JP2004083944A - 金属膜作製方法及び金属膜作製装置 - Google Patents
金属膜作製方法及び金属膜作製装置 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】密着性及び埋め込み性に優れた金属膜を成膜可能な金属膜作製方法及び金属膜作製装置を提供する。
【解決手段】プラズマアンテナ９によりチャンバ１内に発生させたガスプラズマで銅板部材７をエッチングし、温度制御手段６により銅板部材７よりも基板３の温度を低くすることにより、Ｃｕ薄膜１６を基板３に成膜させるにあたり、まずノズル１２から供給されるハロゲン含有の原料ガスで銅板部材７をハロゲン化し、次にノズル１９から供給される希ガスをプラズマ化した希ガスプラズマで前記ハロゲン化された銅板部材７をエッチングすることにより第１の金属膜を成膜し、次にノズル１２から供給される原料ガスをプラズマ化したハロゲンガスプラズマで銅板部材７をエッチングすることで前駆体１５を生成させた後に前駆体１５のＣｕ成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜し、Ｃｕ薄膜１６とする。
【選択図】 図１
【解決手段】プラズマアンテナ９によりチャンバ１内に発生させたガスプラズマで銅板部材７をエッチングし、温度制御手段６により銅板部材７よりも基板３の温度を低くすることにより、Ｃｕ薄膜１６を基板３に成膜させるにあたり、まずノズル１２から供給されるハロゲン含有の原料ガスで銅板部材７をハロゲン化し、次にノズル１９から供給される希ガスをプラズマ化した希ガスプラズマで前記ハロゲン化された銅板部材７をエッチングすることにより第１の金属膜を成膜し、次にノズル１２から供給される原料ガスをプラズマ化したハロゲンガスプラズマで銅板部材７をエッチングすることで前駆体１５を生成させた後に前駆体１５のＣｕ成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜し、Ｃｕ薄膜１６とする。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は金属膜作製方法及び金属膜作製装置に関し、特に狭ギャップの内部や活性の低い表面に金属膜を成膜する場合に適用して有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】
電気的な配線が施されている半導体では、スイッチングの速度や伝送損失の低減、高密度化等の要請から、配線の材料として銅が用いられるようになってきている。
【０００３】
銅の配線を施す場合、配線用の凹部を表面に有する基板に対し、まずバリアメタル膜を成膜した後、その上に銅を成膜することによって配線を施す。バリアメタル膜とは、例えばタンタル、チタン、シリコン等の窒化物からなり、基板に対する銅の拡散をなくして銅の密着性を保持するために成膜される。
【０００４】
配線用の凹部などの狭ギャップにバリアメタル膜や銅を成膜する場合に、例えばスパッタ法により行うと成膜の方向性が均一ではないため、小さな凹部では内部が成膜される前に凹部の入口部が成膜されて埋め込み性が不十分になる問題がある。
【０００５】
これに対し、本発明者らは、塩素ガス等のプラズマを利用した金属膜の成膜において、プラズマ源となるガスのガス流量やガス圧等を制御し、成膜される金属粒子の大きさを調整することにより、埋め込み性を向上させた成膜を行う方法を特願２００２−２７７２７号等において提案している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前記提案では埋め込み性の向上と共に膜の密着性の向上も得られている。しかしながら、低い表面活性を有する膜、特に窒化金属等により構成されるバリアメタル膜に成膜する場合には、膜同士の密着性は未だ十分ではなく、更なる向上が求められている。
【０００７】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、配線用の溝等が設けられた基板に対し成膜される金属膜を密着性に優れ且つ埋め込み性よく作製できる金属膜作製装置及び金属膜作製方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決する第１の発明に係る金属膜作製方法は、
基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲン化工程を行い、次に、希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする。
【０００９】
上記目的を解決する第２の発明に係る金属膜作製方法は、
基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする。
【００１０】
上記目的を解決する第３の発明に係る金属膜作製方法は、
基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し、かつ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする。
【００１１】
上記目的を解決する第４の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第３の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さいことを特徴とする。
【００１２】
上記目的を解決する第５の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第４の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記第２金属膜成膜工程では、前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させることにより、成膜される金属成分の粒子径を段階的に増加させながら、前記第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜することを特徴とする。
【００１３】
上記目的を解決する第６の発明に係る金属膜作製方法は、第５の発明に係る金属膜作製方法において、
前記基板には配線形成用の溝が設けられ、
前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる際には、まず前記配線形成用の溝の内部を成膜しうる粒子径の金属成分に対応する流量でハロゲンガスを供給し、前記溝の内部の成膜が完了した後にハロゲンガスの量を増加させるようにしたことを特徴とする。
【００１４】
上記目的を解決する第７の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第６の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記基板の表面が成膜したい金属成分に対して不活性であることを特徴とする。
【００１５】
上記目的を解決する第８の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第６の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されていることを特徴とする。
【００１６】
上記目的を解決する第９の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第８の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記ハロゲンガスは、塩素ガスであることを特徴とする。
【００１７】
上記目的を解決する第１０の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第９の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記金属は銅であることを特徴とする。
【００１８】
上記目的を解決する第１１の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第１０の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記希ガスは、アルゴンガスであることを特徴とする。
【００１９】
上記目的を解決する第１２の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを第１所定時間供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記ハロゲンガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２０】
上記目的を解決する第１３の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記ハロゲンガス供給手段によりハロゲンガスを第１所定時間供給し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
上記目的を解決する第１４の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記原料ガス供給手段により原料ガスを第１所定時間供給し被エッチング部材をハロゲン化し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により第３所定時間供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２２】
上記目的を解決する第１５の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２３】
上記目的を解決する第１６の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
上記目的を解決する第１７の発明に係る金属膜作製装置は、第１５または第１６の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材は、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し且つ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材であることを特徴とする。
【００２５】
