【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイコート方式の塗布装置を構成する塗布ヘッドの予備吐出を行なう装置と方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ダイコート方式の塗布装置で基板にレジストを塗布する場合、待機中の乾燥状態によって生じるレジスト内異物および塗布後の塗布ヘッドのインライン洗浄によって浸入した洗浄液を排出させるために、基板にレジストを塗布する直前に予備吐出を行う。
【０００３】
しかし塗布ヘッドからただ液を出すだけでは、表面張力によって先端部に液が広がってしまい基板への塗布時にムラや膜厚均一性不良を生じてしまう。
【０００４】
またロール上に予備吐出を行う場合でも、ロール表面を清潔かつ乾燥させておかないと次回の予備吐出時にヘッド先端に汚れや洗浄液が転移し、基板への塗布に影響を及ぼす。
【０００５】
特開２００１−３１０１４７号公報に記載の予備吐出装置および方法は、この公報の図３に見られるように、塗布エレメント２１の吐出口２２からの予備吐出を、回転するローラ３３上に行なうものであるが、塗布エレメント２１の吐出口２２から吐出された塗布液Ｌ２が付着したローラ３３表面を洗浄液Ｌ１に浸漬した後に、ローラ３３表面に付着した塗布液Ｌ２を、シャワーノズル３７が噴出する洗浄液Ｌ１で洗浄し、さらに排気口４１からの排気により、洗浄されたローラ３３表面を乾燥させるものである。特開２００１−３１０１４７号公報に記載の予備吐出装置および方法では、この公報の図３から分るように、ローラ３３表面をシャワーノズル３７が噴出する洗浄液Ｌ１で洗浄してから、ローラ３３の表面に再度予備吐出がなされるまでにローラ３３が回転する角度は９０度程度と小さいので、再度予備吐出を行なうまでにローラ３３の表面が乾燥し難いことが懸念される。このことは、特開２００１−３１０１４７号公報に記載の予備吐出装置および方法の実施の形態で、洗浄液Ｌ１に、高揮発性のものを使用していることからも強く示唆される。
【０００６】
特開２００２−４５７６０号公報に記載の塗布装置および方法では、この公報の図１及び２に見られるように、被塗布基板８に塗布液を塗布するのに先だって、予備塗布ブロック１０の塗布面に塗布液を塗布する。被塗布基板８に塗布液を塗布後、予備塗布ブロック１０の塗布面は、回転させることにより洗浄液供給ノズル１２に向けられ、洗浄液供給ノズル１２から供給される洗浄液で洗浄された後、排気ポート１４を介して空気等を循環させることにより乾燥される。従って、少なくとも予備塗布ブロック１０の塗布面を回転させている間は、予備吐出も、被塗布基板８への塗布液の塗布も、行なえない。さらに、特開２００２−４５７６０号公報に記載の塗布装置および方法には、以下のような欠点があると推測される。
【０００７】
第１に、予備塗布ブロック１０を洗浄液供給ノズル１２から供給される洗浄液のみで洗浄するので多量の洗浄液を使用し洗浄時間も長いことが想像される。
【０００８】
第２に、予備塗布ブロック１０の大きさによって予備吐出量に制限がある。液の種類によっては予備吐出を多めに行う必要があった場合に予備塗布ブロック１０の幅内で予備吐出を行うためには、吐出レートを上げてやればよいが、そうすると逆に塗布ノズル５の先に付着する余剰液は多くなってしまう（塗布ノズル５の先を汚す）ことが考えられる。
【０００９】
第３に、この予備塗布ブロック１０を数十から数ミクロンの精度で加工し、全ての面が塗布ノズル５から同程度の範囲内に収まるように設置することは実際には困難であると思われる。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−３１０１４７号公報
【特許文献２】
特開２００２−４５７６０号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、係る従来技術の状況を鑑みてなされたもので、回転ロールを利用して、常に清潔かつ乾燥状態の塗布面に必要な予備吐出が行なえるようにすることを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明において上記の課題を達成するために、まず請求項１の発明では、洗浄液を貯える貯液槽と、上側が洗浄液から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬しているベルトと、ベルトを駆動させる一組の支持ロールと、ベルトの外周表面を洗浄液内で擦るように配置された洗浄液内ドクタと、洗浄液内ドクタで擦られたベルトの外周表面をさらに洗浄液外で擦るように配置された洗浄液外ドクタとを備え、
ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させることを特徴とする予備吐出装置としたものである。
【００１３】
