JP2004132976A - Manufacturing method of optical device and testing device for defective determination for this - Google Patents

Manufacturing method of optical device and testing device for defective determination for this Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a testing device for determination of a display defect including display irregularity and the like to be appeared on a display surface of a plane display device and a manufacturing method of the plane display device using this which are capable of making determination of display irregularity and the like precisely and reliably without being affected by skill level and some difference of operation conditions. <P>SOLUTION: Variable density display patterns 21, 22 consisting of black dots of 30μm are printed on a transparent rectangular sheet 15. These variable density display patterns 21, 22 are respectively provided so that dot area occupation ratio becomes equal to each setting value from 3 to 45 percent and are used as a standard of density to compare with a display irregularity of a determined object or a candidate. A level of density of display irregularity and the like is determined whether it is visible or not in the case that the display irregularity of determination object is overlaid to cover the display irregularity of the determination object. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

 本発明は、平面表示装置等の光学デバイスの製造方法に関する。また、これに用いる検査具に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an optical device such as a flat panel display. Further, the present invention relates to an inspection tool used for this.

 近年、液晶表示装置等の平面表示装置は、薄型、軽量、低消費電力の特徴を生かして、パーソナル・コンピュータ、ワードプロセッサあるいはTV等の表示装置として、更に投射型の表示装置として各種分野で利用されている。 2. Description of the Related Art In recent years, flat display devices such as liquid crystal display devices have been used in various fields as display devices such as personal computers, word processors or TVs, and as projection display devices, taking advantage of the features of thinness, light weight, and low power consumption. ing.

 中でも、各画素電極にスイッチ素子が電気的に接続されて成るアクティブマトリクス型表示装置は、隣接画素間でクロストークのない良好な表示画像を実現できることから、盛んに研究・開発が行われている。 Among them, active matrix display devices in which a switch element is electrically connected to each pixel electrode are capable of realizing good display images without crosstalk between adjacent pixels, and are being actively researched and developed. .

 平面表示装置の製造にあたり、表示パネル本体の完成時または平面表示装置モジュールの完成時に、配線や導電パターンについての断線や短絡、並びに、ゴミや部分的な欠陥による輝度や色度のムラ等の表示欠陥を検出するための検査が行われる。一般には、上記信号線パッドおよび走査線パッドから所定の検査用信号を入力して画素の表示状態を観察することにより、断線や輝度ムラ等の欠陥を検出する検査が行われる。これのような検査は、光源装置を点灯させるというところから「点灯検査」と呼ばれている。 In the manufacture of flat panel display devices, when the display panel body or the flat panel display module is completed, wiring or conductive patterns are disconnected or short-circuited, and unevenness in brightness or chromaticity due to dust or partial defects is displayed. An inspection is performed to detect a defect. In general, an inspection for detecting a defect such as a disconnection or luminance unevenness is performed by inputting a predetermined inspection signal from the signal line pad and the scanning line pad and observing a display state of a pixel. Such an inspection is called "lighting inspection" because the light source device is turned on.

 表示パネルの点灯検査の際に、CCDカメラ及び画像処理機構を備えた自動装置を用いることが種々提案されている(例えば特開平8−145848,特開平11−101712)。しかし、点灯検査において、断線、短絡や明確な黒点(滅点)等の検出及び判定が容易であるのに対して、スポット状等の領域で輝度が周囲より低くなる輝度ムラ(濃淡ムラ)について、許容範囲であるかどうか等の判定は、比較的困難であった。そのため、現状では、微妙な表示ムラの検出や判定の能率や精度において、熟練検査員による目視検査に及ばない場合が多い。 Various proposals have been made to use an automatic device equipped with a CCD camera and an image processing mechanism for lighting inspection of a display panel (for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 8-145848 and 11-101712). However, in the lighting inspection, it is easy to detect and determine a disconnection, a short circuit, a clear black spot (dark spot), and the like. It was relatively difficult to determine whether the value was within the allowable range. For this reason, under the present circumstances, the efficiency and accuracy of detecting and judging subtle display unevenness often fall short of a visual inspection by a skilled inspector.

 表示面に表れる輝度ムラの程度(濃さ)や数を評価することにより、出荷可能は良品パネルと、そうでない不良品パネルとに判別するのであるが、これには、一般に、高度の熟練を要し、熟練度の低い検査員では、かなりの判定エラーを生じることとなっていた。 By evaluating the degree (density) and the number of luminance unevenness appearing on the display surface, it is possible to determine whether the panel can be shipped from a non-defective panel or from a defective panel, but generally requires a high level of skill. In short, an inspector with a low level of skill would generate a considerable judgment error.

 不良判定のための輝度ムラについての目視検査は、一般に、下記のいずれかの方法により行われる。 目 Visual inspection for luminance unevenness for defect determination is generally performed by one of the following methods.

 (1) 比較用の基準として、特定の濃さのムラが発生している表示パネルであって、許容限度を少し越えているもの(不良品の限度見本)、または、かろうじて許容限度内であるもの(良品の限度見本)を用いる。すなわち、これらの限度見本と検査対象の表示パネルとを比較することで良品・不良品の判定を行う。 (1) As a reference for comparison, a display panel in which unevenness of a specific darkness has occurred and which slightly exceeds the allowable limit (a sample of defective products) or is barely within the allowable limit Use a good sample (limit sample of good products). That is, the non-defective / defective product is determined by comparing these limit samples with the display panel to be inspected.

 (2) 特定の透過率のNDフィルタ(Neutral Density filter)を表示面上の表示ムラの個所に重ね合わせて、表示ムラが見えるかどうかの判別を行う。見えない場合には許容限度内として良品と判定し、見える場合には不良品と判定する。 (2) An ND filter (Neutral Density filter) having a specific transmittance is superimposed on a portion of the display unevenness on the display surface to determine whether or not the display unevenness is visible. If it cannot be seen, it is judged to be within the allowable limit, and it is judged to be good. If it can be seen, it is judged to be defective.

