JP2004190052A - 酸化物透明導電膜の成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化物透明導電膜を、金属ターゲット22と基板24が搭載された非加熱基板ホルダー26とを具えるチャンバ12内で、水素ラジカルを含有する雰囲気で直流スパッタ法を用いて結晶成長させる。これにより、水素ラジカルが酸化物透明導電膜結晶の酸素欠損の生成を促進し、その結果、金属原子とドナー原子との置換が促進されてキャリア濃度が増大される。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、透明導電膜、特に、太陽電池や透明電極等に用いて好適な酸化物透明導電膜の成膜方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、太陽電池やフラットパネルディスプレイ用などの透明電極として、透明導電膜等の酸化物透明導電膜が広く使用されている。
【0003】
これまで、この酸化物透明導電膜の成膜には、酸化物をターゲットとする高周波スパッタ法が用いられていた(特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特許第2928016号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高周波スパッタ法は成膜速度が遅く、量産には不向きである。
【0006】
そのため、現在、酸化物透明導電膜の新たな成膜法として、高周波スパッタ法よりも成膜速度が速い直流スパッタ法が注目されている。
【0007】
一方、近年、成膜装置の簡略化、耐熱性の低い基板材料上への成膜、及び安定した膜質形成等の要求に対して、基板ホルダーが具えるヒータ等の加熱手段による基板加熱を行わずに成膜を行う、低温成膜技術の開発が進められている。
【0008】
しかしながら、直流スパッタ法を用いて酸化物透明導電膜を低温成膜した場合、低い電気抵抗率を有する膜質を得るのは困難であった。
【0009】
そこで、この発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、直流スパッタ法を用いて低温成膜を行うに当たり、従来よりも低い電気抵抗率を有する酸化物透明導電膜の成膜方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
そこで、この発明の酸化物透明導電膜の成膜方法は、下記のようにして行う。
【0011】
すなわち、直流スパッタ法を用いた酸化物透明導電膜の成膜を、金属ターゲットと非加熱基板ホルダーとを具えるチャンバ内において、非加熱基板ホルダーに搭載された基板に対して水素ラジカルを含有している雰囲気中で行う。
【0012】
この方法によれば、酸化物を構成する金属原子と金属ターゲットに添加されたドナー原子との置換反応を促進させることができる。
【0013】
こうした置換反応の促進に伴い、キャリア濃度を増大させることができ、従来よりも低い電気抵抗率を有する酸化物透明導電膜が得られる。
【0014】
また、酸化物透明導電膜を直流スパッタを用いて低温成膜する構成であるため、成膜速度の向上はもとより、成膜装置の簡略化及び膜質の安定化を図ることができる。
【0015】
また、好ましくは、水素ラジカルを、成膜時に、チャンバ内壁に吸着している吸着水を解離させて発生させるのが良い。
【0016】
このようにすると、これまで膜質劣化の要因と考えられていたチャンバ内壁に残留する吸着水を、水素ラジカル源として利用することができる。
【0017】
その結果、予備排気時の真空度を吸着水が所定量残留する程度に低く設定することができ、製品コストや排気時間を低減でき生産性を向上させることができる。
【0018】
また、好ましくは、水素ラジカルを、成膜時に、チャンバ内に導入された水素原子含有分子ガスを解離させて発生させるのが良い。
【0019】
また、好ましくは、水素原子含有分子ガスは、アルコール、水、ケトン及び水素のうちの少なくとも一つを含んでいるのが良い。
【0020】
また、好ましくは、水素原子含有分子ガスを、スパッタガスにバブリング添加させてチャンバ内に導入するのが良い。
【0021】
このようにすると、バブリング添加という比較的簡便な手法により低抵抗な酸化物透明導電膜を得られるので、製品コストを急激に上昇させる懸念がない。
【0022】
