JP2004217520A - Method for manufacturing dielectric porcelain composition and method for manufacturing electronic component containing dielectric layer - Google Patents

Method for manufacturing dielectric porcelain composition and method for manufacturing electronic component containing dielectric layer Download PDF

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武史 野村
Shigeki Sato
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, which meets temperature characteristics of capacitance including the X7R characteristic (EIA Standard) and the B characteristic (EIAJ Standard), and which has lesser change in capacitance with time in a DC electric field, a long accelerated life of insulation resistance and lesser reduction in capacitance when a DC bias is applied, even if a dielectric layer is very thin with the thickness of 4 μm or smaller. <P>SOLUTION: The method for manufacturing a dielectric porcelain composition containing at least BaTiO<SB>3</SB>as a main ingredient, a second auxiliary ingredient expressed by (Ba,Ca)<SB>x</SB>SiO<SB>2+x</SB>( provided that x=0.8-1.2), and other auxiliary ingredients comprises: a step of mixing the main ingredient with at least a part of the other auxiliary ingredients than the second auxiliary ingredient to obtain a mixed powder before calcination; a step of calcining the mixed powder to prepare a calcined powder; and a step of mixing the calcined powder with at least the second auxiliary ingredient so that the ratio of each of these auxiliary ingredients to the main ingredient of BaTiO3 is adjusted to a prescribed molar ratio, to manufacture the dielectric porcelain composition. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

本発明は、誘電体磁器組成物の製造方法と、積層型セラミックコンデンサなどの誘電体層含有電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a dielectric ceramic composition and a method for producing a dielectric layer-containing electronic component such as a multilayer ceramic capacitor.

積層型セラミックコンデンサは、小型、大容量、高信頼性の電子部品として広く利用されており、電気機器および電子機器の中で使用される個数も多数にのぼる。近年、機器の小型且つ高性能化に伴い、積層型セラミックコンデンサに対する更なる小型化、大容量化、低価格化、高信頼性化への要求はますます厳しくなっている。   2. Description of the Related Art Multilayer ceramic capacitors are widely used as small, large-capacity, high-reliability electronic components, and the number used in electric devices and electronic devices is large. In recent years, with the miniaturization and high performance of devices, demands for further miniaturization, large capacity, low cost, and high reliability of multilayer ceramic capacitors have become more and more severe.

積層型セラミックコンデンサは、通常、内部電極のペーストと誘電体のスラリー(ペースト)とを、シート法や印刷法等により積層し、焼成して製造される。かかる内部電極には、一般に、PdやPd合金が用いられてきたが、Pdは高価であるため、比較的安価なNiやNi合金が使用されつつある。ところで、内部電極をNiやNi合金で形成する場合は、大気中で焼成を行うと電極が酸化してしまうという問題がある。このため、一般に、脱バインダ後は、NiとNiOの平衡酸素分圧よりも低い酸素分圧で焼成し、その後熱処理により誘電体層を再酸化させている(特開平03−133116号公報、特許第2787746号)。   A multilayer ceramic capacitor is usually manufactured by laminating a paste of an internal electrode and a slurry (paste) of a dielectric by a sheet method or a printing method, and firing. In general, Pd and Pd alloy have been used for such internal electrodes. However, since Pd is expensive, relatively inexpensive Ni or Ni alloy is being used. By the way, when the internal electrode is formed of Ni or a Ni alloy, there is a problem that the electrode is oxidized when firing in the air. Therefore, in general, after the binder is removed, firing is performed at an oxygen partial pressure lower than the equilibrium oxygen partial pressure of Ni and NiO, and then the dielectric layer is re-oxidized by heat treatment (Japanese Patent Application Laid-Open No. 03-133116; No. 2,877,746).

しかしながら、還元性雰囲気中で焼成すると、誘電体層が還元され、比抵抗が小さくなってしまう。そこで、還元性雰囲気中で焼成しても還元されない耐還元性の誘電体材料が提案されている(I. Burn, et al., ”High Resistivity BaTiO Ceramics Sintered in CO−CO Atmospheres” J. Mater. Sci., 10, 633 (1975); Y. Sakabe, et al., ”High−Dielectric Constant Ceramics for Base Metal Monolithic Capacitors” pn. J. Appl. Phys., 20 Suppl. 20−4, 147 (1981))。 However, when firing in a reducing atmosphere, the dielectric layer is reduced and the specific resistance is reduced. Therefore, a reduction-resistant dielectric material that is not reduced even when fired in a reducing atmosphere has been proposed (I. Burn, et al., "High Resistivity BaTiO 3 Ceramics Sintered in CO-CO 2 Atmospheres" J. Am. Mater. Sci., 10, 633 (1975); Y. Sakabe, et al., "High-Dielectric Constant Ceramics for Base Metal Monolithic Capacitors, 20.P.p.20. 1981)).

しかしながら、これらの耐還元性の誘電体材料を用いた積層型セラミックコンデンサは、絶縁抵抗(IR)の高温加速寿命が短く、信頼性が低いという問題がある。また、誘電体の比誘電率が経時的に低下するという問題があり、直流電界下で特に顕著である。積層型セラミックコンデンサを、小型且つ大容量化するために誘電体層の厚みを薄くすると、直流電圧を印加したときの誘電体層にかかる電界強度が大きくなる。このために、比誘電率の経時変化が著しく大きくなってしまう。   However, multilayer ceramic capacitors using these reduction-resistant dielectric materials have a problem that the high-temperature accelerated life of the insulation resistance (IR) is short and the reliability is low. In addition, there is a problem that the relative permittivity of the dielectric material decreases with time, which is particularly remarkable under a DC electric field. When the thickness of the dielectric layer is reduced in order to reduce the size and increase the capacity of the multilayer ceramic capacitor, the electric field intensity applied to the dielectric layer when a DC voltage is applied increases. For this reason, the change with time of the relative dielectric constant becomes extremely large.

ところで、EIA規格に定められたX7R特性と呼ばれる規格では、容量の変化率が−55℃から125℃の間で±15%以内(基準温度25℃)と定められている。X7R特性を満足する誘電体材料としては、例えば特開昭61−36170号公報に示されるBaTiO+SrTiO+MnO系の組成が知られている。しかしながら、この組成は、直流電界下における容量の経時変化が大きく、例えば40℃で50Vの直流電界を1000時間印加すると、容量の変化率が−10〜−30%程度となってしまい、X7R特性を満足することができなくなる。 By the way, in a standard called the X7R characteristic defined in the EIA standard, the rate of change of the capacitance is defined to be within ± 15% (reference temperature 25 ° C.) between −55 ° C. and 125 ° C. As a dielectric material satisfying the X7R characteristic, for example, a BaTiO 3 + SrTiO 3 + MnO-based composition disclosed in JP-A-61-36170 is known. However, this composition has a large change with time in the capacity under a DC electric field. For example, when a DC electric field of 50 V is applied at 40 ° C. for 1000 hours, the rate of change of the capacity becomes about −10 to −30%, and the X7R characteristic Cannot be satisfied.

また、容量の温度特性であるB特性(EIAJ規格)と呼ばれる規格では、−25〜85℃の間で±10%以内(基準温度20℃)と定められている。   Further, in a standard called the B characteristic (EIAJ standard), which is a temperature characteristic of the capacitance, the temperature is set within a range of −25 to 85 ° C. within ± 10% (a reference temperature of 20 ° C.).

また、この他、耐還元性の誘電体磁器組成物としては、特開昭57−71866号公報に開示されているBaTiO+MnO+MgO、特開昭61−250905号公報に開示されている(Ba1−x SrO)Ti1−y Zr+α((1−z)MnO+zCoO)+β((1−t)A+tL)+wSiO(ただし、A=Nb,Ta,V;L=Yまたは希土類元素)、特開平2−83256号公報に開示されているBaCa1−a SiOを添加したチタン酸バリウム等が挙げられる。 In addition to this, as the reduction resistant dielectric ceramic composition, BaTiO 3 + MnO + MgO disclosed in JP-A-57-71866, it is disclosed in JP-A-61-250905 (Ba 1 -x Sr x O) a Ti 1 -y Zr y O 2 + α ((1-z) MnO + zCoO) + β ((1-t) A 2 O 5 + tL 2 O 3) + wSiO 2 ( provided that, A = Nb, Ta , V; L = Y or a rare earth element), barium titanate was added Ba a Ca 1-a SiO 3 disclosed in JP-a-2-83256, and the like.

しかしながら、これらのいずれの誘電体磁器組成物も、誘電体層厚みが、たとえば4μm以下という超薄層の場合には、容量の温度特性、直流電界下での容量の経時変化、絶縁抵抗の加速寿命、直流バイアス下の容量低下等の特性のすべてを満足することは非常に難しい。例えば、特開昭61−250905号公報および特開平2−832号公報にそれぞれ開示されているものでは、絶縁抵抗の加速寿命が短いとか直流バイアス下の容量低下が大きいという問題を生じる。   However, in any of these dielectric ceramic compositions, when the thickness of the dielectric layer is an ultra-thin layer of, for example, 4 μm or less, the temperature characteristics of the capacitance, the time-dependent change of the capacitance under a DC electric field, and the acceleration of insulation resistance It is very difficult to satisfy all of the characteristics such as the life and the capacity reduction under DC bias. For example, those disclosed in JP-A-61-250905 and JP-A-2-832, respectively, have a problem that the accelerated life of the insulation resistance is short and the capacity decrease under DC bias is large.

本発明は、このような事情からなされたものであり、本発明の目的は、誘電体層厚みが超薄層の場合においても、容量の温度特性であるX7R特性(EIA規格)およびB特性(EIAJ規格)をいずれも満足することができ、かつ、直流電界下での容量の経時変化が小さく、絶縁抵抗の加速寿命が長く、また、直流バイアス下の容量低下が小さい積層型セラミックコンデンサなどの誘電体層含有電子部品を得るための製造方法を提供することである。また、本発明は、このように優れた特性を持つ積層型セラミックコンデンサなどの誘電体層含有電子部品の誘電体層として好適に用いられる誘電体磁器組成物を製造するための方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an X7R characteristic (EIA standard) and a B characteristic (EIA standard), which are temperature characteristics of capacitance, even when the thickness of the dielectric layer is very thin. EIAJ standard), a small change in capacitance under a DC electric field with time, a long acceleration life of insulation resistance, and a small decrease in capacitance under a DC bias. An object of the present invention is to provide a manufacturing method for obtaining a dielectric layer-containing electronic component. Further, the present invention provides a method for producing a dielectric ceramic composition suitably used as a dielectric layer of a dielectric layer-containing electronic component such as a multilayer ceramic capacitor having such excellent characteristics. With the goal.

上記目的を達成するために、本発明に係る誘電体磁器組成物の製造方法は、
組成式BaTiO2+n で表され、前記組成式中のmが0.995≦m≦1.010であり、nが0.995≦n≦1.010であり、BaとTiとの比が0.995≦Ba/Ti≦1.010である主成分と、
酸化シリコンを主成分として含む焼結助剤である第2副成分と、
その他の副成分とを少なくとも有する誘電体磁器組成物を製造する方法であって、
前記第2副成分を除いて、前記主成分と、その他の副成分のうちの少なくとも一部とを混合し、仮焼前粉体を準備する工程と、
前記仮焼前粉体を仮焼きして仮焼済粉体を準備する工程と、
前記仮焼済粉体に、前記第2副成分を少なくとも混合し、前記主成分に対する各副成分の比率が所定モル比である誘電体磁器組成物を得る工程と、を有する。
In order to achieve the above object, a method for producing a dielectric porcelain composition according to the present invention,
Expressed by a composition formula Ba m TiO 2 + n, m in the composition formula is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, n is 0.995 ≦ n ≦ 1.010, the ratio of Ba and Ti A main component satisfying 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010;
A second auxiliary component, which is a sintering aid containing silicon oxide as a main component,
A method for producing a dielectric ceramic composition having at least other subcomponents,
Excluding the second sub-component, mixing the main component and at least a part of other sub-components, preparing a powder before calcination,
A step of calcining the powder before calcining to prepare a calcined powder,
A step of mixing at least the second subcomponent with the calcined powder to obtain a dielectric ceramic composition in which the ratio of each subcomponent to the main component is a predetermined molar ratio.

本発明の第1の観点では、
前記第2副成分が(Ba,Ca)SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)で表される組成を有し、
前記その他の副成分が、
MgO,CaO,BaO,SrOおよびCrから選択される少なくとも1種を含む第1副成分と、
,MoOおよびWOから選択される少なくとも1種を含む第3副成分と、
Rの酸化物(ただし、RはY、Dy、Tb、GdおよびHoから選択される少なくとも一種)を含む第4副成分と、を少なくとも有し、
前記仮焼済粉体に、前記第2副成分を少なくとも混合し、前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜3モル、
第2副成分:2〜12モル、
第3副成分:0.1〜3モル、
第4副成分:0.1〜10.0モル(ただし、第4副成分のモル数は、R単独での比率である)である誘電体磁器組成物を得ることが好ましい。
In a first aspect of the present invention,
The second subcomponent is (Ba, Ca) x SiO 2 + x ( however, x = 0.8 to 1.2) having a composition represented by,
The other subcomponents,
A first auxiliary component containing at least one selected from MgO, CaO, BaO, SrO and Cr 2 O 3 ;
A third subcomponent including at least one kind selected from V 2 O 5, MoO 3 and WO 3,
A fourth subcomponent containing an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tb, Gd and Ho).
The calcined powder, at least the second sub-component is mixed, the ratio of each sub-component with respect to 100 mol of the main component,
First subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Second subcomponent: 2 to 12 mol,
Third subcomponent: 0.1 to 3 mol,
It is preferable to obtain a dielectric ceramic composition in which the fourth subcomponent is 0.1 to 10.0 moles (where the number of moles of the fourth subcomponent is the ratio of R alone).

