JP2004150971A

JP2004150971A - Inspection method and inspection apparatus of film

Info

Publication number: JP2004150971A
Application number: JP2002317136A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Aoki; 健青木; Kenji Shimizu; 健司清水
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2002-10-31
Filing date: 2002-10-31
Publication date: 2004-05-27

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection method and an inspection apparatus of a film which can easily finding minute defects. <P>SOLUTION: In the inspection method of the film, a light L from a light source 1 is irradiated on a side face of the optical film 2. If there is no detect 3, such as foreign particles, damages, the light L enters into the optical film 2, goes straight in the optical film 2 and exits from the optical film 2. If there is a detect 3, such as foreign particle, damages, the light L, entering into the optical film 2, may be randomly reflected or scattered at a location of the defect 3. The defect 3 as a light emitting area 3L emits a light. The defect 3 becomes a bright spot 3D, when it is viewed from the surface of the optical film 2 (in the direction of arrow D). The location of the defect 3 is detected, by observing the luminescent spot from the surface of the optical film 2. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示装置等に用いられるフィルム、例えば、偏光フィルム、位相差フィルム等の光学フィルム（以下、単に光学フィルムと称することがある）に生じた異物・損傷等の欠点を検出するための検査方法および検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置には、液晶表示のために出入りする光を制御するための偏光フィルム等の光学フィルムが用いられている。光学フィルムは、偏光フィルム、保護フィルム、位相差フィルム等が積層された構造を有している場合がある。このような光学フィルムの積層形成段階において、積層される光学フィルムの界面に異物が混入したり、傷が付いたりすることにより欠点を生じることがある。
【０００３】
このような欠点を検出するために、従来から、透過検査および反射検査による検品が行われている。図５は透過検査を示す模式図であり、図６は反射検査を示す模式図である。透過検査は、図５に示すように、光学フィルム２の一面から光を照射させ、他面側（矢符Ｄの方向）から透過光Ｌを検出することにより、欠点３を検出する。光学フィルム２内に欠点３がある場合、矢符Ｄの方向から見ると欠点３が影３ｄとなって現れる。また、反射検査は、図６に示すように、光学フィルム２の一面から角度を付けて光Ｌａを照射させ、同じ面（矢符Ｄの方向）から見て光が屈折せず反射されるか否かを検出することにより、欠点３を検出する。光学フィルム２内に欠点３がある場合、矢符Ｄの方向から見ると欠点３に照射された光Ｌａは、屈折して反射されるため、反射光Ｌｂは、欠点３部分において光が他の部位と同じように反射されず、影３ｄとなって現れる。これらの方法を併用することにより、欠点３を検出し、所定の基準を満たさない製品を取り除くことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年、大型化している液晶表示装置等の液晶パネルにおいて、これに使用される偏光フィルム等の光学フィルム２も大型化の一途を辿っている。また、さらに高精細化のための液晶パネルの輝度やコントラストも向上したため、従来の液晶パネルでは問題にならなかった２０μｍ以下程度の微小な異物や損傷等の欠点３が光学フィルム２に含まれることによっても液晶パネルの品質に影響を与えるようになり、問題視されてきた。
【０００５】
透過検査および反射検査においては、欠点３のサイズが２０μｍ以下になると目視における分解能の限界点に近いため、欠点３の検出結果には、目視検査員の熟練度の違い等、人によるばらつきが多く、品質的に安定しない場合がある。また、検出されるべき欠点３は、異物や損傷の種類や大きさにより多種多様であり、所定の基準を満たすかどうかの判断の調整は、検査装置のカメラでは自動調整を行うことが困難であり、容易に検出することができない。
【０００６】
さらに、透過検査および反射検査では、欠点３の影３ｄによって欠点３の有無を判断するため、欠点３の有無を判断することが可能であっても、その場所の特定まで行うことが困難な場合が多かった。また、光学フィルム２全面に光Ｌを照射すると光学フィルム２全面を一度に検査することも可能ではあるが、照射された光Ｌと欠点３による影３ｄとのコントラストが低いため、全面に光を照射しても、目視検査員にとって見易くなることはなく、視野を広げることによって欠点３を見落とし易くなるため、好ましくない。そこで、通常は部分的に光を照射し、光学フィルム２を部分的に検査することとなり、作業性が悪化することとなっていた。特に大型化した光学フィルム２に対しては、これが顕著となっていた。
