JP2004102353A - 紙の製造方法及び無線タグの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】紙の中に無線タグを確実に内蔵させる技術を提供する。
【解決手段】記録された識別情報を無線で送信する無線タグを有する紙の製造方法であって、第1の紙層と第2の紙層との間に前記無線タグを挟み込んで前記第1及び第2の紙層を圧縮する工程を含む。
【選択図】 図11
【解決手段】記録された識別情報を無線で送信する無線タグを有する紙の製造方法であって、第1の紙層と第2の紙層との間に前記無線タグを挟み込んで前記第1及び第2の紙層を圧縮する工程を含む。
【選択図】 図11
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無線タグを有する紙の製造技術、及び無線タグの製造技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置として、例えば無線タグと呼ばれるものが知られている。この無線タグは、内部に電池などの電源を備えておらず、例えば読み取り装置(リーダー)が発した電波をアンテナを介して受け取り、受け取った電波を使って電磁誘導で発電し、発電した電源で回路を動かし、記憶(格納)した識別情報を無線で送信するものである。この無線タグは、RFID(Radio Frequency Identification)タグ、非接触IDタグ、非接触IDタグ、非接触IDタグとも呼ばれている。
【0003】
無線タグは、様々な分野で利用が可能である。例えばチケットや商品券などの紙製品に無線タグを取り付け(装着し)、販売管理や在庫管理、そして偽装防止などを行うことができる。この紙製品における無線タグの取り付け方法としては、紙に無線タグを貼り付ける方法と、紙の中に無線タグを内蔵させる方法がある。紙の中に無線タグを内蔵させる技術に関する公知例としては、例えば特開2000−58486号公報(特許文献1)があげられる。この公報には、水溶性シートに電子回路チップを装着し、この水溶性シート及び電子回路チップを液状もしくは半液状の状態にある紙(紙原料)の中に沈下させ、水溶性シートを溶かし込むことによって、紙の中に電子回路チップを内蔵させることが記載されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−58486号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特許文献1に記載された技術は、無線タグにおいても適用することができる。しかしながら、前述の特許文献1に記載された技術は、水溶性シート及び電子回路チップの重みによって紙原料の中に沈下させているため、電子回路チップの沈み込みにバラツキが生じ易い。また、無線タグの通信距離を伸ばすためにはアンテナを大きくする必要があり、アンテナが大きい無線タグにおいては紙原料の表面張力の影響によって沈まなくなる。従って、前述の特許文献1に記載された技術では、紙の中に無線タグを確実に内蔵させることが困難である。
【0006】
紙の中に無線タグを内蔵させるためには、無線タグの薄型化が必要である。また、無線タグの利用を拡大するためには、無線タグの低コスト化が必要である。
【0007】
本発明の目的は、紙の中に無線タグを確実に内蔵させることが可能な技術を提供することにある。
【0008】
本発明の他の目的は、無線タグの薄型化を図ることが可能な技術を提供することにある。
【0009】
本発明の他の目的は、無線タグの低コスト化を図ることが可能な技術を提供することにある。
【0010】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
(1)記録された識別情報を無線で送信する無線タグを有する紙の製造方法であって、
第1の紙層と第2の紙層との間に前記無線タグを挟み込んで前記第1及び第2の紙層を圧縮する工程を含む。
(2)記録された識別情報を無線で送信する無線タグの製造方法であって、
フレーム本体に支持されたアンテナを有するフレーム構造体と、主面に突起状電極が配置された半導体チップとを準備する工程と、
前記突起状電極を介在して前記アンテナと前記半導体チップとを電気的に接続する工程と、
前記アンテナと前記半導体チップとの間に樹脂を注入する工程とを含む。
(3)無線タグの製造方法であって、
フレーム本体に支持された複数のアンテナを有するフレーム構造体と、主面に突起状電極が配置された複数の半導体チップとを準備する工程と、
前記突起状電極を介在して前記複数のアンテナと前記複数の半導体チップとを一括して夫々電気的に接続する工程と、
前記各アンテナと前記各半導体チップとの間に樹脂を一括して注入する工程とを含む。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、発明の実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0013】
図1は、紙に内蔵される無線タグの概略構成を示す図((a)は平面図,(b)は断面図)であり、
図2は、図1(b)の一部を拡大した断面図である。
【0014】
図3は、図1の無線タグと読み出し装置(リーダー)とを示すブロック図であり、
図4は、図1の無線タグの製造に使用されるフレーム構造体の一部を示す模式的平面図であり、
