JP2004202650A

JP2004202650A - スライド駆動装置及び方法

Info

Publication number: JP2004202650A
Application number: JP2002376891A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Sadachi; 竜男定地; Hitoshi Nakayama; 均中山
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2002-12-26
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2004-07-22

Abstract

【課題】送り螺子軸をモータで駆動しスライド体を移動させる場合、その速度、移動分解能及び推力を、モータの仕様、送り螺子軸の仕様、精度だけに規制される事無く、各能力を高める。
【解決手段】送り螺子軸としてのボール螺子軸１０と、該螺子軸１０に螺合するナット３０を回転自在に保持していて該ナット３０と共にスライド移動するスライドテーブル２０と、前記螺子軸１０を回転駆動する第１のモータ１１と、前記螺子軸１０を停止する第１のブレーキ１３ｂと、前記ナット３０を回転駆動する第２のモータ３１と、前記ナット３０を停止する第２のブレーキ３３ｂとを備えている。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、送り螺子軸の回転によりスライドテーブル等のスライド体を移動させるスライド駆動装置及び方法に係り、とくに工作機械、測定器、自動組み立て機等に使用するのに適したスライド駆動装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のスライド駆動装置として、送り螺子軸として１本のボール螺子軸をサーボモータで駆動し、ボール螺子ナットを有しかつスライドガイドで支持されたスライドテーブルを移動させるスライドテーブルユニットが知られており、この従来技術の概要は下記の通りである。
【０００３】
（１）スライドテーブルの移動速度
使用モータの仕様及びボール螺子軸のリードにより実用範囲のテーブル移動速度（最低〜最高速度）は限定されしまう。
【０００４】
（２）スライドテーブルの移動分解能
移動速度と同様に移動分解能に関してもモータ（エンコーダ）仕様とボール螺子軸のリードにより自ずから分解能が決まってしまう。
【０００５】
（３）スライドテーブルの推力
移動速度と同様に推力に関してもモータ仕様とボール螺子軸のリードにより自ずから推力も決まってしまう。
【０００６】
（４）スライドテーブルの移動距離の精度
単にボール螺子軸の製作精度に依存している。
【０００７】
上記従来技術の（１）,（２）における問題点の解決を図ったものとして、下記特許文献１及び特許文献２の構成が提案されている。
【０００８】
【特許文献１】特開平５−２１５１９５号公報
【特許文献２】特開平８−６１４５６号公報
【０００９】
特許文献１及び特許文献２では、スライドテーブルの移動速度及び分解能について、１本のボール螺子軸と１個のボール螺子ナットを各々１台（計２台）のモータで駆動し、スライドテーブルを移動させる構成とし、特許文献１では２台のモータを駆動させることにより高速移動を可能とし、また特許文献２では２台のモータの停止に時間差を持たせることにより、高速移動による停止分解能の低下を防止するようにしている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、１本のボール螺子軸をモータで駆動しテーブルを移動させるスライドテーブルユニットの従来技術の場合、その問題点、課題は下記の通りである。
【００１１】
（１）スライドテーブル移動の速度、分解能、推力の関係
モータ（及びこれに付属するエンコーダ）は、最高回転数と分解能が決まっているために、ボール螺子軸のリードを決めれば、自ずからスライドテーブルの最高（最低）移動速度、直線方向の移動分解能及びその推力も決定し、いずれかの能力を高めたければ、他の能力は下げざるを得ない。
【００１２】
（２）スライドテーブル移動とボール螺子軸回転とのリニアリティ
スライドテーブルを一定速度で移動させる場合に、ボール螺子軸には１リード間の繰り返し誤差及び累積のリード誤差があるので、ボール螺子軸を単純に一定回転させただけでは、つまりモータを一定回転させただけでは、テーブルは厳密には一定速度では移動していない事となる。
【００１３】
上記特許文献１，２のスライドテーブル移動速度、分解能及び推力の関係について考察すると、下記の問題点がある。
【００１４】
（１）特許文献１，２において、１本のボール螺子軸と１個のボール螺子ナットを各々１台（計２台）のモータで駆動し、スライドテーブルを移動させる場合は、それぞれ２個のモータ駆動系はボール螺子軸及びボール螺子ナットに直結していて、モータの回転が常にスライドテーブルの移動（運動）と位置決めに直接影響している。
【００１５】
