JP3880061B2 - Method and apparatus for manufacturing molded article - Google Patents

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本発明は、熱可塑性樹脂(又は溶融樹脂)からなる成形品の表面改質に関する。   The present invention relates to surface modification of a molded product made of a thermoplastic resin (or molten resin).

射出成形により作製されるプラスチック成形品は多々あるが、可塑化溶融される樹脂材料によってその物性は決まる。また、プラスチック成形品は用途によっては、各種の印刷や塗装、導電体や金属膜の形成、成形品同士の接合、その他の後加工が施される場合がある。こうした後加工を施す必要のある場合には、通常、加工性向上のため、プラスチック成形品の表面を活性化させて表面改質することが一般に行われている。   There are many plastic molded products produced by injection molding, but their physical properties are determined by the resin material to be plasticized and melted. In addition, depending on the application, the plastic molded product may be subjected to various types of printing, painting, formation of a conductor or metal film, joining between molded products, and other post-processing. When it is necessary to perform such post-processing, generally, the surface of a plastic molded product is activated to improve the surface in order to improve processability.

一方、プラスチック成形品よりなる電子機器の表面に金属導電膜を形成する手段として、無電解メッキが広く採用されている。プラスチックの無電解メッキ工程は材料等により多少異なるが、一般的には図15に示すフローで行われる。   On the other hand, electroless plating is widely adopted as a means for forming a metal conductive film on the surface of an electronic device made of a plastic molded product. The plastic electroless plating process differs slightly depending on the material and the like, but is generally performed according to the flow shown in FIG.

まず成形品の「脱脂」により表面の油等を取り除き、次に「エッチング」により表面の粗面化を行う。エッチングにはクロム酸溶液やアルカリ金属水酸化物溶液などを用いるが、これらエッチング液は「中和」等の後処理が必要のため、コスト高の要因となっている他、毒性の高いエッチャントを用いることによる取り扱い上の問題がある。次に、界面活性剤水溶液で処理することによる「湿潤化」により濡れ性を改善した後、「キャタリスト(触媒付与)」によりプラスチック表面に触媒を付着させる。「キャタリスト」プロセスでは、例えば、パラジウム触媒の場合、塩化スズと塩化パラジウムの塩酸酸性水溶液にプラスチックを含浸させる。「キャタリスト」の後は、「アクセレーター(触媒活性化)」により硫酸、塩酸などの酸に接触させてメッキ用触媒を活性化させる。以上のプロセスを経た後、はじめて「無電解メッキ」が可能になる。   First, oil on the surface is removed by “degreasing” the molded product, and then the surface is roughened by “etching”. Etching uses a chromic acid solution or an alkali metal hydroxide solution, but these etching solutions require post-treatment such as "neutralization", which is a costly factor and requires a highly toxic etchant. There is a problem in handling due to use. Next, after improving wettability by “wetting” by treating with an aqueous surfactant solution, a catalyst is attached to the plastic surface by “catalyst (catalyst imparting)”. In the “catalyst” process, for example, in the case of a palladium catalyst, the plastic is impregnated with an aqueous hydrochloric acid solution of tin chloride and palladium chloride. After the “catalyst”, an “accelerator (catalyst activation)” is brought into contact with an acid such as sulfuric acid or hydrochloric acid to activate the plating catalyst. Only after the above process, “electroless plating” becomes possible.

エッチングによる粗面化の必要のないプロセスは、従来から幾つか提案されている(例えば、特許文献1及び2)。これらはメッキ触媒の含有する薄膜を有機バインダーや紫外線硬化樹脂によりプラスチック表面に形成するものである。更に、アミン化合物等のガス雰囲気で紫外線レーザーをプラスチック表面に照射し改質する技術も既に提案されている(例えば、特許文献3)。これ以外でもコロナ放電処理、プラズマ処理、紫外線処理等による改質技術は従来から知られている。   Several processes that do not require roughening by etching have been proposed (for example, Patent Documents 1 and 2). In these, a thin film containing a plating catalyst is formed on a plastic surface with an organic binder or an ultraviolet curable resin. Further, a technique for modifying a plastic surface by irradiating an ultraviolet laser in a gas atmosphere such as an amine compound has been proposed (for example, Patent Document 3). Other than this, a modification technique by corona discharge treatment, plasma treatment, ultraviolet treatment or the like is conventionally known.

一方、無電解メッキや電解メッキにより回路基板上に配線を形成する方法としてセミアディティブ法が知られている。このフローを図16に示す。かかる方法は、まず、前記と同様なプロセスで「無電解メッキ」により基板全体に1〜2μmのメッキ層を形成する。次に「感光性フィルムやレジスト」を形成した後、マスキングして「露光及び現像」を行うことで配線パターンが設けられたフィルムやレジストの層を形成する。さらに「電解メッキ」プロセスにより前記パターン化によって露出した無電解メッキ層上に電解メッキを形成する。次にフィルムやレジストを除去した後、ソフトエッチングにより配線部以外の無電解メッキ層を除去することでメッキ配線は完成する。銅メッキの場合、樹脂との密着性が悪いことから「黒化処理」と呼ばれる(酸化)銅に微細突起を作り樹脂とのアンカー作用を強化する後処理も行われることもある。   On the other hand, a semi-additive method is known as a method of forming wiring on a circuit board by electroless plating or electrolytic plating. This flow is shown in FIG. In this method, first, a 1-2 μm plating layer is formed on the entire substrate by “electroless plating” in the same process as described above. Next, after forming a “photosensitive film or resist”, masking and performing “exposure and development” form a film or resist layer provided with a wiring pattern. Further, electrolytic plating is formed on the electroless plating layer exposed by the patterning by an “electrolytic plating” process. Next, after removing the film and the resist, the plated wiring is completed by removing the electroless plating layer other than the wiring portion by soft etching. In the case of copper plating, since the adhesiveness to the resin is poor, a post-treatment called “blackening treatment” is sometimes performed to form fine protrusions on (oxidized) copper and strengthen the anchor action with the resin.

成形品に立体回路を設ける方法も従来から提案されている(例えば、特許文献4及び5)。かかる方法では、まず立体的な回路基板のプラスチックを樹脂成形により形成する。次に、表面を粗面化及び触媒付与した後、全面に無電解メッキを形成し、フォトレジストを全面塗着する。そしてフォトマスクを被せて露光した後に現像し、回路パターン形成部以外を除去する。この上に電解メッキさらにNiやAuの無電解メッキを形成した後、フォトレジストを剥離するとともに無電解メッキの不要部分をエッチング除去する。立体構造体に均一なフォトレジストを形成するのは困難である。特許文献4は、電着レジストを使用することを提案しているが、かかるレジストは耐アルカリ性が低いという欠点を有している。   A method of providing a three-dimensional circuit in a molded product has also been conventionally proposed (for example, Patent Documents 4 and 5). In such a method, a three-dimensional circuit board plastic is first formed by resin molding. Next, after roughening the surface and applying a catalyst, electroless plating is formed on the entire surface, and a photoresist is applied to the entire surface. Then, it is exposed after being covered with a photomask, and then developed to remove portions other than the circuit pattern forming portion. After electrolytic plating and further electroless plating of Ni or Au are formed thereon, the photoresist is peeled off and unnecessary portions of the electroless plating are removed by etching. It is difficult to form a uniform photoresist on the three-dimensional structure. Patent Document 4 proposes to use an electrodeposition resist, but such a resist has a drawback of low alkali resistance.

射出成形を利用した回路形成方法として、次のような方法が開示されている(例えば、特許文献6)。特許文献6によれば、まず、金型表面における回路形成面にRa1〜5μm程度の粗面化した面を設け、射出成形前に触媒核を金型の全面に付着させた後、回路基板を射出成形で形成することで触媒核を全面転写させる。触媒核の密着性の強い粗面化された成形面のみ無電解メッキが強固に密着し、それ以外の粗面化されていない個所は密着性が弱いため、電解メッキ後における回路以外の無電解メッキ層を除去するエッチングの際に核触媒と共に除去することができる。
特開平9−59778号公報 特開2001−303255号公報 特開平6−87964号公報 特開平4−76985号公報 特開平1−206692号公報 特開平6−196840号公報
As a circuit formation method using injection molding, the following method is disclosed (for example, Patent Document 6). According to Patent Document 6, first, a roughened surface of Ra 1 to 5 μm is provided on the circuit forming surface on the mold surface, and after attaching the catalyst core to the entire surface of the mold before injection molding, the circuit board is mounted. The catalyst core is entirely transferred by forming by injection molding. Electroless plating strongly adheres only to the roughened molding surface where the adhesion of the catalyst core is strong, and other parts that are not roughened are weakly adherent. It can be removed together with the nuclear catalyst during the etching to remove the plating layer.
JP-A-9-59778 JP 2001-303255 A JP-A-6-87964 JP-A-4-76985 JP-A-1-206692 JP-A-6-196840

しかし、射出成形の成形加工時において同時に表面改質のできる応用範囲の広い技術は提案されていない。また、従来のプラスチックの無電解メッキプロセスは複雑でコスト高の上、有害物質を多く使わなければならず廃液の処理にも問題があった。   However, a technique with a wide range of application that can simultaneously modify the surface during the molding process of injection molding has not been proposed. Further, the conventional electroless plating process for plastics is complicated and expensive, and a lot of harmful substances must be used, which causes a problem in the treatment of waste liquid.

そこで、本発明は、成形加工時に表面を全体的又は選択的に改質された成形品を製造する方法及び装置を提供することを例示的な目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a molded product whose surface is entirely or selectively modified during molding.

本発明の一側面としての成形品の製造方法は、熱可塑性樹脂から成形品を製造する方法であって、前記成形品を成形するための成形部に、前記熱可塑性樹脂を溶融樹脂として導入する第1の導入工程と、前記成形部に、有機金属錯体が溶解した超臨界流体を導入する第2の導入工程と、前記溶融樹脂を固化し、金属元素を前記成形品の表面に配置させる工程とを有することを特徴とする。   A method for producing a molded product as one aspect of the present invention is a method for producing a molded product from a thermoplastic resin, wherein the thermoplastic resin is introduced as a molten resin into a molded part for molding the molded product. A first introduction step, a second introduction step of introducing a supercritical fluid in which an organometallic complex is dissolved into the molded part, and a step of solidifying the molten resin and disposing a metal element on the surface of the molded product. It is characterized by having.

成形品は、熱可塑性樹脂からなる成形品であって、前記成形品は前記熱可塑性樹脂とは異なる有機物質、又は金属元素を内部に含み、前記有機物質または金属元素は、前記成形品の表面近傍から表面に配置(即ち、偏析、局所的に存在)してもよい。かかる成形品は、有機物質等を内部及び表面に含有するので、リソグラフィなどで形成するよりも表面から剥がれにくいなど、安定性が高い。有機物質等は前記表面の全面に形成されても特定の位置に形成されてもよい。「表面近傍」の範囲は、表面改質の目的及び使用する材料により適宜選択することができるが、好ましくは、表面から100μm以下、更に好ましくは、表面から10μm以下の範囲をいう。また、表面改質の目的及び使用する材料によっては表面からナノスケール厚みの改質も可能である。前記成形品は、前記金属元素を核として形成されたメッキ層を更に有してもよい。前記メッキ層は、電気配線パターンを形成してもよい。前記成形品は、前記熱可塑性樹脂の内部に発泡体を更に有してもよい。   The molded article is a molded article made of a thermoplastic resin, and the molded article contains an organic substance or a metal element different from the thermoplastic resin, and the organic substance or the metal element is a surface of the molded article. You may arrange | position to the surface from the vicinity (namely, segregation, existing locally). Since such a molded article contains an organic substance or the like inside and on the surface, the molded article has high stability such as being less likely to be peeled off from the surface than formed by lithography or the like. The organic substance or the like may be formed on the entire surface or at a specific position. The range of “near the surface” can be appropriately selected depending on the purpose of the surface modification and the material to be used, but preferably refers to a range of 100 μm or less from the surface, more preferably 10 μm or less from the surface. In addition, depending on the purpose of surface modification and the material used, the nanoscale thickness can be modified from the surface. The molded article may further include a plating layer formed using the metal element as a nucleus. The plating layer may form an electric wiring pattern. The molded article may further have a foam inside the thermoplastic resin.

