JP2004148301A - 空洞パターンの形成方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、内部構造を制御することができる上に、乾燥工程も必要としない容易なプロセスで空洞パターンを得ることができる空洞パターンの形成方法を提供せんとするものである。
【解決手段】
本発明の空洞パターンの形成方法は、少なくとも下記(1)〜(3)の工程を含む手段によって、面内に空洞を含有するパターンを形成することを特徴とするものである。
(1)光重合性化合物、溶剤および光重合開始剤からなる液状塗剤を用いて、該光重合性化合物と該溶剤との相溶状態が温度によって変化する塗膜を形成する工程。
(2)該光重合性化合物と該溶剤とが相溶状態で、活性エネルギー線を照射して実質的に空洞を含有しない相を形成する工程。
(3)該光重合性化合物と該溶剤とが相分離状態で、活性エネルギー線を照射して塗膜を硬化させた後に、該塗膜中に分散している溶剤を揮発させることにより、空洞を含有する相を形成する工程。
【選択図】 なし
Description
(1)原料樹脂に熱発泡材を混練してシート化したのち、電子線等を照射することによって架橋後、加熱により発泡させる方法(例えば、特許文献1参照)。
(2)原料樹脂に光分解性化合物を添加し、基材上に塗布後、全面に活性エネルギー線を照射して分解させ発泡させる方法(例えば、特許文献2参照)。
(3)原料樹脂を良溶媒に溶解して、中空糸、フィルム等の任意の形状に成形し、得られた成形体を貧溶媒に浸漬させ、その際に生じる二相分離現象を利用する相転換法で得る方法(例えば、非特許文献1参照)。
(4)原料樹脂に、シリカ、アルミナ、無機塩類などの無機充填剤または非相溶の樹脂からなる粒子を加えて成形した後、得られた成形体を延伸し、樹脂と無機充填剤等との界面を剥離させて多孔化する界面剥離法による方法(例えば、特許文献3参照)。
(5)熱可塑性樹脂と、その熱可塑性樹脂に対し、室温付近では非溶剤だが高温では溶剤となる潜在的溶剤を加熱混合していったん相溶させた後、冷却固化することにより、樹脂相と溶剤相とに相分離させ、その後高温溶剤を抽出等により除去して多孔体を得る熱誘起相分離法を用いた方法(例えば、非特許文献2参照)。
(1)光重合性化合物、溶剤および光重合開始剤からなる液状塗剤を用いて、該光重合性化合物と該溶剤との相溶状態が温度によって変化する塗膜を形成する工程。
(2)該光重合性化合物と該溶剤とが相溶状態で、活性エネルギー線を照射して実質的に空洞を含有しない相を形成する工程。
(3)該光重合性化合物と該溶剤とが相分離状態で、活性エネルギー線を照射して塗膜を硬化させた後に、該塗膜中に分散している溶剤を揮発させることにより、空洞を含有する相を形成する工程。
(1)光重合性化合物、溶剤、光重合開始剤からなる液状塗剤を用いて、光重合性化合物と溶剤との相溶状態が温度によって変化する塗膜を形成する工程。
(2)該光重合性化合物と該溶剤とが相溶状態で、活性エネルギー線を照射して実質的に空洞を含有しない相を形成する工程。
(3)該光重合性化合物と該溶剤とが相分離状態で活性エネルギー線を照射して塗膜を硬化させた後に、分散する溶剤を揮発させることにより空洞を含有する相を形成する工程。
(A)光重合性化合物と溶剤との相溶−相分離状態を変化させること
(B)溶媒が光重合性化合物中に分散して相分離し、その形状を保持したままマトリックスだけが硬化すること(この部分が空洞相となる)
(C)光重合性化合物と溶剤とを相溶状態で硬化し透明相とすること
(D)最後に溶媒を揮発させて空洞化すること
である。
(a)まず、常温で光重合性化合物と溶剤が相溶した塗膜に、フォトマスクを介して活性エネルギー線を照射して照射部分を硬化させ、次いで未照射部分における溶剤を相分離させた状態で全面に活性エネルギー線を照射することにより全面を硬化し、さらに塗膜に含まれる溶剤を揮発させることにより、後で照射した部分のみ空洞化する方法である。
(b)次の方法は、常温で溶剤が光重合性化合物中に分散して相分離している塗膜に、フォトマスクを介して活性エネルギー線の照射により硬化し、次いで加熱により未照射部の光重合性化合物と溶剤とを相溶化した後に全面に活性エネルギー線を照射して全面を硬化させ、最後に溶剤を揮発させることにより、先に照射した部分のみ空洞を形成する方法である。
