JP2004217537A - デコーキング方法およびｖｃｍ連続製造方法 - Google Patents
デコーキング方法およびｖｃｍ連続製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004217537A JP2004217537A JP2003004345A JP2003004345A JP2004217537A JP 2004217537 A JP2004217537 A JP 2004217537A JP 2003004345 A JP2003004345 A JP 2003004345A JP 2003004345 A JP2003004345 A JP 2003004345A JP 2004217537 A JP2004217537 A JP 2004217537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- edc
- vcm
- temperature
- cracking furnace
- coke
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
【課題】分解炉内表面に付着したコークを十分に除去でき、さらに、その後のＶＣＭ製造時に配管等の閉塞をおこさないデコーキング方法。
【解決手段】１，２−ジクロロエタン分解炉内表面に付着したコークを除去するデコーキング方法において、１，２−ジクロロエタン分解炉内の温度を、１，２−ジクロロエタンの気化温度以上分解温度以下にして、１，２−ジクロロエタンを分解炉内に供給することを特徴とするデコーキング方法および該デコーキング方法を使用したＶＣＭの連続製造方法。
【選択図】なし
【解決手段】１，２−ジクロロエタン分解炉内表面に付着したコークを除去するデコーキング方法において、１，２−ジクロロエタン分解炉内の温度を、１，２−ジクロロエタンの気化温度以上分解温度以下にして、１，２−ジクロロエタンを分解炉内に供給することを特徴とするデコーキング方法および該デコーキング方法を使用したＶＣＭの連続製造方法。
【選択図】なし
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、１，２−ジクロロエタン（以下、ＥＤＣという）分解炉内表面に付着したコークを除去するデコーキング方法、および該デコーキング方法を使用した塩化ビニル（以下、ＶＣＭという）の連続製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、ＶＣＭを製造する方法として、熱分解炉を用いて、ＥＤＣを４５０〜５５０℃で熱分解する方法が採用されている。
【０００３】
通常、上記方法によりＶＣＭの製造を行なうと、分解炉内表面にコークと呼ばれる炭化物が付着する。そして長時間ＶＣＭの製造を行なうと、このコークの付着が進行し、その結果、装置内の差圧が上昇して、ＶＣＭの製造を継続することが困難となる。そのため、上記ＶＣＭの製造においては、装置内の差圧が一定以上上昇すると、運転を停止して、デコーキングと呼ばれる、分解炉内表面に付着したコークを除去する作業が必要となる。
【０００４】
一般的に、炭化水素等の改質に使われる熱分解炉のデコーキング方法としては、分解炉中に水蒸気と空気／酸素を高温で導入して付着したコークを燃焼除去するスチームエアー法、分解炉内に加熱水蒸気量を変化させながら導入して熱的ショックにより付着したコーク除去するスチームポンピング法、研磨微粒子を分解炉内に導入して付着したコークを削り取るサンドジェット法、治具等により機械的に付着したコークを削り取るメカニカルクリーニング法等が提案されている。
【０００５】
上記した方法の中で、スチームポンピング法では限られた部分しか有効にコークを除去できない、サンドジェット法では、装置自体も破損の恐れがある、メカニカルクリーニング法では装置の分解等が必要である、という問題点があるため、スチームエアー方法が幅広く採用されている。
【０００６】
しかしながら、本発明者らが、コークが付着したＥＤＣ分解炉において、スチームエアー法によるデコーキングを検討した結果、スチームエアー法では装置内の差圧上昇を十分に改善することができないことが判明した。
【０００７】
すなわち、上記方法ではＥＤＣ分解炉内表面に付着したコークを燃焼除去することができるが、上記したコークの燃焼除去後、ＶＣＭの製造をおこなうと、分解炉のあとに設置されている配管、熱交換機や蒸留塔等の装置が閉塞するという問題が発生する。そのため、この閉塞を改善するために、さらに別の除去方法を実施する必要があった。
【０００８】
したがって、上記した問題により、実質的に長期間ＶＣＭを連続的に製造することが困難であった。
【０００９】
【特許文献１】特開昭６３−１３９１４０号公報
【特許文献２】特開平７−１６５５２号公報
【特許文献３】特開平７−１７９８６３号公報