 (3) 点灯検査装置から表示パネルに入力する信号を工夫し、表示面上に特定の濃さの表示ムラを表示させる。すなわち、表示ムラと同様のパターンを、特定のソフトウェアを用いて表示面に表す。そして、これと比較することにより、表示パネルの表示ムラが許容限度内の濃さであるかどうかを判定する。
特開平8−145848号公報 特開平11−101712号公報
(3) A signal input from the lighting inspection device to the display panel is devised so that display unevenness of a specific density is displayed on the display surface. That is, the same pattern as the display unevenness is expressed on the display surface using specific software. By comparing with this, it is determined whether or not the display unevenness of the display panel is within the allowable limit.
JP-A-8-145848 JP-A-11-101712

 上記のような従来の表示ムラ判定方法には、それぞれ、次のような問題点があった。 従 来 Each of the conventional display unevenness determination methods as described above has the following problems.

 (1) 表示パネルの現物を限度見本として用いる方法
 特定の濃さのムラを有する表示パネルを用いる必要があるが、そのような適当なものの存在確率は低い。
(1) Method of using the actual display panel as a limit sample It is necessary to use a display panel having unevenness of a specific density, but the existence probability of such a suitable one is low.

 また、効率的な検査を行うためには、表示パネルを駆動させるための装置を2台並べて設置する必要がある。駆動装置が1台しかない場合には、一旦、限度見本としての表示パネルをセットして点灯表示させた後、判定対象の表示パネルをセットして、記憶に頼って比較するという作業が必要となる。そのため、かなりの熟練を要し、判定エラーの可能性も増すこととなる。 (4) In order to perform an efficient inspection, it is necessary to arrange two devices for driving the display panel side by side. If there is only one drive device, it is necessary to set a display panel as a limit sample, light it up, set the display panel to be determined, and compare it with memory. Become. Therefore, considerable skill is required, and the possibility of a judgment error increases.

 さらに、限度見本用の表示パネルに表れる表示ムラが、経時的に薄くなって行く場合が少なからずある。そのため、一定時間おきに、表示ムラの濃さを確認するという確認管理の業務が発生する。 Furthermore, the display unevenness appearing on the display panel for the limit sample often decreases with time. Therefore, a check management task of checking the density of display unevenness occurs at regular intervals.

 (2) NDフィルターを用いる判定
 NDフィルターを用いる判定では、作業場所の環境照明の影響を強く受けるので、照度管理を厳密に行う必要がある。
(2) Judgment using ND filter Judgment using the ND filter is strongly affected by the environmental lighting at the work place, so it is necessary to strictly control the illuminance.

 また、一般に市販されているNDフィルターは、透過率のばらつきが大きい。そのため、照度管理を厳密に行ったとしても、透過率のバラツキに起因する判定のバラツキが生じてしまう。 N In addition, commercially available ND filters have large variations in transmittance. For this reason, even if the illuminance management is strictly performed, there is a variation in the determination due to the variation in the transmittance.

 (3) 表示ムラ類似のパターンをソフト的に表示する方法
 通常の液晶パネル等の表示パネルにおいては、表示面に対する視線の角度(視角)により、濃淡が鋭敏に変化してしまう。
(3) Method of displaying a pattern similar to display unevenness by software In a normal display panel such as a liquid crystal panel, the shading changes sharply depending on the angle of the line of sight (viewing angle) with respect to the display surface.

 本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、光学デバイスの主面に表れる光学ムラの欠陥判定の判定精度を向上させることができる光学デバイスの製造方法および検査具を提供するものである。 The present invention has been made in view of the above problems, and provides an optical device manufacturing method and an inspection tool that can improve the accuracy of determining the defect of optical unevenness appearing on the main surface of an optical device. .

 本発明の検査具は、平面表示装置の表示面に表れる表示ムラの濃さを判定するのに用いる検査具であって、透明なシートまたはフィルムの上に、寸法が40μm以下のドットからなる濃淡表示パターンを設けたことを特徴とする。 The inspection tool of the present invention is an inspection tool used for determining the density of display unevenness appearing on the display surface of a flat panel display device, and is formed on a transparent sheet or film by shading of dots having a size of 40 μm or less. A display pattern is provided.

 上記構成により、熟練度や多少の作業条件の違いに左右されることなく、高い精度及び信頼度にて判定を行うことができる。 With the above configuration, the judgment can be made with high accuracy and reliability without being influenced by the skill level or slight differences in working conditions.

 好ましくは、前記濃淡表示パターンが一枚のシートまたはフィルム上に複数並列され、これらは面積当たりのドット部分の占有率が互いに異なる。 Preferably, a plurality of the gray scale display patterns are arranged in parallel on one sheet or film, and these have different occupancy rates of dot portions per area.

 このような構成であると、濃さの判定を迅速に行うことができる。 と With such a configuration, the determination of the density can be performed quickly.

 また、さらに好ましくは、表示ムラの径または幅を計測するための、複数の幅のスリットパターンまたは線、または複数の径の抜きパターンまたはベタパターンが、前記透明なシートまたはフィルム上に、併せて設けられる。 In addition, more preferably, for measuring the diameter or width of the display unevenness, a plurality of width slit pattern or line, or a plurality of diameter punching pattern or solid pattern, on the transparent sheet or film, together. Provided.

 このような構成であると、表示ムラの径または幅についても、濃さを判定するのとほぼ同時に、容易に評価することができる。 With such a configuration, the diameter or width of the display unevenness can be easily evaluated almost simultaneously with the determination of the density.