図5は、図4の一部を拡大した模式的平面図である。
【0015】
図1及び図2に示すように、本実施形態1の無線タグ1は、アンテナ4、アンテナ4に実装された半導体チップ2、半導体チップ2の主面(回路形成面)を覆うようにしてアンテナ4と半導体チップ2との間に注入された樹脂6、半導体チップ2の主面と反対側の裏面を覆うようにして設けられた樹脂7等を有する構成になっている。
【0016】
半導体チップ2は、その厚さ方向と直行する平面形状が方形状になっており、本実施形態では例えば約0.4mm×0.4mmの正方形で形成されている。半導体チップ2は、その主面とアンテナ4との間に複数の突起状電極3を介在してアンテナ4と電気的に接続されている。突起状電極3は、アンテナ4に半導体チップ2を実装する前の段階において、例えば半導体チップ2の主面に配置されている。突起状電極3としては例えばAuバンプが用いられている。
【0017】
アンテナ4は、その厚さ方向と直交する平面形状が方形状になっており、本実施形態では例えば長辺及び短辺を有する長方形で形成されている。本実施形態において、アンテナ4は、例えばX方向に沿う長辺方向の長さ4Lが約3mm、X方向と直交するY方向に沿う短辺方向の幅4Wが約56mmになっている。アンテナ4は、これに限定されないが、例えば、Cu箔からなるベース部材と、このベース部材の表面を覆うようにして形成されたSnメッキ層とを有する構成になっている。
【0018】
本実施形態において、半導体チップ2の厚さ2Tは例えば約60μm、アンテナ4の厚さは例えば約19μm、突起状電極3の高さは例えば約15μm、樹脂7の最も厚い部分での厚さは例えば約50μmになっており、これらの厚さを加味した無線タグ1の厚さは例えば約134μmになっている。
【0019】
アンテナ4には、スリット5が設けられている。このスリット5は、図5に示すように、アンテナ4の互いに反対側に位置する2つの長辺のうちの一方の長辺から反対側の他方の長辺に向かって延びる第1の部分5aと、この第1の部分5aからアンテナ4の互いに反対側に位置する2つの短辺のうちの一方の短辺に向かって延びる第2の部分5bとを有する構成になっている。半導体チップ2は、スリット5の第1の部分5aを跨ぐようにしてアンテナ4に実装されている。
【0020】
無線タグ1は、図3に示すように、識別情報を記憶(格納)するメモリ回路2aと、無線通信用のRF回路2bと、これらをつなぐロジック回路2cとが基本構成となる集積回路を有し、この集積回路は半導体チップ2に搭載されている。本実施形態の無線タグ1は、内部に電池などの電源を備えておらず、例えば読み取り装置(リーダー)9が発した電波をアンテナ4を介して受け取り、受け取った電波を使って電磁誘導で発電し、発電した電源で回路を動かし、記憶(格納)した識別情報を無線で送信するものである。
【0021】
次に、無線タグ1の製造に使用されるフレーム構造体について、図4及び図5を用いて説明する。
【0022】
図4及び図5に示すように、フレーム構造体10は、フレーム本体11で区画されたアンテナ配置領域14をX方向に沿う長手方向に所定の間隔をおいて複数配置した構成になっており、各アンテナ配置領域14には複数のアンテナ4が配置されている。フレーム構造体10の両側(2つの長辺側)には、フレーム本体10を移動操作するために使用される送り穴(パーフォレーション孔)13が一定間隔に設けられている。
【0023】
フレーム構造体10は、例えば、Cu又はCu系の合金からなる薄い金属板にエッチング加工を施して所定のアンテナパターンを形成し、その後、金属部の表面にメッキ法でSnメッキ層を形成することによって形成される。
【0024】
各アンテナ配置領域14において、複数のアンテナ4はY方向に沿うフレーム構造体10の短辺方向に所定の間隔をおいて配置されている。これらのアンテナ4は、フレーム構造体10の長辺方向における両端が夫々連結部12を介してフレーム本体11に連結されている。
【0025】
次に、無線タグの製造について、図6乃至図9を用いて説明する。図6は無線タグ1の製造工程を示す図((a),(b),(c))であり、図7は、図6に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))であり、図8は、図7に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))であり、図9は、図8に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))である。
【0026】
まず、半導体ウエハ20を準備する。半導体ウエハ20の主面(回路形成面)には、ダイシング領域で区画された複数のチップ形成領域が行列状に配置されている。この各チップ形成領域には、メモリ回路2a、無線通信用のRF回路2b、及びロジック回路2cを含む集積回路が形成されており、更に複数の突起状電極3が形成されている。
【0027】
次に、図6(a)に示すように、半導体ウエハ20の主面がバックグラインドテープ21と向かい合う状態でバックグラインドテープ21に半導体ウエハ20を貼り付け、その後、半導体ウエハ20の裏面にバックグラインド処理及びエッチング処理を施して、半導体ウエハ20の厚さを薄くする。本実施形態では、半導体ウエハ20の厚さが例えば約60μm程度になるように処理を施す。
【0028】