本発明の第2の観点では、
前記第2副成分が(Ba,Ca)SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)で表される組成を有し、
前記その他の副成分が、
MgO,CaO,BaO,SrOおよびCrから選択される少なくとも1種を含む第1副成分と、
,MoOおよびWOから選択される少なくとも1種を含む第3副成分と、
Rの酸化物(ただし、RはY、Dy、Tb、GdおよびHoから選択される少なくとも一種)を含む第4副成分と、
MnOを含む第5副成分とを少なくとも有し、
前記仮焼済粉体に、前記第2副成分を少なくとも混合し、前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜3モル、
第2副成分:2〜12モル、
第3副成分:0.1〜3モル、
第4副成分:0.1〜10.0モル(ただし、第4副成分のモル数は、R単独での比率である)、
第5副成分:0.05〜1.0モルである誘電体磁器組成物を得ることが好ましい。
In a second aspect of the present invention,
The second subcomponent is (Ba, Ca) x SiO 2 + x ( however, x = 0.8 to 1.2) having a composition represented by,
The other subcomponents,
A first auxiliary component containing at least one selected from MgO, CaO, BaO, SrO and Cr 2 O 3 ;
A third subcomponent including at least one kind selected from V 2 O 5, MoO 3 and WO 3,
A fourth subcomponent containing an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tb, Gd and Ho);
At least a fifth subcomponent containing MnO,
The calcined powder, at least the second sub-component is mixed, the ratio of each sub-component with respect to 100 mol of the main component,
First subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Second subcomponent: 2 to 12 mol,
Third subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Fourth subcomponent: 0.1 to 10.0 moles (however, the number of moles of the fourth subcomponent is a ratio of R alone),
It is preferable to obtain a dielectric ceramic composition having a fifth subcomponent: 0.05 to 1.0 mol.

なお、本明細書では、主成分および各副成分を構成する各酸化物を化学量論組成で表しているが、各酸化物の酸化状態は、化学量論組成から外れるものであってもよい。ただし、各副成分の上記比率は、各副成分を構成する酸化物に含有される金属量から上記化学量論組成の酸化物に換算して求める。また、誘電体磁器組成物の原料粉末としては、上記した酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。
また、前記第2副成分中のBaとCaとの比率は任意であり、一方のみを含有するものでも良い。
Note that, in the present specification, each oxide constituting the main component and each subcomponent is represented by a stoichiometric composition, but the oxidation state of each oxide may deviate from the stoichiometric composition. . However, the above ratio of each subcomponent is determined by converting the amount of metal contained in the oxide constituting each subcomponent to an oxide having the above stoichiometric composition. Further, as the raw material powder of the dielectric ceramic composition, the above-described oxides and mixtures thereof, and composite oxides can be used.Other compounds that become the above-described oxides and composite oxides by firing, for example, Carbonates, oxalates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds and the like can be appropriately selected and used as a mixture.
Further, the ratio between Ba and Ca in the second subcomponent is arbitrary, and may contain only one of them.

本発明では、前記主成分の平均粒径は、特に限定されないが、好ましくは0.1〜0.7μm、さらに好ましくは0.2〜0.7μmである。   In the present invention, the average particle size of the main component is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 0.7 μm, and more preferably 0.2 to 0.7 μm.

本発明では、前記仮焼前粉体中に含まれる成分のモル比:(Ba+第1副成分の金属元素)/(Ti+第4副成分の金属元素)が1未満、または(Ba+第4副成分の金属元素)/(Ti+第1副成分の金属元素)が1を超えるように、前記仮焼前粉体を準備し、仮焼を行うことが好ましい。   In the present invention, the molar ratio of the components contained in the powder before calcination: (Ba + the metal element of the first subcomponent) / (Ti + the metal element of the fourth subcomponent) is less than 1 or (Ba + the fourth subcomponent). It is preferable that the powder before calcining is prepared and calcined so that the ratio of (metal element of the component) / (Ti + metal element of the first subcomponent) exceeds 1.

本発明では、前記仮焼前粉体を準備する際には、仮焼前粉体には、第1副成分を必ず含ませることが好ましい。   In the present invention, when preparing the powder before calcining, it is preferable that the powder before calcining always contains the first subcomponent.

本発明では、仮焼前粉体中に、第4副成分の原料が含まれている場合には、仮焼温度は、好ましくは500℃以上1200℃未満であり、さらに好ましくは600〜900℃である。また、仮焼前粉体中に、第4副成分の原料が含まれていない場合には、仮焼温度は、好ましくは600〜1300℃、さらに好ましくは900〜1300℃、特に好ましくは1000〜1200℃である。
なお、仮焼きは、複数回行っても良い。
In the present invention, when the raw material of the fourth subcomponent is contained in the powder before calcination, the calcination temperature is preferably 500 ° C. or more and less than 1200 ° C., and more preferably 600 to 900 ° C. It is. When the raw material of the fourth subcomponent is not contained in the powder before calcining, the calcining temperature is preferably 600 to 1300 ° C, more preferably 900 to 1300 ° C, and particularly preferably 1000 to 1300 ° C. 1200 ° C.
Note that the calcination may be performed a plurality of times.

前記仮焼済粉体には、前記第2副成分を少なくとも混合させれば良く、必要に応じて、主成分、第1副成分、第3副成分、第4副成分および第5副成分のうちの一つ以上をさらに混合し、最終的に得られる誘電体磁器組成物の組成が上記範囲となればよい。   The calcined powder may be mixed with at least the second subcomponent. If necessary, the main component, the first subcomponent, the third subcomponent, the fourth subcomponent, and the fifth subcomponent may be mixed. One or more of them may be further mixed, and the composition of the finally obtained dielectric ceramic composition may be within the above range.

また、本発明の第3の観点では、
NiまたはNi合金からなる内部電極と誘電体層とを交互に積層してなる積層型セラミックコンデンサであって、誘電体層が、BaTiO:100モル、MgOまたはCaOの少なくとも1種:0.1〜3モル、MnO:0.05〜1.0モル、Y:0.1〜5モル、V:0.1〜3モル、BaCa1−a SiO(aは0〜1の数である):2〜12モルをこのモル比で含む積層型セラミックコンデンサの製造方法において、
BaTiOと、MgOまたはCaOまたは熱処理によってMgOまたはCaOになる化合物の少なくとも1種を予め混合し、900℃〜1300℃で仮焼きした材料を、誘電体材料全体に対して70重量%以上用いることを特徴とする積層型セラミックコンデンサが提供される。
In a third aspect of the present invention,
An internal electrode and a dielectric layer made of Ni or Ni alloy to a multilayer ceramic capacitor comprising alternately stacked dielectric layers, BaTiO 3: 100 moles, at least one of MgO or CaO: 0.1 3 mol, MnO: 0.05 to 1.0 mol, Y 2 O 3: 0.1~5 moles, V 2 O 5: 0.1~3 moles, Ba a Ca 1-a SiO 3 (a in 0 to 1): 2 to 12 moles in this molar ratio in the manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor,
BaTiO 3 and at least one of MgO or CaO or a compound which becomes MgO or CaO by heat treatment are mixed in advance, and a material calcined at 900 ° C. to 1300 ° C. is used in an amount of 70% by weight or more based on the entire dielectric material. The present invention provides a multilayer ceramic capacitor characterized by the following.

また、本発明の第4の観点では、
NiまたはNi合金からなる内部電極と誘電体層とを交互に積層してなる積層型セラミックコンデンサであって、誘電体層が、BaTiO:100モル、MgOまたはCaOの少なくとも1種:0.1〜3モル、MnO:0.05〜1.0モル、Y:0.1〜5モル、V:0.1〜3モル、BaCa1−a SiO(aは0〜1の数である):2〜12モルをこのモル比で含む積層型セラミックコンデンサの製造方法において、
BaTiOと、MgOまたはCaOまたは熱処理によってMgOまたはCaOになる化合物の少なくとも1種と、MnOまたは熱処理によってMnOになる化合物、Yまたは熱処理によってYになる化合物、およびVまたは熱処理によってVになる化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種とを予め混合し、900℃〜1300℃で仮焼きした材料を、誘電体材料全体に対して70重量%以上用いることを特徴とする積層型セラミックコンデンサが提供される。
本発明の第3および第4の観点において、BaTiOの平均粒径が0.2〜0.7μmであることが好ましい。なお、本発明の第3および第4の観点では、Yのモル数は、Y単独でのモル数ではなく、Yのモル数である。
In a fourth aspect of the present invention,
An internal electrode and a dielectric layer made of Ni or Ni alloy to a multilayer ceramic capacitor comprising alternately stacked dielectric layers, BaTiO 3: 100 moles, at least one of MgO or CaO: 0.1 3 mol, MnO: 0.05 to 1.0 mol, Y 2 O 3: 0.1~5 moles, V 2 O 5: 0.1~3 moles, Ba a Ca 1-a SiO 3 (a in 0 to 1): 2 to 12 moles in this molar ratio in the manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor,
BaTiO 3 , MgO or CaO or at least one kind of a compound which becomes MgO or CaO by heat treatment, MnO or a compound which becomes MnO by heat treatment, Y 2 O 3 or a compound which becomes Y 2 O 3 by heat treatment, and V 2 O 5 or at least one selected from the group consisting of compounds that become V 2 O 5 by heat treatment, and a material calcined at 900 ° C. to 1300 ° C. is used in an amount of 70% by weight or more based on the entire dielectric material. A multilayer ceramic capacitor is provided.
In the third and fourth aspects of the present invention, it is preferable that the average particle diameter of BaTiO 3 is 0.2 to 0.7 μm. In the third and fourth aspects of the present invention, the number of moles of Y 2 O 3 is not the number of moles of Y alone but the number of moles of Y 2 O 3 .

従来の誘電体磁器組成物の製造方法では、BaTiO2+n と添加物とを一度に混合し、誘電体磁器組成物の混合粉末、または誘電体ペーストを作製している。しかしながら、従来の方法では、焼成後の誘電体磁器組成物中に、添加物(第1〜第5副成分)などの偏析が生じ、各結晶間の組成のバラツキが生じてしまう。このような偏析により、誘電体の誘電率および絶縁抵抗が悪化する。 In the conventional method of manufacturing a dielectric ceramic composition, mixing the additive with Ba m TiO 2 + n at a time, and to prepare a mixed powder or dielectric paste, the dielectric ceramic composition. However, in the conventional method, segregation of additives (first to fifth subcomponents) and the like occurs in the dielectric ceramic composition after firing, and the composition of each crystal varies. Such segregation deteriorates the dielectric constant and insulation resistance of the dielectric.

本発明によれば、第2副成分を除いて、主成分と、第1副成分、第3副成分、第4副成分および第5副成分のうちの少なくとも一つとを混合して仮焼することで、各結晶粒子同士の組成バラツキを抑制することができ、その結果、偏析相の析出を抑制すると共に、偏析相の大きさを制御することができる。したがって、本発明によれば、X7R特性およびB特性の双方を満足しつつ、直流電界下での容量の経時変化が小さく、絶縁抵抗の加速寿命が長く、直流電界下での容量低下が小さい、信頼性に優れた積層型セラミックコンデンサなどの誘電体層含有電子部品に好適に用いられる誘電体磁器組成物を製造することができる。このことは、本発明者等により初めて見出された。   According to the present invention, except for the second subcomponent, the main component is mixed with at least one of the first, third, fourth and fifth subcomponents and calcined. Thereby, the composition variation between the crystal grains can be suppressed, and as a result, the segregation phase can be suppressed and the size of the segregation phase can be controlled. Therefore, according to the present invention, while satisfying both the X7R characteristic and the B characteristic, the change with time of the capacitance under a DC electric field is small, the accelerated life of insulation resistance is long, and the capacitance decrease under a DC electric field is small. A dielectric ceramic composition suitable for use in a dielectric layer-containing electronic component such as a multilayer ceramic capacitor having excellent reliability can be manufactured. This was first discovered by the present inventors.

また、本発明に係る製造方法で得られた誘電体磁器組成物は、蒸発飛散するようなPb,Bi,Znのような元素を含有しないため、還元雰囲気でも焼成可能である。このため、内部電極としてNiおよびNi合金などの卑金属を使用することが可能となり、低コスト化が可能となる。   In addition, the dielectric ceramic composition obtained by the manufacturing method according to the present invention does not contain elements such as Pb, Bi, and Zn that evaporate and scatter, and therefore can be fired even in a reducing atmosphere. For this reason, it is possible to use a base metal such as Ni and a Ni alloy as the internal electrode, and it is possible to reduce the cost.

また、本発明に係る製造方法で得られた誘電体磁器組成物は、還元雰囲気下での焼成においても、X7R特性およびB特性を満足し、直流電界印加による容量エージング特性、絶縁抵抗の劣化が小さく、信頼性にも優れている。このため、本発明の方法は、積層コンデンサの薄層化に伴う高温領域の温度変化率の悪化を抑制する手法としても効果が期待できる。   In addition, the dielectric ceramic composition obtained by the production method according to the present invention satisfies the X7R characteristic and the B characteristic even when fired in a reducing atmosphere, and the deterioration of the capacitance aging characteristic and the insulation resistance due to the application of a DC electric field is suppressed. Small and excellent in reliability. For this reason, the method of the present invention can be expected to be effective also as a method of suppressing the deterioration of the rate of temperature change in a high temperature region due to the thinning of the multilayer capacitor.