 本発明の平面表示装置の製造方法は、表示パネルの周縁部に駆動回路系統を実装する前または後に、該表示パネルを動作させて表示欠陥を検査する点灯検査を行い、該点灯検査において、表示ムラを検出するとともに、検出された表示ムラが濃さまたは寸法の観点から許容範囲内であるかを判定するための判定操作を行う、平面表示装置の製造方法において、透明なシートまたはフィルムの上に、寸法が40μm以下のドットからなる濃淡表示パターンを設けたものを予め用意し、前記濃淡表示パターンを前記表示ムラと比較対照して濃淡レベルが同等であるかもしくは大小関係にあるかを判別することにより該表示ムラの濃さを判定するか、または、前記濃淡表示パターンでもって覆ったときに該表示ムラが視認可能であるかどうかを判別することにより該表示ムラの濃さを判定することを特徴とする。 The method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention includes, before or after mounting a driving circuit system on a peripheral portion of the display panel, performing a lighting inspection for inspecting a display defect by operating the display panel. In the method of manufacturing a flat display device, the unevenness is detected and a determination operation is performed to determine whether the detected display unevenness is within an allowable range in terms of density or dimensions. In advance, a pattern provided with a gray scale display pattern composed of dots having a size of 40 μm or less is prepared in advance, and the gray scale display pattern is compared with the display unevenness to determine whether the gray scale levels are equal or in a magnitude relation. To determine the density of the display unevenness, or determine whether the display unevenness is visible when covered with the grayscale display pattern. And judging the density of the display unevenness by.

 光学ムラの欠陥判定の精度を格段に向上させることができる。 (4) The accuracy of defect determination of optical unevenness can be remarkably improved.

 本発明に用いる検査具は、光透過性を有し、無色透明なシートまたはフィルムの上に、例えば寸法が40μm以下のドットの集合体からなる濃度パターンを設けたものである。 検 査 The test tool used in the present invention is a light-transmissive, colorless and transparent sheet or film provided with a density pattern composed of, for example, an aggregate of dots having a size of 40 μm or less.

 ベースとなるシートまたはフィルム(以降、厚みの小さいものをも含めてシートという)としては、適当な透明度(光透過率及びヘイズ)及び耐久性を備えているものならば、いずれも使用可能である。好ましいものとしては、ポリメチルペンテン樹脂等のオレフィン系樹脂、PET(ポリエチレンテレフタレート)やポリエチレンナフタレートといった飽和ポリエステル系樹脂、メタクリル樹脂やアクリル系樹脂等から成る、厚さ50〜500μmのシートを挙げることができ、無色透明であることが望ましい。濃度パターンのベースとして無色透明なシートを用いれば、絶対的な濃さではなく、被検査物の下地色に対する光学ムラの程度を検査することが可能となる。 As a base sheet or film (hereinafter, also referred to as a sheet including a sheet having a small thickness), any sheet having appropriate transparency (light transmittance and haze) and durability can be used. . Preferable examples include a sheet having a thickness of 50 to 500 μm made of an olefin resin such as polymethylpentene resin, a saturated polyester resin such as PET (polyethylene terephthalate) or polyethylene naphthalate, a methacrylic resin or an acrylic resin. And it is desirable that it be colorless and transparent. If a colorless and transparent sheet is used as the base of the density pattern, it is possible to inspect not the absolute density but the degree of optical unevenness of the inspected object with respect to the underlying color.

 このベースとなる透明シート上に、複数の濃度パターンがフォトリソグラフィー等の一般的な印刷方法により設けられる。ベースの透明シートには、必要に応じて、印刷適性を改善するための処理が予め施される。また、場合によっては、インクジェット描画法や、オフセットといった方法で、濃度パターンを設けることも可能である。 (4) A plurality of density patterns are provided on the transparent sheet as a base by a general printing method such as photolithography. The base transparent sheet is subjected in advance to a process for improving printability as needed. In some cases, the density pattern can be provided by an inkjet drawing method or an offset method.

 各濃度パターンは、好ましくは、互いに非連続の円形または矩形状等のドット(網点)が均等に分布したものであり、パターン配置個所の面積に対するドット部分の占有率を違えることにより各レベルの濃淡を表現する。このドットは、市松模様等であっても良い。 Each density pattern is preferably one in which dots (halftone dots) of discontinuous circular or rectangular shapes are uniformly distributed, and the occupancy of the dot portion with respect to the area of the pattern arrangement location is different, so that each level of each density pattern is different. Expresses light and shade. This dot may be a checkered pattern or the like.

 濃度パターンをなすドットは、好ましくは黒色であり、寸法が40μm以下、好ましくは20〜35μmである。寸法が40μmを越えると、場合によりモアレパターンといった干渉縞が表れて表示に悪影響を与えるおそれがある。一方、20μmより微小な寸法では、印刷等により濃度パターンを形成するためのコストが上昇するため好ましくない。また、このように寸法を小さくしても性能上のメリットがない。 The dots forming the density pattern are preferably black and have a size of 40 μm or less, preferably 20 to 35 μm. If the size exceeds 40 μm, interference fringes such as a moire pattern may appear and adversely affect the display. On the other hand, a size smaller than 20 μm is not preferable because the cost for forming a density pattern by printing or the like increases. Further, there is no merit in performance even if the size is reduced in this way.