【０００７】
本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するべくなされたもので、欠点が微小であっても容易に発見することのできるフィルムの検査方法および検査装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るフィルムの検査方法は、フィルムに生じた欠点を検出するためのフィルムの検査方法であって、前記フィルムの側面から光を照射し、前記フィルムの表面から観察するものである。
【０００９】
まず、フィルムの側面に光を照射する。フィルムに異物・損傷等の欠点がなければ、フィルムに入射した光は、フィルム内部をそのまま直進し、突き抜ける。このとき、フィルムを表面から見ると光はほとんど見えない。フィルムに異物・損傷等の欠点がある場合、フィルムに入射した光は、欠点のある場所で、乱反射したり、散乱を起こしたりする。このため、欠点は、フィルムの表面から見ると輝点となって現れる。すなわち、フィルムの表面から観察することにより欠点の位置を検出する。
【００１０】
このように、フィルムの側面から光を照射することにより、欠点を輝点として検出することができるため、欠点が微小であっても容易に発見することができる。具体的には、光がほとんど見えないフィルム中に（暗中に）欠点が輝点として現れることにより、透過検査および反射検査に比べ、コントラストが大きくなるため、欠点が微小であっても容易に発見することができる。透過検査や反射検査では、フィルムにおいてもいくらかの光の減衰があり、その上、欠点において光が減衰するため、目視するとフィルムと欠点とのコントラストがそれほど大きくならないからである。また、欠点が輝点として検出されることにより、透明な異物等、透過検査および反射検査では検出し難い欠点も容易に検出することができる。
【００１１】
さらに、フィルムの全面に光が行き渡るように光を照射しても欠点のみが輝点となって現れ、フィルムと検出された欠点とのコントラストが大きくなるため、視野を広げても見落とすことなく、フィルム全体を一度に検査することができ、作業性を向上させることができる。
【００１２】
また、欠点に照射された光は、欠点において散乱することにより、欠点の周囲も発光する。透過検査や反射検査においては、散乱により欠点の周囲が発光しても照射光と混じってしまうため、周囲の発光を検出することができない。これに対し、本発明に係る検査においては、暗中に欠点および欠点の周囲が輝点となって現れるため、当該欠点の実際の寸法より大きく見えることとなり、さらに容易に発見することができる。また、欠点の周囲に気泡が混入している場合は、この気泡によっても光が乱反射を起こすため、より大きい輝点となり、さらに容易に欠点を発見することができる。
【００１３】
なお、本発明に係る検査方法は、積層されたフィルムにおいて生じた欠点だけでなく、単層のフィルムにおいて生じた欠点であっても効果を生じるものである。
【００１４】
好ましくは、照射する前記光は、平行光であり、前記フィルムの表面に対して平行に照射するものである。
【００１５】
この場合、光が拡散したり集光したりすることのない平行光をフィルムの表面に対して平行に照射する。これにより、フィルムに均一に光を入射させることができ、光のむらを防ぎ、欠点による輝点をよりはっきり浮かび上がらせることができるため、欠点をより容易に発見することができる。
【００１６】
好ましくは、前記フィルムの膜厚の中点と、前記光の光束の中点とを一致させるものである。
【００１７】
この場合、光強度の強い部分がフィルムに照射される。これにより、欠点部位における輝点の輝度が高くなるため、欠点位置をより容易に発見することができる。
【００１８】
なお、前記一致誤差は、前記フィルム全体の膜厚の１０％以内であるが好ましい。
【００１９】
好ましくは、前記光を前記フィルムの膜厚の範囲内に照射させるための光漏れ抑止部材を介して、前記光を前記フィルムに照射するものである。
【００２０】
この場合、フィルムに照射する光のうち、フィルムの膜厚の範囲外へ照射されようとする光は、光漏れ抑止部材により遮光される。このため、光がフィルムの側面以外から照射されることなく、フィルムの内部を照射する。
【００２１】
光がフィルムの表面に照射された場合、フィルムの全面が光ってしまい、輝点として検出される欠点とのコントラストが低下するため、欠点を判別することが困難となることがある。したがって、光源からの光は、フィルムの厚み方向に関して、当該厚みより小さい寸法の光束であることが好ましい。
【００２２】
上記のように、フィルムの表面に光が照射されるのを抑止することにより、輝点として検出される欠点を容易に判別することができる。
【００２３】
なお、光漏れ抑止部材は、軟質ゴムや軟質発泡材等によりフィルムおよび光源の双方を上下に挟み込むように取り付けることによって形成してもよいし、フィルムの膜厚程度のスリット状の開口部を有する遮光板を用いてもよいし、照射する光束自体をレンズ等によりフィルムの膜厚方向に関して当該フィルムより小さい寸法の光束を有する平行光として用いてもよい。
【００２４】
また、前記光漏れ抑止部材からの光漏れ量は、前記光の全光量の１パーセント以下であることが好ましい。
【００２５】
好ましくは、前記フィルムは、積層されて形成されているものである。
【００２６】
本発明に係る検査方法は、フィルムを積層する過程において生じたフィルムの界面における異物の混入や損傷等の欠点を検出するのに特に効果を有する。
【００２７】
また、本発明に係るフィルムの検査装置は、上記フィルムの検査方法を用いて、フィルムに生じた欠点を検出するためのフィルムの検査装置であって、前記フィルムの側面から光を照射するための光照射手段と、前記フィルムの表面から欠点を輝点として検出するための欠点検出手段と、前記欠点検出手段により検出された欠点の位置を演算して出力する位置演算手段とを具備するものである。
【００２８】
本発明においては、光照射手段によって、フィルムの側面から光を照射することにより、輝点となって現れた欠点を欠点検出手段によって検出し、位置演算手段によって、検出された欠点の位置を特定する。