上記目的を解決する第１８の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第１７の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さいことを特徴とする。
【００２６】
上記目的を解決する第１９の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第１８の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記原料ガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる原料ガス流量制御手段を更に備えたことを特徴とする。
【００２７】
上記目的を解決する第２０の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第１９の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記基板の表面が成膜したい金属成分に対して不活性であることを特徴とする。
【００２８】
上記目的を解決する第２１の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第１９の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されていることを特徴とする。
【００２９】
上記目的を解決する第２２の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第２１の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記ハロゲンは、塩素であることを特徴とする。
【００３０】
上記目的を解決する第２３の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第２２の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記金属は銅であることを特徴とする。
【００３１】
上記目的を解決する第２４の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第２３の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記希ガスは、アルゴンガスであることを特徴とする。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置を説明する。本発明に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置は、基板の表面に、拡散を防止するための、例えば、窒化タンタル（ＴａＮ）のバリアメタル層が作製されたものに対して、高い密着性と高い埋め込み性で金属成分の膜、例えば、銅（Ｃｕ）の膜を作製するようにしたものである。
【００３３】
＜第１の実施の形態＞
図１ないし図３に基づいて第１の実施形態に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置を説明する。図１には本発明の第１の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面、図２には本実施形態により成膜されるＣｕ膜の断面状況、図３には配線形成用の溝を有する基板上において本実施形態により成膜されるＣｕ膜の断面状況を示してある。
【００３４】
図１に示すように、筒形状に形成された、例えば、セラミックス製（絶縁材料製）のチャンバ１の底部近傍には支持台２が設けられ、支持台２には基板３が載置される。支持台２にはヒータ４及び冷媒流通手段５を備えた温度制御手段６が設けられ、支持台２は温度制御手段６により所定温度（例えば、基板３が１００℃〜２００℃に維持される温度）に制御される。チャンバ１の上面は開口部とされ、開口部は金属製の被エッチング部材である銅板部材７によって塞がれている。銅板部材７によって塞がれたチャンバ１の内部は真空装置８により所定の圧力に維持される。
【００３５】
チャンバ１の筒部の周囲にはコイル状のプラズマアンテナ９が設けられ、プラズマアンテナ９には整合器１０及び電源１１が接続されて高周波電流が供給される。プラズマアンテナ９、整合器１０及び電源１１によりプラズマ発生手段が構成されている。
【００３６】
支持台２とほぼ同じ高さにおけるチャンバ１の筒部には、チャンバ１の内部にハロゲンガスとしての塩素ガスを含有する原料ガス（Ｈｅ，Ａｒ等で塩素濃度が≦５０％、好ましくは１０％程度に希釈されたＣｌ２ ガス）を供給するノズル１２が接続されている。ノズル１２は銅板部材７に向けて開口し、ノズル１２には流量制御器１３（原料ガス流量制御手段）を介して原料ガスが送られる（原料ガス供給手段）。原料ガスは、成膜時にチャンバ１内において壁面側に沿って基板３側から銅板部材７側に送られる。なお、原料ガスに含有されるハロゲンとしては、フッ素（Ｆ２ ）、臭素（Ｂｒ２ ）及びヨウ素（Ｉ２ ）などを適用することが可能である。
【００３７】
一方、チャンバ１の筒部の上部には、チャンバ１の内部にＡｒガス等の希ガスを供給するノズル１９（希ガス供給手段）が接続されている。Ａｒガス等の希ガスは、流量制御器２０で流量を制御されてチャンバ１の内部へ送られる。
【００３８】
上述した金属膜作製装置では、以下に詳説する方法でＣｕ薄膜１６の成膜を行う。
【００３９】
＜被エッチング部材の塩素化工程＞
第１にチャンバ１の内部にノズル１２から原料ガスを所定時間（第１所定時間）供給し、銅板部材７の表面を塩素化する。なお、この塩素化工程は、ノズル１２とは別に塩素ガスを供給するノズル（ハロゲンガス供給手段）を設置して行ってもよい。
【００４０】
このときの反応は、次式で表すことができる。
２Ｃｕ（ｓ）＋Ｃｌ２ → ２ＣｕＣｌ（ｓ） ・・・（１）
ここで、ｓは固体状態を表す。
【００４１】
＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞
第２にノズル１９から希ガス（例えば、アルゴンガス）を所定時間（第２所定時間）供給すると共にプラズマアンテナ９から電磁波をチャンバ１の内部に入射することで、アルゴンガスをイオン化してアルゴンガスプラズマを発生させる。このアルゴンガスプラズマにより、銅板部材７が予備加熱されると共に、前記塩素化された銅板部材７にエッチング反応が生じ、基板３に小粒子径のＣｕ成分が成膜される。なお、アルゴンガスプラズマは、後に詳細に説明するＣｌ２ ガスプラズマ１４と同じ場所に発生する。
【００４２】
このときの反応は、次式で表すことができる。
ＣｕＣｌ（ｓ） → ＣｕＣｌ（ｇ） ・・・（２）
ＣｕＣｌ（ｇ） → Ｃｕ↓＋Ｃｌ＊ ・・・（３）
ＣｕＣｌ（ａｄ）＋Ｃｌ＊ → Ｃｕ＋Ｃｌ２ ↑ ・・・（４）
ここで、ｓは固体状態、ａｄは吸着状態を表す。式（２）は、塩素化された銅板部材７のＣｕ成分がアルゴンプラズマによりガス化された状態を示す。式（３）は、ガス化された塩化銅が気相においてＣｕと塩素ラジカルＣｌ＊ に解離すると共に、Ｃｕが基板３に成膜された状態を示す。式（４）は、ガス化された塩化銅が気相において解離せずに基板３に吸着した後、塩素ラジカルＣｌ＊ により還元された状態を示す。
【００４３】
アルゴンガスプラズマによる成膜の結果、図２（ａ） に示すように、小さな粒子径の前駆体１５ａ（例えば、０．０１μｍ）のＣｕの粒子が成膜され、バリアメタル層２１が隙間なく被覆される。この結果、高い被覆性を有するＣｕ膜を成膜することが可能となる。なお、アルゴンプラズマにより成膜されるＣｕ成分の粒子径が小さいことは、ＳＥＭ観察により確認されている。
【００４４】
また、アルゴンガスプラズマにより生成する前駆体は高い運動エネルギーをもっているため、バリアメタル層２１に高い密着性をもって成膜される。すなわち、被エッチング部材（銅板部材７）と基板３の温度差のみを利用した成膜よりも、この温度差に加えて更に前駆体の運動エネルギーを高めて成膜することでＣｕ膜のバリアメタル層に対する密着性を向上させることができる。なお、アルゴンプラズマによるエッチングで高い運動エネルギーをもった前駆体が生成するのは、通常のエッチングに加えて多少のスパッタリング効果があるためと考えられる。
【００４５】
＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞
第３にノズル１２から原料ガスを所定時間（第３所定時間）供給するとともにプラズマアンテナ９から電磁波をチャンバ１の内部に入射することで、Ｃｌ２ ガスをイオン化してＣｌ２ ガスプラズマ１４を発生させる。Ｃｌ２ ガスプラズマ１４により、銅板部材７にエッチング反応が生じ、前駆体（Ｃｕｘ Ｃｌｙ ）１５が生成される。このとき、銅板部材７は前述したアルゴンプラズマによる予備加熱とＣｌ２ ガスプラズマ１４による加熱により基板３の温度よりも高い所定温度（例えば、２００℃〜４００℃）に維持されている。
【００４６】
チャンバ１の内部で生成された前駆体（Ｃｕｘ Ｃｌｙ ）１５は、銅板部材７よりも低い温度に制御された基板３に運ばれる。基板３に運ばれた前駆体１５は基板３上のアルゴンプラズマにより成膜されたＣｕ膜に当てられ、還元反応（Ｃｌラジカルによるエッチング作用）によりＣｕ成分のみとされて基板３の表面にＣｕ薄膜１６が生成される。
【００４７】
このときの反応は、次式で表すことができる。
Ｃｕ（ｓ）＋Ｃｌ＊ → ＣｕＣｌ（ｇ） ・・・（５）
ＣｕＣｌ（ａｄ）＋Ｃｌ＊ → Ｃｕ＋Ｃｌ２ ↑ ・・・（６）
ここで、ｓは固体状態、ａｄは吸着状態を表す。式（５）は、銅板部材７のＣｕ成分がＣｌ２ ガスプラズマによりガス化された状態を示す。式（６）は、ガス化された塩化銅が基板３に吸着した後、塩素ラジカルＣｌ＊ により還元された状態を示す。これらの反応に関与しないガス及びエッチング生成物は排気口１７から排気される。
【００４８】
本実施例におけるＣｌ２ ガスプラズマによる成膜では、主として被エッチング部材（銅板部材７）と基板３の温度差のみを利用した成膜が行われる。しかしながら、一度アルゴンガスプラズマによる成膜が行われたＣｕ膜に対して成膜を行うので、密着性の高い成膜が可能である。また、図２（ｂ） に示すように、アルゴンガスプラズマにより成膜されたＣｕ粒子（前駆体１５ａで示す）よりも大きい粒子径の前駆体１５ｂ（例えば、０．０５μｍ）により成膜されるので、成膜速度が速い。
【００４９】
なお、成膜の一例として、バリアメタル層を窒化タンタル（ＴａＮ）とし、Ｃｌ２ ガスを所定の流量で約５分間（第１所定時間）供給した後、プラズマのパワー面積密度を２．２ｗ／ｃｍ２ とし、アルゴンガスを所定の流量で約５分間（第２所定時間）、Ｃｌ２ ガスを所定の流量で約５分間（第３所定時間）供給するという条件において成膜を行った。なお、これらのガスは手動で供給時間を調整して供給したが、この作業を自動的に行う装置（ガス供給制御手段）により行ってもよい。
