JP2004177733A - 光源の自動出力制御回路を備えた光学測定機器 - Google Patents

Abstract

【課題】光源の自動出力制御回路を備えた光学測定機器において、光源の寿命のばらつきや変動に応じて光源の適切な交換時期をユーザに報知すると共に、光源をできるだけ長く使用することができるようにする。
【解決手段】光源１１の駆動電流を制限する電流制限抵抗３１を自動出力制御回路２１と直列になるように光源１１の駆動電流路に挿入し、光源１１の劣化が進み、電流制限抵抗３１のために自動出力制御回路２１による制御が十分に働かなくなり光源１１の光出力が低下し始めたときに、光源１１からの光を電気信号に変換する寿命監視用受光素子１６の出力信号から得られた電圧を基準電圧と比較することにより光源１１が寿命に達したことを判定し、ユーザに報知する寿命監視手段２２を設ける。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光源からの光を試料に照射し、試料からの光を受光素子で電気信号に変換して画像等の情報を得る光学測定機器に関し、詳しくは光源の出力を一定に保つための自動出力制御回路を備えた光学測定機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の光学測定機器として例えば共焦点顕微鏡がある。共焦点顕微鏡は、レーザ等の光源から発せられる単色光で試料を走査し、試料からの光を共焦点光学系を介して受光素子で受光し、その受光量の情報に基づいて試料の超深度画像や高さ分布画像を生成し画面に表示する。
【０００３】
このような光学測定機器において、光源（レーザ）の出力が一定になるように制御する自動出力制御回路（以下、ＡＰＣ回路という）が使用されることが多い。ＡＰＣ回路を用いた制御は、光源の駆動電流や駆動電圧を一定にする制御と異なり、光出力そのものをモニターしてそれが一定になるように駆動電流を制御するので、非常に安定した光出力を維持することができる。
【０００４】
レーザ等の光源は、長時間の使用によって徐々に劣化し、その光出力が低下する。ＡＰＣ回路によって光源の光出力が制御される場合は、劣化による光源の光出力低下を補うように駆動電流が増加する。つまり、一定の光出力を得るのに必要な駆動電流が光源の劣化にしたがって増加し、その結果発熱量が増え、光源の劣化が加速される。このように、ＡＰＣ回路によって光源の光出力が制御される場合は、光源が劣化し始めると急激に劣化が進み使用できない状態に至る。
【０００５】
共焦点顕微鏡のような光学測定機器では、光源から発せられた光（例えばレーザ光）で測定対象を走査する。その走査の振幅を監視するために、ＰＳＤ（ポジションセンシングデバイス）と呼ばれる別の受光素子を用いて走査光を直接監視することもある。この場合、光源の劣化による光出力の低下は、得られる画像のＳ／Ｎ比を低下させるだけでなく、走査振幅を安定させる制御に悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００６】
光源の急激な劣化によって画像の明るさが暗くなったり、走査振幅が不安定になったりする不具合が発生したときに、それに気付いたユーザからの問い合わせに応じて光学測定機器の製造者又は販売者が光学測定機器の修理や部品交換を行うことになる。あるいは、光学測定機器の制御部が光学測定機器の使用時間を積算し、累積使用時間があらかじめ定めた寿命設定時間に達した時点で表示やブザー鳴動等の手段によって光源の交換をユーザに促すことが行われている。この寿命設定時間は、上記のような不具合が発生するまでの時間より短い時間に設定される。
【発明が解決しようとする課題】
しかし、光源の急激な劣化に起因する上記のような不具合にユーザが気付いてから修理や部品交換を行う場合は、再び光学測定機器を使用できるようになるまでに時間ロスが発生する。また、それまでに測定したデータの信頼性が損なわれる場合がある。つまり、いつの時点から光源の劣化に起因する不具合が生じていたかが不明確な場合は、不具合が発見された時点からある程度遡ってデータの信憑性を疑う必要があり、場合によってはそれらのデータを廃棄する必要がある。
【０００７】