次に、図6(b)に示すように、ダイシングテープ22に半導体ウエハ20を貼り付け、その後、半導体ウエハ20のダイシング領域をダイシングブレード23でダイシングして、複数の半導体チップ2を形成する。
【0029】
次に、図6(c)に示すように、ダイシングテープ22から位置決め台24に半導体チップ2をコレット26で順次搬送する。位置決め台24には複数の開口部を有する整列マスク24が配置され、この整列マスク24の各開口部に半導体チップ2を搬送して、半導体チップ2の位置決めを行う。
【0030】
次に、図6(d)に示すように、多列コレット27で複数の半導体チップ2を吸引し、図7(a)に示すように、ヒートステージ28に複数の半導体チップ2を一括して搬送する。半導体チップ2の一括搬送は、アンテナ配置領域14毎に行う。
【0031】
次に、図7(b)に示すように、複数のアンテナ4と複数の半導体チップ2とが夫々向かい合うようにフレーム構造体10を位置決めし、その後、図7(c)に示すように、突起状電極3にアンテナ4を圧着ツール29で圧着し、複数のアンテナ4と複数の半導体チップ2とを一括して夫々電気的に接続する。この工程において、複数の半導体チップ2は、複数のアンテナ4に夫々一括して実装される。半導体チップ2とアンテナ4との接続は、半導体チップ2及びアンテナ4をヒートステージ28及び圧着ツール29で加熱しながら行う。本実施形態において、半導体チップ2とアンテナ4との接続は、例えばアンテナ配置領域14毎に行う。
【0032】
次に、図8(a)に示すように、マルチノズル30を使用し、各アンテナ4と各半導体チップ2との間に樹脂6を一括して注入し、各半導体チップ2の主面を樹脂封止する。本実施形態において、樹脂6の一括注入は、例えばアンテナ配置領域14毎に行う。また、樹脂6の注入は、アンテナ4の裏面からアンテナ4に設けられたスリット5を通して行う。この時、半導体チップ2の主面と向かい合う位置にノズルを配置した状態で行う。樹脂6としては例えばエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いる。この工程において、アンテナ4の裏面であって、半導体チップ2の主面と向かい合う位置からスリット5の第1の部分5aを通して樹脂6を注入することにより、半導体チップ2の側面側からアンテナ4と半導体チップ2との間に樹脂注入する場合と比較して、半導体チップ2の主面を確実に樹脂封止することができる。
【0033】
次に、図8(b)に示すように、マルチノズル30を使用し、各半導体チップ2の裏面に樹脂7を一括して塗布して、各半導体チップ2の裏面を樹脂7で覆う。樹脂7の一括塗布は、例えばアンテナ配置領域14毎に行う。樹脂7としては例えばエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いる。この工程により、図1及び図2に示す無線タグ1がほぼ完成する。
【0034】
この後、フレーム構造体10を切断し、図9に示すように、アンテナ4の長手方向に複数のアンテナ4が連結されたアンテナ連結体31を形成する。このアンテナ連結体31は、リールに巻き付けられて保管される。
【0035】
図10は、無線タグ1を内蔵した紙の模式的断面図である。
【0036】
図10に示すように、無線タグ1は、紙35の中に内蔵されている。紙35の厚さ35Tは例えば約200μmに設定されている。
【0037】
次に、紙35の製造について、図11乃至図13を用いて説明する。図11は、紙の製造に使用される抄紙機の概略構成を示すブロック図であり、図12は、紙の製造に使用される巻替機(リワイヤダー)の概略構成を示すブロック図であり、図13は、紙の製造に使用される断裁機(カッター)の概略構成を示すブロック図である。
【0038】
図11に示すように、抄紙機40は、連続した第1の表層(紙原料)35aを形成するための抄網部41aと、連続した第2の表層(紙原料)35bを形成するための抄網部41aと、上下1組のロール間に第1及び第2の表層(35a,35b)を通過させ圧縮し、これらの表層から水を搾って単一の紙にする圧搾部42と、単一の紙を乾燥させる乾燥部43と、単一の紙に表面処理を施す表面処理部44と、単一の紙の湿度を調節する調湿部45と、単一の紙を巻き取る巻き取り部46と、第1の表層35aと第2の表層35bとの間に無線タグ1を挿入して挟み込む挿入部47とを有する構成になっている。この抄紙機40による紙35の形成は、第1の紙層35aと第2の紙層35bとの間に無線タグ1を挟み込んで第1及び第2の紙層を圧縮することによって行われる。無線タグ1は、所定の間隔をおいて順次挿入される。
【0039】
抄網部41a及び41bは、これに限定されないが、例えば円網機で構成されている。円網機は、表面を金網で構成する円筒を原料おけに浸して回転させ、円筒内外の水位差金網上に紙層を形成し、これをエンドレスの毛布に移し取る。
【0040】
巻き取り部46で巻き取られた紙35は、図12に示す巻替機51によってローラに巻き取られる。ローラに巻き取られた紙35は、断裁機52によって所定の大きさに切断される。
【0041】
このように、記録された識別情報を無線で送信する無線タグ1を有する紙35の製造において、第1の紙層35aと第2の紙層35ことの間に無線タグ1を挟み込んで第1及び第2の紙層(35a,35b)を圧縮することにより、紙35の中に無線タグ1を確実に内蔵させることができる。また、紙層の表面張力の影響を受けないため、アンテナ4が大きい無線タグ1においても紙35の中に確実に内蔵させることができる。
