの層を形成する。さらに「電解メッキ」プロセスにより前記パターン化によって露出した無電解メッキ層上に電解メッキを形成する。次にフィルムやレジストを除去した後、ソフトエッチングにより配線部以外の無電解メッキ層を除去することでメッキ配線は完成する。銅メッキの場合、樹脂との密着性が悪いことから「黒化処理」と呼ばれる(酸化)銅に微細突起を作り樹脂とのアンカー作用を強化する後処理も行われることもある。
【0007】
成形品に立体回路を設ける方法も従来から提案されている(例えば、特許文献4及び5)。かかる方法では、まず立体的な回路基板のプラスチックを樹脂成形により形成する。次に、表面を粗面化及び触媒付与した後、全面に無電解メッキを形成し、フォトレジストを全面塗着する。そしてフォトマスクを被せて露光した後に現像し、回路パターン形成部以外を除去する。この上に電解メッキさらにNiやAuの無電解メッキを形成した後、フォトレジストを剥離するとともに無電解メッキの不要部分をエッチング除去する。立体構造体に均一なフォトレジストを形成するのは困難である。特許文献4は、電着レジストを使用することを提案しているが、かかるレジストは耐アルカリ性が低いという欠点を有している。
【0008】
射出成形を利用した回路形成方法として、次のような方法が開示されている(例えば、特許文献6)。特許文献6によれば、まず、金型表面における回路形成面にRa1〜5μm程度の粗面化した面を設け、射出成形前に触媒核を金型の全面に付着させた後、回路基板を射出成形で形成することで触媒核を全面転写させる。触媒核の密着性の強い粗面化された成形面のみ無電解メッキが強固に密着し、それ以外の粗面化されていない個所は密着性が弱いため、電解メッキ後における回路以外の無電解メッキ層を除去するエッチングの際に核触媒と共に除去することができる。
【0009】
【特許文献1】
特開平9−59778号公報
【特許文献2】
特開2001−303255号公報
【特許文献3】
特開平6−87964号公報
【特許文献4】
特開平4−76985号公報
【特許文献5】
特開平1−206692号公報
【特許文献6】
特開平6−196840号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、射出成形の成形加工時において同時に表面改質のできる応用範囲の広い技術は提案されていない。また、従来のプラスチックの無電解メッキプロセスは複雑でコスト高の上、有害物質を多く使わなければならず廃液の処理にも問題があった。更に、エッチングによる粗面化の必要のない従来のプロセスは、成形品を作製した後に別工程で処理するものであり、大量生産には向かない。また、プラスチック成形品にメッキ配線を形成する従来方法は、無電解メッキ前後に複雑な工程を有し、毒性の高い有機溶媒を多く用いる必要があり、更に、プラスチック表面が粗面化されるという問題があった。また、特許文献6の方法によれば射出成形時にプラスチックの表面が改質できるが、触媒核を金型表面に均一に付着させる方法が具体的に示されていない他、回路部の表面を金型上で粗面化する必要がある上、成形後にエッチングする工程が必要であった。
【0011】
そこで、本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、射出成形加工時に表面を粗面化することなく表面を全体的又は選択的に、例えば、無電解メッキに適用可能なように改質された成形品、その製造方法、それに使用される金型及び射出成形装置を提供することを例示的な目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面としての成形品は、熱可塑性樹脂からなる成形品であって、前記成形品は前記熱可塑性樹脂とは異なる有機物質、又は金属元素を内部に含み、前記有機物質または金属元素は、前記成形品の表面近傍から表面に配置(即ち、偏析、局所的に存在)していることを特徴とする。かかる成形品は、有機物質等を内部及び表面に含有するので、リソグラフィなどで形成するよりも表面から剥がれにくいなど、安定性が高い。有機物質等は前記表面の全面に形成されても特定の位置に形成されてもよい。「表面近傍」の範囲は、表面改質の目的及び使用する材料により適宜選択することができるが、好ましくは、表面から100μm以下、更に好ましくは、表面から10μm以下の範囲をいう。また、表面改質の目的及び使用する材料によっては表面からナノスケール厚みの改質も可能である。
【0013】
前記成形品は、前記金属元素を核として形成されたメッキ層を更に有してもよい。前記メッキ層は、電気配線パターンを形成してもよい。
【0014】
前記成形品は、前記熱可塑性樹脂の内部に発泡体を更に有してもよい。
【0015】
例えば、前記有機物質は有機金属錯体である。また、金属元素は、金属粒子又は金属微粒子であってもよい。更に、前記金属元素は、前記有機金属錯体の一部又は全部の配位子が外れることにより生成した金属元素であってよい。有機金属錯体又は金属元素を樹脂表面に全体的又は選択的に配置させることで、全体的又は局所的に導電性を付与したり、磁性を高めたりすることができる。樹脂を用いて、例えば、簡単にバイオチップの封止を行うことができる。つまり、流体の流路となる微細な凹凸を有したプラスチックをガラス基板等と貼り合わせ、該ガラス基板裏面から磁力を発生させることによって、ガラス基板と該プラスチックを簡便に封止することが可能となる。また、金属元素を全体的又は部分的に表面に偏析させることで、その部分の機械的特性が異なる成形品を作ることも可能である。金属元素を偏析させた部分は、他の部分と比較して耐摺動性、硬度等が向上する。更に、磁性を有する金属を用いて、磁気回路パターンを形成することもできる。金属錯体として、希土類錯体などの蛍光物質を使用すれば、蛍光パターンを表面に有する成形品も成形することができる。これは、表示素子としての応用が考えられる。
【0016】
金属錯体の種類は任意であるが、Pd錯体、Ni錯体、Co錯体、Pt錯体等が望ましい。より具体的には、白金ジメチル(シクロオクタジエン)、ビス(シクロペンタジエニル)ニッケル、ビス(アセチルアセトネート)パラジウム等が望ましい。前記金属元素を核として形成された無電解メッキ層を更に有してもよい。これにより、簡単にメッキ層を選択位置に形成することができる。前記メッキ層は、例えば、電気配線パターンを構成する。つまり、本発明の成形体は電気配線基板として用いることができる。また、前記プラスチック成形品は、発泡セルを更に有してもよい。これにより、プラスチック成形品を軽量にし、断熱効果を高め、かつ、剛性対重量比の高めることができる。
【0017】
もちろん、有機物質は有機金属錯体に限定されない。有機物質にポリプロピレングリコールを用いることでポリエチレンテレフタレート等の疎水性プラスチック表面を選択式に親水化することができる。また同様にフッソ化合物を用いることで選択的な撥水処理や屈折率の低減を図ることができる。
【0018】
本発明の別の側面としての製造方法は、熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造する方法であって、金型内に前記熱可塑性樹脂と、超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解させた物質を注入する工程を有し、前記成形品の表面を改質することを特徴とする。かかる製造方法は、超臨界流体を使用して物質を熱可塑性樹脂の表面及び内部に浸透させることができるので、上述のように、エッチングなどで表面に形成するよりも物質の安定性に優れた成形品を製造することができる。
【0019】
使用可能な超臨界流体は、空気、CO、ブタン、ペンタン、メタノール等任意であるが、n−ヘキサン並の溶解度を有し、ある種の熱可塑性樹脂材料へ可塑剤として働き、射出成形や押し出し成形で実績の多いCOが望ましい。また、超臨界流体に溶解させる物質は特に制限されるものではないが、例えば、金属錯体(白金ジメチル(シクロオクタジエン)、ビス(シクロペンタジエニル)ニッケル、ビス(アセチルアセトネート)パラジウム)、ポリプロピレングリコール等が挙げられる。特に金属錯体を用いることでプラスチックの無電解メッキ密着性を選択的に向上させることができる。
【0020】
また、熱可塑性樹脂は、特に制限されるものではなく、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルイミド、ポリメチルペンテン、非晶質ポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレン、液晶ポリマー、スチレン系樹脂、ポリメチルペンテン、ポリアセタール等やそれらを複合種混合したもの、これらを主成分とするポリマーアロイやこれらに各種の充填剤を配合したものを用いることができる。
【0021】
前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を、射出充填時における前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロントに導入する工程を含んでもよい。かかる方法によれば、金型内における流動樹脂のファウンテンフロー現象(噴水効果)により、フローフロント部の熱可塑性樹脂は金型表面に引っ張られながら表面層を形成していくので、超臨界流体に溶解し、樹脂内のフローフロントに浸透した物質が金型に接する表面近傍の層に配置する。超臨界流体にある程度の溶解性を有する物質であれば成形品の表面のみに均一に分散配置することができる。よって様々なプラスチック表面の改質技術への応用が期待できる。超臨界流体としてCOを使用すれば上述のように可塑剤として働くので、熱可塑性樹脂の流動性を向上させることや金型に接する表面での固化層の成長抑制も可能となる。前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を前記熱可塑性樹脂の充填開始部分に含ませてもよい。
【0022】
前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を、射出充填時の前記金型内に、射出された熱可塑性樹脂の流動方向とは反対に圧力を印加するカウンタープレッシャーとして導入してもよい。カウンタープレッシャーにより、成形品表面近傍に溶解物質を配置することができる。カウンタープレッシャーは発泡剤として超臨界流体のCOやNガスを熱可塑性樹脂内に混練した場合、射出時において熱可塑性樹脂の内圧が金型内で急減圧し、発泡セル径が拡大することや、表面にスワルマークと呼ばれる模様が形成され表面性が悪化することを抑制できる。
それと同時に、上述のようにファウンテンフロー現象により表面のみに超臨界流体と溶解物質を配置させることができる。
【0023】
前記注入工程は、前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロント以外には前記物質が溶解しない前記超臨界流体を前記熱可塑性樹脂に導入する工程と、前記超臨界流体を利用して前記金型内に注入された前記熱可塑性樹脂の内部に発泡体を形成する工程とを有してもよい。かかる方法によれば、樹脂表面の改質を行うと同時に内部は微細発泡セルを形成することにより材料の低誘電化を図ることも可能となる。高周波電気回路用基板やMID(Mold Interconnect Device)、ミリ波アンテナ等の平面アンテナに好適である。
【0024】
前記注入工程は、前記金型内に前記熱可塑性樹脂を充填する工程と、前記金型内の特定の位置に前記超臨界流体及び前記物質を導入する工程とを有してもよい。特定の位置近傍で前記物質を前記樹脂の表面及びその近傍に分散させることにより、樹脂成形品の表面を局所的に改質することができる。前記金型の圧力及び/又は温度を調節することによって前記特定の位置において前記物質を前記熱可塑性樹脂に配置する工程を更に有してもよい。これにより、凹凸のない成形品表面の部分的な表面改質が可能となる。
【0025】
前記物質は、例えば、有機物質又は金属元素である。前記有機物質は有機金属錯体、前記金属元素は、前記有機金属錯体の配位子を除いた金属粒子である。金属錯体は超臨界流体にある程度溶解するので表面性を悪化させることなく成形品の表面に配置することが可能である。また、金属錯体の有機部分を外し金属の元素を析出させることにより無電解メッキの触媒核と働かせることができるので前処理なしで樹脂表面のメッキ密着性が向上する。
【0026】
前記物質は、有機金属錯体の配位子を除いた金属元素であってもよく、前記方法は、無電解メッキにより、前記金属元素が析出した部位にメッキ層からなるパターンを形成する工程を更に有してもよい。無電解メッキにより、金属導電膜を簡単に形成することができる。前記パターンは凹凸を含み、前記形成工程後に前記パターンの凸部を除去する工程を更に有してもよい。また、前記部位は凹凸を含み、前記形成工程前に前記部位の凸部を除去する工程を更に有してもよい。いずれの方法によっても、所望のパターンを形成することができる。
【0027】
前記方法は、前記注入工程後に、前記熱可塑性樹脂を圧縮する工程と、当該圧縮工程後に、前記金型のキャビティの容積を増大させて前記熱可塑性樹脂を発泡させる工程とを更に有してもよい。かかる方法によれば、プラスチック表面の選択的改質を行うと同時に内部は微細発泡セルを形成することにより材料の低誘電化を図ることも可能となる。高周波電気回路用基板やMID(Mold Interconnect Device)、ミリ波アンテナ等の平面アンテナに好適である。
【0028】
前記注入工程は、前記充填された前記熱可塑性樹脂に押圧され、前記熱可塑性樹脂に押圧される第1の面に所定のパターンが形成され、前記第1の面に対向する第2の面に前記パターンに連通する孔が前記特定の位置に設けられたスタンパを利用してもよい。パターンをスタンパ化することで配線回路を容易に変更可能となる。また、特定の位置にパターンを形成することによって、所望の回路パターンを形成することができる。
【0029】
本発明の別の側面としての金型は、熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造するのに使用される金型であって、前記金型内に、超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解した物質をカウンタープレッシャーとして導入する機構を有することを特徴とする。かかる金型は、超臨界流体及び物質をカウンタープレッシャーとして使用するので上述の方法と同様の作用を奏する。
【0030】
本発明の別の側面としての金型は、熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造するのに使用される金型であって、前記金型のキャビティ形成表面には特定位置に凹部又は凸部が形成され、前記凹部又は凸部には、外部から超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解させた物質を注入するための導入路が接続されていることを特徴とする。凹型又は凸型により、物質の局所的付着を高めることができる。
【0031】
本発明の別の側面としての射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するためのキャビティを形成する金型と、前記熱可塑性樹脂を前記金型の前記キャビティ内に導入するための可塑化シリンダーと、前記可塑化シリンダーに超臨界流体と当該超臨界流体に溶解した物質を導入して前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロントに前記超臨界流体と前記物質を含ませる機構とを有する。かかる射出成形装置は、超臨界流体及び物質を樹脂のフローフロントに含ませるので上述の方法と同様の作用を奏する。
【0032】
本発明の別の側面としての射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するためのキャビティを形成する金型と、前記熱可塑性樹脂を前記金型の前記キャビティ内に導入するための可塑化シリンダーと、前記可塑化シリンダー内の前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロント以外の部位に超臨界流体を導入する機構とを有することを特徴とする。かかる射出成形装置は、超臨界流体を樹脂のフローフロント以外の部位に含ませて内部発泡体などの効果を得ることができるので上述の方法と同様の作用を奏する。
【0033】
本発明の別の側面としての射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するためのキャビティを形成する金型と、超臨界流体と当該超臨界流体に溶解した物質をカウンタープレッシャーとして前記金型内に導入する機構とを有することを特徴とする。かかる射出成形装置は、超臨界流体及び物質をカウンタープレッシャーとして使用するので上述の方法と同様の作用を奏する。
【0034】
本発明の別の側面としての射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するキャビティを形成し、当該キャビティの特定の位置に連通する導入路を有する金型と、超臨界流体と当該超臨界流体に溶解させた物質を前記導入路を介して前記キャビティ内に導入する機構を有することを特徴とする。かかる射出成形装置は、特定の位置近傍で前記物質を前記樹脂の表面及びその近傍に分散させることにより、樹脂成形品の表面を局所的に改質することができる。
【0035】
本発明の別の側面としての射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するキャビティを形成する金型と、前記キャビティに充填された前記熱可塑性樹脂に押圧され、前記熱可塑性樹脂に押圧される第1の面に所定のパターンが形成され、前記第1の面に対向する第2の面の特定の位置に、前記第1の面の前記パターンに連通する孔が設けられたスタンパと、超臨界流体に溶解させた有機物質を前記スタンパの前記孔を介して前記キャビティ内に導入する機構とを有することを特徴とする。パターンをスタンパ化することで配線回路を容易に変更可能となる。また、特定の位置にパターンを形成することによって、所望の回路パターンを形成することができる。
【0036】
本発明の他の目的及び更なる特徴は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態により明らかにされるであろう。
