JP2004154771A

JP2004154771A - 超音波洗浄装置

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Publication number: JP2004154771A
Application number: JP2003353866A
Authority: JP
Inventors: Mitsugi Sano; 貢佐野; Masasue Iwamoto; 真居岩元; Kazuo Hatake; 一男畠; Satoru Honda; 覚本多; Takehiro Hagiwara; 武弘萩原; Toru Yasui; 亨安井; Yasushi Shinohara; 保志篠原
Original assignee: SPC Electronics Corp
Current assignee: SPC Electronics Corp
Priority date: 2002-10-15
Filing date: 2003-10-14
Publication date: 2004-06-03
Anticipated expiration: 2023-10-14
Also published as: JP4316977B2

Abstract

【課題】多量な洗浄液を必要とせず、液中に浮遊するゴミが再付着しない、超音波振動子が洗浄液に浸食されない、更に、液深変化により超音波発振器の周波数や電力が影響されない超音波洗浄機。
【解決手段】上方が開口した筺体６の底板３４の外側下面に超音波振動子１３を固定し、超音波振動子１３をカバー材１４で覆い、前記筺体６の上方の開口部に、下方に向って略Ｖ字形にゆるく弯曲した輻射板２１を介して、上下共開口した枠状のホーン部材２３の下方開口部を固定し、該ホーン部材２３の上方開口部側には、その上端との間にわずかな空隙が形成し、下方が開口した浅い有底箱形をした反射部材２９の上縁を対向状態で位置せしめ、前記筺体６内に音響伝達水１０を、ホーン部材２３及び反射部材２９の内部空間に洗浄液２６をそれぞれ連続的に供給し、前記空隙を被洗浄物４の通過用スリット３３とし、スリット３３を通過中の被洗浄物４に超音波を加える。
【選択図】図７

Description

この発明は超音波洗浄装置、詳しくは１０ｋＨｚ乃至２０ＭＨｚ帯の周波数を用いて、超音波振動輻射による加速度力、キャビテーション及び直進流の作用により洗浄液中で被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置に関するものである。

洗浄液中で被洗浄物を洗浄する従来の超音波洗浄装置は、図１及び図２に示す様に、洗浄液１が満たされた洗浄槽２の外部又は内部に超音波振動子３を直接取付け、洗浄液１に浸漬せしめた被洗浄物４に超音波輻射による物理力、即ち加速度力、キャビテーション及び直進流を加えて洗浄する構造となっていた。
なし。なし。

しかしながら、上記従来の超音波洗浄装置は、多量の洗浄液１を必要とし、被洗浄物４から剥がれたゴミが洗浄液中に浮遊する為、被洗浄物４に再付着してしまうという不都合があった。又、超音波振動子３の輻射面５と洗浄液１とが直接接触しているので、輻射面５の材質やその表面処理に十分な配慮を加える必要があり、不適切な場合には、侵食等が起こり、これに伴う発塵も生じ、超音波振動子３の耐久性や洗浄液の管理に悪い影響を与えることがあった。更に、洗浄槽２内の洗浄液１の液深変化が超音波発振器の周波数や電力に影響し、安定した運転を妨げる要因となっていた。又、被洗浄物４はその全体を洗浄槽２に浸漬させなければならないので、板状で面積の大きい被洗浄物４を小さな洗浄槽２で処理することは実際上不可能であった。

本発明は、従来の超音波洗浄装置の上記問題点を解決することを目的とするものであり、洗浄水を自由に選択することが出来ると共に、超音波振動する輻射面の材質に特に配慮を加える必要がなく、常に安定した超音波伝播特性を維持でき、従来は洗浄槽の寸法上の制約から超音波洗浄しにくかった板状体を上下いずれの方向からも洗浄できる新規な超音波洗浄装置を提供せんとするものである。