また、好ましくは、アルコールは、エタノール及びメタノールの双方またはいずれか一方を含んでいるのが良い。
【0023】
また、好ましくは、金属ターゲットは、亜鉛、インジウムまたは錫を主成分とするのが良い。
【0024】
また、好ましくは、直流スパッタ法として、直流マグネトロンスパッタ法を用いるのが良い。
【0025】
また、好ましくは、チャンバ内の水素ラジカルの含有量を、酸化物透明導電膜の成膜速度を最低でも90nm/minとする量とするのが良い。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、図1から図7を参照して、この発明の実施の形態につき説明する。また、各図は、この発明が理解できる程度に各構成成分の形状、大きさ及び配置関係を概略的に示してあるに過ぎず、この発明をこれら図示例に限定するものではない。また、以下の説明において、特定の材料及び条件等を用いることがあるが、これら材料及び条件は好適例の一つに過ぎず、従って、何らこれらに限定されない。
【0027】
<第1の実施の形態>
1−1.第1の成膜装置の説明
図1は、この発明の第1の酸化物透明導電膜の成膜方法の説明に供する、第1の成膜装置10の構成例を概略的に示す部分断面図である。
【0028】
第1の成膜装置である直流スパッタ装置として、ここでは直流マグネトロンスパッタ装置10を例に挙げて説明する。尚、直流スパッタ装置としては、直流マグネトロンスパッタ装置の他に、2極DCグロー放電型の直流スパッタ装置等を適用することができる。
【0029】
マグネトロンスパッタ装置10は、主として、チャンバ12と、当該真空チャンバ12に接続された、スパッタガス供給ライン14、排気ライン16、リークバルブ18及び直流電源20とを具えている。
【0030】
チャンバ12内には、直流電源20のマイナス側に接続された金属ターゲット22と、金属ターゲットの背面側に設けられた磁石23と、金属ターゲット22と対向配置された基板24と、基板24を搭載する非加熱基板ホルダー26とが設けられている。尚、直流電源20のプラス側は接地されている。
【0031】
尚、金属ターゲット22には、ドナーとなる、例えば、3B族元素(ホウ素(B)、アルミニウム(Al)またはインジウム(In)等)を少量添加して粉末焼結した亜鉛ターゲット等を用いるのが好適である。また、その他の金属ターゲット22としては、錫(Sn)等を少量添加して粉末焼結したインジウムターゲットや、アンチモン(Sb)等を少量添加して粉末焼結した錫ターゲット等を用いるのが好適である。また、ドナーの添加量は、好ましくは10[at%]以下とするのが良く、さらに好ましくは5[at%]程度とするのが良い。また、基板24には、石英ガラス基板や、カプトンテープすなわちポリイミドフィルム等を任意好適に用いることができる。
【0032】
非加熱基板ホルダー26には水冷管28が埋設されており、成膜中、非加熱基板ホルダー26に搭載された基板24の冷却を行う。尚、この実施の形態の非加熱基板ホルダー26は、例えば、基板24を冷却する水冷管等の冷却手段等が設けられている構成、基板24を加熱するヒータ等の加熱手段が設けられていない構成、或いは当該加熱手段が設けられている場合でも作動させない構成等とすることができる。
【0033】
また、スパッタガス供給ライン14は、この発明が適用されるスパッタがターゲット材料とスパッタガスとを反応させる反応性スパッタであることから、アルゴンガス(Ar)供給ライン30と反応性ガスの酸素ガス(O2)供給ライン32とを具えた構成である。また、各供給ライン(30、32)には流量調節器34が設置されており、チャンバ12への供給量が制御される。また、排気ライン16には、チャンバ12内を排気するためのターボ分子ポンプ等の真空ポンプ36が設置されている。
【0034】
1−2.第1の酸化物透明導電膜の成膜方法
続いて、この発明の第1の酸化物透明導電膜の成膜方法につき説明する。
【0035】
先ず、ドナー含有金属ターゲット22及び基板24をチャンバ12内の所定位置に設置する。
【0036】
次に、真空ポンプ36を駆動して、チャンバ12内の予備排気を行う。この予備排気により、チャンバ12内の不純物の除去を行う一方で、この実施の形態では、チャンバ12の内壁に、成膜時に水素ラジカルを生成する吸着水を残留させておく。尚、予備排気時のチャンバ12内の真空度は一般的に10−3Paオーダーであるのに対し、このときの同真空度は、0.02[Pa]以上とするのが好適である(詳細は、第1の実施例参照)。