【特許文献４】特開平１１−２９２８０６号公報
【発明が解決しようとする課題】
したがって、簡便に分解炉内表面に付着したコークを十分に除去でき、さらに、その後のＶＣＭ製造時に配管、熱交換機や蒸留塔等の閉塞をおこさないデコーキング方法が望まれており、また、ＶＣＭを長期間連続的に製造する方法も望まれていた。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題について鋭意研究をおこなった結果、分解炉内の温度をＥＤＣの気化温度以上分解温度以下にし、その後ＥＤＣを分解炉内に供給することにより、非常に短時間かつ簡便に、分解炉内に付着したコークを十分に除去でき、装置の閉塞が発生しないことを見出し、さらに、前記方法をＶＣＭ製造に適用することにより、ＶＣＭを長期間連続的に製造できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１１】
すなわち、本発明は、ＥＤＣ分解炉内表面に付着したコークを除去するデコーキング方法において、ＥＤＣ分解炉内の温度を、ＥＤＣの気化温度以上分解温度以下にして、ＥＤＣを分解炉内に供給することを特徴とするデコーキング方法、および上記デコーキング方法を使用したＶＣＭの連続製造方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１３】
本発明のデコーキング方法においては、まず、ＥＤＣ分解炉内の温度を、ＥＤＣの気化温度以上分解温度以下にすることが必要である。その中でも分解炉内表面付着したコークを十分に除去することを勘案すると、１００〜２００℃の温度範囲が好ましい。
【００１４】
上記したＥＤＣ分解炉内の温度を所定の範囲に設定する条件としては、特に制限されないが、通常は、デコーキング効率を勘案すると、ＶＣＭ製造後、一旦、ＥＤＣの供給を停止し、常温に低下させてから、温度の所定の範囲に設定するのが好ましい。
【００１５】
本発明においては、次いで、分解炉内の温度が所定の温度になってから、ＥＤＣを分解炉内に供給する。ＥＤＣの供給量は、ＶＣＭ製造時に分解炉内に導入する時と同等の流速が確保できれば特に制限されず、通常はＶＣＭ製造時の１〜１０％から適宜設定すればよい。ＥＤＣを分解炉内に供給する時間も特に制限されないが、通常は０．２〜２時間の間から適宜選択される。
【００１６】
本発明の方法により、分解炉内表面に付着していたコークは、ＥＤＣと共に分解炉外に除去される。これらコーク含有コークは、通常設けられている分解炉の後の生成物分離工程で、取り出されたコークのみを分離除去することができる。
【００１７】
本発明のＶＣＭ連続製造方法は、ＥＤＣの熱分解によるＶＣＭの製造と、上記デコーキング方法とを、交互に行なうことにより実施される。
【００１８】
ＥＤＣの熱分解によるＶＣＭの製造と上記デコーキング方法との間隔は、特に限定されないが、分解炉内表面に付着したコーク量の目安となるＶＣＭ製造装置の差圧が製造前より１．５〜３倍程度になった段階で本発明のデコーキングを行なうのが好適である。
【００１９】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づき説明する。ただし本発明は、本実施例に限定されるものではない。
【００２０】
参考例１
ＥＤＣ供給口と生成物排出口を供えたＥＤＣ分解炉と、該ＥＤＣ分解炉に接続された生成物分離精製設備を備えた装置を用いて、５００℃でＥＤＣの分解をおこない、ＶＣＭを製造した。１００日連続運転後の装置内の差圧は起動前の１．５倍、２００日連続運転後の差圧は、起動前の２．５倍であった。
【００２１】
実施例１
参考例１と同様に、ＥＤＣ供給口と生成物排出口を供えたＥＤＣ分解炉と、生成物分離精製設備を備えた装置を用いて、５００℃でＥＤＣの分解をおこない、ＶＣＭを製造した。
【００２２】
ＶＣＭ製造１００日経過後、ＥＤＣの供給を止め、分解炉内の温度を一旦常温にした後、１５０℃に設定した。次いで分解炉内にＥＤＣを２時間供給した。分解炉から排出されたコーク含有ＥＤＣは、生成物分離精製設備で、コークとＥＤＣに分離し、コークのみを系外から除去した。
【００２３】
上記処理後、ＥＤＣの供給を止め、分解炉の温度を５００℃にしてから、再度ＥＤＣの供給をおこない、ＶＣＭの製造を再開した。その時の装置内の差圧は、起動前と差圧と同じであり、その後１００日間連続運転後の差圧は、起動前の１．５倍であった。
【００２４】
なお、ＥＤＣ供給停止から、再度ＶＣＭの製造を開始するまでに要した時間は３時間であった。
【００２５】
比較例１
ＥＤＣ供給口と生成物排出口の他に、さらに水蒸気と空気の供給口を備えた分解炉、該ＥＤＣ分解炉に接続された生成物と廃ガスとを切り替える設備、該生成物と廃ガスとを切り替える装置に接続された生成物分離精製設備、該生成物と廃ガスとを切り替える装置に接続された廃ガス処理設備を備えた装置を用いて、５００℃でＥＤＣの分解をおこない、ＶＣＭを製造した。