 また、本発明は少なくとも1つの濃度パターンを有すればよいが、好ましくは複数の異なる濃度レベルの濃度パターンが形成される。光学ムラの許容値が常に変動しない場合には、それに合せた濃度レベルの濃度パターンを少なくとも1つ設ければよいが、場合によって許容値が変更になる場合があり、それに合せた複数の濃度パターンを備えていることが望ましい。また、所定の濃度間隔で複数の濃度レベルの濃度パターンを形成してもよく、光学ムラの程度を把握するための尺度とすることができる。また、複数の濃度パターンを形成する場合、各濃度パターンの配列順所は、濃度レベルの順序に合せて配列することが望ましい。これにより、どのレベル範囲に含まれているかを判断することが可能となる。ここでは、許容値付近の濃度レベルについては1%〜2%刻みの濃度間隔の濃度パターンを配列し、45%にいたるまでの濃度間隔は5%刻みとしている。 The present invention may have at least one density pattern. Preferably, a plurality of density patterns having different density levels are formed. If the allowable value of the optical unevenness does not always fluctuate, it is sufficient to provide at least one density pattern of a density level corresponding to the optical density unevenness. It is desirable to have. Also, density patterns of a plurality of density levels may be formed at predetermined density intervals, and can be used as a scale for grasping the degree of optical unevenness. When a plurality of density patterns are formed, it is desirable that the order of arrangement of the density patterns be arranged in accordance with the order of the density levels. This makes it possible to determine which level range is included. Here, density patterns with density intervals of 1% to 2% are arranged for density levels near the allowable value, and density intervals up to 45% are set in 5% increments.

 検査具をこのように形成することにより、複数の異なる濃度レベルを有する検査具を用いて検査する場合と比べ、より容易に検査を行うことが可能となる。また、光学ムラ不良の有無の判断だけでなく、その程度を管理することが可能となる。 By forming the inspection tool in this way, the inspection can be performed more easily as compared with the case where the inspection is performed using a plurality of inspection tools having different density levels. Further, it is possible to manage not only the presence / absence of the optical unevenness defect but also the degree thereof.

 本発明の検査具には、好ましくは、光学ムラ、ここでは表示ムラの寸法の測定または判定を行うためのパターンが、併せて設けられる。具体的には、一定幅のスリットをなすパターンまたは一定幅の線分により設けられるか、或いは、ベタパターン中の所定の径の矩形状もしくは円形状の抜きパターン、または所定径の矩形状もしくは円形状のベタパターンにより、寸法決定用のパターンが設けられる。 検 査 The inspection tool of the present invention is preferably provided with a pattern for measuring or determining the size of optical unevenness, here, display unevenness. Specifically, it is provided by a pattern forming a slit of a fixed width or a line segment of a fixed width, or a rectangular or circular cut pattern of a predetermined diameter in a solid pattern, or a rectangular or circular pattern of a predetermined diameter. A pattern for dimension determination is provided by the solid pattern of the shape.

 本発明の検査具を用いた光学ムラの判定は、光学ムラまたはその候補を検出した後、所定の濃度パターンと比較対照して、濃さが同等であるかどうか等を調べることで行うことができる。 The determination of optical unevenness using the inspection tool of the present invention can be performed by detecting optical unevenness or a candidate for the optical unevenness, comparing the optical unevenness with a predetermined density pattern, and checking whether or not the density is equivalent. it can.

 例えば、図3に示すように、表示ムラの寸法ごとに許容可能な濃さが設定されている場合には、その所定レベルの濃度パターンに比べて、同等以下の濃さであるか、またはこれより濃さが強いかどうかを判別し、これにより、問題となる程度の表示ムラを特定する。そして、このような表示ムラの表示パネルあたりの個数が、許容限度を超える場合に不良と判定することができる。または、あるレベル以上の濃さの表示ムラの数と、寸法や濃さのレベルにより決まる係数とを掛けあわせた値が、設定許容値を超えるかどうかにより、表示パネルが不良であるかどうかを決定することもできる。 For example, as shown in FIG. 3, when an allowable density is set for each dimension of display unevenness, the density is equal to or lower than the density pattern of the predetermined level, or It is determined whether or not the density is higher, and thereby, display non-uniformity that causes a problem is specified. If the number of such display unevenness per display panel exceeds the allowable limit, it can be determined that the display is defective. Alternatively, whether the display panel is defective is determined by whether or not the value obtained by multiplying the number of display irregularities having a density equal to or higher than a certain level by a coefficient determined by the dimension and the density level exceeds a set allowable value. You can also decide.

 この際の比較対照にあたり、図4に示すように、光学デバイスの光出射面となる主面上に検査具を載置し、適当な濃度パターンが該表示ムラの隣に来るようにシート状の検査具を配置することにより、容易に判定を行うことができる。特には、濃淡ゲージとして、濃さのレベルが段階的に異なる複数濃度パターンを、例えばレベルの順に一列に並べて置くことにより、一連の濃度パターンを順次、判定対象の表示ムラの隣に置いて比較することができ、判定操作を容易に行うことができる。しかも、極めて迅速に行うことが可能である。 In this case, as shown in FIG. 4, an inspection tool is placed on the main surface of the optical device, which is a light emitting surface, and a sheet-like sheet is placed so that an appropriate density pattern is adjacent to the display unevenness. By arranging the inspection tool, the judgment can be made easily. In particular, as a density gauge, by arranging a plurality of density patterns having different levels of density stepwise, for example, in a line in the order of the levels, a series of density patterns are sequentially placed next to the display unevenness to be determined and compared. And the determination operation can be easily performed. Moreover, it can be performed very quickly.

 上記のような比較対照による判定に代えて、前記濃度パターンを判定対象の表示ムラの上に重ね合わせて、該表示ムラが視認可能であるかどうかにより、表示ムラの濃さの判定を行うこともできる。この場合も、濃さのレベルが段階的に異なる濃度パターンの列により、順次、重ね合わせを行うことで、容易かつ迅速に判定の操作を行うことができる。 Instead of the above-described comparison and comparison, the density pattern is superimposed on the display unevenness to be determined, and the display unevenness is determined based on whether or not the display unevenness is visible. You can also. Also in this case, the judgment operation can be performed easily and quickly by sequentially superimposing the image data on the rows of the density patterns having different density levels in a stepwise manner.