【0042】
記録された識別情報を無線で送信する無線タグ1の製造において、フレーム本体11に支持されたアンテナ4を有するフレーム構造体10と、主面に突起状電極3が配置された半導体チップ2とを準備する工程と、
突起状電極3を介在してアンテナ4と半導体チップ2とを電気的に接続する工程と、
アンテナ4と半導体チップ2との間に樹脂6を注入する工程とを含む。これにより、薄型化に好適な無線タグ1を製造することができる。
【0043】
記録された識別情報を無線で送信する無線タグの製造方法において、
フレーム本体に支持された複数のアンテナを有するフレーム構造体と、主面に突起状電極が配置された複数の半導体チップとを準備する工程と、
前記突起状電極を介在して前記複数のアンテナと前記複数の半導体チップとを一括して夫々電気的に接続する工程と、
前記各アンテナと前記各半導体チップとの間に樹脂を一括して注入する工程とを含むことにより、無線タグ1の製造におけるスループットを高めことができるため、無線タグの低コスト化を図ることができる。
【0044】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【0045】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【0046】
本発明によれば、紙の中に無線タグを確実に内蔵させることができる。
【0047】
本発明によれば、無線タグの薄型化を図ることができる。
【0048】
本発明によれば、無線タグの低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態である紙に内蔵される無線タグの概略構成を示す図((a)は模式的平面図,(b)は模式的断面図)である。
【図2】図1(a)の一部を拡大した模式的断面図である。
【図3】図1の無線タグと読み出し装置(リーダー)とを示すブロック図である。
【図4】図1の無線タグの製造に使用されるフレーム構造体の一部を示す模式的平面図である。
【図5】図4の一部を拡大した模式的平面図である。
【図6】図1の無線タグの製造工程を示す図((a),(b),(c))である。
【図7】図6に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))である。
【図8】図7に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))である。
【図9】図8に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))である。
【図10】図1の無線タグを内蔵した紙の模式的断面図である。
【図11】図10の紙の製造に使用される抄紙機の概略構成を示すブロック図である。
【図12】図10の紙の製造に使用される巻替機(リワイヤダー)の概略構成を示すブロック図である。
【図13】図10の紙の製造に使用される断裁機(カッター)の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…無線タグ、2…半導体チップ、2a…メモリ回路、2b…RF回路、2c…ロジック回路、3…突起状電極、4…アンテナ、5…スリット、6,7…封止樹脂、9…読み取り装置、
10…アンテナフレーム構造体、11…フレーム本体、12…連結部、13…送り穴、14…アンテナ配置領域、
20…半導体ウエハ、21…バックグラインドテープ(保持テープ)、22…ダイシングテープ(保持テープ)、23…ダイシングブレード、24…台、25…整列マスク、26…コレット、27…多列コレット、28…ヒートステージ、29…圧着ツール、30…マルチノズル。
【発明の属する技術分野】
本発明は、無線タグを有する紙の製造技術、及び無線タグの製造技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置として、例えば無線タグと呼ばれるものが知られている。この無線タグは、内部に電池などの電源を備えておらず、例えば読み取り装置(リーダー)が発した電波をアンテナを介して受け取り、受け取った電波を使って電磁誘導で発電し、発電した電源で回路を動かし、記憶(格納)した識別情報を無線で送信するものである。この無線タグは、RFID(Radio Frequency Identification)タグ、非接触IDタグ、非接触IDタグ、非接触IDタグとも呼ばれている。
【0003】