また、本発明に係る製造方法で得られた誘電体磁器組成物は、Pb,Biなどの物質を含有しないため、使用後の廃棄、処分などによる環境への悪影響が小さい製品を提供できる。   In addition, since the dielectric ceramic composition obtained by the production method according to the present invention does not contain substances such as Pb and Bi, it is possible to provide a product having a small adverse effect on the environment due to disposal and disposal after use.

また、本発明に係る製造方法では、添加物が析出して形成された異相が少ない均一な組織の誘電体磁器組成物を実現することができ、誘電体磁器組成物の誘電率、絶縁抵抗を改善できる。また、本発明に係る製造方法では、偶発的に生じてしまう構造的な欠陥を防止できるために、高い信頼性を有する積層型セラミックコンデンサを提供できる。   Further, in the production method according to the present invention, it is possible to realize a dielectric ceramic composition having a uniform structure with less heterogeneous phase formed by precipitation of an additive, and to reduce the dielectric constant and insulation resistance of the dielectric ceramic composition. Can be improved. In addition, the manufacturing method according to the present invention can provide a multilayer ceramic capacitor having high reliability because it is possible to prevent accidental structural defects.

また、添加物組成を変更することなく異相析出を抑制できるために、容量温度特性がX7R特性およびB特性を満足する積層型セラミックコンデンサなどの誘電体層含有電子部品を容易に製造することができる。   In addition, since the hetero-phase precipitation can be suppressed without changing the additive composition, it is possible to easily manufacture a dielectric layer-containing electronic component such as a multilayer ceramic capacitor having a capacity-temperature characteristic satisfying the X7R characteristic and the B characteristic. .

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は本発明の1実施形態に係る積層型セラミックコンデンサの断面図である。
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention.

積層型セラミックコンデンサ
本発明に係る誘電体磁器組成物の製造方法について説明する前に、まず、積層型セラミックコンデンサについて説明する。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る積層型セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層された構成のコンデンサ素子本体10を有する。このコンデンサ素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。コンデンサ素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよいが、通常、(0.6〜5.6mm、好ましくは0.6〜3.2mm)×(0.3〜5.0mm、好ましくは0.3〜1.6mm)×(0.3〜1.9mm、好ましくは0.3〜1.6mm)程度である。
Multilayer Ceramic Capacitor Before describing the method for producing the dielectric ceramic composition according to the present invention, first, a multilayer ceramic capacitor will be described.
As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor 1 according to one embodiment of the present invention has a capacitor element body 10 having a configuration in which dielectric layers 2 and internal electrode layers 3 are alternately stacked. At both ends of the capacitor element body 10, a pair of external electrodes 4 are formed, each of which is electrically connected to the internal electrode layers 3 alternately arranged inside the element body 10. The shape of the capacitor element body 10 is not particularly limited, but is usually a rectangular parallelepiped. The size is not particularly limited, and may be an appropriate size depending on the application. Usually, the size is (0.6 to 5.6 mm, preferably 0.6 to 3.2 mm) × (0.3 About 5.0 mm, preferably 0.3 to 1.6 mm) × (0.3 to 1.9 mm, preferably 0.3 to 1.6 mm).

内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。   The internal electrode layers 3 are laminated so that each end face is alternately exposed on the surfaces of two opposing end portions of the capacitor element body 10. The pair of external electrodes 4 are formed at both ends of the capacitor element body 10 and connected to the exposed end faces of the alternately arranged internal electrode layers 3 to form a capacitor circuit.

誘電体層2
誘電体層2は、本発明の製造方法により得られる誘電体磁器組成物を含有する。 本発明の製造方法により得られる誘電体磁器組成物は、
組成式BaTiO2+n で表され、前記組成式中のmが0.995≦m≦1.010であり、nが0.995≦n≦1.010であり、BaとTiとの比が0.995≦Ba/Ti≦1.010である主成分と、
MgO,CaO,BaO,SrOおよびCrから選択される少なくとも1種を含む第1副成分と、
(Ba,Ca)SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)で表される第2副成分と、
,MoOおよびWOから選択される少なくとも1種を含む第3副成分と、
Rの酸化物(ただし、RはY、Dy、Tb、GdおよびHoから選択される少なくとも一種)を含む第4副成分ととを少なくとも有する誘電体磁器組成物で構成してある。
Dielectric layer 2
The dielectric layer 2 contains the dielectric ceramic composition obtained by the manufacturing method of the present invention. Dielectric porcelain composition obtained by the production method of the present invention,
Expressed by a composition formula Ba m TiO 2 + n, m in the composition formula is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, n is 0.995 ≦ n ≦ 1.010, the ratio of Ba and Ti A main component satisfying 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010;
A first auxiliary component containing at least one selected from MgO, CaO, BaO, SrO and Cr 2 O 3 ;
A second subcomponent represented by (Ba, Ca) x SiO 2 + x (where x = 0.8 to 1.2);
A third subcomponent including at least one kind selected from V 2 O 5, MoO 3 and WO 3,
And a fourth subcomponent containing an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tb, Gd and Ho).

前記主成分に対する上記各副成分の比率は、前記主成分100モルに対し、
第1副成分:0.1〜3モル、
第2副成分:2〜12モル、
第3副成分:0.1〜3モル、
第4副成分:0.1〜10.0モルである。
なお、第4副成分の上記比率は、R酸化物のモル比ではなく、R単独のモル比である。すなわち、例えば第4副成分としてYの酸化物を用いた場合、第4副成分の比率が1モルであることは、Yの比率が1モルなのではなく、Yの比率が1モルであることを意味する。
The ratio of each sub-component to the main component is, with respect to 100 moles of the main component,
First subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Second subcomponent: 2 to 12 mol,
Third subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Fourth subcomponent: 0.1 to 10.0 mol.
The above ratio of the fourth subcomponent is not the molar ratio of the R oxide, but the molar ratio of R alone. That is, for example, when an oxide of Y is used as the fourth subcomponent, the fact that the ratio of the fourth subcomponent is 1 mol means that the ratio of Y 2 O 3 is not 1 mol, but the ratio of Y is 1 mol. It means that

本明細書では、主成分および各副成分を構成する各酸化物を化学量論組成で表しているが、各酸化物の酸化状態は、化学量論組成から外れるものであってもよい。ただし、各副成分の上記比率は、各副成分を構成する酸化物に含有される金属量から上記化学量論組成の酸化物に換算して求める。また、誘電体磁器組成物の原料粉末としては、上記した酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。   In the present specification, each oxide constituting the main component and each subcomponent is represented by a stoichiometric composition, but the oxidation state of each oxide may deviate from the stoichiometric composition. However, the above ratio of each subcomponent is determined by converting the amount of metal contained in the oxide constituting each subcomponent to an oxide having the above stoichiometric composition. Further, as the raw material powder of the dielectric ceramic composition, the above-described oxides and mixtures thereof, and composite oxides can be used.Other compounds that become the above-described oxides and composite oxides by firing, for example, Carbonates, oxalates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds and the like can be appropriately selected and used as a mixture.

上記各副成分の含有量の限定理由は以下のとおりである。
第1副成分(MgO,CaO,BaO,SrOおよびCr)の含有量が少なすぎると、直流バイアス下の容量低下に対する抑制効果が不十分になる傾向にある。一方、含有量が多すぎると、誘電率の低下が著しくなる傾向にあり、且つ絶縁抵抗の加速寿命が短くなる傾向にある。なお、第1副成分中における各酸化物の構成比率は任意である。
The reasons for limiting the content of each of the above subcomponents are as follows.
When the first auxiliary component content of (MgO, CaO, BaO, SrO and Cr 2 O 3) is too small, effect of suppressing the capacity reduction under DC bias tends to become insufficient. On the other hand, if the content is too large, the dielectric constant tends to be significantly reduced, and the accelerated life of insulation resistance tends to be short. Note that the constituent ratio of each oxide in the first subcomponent is arbitrary.

第2副成分[(Ba,Ca)SiO2+x ]中のBaOおよびCaOは第1副成分にも含まれるが、複合酸化物である(Ba,Ca)SiO2+x は融点が低いため主成分に対する反応性が良好なので、本発明ではBaOおよび/またはCaOを上記複合酸化物としても添加する。第2副成分の含有量が少なすぎると、焼結性が悪く、絶縁抵抗の加速寿命が短く、容量の温度特性がX7R特性の規格を満足しにくくなる傾向にある。一方、含有量が多すぎると、誘電率が低く、容量が低下すると共に、絶縁抵抗の加速寿命も短くなる。 Second subcomponent BaO and CaO in [(Ba, Ca) x SiO 2 + x] in the are also included in the first subcomponent, a composite oxide (Ba, Ca) x SiO 2 + x is the main component has a low melting point In the present invention, BaO and / or CaO are also added as the above-mentioned composite oxide because of its good reactivity with respect to. If the content of the second subcomponent is too small, the sinterability tends to be poor, the accelerated life of the insulation resistance is short, and the temperature characteristics of the capacitance tend to be difficult to satisfy the X7R characteristics standard. On the other hand, if the content is too large, the dielectric constant is low, the capacity is reduced, and the accelerated life of the insulation resistance is shortened.

(Ba,Ca)SiO2+x におけるxは、好ましくは0.8〜1.2であり、より好ましくは0.9〜1.1である。xが小さすぎると、すなわちSiOが多すぎると、主成分のBaTiO2+n と反応して誘電体特性を悪化させてしまう。一方、xが大きすぎると、融点が高くなって焼結性を悪化させるため、好ましくない。なお、第2副成分においてBaとCaとの比率は任意であり、一方だけを含有するものであってもよい。 X in (Ba, Ca) xSiO2 + x is preferably 0.8 to 1.2, and more preferably 0.9 to 1.1. When x is too small, i.e. when SiO 2 is too much, it causes the dielectric characteristic to deteriorate reacts with Ba m TiO 2 + n in the main component. On the other hand, if x is too large, the melting point becomes high and the sinterability deteriorates, which is not preferable. In the second subcomponent, the ratio between Ba and Ca is arbitrary, and the second subcomponent may contain only one of them.

第3副成分(V,MoOおよびWO)の含有量が少なすぎると、破壊電圧が低下し、容量の温度特性がX7R特性の規格を満足しにくくなる傾向にある。一方、含有量が多すぎると、初期の絶縁抵抗が低くなる傾向にある。なお、第3副成分中における各酸化物の構成比率は任意である。 If the content of the third subcomponent (V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3 ) is too small, the breakdown voltage tends to decrease, and the temperature characteristics of the capacitance tend to be less likely to satisfy the X7R characteristics. On the other hand, if the content is too large, the initial insulation resistance tends to decrease. Note that the constituent ratio of each oxide in the third subcomponent is arbitrary.

第4副成分(R酸化物)の含有量が少なすぎると、絶縁抵抗の加速寿命が短くなる傾向にある。一方、含有量が多すぎると、焼結性が悪化する傾向にある。これらの中でも、X7R特性を満足させる観点からは、第4副成分の中でも、Y酸化物、Dy酸化物、およびHo酸化物が好ましい。特に、特性改善効果が高く、しかも安価であることから、Y酸化物が好ましい。   If the content of the fourth subcomponent (R oxide) is too small, the accelerated life of insulation resistance tends to be short. On the other hand, if the content is too large, the sinterability tends to deteriorate. Among these, from the viewpoint of satisfying the X7R characteristic, among the fourth subcomponents, a Y oxide, a Dy oxide, and a Ho oxide are preferable. In particular, Y oxide is preferable because it has a high effect of improving characteristics and is inexpensive.

本発明の誘電体磁器組成物には、必要に応じ、第5副成分として、MnOが含有されていてもよい。この第5副成分は、焼結を促進する効果と、誘電損失(tanδ)を小さくする効果とを示す。このような効果を十分に得るためには、前記主成分100モルに対する第5副成分の比率が0.05モル以上であることが好ましい。ただし、第5副成分の含有量が多すぎると容量温度特性に悪影響を与えるので、好ましくは1.0モル以下とする。   If necessary, the dielectric ceramic composition of the present invention may contain MnO as a fifth subcomponent. The fifth subcomponent has an effect of promoting sintering and an effect of reducing dielectric loss (tan δ). In order to sufficiently obtain such effects, it is preferable that the ratio of the fifth subcomponent to 100 mol of the main component is 0.05 mol or more. However, if the content of the fifth subcomponent is too large, the capacity-temperature characteristics are adversely affected, so the content is preferably 1.0 mol or less.

また、本発明の誘電体磁器組成物中には、上記各酸化物のほか、Alが含まれていてもよい。Alは容量温度特性にあまり影響を与えず、焼結性、絶縁抵抗および絶縁抵抗の加速寿命(IR寿命)を改善する効果を示す。ただし、Alの含有量が多すぎると焼結性が悪化してIRが低くなるため、Alは、好ましくは、主成分100モルに対して1モル以下、さらに好ましくは、誘電体磁器組成物全体の1モル以下である。 The dielectric ceramic composition of the present invention may contain Al 2 O 3 in addition to the above oxides. Al 2 O 3 does not significantly affect the capacity-temperature characteristics, and exhibits an effect of improving sinterability, insulation resistance, and accelerated life (IR life) of insulation resistance. However, if the content of Al 2 O 3 is too large, the sinterability deteriorates and the IR decreases, so that Al 2 O 3 is preferably 1 mol or less, more preferably 100 mol or less per 100 mol of the main component. Not more than 1 mol of the whole dielectric ceramic composition.