請求項１に係る発明は、振動板として作用する側壁７及び天板８からなり、下方が開口した箱形をなした筺体６の天板８上に超音波振動子１３を載置固定し、該超音波振動子１３を箱形のカバー材１４で覆い、前記筺体６の下方の開口部に、超音波は透過させるが、液体は透過させない材質の輻射板２１を介して、上下共開口した四周壁からなる枠状のホーン部材２３の上方開口部を固定し、該ホーン部材２３の下方開口部側には、その下端との間にわずかな空隙が形成される様に、上方が開口した浅い有底箱形をした反射部材２９の上縁を対向状態で位置せしめ、前記筺体６内に音響伝達水１０を、ホーン部材２３及び反射部材２９の内部空間に洗浄液２６をそれぞれ連続的に供給し得る様にし、前記空隙を被洗浄物４の通過用スリット３３とし、流水状態の洗浄液２６を介してスリット３３を通過中の被洗浄物４に超音波に起因する物理力を加えて、これによって洗浄を行える様に超音波洗浄装置を構成することにより上記課題を解決した。

又、請求項３に係る発明は、振動板として作用する側壁７及び底板３４からなり、上方が開口した箱形をなした筺体６の底板３４の外側下面に超音波振動子１３を固定し、超音波振動子１３を箱形のカバー材１４で覆い、前記筺体６の上方の開口部に、超音波は透過させるが、液体は透過させない材質からなり、下方に向って略Ｖ字形にゆるく弯曲した輻射板２１を介して、上下共開口した四周壁からなる枠状のホーン部材２３の下方開口部を固定し、該ホーン部材２３の上方開口部側には、その上端との間にわずかな空隙が形成される様に、下方が開口した浅い有底箱形をした反射部材２９の上縁を対向状態で位置せしめ、前記筺体６内に音響伝達水１０を、ホーン部材２３及び反射部材２９の内部空間に洗浄液２６をそれぞれ連続的に供給し得る様にし、前記空隙を被洗浄物４の通過用スリット３３とし、流水状態の洗浄液２６を介してスリット３３を通過中の被洗浄物４に超音波に起因する物理力を加えて、これによって洗浄を行える様に超音波洗浄装置を構成することにより上記課題を解決した。

更に、請求項５に係る発明は、振動板として作用する側壁７及び底板３４からなり、上方が開口した箱形をなした筺体６の底板３４の外側下面に超音波振動子１３を固定し、超音波振動子１３を箱形のカバー材１４で覆い、前記筺体６の上方の開口部に、超音波は透過させるが、液体は透過させない材質からなり、下方に向って略Ｖ字形にゆるく弯曲した輻射板２１を介して、上下共開口した四周壁からなる枠状のホーン部材２３の下方開口部を固定し、前記筺体６内に音響伝達水１０を、ホーン部材２３の内部空間に洗浄液２６をそれぞれ供給し得る様にし、洗浄液２６を介して被洗浄物４に超音波に起因する物理力を加えて、これによって洗浄を行える様に超音波洗浄装置を構成することにより上記課題を解決した。

この発明に係わる超音波洗浄装置は、上述の通りの構成により下記の通りの効果を有する。
（１）輻射板により、超音波振動子に接する音響伝達水と、被洗浄物に接する洗浄液とを分離したので、音響伝達水に関係なく洗浄液の制御が可能である。
（２）音響伝達水によって超音波振動子を冷却でき、超音波振動子の安定した駆動を確保出来る。
（３）洗浄液を従来のものに比して大幅に少なくすることが可能で、これに伴い装置全体を小型軽量化することが可能である。
（４）洗浄液が万が一途切れても、空だき状態にはならず、超音波振動子及び発振器の損傷を回避できる。
（５）洗浄液の液種を容易に変更可能で、超音波振動子の材質を考慮せずに被洗浄物に最も適した洗浄液を任意に選択できる。
（６）超音波振動子のエロージョンに起因するパーティクルの発生を抑制出来、パーティクルの付着による被洗浄物の再汚染を防ぐことが出来る。
又、請求項１乃び３記載の発明においては、更に加えて下記の通りの効果をも有する。
（７）上下どちらの方向を向けて設置することも可能であり、前工程及び後工程との連携が取りやすく、システム全体の自動化の構築が容易である。
（８）スリットを通しながら洗浄を行うので、表裏両面の同時洗浄が可能であり、液晶パネルや半導体基板などの高清浄精密洗浄を必要とする薄物の洗浄に特に適している。
（９）スリットの部分において洗浄を行うので、近接音場が構築出来、音響エネルギーを効率よく被洗浄物に加えることができ、洗浄効果を高めることが出来る。