【００５０】
この結果、小さな粒子径（例えば、０．０１μｍ以下）のＣｕの粒子が初期に成膜され、その上に大きな粒子径のＣｕの粒子（例えば、０．０５μｍ程度）が成膜されることが確認されている。また、この成膜されたＣｕ薄膜の密着性を評価するため、粘着テープを使用したピーリングテストにより剥離状況を確認した結果、剥離が全く生じないことが確認されている。
【００５１】
成膜初期の段階からＣｌ２ ガスを供給した場合、図２（ｃ）に示すように、大きな粒子径の前駆体１５ｃ（例えば、１μｍを越える）のＣｕの粒子が成膜され、バリアメタル層との間の隙間が多くなり、密着性が阻害されてしまう虞がある。また、成膜初期の段階からＣｌ２ ガスを供給した場合のＣｕ薄膜１６について、密着性を評価するため、ピーリングテストにより剥離状況を確認した結果、剥離が１００％生じたことを確認している。
【００５２】
アルゴンガスプラズマによるエッチング時間は、バリアメタル層の材質や成膜される金属により適宜設定される。例えば、窒化タンタル（ＴａＮ）からなるバリアメタル層にＣｕを成膜する場合を基準として考えると、窒化タングステン（ＷＮ）からなるバリアメタル層にＣｕを成膜する場合、タングステンはタンタルに比べてＣｕとの密着性が高いので、アルゴンガスプラズマによるエッチング時間を短めにすればよい。また、窒化チタン（ＴｉＮ）からなるバリアメタル層にＣｕを成膜する場合、チタンはタンタルに比べてＣｕとの密着性が低いので、エッチング時間を長めにすることが好ましい。このようにすることで、バリアメタル層の材質や成膜される金属にかかわらず密着性を向上させることが可能になる。
【００５３】
上記構成の金属膜作製装置は、Ｃｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）１４を用いているため、反応効率が大幅に向上して成膜速度が速くなる。また、原料ガスとしてＣｌ２ ガスを用いているため、コストを大幅に減少させることができる。また、温度制御手段６を用いて基板３を銅板部材７よりも低い温度に制御しているので、Ｃｕ薄膜１６中に塩素等の不純物の残留を少なくすることができ、高品質なＣｕ薄膜１６を生成することが可能になる。
【００５４】
尚、原料ガスとして、Ｈｅ，Ａｒ等で希釈されたＣｌ２ ガスを例に挙げて説明したが、Ｃｌ２ ガスを単独で用いたり、ＨＣｌガスを適用することも可能である。ＨＣｌガスを適用した場合、原料ガスプラズマとしてはＨＣｌガスプラズマが生成されるが、銅板部材７のエッチングにより生成される前駆体はＣｕｘ Ｃｌｙ である。従って、原料ガスは塩素を含有するガスであればよく、ＨＣｌガスとＣｌ２ ガスとの混合ガスを用いることも可能である。また、希ガスとしては、Ａｒの他に、ヘリウム、クリプトン、ネオン、クリプトン等が適用可能である。
【００５５】
本実施形態では、被エッチング部材として銅板部材７を用いて、この銅板部材７を塩素化する工程から説明した。しかしながら、これに限られず、銅板部材７の代わりに、塩化銅からなる被エッチング部材を用いる場合や、既に表面が塩素化されている銅板部材を用いることにより、前述した＜被エッチング部材の塩素化工程＞を省略することができる。例えば、次の場合に、既に表面が塩素化されている銅板部材を利用することができる。本発明者らは特願２００２−１５０２５８において、Ｃｕ成膜を行った後にチャンバ１内に付着した塩化銅をクリーニングするために、水素ガス等のプラズマによる塩化銅の還元とその後のＣｌ２ ガスプラズマによる還元銅のエッチング除去を行っているが、これにより被エッチング部材が塩素化されるため、更に水素ガス等のプラズマにより当該塩素化された被エッチング部材の還元を行うことを提案している。ここで、塩素化された被エッチング部材を還元せずに、塩素化された状態で本実施形態に用いればよい。また、Ｃｌ２ ガスプラズマによる成膜後は、通常被エッチング部材の表面が塩素化されているため、このまま本実施形態に用いてもよい。
【００５６】
また、銅板部材７の材質は、銅（Ｃｕ）に限らず、ハロゲン化物形成金属、好ましくは塩化物形成金属であればよく、例えばＡｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｃｄ等を用いることが可能である。この場合、前駆体はＡｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｃｄ等のハロゲン化物（塩化物）となり、基板３の表面に生成される薄膜はＡｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｃｄ等になる。
【００５７】
また、被エッチング部材としては、前述する単体金属のほかに、これらの金属を複数種類含む複合金属、例えばＩｎとＣｕとの合金を用いることも可能である。また、前記金属にＳ、Ｓｅ等の非金属元素を含む複合金属、例えばＣｕＩｎＳｅ２ 、ＣｄＳ、ＺｎＳｅ等の合金を被エッチング部材とすることもできる。
【００５８】
図３には、第１の実施形態に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置により、表面に配線形成用の溝が設けられた基板にＣｕ薄膜を成膜した例を示している。
【００５９】
表面に配線形成用の溝が設けられた基板に成膜を行う場合には、前述した＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において、ハロゲンとしての塩素を含有する原料ガスを他段階（例えば、２段階）に増加させて金属成分（Ｃｕ成分）の粒子径を２段階に大きくするように供給し、チャンバの内部をプラズマ化して発生させたＣｌ２ ガスプラズマで銅板部材をエッチングすることにより銅板部材に含まれるＣｕ成分と塩素ガスとの前駆体を生成し、基板側の温度を銅板部材側の温度よりも低くすることで金属成分（Ｃｕ成分）の粒子径を２段階に増加させて基板に成膜すればよい。これは、Ｃｌ２ ガスの流量を変化させることにより、成膜されるＣｕ粒子の粒径を調整することができることを利用したものである。
【００６０】
これにより、先ずアルゴンガスプラズマにより極めて小粒径かつ高い運動エネルギーのＣｕ粒子による成膜をした後、次に配線形成用の溝の内部にＣｕ成分が成膜され（埋め込まれ）、その後Ｃｕ成分の粒子径が大きくなって所定の大きさの粒子径とされてＣｕ膜を基板の表面に作製することが可能になる。
【００６１】
図３に示すように、基板３の表面には配線形成用の溝１８が設けられ、溝１８は例えば、幅が０．２μｍで深さが１μｍ程度に設定されている。また、基板３の表面には、これから成膜するＣｕ薄膜の拡散防止のため、表面形状に沿ってバリアメタル層２１が成膜されている。
【００６２】
ここで、前述する銅板部材の塩素化後にアルゴンガスプラズマ及びＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）による成膜を行うことで、バリアメタル層２１と高い密着性を有し、かつ溝１８に高い埋め込み性でＣｕ薄膜１６を成膜することが可能となる。
【００６３】
すなわち、チャンバ１内における、基板３と被エッチング部材である銅板部材７との間に、ハロゲンとしての塩素を含有する原料ガスを供給することにより銅板部材７の表面を塩素化した後、プラズマアンテナ９から電磁波を入射しつつ、ノズル１９よりアルゴンガス、ノズル１２より原料ガスを順次供給することにより、Ｃｕ成分の粒子径を段階的に増加（１５ａから１５ｂへの増粒）させて基板に成膜させる。
【００６４】
これにより、成膜開始直後は配線形成用の溝１８に沿って高い被覆性、かつバリアメタル層２１に対して高い密着性で小粒径のＣｕ成分１５ａを成膜し（アルゴンガスプラズマによる成膜）、次に、溝１８の内部にＣｕ成分１５ｂが成膜され（埋め込まれ）、バリアメタル層２１と高い密着性を有し、かつ溝１８に高い埋め込み性で成膜することが可能となる。
【００６５】
ここで、アルゴンガスプラズマによる成膜後のＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）による成膜工程を詳細に説明する。溝に埋め込み性よく成膜するためには、Ｃｌ２ ガスの流量を変化させ、成膜されるＣｕ粒子の粒径を調整して行う。すなわち、成膜開始時に所定の流量（１００とする）でＣｌ２ ガスを供給すると、前述したように大きな粒子径の前駆体１５ｃ（例えば、１μｍを越える）のＣｕの粒子が成膜されることになり、溝１８の内部に粒子が到達できない虞がある。そこで、溝１８のＣｕによる埋め込み完了までは、所定の流量に対して約３０の割合でＣｌ２ ガスを供給することにより、小さな粒径のＣｕ粒子により溝１８の内部を成膜する。粒径が小さなＣｕは溝１８の上方に成長し、溝１８がＣｕにより埋め込まれる。
【００６６】
ここで、溝１８の内部のみ成膜が行われる機構は以下の通りである。本実施例の金属膜作製装置では、エッチング作用のある塩素ラジカルが共存しているため、塩素ラジカルにより面積の大きな溝１８の入口近傍の壁面はエッチングされる。一方、溝１８の奥までは塩素ラジカルが到達しないためエッチング反応は進行せず、溝１８の内部では成膜反応が進行する。
【００６７】
溝１８の埋め込み成膜が完了した後は、Ｃｌ２ ガスの供給量を所定の流量（１００とする）に戻す。この結果、前述したように大きな粒子径の前駆体１５ｃ（例えば、１μｍを越える）のＣｕの粒子が成膜されることになり、成膜速度を速くして成膜することができる。このように、Ｃｌ２ ガスの供給量を変化させて成膜することにより、埋め込み性と成膜速度を両立させた成膜条件とすることができる。
【００６８】
図４ないし図８に基づいて、本発明の第２ないし第６の実施形態に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置を説明する。以下に示した金属膜作製方法及び金属膜作製装置でも、第１に＜被エッチング部材の塩素化工程＞、第２に＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞、第３に＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞を行う。これにより、バリアメタル層等の不活性な膜表面に対して高い密着性を有し、基板に形成された溝に対して優れた埋め込み性を有する金属膜（例えばＣｕ膜）を成膜することが可能になる。
【００６９】