（２）このため、分解能に関しては、スライドテーブルの分解能を高めるべく高分解能モータを取り付けるか、または減速機を取り付けたモータをいずれか一方の駆動系にして、１パルス分のハンチング誤差を微小にして移動分解能を高めたとしても、他方の高分解能でない駆動系の１パルス分のハンチング誤差が大きすぎてしまうためにスライドテーブルの移動精度は高分解能にはならない。
【００１６】
（３）推進力に関しては、特許文献１，２では記載されていないものの、特許文献１，２の装置を用いた場合、スライドテーブルの推力を高めるべく減速機の取り付けられたモータをいずれか一方の駆動系として、その駆動系でスライドテーブルの推力を高めたとしても、他方の減速機の取り付けられていないモータの駆動系がスライドテーブルからの反力を受けて、反転またはサーボエラーとなることもあり、結局、高推力を得られない。
【００１７】
本発明の第１の目的は、送り螺子軸をモータで駆動しスライドテーブル等のスライド体を移動させる場合に、その速度、移動分解能及び推力を、モータの仕様、送り螺子軸の仕様、精度だけに規制される事無く、各能力を高めることが可能なスライド駆動装置及び方法を提供することにある。
【００１８】
本発明の第２の目的は、送り螺子軸又はこれに螺合するナットのいずれかを駆動する基準モータの回転角とスライド体移動距離のリニアリティを、送り螺子軸の１リード間の繰り返し誤差及び累積のリード誤差に影響されること無く高めることが可能なスライド駆動装置及び方法を提供することにある。
【００１９】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係るスライド駆動装置は、送り螺子軸と、該送り螺子軸に螺合するナットを回転自在に保持していて該ナットと共にスライド移動するスライド体と、前記送り螺子軸を回転駆動する第１のモータと、前記送り螺子軸を停止する第１のブレーキと、前記ナットを回転駆動する第２のモータと、前記ナットを停止する第２のブレーキとを備えたことを特徴としている。
【００２１】
本願請求項２の発明に係るスライド駆動装置は、請求項１において、前記送り螺子軸、前記ナットの一方又は両方がクラッチを介して回転駆動されることを特徴としている。
【００２２】
本願請求項３の発明に係るスライド駆動装置は、請求項１又は２において、前記送り螺子軸、前記ナットの一方又は両方が変速機を介して回転駆動されることを特徴としている。
【００２３】
本願請求項４の発明に係るスライド駆動装置は、請求項１，２又は３において、前記スライド体の前記送り螺子軸に沿った方向の移動量を計測するリニアスケールを備えることを特徴としている。
【００２４】
本願請求項５の発明に係るスライド駆動装置は、請求項１，２，３又は４において、前記第１及び第２のモータがサーボモータであり、前記第１のモータに付属する第１のエンコーダの１回転当たりパルス数と、前記第２のモータに付属する第２のエンコーダの１回転当たりパルス数とが異なっていることを特徴としている。
【００２５】
本願請求項６の発明に係るスライド駆動方法は、送り螺子軸と、該送り螺子軸に螺合するナットを回転自在に保持していて該ナットと共にスライド移動するスライド体と、前記送り螺子軸を回転駆動する第１のモータと、前記送り螺子軸を停止する第１のブレーキと、前記ナットを回転駆動する第２のモータと、前記ナットを停止する第２のブレーキとを用い、
前記送り螺子軸と前記ナットを同方向又は逆方向に回転させることにより、前記送り螺子軸又は前記ナットの一方のみを回転させたときよりも低速又は高速で前記スライド体を移動させることを特徴としている。
【００２６】
本願請求項７の発明に係るスライド駆動方法は、送り螺子軸と、該送り螺子軸に螺合するナットを回転自在に保持していて該ナットと共にスライド移動するスライド体と、前記送り螺子軸を回転駆動する第１のモータと、前記送り螺子軸を停止する第１のブレーキと、前記ナットを回転駆動する第２のモータと、前記ナットを停止する第２のブレーキと、前記スライド体の前記送り螺子軸に沿った方向の移動量を計測するリニアスケールとを用い、
一方のモータによる前記送り螺子軸又はナットの回転量に正比例した前記スライド体の移動量計算値と、前記リニアスケールによる前記スライド体の移動量計測値との差が零になるように、他方のモータにより前記ナット又は送り螺子軸を補正回転することを特徴としている。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るスライド駆動装置及び方法の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２８】
図１は本発明に係るスライド駆動装置及び方法の実施の形態の構成図を示す。この図において、基台１５上に立設固定された１対の支持体１６，１７間に送り螺子軸としてのボール螺子軸１０が横方向に回転自在に軸支されており、このボール螺子軸１０を回転駆動するための第１のサーボモータ（モータ回転軸の回転角検出用ロータリエンコーダ付属）１１が基台１５上に設置されている。また、第１のサーボモータ１１とボール螺子軸１０との間には第１の変速機１２（タイミングプーリ/ベルト、ギア、ギアボックス等で構成される）及び第１のクラッチ・ブレーキ１３（クラッチ１３ａとブレーキ１３ｂとを一体化した構成）が挿入され、これらも基台１５上に設置されている。すなわち、第１のサーボモータ１１は第１の変速機１２及び第１のクラッチ・ブレーキ１３のクラッチ１３ａを介してボール螺子軸１０に連結され、第１のサーボモータ１１の回転は第１の変速機１２の所定減速比で減速されて第１のクラッチ・ブレーキ１３のクラッチ１３ａ閉状態にてボール螺子軸１０に伝達される。