例えば、前記有機物質は有機金属錯体である。また、金属元素は、金属粒子又は金属微粒子であってもよい。更に、前記金属元素は、前記有機金属錯体の一部又は全部の配位子が外れることにより生成した金属元素であってよい。有機金属錯体又は金属元素を樹脂表面に全体的又は選択的に配置させることで、全体的又は局所的に導電性を付与したり、磁性を高めたりすることができる。樹脂を用いて、例えば、簡単にバイオチップの封止を行うことができる。つまり、流体の流路となる微細な凹凸を有したプラスチックをガラス基板等と貼り合わせ、該ガラス基板裏面から磁力を発生させることによって、ガラス基板と該プラスチックを簡便に封止することが可能となる。また、金属元素を全体的又は部分的に表面に偏析させることで、その部分の機械的特性が異なる成形品を作ることも可能である。金属元素を偏析させた部分は、他の部分と比較して耐摺動性、硬度等が向上する。更に、磁性を有する金属を用いて、磁気回路パターンを形成することもできる。金属錯体として、希土類錯体などの蛍光物質を使用すれば、蛍光パターンを表面に有する成形品も成形することができる。これは、表示素子としての応用が考えられる。   For example, the organic substance is an organometallic complex. The metal element may be metal particles or metal fine particles. Furthermore, the metal element may be a metal element generated by removing some or all of the ligands of the organometallic complex. By arranging the organometallic complex or the metal element entirely or selectively on the resin surface, conductivity can be imparted or the magnetism can be enhanced entirely or locally. For example, a biochip can be easily sealed using a resin. In other words, it is possible to easily seal the glass substrate and the plastic by laminating a plastic having fine irregularities to be a fluid flow path with a glass substrate and generating a magnetic force from the back surface of the glass substrate. Become. Moreover, it is also possible to make a molded article having different mechanical properties by segregating the metal element entirely or partially on the surface. The part where the metal element is segregated has improved sliding resistance, hardness and the like compared to other parts. Further, a magnetic circuit pattern can be formed using a metal having magnetism. If a fluorescent material such as a rare earth complex is used as the metal complex, a molded product having a fluorescent pattern on the surface can also be molded. This can be applied as a display element.

金属錯体の種類は任意であるが、Pd錯体、Ni錯体、Co錯体、Pt錯体等が望ましい。より具体的には、白金ジメチル(シクロオクタジエン)、ビス(シクロペンタジエニル)ニッケル、ビス(アセチルアセトネート)パラジウム等が望ましい。前記金属元素を核として形成された無電解メッキ層を更に有してもよい。これにより、簡単にメッキ層を選択位置に形成することができる。前記メッキ層は、例えば、電気配線パターンを構成する。つまり、本発明の成形体は電気配線基板として用いることができる。また、前記プラスチック成形品は、発泡セルを更に有してもよい。これにより、プラスチック成形品を軽量にし、断熱効果を高め、かつ、剛性対重量比の高めることができる。   Although the kind of metal complex is arbitrary, Pd complex, Ni complex, Co complex, Pt complex, etc. are desirable. More specifically, platinum dimethyl (cyclooctadiene), bis (cyclopentadienyl) nickel, bis (acetylacetonate) palladium and the like are desirable. You may further have an electroless-plating layer formed using the said metal element as a nucleus. Thereby, a plating layer can be easily formed in a selection position. The plating layer constitutes an electric wiring pattern, for example. That is, the molded body of the present invention can be used as an electric wiring board. The plastic molded product may further include a foam cell. Thereby, a plastic molded product can be reduced in weight, the heat insulation effect can be improved, and the rigidity to weight ratio can be increased.

もちろん、有機物質は有機金属錯体に限定されない。有機物質にポリプロピレングリコールを用いることでポリエチレンテレフタレート等の疎水性プラスチック表面を選択式に親水化することができる。また同様にフッソ化合物を用いることで選択的な撥水処理や屈折率の低減を図ることができる。   Of course, the organic substance is not limited to the organometallic complex. By using polypropylene glycol as the organic material, the surface of a hydrophobic plastic such as polyethylene terephthalate can be selectively hydrophilized. Similarly, a selective water repellent treatment and a reduction in refractive index can be achieved by using a fluorine compound.

本発明の別の側面としての製造方法は、熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造する方法であって、金型内に前記熱可塑性樹脂と、超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解させた物質を注入する工程を有し、前記成形品の表面を改質することを特徴とする。かかる製造方法は、超臨界流体を使用して物質を熱可塑性樹脂の表面及び内部に浸透させることができるので、上述のように、エッチングなどで表面に形成するよりも物質の安定性に優れた成形品を製造することができる。   A manufacturing method according to another aspect of the present invention is a method of manufacturing a molded article by injection molding a thermoplastic resin, wherein the thermoplastic resin, the supercritical fluid, and the supercritical fluid are placed in a mold. And a step of injecting a dissolved substance, wherein the surface of the molded article is modified. Such a manufacturing method can infiltrate the material into the surface and the inside of the thermoplastic resin using a supercritical fluid, and as described above, the material has better stability than that formed on the surface by etching or the like. Molded articles can be manufactured.

使用可能な超臨界流体は、空気、CO、ブタン、ペンタン、メタノール等任意であるが、n−ヘキサン並の溶解度を有し、ある種の熱可塑性樹脂材料へ可塑剤として働き、射出成形や押し出し成形で実績の多いCOが望ましい。また、超臨界流体に溶解させる物質は特に制限されるものではないが、例えば、金属錯体(白金ジメチル(シクロオクタジエン)、ビス(シクロペンタジエニル)ニッケル、ビス(アセチルアセトネート)パラジウム)、ポリプロピレングリコール等が挙げられる。特に金属錯体を用いることでプラスチックの無電解メッキ密着性を選択的に向上させることができる。 The supercritical fluid that can be used is arbitrary, such as air, CO 2 , butane, pentane, methanol, etc., but has the same solubility as n-hexane and acts as a plasticizer for certain thermoplastic resin materials. CO 2, which has a proven track record in extrusion molding, is desirable. The substance to be dissolved in the supercritical fluid is not particularly limited. For example, a metal complex (platinum dimethyl (cyclooctadiene), bis (cyclopentadienyl) nickel, bis (acetylacetonate) palladium), Examples thereof include polypropylene glycol. In particular, the adhesion of electroless plating of plastic can be selectively improved by using a metal complex.

また、熱可塑性樹脂は、特に制限されるものではなく、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルイミド、ポリメチルペンテン、非晶質ポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレン、液晶ポリマー、スチレン系樹脂、ポリメチルペンテン、ポリアセタール等やそれらを複合種混合したもの、これらを主成分とするポリマーアロイやこれらに各種の充填剤を配合したものを用いることができる。   Further, the thermoplastic resin is not particularly limited, and polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyetherimide, polymethylpentene, amorphous polyolefin, polytetrafluoroethylene, liquid crystal polymer, styrene resin, polymethylpentene, Polyacetal and the like, those obtained by mixing them together, polymer alloys containing these as main components, and those obtained by blending various fillers with these can be used.

前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を、射出充填時における前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロントに導入する工程を含んでもよい。かかる方法によれば、金型内における流動樹脂のファウンテンフロー現象(噴水効果)により、フローフロント部の熱可塑性樹脂は金型表面に引っ張られながら表面層を形成していくので、超臨界流体に溶解し、樹脂内のフローフロントに浸透した物質が金型に接する表面近傍の層に配置する。超臨界流体にある程度の溶解性を有する物質であれば成形品の表面のみに均一に分散配置することができる。よって様々なプラスチック表面の改質技術への応用が期待できる。超臨界流体としてCOを使用すれば上述のように可塑剤として働くので、熱可塑性樹脂の流動性を向上させることや金型に接する表面での固化層の成長抑制も可能となる。前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を前記熱可塑性樹脂の充填開始部分に含ませてもよい。 The injection step may include a step of introducing the supercritical fluid and the substance into a flow front as a flow front portion of the thermoplastic resin during injection filling. According to such a method, due to the fountain flow phenomenon (fountain effect) of the fluid resin in the mold, the thermoplastic resin in the flow front part forms a surface layer while being pulled on the mold surface. A substance dissolved and permeating into the flow front in the resin is placed in a layer near the surface in contact with the mold. Any substance having a certain degree of solubility in the supercritical fluid can be uniformly distributed only on the surface of the molded product. Therefore, application to various plastic surface modification technologies can be expected. If CO 2 is used as the supercritical fluid, it functions as a plasticizer as described above, so that it is possible to improve the fluidity of the thermoplastic resin and to suppress the growth of the solidified layer on the surface in contact with the mold. In the injection step, the supercritical fluid and the substance may be included in a filling start portion of the thermoplastic resin.

前記注入工程は、前記超臨界流体及び前記物質を、射出充填時の前記金型内に、射出された熱可塑性樹脂の流動方向とは反対に圧力を印加するカウンタープレッシャーとして導入してもよい。カウンタープレッシャーにより、成形品表面近傍に溶解物質を配置することができる。カウンタープレッシャーは発泡剤として超臨界流体のCOやNガスを熱可塑性樹脂内に混練した場合、射出時において熱可塑性樹脂の内圧が金型内で急減圧し、発泡セル径が拡大することや、表面にスワルマークと呼ばれる模様が形成され表面性が悪化することを抑制できる。それと同時に、上述のようにファウンテンフロー現象により表面のみに超臨界流体と溶解物質を配置させることができる。 In the injection step, the supercritical fluid and the substance may be introduced into the mold at the time of injection filling as counter pressure for applying a pressure opposite to the flow direction of the injected thermoplastic resin. The dissolved substance can be arranged near the surface of the molded article by the counter pressure. The counter pressure is that when the supercritical fluid CO 2 or N 2 gas is kneaded in the thermoplastic resin as a foaming agent, the internal pressure of the thermoplastic resin is suddenly reduced in the mold at the time of injection, and the foam cell diameter is expanded. In addition, it is possible to prevent the surface property from being deteriorated due to the formation of a pattern called a swirl mark on the surface. At the same time, as described above, the supercritical fluid and the dissolved substance can be arranged only on the surface by the fountain flow phenomenon.

前記注入工程は、前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロント以外には前記物質が溶解しない前記超臨界流体を前記熱可塑性樹脂に導入する工程と、前記超臨界流体を利用して前記金型内に注入された前記熱可塑性樹脂の内部に発泡体を形成する工程とを有してもよい。かかる方法によれば、樹脂表面の改質を行うと同時に内部は微細発泡セルを形成することにより材料の低誘電化を図ることも可能となる。高周波電気回路用基板やMID(Mold Interconnect Device)、ミリ波アンテナ等の平面アンテナに好適である。   The injection step includes a step of introducing the supercritical fluid into which the substance does not dissolve other than a flow front as a flow front portion of the thermoplastic resin into the thermoplastic resin, and the gold using the supercritical fluid. And forming a foam inside the thermoplastic resin injected into the mold. According to such a method, it is possible to reduce the dielectric of the material by modifying the resin surface and at the same time forming fine foam cells inside. It is suitable for a high-frequency electric circuit board, a MID (Mold Interconnect Device), a planar antenna such as a millimeter wave antenna.

前記注入工程は、前記金型内に前記熱可塑性樹脂を充填する工程と、前記金型内の特定の位置に前記超臨界流体及び前記物質を導入する工程とを有してもよい。特定の位置近傍で前記物質を前記樹脂の表面及びその近傍に分散させることにより、樹脂成形品の表面を局所的に改質することができる。前記金型の圧力及び/又は温度を調節することによって前記特定の位置において前記物質を前記熱可塑性樹脂に配置する工程を更に有してもよい。これにより、凹凸のない成形品表面の部分的な表面改質が可能となる。   The injection step may include a step of filling the mold with the thermoplastic resin and a step of introducing the supercritical fluid and the substance into a specific position in the mold. By dispersing the substance in the vicinity of a specific position on the surface of the resin and in the vicinity thereof, the surface of the resin molded product can be locally modified. You may further have the process of arrange | positioning the said substance in the said thermoplastic resin in the said specific position by adjusting the pressure and / or temperature of the said metal mold | die. Thereby, partial surface modification | reformation of the molded article surface without an unevenness | corrugation is attained.