超音波を伝播する音響伝達水１０と超音波洗浄を行う洗浄液２６とを輻射板２１を介して完全に分離し、互いに悪影響を与えない様にした点に最大の特徴を有する。

以下、図３及び図４に基づいて請求項１に係る本発明の実施例１について説明する。図３はその斜視図、図４は図３に示した実施の形態を説明する為、概念的に描いたその断面図である。

図中６は筺体であり、振動板として作用する４面の側壁７及び天板８からなり、下方が開口した箱形をなしている。そして、この筺体６の側壁７の上部には、壁面を貫いて音響伝達水注入孔９が設けられており、この音響伝達水注入孔９近傍の側壁７内側には、音響伝達水注入孔９から筺体６内に注入される音響伝達水１０の流れを緩和拡散させる整流用じゃま板１１が設けられている。又、この音響伝達水注入孔９が設けられている側壁７と対向する側壁には音響伝達水排水孔１２が設けられている。

一方、この筺体６の天板８の上面には、パッキング１５を介して、天板１６及び周壁１７からなり、下方が開口した箱形のカバー材１４がかぶせられており、このカバー材１４内には複数の超音波振動子１３がその振動面を筺体６の天板８に接する様に固定されている。又、このカバー材１４の天板１６には、図３に示す様に、カバー材１４の内部空間を加圧し、超音波振動子１３への浸水の防止と冷却を図る空気出入孔１８及び超音波振動子１３に電気エネルギーを供給するケーブルの引出し口３５が設けられている。

なお、筺体６の天板８に図５に示す様に底面がフラットな陥没部３７や図６に示す様に凸起部３８を形成し、その上面に超音波振動子１３を載置固定する様にしても良く、この様にすることにより超音波振動の振幅を拡大させることが可能となる。この場合、超音波振動の振幅拡大の為に陥没部３７を形成するか凸起部３８を形成するかは、筺体６の寸法、超音波振動子１３の出力や周波数など各種条件に応じて決定される。更に、筺体６の下方開口部には、パッキング２０を介して輻射板２１が接しており、この輻射板２１の下面には同じくパッキング２２を介してホーン部材２３の上縁が接し、筺体６とホーン部材２３とはパッキング２０、輻射板２１及びパッキング２２を介して、図示を省略したボルトなどによって強固に締め付けられている。輻射板２１とは、液体は透過させず、超音波振動は透過させる性質を有する板状体あるいは膜であり、ガラス薄板、合成樹脂フィルム、あるいはステンレス板、チタン合金板などの金属板等を好適に用いることができる。

ホーン部材２３は、上下が開口した枠状をなした部材であり、その四面を構成している側壁２４の寸法は筺体８とほぼ同じである。そして、このホーン部材２３の側壁２４には、洗浄液注入孔２５が設けられており、この洗浄液注入孔２５近傍の側壁２４の内側には、洗浄液２６の流れを緩和拡散させる整流用じゃま板２７が設けられている。又、このホーン部材２３の内部空間にも、洗浄水２６を整流しその指向性を調整する為の整流板２８が複数個取付けられている。