【００２９】
このように、欠点を輝点として検出し、画像処理する方が、欠点を影として検出し、画像処理するよりも位置検出を容易に行うことができるため、従来困難であった、機械的な自動検出も容易に行うことができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施の形態における検査方法を模式的に示すための光学フィルムの断面図である。
【００３１】
本実施の形態に係る光学フィルムの検査方法は、図１に示すように、光学フィルム２に生じた欠点３を検出するための光学フィルム２の検査方法であって、前記光学フィルム２の側面から光Ｌを照射し、前記光学フィルム２の表面から観察するものである。
【００３２】
本実施の形態においては、図１に示すように、光学フィルム２は、積層されて形成されているものであり、光学フィルム２を積層する過程において生じた光学フィルム２の界面における異物の混入や損傷等による欠点３を検出するのに特に効果を有する。ただし、積層された光学フィルム２において生じた欠点３だけでなく、単層の光学フィルムにおいて生じた欠点であっても効果を生じるものである。
【００３３】
まず、光学フィルム２の側面に光Ｌを照射する。図１においては、光源１から光Ｌが照射されている。光学フィルム２に異物・損傷等の欠点３がなければ、光学フィルム２に入射した光Ｌは、光学フィルム２内部をそのまま直進し、突き抜ける。このとき、光学フィルムを表面から見ると光はほとんど見えない（暗中にある）。光学フィルムに異物・損傷等の欠点３がある場合、光学フィルム２に入射した光Ｌは、欠点３のある場所で、乱反射したり、散乱を起こしたりする。すなわち、欠点３が発光することとなる（図１の発光域３Ｌ）。このため、欠点３は、光学フィルム２の表面（矢符Ｄの方向）から見ると輝点３Ｄとなって現れる。これを、光学フィルム２の表面から観察することにより欠点３の位置を検出する。
【００３４】
図３は本発明に係る検査の結果および透過検査の結果を示す図である。図３（ａ）は透過検査の結果を示す図であり、図３（ｂ）は本発明に係る検査の結果を示す図である。透過検査においては、図３（ａ）に示すように、欠点３は影として検出される。一方、本発明に係る検査においては、図３（ｂ）に示すように、欠点３が輝点となって浮かび上がる。
【００３５】
このように、光学フィルム２の側面から光Ｌを照射することにより、欠点３を輝点３Ｄとして検出することができるため、欠点３が微小であっても容易に発見することができる。具体的には、光がほとんど見えない光学フィルム２中に（暗中に）欠点３が輝点３Ｄとして現れることにより、透過検査および反射検査に比べ、コントラストが大きくなるため、欠点３が微小であっても容易に発見することができる。透過検査や反射検査では、光学フィルム２においてもいくらかの光Ｌの減衰があり、その上、欠点３において光Ｌが減衰するため、目視すると光学フィルム２と欠点３とのコントラストがそれほど大きくならないからである。また、欠点３が輝点として検出されることにより、透明な異物等、透過検査および反射検査では検出し難い欠点３も容易に検出することができる。
【００３６】
さらに、光学フィルム２の全面に光Ｌが行き渡るように光Ｌを照射しても欠点３のみが輝点３Ｄとなって現れ、光学フィルム２と検出された欠点３とのコントラストが大きくなるため、視野を広げても見落とすことなく、光学フィルム２全体を一度に検査することができ、作業性を向上させることができる。
【００３７】
また、図１に示されるように、欠点３に照射された光Ｌは、欠点３において散乱することにより、欠点３の周囲も発光する（発光域３Ｌ）。透過検査や反射検査においては、散乱により欠点３の周囲が発光しても照射光と混じってしまうため、周囲の発光を検出することができない。これに対し、図１の検査においては、暗中に欠点３および欠点の周囲（発光域３Ｌ）が輝点３Ｄとなって現れるため、当該欠点３の実際の寸法より大きく見え、さらに容易に発見することができる。
【００３８】
なお、欠点３として１００μｍ以上の異物が混入している場合、欠点３の周囲に気泡が混入している場合がある。図４は本発明に係る検査により周囲に気泡が混入された異物を検出したときの検出結果を示す図である。図４に示すように、光学フィルム２に照射された光Ｌは、この気泡にぶつかっても乱反射を起こし、発光するため、異物単体が発光するよりも大きい輝点３Ｄとなって現れる。したがって、さらに容易に欠点３を発見することができる。
【００３９】
本実施の形態においては、図１に示すように、照射する前記光Ｌは、平行光であり、前記光学フィルム２の表面に対して平行に照射する。この場合、光Ｌが拡散したり集光したりすることのない平行光を光学フィルム２の表面に対して平行に照射する。これにより、光学フィルム２に均一に光Ｌを入射させることができ、欠点３による輝点３Ｄをよりはっきり浮かび上がらせることができるため、欠点３をより容易に発見することができる。
【００４０】
また、本実施の形態においては、光源１は、ランプ等の光源および当該ランプ等の光源から光学フィルムに至るまでのレンズやスリット等を含めた光学系を含めるものとする。光源１は、単一の光源からの光により照射してもよいし、複数の光源の集合体として形成してもよい。また、光学系の出力部として光ファイバを通過させてもよい。光ファイバは、通過光の減衰がきわめて少ないため、光源１を光学フィルム２に直接接近させずに離れた場所に設置した場合でも、有効に光Ｌを照射することができる。
【００４１】
さらに、本実施の形態においては、前記光学フィルム２の膜厚の中点と、前記光Ｌの光束の中点、すなわち、光源１の中心軸とを一致させる。この場合、光強度の強い部分が光学フィルム２に照射される。これにより、欠点３における輝点３Ｄの輝度が高くなるため、欠点３の位置をより容易に発見することができる。
【００４２】
本実施の形態においては、前記一致誤差は、前記光学フィルム２全体の膜厚の１０％以内となっている。
【００４３】