【００２６】
１００日経過後、ＥＤＣの供給を止め、ＥＤＣを分解炉内から除去した後、分解炉の温度を６００℃にしてから、水蒸気と空気を１２時間供給した。分解炉から排出されるコーク燃焼廃ガスは、生成物と廃ガスとを切り替える設備により廃ガス処理設備に送った。
【００２７】
上記処理後、水蒸気と空気の供給を止め、水蒸気と空気を分解炉内から除去した後、分解炉の温度を５００℃にしてから、再度ＥＤＣの供給をおこない、ＶＣＭの製造を再開した。その時の装置内の差圧は、起動前の１．５倍であった。その後、１００日間連続運転後の装置内の差圧は起動前の５倍となり、事実上ＶＣＭの製造を行なうことはできなくなった。
【００２８】
なお、ＥＤＣ供給停止から、ＶＣＭの製造を再開するまでに要した時間は７２時間であった。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、分解炉内表面に付着したコークを十分に除去でき、かつ、その後のＥＤＣ分解によるＶＣＭ製造時に装置の閉塞をおこさない。さらには、他のデコーキング方法に比べて、特別な装置等が不要で、配管等の取り外しも不要であり、非常に短時間で分解炉内のコークを十分に除去することができる。
【００３０】
そのため、長期間ＥＤＣ分解によるＶＣＭの製造を実質上連続的に行なうことが可能となる。
【００３１】
この効果の発現機構については定かでないが、本発明者らが検討した結果、以下のように推定している。
【００３２】
分解炉温度を運転時の温度から一旦ＥＤＣ気化温度以上分解温度以下とすることにより、分解炉内表面に付着したコークが収縮して、微細な亀裂や分解炉壁面からの剥離が発生する。その後、ＥＤＣを分解炉内に供給すると、ＥＤＣが前記したコークの微細な亀裂に浸透して、堆積したコークは微細な亀裂や分解炉壁面からの剥離が促進される。その結果、コークが剥離・粉砕され、ＥＤＣの気流とともに分解炉内から除去されるものと推定している。
【００３３】
また、従来のスチームエアー法では装置材質の酸化も促進されて分解炉表面に酸化物が生成し、次いでＶＣＭ製造時に発生する塩化水素と上記酸化物とが反応して揮発性の高い金属塩化物が生成することにより、この金属塩化物が配管等を閉塞させていると推定している。
【００３４】
一方、本発明においては、装置材質の酸化を促進すると考えられる水蒸気と空気／酸素による処理を行なわないので、分解炉表面に酸化物が生成しにくく、その後のＶＣＭの製造時に発生する塩化水素との反応による金属塩化物も生成しにくいため、閉塞は発生しないものと推定している。
【発明の属する技術分野】
本発明は、１，２−ジクロロエタン（以下、ＥＤＣという）分解炉内表面に付着したコークを除去するデコーキング方法、および該デコーキング方法を使用した塩化ビニル（以下、ＶＣＭという）の連続製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、ＶＣＭを製造する方法として、熱分解炉を用いて、ＥＤＣを４５０〜５５０℃で熱分解する方法が採用されている。
【０００３】
通常、上記方法によりＶＣＭの製造を行なうと、分解炉内表面にコークと呼ばれる炭化物が付着する。そして長時間ＶＣＭの製造を行なうと、このコークの付着が進行し、その結果、装置内の差圧が上昇して、ＶＣＭの製造を継続することが困難となる。そのため、上記ＶＣＭの製造においては、装置内の差圧が一定以上上昇すると、運転を停止して、デコーキングと呼ばれる、分解炉内表面に付着したコークを除去する作業が必要となる。
【０００４】
一般的に、炭化水素等の改質に使われる熱分解炉のデコーキング方法としては、分解炉中に水蒸気と空気／酸素を高温で導入して付着したコークを燃焼除去するスチームエアー法、分解炉内に加熱水蒸気量を変化させながら導入して熱的ショックにより付着したコーク除去するスチームポンピング法、研磨微粒子を分解炉内に導入して付着したコークを削り取るサンドジェット法、治具等により機械的に付着したコークを削り取るメカニカルクリーニング法等が提案されている。
【０００５】
上記した方法の中で、スチームポンピング法では限られた部分しか有効にコークを除去できない、サンドジェット法では、装置自体も破損の恐れがある、メカニカルクリーニング法では装置の分解等が必要である、という問題点があるため、スチームエアー方法が幅広く採用されている。
【０００６】
しかしながら、本発明者らが、コークが付着したＥＤＣ分解炉において、スチームエアー法によるデコーキングを検討した結果、スチームエアー法では装置内の差圧上昇を十分に改善することができないことが判明した。
【０００７】
すなわち、上記方法ではＥＤＣ分解炉内表面に付着したコークを燃焼除去することができるが、上記したコークの燃焼除去後、ＶＣＭの製造をおこなうと、分解炉のあとに設置されている配管、熱交換機や蒸留塔等の装置が閉塞するという問題が発生する。そのため、この閉塞を改善するために、さらに別の除去方法を実施する必要があった。