更に、図中２９は、上方が開口した浅い有底箱形をなした反射部材であり、その周壁３０の上縁と前記ホーン部材２３の側壁２４の下縁との間に、わずかな空隙が形成される様に、ホーン部材２３の下方に、これと空隙を隔てて対向して位置せしめられており、前記空隙により被洗浄物４通過用のスリット３３が形成されている。この反射部材２９の周壁３０にも洗浄液注入孔３１が設けられており、周壁３０の内側には整流用じゃま板３２及び洗浄水２６を整流しその指向性を調整する為の整流板３６がそれぞれ設けられている。

実施例１は上記の通りの構成を有するものであり、音響伝達水注入孔９から筺体６内に音響伝達水１０を注入し、筺体６内を音響伝達水１０で満たし、かつ、洗浄液注入孔２５からホーン部材２３の内部に、洗浄液注入孔３１から反射部材２９の内部に、それぞれ洗浄液２６を注入しつつ、図示せざる超音波発振器から１０ｋＨｚ乃至２０ＭＨｚ帯の電気エネルギーを超音波振動子１３に供給してこの超音波振動子１３を駆動する。超音波振動子１３によって電気／機械変換が行われ、機械振動が筺体６の側壁７に伝わり、これが振動板として作用して筺体６内に満たされている音響伝達水１０に伝わり、機械／音響変換が行われる。

音響伝達水１０の音響は、輻射板２１を透過し、ホーン部材２３中及び反射部材２９上を流れている洗浄液２６に伝播される。そして、この伝播された音響によって洗浄液２６に加速度力、キャビテーション、直進流が生成される。従って、ホーン部材２３の下縁と反射部材２９の上縁との間に形成されたスリット３３に板状の被洗浄物４を位置せしめておけば、この洗浄水２６に生成された加速度力、キャビテーション、直進流によって洗浄が行われ、被洗浄物４表面に付着している汚れは剥離して洗浄液２６と共に流れ去る。

なお、筺体６内を満たす音響伝達水１０の水質は特に良質である必要はなく、リサイクル水や各種廃液を用いても良い。又、この音響伝達水１０は音響伝播だけを目的とするので、多量に流す必要はなく、音響伝達水注入孔９からの注入量は超音波振動子１３の冷却に役立つ所謂「チョロ出し」程度で十分である。この様に、被洗浄物４の表裏に流水状態の洗浄液２６を接触させつつ、加速度力、キャビテーション、直進流という超音波の物理力を与えて被洗浄物４の洗浄を行うのであり、スリット３３内の被洗浄物４をその長手方向に平行移動させることにより、広い面積の洗浄が可能となる。なお、洗浄に用いられた洗浄液２６は装置外に流出するが、回収してフィルター等によりゴミを除去した後、再利用する様にしても良い。

又、この超音波洗浄装置は被洗浄物４の形態や前工程、後工程との関係などに応じて自由に設置角度を選ぶことができ、傾けたり倒立させた状態で使用することも可能である。

この実施例１は、上記の通りの構成を有するものであり、音響伝達水１０と洗浄液２６とを分離し、上下いずれの方向からも洗浄を可能としており、超音波振動子１３や振動板の材質に影響されずに洗浄液２６の液種を選ぶことが出来、音響伝達水１０は音響伝播だけを目的とするので、その流量は所謂「チョロ出し」程度の少量で良く、脱気してキャビテーション閾値を高くし、強い物理力を伝播させることが出来る。又、その水質は高品質のものでなくても良く、リサイクル水や廃液でも何ら問題なく用いることが出来る。

又、洗浄水２６は流水状態で使用するので倒立や横倒し状態でも何ら問題なく洗浄作業を行うことができ、液晶パネルや半導体基板などの薄物の洗浄に適している。

ちなみに、同程度の規模の従来の同種装置と比較した場合、必要とされる水量は従来品が２０リットルのところ、この実施の形態のものにおいては１リットルで足り、洗浄時間は従来品が１２秒かかっていたところが３秒、電力は１０００Ｗであったところが、４００Ｗで足りた。又、洗浄除去率の比較では従来品が６１％のところ、この実施例１では７４％となり、除去率において極めて優秀であることが確認された。

