JP2004173308A - アンテナ - Google Patents

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Abstract

【課題】 従来の材料よりも誘電率が高く、強度の低下がなく、小型で高性能、総合的な電気特性に優れた電子部品、特にアンテナを提供し、使用材料の電気特性、特に誘電率のロット間変動を抑え、さらには材料形成の際の金型の摩耗を抑制できる電子部品、特にアンテナを提供し、耐電圧の高い電子部品、特にアンテナを提供する。
【解決手段】 樹脂を有する構成層を積層して多層化した構造を具備し、前記構成層の少なくとも1層が、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料の層であるアンテナ。
【選択図】 なし

Description

本発明は、プリプレグおよび基板を用いた電子部品や積層回路に関し、特に高周波数領域(100MHz以上)での使用に好適であり、誘電率の優れたプリプレグおよび基板を用いた電子部品、特にアンテナに関する。
近年、通信用、民生用、産業用等の電子機器の分野における実装方法の小型化・高密度化への指向は著しいものがあり、それに伴って材料の面でもより優れた耐熱性、寸法安定性、電気特性、成形性が要求されつつある。
高周波用電子部品もしくは高周波用多層基板としては、焼結フェライトや焼結セラミックを基板上に多層化、成形したものが一般に知られている。これらの材料を多層基板にすることは、小型化が図れるというメリットがあることから従来より用いられてきた。
しかしながら、これら焼結フェライトや焼結セラミックを用いた場合、焼成工程や厚膜印刷工程数が多く、また、焼成時のクラックや反り等、焼結材料特有の問題が多いことと、プリント基板との熱膨張係数の違い等によるクラックの発生等といった問題が多いことから、樹脂系材料への要求が年々高まっている。
しかしながら、樹脂系の材料ではそれ自体で十分な誘電率を得ることが極めて困難であり、これと併せて透磁率の向上を図ることも困難である。このため、単に樹脂材料を利用した電子部品では、十分な特性を得ることができず、形状的にも大きなものとなり、小型、薄型化を図ることが困難である。
また、樹脂材料にセラミック粉末をコンポジットする手法も、例えば特許文献1(特開平10−270255号公報)、特許文献2(特開平11−192620号公報)、特許文献3(特開平8−69712号公報)に開示されているが、いずれも十分な誘電率や、これと併せて透磁率を得られてはいない。誘電率を上げるためにセラミック粉末の充填率を上げると、強度が低下し、ハンドリング時や加工時に破損しやすくなるといった問題もあった。
また、これらの文献で用いられている材料は破砕粉であるため、混練成型時の金型の摩耗が早いという欠点がある。そのうえ、破砕粉の場合、粒子の形状や大きさがまちまちであるため、分散性や充填率が安定せず、誘電率を高めることが困難であり、誘電率や透磁率が安定しにくいという欠点があった。さらに破砕粉を用いると、粒子の形状から耐電圧が低くなってしまうという欠点もあった。
球状の磁性体粉を樹脂に分散させる試みとしては、特許文献4(特公平7−56846号公報)、特許文献5(特許第2830071号)、特許文献6(特許第2876088号)、特許文献7(特許第2893531号)等に記載されている。しかし、これらの文献に開示されているのは、フェライト磁性粉のみであり、他の材料、あるいは磁性粉と他の材料についての検討はなされていない。
特開平10−270255号公報 特開平11−192620号公報 特開平8−69712号公報 特公平7−56846号公報 特許第2830071号 特許第2876088号 特許第2893531号
本発明の目的は、従来の材料よりも誘電率が高く、強度の低下がなく、小型で高性能、総合的な電気特性に優れた電子部品、特にアンテナを提供することである。
また、使用材料の電気特性、特に誘電率のロット間変動を抑え、さらには材料形成の際の金型の摩耗を抑制できる電子部品、特にアンテナを提供することである。
また、耐電圧の高い電子部品、特にアンテナを提供することである。
上記目的は、下記の本発明の構成により達成される。
(1) 樹脂を有する構成層を積層して多層化した構造を具備し、前記構成層の少なくとも1層が、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料の層であるアンテナ。
(2) さらに、導電体層を有する上記(1)のアンテナ。
(3) 前記投影形状が円形の誘電体は、平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である上記(1)または(2)のアンテナ。
(4) さらに、前記複合誘電体材料は、磁性粉を含有する上記(1)〜(3)のいずれかのアンテナ。
(5) さらに、前記複合誘電体材料は、破砕粉を含有する上記(1)〜(4)のいずれかのアンテナ。
(6) さらに、前記複合誘電体材料は、ガラスクロスが埋設されている上記(1)〜(5)のいずれかのアンテナ。
(7) 2種以上の異なる前記複合誘電体材料を有する上記(1)〜(6)のいずれかのアンテナ。
(8) 少なくとも1種の複合誘電体材料層に1種または2種以上の難燃剤を含有する上記(1)〜(7)のいずれかのアンテナ。
本発明によれば、従来の材料よりも誘電率が高く、強度の低下がなく、小型で高性能、総合的な電気特性に優れた電子部品、特にアンテナを提供し、使用材料の電気特性、特に誘電率のロット間変動を抑え、さらには材料形成の際の金型の摩耗を抑制できる電子部品、特にアンテナを提供し、耐電圧の高い電子部品、特にアンテナを提供することができる。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の電子部品は、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料を有するものである。
このように、樹脂中に分散される誘電体の投影形状を円、扁平円、または楕円とすることにより、誘電体粒子の表面が滑らかになり、充填率が向上するとともに分散性が向上する。また、樹脂材料が誘電体の周囲に均一に存在するようになり、ハイブリッド材の耐圧が向上し、強度も向上する。また、成型の際の金型に与えるダメージが減少し、金型の寿命が延びる。
誘電体は、特に、前記投影形状が円形である球状のものが好ましい。その平均粒径は、0.1〜50μm 、特に0.5〜20μm が好ましく、球形度は0.9〜1.0、特に0.95〜1.0が好ましい。
平均粒径が0.1μm より小さいと、粒子の表面積が増大し、分散、混合時の粘度、チクソ性が上昇し、高充填率化が困難となり、樹脂との混練がし難くなってくる。逆に50μm より大きいと、均一な分散・混合を行うことが困難となり、沈降が激しくなって不均一となり、粉末の含有量が多い組成の成形の際に、緻密な成型体を得られ難くなる。
また、球形度が0.9より小さくなると、例えば圧粉コア等の成型体の成型時において、粉末の均一な分散が困難となり、誘電体特性のばらつきを生じる原因となるなど、所望の特性が得られにくくなり、ロット間、製品間のばらつきが増大してくる。球形度は複数のサンプルを任意に測定し、その平均値が上記値となっていればよい。
本発明において、”投影形状が円形”となる”球状”とは、表面が平滑な球状の他、極めて真円に近い多面体も含まれる。すなわち、球状にはWulffモデルで表されるような安定な結晶面で囲まれた等方的な対象性を有し、かつ球形度が1に近い多面体も含まれる。また、本発明における”球形度”とは、Wadellの実用球形度、すなわち粒子の投影面積に等しい円の直径の、粒子の投影像に外接する最小円の直径に対する比で表される。
本発明では、誘電体の球形度が0.9よりも小さい場合であっても、表面が滑らかであるような、投影形状が円、扁平円、または楕円となる粒子であれば有効である。このような滑らかな表面を有することにより、金型の摩耗を減少させることができる。この場合、球形度が0.9より大きく、鋭角的な突起を有する(角が立っている)形状よりも有効である。
本発明では、さらに上記形状の誘電体に加えて破砕粉を含有していてもよい。誘電体破砕粉を含有することにより、さらに充填率を向上させることができる。この場合、金型の摩耗抑制効果は若干劣るが、充填率の向上により、誘電特性などの電気特性を向上させることができる。このため、要求される特性により好適な態様を選択すればよい。
破砕粉を用いる場合、粒径は0.01〜100μm 、特に0.01〜50μm であることが好ましく、平均粒径は1〜50μm であることが好ましい。このような粒径とすることによって、破砕粉の分散性が良好となり、本発明の効果が向上する。これに対し、破砕粉の粒径がこれより小さいと、比表面積が大きくなり、高充填率化が困難になってくる。一方、これより大きくなるとペースト化した際に沈降し易くなり、均一に分散しにくくなってくる。また、肉薄の基板、プリプレグを形成しようとした場合に、表面の平滑性を得ることが困難になってくる。粒径をあまり小さくすることは実際上困難であり、0.01μm 程度が限度である。
本発明に用いる誘電体材料粉はセラミクス粉末が好ましく、高周波数帯域において、分散媒となる樹脂よりも大きい比誘電率とQを持つセラミクス粉末であればよく、2種類以上用いてもよい。
特に本発明に用いるセラミクス粉末は、比誘電率が10〜20000、誘電正接が0.05以下のものを使用することが好ましい。
比較的高い誘電率を得るためには、特に以下の材料を用いることが好ましい。