【0037】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態としてのプラスチックの無電解メッキ配線のフローを図2に示す。本実施形態の無電解メッキ法によれば、まず、成形品の表面を射出成形によって全体的又は選択的に改質する(ステップ1100)。
【0038】
ある実施形態では、金型内に溶融樹脂と超臨界流体及びそれに溶解した物質(有機物質又は金属元素、ここでは、有機金属錯体)を、流動先端部としてのフローフロントとして、充填すると共にカウンタープレッシャーとして超臨界流体及び前記物質を導入する。ここでカウンタープレッシャーとは、金型内で、射出された溶融樹脂の流動方向とは反対に、圧力を印加したガスのことである。
【0039】
金型内における流動樹脂のファウンテンフロー現象(噴水効果)により、フローフロント部の溶融樹脂は金型表面に引っ張られながら表面層を形成していくので、超臨界流体に溶解し樹脂内のフローフロントに浸透した物質が金型に接する表面近傍の層に配置する。超臨界流体にある程度の溶解性を有する物質であれば成形品の表面のみに均一に分散配置することができる。よって様々なプラスチック表面の改質技術への応用が期待できる。
【0040】
熱可塑性樹脂は特に制限されるものではなく、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルイミド、ポリメチルペンテン、非晶質ポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレン、液晶ポリマー、スチレン系樹脂、ポリメチルペンテン、ポリアセタール等やそれらを複合種混合したもの、これらを主成分とするポリマーアロイやこれらに各種の充填剤を配合したものを用いることができる。
【0041】
使用可能な超臨界流体は、空気、CO、ブタン、ペンタン、メタノール等任意であるが、n−ヘキサン並の溶解度を有し、ある種の熱可塑性樹脂材料へ可塑剤として働き、射出成形や押し出し成形で実績の多いCOが望ましい。
【0042】
次に、プラスチック成形品の凸部に配置した有機金属錯体の配位子を加熱や還元反応で除去し、金属微粒子を析出させる(ステップ1200)。その後、無電解メッキを行い(ステップ1300)、凸部にのみ無電解メッキを形成する。
【0043】
本実施形態の無電解メッキ配線においては、射出成形後、金属錯体の有機部分と金属部分の結合を切断するため、還元反応や加熱による後処理が必要な場合もある。しかし、ある種の金属錯体は高温な溶融樹脂と接触する間に樹脂の熱により該結合が切断され数nm〜数十μmの金属微粒子が自動的に析出するので後処理も不要となる。金属錯体の種類は任意であるが、Pd錯体、Ni錯体、Co錯体、Pt錯体等が望ましい。より具体的には白金ジメチル(シクロオクタジエン)、ビス(シクロペンタジエニル)ニッケル、ビス(アセチルアセトネート)パラジウム等が望ましい。還元反応不要という観点からは、Pd錯体、Pt錯体が望ましい。射出成形品表面に金属微粒子を析出させた後は、無電解メッキ(ステップ1300)は、公知のいかなる技術をも使用することができるので、ここでは詳しい説明は省略する。無電解メッキ層を利用して、例えば、電気配線パターンを構成することができる。
【0044】
本実施形態においては、射出成形におけるプラスチック表面の改質技術を応用して、無電解メッキによる微細配線を安価にそしてクリーンに形成できるが、そのフローを図3に示した。本発明においては、上記射出成形方法を応用すると共に成形品表面に配線を形成する凹凸を転写し、該凹凸を利用してメッキ配線を形成することを特徴とするが、例えば、図3のフローに示すように2種類の方法が提供できる。これら2種類の方法を、図8、図9を用いて更に説明する。
【0045】
図8に本発明におけるメッキ配線方法の一例の概念図を示す。該方法によれば成形品136の全面に触媒核として働く金属微粒子104を図8(a)のように析出させた後、成形品表面に図8(b)のように無電解メッキ138を積層し、次に図8(c)に示す通り凸部の無電解メッキ部分を研磨等で除去することで凹部にのみ無電解メッキが残る配線パターンが形成可能となる。本発明におけるパターン凸部の除去方法は任意であるが、研磨やラップ等により除去することができる。
【0046】
図9に本発明におけるメッキ配線方法の別の例の概念図を示す。まず、上記射出成形方法により表面近傍に金属錯体もしくは金属微粒子を配置させると共に金型もしくはスタンパ表面の凹凸を転写させた成形品を作製した後、場合によっては熱処理や還元反応により金属錯体の有機物を完全に外す。さらに、該成形品表面の凸部を除去した後、図9(b)に示すように凹部にのみメッキの触媒核として働く金属微粒子104が配置した状態になるので、成形品136全体に無電解メッキを施すことで図9(c)に示す通り無電解メッキ138が選択的に積層される。これら、図8及び図9に示す方法により、プラスチック表面に無電解メッキによる微細配線を安価に形成する目的を達成することができる。
【0047】
ステップ1100は、別の実施形態では、金型内に溶融樹脂を充填した後で金型の凹部内に超臨界流体及び物質を溶解する。超臨界流体に接触した樹脂の粘性は低下し、樹脂表面より超臨界流体に溶解した有機物が浸透する。
【0048】
その後、保圧や型締め圧等によって樹脂内圧を上昇させることで凹部内に樹脂が行き渡り、成形体表面に有機物が配置した凸部が形成される。かかる方法によれば超臨界流体にある程度の溶解性を有する有機物質であれば成形品表面の凸部のみに均一に分散配置させることができる。よって様々なプラスチック表面の改質技術への応用が期待できる。超臨界流体にCOを用いれば上述のように可塑剤として働くので、凹凸のピッチがサブミクロンオーダーと微細であっても容易に微細転写が可能となる。
【0049】
超臨界流体及びそれに溶解させた有機金属錯体を注入した後で、溶融樹脂表面より金属錯体もしくは金属錯体の配位子の外れた金属微粒子の少なくともどちらか一方を該金型凹部より浸透させる。これにより、金型内の凹部に充填された個所、つまりプラスチック成形品の凸部のみに金属錯体もしくは金属微粒子が選択的に配置する。本方法によれば金型表面を粗面化する必要もなく、微細な領域に選択的に金属錯体等を配置させることができる。
【0050】
樹脂が極性基を持たず強固な無電解メッキ層の形成が困難な材料であっても触媒核となる金属微粒子を材料内に容易に埋め込むことができるので、任意の選択個所のみに密着性に優れた高品質な無電解メッキ膜を形成することができる。本実施形態の無電解メッキの配線プロセスは従来法と比べ無害で前処理工程が著しく少なくて済む。
【0051】
なお、本発明は、このように無電解メッキ法に限定されるものではない。即ち、本発明は射出成形法(ステップ1100)のみでも十分に有益な成形品を製造することができる。例えば、金属微粒子をプラスチック表面に全体的又は選択式に配置させることで、全体的又は局所的に導電性を付与したり、磁力との密着性を高めたりすることができる。かかるプラスチックを用いて、例えば、簡単にバイオチップの封止を行うことができる。つまり、流体の流路となる微細な凹凸を有したプラスチックをガラス基板等と貼り合わせ該ガラス基板裏面から磁力を発生させることでガラス基板と該プラスチックを簡便に封止することが可能となる。
【0052】
もちろん、本発明が射出成形法(ステップ1100)において使用する有機物質は有機金属錯体に限定されない。例えば、有機物質にポリプロピレングリコールを用いることでポリエチレンテレフタレート等の疎水性プラスチック表面を選択式に親水化することができる。プラスチックで作製されたバイオッチップにおける流路表面を全体的に又は局所的な個所で親水化もしくは撥水化することによりチップ内における混合流体の層流状態をより高効率化することや、タンパク質を該個所にトラップすることにより分析等を行うことが可能となる。同様にフッソ化合物を用いることで全体的又は選択的な撥水処理や屈折率の低減を図ることができる。
【0053】
更に、本発明は、溶融樹脂を保圧・型締めなどによって圧縮した後で、キャビティの容積を増大させて溶融樹脂を発泡させる工程とを更に有してもよい。これにより、プラスチック表面の選択的改質を行うと同時に内部は微細発泡セルを形成することにより材料の低誘電化を図ることも可能となる。この場合、平均セル径が30μm以下で発泡倍率が1.5倍以上の発泡状態が望ましい。これにより、プラスチック成形品を軽量にし、断熱効果を高め、かつ、剛性重量比の高めることができる。かかる成形品は、高周波電気回路用基板やMID(Mold Interconnect Device)、ミリ波アンテナ等の平面アンテナに好適である。
【0054】
以下に、本発明の実施例について説明する。
【0055】
【実施例】
【実施例1】
本発明の第1の実施例に用いた金型及び射出成形装置の要部断面図を図1に示す。本発明における超臨界流体は任意であるが、本実施例ではCOを用いた。また本発明において超臨界流体に溶解させる物質は任意であるが、本実施例ではPt錯体である白金ジメチル(シクロオクタジエン)を用いた。
【0056】
超臨界流体に物質を溶解させる方法は任意であるが、本実施例ではCOボンベ137から供給されるCOを超臨界流体発生装置101にて超臨界状態にした後、混合槽103中で貯蔵容器102から供給される物質を超臨界流体に溶解させた。
【0057】
本発明において、物質が溶解した超臨界流体の圧力や温度及び、溶融樹脂のフローフロント部への導入方法は任意であるが、本実施例においては120℃、10Mpaの超臨界COを溶解物質と共にキャビティ内に、射出された熱可塑性樹脂の流動方向とは反対に圧力を印加するカウンタープレッシャーとして導入すると共に、可塑化シリンダー140内で溶融樹脂のフローフロント部に含浸させている。カウンタープレッシャーの圧力の大きさは、スプールから入る樹脂に対して充填時の樹脂圧より低い。この場合の樹脂圧とは、実際の金型内での樹脂圧を意味するが、通常モニターしていない。通常、樹脂圧というと、スクリューを押し出す成形機の圧力を指す。後者は100〜200MPa程度でカウンタープレッシャーよりはるかに大きな力であって、前者は20MPa程度である。カウンタープレッシャーの圧力を定義するとすれば、実際に金型にガスが入ったときの圧力が超臨界状態にあればよい(COであれば約7MPa以上)。また、上限は樹脂が充填できる圧力以下でそれは材料や成形条件に左右させる、ということになる。本発明における、超臨界流体とそれに溶解した物質を金型のキャビティ117内にカウンタープレッシャーとして導入する方法は任意であるが、本実施例ではキャビティ117を閉鎖した後射出充填開始と同時に電磁弁111の開放により混合槽103より流路112を経て導入した。
【0058】
本発明における、超臨界流体とそれに溶解した物質を可塑化シリンダー140内にて可塑化計量後における溶融樹脂のフローフロント部に浸透させる方法は任意であるが、本実施例における方法について図1、図7を用いて説明する。可塑化計量とは、スクリュー回転により樹脂のペレットを短時間で可塑化しつつ、次のショットで充填射出する量を一定の容積にしてスクリュー前に溜める工程である。
【0059】
まず、バンドヒーター139にて温度制御された可塑化シリンダー140内でスクリュー107が図7(a)中の矢印の向きに回転することにより熱可塑性樹脂のペレット135がホッパー121より供給され可塑化されながらスクリュー107の前方に押し出されていくので、それに伴いスクリュー107は後退していく。計量位置にてスクリュー107の後退が停止することでスクリュー107とシャットオフノズル105の間に溶融樹脂116が可塑化計量される。シャットオフノズル105は、シリンダーの内圧が高まっても溶融樹脂が金型に混入しないようにする金型とシリンダーとの流動路を開閉する機構である。スクリュー107は、ペレットを可塑化溶融する働きと射出する働きとを有する(インラインスクリューとも呼ばれる)。そして、可塑化計量完了後、図7(b)に示すように、スクリュー107をサックバックにより後退させることで溶融樹脂のフロント部を減圧状態にするとともに、シャットオフノズル105とスクリュー107の間に設けた混合体の供給口106より電磁弁108の開放により超臨界流体とその溶解物を導入した。さらに電磁弁を閉じた後、スクリュー107を10Mpaの圧力で加圧前進することで溶融樹脂のフローフロント部に超臨界流体とその溶解物を浸透させた。その後、ただちに射出充填を行った。
【0060】
本発明において、用いることのできる熱可塑性樹脂は任意であるが、本実施例ではガラス転移温度約230℃のポリエーテルイミド(GEプラスチック社製ウルテム1010)を用いた。可塑化シリンダーの温度は380℃とした。
【0061】
本発明における射出成形方法においては溶融樹脂の流動先端部としてのフローフロントに超臨界流体とその溶解物を含浸させること以外はなんら制約を受けるものではないが、本実施例においては充填時にはキャビティを開き充填直後に型締め圧縮を行う射出圧縮成形を用いた。そして超臨界流体をカウンタープレッシャーとして導入した状態でキャビティが開いても超臨界流体が漏れない金型シール機構を考案した。成形方法及び金型構造によりガラス転移温度が高い難成形材料や樹脂が流動しにくい薄肉品であっても微細な転写が可能となる。
【0062】
次に本実施例における成形方法を図1、図4及び図5を用いて詳細に説明する。図1のA部における金型の要部拡大図を図4、図5に示した。本実施例においては製品形状が縦50mm×横60mm×厚み0.5mmの板状の製品を2個取りで成形した。金型142の固定金型143及び可動金型129はそれぞれ図示しない温調回路を流れる冷却水によって温度制御されるが、本実施例においては140℃にて温調した。
【0063】
図1に示す通り、金型142における各キャビティ117はスプール119を中心に上下に分かれており、固定金型143上にはそれぞれのキャビティ117に対応した四角形のスタンパ118が設置されている。スタンパ118の表面にはラインアンドスペースの凹凸パターンが設けられている。スタンパは下記のように作製した。まず、シリコン基板上にフォトリソグラフィを用いてレジストによって凹凸を形成した後、無電解メッキ及び電解メッキにて厚み0.4mmのNiをレジストパターン上に形成した。そしてレジストよりNiを剥がし、スタンパの形状に加工した。
【0064】
図4に示す通りスタンパ118のスプール119側における1辺はスタンパ押さえ爪141によって機械的に固定金型143に固定されており、それ以外の3辺はバキューム溝131からの真空吸引によって固定金型143上に吸着されている。スタンパ押さえ爪141上にはスプール119につながり溶融樹脂が通るランナー用溝130が設けられている。ランナー溝130に対峙した可動金型129上には溝130内部に嵌合する凸部131が設けられており、キャビティ117がある程度開いてもランナー用溝130から充填樹脂がはみ出すことがない。
【0065】
スタンパ118に対峙した可動金型129には製品の外周部を規制する外周枠123がキャビティ開閉方向に独立駆動可能な状態で設置されている。外周枠123は段付きになっておりエッジ123Aが製品外周部を規制する。外周枠123における充填開始方向であるスプール側の1辺においては、ランナー用溝130につながる溝132が設けられており、溶融樹脂はゲート144通過後、溝132よりキャビティ117内に充填される。
【0066】
本実施例においては、溶融樹脂の充填時には図5に示すようにキャビティの厚みTが3.0mmになるように開き、充填時にはその開き量が一定になるように型締め圧を制御した。また充填開始と同時に上述のように電磁弁111の開放により超臨界流体及びその溶解物を流路112より、図5中矢印125の圧力で金型及びキャビティ117内に導入した。それと同時に図1中の電磁弁113を開放し、超臨界流体のみを金型内に流路114を通じ導入することで、図5中矢印126の圧力で可動突き当てリング122及び外周枠123の裏面を加圧し、超臨界流体の圧力125及び126を平衡状態にした。また可動突き当てリング122及び外周枠123の裏面にはバネ128、127が設けてあるため該部品は該バネ力によって固定金型143側に突き当てられる。この機構により金型が開いてもシール性が維持されるので、高圧の超臨界流体が金型より漏れず、また製品の外周を規制する外周枠123より充填樹脂がはみでることはない。
【0067】
カウンタープレッシャーとして圧力125にて導入した超臨界流体及びその溶解物は外周枠123における通過孔124及びスタンパ118と外周枠123のクリアランスtを通り、キャビティ117内に充填される。本実施例において該クリアランスtは10μmとした。
【0068】
フローフロント部に超臨界流体及びその溶解物が含浸した溶融樹脂は、図1中シャットオフノズル105の開放直後にスクリュー107が前進することでスプール119を経て図5に示すように開放されたキャビティ117内に充填される。充填中の樹脂の様子を模式的に図6に示すが、矢印134方向に流れる溶融樹脂116のフローフロント133ではファウンテンフロー現象により超臨界流体及びそれに溶解した物質115がスタンパ118及び可動金型129の壁面に配置していく。予め樹脂内に含浸された超臨界流体の溶解物質もカウンタープレッシャーとして導入された同物質も同じ効果で成形品表面に選択的に配置していく。
【0069】
充填樹脂に予め超臨界流体が浸透されている場合、超臨界流体や加圧COをカウンタープレッシャーとして導入することで、樹脂内部の超臨界流体の減圧及びそれに伴う発泡を抑制することができる。よって、可塑化時に溶融樹脂のフロント部のみに超臨界流体及びそれの溶解物質を含浸させておく場合においても、超臨界流体のみのカウンタープレッシャーをキャビティ内に導入することが望ましい。またカウンタープレッシャーを用いない場合、金型表面やスタンパ離面にポリイミド等の低熱伝導材料を形成することにより断熱化することも、同様に樹脂粘度の上昇及び超臨界流体の圧力低下を抑制できるので望ましい。
【0070】
なお、図6に模式的に示したスタンパ118の凹凸パターンは本実施例においては幅W;2μm、W2;5μm、深さD;30μmとした。本実施例において、射出充填時には、図6に示すように高アスペクト比のパターンを十分に転写できていないと思われるが、充填直後にキャビティ開き量T3.0mmを製品厚みである0.5mmまで型締め圧40トンにて圧縮することで、完全に転写させることができた。