なお、Sr,ZrおよびSnの少なくとも1種が、ペロブスカイト構造を構成する主成分中のBaまたはTiを置換している場合、キュリー温度が低温側にシフトするため、125℃以上での容量温度特性が悪くなる。このため、これらの元素を含むBaTiO2+n [例えば(Ba,Sr)TiO]を主成分として用いないことが好ましい。ただし、不純物として含有されるレベル(誘電体磁器組成物全体の0.1モル%程度以下)であれば、特に問題はない。 When at least one of Sr, Zr, and Sn replaces Ba or Ti in the main component of the perovskite structure, the Curie temperature shifts to a lower temperature side, so that the capacitance-temperature characteristic at 125 ° C. or more is obtained. Gets worse. Therefore, Ba m TiO 2 + n [for example (Ba, Sr) TiO 3] containing these elements is preferably not used as the main component. However, there is no particular problem as long as it is contained as an impurity (about 0.1 mol% or less of the whole dielectric ceramic composition).

本発明の誘電体磁器組成物の平均結晶粒径は、特に限定されず、誘電体層の厚さなどに応じて例えば0.1〜3.0μm、好ましくは0.1〜0.7μmの範囲から適宜決定すればよい。容量温度特性は、誘電体層が薄いほど悪化し、また、平均結晶粒径を小さくするほど悪化する傾向にある。このため、本発明の誘電体磁器組成物は、平均結晶粒径を小さくする必要がある場合に、具体的には、平均結晶粒径が0.1〜0.5μmである場合に特に有効である。また、平均結晶粒径を小さくすれば、IR寿命が長くなり、また、直流電界下での容量の経時変化が少なくなるため、この点からも平均結晶粒径は上記のように小さいことが好ましい。   The average crystal grain size of the dielectric ceramic composition of the present invention is not particularly limited, and is, for example, in the range of 0.1 to 3.0 μm, and preferably 0.1 to 0.7 μm, depending on the thickness of the dielectric layer. May be determined as appropriate. The capacitance-temperature characteristics tend to be worse as the dielectric layer is thinner, and worse as the average crystal grain size is smaller. Therefore, the dielectric ceramic composition of the present invention is particularly effective when it is necessary to reduce the average crystal grain size, specifically, when the average crystal grain size is 0.1 to 0.5 μm. is there. In addition, if the average crystal grain size is reduced, the IR life is prolonged, and the change with time of the capacity under a DC electric field is reduced, and from this point, the average crystal grain size is preferably small as described above. .

本発明の誘電体層2は、グレインと粒界と粒界相とで構成されている。また、いわゆるコア−シェル構造を有する組成物で構成されていても良い。   The dielectric layer 2 of the present invention is composed of grains, grain boundaries, and grain boundary phases. Further, it may be composed of a composition having a so-called core-shell structure.

本発明の誘電体磁器組成物から構成される誘電体層の厚さや層数などの諸条件は、目的や用途に応じて適宜決定すれば良い。たとえば誘電体層の厚さは、一層あたり、通常、50μm以下、特に10μm以下である。厚さの下限は、通常、1μm程度である。本発明の誘電体磁器組成物は、このような薄層化した誘電体層を有する積層型セラミックコンデンサの容量温度特性の改善に有効である。なお、誘電体層の積層数は、通常、2〜400、好ましくは10〜400程度とする。   Various conditions such as the thickness and the number of dielectric layers composed of the dielectric ceramic composition of the present invention may be appropriately determined according to the purpose and application. For example, the thickness of the dielectric layer is usually 50 μm or less, particularly 10 μm or less per layer. The lower limit of the thickness is usually about 1 μm. The dielectric ceramic composition of the present invention is effective for improving the capacitance-temperature characteristics of a multilayer ceramic capacitor having such a thin dielectric layer. The number of stacked dielectric layers is usually 2 to 400, preferably about 10 to 400.

本発明の誘電体磁器組成物を用いた積層型セラミックコンデンサは、特に−55℃〜+125℃の環境下で使用される機器用電子部品として用いて好適である。そして、このような温度範囲において、容量の温度特性がEIA規格のX7R特性(−55〜125℃、ΔC=±15%以内)を満足し、同時に、EIAJ規格のB特性[−25〜85℃で容量変化率±10%以内(基準温度20℃)]も満足することが可能である。   The multilayer ceramic capacitor using the dielectric ceramic composition of the present invention is particularly suitable for use as an electronic component for equipment used in an environment of -55 ° C to + 125 ° C. In such a temperature range, the temperature characteristic of the capacitance satisfies the X7R characteristic of the EIA standard (−55 to 125 ° C., ΔC = ± 15%), and at the same time, the B characteristic of the EIAJ standard [−25 to 85 ° C. Within ± 10% (reference temperature 20 ° C.)].

積層型セラミックコンデンサでは、誘電体層に、通常、0.02V/μm以上、特に0.2V/μm以上、さらには0.5V/μm以上、一般に5V/μm程度以下の交流電界と、これに重畳して5V/μm以下の直流電界とが加えられるが、このような電界が加わっても、容量の温度特性は極めて安定である。   In the multilayer ceramic capacitor, an AC electric field of usually 0.02 V / μm or more, particularly 0.2 V / μm or more, more preferably 0.5 V / μm or more, and generally about 5 V / μm or less is applied to the dielectric layer. A superimposed DC electric field of 5 V / μm or less is applied. Even when such an electric field is applied, the temperature characteristics of the capacitance are extremely stable.

内部電極層3
内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金としては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。
なお、NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよい。
内部電極層の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、0.5〜5μm、好ましくは0.5〜2.5μm、さらに好ましくは1〜2μm程度である。
Internal electrode layer 3
The conductive material contained in the internal electrode layer 3 is not particularly limited, but a base metal can be used because the constituent material of the dielectric layer 2 has reduction resistance. As the base metal used as the conductive material, Ni or a Ni alloy is preferable. As the Ni alloy, an alloy of one or more elements selected from Mn, Cr, Co and Al with Ni is preferable, and the Ni content in the alloy is preferably 95% by weight or more.
In addition, various trace components such as P may be contained in Ni or Ni alloy at about 0.1% by weight or less.
The thickness of the internal electrode layer may be appropriately determined according to the application and the like, and is usually about 0.5 to 5 μm, preferably about 0.5 to 2.5 μm, and more preferably about 1 to 2 μm.

外部電極4
外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いることができる。
外部電極の厚さは用途等に応じて適宜決定されればよいが、通常、10〜100μm程度であることが好ましい。
External electrode 4
The conductive material contained in the external electrode 4 is not particularly limited, but in the present invention, inexpensive Ni, Cu, or an alloy thereof can be used.
The thickness of the external electrode may be appropriately determined according to the application and the like, but is usually preferably about 10 to 100 μm.

積層型セラミックコンデンサの製造方法
本発明に係る誘電体磁器組成物の製造方法を用いて製造される積層型セラミックコンデンサは、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor The multilayer ceramic capacitor manufactured using the manufacturing method of the dielectric ceramic composition according to the present invention is a green chip manufactured by a normal printing method or a sheet method using a paste. After firing, the external electrodes are printed or transferred and fired. Hereinafter, the manufacturing method will be specifically described.

まず、誘電体層用ペーストに含まれる誘電体磁器組成物粉末を準備する。誘電体磁器組成物粉末中のBaTiOの粉末としては、通常、原料を混合、仮焼き、粉砕した、いわゆる固相法により得られる粉体だけでなく、蓚酸塩法や水熱合成法などのいわゆる液相法により得られる粉体であってもよい。 First, the dielectric ceramic composition powder contained in the dielectric layer paste is prepared. As the BaTiO 3 powder in the dielectric ceramic composition powder, usually, not only powder obtained by mixing, calcining, and pulverizing the raw materials, which is obtained by a so-called solid-phase method, but also an oxalate method and a hydrothermal synthesis method. Powder obtained by a so-called liquid phase method may be used.

本発明では、前述した組成の誘電体磁器組成物粉末を得る前に、仮焼きを行う。すなわち、第2副成分である(Ba,Ca)SiO2+x を除いて、主成分(BaTiO2+n )と、第1副成分(たとえばMgOまたはCaOまたは熱処理によってMgOまたはCaOとなる化合物)、第3副成分(たとえばVまたは熱処理によってVとなる化合物)、第4副成分(たとえばYまたは熱処理によってYとなる化合物)および第5副成分(たとえばMnOまたは熱処理によってMnOとなる化合物)のうちの少なくとも一つとを混合し、乾燥することにより、仮焼前粉体を準備する。 In the present invention, calcining is performed before obtaining the dielectric ceramic composition powder having the above-described composition. That is, the second by-component (Ba, Ca) except for x SiO 2 + x, main component (Ba m TiO 2 + n), a first subcomponent (e.g. MgO or CaO or a compound comprising a MgO or CaO by heat treatment), A third subcomponent (for example, V 2 O 5 or a compound that becomes V 2 O 5 by heat treatment), a fourth subcomponent (for example, Y 2 O 3 or a compound that becomes Y 2 O 3 by heat treatment) and a fifth subcomponent (for example, At least one of MnO or a compound which becomes MnO by heat treatment) is mixed and dried to prepare a powder before calcining.

なお、熱処理によってMgOまたはCaOになる化合物としては、MgCO,MgCl,MgSO,Mg(NO,Mg(OH),(MgCOMg(OH),CaCO,CaCl,CaSO,Ca(NO、Mgアルコキシド、Caアルコキシドなど、またはこれらの含水物が例示される。また、熱処理によってMnOになる化合物としては、MnCO,MnCl,MnSO,Mn(NOなど、またはこれらの含水物が例示される。また、熱処理によってYになる化合物としては、YCl,Y(SO,Y(NO、Y(CHCOO)、Yアルコキシドなど、またはこれらの含水物が例示される。さらに、熱処理によってVになる化合物としては、VCl,V(SO,V(NOなど、またはこれらの含水物が例示される。 Compounds that become MgO or CaO by heat treatment include MgCO 3 , MgCl 2 , MgSO 4 , Mg (NO 3 ) 2 , Mg (OH) 2 , (MgCO 3 ) 4 Mg (OH) 2 , CaCO 3 , and CaCl 3 . 2 , CaSO 4 , Ca (NO 3 ) 2 , Mg alkoxide, Ca alkoxide and the like, or a hydrate thereof. Examples of the compound that becomes MnO by the heat treatment include MnCO 3 , MnCl 2 , MnSO 4 , Mn (NO 3 ) 2, and a hydrate thereof. Examples of the compound which becomes Y 2 O 3 by the heat treatment include YCl 3 , Y 2 (SO 4 ) 3 , Y (NO 3 ) 3 , Y (CH 3 COO) 3 , Y alkoxide, and the like, or a hydrate thereof. Is exemplified. Furthermore, examples of the compound that becomes V 2 O 5 by the heat treatment include VCl 5 , V 2 (SO 4 ) 5 , V (NO 3 ) 5, and the like, or a hydrate thereof.

仮焼前粉体は、次に仮焼される。仮焼条件は、特に限定されないが、次に示す条件で行うことが好ましい。
昇温速度:50〜400℃/時間、特に100〜300℃/時間、
保持温度:500℃〜1300℃、好ましくは500℃〜1200℃未満、
温度保持時間:0.5時間〜6時間、特に1〜3時間、
雰囲気:空気中および窒素中である。
The powder before calcination is then calcined. The calcination conditions are not particularly limited, but are preferably performed under the following conditions.
Heating rate: 50 to 400 ° C / hour, especially 100 to 300 ° C / hour,
Holding temperature: 500 ° C to 1300 ° C, preferably 500 ° C to less than 1200 ° C,
Temperature holding time: 0.5 hours to 6 hours, especially 1 to 3 hours,
Atmosphere: in air and in nitrogen.

仮焼きされた仮焼済粉末は、アルミナロールなどにより粗粉砕された後、少なくとも第2副成分である(Ba,Ca)SiO2+x を少なくとも添加し、さらに必要に応じて、残りの添加物を添加して、前述した最終組成の混合粉末にする。その後、この混合粉末を、必要に応じて、ボールミルなどによって混合し、乾燥することによって、本発明の組成を持つ誘電体磁器組成物粉末を得る。 The calcined calcined powder is roughly pulverized by an alumina roll or the like, and then at least (Ba, Ca) x SiO 2 + x as a second subcomponent is added, and if necessary, the remaining additives are added. To obtain a mixed powder having the final composition described above. Thereafter, the mixed powder is mixed by a ball mill or the like, if necessary, and dried to obtain a dielectric ceramic composition powder having the composition of the present invention.

仮焼きされた仮焼済粉末における各成分のモル比は、特に限定されないが、好ましくは、次の関係式を満足する。すなわち、(Ba+第1副成分の金属元素)/(Ti+第4副成分の金属元素)が1未満、または(Ba+第4副成分の金属元素)/(Ti+第1副成分の金属元素)が1を超えることが好ましい。このような範囲である場合に、特に絶縁抵抗の加速寿命が向上する。   The molar ratio of each component in the calcined calcined powder is not particularly limited, but preferably satisfies the following relational expression. That is, (Ba + metal element of first subcomponent) / (Ti + metal element of fourth subcomponent) is less than 1 or (Ba + metal element of fourth subcomponent) / (Ti + metal element of first subcomponent). Preferably, it exceeds 1. In such a range, the accelerated life of the insulation resistance is particularly improved.