【００２９】
一方、スライド体としてのスライドテーブル２０は、基台１５上にリニアガイド２１で横方向（ボール螺子軸の方向）にスライド自在に支持され、かつボール螺子軸１０に螺合するボール螺子ナット３０を回転自在に保持（軸支）しており、ボール螺子軸１０に沿ってナット３０と共に（一体的に）移動するようになっている。換言すれば、ボール螺子ナット３０は、スライドテーブル２０に回転運動のみ可能な状態で固定されている。
【００３０】
前記ボール螺子ナット３０を回転駆動するための第２のサーボモータ（モータ回転軸の回転角検出用ロータリエンコーダ付属）３１がスライドテーブル２０上に搭載され、また、第２のサーボモータ３１とボール螺子ナット３０との間には第２の変速機３２（タイミングプーリ/ベルト、ギア、ギアボックス等で構成される）及び第２のクラッチ・ブレーキ３３（クラッチ３３ａとブレーキ３３ｂとを一体化した構成）及び伝動機構３４（巻き掛け伝動機構、ギア機構等）が挿入され、第２の変速機３２と第２のクラッチ・ブレーキ３３もスライドテーブル２０上に搭載されている。すなわち、第２のサーボモータ３１は第２の変速機３２、第２のクラッチ・ブレーキ３３のクラッチ３３ａ、伝動機構３４を介してボール螺子ナット３０に連結され、第２のサーボモータ３１の回転は第２の変速機３２の所定減速比で減速されて第２のクラッチ・ブレーキ３３のクラッチ３３ａ閉状態にて伝動機構３４を介しボール螺子ナット３０に伝達される。なお、ブレーキ１３ｂはボール螺子軸１０を停止、ロックするものであり、ブレーキ３３ｂはナット３０を停止、ロックするものである。
【００３１】
さらに、スライドテーブル２０のボール螺子軸１０に沿った方向の直線移動量を計測するためにリニアスケール４０が基台１５と共に固定された部材１８側に設置されている。
【００３２】
なお、前記第１及び第２のサーボモータ１１，３１及び第１及び第２のクラッチ・ブレーキ１３，３３はそれぞれ独立でオン/オフ可能としている。また、第１及び第２の変速機１２，３２の変速比は各目的に合わせて変更可能である。クラッチ・ブレーキ１３，３３は両機能が一体化されているものに限らず、単体のクラッチとブレーキとを組み合わせた構成であってもよい。
【００３３】
図２で駆動系タイムチャートの説明を行う。図１の機構ではボール螺子軸駆動系（第１のサーボモータ１１、第１の変速機１２、第１のクラッチ・ブレーキ１３）とボール螺子ナット駆動系（第２のサーボモータ３１、第２の変速機３２、クラッチ・ブレーキ３３、伝動機構３４）があり、ボール螺子軸１０又はナット３０の１回転に対するそれぞれのモータ１１，３１の分解能から、低分解能の駆動系を粗駆動系とし高分解能の駆動系を微駆動系とする。図２中、１：粗駆動系の移動指令、２：粗駆動系の移動完了、２’：微駆動系の移動指令、３：微駆動系の移動完了、３’：微駆動系の移動指令、４：微移動系の移動完了、４’：粗駆動系の移動指令、５：粗駆動系の移動完了を示す。１〜３は、粗動から微動への駆動系タイムチャート、３’〜５は、微動から粗動への駆動系タイムチャートを示す。
【００３４】
次に、図１の機構の動作を場合分けして説明する。
【００３５】
（１）通常の運転１（ボール螺子軸回転でスライドテーブル移動）
第１のクラッチ・ブレーキ１３のクラッチ１３ａを繋ぎ（ブレーキ１３ｂは開）、第２のクラッチ・ブレーキ３３のブレーキ３３ｂを閉じて（クラッチ３３ａは開）、第１のサーボモータ１１だけを回転させると、スライドテーブル２０の移動はサーボモータ１１によってのみ制御される。
【００３６】
（２）通常の運転２（ボール螺子ナット回転でスライドテーブル移動）
第１のクラッチ・ブレーキ１３のブレーキ１３ｂを閉じ（クラッチ１３ａは開）、第２のクラッチ・ブレーキ３３のクラッチ３３ａを繋いで（ブレーキ３３ｂは開）、第２のサーボモータ３１だけを回転させると、スライドテーブル２０の移動はサーボモータ３１によってのみ制御される。
【００３７】
（３）モータ２個同時駆動（ボール螺子軸回転とボール螺子ナット回転でスライドテーブル移動）
第１及び第２のクラッチ・ブレーキ１３，３３のクラッチ１３ａ，３３ａをそれぞれ繋ぎ（ブレーキ１３ｂ，３３ｂは開）、第１及び第２のサーボモータ１１，３１を回転させると、それぞれのモータの回転方向及びその回転数によって、スライドテーブルは、上記の通常の移動（運動）以外に以下の場合がある。
▲１▼ 通常１個のモータで運転した場合よりも高速で移動する。
▲２▼ 通常１個のモータで運転した場合よりも低速で移動する。
▲３▼ モータ２個は回転しているが、スライドテーブルは移動しない。
【００３８】
（４）移動（運動）目的別駆動方法
【００３９】
（ａ）第１の目的（移動の速度、分解能、推力について）
【００４０】
（i）速度
超低速から超高速までスライドテーブルを移動させるには、それぞれのモータのオン/オフ及び回転方向、回転数をコントロールすることにより可能となる。
【００４１】
具体例（設計値）１