【0071】
本実施例の成形方法においては、充填時にキャビティを開くことで、金型内における溶融樹脂の流動抵抗を低減し、キャビティ内における流動長を短くすることができる。さらに充填直後にキャビティを体積圧縮することで、射出充填の際に減圧された超臨界流体の圧力を再度高めることができ、それにより、樹脂の表面粘度を低い状態に維持できる。さらに微細パターン内に残存しやすいカウンタープレッシャーにより導入された超臨界流体を溶融樹脂内部により浸透させることができる。これら方法によって難成形材料や難成形構造体においても微細な転写が可能となりキャビティ内における圧力分布が均一になる。
【0072】
本実施例においては、射出圧縮後、図1中の電磁弁145及び136を開放することでキャビティ及び樹脂内部さらに金型内部のCOをリークし溶融樹脂を金型内にて固化させた後、金型を開き製品を取り出した。本実施例で作製した成形品表面には超臨界流体への溶解物であるPt錯体及び錯体より有機物が外れたPtの微粒子が配置していることが確認された。また成形品の中心部には該溶解物がほとんど含有されていないことを確認した。
【0073】
本発明においては上記方法により成形品表面に金属錯体等の超臨界流体溶解物を配置させた後、加熱や還元反応等の後処理を行ってもよいが、本実施例においては、無電解メッキまでに後処理は行わなかった。
【0074】
本実施例では、上記射出成形方法で作製した成形品に、下記方法にて無電解銅メッキを行った。まず、無電解銅メッキ用水溶液(奥野製薬工業製「OPC700A」100ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPC700B」100ミリリットル/リットル)の入った容器に入れ室温、60分間攪拌し銅メッキ処理した。さらに洗浄後、無電解銅メッキ用水溶液(奥野製薬工業製「OPCカッパーT1」60ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPCカッパーT2」12ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPCカッパーT3」100ミリリットル/リットル)の入った容器に入れ60℃、120分間攪拌及び空気攪拌を行い銅メッキ処理した。純水及びメタノールにて超音波洗浄した後、成形品全面に厚み10μmの銅メッキ膜を形成した。また該メッキ膜は膜厚が均一であり、ふくれがなく、ピール試験においても実用上問題ない密着強度が得られていることを確認した。
【0075】
さらに図8に示す模式図のように図8(b)に示す成形品のパターン形成面における表面を20μm研磨し図8(c)のように凸部を除去し凹部にのみ無電解メッキ層を残し配線パターンを形成した。本実施例における成形品においては幅2μmの無電解銅メッキの配線が欠落なく形成されたことを確認した。また隣接配線同士の絶縁性も良好であることを確認した。
【0076】
【実施例2】
成形品作製後の無電解メッキを図9に示すように行った以外は、実施例1と同様に射出成形及び無電解メッキによる配線を行った。本実施例における成形品においては幅2μmの無電解銅メッキの配線が欠落なく形成されたことを確認した。また隣接配線同士の絶縁性も良好であることを確認した。
【0077】
【実施例3】
フローフロント部以外における溶融樹脂に超臨界COを含浸させ、成形品内部を発泡体にした以外は実施例1と同様に射出成形を行った。本実施例においては下記のように内部発泡体を作製した。
【0078】
まず、図1に示す超臨界流体の導入口109より電磁弁110の開放により超臨界COをスクリュー107のベント部120に導入し、フロント部以外は金属錯体が溶解していない超臨界COを溶融樹脂に含浸させた。射出充填及び射出圧縮による転写については実施例1と同様に行った後、キャビティ内COを大気に開放することなく高圧型締め力を5トンに減圧し内部を発泡させ成形品を得た。なお金型に導入した超臨界流体は発泡と同時に電磁弁136を開放することで大気に逃がした。
【0079】
本実施例の成形品は上述の射出圧縮の効果によりキャビティ内における圧力分布が均一化されるため、全面均一な微細発泡体が得られた。また本実施例における成形品に実施例1と同様に無電解メッキを施し配線パターンを作製したところ、配線が欠落なく形成されたことを確認した。また隣接配線同士の絶縁性も良好であることを確認した。
(比較例)
超臨界流体に溶解物であるPt錯体を溶解させなかった以外は、実施例1と同様な方法で射出成形及び無電解メッキを行った。本比較例の成形品においては無電解メッキを行うことができなかった。
【0080】
【実施例4】
本実施例に用いた金型及び成形装置の要部断面構造図を図10に示す。本発明における超臨界流体は任意であるが、本実施例ではCOを用いた。また本発明において超臨界流体に溶解させる物質は任意であるが、本実施例ではPd錯体であるビス(アセチルアセトネート)パラジウムを用いた。
【0081】
超臨界流体に物質を溶解させる方法は任意であるが、本実施例においては、COボンベ201から供給されるCOを超臨界流体発生装置202にて超臨界状態にした後、混合槽203中で貯蔵容器204から供給される超臨界流体に溶解させる有機物質を所定の濃度になるように溶解させた。本実施例で混合槽203は、100℃、12MPaの雰囲気に維持した。
【0082】
本発明では、有機物質が溶解した超臨界流体の金型内部への導入方法は任意であるが、本実施例においては電磁弁207の開放により流路216を経て固定金型214内の微細流路206より固定金型214と可動金型215により形成されるキャビティ205に注入した。本実施例において固定金型214内における微細流路206の直径はΦ0.3mmとした。
【0083】
次に、図10及び図11を参照して、本実施例における射出成形方法について詳細に説明する。まず可塑化及び充填は公知の方法を使用する。図10において、スクリュー219の回転によりホッパー217よりバンドヒーター218を介して可塑化シリンダー220内に充填された図示しない樹脂ペレットは、可塑化溶融されてスクリュー219前方に計量される。スクリュー219前方の内圧が上昇することによってスクリュー219が後退する。射出時はスクリュー219が前進することで計量された溶融樹脂は金型のキャビティ205内に充填される。キャビティ205は図示しない温調回路により温度制御された固定金型214及び可動金型215によって形成されており、溶融樹脂がノズル221及び金型のスプール222を経て充填される。
【0084】
本発明において、使用可能な熱可塑性樹脂は任意であるが、本実施例ではガラス転移温度約230℃のポリエーテルイミド(GEプラスチック社製ウルテム1010)を用いた。本実施例において可塑化シリンダーの温度は380℃とした。また金型内を流れる温調回路内の媒体温度は125℃とした。
【0085】
本実施例における固定金型214表面には、流路206に通じる凹凸が設けられている。本発明では、金型表面の凹凸形状及びそのピッチや深さ等は任意であるが、本実施例においては深さ一定でピッチや幅がランダムなラインアンドスペースの溝パターン209を設けた。該溝の深さは2mm、幅は0.9mm、ピッチは最小0.6mmとした。
【0086】
溝パターン209が設けられた金型キャビティ205の図10におけるC部拡大図を図11に示す。以下、図11を参照して、溝209への樹脂充填の方法を説明する。図11(a)における充填前のキャビティ205空間に図11(b)に示すように溶融樹脂212が充填される。このとき、1次充填では樹脂内圧が十分に高くないので金型の溝209の内部には十分に充填できず凸部210が形成される。この未充填の状態にて、有機金属錯体の溶解した超臨界流体208を、溝部209に注入した。この際、樹脂内圧及び型締め圧によって該超臨界流体及びその溶解物が、該溝209より漏れないように制御した。超臨界COが溶融樹脂に接触することで、溝209部における樹脂の凸部210は軟化するので、より金属錯体213は樹脂内に浸透しやすくなる。さらに図11(d)に示すように、保圧及び型締め圧を高くすることで、溝209内に樹脂がほぼ完全に充填される。それによって成形体の凸部210表面にのみ有機金属錯体213が配置する。
【0087】
本発明では前記方法により成形品表面に金属錯体等の超臨界流体溶解物を配置させた後、加熱や還元反応等の後処理を行ってもよいが、本実施例においては200℃の高温槽内に1時間放置し完全に有機金属錯体の配位子を外した。本実施例では、前記射出成形方法で作製した成形品に、下記方法にて無電解銅メッキを行った。まず、無電解銅メッキ用水溶液(奥野製薬工業製「OPC700A」100ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPC700B」100ミリリットル/リットル)の入った容器に入れ室温、60分間攪拌し銅メッキ処理した。さらに洗浄後、無電解銅メッキ用水溶液(奥野製薬工業製「OPCカッパーT1」60ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPCカッパーT2」12ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPCカッパーT3」100ミリリットル/リットル)の入った容器に入れ60℃、120分間攪拌及び空気攪拌を行い銅メッキ処理した。純水及びメタノールにて超音波洗浄した後、成形品全面に厚み10μmの銅メッキ膜を形成した。また該メッキ膜は膜厚が均一であり、ふくれがなく、ピール試験においても実用上問題ない密着強度が得られていることを確認した。また配線に導通させた抵抗測定により低抵抗の配線が断線することなく形成されていることを確認した。隣接配線同士の絶縁性も良好であることを確認した。
【0088】
【実施例5】
本実施例は、金型における凹凸パターンをNiスタンパ上に設けた図12に示す金型を用いた以外は実施例4と同様な成形装置を用いて射出成形を行った。金型は固定金型214及び可動金型215より形成されており、可動金型215上にはNiスタンパ228がスタンパ押さえ枠225によって保持されている。スタンパ押さえ枠225は、額縁形状であり、固定金型214と型締めによって密閉されることにより板状のキャビティ205が形成される。
【0089】
超臨界流体及びそれに溶解した有機物質は流路216よりスタンパ離面に導入される。
【0090】
次に、図12に示すD部の拡大図である図13(a)及び(b)を用いて、本実施例におけるスタンパ形状及び成形方法を説明する。
【0091】
本実施例におけるスタンパ228は次のように作製した。まずフォトリソグラフィによってシリコン基板上に設けられたレジストにパターンニングを行い、該レジストをマスクにしてドライエッチングを行うことで高アスペクト比の凹凸形状を有するシリコン製の鋳型を作製した。次に、電鋳によって光ディスクのスタンパ作製プロセスと同様な方法で厚みTが0.3mmのNiスタンパ228を作製した。スタンパ228における溝部209におけるパターン幅Lは0.05mm、深さdは0.1mmであった。そしてスタンパ228の裏面より機械加工により直径0.1mm、深さ0.2mmの穴226を適材個所に設けた。穴226は各溝部209の孤立個所に通じるように設けた。例えば、溝部のグループ229は各溝部が同一穴226に通じている。穴226はレーザー加工によりさらに微細で深い穴が形成可能でありパターンの微細化にも対応可能である。パターン幅Lがサブミクロンオーダーであっても穴226の深さは同じで径をΦ10μm以下に形成可能となる。
【0092】
成形は下記のように行った。実施例4と同様に射出後、流路216より金属錯体の溶解した超臨界流体を金型内に注入した。図13(b)に示すように、超臨界流体は、弾性率の高いスタンパ228及び溶融樹脂212を押し上げ、スタンパ裏面にわずかなクリアランス227をつくり穴226より樹脂凸部210より浸透する。スタンパ裏面の金型表面に微細なスリットを形成し該スリットを超臨界流体の通過路としてもよい。その後、実施例1と同様に超臨界流体を減圧し樹脂の保圧を高くすることで、スタンパ228と可動金型215を再度密着させるとともに凸部210における転写及び金属錯体の注入を完了した。
【0093】
本実施例の成形方法によれば、配線形成パターンをスタンパ化することで配線回路を容易に変更可能となる。更に、スタンパを薄肉化することで金型の曲面部もスタンパを保持することが可能となり、3次元回路の形成が容易になる。また、スタンパのパターン作製にあたってはフォトリソグラフィ等の微細加工技術を用いることができるのでサブミクロンオーダーの微細パターンも形成可能となる。
【0094】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はその要旨の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。例えば、図11においては、溝部209に樹脂が充填され、結果として成形品には凸部が形成されており、凸部の表面が改質されているが、図14に示すように、表面に凹凸のない成形品表面を選択的に改質することができる。ここで、図14は、図11に示す実施例の変形例である。図14においては、固定金型214aと可動金型215aからなる金型の溝部209aが平坦な溶融樹脂(又は成形品)212aの特定位置に配置している。溝部209aの矢印に示すように金属錯体が溶解した超臨界流体を導入し、射出成形時の圧力及び/又は温度を調節する(例えば、下げる)ことによって、成形品表面へ局所的に金属錯体を配置させることができる。
【0095】
【発明の効果】
本発明の一側面によれば、射出成形時に成形品や金型の表面を粗面化することなくプラスチック表面を改質することができる。例えば、射出成形時にプラスチック表面における無電解メッキの密着性を向上することができる。さらに、安価にプラスチック表面に無電解メッキによる微細配線を形成することができる。また、本発明の別の側面によれば、射出成形加工時に表面を粗面化することなく表面が選択的に改質されたプラスチック成形品、その製造方法及び装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の射出成形装置の要部断面図である。
【図2】本発明におけるプラスチック表面への無電解メッキ方法のフローである
【図3】図2に示す方法において、プラスチック表面への微細メッキ配線方法のフローである。
【図4】図1に示すA部拡大図である。
【図5】図4に示す構造の動作を説明するための断面図である。
【図6】図5に示すB部の、射出充填時におけるフローフロントの様子を説明するための拡大模式図である。
【図7】図1に示す射出成形装置の射出機構の拡大断面図である。
【図8】図2に示す無電解メッキ方法の一例を説明するための金型の部分拡大断面図である。
【図9】図2に示す無電解メッキ方法の別の例を説明するための金型の部分拡大断面図である。
【図10】本発明の別の実施例の射出成形装置の断面図である。
【図11】図10に示す射出成形装置の部分拡大断面図である。
【図12】本発明の更に別の実施形態の射出成形装置の部分断面図である。
【図13】図12に示す射出成形装置の部分拡大断面図である。
【図14】図11に示す実施例の変形例を示す金型の部分断面図である。
【図15】従来の無電解メッキ法を示すフローチャートである。
【図16】従来のメッキ配線方法を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
101 超臨界流体発生装置
102 貯蔵容器
103 混合槽
104 金属微粒子
105 シャットオフノズル
112 流路
115 超臨界流体の溶解物質
117 キャビティ
133 フローフロント
138 無電解メッキ層
205 キャビティ
206 微細流路
208 超臨界流体
209 溝
210 凸部
212 溶融樹脂
213 有機金属錯体
214 固定金型
215 可動金型
220 可塑化シリンダー
226 穴
228 スタンパ
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention generally relates to an injection molded article made of a thermoplastic resin (or a molten resin), a method for producing the molded article using injection molding, a mold and an injection molding apparatus used for such injection molding, and in particular, And surface modification of molded articles using injection molding.
[0002]
[Prior art]
Although there are many plastic molded products produced by injection molding, the physical properties are determined by the resin material to be plasticized and melted. Further, depending on the use, the plastic molded product may be subjected to various printing and painting, formation of a conductor or a metal film, joining of the molded products, and other post-processing. When it is necessary to perform such post-processing, it is generally practiced to activate the surface of the plastic molded article to modify the surface in order to improve workability.
[0003]