また、仮焼済粉末中には、第1副成分が必ず含まれていることが好ましい。最終組成物粉末中における第1副成分の全重量を100重量%とした場合には、仮焼済粉末中には、好ましくは30重量%、さらに好ましくは50重量%の第1副成分が含まれていることが好ましい。   Preferably, the calcined powder always contains the first subcomponent. When the total weight of the first subcomponent in the final composition powder is 100% by weight, the calcined powder preferably contains 30% by weight, more preferably 50% by weight of the first subcomponent. It is preferred that

仮焼済粉末は、最終的に得られる誘電体磁器組成物粉末を100質量%として、好ましくは70重量%以上、さらに好ましくは80重量%以上、特に好ましくは90重量%以上の量で、後添加成分に混合される。仮焼済粉末の割合が小さすぎると、絶縁抵抗の加速寿命が短く、直流バイアス下での容量低下が著しくなる傾向にある。   The calcined powder is used in an amount of preferably 70% by weight or more, more preferably 80% by weight or more, particularly preferably 90% by weight or more, with the dielectric ceramic composition powder finally obtained being 100% by weight. It is mixed with additional ingredients. If the proportion of the calcined powder is too small, the accelerated life of the insulation resistance is short, and the capacity tends to decrease significantly under a DC bias.

次に、この最終的に得られた誘電体磁器組成物粉末を塗料化して、誘電体層用ペーストを調整する。誘電体層用ペーストは、誘電体磁器組成物粉末と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水系の塗料であってもよい。   Next, the finally obtained dielectric ceramic composition powder is made into a paint to prepare a dielectric layer paste. The dielectric layer paste may be an organic paint obtained by kneading a dielectric ceramic composition powder and an organic vehicle, or may be an aqueous paint.

塗料化する前の状態で、誘電体磁器組成物粉末の粒径は、通常、平均粒径0.1〜3μm、好ましくは0.1〜0.7μm程度である。   The particle size of the dielectric porcelain composition powder before coating is usually 0.1 to 3 μm, preferably about 0.1 to 0.7 μm, in average particle size.

有機ビヒクルとは、バインダ(結合剤)を有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法など、利用する方法に応じて、テルピネオール、ブチルカルビトール、メチルエチルケトン、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。   The organic vehicle is obtained by dissolving a binder (binder) in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from various ordinary binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. In addition, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, methyl ethyl ketone, acetone, and toluene according to a method to be used such as a printing method and a sheet method.

また、誘電体層用ペーストを水系の塗料とする場合には、水溶性のバインダや分散剤などを水に溶解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよい。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定されず、例えば、ポリビニルアルコール、セルロース、水溶性アクリル樹脂などを用いればよい。   Further, when the dielectric layer paste is an aqueous paint, an aqueous vehicle in which a water-soluble binder, dispersant, or the like is dissolved in water may be kneaded with a dielectric material. The water-soluble binder used for the aqueous vehicle is not particularly limited, and for example, polyvinyl alcohol, cellulose, a water-soluble acrylic resin, or the like may be used.

内部電極層用ペーストは、上記した各種誘電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等(導電材など)と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。ペースト中の導電材などは、その形状に特に制限はなく、球状、鱗片状などが例示され、また、これらの形状のものが混合したものでも良い。
外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製すればよい。
The internal electrode layer paste is made of a conductive material made of the above-mentioned various dielectric metals or alloys, or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. (conductive material etc.) which become the above-mentioned conductive material after firing, and the above-mentioned organic vehicle. And kneaded. The shape of the conductive material in the paste is not particularly limited, and examples thereof include a sphere and a scale, and a mixture of these shapes may be used.
The external electrode paste may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.

上記した各ペースト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常の含有量、例えば、バインダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度とすればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される補助添加物が含有されていてもよい。これらの補助添加物の総含有量は、10重量%以下とすることが好ましい。   The content of the organic vehicle in each of the above-mentioned pastes is not particularly limited, and may be a usual content, for example, about 1 to 5% by weight of a binder and about 10 to 50% by weight of a solvent. Each paste may contain auxiliary additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like, if necessary. The total content of these auxiliary additives is preferably 10% by weight or less.

なお、可塑剤としては、たとえばポリエチレングリコール、フタール酸エステル(たとえばジオクチルフタレート、ジブチルフタレート)などが用いられる。また、分散剤としては、たとえばオイレン酸、ロジン、グリセリン、オクタデシルアミン、オイレン酸エチル、メンセーデン油などが用いられる。   As the plasticizer, for example, polyethylene glycol, phthalic acid ester (eg, dioctyl phthalate, dibutyl phthalate) and the like are used. Further, as the dispersant, for example, oleic acid, rosin, glycerin, octadecylamine, ethyl oleate, mensesden oil and the like are used.

特に、誘電体層用ペースト(スラリー)を調製する際には、ペースト中における誘電体磁器組成物粉末の含有量は、ペースト全体に対し、50〜80重量%程度とし、その他、バインダは2〜5重量%、可塑剤は0.1〜5重量%、分散剤は0.1〜5重量%、溶剤は20〜50重量%程度とすることが好ましい。   In particular, when preparing the dielectric layer paste (slurry), the content of the dielectric porcelain composition powder in the paste is about 50 to 80% by weight based on the whole paste, and the binder is 2 to 50% by weight. It is preferable that 5 wt%, the plasticizer is 0.1 to 5 wt%, the dispersant is 0.1 to 5 wt%, and the solvent is about 20 to 50 wt%.

印刷法を用いる場合、誘電体層用ペーストおよび内部電極層用ペーストを、PET等の基板上に積層印刷し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグリーンチップとする。   When a printing method is used, the dielectric layer paste and the internal electrode layer paste are laminated and printed on a substrate such as PET, cut into a predetermined shape, and then separated from the substrate to form a green chip.

また、シート法を用いる場合、誘電体層用ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグリーンチップとする。   In the case of using a sheet method, a green sheet is formed using a dielectric layer paste, an internal electrode layer paste is printed thereon, and these are laminated to form a green chip.

焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処理を施す。脱バインダ処理は、通常の条件で行えばよいが、内部電極層の導電材にNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、特に下記の条件で行うことが好ましい。
昇温速度:5〜300℃/時間、特に10〜100℃/時間、
保持温度:180〜400℃、特に200〜300℃、
温度保持時間:0.5〜24時間、特に5〜20時間、
雰囲気:空気中。
Before firing, the green chip is subjected to a binder removal treatment. The binder removal treatment may be performed under ordinary conditions. When a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material of the internal electrode layer, it is particularly preferable to perform the treatment under the following conditions.
Heating rate: 5 to 300 ° C / hour, especially 10 to 100 ° C / hour,
Holding temperature: 180-400 ° C, especially 200-300 ° C,
Temperature holding time: 0.5 to 24 hours, especially 5 to 20 hours,
Atmosphere: in the air.

グリーンチップ焼成時の雰囲気は、内部電極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、好ましくは10−7〜10−13 atm、さらに好ましくは10−10〜10−12 atmである。酸素分圧が前記範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結を起こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 The atmosphere at the time of firing the green chip may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen content in the firing atmosphere may be reduced. The pressure is preferably from 10 -7 to 10 -13 atm, more preferably from 10 -10 to 10 -12 atm. If the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode layer may abnormally sinter and be interrupted. If the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

また、焼成時の保持温度は、好ましくは1100〜1400℃、より好ましくは1150〜1400℃、さらに好ましくは1200〜1300℃である。保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分となり、前記範囲を超えると、内部電極層の異常焼結による電極の途切れや、内部電極層構成材料の拡散による容量温度特性の悪化、誘電体磁器組成物の還元が生じやすくなる。   The holding temperature during firing is preferably 1100 to 1400 ° C, more preferably 1150 to 1400 ° C, and still more preferably 1200 to 1300 ° C. If the holding temperature is less than the above range, the densification becomes insufficient, and if the holding temperature exceeds the above range, the electrode is interrupted due to abnormal sintering of the internal electrode layer, the deterioration of the capacitance temperature characteristic due to the diffusion of the internal electrode layer constituent material, the dielectric Reduction of the body porcelain composition is likely to occur.

好ましくは上記条件以外の焼成時の各種条件は、下記範囲から選択される。
昇温速度:100〜900℃/時間、特に200〜900℃/時間、
温度保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間。
なお、焼成雰囲気は還元性雰囲気とすることが好ましく、雰囲気ガスとしては、例えば、NとHとの混合ガスを加湿して用いることが好ましい。
Preferably, various conditions during firing other than the above conditions are selected from the following ranges.
Heating rate: 100 to 900 ° C / hour, especially 200 to 900 ° C / hour,
Temperature holding time: 0.5 to 8 hours, especially 1 to 3 hours,
Cooling rate: 50-500 ° C / hour, especially 200-300 ° C / hour.
Note that the firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere. As the atmosphere gas, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used after being humidified.

還元性雰囲気中で焼成した場合、コンデンサ素子本体にはアニールを施すことが好ましい。アニールは、誘電体層を再酸化するための処理であり、これによりIR寿命を著しく長くすることができるので、信頼性が向上する。   When firing in a reducing atmosphere, the capacitor element body is preferably annealed. Annealing is a process for reoxidizing the dielectric layer, which can significantly increase the IR lifetime, thereby improving reliability.

アニール雰囲気中の酸素分圧は、10−4〜10−7atmとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再酸化が困難であり、前記範囲を超えると内部電極層が酸化する傾向にある。 The oxygen partial pressure in the annealing atmosphere is preferably set to 10 −4 to 10 −7 atm. If the oxygen partial pressure is less than the above range, it is difficult to reoxidize the dielectric layer, and if it exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

アニールの際の保持温度は、1200℃以下、特に500〜1200℃とすることが好ましい。保持温度が前記範囲未満であると誘電体層の酸化が不十分となるので、IRが低く、また、IR寿命が短くなりやすい。一方、保持温度が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化して容量が低下するだけでなく、内部電極層が誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性の悪化、IRの低下、IR寿命の低下が生じやすくなる。なお、アニールは昇温過程および降温過程だけから構成してもよい。すなわち、温度保持時間を零としてもよい。この場合、保持温度は最高温度と同義である。   The holding temperature at the time of annealing is preferably 1200 ° C. or less, particularly preferably 500 to 1200 ° C. If the holding temperature is lower than the above range, the oxidation of the dielectric layer becomes insufficient, so that the IR is low and the IR life tends to be short. On the other hand, when the holding temperature exceeds the above-mentioned range, not only the internal electrode layer is oxidized and the capacity is reduced, but also the internal electrode layer reacts with the dielectric substrate, so that the capacity-temperature characteristic is deteriorated, the IR is lowered, and the IR is lowered. The life is likely to be shortened. Note that the annealing may include only the temperature increasing process and the temperature decreasing process. That is, the temperature holding time may be set to zero. In this case, the holding temperature is synonymous with the maximum temperature.

上記条件以外のアニール時の各種条件は、下記範囲から選択することが好ましい。
温度保持時間:0.5〜12時間、特に6〜10時間、
冷却速度:50〜600℃/時間、特に100〜300℃/時間
なお、雰囲気用ガスには、加湿したNガス等を用いることが好ましい。
Various conditions during annealing other than the above conditions are preferably selected from the following ranges.
Temperature holding time: 0.5 to 12 hours, especially 6 to 10 hours,
Cooling rate: 50 to 600 ° C./hour, particularly 100 to 300 ° C./hour It is preferable to use a humidified N 2 gas or the like as the atmosphere gas.

上記した脱バインダ処理、焼成およびアニールにおいて、Nガスや混合ガス等を加湿するには、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は5〜75℃程度が好ましい。 In the above-described binder removal processing, firing, and annealing, for example, a wetter or the like may be used to humidify the N 2 gas, the mixed gas, or the like. In this case, the water temperature is preferably about 5 to 75C.

脱バインダ処理、焼成およびアニールは、連続して行なっても、独立に行なってもよい。これらを連続して行なう場合、脱バインダ処理後、冷却せずに雰囲気を変更し、続いて焼成の際の保持温度まで昇温して焼成を行ない、次いで冷却し、アニールの保持温度に達したときに雰囲気を変更してアニールを行なうことが好ましい。一方、これらを独立して行なう場合、焼成に際しては、脱バインダ処理時の保持温度までNガスあるいは加湿したNガス雰囲気下で昇温した後、雰囲気を変更してさらに昇温を続けることが好ましく、アニール時の保持温度まで冷却した後は、再びNガスあるいは加湿したNガス雰囲気に変更して冷却を続けることが好ましい。また、アニールに際しては、Nガス雰囲気下で保持温度まで昇温した後、雰囲気を変更してもよく、アニールの全過程を加湿したNガス雰囲気としてもよい。 The binder removal treatment, firing and annealing may be performed continuously or independently. When these are continuously performed, after removing the binder, the atmosphere is changed without cooling, and then the temperature is raised to the holding temperature at the time of firing, firing is performed, and then cooling is performed, and the temperature reaches the holding temperature of annealing. It is preferable to change the atmosphere sometimes and perform annealing. On the other hand, in the case where these steps are performed independently, upon firing, the temperature should be increased in a N 2 gas or humidified N 2 gas atmosphere to the holding temperature at the time of the binder removal treatment, and then the atmosphere should be changed to further increase the temperature. After cooling to the holding temperature at the time of annealing, it is preferable to change the atmosphere to N 2 gas or a humidified N 2 gas atmosphere again and continue cooling. Further, at the time of annealing, after raising the temperature to the holding temperature under N 2 gas atmosphere, then change the atmosphere or a wet N 2 gas atmosphere the entire process of annealing.