【0037】
予備排気を行った後、アルゴンガス及び酸素ガス供給ライン(30、32)からアルゴンガス及び酸素ガスをチャンバ12内に各々導入して、チャンバ12内の圧力を成膜時の設定圧力とする。尚、この実施の形態では、設定圧力を30Pa程度とするのが好適である。
【0038】
続いて、直流電源20を作動させて、直流スパッタによる低温成膜を行う。
【0039】
具体的には、直流電源20の作動に伴い、金属ターゲット22と基板24との間でグロー放電が発生する。このグロー放電によってイオン化されたアルゴンイオン及び酸素イオンが金属ターゲットに衝突することにより、金属ターゲット22から金属イオンが叩き出される。そして、叩き出された金属イオンと酸素イオンとが化学反応を起こし、水冷されている基板24上に金属酸化物である酸化物透明導電膜が析出される。このとき、例えば、Znターゲットを用いた場合にはZnO透明導電膜が成膜され、Inターゲットを用いた場合にはInO2透明導電膜が成膜され、又、Snターゲットを用いた場合にはSnO透明導電膜が成膜される。
【0040】
この発明では、この酸化物透明導電膜の成膜が、グロー放電によってチャンバ12の内壁の吸着水の一部が解離して生成された、水素ラジカルを含む雰囲気中で行われる。
【0041】
このように、水素ラジカルを含む雰囲気中で酸化物透明導電膜を結晶成長させることにより、結晶状態である酸化物透明導電膜の金属原子の一部とドナー原子との置換反応を促進させることができる。尚、このことは、水素ラジカルにより酸化物透明導電膜結晶の酸素欠損の生成が促進され、その結果、金属原子とドナー原子との置換も促進されるためであると考えられる。
【0042】
その結果、キャリア濃度が増大され、従来よりも低い電気抵抗率を有する酸化物透明導電膜を得ることができる。
【0043】
また、上述した成膜方法により、ZnO透明導電膜の成膜速度の向上を期待することができる。
【0044】
成膜終了後は、リークバルブ18を開けて大気開放し、チャンバ12内の圧力を常圧に戻す。
【0045】
上述した説明から明らかなように、この実施の形態によれば、水素ラジカルを含む雰囲気で酸化物透明導電膜を結晶成長させることにより、従来よりも電気抵抗率の低い酸化物透明導電膜を得ることができる。
【0046】
また、酸化物透明導電膜を直流スパッタを用いて低温成膜する構成であるため、成膜速度の向上はもとより、成膜装置の簡略化及び膜質の安定化が実現される。
【0047】
さらに、この実施の形態では、これまで膜質劣化の要因と考えられていたチャンバ内壁に残留する吸着水を、水素ラジカル源として利用することができる。
【0048】
その結果、予備排気時の真空度を従来よりも低く設定できるので、製品コストや排気時間を低減でき生産性を向上させることができる。
【0049】
また、上述した酸化物透明導電膜の成膜方法を、特に、透明性を有するZnO透明導電膜の成膜に適用することにより、可視光透過率、日射取得率及び室内輻射の反射に優れた膜質が得られ、よって、Low−E(Low Emission:低輻射)ガラスへの適用を期待でき好適である。
【0050】
図2(A)、(B)に、上述した酸化物透明導電膜の成膜方法を適用して得られたZnO透明導電膜の可視光透過スペクトル及び赤外光透過スペクトルの測定結果の一例を示す。同図において、横軸は波長λ[nm]を示し、及び縦軸は透過率T[%]を示してある。尚、可視光の透過率測定には、PERKIN ELMER社製の紫外可視分光光度計(Lambda 19)を用いて行った。また、赤外光の透過率測定には、PERKIN ELMER社製のフーリエ変換赤外分光光度計(System 2000 FT−IR)を用いて行った。
【0051】
図2(A)に示すように、可視光域では平均90%程度の高い透過率が得られることがわかる。また、図2(B)に示すように、室内輻射の波長域である5000nm以上では透過率がほぼ0(ゼロ)になることから、この波長域の赤外光を充分に反射することがわかる。
【0052】
さらに、従来のLow−Eガラスは複数層からなるのに対し、上述した酸化物透明導電膜の成膜方法によって得られたZnO透明導電膜をLow−Eガラスに適用すれば、単層構造とすることができるのはもとより原料コストを低減でき、よって、製品コストの低減を期待できる。
【0053】
<第2の実施の形態>