On the other hand, electroless plating is widely used as a means for forming a metal conductive film on the surface of an electronic device made of a plastic molded product. The plastic electroless plating step is slightly different depending on the material and the like, but is generally performed according to the flow shown in FIG.
[0004]
First, the surface oil or the like is removed by “degreasing” the molded article, and then the surface is roughened by “etching”. A chromic acid solution or an alkali metal hydroxide solution is used for etching, but these etching solutions require post-treatment such as "neutralization", which is a factor in increasing the cost, and also requires the use of highly toxic etchants. There is a handling problem due to its use. Next, after improving wettability by "wetting" by treating with a surfactant aqueous solution, a catalyst is attached to the plastic surface by "catalyst (catalyst application)". In the "catalyst" process, for example, in the case of a palladium catalyst, the plastic is impregnated with an aqueous hydrochloric acid solution of tin chloride and palladium chloride. After the “catalyst”, the plating catalyst is activated by contacting with an acid such as sulfuric acid or hydrochloric acid by “accelerator (catalyst activation)”. After the above process, "electroless plating" can be performed for the first time.
[0005]
Several processes that do not require roughening by etching have been conventionally proposed (for example, Patent Documents 1 and 2). In these methods, a thin film containing a plating catalyst is formed on a plastic surface with an organic binder or an ultraviolet curable resin. Furthermore, a technique for irradiating a plastic surface with an ultraviolet laser in a gas atmosphere of an amine compound or the like to modify the surface has already been proposed (for example, Patent Document 3). Other than this, reforming techniques by corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet treatment and the like have been conventionally known.
[0006]
On the other hand, a semi-additive method is known as a method of forming wiring on a circuit board by electroless plating or electrolytic plating. This flow is shown in FIG. In this method, first, a plating layer of 1 to 2 μm is formed on the entire substrate by “electroless plating” in the same process as described above. Next, after forming a "photosensitive film or resist", masking and "exposure and development" are performed to form a film or resist layer provided with a wiring pattern. Further, electrolytic plating is formed on the electroless plating layer exposed by the patterning by an “electrolytic plating” process. Next, after removing the film and the resist, the plated wiring is completed by removing the electroless plating layer other than the wiring portion by soft etching. In the case of copper plating, post-processing called "blackening treatment" for forming fine projections on (oxidized) copper to enhance the anchoring action with the resin is sometimes performed because of poor adhesion to the resin.
[0007]
A method of providing a three-dimensional circuit in a molded product has also been conventionally proposed (for example, Patent Documents 4 and 5). In such a method, first, a plastic of a three-dimensional circuit board is formed by resin molding. Next, after the surface is roughened and a catalyst is applied, electroless plating is formed on the entire surface, and a photoresist is applied on the entire surface. Then, after exposure with a photomask covered, development is performed to remove portions other than the circuit pattern forming portion. After electrolytic plating and electroless plating of Ni or Au are formed thereon, the photoresist is peeled off, and unnecessary portions of the electroless plating are removed by etching. It is difficult to form a uniform photoresist on the three-dimensional structure. Patent Document 4 proposes to use an electrodeposition resist, but such a resist has a drawback of low alkali resistance.
[0008]
As a circuit forming method using injection molding, the following method is disclosed (for example, Patent Document 6). According to Patent Document 6, first, a roughened surface of about Ra1 to 5 μm is provided on a circuit forming surface of a mold surface, and a catalyst core is attached to the entire surface of the mold before injection molding. The catalyst nuclei are entirely transferred by being formed by injection molding. Electroless plating is firmly adhered only on the roughened molding surface with strong adhesion of catalyst nuclei, and adhesion is weak on other non-roughened parts, so electroless plating other than circuits after electrolytic plating It can be removed together with the nuclear catalyst during the etching for removing the plating layer.
[0009]
[Patent Document 1]
JP-A-9-59778
[Patent Document 2]
JP 2001-303255 A
[Patent Document 3]
JP-A-6-87964
[Patent Document 4]
JP-A-4-76885
[Patent Document 5]
JP-A-1-206692
[Patent Document 6]
JP-A-6-196840
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
However, there has not been proposed a technique having a wide range of applications that can simultaneously perform surface modification during molding of injection molding. In addition, the conventional plastic electroless plating process is complicated and expensive, and a large amount of harmful substances must be used. Furthermore, the conventional process that does not require surface roughening by etching is a process in which a molded article is manufactured and then processed in another step, and is not suitable for mass production. Further, the conventional method of forming plated wiring on a plastic molded product has complicated steps before and after electroless plating, requires the use of a large amount of highly toxic organic solvents, and furthermore, the plastic surface is roughened. There was a problem. Further, according to the method of Patent Document 6, the surface of plastic can be modified at the time of injection molding. However, a method of uniformly attaching the catalyst nuclei to the mold surface is not specifically described. In addition to the need for roughening on a mold, a step of etching after molding is required.
[0011]
Therefore, the present invention has been made in order to solve the above problems, and the surface can be entirely or selectively, without roughening the surface during injection molding, for example, as applicable to electroless plating. It is an exemplary object to provide a modified molded article, a method for producing the same, a mold used for the molded article, and an injection molding apparatus.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
A molded article according to one aspect of the present invention is a molded article made of a thermoplastic resin, wherein the molded article contains an organic substance different from the thermoplastic resin, or a metal element therein, and the organic substance or the metal element Is characterized by being arranged from the vicinity of the surface of the molded article to the surface (that is, segregation, local existence). Since such a molded article contains an organic substance and the like inside and on the surface, it has high stability such as being less likely to be peeled off from the surface than formed by lithography or the like. The organic substance or the like may be formed over the entire surface or at a specific position. The range of “near the surface” can be appropriately selected depending on the purpose of the surface modification and the material used, but preferably refers to a range of 100 μm or less from the surface, more preferably 10 μm or less from the surface. Further, depending on the purpose of the surface modification and the material used, it is also possible to modify the nanoscale thickness from the surface.
[0013]
The molded article may further include a plating layer formed using the metal element as a nucleus. The plating layer may form an electric wiring pattern.
[0014]
The molded article may further have a foam inside the thermoplastic resin.