上記のようにして得られたコンデンサ素子本体に、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷または転写して焼成し、外部電極4を形成する。外部電極用ペーストの焼成条件は、例えば、加湿したNとHとの混合ガス中で600〜800℃にて10分間〜1時間程度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、外部電極4表面に、めっき等により被覆層を形成する。 The end surface of the capacitor element body obtained as described above is polished by, for example, barrel polishing or sandblasting, and the external electrode paste is printed or transferred and baked to form the external electrode 4. The firing conditions for the external electrode paste are preferably, for example, about 10 minutes to 1 hour at 600 to 800 ° C. in a humidified mixed gas of N 2 and H 2 . Then, if necessary, a coating layer is formed on the surface of the external electrode 4 by plating or the like.

このようにして製造された本発明の積層型セラミックコンデンサは、誘電体層の厚みが4μm以下という超薄層の場合でも、容量温度変化率がEIA規格のX7R特性を満足すると共に、EIAJ規格のB特性を満足する。また、本発明の積層型セラミックコンデンサは、直流電界下での容量の経時変化が小さく、絶縁抵抗の加速寿命が長く、また、直流バイアス下の容量低下が小さいものである。   The multilayer ceramic capacitor of the present invention manufactured as described above has a capacitance temperature change rate satisfying the EIA standard X7R characteristic and the EIAJ standard according to the ultra-thin layer having a dielectric layer thickness of 4 μm or less. Satisfies the B characteristic. Further, the multilayer ceramic capacitor of the present invention has a small change with time in capacitance under a DC electric field, a long accelerated life of insulation resistance, and a small decrease in capacitance under DC bias.

また、このようにして製造された本発明の積層型セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。   The multilayer ceramic capacitor of the present invention manufactured in this manner is mounted on a printed circuit board or the like by soldering or the like, and is used in various electronic devices and the like.

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
たとえば、本発明に係る製造方法により得られる誘電体磁器組成物は、積層型セラミックコンデンサのみに使用されるものではなく、誘電体層が形成されるその他の電子部品に使用されても良い。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be variously modified within the scope of the present invention.
For example, the dielectric porcelain composition obtained by the production method according to the present invention is not limited to being used only for a multilayer ceramic capacitor, but may be used for other electronic components on which a dielectric layer is formed.

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described based on more detailed examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1
以下に示す手順で、積層型セラミックコンデンサの試料A1〜A10を作製した。
まず、下記の各ペーストを調製した。
Example 1
Samples A1 to A10 of the multilayer ceramic capacitor were manufactured by the following procedure.
First, the following pastes were prepared.

誘電体層用ペースト
まず、主成分原料および副成分原料を用意した。主成分原料としては、水熱合成法により得られた粒径0.2〜0.7μmのBaTiOを用いた。MgOおよびMnOの原料には炭酸塩を用い、他の副成分原料には酸化物を用いた。MgOの原料としてのマグネシウム炭酸塩としては、(MgCOMg(OH)・5HOを用いた。また、MnOの原料としての炭酸塩としては、MnCOを用いた。
Dielectric layer paste First, a main component material and a subcomponent material were prepared. As the main component material, BaTiO 3 having a particle size of 0.2 to 0.7 μm obtained by a hydrothermal synthesis method was used. Carbonates were used as raw materials for MgO and MnO, and oxides were used as raw materials for other subcomponents. As a magnesium carbonate as a raw material of MgO, (MgCO 3 ) 4 Mg (OH) 2 .5H 2 O was used. MnCO 3 was used as a carbonate as a raw material of MnO.

また、第2副成分の原料には、(Ba0.6 Ca0.4 )SiOを用いた。なお、(Ba0.6 Ca0.4 )SiOは、BaCO,CaCOおよびSiOをボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥後、1150℃で空気中で焼成し、さらに、ボールミルにより100時間湿式粉砕することにより製造した。 Further, (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 was used as a raw material of the second subcomponent. In addition, (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 was obtained by wet mixing BaCO 3 , CaCO 3 and SiO 2 with a ball mill for 16 hours, drying, firing at 1150 ° C. in air, and further mixing with a ball mill. Manufactured by wet grinding for hours.

まず、主成分であるBaTiOと、第1副成分の原料であるマグネシウム炭酸塩とを混合し、乾燥することにより、仮焼前粉体を準備した。表1に示すように、仮焼前粉体は、100モルのBaTiOに対して、MgOに換算して2.1モルのマグネシウム炭酸塩が含有してあった。また、この仮焼前粉体中の特定成分のモル比:(Ba+第1副成分中の金属元素Mg)/(Ti+第4副成分中の金属元素Y)を調べたところ、表1に示すように、1.021であった。また、モル比:(Ba+第4副成分中の金属元素Y)/(Ti+第1副成分中の金属元素Mg)を調べたところ、表1に示すように、0.9794であった。 First, BaTiO 3 as a main component and magnesium carbonate as a raw material of a first subcomponent were mixed and dried to prepare a powder before calcining. As shown in Table 1, the powder before calcining contained 2.1 mol of magnesium carbonate in terms of MgO with respect to 100 mol of BaTiO 3 . Further, the molar ratio of the specific component in the powder before calcining: (Ba + metal element Mg in the first subcomponent) / (Ti + metal element Y in the fourth subcomponent) was examined. Thus, it was 1.021. When the molar ratio: (Ba + the metal element Y in the fourth subcomponent) / (Ti + the metal element Mg in the first subcomponent) was examined, it was 0.9794 as shown in Table 1.

次に、この仮焼前粉体を仮焼した。仮焼き条件は、以下の通りであった。
昇温速度:300℃/時間、
保持温度(表1ではT1):500〜1350℃、
温度保持時間:3時間、
雰囲気:空気中。
Next, the powder before calcining was calcined. The calcination conditions were as follows.
Heating rate: 300 ° C / hour,
Holding temperature (T1 in Table 1): 500 to 1350 ° C.
Temperature holding time: 3 hours,
Atmosphere: in the air.

この仮焼きによって得られた材料を、ライカイ機で1時間粉砕して仮焼済粉体とし、その後、この仮焼済粉体に対して、表2に示すように、3.0モルの(Ba0.6 Ca0.4 )SiO、0.375モルのMnCO、0.1モルのV、および2.1モルのY(Yのモル数は4.2モル、以下同様)を添加し、ジルコニア製ボールミルにより16時湿式混合した後に乾燥し、最終組成の誘電体磁器組成物粉体を得た。 The material obtained by this calcining was pulverized with a raikai machine for 1 hour to obtain a calcined powder, and then, as shown in Table 2, 3.0 mol of ( Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 , 0.375 mol of MnCO 3 , 0.1 mol of V 2 O 5 , and 2.1 mol of Y 2 O 3 (the number of mols of Y is 4.2 mol. And the same hereinafter) was added thereto, and the mixture was wet-mixed for 16 hours using a zirconia ball mill and then dried to obtain a dielectric ceramic composition powder having a final composition.

このようにして得られた誘電体磁器組成物粉体100重量部と、アクリル樹脂4.8重量部と、塩化メチレン40重量部と、酢酸エチル20重量部と、ミネラルスピリット6重量部と、アセトン4重量部とをボールミルで16時間混合し、ペースト化した。   100 parts by weight of the dielectric ceramic composition powder thus obtained, 4.8 parts by weight of acrylic resin, 40 parts by weight of methylene chloride, 20 parts by weight of ethyl acetate, 6 parts by weight of mineral spirit, and acetone 4 parts by weight were mixed with a ball mill for 16 hours to form a paste.

内部電極層用ペースト
平均粒径0.4μmのNi粒子44.6重量部と、テルビネオール:52.0重量部と、エチルセルロース:3.0重量部と、ベンゾトリアゾール:0.4重量部とを、3本ロールにより混練し、ペースト化した。
44.6 parts by weight of Ni particles having an average particle diameter of 0.4 μm for the internal electrode layer paste , 52.0 parts by weight of terbineol, 3.0 parts by weight of ethylcellulose, and 0.4 parts by weight of benzotriazole: The mixture was kneaded with three rolls to form a paste.

外部電極用ペースト
平均粒径2μmのCu粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース樹脂8重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解したもの)35重量部およびブチルカルビトール7重量部とを混練し、ペースト化した。
100 parts by weight of Cu particles having an average particle size of 2 μm for the external electrode paste, 35 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose resin dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol) and 7 parts by weight of butyl carbitol are kneaded. , Into a paste.

グリーンチップの作製
上記誘電体層用ペーストを用いてPETフィルム上に、厚さ5μmのグリーンシートを形成した。このグリーンシートの表面に内部電極用ペーストを印刷した後、PETフィルムからシートを剥離した。次いで、内部電極層用ペーストを印刷後のグリーンシート4層を、保護用グリーンシート(内部電極層用ペーストを印刷しないもの)複数枚で挟んで積層し、その後、120℃および15Paの条件で圧着してグリーンチップを得た。
Production of Green Chip A green sheet having a thickness of 5 μm was formed on a PET film using the above-mentioned dielectric layer paste. After printing the internal electrode paste on the surface of the green sheet, the sheet was peeled off from the PET film. Next, four layers of the green sheet after printing the paste for the internal electrode layer are sandwiched between a plurality of protective green sheets (ones on which the paste for the internal electrode layer is not printed) and laminated, and then pressed at 120 ° C. and 15 Pa. To obtain a green chip.

焼成
まず、グリーンチップを所定サイズに切断し、脱バインダ処理、焼成およびアニールを下記条件にて行った後、外部電極を形成して、図1に示す構成の積層型セラミックコンデンサのサンプルA1〜A10を得た。
Firing First, the green chip is cut into a predetermined size, binder removal processing, firing and annealing are performed under the following conditions, and then external electrodes are formed. Samples A1 to A10 of the multilayer ceramic capacitor having the configuration shown in FIG. Got.

脱バインダ処理条件
昇温速度:15℃/時間、
保持温度:280℃、
温度保持時間:8時間、
雰囲気:空気中。
Binder removal processing conditions Temperature rise rate: 15 ° C / hour,
Holding temperature: 280 ° C,
Temperature holding time: 8 hours,
Atmosphere: in the air.

焼成条件
昇温速度:200℃/時間、
保持温度:1270℃、
温度保持時間:2時間、
冷却速度:300℃/時間、
雰囲気ガス:加湿したN+H混合ガス、
酸素分圧:10−12 atm。
Firing conditions Temperature rise rate: 200 ° C / hour,
Holding temperature: 1270 ° C,
Temperature holding time: 2 hours,
Cooling rate: 300 ° C / hour,
Atmosphere gas: humidified N 2 + H 2 mixed gas,
Oxygen partial pressure: 10-12 atm.

アニール条件
保持温度:1000℃、
温度保持時間:3時間、
冷却速度:300℃/時間、
雰囲気ガス:加湿したNガス、
酸素分圧:10−6atm。
なお、上記脱バインダ処理、焼成およびアニールの際におけるそれぞれの雰囲気ガスの加湿には、水温を35℃としたウエッターを用いた。
Annealing condition holding temperature: 1000 ° C.
Temperature holding time: 3 hours,
Cooling rate: 300 ° C / hour,
Atmosphere gas: Humidified N 2 gas,
Oxygen partial pressure: 10-6 atm.
Note that a wetter with a water temperature of 35 ° C. was used for humidifying the respective atmosphere gases during the binder removal processing, firing, and annealing.

外部電極
外部電極は、焼成体の端面をサンドブラストにて研磨した後、上記外部電極用ペーストを前記端面に転写し、加湿したN+H雰囲気で800℃にて10分間焼成することにより形成した。
External electrode The external electrode was formed by polishing the end face of the fired body by sandblasting, transferring the paste for external electrode to the end face, and firing the paste at 800 ° C. for 10 minutes in a humidified N 2 + H 2 atmosphere. .

このようにして得られた各サンプルのサイズは、3.2mm×1.6mm×1.4mmであり、内部電極層に挟まれた誘電体層の数は4、その厚さは3μmであり、内部電極層の厚さは1.3μmであった。   The size of each sample thus obtained was 3.2 mm × 1.6 mm × 1.4 mm, the number of dielectric layers sandwiched between the internal electrode layers was 4, the thickness was 3 μm, The thickness of the internal electrode layer was 1.3 μm.

また、コンデンサのサンプルのほかに、円板状サンプルも作製した。この円板状サンプルは、上記コンデンサのサンプルの誘電体層と同組成で、かつ焼成条件が同じであり、直径5mmのIn−Ga電極をサンプルの両面に塗布したものである。   In addition to the capacitor samples, disk-shaped samples were also made. This disk-shaped sample has the same composition as the dielectric layer of the capacitor sample and the same sintering conditions, and is obtained by coating an In-Ga electrode having a diameter of 5 mm on both surfaces of the sample.

各サンプルについて下記特性の評価を行った。
比誘電率(εr)
円板状サンプルに対し、25℃において、LCRメータにより1kHz,1Vrmsの条件下で容量を測定した。そして、容量、電極寸法およびサンプルの厚さから、比誘電率を算出した。結果を表2に示す。比誘電率は高いほど良い。
The following characteristics were evaluated for each sample.
Relative permittivity (εr)
The capacity of the disc-shaped sample was measured at 25 ° C. using an LCR meter under the conditions of 1 kHz and 1 Vrms. Then, the relative dielectric constant was calculated from the capacitance, the electrode dimensions, and the thickness of the sample. Table 2 shows the results. The higher the relative permittivity, the better.