チタン−バリウム−ネオジウム系セラミックス、チタン−バリウム−スズ系セラミックス、鉛−カルシウム系セラミックス、二酸化チタン系セラミックス、チタン酸バリウム系セラミックス、チタン酸鉛系セラミックス、チタン酸ストロンチウム系セラミックス、チタン酸カルシウム系セラミックス、チタン酸ビスマス系セラミックス、チタン酸マグネシウム系セラミックス、CaWO4 系セラミックス、Ba(Mg,Nb)O3 系セラミックス、Ba(Mg,Ta)O3 系セラミックス、Ba(Co,Mg,Nb)O3 系セラミックス、Ba(Co,Mg,Ta)O3 系セラミックス。なお、二酸化チタン系セラミックスとは、二酸化チタンのみを含有するもののほか、他の少量の添加物を含有するものも含み、二酸化チタンの結晶構造が保持されているものをいう。また、他のセラミックスも同様である。特に、二酸化チタン系セラミックスは、ルチル構造を有するものが好ましい。
誘電率をあまり高くせずに、高いQを得るためには以下の材料を用いることが好ましい。
シリカ、アルミナ、ジルコニア、チタン酸カリウムウイスカ、チタン酸カルシウムウイスカ、チタン酸バリウムウイスカ、酸化亜鉛ウイスカ、ガラスチョップ、ガラスビーズ、カーボン繊維、酸化マグネシウム(タルク)。
これらは単独で用いてもよいし2種以上を混合して用いてもよい。2種以上を混合して用いる場合、その混合比は任意である。
具体的には、比較的高い誘電率を必要としない場合には以下の材料が好ましい。
Mg2SiO4[ε=7、Q=20000]、Al23[ε=9.8、Q=40000]、MgTiO3[ε=17、Q=22000]、ZnTiO3[ε=26、Q=800]、Zn2TiO4[ε=15、Q=700]、TiO2[ε=104、Q=15000]、CaTiO3[ε=170、Q=1800]、SrTiO3[ε=255、Q=700]、SrZrO3[ε=30、Q=1200]、BaTi25[ε=42、Q=5700]、BaTi49[ε=38、Q=9000]、Ba2Ti920[ε=39、Q=9000]、Ba2(Ti,Sn)920[ε=37、Q=5000]、ZrTiO4[ε=39、Q=7000]、(Zr,Sn)TiO4[ε=38、Q=7000]、BaNd2Ti514[ε=83、Q=2100]、BaSm2TiO14[ε=74、Q=2400]、Bi23−BaO−Nd23−TiO2系[ε=88、Q=2000]、PbO−BaO−Nd23−TiO2系[ε=90、Q=5200]、(Bi23、PbO)−BaO−Nd23−TiO2系[ε=105、Q=2500]、La2Ti27[ε=44、Q=4000]、Nd2Ti27[ε=37、Q=1100]、(Li,Sm)TiO3[ε=81、Q=2050]、Ba(Mg1/3Ta2/3)O3[ε=25、Q=35000]、Ba(Zn1/3Ta2/3)O3[ε=30、Q=14000]、Ba(Zn1/3Nb2/3)O3[ε=41、Q=9200]、Sr(Zn1/3Nb2/3)O3[ε=40、Q=4000]等。
より好ましくは、以下の組成を主成分とするものである。
TiO2、CaTiO3、SrTiO3、BaO−Nd23−TiO2系、Bi23−BaO−Nd23−TiO2系、BaTi49、Ba2Ti920、Ba2(Ti,Sn)920系、MgO−TiO2系、ZnO−TiO2系、MgO−SiO2系、Al23 等。
一方、比較的高い誘電率を必要とする場合には以下の材料が好ましい。
BaTiO3[ε=1500]、(Ba,Pb)TiO3系[ε=6000]、Ba(Ti,Zr)O3系[ε=9000](Ba,Sr)TiO3系[ε=7000]。
より好ましくは、以下の組成を主成分とする誘電体の粉末から選択される。
BaTiO3、Ba(Ti,Zr)O3系。
セラミクス粉末は単結晶や多結晶の粉末でもよい。
セラミクスの含有量は、樹脂とセラミクス粉末との合計量を100体積%としたとき、セラミクス粉末の含有量は10体積%以上65体積%未満であり、好ましくは20体積%以上60体積%以下の範囲である。
セラミクス粉末が65体積%以上であると緻密な組成物が得られなくなる。また、セラミクス粉末を添加しない場合に比べて、Qが大きく低下することもある。一方、セラミクス粉末が10体積%未満であると、セラミクス粉末を含有する効果があまりみられない。
本発明の電子部品は、各成分を上記の範囲内で適宜設定することにより、樹脂単体から得られる誘電率よりも大きくすることができ、必要に応じた比誘電率と高いQを得ることが可能となる。
上記セラミック粉末を球形等に造粒するには、公知のスプレードライヤー造粒法等により得ることができる。具体的には、形成用混合粉末を、分散媒に分散混合し、所定濃度のスラリーに調製した後、噴霧乾燥して球状の造粒物とし、その後この造粒物を焼成することによって得られる。
本発明の電子部品に用いられる樹脂は特に限定されるものではなく、成形性、加工性、積層時の接着性、電気的特性に優れた樹脂材料の中から適宜選択して用いることができる。具体的には、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等が好ましい。
熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンエーテル(オキサイド)樹脂、ビスマレイミドトリアジン(シアネートエステル)樹脂、フマレート樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリビニルベンジルエーテル樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂としては、芳香族ポリエステル樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂、グラフト樹脂等が挙げられる。これらのなかでも、特にフェノール樹脂、エポキシ樹脂、低誘電率エポキシ樹脂、ポリブタジエン樹脂、BTレジン、ポリビニルベンジルエーテル樹脂等が、ベースレジンとして好ましい。
これらの樹脂は、単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。2種以上を混合して用いる場合の混合比は任意である。
本発明では2種以上の異なる複合誘電体材料を用いた積層体により、電子部品を構成してもよい。また、2種以上の異なる分散材料を含有させてもよい。このように2種以上の種類の異なる複合誘電体材料を組み合わせたり2種以上の異なる粉体、また同種であっても組成、電気(誘電率等)、磁気特性の異なる粉体と樹脂とを混合することによって、誘電率や透磁率の調整が容易となり、各種電子部品に合わせた特性に調整することができる。特に、波長短縮効果のある誘電率や透磁率を最適な値にすることにより、装置の小型化、薄型化が実現できる。また、比較的周波数の低い領域で良好な電気特性が得られる材料と、比較的周波数の高い領域で良好な電気特性が得られる材料とを組み合わせることにより、広い周波数帯域で良好な電気特性を得ることができる。
また、このようなハイブリッド層を用いて基板、電子部品を形成する場合、接着剤等を用いることなく、銅箔との接着やパターニングが実現でき、かつ多層化を実現することができる。こうしたパターニングや多層化処理は、通常の基板製造工程と同じ工程でできるので、コストダウンおよび作業性の改善を図ることができる。また、このようにして得られる基板による電子部品は、高強度で、高周波特性の向上したものである。
誘電率を高めることで波長短縮効果が得られる。すなわち、基板上での実行波長λは、
λ=λ0 /(ε・μ)1/2
で与えられる。ここで、λ0 は実際の波長、ε、μは電子部品や基板の誘電率、透磁率である。従って、例えばλ/4の電子部品、回路を設計する場合、その回路を構成する部材のε、μを高めることで、長さλ/4が必要な部分を、ε、μの積の平方根で除した値だけ小さくすることができる。従って、電子部品、基板材料の少なくともεを高めることにより電子部品、基板の大きさを小さくすることができる。
また、比較的周波数の低い領域で良好な電気特性が得られる材料と、比較的周波数の高い領域で良好な電気特性が得られる材料とを組み合わせることにより、広い周波数帯域、具体的には1〜2000MHz、特に50〜1000MHzの広い周波数帯域で良好なHPF等の電気特性を得ることができる。
具体的には、波長短縮効果だけを考えた場合、高誘電率材を樹脂材料に混合することにより目的を達成することが可能である。しかし、このような高誘電率材は高周波特性がさほど優れていないため、これを補う必要がある。そこで、高誘電率材、例えばBaTiO3 、BaZrO3 等と共に、高周波特性に優れた磁性材料、例えばカーボニール鉄等を併用することにより、高周波領域においても所望の特性を得ることができる。
このような、波長短縮と高周波特性の必要な電子部品としては、積層フィルタ、バルントランス、誘電体フィルタ、カプラ、アンテナ、VCO(電圧制御発振器)、RF(高周波)ユニット、共振器等を挙げることができる。
さらに、ある材料を用いて一つの電気的特性を高めたとき、他の材料により不足した電気特性を補うことができる。
本発明の電子部品は、上記誘電体と樹脂との複合誘電体材料に、さらに1種または2種以上の磁性体を含有していてもよい。
磁性体材料であるフェライトとしては、Mn−Mg−Zn系、Ni−Zn系、Mn−Zn系などであり、特にこれらの単結晶、あるいはMn−Mg−Zn系、Ni−Zn系などが好ましい。
磁性体材料である強磁性金属としては、カーボニール鉄、鉄−シリコン系合金、鉄−アルミ−珪素系合金(商標名:センダスト)、鉄−ニッケル系合金(商標名:パーマロイ)、アモルファス系(鉄系、コバルト系)などが好ましい。
これらを粉末にするための手段は、粉砕、造粒など公知の方法に従えばよい。
磁性体材料粉の粒径や形状は、上記誘電体材料と同様であり、誘電体と同様に表面が平滑な材料が好ましいが、破砕粉を用いてもよい。破砕粉を用いる効果は上記と同様である。
さらに、種類、粒度分布の異なる磁性体材料粉を2種以上用いてもよい。その際の混合比は任意であり、用途により用いる材料、粒度分布、混合比を調整すればよい。