[0015]
For example, the organic substance is an organometallic complex. Further, the metal element may be metal particles or metal fine particles. Further, the metal element may be a metal element generated by removing some or all of the ligands of the organometallic complex. By arranging the organometallic complex or the metal element on the resin surface entirely or selectively, it is possible to impart conductivity entirely or locally or to enhance the magnetism. Using a resin, for example, the biochip can be easily sealed. That is, it is possible to easily seal the glass substrate and the plastic by bonding a plastic having fine irregularities serving as a fluid flow path to a glass substrate or the like and generating a magnetic force from the back surface of the glass substrate. Become. In addition, by segregating the metal element entirely or partially on the surface, it is possible to produce a molded article having different mechanical properties in that portion. The portion where the metal element is segregated has improved sliding resistance, hardness and the like as compared with other portions. Further, a magnetic circuit pattern can be formed using a metal having magnetism. If a fluorescent substance such as a rare earth complex is used as the metal complex, a molded article having a fluorescent pattern on the surface can be formed. This can be applied as a display element.
[0016]
The type of the metal complex is arbitrary, but a Pd complex, a Ni complex, a Co complex, a Pt complex and the like are desirable. More specifically, platinum dimethyl (cyclooctadiene), bis (cyclopentadienyl) nickel, bis (acetylacetonate) palladium and the like are desirable. The electroless plating apparatus may further include an electroless plating layer formed using the metal element as a nucleus. Thereby, the plating layer can be easily formed at the selected position. The plating layer forms, for example, an electric wiring pattern. That is, the molded article of the present invention can be used as an electric wiring board. Further, the plastic molded article may further have a foam cell. This makes it possible to reduce the weight of the plastic molded product, enhance the heat insulating effect, and increase the rigidity to weight ratio.
[0017]
Of course, the organic substance is not limited to the organometallic complex. By using polypropylene glycol as an organic substance, a hydrophobic plastic surface such as polyethylene terephthalate can be selectively hydrophilized. Similarly, by using a fluorine compound, selective water repellent treatment and reduction of the refractive index can be achieved.
[0018]
A manufacturing method as another aspect of the present invention is a method of manufacturing a molded product by injection molding a thermoplastic resin, wherein the thermoplastic resin in a mold, a supercritical fluid and the supercritical fluid A step of injecting the dissolved substance, wherein the surface of the molded article is modified. Since such a manufacturing method can use a supercritical fluid to infiltrate a substance into the surface and inside of a thermoplastic resin, as described above, it is more excellent in stability of the substance than formed on the surface by etching or the like. Molded articles can be manufactured.
[0019]
Available supercritical fluids are air, CO 2 , Butane, pentane, methanol, etc. are optional, but have the same solubility as n-hexane, work as a plasticizer for certain thermoplastic resin materials, and have a proven track record in injection molding and extrusion molding. 2 Is desirable. The substance to be dissolved in the supercritical fluid is not particularly limited, and examples thereof include metal complexes (platinum dimethyl (cyclooctadiene), bis (cyclopentadienyl) nickel, bis (acetylacetonate) palladium), Polypropylene glycol and the like. In particular, by using a metal complex, the adhesion of plastics to electroless plating can be selectively improved.
[0020]
Further, the thermoplastic resin is not particularly limited, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyether imide, polymethyl pentene, amorphous polyolefin, polytetrafluoroethylene, liquid crystal polymer, styrene resin, polymethyl pentene, Polyacetal or the like, a mixture thereof in a complex type, a polymer alloy containing these as a main component, or a mixture of these with various fillers can be used.
[0021]
The injecting step may include a step of introducing the supercritical fluid and the substance into a flow front as a flow front end of the thermoplastic resin during injection filling. According to such a method, the thermoplastic resin at the flow front portion forms a surface layer while being pulled by the mold surface due to the fountain flow phenomenon (fountain effect) of the flowing resin in the mold. The substance that has melted and penetrated the flow front in the resin is placed in a layer near the surface in contact with the mold. If the substance has a certain degree of solubility in the supercritical fluid, it can be uniformly dispersed only on the surface of the molded article. Therefore, application to various plastic surface modification technologies can be expected. CO as supercritical fluid 2 As described above, it works as a plasticizer, so that the fluidity of the thermoplastic resin can be improved and the growth of the solidified layer on the surface in contact with the mold can be suppressed. In the injecting step, the supercritical fluid and the substance may be included in a filling start portion of the thermoplastic resin.
[0022]
In the pouring step, the supercritical fluid and the substance may be introduced into the mold at the time of injection filling as counter pressure for applying pressure opposite to the flow direction of the injected thermoplastic resin. By the counter pressure, the dissolved substance can be arranged near the surface of the molded article. The counter pressure is supercritical fluid CO as a foaming agent. 2 And N 2 When the gas is kneaded in the thermoplastic resin, the internal pressure of the thermoplastic resin is rapidly reduced in the mold during injection, the foam cell diameter is enlarged, and a pattern called a swirl mark is formed on the surface, deteriorating the surface properties Can be suppressed.
At the same time, as described above, the supercritical fluid and the dissolved substance can be arranged only on the surface by the fountain flow phenomenon.
[0023]
The injecting step is a step of introducing the supercritical fluid into which the substance does not dissolve into the thermoplastic resin except for the flow front as a flow front portion of the thermoplastic resin, and the step of using the supercritical fluid to form the gold. Forming a foam inside the thermoplastic resin injected into the mold. According to such a method, it is possible to lower the dielectric constant of the material by forming a fine foam cell inside while modifying the resin surface. It is suitable for a planar antenna such as a high-frequency electric circuit board, a MID (Mold Interconnect Device), and a millimeter-wave antenna.
[0024]
The injecting step may include a step of filling the mold with the thermoplastic resin, and a step of introducing the supercritical fluid and the substance into a specific position in the mold. By dispersing the substance near the specific position on the surface of the resin and in the vicinity thereof, the surface of the resin molded product can be locally modified. The method may further include disposing the substance on the thermoplastic resin at the specific position by adjusting a pressure and / or a temperature of the mold. Thereby, it is possible to partially modify the surface of the molded article without irregularities.
[0025]
The substance is, for example, an organic substance or a metal element. The organic substance is an organic metal complex, and the metal element is metal particles excluding a ligand of the organic metal complex. Since the metal complex is dissolved to some extent in the supercritical fluid, it can be disposed on the surface of the molded article without deteriorating the surface properties. Further, by removing the organic portion of the metal complex and precipitating the metal element, the metal complex can act as a catalyst nucleus for electroless plating, so that the plating adhesion on the resin surface is improved without any pretreatment.
[0026]
The substance may be a metal element excluding a ligand of an organometallic complex, and the method further includes a step of forming a pattern formed of a plating layer on a portion where the metal element is deposited by electroless plating. May have. A metal conductive film can be easily formed by electroless plating. The pattern may include irregularities, and may further include a step of removing a convex portion of the pattern after the forming step. Further, the portion may include irregularities, and may further include a step of removing a convex portion of the portion before the forming step. A desired pattern can be formed by either method.
[0027]
The method may further include, after the injecting step, a step of compressing the thermoplastic resin, and after the compressing step, a step of expanding the volume of the cavity of the mold to foam the thermoplastic resin. Good. According to such a method, it is possible to lower the dielectric constant of the material by forming fine foam cells inside while simultaneously performing the selective modification of the plastic surface. It is suitable for a planar antenna such as a high-frequency electric circuit board, a MID (Mold Interconnect Device), and a millimeter-wave antenna.
[0028]
In the injecting step, a predetermined pattern is formed on a first surface pressed against the filled thermoplastic resin, and pressed on the thermoplastic resin, and a second surface opposite to the first surface is formed on the first surface. A stamper provided with a hole communicating with the pattern at the specific position may be used. By making the pattern a stamper, the wiring circuit can be easily changed. In addition, a desired circuit pattern can be formed by forming a pattern at a specific position.
[0029]
A mold according to another aspect of the present invention is a mold used to manufacture a molded article by injection molding a thermoplastic resin, wherein a supercritical fluid and the supercritical fluid are contained in the mold. It has a feature of introducing a substance dissolved in a fluid as counter pressure. Since such a mold uses a supercritical fluid and a substance as counter pressure, it has the same effect as the above-described method.
[0030]
A mold according to another aspect of the present invention is a mold used for manufacturing a molded product by injection molding a thermoplastic resin, and a concave portion is formed at a specific position on a cavity forming surface of the mold. Alternatively, a convex part is formed, and the introduction part for injecting a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid from the outside is connected to the concave part or the convex part. The concave or convex shape can increase the local adhesion of the substance.
[0031]
Injection molding apparatus as another aspect of the present invention is a mold that forms a cavity for filling a thermoplastic resin, and a plasticizing cylinder for introducing the thermoplastic resin into the cavity of the mold. A mechanism for introducing a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid into the plasticizing cylinder, and including the supercritical fluid and the substance in a flow front as a flow front end of the thermoplastic resin. Such an injection molding apparatus has the same effect as the above-described method because the supercritical fluid and the substance are contained in the flow front of the resin.
[0032]
Injection molding apparatus as another aspect of the present invention is a mold that forms a cavity for filling a thermoplastic resin, and a plasticizing cylinder for introducing the thermoplastic resin into the cavity of the mold. And a mechanism for introducing a supercritical fluid into a portion other than the flow front as a flow front end portion of the thermoplastic resin in the plasticizing cylinder. Such an injection molding apparatus has the same effect as the above-described method since the supercritical fluid can be contained in a portion other than the flow front of the resin to obtain an effect such as an internal foam.
[0033]
Injection molding apparatus as another aspect of the present invention is a mold that forms a cavity for filling a thermoplastic resin, a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid as a counter pressure in the mold. And a mechanism for introducing. Such an injection molding apparatus uses a supercritical fluid and a substance as a counter pressure, and thus has the same effect as the above-described method.
[0034]
An injection molding apparatus as another aspect of the present invention forms a cavity filled with a thermoplastic resin, a mold having an introduction passage communicating with a specific position of the cavity, a supercritical fluid and the supercritical fluid. It is characterized by having a mechanism for introducing the dissolved substance into the cavity through the introduction path. Such an injection molding apparatus can locally modify the surface of a resin molded product by dispersing the substance in the vicinity of a specific position and the surface of the resin.
[0035]
An injection molding apparatus as another aspect of the present invention is a mold that forms a cavity for filling a thermoplastic resin, and is pressed by the thermoplastic resin filled in the cavity, and is pressed by the thermoplastic resin. A stamper having a predetermined pattern formed on one surface thereof and a hole provided at a specific position on a second surface facing the first surface and communicating with the pattern on the first surface; A mechanism for introducing an organic substance dissolved in a fluid into the cavity through the hole of the stamper. By making the pattern a stamper, the wiring circuit can be easily changed. In addition, a desired circuit pattern can be formed by forming a pattern at a specific position.
[0036]
Other objects and further features of the present invention will become apparent from the embodiments described below with reference to the accompanying drawings.
[0037]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 2 shows a flow of plastic electroless plating wiring as one embodiment of the present invention. According to the electroless plating method of the present embodiment, first, the surface of a molded article is entirely or selectively modified by injection molding (step 1100).
[0038]
In one embodiment, a mold is filled with a molten resin, a supercritical fluid, and a substance dissolved therein (organic substance or metal element, here, an organometallic complex) as a flow front as a flow front and a counter pressure. As the supercritical fluid and the substance. Here, the counter pressure is a gas to which a pressure is applied in the mold in a direction opposite to the flow direction of the injected molten resin.
[0039]
Due to the fountain flow phenomenon (fountain effect) of the flowing resin in the mold, the molten resin in the flow front portion forms a surface layer while being pulled by the mold surface. The material that has penetrated into the mold is placed in a layer near the surface in contact with the mold. If the substance has a certain degree of solubility in the supercritical fluid, it can be uniformly dispersed only on the surface of the molded article. Therefore, application to various plastic surface modification technologies can be expected.
[0040]
Thermoplastic resin is not particularly limited, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyether imide, polymethyl pentene, amorphous polyolefin, polytetrafluoroethylene, liquid crystal polymer, styrene resin, polymethyl pentene, polyacetal and the like A mixture of these compounds, a polymer alloy containing these as a main component, or a mixture of these with various fillers can be used.
[0041]
Available supercritical fluids are air, CO 2 , Butane, pentane, methanol, etc. are optional, but have the same solubility as n-hexane, work as a plasticizer for certain thermoplastic resin materials, and have a proven track record in injection molding and extrusion molding. 2 Is desirable.
[0042]
Next, the ligand of the organometallic complex disposed on the convex portion of the plastic molded product is removed by heating or a reduction reaction to precipitate metal fine particles (Step 1200). Thereafter, electroless plating is performed (step 1300), and electroless plating is formed only on the protrusions.
[0043]
In the electroless plating wiring of the present embodiment, after the injection molding, a post-treatment by a reduction reaction or heating may be necessary in order to break the bond between the organic portion and the metal portion of the metal complex. However, in the case of certain metal complexes, the bond is broken by the heat of the resin during the contact with the high-temperature molten resin, and metal particles of several nm to several tens μm are automatically deposited, so that post-treatment is not required. The type of the metal complex is arbitrary, but a Pd complex, a Ni complex, a Co complex, a Pt complex and the like are desirable. More specifically, platinum dimethyl (cyclooctadiene), bis (cyclopentadienyl) nickel, bis (acetylacetonate) palladium and the like are desirable. From the viewpoint of not requiring a reduction reaction, Pd complexes and Pt complexes are desirable. After depositing the metal fine particles on the surface of the injection-molded article, any known technique can be used for electroless plating (step 1300), and a detailed description thereof will be omitted. By using the electroless plating layer, for example, an electric wiring pattern can be formed.