前記物質は、例えば、有機物質又は金属元素である。前記有機物質は有機金属錯体、前記金属元素は、前記有機金属錯体の配位子を除いた金属粒子である。金属錯体は超臨界流体にある程度溶解するので表面性を悪化させることなく成形品の表面に配置することが可能である。また、金属錯体の有機部分を外し金属の元素を析出させることにより無電解メッキの触媒核と働かせることができるので前処理なしで樹脂表面のメッキ密着性が向上する。   The substance is, for example, an organic substance or a metal element. The organic substance is an organometallic complex, and the metal element is a metal particle excluding the ligand of the organometallic complex. Since the metal complex is dissolved to some extent in the supercritical fluid, it can be arranged on the surface of the molded article without deteriorating the surface property. Further, by removing the organic part of the metal complex and precipitating the metal element, it can work with the catalyst core of electroless plating, so that the plating adhesion on the resin surface is improved without pretreatment.

前記物質は、有機金属錯体の配位子を除いた金属元素であってもよく、前記方法は、無電解メッキにより、前記金属元素が析出した部位にメッキ層からなるパターンを形成する工程を更に有してもよい。無電解メッキにより、金属導電膜を簡単に形成することができる。前記パターンは凹凸を含み、前記形成工程後に前記パターンの凸部を除去する工程を更に有してもよい。また、前記部位は凹凸を含み、前記形成工程前に前記部位の凸部を除去する工程を更に有してもよい。いずれの方法によっても、所望のパターンを形成することができる。   The substance may be a metal element excluding a ligand of an organometallic complex, and the method further includes a step of forming a pattern including a plating layer on a portion where the metal element is deposited by electroless plating. You may have. A metal conductive film can be easily formed by electroless plating. The pattern may include unevenness, and may further include a step of removing the convex portion of the pattern after the forming step. Moreover, the said site | part contains an unevenness | corrugation, You may further have the process of removing the convex part of the said site | part before the said formation process. Any method can form a desired pattern.

前記方法は、前記注入工程後に、前記熱可塑性樹脂を圧縮する工程と、当該圧縮工程後に、前記金型のキャビティの容積を増大させて前記熱可塑性樹脂を発泡させる工程とを更に有してもよい。かかる方法によれば、プラスチック表面の選択的改質を行うと同時に内部は微細発泡セルを形成することにより材料の低誘電化を図ることも可能となる。高周波電気回路用基板やMID(Mold Interconnect Device)、ミリ波アンテナ等の平面アンテナに好適である。   The method further includes a step of compressing the thermoplastic resin after the injection step, and a step of foaming the thermoplastic resin by increasing a volume of the cavity of the mold after the compression step. Good. According to such a method, it is possible to reduce the dielectric material by selectively modifying the plastic surface and at the same time forming fine foam cells inside. It is suitable for a high-frequency electric circuit board, a MID (Mold Interconnect Device), a planar antenna such as a millimeter wave antenna.

前記注入工程は、前記充填された前記熱可塑性樹脂に押圧され、前記熱可塑性樹脂に押圧される第1の面に所定のパターンが形成され、前記第1の面に対向する第2の面に前記パターンに連通する孔が前記特定の位置に設けられたスタンパを利用してもよい。パターンをスタンパ化することで配線回路を容易に変更可能となる。また、特定の位置にパターンを形成することによって、所望の回路パターンを形成することができる。   In the injection step, the filled thermoplastic resin is pressed, a predetermined pattern is formed on the first surface pressed by the thermoplastic resin, and the second surface is opposed to the first surface. A stamper in which a hole communicating with the pattern is provided at the specific position may be used. By making the pattern a stamper, the wiring circuit can be easily changed. Moreover, a desired circuit pattern can be formed by forming a pattern at a specific position.

金型は、熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造するのに使用される金型であって、前記金型内に、超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解した物質をカウンタープレッシャーとして導入する機構を有してもよい。かかる金型は、超臨界流体及び物質をカウンタープレッシャーとして使用するので上述の方法と同様の作用を奏する。   The mold is a mold used for producing a molded product by injection molding of a thermoplastic resin, and a counter pressure is applied to the supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid in the mold. You may have a mechanism to introduce as. Since such a mold uses a supercritical fluid and a substance as counter pressure, the same effect as the above-described method is achieved.

また、金型は、熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造するのに使用される金型であって、前記金型のキャビティ形成表面には特定位置に凹部又は凸部が形成され、前記凹部又は凸部には、外部から超臨界流体及び当該超臨界流体に溶解させた物質を注入するための導入路が接続されていてもよい。凹型又は凸型により、物質の局所的付着を高めることができる。   The mold is a mold used for producing a molded product by injection molding of a thermoplastic resin, and a concave or convex portion is formed at a specific position on the cavity forming surface of the mold. In addition, an introduction path for injecting a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid from the outside may be connected to the concave portion or the convex portion. The concave or convex shape can enhance the local adhesion of the substance.

また、射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するためのキャビティを形成する金型と、前記熱可塑性樹脂を前記金型の前記キャビティ内に導入するための可塑化シリンダーと、前記可塑化シリンダーに超臨界流体と当該超臨界流体に溶解した物質を導入して前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロントに前記超臨界流体と前記物質を含ませる機構とを有してもよい。かかる射出成形装置は、超臨界流体及び物質を樹脂のフローフロントに含ませるので上述の方法と同様の作用を奏する。   The injection molding apparatus includes a mold that forms a cavity for filling a thermoplastic resin, a plasticizing cylinder that introduces the thermoplastic resin into the cavity of the mold, and a plastic cylinder. The supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid may be introduced, and a flow front serving as a flow front portion of the thermoplastic resin may include the supercritical fluid and the substance. Such an injection molding apparatus includes the supercritical fluid and the substance in the resin flow front, and thus has the same effect as the above-described method.

また、射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するためのキャビティを形成する金型と、前記熱可塑性樹脂を前記金型の前記キャビティ内に導入するための可塑化シリンダーと、前記可塑化シリンダー内の前記熱可塑性樹脂の流動先端部としてのフローフロント以外の部位に超臨界流体を導入する機構とを有してもよい。かかる射出成形装置は、超臨界流体を樹脂のフローフロント以外の部位に含ませて内部発泡体などの効果を得ることができるので上述の方法と同様の作用を奏する。   The injection molding apparatus includes a mold for forming a cavity for filling a thermoplastic resin, a plasticizing cylinder for introducing the thermoplastic resin into the cavity of the mold, and an inside of the plasticizing cylinder. And a mechanism for introducing a supercritical fluid into a portion other than the flow front as the flow front portion of the thermoplastic resin. Such an injection molding apparatus has the same effect as the above-described method because the supercritical fluid can be contained in a portion other than the flow front of the resin to obtain the effect of the internal foam.

また、射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するためのキャビティを形成する金型と、超臨界流体と当該超臨界流体に溶解した物質をカウンタープレッシャーとして前記金型内に導入する機構とを有してもよい。かかる射出成形装置は、超臨界流体及び物質をカウンタープレッシャーとして使用するので上述の方法と同様の作用を奏する。   The injection molding apparatus also has a mold for forming a cavity for filling a thermoplastic resin, and a mechanism for introducing a supercritical fluid and a substance dissolved in the supercritical fluid into the mold as a counter pressure. May be. Since such an injection molding apparatus uses a supercritical fluid and a substance as a counter pressure, the same operation as the above-described method is achieved.

また、射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するキャビティを形成し、当該キャビティの特定の位置に連通する導入路を有する金型と、超臨界流体と当該超臨界流体に溶解させた物質を前記導入路を介して前記キャビティ内に導入する機構を有してもよい。かかる射出成形装置は、特定の位置近傍で前記物質を前記樹脂の表面及びその近傍に分散させることにより、樹脂成形品の表面を局所的に改質することができる。   The injection molding device forms a cavity filled with a thermoplastic resin, has a mold having an introduction path communicating with a specific position of the cavity, a supercritical fluid, and a substance dissolved in the supercritical fluid. You may have a mechanism introduced into the said cavity via an introduction path. Such an injection molding apparatus can locally modify the surface of a resin molded product by dispersing the substance in the vicinity of a specific position on the surface of the resin and in the vicinity thereof.

また、射出成形装置は、熱可塑性樹脂を充填するキャビティを形成する金型と、前記キャビティに充填された前記熱可塑性樹脂に押圧され、前記熱可塑性樹脂に押圧される第1の面に所定のパターンが形成され、前記第1の面に対向する第2の面の特定の位置に、前記第1の面の前記パターンに連通する孔が設けられたスタンパと、超臨界流体に溶解させた有機物質を前記スタンパの前記孔を介して前記キャビティ内に導入する機構とを有してもよい。パターンをスタンパ化することで配線回路を容易に変更可能となる。また、特定の位置にパターンを形成することによって、所望の回路パターンを形成することができる。   Further, the injection molding apparatus has a predetermined surface on a mold that forms a cavity filled with a thermoplastic resin and a first surface that is pressed by the thermoplastic resin filled in the cavity and pressed by the thermoplastic resin. A stamper in which a pattern is formed and a hole communicating with the pattern on the first surface is provided at a specific position on the second surface facing the first surface, and an organic dissolved in a supercritical fluid A mechanism for introducing a substance into the cavity through the hole of the stamper. By making the pattern a stamper, the wiring circuit can be easily changed. Moreover, a desired circuit pattern can be formed by forming a pattern at a specific position.

本発明の他の目的及び更なる特徴は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態により明らかにされるであろう。   Other objects and further features of the present invention will be made clear by embodiments described below with reference to the accompanying drawings.

本発明によれば、成形加工時に表面を全体的又は選択的に改質された成形品を製造する方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a method for producing a molded product whose surface is entirely or selectively modified during molding.

本発明の一実施形態としてのプラスチックの無電解メッキ配線のフローを図2に示す。本実施形態の無電解メッキ法によれば、まず、成形品の表面を射出成形によって全体的又は選択的に改質する(ステップ1100)。   FIG. 2 shows a flow of plastic electroless plating wiring as one embodiment of the present invention. According to the electroless plating method of the present embodiment, first, the surface of the molded product is entirely or selectively modified by injection molding (step 1100).

ある実施形態では、金型内に溶融樹脂と超臨界流体及びそれに溶解した物質(有機物質又は金属元素、ここでは、有機金属錯体)を、流動先端部としてのフローフロントとして、充填すると共にカウンタープレッシャーとして超臨界流体及び前記物質を導入する。ここでカウンタープレッシャーとは、金型内で、射出された溶融樹脂の流動方向とは反対に、圧力を印加したガスのことである。   In an embodiment, a molten resin, a supercritical fluid, and a substance dissolved therein (organic substance or metal element, here, an organometallic complex) are filled in a mold as a flow front as a flow front and counter pressure is filled. And introducing the supercritical fluid and the substance. Here, the counter pressure is a gas to which pressure is applied in the mold in the opposite direction to the flow direction of the injected molten resin.

金型内における流動樹脂のファウンテンフロー現象(噴水効果)により、フローフロント部の溶融樹脂は金型表面に引っ張られながら表面層を形成していくので、超臨界流体に溶解し樹脂内のフローフロントに浸透した物質が金型に接する表面近傍の層に配置する。超臨界流体にある程度の溶解性を有する物質であれば成形品の表面のみに均一に分散配置することができる。よって様々なプラスチック表面の改質技術への応用が期待できる。   Due to the fountain flow phenomenon (fountain effect) of the flowable resin in the mold, the molten resin in the flow front part forms a surface layer while being pulled to the mold surface, so it dissolves in the supercritical fluid and flows into the resin in the flow front. The substance that has penetrated into the mold is disposed in a layer near the surface in contact with the mold. Any substance having a certain degree of solubility in the supercritical fluid can be uniformly distributed only on the surface of the molded product. Therefore, application to various plastic surface modification technologies can be expected.

熱可塑性樹脂は特に制限されるものではなく、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテルイミド、ポリメチルペンテン、非晶質ポリオレフィン、ポリテトラフルオロエチレン、液晶ポリマー、スチレン系樹脂、ポリメチルペンテン、ポリアセタール等やそれらを複合種混合したもの、これらを主成分とするポリマーアロイやこれらに各種の充填剤を配合したものを用いることができる。   The thermoplastic resin is not particularly limited, and polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyetherimide, polymethylpentene, amorphous polyolefin, polytetrafluoroethylene, liquid crystal polymer, styrenic resin, polymethylpentene, polyacetal, etc. It is possible to use a mixture of them in combination, a polymer alloy containing these as a main component, or a mixture of these with various fillers.

使用可能な超臨界流体は、空気、CO、ブタン、ペンタン、メタノール等任意であるが、n−ヘキサン並の溶解度を有し、ある種の熱可塑性樹脂材料へ可塑剤として働き、射出成形や押し出し成形で実績の多いCOが望ましい。 The supercritical fluid that can be used is arbitrary, such as air, CO 2 , butane, pentane, methanol, etc., but has the same solubility as n-hexane and acts as a plasticizer for certain thermoplastic resin materials. CO 2, which has a proven track record in extrusion molding, is desirable.