磁性体材料粉の透磁率μは10〜1000000であることが好ましい。また、バルクの絶縁性は高い方が基板化した際の絶縁性が向上して好ましい。
樹脂と磁性体材料粉との混合比としては、形成される構成層全体の透磁率が3〜20となるように添加されることが好ましい。特にガラスクロスなどに塗布するペースト段階で、樹脂と磁性材料粉との比率で示した場合、磁性材料粉の含有量は10〜65 体積%、特に20〜60 体積%であることが好ましい。このような磁性材料粉の含有量とすることで、構成層全体の透磁率が3〜20となり、所望の電気特性が得られ易くなる。これに対し、磁性材料粉の含有量が多くなると、誘電率が低下し、スラリー化して塗工することが困難になり、電子部品、基板、プリプレグの作製が困難になる。一方、磁性材料粉の含有量が少なくなると透磁率を確保できなくなる場合があり、磁気特性を付与することが困難となる。
本発明に用いられる難燃剤としては、通常基板の難燃化のために用いられている種々の難燃剤を用いることができる。具体的には、ハロゲン化リン酸エステル、ブロム化エポキシ樹脂等のハロゲン化物、また、リン酸エステルアミド系等の有機化合物や、三酸化アンチモン、水素化アルミニウム等の無機材料を用いることができる。
本発明に用いられるガラスクロス等の強化繊維は、目的・用途に応じて種々のものであってよく、市販品をそのまま用いることができる。このときの強化繊維は、電気的な特性に応じてEガラスクロス(ε=7、tanδ=0.003、 1GHz)、Dガラスクロス(ε=4、tanδ=0.0013、 1GHz)、Hガラスクロス(ε=11、tanδ=0.003、 1GHz)等を使い分けてもよい。また、層間密着力向上のため、カップリング処理などを行ってもよい。その厚さは100μm 以下、特に20〜60μm であることが好ましい。布重量としては、120g/m2 以下、特に20〜70g/m2 が好ましい。
また、樹脂とガラスクロスとの配合比は、重量比で、樹脂/ガラスクロスが4/1〜1/1であることが好ましい。このような配合比とすることによって本発明の効果が向上する。これに対し、この比が小さくなって、エポキシ樹脂量が少なくなると銅箔との密着力が低下し、基板の平滑性に問題が生じる。逆にこの比が大きくなって、エポキシ樹脂量が多くなると使用できるガラスクロスの選択が困難となり、薄肉での強度の確保が困難となる。
使用する金属箔としては、金、銀、銅、アルミニウムなど導電率の良好な金属のなかから好適なものを用いればよい。これらのなかでも特に銅が好ましい。
金属箔を作製する方法としては、電解、圧延法等種々の公知の方法を用いることができるが、箔ピール強度をとりたい場合には電解箔を、高周波特性を重視したい場合には、表面凹凸による表皮効果の影響の少ない圧延箔を使用するとよい。
金属箔の厚みとしては、8〜70μm が好ましく、特に12〜35μm が好ましい。
本発明において、電子部品の基礎となるプリプレグを得るには、所定の配合比とした誘電体材料と樹脂、必要により磁性体材料、難燃剤とを含み、溶剤に混練してスラリー化したペーストを塗布して、乾燥(Bステージ化)する工程に従う。この場合に用いられる溶剤は揮発性溶剤が好ましく、上記極性中性溶媒が特に好ましく、ペーストの粘度を調整し塗工しやすくする目的で用いられる。混練はボールミル、撹拌等により公知の方法によって行えばよい。ペーストを金属箔上に塗工、またはガラスクロス上に含浸することにより、形成することができる。
プリプレグの乾燥(Bステージ化)は、含有する誘電体材料粉、必要により磁性体材料粉、難燃剤の含有量などにより適宜調整すればよい。乾燥、Bステージ化した後の厚みは50〜300μm 程度が好ましく、その用途や要求される特性(パターン幅および精度、直流抵抗)等により最適な膜厚に調整すればよい。
プリプレグは、図72または図73に示すような方法により製造することができる。この場合、図72の方法は比較的量産に適しており、図73の方法は、膜厚制御を行い易く、特性の調整が比較的容易に行えるという特徴を有している。図72において、(a)に示すように、ロール状に巻回されたガラスクロス101aは、このロール90から繰り出され、ガイドローラ91を介して塗工槽92に搬送される。この塗工槽92には、溶剤中に分散されている誘電体材料粉、必要により磁性材料粉、難燃剤と樹脂がスラリー状調整されており、この塗工槽92をガラスクロスが通過すると、上記スラリー中に浸漬され、ガラスクロスに塗工されるとともに、その中のすきまが埋められることになる。
塗工槽92を通過したガラスクロスは、ガイドローラー93a,93bを介して乾燥炉120に導入される。乾燥炉に導入された樹脂含浸ガラスクロスは、所定の温度と時間乾燥され、Bステージ化されるとともに、ガイドローラー95により方向転換して巻取ローラ99に巻回される。
そして、所定の大きさに切断されると、(b)に示すように、ガラスクロス101の両面に誘電体材料粉、必要により磁性体材料粉、難燃剤を含有した樹脂102が配置されたプリプレグが得られる。
さらに、(c)に示すように、得られたプリプレグの上下両面上に銅箔などの金属箔100を配置し、これを加熱・加圧プレスすると、(d)に示すような両面金属箔付き基板が得られる。成形は条件をかえて複数段階に分けて行うことができる。なお、金属箔を設けない場合には、金属箔を配置することなく加熱・加圧プレスすればよい。
次に、図73の製造方法について説明する。図73において、(a)に示すように、誘電体材料粉、必要により磁性材料粉、難燃剤と樹脂を溶剤中に分散したスラリー102aをドクターブレード96等によってクリアランスを一定に保ちながら銅箔などの金属箔上に塗工する。
そして、所定の大きさに切断されると、(b)に示すように、金属箔100の上面に誘電体材料粉、必要により磁性体材料粉、難燃剤を含有した樹脂102が配置されたプリプレグが得られる。
さらに、(c)に示すように、ガラスクロス101の上下両面に得られたプリプレグ102をそれぞれ樹脂102側を内面にして配置し、これを加熱・加圧プレスすると、(d)に示すような両面金属箔付き基板が得られる。加熱加圧条件は上記と同様でよい。
電子部品を構成する基板、およびプリプレグは、上記塗工法以外に材料を混練し、固体状とした混練物を成型することによっても得ることができる。この場合、原料が固体状であるため、厚みをとりやすく、比較的厚みのある基板、プリプレグを形成する方法として適している。
混練は、ボールミル、撹拌、混練機などの公知の方法で行えばよい。その際、必要により溶媒を用いてもよい。また、必要に応じてペレット化、粉末化してもよい。
この場合に得られるプリプレグの厚みとしては、0.05〜5mm程度である。プリプレグの厚みは、所望する板厚、誘電体材料粉、磁性体材料粉の含有率に応じて適宜調整すればよい。
さらに、上記同様に得られたプリプレグの上下両面上に銅箔などの金属箔を配置し、これを加熱・加圧プレスすると両面金属箔付き基板が得られる。成形は条件をかえて複数段階に分けて行うことができる。なお、金属箔を設けない場合には、金属箔を配置することなく加熱・加圧プレスすればよい。
このようにして得られる成形材料としての基板(有機複合材料)は、透磁率および誘電率の高周波数特性に優れる。また絶縁材として耐えうる絶縁特性に優れる。さらには、後述のように銅箔付基板とした場合、銅箔との接着強度が大きい。また半田耐熱性等の耐熱性に優れる。
本発明のプリプレグは銅箔と重ねて加熱加圧して成形することにより銅箔付基板を形成することができる。この場合の銅箔の厚さは12〜35μm 程度である。
このような銅箔付基板には、両面パターンニング基板や多層基板などがある。
図74、図75には両面パターンニング基板形成例の工程図を示す。図74、図75に示されるように、所定厚さのプリプレグ216と所定厚さの銅(Cu)箔217とを重ねて加圧加熱して成形する(工程A)。次にスルーホール218をドリリングにより形成する(工程B)。形成したスルーホール218に銅(Cu)メッキを施し、メッキ膜225を形成する(工程C)。さらに両面の銅箔217にパターニングを施し、導体パターン226を形成する(工程D)。その後、図74に示されるように、外部端子等の接続のためのメッキを施す(工程E)。この場合のメッキはNiメッキ後にさらにPdメッキを施す方法、Niメッキ後にさらにAuメッキを施す方法(メッキは電解または無電解メッキ)、半田レベラーを用いる方法により行われる。
図76、図77には多層基板形成例の工程図であり、4層積層する例が示されている。図76、図77に示されるように、所定厚さのプリプレグ216と所定厚さの銅(Cu)箔217とを重ねて加圧加熱して成形する(工程a)。次に両面の銅箔217にパターニングを施し、導体パターン224を形成する(工程b)。このようにして得られた両面パターンニング基板の両面に、さらに所定厚さのプリプレグ216と銅箔217とを重ねて、同時に加圧加熱して成形する(工程c)。次にスルーホール218をドリリングにより形成する(工程d)。形成したスルーホール218に銅(Cu)メッキを施し、メッキ膜219を形成する(工程e)。さらに両面の銅箔217にパターニングを施し、導体パターン224を形成する(工程f)。その後図76に示されるように、外部端子との接続のためのメッキを施す(工程g)。この場合のメッキはNiメッキ後にさらにPdメッキを施す方法、Niメッキ後にさらにAuメッキを施す方法(メッキは電解または無電解メッキ)、半田レベラーを用いる方法により行われる。
本発明では、前記例に限らず、種々の基板を形成することができる。例えば、成形材料としての基板や、銅箔付基板とプリプレグとを用い、プリプレグを接着層として多層化することも可能である。
また、プリプレグや成形材料としての基板と銅箔とを接着する態様において、前述の誘電体材料粉、磁性材料粉、誘電体被覆金属粉、絶縁体被覆磁性金属粉、必要により難燃剤と樹脂とブチルカルビトールアセテート等の高沸点溶剤とを混練して得られたハイブリッド材ペーストをパターニングした基板の上にスクリーン印刷等にて形成してもよく、これにより特性の向上を図ることができる。