として
▲１▼ スライドテーブルを超低速で移動させる場合
ボール螺子軸とボール螺子ナットの回転方向を同一方向（螺子軸とナットを同一方向から見た場合）にし、それぞれの回転数に僅かに差を与えた場合に、スライドテーブルは、いずれか１個のモータだけでは移動させられない超低速での移動が可能となる。例として、第１のサーボモータ回転数：２０００rpm、第２のサーボモータ回転数：１９９５rpmとすると、定格回転数の１/４００の５rpmでテーブルは移動する事になる。
【００４２】
▲２▼ スライドテーブルを超高速で移動させる場合
ボール螺子軸とボール螺子ナットの回転方向を逆方向（螺子軸とナットを同一方向から見た場合）にし、それぞれの回転数を最高回転数近くまであげた場合に、スライドテーブルは、いずれか１個のモータだけでは移動させられない程度の超高速での移動が可能となる。例として、第１のサーボモータ回転数：２０００rpm、第２のサーボモータ回転数：１９９５rpmとすると、最高回転数以上の３９９５rpmでテーブルは移動した事になる。
【００４３】
（ii）分解能（高速移動と高分解能移動の両立）
ボール螺子軸ストローク中の任意の場所でスライドテーブルに高分解能移動をさせるには、いずれか１個のモータの分解能をあげるか又は減速機を取り付けて（変速機の変速比を変えて減速機として機能させて）分解能をあげ、所定の場所ではその高分解能用モータを駆動させて、テーブルを高分解能で移動させる。但しこの場合は、他方のモータのハンチング現象がテーブルの分解能に影響するのを防止する為にそのブレーキは閉じておく（クラッチは開）必要がある。さらに、高分解能移動を必要としない場所への移動は、他方の高分解能用ではないモータを駆動させて、テーブルを高速移動させる事ができる。
【００４４】
前記特許文献１，２に対し、本発明ではモータとボール螺子軸及びモータとボール螺子ナットの間にクラッチ/ブレーキが入っていて、モータの回転とスライドテーブルの移動を切り分けられるので、高分解能でない駆動系のモータ回転をスライドテーブルの移動と切り分けることができ、スライドテーブルには高分解能でない駆動系のモータのハンチング誤差が影響を及ぼさない状態で、高分解能のモータにてスライドテーブルの移動と位置決めが可能となる。
【００４５】
具体例（設計値）２