次に、プラスチック成形品の凸部に配置した有機金属錯体の配位子を加熱や還元反応で除去し、金属微粒子を析出させる(ステップ1200)。その後、無電解メッキを行い(ステップ1300)、凸部にのみ無電解メッキを形成する。   Next, the ligand of the organometallic complex arranged on the convex portion of the plastic molded product is removed by heating or a reduction reaction, thereby depositing metal fine particles (step 1200). Thereafter, electroless plating is performed (step 1300), and electroless plating is formed only on the convex portions.

本実施形態の無電解メッキ配線においては、射出成形後、金属錯体の有機部分と金属部分の結合を切断するため、還元反応や加熱による後処理が必要な場合もある。しかし、ある種の金属錯体は高温な溶融樹脂と接触する間に樹脂の熱により該結合が切断され数nm〜数十μmの金属微粒子が自動的に析出するので後処理も不要となる。金属錯体の種類は任意であるが、Pd錯体、Ni錯体、Co錯体、Pt錯体等が望ましい。より具体的には白金ジメチル(シクロオクタジエン)、ビス(シクロペンタジエニル)ニッケル、ビス(アセチルアセトネート)パラジウム等が望ましい。還元反応不要という観点からは、Pd錯体、Pt錯体が望ましい。射出成形品表面に金属微粒子を析出させた後は、無電解メッキ(ステップ1300)は、公知のいかなる技術をも使用することができるので、ここでは詳しい説明は省略する。無電解メッキ層を利用して、例えば、電気配線パターンを構成することができる。   In the electroless plated wiring of the present embodiment, after the injection molding, since the bond between the organic part and the metal part of the metal complex is cut, a post-treatment by a reduction reaction or heating may be necessary. However, certain metal complexes break the bond by the heat of the resin while in contact with a high-temperature molten resin, and metal fine particles of several nm to several tens of μm are automatically deposited, so that no post-treatment is required. Although the kind of metal complex is arbitrary, Pd complex, Ni complex, Co complex, Pt complex, etc. are desirable. More specifically, platinum dimethyl (cyclooctadiene), bis (cyclopentadienyl) nickel, bis (acetylacetonate) palladium and the like are desirable. From the viewpoint that a reduction reaction is unnecessary, a Pd complex and a Pt complex are desirable. After the metal fine particles are deposited on the surface of the injection-molded product, any known technique can be used for the electroless plating (step 1300), so a detailed description is omitted here. For example, an electric wiring pattern can be configured using the electroless plating layer.

本実施形態においては、射出成形におけるプラスチック表面の改質技術を応用して、無電解メッキによる微細配線を安価にそしてクリーンに形成できるが、そのフローを図3に示した。本発明においては、上記射出成形方法を応用すると共に成形品表面に配線を形成する凹凸を転写し、該凹凸を利用してメッキ配線を形成することを特徴とするが、例えば、図3のフローに示すように2種類の方法が提供できる。これら2種類の方法を、図8、図9を用いて更に説明する。   In the present embodiment, fine wiring by electroless plating can be formed inexpensively and cleanly by applying a plastic surface modification technique in injection molding. The flow is shown in FIG. In the present invention, the above-described injection molding method is applied and the unevenness forming the wiring is transferred to the surface of the molded product, and the plated wiring is formed using the unevenness. For example, the flow of FIG. Two types of methods can be provided as shown in FIG. These two types of methods will be further described with reference to FIGS.

図8に本発明におけるメッキ配線方法の一例の概念図を示す。該方法によれば成形品136の全面に触媒核として働く金属微粒子104を図8(a)のように析出させた後、成形品表面に図8(b)のように無電解メッキ138を積層し、次に図8(c)に示す通り凸部の無電解メッキ部分を研磨等で除去することで凹部にのみ無電解メッキが残る配線パターンが形成可能となる。本発明におけるパターン凸部の除去方法は任意であるが、研磨やラップ等により除去することができる。   FIG. 8 shows a conceptual diagram of an example of the plated wiring method in the present invention. According to this method, after the metal fine particles 104 acting as catalyst nuclei are deposited on the entire surface of the molded product 136 as shown in FIG. 8A, the electroless plating 138 is laminated on the surface of the molded product as shown in FIG. 8B. Then, as shown in FIG. 8C, by removing the electroless plating portion of the convex portion by polishing or the like, a wiring pattern in which the electroless plating remains only in the concave portion can be formed. The method for removing the pattern protrusions in the present invention is arbitrary, but it can be removed by polishing, lapping, or the like.

図9に本発明におけるメッキ配線方法の別の例の概念図を示す。まず、上記射出成形方法により表面近傍に金属錯体もしくは金属微粒子を配置させると共に金型もしくはスタンパ表面の凹凸を転写させた成形品を作製した後、場合によっては熱処理や還元反応により金属錯体の有機物を完全に外す。さらに、該成形品表面の凸部を除去した後、図9(b)に示すように凹部にのみメッキの触媒核として働く金属微粒子104が配置した状態になるので、成形品136全体に無電解メッキを施すことで図9(c)に示す通り無電解メッキ138が選択的に積層される。これら、図8及び図9に示す方法により、プラスチック表面に無電解メッキによる微細配線を安価に形成する目的を達成することができる。   FIG. 9 shows a conceptual diagram of another example of the plated wiring method according to the present invention. First, after the metal complex or metal fine particles are arranged in the vicinity of the surface by the above injection molding method and a molded product in which the unevenness of the mold or stamper surface is transferred is produced, in some cases, an organic substance of the metal complex is removed by heat treatment or reduction reaction Remove completely. Furthermore, after removing the convex portions on the surface of the molded product, the metal fine particles 104 acting as the catalyst nuclei for plating are disposed only in the concave portions as shown in FIG. By plating, the electroless plating 138 is selectively laminated as shown in FIG. By the methods shown in FIGS. 8 and 9, the object of forming fine wiring by electroless plating on the plastic surface at low cost can be achieved.

ステップ1100は、別の実施形態では、金型内に溶融樹脂を充填した後で金型の凹部内に超臨界流体及び物質を溶解する。超臨界流体に接触した樹脂の粘性は低下し、樹脂表面より超臨界流体に溶解した有機物が浸透する。   Step 1100, in another embodiment, dissolves the supercritical fluid and material in the mold recess after filling the mold with molten resin. The viscosity of the resin in contact with the supercritical fluid decreases, and organic matter dissolved in the supercritical fluid penetrates from the resin surface.

その後、保圧や型締め圧等によって樹脂内圧を上昇させることで凹部内に樹脂が行き渡り、成形体表面に有機物が配置した凸部が形成される。かかる方法によれば超臨界流体にある程度の溶解性を有する有機物質であれば成形品表面の凸部のみに均一に分散配置させることができる。よって様々なプラスチック表面の改質技術への応用が期待できる。超臨界流体にCOを用いれば上述のように可塑剤として働くので、凹凸のピッチがサブミクロンオーダーと微細であっても容易に微細転写が可能となる。 Thereafter, the resin internal pressure is increased by holding pressure, clamping pressure, or the like, so that the resin spreads in the concave portions, and convex portions where organic substances are arranged are formed on the surface of the molded body. According to such a method, an organic substance having a certain degree of solubility in the supercritical fluid can be uniformly distributed only on the convex portion of the surface of the molded product. Therefore, application to various plastic surface modification technologies can be expected. If CO 2 is used as the supercritical fluid, it functions as a plasticizer as described above, so that fine transfer can be easily performed even if the pitch of the unevenness is as fine as a submicron order.

超臨界流体及びそれに溶解させた有機金属錯体を注入した後で、溶融樹脂表面より金属錯体もしくは金属錯体の配位子の外れた金属微粒子の少なくともどちらか一方を該金型凹部より浸透させる。これにより、金型内の凹部に充填された個所、つまりプラスチック成形品の凸部のみに金属錯体もしくは金属微粒子が選択的に配置する。本方法によれば金型表面を粗面化する必要もなく、微細な領域に選択的に金属錯体等を配置させることができる。   After injecting the supercritical fluid and the organometallic complex dissolved in the supercritical fluid, at least one of the metal complex or the metal fine particles with the ligand of the metal complex removed from the molten resin surface is infiltrated through the mold recess. As a result, the metal complex or the metal fine particles are selectively disposed only in the portions filled in the concave portions in the mold, that is, only the convex portions of the plastic molded product. According to this method, it is not necessary to roughen the mold surface, and a metal complex or the like can be selectively disposed in a fine region.

樹脂が極性基を持たず強固な無電解メッキ層の形成が困難な材料であっても触媒核となる金属微粒子を材料内に容易に埋め込むことができるので、任意の選択個所のみに密着性に優れた高品質な無電解メッキ膜を形成することができる。本実施形態の無電解メッキの配線プロセスは従来法と比べ無害で前処理工程が著しく少なくて済む。   Even if the resin does not have a polar group and it is difficult to form a strong electroless plating layer, it is possible to easily embed metal fine particles as a catalyst core into the material, so that adhesion can be made only at any selected location. An excellent high-quality electroless plating film can be formed. The electroless plating wiring process of this embodiment is harmless compared to the conventional method and requires significantly fewer pretreatment steps.

なお、本発明は、このように無電解メッキ法に限定されるものではない。即ち、本発明は射出成形法(ステップ1100)のみでも十分に有益な成形品を製造することができる。例えば、金属微粒子をプラスチック表面に全体的又は選択式に配置させることで、全体的又は局所的に導電性を付与したり、磁力との密着性を高めたりすることができる。かかるプラスチックを用いて、例えば、簡単にバイオチップの封止を行うことができる。つまり、流体の流路となる微細な凹凸を有したプラスチックをガラス基板等と貼り合わせ該ガラス基板裏面から磁力を発生させることでガラス基板と該プラスチックを簡便に封止することが可能となる。   The present invention is not limited to the electroless plating method as described above. That is, the present invention can produce a sufficiently useful molded article only by the injection molding method (step 1100). For example, by arranging the metal fine particles on the plastic surface entirely or selectively, conductivity can be imparted entirely or locally, and adhesion with magnetic force can be enhanced. Using such a plastic, for example, the biochip can be easily sealed. That is, it is possible to easily seal the glass substrate and the plastic by bonding a plastic having fine unevenness to be a fluid flow path to a glass substrate or the like and generating a magnetic force from the back surface of the glass substrate.

もちろん、本発明が射出成形法(ステップ1100)において使用する有機物質は有機金属錯体に限定されない。例えば、有機物質にポリプロピレングリコールを用いることでポリエチレンテレフタレート等の疎水性プラスチック表面を選択式に親水化することができる。プラスチックで作製されたバイオッチップにおける流路表面を全体的に又は局所的な個所で親水化もしくは撥水化することによりチップ内における混合流体の層流状態をより高効率化することや、タンパク質を該個所にトラップすることにより分析等を行うことが可能となる。同様にフッソ化合物を用いることで全体的又は選択的な撥水処理や屈折率の低減を図ることができる。   Of course, the organic substance used in the injection molding method (step 1100) is not limited to the organometallic complex. For example, the surface of a hydrophobic plastic such as polyethylene terephthalate can be selectively hydrophilized by using polypropylene glycol as the organic substance. By making the flow channel surface of a biochip made of plastics hydrophilic or water-repellent as a whole or locally, the laminar flow state of the mixed fluid in the chip can be made more efficient, and the protein Analysis or the like can be performed by trapping at a location. Similarly, by using a fluorine compound, overall or selective water-repellent treatment or reduction of the refractive index can be achieved.

更に、本発明は、溶融樹脂を保圧・型締めなどによって圧縮した後で、キャビティの容積を増大させて溶融樹脂を発泡させる工程とを更に有してもよい。これにより、プラスチック表面の選択的改質を行うと同時に内部は微細発泡セルを形成することにより材料の低誘電化を図ることも可能となる。この場合、平均セル径が30μm以下で発泡倍率が1.5倍以上の発泡状態が望ましい。これにより、プラスチック成形品を軽量にし、断熱効果を高め、かつ、剛性重量比の高めることができる。かかる成形品は、高周波電気回路用基板やMID(Mold Interconnect Device)、ミリ波アンテナ等の平面アンテナに好適である。   Furthermore, the present invention may further include a step of foaming the molten resin by increasing the volume of the cavity after compressing the molten resin by holding pressure, clamping, or the like. As a result, the plastic surface can be selectively modified, and at the same time, a fine foam cell can be formed in the interior to reduce the dielectric material. In this case, a foamed state having an average cell diameter of 30 μm or less and a foaming ratio of 1.5 times or more is desirable. Thereby, a plastic molded product can be made lightweight, the heat insulation effect can be improved, and the rigidity-weight ratio can be increased. Such a molded article is suitable for a planar antenna such as a high-frequency electric circuit board, MID (Mold Interconnect Device), and a millimeter wave antenna.