以下、図７に基づいて請求項３に係る本発明の実施例２について説明する。図中６は筺体であり、振動板として作用する４面の側壁７及び底板３４からなり、上方が開口した箱形をなしている。そして、この筺体６の側壁７の下部には、壁面を貫いて音響伝達水注入孔９が設けられており、この音響伝達水注入孔９近傍の側壁７内側には、音響伝達水注入孔９から筺体６内に注入される音響伝達水１０の流れを緩和拡散させる整流用じゃま板１１が設けられている。又、この音響伝達水注入孔９が設けられている側壁７と対向する側壁には音響伝達水排水孔１２が設けられている。なお、筺体６の底板３４に図８に示す様に底面がフラットな陥没部４１や図９に示す様に凸起部４２を形成し、その下面に超音波振動子１３を固定する様にしても良く、この様にすることにより超音波振動の振幅を拡大させることが可能となる。この場合、超音波振動の振幅拡大の為に陥没部４１を形成するか凸起部４２を形成するかは、筺体６の寸法、超音波振動子１３の出力や周波数など各種条件に応じて決定される。

一方、この筺体６の底板３４の下面には、パッキング１５を介して、底板４０及び周壁１７からなり、上方が開口した箱形のカバー材１４がかぶせられており、このカバー材１４内には複数の超音波振動子１３がその振動面を筺体６の底板３４に接する様に固定されている。又、このカバー材１４の底板４０には、カバー材１４の内部空間を加圧し、超音波振動子１３への浸水の防止と冷却を図る空気出入孔１８及び超音波振動子１３に電気エネルギーを供給するケーブルの引出し口が設けられている。

更に、この筺体６の内部空間には、音響伝達水１０を整流し、その指向性を調整する為の整流板１９が複数個取付けられている。又、筺体６の上方開口部には、パッキング２０を介して下方に向って略Ｖ字形にゆるく弯曲した輻射板２１が接しており、この輻射板２１の上面には同じくパッキング２２を介してホーン部材２３の下縁が接し、筺体６とホーン部材２３とはパッキング２０、輻射板２１及びパッキング２２を介して、図示を省略したボルトなどによって強固に締め付けられている。輻射板２１とは、液体は透過させず、超音波振動は透過させる性質を有する板状体あるいは膜であり、ガラス薄板、合成樹脂フィルム、あるいはステンレス板、チタン合金板などの金属板等を好適に用いることができる。

更に、図中２９は、下方が開口した浅い有底箱形をなした反射部材であり、その周壁３０の下縁と前記ホーン部材２３の側壁２４の上縁との間に、わずかな空隙が形成される様に、ホーン部材２３の上方に、これと空隙を隔てて対向して位置せしめられており、前記空隙により被洗浄物４通過用のスリット３３が形成されている。この反射部材２９の周壁３０にも洗浄液注入孔３１が設けられており、周壁３０の内側には整流用じゃま板３２及び洗浄水２６を整流しその指向性を調整する為の整流板３６がそれぞれ設けられている。

実施例２は上記の通りの構成を有するものであり、音響伝達水注入孔９から筺体６内に音響伝達水１０を注入し、筺体６内を音響伝達水１０で満たし、かつ、洗浄液注入孔２５からホーン部材２３の内部に、洗浄液注入孔３１から反射部材２９の内部に、それぞれ洗浄液２６を注入しつつ、図示せざる超音波発振器から１０ｋＨｚ乃至２０ＭＨｚ帯の電気エネルギーを超音波振動子１３に供給し、この超音波振動子１３を駆動する。超音波振動子１３によって電気／機械変換が行われ、機械振動が筺体６の側壁７に伝わり、これが振動板として作用して筺体６内に満たされている音響伝達水１０に伝わり、機械／音響変換が行われる。