とすると、第１のサーボモータだけでのボール螺子軸分解能は、２５/２５００＝０.０１mmであり、第２のサーボモータだけでの分解能は、２５/１００００＝０.００２５mmとなり、第１のサーボモータでボール螺子軸を駆動した場合の４倍の高分解能となる。
または、

とすると、第１のサーボモータだけでのボール螺子軸分解能は、２５/２５００＝０.０１mmで第２のサーボモータだけでの分解能は、２５/（２５００×４）＝０.００２５mmとなり、第１のサーボモータでボール螺子軸を駆動した場合の４倍の高分解能となる。
【００４６】
（iii）推力
ボール螺子軸ストローク中の任意の場所でスライドテーブルに高推力の移動をさせるには、いずれか１個のモータに減速機を取り付け（変速機の変速比を変えて減速機として機能させ）、所定の場所ではそのモータを駆動させて、テーブルを高推力で移動させる。但し、この場合も、他方の減速機の取り付けていない（変速機の変速比が１/１となっている）モータが反力によって逆転をしないようにブレーキは閉じておく（クラッチは開）必要がある。さらに、高推力を必要としない場所への移動は、他方の減速機の取り付けていない（変速機の変速比が１/１となっている）モータを駆動させて、テーブルを高速移動させる事ができる。
【００４７】
本発明ではモータとボール螺子軸及びモータとボール螺子ナットの間にクラッチ/ブレーキが入っていて、減速機を取り付けたモータがスライドテーブルに高推力を伝達する時に、減速機の取り付けていないモータがスライドテーブルの受ける反力をその系のブレーキで受ける事ができるので、減速機の取り付けていないモータが反転又はサーボエラーとなる事ない。これにより、スライドテーブルが高推力を出す事ができる。
【００４８】
具体例（設計値）３

とすると、必要な場所で第２のサーボモータを駆動することによりテーブルの推進力は、サーボモータ１でボール螺子軸を駆動した場合の約４倍の高推力を出すことができる。
【００４９】
（ｂ）第２の目的（リニアリティ）
リニアリティについて説明すると、基準とするボール螺子軸又はナットに対してスライドテーブルを回転に正比例して移動（運動）させる場合には、２個のサーボモータに付属するロータリエンコーダ及びスライドテーブルに取り付けられたリニアスケールの信号から、基準となるサーボモータ（第１、第２のサーボモータのいずれか）のエンコーダ回転角度とスライドテーブルのリニアスケール移動距離を比較し、そのリニアスケールで計測した移動距離（移動量計測値）が計算値（エンコーダ回転角度とボール螺子軸のリードとの乗算結果から求められる回転角度に正比例した移動量計算値）と一致するように、もう１個のサーボモータを駆動しナット又はボール螺子軸（基準としない方）を補正回転することによって、スライドテーブル位置を微調整して基準とするボール螺子軸又はナットの回転角度と移動距離のリニアリティを保つ事が可能となる。このことにより、基準となるサーボモータの一定回転速度でスライドテーブルの一定速度での移動を実質的に保てることになる。
【００５０】
図３に基準となるサーボモータのロータリエンコーダ回転角度と実際のスライドテーブルの移動距離関係図を示す。テーブルは、ポイントＡまで進んだ時点で、ロータリエンコーダ回転角度から計算される移動量計算値（計算上の理想直線として図示）とリニアスケールより得られた実際の移動距離とを比較し、両者の差が零となるように、すなわち、この場合にはポイントＢ（計算上の直線上のポイント）までテーブルを移動させる。ここで、基準となるサーボモータのエンコーダ回転角度は変化せずに、テーブルだけ移動させる。つまり基準ではない方のモータだけを正回転させてテーブルを移動させる。更に、ポイントＢからポイントＣまで進んだ時点で、もう一度同じ事を繰り返し比較して、基準ではない方のモータを逆回転させてテーブルをポイントＤへ移動させる。この一連の作業をＴの周期で行い、ボール螺子軸の回転角度とスライドテーブル移動距離のリニアリティを保つ。勿論周期Ｔは、短い方が計算上の直線に近づくことになる。
【００５１】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
【００５３】
（１）本発明では、スライド体の移動速度を、１個のモータでは制御しきれない超低速からそのモータの最高回転数での移動速度を上回る超高速まで可変できる。
【００５４】
（２）今までのモータと送り螺子軸を使ったスライドテーブルユニットでは、スライドテーブルの速度とそのテーブルの移動分解能とは相反するものであり、同一機構内で両方を高めることは困難であったが、本発明では、同一機構内でスライド体の高速移動と高分解能を両立することができる。
【００５５】
（３）また、（１）と同様に、スライド体のスライド移動速度とそのスライド体の推力に関しても、同一機構内で両方を高めることは困難であったが、本発明では、同一機構内でスライド体の高速移動と高推力を両立させることができる。
【００５６】
（４）従来、基準となる送り螺子軸又はナットの回転とスライド体の直線移動のリニアリティに関しては、単に送り螺子軸の精度に依存し、リニアリティを高めるには、高価な高精度の送り螺子軸を取り付ける以外に方法は無かったが、本発明において、スライド体の移動量を計測するリニアスケールを設けた場合には、使用している送り螺子軸に対して適当なフィードバック制御を行うことが可能となり、送り螺子軸の精度の影響は受ける事がない。また、温度変化等の環境の変化に伴う送り螺子軸の変形（膨張、収縮）に関しても、都度フィードバックしリニアリティを確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るスライド駆動装置及び方法の実施の形態を示す構成図である。
【図２】前記実施の形態における駆動系動作タイムチャート図である。
【図３】前記実施の形態におけるボール螺子軸の回転角とナット移動距離との関係図である。
【符号の説明】
１０ボール螺子軸
１１，３１サーボモータ
１２，３２変速機
１３，３３クラッチ・ブレーキ
１５基台
１６，１７支持体
２０スライドテーブル
２１リニアガイド
３０ボール螺子ナット
３４伝動機構
４０リニアスケール