また請求項２の発明では、貯液槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせるオバーフロー管とを備えることを特徴とする請求項１に記載の予備吐出装置としたものである。
【００１４】
また請求項３の発明では、ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させているときに、洗浄液供給ノズルは、貯液槽内に供給する洗浄液を、塗布液が付着したベルトの外周表面にかけていることを特徴とする請求項２に記載の予備吐出装置としたものである。
【００１５】
また請求項４の発明では、洗浄液を貯える貯液槽で上側が洗浄液から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬し、一組の支持ロールによって駆動されているベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出し、ベルトの外周表面に付着した塗布液を洗浄液内ドクタで掻き落とし、塗布液を洗浄液内で掻き落とされたベルトの外周表面に付着した洗浄液を洗浄液外ドクタで掻き落とすことを特徴とする予備吐出方法としたものである。
【００１６】
また請求項５の発明では、ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液を供給するとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせることを特徴とする請求項４に記載の予備吐出方法としたものである。
【００１７】
また請求項６の発明では、貯液槽内に供給される洗浄液を、塗布液が付着したベルトの外周表面にかけることを特徴とする請求項５に記載の予備吐出方法としたものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。ここで、図１は、本発明の予備吐出装置の一実施形態の側面図、図２は本発明の予備吐出装置の一実施形態の上面図である。
【００１９】
本実施形態の予備吐出装置は、洗浄液１４を貯える貯液槽１０と、上側が洗浄液１４から露出するとともに下側が洗浄液に浸漬しているベルト１と、ベルト１を駆動させる一組の支持ロール２及び３と、ベルト１の外周表面を洗浄液１４内で擦るように配置された洗浄液内ドクタ５と、洗浄液内ドクタ５で擦られたベルト１の外周表面をさらに洗浄液１４外で擦るように配置された洗浄液外ドクタ７とを備え、ベルト１の上側の外周表面に、塗布ヘッド１６の吐出部先端を近接させて塗布液１５を吐出させるものである。
【００２０】
さらに詳しく説明すると、支持ロール２及び３は、所定の同一方向の回転を行ない、支持ロール２に接するベルト１の部分を下降させ、ベルト１の下側を支持ロール２から支持ロール３へ移動させ、支持ロール３に接するベルト１の部分を上昇させ、ベルト１の上側を支持ロール３から支持ロール２へ移動させるように、ベルト１を駆動する。そして、洗浄液内ドクタ５は、洗浄液１４内で、支持ロール３に接して上昇するベルト１の部分の外周表面を擦る。そして、洗浄液外ドクタ７は、洗浄液１４外で、支持ロール３に接して上昇するベルト１の部分の外周表面を擦る。そして、塗布ヘッド１６の吐出部先端を近接させて、予備吐出が行なわれる、ベルト１の上側の外周表面は、支持ロール２の上端の上に位置する。
【００２１】
また本実施形態の予備吐出装置は、貯液槽１０内に洗浄液１４を供給する洗浄液供給ノズル４と、貯液槽１０から洗浄液１４をオーバーフローさせるオバーフロー管９とを備える。洗浄液供給ノズル４は、洗浄液１４外で、支持ロール２に接して下降するベルト１の部分の外周表面の方に向いている。
【００２２】
また本実施形態の予備吐出装置は、ドレンバルブ１１を有するドレン管１３を貯液槽１０の底に備える。ドレンバルブ１１が開くと、ドレン管１３は、貯液槽１０の底から洗浄液１４を排出し、ドレンバルブ１１が閉じると、洗浄液１４は、貯液槽１０に貯めておかれる。
【００２３】
本実施形態の予備吐出装置による塗布ヘッドの予備吐出は、以下の通りである。
【００２４】
まず、洗浄液１４を貯液槽１０に貯めておく。
【００２５】
次に支持ロール２上端の上に位置するベルト１上に適切な間隔をもって近接させられた塗布ヘッド１６より、予備吐出を行う。
【００２６】
このとき再び洗浄液ノズル４から洗浄液１４を供給する。洗浄液１４を、塗布液１５が付着したベルト１にかけながら供給するとより高い洗浄効果が期待できる。
【００２７】
ベルト１上に吐出された塗布液１４は、支持ロール２及び３の回転とともに洗浄液１４中に浸漬し、洗浄液内ドクタ５によって掻き落される。洗浄液１４中であるため、掻き落された塗布液１５が乾燥してベルト１や洗浄液内ドクタ５を汚染することはない。
【００２８】
次に洗浄液外ドクタ７によってベルト１に付着した洗浄液１４を掻き取る。
【００２９】
洗浄液外ドクタ７で洗浄液１４を掻き取られたベルト１の外周表面は、支持ロール２上端に到達して、塗布ヘッド１６の予備吐出が再度なされるまでに、乾燥する。