[0044]
In the present embodiment, a fine wiring by electroless plating can be formed inexpensively and cleanly by applying a plastic surface modification technique in injection molding, and the flow is shown in FIG. The present invention is characterized by applying the above-described injection molding method, transferring irregularities for forming wiring on the surface of a molded product, and forming plated wiring using the irregularities. As shown in the above, two types of methods can be provided. These two types of methods will be further described with reference to FIGS.
[0045]
FIG. 8 shows a conceptual diagram of an example of the plating wiring method according to the present invention. According to this method, after the metal fine particles 104 serving as catalyst nuclei are deposited on the entire surface of the molded article 136 as shown in FIG. 8A, the electroless plating 138 is laminated on the surface of the molded article as shown in FIG. 8B. Then, as shown in FIG. 8C, by removing the electroless plated portion of the projection by polishing or the like, a wiring pattern in which the electroless plating remains only in the recess can be formed. The method for removing the pattern protrusions in the present invention is arbitrary, but can be removed by polishing or wrapping.
[0046]
FIG. 9 shows a conceptual diagram of another example of the plating wiring method according to the present invention. First, after the metal complex or metal fine particles are arranged in the vicinity of the surface by the above-described injection molding method and a molded product in which irregularities on the surface of the mold or the stamper are transferred is manufactured, in some cases, the organic substance of the metal complex is removed by heat treatment or reduction reaction. Remove completely. Further, after removing the projections on the surface of the molded article, as shown in FIG. 9 (b), the metal fine particles 104 serving as plating nuclei are arranged only in the recesses. By plating, the electroless plating 138 is selectively laminated as shown in FIG. By the methods shown in FIGS. 8 and 9, the object of forming fine wiring by electroless plating on the plastic surface at low cost can be achieved.
[0047]
Step 1100, in another embodiment, dissolves the supercritical fluid and material into the recesses of the mold after filling the mold with the molten resin. The viscosity of the resin in contact with the supercritical fluid decreases, and the organic matter dissolved in the supercritical fluid permeates from the resin surface.
[0048]
Thereafter, by increasing the internal pressure of the resin by holding pressure, mold clamping pressure, or the like, the resin spreads in the concave portion, and a convex portion on which the organic substance is arranged is formed on the surface of the molded body. According to such a method, an organic substance having a certain degree of solubility in a supercritical fluid can be uniformly dispersed and disposed only in the convex portions on the surface of the molded article. Therefore, application to various plastic surface modification technologies can be expected. CO in supercritical fluid 2 As described above, it works as a plasticizer, so that fine transfer can be easily performed even if the pitch of the irregularities is as fine as submicron order.
[0049]
After injecting the supercritical fluid and the organometallic complex dissolved therein, at least one of the metal complex or the metal fine particles having the ligand of the metal complex removed from the surface of the molten resin is permeated through the concave portion of the mold. As a result, the metal complex or the metal fine particles are selectively arranged only at the portion filled in the concave portion in the mold, that is, only at the convex portion of the plastic molded product. According to this method, it is not necessary to roughen the mold surface, and a metal complex or the like can be selectively arranged in a fine region.
[0050]
Even if the resin does not have a polar group and it is difficult to form a strong electroless plating layer, metal fine particles that serve as catalyst nuclei can be easily embedded in the material. An excellent high-quality electroless plating film can be formed. The wiring process of the electroless plating according to the present embodiment is harmless compared to the conventional method, and the number of pretreatment steps is significantly reduced.
[0051]
The present invention is not limited to the electroless plating method. That is, the present invention can produce a sufficiently useful molded product only by the injection molding method (step 1100). For example, by arranging the metal fine particles on the plastic surface entirely or selectively, it is possible to impart conductivity entirely or locally or to improve the adhesion with a magnetic force. Using such a plastic, for example, a biochip can be easily sealed. That is, by bonding a plastic having fine irregularities serving as a fluid flow path to a glass substrate or the like and generating a magnetic force from the back surface of the glass substrate, the glass substrate and the plastic can be easily sealed.
[0052]
Of course, the organic substance used in the injection molding method (step 1100) of the present invention is not limited to the organometallic complex. For example, by using polypropylene glycol as the organic substance, the surface of a hydrophobic plastic such as polyethylene terephthalate can be selectively hydrophilized. The flow path surface in a biochip made of plastic can be made hydrophilic or water-repellent at the whole or at a local location to make the laminar flow state of the mixed fluid in the chip more efficient, or to remove proteins from the biochip. Analysis can be performed by trapping at a location. Similarly, by using a fluorine compound, a total or selective water-repellent treatment and a reduction in the refractive index can be achieved.
[0053]
Further, the present invention may further include a step of expanding the volume of the cavity and foaming the molten resin after compressing the molten resin by pressure holding and mold clamping. As a result, it is possible to lower the dielectric constant of the material by forming a fine foam cell inside while simultaneously performing the selective modification of the plastic surface. In this case, a foamed state in which the average cell diameter is 30 μm or less and the expansion ratio is 1.5 or more is desirable. This makes it possible to reduce the weight of the plastic molded product, enhance the heat insulating effect, and increase the rigidity-to-weight ratio. Such a molded product is suitable for a high-frequency electric circuit board, a flat antenna such as a MID (Mold Interconnect Device), or a millimeter-wave antenna.
[0054]
Hereinafter, examples of the present invention will be described.
[0055]
【Example】
Embodiment 1
FIG. 1 is a sectional view of a main part of a mold and an injection molding apparatus used in a first embodiment of the present invention. Although the supercritical fluid in the present invention is optional, in the present embodiment, CO 2 is used. 2 Was used. In the present invention, the substance to be dissolved in the supercritical fluid is arbitrary, but in this embodiment, platinum dimethyl (cyclooctadiene) which is a Pt complex was used.
[0056]
The method of dissolving the substance in the supercritical fluid is arbitrary, but in this embodiment, CO 2 is used. 2 CO supplied from cylinder 137 2 Was brought into a supercritical state by the supercritical fluid generator 101, and then a substance supplied from the storage vessel 102 was dissolved in the supercritical fluid in the mixing tank 103.
[0057]
In the present invention, the pressure and temperature of the supercritical fluid in which the substance is dissolved, and the method of introducing the molten resin into the flow front portion are arbitrary, but in this embodiment, the supercritical CO of 120 ° C. and 10 Mpa is used. 2 Is introduced into the cavity together with the dissolved substance as a counter pressure for applying pressure opposite to the flow direction of the injected thermoplastic resin, and the flow front portion of the molten resin is impregnated in the plasticizing cylinder 140. The magnitude of the pressure of the counter pressure is lower than the resin pressure at the time of filling the resin entering from the spool. The resin pressure in this case means the actual resin pressure in the mold, but is not usually monitored. Usually, the resin pressure refers to the pressure of a molding machine that extrudes a screw. The latter has a force of about 100 to 200 MPa, which is much larger than the counter pressure, and the former has a force of about 20 MPa. Assuming that the pressure of the counter pressure is defined, it is sufficient that the pressure when the gas actually enters the mold is in a supercritical state (CO 2 If so, about 7 MPa or more). In addition, the upper limit is lower than the pressure at which the resin can be filled, which depends on the material and the molding conditions. In the present invention, a method of introducing a supercritical fluid and a substance dissolved therein into the mold cavity 117 as a counter pressure is optional, but in this embodiment, the electromagnetic valve 111 is closed at the same time as the injection filling is started after the cavity 117 is closed. Was introduced from the mixing tank 103 through the channel 112.
[0058]
In the present invention, the method for infiltrating the supercritical fluid and the substance dissolved therein into the flow front portion of the molten resin after the plasticization measurement in the plasticizing cylinder 140 is optional, but the method in the present embodiment is shown in FIGS. This will be described with reference to FIG. The plasticization measurement is a process of plasticizing the resin pellets in a short time by rotating the screw, making the amount to be charged and injected in the next shot into a constant volume, and storing the amount before the screw.
[0059]
First, when the screw 107 rotates in the direction of the arrow in FIG. 7A in the plasticizing cylinder 140 whose temperature is controlled by the band heater 139, the thermoplastic resin pellet 135 is supplied from the hopper 121 and plasticized. While being pushed forward of the screw 107, the screw 107 retreats accordingly. When the screw 107 stops retreating at the measuring position, the molten resin 116 is plasticized and measured between the screw 107 and the shut-off nozzle 105. The shut-off nozzle 105 is a mechanism that opens and closes a flow path between the mold and the cylinder that prevents molten resin from entering the mold even when the internal pressure of the cylinder increases. The screw 107 has a function of plasticizing and melting the pellet and a function of injecting the pellet (also called an in-line screw). Then, after the plasticization measurement is completed, as shown in FIG. 7B, the screw 107 is retracted by suck-back to reduce the pressure of the front portion of the molten resin, and between the shut-off nozzle 105 and the screw 107. The supercritical fluid and its dissolved product were introduced by opening the electromagnetic valve 108 from the supply port 106 of the provided mixture. Further, after the solenoid valve was closed, the screw 107 was pressurized and advanced at a pressure of 10 Mpa, so that the supercritical fluid and the melt thereof permeated the flow front portion of the molten resin. Thereafter, injection filling was performed immediately.
[0060]
In the present invention, any thermoplastic resin can be used, but in this example, polyetherimide (Ultem 1010 manufactured by GE Plastics) having a glass transition temperature of about 230 ° C. was used. The temperature of the plasticizing cylinder was 380 ° C.
[0061]
In the injection molding method of the present invention, there is no restriction other than impregnating the supercritical fluid and its dissolved substance into the flow front as the flow front of the molten resin, but in the present embodiment, the cavity is filled at the time of filling. Injection compression molding in which mold compression is performed immediately after opening and filling was used. Then, a mold sealing mechanism in which the supercritical fluid does not leak even when the cavity is opened with the supercritical fluid introduced as a counter pressure was devised. Due to the molding method and the mold structure, fine transfer can be performed even for a difficult-to-form material or a thin-walled product in which a resin is difficult to flow with a high glass transition temperature.
[0062]
Next, the molding method in this embodiment will be described in detail with reference to FIGS. FIGS. 4 and 5 are enlarged views of a main part of the mold in the part A of FIG. In this embodiment, a plate-shaped product having a product shape of 50 mm long × 60 mm wide × 0.5 mm thick was formed by taking two pieces. The temperature of the fixed mold 143 and the movable mold 129 of the mold 142 is controlled by cooling water flowing through a temperature control circuit (not shown), but the temperature was controlled at 140 ° C. in the present embodiment.
[0063]
As shown in FIG. 1, each cavity 117 in the mold 142 is vertically divided around a spool 119, and a rectangular stamper 118 corresponding to each cavity 117 is provided on the fixed mold 143. The surface of the stamper 118 is provided with a line and space uneven pattern. The stamper was manufactured as follows. First, after forming concavities and convexities on a silicon substrate by photolithography using a resist, Ni having a thickness of 0.4 mm was formed on the resist pattern by electroless plating and electrolytic plating. Then, Ni was peeled off from the resist and processed into a stamper shape.
[0064]
As shown in FIG. 4, one side of the stamper 118 on the spool 119 side is mechanically fixed to a fixed mold 143 by a stamper holding claw 141, and the other three sides are fixed molds by vacuum suction from the vacuum groove 131. 143. On the stamper holding claw 141, a runner groove 130 connected to the spool 119 and through which the molten resin passes is provided. The movable mold 129 facing the runner groove 130 is provided with a protrusion 131 that fits inside the groove 130, so that even if the cavity 117 is opened to some extent, the filling resin does not protrude from the runner groove 130.
[0065]
On the movable mold 129 facing the stamper 118, an outer peripheral frame 123 for regulating the outer peripheral portion of the product is installed so as to be independently driven in the cavity opening and closing direction. The outer peripheral frame 123 is stepped, and the edge 123A regulates the outer peripheral portion of the product. On one side of the outer peripheral frame 123 on the spool side, which is the filling start direction, there is provided a groove 132 connected to the runner groove 130. After passing through the gate 144, the molten resin is filled into the cavity 117 through the groove 132.
[0066]
In this embodiment, the mold clamping pressure was controlled such that the cavity thickness T was 3.0 mm as shown in FIG. 5 when filling the molten resin, and the opening amount was constant during the filling. At the same time as the start of the filling, the supercritical fluid and its dissolved product were introduced into the mold and the cavity 117 from the flow channel 112 at the pressure indicated by an arrow 125 in FIG. At the same time, the solenoid valve 113 in FIG. 1 is opened, and only the supercritical fluid is introduced into the mold through the flow path 114. Was pressurized to bring the supercritical fluid pressures 125 and 126 into equilibrium. Since springs 128 and 127 are provided on the rear surfaces of the movable abutting ring 122 and the outer peripheral frame 123, the parts are abutted against the fixed mold 143 by the spring force. Since the sealing property is maintained even when the mold is opened by this mechanism, the high-pressure supercritical fluid does not leak from the mold, and the filled resin does not protrude from the outer peripheral frame 123 that regulates the outer periphery of the product.
[0067]
The supercritical fluid and its melt introduced at a pressure of 125 as counter pressure pass through the passage hole 124 in the outer peripheral frame 123 and the clearance t between the stamper 118 and the outer peripheral frame 123 and are filled in the cavity 117. In this embodiment, the clearance t was 10 μm.
[0068]
The molten resin having the flow front portion impregnated with the supercritical fluid and its melted material passes through the spool 119 as shown in FIG. 5 by the screw 107 being advanced immediately after the shut-off nozzle 105 is opened in FIG. 117 is filled. FIG. 6 schematically shows the state of the resin being filled. At the flow front 133 of the molten resin 116 flowing in the direction of the arrow 134, the supercritical fluid and the substance 115 dissolved therein due to the fountain flow phenomenon are stamped by the stamper 118 and the movable mold 129. On the wall. The dissolved substance of the supercritical fluid previously impregnated in the resin and the same substance introduced as a counter pressure are selectively disposed on the surface of the molded article with the same effect.