ところで、本実施の形態においては、前記光Ｌを前記光学フィルム２の膜厚の範囲内に照射させるための光漏れ抑止部材４を介して、前記光Ｌを前記光学フィルム２に照射する。図２は光漏れ抑止部材の取り付け例を示す光学フィルムの側面図である。本実施の形態においては、図２に示すように、光漏れ抑止部材４の両側から光源１と前記光学フィルム２とをそれぞれ光が漏れないように接続する。光源１から照射された光Ｌは、導光路５（空隙）を通じて漏れることなく光学フィルム２に導かれ、光学フィルム２の内部を照射する。このように、光学フィルム２に照射する光Ｌのうち、光学フィルム２の膜厚の範囲外へ照射されようとする光は、光漏れ抑止部材４により遮光される。このため、光Ｌが光学フィルム２の側面以外から照射されることなく、光学フィルム２の内部を照射する。
【００４４】
光源１からの光Ｌが光学フィルム２の表面に照射されると、光学フィルム２の全面が光ってしまい、輝点３Ｄとして検出される欠点３とのコントラストが低下するため、欠点３を判別することが困難となることがある。したがって、光源１からの光Ｌは、光学フィルム２の厚み方向に関して、当該厚み（約２００〜６００μｍ）より小さい寸法の光であることが好ましい。
【００４５】
上記のように、光学フィルム２の表面に光Ｌが照射されるのを抑止することにより、輝点３Ｄとして検出される欠点３を容易に判別することができる。
【００４６】
なお、図２に示す光漏れ抑止部材４は、軟質ゴムや軟質発泡材等により光学フィルム２および光源１の双方を上下に挟み込むように取り付けることによって形成されている。このため、光源１からの光Ｌを余すことなく光学フィルム２の内部に有効に照射することができるため、光学フィルム２の界面における欠点３の位置をより容易に検出することができる。
【００４７】
本実施の形態における光漏れ抑止部材４の代わりに、光学フィルム２の厚さ程度のスリット状の開口部を有する遮光板を用いてもよいし、光源１自体を光学フィルム２の厚み方向に関して当該光学フィルム２より小さい寸法の光束を有する平行光として用いてもよい。
【００４８】
本実施の形態において、前記光漏れ抑止部材４からの光漏れ量は、前記光Ｌの全光量の１パーセント以下となっている。
【００４９】
光源１は、光学フィルム２の対向する２辺に設けてもよいし、隣り合う２辺に設けてもよいし、光学フィルム２の４辺に全て設けてもよい。さらに、光源１は、光学フィルム２の１辺に対して１／２以上の横幅を有することが好ましく、光学フィルム２の１辺に等しい横幅を有することがさらに好ましい。光源１の横幅は、光学フィルム２の１辺に対して１／２以上の横幅を有する場合、一度に光学フィルム２全域をむらなく照射することができ、より容易に欠点３を検出することができる。
【００５０】
なお、上記実施の形態に示すような光学フィルムの検査の後に、透過検査や反射検査を行ってもよい。この場合、本実施の形態の光学フィルムの検査によって、光学フィルム２内の界面における欠点３を検出し、この検査を通過した光学フィルム２のみを透過・反射検査することにより、表面における欠点３を検出する。これにより、煩雑な作業を伴う透過検査・反射検査の頻度を少なく抑えることができるとともに、より漏れのない完全な検査を行うことができる。
【００５１】
上記のような光学フィルムの検査方法により、当該検査を人の手によらず機械的に処理することも可能となる。欠点３を輝点３Ｄとして検出し（図１参照）、画像処理する方が、欠点３を影３ｄとして検出し（図５参照）、画像処理するよりも位置検出を容易に行うことができるため、従来困難であった、機械的な自動検出も容易に行うことができる。
【００５２】
【発明の効果】
本発明に係るフィルムの検査方法によれば、フィルムの側面から光を照射することにより、欠点を輝点として検出することができるため、欠点が微小であっても容易に発見することができる。また、欠点が輝点として検出されることにより、透明な異物等、透過検査および反射検査では検出し難い欠点も容易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における検査方法を模式的に示すための光学フィルムの断面図である。
【図２】光漏れ抑止部材の取り付け例を示す光学フィルムの側面図である。
【図３】本発明に係る検査の結果および透過検査の結果を示す図である。
【図４】本発明に係る検査により周囲に気泡が混入された異物を検出したときの検出結果を示す図である。
【図５】透過検査を示す模式図である。
【図６】反射検査を示す模式図である。
【符号の説明】
２光学フィルム
３欠点
４光漏れ抑止部材
Ｌ光[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention is directed to detecting defects such as foreign matter and damage generated in films used in liquid crystal display devices and the like, for example, optical films such as polarizing films and retardation films (hereinafter sometimes simply referred to as optical films). The present invention relates to an inspection method and an inspection device.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In a liquid crystal display device, an optical film such as a polarizing film for controlling light entering and exiting for liquid crystal display is used. The optical film may have a structure in which a polarizing film, a protective film, a retardation film, and the like are laminated. In the stage of forming the laminated optical film, a defect may be caused by a foreign substance being mixed into the interface of the laminated optical film or being damaged.