図４ないし図８には、本発明の第２ないし第６の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略構成を示してある。なお、図１に示した金属膜作製装置と同種部材には同一符号を付し、重複する説明は省略してある。
【００７０】
＜第２の実施の形態＞
図４に示した第２の実施形態に係る金属膜作製装置では、チャンバ１の上面は開口部とされ、開口部は絶縁材製（例えば、セラミックス製）の板状の天井板２５によって塞がれている。天井板２５の上方にはチャンバ１の内部をプラズマ化するためのプラズマアンテナ２７が設けられ、プラズマアンテナ２７は天井板２５の面と平行な平面リング状に形成されている。プラズマアンテナ２７には整合器１０及び電源１１が接続されて高周波電流が供給される。
【００７１】
チャンバ１の上面の開口部と天井板２５との間には金属製（Ｃｕ製）の被エッチング部材２６が挟持されている。被エッチング部材２６は、チャンバ１の内壁から径方向中心に向かうと共に円周方向に複数設けられる突起部からなり、突起部同士の間には切欠部（空間）が存在している。このため、プラズマアンテナ２７に流れる電流の流れ方向に対して不連続状態となるように基板３と天井板２５との間に配置されている。
【００７２】
本実施形態に係る金属膜作製装置では、チャンバ１の内部にノズル１９からアルゴンガス、ノズル１２から原料ガスを適宜供給し、プラズマアンテナ２７から電磁波をチャンバ１の内部に入射することで、アルゴンガスまたはＣｌ２ ガスがイオン化されてアルゴンガスプラズマまたはＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）１４が発生する。プラズマアンテナ２７の下部には導電体である被エッチング部材２６が存在しているが、被エッチング部材２６はプラズマアンテナ２７に流れる電流の流れ方向に対して不連続な状態で配置されているので、被エッチング部材２６と基板３との間、すなわち、被エッチング部材２６の下側に前記各ガスプラズマが安定して発生するようになっている。なお、アルゴンガスプラズマは、Ｃｌ２ ガスプラズマ１４と同じ場所に発生する。
【００７３】
＜第３の実施の形態＞
図５に示した第３の実施形態に係る金属膜作製装置では、図１に示した金属膜作製装置と比較して、チャンバ１の筒部の周囲にはプラズマアンテナ９が設けられておらず、銅板部材７に整合器１０及び電源１１が接続されて銅板部材７に高周波電流が供給される。また、支持台２（基板３）はアースされている。
【００７４】
本実施形態に係る金属膜作製装置では、チャンバ１の内部にノズル１９からアルゴンガスまたはノズル１２から原料ガスを適宜供給し、銅板部材７からチャンバ１の内部に静電場を作用させることで、アルゴンガスまたはＣｌ２ ガスがイオン化されてアルゴンガスプラズマまたはＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）１４が発生する。なお、アルゴンガスプラズマは、Ｃｌ２ ガスプラズマ１４と同じ場所に発生する。前記各プラズマにより、銅板部材７にエッチング反応が生じ、第１の実施形態と同じ作用によりＣｕ薄膜１６が成膜される。
【００７５】
本実施形態に係る金属膜作製装置では、銅板部材７自身をプラズマ発生用の電極として適用しているので、チャンバ１の筒部の周囲にプラズマアンテナ９が不要となり、周囲の構成の自由度を増すことができる。
【００７６】
＜第４の実施の形態＞
図６に示した第４の実施形態に係る金属膜作製装置では、チャンバ１の上面は開口部とされ、開口部は、例えば、セラミックス製（絶縁材料製）の天井板２９によって塞がれている。天井板２９の下面には金属製（Ｃｕ製）の被エッチング部材３０が設けられ、被エッチング部材３０は四角錐形状となっている。
【００７７】
被エッチング部材３０とほぼ同じ高さにおけるチャンバ１の筒部の周囲には、スリット状の開口部３１が形成され、開口部３１には筒状の通路３２の一端がそれぞれ固定されている。通路３２の途中部には絶縁体製の筒状の励起室３３が設けられ、励起室３３の周囲にはコイル状のプラズマアンテナ３４が設けられ、プラズマアンテナ３４は整合器１０及び電源１１に接続されて高周波電流が供給される。通路３２の他端側には流量制御器２０、１３が接続され、流量制御器２０を介して通路３２内にアルゴンガスが、流量制御器１３を介して通路３２内に原料ガスが供給される。
【００７８】
以下、原料ガスを例にして、被エッチング部材３０に作用する仕組みを説明する。流量制御器１３を介して通路３２内に供給された原料ガスは、励起室３３に送り込まれる。次に、プラズマアンテナ３４から電磁波を励起室３３の内部に入射することで、Ｃｌ２ ガスをイオン化してＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）３５を発生させる。真空装置８によりチャンバ１内の圧力と励起室３３の圧力とに所定の差圧が設定されているため、励起室３３のＣｌ２ ガスプラズマ３５の励起塩素は開口部３１からチャンバ１内の被エッチング部材３０に送られる。この励起塩素により被エッチング部材３０にエッチング反応が生じ、チャンバ１の内部で前駆体（Ｃｕｘ Ｃｌｙ ）１５が生成され、基板３にＣｕ薄膜１６として成膜される。アルゴンガスも同様にしてＣｕ薄膜１６の成膜に寄与する。なお、アルゴンガスプラズマは、Ｃｌ２ ガスプラズマ３５と同じ場所に発生する。
【００７９】
本実施形態に係る金属膜作製装置は、チャンバ１と隔絶した励起室３３で前記各ガスプラズマを発生させるようにしているので、基板３がプラズマに晒されることがなくなり、基板３にプラズマによる損傷が生じることがない。例えば、前工程で別材料の膜が成膜された基板３に更なる成膜を行う場合には、前工程で成膜された材料の膜を損傷させることなく次の成膜が可能である。なお、励起室３３で前記各ガスプラズマを発生させる手段（励起手段）としては、マイクロ波、レーザ、電子線、放射光等を用いることも可能である。
【００８０】
本実施形態に係る金属膜作製装置においては、第１の＜被エッチング部材の塩素化工程＞は、プラズマアンテナ３４から電磁波を励起室３３の内部に入射させることなく原料ガスを流量制御器１３を介して被エッチング部材３０に供給することにより行う。次に、第２の＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞は、アルゴンガスを流量制御器２０を介して励起室３３に供給すると共にプラズマアンテナ３４から電磁波を励起室３３の内部に入射させて、アルゴンガスプラズマを被エッチング部材３０に供給することにより行う。次に、第３の＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞は、原料ガスを流量制御器１３を介して励起室３３に供給すると共にプラズマアンテナ３４から電磁波を励起室３３の内部に入射させて、Ｃｌ２ ガスプラズマを被エッチング部材３０に供給することにより行う。これにより、バリアメタル層等の不活性な膜表面に対して高い密着性及び埋め込み性を有する金属膜（例えばＣｕ膜）を成膜することが可能になる。
【００８１】
＜第５の実施の形態＞
図７に示した第５の実施形態に係る金属膜作製装置では、図４に示す第２の実施形態と比較して、被エッチング部材２６のチャンバ１への設置方法及び被エッチング部材２６にバイアス電源２３が接続されている点において異なる。従って、図４に示した金属膜作製装置と同種部材には同一符号を付して重複する説明は省略してある。
【００８２】
図７に示すように、被エッチング部材２６にはスイッチ手段２４を介して直流電源であるバイアス電源２３を接続してあり、被エッチング部材２６をバイアス電源２３によりマイナス電位に偏位させることができるようになっている。なお、チャンバ１が金属製（例えば、アルミ製）の部材で形成してある場合には、被エッチング部材２６はこのチャンバ１の金属部分から絶縁してやる必要がある。これは、被エッチング部材２６をマイナス電位に偏位させる際に、チャンバ１が偏位しないようにするためである。このため、同図においては、チャンバ１の一部を絶縁円筒３８で形成し、被エッチング部材２６をこの絶縁円筒３８を介して設置した例を示している。一方、チャンバ１が絶縁材料製（セラミックス製）である場合には、絶縁円筒３８を設けなくてもよい。
【００８３】
バイアス電源２３を使用する際には、スイッチ手段２４の操作により、第２の＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞のときに、積極的に被エッチング部材２６をマイナス電位に偏位させるようにすることが好ましい。これにより、チャンバ１内に発生したアルゴンガスプラズマ中のプラスイオンを被エッチング部材２６に対して電気的に加速して衝突させることができるため、エッチング速度を向上させることができる。
【００８４】
なお、第３の＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞においても、被エッチング部材２６の電位をマイナスに偏位させることにより、被エッチング部材２６のエッチング反応を促進させることが可能である。
【００８５】
本実施形態では、バイアス電源２３からの給電により被エッチング部材２６の電位を制御することで容易に被エッチング部材２６に対するエッチングの速度を制御し得る。アルゴンガスプラズマによるエッチングでは小粒径のＣｕ粒子が生成するため成膜速度が遅いが、電位制御によりエッチング速度を制御することによって小粒径のＣｕ成膜でも成膜速度を向上させることができる。被エッチング部材２６の電位は、バイアス電源２３の出力電圧を制御することにより制御し得る。
【００８６】
＜第６の実施の形態＞
図８に示した第６の実施形態に係る金属膜作製装置では、図１に示す第１の実施形態と比較して、プラズマアンテナ９の設置条件（コイル状態）がコイル可変手段（下）２２ａ、（上）２２ｂにより可変自在となっていると共に、銅板部材７がアースされている点において異なる。従って、図１に示した金属膜作製装置と同種部材には同一符号を付して重複する説明は省略してある。
【００８７】
本実施形態においては、チャンバ１の外壁面にコイル可変手段２２ａ、ｂを設置し、プラズマアンテナ９の設置条件を変更することができるようにした。プラズマアンテナ９の設置条件とは、プラズマアンテナ９のコイルピッチの大きさ（図８の符号ａ参照）及びプラズマアンテナ９と銅板部材７との距離（図８の符号ｂ参照）である。すなわち、上下のコイル可変手段２２ａ、ｂを駆動することにより、プラズマアンテナ９を上下に移動させたり、プラズマアンテナ９のコイルピッチを変化させることができる。
【００８８】