2−1.第2の成膜装置の説明
図3は、この発明の第2の酸化物透明導電膜の成膜方法の説明に供する、第2の成膜装置50の構成例を概略的に示す断面図である。尚、第2の成膜装置である直流スパッタ装置として、第1の実施の形態と同様に、直流マグネトロンスパッタ装置50を例に挙げて説明する。
【0054】
この直流マグネトロンスパッタ装置50は、第1の実施の形態のマグネトロンスパッタ装置10におけるアルゴンガスに、水素原子含有分子ガスをバブリング添加させた点が第1の実施の形態との主な相違点である。尚、第1の実施の形態で既に説明した構成要素と同一の構成要素には同一の番号を付して示し、その具体的な説明を省略する。
【0055】
図3に示すように、この実施の形態のスパッタガス供給ライン55は、バブリング部40を具える、水素原子含有分子ガスがバブリング添加されたアルゴンガス供給ライン43と酸素ガス供給ライン32とを具えている。
【0056】
バブリング部40を構成する容器42には、水素原子含有分子ガス源用の液体が収容されている。また、アルゴンガスボンベ(不図示)から容器42に導入されるアルゴンガス導入ラインのうち、容器42内に挿入されている側の端部は、水素原子含有分子ガス源用の液体の液中に設けられている。尚、バブリング添加させる水素原子含有分子ガス源用の液体としては、エタノール(C2H5OH)やメタノール(CH3OH)等のアルコールや、アセトン(CH3COCH3)及び水(H2O)等の標準状態で液体であるものを用いるが好適である。
【0057】
また、容器42から真空チャンバ12に導入される、水素原子含有分子ガスが添加されたアルゴンガスラインのうち、容器42内に挿入されている側の端部は液面よりも高い位置に設けられている。これにより、飽和蒸気圧の水素原子含有分子ガスをアルゴンガスにバブリング添加させて、チャンバ12内に導入することができる。尚、バブリング部40でのバブリング条件は、室温及び大気圧下で行うのが好ましい。
【0058】
2−2.第2の酸化物透明導電膜の成膜方法
続いて、この発明の第2の酸化物透明導電膜の成膜方法につき説明する。
【0059】
先ず、ドナー含有金属ターゲット22及び基板24をチャンバ12内の所定位置に設置する。
【0060】
次に、真空ポンプ36を駆動して、チャンバ12内の予備排気を行う。この予備排気により、チャンバ12内の不純物の除去を行う。尚、予備排気時の真空度は、一般的な予備排気時の真空度である0.002[Pa]程度としても良く、任意好適に設定することができる。
【0061】
予備排気を行った後、水素原子含有分子ガスがバブリング添加されたアルゴンガス及び酸素ガスを各供給ライン(43、32)からチャンバ内に各々導入して、チャンバ12内の圧力を成膜時の設定圧力とする。尚、この構成例では、設定圧力を30Pa程度とするのが好適である。
【0062】
続いて、直流電源20を作動させて直流スパッタによる低温成膜を行うことにより、第1の実施の形態で説明したように、水冷されている基板24上に金属酸化物(酸化物透明導電膜)が析出される。
【0063】
この発明では、この酸化物透明導電膜の成膜が、グロー放電によってチャンバ12内に導入された水素原子含有分子ガスの一部が解離して生成された、水素ラジカルを含む雰囲気中で行われる。
【0064】
このように、水素ラジカルを含む雰囲気中で酸化物透明導電膜を結晶成長させることにより、結晶状態である酸化物透明導電膜の金属原子の一部とドナー原子との置換反応が促進される。
【0065】
その結果、キャリア濃度が増大され、従来よりも低い電気抵抗率を有する酸化物透明導電膜を得ることができる。
【0066】
成膜終了後は、リークバルブ18を開けて大気開放し、チャンバ12内の圧力を常圧に戻す。
【0067】
上述した説明から明らかなように、この実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0068】
さらに、この実施の形態では、バブリング添加という比較的簡便な手法により低抵抗な酸化物透明導電膜を得ることができるため、製品コストを急激に上昇させる懸念がない。
【0069】
<第3の実施の形態>
3−1.第3の成膜装置の説明
図4は、この発明の第3の酸化物透明導電膜の成膜方法の説明に供する、第3の酸化物透明導電膜の成膜装置(以下、単に第3の成膜装置と称する。)60の構成を概略的に示す断面図である。尚、第3の成膜装置である直流スパッタ装置として、第1の実施の形態と同様に、直流マグネトロンスパッタ装置60を例に挙げて説明する。