光学測定機器の使用時間を積算し、累積使用時間があらかじめ定めた寿命設定時間に達した時点で光源の交換をユーザに促す報知を行う場合は、上記のような問題の発生を回避することができる。ところが、レーザ等の光源の実際の寿命にはばらつきがあり、使用条件によっても寿命が変動するので、寿命設定時間を適切に決めることは困難である。上記のような不具合に至る確率を小さくするには、寿命のばらつきや使用条件に伴う変動を考慮して、寿命設定時間を実際の寿命よりかなり短めに決める必要がある。
【０００８】
しかしながら、光源が寿命設定時間に達したときに、その光源が実力的にはまだ使用できる状態であるにもかかわらず新しい光源と交換することは資源の有効活用の観点からは好ましくない。また、ユーザに無用のコスト負担を強いる場合がある。試料の画像（共焦点顕微鏡の場合は超深度画像等）を得たい場合のように、光学測定機器の使用目的によっては測定データの精度がさほど問題にならない場合もある。そのような場合は、測定精度が多少悪くなっても光源を新しいものに交換しないで測定を続けたいことがあるであろう。
【０００９】
本発明は上記のような課題に鑑み、ＡＰＣ回路を備えた光学測定機器において、光源の寿命のばらつきや変動に応じて光源の適切な交換時期をユーザに報知すると共に、光源をできるだけ長く使用することができるようにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、試料に照射するための光を出力する光源と、試料からの光を受光して電気信号に変換し、画像等の情報を得るための測定用受光素子と、光源の光出力を監視するための監視用受光素子と、監視用受光素子の出力信号に基づいて光源の光出力が略一定になるように光源の駆動電流を制御する自動出力制御回路とを備えた光学測定機器において、光源の駆動電流を制限する電流制限抵抗を自動出力制御回路と直列になるように光源の駆動電流路に挿入し、光源の劣化が進み、電流制限抵抗のために自動出力制御回路による制御が十分に働かなくなり光源の光出力が低下し始めたときに、光源からの光を電気信号に変換する寿命監視用受光素子の出力信号から得られた電圧を基準電圧と比較することにより光源が寿命に達したことを判定し、ユーザに報知する寿命監視手段を設けたことを特徴とする。
【００１１】
このような構成によれば、自動出力制御回路（ＡＰＣ回路）と直列に接続され電流制限抵抗によって光源に供給される電流が制限されるので、光源の劣化がある程度進むと、ＡＰＣ回路によって光源への電流供給を増加してその光出力を一定に維持する制御が完全には機能しなくなり、光出力が低下し始める。このとき、寿命監視用受光素子の出力信号から得られた電圧を基準電圧と比較することにより（例えば比較結果出力が反転したときに）、寿命監視手段は光源が寿命に達したことを判定し、表示、ブザー鳴動、音声出力等の手段によってユーザに報知する。したがって、光源の個々の寿命のばらつきや変動に応じて光源の適切な交換時期がユーザに報知される。
【００１２】
また、光源が寿命に達したことが判定されユーザに報知された時点でも、電流制限抵抗によって光源に供給される電流が制限されるので、ＡＰＣ回路が正常に働かなくなる代わりに、光源の劣化が加速度的に進むことはない。したがって、画像の取得のように高い精度を要求しない測定を目的とする場合は、すぐに光源を交換しなくてもしばらくの間はその光学測定機器を使用することができる。
【００１３】
好ましい実施形態において、監視用受光素子は寿命監視用受光素子を兼ねている。つまり、専用の寿命監視用受光素子を新たに追加することなく、ＡＰＣ回路による制御のために備えられている監視用受光素子を寿命監視用受光素子として兼用することができる。これにより、本発明の構成を実現するためのコスト上昇を抑えることができる。
【００１４】
別の好ましい実施形態では、光源からの光で試料を走査するための光走査手段と、その走査振幅を監視するための受光位置検出素子とを更に備え、この受光位置検出素子が寿命監視用受光素子を兼ねている。この場合も、専用の寿命監視用受光素子を新たに追加する必要がなく、本発明の構成を実現するためのコスト上昇を抑えることができる。また、上記の監視用受光素子が寿命監視用受光素子を兼ねる構成と組み合わせた場合は、受光位置検出素子が監視用受光素子及び寿命監視用受光素子を兼ね、３通りの受光素子として働くことになる。
【００１５】