この結果、基本的には誘導結合型のプラズマ発生手段でありながら、容量結合性のプラズマをも付加して発生させることができるようになっている。これは、コイル可変手段２２ａ，ｂの駆動により、プラズマアンテナ９のコイルピッチａを小さくするほど、またプラズマアンテナ９と銅板部材７とを近づける（ｂを小さく）ほど、発生するプラズマ中において容量結合性のプラズマの寄与を大きくすることができるためである。以下、誘導結合性のプラズマと容量結合性のプラズマとが混合したタイプのプラズマをハイブリッドプラズマという。
【００８９】
次に、アルゴンガスを供給した場合を例として、ハイブリッドプラズマが発生する機構を説明する。先ず、チャンバ１の内部にノズル１９からアルゴンガスを供給しつつ、プラズマアンテナ９から電磁波をチャンバ１の内部に入射することで、アルゴンガスをイオン化してアルゴンガスプラズマを発生させる。このアルゴンガスプラズマは、チャンバ１内のプラズマアンテナ９に隣接する空間、すなわちチャンバ１の銅板部材７側（上部）の空間に形成される。
【００９０】
ここで発生するアルゴンガスプラズマは、前述するように誘導結合性プラズマと容量結合性プラズマとが混合したハイブリッドプラズマである。ハイブリッドプラズマ中の誘導結合性プラズマは、コイル状のプラズマアンテナ９を流れる電流により生じる誘導電界の作用で発生する。一方、本装置で容量結合性のプラズマを発生させることができるのは、距離ａを有するコイル間や、アースした銅板部材７とプラズマアンテナ９との間などに発生する静電場の作用を利用するためである。Ｃｌ２ ガス（原料ガス）を供給した場合にも同様にしてハイブリッドプラズマを発生させることができる。
【００９１】
ハイブリッドプラズマにする効果は、基本的には誘導結合性プラズマを発生させるプラズマ発生手段を備えた金属膜作製装置でありながら、スパッタ作用の強い容量結合性のプラズマを利用することができるということである。この効果は、特に第２の＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において利用するのが好ましい。すなわち、第２の＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において、コイル可変手段２２ａ，ｂによりプラズマアンテナ９のコイル状態を適正化することで発生する容量結合性プラズマを利用し、アルゴンガスプラズマによるスパッタ作用をより強化することができる。この結果、アルゴンガスプラズマにより発生する前駆体の運動エネルギーを更に高め、基板３に対する密着性のよいＣｕ薄膜１６とすることができる。
【００９２】
なお、第３の＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において、このハイブリッドプラズマによる効果を利用してもよい。また、アルゴンガスプラズマ又はＣｌ２ ガスプラズマ１４をハイブリッドプラズマとした場合の容量結合性のプラズマの割合を増加させるには、コイルピッチについては小さくするように、また、プラズマアンテナ９と銅板部材７との距離についても小さくするようにプラズマアンテナ９の設置条件を変化させればよい。容量結合性のプラズマの寄与率を減少させる場合には、これと逆の操作を行う。
【００９３】
以上説明した第２ないし第６の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、成膜時には、小さな粒子径（例えば、０．０１μｍ以下）のＣｕの粒子が初期に成膜され、その上に大きな粒子径のＣｕの粒子（例えば、０．０５μｍ程度）が成膜されることが確認されている。また、この成膜したＣｕ薄膜の密着性を評価するため、粘着テープを使用したピーリングテストにより剥離状況を確認した結果、剥離が全く生じないことが確認されている。さらに、本実施形態においても、図３に示すような溝が形成された基板や表面にバリアメタル層等の不活性膜が存在する基板に対して、埋め込み性および密着性を向上させた成膜を行うことができた。
【００９４】
また、第２ないし第６の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、銅製の被エッチング部材２６、３０、銅板部材７の代わりに、塩化銅からなる被エッチング部材等を用いる場合や、既に表面が塩素化されている被エッチング部材等を用いることにより、前述した＜被エッチング部材の塩素化工程＞を省略することができる。また、被エッチング部材２６、３０、銅板部材７の材質は、銅（Ｃｕ）に限らず、ハロゲン化物形成金属、好ましくは塩化物形成金属であればよく、例えばＡｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｃｄ等を用いることが可能である。更に、これらの金属を複数種類含む複合金属、例えばＩｎとＣｕとの合金を用いることも可能である。また、前記金属にＳ、Ｓｅ等の非金属元素を含む複合金属、例えばＣｕＩｎＳｅ２ 、ＣｄＳ、ＺｎＳｅ等の合金を被エッチング部材等とすることもできる。
【００９５】
また、第２ないし第６の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、表面に配線形成用の溝が設けられた基板に成膜を行う場合には、前述した＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において、原料ガスを他段階（例えば、２段階）に増加させて金属成分（Ｃｕ成分）の粒子径を２段階に大きくするように供給することにより、金属成分（Ｃｕ成分）の粒子径を２段階に増加させて基板に成膜すればよい。これにより、先ずアルゴンガスプラズマにより極めて小粒径かつ高い運動エネルギーのＣｕ粒子による成膜をした後、次に配線形成用の溝の内部にＣｕ成分が成膜され（埋め込まれ）、その後Ｃｕ成分の粒子径が大きくなって所定の大きさの粒子径とされてＣｕ膜を基板の表面に作製することが可能になる（図３参照）。
【００９６】
【発明の効果】
以上、実施形態とともに具体的に説明した通り、
〔請求項１〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲン化工程を行い、次に、希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うこととしたので、
基板に対し、優れた密着性、被覆性および埋め込み性をもって金属薄膜を成膜することができる。特に、バリアメタル膜等が成膜された不活性な表面を有する基板や配線用の溝等が設けられた基板に成膜した金属膜の密着性、被覆性および埋め込み性を効果的に向上させることができる。
【００９７】
〔請求項２〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うこととしたので、 〔請求項１〕に記載する発明の効果に加え、更に、ハロゲン化工程を省略することができる。
【００９８】
〔請求項３〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し、かつ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うこととしたので、 〔請求項１〕に記載する発明の効果に加え、更に、ハロゲン化工程を省略することができる。
【００９９】
〔請求項４〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項３〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さくなるようにしたので、
〔請求項１〕ないし〔請求項３〕に記載する発明の効果をより有効に得ることができる。
【０１００】
〔請求項５〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項４〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記第２金属膜成膜工程では、前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させることにより、成膜される金属成分の粒子径を段階的に増加させながら、前記第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜するようにしたので、
特に、配線用の溝等が設けられた基板に成膜した場合に、埋め込み性を向上させた金属膜を成膜することができる。
【０１０１】
〔請求項６〕に記載する発明では、〔請求項５〕に記載する発明において、
配線形成用の溝が設けられた基板に対して、前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる際には、まず前記配線形成用の溝の内部を成膜しうる粒子径の金属成分に対応する流量でハロゲンガスを供給し、前記溝の内部の成膜が完了した後にハロゲンガスの量を増加させるようにしたので、
〔請求項５〕に記載する発明の効果を更に有効に得ることができる。
【０１０２】
〔請求項７〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項６〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記基板の表面を、成膜したい金属成分に対して不活性な表面としたので、
バリアメタル膜等が成膜された基板に本発明を適用することができる。
【０１０３】
〔請求項８〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項６〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されているので、
電気的な配線が施されている半導体等に本発明を適用することができる。
【０１０４】
〔請求項９〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項８〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記ハロゲンガスを塩素ガスとしたので、
コストを大幅に減少させることができる。また、塩素ガスをプラズマ化することで得られる塩素ガスプラズマにより、反応効率が大幅に向上して成膜速度が速くなる。
【０１０５】
〔請求項１０〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項９〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記金属を銅としたので、
所望の金属膜を成膜することができる。
【０１０６】