 比較対照または被覆による判定は、作業者が肉眼、ルーペまたは実体顕微鏡を通じて観察することにより行うことができる。場合によっては、画像解析を用いた自動装置により、被覆状態での視認可能性等を判別することも可能である。 判定 The judgment by the comparison control or the coating can be made by the operator observing with the naked eye, a loupe or a stereoscopic microscope. In some cases, it is possible to determine the visibility and the like in the covered state by an automatic device using image analysis.

 このような表示ムラの検査は、表示パネル本体を組み立てた後、TCP(テープキャリアパッケージ)や駆動PCBを組み付ける前、または後(すなわち表示パネルの完成後)に、点灯検査により行うことができる。場合により、バックライト装置等を組み付けた後に行うこともできる。 表示 Such display unevenness inspection can be performed by lighting inspection after assembling the display panel main body and before or after assembling a TCP (tape carrier package) or a driving PCB (that is, after completion of the display panel). In some cases, it can be performed after a backlight device or the like is assembled.

 なお、平面表示装置におけるアレイ基板や対向基板の作製は、例えば、特開平9-160076号や特開2000-267595号、または、特開2000-330484や特開2001-339070に記載の方法によって行うことができる。 Note that the manufacture of an array substrate or a counter substrate in a flat display device is performed, for example, by the method described in JP-A-9-160076 or JP-A-2000-267595, or JP-A-2000-330484 or JP-A-2001-339070. be able to.

 本発明の検査具及び検査方法は、液晶表示装置に限らず、有機EL型の表示装置等にも用いることができる。また、濃淡レベルまたは濃さの判定は、白表示の場合の輝度のレベルのみならず、特定の色表示を行ったときの濃淡レベル等について行うことも可能である。この場合、濃度パターンのドットは、その特定色のパターンとして設けられてもよい。 The inspection tool and the inspection method of the present invention can be used not only for a liquid crystal display device but also for an organic EL display device and the like. In addition, the determination of the gray level or the density can be performed not only for the luminance level in the case of white display but also for the gray level in the case of performing a specific color display. In this case, the dots of the density pattern may be provided as a pattern of the specific color.

 また、本実施形態のように、黒色ドットを用いる場合には、中間調の灰色表示状態で検査することが望ましい。 In the case where a black dot is used as in the present embodiment, it is desirable to perform the inspection in a halftone gray display state.

 検出及び判定の対照の表示ムラとして、一義的には異物によるものが想定されるが、発生の原因に限らず、表示面上に同様な具合に表れるものであれば良く、特には、スポット状に限らず、線状等のものであっても良い。 As the display unevenness of the detection and judgment contrast, it is supposed that the display unevenness is primarily caused by a foreign substance. However, the shape is not limited to a linear shape.

 次に、本発明の具体的な実施例について図1〜2及び表1〜2を用いて説明する。 Next, specific examples of the present invention will be described with reference to FIGS.

 まず、実施例の検査具について、図1〜2を用いて説明する。 First, an inspection tool according to an embodiment will be described with reference to FIGS.

 図1に示すように、検査具1は、長方形の透明シート15上の右半部に、表示ムラの濃さを決定するための濃淡ゲージ2が設けられ、左半部に、該表示ムラの概略寸法を測定するための寸法ゲージ3が設けられている。 As shown in FIG. 1, the inspection tool 1 is provided with a shade gauge 2 for determining the density of the display unevenness on the right half part of the rectangular transparent sheet 15, and the display half of the display unevenness is provided on the left half part. A dimension gauge 3 for measuring the approximate dimensions is provided.

 濃淡ゲージ2は、各レベルの濃さ(輝度レベル)を表示する、スクリーントーン状の印刷パターン(濃度パターン21,22)が、縦に配列されたものである。具体的には、5mm角の正方形の濃度パターン21と、この右方の直径0.5mmの円形状の濃度パターン22との対からなる、各レベルの濃さのパターンが、縦方向に配列されたものである。これら濃度パターン21,22の対は、ドットの面積占有率が3〜45%の9段階に設定されて、手前側へと昇順に並べられている。 The shade gauge 2 is a vertically arranged screen tone print pattern (density patterns 21 and 22) for displaying the density (luminance level) of each level. Specifically, a pattern of each level of density, which is a pair of a square density pattern 21 having a square of 5 mm and a circular density pattern 22 having a diameter of 0.5 mm on the right side, is arranged in the vertical direction. It is a thing. The pairs of the density patterns 21 and 22 are arranged in nine steps with the dot area occupancy of 3 to 45%, and are arranged in ascending order toward the near side.

 図2には、ドットの面積占有率が3%である濃度パターン21,22の対と、ドットの面積占有率が45%である濃度パターン21,22の対とについて、ドット構成を模式的に示す。図2に示すように、濃度パターン21,22をなす各ドットは、実施例において、いずれも独立の円形状である。なお、各ドットの径は全て30μmに統一されている。 FIG. 2 schematically shows a dot configuration of a pair of density patterns 21 and 22 having a dot area occupancy of 3% and a pair of density patterns 21 and 22 having a dot area occupancy of 45%. Show. As shown in FIG. 2, each dot forming the density patterns 21 and 22 has an independent circular shape in the embodiment. Note that the diameter of each dot is all 30 μm.

 なお、濃度パターン21の左方には、ドット面積占有率の数値を表示する文字印刷23が施されている。 文字 To the left of the density pattern 21, a character print 23 for displaying the numerical value of the dot area occupancy is applied.

 このように各濃度レベルの濃度パターンにおいて、そのパターン輪郭が正方形パターンと円形状のパターンを形成したことにより、ムラの形状や程度によって適切な大きさ、パターンの濃度パターンを用いて検査することができ、検査精度を向上させることができる。 As described above, in the density pattern of each density level, the pattern outline has a square pattern and a circular pattern, so that it is possible to inspect using a density pattern of an appropriate size and pattern depending on the shape and degree of unevenness. The inspection accuracy can be improved.