【０００８】
したがって、上記した問題により、実質的に長期間ＶＣＭを連続的に製造することが困難であった。
【０００９】
【特許文献１】特開昭６３−１３９１４０号公報
【特許文献２】特開平７−１６５５２号公報
【特許文献３】特開平７−１７９８６３号公報
【特許文献４】特開平１１−２９２８０６号公報
【発明が解決しようとする課題】
したがって、簡便に分解炉内表面に付着したコークを十分に除去でき、さらに、その後のＶＣＭ製造時に配管、熱交換機や蒸留塔等の閉塞をおこさないデコーキング方法が望まれており、また、ＶＣＭを長期間連続的に製造する方法も望まれていた。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題について鋭意研究をおこなった結果、分解炉内の温度をＥＤＣの気化温度以上分解温度以下にし、その後ＥＤＣを分解炉内に供給することにより、非常に短時間かつ簡便に、分解炉内に付着したコークを十分に除去でき、装置の閉塞が発生しないことを見出し、さらに、前記方法をＶＣＭ製造に適用することにより、ＶＣＭを長期間連続的に製造できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１１】
すなわち、本発明は、ＥＤＣ分解炉内表面に付着したコークを除去するデコーキング方法において、ＥＤＣ分解炉内の温度を、ＥＤＣの気化温度以上分解温度以下にして、ＥＤＣを分解炉内に供給することを特徴とするデコーキング方法、および上記デコーキング方法を使用したＶＣＭの連続製造方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１３】
本発明のデコーキング方法においては、まず、ＥＤＣ分解炉内の温度を、ＥＤＣの気化温度以上分解温度以下にすることが必要である。その中でも分解炉内表面付着したコークを十分に除去することを勘案すると、１００〜２００℃の温度範囲が好ましい。
【００１４】
上記したＥＤＣ分解炉内の温度を所定の範囲に設定する条件としては、特に制限されないが、通常は、デコーキング効率を勘案すると、ＶＣＭ製造後、一旦、ＥＤＣの供給を停止し、常温に低下させてから、温度の所定の範囲に設定するのが好ましい。
【００１５】
本発明においては、次いで、分解炉内の温度が所定の温度になってから、ＥＤＣを分解炉内に供給する。ＥＤＣの供給量は、ＶＣＭ製造時に分解炉内に導入する時と同等の流速が確保できれば特に制限されず、通常はＶＣＭ製造時の１〜１０％から適宜設定すればよい。ＥＤＣを分解炉内に供給する時間も特に制限されないが、通常は０．２〜２時間の間から適宜選択される。
【００１６】
本発明の方法により、分解炉内表面に付着していたコークは、ＥＤＣと共に分解炉外に除去される。これらコーク含有コークは、通常設けられている分解炉の後の生成物分離工程で、取り出されたコークのみを分離除去することができる。
【００１７】
本発明のＶＣＭ連続製造方法は、ＥＤＣの熱分解によるＶＣＭの製造と、上記デコーキング方法とを、交互に行なうことにより実施される。
【００１８】
ＥＤＣの熱分解によるＶＣＭの製造と上記デコーキング方法との間隔は、特に限定されないが、分解炉内表面に付着したコーク量の目安となるＶＣＭ製造装置の差圧が製造前より１．５〜３倍程度になった段階で本発明のデコーキングを行なうのが好適である。
【００１９】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づき説明する。ただし本発明は、本実施例に限定されるものではない。
【００２０】
参考例１
ＥＤＣ供給口と生成物排出口を供えたＥＤＣ分解炉と、該ＥＤＣ分解炉に接続された生成物分離精製設備を備えた装置を用いて、５００℃でＥＤＣの分解をおこない、ＶＣＭを製造した。１００日連続運転後の装置内の差圧は起動前の１．５倍、２００日連続運転後の差圧は、起動前の２．５倍であった。
【００２１】
実施例１
参考例１と同様に、ＥＤＣ供給口と生成物排出口を供えたＥＤＣ分解炉と、生成物分離精製設備を備えた装置を用いて、５００℃でＥＤＣの分解をおこない、ＶＣＭを製造した。
【００２２】
ＶＣＭ製造１００日経過後、ＥＤＣの供給を止め、分解炉内の温度を一旦常温にした後、１５０℃に設定した。次いで分解炉内にＥＤＣを２時間供給した。分解炉から排出されたコーク含有ＥＤＣは、生成物分離精製設備で、コークとＥＤＣに分離し、コークのみを系外から除去した。
【００２３】
上記処理後、ＥＤＣの供給を止め、分解炉の温度を５００℃にしてから、再度ＥＤＣの供給をおこない、ＶＣＭの製造を再開した。その時の装置内の差圧は、起動前と差圧と同じであり、その後１００日間連続運転後の差圧は、起動前の１．５倍であった。
【００２４】