無線タグは、様々な分野で利用が可能である。例えばチケットや商品券などの紙製品に無線タグを取り付け(装着し)、販売管理や在庫管理、そして偽装防止などを行うことができる。この紙製品における無線タグの取り付け方法としては、紙に無線タグを貼り付ける方法と、紙の中に無線タグを内蔵させる方法がある。紙の中に無線タグを内蔵させる技術に関する公知例としては、例えば特開2000−58486号公報(特許文献1)があげられる。この公報には、水溶性シートに電子回路チップを装着し、この水溶性シート及び電子回路チップを液状もしくは半液状の状態にある紙(紙原料)の中に沈下させ、水溶性シートを溶かし込むことによって、紙の中に電子回路チップを内蔵させることが記載されている。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−58486号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特許文献1に記載された技術は、無線タグにおいても適用することができる。しかしながら、前述の特許文献1に記載された技術は、水溶性シート及び電子回路チップの重みによって紙原料の中に沈下させているため、電子回路チップの沈み込みにバラツキが生じ易い。また、無線タグの通信距離を伸ばすためにはアンテナを大きくする必要があり、アンテナが大きい無線タグにおいては紙原料の表面張力の影響によって沈まなくなる。従って、前述の特許文献1に記載された技術では、紙の中に無線タグを確実に内蔵させることが困難である。
【0006】
紙の中に無線タグを内蔵させるためには、無線タグの薄型化が必要である。また、無線タグの利用を拡大するためには、無線タグの低コスト化が必要である。
【0007】
本発明の目的は、紙の中に無線タグを確実に内蔵させることが可能な技術を提供することにある。
【0008】
本発明の他の目的は、無線タグの薄型化を図ることが可能な技術を提供することにある。
【0009】
本発明の他の目的は、無線タグの低コスト化を図ることが可能な技術を提供することにある。
【0010】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
(1)記録された識別情報を無線で送信する無線タグを有する紙の製造方法であって、
第1の紙層と第2の紙層との間に前記無線タグを挟み込んで前記第1及び第2の紙層を圧縮する工程を含む。
(2)記録された識別情報を無線で送信する無線タグの製造方法であって、
フレーム本体に支持されたアンテナを有するフレーム構造体と、主面に突起状電極が配置された半導体チップとを準備する工程と、
前記突起状電極を介在して前記アンテナと前記半導体チップとを電気的に接続する工程と、
前記アンテナと前記半導体チップとの間に樹脂を注入する工程とを含む。
(3)無線タグの製造方法であって、
フレーム本体に支持された複数のアンテナを有するフレーム構造体と、主面に突起状電極が配置された複数の半導体チップとを準備する工程と、
前記突起状電極を介在して前記複数のアンテナと前記複数の半導体チップとを一括して夫々電気的に接続する工程と、
前記各アンテナと前記各半導体チップとの間に樹脂を一括して注入する工程とを含む。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、発明の実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0013】
図1は、紙に内蔵される無線タグの概略構成を示す図((a)は平面図,(b)は断面図)であり、
図2は、図1(b)の一部を拡大した断面図である。
【0014】
図3は、図1の無線タグと読み出し装置(リーダー)とを示すブロック図であり、
図4は、図1の無線タグの製造に使用されるフレーム構造体の一部を示す模式的平面図であり、
図5は、図4の一部を拡大した模式的平面図である。
【0015】
図1及び図2に示すように、本実施形態1の無線タグ1は、アンテナ4、アンテナ4に実装された半導体チップ2、半導体チップ2の主面(回路形成面)を覆うようにしてアンテナ4と半導体チップ2との間に注入された樹脂6、半導体チップ2の主面と反対側の裏面を覆うようにして設けられた樹脂7等を有する構成になっている。
【0016】
半導体チップ2は、その厚さ方向と直行する平面形状が方形状になっており、本実施形態では例えば約0.4mm×0.4mmの正方形で形成されている。半導体チップ2は、その主面とアンテナ4との間に複数の突起状電極3を介在してアンテナ4と電気的に接続されている。突起状電極3は、アンテナ4に半導体チップ2を実装する前の段階において、例えば半導体チップ2の主面に配置されている。突起状電極3としては例えばAuバンプが用いられている。
【0017】
アンテナ4は、その厚さ方向と直交する平面形状が方形状になっており、本実施形態では例えば長辺及び短辺を有する長方形で形成されている。本実施形態において、アンテナ4は、例えばX方向に沿う長辺方向の長さ4Lが約3mm、X方向と直交するY方向に沿う短辺方向の幅4Wが約56mmになっている。アンテナ4は、これに限定されないが、例えば、Cu箔からなるベース部材と、このベース部材の表面を覆うようにして形成されたSnメッキ層とを有する構成になっている。
【0018】
本実施形態において、半導体チップ2の厚さ2Tは例えば約60μm、アンテナ4の厚さは例えば約19μm、突起状電極3の高さは例えば約15μm、樹脂7の最も厚い部分での厚さは例えば約50μmになっており、これらの厚さを加味した無線タグ1の厚さは例えば約134μmになっている。
【0019】
アンテナ4には、スリット5が設けられている。このスリット5は、図5に示すように、アンテナ4の互いに反対側に位置する2つの長辺のうちの一方の長辺から反対側の他方の長辺に向かって延びる第1の部分5aと、この第1の部分5aからアンテナ4の互いに反対側に位置する2つの短辺のうちの一方の短辺に向かって延びる第2の部分5bとを有する構成になっている。半導体チップ2は、スリット5の第1の部分5aを跨ぐようにしてアンテナ4に実装されている。
【0020】