【0070】
この直流マグネトロンスパッタ装置60は、第1の実施の形態のマグネトロンスパッタ装置10におけるアルゴンガスに、水素原子含有分子ガスを混入して混合ガスとした点が第1の実施の形態との主な相違点である。
【0071】
図4に示すように、この実施の形態のスパッタガス供給ライン65は、水素原子含有分子ガスが混入されたアルゴンガス供給ライン67と酸素ガス供給ライン32とを具えている。
【0072】
アルゴンガスに混入させる水素原子含有分子ガスとしては、水素(H2)等の標準状態で気体であるものを用いるのが好適である。
【0073】
3−2.第3の酸化物透明導電膜の成膜方法
続いて、この発明の第3の酸化物透明導電膜の成膜方法につき説明する。
【0074】
先ず、ドナー含有金属ターゲット22及び基板24をチャンバ12内の所定位置に設置する。
【0075】
次に、真空ポンプ36を駆動して、チャンバ12内の予備排気を行う。この予備排気により、チャンバ12内の不純物の除去を行う。尚、予備排気時の真空度は、一般的な予備排気時の真空度である0.002Pa程度としても良く、任意好適に設定することができる。
【0076】
予備排気を行った後、水素原子含有分子ガスが混合されているアルゴンガス及び酸素ガスを各供給ライン(67、32)からチャンバ内に各々導入して、チャンバ12内の圧力を成膜時の設定圧力とする。尚、この構成例では、設定圧力を30Pa程度とするのが好適である。
【0077】
続いて、直流電源20を作動させて直流スパッタによる低温成膜を行うことにより、第1の実施の形態で説明したように、水冷されている基板24上に金属酸化物(酸化物透明導電膜)が析出される。
【0078】
この発明では、この酸化物透明導電膜の成膜が、グロー放電によってチャンバ12内に導入された水素原子含有分子ガスの一部が解離して生成された、水素ラジカルを含む雰囲気中で行われる。
【0079】
このように、水素ラジカルを含む雰囲気中で酸化物透明導電膜を結晶成長させることにより、結晶状態である酸化物透明導電膜の金属原子の一部とドナー原子との置換反応が促進される。
【0080】
その結果、キャリア濃度が増大され、従来よりも低い電気抵抗率を有する酸化物透明導電膜を得ることができる。
【0081】
成膜終了後は、リークバルブ18を開けて大気開放し、チャンバ12内の圧力を常圧に戻す。
【0082】
上述した説明から明らかなように、この実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0083】
【実施例】
上述した第1から第3の実施の形態で説明した成膜方法によって得られる酸化物透明導電膜について、以下の種々の検証を行った。
【0084】
<第1の実施例>
第1の実施の形態における予備排気時の真空度と酸化物透明導電膜の電気抵抗率との関係について比較検討を行った。
【0085】
この実施例では、金属ターゲット22として、ホウ素(B)を5[at%]添加して粉末焼結させた亜鉛ターゲットを用いた。基板24として、縦が20[mm]、横が20[mm]及び厚さ0.5[mm]の石英ガラス基板を用いた。
【0086】
そして、この実施例では、予備排気時の真空度が酸化物透明導電膜の電気抵抗率に与える影響を検討するため、予備排気時のチャンバ12内の真空度を、以下の、0.002[Pa]、0.005[Pa]、0.01[Pa]、0.02[Pa]、0.05[Pa]及び0.1[Pa]の6種類について行った。
【0087】
予備排気を行った後、スパッタガスであるアルゴンガス及び酸素ガスを、分圧比がアルゴンガス:酸素ガス=4:1となるようにチャンバ12内に導入し、チャンバ12内を成膜圧力である30Paとした。
【0088】
成膜条件は、出力電力250W、成膜時間5分間及び成膜速度90[nm/min]として、石英ガラス基板24上にZnO透明導電膜を成膜した。
【0089】
既に説明したが、この発明のZnO透明導電膜の成膜は、グロー放電によってチャンバ12内壁の吸着水の一部が解離して生成された、水素ラジカルを含む雰囲気中で行った。
【0090】
こうして得られた6種類のZnO透明導電膜について、予備排気時の真空度とZnO透明導電膜の電気抵抗率との関係を図5に示す。同図において、横軸は予備排気時の真空度P[Pa]を示し、及び縦軸は電気抵抗率ρ[Ωcm]を示してある。尚、電気抵抗率の測定には、日本バイオラットラボラトリーズ(株)製のHL5500PCを用い、ファンデルパウ(van der pauw)法を用いて行った。