【００３０】
支持ロール２上端の上に位置するベルト１上に予備塗布を行うため、塗布液１５が付着直後に洗浄液１４に浸されことができ、逆に洗浄液１４の掻き取り後は一定時間大気中を移動するためその間にベルト１の表面を乾燥させることができる。
【００３１】
予備吐出中は常に洗浄液１４が洗浄液供給ノズル４から供給されており余剰分はオーバーフロー管９からオーバーフローされるため、貯液槽１０内の洗浄液１４は適宜置換され洗浄効果がなくなるほど汚れることはない。
【００３２】
また適時ドレンバルブ１１を開いて、ドレン管１３から洗浄液１４を排出し、洗浄液供給ノズル４から洗浄液１４を供給することで洗浄液１４を新液と入れ替えることもできる。
【００３３】
ベルト１は洗浄液１４に侵されず、塗布ヘッド１６との間隙を維持できる厚み精度を持ったステンレス製などの金属ベルトを用いるのが良い。
【００３４】
また、洗浄液供給ノズル１４は図のような円筒管を多数並列させずに、一連のスリットを持つノズル形状でも良い。
【００３５】
【発明の効果】
本願の各請求項に記載の発明は、以下に列挙する効果を有する。
【００３６】
請求項１及び請求項４の発明は、塗布液が付着したベルトの外周表面は、支持ロールが１８０度回転するまでに洗浄液に侵漬させ、支持ロールの間を移動している間洗浄液に侵漬させた後、洗浄液内ドクタによって洗浄液中で塗布液が掻き落とされるので、確実に掻き落とされ、かつ掻き落とされた塗布液が乾燥してベルトを汚染することが無い。また、洗浄液内ドクタで塗布液が掻き落とされたベルトの外周表面は、そこに付着した洗浄液が洗浄液外ドクタで掻き落とされ、さらに支持ロール間を移動する間に大気に晒されるので、再度予備吐出がなされるまでに、確実に乾燥する。
【００３７】
請求項２及び請求項５の発明は、ベルトの上側の外周表面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液を供給するとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせられるので、貯液槽内の洗浄液は適宜置換され洗浄効果がなくなるほど汚れることはない。
【００３８】
請求項３及び請求項６の発明は、塗布液が付着したベルトの外周表面に、貯液槽に供給される洗浄液をかけるので、より高い洗浄効果が得られる。
【００３９】
以上、本発明は、回転ロールを利用して、常に清潔かつ乾燥状態の塗布面に必要な予備吐出が行なえるようにできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の一実施形態の側面図。
【図２】本発明装置の一実施形態の上面図。
【符号の説明】
１…ベルト
２…支持ロール
３…支持ロール
４…洗浄液供給ノズル
５…洗浄液内ドクタ
６…ドクタホルダ
７…洗浄液外ドクタ
８…ドクタホルダ
９…オーバーフロー管
１０…貯液槽
１１…ドレンバルブ
１２…洗浄液供給バルブ
１３…ドレン管
１４…洗浄液
１５…塗布液
１６…塗布ヘッド[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus and a method for performing preliminary ejection of a coating head constituting a die coating type coating apparatus.
[0002]
[Prior art]
Generally, when a resist is applied to a substrate using a die coating type coating apparatus, the resist is applied to the substrate in order to discharge foreign substances in the resist caused by a dry state in a standby state and a cleaning liquid that has penetrated by in-line cleaning of a coating head after the application. Immediately before performing the preliminary ejection.
[0003]
However, if the liquid is simply discharged from the coating head, the liquid spreads to the front end portion due to surface tension, and causes unevenness and poor film thickness uniformity during coating on the substrate.