[0003]
In order to detect such a defect, inspection by a transmission inspection and a reflection inspection has been conventionally performed. FIG. 5 is a schematic diagram showing a transmission inspection, and FIG. 6 is a schematic diagram showing a reflection inspection. In the transmission inspection, as shown in FIG. 5, a defect 3 is detected by irradiating light from one surface of the optical film 2 and detecting transmitted light L from the other surface (the direction of arrow D). When there is a defect 3 in the optical film 2, the defect 3 appears as a shadow 3d when viewed from the direction of arrow D. In the reflection inspection, as shown in FIG. 6, light La is irradiated from one surface of the optical film 2 at an angle, and the light is reflected without being refracted when viewed from the same surface (the direction of arrow D). The defect 3 is detected by detecting whether or not the defect 3 exists. When there is a defect 3 in the optical film 2, the light La applied to the defect 3 is refracted and reflected when viewed from the direction of the arrow D. It is not reflected in the same way as the part, and appears as a shadow 3d. By using these methods in combination, it is possible to detect the defect 3 and remove products that do not satisfy the predetermined criteria.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in recent years, in a liquid crystal panel such as a liquid crystal display device which has been increased in size, an optical film 2 such as a polarizing film used for the liquid crystal panel has been increasing in size. In addition, since the brightness and contrast of the liquid crystal panel for higher definition have also been improved, the optical film 2 contains defects 3 such as minute foreign matter of about 20 μm or less and damage, which were not a problem in the conventional liquid crystal panel. Has also affected the quality of liquid crystal panels, and has been viewed as a problem.
[0005]
In the transmission inspection and the reflection inspection, when the size of the defect 3 becomes 20 μm or less, it is close to the limit point of the visual resolution. Therefore, the detection result of the defect 3 has many variations due to a person such as a difference in the skill of a visual inspector. , The quality may not be stable. Further, the defect 3 to be detected is various depending on the type and size of the foreign matter or damage, and it is difficult to automatically adjust the determination of whether or not a predetermined standard is satisfied with the camera of the inspection apparatus. Yes, and cannot be easily detected.
[0006]
Furthermore, in the transmission inspection and the reflection inspection, since the presence or absence of the defect 3 is determined based on the shadow 3d of the defect 3, even if it is possible to determine the presence or absence of the defect 3, it is difficult to identify the location. There were many. If the entire surface of the optical film 2 is irradiated with the light L, it is possible to inspect the entire surface of the optical film 2 at once. However, since the contrast between the irradiated light L and the shadow 3d due to the defect 3 is low, the light is applied to the entire surface. Irradiation does not make it easy for a visual inspector to see, and it is easy to overlook defect 3 by widening the field of view, which is not preferable. Therefore, usually, light is partially irradiated and the optical film 2 is partially inspected, so that workability is deteriorated. In particular, this was remarkable for the large-sized optical film 2.
[0007]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the related art, and has as its object to provide a film inspection method and an inspection apparatus which can easily find a defect even if the defect is minute.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
A method for inspecting a film according to the present invention is a method for inspecting a film for detecting a defect generated in the film, and irradiates light from a side surface of the film and observes the film from the surface.
[0009]
First, the side of the film is irradiated with light. If the film has no defects such as foreign matter and damage, the light incident on the film goes straight through the inside of the film and passes through. At this time, when the film is viewed from the surface, almost no light can be seen. When the film has a defect such as a foreign substance or damage, the light incident on the film is irregularly reflected or scattered at the position where the defect exists. For this reason, defects appear as bright spots when viewed from the surface of the film. That is, the position of the defect is detected by observing from the surface of the film.