以下に、本発明の実施例について説明する。   Examples of the present invention will be described below.

本発明の第1の実施例に用いた金型及び射出成形装置の要部断面図を図1に示す。本発明における超臨界流体は任意であるが、本実施例ではCOを用いた。また本発明において超臨界流体に溶解させる物質は任意であるが、本実施例ではPt錯体である白金ジメチル(シクロオクタジエン)を用いた。 FIG. 1 shows a cross-sectional view of main parts of a mold and an injection molding apparatus used in the first embodiment of the present invention. The supercritical fluid in the present invention is arbitrary, but CO 2 was used in this example. In the present invention, any substance can be dissolved in the supercritical fluid. In this example, platinum dimethyl (cyclooctadiene) which is a Pt complex was used.

超臨界流体に物質を溶解させる方法は任意であるが、本実施例ではCOボンベ137から供給されるCOを超臨界流体発生装置101にて超臨界状態にした後、混合槽103中で貯蔵容器102から供給される物質を超臨界流体に溶解させた。 After the method of dissolving the substance in the supercritical fluid is optional, that is the supercritical state of CO 2 supplied from the CO 2 cylinder 137 at a supercritical fluid generator 101 in the present embodiment, in mixing vessel 103 The substance supplied from the storage container 102 was dissolved in the supercritical fluid.

本発明において、物質が溶解した超臨界流体の圧力や温度及び、溶融樹脂のフローフロント部への導入方法は任意であるが、本実施例においては120℃、10Mpaの超臨界COを溶解物質と共にキャビティ内に、射出された熱可塑性樹脂の流動方向とは反対に圧力を印加するカウンタープレッシャーとして導入すると共に、可塑化シリンダー140内で溶融樹脂のフローフロント部に含浸させている。カウンタープレッシャーの圧力の大きさは、スプールから入る樹脂に対して充填時の樹脂圧より低い。この場合の樹脂圧とは、実際の金型内での樹脂圧を意味するが、通常モニターしていない。通常、樹脂圧というと、スクリューを押し出す成形機の圧力を指す。後者は100〜200MPa程度でカウンタープレッシャーよりはるかに大きな力であって、前者は20MPa程度である。カウンタープレッシャーの圧力を定義するとすれば、実際に金型にガスが入ったときの圧力が超臨界状態にあればよい(COであれば約7MPa以上)。また、上限は樹脂が充填できる圧力以下でそれは材料や成形条件に左右させる、ということになる。本発明における、超臨界流体とそれに溶解した物質を金型のキャビティ117内にカウンタープレッシャーとして導入する方法は任意であるが、本実施例ではキャビティ117を閉鎖した後射出充填開始と同時に電磁弁111の開放により混合槽103より流路112を経て導入した。 In the present invention, the pressure and temperature of the supercritical fluid in which the substance is dissolved and the method of introducing the molten resin into the flow front part are arbitrary, but in this embodiment, the supercritical CO 2 at 120 ° C. and 10 Mpa is dissolved. At the same time, it is introduced into the cavity as a counter pressure for applying a pressure opposite to the flow direction of the injected thermoplastic resin, and the flow front portion of the molten resin is impregnated in the plasticizing cylinder 140. The pressure of the counter pressure is lower than the resin pressure at the time of filling with respect to the resin entering from the spool. The resin pressure in this case means an actual resin pressure in the mold, but is not usually monitored. Usually, the resin pressure refers to the pressure of a molding machine that extrudes a screw. The latter is about 100 to 200 MPa, which is a much larger force than the counter pressure, and the former is about 20 MPa. If the pressure of the counter pressure is defined, the pressure when the gas actually enters the mold only needs to be in a supercritical state (about 7 MPa or more for CO 2 ). Also, the upper limit is below the pressure at which the resin can be filled, which depends on the material and molding conditions. In the present invention, the method of introducing the supercritical fluid and the substance dissolved therein as a counter pressure into the mold cavity 117 is arbitrary, but in this embodiment, the solenoid valve 111 is closed simultaneously with the start of injection filling after the cavity 117 is closed. Was introduced from the mixing tank 103 via the flow path 112.

本発明における、超臨界流体とそれに溶解した物質を可塑化シリンダー140内にて可塑化計量後における溶融樹脂のフローフロント部に浸透させる方法は任意であるが、本実施例における方法について図1、図7を用いて説明する。可塑化計量とは、スクリュー回転により樹脂のペレットを短時間で可塑化しつつ、次のショットで充填射出する量を一定の容積にしてスクリュー前に溜める工程である。   The method of allowing the supercritical fluid and the substance dissolved therein to penetrate into the flow front portion of the molten resin after plasticization measurement in the plasticizing cylinder 140 in the present invention is arbitrary. This will be described with reference to FIG. The plasticizing metering is a step of plasticizing resin pellets in a short time by rotating the screw, and keeping the amount filled and injected in the next shot at a fixed volume before the screw.

まず、バンドヒーター139にて温度制御された可塑化シリンダー140内でスクリュー107が図7(a)中の矢印の向きに回転することにより熱可塑性樹脂のペレット135がホッパー121より供給され可塑化されながらスクリュー107の前方に押し出されていくので、それに伴いスクリュー107は後退していく。計量位置にてスクリュー107の後退が停止することでスクリュー107とシャットオフノズル105の間に溶融樹脂116が可塑化計量される。シャットオフノズル105は、シリンダーの内圧が高まっても溶融樹脂が金型に混入しないようにする金型とシリンダーとの流動路を開閉する機構である。スクリュー107は、ペレットを可塑化溶融する働きと射出する働きとを有する(インラインスクリューとも呼ばれる)。そして、可塑化計量完了後、図7(b)に示すように、スクリュー107をサックバックにより後退させることで溶融樹脂のフロント部を減圧状態にするとともに、シャットオフノズル105とスクリュー107の間に設けた混合体の供給口106より電磁弁108の開放により超臨界流体とその溶解物を導入した。さらに電磁弁を閉じた後、スクリュー107を10Mpaの圧力で加圧前進することで溶融樹脂のフローフロント部に超臨界流体とその溶解物を浸透させた。その後、ただちに射出充填を行った。   First, as the screw 107 rotates in the direction of the arrow in FIG. 7A in the plasticizing cylinder 140 controlled in temperature by the band heater 139, thermoplastic resin pellets 135 are supplied from the hopper 121 and plasticized. However, since the screw 107 is pushed forward, the screw 107 moves backward. When the backward movement of the screw 107 stops at the measuring position, the molten resin 116 is plasticized and measured between the screw 107 and the shut-off nozzle 105. The shut-off nozzle 105 is a mechanism that opens and closes the flow path between the mold and the cylinder that prevents the molten resin from being mixed into the mold even when the internal pressure of the cylinder increases. The screw 107 has a function of plasticizing and melting the pellet and a function of injecting the pellet (also referred to as an in-line screw). After the plasticization measurement is completed, as shown in FIG. 7B, the screw 107 is moved backward by suck back to bring the front portion of the molten resin into a reduced pressure state, and between the shut-off nozzle 105 and the screw 107. The supercritical fluid and its lysate were introduced by opening the electromagnetic valve 108 from the supply port 106 of the provided mixture. Further, after closing the solenoid valve, the screw 107 was pressurized and advanced at a pressure of 10 Mpa to infiltrate the supercritical fluid and its melt into the flow front portion of the molten resin. Immediately after that, injection filling was performed.

本発明において、用いることのできる熱可塑性樹脂は任意であるが、本実施例ではガラス転移温度約230℃のポリエーテルイミド(GEプラスチック社製ウルテム1010)を用いた。可塑化シリンダーの温度は380℃とした。   In the present invention, a thermoplastic resin that can be used is arbitrary, but in this example, polyetherimide (ULTEM 1010 manufactured by GE Plastics) having a glass transition temperature of about 230 ° C. was used. The temperature of the plasticizing cylinder was 380 ° C.

本発明における射出成形方法においては溶融樹脂の流動先端部としてのフローフロントに超臨界流体とその溶解物を含浸させること以外はなんら制約を受けるものではないが、本実施例においては充填時にはキャビティを開き充填直後に型締め圧縮を行う射出圧縮成形を用いた。そして超臨界流体をカウンタープレッシャーとして導入した状態でキャビティが開いても超臨界流体が漏れない金型シール機構を考案した。成形方法及び金型構造によりガラス転移温度が高い難成形材料や樹脂が流動しにくい薄肉品であっても微細な転写が可能となる。   In the injection molding method according to the present invention, there is no restriction other than impregnating the flow front as the flow front portion of the molten resin with the supercritical fluid and its melt. Injection compression molding was used in which mold clamping compression was performed immediately after opening filling. A mold seal mechanism was devised that prevents the supercritical fluid from leaking even if the cavity is opened with the supercritical fluid introduced as counter pressure. Due to the molding method and mold structure, fine transfer is possible even for difficult-to-mold materials with high glass transition temperatures and thin-walled products in which the resin does not flow easily.

次に本実施例における成形方法を図1、図4及び図5を用いて詳細に説明する。図1のA部における金型の要部拡大図を図4、図5に示した。本実施例においては製品形状が縦50mm×横60mm×厚み0.5mmの板状の製品を2個取りで成形した。金型142の固定金型143及び可動金型129はそれぞれ図示しない温調回路を流れる冷却水によって温度制御されるが、本実施例においては140℃にて温調した。   Next, the molding method in the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. The principal part enlarged view of the metal mold | die in the A section of FIG. 1 was shown to FIG. 4, FIG. In this example, two plate-shaped products having a product shape of 50 mm long × 60 mm wide × 0.5 mm thick were molded. The temperature of the fixed mold 143 and the movable mold 129 of the mold 142 is controlled by cooling water flowing through a temperature control circuit (not shown). In this embodiment, the temperature is controlled at 140 ° C.

図1に示す通り、金型142における各キャビティ117はスプール119を中心に上下に分かれており、固定金型143上にはそれぞれのキャビティ117に対応した四角形のスタンパ118が設置されている。スタンパ118の表面にはラインアンドスペースの凹凸パターンが設けられている。スタンパは下記のように作製した。まず、シリコン基板上にフォトリソグラフィを用いてレジストによって凹凸を形成した後、無電解メッキ及び電解メッキにて厚み0.4mmのNiをレジストパターン上に形成した。そしてレジストよりNiを剥がし、スタンパの形状に加工した。   As shown in FIG. 1, the cavities 117 in the mold 142 are divided into upper and lower parts around a spool 119, and rectangular stampers 118 corresponding to the cavities 117 are installed on the fixed mold 143. A line-and-space uneven pattern is provided on the surface of the stamper 118. The stamper was produced as follows. First, concavo-convex portions were formed with a resist on a silicon substrate using photolithography, and then Ni having a thickness of 0.4 mm was formed on the resist pattern by electroless plating and electrolytic plating. Then, Ni was removed from the resist and processed into a stamper shape.

図4に示す通りスタンパ118のスプール119側における1辺はスタンパ押さえ爪141によって機械的に固定金型143に固定されており、それ以外の3辺はバキューム溝131からの真空吸引によって固定金型143上に吸着されている。スタンパ押さえ爪141上にはスプール119につながり溶融樹脂が通るランナー用溝130が設けられている。ランナー溝130に対峙した可動金型129上には溝130内部に嵌合する凸部131が設けられており、キャビティ117がある程度開いてもランナー用溝130から充填樹脂がはみ出すことがない。   As shown in FIG. 4, one side of the stamper 118 on the spool 119 side is mechanically fixed to the fixed mold 143 by a stamper pressing claw 141, and the other three sides are fixed by a vacuum suction from the vacuum groove 131. 143 is adsorbed on 143. On the stamper presser claw 141, a runner groove 130 connected to the spool 119 and through which the molten resin passes is provided. On the movable mold 129 facing the runner groove 130, a convex portion 131 that fits inside the groove 130 is provided, and the filling resin does not protrude from the runner groove 130 even if the cavity 117 is opened to some extent.