〔請求項１１〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項１０〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記希ガスをアルゴンガスとしたので、
〔請求項１〕ないし〔請求項１０〕に記載する発明をより効果的に得ることができる。
【０１０７】
〔請求項１２〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを第１所定時間供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記ハロゲンガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたこ金属膜作製装置としたので、
基板に対し、優れた密着性、被覆性および埋め込み性をもって金属薄膜を成膜することができる。特に、バリアメタル膜等が成膜された不活性な表面を有する基板や配線用の溝等が設けられた基板に成膜した金属膜の密着性、被覆性および埋め込み性を効果的に向上させることができる。
【０１０８】
〔請求項１３〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記ハロゲンガス供給手段によりハロゲンガスを第１所定時間供給し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えた金属膜作製装置としたので、
〔請求項１２〕に記載する発明の効果に加え、更に、精度良く各種ガス供給が可能となった。
【０１０９】
〔請求項１４〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記原料ガス供給手段により原料ガスを第１所定時間供給し被エッチング部材をハロゲン化し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により第３所定時間供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えた金属膜作製装置としたので、
〔請求項１３〕に記載する発明の効果に加え、更に、供給ガス種やガス配管を少なくし、コンパクトな装置とすることができる。
【０１１０】
〔請求項１５〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えた金属膜作製装置としたので、
〔請求項１２〕に記載する発明の効果に加え、更に、ハロゲンガス供給手段を省略でき、被エッチング部材のハロゲン化をする必要がなくなった。
【０１１１】
〔請求項１６〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えた金属膜作製装置としたので、
〔請求項１２〕に記載する発明の効果に加え、更に、ハロゲンガス供給手段を省略でき、被エッチング部材のハロゲン化をする必要がなくなると共に、精度良く各種ガス供給が可能となった。
【０１１２】
〔請求項１７〕に記載する発明では、〔請求項１５〕または〔請求項１６〕に記載する発明において、
前記高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材を、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し且つ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材としたので、
〔請求項１５〕または〔請求項１６〕に記載する発明と同様の効果を得ることができる。
【０１１３】
〔請求項１８〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項１７〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さくなるようにしたので、
〔請求項１２〕ないし〔請求項１７〕に記載する発明の効果をより有効に得ることができる。
【０１１４】
〔請求項１９〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項１８〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記原料ガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる原料ガス流量制御手段を更に備えたので、
特に、配線用の溝等が設けられた基板に成膜した場合に、埋め込み性を向上させた金属膜を成膜することができる。
【０１１５】
〔請求項２０〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項１９〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記基板の表面を、成膜したい金属成分に対して不活性な表面としたので、
バリアメタル膜等が成膜された基板に本発明を適用することができる。
【０１１６】
〔請求項２１〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項１９〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されているので、
電気的な配線が施されている半導体等に本発明を適用することができる。
【０１１７】
〔請求項２２〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項２１〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記ハロゲンを、塩素としたので、
コストを大幅に減少させることができる。また、塩素ガスをプラズマ化することで得られる塩素ガスプラズマにより、反応効率が大幅に向上して成膜速度が速くなる。
【０１１８】
〔請求項２３〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項２２〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記金属を銅としたので、
所望の金属膜を成膜することができる。
【０１１９】
〔請求項２４〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項２３〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記希ガスを、アルゴンガスとしたので、
〔請求項１２〕ないし〔請求項２３〕に記載する発明をより効果的に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図２】第１の実施形態により成膜されるＣｕ膜の断面図である。
【図３】第１の実施形態により配線形成用の溝を有する基板に対して成膜されるＣｕ膜の断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図６】本発明の第４の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図７】本発明の第５の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図８】本発明の第６の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【符号の説明】
１ チャンバ
２ 支持台
３ 基板
４ ヒータ
５ 冷媒流通手段
６ 温度制御手段
７ 銅板部材
８ 真空装置
９，２７，３４ プラズマアンテナ
１０ 整合器
１１ 電源
１２ ノズル
１３，２０ 流量制御器
１４，３５ Ｃｌ２ ガスプラズマ
１５ 前駆体
１６ Ｃｕ薄膜
１７ 排気口
１８ 溝
１９ ノズル
２１ バリアメタル層
２２ 希ガスノズル
２３ バイアス電源
２４ スイッチ手段
２５，２９ 天井板
２６，３０ 被エッチング部材
３１ 開口部
３２ 通路
３３ 励起室
ａ コイルピッチ
ｂ プラズマアンテナと銅板部材との距離
【発明の属する技術分野】
本発明は金属膜作製方法及び金属膜作製装置に関し、特に狭ギャップの内部や活性の低い表面に金属膜を成膜する場合に適用して有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】
電気的な配線が施されている半導体では、スイッチングの速度や伝送損失の低減、高密度化等の要請から、配線の材料として銅が用いられるようになってきている。
【０００３】
銅の配線を施す場合、配線用の凹部を表面に有する基板に対し、まずバリアメタル膜を成膜した後、その上に銅を成膜することによって配線を施す。バリアメタル膜とは、例えばタンタル、チタン、シリコン等の窒化物からなり、基板に対する銅の拡散をなくして銅の密着性を保持するために成膜される。
【０００４】
配線用の凹部などの狭ギャップにバリアメタル膜や銅を成膜する場合に、例えばスパッタ法により行うと成膜の方向性が均一ではないため、小さな凹部では内部が成膜される前に凹部の入口部が成膜されて埋め込み性が不十分になる問題がある。
【０００５】
これに対し、本発明者らは、塩素ガス等のプラズマを利用した金属膜の成膜において、プラズマ源となるガスのガス流量やガス圧等を制御し、成膜される金属粒子の大きさを調整することにより、埋め込み性を向上させた成膜を行う方法を特願２００２−２７７２７号等において提案している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前記提案では埋め込み性の向上と共に膜の密着性の向上も得られている。しかしながら、低い表面活性を有する膜、特に窒化金属等により構成されるバリアメタル膜に成膜する場合には、膜同士の密着性は未だ十分ではなく、更なる向上が求められている。
【０００７】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、配線用の溝等が設けられた基板に対し成膜される金属膜を密着性に優れ且つ埋め込み性よく作製できる金属膜作製装置及び金属膜作製方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決する第１の発明に係る金属膜作製方法は、
基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲン化工程を行い、次に、希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする。
【０００９】
上記目的を解決する第２の発明に係る金属膜作製方法は、