このようなプリプレグ、銅箔付き基板、積層基板等と素子構成パターン、構成材料を組み合わせることにより、電子部品を得ることができる。
本発明の電子部品は、コンデンサ(キャパシタ)、コイル(インダクタ)、フィルター等の他、これらと、あるいはそれ以外に配線パターン、増幅素子、機能素子を組み合わせ、アンテナや、RFモジュール(RF増幅段)、VCO(電圧制御発振回路)、パワーアンプ(電力増幅段)等の高周波電子回路、光ピックアップなどに用いられる重畳モジュール等の高周波用電子部品を得ることができる。
以下、本発明の具体的実験例、実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
<実験例1>
樹脂材料として表1−1,1−2に示す材料を用意し、これに表1−1,1−2に示す誘電体材料粉、磁性材料粉を所定の割合で混合して得られたハイブリッド材の誘電率εをそれぞれ測定した。結果を表1−1,1−2に示す。また、磁性材料を含有した際の誘電率の低下を比較サンプルとともに示す。なお、表1−1において、誘電体材料粉の含有量が50体積%のものは従来の比較サンプル、誘電体材料粉の含有量が60体積%のものは本発明サンプルを表す。また、表1−1では(ε×μ)1/2 において、磁性材料粉を含まないためμ=1として計算した。
Figure 2004173308
Figure 2004173308
表1−1,1−2から明らかなように、用いる樹脂に含有される誘電体材料粉、磁性体材料粉の最大含有量が、従来の誘電体材料粉に比べて50体積%から60体積%に増大し、誘電率も増加していることがわかる。また、磁性材料粉を混合したときにも、(ε×μ)1/2 がむしろ増大していることがわかる。
<実施例1>
図1、図2は、本発明の第1の実施態様であるインダクタを示した図であり、図1は透視斜視図、図2は断面図を表している。
図において、インダクタ10は本発明の樹脂を有する構成層(プリプレグないし基板)10a〜10eと、この構成層10b〜10e上に形成されている内部導体(コイルパターン)13と、この内部導体13を電気的に接続するためのビアホール14とを有する。このビアホール14はドリル、レーザー加工、エッチング等により形成することができる。また、形成されたコイルの終端部は、それぞれインダクタ10の端面に形成された貫通ビア12とそれから僅かに上下面方向に形成されたランドパターン11と接続されている。貫通ビア12は、ダイシング、Vカット等により、半分に切断された構造となっている。これは、集合基板で複数の素子を形成し、最終的に個片に切断する際に貫通ビア12の中心から切断するためである。
このインダクタ10の構成層10a〜10eの少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、高周波用のチップインダクタとしての用途を考えたとき、分布容量をできるだけ減らす必要があることから比誘電率を2.6〜3.5とすることが好ましい。また、共振回路を構成するインダクタにおいては、積極的に分布容量を用いる場合があり、このような用途では比誘電率を5〜40とすることが好ましい。このようにすることで、素子の小型化、容量素子の省略を図ることができる。また、このインダクタにおいては、材料の損失をできるだけ抑える必要がある。このため、誘電正接( tanδ)を0.0025〜0.0075とすることにより、材料損失の極めて少ない、Qの高いインダクタを得ることができる。さらに、ノイズ除去のための用途を考えた場合、除去したいノイズの周波数でインピーダンスをできるだけ大きくする必要がある。このような場合には透磁率を3〜20と調整することが好ましい。これにより、高周波ノイズの除去効果を飛躍的に向上させることができる。また、各構成層は同一でも異なっていてもよく、最適な組み合わせを選択すればよい。
なお、その等価回路を図10(a)に示す。図10(a)に示されるように、等価回路ではコイル31を有する電子部品(インダクタ)となっている。
<実施例2>
図3、図4は、本発明の第2の実施態様であるインダクタを示した図であり、図3は透視斜視図、図4は断面図を表している。
この例では、実施例1において上下方向に巻回されていたコイルパターンを、横方向に巻回したヘリカル巻とした構成態様を表している。その他の構成要素は実施例1と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
<実施例3>
図5、図6は、本発明の第3の実施態様であるインダクタを示した図であり、図5は透視斜視図、図6は断面図を表している。
この例では、実施例1において上下方向に巻回されていたコイルパターンを、上下面でのスパイラルを連結した構成態様としたものを表している。その他の構成要素は実施例1と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
<実施例4>
図7、図8は、本発明の第4の実施態様であるインダクタを示した図であり、図7は透視斜視図、図8は断面図を表している。
この例では、実施例1において上下方向に巻回されていたコイルパターンを、内部に形成されたミアンダー状のパターンとして構成したものを表している。その他の構成要素は実施例1と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
<実施例5>
図9は本発明の第5の実施態様であるインダクタを示した透視斜視図である。
この例では、実施例1において単独で構成されていたコイルを、4連とした態様を表している。このような構成とすることにより、省スペース化を図ることができる。その他の構成要素は実施例1と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。なお、その等価回路を図10(b)に示す。図10(b)に示されるように、等価回路ではコイル31a〜31dが4連装された電子部品(インダクタ)となっている。
<実施例6>
図11、図12は、本発明の第6の実施態様であるキャパシタ(コンデンサ)を示した図であり、図11は透視斜視図、図12は断面図を表している。
図において、キャパシタ20は本発明の樹脂を有する構成層(プリプレグないし基板)20a〜20gと、この構成層20b〜20g上に形成されている内部導体(内部電極パターン)23と、この内部導体23とそれぞれ交互に接続されるキャパシタの端面に形成された貫通ビア22とそれから僅かに上下面方向に形成されたランドパターン21ととから構成されている。
このキャパシタ20の構成層20a〜20gの少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、得られる容量の多様性や精度の点を考慮すると比誘電率2.6〜40、誘電正接0.0025〜0.025であることが好ましい。これにより、得られる容量の範囲が広がり、低い容量値でも高精度に形成できる。また、材料の損失をできるだけ抑える必要がある。このため、誘電正接( tanδ)を0.0025〜0.025とすることにより、材料損失の極めて少ないキャパシタとすることができる。また、各構成層は同一でも異なっていてもよく、最適な組み合わせを選択すればよい。
なお、その等価回路を図14(a)に示す。図14(a)に示されるように、等価回路ではキャパシタ32を有する電子部品(コンデンサ)となっている。
<実施例7>
図13は本発明の第7の実施態様であるキャパシタを示した透視斜視図である。
この例では、実施例6において単独で構成されていたキャパシタを、複数アレイ状に並べて4連とした態様を表している。また、キャパシタをアレイ状に形成する場合、様々な容量を精度よく形成する場合がある。このため、上記誘電率、誘電正接の範囲が好ましいといえる。その他の構成要素は実施例6と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。なお、その等価回路を図14(b)に示す。図14(b)に示されるように、等価回路ではキャパシタ32a〜32dが4連装された電子部品(コンデンサ)となっている。
<実施例8>
図15〜図18は、本発明の第8の実施態様を示したバルントランスを示している。ここで図15は透過斜視図、図16は断面図、図17は各構成層の分解平面図、図18は等価回路図である。
図15〜17において、バルントランス40は、構成層40a〜40oが積層された積層体の上下および中間に配置された内部GND導体45と、この内部GND導体45間に形成されている内部導体43を有する。この内部導体43は、λg /4長のスパイラル状導体43を、図17の等価回路に示される結合ライン53a〜53dを構成するようにビアホール44等で連結している。
このバルントランス40の構成層40a〜40oの少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、比誘電率を2.6〜40とし、誘電正接( tanδ)を0.0025〜0.025とすることが好ましい。また、用途によっては透磁率を3〜20とすることが好ましい。なお、各構成層は同一でも異なっていてもよく、最適な組み合わせを選択すればよい。
<実施例9>
図19〜図22は、本発明の第9の実施態様を示した積層フィルターを示している。ここで図19は斜視図、図20は分解斜視図、図21は等価回路図、図22は伝達特性図である。なお、この積層フィルターは2ポールとして構成されている。