音響伝達水１０の音響は、輻射板２１を透過し、ホーン部材２３中及び反射部材２９内を流れている洗浄液２６に伝播される。そして、この伝播された音響によって洗浄液２６に加速度力、キャビテーション、直進流が生成される。従って、ホーン部材２３の上縁と反射部材２９の下縁との間に形成されたスリット３３に板状の被洗浄物４を位置せしめておけば、この洗浄水２６に生成された加速度力、キャビテーション、直進流によって洗浄が行われ、被洗浄物４表面に付着している汚れは剥離して洗浄液２６と共に流れ去る。又、この実施例２においては、輻射板２１は下方に向って略Ｖ字形にゆるく弯曲しているので、音響伝達水１０に気泡が発生しても、気泡は輻射板２１の傾斜面に沿って周縁方向に速やかに移動してしまう為、気泡が超音波の伝播に悪影響を与えることはない。

次に、図１０に基づいて、請求項５に係る本発明の実施例３について説明する。この実施例３は振動板として作用する側板７及び底板３４からなり、上方が開口した筺体６の下面に超音波振動子１３を固定し、下方に向って略Ｖ字形にゆるく弯曲した輻射板２１を介して筺体６の開口部の上方にホーン部材２３を取付けたものであり、ホーン部材２３内には洗浄液２６が満たされている。他の構成は前述の実施例２と同じであり、同一符号を付して説明を省略する。

この実施例３は、ホーン部材２３中に洗浄液２６を満たし、被洗浄物４をこの洗浄液２６中に浸漬せしめた状態で洗浄作業を行うものであり、板状の被洗浄物４の洗浄はもちろん可能であるが、特に、被洗浄物４が立体的な形状を有する物体であるときに有効である。又、この場合、ホーン部材２３中の洗浄液２６は、流水状態にすることも、滞留した貯水状態にすることも可能であり、被洗浄物４表面の汚れの種類や、程度、洗浄液２６の種類やその調達コスト等を勘案して適宜選択することが出来る。なお、実施例２の場合と同様、筺体６の底板３４に図８に示す様な底面がフラットな陥没部４１や図９に示す様な凸起部４２を形成し、その下面に超音波振動子１３を固定する様にしても良く、この様にすることにより超音波振動の振幅を拡大させることが可能となる。

この発明は各種板状体の超音波洗浄作業、特にＬＣＤ、ＰＤＰ、ＬＴＤ−ＴＦＴを含む各種ＦＰＤ製造工程などにおいて高い利用可能性を有する。

従来の超音波洗浄装置の一例の断面図。従来の超音波洗浄装置の他の例の断面図。本発明の実施例１の斜視図。同じく、実施例１の断面図。実施例１の一部を変更した状態の部分断面図。同じく実施例１の一部を変更した状態の部分断面図。実施例２の断面図。実施例２の一部を変更した状態の部分断面図。同じく実施例２の一部を変更した状態の部分断面図。実施例３の断面図。

符号の説明

１洗浄液
２洗浄槽
３超音波振動子
４被洗浄物
５輻射面
６筺体
７側壁
８天板
９音響伝達水注入孔
１０音響伝達水
１１整流用じゃま板
１２音響伝達水排水孔
１３超音波振動子
１４カバー材
１５パッキング
１６天板
１７周壁
１８空気出入り孔
１９整流板
２０パッキング
２１輻射板
２２パッキング
２３ホーン部材
２４側壁
２５洗浄液注入孔
２６洗浄液
２７整流用じゃま板
２８整流板
２９反射部材
３０周壁
３１洗浄液注入孔
３２整流用じゃま板
３３スリット
３４底板
３５ケーブルの引出し口
３６整流板
３７陥没部
３８凸起部
４０底板
４１陥没部
４２凸起部