【0091】
図5に示すように、0.002[Pa]ではρ=約2.5[Ωcm]、0.005[Pa]ではρ=約0.05[Ωcm]、0.01[Pa]ではρ=約0.007[Ωcm]、0.02[Pa]ではρ=約0.003[Ωcm]、0.05[Pa]ではρ=約0.002[Ωcm]及び0.1[Pa]ではρ=約0.002[Ωcm]であった。
【0092】
このことから明らかなように、予備排気時の真空度を低下させることにより、スパッタ成膜されるZnO透明導電膜の電気抵抗率が減少することがわかる。
【0093】
このことは、チャンバ内壁に残留する吸着水の一部が解離して水素ラジカルとなり、ZnO結晶のZn原子の一部とホウ素原子との置換反応の促進に寄与していることを示している。
【0094】
特に、予備排気時のチャンバ内の真空度を0.02Pa以上に維持することにより、従来よりも低い電気抵抗率(0.003Ωcm以下)を有するZnO透明導電膜を得ることができ好適である。
【0095】
また、予備排気時の真空度を0.002Pa程度とした場合でも、チャンバ12内壁には吸着水が僅かに残留していると推察されるが、得られるZnO透明導電膜の電気抵抗率は著しく大きい。このことから、ZnO結晶のZn原子の一部とホウ素原子との置換反応の促進に寄与する充分な量の水素ラジカルが、チャンバ内で生成しなかったものと推察される。
【0096】
<第2の実施例>
第1の実施の形態から第3の実施の形態で説明した成膜方法によって得られる各酸化物透明導電膜の、電気抵抗率、キャリア濃度及びキャリア移動度について比較検討を行った。
【0097】
そこで先ず、第1から第3の実施の形態で説明した成膜方法によって得られた各試料(「試料1」〜「試料4」)について説明する。尚、各試料をここでは一例としてZnO透明導電膜としているが、上述したようにこの限りではない。
【0098】
1.試料1の成膜方法
「試料1」は、第1の実施例で既に説明した、予備排気をチャンバ12内の真空度を0.05[Pa]として行った後、直流スパッタによる低温成膜によって得られたZnO透明導電膜とする(第1の実施例参照)。
【0099】
2.試料2の成膜方法
「試料2」は、第2の実施の形態で説明した成膜方法によって得られたZnO透明導電膜である。以下に成膜方法の概略を説明する。
【0100】
金属ターゲット22及び基板24は試料1の成膜方法と同様とした。また、水素原子含有分子ガスとしてエタノール(液体のエタノール純度99.8%)を用いて行った。
【0101】
また、予備排気時のチャンバ12内の真空度を0.002[Pa]とした。これは、予備排気後のチャンバ内壁の吸着水に起因する水素ラジカルの影響を排除するためである。(第1の実施例参照)。
【0102】
予備排気を行った後、スパッタガスである、エタノールをバブリング添加したアルゴンガス及び酸素ガスをチャンバ12内に導入し、チャンバ12内を成膜圧力である30[Pa]とした。このとき、チャンバ12内のエタノール分圧は0.69[Pa]であった。
【0103】
その後、試料1の成膜方法と同様の成膜条件で成膜を行った。こうして得られたZnO透明導電膜を「試料2」とする。
【0104】
3.試料3の成膜方法
「試料3」は、第3の実施の形態で説明した成膜方法によって得られたZnO透明導電膜である。以下に成膜方法の概略を説明する。
【0105】
金属ターゲット22及び基板24は試料1の成膜方法と同様とした。また、水素原子含有分子ガスとし水素を用いて行った。
【0106】
また、予備排気時のチャンバ12内の真空度を0.002[Pa]とした。これは、予備排気後のチャンバ内壁の吸着水に起因する水素ラジカルの影響を排除するためである。(第1の実施例参照)。
【0107】
予備排気を行った後、スパッタガスである、水素を5mol%混入させたアルゴンガス及び酸素ガスをチャンバ12内に導入し、チャンバ12内を成膜圧力である30[Pa]とた。このとき、チャンバ12内の水素分圧は1.2[Pa]であった。
【0108】
その後、試料1の成膜方法と同様の成膜条件で成膜を行った。こうして得られたZnO透明導電膜を「試料3」とする。
【0109】
4.試料4の成膜方法