基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする。
【００１０】
上記目的を解決する第３の発明に係る金属膜作製方法は、
基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し、かつ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする。
【００１１】
上記目的を解決する第４の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第３の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さいことを特徴とする。
【００１２】
上記目的を解決する第５の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第４の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記第２金属膜成膜工程では、前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させることにより、成膜される金属成分の粒子径を段階的に増加させながら、前記第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜することを特徴とする。
【００１３】
上記目的を解決する第６の発明に係る金属膜作製方法は、第５の発明に係る金属膜作製方法において、
前記基板には配線形成用の溝が設けられ、
前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる際には、まず前記配線形成用の溝の内部を成膜しうる粒子径の金属成分に対応する流量でハロゲンガスを供給し、前記溝の内部の成膜が完了した後にハロゲンガスの量を増加させるようにしたことを特徴とする。
【００１４】
上記目的を解決する第７の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第６の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記基板の表面が成膜したい金属成分に対して不活性であることを特徴とする。
【００１５】
上記目的を解決する第８の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第６の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されていることを特徴とする。
【００１６】
上記目的を解決する第９の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第８の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記ハロゲンガスは、塩素ガスであることを特徴とする。
【００１７】
上記目的を解決する第１０の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第９の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記金属は銅であることを特徴とする。
【００１８】
上記目的を解決する第１１の発明に係る金属膜作製方法は、第１ないし第１０の発明に係る金属膜作製方法のいずれかにおいて、
前記希ガスは、アルゴンガスであることを特徴とする。
【００１９】
上記目的を解決する第１２の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを第１所定時間供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記ハロゲンガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２０】
上記目的を解決する第１３の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記ハロゲンガス供給手段によりハロゲンガスを第１所定時間供給し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
上記目的を解決する第１４の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記原料ガス供給手段により原料ガスを第１所定時間供給し被エッチング部材をハロゲン化し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により第３所定時間供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２２】
上記目的を解決する第１５の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２３】
上記目的を解決する第１６の発明に係る金属膜作製装置は、
基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
上記目的を解決する第１７の発明に係る金属膜作製装置は、第１５または第１６の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材は、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し且つ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材であることを特徴とする。
【００２５】
上記目的を解決する第１８の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第１７の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さいことを特徴とする。
【００２６】
上記目的を解決する第１９の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第１８の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記原料ガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる原料ガス流量制御手段を更に備えたことを特徴とする。
【００２７】
上記目的を解決する第２０の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第１９の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記基板の表面が成膜したい金属成分に対して不活性であることを特徴とする。
【００２８】
上記目的を解決する第２１の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第１９の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されていることを特徴とする。
【００２９】
上記目的を解決する第２２の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第２１の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記ハロゲンは、塩素であることを特徴とする。
【００３０】
上記目的を解決する第２３の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第２２の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記金属は銅であることを特徴とする。
【００３１】
上記目的を解決する第２４の発明に係る金属膜作製装置は、第１２ないし第２３の発明に係る金属膜作製装置のいずれかにおいて、
前記希ガスは、アルゴンガスであることを特徴とする。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置を説明する。本発明に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置は、基板の表面に、拡散を防止するための、例えば、窒化タンタル（ＴａＮ）のバリアメタル層が作製されたものに対して、高い密着性と高い埋め込み性で金属成分の膜、例えば、銅（Ｃｕ）の膜を作製するようにしたものである。
【００３３】
＜第１の実施の形態＞
図１ないし図３に基づいて第１の実施形態に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置を説明する。図１には本発明の第１の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面、図２には本実施形態により成膜されるＣｕ膜の断面状況、図３には配線形成用の溝を有する基板上において本実施形態により成膜されるＣｕ膜の断面状況を示してある。
【００３４】
図１に示すように、筒形状に形成された、例えば、セラミックス製（絶縁材料製）のチャンバ１の底部近傍には支持台２が設けられ、支持台２には基板３が載置される。支持台２にはヒータ４及び冷媒流通手段５を備えた温度制御手段６が設けられ、支持台２は温度制御手段６により所定温度（例えば、基板３が１００℃〜２００℃に維持される温度）に制御される。チャンバ１の上面は開口部とされ、開口部は金属製の被エッチング部材である銅板部材７によって塞がれている。銅板部材７によって塞がれたチャンバ１の内部は真空装置８により所定の圧力に維持される。
【００３５】
チャンバ１の筒部の周囲にはコイル状のプラズマアンテナ９が設けられ、プラズマアンテナ９には整合器１０及び電源１１が接続されて高周波電流が供給される。プラズマアンテナ９、整合器１０及び電源１１によりプラズマ発生手段が構成されている。
【００３６】
支持台２とほぼ同じ高さにおけるチャンバ１の筒部には、チャンバ１の内部にハロゲンガスとしての塩素ガスを含有する原料ガス（Ｈｅ，Ａｒ等で塩素濃度が≦５０％、好ましくは１０％程度に希釈されたＣｌ２ ガス）を供給するノズル１２が接続されている。ノズル１２は銅板部材７に向けて開口し、ノズル１２には流量制御器１３（原料ガス流量制御手段）を介して原料ガスが送られる（原料ガス供給手段）。原料ガスは、成膜時にチャンバ１内において壁面側に沿って基板３側から銅板部材７側に送られる。なお、原料ガスに含有されるハロゲンとしては、フッ素（Ｆ２ ）、臭素（Ｂｒ２ ）及びヨウ素（Ｉ２ ）などを適用することが可能である。