[0069]
When the supercritical fluid is infiltrated in the filling resin in advance, the supercritical fluid or pressurized CO 2 By introducing as a counter pressure, the pressure reduction of the supercritical fluid inside the resin and the accompanying foaming can be suppressed. Therefore, even in the case where only the front portion of the molten resin is impregnated with the supercritical fluid and its dissolved substance at the time of plasticization, it is desirable to introduce the counter pressure of only the supercritical fluid into the cavity. In the case where the counter pressure is not used, heat insulation can also be achieved by forming a low heat conductive material such as polyimide on the mold surface or the release surface of the stamper, so that a rise in resin viscosity and a decrease in pressure of the supercritical fluid can be similarly suppressed. desirable.
[0070]
In addition, in this embodiment, the concavo-convex pattern of the stamper 118 schematically shown in FIG. 6 has a width W: 2 μm, W2: 5 μm, and a depth D: 30 μm. In the present embodiment, it is considered that a pattern having a high aspect ratio cannot be sufficiently transferred at the time of injection filling as shown in FIG. 6, but immediately after filling, the cavity opening amount T3.0 mm is reduced to a product thickness of 0.5 mm. By compressing with a mold clamping pressure of 40 tons, it was possible to transfer completely.
[0071]
In the molding method of the present embodiment, by opening the cavity at the time of filling, the flow resistance of the molten resin in the mold can be reduced, and the flow length in the cavity can be shortened. Further, by compressing the volume of the cavity immediately after the filling, the pressure of the supercritical fluid reduced during the injection filling can be increased again, and the surface viscosity of the resin can be kept low. Further, the supercritical fluid introduced by the counter pressure which easily remains in the fine pattern can be made to permeate into the molten resin. By these methods, fine transfer can be performed even on a difficult-to-mold material or a difficult-to-mold structure, and the pressure distribution in the cavity becomes uniform.
[0072]
In this embodiment, after the injection and compression, the solenoid valves 145 and 136 in FIG. 2 Was leaked and the molten resin was solidified in the mold, and the mold was opened to take out the product. It was confirmed that on the surface of the molded article produced in this example, a Pt complex which was dissolved in a supercritical fluid and Pt fine particles from which an organic substance was removed from the complex were arranged. It was also confirmed that the melt was hardly contained in the center of the molded article.
[0073]
In the present invention, after disposing a supercritical fluid solution such as a metal complex on the surface of the molded article by the above method, post-treatment such as heating or reduction reaction may be performed, but in this embodiment, electroless plating is performed. No post-processing was performed by then.
[0074]
In this example, electroless copper plating was performed on the molded article produced by the above-mentioned injection molding method by the following method. First, it was placed in a container containing an aqueous solution for electroless copper plating ("OPC700A" manufactured by Okuno Pharmaceutical Industries, 100 ml / liter + "OPC700B" manufactured by Okuno Pharmaceutical Industries, 100 ml / liter) and stirred at room temperature for 60 minutes to perform copper plating. After further washing, an aqueous solution for electroless copper plating ("OPC Copper T1" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 60 ml / liter + "OPC Copper T2" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 12 ml / liter + "OPC Copper T3" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 100 ml) / Liter) and stirred at 60 ° C. for 120 minutes and air to perform copper plating. After ultrasonic cleaning with pure water and methanol, a 10 μm-thick copper plating film was formed on the entire surface of the molded product. In addition, it was confirmed that the plating film had a uniform thickness, had no blistering, and had a practically acceptable adhesion strength even in a peel test.
[0075]
Further, as shown in the schematic view of FIG. 8, the surface of the pattern-formed surface of the molded article shown in FIG. 8B is polished by 20 μm to remove the projections as shown in FIG. A remaining wiring pattern was formed. It was confirmed that in the molded article in this example, wiring of 2 μm in width of electroless copper plating was formed without loss. It was also confirmed that the insulation between adjacent wirings was good.
[0076]
Embodiment 2
The wiring by injection molding and electroless plating was performed in the same manner as in Example 1, except that the electroless plating after the production of the molded article was performed as shown in FIG. It was confirmed that in the molded article in this example, wiring of 2 μm in width of electroless copper plating was formed without loss. It was also confirmed that the insulation between adjacent wirings was good.
[0077]
Embodiment 3
Supercritical CO is added to the molten resin except at the flow front. 2 And injection molding was performed in the same manner as in Example 1 except that the inside of the molded article was made into a foam. In this example, an internal foam was produced as follows.
[0078]
First, by opening the solenoid valve 110 from the supercritical fluid inlet 109 shown in FIG. 2 Is introduced into the vent part 120 of the screw 107, and the supercritical CO in which the metal complex is not dissolved except for the front part is introduced. 2 Was impregnated in the molten resin. The transfer by injection filling and injection compression was performed in the same manner as in Example 1, and then CO 2 Was released to the atmosphere, the high-pressure mold clamping force was reduced to 5 tons, and the inside was foamed to obtain a molded product. The supercritical fluid introduced into the mold was released to the atmosphere by opening the solenoid valve 136 at the same time as foaming.
[0079]
In the molded article of the present example, the pressure distribution in the cavity was made uniform by the effect of the above-mentioned injection compression, so that a uniform fine foam was obtained over the entire surface. In addition, the molded article in this example was subjected to electroless plating in the same manner as in Example 1 to produce a wiring pattern, and it was confirmed that the wiring was formed without loss. It was also confirmed that the insulation between adjacent wirings was good.
(Comparative example)
Injection molding and electroless plating were performed in the same manner as in Example 1 except that the Pt complex, which was a dissolved material, was not dissolved in the supercritical fluid. In the molded article of this comparative example, electroless plating could not be performed.
[0080]
Embodiment 4
FIG. 10 shows a cross-sectional structural view of a main part of a mold and a molding apparatus used in this example. Although the supercritical fluid in the present invention is optional, in the present embodiment, CO 2 is used. 2 Was used. In the present invention, the substance to be dissolved in the supercritical fluid is arbitrary, but in this example, bis (acetylacetonate) palladium which is a Pd complex was used.
[0081]
The method of dissolving the substance in the supercritical fluid is arbitrary, but in this embodiment, CO 2 is used. 2 CO supplied from cylinder 201 2 Was brought into a supercritical state by the supercritical fluid generator 202, and then an organic substance to be dissolved in the supercritical fluid supplied from the storage container 204 was dissolved in the mixing tank 203 so as to have a predetermined concentration. In this example, the mixing tank 203 was maintained at 100 ° C. and 12 MPa atmosphere.
[0082]
In the present invention, the method of introducing the supercritical fluid in which the organic substance is dissolved into the inside of the mold is arbitrary, but in this embodiment, the fine flow in the fixed mold 214 through the flow path 216 by opening the electromagnetic valve 207 is performed. The fluid was injected into the cavity 205 formed by the fixed mold 214 and the movable mold 215 from the path 206. In the present embodiment, the diameter of the fine channel 206 in the fixed mold 214 was Φ0.3 mm.
[0083]
Next, the injection molding method in this embodiment will be described in detail with reference to FIGS. First, a known method is used for plasticization and filling. In FIG. 10, the resin pellets (not shown) filled in the plasticizing cylinder 220 from the hopper 217 via the band heater 218 by the rotation of the screw 219 are plasticized and melted and weighed in front of the screw 219. As the internal pressure in front of the screw 219 increases, the screw 219 retreats. At the time of injection, the molten resin measured by the advance of the screw 219 is filled into the cavity 205 of the mold. The cavity 205 is formed by a fixed mold 214 and a movable mold 215 whose temperature is controlled by a temperature control circuit (not shown), and the molten resin is filled through a nozzle 221 and a mold spool 222.
[0084]
In the present invention, any thermoplastic resin that can be used is arbitrary. In this embodiment, polyetherimide having a glass transition temperature of about 230 ° C. (Ultem 1010 manufactured by GE Plastics Co., Ltd.) was used. In this example, the temperature of the plasticizing cylinder was 380 ° C. The medium temperature in the temperature control circuit flowing through the mold was set to 125 ° C.
[0085]
The surface of the fixed mold 214 in this embodiment is provided with irregularities communicating with the flow path 206. In the present invention, the irregular shape of the mold surface and its pitch and depth are arbitrary, but in the present embodiment, a line and space groove pattern 209 having a constant depth and a random pitch and width is provided. The groove had a depth of 2 mm, a width of 0.9 mm, and a minimum pitch of 0.6 mm.
[0086]
FIG. 11 is an enlarged view of a portion C in FIG. 10 of the mold cavity 205 provided with the groove pattern 209. Hereinafter, a method of filling the groove 209 with resin will be described with reference to FIG. The space of the cavity 205 before filling in FIG. 11A is filled with the molten resin 212 as shown in FIG. 11B. At this time, since the internal pressure of the resin is not sufficiently high in the first filling, the inside of the groove 209 of the mold cannot be sufficiently filled, and the projection 210 is formed. In this unfilled state, the supercritical fluid 208 in which the organometallic complex was dissolved was injected into the groove 209. At this time, the supercritical fluid and its melt were controlled so as not to leak from the groove 209 by the resin internal pressure and the mold clamping pressure. Supercritical CO 2 When the resin comes into contact with the molten resin, the convex portion 210 of the resin in the groove 209 is softened, so that the metal complex 213 easily permeates into the resin. Further, as shown in FIG. 11D, the resin is almost completely filled in the groove 209 by increasing the holding pressure and the mold clamping pressure. Thereby, the organometallic complex 213 is arranged only on the surface of the convex portion 210 of the molded body.
[0087]
In the present invention, after dissolving a supercritical fluid such as a metal complex on the surface of the molded article by the above method, post-treatment such as heating or reduction reaction may be performed. For 1 hour to completely remove the ligand of the organometallic complex. In this example, the molded article produced by the injection molding method was subjected to electroless copper plating by the following method. First, it was placed in a container containing an aqueous solution for electroless copper plating ("OPC700A" manufactured by Okuno Pharmaceutical Industries, 100 ml / liter + "OPC700B" manufactured by Okuno Pharmaceutical Industries, 100 ml / liter) and stirred at room temperature for 60 minutes to perform copper plating. After further washing, an aqueous solution for electroless copper plating ("OPC Copper T1" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 60 ml / liter + "OPC Copper T2" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 12 ml / liter + "OPC Copper T3" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 100 ml) / Liter) and stirred at 60 ° C. for 120 minutes and air to perform copper plating. After ultrasonic cleaning with pure water and methanol, a 10 μm-thick copper plating film was formed on the entire surface of the molded product. In addition, it was confirmed that the plating film had a uniform thickness, had no blistering, and had a practically acceptable adhesion strength even in a peel test. In addition, it was confirmed by a resistance measurement conducted to the wiring that a low-resistance wiring was formed without disconnection. It was confirmed that the insulation between adjacent wirings was also good.
[0088]
Embodiment 5
In this example, injection molding was performed using a molding apparatus similar to that of Example 4 except that the mold shown in FIG. 12 in which the concave and convex pattern in the mold was provided on a Ni stamper was used. The mold includes a fixed mold 214 and a movable mold 215, and a Ni stamper 228 is held on the movable mold 215 by a stamper holding frame 225. The stamper holding frame 225 has a frame shape, and is sealed by the fixed mold 214 and the mold to form a plate-like cavity 205.
[0089]
The supercritical fluid and the organic substance dissolved therein are introduced from the channel 216 to the surface of the stamper.
[0090]
Next, a stamper shape and a molding method according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 13A and 13B which are enlarged views of a portion D shown in FIG.
[0091]
The stamper 228 in this embodiment was manufactured as follows. First, patterning was performed on a resist provided on a silicon substrate by photolithography, and dry etching was performed using the resist as a mask to produce a silicon mold having unevenness with a high aspect ratio. Next, a Ni stamper 228 having a thickness T of 0.3 mm was manufactured by electroforming in the same manner as in the stamper manufacturing process of the optical disk. The pattern width L in the groove 209 of the stamper 228 was 0.05 mm, and the depth d was 0.1 mm. Then, a hole 226 having a diameter of 0.1 mm and a depth of 0.2 mm was formed at an appropriate position from the back surface of the stamper 228 by machining. The hole 226 is provided so as to communicate with an isolated portion of each groove 209. For example, in the groove group 229, each groove communicates with the same hole 226. The hole 226 can form a finer and deeper hole by laser processing, and can cope with miniaturization of a pattern. Even if the pattern width L is on the order of submicrons, the depth of the hole 226 is the same, and the diameter can be formed to Φ10 μm or less.
[0092]
The molding was performed as follows. After the injection in the same manner as in Example 4, a supercritical fluid in which the metal complex was dissolved was injected into the mold from the channel 216. As shown in FIG. 13B, the supercritical fluid pushes up the stamper 228 and the molten resin 212 having a high elasticity, creates a slight clearance 227 on the back surface of the stamper, and penetrates through the resin protrusion 210 through the hole 226. A fine slit may be formed on the die surface on the back surface of the stamper, and the slit may be used as a passage for the supercritical fluid. Thereafter, the pressure of the supercritical fluid was reduced to increase the holding pressure of the resin in the same manner as in Example 1, whereby the stamper 228 and the movable mold 215 were brought into close contact with each other, and the transfer at the projection 210 and the injection of the metal complex were completed.