「試料4」は、試料2の成膜方法において、水素原子含有分子ガスを水(水蒸気)として得られたZnO透明導電膜である。尚、その成膜方法は、「試料2」の成膜方法で、エタノールをバブリング添加させる替わり水(但し、チャンバ12内を成膜圧力30[Pa]としたときの、チャンバ12内の水分圧は0.26[Pa]であった。)をバブリング添加した以外は同様であるのでここでは省略する。
【0110】
5.比較試料の成膜方法
「比較試料」は、第1の実施例で既に説明した、予備排気をチャンバ12内の真空度を0.002[Pa]として行った後、直流スパッタによる低温成膜によって得られたZnO透明導電膜とする(第1の実施例参照)。
【0111】
6.各試料の測定結果
上述した「試料1」〜「試料4」及び「比較試料」の電気抵抗率、キャリア濃度及びキャリア移動度の測定結果を図6に示す。同図において、横軸は試料ナンバーを示し、縦軸は電気抵抗率ρ[Ωcm]、キャリア濃度n[cm−3]及びキャリア移動度μ[cm2s−1v−1]を示している。また、これらの測定には、日本バイオラットラボラトリーズ(株)製のHL5500PCを用い、ファンデルパウ(van der pauw)法を用いて行った。
【0112】
図6に示すように、「試料1」ではρ=約0.002[Ωcm]、n=約2×1020[cm−3]及びμ=約10[cm2s−1v−1]]であった。「試料2」ではρ=約0.001[Ωcm]、n=約3×1020[cm−3]及びμ=約18[cm2s−1v−1]であった。「試料3」ではρ=約0.01[Ωcm]、n=約1×1020[cm−3]及びμ=約3[cm2s−1v−1]であった。「試料4」ではρ=約0.5[Ωcm]、n=約5×1019[cm−3]及びμ=約1[cm2s−1v−1]であった。一方、「比較試料」では、ρ=約2.5[Ωcm]、n=約3×1017[cm−3]及びμ=約2.5[cm2s−1v−1]であった。
【0113】
図6から明らかなように、「試料1」〜「試料4」の各試料は、「比較試料」に比べ良好な電気的特性を有していることがわかる。
【0114】
特に、試料2、すなわち、エタノールの解離によって発生した水素ラジカルを含有する雰囲気中で成膜したZnO透明導電膜は、電気抵抗率が最も低くまたキャリア濃度及びキャリア移動度が最も高い、最も優れた電気的特性を有している。
【0115】
このことから、予備排気時のチャンバの真空度を制御したり或いは水素原子含有分子ガスをチャンバに導入することにより、従来よりも低い電気抵抗率を有する酸化物透明導電膜が得られる。
【0116】
また、酸化物透明導電膜を直流スパッタを用いて低温成膜するため、成膜速度の向上はもとより、成膜装置の簡略化及び膜質の安定化を図ることができる。
【0117】
<第3の実施例>
第1の実施の形態から第3の実施の形態で説明した成膜方法において、成膜時の金属ターゲットと基板間に発生するグロー放電の分光測定を行い、水素ラジカルの発生の有無について比較検討を行った。
【0118】
ここでの試料として、「試料1」〜「試料4」及び「比較試料」の、成膜時に亜鉛ターゲット22と石英ガラス基板24間に発生するグロー放電の分光測定の結果を図7に示す(尚、(A)は試料1、(B)は試料2、(C)は試料3、(D)は試料4、(E)は比較試料を示す。)。同図において、横軸は波長[nm]を示し、縦軸は強度[a.u.]を示している。また、分光測定には浜松ホトニクス(株)製のPMA−11を用いて行った。
【0119】
図7から明らかなように、各試料とも、660nm付近に水素ラジカルの発光スペクトルが現れているが、特に、「試料1」〜「試料4」の各試料は、「比較試料」に比べ発光スペクトルの強度が大きい。
【0120】
このことから、ZnO透明導電膜の成膜時には、チャンバ内に残留していた吸着水或いはチャンバに導入された水素分子含有分子ガスの解離によって、ZnO結晶のZn原子の一部とホウ素原子との置換反応の促進に寄与する充分な量の水素ラジカルが発生していることがわかる。
【0121】
以上、この発明は、上述した実施の形態の組合せのみに限定されない。よって、任意好適な段階において好適な条件を組み合わせ、この発明を適用することができる。
【0122】
例えば、上述した実施の形態では、水素原子含有分子ガスとして、水素、水及びアルコールを例に挙げて説明したがこれに限定されず、グロー放電によって水素ラジカルを生成できるものであれば任意好適に用いることができる。
【0123】
【発明の効果】