スタンパ118に対峙した可動金型129には製品の外周部を規制する外周枠123がキャビティ開閉方向に独立駆動可能な状態で設置されている。外周枠123は段付きになっておりエッジ123Aが製品外周部を規制する。外周枠123における充填開始方向であるスプール側の1辺においては、ランナー用溝130につながる溝132が設けられており、溶融樹脂はゲート144通過後、溝132よりキャビティ117内に充填される。   On the movable mold 129 facing the stamper 118, an outer peripheral frame 123 for regulating the outer peripheral portion of the product is installed in a state that can be independently driven in the cavity opening / closing direction. The outer peripheral frame 123 is stepped, and the edge 123A regulates the outer peripheral part of the product. A groove 132 connected to the runner groove 130 is provided on one side of the outer peripheral frame 123 on the spool side, which is the filling start direction, and the molten resin is filled into the cavity 117 from the groove 132 after passing through the gate 144.

本実施例においては、溶融樹脂の充填時には図5に示すようにキャビティの厚みTが3.0mmになるように開き、充填時にはその開き量が一定になるように型締め圧を制御した。また充填開始と同時に上述のように電磁弁111の開放により超臨界流体及びその溶解物を流路112より、図5中矢印125の圧力で金型及びキャビティ117内に導入した。それと同時に図1中の電磁弁113を開放し、超臨界流体のみを金型内に流路114を通じ導入することで、図5中矢印126の圧力で可動突き当てリング122及び外周枠123の裏面を加圧し、超臨界流体の圧力125及び126を平衡状態にした。また可動突き当てリング122及び外周枠123の裏面にはバネ128、127が設けてあるため該部品は該バネ力によって固定金型143側に突き当てられる。この機構により金型が開いてもシール性が維持されるので、高圧の超臨界流体が金型より漏れず、また製品の外周を規制する外周枠123より充填樹脂がはみでることはない。   In this embodiment, when the molten resin is filled, the mold clamping pressure is controlled so that the cavity thickness T is 3.0 mm as shown in FIG. Simultaneously with the start of filling, as described above, the supercritical fluid and its melt were introduced from the flow path 112 into the mold and cavity 117 by the pressure of the arrow 125 in FIG. At the same time, the solenoid valve 113 in FIG. 1 is opened, and only the supercritical fluid is introduced into the mold through the flow path 114, so that the movable abutting ring 122 and the back surface of the outer peripheral frame 123 are pressed by the pressure of the arrow 126 in FIG. And the supercritical fluid pressures 125 and 126 were brought into equilibrium. Further, since the springs 128 and 127 are provided on the back surfaces of the movable butting ring 122 and the outer peripheral frame 123, the components are abutted against the fixed mold 143 side by the spring force. Since the sealing performance is maintained even when the mold is opened by this mechanism, the high-pressure supercritical fluid does not leak from the mold, and the filling resin does not protrude from the outer peripheral frame 123 that regulates the outer periphery of the product.

カウンタープレッシャーとして圧力125にて導入した超臨界流体及びその溶解物は外周枠123における通過孔124及びスタンパ118と外周枠123のクリアランスtを通り、キャビティ117内に充填される。本実施例において該クリアランスtは10μmとした。   The supercritical fluid introduced by the pressure 125 as a counter pressure and the dissolved product thereof are filled in the cavity 117 through the passage hole 124 in the outer peripheral frame 123 and the clearance t between the stamper 118 and the outer peripheral frame 123. In this example, the clearance t was 10 μm.

フローフロント部に超臨界流体及びその溶解物が含浸した溶融樹脂は、図1中シャットオフノズル105の開放直後にスクリュー107が前進することでスプール119を経て図5に示すように開放されたキャビティ117内に充填される。充填中の樹脂の様子を模式的に図6に示すが、矢印134方向に流れる溶融樹脂116のフローフロント133ではファウンテンフロー現象により超臨界流体及びそれに溶解した物質115がスタンパ118及び可動金型129の壁面に配置していく。予め樹脂内に含浸された超臨界流体の溶解物質もカウンタープレッシャーとして導入された同物質も同じ効果で成形品表面に選択的に配置していく。   The melt resin impregnated with the supercritical fluid and its melt in the flow front part is a cavity opened as shown in FIG. 5 through the spool 119 as the screw 107 advances immediately after the shut-off nozzle 105 in FIG. 1 is opened. 117 is filled. FIG. 6 schematically shows the state of the resin being filled. In the flow front 133 of the molten resin 116 flowing in the direction of the arrow 134, the supercritical fluid and the substance 115 dissolved therein are caused by the fountain flow phenomenon, and the stamper 118 and the movable mold 129 Place it on the wall. The dissolved substance of the supercritical fluid previously impregnated in the resin and the same substance introduced as counter pressure are selectively arranged on the surface of the molded product with the same effect.

充填樹脂に予め超臨界流体が浸透されている場合、超臨界流体や加圧COをカウンタープレッシャーとして導入することで、樹脂内部の超臨界流体の減圧及びそれに伴う発泡を抑制することができる。よって、可塑化時に溶融樹脂のフロント部のみに超臨界流体及びそれの溶解物質を含浸させておく場合においても、超臨界流体のみのカウンタープレッシャーをキャビティ内に導入することが望ましい。またカウンタープレッシャーを用いない場合、金型表面やスタンパ離面にポリイミド等の低熱伝導材料を形成することにより断熱化することも、同様に樹脂粘度の上昇及び超臨界流体の圧力低下を抑制できるので望ましい。 When the supercritical fluid is preliminarily permeated into the filled resin, the supercritical fluid or pressurized CO 2 is introduced as a counter pressure, so that depressurization of the supercritical fluid inside the resin and accompanying foaming can be suppressed. Therefore, even when only the front part of the molten resin is impregnated with the supercritical fluid and the dissolved substance thereof at the time of plasticization, it is desirable to introduce the counter pressure of only the supercritical fluid into the cavity. In addition, when counter pressure is not used, heat insulation by forming a low thermal conductive material such as polyimide on the mold surface or stamper separation surface can also suppress the rise in resin viscosity and the pressure drop in supercritical fluid. desirable.

なお、図6に模式的に示したスタンパ118の凹凸パターンは本実施例においては幅W;2μm、W2;5μm、深さD;30μmとした。本実施例において、射出充填時には、図6に示すように高アスペクト比のパターンを十分に転写できていないと思われるが、充填直後にキャビティ開き量T3.0mmを製品厚みである0.5mmまで型締め圧40トンにて圧縮することで、完全に転写させることができた。   In this embodiment, the uneven pattern of the stamper 118 schematically shown in FIG. 6 has a width W; 2 μm, W2: 5 μm, and a depth D: 30 μm. In this example, during injection filling, it seems that the pattern of high aspect ratio is not sufficiently transferred as shown in FIG. 6, but immediately after filling, the cavity opening amount T3.0 mm is reduced to 0.5 mm which is the product thickness. It was possible to transfer completely by compressing with a clamping pressure of 40 tons.

本実施例の成形方法においては、充填時にキャビティを開くことで、金型内における溶融樹脂の流動抵抗を低減し、キャビティ内における流動長を短くすることができる。さらに充填直後にキャビティを体積圧縮することで、射出充填の際に減圧された超臨界流体の圧力を再度高めることができ、それにより、樹脂の表面粘度を低い状態に維持できる。さらに微細パターン内に残存しやすいカウンタープレッシャーにより導入された超臨界流体を溶融樹脂内部により浸透させることができる。これら方法によって難成形材料や難成形構造体においても微細な転写が可能となりキャビティ内における圧力分布が均一になる。   In the molding method of the present embodiment, by opening the cavity at the time of filling, the flow resistance of the molten resin in the mold can be reduced, and the flow length in the cavity can be shortened. Furthermore, by compressing the volume of the cavity immediately after filling, the pressure of the supercritical fluid decompressed during injection filling can be increased again, and thereby the surface viscosity of the resin can be kept low. Furthermore, the supercritical fluid introduced by the counter pressure that tends to remain in the fine pattern can be penetrated into the molten resin. By these methods, even a difficult-to-mold material or a difficult-to-mold structure can be finely transferred, and the pressure distribution in the cavity becomes uniform.

本実施例においては、射出圧縮後、図1中の電磁弁145及び136を開放することでキャビティ及び樹脂内部さらに金型内部のCOをリークし溶融樹脂を金型内にて固化させた後、金型を開き製品を取り出した。本実施例で作製した成形品表面には超臨界流体への溶解物であるPt錯体及び錯体より有機物が外れたPtの微粒子が配置していることが確認された。また成形品の中心部には該溶解物がほとんど含有されていないことを確認した。 In this embodiment, after injection compression, the solenoid valves 145 and 136 in FIG. 1 are opened to leak the CO 2 inside the cavity and the resin, and further inside the mold, and solidify the molten resin in the mold. Then, the mold was opened and the product was taken out. It was confirmed that Pt complexes that were dissolved in the supercritical fluid and Pt fine particles from which organic substances were removed from the complex were arranged on the surface of the molded article produced in this example. It was also confirmed that the melt was hardly contained in the center of the molded product.

本発明においては上記方法により成形品表面に金属錯体等の超臨界流体溶解物を配置させた後、加熱や還元反応等の後処理を行ってもよいが、本実施例においては、無電解メッキまでに後処理は行わなかった。   In the present invention, after disposing a supercritical fluid solution such as a metal complex on the surface of the molded article by the above method, post-treatment such as heating or reduction reaction may be performed. No post-processing was performed before.

本実施例では、上記射出成形方法で作製した成形品に、下記方法にて無電解銅メッキを行った。まず、無電解銅メッキ用水溶液(奥野製薬工業製「OPC700A」100ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPC700B」100ミリリットル/リットル)の入った容器に入れ室温、60分間攪拌し銅メッキ処理した。さらに洗浄後、無電解銅メッキ用水溶液(奥野製薬工業製「OPCカッパーT1」60ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPCカッパーT2」12ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPCカッパーT3」100ミリリットル/リットル)の入った容器に入れ60℃、120分間攪拌及び空気攪拌を行い銅メッキ処理した。純水及びメタノールにて超音波洗浄した後、成形品全面に厚み10μmの銅メッキ膜を形成した。また該メッキ膜は膜厚が均一であり、ふくれがなく、ピール試験においても実用上問題ない密着強度が得られていることを確認した。   In this example, electroless copper plating was performed on the molded product produced by the injection molding method by the following method. First, it was placed in a container containing an aqueous solution for electroless copper plating ("OPC700A" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., 100 ml / liter + "OPC700B" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., 100 ml / liter) and stirred for 60 minutes at room temperature to perform copper plating. After washing, electroless copper plating aqueous solution ("OPC Copper T1" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 60ml / liter + "OPC Copper T2" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 12ml / liter + "OPC Copper T3" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 100ml / Liter) was placed in a container with 60 ° C. and 120 minutes of stirring and air stirring to perform copper plating. After ultrasonic cleaning with pure water and methanol, a copper plating film having a thickness of 10 μm was formed on the entire surface of the molded product. Further, it was confirmed that the plating film had a uniform film thickness, no blistering, and an adhesion strength having no practical problem was obtained in the peel test.

さらに図8に示す模式図のように図8(b)に示す成形品のパターン形成面における表面を20μm研磨し図8(c)のように凸部を除去し凹部にのみ無電解メッキ層を残し配線パターンを形成した。本実施例における成形品においては幅2μmの無電解銅メッキの配線が欠落なく形成されたことを確認した。また隣接配線同士の絶縁性も良好であることを確認した。   Further, as shown in the schematic diagram of FIG. 8, the surface on the pattern forming surface of the molded product shown in FIG. 8B is polished by 20 μm, and the convex portions are removed as shown in FIG. The remaining wiring pattern was formed. In the molded product in this example, it was confirmed that the wiring of electroless copper plating having a width of 2 μm was formed without omission. It was also confirmed that the insulation between adjacent wirings was good.

成形品作製後の無電解メッキを図9に示すように行った以外は、実施例1と同様に射出成形及び無電解メッキによる配線を行った。本実施例における成形品においては幅2μmの無電解銅メッキの配線が欠落なく形成されたことを確認した。また隣接配線同士の絶縁性も良好であることを確認した。   Wiring by injection molding and electroless plating was performed in the same manner as in Example 1 except that the electroless plating after forming the molded product was performed as shown in FIG. In the molded product in this example, it was confirmed that the wiring of electroless copper plating having a width of 2 μm was formed without omission. It was also confirmed that the insulation between adjacent wirings was good.