また、本発明の光学測定機器は、好ましくは光源からの光で試料を走査し、共焦点光学系を介して試料からの光を測定用受光素子で受光し、その受光量の情報に基づいて試料の表面の高さ分布画像又は超深度画像を生成して画面に表示する機能を有する共焦点顕微鏡である。特に、レーザを光源に用いて、そのレーザ出力を略一定に制御するＡＰＣ回路を備えた共焦点顕微鏡に本発明の構成を適用することにより、レーザの個々の寿命のばらつきや変動に応じてレーザの適切な交換時期をユーザに報知することができる。また、画像の取得のように高い精度を要求しない測定を目的とする場合は、すぐにレーザを交換しなくてもしばらくの間はその共焦点顕微鏡を使用することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態に係る光学測定機器の光学系を主として示す構成図である。この光学測定機器は、光源として半導体レーザ１１を使用している。半導体レーザ１１から発したレーザ光は、コリメータレンズ１２を通って偏光ビームスプリッタ１３で光路を曲げられ、１／４波長板１４を通過する。この後、ハーフミラー１５によって試料ｗｋに向かうレーザ光と光出力監視用の受光素子（監視用受光素子）１６に向かうレーザ光とに分けられる。ハーフミラー１５を通過した主光路のレーザ光は試料ｗｋに向かい、ハーフミラー１５で反射した一部のレーザ光は監視用受光素子１６に向かう。
【００１８】
ハーフミラー１５を通過した主光路のレーザ光は、水平・垂直偏向装置（光走査手段）１７で水平方向及び垂直方向に偏向され、対物レンズ１８を通って試料ｗｋに集光される。したがって、試料ｗｋはレーザ光によって水平方向及び垂直方向に（二次元平面で）走査される。
【００１９】
試料ｗｋで反射されたレーザ光は、上記の光路を逆にたどるように、対物レンズ１８及び水平・垂直偏向装置１７を通り、ハーフミラー１５及び１／４波長板１４を再び通過する。その結果、レーザ光は偏光ビームスプリッタ１３を透過してＰＨレンズ１９によって測定用受光素子２０に集光される。測定用受光素子２０は受光量を電気信号に変換して出力する。この電気信号を処理して所望の測定データを得ることができる。
【００２０】
図１において、監視用受光素子１６の出力信号は、ＡＰＣ回路（自動出力制御回路）２１と寿命監視手段２２に与えられている。一方のＡＰＣ回路は、監視用受光素子１６の出力信号に基づいて半導体レーザ（光源）１１の光出力が略一定になるように半導体レーザ１１の駆動電流を制御する働きを有する。
【００２１】
他方の寿命監視手段２２は、監視用受光素子１６の出力信号から得られた電圧を基準電圧と比較することにより半導体レーザ１１が寿命に達したことを判定し、表示やブザー鳴動又は音声出力等の手段でユーザに報知する。寿命監視手段２２の上記の働きを可能にするために、図２に示すように、半導体レーザ１１の駆動電流を制限する電流制限抵抗３１をＡＰＣ回路２１と直列になるように半導体レーザ１１の駆動電流路に挿入している。
【００２２】
図２に示す半導体レーザ１１の駆動電流路において、例えば電源電圧Ｖｃｃが１０Ｖであり、半導体レーザ１１に１００ｍＡの駆動電流が流れ、その両端の電圧が５Ｖであると仮定する。また、電流制限抵抗３１が２０オームで２Ｖを分担し、ＡＰＣ回路２１が残りの３Ｖを分担していると仮定する。この場合、ＡＰＣ回路２１の内部抵抗（出力回路の抵抗）は３０オームということになる。
【００２３】
なお、従来の駆動電流路の場合は、電流制限抵抗３１が無い（抵抗値ゼロに相当する）ので、ＡＰＣ回路２１が残りの５Ｖを分担し、その内部抵抗は５０オームということになる。ＡＰＣ回路２１は、内部抵抗を調整することによって半導体レーザ１１の駆動電流を調整し、一定の光出力が得られるように制御する。半導体レーザ１１が劣化すると一定の駆動電流では光出力が低下する。そこで、ＡＰＣ回路２１は光出力の低下分を補うように、内部抵抗を下げて半導体レーザ１１の駆動電流を増加する。
【００２４】
本発明に係る図２の半導体レーザ１１の駆動電流路では、抵抗値が固定である電流制限抵抗３１のために、半導体レーザ１１の劣化が進むとＡＰＣ回路２１による光出力を一定にする制御が十分に働かなくなる。上記の例では、半導体レーザ１１の駆動電流が２５０ｍＡまで増加すると、電流制限抵抗３１の両端の電圧が５Ｖになる。したがって、半導体レーザ１１の両端の電圧が５Ｖのままであると仮定すれば、ＡＰＣ回路２１の分担電圧がゼロになるので、ＡＰＣ回路２１の働きによって半導体レーザ１１の駆動電流を更に増加することができなくなる。その結果、半導体レーザ１１の光出力が低下し始める。