[0010]
As described above, by irradiating light from the side surface of the film, the defect can be detected as a bright spot, so that even a minute defect can be easily found. Specifically, defects appear as bright spots (in the dark) in a film where light is hardly visible, so that the contrast is greater than in transmission and reflection inspections. can do. In transmission and reflection inspections, there is some light attenuation in the film as well as light in the defect, so that the contrast between the film and the defect is not so great when viewed visually. Further, since the defect is detected as a bright spot, it is possible to easily detect a defect, such as a transparent foreign substance, which is difficult to detect by the transmission inspection and the reflection inspection.
[0011]
Furthermore, even if light is applied so that light spreads over the entire surface of the film, only the defect appears as a bright spot, and the contrast between the film and the detected defect increases, so that the field of view is not overlooked, The whole film can be inspected at once, and workability can be improved.
[0012]
Further, the light applied to the defect scatters at the defect, so that the area around the defect also emits light. In the transmission inspection and the reflection inspection, even if the periphery of the defect emits light due to scattering, it mixes with the irradiation light, so that the surrounding light emission cannot be detected. On the other hand, in the inspection according to the present invention, since the defect and the periphery of the defect appear as bright spots in the dark, the defect looks larger than the actual size of the defect and can be more easily found. Further, when bubbles are mixed around the defect, the bubbles also cause irregular reflection of light, resulting in a larger bright spot, and the defect can be found more easily.
[0013]
In addition, the inspection method according to the present invention is effective not only for defects generated in a laminated film but also for defects generated in a single-layer film.
[0014]
Preferably, the light to be irradiated is parallel light, and is irradiated in parallel to the surface of the film.
[0015]
In this case, the surface of the film is irradiated with parallel light that does not diffuse or condense light. Thereby, light can be uniformly incident on the film, unevenness of light can be prevented, and a bright spot caused by a defect can be more clearly emerged, so that the defect can be found more easily.
[0016]
Preferably, the midpoint of the film thickness of the film and the midpoint of the light flux of the light coincide with each other.
[0017]
In this case, a portion having a high light intensity is irradiated on the film. This increases the brightness of the bright spot at the defect site, so that the defect position can be found more easily.
[0018]
The matching error is preferably within 10% of the film thickness of the entire film.
[0019]
Preferably, the film is irradiated with the light via a light leakage suppressing member for irradiating the light within the range of the film thickness of the film.
[0020]
In this case, of the light applied to the film, the light that is to be applied outside the range of the film thickness is blocked by the light leakage suppressing member. For this reason, the inside of the film is irradiated without being irradiated with light from the side other than the side of the film.
[0021]
When light is applied to the surface of the film, the entire surface of the film is illuminated, and the contrast with the defect detected as a bright spot is reduced, so that it may be difficult to determine the defect. Therefore, it is preferable that the light from the light source is a light beam having a dimension smaller than the thickness in the thickness direction of the film.
[0022]
As described above, by suppressing the irradiation of light to the surface of the film, a defect detected as a bright spot can be easily determined.
[0023]
The light leakage suppressing member may be formed by attaching both the film and the light source vertically by a soft rubber or a soft foam material, or may have a slit-shaped opening having a thickness of about the film thickness. A light-shielding plate may be used, or the irradiated light beam itself may be used as a parallel light having a light beam smaller in size than the film in the film thickness direction by a lens or the like.
[0024]
Further, it is preferable that the amount of light leakage from the light leakage suppressing member is 1% or less of the total light amount of the light.
[0025]
Preferably, the film is formed by lamination.
[0026]
The inspection method according to the present invention is particularly effective in detecting a defect such as the intrusion of foreign matter or damage at the interface of the film generated in the process of laminating the film.
[0027]
Further, the film inspection apparatus according to the present invention is a film inspection apparatus for detecting a defect generated in the film using the above-described film inspection method, and for irradiating light from a side surface of the film. Light irradiation means, defect detection means for detecting a defect as a bright point from the surface of the film, and position calculation means for calculating and outputting the position of the defect detected by the defect detection means. is there.
[0028]
In the present invention, by irradiating light from the side of the film by the light irradiating means, the defect appearing as a bright spot is detected by the defect detecting means, and the position of the detected defect is specified by the position calculating means. I do.
[0029]
As described above, it is difficult to detect a defect as a bright point and perform image processing than to detect a defect as a shadow and perform image processing. Automatic detection can also be easily performed.
[0030]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of an optical film for schematically illustrating an inspection method according to an embodiment of the present invention.
[0031]
As shown in FIG. 1, the method for inspecting an optical film according to the present embodiment is a method for inspecting an optical film 2 for detecting a defect 3 generated in the optical film 2. The light L is irradiated and observed from the surface of the optical film 2.
[0032]
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the optical film 2 is formed by lamination, and contamination of foreign matter at the interface of the optical film 2 generated in the process of laminating the optical film 2 is prevented. This is particularly effective for detecting a defect 3 due to damage or the like. However, not only the defect 3 generated in the laminated optical film 2 but also the defect generated in the single-layer optical film produces an effect.