Claims

振動板として作用する側壁７及び天板８からなり、下方が開口した箱形をなした筺体６の天板８上に超音波振動子１３を載置固定し、該超音波振動子１３を箱形のカバー材１４で覆い、前記筺体６の下方の開口部に、超音波は透過させるが、液体は透過させない材質の輻射板２１を介して、上下共開口した四周壁からなる枠状のホーン部材２３の上方開口部を固定し、該ホーン部材２３の下方開口部側には、その下端との間にわずかな空隙が形成される様に、上方が開口した浅い有底箱形をした反射部材２９の上縁を対向状態で位置せしめ、前記筺体６内に音響伝達水１０を、ホーン部材２３及び反射部材２９の内部空間に洗浄液２６をそれぞれ連続的に供給し得る様にし、前記空隙を被洗浄物４の通過用スリット３３とし、流水状態の洗浄液２６を介してスリット３３を通過中の被洗浄物４に超音波に起因する物理力を加え、これによって洗浄を行う様にしたことを特徴とする超音波洗浄装置。
天板８に底面がフラットな陥没部３７又は凸起部３８を形成し、その上面に超音波振動子１３を載置固定することにより、超音波振動の振幅を調整する様にしたことを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。
振動板として作用する側壁７及び底板３４からなり、上方が開口した箱形をなした筺体６の底板３４の外側下面に超音波振動子１３を固定し、超音波振動子１３を箱形のカバー材１４で覆い、前記筺体６の上方の開口部に、超音波は透過させるが、液体は透過させない材質からなり、下方に向って略Ｖ字形にゆるく弯曲した輻射板２１を介して、上下共開口した四周壁からなる枠状のホーン部材２３の下方開口部を固定し、該ホーン部材２３の上方開口部側には、その上端との間にわずかな空隙が形成される様に、下方が開口した浅い有底箱形をした反射部材２９の上縁を対向状態で位置せしめ、前記筺体６内に音響伝達水１０を、ホーン部材２３及び反射部材２９の内部空間に洗浄液２６をそれぞれ連続的に供給し得る様にし、前記空隙を被洗浄物４の通過用スリット３３とし、流水状態の洗浄液２６を介してスリット３３を通過中の被洗浄物４に超音波に起因する物理力を加え、これによって洗浄を行う様にしたことを特徴とする超音波洗浄装置。
底板３４に底面がフラットな陥没部４１又は凸起部４２を形成し、その外側下面に超音波振動子１３を固定することにより、超音波振動の振幅を調整する様にしたことを特徴とする請求項３記載の超音波洗浄装置。
振動板として作用する側壁７及び底板３４からなり、上方が開口した箱形をなした筺体６の底板３４の外側下面に超音波振動子１３を固定し、超音波振動子１３を箱形のカバー材１４で覆い、前記筺体６の上方の開口部に、超音波は透過させるが、液体は透過させない材質からなり、下方に向って略Ｖ字形にゆるく弯曲した輻射板２１を介して、上下共開口した四周壁からなる枠状のホーン部材２３の下方開口部を固定し、前記筺体６内に音響伝達水１０を、ホーン部材２３の内部空間に洗浄液２６をそれぞれ供給し得る様にし、洗浄液２６を介して被洗浄物４に超音波に起因する物理力を加え、これによって洗浄を行うことを特徴とする超音波洗浄装置。
底板３４に底面がフラットな陥没部４１又は凸起部４２を形成し、その外側下面に超音波振動子１３を固定することにより超音波振動の振幅を調整する様にしたことを特徴とする請求項５記載の超音波洗浄装置。
１０ｋＨｚ乃至２０ＭＨｚ帯の電気エネルギーによって超音波振動させることを特徴とする請求項１、３、又は５記載の超音波洗浄装置。
輻射板２１がガラス薄板、合成樹脂フィルム、あるいは金属板であることを特徴とする請求項１、３、又は５記載の超音波洗浄装置。
筺体６及びホーン部材２３の内部空間に音響伝達水１０及び洗浄液２６の流動方向を制御する整流板１９を設けたことを特徴とする請求項１、３、又は５記載の超音波洗浄装置。