【００２５】
図３は、上記のようにして半導体レーザ１１の光出力が低下し始めたことを検出して半導体レーザ１１が寿命に達したことを判定し、ユーザに報知する寿命監視手段２２の構成例を示すブロック図である。この構成例では、監視用受光素子１６の出力信号が増幅器３２で増幅され、得られた電圧が比較器３３で基準電圧と比較される。その比較結果である出力信号がマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）３４に入力されている。
【００２６】
図４は、監視用受光素子１６の出力信号を増幅器３２で増幅して得られた電圧である監視電圧の変化例を示すグラフである。時間の経過に伴って半導体レーザ１１の劣化が進み、光出力が低下し始めると、図４に示す例では監視電圧が上昇し始める。そして、時刻Ｔ１で監視電圧があらかじめ定めた基準電圧より高くなる。この時点で比較器３３の出力信号が反転するので、マイクロプロセッサ３４は半導体レーザ１１が寿命に達したことを判定し、報知手段３５によってユーザに報知する。報知手段３５としては、メッセージの表示や音声出力、又はブザー鳴動等の手段を用いることができる。
【００２７】
また、電流制限抵抗３１の働きにより半導体レーザ１１の駆動電流が制限されるので、ＡＰＣ回路２１が正常に働かなくなる代わりに、半導体レーザ１１の劣化が加速度的に進むことはない。したがって、画像の取得のように高い精度を要求しない測定を目的とする場合は、すぐに半導体レーザ１１を交換しなくてもしばらくの間は光学測定機器を使用することができる。
【００２８】
なお、図１の構成では監視用受光素子１６の出力信号をＡＰＣ回路２１と寿命監視手段２２の両方に入力して使用しているが、個別の受光素子を設けてもよい。つまり、ＡＰＣ回路２１のための監視用受光素子１６とは別に、寿命監視手段２２のための専用の寿命監視用受光素子を設けてもよい。その場合は、例えばハーフミラー１５と同様のハーフミラーを光路に追加して、レーザ光の一部を寿命監視用受光素子に入射させればよい。
【００２９】
また、次に述べる共焦点顕微鏡のような光学測定機器において、光走査手段による走査振幅を監視するための受光位置検出素子（ＰＳＤ）を備えている場合に、そのＰＳＤを寿命監視用受光素子として兼用してもよい。
【００３０】
図５は、本発明の実施形態に係る共焦点顕微鏡の構成図である。図１に示した光学測定機器と同じ構成部材については同じ参照番号を付している。半導体レーザ１１から発したレーザ光は、コリメータレンズ１２を通って偏光ビームスプリッタ１３で光路を曲げられ、１／４波長板１４を通過した後に水平・垂直偏向装置（光走査手段）１７によって水平方向及び垂直方向に偏向される。偏向されたレーザ光の一部は、ハーフミラー１５で反射して受光位置検出素子（ＰＳＤ）２３に向かう。ハーフミラー１５を通過した主光路のレーザ光は、対物レンズ１８を通って試料ｗｋに集光される。
【００３１】
水平垂直偏向装置１７は水平偏向用のレゾナント（共振型）スキャナーと垂直偏向用のガルバノ（電磁型）スキャナーで構成されている。両者でレーザ光を水平及び垂直方向に偏向させることにより、試料ｗｋの表面をレーザ光で走査する。説明の便宜上、水平方向をＸ方向、垂直方向をＹ方向ということにする。対物レンズ１８は、対物レンズ移動機構２６によりＺ方向（光軸方向）に駆動される。これにより、対物レンズ１８の焦点と試料ｗｋとの光軸方向（すなわち試料ｗｋの高さ方向）での距離を変化させることができる。
【００３２】
ただし、対物レンズ１８の焦点と試料ｗｋとの光軸方向での距離は、他の方法で変化させることもできる。例えば、対物レンズ１８をＺ方向に駆動する代わりに試料ｗｋを載置するステージ２８をＺ方向に駆動してもよい。あるいは、対物レンズ１８と試料ｗｋとの間に屈折率が変化するレンズを挿入することにより、対物レンズ１８の焦点をＺ方向に移動させる構成も可能である。本実施形態の共焦点顕微鏡では、対物レンズ移動機構２６によって対物レンズ１８がＺ軸方向に電動で移動可能であると共に、ステージ２８は、ステージ操作機構２７によって手動操作でＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に変位可能である。