図19〜21において、積層フィルター60は、構成層60a〜60eが積層された積層体のほぼ中央に一対のストリップ線路68と、一対のコンデンサ導体67とを有する。コンデンサ導体67は下部構成層群60d上に形成され、ストリップ線路68はその上の構成層60c上に形成されている。構成層60a〜60eの上下端部にはGND導体65が形成されていて、前記ストリップ線路68とコンデンサ導体67とを挟み込むようになっている。ストリップ線路68と、コンデンサ導体67と、GND導体65とはそれぞれ端面に形成された端部電極(外部端子)62とそれから僅かに上下面方向に形成されたランドパターン61と接続されている。また、その両側面およびそこから僅かに上下面方向に形成されたGNDパターン66はGND導体65と接続されている。
ストリップ線路68は、図21の等価回路図に示されるλg /4長またはそれ以下の長さを有するストリップ線路74a、74bであり、コンデンサ導体67は入出力結合容量Ciを構成する。また、それぞれのストリップ線路74a、74b間は、結合容量Cmおよび結合係数Mにより結合されている。このような等価回路により、図22に示すような2ポール型の伝達特性を有する積層フィルタを得ることができる。
この積層フィルタ60の構成層60a〜60eのすくなくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、比誘電率を2.6〜40とすることにより、数100MHzから数GHzの帯域において、所望の伝達特性が得られるようになる。また、ストリップライン共振器の材料損失はできるだけ抑えることが望ましく、誘電正接( tanδ)を0.0025〜0.0075とすることが好ましい。なお、各構成層は同一でも異なっていてもよく、最適な組み合わせを選択すればよい。
<実施例10>
図23〜図26は、本発明の第10の実施態様を示した積層フィルターを示している。ここで図23は斜視図、図24は分解斜視図、図25は等価回路図、図26は伝達特性図である。なお、この積層フィルターは4ポールとして構成されている。
図23〜26において、積層フィルター60は、構成層60a〜60eが積層された積層体のほぼ中央に4つのストリップ線路68と、一対のコンデンサ導体67とを有する。その他の構成要素は実施例9と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
<実施例11>
図27〜図32は、本発明の第11の実施態様を示したブロックフィルターを示している。ここで図27は透過斜視図、図28は正面図、図29は側面断面図、図30は平面断面図、図31は等価回路図、図32は金型の構造を示した透過側面図である。なお、このブロックフィルターは2ポールとして構成されている。
図27〜図32において、ブロックフィルター80は、構成ブロック80aに形成された一対の同軸導体81とコンデンサ同軸導体82とを有する。この同軸導体81とコンデンサ同軸導体82とは、構成ブロック80aをくり抜くように中空状に形成された導電体で構成されている。また、構成ブロック80aの周囲には、これを覆うように表面GND導体87が形成されている。そしてコンデンサ同軸導体82に対応する部分にコンデンサ導体83が形成されている。また、コンデンサ導体83と表面GND導体87は、入出力端子、および部品固着用端子としても使用される。なお、同軸導体81とコンデンサ同軸導体82とは、構成ブロック80aをくりぬくように形成された中空状の孔の内部に、導電材料を無電解メッキ、蒸着などで付着させ伝送路を形成する。
同軸導体81は、図31の等価回路図に示されるλg /4長またはそれ以下の長さを有する同軸線路94a、94bであり、それらを囲むようにGND導体87が形成されている。また、コンデンサ同軸導体82とコンデンサ導体83は入出力結合容量Ciを構成する。また、それぞれの同軸導体81間は、結合容量Cmおよび結合係数Mにより結合されている。このような構成により、図31に示すような等価回路となり、2ポール型の伝達特性を有するブロックフィルターを得ることができる。
図32はブロックフィルター80の構成ブロック80aを形成するための金型の一例を示した概略断面図である。図において、金型は鉄などの金属ベース103に、樹脂注入口104および注入孔106が形成され、これと連結して部品形成部105a,105bが形成されている。構成ブロック80aを形成するための複合樹脂材料は、液体の状態で樹脂注入口104から注入され、注入孔106を通って部品形成部105a,105bに達する。そして、この金型の内部に複合樹脂が満たされた状態で、冷却または加熱処理を行い複合樹脂を固化して金型から取り出し、注入口などで硬化した不要な部分を切断する。こうして、図27〜図30に示される構成ブロック80aが形成される。
このようにして形成された構成ブロック80aに、メッキ、エッチング、印刷、スパッタ、蒸着等の処理を行い、銅、金、パラジウム、白金、アルミニウム等により形成された表面GND導体87、同軸導体81とコンデンサ同軸導体82等を形成する。
このブロックフィルタ80の構成ブロック80aは、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
このブロックフィルタ80の構成ブロック80aは、比誘電率を2.6〜40とすることにより、数100MHzから数GHzの帯域において、所望の伝達特性が得られるようになる。また、同軸共振器の材料損失はできるだけ抑えることが望ましく、誘電正接( tanδ)を0.0025〜0.0075とすることが好ましい。
<実施例12>
図33〜図37は、本発明の第12の実施態様を示したカプラを示している。ここで図33は透過斜視図、図34は断面図、図35は各構成層の分解平面図、図36は内部結線図、図37は等価回路図である。
図33〜37において、カプラ110は、構成層110a〜110cが積層された積層体の上下に形成、配置された内部GND導体115と、この内部GND導体115間に形成されている内部導体113を有する。この内部導体113は、2つのコイルによりトランスが構成されるようにスパイラル状にビアホール114等で連結している。また。形成されたコイルの終端と、内部GND導体115とは、図36に示すように、それぞれ端面に形成された貫通ビア112とそれから僅かに上下面方向に形成されたランドパターン111と接続されている。このように構成することにより、図37の等価回路図で示すように、2つのコイル125a,125bが結合したカプラ110が得られる。
このカプラ110の構成層110a〜110cの少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、広帯域化を実現しようとした場合、比誘電率はできるだけ小さい方が好ましい。また、小型化を考えると比誘電率はできるだけ高い方がよい。従って、用途や、要求される性能、仕様等によりそれに適した誘電率の材料を用いればよい。通常、比誘電率を2.6〜40とすることにより、数100MHzから数GHzの帯域において、所望の伝達特性が得られるようになる。また、内部インダクタのQ値を上げるために、誘電正接(tanδ)を0.0025〜0.0075とすることが好ましい。これにより、材料損失が極めて少なく、Q値の高いインダクタを形成でき、高性能のカプラーを得ることができる。なお、各構成層は同一でも異なっていてもよく、最適な組み合わせを選択すればよい。
<実施例13>
図38〜図40は、本発明の第13の実施態様であるアンテナを示した図であり、図38は透視斜視図、図39(a)は平面図、(b)は側面断面図、(c)は正面断面図、図40は各構成層の分解斜視図を表している。
図において、アンテナ130は本発明の樹脂を有する構成層(プリプレグないし基板)130a〜130cと、この構成層130bと130c上にそれぞれ形成されている内部導体(アンテナパターン)133を有する。また、この内部導体133の終端部は、アンテナの端面に形成された貫通ビア132およびそれから僅かに上下面方向に形成されたランドパターン131と接続されている。この例では内部導体133は、使用周波数に対し、約λg /4長となるようなリアクタンス素子として構成され、ミアンダ状に形成されている。
このアンテナ130の構成層130a〜130cの少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、広帯域化を実現しようとした場合、比誘電率はできるだけ小さい方が好ましい。また、小型化を考えると比誘電率はできるだけ高い方がよい。従って、用途や、要求される性能、仕様等によりそれに適した誘電率の材料を用いればよい。通常、比誘電率2.6〜40、誘電正接0.0025〜0.025であることが好ましい。これにより、周波数の範囲が広がり、高精度に形成できる。また、材料の損失をできるだけ抑える必要がある。このため、誘電正接( tanδ)を0.0025〜0.025とすることにより、材料損失の極めて少ないアンテナとすることができる。また、用途によっては透磁率を3〜20とすることが好ましい。また、各構成層は同一でも異なっていてもよく、最適な組み合わせを選択すればよい。
<実施例14>
図41、図42は、本発明の第14の実施態様を示したアンテナを示している。ここで図41は透過斜視図、図42は分解斜視図である。なお、この例のアンテナはヘリカル状の内部電極を有するアンテナとして構成されている。
図41、42において、アンテナ140は、本発明の樹脂を有する構成層(プリプレグないし基板)140a〜140cと、この構成層140bと140c上にそれぞれ形成されている内部導体(アンテナパターン)143a,143bを有する。そして、上下の内部導体143a,143bはビアホール144にて接続され、ヘリカル状のインダクタンス素子を形成するようになっている。その他の構成要素は実施例13と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
<実施例15>
図43、図44は、本発明の第15の実施態様であるパッチアンテナを示した図であり、図43は透視斜視図、図44は断面図を表している。