(c)常温で溶剤が光重合性化合物中に分散して相分離している塗膜を、相溶化した状態でフォトマスクを介して活性エネルギー線を照射して照射部分を硬化し、次いで未照射部分における溶剤を再度相分離させた後、全面に活性エネルギー線を照射して全面を硬化させ、さらに塗膜に含まれる溶剤を揮発させることにより後で照射した部分のみ空洞化する方法。
以上の工程により、簡便に空洞層が形成される。
このため、本発明のコーティング剤に添加する界面活性剤の種類により、溶剤の分散形態を容易に変化させることが可能となり、このコーティング剤を用いて作製した空洞含有層の内部構造を制御することができるようになる。
PETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”QT40 膜厚100μm)上に下記組成物1をブレードコーターを用いて、厚み80μmで塗布した。塗布後、塗膜面上にカバーフィルムとしてPETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”T60 膜厚100μm)を貼り合わせた。次いで、下記プロセス1に沿って求めるパターンを得た。
ポリエステルアクリレート 10 重量部
アロニックス8060(東亜合成(株)製)
N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド 1.75重量部
((株)興人 製)
水 2.5 重量部
光重合開始剤 0.05重量部
イルガキュア907(チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製)
上記組成物は混合後、30分静置したのち塗布した。静置後の組成物には相分離構造は見られず常温では相溶しており透明状態であった。
得られた塗膜のカバーフィルム側にフォトマスク(開口幅30μm、ピッチ1200μm、ストライプパターン)を置き、超高圧水銀灯を用いて100mJ/cm2露光した。次いで、フォトマスクを外し、カバーフィルムを付けたままフィルムを80℃で15秒間加熱した。この時、パターン未露光部分が白濁した。
実施例1の組成物において、水の添加量を1重量部(実施例2)、5重量部(実施例3)、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドの添加量を0.7重量部(実施例2)、3.5重量部(実施例3)とした以外は、実施例1と同様にして微細パターンを形成した。
PETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”QT40 膜厚100μm)上に下記組成物2をブレードコーターを用いて、厚み80μmで塗布した。塗布後、塗膜面上にカバーフィルムとしてPETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”T60 膜厚100μm)を貼り合わせた。次いで、下記プロセス2に沿って求めるパターンを得た。
ポリエステルアクリレート 10 重量部
アロニックス8060(東亜合成(株)製)
界面活性剤
ノイゲン ET−135(第一工業製薬(株)製) 1.25重量部
水 2.5 重量部
光重合開始剤 0.05重量部
イルガキュア651(チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製)
上記組成物は混合後、30分静置したのち塗布した。静置後の組成物には相分離構造は見られ白濁していた。
得られた塗膜のカバーフィルム側にフォトマスク(開口幅300μm、ピッチ1200μm)を置き、超高圧水銀灯を用いて200mJ/cm2露光した。次いで、フォトマスクを外し、カバーフィルムを付けたままフィルムを80℃で60秒間加熱した。この時、パターン未露光部分が透明化した。
PETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”QT40 膜厚100μm)上に下記組成物3をブレードコーターを用いて、厚み80μmで塗布した。塗布後、塗膜面上にカバーフィルムとしてPETフィルム(東レ(株)製“ルミラー”T60 膜厚100μm)を貼り合わせた。次いで、下記プロセス3に沿って求めるパターンを得た。