なお、ＥＤＣ供給停止から、再度ＶＣＭの製造を開始するまでに要した時間は３時間であった。
【００２５】
比較例１
ＥＤＣ供給口と生成物排出口の他に、さらに水蒸気と空気の供給口を備えた分解炉、該ＥＤＣ分解炉に接続された生成物と廃ガスとを切り替える設備、該生成物と廃ガスとを切り替える装置に接続された生成物分離精製設備、該生成物と廃ガスとを切り替える装置に接続された廃ガス処理設備を備えた装置を用いて、５００℃でＥＤＣの分解をおこない、ＶＣＭを製造した。
【００２６】
１００日経過後、ＥＤＣの供給を止め、ＥＤＣを分解炉内から除去した後、分解炉の温度を６００℃にしてから、水蒸気と空気を１２時間供給した。分解炉から排出されるコーク燃焼廃ガスは、生成物と廃ガスとを切り替える設備により廃ガス処理設備に送った。
【００２７】
上記処理後、水蒸気と空気の供給を止め、水蒸気と空気を分解炉内から除去した後、分解炉の温度を５００℃にしてから、再度ＥＤＣの供給をおこない、ＶＣＭの製造を再開した。その時の装置内の差圧は、起動前の１．５倍であった。その後、１００日間連続運転後の装置内の差圧は起動前の５倍となり、事実上ＶＣＭの製造を行なうことはできなくなった。
【００２８】
なお、ＥＤＣ供給停止から、ＶＣＭの製造を再開するまでに要した時間は７２時間であった。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、分解炉内表面に付着したコークを十分に除去でき、かつ、その後のＥＤＣ分解によるＶＣＭ製造時に装置の閉塞をおこさない。さらには、他のデコーキング方法に比べて、特別な装置等が不要で、配管等の取り外しも不要であり、非常に短時間で分解炉内のコークを十分に除去することができる。
【００３０】
そのため、長期間ＥＤＣ分解によるＶＣＭの製造を実質上連続的に行なうことが可能となる。
【００３１】
この効果の発現機構については定かでないが、本発明者らが検討した結果、以下のように推定している。
【００３２】
分解炉温度を運転時の温度から一旦ＥＤＣ気化温度以上分解温度以下とすることにより、分解炉内表面に付着したコークが収縮して、微細な亀裂や分解炉壁面からの剥離が発生する。その後、ＥＤＣを分解炉内に供給すると、ＥＤＣが前記したコークの微細な亀裂に浸透して、堆積したコークは微細な亀裂や分解炉壁面からの剥離が促進される。その結果、コークが剥離・粉砕され、ＥＤＣの気流とともに分解炉内から除去されるものと推定している。
【００３３】
また、従来のスチームエアー法では装置材質の酸化も促進されて分解炉表面に酸化物が生成し、次いでＶＣＭ製造時に発生する塩化水素と上記酸化物とが反応して揮発性の高い金属塩化物が生成することにより、この金属塩化物が配管等を閉塞させていると推定している。
【００３４】
一方、本発明においては、装置材質の酸化を促進すると考えられる水蒸気と空気／酸素による処理を行なわないので、分解炉表面に酸化物が生成しにくく、その後のＶＣＭの製造時に発生する塩化水素との反応による金属塩化物も生成しにくいため、閉塞は発生しないものと推定している。
Claims (2)
- １，２−ジクロロエタン分解炉内表面に付着したコークを除去するデコーキング方法において、１，２−ジクロロエタン分解炉内の温度を、１，２−ジクロロエタンの気化温度以上分解温度以下にして、１，２−ジクロロエタンを分解炉内に供給することを特徴とするデコーキング方法。
- １，２−ジクロロエタンの熱分解による塩化ビニルの製造と、請求項２記載のデコーキング方法とを交互に行なうことを特徴とする塩化ビニルの連続製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003004345A JP4322011B2 (ja) | 2003-01-10 | 2003-01-10 | デコーキング方法およびｖｃｍ連続製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003004345A JP4322011B2 (ja) | 2003-01-10 | 2003-01-10 | デコーキング方法およびｖｃｍ連続製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004217537A true JP2004217537A (ja) | 2004-08-05 |
| JP2004217537A5 JP2004217537A5 (ja) | 2005-10-13 |
| JP4322011B2 JP4322011B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=32895352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003004345A Expired - Fee Related JP4322011B2 (ja) | 2003-01-10 | 2003-01-10 | デコーキング方法およびｖｃｍ連続製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4322011B2 (ja) |