無線タグ1は、図3に示すように、識別情報を記憶(格納)するメモリ回路2aと、無線通信用のRF回路2bと、これらをつなぐロジック回路2cとが基本構成となる集積回路を有し、この集積回路は半導体チップ2に搭載されている。本実施形態の無線タグ1は、内部に電池などの電源を備えておらず、例えば読み取り装置(リーダー)9が発した電波をアンテナ4を介して受け取り、受け取った電波を使って電磁誘導で発電し、発電した電源で回路を動かし、記憶(格納)した識別情報を無線で送信するものである。
【0021】
次に、無線タグ1の製造に使用されるフレーム構造体について、図4及び図5を用いて説明する。
【0022】
図4及び図5に示すように、フレーム構造体10は、フレーム本体11で区画されたアンテナ配置領域14をX方向に沿う長手方向に所定の間隔をおいて複数配置した構成になっており、各アンテナ配置領域14には複数のアンテナ4が配置されている。フレーム構造体10の両側(2つの長辺側)には、フレーム本体10を移動操作するために使用される送り穴(パーフォレーション孔)13が一定間隔に設けられている。
【0023】
フレーム構造体10は、例えば、Cu又はCu系の合金からなる薄い金属板にエッチング加工を施して所定のアンテナパターンを形成し、その後、金属部の表面にメッキ法でSnメッキ層を形成することによって形成される。
【0024】
各アンテナ配置領域14において、複数のアンテナ4はY方向に沿うフレーム構造体10の短辺方向に所定の間隔をおいて配置されている。これらのアンテナ4は、フレーム構造体10の長辺方向における両端が夫々連結部12を介してフレーム本体11に連結されている。
【0025】
次に、無線タグの製造について、図6乃至図9を用いて説明する。図6は無線タグ1の製造工程を示す図((a),(b),(c))であり、図7は、図6に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))であり、図8は、図7に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))であり、図9は、図8に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))である。
【0026】
まず、半導体ウエハ20を準備する。半導体ウエハ20の主面(回路形成面)には、ダイシング領域で区画された複数のチップ形成領域が行列状に配置されている。この各チップ形成領域には、メモリ回路2a、無線通信用のRF回路2b、及びロジック回路2cを含む集積回路が形成されており、更に複数の突起状電極3が形成されている。
【0027】
次に、図6(a)に示すように、半導体ウエハ20の主面がバックグラインドテープ21と向かい合う状態でバックグラインドテープ21に半導体ウエハ20を貼り付け、その後、半導体ウエハ20の裏面にバックグラインド処理及びエッチング処理を施して、半導体ウエハ20の厚さを薄くする。本実施形態では、半導体ウエハ20の厚さが例えば約60μm程度になるように処理を施す。
【0028】
次に、図6(b)に示すように、ダイシングテープ22に半導体ウエハ20を貼り付け、その後、半導体ウエハ20のダイシング領域をダイシングブレード23でダイシングして、複数の半導体チップ2を形成する。
【0029】
次に、図6(c)に示すように、ダイシングテープ22から位置決め台24に半導体チップ2をコレット26で順次搬送する。位置決め台24には複数の開口部を有する整列マスク24が配置され、この整列マスク24の各開口部に半導体チップ2を搬送して、半導体チップ2の位置決めを行う。
【0030】
次に、図6(d)に示すように、多列コレット27で複数の半導体チップ2を吸引し、図7(a)に示すように、ヒートステージ28に複数の半導体チップ2を一括して搬送する。半導体チップ2の一括搬送は、アンテナ配置領域14毎に行う。
【0031】
次に、図7(b)に示すように、複数のアンテナ4と複数の半導体チップ2とが夫々向かい合うようにフレーム構造体10を位置決めし、その後、図7(c)に示すように、突起状電極3にアンテナ4を圧着ツール29で圧着し、複数のアンテナ4と複数の半導体チップ2とを一括して夫々電気的に接続する。この工程において、複数の半導体チップ2は、複数のアンテナ4に夫々一括して実装される。半導体チップ2とアンテナ4との接続は、半導体チップ2及びアンテナ4をヒートステージ28及び圧着ツール29で加熱しながら行う。本実施形態において、半導体チップ2とアンテナ4との接続は、例えばアンテナ配置領域14毎に行う。
【0032】
次に、図8(a)に示すように、マルチノズル30を使用し、各アンテナ4と各半導体チップ2との間に樹脂6を一括して注入し、各半導体チップ2の主面を樹脂封止する。本実施形態において、樹脂6の一括注入は、例えばアンテナ配置領域14毎に行う。また、樹脂6の注入は、アンテナ4の裏面からアンテナ4に設けられたスリット5を通して行う。この時、半導体チップ2の主面と向かい合う位置にノズルを配置した状態で行う。樹脂6としては例えばエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いる。この工程において、アンテナ4の裏面であって、半導体チップ2の主面と向かい合う位置からスリット5の第1の部分5aを通して樹脂6を注入することにより、半導体チップ2の側面側からアンテナ4と半導体チップ2との間に樹脂注入する場合と比較して、半導体チップ2の主面を確実に樹脂封止することができる。