【００３３】
試料ｗｋで反射されたレーザ光は、上記の光路を逆にたどるように、対物レンズ１８及びハーフミラー１５を通り、水平垂直偏向装置１７を経て１／４波長板１４を再び通る。この結果、レーザ光は偏光ビームスプリッタ１３を透過し、ＰＨレンズ１９によって集光される。集光されたレーザ光は、ＰＨレンズ１９の焦点位置に配置されたピンホール板２４のピンホールを通過して測定用受光素子２０に入射する。測定用受光素子２０は、例えばフォトマルチプライヤチューブ（光電子増倍管）で構成され、受光量を電気信号に変換する。受光量に相当する電気信号は、出力アンプ等の信号処理回路を経てＡＤ変換器でディジタル値に変換され、マイクロプロセッサ（図示せず）に入力される。
【００３４】
上記のようなピンホール板２４を含む共焦点光学系により、試料ｗｋの高さ（表面のＺ方向位置）情報を取得することができる。以下に、その原理を簡単に説明する。
【００３５】
上述のように、対物レンズ１８が対物レンズ移動機構２６によってＺ方向（光軸方向）に駆動されると、対物レンズ１８の焦点と試料ｗｋとの光軸方向での距離が変化する。そして、対物レンズ１８の焦点が試料ｗｋの表面に結ばれたときに、試料ｗｋの表面で反射されたレーザ光は上記の光路を経てＰＨレンズ１９で集光され、ほとんどすべてのレーザ光がピンホール板２４のピンホールを通過する。したがって、このときに、測定用受光素子２０の受光量が最大になる。逆に、対物レンズ１８の焦点が試料ｗｋの表面からずれている状態では、ＰＨレンズ１９によって集光されたレーザ光はピンホール板２４からずれた位置に焦点を結ぶので、一部のレーザ光しかピンホールを通過することができない。その結果、測定用受光素子２０の受光量は著しく低下する。
【００３６】
したがって、試料ｗｋの表面の任意の点について、対物レンズ１８をＺ方向（光軸方向）に駆動しながら測定用受光素子２０の受光量を検出すれば、その受光量が最大になるときの対物レンズ１８のＺ方向位置（対物レンズ１８の焦点と試料ｗｋとの光軸方向での距離）を高さ情報として一義的に求めることができる。
【００３７】
実際には、対物レンズ１８を１ステップ（１ピッチ）移動するたびに水平垂直偏向装置１７によって試料ｗｋの表面を走査して測定用受光素子２０の受光量を得る。対物レンズ１８をＺ方向での測定範囲の下端から上端まで移動させたときに、ＸＹ平面の走査範囲内の各点（画素）について、Ｚ方向位置に応じて変化する受光量データが得られる。図６は、対物レンズ１８のＺ方向位置に応じて変化する受光量の例を示すグラフである。このような受光量データに基づいて、最大受光量とそのときのＺ方向位置が各点（画素）ごとに得られる。このようにして、試料ｗｋの表面高さのＸＹ平面での分布が得られる。
【００３８】
得られた表面高さの分布情報は、いくつかの方法でモニター画面に表示される。例えば３次元表示によって試料の高さ分布（表面形状）を立体的に表示することができる。あるいは、高さデータを輝度データに変換することにより、明るさの二次元分布として表示できる。高さデータを色差データに変換することにより、高さの分布を色の分布として表示することも可能である。
【００３９】
また、ＸＹ走査範囲内の各点（画素）について得られた受光量を輝度データとする輝度信号から、試料ｗｋの表面画像（白黒画像）が得られる。各画素における最大受光量を輝度データとして輝度信号を生成すれば、表面高さの異なる各点でピントの合った焦点深度の非常に深い画像（超深度画像）が得られる。また、任意の注目画素で最大受光量が得られた高さ（Ｚ方向位置）に固定した場合は、注目画素の部分と高低差が大きい部分の画素の受光量は著しく小さくなり、注目画素と同じ高さの部分のみが明るい画像（スライス画像）が得られる。
【００４０】
上記のような共焦点顕微鏡において、ＰＳＤ２３の出力信号が走査駆動回路２５に入力されている。走査駆動回路２５は、ＰＳＤ２３の検出した走査振幅に相当する信号に基づいて水平垂直偏向装置１７の駆動制御を行い、その走査振幅が所定の値になるようにフィードバック制御を行っている。
【００４１】