[0004]
Even when performing preliminary discharge on a roll, if the surface of the roll is not cleaned and dried, dirt and cleaning liquid transfer to the tip of the head during the next preliminary discharge, which affects the application to the substrate.
[0005]
The predischarge device and method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-310147 perform predischarge from a discharge port 22 of a coating element 21 on a rotating roller 33 as shown in FIG. However, after the surface of the roller 33 to which the coating liquid L2 discharged from the discharge port 22 of the coating element 21 has adhered is immersed in the cleaning liquid L1, the coating liquid L2 adhered to the surface of the roller 33 is washed with the cleaning liquid L1 ejected by the shower nozzle 37. Then, the surface of the cleaned roller 33 is dried by exhausting air from the exhaust port 41. In the preliminary ejection apparatus and method described in JP-A-2001-310147, as can be seen from FIG. 3 of this publication, the surface of the roller 33 is cleaned with the cleaning liquid L1 spouted from the shower nozzle 37, and then the surface of the roller 33 is cleaned. Since the angle of rotation of the roller 33 before the preliminary discharge is performed again is as small as about 90 degrees, there is a concern that the surface of the roller 33 is difficult to dry before the preliminary discharge is performed again. This is strongly suggested from the fact that a highly volatile cleaning liquid L1 is used in the embodiment of the preliminary ejection apparatus and method described in JP-A-2001-310147.
[0006]
In the coating apparatus and the method described in JP-A-2002-45760, as shown in FIGS. 1 and 2 of this publication, the coating surface of the preliminary coating block 10 is applied before the coating liquid is applied to the substrate 8 to be coated. Apply the coating solution to After the application liquid is applied to the substrate 8 to be applied, the application surface of the preliminary application block 10 is turned to the cleaning liquid supply nozzle 12 by being rotated, and is cleaned with the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply nozzle 12. It is dried by circulating air and the like through. Therefore, at least while the application surface of the preliminary application block 10 is being rotated, neither preliminary discharge nor application of the application liquid to the substrate 8 to be applied can be performed. Furthermore, it is estimated that the coating apparatus and the method described in JP-A-2002-45760 have the following disadvantages.
[0007]
First, since the preliminary coating block 10 is cleaned only with the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply nozzle 12, it is conceivable that a large amount of the cleaning liquid is used and the cleaning time is long.
[0008]
Second, the size of the preliminary application block 10 limits the preliminary ejection amount. Depending on the type of liquid, when it is necessary to perform a large amount of preliminary ejection, in order to perform the preliminary ejection within the width of the preliminary application block 10, the ejection rate may be increased. It is conceivable that the excess liquid that adheres first increases (stains the tip of the application nozzle 5).
[0009]
Third, it seems that it is actually difficult to process the preliminary coating block 10 with an accuracy of several tens to several microns and to set all the surfaces within the same range from the coating nozzle 5. It is.
[0010]
[Patent Document 1]
JP 2001-310147 A [Patent Document 2]
JP 2002-45760 A
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in view of the situation of the related art, and it is an object of the present invention to make it possible to always perform a necessary preliminary discharge to a clean and dry application surface by using a rotating roll.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object in the present invention, first, in the invention of claim 1, a storage tank for storing a cleaning liquid, a belt whose upper side is exposed from the cleaning liquid and whose lower side is immersed in the cleaning liquid, and which drives the belt A set of support rolls, a cleaning liquid doctor arranged to rub the outer peripheral surface of the belt in the cleaning liquid, and a cleaning liquid arranged to further rub the outer peripheral surface of the belt rubbed by the cleaning liquid doctor outside the cleaning liquid. With a doctor,
A preliminary ejection device is characterized in that the application liquid is ejected by bringing the tip of the ejection section of the application head close to the outer peripheral surface on the upper side of the belt.
[0013]
Further, in the invention of claim 2, the preliminary discharge device according to claim 1, further comprising a cleaning liquid supply nozzle for supplying the cleaning liquid into the storage tank, and an overflow pipe for overflowing the cleaning liquid from the storage tank. It was done.
[0014]
According to the third aspect of the present invention, the cleaning liquid supply nozzle supplies the cleaning liquid to be supplied into the liquid storage tank when the coating liquid is being discharged with the discharge unit tip of the coating head being close to the outer peripheral surface on the upper side of the belt. 3. The preliminary ejection device according to claim 2, wherein the application liquid is applied to the outer peripheral surface of the belt to which the coating liquid has adhered.
[0015]
Further, in the invention of claim 4, the upper side is exposed from the cleaning liquid and the lower side is immersed in the cleaning liquid in the storage tank for storing the cleaning liquid, and the coating head of the coating head is provided on the upper outer peripheral surface of the belt driven by a set of support rolls. The coating liquid is discharged by bringing the tip of the discharge unit close to the cleaning liquid, and the coating liquid adhering to the outer peripheral surface of the belt is scraped off by a doctor in the cleaning liquid, and the cleaning liquid adhering to the outer peripheral surface of the belt scraped off in the cleaning liquid is cleaned. This is a preliminary ejection method characterized by scraping off with an external doctor.
[0016]
In the invention according to claim 5, the cleaning liquid is supplied to the storage tank and the cleaning liquid is supplied from the storage tank while the application liquid is being discharged while the tip of the discharge unit of the coating head is being brought close to the outer peripheral surface on the upper side of the belt. Is caused to overflow in the preliminary ejection method according to claim 4.
[0017]
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the predischarge method according to the fifth aspect, wherein the cleaning liquid supplied into the liquid storage tank is applied to the outer peripheral surface of the belt to which the coating liquid has adhered.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, FIG. 1 is a side view of one embodiment of the preliminary ejection device of the present invention, and FIG. 2 is a top view of one embodiment of the preliminary ejection device of the present invention.
[0019]
The preliminary discharge device of the present embodiment includes a liquid storage tank 10 for storing the cleaning liquid 14, a belt 1 whose upper side is exposed from the cleaning liquid 14 and whose lower side is immersed in the cleaning liquid, and a set of support rolls 2 for driving the belt 1. And 3, a cleaning liquid doctor 5 arranged to rub the outer peripheral surface of the belt 1 in the cleaning liquid 14, and an outer peripheral surface of the belt 1 rubbed by the cleaning liquid doctor 5 is further rubbed outside the cleaning liquid 14. The cleaning liquid outside doctor 7 is provided to discharge the coating liquid 15 by bringing the tip of the discharge section of the coating head 16 close to the upper outer peripheral surface of the belt 1.
[0020]
More specifically, the support rolls 2 and 3 rotate in the same predetermined direction, lower the portion of the belt 1 in contact with the support roll 2, and move the lower side of the belt 1 from the support roll 2 to the support roll 3. Then, the belt 1 is driven so as to raise the portion of the belt 1 that is in contact with the support roll 3 and move the upper side of the belt 1 from the support roll 3 to the support roll 2. Then, the doctor 5 in the cleaning liquid rubs the outer peripheral surface of the portion of the belt 1 that rises in contact with the support roll 3 in the cleaning liquid 14. The cleaning liquid outside doctor 7 rubs the outer peripheral surface of the portion of the belt 1 that rises in contact with the support roll 3 outside the cleaning liquid 14. Then, the outer peripheral surface on the upper side of the belt 1 on which the preliminary discharge is performed by bringing the distal end of the discharge unit of the coating head 16 close to the upper end of the support roll 2 is located.
[0021]
Further, the preliminary discharge device of the present embodiment includes a cleaning liquid supply nozzle 4 for supplying the cleaning liquid 14 into the liquid storage tank 10 and an overflow pipe 9 for overflowing the cleaning liquid 14 from the liquid storage tank 10. The cleaning liquid supply nozzle 4 faces the outer peripheral surface of the portion of the belt 1 descending in contact with the support roll 2 outside the cleaning liquid 14.
[0022]
Further, the preliminary discharge device of the present embodiment includes a drain pipe 13 having a drain valve 11 at the bottom of the liquid storage tank 10. When the drain valve 11 is opened, the drain pipe 13 discharges the cleaning liquid 14 from the bottom of the liquid storage tank 10, and when the drain valve 11 is closed, the cleaning liquid 14 is stored in the liquid storage tank 10.
[0023]
The preliminary ejection of the coating head by the preliminary ejection device of the present embodiment is as follows.
[0024]
First, the cleaning liquid 14 is stored in the storage tank 10.
[0025]
Next, preliminary ejection is performed from the coating head 16 which is brought close to the belt 1 positioned above the upper end of the support roll 2 at an appropriate interval.