[0033]
First, light L is applied to the side surface of the optical film 2. In FIG. 1, light L is emitted from a light source 1. If there is no defect 3 such as foreign matter or damage on the optical film 2, the light L incident on the optical film 2 proceeds straight through the inside of the optical film 2 and penetrates. At this time, when the optical film is viewed from the surface, light is hardly seen (in the dark). When the optical film has a defect 3 such as a foreign matter or damage, the light L incident on the optical film 2 is irregularly reflected or scattered at the position where the defect 3 exists. That is, the defect 3 emits light (the light-emitting area 3L in FIG. 1). Therefore, the defect 3 appears as a bright spot 3D when viewed from the surface of the optical film 2 (the direction of arrow D). By observing this from the surface of the optical film 2, the position of the defect 3 is detected.
[0034]
FIG. 3 is a diagram showing a result of the inspection and a result of the transmission inspection according to the present invention. FIG. 3A is a diagram showing a result of the transmission inspection, and FIG. 3B is a diagram showing a result of the inspection according to the present invention. In the transmission inspection, as shown in FIG. 3A, the defect 3 is detected as a shadow. On the other hand, in the inspection according to the present invention, as shown in FIG. 3B, the defect 3 emerges as a bright spot.
[0035]
By irradiating the light L from the side surface of the optical film 2 as described above, the defect 3 can be detected as the bright spot 3D, so that even if the defect 3 is minute, it can be easily found. Specifically, since the defect 3 appears as a bright spot 3D (in the dark) in the optical film 2 in which light is hardly seen, the contrast becomes larger as compared with the transmission inspection and the reflection inspection. You can easily find it. In the transmission inspection and the reflection inspection, the light L is attenuated even in the optical film 2 and the light L is attenuated in the defect 3, so that the visual contrast between the optical film 2 and the defect 3 does not become so large. It is. Further, since the defect 3 is detected as a bright spot, it is possible to easily detect a defect 3 which is difficult to be detected by the transmission inspection and the reflection inspection, such as a transparent foreign substance.
[0036]
Further, even when the light L is irradiated so that the light L spreads over the entire surface of the optical film 2, only the defect 3 appears as a bright point 3D, and the contrast between the optical film 2 and the detected defect 3 increases. Even if the field of view is widened, the entire optical film 2 can be inspected at once without being overlooked, and the workability can be improved.
[0037]
Further, as shown in FIG. 1, the light L applied to the defect 3 is scattered at the defect 3 and also emits light around the defect 3 (light emission area 3L). In the transmission inspection and the reflection inspection, even if the periphery of the defect 3 emits light due to scattering, it mixes with the irradiation light, so that the surrounding light emission cannot be detected. On the other hand, in the inspection shown in FIG. 1, the defect 3 and the periphery of the defect (the light emitting area 3L) appear as bright spots 3D in the dark, so that the defect 3 looks larger than the actual size of the defect 3 and is more easily found. be able to.
[0038]
In addition, when a foreign substance having a size of 100 μm or more is mixed as the defect 3, bubbles may be mixed around the defect 3. FIG. 4 is a diagram showing a detection result when foreign matter with air bubbles mixed therein is detected by the inspection according to the present invention. As shown in FIG. 4, even when the light L irradiating the optical film 2 collides with the air bubbles, the light L causes irregular reflection and emits light, so that the light L appears as a bright spot 3D which is larger than that of a single foreign substance. Therefore, the defect 3 can be found more easily.
[0039]
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the light L to be irradiated is parallel light, and is irradiated parallel to the surface of the optical film 2. In this case, the surface of the optical film 2 is irradiated with parallel light without diffusing or condensing the light L. Thereby, the light L can be uniformly incident on the optical film 2 and the bright spot 3D due to the defect 3 can be more clearly emerged, so that the defect 3 can be found more easily.
[0040]
In the present embodiment, the light source 1 includes a light source such as a lamp and an optical system including a lens, a slit, and the like from the light source such as the lamp to the optical film. The light source 1 may be irradiated with light from a single light source, or may be formed as an aggregate of a plurality of light sources. Further, an optical fiber may be passed as an output unit of the optical system. Since the optical fiber has very little attenuation of passing light, the light L can be effectively emitted even when the light source 1 is installed at a remote place without directly approaching the optical film 2.
[0041]
Further, in the present embodiment, the midpoint of the film thickness of the optical film 2 and the midpoint of the light flux of the light L, that is, the central axis of the light source 1 are made to coincide. In this case, a portion having a high light intensity is irradiated on the optical film 2. Accordingly, the brightness of the bright spot 3D in the defect 3 is increased, so that the position of the defect 3 can be found more easily.
[0042]
In the present embodiment, the coincidence error is within 10% of the entire thickness of the optical film 2.