 一方、透明シート15の左側に設けられる寸法ゲージ3は、表示ムラの寸法を迅速に評価・計測するために、各段階の寸法を表すパターンが配列されたものである。具体的には、0.03〜0.70mmの範囲の16段階に設定された寸法ごとに、一組の寸法表示用のパターン31〜34が設けられ、これらが縦方向に配列されている。 On the other hand, the dimension gauge 3 provided on the left side of the transparent sheet 15 is an array of patterns representing the dimensions at each stage in order to quickly evaluate and measure the dimensions of the display unevenness. Specifically, a set of dimension display patterns 31 to 34 is provided for each dimension set in 16 steps in the range of 0.03 to 0.70 mm, and these are arranged in the vertical direction.

 寸法値ごとに一組の寸法表示用のパターンは、それぞれ、矩形ドット状のパターン31と、この右側に位置する直線状パターン32とを含む。さらには、これらパターン31,32の手前側に配置され、これらパターン31,32の白黒を反転したような、抜きドットパターン33、及び抜き直線パターン(スリットパターン)とを含む。なお、各組の寸法表示用パターン31〜34の左側には、寸法を表示する文字印刷35が施されている。 A set of dimension display patterns for each dimension value includes a rectangular dot pattern 31 and a linear pattern 32 located on the right side thereof. Further, it includes a cut dot pattern 33 and a cut straight line pattern (slit pattern) which are arranged on the front side of these patterns 31 and 32 and are obtained by inverting the black and white of these patterns 31 and 32. Note that a character print 35 for displaying dimensions is provided on the left side of each set of dimension display patterns 31 to 34.

 寸法ゲージ3による表示ムラの寸法の測定をする場合には、矩形状のドット31または直線パターン32が、測定対象の表示ムラの直ぐ隣に来るように、検査具1を配置する。そして、このような操作を順次行うことにより、同等の寸法のものを見つけだしたときに、その左の文字印刷35に示された寸法を表示ムラの寸法として記録する。表示ムラの寸法の測定は、該表示ムラが抜きパターン33またはスリットパターン34中に「填り込む」ように検査具1を配置するといった操作により同様に行うこともできる。 When measuring the size of the display unevenness using the dimension gauge 3, the inspection tool 1 is arranged so that the rectangular dots 31 or the linear patterns 32 are immediately adjacent to the display unevenness to be measured. By successively performing such operations, when an equivalent-sized one is found, the size shown in the character print 35 on the left is recorded as the size of the display unevenness. The measurement of the size of the display unevenness can be similarly performed by an operation such as arranging the inspection tool 1 such that the display unevenness “fills” into the blank pattern 33 or the slit pattern 34.

 表1〜2には、実施例の検査具を用いる方法の効果等についての評価結果を示す。 Tables 1 and 2 show the evaluation results on the effects and the like of the method using the test tool of the example.

 表1には、熟練度の異なる5人の検査員により、10個の表示パネルサンプルについて所定の短時間内に良品・不良品の判定を行った場合の判定正解率の平均値について示す。また、良品を不良品とした誤判定した良品誤判定率(オーバーキル)、及び不良品を良品と誤判定した不良品誤判定率(アンダーキル)をも同様に示す。また、同一の条件で、従来技術に係る「限度見本」を用いた結果について試験を行い、表1中に、比較例としてまとめて示した。
 表1の結果から知られるように、「限度見本」を用いる従来技術に比べて、オーバーキルが20%→2%と極めて顕著に減少し、この結果、判定正解率も大きく向上した。
Table 1 shows the average value of the rate of correct answer when 10 display panel samples were judged as good or defective within a predetermined short time by five inspectors having different skill levels. Similarly, the non-defective product erroneous determination rate (overkill) in which a non-defective product is erroneously determined as a defective product and the defective product erroneous determination rate (underkill) in which a defective product is erroneously determined as a non-defective product are also shown. In addition, under the same conditions, a test was performed on the results using the “limit sample” according to the related art, and the results are collectively shown in Table 1 as comparative examples.
As can be seen from the results in Table 1, the overkill significantly decreased from 20% to 2% as compared with the conventional technique using the "limit sample", and as a result, the accuracy rate of judgment was greatly improved.

 なお、表1には示さないが、実施例の方法であると、「限度見本」を用いる比較例に比べて、未熟練検査員による判定正解率が顕著に上昇し、熟練検査員による判定結果との違いが、顕著に小さくなった。さらに、熟練・未熟練に限らず検査員間の個人差による判定結果の違いも小さくなった。 Although not shown in Table 1, in the case of the method according to the embodiment, the accuracy rate of judgment by an unskilled inspector is remarkably increased as compared with the comparative example using “limit sample”, and the judgment result by the expert inspector is obtained. The difference from that has been significantly reduced. Furthermore, differences in judgment results due to individual differences among inspectors, not limited to skilled and unskilled, are also reduced.

 次に、表2には、実施例の検査具1を用い、表示パネル上に表れた実際の2個の表示ムラについて、各環境照度にて判定した結果を示す。ここでは、5mm角の濃度パターン21を基準にして判定を行い、同等の濃さに見える濃淡表示パターン21のドット面積占有率の数値を示した。また、表1の場合と同様に、5人の検査員による評価結果の平均値を示した。
 いずれの表示ムラのサンプルの場合にも、濃さの判定に、環境照度による影響は全く見られなかった。すなわち、実施例の方法によると、検査個所における環境照度に左右されず、確実に検査を行うことができ、環境照度を一定にするための労力を省くことができるのである。
Next, Table 2 shows the results of using the test tool 1 of the example to determine the actual two display unevennesses appearing on the display panel at each environmental illuminance. Here, the determination is made based on the density pattern 21 of 5 mm square, and the numerical value of the dot area occupancy of the shade display pattern 21 that looks equivalent in density is shown. Further, as in the case of Table 1, the average value of the evaluation results by five inspectors was shown.
In any of the display unevenness samples, the influence of the environmental illuminance was not observed at all in the determination of the density. That is, according to the method of the embodiment, the inspection can be reliably performed without being affected by the environmental illuminance at the inspection location, and labor for keeping the environmental illuminance constant can be saved.