破壊電圧(VB)
破壊電圧は、積層チップコンデンサのサンプルに対し、100V/秒の昇圧スピードで直流電圧を印加し、100mAの漏洩電流が観察されたときの電圧を測定することにより求めた。結果を表2に示す。破壊電圧は、高い程良い。
Breakdown voltage (VB)
The breakdown voltage was determined by applying a DC voltage to a sample of the multilayer chip capacitor at a step-up speed of 100 V / sec and measuring a voltage when a leakage current of 100 mA was observed. Table 2 shows the results. The higher the breakdown voltage, the better.

直流電界下でのIR寿命(高温加速寿命:表ではHALT)
積層チップコンデンサのサンプルに対し、180℃にて10V/μmの電界下で加速試験を行い、絶縁抵抗(IR)が2×10Ω以下になるまでの時間を寿命時間とした。結果を表2に示す。この寿命が長いほど、コンデンサの耐久性が向上する。
IR life under DC electric field (High temperature accelerated life: HALT in the table)
An acceleration test was performed on the sample of the multilayer chip capacitor at 180 ° C. under an electric field of 10 V / μm, and the time until the insulation resistance (IR) became 2 × 10 5 Ω or less was defined as the life time. Table 2 shows the results. The longer the life, the better the durability of the capacitor.

容量の温度特性(表では、TCC)
積層チップコンデンサのサンプルに対し、−55〜+125℃の温度範囲で容量を測定し、X7R特性を満足するかどうかを調べた。なお、測定には、LCRメータを用い、測定電圧は1Vとした。容量変化率が±15%以内(基準温度25℃)を満足するかどうかを調べた。満足する場合を○、満足しない場合を×とした。
Temperature characteristics of capacitance (TCC in the table)
The capacitance of the sample of the multilayer chip capacitor was measured in a temperature range of −55 to + 125 ° C., and it was examined whether or not the X7R characteristic was satisfied. Note that an LCR meter was used for the measurement, and the measurement voltage was 1 V. It was examined whether or not the capacity change rate was within ± 15% (reference temperature 25 ° C.). When satisfied, it was evaluated as ○, and when it was not satisfied, as ×.

また、B特性については、LCRメーターにより、−25〜85℃について測定電圧1Vで容量を測定し、容量変化率が±10%以内(基準温度20℃)を満足するかどうかを調べた。満足する場合を○、満足しない場合を×とした。   Regarding the B characteristic, the capacitance was measured at a measurement voltage of 1 V at −25 to 85 ° C. using an LCR meter, and it was examined whether or not the rate of change of the capacitance was within ± 10% (reference temperature: 20 ° C.). When satisfied, it was evaluated as ○, and when not satisfied, as ×.

直流電界下での容量の経時変化
積層チップコンデンサのサンプルに対し、誘電体層の厚さ1μmあたり2.5Vの直流電界(サンプルへの印加電圧7.5V)を40℃にて100時間印加し、次いで、無負荷状態で室温にて24時間放置した後、容量を測定し、直流電界印加前の容量C(初期容量)からの変化量ΔCを求めて、変化率ΔC/Cを算出した。なお、容量は上記条件にて測定した。
Time-dependent change in capacitance under DC electric field A DC electric field (applied voltage to the sample: 7.5 V) of 2.5 V per 1 μm of the dielectric layer was applied to the sample of the multilayer chip capacitor at 40 ° C. for 100 hours. Then, after being left at room temperature for 24 hours in a no-load state, the capacity is measured, and a change amount ΔC from the capacity C 0 (initial capacity) before application of the DC electric field is obtained, and a change rate ΔC / C 0 is calculated. did. The capacity was measured under the above conditions.

直流バイアス下の容量低下
LCRメーターにより、0〜13V/μmの直流電界をかけながら静電容量を室温で測定し、直流電界下の容量が−50%になる電界を求めた。少なくとも6.3V/μm以上、できれば6.5V/μm以上であることが好ましい。
Capacitance was measured at room temperature while applying a DC electric field of 0 to 13 V / μm using a capacitance-reducing LCR meter under a DC bias, and an electric field at which the capacitance under the DC electric field became −50% was determined. It is preferably at least 6.3 V / μm or more, preferably 6.5 V / μm or more.

Figure 2004217520
Figure 2004217520

Figure 2004217520
Figure 2004217520

比較例1
表1および表2に示すように、仮焼きせず、主成分であるBaTiO:100モルに対し、MgO換算で2.1モルの(MgCOMg(OH)・5HO、0.375モルのMnCO、3.0モルの(Ba0.6 Ca0.4 )SiO、0.1モルのV、および2.1モルのYを添加した混合粉体を用いて焼成を行った以外は、前記実施例1のサンプルと同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルA11を準備し、実施例1と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Comparative Example 1
As shown in Tables 1 and 2, 2.1 mol of (MgCO 3 ) 4 Mg (OH) 2 .5H 2 O in terms of MgO with respect to 100 mol of BaTiO 3 as a main component without being calcined. A mixture containing 0.375 mol of MnCO 3 , 3.0 mol of (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 , 0.1 mol of V 2 O 5 , and 2.1 mol of Y 2 O 3 A cylindrical sample and a capacitor sample A11 were prepared in the same manner as in the sample of Example 1 except that firing was performed using the powder, and the same test as in Example 1 was performed. Table 2 shows the results.

実施例2
表1に示すように、第1副成分としてCaOを用い、仮焼温度を1000℃および1100℃で行った以外は、実施例1と同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルB1およびB2を準備し、実施例1と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Example 2
As shown in Table 1, columnar samples and capacitor samples B1 and B2 were prepared in the same manner as in Example 1 except that CaO was used as the first subcomponent and the calcination temperature was 1000 ° C. and 1100 ° C. Prepared and performed the same test as in Example 1. Table 2 shows the results.

なお、仮焼前粉体中の特定成分のモル比:(Ba+Ca)/(Ti+Y)を調べたところ、表1に示すように、1.021であった。また、モル比:(Ba+Y)/(Ti+Ca)を調べたところ、表1に示すように、0.9794であった。   In addition, when the molar ratio of the specific component in the powder before calcining: (Ba + Ca) / (Ti + Y) was examined, it was 1.021 as shown in Table 1. Further, when the molar ratio: (Ba + Y) / (Ti + Ca) was examined, it was 0.9794 as shown in Table 1.

実施例3
表1に示すように、仮焼前粉体中に、第4成分として、2.1モルのY、または2.1モルのYと0.375モルのMnCOとを、さらに添加し、仮焼温度を700〜1100℃とした以外は、実施例1と同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルC1〜C10を準備し、実施例1と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Example 3
As shown in Table 1, as the fourth component, 2.1 mol of Y 2 O 3 , or 2.1 mol of Y 2 O 3 and 0.375 mol of MnCO 3 were contained in the powder before calcining. And a columnar sample and capacitor samples C1 to C10 were prepared in the same manner as in Example 1 except that the calcination temperature was 700 to 1100 ° C., and the same test as in Example 1 was performed. . Table 2 shows the results.

なお、仮焼前粉体中の特定成分のモル比:(Ba+Mg)/(Ti+Y)を調べたところ、表1に示すように、0.9798であった。また、モル比:(Ba+Y)/(Ti+Mg)を調べたところ、表1に示すように、1.0206であった。   In addition, when the molar ratio of the specific component in the powder before calcination: (Ba + Mg) / (Ti + Y) was examined, it was 0.9798 as shown in Table 1. When the molar ratio: (Ba + Y) / (Ti + Mg) was examined, it was 1.0206 as shown in Table 1.

実施例4
表1に示すように、仮焼前粉体中に、第3成分として0.1モルのV、第4成分として、第4成分として2.1モルのY、第5成分として0.375モルのMnCOとを、さらに添加し、仮焼温度を500〜1300℃とした以外は、実施例1と同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルD1〜D9を準備し、実施例1と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Example 4
As shown in Table 1, 0.1 mol of V 2 O 5 as the third component, 2.1 mol of Y 2 O 3 as the fourth component, and 5 A columnar sample and capacitor samples D1 to D9 were prepared in the same manner as in Example 1 except that 0.375 mol of MnCO 3 was further added as a component and the calcination temperature was set to 500 to 1300 ° C. The same test as in Example 1 was performed. Table 2 shows the results.

なお、仮焼前粉体中の特定成分のモル比:(Ba+Mg)/(Ti+Y)を調べたところ、表1に示すように、0.9798であった。また、モル比:(Ba+Y)/(Ti+Mg)を調べたところ、表1に示すように、1.0206であった。   In addition, when the molar ratio of the specific component in the powder before calcination: (Ba + Mg) / (Ti + Y) was examined, it was 0.9798 as shown in Table 1. When the molar ratio: (Ba + Y) / (Ti + Mg) was examined, it was 1.0206 as shown in Table 1.

実施例5
表1に示すように、第4成分としてのYに代えて、DyまたはHoを、2.1モルの含有量で仮焼前粉体中に含有させ、仮焼温度を800℃にした以外は、前記実施例4と同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルE1およびE2を準備し、実施例1と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Example 5
As shown in Table 1, instead of Y 2 O 3 as the fourth component, Dy 2 O 3 or Ho 2 O 3 was contained in the powder before calcination at a content of 2.1 mol, and A cylindrical sample and capacitor samples E1 and E2 were prepared in the same manner as in Example 4 except that the baking temperature was set to 800 ° C., and the same test as in Example 1 was performed. Table 2 shows the results.

なお、仮焼前粉体中の特定成分のモル比:(Ba+Mg)/(Ti+DyまたはHo)を調べたところ、表1に示すように、0.9798であった。また、モル比:(Ba+DyまたはHo)/(Ti+Mg)を調べたところ、表1に示すように、1.0206であった。   In addition, when the molar ratio of the specific component in the powder before calcination: (Ba + Mg) / (Ti + Dy or Ho) was examined, it was 0.9798 as shown in Table 1. Further, when the molar ratio: (Ba + Dy or Ho) / (Ti + Mg) was examined, it was 1.0206 as shown in Table 1.

実施例6
表1に示すように、第4成分としてのYに代えて、Gdを、1.5モル(Gdのモル数は3.0モル、以下同様)の含有量で仮焼前粉体中に含有させ、仮焼温度を800℃にした以外は、前記実施例4と同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルE3を準備し、実施例4と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Example 6
As shown in Table 1, instead of Y 2 O 3 as the fourth component, Gd 2 O 3 was calcined at a content of 1.5 mol (the number of mols of Gd was 3.0 mol, and the same hereinafter). A columnar sample and a capacitor sample E3 were prepared in the same manner as in Example 4 except that the powder was contained in the pre-powder and the calcination temperature was 800 ° C., and the same test as in Example 4 was performed. . Table 2 shows the results.

なお、仮焼前粉体中の特定成分のモル比:(Ba+Mg)/(Ti+Gd)を調べたところ、表1に示すように、0.9951であった。また、モル比:(Ba+Gd)/(Ti+Mg)を調べたところ、表1に示すように、1.0049であった。   In addition, when the molar ratio of the specific component in the powder before calcination: (Ba + Mg) / (Ti + Gd) was examined, it was 0.9951 as shown in Table 1. Further, when the molar ratio: (Ba + Gd) / (Ti + Mg) was examined, it was 1.0049 as shown in Table 1.

比較例2
表1および表2に示すように、仮焼きせず、主成分であるBaTiO:100モルに対し、MgO換算で2.5モルの(MgCOMg(OH)・5HO、0.375モルのMnCO、3.0モルの(Ba0.6 Ca0.4 )SiO、0.1モルのV、および1.5モルのGdを添加した混合粉体を用いて焼成を行った以外は、前記実施例6のサンプルと同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルE4を準備し、実施例6と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Comparative Example 2
As shown in Tables 1 and 2, 2.5 mol of (MgCO 3 ) 4 Mg (OH) 2 .5H 2 O in terms of MgO was calculated with respect to 100 mol of BaTiO 3 as a main component without calcining. A mixture containing 0.375 mol of MnCO 3 , 3.0 mol of (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 , 0.1 mol of V 2 O 5 , and 1.5 mol of Gd 2 O 3 A columnar sample and a capacitor sample E4 were prepared in the same manner as in the sample of Example 6 except that firing was performed using the powder, and the same test as in Example 6 was performed. Table 2 shows the results.

実施例7
表1に示すように、第4成分としてのYに代えて、Tbを、0.7モル(Tbのモル数は2.8モル、以下同様)の含有量で仮焼前粉体中に含有させ、仮焼温度を800℃にした以外は、前記実施例4と同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルE5を準備し、実施例4と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Example 7
As shown in Table 1, in place of Y 2 O 3 as the fourth component, Tb 4 O 7 was calcined at a content of 0.7 mol (the number of mols of Tb is 2.8 mol, the same applies hereinafter). A columnar sample and a capacitor sample E5 were prepared in the same manner as in Example 4 except that the powder was contained in the pre-powder and the calcination temperature was 800 ° C., and the same test as in Example 4 was performed. . Table 2 shows the results.

なお、仮焼前粉体中の特定成分のモル比:(Ba+Mg)/(Ti+Tb)を調べたところ、表1に示すように、0.9971であった。また、モル比:(Ba+Tb)/(Ti+Mg)を調べたところ、表1に示すように、1.0029であった。   In addition, when the molar ratio of the specific component in the powder before calcination: (Ba + Mg) / (Ti + Tb) was examined, it was 0.9971 as shown in Table 1. Further, when the molar ratio: (Ba + Tb) / (Ti + Mg) was examined, it was 1.0029 as shown in Table 1.