図において、パッチアンテナ150は本発明の複合樹脂を有する構成層(プリプレグないし基板)150aと、この構成層150a上に形成されているパッチ導体159(アンテナパターン)と、このパッチ導体159に対向するように構成層150aの底面に形成されたGND導体155とを有する。また、パッチ導体159には給電用のスルー導体154が給電部153で接続され、このスルー導体154はGND導体155とは接続されないようにGND導体155との間にギャップ156が設けられている。このため、GND導体155の下部からスルー導体154を通って給電が行われるようになっている。
このパッチアンテナ150の構成層150aには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、広帯域化を実現しようとした場合、比誘電率はできるだけ小さい方が好ましい。また、小型化を考えると比誘電率はできるだけ高い方がよい。従って、用途や、要求される性能、仕様等によりそれに適した誘電率の材料を用いればよい。通常、比誘電率2.6〜40、誘電正接0.0025〜0.025であることが好ましい。これにより、周波数の範囲が広がり、高精度に形成できる。また、材料の損失をできるだけ抑える必要がある。このため、誘電正接( tanδ)を0.0025〜0.025とすることにより、材料損失の極めて少ない放射効率の高いアンテナとすることができる。
また、数100MHz以下の周波数帯域においては、磁性体も誘電体と同様の波長短縮効果が得られ、さらに、放射素子のインダクタンス値を上げることができる。また、Qの周波数ピークを合わせることにより、比較的低い周波数においても高いQが得られる。このため、用途によっては透磁率を3〜20とすることが好ましい。これにより、数100MHz以下の周波数帯域において高特性化、小型化を実現できる。また、各構成層は同一でも異なっていてもよく、最適な組み合わせを選択すればよい。
<実施例16>
図45、図46は、本発明の第16の実施態様であるパッチアンテナを示した図であり、図45は透視斜視図、図46は断面図を表している。
図において、パッチアンテナ160は本発明の複合樹脂を有する構成層(プリプレグないし基板)160aと、この構成層160a上に形成されているパッチ導体169(アンテナパターン)と、このパッチ導体169に対向するように構成層160aの底面に形成されたGND導体165とを有する。また、パッチ導体169の近傍にこれと接触しないように給電用の給電導体161が配置され、給電端子162を介してこれから給電が行われるようになっている。給電端子162は、メッキ、ターミネート、印刷、スパッタ、蒸着等の処理を行い、銅、金、パラジウム、白金、アルミニウム等により形成することができる。その他の構成要素は実施例15と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
<実施例17>
図47、図48は、本発明の第17の実施態様である多層型のパッチアンテナを示した図であり、図47は透視斜視図、図48は断面図を表している。
図において、パッチアンテナ170は本発明の複合樹脂を有する構成層(プリプレグないし基板)150a、150bと、この構成層150a、150b上に形成されているパッチ導体159a,159eと、このパッチ導体159a,159eに対向するように構成層150bの底面に形成されたGND導体155とを有する。また、パッチ導体159aには給電用のスルー導体154が給電部153aで接続され、このスルー導体154はGND導体155およびパッチ導体159eとは接続されないようにGND導体155およびパッチ導体159eとの間にギャップ156が設けられている。このため、GND導体155の下部からスルー導体154を通ってパッチ導体159aに給電が行われるようになっている。このときパッチ導体159eにはパッチ導体159aとの容量結合およびスルー導体154とのギャップによって形成される容量により給電される。その他の構成要素は実施例15と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
<実施例18>
図49、図50は本発明の第18の実施態様である多連型のパッチアンテナを示した図であり、図49は透視斜視図、図50は断面図を表している。
この例では、実施例17において単独で構成されていたパッチアンテナを、複数アレイ状に並べて4連とした態様を表している。図において、本発明の複合樹脂を有する構成層150a、150bと、この構成層150a上に形成されているパッチ導体159a、159b、159c、159dと、構成層150b上に形成されているパッチ導体159e、159f、159g、159hと、このパッチ導体159a,159eに対向するように構成層150bの底面に形成されたGND導体155とを有する。その他の構成要素は実施例18と同様であり、同一構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
このようにアレイ状に形成することにより、セットの小型化と部品点数の削減が可能となる。
<実施例19>
図51〜図53は、本発明の第19の実施態様を示したVCO(電圧制御発振器)を示している。ここで図51は透過斜視図、図52は断面図、図53は等価回路図である。
図51〜53において、VCOは、構成層210a〜210gが積層された積層体の上に形成、配置されたコンデンサ、インダクタ、半導体、レジスタ等の電子部品261と、この構成層210a〜210g中およびその上下面に形成されている導体パターン262,263,264を有する。このVCOは図53に示すような等価回路により構成されているため、ストリップライン263、コンデンサ、信号線、半導体、電源ラインなどを有する。このため、それぞれの機能に適した材料で構成層を形成するのが効果的である。
この例では、構成層210a〜210gの少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
共振器を構成する構成層210f,210gでは誘電正接が0.0025〜0.0075の誘電体層を用いることが好ましい。コンデンサ構成層210c〜210eには、誘電正接が0.0075〜0.025、比誘電率が5〜40となるような複合誘電体層を用いることが好ましい。配線、およびインダクタ構成層210a,210bには、誘電正接が0.0025〜0.0075、比誘電率が2.6〜5.0の誘電体層を用いることが好ましい。
そして、上記構成層210a〜210gの表面には、内部導体であるストリップライン263、GND導体262、コンデンサ導体264,配線インダクタ導体265、および端子導体266を構成する。また、それぞれの内部導体はビアホール214により上下に接続され、表面にはマウントされた電子部品261が搭載されて図53の等価回路に示すようなVCOが形成される。
このように構成することにより、それぞれの機能に適した誘電率、Q、誘電正接とすることができ、高性能化、小型、薄型化が可能となる。
<実施例20>
図54〜図56は、本発明の第20の実施態様を示したパワーアンプ(電力増幅部)を示している。ここで図54は各構成層の分解平面図、図55は断面図、図56は等価回路図である。
図54〜56において、パワーアンプは、構成層300a〜300eが積層された積層体の上に形成、配置されたコンデンサ、インダクタ、半導体、レジスタ等の電子部品361と、この構成層300a〜300e中およびその上下面に形成されている導体パターン313,315を有する。このパワーアンプは図56に示すような等価回路により構成されているため、ストリップラインL11〜L17、コンデンサC11〜C20、信号線、半導体への電源ラインなどを有する。このため、それぞれの機能に適した材料で構成層を形成するのが効果的である。
この例では、構成層の少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この場合、ストリップラインを構成する構成層300d,300eには誘電正接が0.0075〜0.025、比誘電率が2.6〜40の複合誘電体層を用いることが好ましい。コンデンサ構成層300a〜300cには、誘電正接が0.0025〜0.025、比誘電率が5〜40となるような複合誘電体層を用いることが好ましい。
そして、これらの構成層300a〜300eの表面には、内部導体313、GND導体315等が形成されている。また、それぞれの内部導体はビアホール314により上下に接続され、表面にはマウントされた電子部品361が搭載されて図56の等価回路に示すようなパワーアンプが形成される。
このように構成することにより、それぞれの機能に適した誘電率、Q、誘電正接とすることができ、高性能化、小型、薄型化が可能となる。
<実施例21>
図57〜図59は、本発明の第21の実施態様を示した光ピックアップなどに使用される重畳モジュールを示している。ここで図57は各構成層の分解平面図、図58は断面図、図59は等価回路図である。
図57〜59において、重畳モジュールは、構成層400a〜400kが積層された積層体の上に形成、配置されたコンデンサ、インダクタ、半導体、レジスタ等の電子部品461と、この構成層400a〜400k中およびその上下面に形成されている導体パターン413,415を有する。この重畳モジュールは図59に示すような等価回路により構成されているため、インダクタL21、L23、コンデンサC21〜C27、信号線、半導体への電源ラインなどを有する。このため、それぞれの機能に適した材料で構成層を形成するのが効果的である。
この例では、構成層400a〜400kの少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この場合、コンデンサ構成層400d〜400hには、誘電正接が0.0075〜0.025、比誘電率が10〜40となるような複合誘電体層を用いることが好ましい。インダクタを構成する構成層400a〜400c,400j〜400kには誘電正接が0.0025〜0.0075、比誘電率が2.6〜5.0となるような複合誘電体層を用いることが好ましい。