 濃淡ゲージ2は、ドット印刷により、容易に、かつ安定して作製することができる。また、はげ落ちない限り濃度レベルに変化がないため、濃度レベルの変化を監視するような管理が不要である。さらに、印刷パターンであるため、視角によるバラツキがない。すなわち、濃さの参照基準の作成・準備、及び保管・管理について格段に容易となり、また低コストとなる。 The density gauge 2 can be easily and stably manufactured by dot printing. Further, since there is no change in the density level as long as it does not flake off, it is not necessary to manage such a change in the density level. Further, since the printing pattern is used, there is no variation due to the viewing angle. In other words, the creation and preparation of the density reference standard, and the storage and management thereof become much easier, and the cost is reduced.

 また、検査具1を、表示パネル上または表示パネルに近接させて配置した状態で、判定を行うものであるから、表示ムラの濃さを検査員が記憶する必要がなく、判定に熟練を必要としない。また、実際に特定レベルの表示ムラが表れた表示パネル(限度見本)を用意する必要がない。また、複数の拠点で同一の基準で判別することができる。表示パネル上に載置して用いる場合には、表示ムラの個所と同等のバックライト光及び環境照度の影響を受けるため、通常の条件では、照明条件により濃淡の評価が左右されることがない。すなわち、同一条件で同時に検査することができ、濃さの判定の信頼性を大きく向上し、評価のバラツキを著しく低減することができる。 In addition, since the judgment is performed in a state where the inspection tool 1 is arranged on the display panel or in the vicinity of the display panel, the inspector does not need to memorize the density of the display unevenness, and skill is required for the judgment. And not. Further, there is no need to actually prepare a display panel (limit sample) in which display unevenness of a specific level appears. Further, it is possible to make a determination at a plurality of bases based on the same reference. When used on a display panel, it is affected by the backlight light and the environmental illuminance equivalent to the portion of the display unevenness. Therefore, under normal conditions, the evaluation of the shading is not affected by the illumination conditions. . That is, the inspection can be performed simultaneously under the same condition, the reliability of the density determination can be greatly improved, and the variation in the evaluation can be significantly reduced.

 また、 濃度パターンは、ドットの面積占有率を自由に設定することにより、所望の濃さのレベルを容易に実現できる。そのため、表示パネルの品種の切り替えにも機敏かつ柔軟に対処することができる。また、濃さのレベルをドットの面積占有率を基準として容易に数値化することができるので、客観的な評価によるデータ化を行うことができる。 濃度 In the density pattern, the desired density level can be easily achieved by freely setting the area occupancy of the dots. Therefore, it is possible to quickly and flexibly cope with the change of the display panel type. In addition, since the density level can be easily quantified based on the area occupancy of the dots, data can be obtained by objective evaluation.

 さらには、判定に要する時間を大幅に短縮し、検査の作業効率を大きく向上することができる。 Furthermore, the time required for determination can be greatly reduced, and the work efficiency of inspection can be greatly improved.

 尚、本発明の一実施形態について、表示装置を例にとり説明したが、これに限定されず、面状の光出力を行う光学デバイス全般に適用できる。例えば、面状光源等の照明装置の光出射面内の光学ムラの良否判定および程度判定にも適用することができる。 The embodiment of the present invention has been described using a display device as an example. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to all optical devices that perform planar light output. For example, the present invention can be applied to determination of quality and degree of optical unevenness in a light emission surface of a lighting device such as a planar light source.

実施例の検査具の全体を模式的に示す外観図である。It is an outline view showing the whole inspection tool of an example typically. 実施例の検査具の濃淡ゲージをなす各スクリーントーンのパターン(濃淡表示パターン)について説明するための模式的な部分拡大図である。図2(a)は、ドット占有率3%のスクリーントーンを、図2(b)は、ドット占有率45%のスクリーントーンについて示す。It is a typical partial enlarged view for explaining the pattern (shading display pattern) of each screen tone which forms the shading gauge of the inspection tool of an example. FIG. 2A shows a screen tone with a dot occupancy of 3%, and FIG. 2B shows a screen tone with a dot occupancy of 45%. 本発明の検査具を用いた良否判定の手順について説明するための模式的なフローチャートである。It is a typical flowchart for explaining the procedure of the quality judgment using the inspection tool of the present invention. 本発明の検査具を光学デバイスの光出射面上に重ね、濃度パターンが表示ムラの隣に来るように配置した様子を示す模式的な平面図である。FIG. 3 is a schematic plan view showing a state in which the inspection tool of the present invention is superimposed on a light emission surface of an optical device and arranged so that a density pattern is adjacent to display unevenness.