Claims

送り螺子軸と、該送り螺子軸に螺合するナットを回転自在に保持していて該ナットと共にスライド移動するスライド体と、前記送り螺子軸を回転駆動する第１のモータと、前記送り螺子軸を停止する第１のブレーキと、前記ナットを回転駆動する第２のモータと、前記ナットを停止する第２のブレーキとを備えたことを特徴とするスライド駆動装置。
前記送り螺子軸、前記ナットの一方又は両方がクラッチを介して回転駆動される請求項１記載のスライド駆動装置。
前記送り螺子軸、前記ナットの一方又は両方が変速機を介して回転駆動される請求項１又は２記載のスライド駆動装置。
前記スライド体の前記送り螺子軸に沿った方向の移動量を計測するリニアスケールを備える請求項１，２又は３記載のスライド駆動装置。
前記第１及び第２のモータがサーボモータであり、前記第１のモータに付属する第１のエンコーダの１回転当たりパルス数と、前記第２のモータに付属する第２のエンコーダの１回転当たりパルス数とが異なっている請求項１，２，３又は４記載のスライド駆動装置。
送り螺子軸と、該送り螺子軸に螺合するナットを回転自在に保持していて該ナットと共にスライド移動するスライド体と、前記送り螺子軸を回転駆動する第１のモータと、前記送り螺子軸を停止する第１のブレーキと、前記ナットを回転駆動する第２のモータと、前記ナットを停止する第２のブレーキとを用い、
前記送り螺子軸と前記ナットを同方向又は逆方向に回転させることにより、前記送り螺子軸又は前記ナットの一方のみを回転させたときよりも低速又は高速で前記スライド体を移動させることを特徴とするスライド駆動方法。
送り螺子軸と、該送り螺子軸に螺合するナットを回転自在に保持していて該ナットと共にスライド移動するスライド体と、前記送り螺子軸を回転駆動する第１のモータと、前記送り螺子軸を停止する第１のブレーキと、前記ナットを回転駆動する第２のモータと、前記ナットを停止する第２のブレーキと、前記スライド体の前記送り螺子軸に沿った方向の移動量を計測するリニアスケールとを用い、
一方のモータによる前記送り螺子軸又はナットの回転量に正比例した前記スライド体の移動量計算値と、前記リニアスケールによる前記スライド体の移動量計測値との差が零になるように、他方のモータにより前記ナット又は送り螺子軸を補正回転することを特徴とするスライド駆動方法。