上述した説明から明らかなように、この発明によれば、従来よりも低い電気抵抗率を有する酸化物透明導電膜が得られる。
【0124】
また、酸化物透明導電膜を直流スパッタを用いて低温成膜する構成であるため、成膜速度の向上はもとより、成膜装置の簡略化及び膜質の安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態の成膜装置の概略部分断面図である。
【図2】この発明の第1の実施の形態の説明に供する図である。
【図3】この発明の第2の実施の形態の成膜装置の概略部分断面図である。
【図4】この発明の第3の実施の形態の成膜装置の概略部分断面図である。
【図5】この発明の第1の実施例の説明に供する図である。
【図6】この発明の第2の実施例の説明に供する図である。
【図7】この発明の第3の実施例の説明に供する図である。
【符号の説明】
10:第1の成膜装置
12:チャンバ
14、55、65:スパッタガス供給ライン
16:排気ライン
18:リークバルブ
20:直流電源
22:金属ターゲット
23:磁石
24:基板
26:非加熱基板ホルダー
28:水冷管
30:アルゴンガス供給ライン
32:酸素ガス供給ライン
34:流量調節器
36:真空ポンプ
40:バブリング部
42:容器
43:水素原子含有分子ガスがバブリング添加されたアルゴンガス供給ライン
50:第2の成膜装置
60:第3の成膜装置
67:水素原子含有分子ガスが混入されたアルゴンガス供給ライン
Claims (9)
- 酸化物透明導電膜を直流スパッタ法によって成膜する方法であって、
金属ターゲットと非加熱基板ホルダーとを具えるチャンバ内で、前記成膜を、前記非加熱基板ホルダーに搭載された基板に、水素ラジカルを含有している雰囲気中で行うことを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。 - 請求項1に記載の酸化物透明導電膜の成膜方法において、前記水素ラジカルを、前記成膜時に、前記チャンバ内壁に吸着している吸着水を解離させて発生させることを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。
- 請求項1または2に記載の酸化物透明導電膜の成膜方法において、前記水素ラジカルを、前記成膜時に、前記チャンバ内に導入された水素原子含有分子ガスを解離させて発生させることを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。
- 請求項3に記載の酸化物透明導電膜の成膜方法において、前記水素原子含有分子ガスは、アルコール、水、ケトン及び水素のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。
- 請求項3または4に記載の酸化物透明導電膜の成膜方法において、前記水素原子含有分子ガスを、スパッタガスにバブリング添加させて前記チャンバ内に導入することを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。
- 請求項4に記載の酸化物透明導電膜の成膜方法において、前記アルコールは、エタノール及びメタノールの双方またはいずれか一方を含むことを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。
- 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の酸化物透明導電膜の成膜方法において、前記金属ターゲットは、亜鉛、インジウムまたは錫を主成分とすることを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。
- 請求項1ないし7のいずれか一項に記載の酸化物透明導電膜の成膜方法において、前記直流スパッタ法として、直流マグネトロンスパッタ法を用いることを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。
- 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の酸化物透明導電膜の成膜方法において、前記チャンバ内の水素ラジカルの含有量は、前記酸化物透明導電膜の成膜速度を最低でも90nm/minとする量であることを特徴とする酸化物透明導電膜の成膜方法。
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