[0093]
According to the forming method of the present embodiment, the wiring circuit can be easily changed by forming the wiring forming pattern into a stamper. Further, by reducing the thickness of the stamper, the curved surface portion of the mold can also hold the stamper, thereby facilitating the formation of a three-dimensional circuit. In addition, a fine patterning technique such as photolithography can be used for producing a stamper pattern, so that a fine pattern on the order of submicrons can be formed.
[0094]
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention can be variously modified and changed within the scope of the gist. For example, in FIG. 11, the groove 209 is filled with a resin, and as a result, a protrusion is formed in the molded product, and the surface of the protrusion is modified, but as shown in FIG. The surface of the molded article without irregularities can be selectively modified. Here, FIG. 14 is a modification of the embodiment shown in FIG. In FIG. 14, a groove 209a of a mold including a fixed mold 214a and a movable mold 215a is arranged at a specific position of a flat molten resin (or molded product) 212a. By introducing a supercritical fluid in which the metal complex is dissolved as shown by the arrow of the groove 209a and adjusting (for example, lowering) the pressure and / or temperature during injection molding, the metal complex is locally applied to the surface of the molded article. Can be placed.
[0095]
【The invention's effect】
According to one aspect of the present invention, a plastic surface can be modified without roughening the surface of a molded product or a mold during injection molding. For example, the adhesion of electroless plating on the plastic surface during injection molding can be improved. Further, fine wiring can be formed on the plastic surface at low cost by electroless plating. Further, according to another aspect of the present invention, it is possible to provide a plastic molded article whose surface is selectively modified without roughening the surface during injection molding, and a method and an apparatus for manufacturing the same.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view of a main part of an injection molding apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart of a method for electroless plating a plastic surface according to the present invention.
FIG. 3 is a flowchart of a method of finely wiring a plastic surface in the method shown in FIG. 2;
FIG. 4 is an enlarged view of a portion A shown in FIG.
FIG. 5 is a sectional view for explaining the operation of the structure shown in FIG. 4;
FIG. 6 is an enlarged schematic diagram for explaining a state of a flow front at the time of injection filling of a portion B shown in FIG. 5;
FIG. 7 is an enlarged sectional view of an injection mechanism of the injection molding apparatus shown in FIG.
8 is a partially enlarged cross-sectional view of a mold for explaining an example of the electroless plating method shown in FIG.
FIG. 9 is a partially enlarged sectional view of a metal mold for explaining another example of the electroless plating method shown in FIG.
FIG. 10 is a sectional view of an injection molding apparatus according to another embodiment of the present invention.
11 is a partially enlarged sectional view of the injection molding apparatus shown in FIG.
FIG. 12 is a partial sectional view of an injection molding apparatus according to yet another embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a partially enlarged sectional view of the injection molding apparatus shown in FIG.
FIG. 14 is a partial sectional view of a mold showing a modification of the embodiment shown in FIG. 11;
FIG. 15 is a flowchart showing a conventional electroless plating method.
FIG. 16 is a flowchart for explaining a conventional plating wiring method.
[Explanation of symbols]
101 Supercritical fluid generator
102 storage container
103 mixing tank
104 metal fine particles
105 Shut-off nozzle
112 channel
115 Supercritical fluid dissolved substance
117 cavity
133 Flow Front
138 Electroless plating layer
205 cavities
206 micro channel
208 Supercritical fluid
209 groove
210 convex part
212 molten resin
213 Organometallic complex
214 fixed mold
215 Movable mold
220 Plasticizing cylinder
226 holes
228 Stamper

Claims (27)

熱可塑性樹脂からなる成形品であって、
前記成形品は、前記熱可塑性樹脂とは異なる有機物質を内部に含み、
前記有機物質が、前記成形品の表面近傍及び表面に配置していることを特徴とする成形品。
A molded article made of a thermoplastic resin,
The molded article contains an organic substance different from the thermoplastic resin inside,
The molded article, wherein the organic substance is disposed near and on the surface of the molded article.
前記有機物質を前記表面の特定の位置に有することを特徴とする請求項1記載の成形品。The molded article according to claim 1, wherein the organic substance is provided at a specific position on the surface. 熱可塑性樹脂からなる成形品であって、前記成形品は金属元素を内部に含み、
前記金属元素は、前記成形品の表面近傍及び表面に配置していることを特徴とする成形品。
A molded article made of a thermoplastic resin, wherein the molded article includes a metal element therein,
The molded article, wherein the metal element is disposed near and on the surface of the molded article.
前記金属元素を前記表面の特定の位置に有することを特徴とする請求項3記載の成形品。The molded article according to claim 3, wherein the metal element is provided at a specific position on the surface. 前記金属元素を核として形成されたメッキ層を更に有することを特徴とする請求項3又は4記載の成形品。The molded article according to claim 3, further comprising a plating layer formed by using the metal element as a nucleus. 前記メッキ層は、電気配線パターンを形成することを特徴とする請求項5記載の成形品。The molded product according to claim 5, wherein the plating layer forms an electric wiring pattern. 前記熱可塑性樹脂の内部に発泡体を更に有することを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか一項記載の成形品。The molded article according to any one of claims 1 to 6, further comprising a foam inside the thermoplastic resin. 熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造する方法であって、
金型内に前記熱可塑性樹脂と、超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解させた物質を注入する工程を有し、前記成形品の表面を改質することを特徴とする方法。
A method for producing a molded article by injection molding a thermoplastic resin,
Injecting the thermoplastic resin, a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid into a mold, and modifying the surface of the molded article.
前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を、射出充填時における前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロントに導入する工程を含むことを特徴とする請求項8記載の方法。9. The method according to claim 8, wherein the injecting step includes introducing the supercritical fluid and the substance into a flow front as a flow front of the thermoplastic resin during injection filling. 前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を、前記金型内に、射出された熱可塑性樹脂の流動方向とは反対に圧力を印加するカウンタープレッシャーとして導入することを特徴とする請求項8記載の方法。9. The method as set forth in claim 8, wherein in the injection step, the supercritical fluid and the substance are introduced into the mold as a counter pressure for applying a pressure opposite to a flow direction of the injected thermoplastic resin. The described method. 前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を可塑化及び計量するための可塑化計量時において前記熱可塑性樹脂の充填開始部分に含ませることを特徴とする請求項8記載の方法。9. The method according to claim 8, wherein the injecting step includes the step of injecting the thermoplastic resin into the thermoplastic resin at the time of plasticization and measurement for plasticizing and measuring the supercritical fluid and the substance. 前記注入工程は、
前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロント以外には前記物質が溶解しない前記超臨界流体を前記熱可塑性樹脂に導入する工程と、
前記超臨界流体を利用して前記金型内に注入された前記熱可塑性樹脂の内部に発泡体を形成する工程とを有することを特徴とする請求項8記載の方法。
The injection step includes:
A step of introducing the supercritical fluid in which the substance does not dissolve into the thermoplastic resin except for the flow front as a flow front portion of the thermoplastic resin,
Forming a foam inside the thermoplastic resin injected into the mold using the supercritical fluid.
前記注入工程は、
前記金型内に前記熱可塑性樹脂を充填する工程と、
前記金型内の特定の位置に前記超臨界流体及び前記物質を導入する工程とを有することを特徴とする請求項8記載の方法。
The injection step includes:
Filling the mold with the thermoplastic resin,
Introducing the supercritical fluid and the substance to a specific location within the mold.
前記金型の圧力及び/又は温度を調節することによって前記特定の位置に前記物質を前記熱可塑性樹脂に配置する工程を更に有することを特徴とする請求項13記載の方法。14. The method according to claim 13, further comprising the step of placing the substance in the thermoplastic resin at the specific location by adjusting the pressure and / or temperature of the mold. 前記物質は、有機金属錯体であることを特徴とする請求項8乃至14のうちいずれか一項記載の方法。The method according to any one of claims 8 to 14, wherein the substance is an organometallic complex. 前記物質は、有機金属錯体であり、前記方法は、無電解メッキにより、前記成形品の表面を改質した部位にメッキ層を形成する工程を更に有する請求項8乃至12のうちいずれか一項記載の方法。The said substance is an organometallic complex, The said method further has the process of forming the plating layer in the site | part which modified the surface of the said molded article by electroless plating. The described method. 前記成形体は表面に凹凸部を含み、
前記鍍金層形成工程後に前記凸部を除去する工程を更に有する請求項16記載の方法。
The molded body includes an uneven portion on the surface,
17. The method according to claim 16, further comprising a step of removing the projection after the plating layer forming step.
前記成形体は表面に凹凸部を含み、
前記メッキ層形成工程前に前記部位の凸部を除去する工程を更に有する請求項16記載の方法。
The molded body includes an uneven portion on the surface,
17. The method according to claim 16, further comprising a step of removing a convex portion of the portion before the step of forming the plating layer.
前記物質は、有機金属錯体であり、
前記方法は、前記成形品表面を部分的に改質し、
前記方法は、無電解メッキにより、前記成形品表面の改質した部分にメッキ層を設けることにより、メッキ層からなるパターンを形成する工程を更に有する請求項13又は14記載の方法。
The substance is an organometallic complex,
The method partially modifies the molded article surface,
The method according to claim 13, wherein the method further comprises a step of forming a pattern comprising a plating layer by providing a plating layer on a modified portion of the surface of the molded article by electroless plating.
前記注入工程後に前記熱可塑性樹脂を圧縮する工程と、
当該圧縮工程後に、前記金型のキャビティの容積を増大させて前記熱可塑性樹脂を発泡させる工程とを更に有することを特徴とする請求項8記載の方法。
Compressing the thermoplastic resin after the injecting step,
The method according to claim 8, further comprising, after the compression step, increasing the volume of the cavity of the mold to expand the thermoplastic resin.
前記注入工程は、前記充填された前記熱可塑性樹脂に押圧されるスタンパを利用した工程であり、
前記スタンパは、前記熱可塑性樹脂に押圧される第1の面とそれに対向する第2の面を有し、前記第1の面には、所定のパターンが形成され、前記第2の面の特定の位置には、前記第1の面の前記パターンへ連通する孔が設けられていることを特徴とする請求項13又は14記載の方法。
The injection step is a step using a stamper pressed against the filled thermoplastic resin,
The stamper has a first surface pressed by the thermoplastic resin and a second surface facing the first surface, a predetermined pattern is formed on the first surface, and the second surface is identified. The method according to claim 13 or 14, wherein a hole communicating with the pattern on the first surface is provided at the position (1).
熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造するのに使用される金型であって、
前記金型内に、超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解した物質を、前記金型内で射出された前記熱可塑性樹脂の流動方向とは反対に圧力を印加するカウンタープレッシャーとして導入する機構を有することを特徴とする金型。
A mold used to manufacture a molded article by injection molding a thermoplastic resin,
A mechanism for introducing a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid into the mold as a counter pressure for applying a pressure opposite to the flow direction of the thermoplastic resin injected into the mold. A mold characterized by having.
熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造するのに使用される金型であって、
前記金型のキャビティ形成表面には特定位置に凹部又は凸部が形成され、
前記凹部又は凸部には、超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解させた物質を注入するための導入路が接続されていることを特徴とする金型。
A mold used to manufacture a molded article by injection molding a thermoplastic resin,
A concave or convex portion is formed at a specific position on the cavity forming surface of the mold,
A mold, characterized in that an injection passage for injecting a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid is connected to the concave portion or the convex portion.
熱可塑性樹脂を充填するためのキャビティを形成する金型と、
前記熱可塑性樹脂を前記金型の前記キャビティ内に導入するための可塑化シリンダーと、
前記可塑化シリンダーに超臨界流体と当該超臨界流体に溶解した物質を導入して少なくとも前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロントに前記超臨界流体と前記物質を含ませる機構とを有する射出成形装置。
A mold for forming a cavity for filling a thermoplastic resin,
A plasticizing cylinder for introducing the thermoplastic resin into the cavity of the mold,
Injection having a mechanism for introducing a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid into the plasticizing cylinder and including the supercritical fluid and the substance at least in a flow front as a flow front end of the thermoplastic resin. Molding equipment.
熱可塑性樹脂を充填するためのキャビティを形成する金型と、
超臨界流体と当該超臨界流体に溶解した物質をカウンタープレッシャーとして前記金型内に導入する機構とを有することを特徴とする射出成形装置。
A mold for forming a cavity for filling a thermoplastic resin,
An injection molding apparatus comprising a supercritical fluid and a mechanism for introducing a substance dissolved in the supercritical fluid into the mold as counter pressure.
熱可塑性樹脂を充填するキャビティを形成し、当該キャビティの特定の位置に連通する導入路を有する金型と、
超臨界流体と当該超臨界流体に溶解させた物質を前記導入路を介して前記キャビティ内に導入する機構を有することを特徴とする射出成形装置。
Forming a cavity to be filled with a thermoplastic resin, a mold having an introduction path communicating with a specific position of the cavity,
An injection molding apparatus having a mechanism for introducing a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid into the cavity through the introduction path.
熱可塑性樹脂を充填するキャビティを形成する金型と、
前記キャビティに充填された前記熱可塑性樹脂に押圧され、前記熱可塑性樹脂に押圧される第1の面に所定のパターンが形成され、前記第1の面に対向する第2の面に前記パターンに連通する孔が設けられたスタンパと、
超臨界流体に溶解させた有機物質を前記スタンパの前記孔を介して前記キャビティ内に導入する機構とを有することを特徴とする射出成形装置。
A mold for forming a cavity for filling a thermoplastic resin,
A predetermined pattern is formed on a first surface pressed by the thermoplastic resin filled in the cavity, and a predetermined pattern is formed on a first surface pressed by the thermoplastic resin, and the pattern is formed on a second surface opposite to the first surface. A stamper provided with a communicating hole,
A mechanism for introducing an organic substance dissolved in a supercritical fluid into the cavity through the hole of the stamper.
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