【0033】
次に、図8(b)に示すように、マルチノズル30を使用し、各半導体チップ2の裏面に樹脂7を一括して塗布して、各半導体チップ2の裏面を樹脂7で覆う。樹脂7の一括塗布は、例えばアンテナ配置領域14毎に行う。樹脂7としては例えばエポキシ系の熱硬化性樹脂を用いる。この工程により、図1及び図2に示す無線タグ1がほぼ完成する。
【0034】
この後、フレーム構造体10を切断し、図9に示すように、アンテナ4の長手方向に複数のアンテナ4が連結されたアンテナ連結体31を形成する。このアンテナ連結体31は、リールに巻き付けられて保管される。
【0035】
図10は、無線タグ1を内蔵した紙の模式的断面図である。
【0036】
図10に示すように、無線タグ1は、紙35の中に内蔵されている。紙35の厚さ35Tは例えば約200μmに設定されている。
【0037】
次に、紙35の製造について、図11乃至図13を用いて説明する。図11は、紙の製造に使用される抄紙機の概略構成を示すブロック図であり、図12は、紙の製造に使用される巻替機(リワイヤダー)の概略構成を示すブロック図であり、図13は、紙の製造に使用される断裁機(カッター)の概略構成を示すブロック図である。
【0038】
図11に示すように、抄紙機40は、連続した第1の表層(紙原料)35aを形成するための抄網部41aと、連続した第2の表層(紙原料)35bを形成するための抄網部41aと、上下1組のロール間に第1及び第2の表層(35a,35b)を通過させ圧縮し、これらの表層から水を搾って単一の紙にする圧搾部42と、単一の紙を乾燥させる乾燥部43と、単一の紙に表面処理を施す表面処理部44と、単一の紙の湿度を調節する調湿部45と、単一の紙を巻き取る巻き取り部46と、第1の表層35aと第2の表層35bとの間に無線タグ1を挿入して挟み込む挿入部47とを有する構成になっている。この抄紙機40による紙35の形成は、第1の紙層35aと第2の紙層35bとの間に無線タグ1を挟み込んで第1及び第2の紙層を圧縮することによって行われる。無線タグ1は、所定の間隔をおいて順次挿入される。
【0039】
抄網部41a及び41bは、これに限定されないが、例えば円網機で構成されている。円網機は、表面を金網で構成する円筒を原料おけに浸して回転させ、円筒内外の水位差金網上に紙層を形成し、これをエンドレスの毛布に移し取る。
【0040】
巻き取り部46で巻き取られた紙35は、図12に示す巻替機51によってローラに巻き取られる。ローラに巻き取られた紙35は、断裁機52によって所定の大きさに切断される。
【0041】
このように、記録された識別情報を無線で送信する無線タグ1を有する紙35の製造において、第1の紙層35aと第2の紙層35ことの間に無線タグ1を挟み込んで第1及び第2の紙層(35a,35b)を圧縮することにより、紙35の中に無線タグ1を確実に内蔵させることができる。また、紙層の表面張力の影響を受けないため、アンテナ4が大きい無線タグ1においても紙35の中に確実に内蔵させることができる。
【0042】
記録された識別情報を無線で送信する無線タグ1の製造において、フレーム本体11に支持されたアンテナ4を有するフレーム構造体10と、主面に突起状電極3が配置された半導体チップ2とを準備する工程と、
突起状電極3を介在してアンテナ4と半導体チップ2とを電気的に接続する工程と、
アンテナ4と半導体チップ2との間に樹脂6を注入する工程とを含む。これにより、薄型化に好適な無線タグ1を製造することができる。
【0043】
記録された識別情報を無線で送信する無線タグの製造方法において、
フレーム本体に支持された複数のアンテナを有するフレーム構造体と、主面に突起状電極が配置された複数の半導体チップとを準備する工程と、
前記突起状電極を介在して前記複数のアンテナと前記複数の半導体チップとを一括して夫々電気的に接続する工程と、
前記各アンテナと前記各半導体チップとの間に樹脂を一括して注入する工程とを含むことにより、無線タグ1の製造におけるスループットを高めことができるため、無線タグの低コスト化を図ることができる。
【0044】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【0045】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【0046】
本発明によれば、紙の中に無線タグを確実に内蔵させることができる。
【0047】
本発明によれば、無線タグの薄型化を図ることができる。
【0048】
本発明によれば、無線タグの低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態である紙に内蔵される無線タグの概略構成を示す図((a)は模式的平面図,(b)は模式的断面図)である。
【図2】図1(a)の一部を拡大した模式的断面図である。
【図3】図1の無線タグと読み出し装置(リーダー)とを示すブロック図である。
【図4】図1の無線タグの製造に使用されるフレーム構造体の一部を示す模式的平面図である。
【図5】図4の一部を拡大した模式的平面図である。
【図6】図1の無線タグの製造工程を示す図((a),(b),(c))である。