そして、これらの構成層400a〜400kの表面には、内部導体413、GND導体415等が形成されている。また、それぞれの内部導体はビアホール414により上下に接続され、表面にはマウントされた電子部品461が搭載されて図59の等価回路に示すような重畳モジュールが形成される。
このように構成することにより、それぞれの機能に適した誘電率、Q、誘電正接とすることができ、高性能化、小型、薄型化が可能となる。
<実施例22>
図60〜図63は、本発明の第22の実施態様を示したRFモジュールを示している。ここで図60は斜視図、図61は外装部材を外した状態での斜視図、図62は各構成層の分解斜視図、図63は断面図である。
図60〜63において、RFモジュールは、構成層500a〜500iが積層された積層体の上に形成、配置されたコンデンサ、インダクタ、半導体、レジスタ等の電子部品561と、この構成層500a〜500i中およびその上下面に形成されている導体パターン513,515、572と、アンテナパターン573を有する。このRFモジュールは、上記のようにインダクタ、コンデンサ、信号線、半導体への電源ラインなどを有する。このため、それぞれの機能に適した材料で構成層を形成するのが効果的である。
この例では、構成層500a〜500iの少なくともいずれかには、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この場合、アンテナ構成、ストリップライン構成および配線層500a〜500d、500gは、0.0025〜0.0075、比誘電率が2.6〜5.0の複合誘電体層を用いることが好ましい。コンデンサ構成層500e〜500fには、誘電正接が0.0075〜0.025、比誘電率が10〜40となるような複合誘電体層を用いることが好ましい。電源ライン層500h〜500iには、透磁率が3〜20となるような複合誘電体層を用いることが好ましい。
そして、これらの構成層500a〜500iの表面には、内部導体513、GND導体515、アンテナ導体573等が形成されている。また、それぞれの内部導体はビアホール514により上下に接続され、表面にはマウントされた電子部品561が搭載されてRFモジュールが形成される。
このように構成することにより、それぞれの機能に適した誘電率、Q、誘電正接とすることができ、高性能化、小型、薄型化が可能となる。
<実施例23>
図64、図65は、本発明の第23の実施態様を示した共振器を示している。ここで図64は透過斜視図、図65は断面図である。
図64、65において、共振器は、ベース材610に貫通孔状の同軸型導電体641が形成されている。その形成方法は、実施例11のブロックフィルタと同様である。すなわち、金型成形されたベース材610に、メッキ、エッチング、印刷、スパッタ、蒸着等の処理を行い、銅、金、パラジウム、白金、アルミニウム等により形成された表面GND導体647、およびこの表面GND導体647と端部電極682で接続された同軸導体641と、同軸導体641と接続されている共振器用HOT端子681等を形成する。そして、同軸導体641は、ある特性インピーダンスを有する同軸型線路であり、これらを囲むように表面GND導体647が形成されている。
この共振器のベース材610には、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
共振器のベース材610は、比誘電率を2.6〜40とすることにより、数100MHzから数GHzの帯域において、所望の共振特性が得られるようになる。また、共振器の材料損失はできるだけ抑えることが望ましく、誘電正接( tanδ)を0.001〜0.0075とすることが好ましい。
<実施例24>
図66、図67は、本発明の第24の実施態様を示したストリップ共振器を示している。ここで図66は透過斜視図、図67は断面図である。
図66、67において、ストリップ共振器は、長方形のストリップ導体784と、これを構成層710を介して上下面より挟み込むようにして配置された矩形状のGND導体783とを有する。また、ストリップ導体784両端には共振器用共振器用HOT端子781、およびGND端子782が形成され接続されている。その他の形成方法は、実施例1のインダクタと同様である。
この共振器の構成層710の材料には、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、比誘電率を2.6〜40とすることにより、数100MHzから数GHzの帯域において、所望の共振特性が得られるようになる。また、共振器の材料損失はできるだけ抑えることが望ましく、誘電正接(tanδ)を0.001〜0.0075とすることが好ましい。
<実施例25>
図68は、本発明の第25の実施態様を示した共振器を示す透過斜視図である。
図68において、共振器は実施例23同様に、ベース材810に2つの貫通孔状の同軸型導電体841,842が形成されている。そして、表面GND導体847、およびこの表面GND導体847と端部電極882で接続された同軸導体842と、同軸導体842と接続用電極885を介して接続されている同軸導体841と、この同軸導体841と接続されている共振器用HOT端子881等を形成する。そして、同軸導体841、842は、ある特性インピーダンスを有する同軸型線路であり、これらを囲むように表面GND導体847が形成されている。
この共振器のベース材810には、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、比誘電率を2.6〜40とすることにより、数100MHzから数GHzの帯域において、所望の共振特性が得られるようになる。また、共振器の材料損失はできるだけ抑えることが望ましく、誘電正接( tanδ)を0.001〜0.0075とすることが好ましい。
<実施例26>
図69は、本発明の第26の実施態様を示したストリップ共振器を示す透過斜視図である。
図69において、ストリップ共振器は実施例24と同様に、コ字状のストリップ導体884と、これを構成層810を介して上下面より挟み込むようにして配置された矩形状のGND導体883とを有する。また、ストリップ導体884の両端には共振器用共振器用HOT端子881、およびGND端子882が形成され接続されている。その他の形成方法は、実施例1のインダクタと同様である。
この共振器の構成層810の材料には、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の、特に平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料が用いられている。この複合誘電体材料には、さらに、磁気特性を調整するために磁性粉が含有されていてもよく、場合によってはこれらの破砕粉を含有していてもよい。
この複合誘電体材料は、比誘電率を2.6〜40とすることにより、数100MHzから数GHzの帯域において、所望の共振特性が得られるようになる。また、共振器の材料損失はできるだけ抑えることが望ましく、誘電正接(tanδ)を0.001〜0.0075とすることが好ましい。
図70は、上記実施例23〜26の共振器の等価回路図を示している。図において、共振器用HOT端子981は同軸路、またはストリップラインから構成される共振器984,941の一端に接続され、その他端にはGND端子982が接続されている。
<実施例27>
図71は、本発明の第27の実施態様である携帯端末機器の高周波部を示したブロック構成図である。
図において、ベースバンドユニット1010から送出された送信信号は、ミキサー1001により混成回路1021からのRF信号と混合される。この混成回路1021には電圧制御発信回路(VCO)1020が接続されていて、フェーズロックループ回路1019と共にシンセサイザー回路を構成し、所定の周波数のRF信号が供給されるようになっている。
ミキサー1001によりRF変調が行われた送信信号は、バンドパスフィルタ(BPF)1002を経て、パワーアンプ1003により増幅される。このパワーアンプ1003の出力の一部は、カップラー1004から取り出され、減衰器1005で所定のレベルに調整された後、再びパワーアンプ1003に入力され、パワーアンプの利得が一定になるように調整される。カップラー1004から送出された送信信号は、逆流防止用のアイソレータ1006、ローパスフィルタ1007を経てデュプレクサ1008に入力され、これと接続されているアンテナ1009から送信される。
アンテナ1009に入力された受信信号は、デュプレクサ1008からアンプ1011に入力され、所定のレベルに増幅される。アンプ1011から出力された受信信号は、バンドパスフィルタ1012を経てミキサー1013に入力される。このミキサー1013には、前記混成回路1021からのRF信号が入力され、RF信号成分が除去され、復調される。ミキサー1013から出力された受信信号は、SAWフィルタ1014を経てアンプ1015で増幅された後、ミキサー1016に入力される。ミキサー1016には局部発信回路1018から所定の周波数の局部発信信号が入力され、前記受信信号は所望の周波数に変換され、アンプ1017で所定のレベルに増幅された後、ベースバンドユニットへ送出される。
本発明では、上記アンテナ1009,デュプレクサ1008,ローパスフィルタ1007を含むアンテナフロントエンドモジュール1200や、アイソレータ1006、カップラー1004,減衰器1005,パワーアンプ1003を含むアイソレータパワーアンプモジュール1100等を上記と同様の手法によりハイブリッドモジュールとして構成することができる。また、これら以外の構成要素を含むものをRFユニットとして構成できることは既に実施例22で示した通りであり、BPF、VCO等も実施例9〜12および19に示した手法に倣って構成することができる。