ポリエステルアクリレート 10 重量部
アロニックス8060(東亜合成(株)製)
界面活性剤
ノイゲン ET−143(第一工業製薬(株)製) 1.25重量部
水 1.25重量部
光重合開始剤 0.05重量部
イルガキュア651(チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製)
上記組成物は混合後、30分静置したのち塗布した。静置後の組成物は相分離して白濁している以外に、泡を噛み混んでいた。
得られた塗膜を80℃で60秒間加熱した。この時、塗膜は透明化していた。加熱状態を保ったまま、カバーフィルム側にフォトマスク(開口幅300μm、ピッチ1200μm)を置き、超高圧水銀灯を用いて200mJ/cm2露光した。次いで、塗膜を室温まで冷却したところ、未露光部が白濁した。冷却後、フィルム全面に200mJ/cm2露光し、カバーフィルムを外した後、常温で20分間真空乾燥することで求めるフィルムを形成した。
2 空洞
A パターン露光工程
B 加熱工程
C 全面露光工程
D 溶剤揮発工程
E 冷却工程
Claims (10)
- 少なくとも下記(1)〜(3)の工程を含む手段によって、面内に空洞を含有するパターンを形成することを特徴とする空洞パターンの形成方法。
(1)光重合性化合物、溶剤および光重合開始剤からなる液状塗剤を用いて、該光重合性化合物と該溶剤との相溶状態が温度によって変化する塗膜を形成する工程。
(2)該光重合性化合物と該溶剤とが相溶状態で、活性エネルギー線を照射して実質的に空洞を含有しない相を形成する工程。
(3)該光重合性化合物と該溶剤とが相分離状態で、活性エネルギー線を照射して塗膜を硬化させた後に、該塗膜中に分散している溶剤を揮発させることにより、空洞を含有する相を形成する工程。 - 常温で該光重合性化合物に該溶剤が相溶した塗膜に、フォトマスクを介して活性エネルギー線を照射して照射部分を硬化させ、次いで未照射部分を相分離させた状態で、全面に活性エネルギー線を照射することにより、全面を硬化し、さらに塗膜に含まれる溶剤を揮発させることにより、後で照射した部分のみ空洞化することを特徴とする請求項1記載の空洞パターンの形成方法。
- 常温で該光重合性化合物と該溶剤とが相分離している塗膜に、フォトマスクを介して活性エネルギー線の照射により硬化し、次いで未照射部を相溶化した後に全面に活性エネルギー線を照射して全面を硬化させ、最後に溶剤を揮発させることにより、先に照射した部分のみ空洞を形成する請求項1記載の空洞パターンの形成方法。
- 光重合性化合物と溶剤とが相分離している塗膜において、該光重合性化合物と該溶剤の、活性エネルギー線の照射波長領域における屈折率を実質的に整合させることを特徴とする請求項3記載の空洞パターンの形成方法。
- 光重合性化合物と溶剤とが相分離している塗膜において、光重合性化合物からなる相または溶剤からなる相に、屈折率調整剤を添加することにより屈折率を整合させることを特徴とする請求項4記載の空洞パターンの形成方法。
- 溶剤相に添加された屈折率調整剤が、常温で固体または活性エネルギー線の照射により固化するものであり、形成される空洞が入れ子構造である請求項5記載の空洞パターンの形成方法。
- 常温で該光重合性化合物と該溶剤とが相分離している塗膜を、相溶化した状態で、フォトマスクを介して活性エネルギー線を照射して照射部分を硬化し、次いで未照射部分を再度相分離させた後、全面に活性エネルギー線を照射して全面を硬化させ、さらに塗膜に含まれる溶剤を揮発させることにより後で照射した部分のみ空洞化することを特徴とする請求項1記載の空洞パターンの形成方法。
- 該液状塗剤および該塗膜が、界面活性剤を含有することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の空洞パターンの形成方法。
- 該溶剤が、水であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の空洞パターンの形成方法。
- 該溶剤が、有機溶剤を含有しないことを特徴とする請求項9記載の空洞パターンの形成方法。
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