図５に示すように、ＰＳＤ２３の出力信号は、走査駆動回路２５だけでなく、ＡＰＣ回路２１及び寿命監視手段２２にも入力されている。つまり、図１に示した構成における監視用受光素子１６の働きをＰＳＤ２３が兼ねている。これにより、監視用受光素子１６を追加することなしに、既存の受光素子（ＰＳＤ）を用いて本発明の構成を共焦点顕微鏡で実現することができる。その結果、寿命監視手段２２の働きによって半導体レーザ１１が寿命に達したことが適切に判定されユーザに報知される。
【００４２】
また、電流制限抵抗３１（図２参照）の働きにより半導体レーザ１１の駆動電流が制限されるので、ＡＰＣ回路２１が正常に働かなくなる代わりに、半導体レーザ１１の劣化が加速度的に進むことはない。したがって、画像の取得のように高い精度を要求しない測定を目的とする場合は、すぐに半導体レーザ１１を交換しなくてもしばらくの間は共焦点顕微鏡を使用することができる。
【００４３】
以上、本発明の実施形態を適宜変形例を含めながら説明したが、本発明は上記の実施形態に限らず、種々の形態で実施することが可能である。本発明は、共焦点顕微鏡に限らず、光源の出力を一定に保つための自動出力制御回路（ＡＰＣ回路）を備えた種々の光学測定機器に適用することができる。また、光源として半導体レーザを用いた光学測定機器に限らず、各種レーザ、ＬＥＤ、水銀ランプ等、種々の発光素子を光源に用いた光学測定機器に適用することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、光源の自動出力制御回路を備えた光学測定機器において、光源の寿命のばらつきや変動に応じて光源の適切な交換時期をユーザに報知すると共に、光源をできるだけ長く使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る光学測定機器の光学系を主として示す構成図である。
【図２】光源である半導体レーザの駆動電流路を示す回路図である。
【図３】半導体レーザの光出力が低下し始めたことを検出して半導体レーザが寿命に達したことを判定し、ユーザに報知する寿命監視手段の構成例を示すブロック図である。
【図４】監視用受光素子の出力信号を増幅器で増幅して得られた電圧である監視電圧の変化例を示すグラフである。
【図５】本発明の実施形態に係る共焦点顕微鏡の構成図である。
【図６】対物レンズのＺ方向位置に応じて変化する受光量の例を示すグラフである。
【符号の説明】
１１ 半導体レーザ（光源）
１６ 監視用受光素子（寿命監視用受光素子）
１７ 水平・垂直偏向装置（光走査手段）
２０ 測定用受光素子
２１ 自動出力制御回路（ＡＰＣ回路）
２２ 寿命監視手段
３１ 電流制限抵抗
ｗｋ 試料

Claims (4)

1. 試料に照射するための光を出力する光源と、試料からの光を受光して電気信号に変換し、画像等の情報を得るための測定用受光素子と、前記光源の光出力を監視するための監視用受光素子と、前記監視用受光素子の出力信号に基づいて前記光源の光出力が略一定になるように前記光源の駆動電流を制御する自動出力制御回路とを備えた光学測定機器において、
   前記光源の駆動電流を制限する電流制限抵抗を前記自動出力制御回路と直列になるように前記光源の駆動電流路に挿入し、
   前記光源の劣化が進み、前記電流制限抵抗のために前記自動出力制御回路による制御が十分に働かなくなり前記光源の光出力が低下し始めたときに、前記光源からの光を電気信号に変換する寿命監視用受光素子の出力信号から得られた電圧を基準電圧と比較することにより前記光源が寿命に達したことを判定し、ユーザに報知する寿命監視手段を設けたことを特徴とする光学測定機器。
2. 前記監視用受光素子が前記寿命監視用受光素子を兼ねていることを特徴とする
   請求項１記載の光学測定機器。
3. 前記光源からの光で前記試料を走査するための光走査手段と、その走査振幅を監視するための受光位置検出素子とを更に備え、この受光位置検出素子が前記寿命監視用受光素子を兼ねていることを特徴とする
   請求項１又は２記載の光学測定機器。
4. 光源からの光で試料を走査し、共焦点光学系を介して試料からの光を測定用受光素子で受光し、その受光量の情報に基づいて前記試料の表面の高さ分布画像又は超深度画像を生成して画面に表示する機能を有する共焦点顕微鏡であることを特徴とする
   請求項１、２又は３記載の光学測定機器。

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