符号の説明Explanation of reference numerals

 1 表示ムラ判定用の検査具
 15 透明フィルム
 2 濃淡ゲージをなす印刷パターン
 21 5mm角の正方形の濃淡表示パターン
 22 0.5mm径の円形の濃淡表示パターン
 3 寸法ゲージをなす印刷パターン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection tool for display unevenness determination 15 Transparent film 2 Print pattern forming gray scale 21 Shade gray display pattern of 5 mm square 22 Round circular gray display pattern of 0.5 mm diameter 3 Print pattern forming dimension gauge

Claims (16)

 光学デバイスの一主面上の面内光学ムラを検出するとともに、検出された前記光学ムラの濃さの程度を判定するための判定操作を行う光学デバイスの製造方法において、
 透明なシートまたはフィルムに、少なくとも1つの濃度パターンを設けた検査具を前記光学デバイスの前記主面上に載置し、
前記濃度パターンと前記光学ムラとを比較対照してそれら濃度レベルが同等か、もしくは大小関係にあるかを判別することにより前記表示ムラの濃さの程度を判定することを特徴とする光学デバイスの製造方法。
In the method for manufacturing an optical device, which detects in-plane optical unevenness on one main surface of the optical device and performs a determination operation for determining the degree of the density of the detected optical unevenness,
On a transparent sheet or film, an inspection tool provided with at least one density pattern is placed on the main surface of the optical device,
An optical device, comprising: comparing and contrasting the density pattern and the optical unevenness to determine whether the density levels are equal or the magnitude level of the display unevenness by determining whether there is a magnitude relationship. Production method.
 前記光学デバイスは動作状態にあり、前記主面から光を出射していることを特徴とする請求項1記載の光学デバイスの製造方法。 4. The method according to claim 1, wherein the optical device is in an operating state and emits light from the main surface.  前記濃度パターンが前記光学ムラに隣接するよう前記検査具を前記光学デバイスの前記主面上に載置することを特徴とする請求項1記載の光学デバイスの製造方法。 2. The method of manufacturing an optical device according to claim 1, wherein the inspection tool is mounted on the main surface of the optical device so that the density pattern is adjacent to the optical unevenness.  前記濃度パターンが前記光学ムラを覆うよう前記検査具を前記光学デバイスの前記主面上に載置することを特徴とする請求項1記載の光学デバイスの製造方法。 The method according to claim 1, wherein the inspection tool is placed on the main surface of the optical device so that the density pattern covers the optical unevenness.  前記検査具は濃度レベルの異なる複数の濃度パターンを含んで構成されることを特徴とする請求項1記載の光学デバイスの製造方法。 2. The method according to claim 1, wherein the inspection tool includes a plurality of density patterns having different density levels.  前記濃度パターンは濃度レベルの大きさの順に従って配列されることを特徴とする請求項5記載の光学デバイスの製造方法。 6. The method of manufacturing an optical device according to claim 5, wherein the density patterns are arranged in the order of the density level.  前記判定の際、前記配列された一連の前記濃度パターンを、判定対象の前記光学ムラに順次適用して、濃度レベルの比較対照、または、視認可能かどうかの判別を行なうことを特徴とする請求項6記載の光学デバイスの製造方法。 At the time of the determination, the series of the arranged density patterns is sequentially applied to the optical unevenness to be determined, and a comparison of density levels or a determination as to whether or not visible is performed. Item 7. The method for manufacturing an optical device according to Item 6.  前記濃度パターンは、前記シートまたはフィルムに設けられた複数のドットにより構成され、前記濃度パターンの前記濃度レベルは単位面積あたりの前記ドットの占有率で表現されることを特徴とする請求項1記載の光学デバイスの製造方法。 2. The density pattern according to claim 1, wherein the density pattern includes a plurality of dots provided on the sheet or the film, and the density level of the density pattern is represented by an occupation rate of the dots per unit area. 3. Method of manufacturing optical device.  前記濃度パターンは、互いに非連続の円形または矩形状のドットが均等に分散配置されてなることを特徴とする請求項8記載の光学デバイスの製造方法。 The method of manufacturing an optical device according to claim 8, wherein the density pattern is formed by uniformly dispersing non-continuous circular or rectangular dots.  前記濃度パターンを構成する前記ドットの大きさは統一されていることを特徴とする請求項8記載の光学デバイスの製造方法。 The method of manufacturing an optical device according to claim 8, wherein the size of the dots constituting the density pattern is uniform.  前記ドットの寸法は40μm以下であることを特徴とする請求項8記載の光学デバイスの製造方法。 The method of manufacturing an optical device according to claim 8, wherein the size of the dot is 40 μm or less.  前記検査具は、前記ドットの占有率の異なる複数の濃度パターンを含んで構成され、前記ドットの占有率が3〜45%の範囲の前記濃度パターンを有することを特徴とする請求項8記載の光学デバイスの製造方法。 The said inspection tool is comprised including the density pattern from which the occupation rate of the said dot differs, The occupation rate of the said dot has the said density pattern in the range of 3-45%, The said inspection tool. A method for manufacturing an optical device.  前記検査具は、前記濃度レベルが低い濃度レベルにおいては1〜3%の間隔をおいて形成され、高い濃度レベルにおいては5%の間隔をおいて形成されることを特徴とする請求項12記載の光学デバイスの製造方法。 13. The inspection device according to claim 12, wherein the inspection tools are formed at intervals of 1 to 3% when the density level is low, and are formed at intervals of 5% when the density level is high. Method of manufacturing optical device.  前記光学デバイスは、表示パネルであることを特徴とする請求項1記載の光学デバイスの製造方法。 The method according to claim 1, wherein the optical device is a display panel.  前記光学デバイスは、照明装置であることを特徴とする請求項1記載の光学デバイスの製造方法。 The method according to claim 1, wherein the optical device is a lighting device.  光学デバイスの主表面に現れる光学ムラの濃さの程度を判定するための検査具であって、
 無色透明なシートまたはフィルムでなるベース基板と、
 前記ベース基板に設けられ、寸法が40μm以下のドットの集合体からなる濃度パターンを有することを特徴とする検査具。
An inspection tool for determining the degree of the density of optical unevenness appearing on the main surface of the optical device,
A base substrate made of a colorless transparent sheet or film,
An inspection tool provided on the base substrate and having a density pattern composed of an aggregate of dots having a size of 40 μm or less.
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