[0043]
By the way, in the present embodiment, the light L is applied to the optical film 2 via the light leakage suppressing member 4 for applying the light L to the thickness range of the optical film 2. FIG. 2 is a side view of the optical film showing an example of attachment of the light leakage suppressing member. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the light source 1 and the optical film 2 are connected from both sides of the light leakage suppressing member 4 so that light does not leak. Light L emitted from the light source 1 is guided to the optical film 2 without leaking through the light guide path 5 (gap), and irradiates the inside of the optical film 2. As described above, of the light L irradiated to the optical film 2, the light to be irradiated to the outside of the thickness range of the optical film 2 is blocked by the light leakage suppressing member 4. For this reason, the inside of the optical film 2 is irradiated without the light L being irradiated from other than the side of the optical film 2.
[0044]
When the light L from the light source 1 irradiates the surface of the optical film 2, the entire surface of the optical film 2 shines, and the contrast with the defect 3 detected as the bright spot 3D is reduced. It can be difficult. Therefore, the light L from the light source 1 is preferably light having a dimension smaller than the thickness (about 200 to 600 μm) in the thickness direction of the optical film 2.
[0045]
As described above, by preventing the surface of the optical film 2 from being irradiated with the light L, the defect 3 detected as the bright spot 3D can be easily determined.
[0046]
The light leakage suppressing member 4 shown in FIG. 2 is formed by attaching both the optical film 2 and the light source 1 vertically with soft rubber or a soft foam material. For this reason, since the light L from the light source 1 can be effectively irradiated to the inside of the optical film 2 without leaving, the position of the defect 3 at the interface of the optical film 2 can be more easily detected.
[0047]
Instead of the light leakage suppressing member 4 in the present embodiment, a light-shielding plate having a slit-shaped opening approximately equivalent to the thickness of the optical film 2 may be used, or the light source 1 itself may be used in the thickness direction of the optical film 2. The light may be used as parallel light having a light flux smaller than the optical film 2.
[0048]
In the present embodiment, the amount of light leakage from the light leakage suppressing member 4 is 1% or less of the total amount of the light L.
[0049]
The light sources 1 may be provided on two opposite sides of the optical film 2, may be provided on two adjacent sides, or may be provided on all four sides of the optical film 2. Further, the light source 1 preferably has a width equal to or more than に対して with respect to one side of the optical film 2, and more preferably has a width equal to one side of the optical film 2. When the width of the light source 1 is equal to or more than に対して with respect to one side of the optical film 2, it is possible to uniformly irradiate the entire area of the optical film 2 at once, and the defect 3 can be detected more easily. it can.
[0050]
Note that, after the inspection of the optical film as described in the above embodiment, a transmission inspection or a reflection inspection may be performed. In this case, the defect 3 at the interface in the optical film 2 is detected by the inspection of the optical film of the present embodiment, and only the optical film 2 that has passed this inspection is subjected to the transmission / reflection inspection. To detect. Accordingly, the frequency of the transmission inspection and the reflection inspection involving complicated operations can be reduced, and a complete inspection without leakage can be performed.
[0051]
According to the above-described optical film inspection method, the inspection can be performed mechanically without human intervention. Detecting the defect 3 as a bright point 3D (see FIG. 1) and performing image processing can detect the position of the defect 3 as a shadow 3d (see FIG. 5) more easily than performing image processing. Also, mechanical automatic detection, which has been difficult in the past, can be easily performed.
[0052]
【The invention's effect】
According to the method for inspecting a film according to the present invention, by irradiating light from the side of the film, the defect can be detected as a bright spot, so that even a minute defect can be easily found. Further, since the defect is detected as a bright spot, it is possible to easily detect a defect, such as a transparent foreign substance, which is difficult to detect by the transmission inspection and the reflection inspection.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of an optical film for schematically illustrating an inspection method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of an optical film showing an example of attaching a light leakage suppressing member.
FIG. 3 is a diagram showing a test result and a transmission test result according to the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing a detection result when a foreign substance in which bubbles are mixed is detected by the inspection according to the present invention.
FIG. 5 is a schematic view showing a transmission test.
FIG. 6 is a schematic diagram showing a reflection test.
[Explanation of symbols]
2 Optical film 3 Defect 4 Light leakage suppressing member L Light

Claims

A film inspection method for detecting a defect generated in the film,
A method of inspecting a film, comprising irradiating light from a side surface of the film and observing the film from the surface.

The film inspection method according to claim 1, wherein the light to be irradiated is parallel light, and the light is irradiated in parallel to a surface of the film.

The film inspection method according to claim 1, wherein a midpoint of the film thickness of the film and a midpoint of the light beam are matched.

The film according to any one of claims 1 to 3, wherein the light is applied to the film through a light leakage suppressing member for irradiating the light within a thickness range of the film. Inspection methods.

The method for inspecting a film according to any one of claims 1 to 4, wherein the film is formed by being laminated.

Using a film inspection method according to any one of claims 1 to 5, a film inspection apparatus for detecting a defect generated in the film,
Light irradiation means for irradiating light from the side of the film,
Defect detection means for detecting defects as bright spots from the surface of the film,
And a position calculating means for calculating and outputting the position of the defect detected by the defect detecting means.