-
2003
- 2003-01-10 JP JP2003004345A patent/JP4322011B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4322011B2 (ja) | 2009-08-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100478168B1 (ko) | Ｐｆｃ의 처리 방법 및 처리 장치 | |
| US20090314626A1 (en) | Method for treating effluents containing fluorocompounds like pfc and hfc | |
| RU98107578A (ru) | Способ и устройство ступенчатого сжигания для регенерации катализатора риформинга или получения ароматических веществ в движущемся слое | |
| JP2012149288A5 (ja) | 基板処理装置のドライクリーニング方法及び金属膜の除去方法 | |
| TWI336105B (en) | Method for preventing clogging of reaction chamber exhaust lines | |
| JP2007227501A (ja) | 半導体製造装置のクリーニング方法及びクリーニング機能付き半導体製造装置 | |
| JP2004343094A5 (ja) | ||
| JP2004217537A (ja) | デコーキング方法およびｖｃｍ連続製造方法 | |
| JP2557030B2 (ja) | 分解炉及び後段に設けられた分解ガス冷却器を熱デコーキングするための方法 | |
| JP2973347B2 (ja) | デコーキング方法 | |
| JP2007136392A (ja) | アルカリ賦活の排ガスの処理方法 | |
| CN104190672A (zh) | 煤气预热管积碳去除方法 | |
| JP2012144379A (ja) | 単結晶の製造方法 | |
| US1912629A (en) | Treatment of heavy hydrocarbons | |
| JP2007042672A (ja) | プラズマプロセス装置用チャンバー部材及びその製造方法 | |
| JP2818780B2 (ja) | 多結晶シリコンの製造におけるポリマー除去法 | |
| JP2003222408A (ja) | 液中燃焼装置 | |
| JP2008001928A (ja) | 脱脂装置 | |
| JP2003327412A (ja) | フッ素の発生方法 | |
| JPH10310773A (ja) | コークス炉上昇管の付着カーボン除去方法及びコークス炉上昇管 | |
| JPS6359533B2 (ja) | ||
| JP2003147225A (ja) | カーボンブラックの製造方法と装置 | |
| JP4529575B2 (ja) | 除塵装置のダスト払落し方法 | |
| JP2000197807A (ja) | 排気ガス処理装置 | |
| JP2008297464A (ja) | 熱分解ガスの洗浄方法並びにその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050531 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050531 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080729 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080804 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081001 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090210 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20090601 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090602 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |