JP2004117343A - 平行x線ビームの取り出し方法及び装置並びにx線回折装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CuKα線とCoKα線の平行X線ビームを取り出すのに,CuKα線用に作られた単一の放物面10だけを用いる。放物面10の焦点のところに位置する第1のX線焦点XF1から出射したCuKα線は,X=80〜120mmの領域において,放物面10で示す反射面で反射して,平行ビームとなって右方向に出ていく。第1のX線焦点XF1から上方に0.6765mmだけ離れたところに第2のX線焦点XF2を設けると,この第2のX線焦点XF2から出射したCoKα線は,X=80〜120mmの領域において,同じ放物面10で示す反射面で反射することができて,平行ビームとなって右方向に出ていく。
【選択図】図2
Description
12 CoKα線用の放物面
14 アパーチャスリット板
18 選択スリット装置
20 放物面多層膜ミラー
22 第1の焦点からの発散X線
24 第2の焦点からの発散X線
26 受光スリット
28 X線検出器
30 検出器支持台
34 X線焦点
36 X線管
38 試料
40 発散スリット
42 試料支持台
44 第1開口
45 第2開口
50 反射面
70 CuターゲットのX線管
71 CoターゲットのX線管
72 平行ビーム
73 CuとCoの混合ターゲットのX線管
74 回折X線
76 ソーラスリット
XF1 第1のX線焦点
XF2 第2のX線焦点
Claims (8)
- 次の各段階を備える平行X線ビームの取り出し方法。
(a)第1波長に基づいて定められた放物面形状を有する反射面を備える放物面多層膜ミラーを準備する段階。
(b)前記第1波長のX線を発生する第1のX線焦点を,前記放物面の焦点の位置に配置して,前記第1のX線焦点から出射される前記第1波長のX線を,前記放物面多層膜ミラーで反射させて,前記第1波長の平行X線ビームを得る段階。
(c)前記第1波長とは異なる第2波長のX線を発生する第2のX線焦点を,前記放物面の焦点から,前記放物面の軸に対して垂直方向に所定距離だけずらした位置に配置して,前記第2のX線焦点から出射される前記第2波長のX線を,前記放物面多層膜ミラーで反射させて,前記第2波長の平行X線ビームを得る段階。 - 請求項1に記載の平行X線ビームの取り出し方法において,前記第1のX線焦点と前記第2のX線焦点が同一のX線管に存在することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の平行X線ビームの取り出し方法において,前記第1波長はCuKα線であり,前記第2波長はCoKα線であることを特徴とする方法。
- 次の構成を備える平行X線ビームの取り出し装置。
(a)第1波長に基づいて定められた放物面形状を有する反射面を備える放物面多層膜ミラー。
(b)前記放物面の焦点の位置に配置することが可能で前記第1波長のX線を発生する第1のX線焦点。
(c)前記放物面の軸に対して垂直方向に所定距離だけずれた位置に配置することが可能で前記第1波長とは異なる第2波長のX線を発生する第2のX線焦点。 - X線源から出射されたX線ビームを試料に照射して,試料で回折された回折X線をX線検出器で検出するX線回折装置において,次の構成を備えるX線回折装置。
(a)前記第1波長に基づいて定められた放物面形状を有する反射面を備える放物面多層膜ミラー。
(b)前記放物面の焦点の位置に配置することが可能で前記第1波長のX線を発生する第1のX線焦点。
(c)前記放物面の軸に対して垂直方向に所定距離だけずれた位置に配置することが可能で前記第1波長とは異なる第2波長のX線を発生する第2のX線焦点。
(d)前記第1のX線焦点と前記第2のX線焦点とを実現できる前記X線源。 - 請求項5に記載のX線回折装置において,前記X線源は,前記第1波長のX線と前記第2波長のX線とを発生可能なひとつのX線管からなり,このX線管を移動させることで前記第1のX線焦点と前記第2のX線焦点とを選択的に実現できることを特徴とするX線回折装置。
- 請求項5に記載のX線回折装置において,前記X線源は,前記第1波長のX線を発生する第1のX線管と,前記第2波長のX線を発生する第2のX線管とからなり,これらのX線管を移動させることで前記第1のX線焦点と前記第2のX線焦点とを選択的に実現できる,ことを特徴とするX線回折装置。
- 請求項5に記載のX線回折装置において,さらに次の構成を備えるX線回折装置。
(a)前記X線ビームを所定の発散角で前記試料に入射させる第1の入射経路。
(b)前記X線ビームを前記放物面多層膜ミラーで反射させて平行ビームにしてから前記試料に入射させる第2の入射経路。
(c)前記第1の入射経路と前記第2の入射経路のうちの任意の一方を開放して他方を遮断できる選択スリット装置。
(d)同じ波長のX線に対して,前記第1の入射経路を使う場合と,前記第2の入射経路を使う場合とで,X線の発生位置が変化しないように配置された前記X線源。
(e)同じ波長のX線に対して,前記第1の入射経路を使う場合と,前記第2の入射経路を使う場合とで,前記試料の中心位置が変化しないように配置された試料支持装置。
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