比較例3
表1および表2に示すように、仮焼きせず、主成分であるBaTiO:100モルに対し、MgO換算で2.5モルの(MgCOMg(OH)・5HO、0.375モルのMnCO、3.0モルの(Ba0.6 Ca0.4 )SiO、0.1モルのV、および0.7モルのTbを添加した混合粉体を用いて焼成を行った以外は、前記実施例7のサンプルと同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルE6を準備し、実施例7と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Comparative Example 3
As shown in Tables 1 and 2, 2.5 mol of (MgCO 3 ) 4 Mg (OH) 2 .5H 2 O in terms of MgO was calculated with respect to 100 mol of BaTiO 3 as a main component without calcining. A mixture containing 0.375 mol of MnCO 3 , 3.0 mol of (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 , 0.1 mol of V 2 O 5 , and 0.7 mol of Tb 4 O 7 A cylindrical sample and a capacitor sample E6 were prepared in the same manner as in the sample of Example 7 except that the powder was fired, and the same test as in Example 7 was performed. Table 2 shows the results.

実施例8
仮焼前粉体には、60〜80モルのBaTiOに対して、MgOに換算して表3に示すモルのマグネシウム炭酸塩を含有させ、仮焼済粉体には、表4に示すように、仮焼済成分の重量%が60〜80重量%となるように、仮焼しない主成分および副成分を追加添加した以外は、実施例1と同様にして、円柱状サンプルおよびコンデンサのサンプルF1〜F3を準備し、実施例1と同様な試験を行った。結果を表2に示す。
Example 8
In the powder before calcining, 60 to 80 mol of BaTiO 3 was added with magnesium carbonate in the amount shown in Table 3 in terms of MgO, and in the calcined powder, as shown in Table 4, In the same manner as in Example 1, except that a main component and an auxiliary component which are not calcined were additionally added so that the weight% of the calcined component was 60 to 80% by weight, F1 to F3 were prepared, and the same test as in Example 1 was performed. Table 2 shows the results.

なお、仮焼前粉体中の特定成分のモル比:(Ba+Mg)/(Ti+Y)を調べたところ、表1に示すように、1.021であった。また、モル比:(Ba+Y)/(Ti+Mg)を調べたところ、表1に示すように、0.9794であった。   In addition, when the molar ratio of the specific component in the powder before calcination: (Ba + Mg) / (Ti + Y) was examined, it was 1.021 as shown in Table 1. Further, when the molar ratio: (Ba + Y) / (Ti + Mg) was examined, it was 0.9794 as shown in Table 1.

Figure 2004217520
Figure 2004217520

Figure 2004217520
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評価
表1〜4に示すように、本発明の実施例では、全てX7R特性およびB特性を満足できることが確認できた。また、比較例1であるサンプル番号A11と、実施例1であるサンプル番号A1〜A10、B1,B2、C1〜C10、D1〜D9、E1、E2およびF1〜F3とを比較することで、実施例の方が、IRの加速寿命が長く、直流電界下での静電容量の経時変化が少なく、直流電界下での静電容量半減電界が高いことが確認できた。
As shown in Evaluation Tables 1 to 4, in the examples of the present invention, it was confirmed that the X7R characteristics and the B characteristics can all be satisfied. Further, the sample number A11 of Comparative Example 1 was compared with the sample numbers A1 to A10, B1, B2, C1 to C10, D1 to D9, E1, E2, and F1 to F3 of Example 1. In the example, it was confirmed that the IR accelerated life was longer, the change in the capacitance under a DC electric field with the passage of time was small, and the capacitance half-reduced electric field under a DC electric field was higher.

また、たとえば比較例であるサンプル番号A11と、実施例であるサンプル番号D2〜D5とを比較することで、仮焼前粉体の組成と仮焼温度を適切に選択することで、破壊電圧も向上できることが確認できた。   Further, for example, by comparing sample number A11 as a comparative example with sample numbers D2 to D5 as examples, the composition of the powder before calcination and the calcination temperature are appropriately selected, so that the breakdown voltage is also reduced. It was confirmed that it could be improved.

また、サンプル番号C1〜C10およびD1〜D9の結果を観察することで、仮焼前粉体に第4副成分が含まれる場合には、仮焼温度は、500℃以上1200℃未満、好ましくは600〜900℃が好ましいことが確認できた。また、サンプル番号A1〜A10の結果を観察することで、仮焼前粉体中に、第4副成分の原料が含まれていない場合には、仮焼温度は、好ましくは600〜1300℃、さらに好ましくは900〜1300℃、特に好ましくは1000〜1200℃であることが確認できた。   Also, by observing the results of sample numbers C1 to C10 and D1 to D9, when the powder before calcination contains the fourth subcomponent, the calcination temperature is 500 ° C. or more and less than 1200 ° C., preferably It was confirmed that 600 to 900 ° C. was preferable. Also, by observing the results of sample numbers A1 to A10, if the raw material of the fourth subcomponent is not contained in the powder before calcining, the calcining temperature is preferably 600 to 1300 ° C. It was confirmed that the temperature was more preferably 900 to 1300 ° C, and particularly preferably 1000 to 1200 ° C.

さらに、サンプル番号A1〜A10とD1〜D9とを比較することで、仮焼前粉体中に含まれる成分のモル比:(Ba+第1成分の金属元素)/(Ti+第4成分の金属元素)が、1未満、またはモル比:(Ti+第4成分の金属元素)/(Ba+第1成分の金属元素)が1を超える場合に、IR寿命および破壊電圧特性が特に向上することが確認できた。   Further, by comparing sample numbers A1 to A10 and D1 to D9, the molar ratio of the components contained in the powder before calcination: (Ba + the metal element of the first component) / (Ti + the metal element of the fourth component) ) Is less than 1 or the molar ratio: (Ti + metal element of the fourth component) / (Ba + metal element of the first component) exceeds 1, it can be confirmed that the IR life and breakdown voltage characteristics are particularly improved. Was.

さらにまた、サンプル番号F1〜F3を比較することで、仮焼済粉体を、誘電体材料の全体を100重量%として、70重量%以上、できれば80重量%以上用いることが好ましいことが確認できた。また、70重量%未満では、DC−Bias特性を満が低下することが確認された。   Furthermore, by comparing the sample numbers F1 to F3, it was confirmed that it is preferable to use the calcined powder at 70% by weight or more, preferably 80% by weight or more, preferably 100% by weight of the whole dielectric material. Was. When the content was less than 70% by weight, it was confirmed that the DC-Bias characteristics were completely reduced.

また、サンプル番号E3〜E6の結果を観察することで、第4副成分としてTb酸化物またはGd酸化物を用いた場合でも、本発明に係る仮焼方法により、X7R特性は満足しないものの、他の諸特性(特にIR寿命)が向上することが確認できた。   In addition, by observing the results of sample numbers E3 to E6, even when a Tb oxide or a Gd oxide is used as the fourth subcomponent, the calcining method according to the present invention does not satisfy the X7R characteristic, It was confirmed that various characteristics (particularly, IR life) were improved.

図1は積層型セラミックコンデンサの断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor.

符号の説明Explanation of reference numerals

1…積層型セラミックコンデンサ
2…誘電体層
3…内部電極層
4…外部電極
10…コンデンサ素子本体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer ceramic capacitor 2 ... Dielectric layer 3 ... Internal electrode layer 4 ... External electrode 10 ... Capacitor element main body

Claims (8)

組成式BaTiO2+n で表され、前記組成式中のmが0.995≦m≦1.010であり、nが0.995≦n≦1.010であり、BaとTiとの比が0.995≦Ba/Ti≦1.010である主成分と、
酸化シリコンを主成分として含む焼結助剤である第2副成分と、
その他の副成分とを少なくとも有する誘電体磁器組成物を製造する方法であって、
前記第2副成分を除いて、前記主成分と、その他の副成分のうちの少なくとも一部とを混合し、仮焼前粉体を準備する工程と、
前記仮焼前粉体を仮焼きして仮焼済粉体を準備する工程と、
前記仮焼済粉体に、前記第2副成分を少なくとも混合し、前記主成分に対する各副成分の比率が所定モル比である誘電体磁器組成物を得る工程と、
を有し、
前記その他の副成分が、
MgO,CaO,BaO,SrOおよびCrから選択される少なくとも1種を含む第1副成分と、
,MoOおよびWOから選択される少なくとも1種を含む第3副成分と、
Rの酸化物(ただし、RはY、Dy、Tb、GdおよびHoから選択される少なくとも一種)を含む第4副成分と、を少なくとも有し、
前記仮焼済粉体に、前記第2副成分を少なくとも混合し、前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜3モル、
第2副成分:2〜12モル、
第3副成分:0.1〜3モル、
第4副成分:0.1〜10.0モル(ただし、第4副成分のモル数は、R単独での比率である)であり、
前記仮焼前粉体中に含まれる成分のモル比:(Ba+第1副成分の金属元素)/(Ti+第4副成分の金属元素)が1未満、または(Ba+第4副成分の金属元素)/(Ti+第1副成分の金属元素)が1を超えるように、前記仮焼前粉体を準備し、
前記仮焼前粉体を、600℃〜900℃の温度で仮焼を行うことを特徴とする
誘電体磁器組成物の製造方法。
Expressed by a composition formula Ba m TiO 2 + n, m in the composition formula is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, n is 0.995 ≦ n ≦ 1.010, the ratio of Ba and Ti A main component satisfying 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010;
A second auxiliary component, which is a sintering aid containing silicon oxide as a main component,
A method for producing a dielectric ceramic composition having at least other subcomponents,
Excluding the second sub-component, mixing the main component and at least a part of other sub-components, preparing a powder before calcination,
A step of calcining the powder before calcining to prepare a calcined powder,
A step of mixing at least the second subcomponent with the calcined powder to obtain a dielectric ceramic composition in which the ratio of each subcomponent to the main component is a predetermined molar ratio;
Has,
The other subcomponents,
A first auxiliary component containing at least one selected from MgO, CaO, BaO, SrO and Cr 2 O 3 ;
A third subcomponent including at least one kind selected from V 2 O 5, MoO 3 and WO 3,
A fourth subcomponent containing an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tb, Gd and Ho).
The calcined powder, at least the second sub-component is mixed, the ratio of each sub-component with respect to 100 mol of the main component,
First subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Second subcomponent: 2 to 12 mol,
Third subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Fourth subcomponent: 0.1 to 10.0 mol (however, the number of moles of the fourth subcomponent is a ratio of R alone),
Molar ratio of components contained in the powder before calcination: (Ba + metal element of first subcomponent) / (Ti + metal element of fourth subcomponent) is less than 1 or (Ba + metal element of fourth subcomponent) The pre-calcined powder is prepared so that) / (Ti + metal element of the first subcomponent) exceeds 1.
A method for producing a dielectric ceramic composition, wherein the powder before calcining is calcined at a temperature of 600C to 900C.
前記第2副成分が(Ba,Ca)SiO2+x (ただし、x=0.8〜1.2)で表される組成を有することを特徴とする請求項1に記載の誘電体磁器組成物の製造方法。 2. The dielectric ceramic composition according to claim 1, wherein the second subcomponent has a composition represented by (Ba, Ca) x SiO 2 + x (where x = 0.8 to 1.2). 3. Manufacturing method. 前記その他の副成分が、
MnOを含む第5副成分をさらに有し、
前記仮焼済粉体に、前記第2副成分を少なくとも混合し、前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0.1〜3モル、
第2副成分:2〜12モル、
第3副成分:0.1〜3モル、
第4副成分:0.1〜10.0モル(ただし、第4副成分のモル数は、R単独での比率である)、
第5副成分:0.05〜1.0モルである誘電体磁器組成物を得ることを特徴とする請求項1または2に記載の誘電体磁器組成物の製造方法。
The other subcomponents,
Further comprising a fifth subcomponent containing MnO,
The calcined powder, at least the second sub-component is mixed, the ratio of each sub-component with respect to 100 mol of the main component,
First subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Second subcomponent: 2 to 12 mol,
Third subcomponent: 0.1 to 3 mol,
Fourth subcomponent: 0.1 to 10.0 moles (however, the number of moles of the fourth subcomponent is a ratio of R alone),
The method for producing a dielectric ceramic composition according to claim 1, wherein a dielectric ceramic composition having a fifth subcomponent: 0.05 to 1.0 mol is obtained.
前記仮焼前粉体を準備する際には、仮焼前粉体には、第1副成分を必ず含ませることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の誘電体磁器組成物の製造方法。   The dielectric porcelain composition according to any one of claims 1 to 3, wherein when preparing the powder before calcination, the powder before calcination always contains a first subcomponent. Manufacturing method. 前記仮焼きを複数回行うことを特徴とする請求項1〜4に記載の誘電体磁器組成物の製造方法。   The method for producing a dielectric ceramic composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the calcination is performed a plurality of times. 前記主成分の平均粒径が0.1〜0.7μmである請求項1〜5のいずれかに記載の誘電体磁器組成物の製造方法。   The method for producing a dielectric ceramic composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the average particle size of the main component is 0.1 to 0.7 µm. 前記仮焼済粉体を、誘電体材料の全体を100重量%として、70重量%以上用いることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の誘電体磁器組成物の製造方法。   The method for producing a dielectric ceramic composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the calcined powder is used in an amount of 70% by weight or more, based on 100% by weight of the entire dielectric material. 請求項1〜7のいずれかの方法により得られた誘電体磁器組成物を用いて、誘電体層を形成することを特徴とする誘電体層含有電子部品の製造方法。
A method for producing a dielectric layer-containing electronic component, comprising forming a dielectric layer using the dielectric ceramic composition obtained by the method according to claim 1.
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