フローフロント部以外における溶融樹脂に超臨界COを含浸させ、成形品内部を発泡体にした以外は実施例1と同様に射出成形を行った。本実施例においては下記のように内部発泡体を作製した。 Injection molding was carried out in the same manner as in Example 1 except that supercritical CO 2 was impregnated in the molten resin other than the flow front part and the inside of the molded product was made into a foam. In this example, an internal foam was produced as follows.

まず、図1に示す超臨界流体の導入口109より電磁弁110の開放により超臨界COをスクリュー107のベント部120に導入し、フロント部以外は金属錯体が溶解していない超臨界COを溶融樹脂に含浸させた。射出充填及び射出圧縮による転写については実施例1と同様に行った後、キャビティ内COを大気に開放することなく高圧型締め力を5トンに減圧し内部を発泡させ成形品を得た。なお金型に導入した超臨界流体は発泡と同時に電磁弁136を開放することで大気に逃がした。 First, the supercritical CO 2 is introduced into the vents 120 of the screw 107 by opening the solenoid valve 110 from the inlet 109 of the supercritical fluid illustrated in FIG. 1, except the front portion does not dissolve a metal complex supercritical CO 2 Was impregnated into the molten resin. The transfer by injection filling and injection compression was carried out in the same manner as in Example 1, and then the high pressure clamping force was reduced to 5 tons and the inside was foamed without opening the CO 2 in the cavity to the atmosphere to obtain a molded product. The supercritical fluid introduced into the mold was released to the atmosphere by opening the solenoid valve 136 simultaneously with foaming.

本実施例の成形品は上述の射出圧縮の効果によりキャビティ内における圧力分布が均一化されるため、全面均一な微細発泡体が得られた。また本実施例における成形品に実施例1と同様に無電解メッキを施し配線パターンを作製したところ、配線が欠落なく形成されたことを確認した。また隣接配線同士の絶縁性も良好であることを確認した。
(比較例)
超臨界流体に溶解物であるPt錯体を溶解させなかった以外は、実施例1と同様な方法で射出成形及び無電解メッキを行った。本比較例の成形品においては無電解メッキを行うことができなかった。
In the molded product of this example, the pressure distribution in the cavity was made uniform due to the effect of the above-described injection compression, so that a fine foam that was uniform over the entire surface was obtained. Further, when the molded product in this example was subjected to electroless plating in the same manner as in Example 1 to produce a wiring pattern, it was confirmed that the wiring was formed without omission. It was also confirmed that the insulation between adjacent wirings was good.
(Comparative example)
Injection molding and electroless plating were performed in the same manner as in Example 1 except that the Pt complex, which was a dissolved material, was not dissolved in the supercritical fluid. In the molded product of this comparative example, electroless plating could not be performed.

本実施例に用いた金型及び成形装置の要部断面構造図を図10に示す。本発明における超臨界流体は任意であるが、本実施例ではCOを用いた。また本発明において超臨界流体に溶解させる物質は任意であるが、本実施例ではPd錯体であるビス(アセチルアセトネート)パラジウムを用いた。 FIG. 10 shows a cross-sectional structural view of the main part of the mold and molding apparatus used in this example. The supercritical fluid in the present invention is arbitrary, but CO 2 was used in this example. In the present invention, any substance can be dissolved in the supercritical fluid. In this example, bis (acetylacetonate) palladium, which is a Pd complex, was used.

超臨界流体に物質を溶解させる方法は任意であるが、本実施例においては、COボンベ201から供給されるCOを超臨界流体発生装置202にて超臨界状態にした後、混合槽203中で貯蔵容器204から供給される超臨界流体に溶解させる有機物質を所定の濃度になるように溶解させた。本実施例で混合槽203は、100℃、12MPaの雰囲気に維持した。 Method of dissolving the substance in the supercritical fluid is arbitrary, in the present embodiment, after the supercritical state of CO 2 supplied from the CO 2 cylinder 201 at a supercritical fluid generating device 202, mixing tank 203 The organic substance to be dissolved in the supercritical fluid supplied from the storage container 204 was dissolved to a predetermined concentration. In this embodiment, the mixing tank 203 was maintained in an atmosphere of 100 ° C. and 12 MPa.

本発明では、有機物質が溶解した超臨界流体の金型内部への導入方法は任意であるが、本実施例においては電磁弁207の開放により流路216を経て固定金型214内の微細流路206より固定金型214と可動金型215により形成されるキャビティ205に注入した。本実施例において固定金型214内における微細流路206の直径はΦ0.3mmとした。   In the present invention, the method for introducing the supercritical fluid in which the organic substance is dissolved into the mold is arbitrary, but in the present embodiment, the fine flow in the fixed mold 214 passes through the flow path 216 by opening the electromagnetic valve 207. The solution was injected from the passage 206 into the cavity 205 formed by the fixed mold 214 and the movable mold 215. In this embodiment, the diameter of the fine channel 206 in the fixed mold 214 is Φ0.3 mm.

次に、図10及び図11を参照して、本実施例における射出成形方法について詳細に説明する。まず可塑化及び充填は公知の方法を使用する。図10において、スクリュー219の回転によりホッパー217よりバンドヒーター218を介して可塑化シリンダー220内に充填された図示しない樹脂ペレットは、可塑化溶融されてスクリュー219前方に計量される。スクリュー219前方の内圧が上昇することによってスクリュー219が後退する。射出時はスクリュー219が前進することで計量された溶融樹脂は金型のキャビティ205内に充填される。キャビティ205は図示しない温調回路により温度制御された固定金型214及び可動金型215によって形成されており、溶融樹脂がノズル221及び金型のスプール222を経て充填される。   Next, the injection molding method in the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. First, a known method is used for plasticizing and filling. In FIG. 10, resin pellets (not shown) filled in the plasticizing cylinder 220 from the hopper 217 via the band heater 218 by the rotation of the screw 219 are plasticized and melted and measured in front of the screw 219. As the internal pressure in front of the screw 219 increases, the screw 219 moves backward. At the time of injection, the molten resin measured by the advancement of the screw 219 is filled in the cavity 205 of the mold. The cavity 205 is formed by a fixed mold 214 and a movable mold 215 whose temperatures are controlled by a temperature control circuit (not shown), and the molten resin is filled through the nozzle 221 and the mold spool 222.

本発明において、使用可能な熱可塑性樹脂は任意であるが、本実施例ではガラス転移温度約230℃のポリエーテルイミド(GEプラスチック社製ウルテム1010)を用いた。本実施例において可塑化シリンダーの温度は380℃とした。また金型内を流れる温調回路内の媒体温度は125℃とした。   In the present invention, usable thermoplastic resins are arbitrary, but in this example, polyether imide (Ultem 1010 manufactured by GE Plastics) having a glass transition temperature of about 230 ° C. was used. In this example, the temperature of the plasticizing cylinder was 380 ° C. The medium temperature in the temperature control circuit flowing in the mold was set to 125 ° C.

本実施例における固定金型214表面には、流路206に通じる凹凸が設けられている。本発明では、金型表面の凹凸形状及びそのピッチや深さ等は任意であるが、本実施例においては深さ一定でピッチや幅がランダムなラインアンドスペースの溝パターン209を設けた。該溝の深さは2mm、幅は0.9mm、ピッチは最小0.6mmとした。   The surface of the fixed mold 214 in this embodiment is provided with irregularities that lead to the flow path 206. In the present invention, the uneven shape of the mold surface and its pitch and depth are arbitrary, but in this embodiment, a line and space groove pattern 209 having a constant depth and random pitch and width is provided. The depth of the groove was 2 mm, the width was 0.9 mm, and the pitch was a minimum of 0.6 mm.

溝パターン209が設けられた金型キャビティ205の図10におけるC部拡大図を図11に示す。以下、図11を参照して、溝209への樹脂充填の方法を説明する。図11(a)における充填前のキャビティ205空間に図11(b)に示すように溶融樹脂212が充填される。このとき、1次充填では樹脂内圧が十分に高くないので金型の溝209の内部には十分に充填できず凸部210が形成される。この未充填の状態にて、有機金属錯体の溶解した超臨界流体208を、溝部209に注入した。この際、樹脂内圧及び型締め圧によって該超臨界流体及びその溶解物が、該溝209より漏れないように制御した。超臨界COが溶融樹脂に接触することで、溝209部における樹脂の凸部210は軟化するので、より金属錯体213は樹脂内に浸透しやすくなる。さらに図11(d)に示すように、保圧及び型締め圧を高くすることで、溝209内に樹脂がほぼ完全に充填される。それによって成形体の凸部210表面にのみ有機金属錯体213が配置する。 FIG. 11 shows an enlarged view of a portion C in FIG. 10 of the mold cavity 205 provided with the groove pattern 209. Hereinafter, a method of filling the groove 209 with resin will be described with reference to FIG. The cavity 205 before filling in FIG. 11A is filled with the molten resin 212 as shown in FIG. 11B. At this time, since the internal pressure of the resin is not sufficiently high in the primary filling, the mold groove 209 cannot be sufficiently filled and the convex portion 210 is formed. In this unfilled state, the supercritical fluid 208 in which the organometallic complex was dissolved was injected into the groove 209. At this time, the supercritical fluid and its melt were controlled so as not to leak from the groove 209 by the resin internal pressure and the mold clamping pressure. Since the supercritical CO 2 comes into contact with the molten resin, the resin protrusion 210 in the groove 209 is softened, so that the metal complex 213 more easily penetrates into the resin. Further, as shown in FIG. 11D, the groove 209 is almost completely filled with the resin by increasing the holding pressure and the mold clamping pressure. Thereby, the organometallic complex 213 is arranged only on the surface of the convex portion 210 of the molded body.

本発明では前記方法により成形品表面に金属錯体等の超臨界流体溶解物を配置させた後、加熱や還元反応等の後処理を行ってもよいが、本実施例においては200℃の高温槽内に1時間放置し完全に有機金属錯体の配位子を外した。本実施例では、前記射出成形方法で作製した成形品に、下記方法にて無電解銅メッキを行った。まず、無電解銅メッキ用水溶液(奥野製薬工業製「OPC700A」100ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPC700B」100ミリリットル/リットル)の入った容器に入れ室温、60分間攪拌し銅メッキ処理した。さらに洗浄後、無電解銅メッキ用水溶液(奥野製薬工業製「OPCカッパーT1」60ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPCカッパーT2」12ミリリットル/リットル+奥野製薬工業製「OPCカッパーT3」100ミリリットル/リットル)の入った容器に入れ60℃、120分間攪拌及び空気攪拌を行い銅メッキ処理した。純水及びメタノールにて超音波洗浄した後、成形品全面に厚み10μmの銅メッキ膜を形成した。また該メッキ膜は膜厚が均一であり、ふくれがなく、ピール試験においても実用上問題ない密着強度が得られていることを確認した。また配線に導通させた抵抗測定により低抵抗の配線が断線することなく形成されていることを確認した。隣接配線同士の絶縁性も良好であることを確認した。   In the present invention, after a supercritical fluid solution such as a metal complex is placed on the surface of the molded article by the above method, post-treatment such as heating or reduction reaction may be performed. The ligand of the organometallic complex was completely removed by allowing it to stand for 1 hour. In this example, electroless copper plating was performed on the molded product produced by the injection molding method by the following method. First, it was placed in a container containing an aqueous solution for electroless copper plating ("OPC700A" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., 100 ml / liter + "OPC700B" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., 100 ml / liter) and stirred for 60 minutes at room temperature to perform copper plating. After washing, electroless copper plating aqueous solution ("OPC Copper T1" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 60ml / liter + "OPC Copper T2" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 12ml / liter + "OPC Copper T3" manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 100ml / Liter) was placed in a container with 60 ° C. and 120 minutes of stirring and air stirring to perform copper plating. After ultrasonic cleaning with pure water and methanol, a copper plating film having a thickness of 10 μm was formed on the entire surface of the molded product. Further, it was confirmed that the plating film had a uniform film thickness, no blistering, and an adhesion strength having no practical problem was obtained in the peel test. Moreover, it was confirmed by the resistance measurement conducted to the wiring that the low resistance wiring was formed without disconnection. It was confirmed that the insulation between adjacent wirings was also good.