【図7】図6に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))である。
【図8】図7に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))である。
【図9】図8に続く無線タグの製造工程を示す図((a),(b))である。
【図10】図1の無線タグを内蔵した紙の模式的断面図である。
【図11】図10の紙の製造に使用される抄紙機の概略構成を示すブロック図である。
【図12】図10の紙の製造に使用される巻替機(リワイヤダー)の概略構成を示すブロック図である。
【図13】図10の紙の製造に使用される断裁機(カッター)の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…無線タグ、2…半導体チップ、2a…メモリ回路、2b…RF回路、2c…ロジック回路、3…突起状電極、4…アンテナ、5…スリット、6,7…封止樹脂、9…読み取り装置、
10…アンテナフレーム構造体、11…フレーム本体、12…連結部、13…送り穴、14…アンテナ配置領域、
20…半導体ウエハ、21…バックグラインドテープ(保持テープ)、22…ダイシングテープ(保持テープ)、23…ダイシングブレード、24…台、25…整列マスク、26…コレット、27…多列コレット、28…ヒートステージ、29…圧着ツール、30…マルチノズル。
Claims (9)
- 記録された識別情報を無線で送信する無線タグを有する紙の製造方法であって、
第1の紙層と第2の紙層との間に前記無線タグを挟み込んで前記第1及び第2の紙層を圧縮する工程を含むことを特徴とする紙の製造方法。 - 請求項1に記載の紙の製造方法において、
前記無線タグは、長辺及び短辺を有するアンテナと、前記アンテナよりも平面サイズが小さい半導体チップであって、前記アンテナに突起状電極を介在して実装された半導体チップとを有する構成になっていることを特徴とする紙の製造方法。 - 記録された識別情報を無線で送信する無線タグを準備する工程と、
連続して流れる第1の紙層と第2の紙層との間に所定の間隔をおいて前記無線タグを順次挿入する工程と、前記無線タグが挿入された前記第1及び第2の紙層を圧着して紙を形成する工程と、前記紙を巻き取る工程とを含むことを特徴とする紙の製造方法。 - 記録された識別情報を無線で送信する無線タグの製造方法であって、
フレーム本体に支持されたアンテナを有するフレーム構造体と、主面に突起状電極が配置された半導体チップとを準備する工程と、
前記突起状電極を介在して前記アンテナと前記半導体チップとを電気的に接続する工程と、
前記アンテナと前記半導体チップとの間に樹脂を注入する工程とを有することを特徴とする無線タグの製造方法。 - 請求項4に記載の無線タグの製造方法において、
前記アンテナは、前記半導体チップの主面と向かい合う部分にスリットを有し、
前記樹脂の注入は、前記スリットを通して行うことを特徴とする無線タグの製造方法。 - 請求項4に記載の無線タグの製造方法において、
前記半導体チップの主面と反対側の裏面に樹脂を塗布する工程を更に含むことを特徴とする無線タグの製造方法。 - フレーム本体に支持された複数のアンテナを有するフレーム構造体と、主面に突起状電極が配置された複数の半導体チップとを準備する工程と、
前記突起状電極を介在して前記複数のアンテナと前記複数の半導体チップとを一括して夫々電気的に接続する工程と、
前記各アンテナと前記各半導体チップとの間に樹脂を一括して注入する工程とを含むことを特徴とする無線タグの製造方法。 - 請求項7に記載の無線タグの製造方法において、
前記アンテナは、前記半導体チップの主面と向かい合う部分にスリットを有し、
前記樹脂の注入は、前記スリットを通して行うことを特徴とする無線タグの製造方法。 - 請求項7に記載の無線タグの製造方法において、
前記各半導体チップの主面と反対側の裏面に樹脂を一括して塗布する工程を更に含むことを特徴とする無線タグの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002259216A JP2004102353A (ja) | 2002-09-04 | 2002-09-04 | 紙の製造方法及び無線タグの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002259216A JP2004102353A (ja) | 2002-09-04 | 2002-09-04 | 紙の製造方法及び無線タグの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004102353A true JP2004102353A (ja) | 2004-04-02 |
Family
ID=32260315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002259216A Pending JP2004102353A (ja) | 2002-09-04 | 2002-09-04 | 紙の製造方法及び無線タグの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004102353A (ja) |
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