[0026]
At this time, the cleaning liquid 14 is supplied again from the cleaning liquid nozzle 4. If the cleaning liquid 14 is supplied while being applied to the belt 1 to which the coating liquid 15 has adhered, a higher cleaning effect can be expected.
[0027]
The coating liquid 14 discharged onto the belt 1 is immersed in the cleaning liquid 14 as the support rolls 2 and 3 rotate, and is scraped off by the cleaning liquid doctor 5. Since the cleaning liquid 14 is in the cleaning liquid 14, the scraped coating liquid 15 does not dry and contaminate the belt 1 and the doctor 5 in the cleaning liquid.
[0028]
Next, the cleaning liquid 14 attached to the belt 1 is scraped off by the cleaning liquid outside doctor 7.
[0029]
The outer peripheral surface of the belt 1 from which the cleaning liquid 14 has been scraped off by the cleaning liquid outer doctor 7 reaches the upper end of the support roll 2 and dries before the preliminary discharge of the application head 16 is performed again.
[0030]
Since the pre-coating is performed on the belt 1 located above the upper end of the support roll 2, the coating liquid 15 can be immersed in the cleaning liquid 14 immediately after being adhered, and conversely, after scraping the cleaning liquid 14, move in the air for a certain time. Therefore, the surface of the belt 1 can be dried.
[0031]
During the preliminary ejection, the cleaning liquid 14 is always supplied from the cleaning liquid supply nozzle 4 and the surplus overflows from the overflow pipe 9, so that the cleaning liquid 14 in the storage tank 10 is appropriately replaced and does not become dirty enough to lose the cleaning effect. .
[0032]
The cleaning liquid 14 can be replaced with a new liquid by opening the drain valve 11 at an appropriate time, discharging the cleaning liquid 14 from the drain pipe 13 and supplying the cleaning liquid 14 from the cleaning liquid supply nozzle 4.
[0033]
The belt 1 is preferably a metal belt made of stainless steel or the like having a thickness accuracy that is not affected by the cleaning liquid 14 and can maintain a gap with the coating head 16.
[0034]
Further, the cleaning liquid supply nozzle 14 may have a nozzle shape having a series of slits instead of arranging a large number of cylindrical tubes as shown in the figure.
[0035]
【The invention's effect】
The invention described in each claim of the present application has the following effects.
[0036]
According to the first and fourth aspects of the present invention, the outer peripheral surface of the belt to which the coating liquid has adhered is immersed in the cleaning liquid before the support roll rotates by 180 degrees, and is immersed in the cleaning liquid while moving between the support rolls. After being immersed, the coating liquid is scraped off in the cleaning liquid by the doctor in the cleaning liquid, so that the coating liquid is surely scraped off and the stripped coating liquid does not dry and contaminate the belt. In addition, the outer peripheral surface of the belt from which the coating liquid has been scraped off by the doctor in the cleaning liquid is scraped off by the doctor outside the cleaning liquid, and is exposed to the atmosphere while moving between the support rolls. By the time ejection is carried out, it is surely dried.
[0037]
According to the second and fifth aspects of the invention, the cleaning liquid is supplied to the liquid storage tank while the coating liquid is being discharged while the tip of the discharge section of the coating head is brought close to the outer peripheral surface on the upper side of the belt. Since the cleaning liquid overflows from the tank, the cleaning liquid in the liquid storage tank is appropriately replaced and does not become dirty so that the cleaning effect is lost.
[0038]
According to the third and sixth aspects of the present invention, since the cleaning liquid supplied to the liquid storage tank is applied to the outer peripheral surface of the belt to which the coating liquid has adhered, a higher cleaning effect can be obtained.
[0039]
As described above, the present invention has an effect that necessary preliminary ejection can always be performed on a clean and dry application surface by using a rotating roll.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view of an embodiment of the device of the present invention.
FIG. 2 is a top view of an embodiment of the device of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Belt 2 ... Support roll 3 ... Support roll 4 ... Cleaning liquid supply nozzle 5 ... Cleaning liquid inside doctor 6 ... Doctor holder 7 ... Cleaning liquid outside doctor 8 ... Doctor holder 9 ... Overflow pipe 10 ... Liquid storage tank 11 ... Drain valve 12 ... Cleaning liquid supply valve 13 drain tube 14 cleaning liquid 15 coating liquid 16 coating head