本発明は、上記に例示した電子部品以外に、上記同様の手法で、コイルコア、トロイダルコア、円盤コンデンサ、貫通コンデンサ、クランプフィルタ、コモンモードフィルタ、EMCフィルタ、電源用フィルタ、パルストランス、偏向コイル、チョークコイル、DC−DCコンバータ、ディレイライン、電波吸収シート、薄型電波吸収体、電磁シールド、ダイプレクサ、デュプレクサ、アンテナスイッチモジュール、アンテナフロントエンドモジュール、アイソレータ・パワーアンプモジュール、PLLモジュール、フロントエンドモジュール、チューナーユニット、方向性結合器、ダブルバランスドミキサー(DBM)、電力合成器、電力分配器、トナーセンサ、電流センサ、アクチュエータ、サウンダ(圧電型音声発生器)、マイク、レシーバ、ブザー、PTCサーミスタ、温度ヒューズ、フェライト磁石等に応用することができる。
以上の各実施例において、必要によりハロゲン化リン酸エステル、ブロム化エポキシ樹脂等のハロゲン化物、また、リン酸エステルアミド系等の有機化合物や、三酸化アンチモン、水素化アルミニウム等の無機材料等の難燃剤を各構成層中に添加してもよい。
本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるインダクタを示す等価回路図である。 本発明の電子部品の構成例であるキャパシタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるキャパシタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるキャパシタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるキャパシタを示す等価回路図である。 本発明の電子部品の構成例であるバルントランスを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるバルントランスを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるバルントランスを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるバルントランスを示す等価回路図である。 本発明の電子部品の構成例である積層フィルタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例である積層フィルタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例である積層フィルタを示す等価回路図である。 本発明の電子部品の構成例である積層フィルタの伝達特性を示す図である。 本発明の電子部品の構成例である積層フィルタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例である積層フィルタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例である積層フィルタを示す等価回路図である。 本発明の電子部品の構成例である積層フィルタの伝達特性を示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるブロックフィルタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるブロックフィルタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるブロックフィルタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるブロックフィルタを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるブロックフィルタの等価回路を示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるブロックフィルタの金型を示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるカプラを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるカプラを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるカプラを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるカプラの内部結線を示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるカプラの等価回路を示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパッチアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパッチアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパッチアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパッチアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパッチアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパッチアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパッチアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパッチアンテナを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるVCOを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるVCOを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるVCOを示す等価回路図である。 本発明の電子部品の構成例であるパワーアンプを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパワーアンプを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるパワーアンプを示す等価回路図である。 本発明の電子部品の構成例である重畳モジュールを示す図である。 本発明の電子部品の構成例である重畳モジュールを示す図である。 本発明の電子部品の構成例である重畳モジュールを示す等価回路図である。 本発明の電子部品の構成例であるRFモジュールを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるRFモジュールを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるRFモジュールを示す図である。 本発明の電子部品の構成例であるRFモジュールを示す図である。 本発明の電子部品の構成例である共振器を示す図である。 本発明の電子部品の構成例である共振器を示す図である。 本発明の電子部品の構成例である共振器を示す図である。 本発明の電子部品の構成例である共振器を示す図である。 本発明の電子部品の構成例である共振器を示す図である。 本発明の電子部品の構成例である共振器を示す図である。 本発明の電子部品の構成例である共振器の等価回路を示す図である。 本発明の電子部品の構成例である携帯機器の高周波部を示すブロック図である。 本発明に用いる銅箔付基板の形成例を示す工程図である。 本発明に用いる銅箔付基板の形成例を示す他の工程図である。 銅箔付基板の形成例を示す工程図である。 銅箔付基板の形成例を示す他の工程図である。 多層基板の形成例を示す工程図である。 多層基板の形成例を示す工程図である。
符号の説明
10 インダクタ
10a〜10e 構成層
11 ランドパターン
12 貫通ビア
13 内部導体(コイルパターン)
14 ビアホール
20 キャパシタ
20a〜20g 構成層
21 ランドパターン
22 貫通ビア
23 内部導体(内部電極パターン)
40 バルントランス
40a〜40o構成層
45 GND導体
43 内部導体
60 積層フィルター
80 ブロックフィルター
110 カプラ
130、140 アンテナ
150、160、170 パッチアンテナ

Claims (8)

  1. 樹脂を有する構成層を積層して多層化した構造を具備し、前記構成層の少なくとも1層が、少なくとも投影形状が円、扁平円、または楕円形の誘電体が樹脂中に分散されている複合誘電体材料の層であるアンテナ。
  2. さらに、導電体層を有する請求項1のアンテナ。
  3. 前記投影形状が円形の誘電体は、平均粒径が1〜50μm 、球形度が0.9〜1.0である請求項1または2のアンテナ。
  4. さらに、前記複合誘電体材料は、磁性粉を含有する請求項1〜3のいずれかのアンテナ。
  5. さらに、前記複合誘電体材料は、破砕粉を含有する請求項1〜4のいずれかのアンテナ。
  6. さらに、前記複合誘電体材料は、ガラスクロスが埋設されている請求項1〜5のいずれかのアンテナ。
  7. 2種以上の異なる前記複合誘電体材料を有する請求項1〜6のいずれかのアンテナ。
  8. 少なくとも1種の複合誘電体材料層に1種または2種以上の難燃剤を含有する請求項1〜7のいずれかのアンテナ。
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