本実施例は、金型における凹凸パターンをNiスタンパ上に設けた図12に示す金型を用いた以外は実施例4と同様な成形装置を用いて射出成形を行った。金型は固定金型214及び可動金型215より形成されており、可動金型215上にはNiスタンパ228がスタンパ押さえ枠225によって保持されている。スタンパ押さえ枠225は、額縁形状であり、固定金型214と型締めによって密閉されることにより板状のキャビティ205が形成される。   In this example, injection molding was performed using the same molding apparatus as in Example 4 except that the mold shown in FIG. 12 in which the uneven pattern in the mold was provided on the Ni stamper was used. The mold is formed of a fixed mold 214 and a movable mold 215, and a Ni stamper 228 is held on the movable mold 215 by a stamper holding frame 225. The stamper pressing frame 225 has a frame shape, and is sealed by a fixed mold 214 and mold clamping to form a plate-like cavity 205.

超臨界流体及びそれに溶解した有機物質は流路216よりスタンパ離面に導入される。   The supercritical fluid and the organic substance dissolved in the supercritical fluid are introduced into the stamper separation surface through the channel 216.

次に、図12に示すD部の拡大図である図13(a)及び(b)を用いて、本実施例におけるスタンパ形状及び成形方法を説明する。   Next, a stamper shape and a molding method in the present embodiment will be described with reference to FIGS. 13A and 13B which are enlarged views of a portion D shown in FIG.

本実施例におけるスタンパ228は次のように作製した。まずフォトリソグラフィによってシリコン基板上に設けられたレジストにパターンニングを行い、該レジストをマスクにしてドライエッチングを行うことで高アスペクト比の凹凸形状を有するシリコン製の鋳型を作製した。次に、電鋳によって光ディスクのスタンパ作製プロセスと同様な方法で厚みTが0.3mmのNiスタンパ228を作製した。スタンパ228における溝部209におけるパターン幅Lは0.05mm、深さdは0.1mmであった。そしてスタンパ228の裏面より機械加工により直径0.1mm、深さ0.2mmの穴226を適材個所に設けた。穴226は各溝部209の孤立個所に通じるように設けた。例えば、溝部のグループ229は各溝部が同一穴226に通じている。穴226はレーザー加工によりさらに微細で深い穴が形成可能でありパターンの微細化にも対応可能である。パターン幅Lがサブミクロンオーダーであっても穴226の深さは同じで径をΦ10μm以下に形成可能となる。   The stamper 228 in this example was manufactured as follows. First, patterning was performed on a resist provided on a silicon substrate by photolithography, and dry etching was performed using the resist as a mask to produce a silicon mold having an uneven shape with a high aspect ratio. Next, a Ni stamper 228 having a thickness T of 0.3 mm was manufactured by electroforming in the same manner as the optical disk stamper manufacturing process. The pattern width L in the groove 209 in the stamper 228 was 0.05 mm, and the depth d was 0.1 mm. Then, a hole 226 having a diameter of 0.1 mm and a depth of 0.2 mm was provided at an appropriate material location by machining from the back surface of the stamper 228. The hole 226 was provided so as to communicate with the isolated portion of each groove 209. For example, in the groove group 229, each groove portion communicates with the same hole 226. The holes 226 can be formed with finer and deeper holes by laser processing, and can cope with pattern miniaturization. Even if the pattern width L is on the order of submicron, the depth of the hole 226 is the same, and the diameter can be formed to Φ10 μm or less.

成形は下記のように行った。実施例4と同様に射出後、流路216より金属錯体の溶解した超臨界流体を金型内に注入した。図13(b)に示すように、超臨界流体は、弾性率の高いスタンパ228及び溶融樹脂212を押し上げ、スタンパ裏面にわずかなクリアランス227をつくり穴226より樹脂凸部210より浸透する。スタンパ裏面の金型表面に微細なスリットを形成し該スリットを超臨界流体の通過路としてもよい。その後、実施例1と同様に超臨界流体を減圧し樹脂の保圧を高くすることで、スタンパ228と可動金型215を再度密着させるとともに凸部210における転写及び金属錯体の注入を完了した。   Molding was performed as follows. After injection in the same manner as in Example 4, a supercritical fluid in which the metal complex was dissolved was injected from the flow path 216 into the mold. As shown in FIG. 13B, the supercritical fluid pushes up the stamper 228 and the molten resin 212 having a high elastic modulus, creates a slight clearance 227 on the back surface of the stamper, and permeates from the resin protrusion 210 through the hole 226. A fine slit may be formed on the mold surface on the back of the stamper, and the slit may be used as a passage for the supercritical fluid. Thereafter, the supercritical fluid was depressurized and the holding pressure of the resin was increased in the same manner as in Example 1, thereby bringing the stamper 228 and the movable mold 215 into close contact with each other and completing the transfer at the convex portion 210 and the injection of the metal complex.

本実施例の成形方法によれば、配線形成パターンをスタンパ化することで配線回路を容易に変更可能となる。更に、スタンパを薄肉化することで金型の曲面部もスタンパを保持することが可能となり、3次元回路の形成が容易になる。また、スタンパのパターン作製にあたってはフォトリソグラフィ等の微細加工技術を用いることができるのでサブミクロンオーダーの微細パターンも形成可能となる。   According to the molding method of the present embodiment, the wiring circuit can be easily changed by stamping the wiring formation pattern. Further, by reducing the thickness of the stamper, the curved surface portion of the mold can also hold the stamper, and the formation of a three-dimensional circuit is facilitated. In addition, since a fine patterning technique such as photolithography can be used for patterning the stamper, a submicron order fine pattern can be formed.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はその要旨の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。例えば、図11においては、溝部209に樹脂が充填され、結果として成形品には凸部が形成されており、凸部の表面が改質されているが、図14に示すように、表面に凹凸のない成形品表面を選択的に改質することができる。ここで、図14は、図11に示す実施例の変形例である。図14においては、固定金型214aと可動金型215aからなる金型の溝部209aが平坦な溶融樹脂(又は成形品)212aの特定位置に配置している。溝部209aの矢印に示すように金属錯体が溶解した超臨界流体を導入し、射出成形時の圧力及び/又は温度を調節する(例えば、下げる)ことによって、成形品表面へ局所的に金属錯体を配置させることができる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, various deformation | transformation and a change are possible for this invention within the range of the summary. For example, in FIG. 11, the groove portion 209 is filled with resin, and as a result, a convex portion is formed on the molded product, and the surface of the convex portion is modified, but as shown in FIG. It is possible to selectively modify the surface of the molded product without unevenness. Here, FIG. 14 is a modification of the embodiment shown in FIG. In FIG. 14, a groove portion 209a of a mold including a fixed mold 214a and a movable mold 215a is disposed at a specific position of a flat molten resin (or molded product) 212a. By introducing a supercritical fluid in which the metal complex is dissolved as indicated by the arrow of the groove 209a and adjusting (for example, reducing) the pressure and / or temperature during injection molding, the metal complex is locally applied to the surface of the molded product. Can be placed.

本発明の一実施例の射出成形装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the injection molding apparatus of one Example of this invention. 本発明におけるプラスチック表面への無電解メッキ方法のフローであるIt is a flow of the electroless plating method on the plastic surface in the present invention. 図2に示す方法において、プラスチック表面への微細メッキ配線方法のフローである。In the method shown in FIG. 2, it is the flow of the fine plating wiring method to the plastic surface. 図1に示すA部拡大図である。It is the A section enlarged view shown in FIG. 図4に示す構造の動作を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating operation | movement of the structure shown in FIG. 図5に示すB部の、射出充填時におけるフローフロントの様子を説明するための拡大模式図である。It is an expansion schematic diagram for demonstrating the mode of the flow front at the time of injection filling of the B section shown in FIG. 図1に示す射出成形装置の射出機構の拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the injection mechanism of the injection molding apparatus shown in FIG. 図2に示す無電解メッキ方法の一例を説明するための金型の部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the metal mold | die for demonstrating an example of the electroless-plating method shown in FIG. 図2に示す無電解メッキ方法の別の例を説明するための金型の部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the metal mold | die for demonstrating another example of the electroless-plating method shown in FIG. 本発明の別の実施例の射出成形装置の断面図である。It is sectional drawing of the injection molding apparatus of another Example of this invention. 図10に示す射出成形装置の部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the injection molding apparatus shown in FIG. 本発明の更に別の実施形態の射出成形装置の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the injection molding device of another embodiment of the present invention. 図12に示す射出成形装置の部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the injection molding apparatus shown in FIG. 図11に示す実施例の変形例を示す金型の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the metal mold | die which shows the modification of the Example shown in FIG. 従来の無電解メッキ法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the conventional electroless plating method. 従来のメッキ配線方法を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the conventional plating wiring method.

符号の説明Explanation of symbols

101 超臨界流体発生装置
102 貯蔵容器
103 混合槽
104 金属微粒子
105 シャットオフノズル
112 流路
115 超臨界流体の溶解物質
117 キャビティ
133 フローフロント
138 無電解メッキ層
205 キャビティ
206 微細流路
208 超臨界流体
209 溝
210 凸部
212 溶融樹脂
213 有機金属錯体
214 固定金型
215 可動金型
220 可塑化シリンダー
226 穴
228 スタンパ
101 Supercritical Fluid Generator 102 Storage Container 103 Mixing Tank 104 Metal Fine Particle 105 Shutoff Nozzle 112 Channel 115 Supercritical Fluid Dissolved Material 117 Cavity 133 Flow Front 138 Electroless Plating Layer 205 Cavity 206 Fine Channel 208 Supercritical Fluid 209 Groove 210 Projection 212 Molten resin 213 Organometallic complex 214 Fixed mold 215 Movable mold 220 Plasticizing cylinder 226 Hole 228 Stamper

Claims (8)

熱可塑性樹脂から成形品を製造する方法であって、
前記成形品を成形するための成形部に、前記熱可塑性樹脂を溶融樹脂として導入する第1の導入工程と、
前記成形部に、有機金属錯体が溶解した超臨界流体を導入する第2の導入工程と、
前記溶融樹脂を固化し、金属元素を前記成形品の表面に配置させる工程とを有することを特徴とする方法。
A method for producing a molded product from a thermoplastic resin,
A first introduction step of introducing the thermoplastic resin as a molten resin into a molding portion for molding the molded article;
A second introduction step of introducing a supercritical fluid in which the organometallic complex is dissolved into the molded portion;
Solidifying the molten resin and placing a metal element on the surface of the molded article.
前記第2の導入工程は、前記成形部内の特定の位置に前記有機金属錯体が溶解した超臨界流体を導入することを特徴とする請求項1記載の方法。   2. The method according to claim 1, wherein the second introducing step introduces a supercritical fluid in which the organometallic complex is dissolved at a specific position in the molding portion. 前記成形部の圧力及び/又は温度を調節する工程を更に有することを特徴とする請求項2記載の方法。   3. The method according to claim 2, further comprising the step of adjusting the pressure and / or temperature of the molded part. 無電解メッキにより、前記成形品の表面を前記金属元素により改質した部位にメッキ層を形成する工程を更に有する請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 3, further comprising a step of forming a plating layer at a site where the surface of the molded article is modified with the metal element by electroless plating. 前記成形体は表面に凹凸部を含み、
前記メッキ層形成工程後に凸部を除去する工程を更に有する請求項4記載の方法。
The molded body includes an uneven portion on the surface,
The method according to claim 4, further comprising a step of removing the protrusion after the plating layer forming step.
前記成形体は表面に凹凸部を含み、
前記メッキ層形成工程前に前記部位の凸部を除去する工程を更に有する請求項4記載の方法。
The molded body includes an uneven portion on the surface,
The method according to claim 4, further comprising a step of removing the convex portion of the portion before the plating layer forming step.
前記第1及び第2の導入工程後に前記溶融樹脂を圧縮する工程と、
当該圧縮工程後に、前記溶融樹脂を発泡させる工程とを更に有することを特徴とする請求項1記載の方法。
Compressing the molten resin after the first and second introduction steps;
The method according to claim 1, further comprising the step of foaming the molten resin after the compression step.
熱可塑性樹脂の成形品を製造する装置であって、
前記成形品を成形する成形部と、
前記熱可塑性樹脂を溶融樹脂として前記成形部に導入する第1の導入機構と、 前記成形部に、有機金属錯体が溶解した超臨界流体を導入する第2の導入機構とを有することを特徴とする装置。
An apparatus for producing a molded article of a thermoplastic resin,
A molding part for molding the molded article;
A first introduction mechanism that introduces the thermoplastic resin as a molten resin into the molded part; and a second introduction mechanism that introduces a supercritical fluid in which an organometallic complex is dissolved into the molded part. Device to do.
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