【００３７】
一方、チャンバ１の筒部の上部には、チャンバ１の内部にＡｒガス等の希ガスを供給するノズル１９（希ガス供給手段）が接続されている。Ａｒガス等の希ガスは、流量制御器２０で流量を制御されてチャンバ１の内部へ送られる。
【００３８】
上述した金属膜作製装置では、以下に詳説する方法でＣｕ薄膜１６の成膜を行う。
【００３９】
＜被エッチング部材の塩素化工程＞
第１にチャンバ１の内部にノズル１２から原料ガスを所定時間（第１所定時間）供給し、銅板部材７の表面を塩素化する。なお、この塩素化工程は、ノズル１２とは別に塩素ガスを供給するノズル（ハロゲンガス供給手段）を設置して行ってもよい。
【００４０】
このときの反応は、次式で表すことができる。
２Ｃｕ（ｓ）＋Ｃｌ２ → ２ＣｕＣｌ（ｓ） ・・・（１）
ここで、ｓは固体状態を表す。
【００４１】
＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞
第２にノズル１９から希ガス（例えば、アルゴンガス）を所定時間（第２所定時間）供給すると共にプラズマアンテナ９から電磁波をチャンバ１の内部に入射することで、アルゴンガスをイオン化してアルゴンガスプラズマを発生させる。このアルゴンガスプラズマにより、銅板部材７が予備加熱されると共に、前記塩素化された銅板部材７にエッチング反応が生じ、基板３に小粒子径のＣｕ成分が成膜される。なお、アルゴンガスプラズマは、後に詳細に説明するＣｌ２ ガスプラズマ１４と同じ場所に発生する。
【００４２】
このときの反応は、次式で表すことができる。
ＣｕＣｌ（ｓ） → ＣｕＣｌ（ｇ） ・・・（２）
ＣｕＣｌ（ｇ） → Ｃｕ↓＋Ｃｌ＊ ・・・（３）
ＣｕＣｌ（ａｄ）＋Ｃｌ＊ → Ｃｕ＋Ｃｌ２ ↑ ・・・（４）
ここで、ｓは固体状態、ａｄは吸着状態を表す。式（２）は、塩素化された銅板部材７のＣｕ成分がアルゴンプラズマによりガス化された状態を示す。式（３）は、ガス化された塩化銅が気相においてＣｕと塩素ラジカルＣｌ＊ に解離すると共に、Ｃｕが基板３に成膜された状態を示す。式（４）は、ガス化された塩化銅が気相において解離せずに基板３に吸着した後、塩素ラジカルＣｌ＊ により還元された状態を示す。
【００４３】
アルゴンガスプラズマによる成膜の結果、図２（ａ） に示すように、小さな粒子径の前駆体１５ａ（例えば、０．０１μｍ）のＣｕの粒子が成膜され、バリアメタル層２１が隙間なく被覆される。この結果、高い被覆性を有するＣｕ膜を成膜することが可能となる。なお、アルゴンプラズマにより成膜されるＣｕ成分の粒子径が小さいことは、ＳＥＭ観察により確認されている。
【００４４】
また、アルゴンガスプラズマにより生成する前駆体は高い運動エネルギーをもっているため、バリアメタル層２１に高い密着性をもって成膜される。すなわち、被エッチング部材（銅板部材７）と基板３の温度差のみを利用した成膜よりも、この温度差に加えて更に前駆体の運動エネルギーを高めて成膜することでＣｕ膜のバリアメタル層に対する密着性を向上させることができる。なお、アルゴンプラズマによるエッチングで高い運動エネルギーをもった前駆体が生成するのは、通常のエッチングに加えて多少のスパッタリング効果があるためと考えられる。
【００４５】
＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞
第３にノズル１２から原料ガスを所定時間（第３所定時間）供給するとともにプラズマアンテナ９から電磁波をチャンバ１の内部に入射することで、Ｃｌ２ ガスをイオン化してＣｌ２ ガスプラズマ１４を発生させる。Ｃｌ２ ガスプラズマ１４により、銅板部材７にエッチング反応が生じ、前駆体（Ｃｕｘ Ｃｌｙ ）１５が生成される。このとき、銅板部材７は前述したアルゴンプラズマによる予備加熱とＣｌ２ ガスプラズマ１４による加熱により基板３の温度よりも高い所定温度（例えば、２００℃〜４００℃）に維持されている。
【００４６】
チャンバ１の内部で生成された前駆体（Ｃｕｘ Ｃｌｙ ）１５は、銅板部材７よりも低い温度に制御された基板３に運ばれる。基板３に運ばれた前駆体１５は基板３上のアルゴンプラズマにより成膜されたＣｕ膜に当てられ、還元反応（Ｃｌラジカルによるエッチング作用）によりＣｕ成分のみとされて基板３の表面にＣｕ薄膜１６が生成される。
【００４７】
このときの反応は、次式で表すことができる。
Ｃｕ（ｓ）＋Ｃｌ＊ → ＣｕＣｌ（ｇ） ・・・（５）
ＣｕＣｌ（ａｄ）＋Ｃｌ＊ → Ｃｕ＋Ｃｌ２ ↑ ・・・（６）
ここで、ｓは固体状態、ａｄは吸着状態を表す。式（５）は、銅板部材７のＣｕ成分がＣｌ２ ガスプラズマによりガス化された状態を示す。式（６）は、ガス化された塩化銅が基板３に吸着した後、塩素ラジカルＣｌ＊ により還元された状態を示す。これらの反応に関与しないガス及びエッチング生成物は排気口１７から排気される。
【００４８】
本実施例におけるＣｌ２ ガスプラズマによる成膜では、主として被エッチング部材（銅板部材７）と基板３の温度差のみを利用した成膜が行われる。しかしながら、一度アルゴンガスプラズマによる成膜が行われたＣｕ膜に対して成膜を行うので、密着性の高い成膜が可能である。また、図２（ｂ） に示すように、アルゴンガスプラズマにより成膜されたＣｕ粒子（前駆体１５ａで示す）よりも大きい粒子径の前駆体１５ｂ（例えば、０．０５μｍ）により成膜されるので、成膜速度が速い。
【００４９】
なお、成膜の一例として、バリアメタル層を窒化タンタル（ＴａＮ）とし、Ｃｌ２ ガスを所定の流量で約５分間（第１所定時間）供給した後、プラズマのパワー面積密度を２．２ｗ／ｃｍ２ とし、アルゴンガスを所定の流量で約５分間（第２所定時間）、Ｃｌ２ ガスを所定の流量で約５分間（第３所定時間）供給するという条件において成膜を行った。なお、これらのガスは手動で供給時間を調整して供給したが、この作業を自動的に行う装置（ガス供給制御手段）により行ってもよい。
【００５０】
この結果、小さな粒子径（例えば、０．０１μｍ以下）のＣｕの粒子が初期に成膜され、その上に大きな粒子径のＣｕの粒子（例えば、０．０５μｍ程度）が成膜されることが確認されている。また、この成膜されたＣｕ薄膜の密着性を評価するため、粘着テープを使用したピーリングテストにより剥離状況を確認した結果、剥離が全く生じないことが確認されている。
【００５１】
成膜初期の段階からＣｌ２ ガスを供給した場合、図２（ｃ）に示すように、大きな粒子径の前駆体１５ｃ（例えば、１μｍを越える）のＣｕの粒子が成膜され、バリアメタル層との間の隙間が多くなり、密着性が阻害されてしまう虞がある。また、成膜初期の段階からＣｌ２ ガスを供給した場合のＣｕ薄膜１６について、密着性を評価するため、ピーリングテストにより剥離状況を確認した結果、剥離が１００％生じたことを確認している。
【００５２】
アルゴンガスプラズマによるエッチング時間は、バリアメタル層の材質や成膜される金属により適宜設定される。例えば、窒化タンタル（ＴａＮ）からなるバリアメタル層にＣｕを成膜する場合を基準として考えると、窒化タングステン（ＷＮ）からなるバリアメタル層にＣｕを成膜する場合、タングステンはタンタルに比べてＣｕとの密着性が高いので、アルゴンガスプラズマによるエッチング時間を短めにすればよい。また、窒化チタン（ＴｉＮ）からなるバリアメタル層にＣｕを成膜する場合、チタンはタンタルに比べてＣｕとの密着性が低いので、エッチング時間を長めにすることが好ましい。このようにすることで、バリアメタル層の材質や成膜される金属にかかわらず密着性を向上させることが可能になる。
【００５３】
上記構成の金属膜作製装置は、Ｃｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）１４を用いているため、反応効率が大幅に向上して成膜速度が速くなる。また、原料ガスとしてＣｌ２ ガスを用いているため、コストを大幅に減少させることができる。また、温度制御手段６を用いて基板３を銅板部材７よりも低い温度に制御しているので、Ｃｕ薄膜１６中に塩素等の不純物の残留を少なくすることができ、高品質なＣｕ薄膜１６を生成することが可能になる。
【００５４】
尚、原料ガスとして、Ｈｅ，Ａｒ等で希釈されたＣｌ２ ガスを例に挙げて説明したが、Ｃｌ２ ガスを単独で用いたり、ＨＣｌガスを適用することも可能である。ＨＣｌガスを適用した場合、原料ガスプラズマとしてはＨＣｌガスプラズマが生成されるが、銅板部材７のエッチングにより生成される前駆体はＣｕｘ Ｃｌｙ である。従って、原料ガスは塩素を含有するガスであればよく、ＨＣｌガスとＣｌ２ ガスとの混合ガスを用いることも可能である。また、希ガスとしては、Ａｒの他に、ヘリウム、クリプトン、ネオン、クリプトン等が適用可能である。
【００５５】
本実施形態では、被エッチング部材として銅板部材７を用いて、この銅板部材７を塩素化する工程から説明した。しかしながら、これに限られず、銅板部材７の代わりに、塩化銅からなる被エッチング部材を用いる場合や、既に表面が塩素化されている銅板部材を用いることにより、前述した＜被エッチング部材の塩素化工程＞を省略することができる。例えば、次の場合に、既に表面が塩素化されている銅板部材を利用することができる。本発明者らは特願２００２−１５０２５８において、Ｃｕ成膜を行った後にチャンバ１内に付着した塩化銅をクリーニングするために、水素ガス等のプラズマによる塩化銅の還元とその後のＣｌ２ ガスプラズマによる還元銅のエッチング除去を行っているが、これにより被エッチング部材が塩素化されるため、更に水素ガス等のプラズマにより当該塩素化された被エッチング部材の還元を行うことを提案している。ここで、塩素化された被エッチング部材を還元せずに、塩素化された状態で本実施形態に用いればよい。また、Ｃｌ２ ガスプラズマによる成膜後は、通常被エッチング部材の表面が塩素化されているため、このまま本実施形態に用いてもよい。
【００５６】
また、銅板部材７の材質は、銅（Ｃｕ）に限らず、ハロゲン化物形成金属、好ましくは塩化物形成金属であればよく、例えばＡｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｃｄ等を用いることが可能である。この場合、前駆体はＡｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｃｄ等のハロゲン化物（塩化物）となり、基板３の表面に生成される薄膜はＡｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｃｄ等になる。
【００５７】
また、被エッチング部材としては、前述する単体金属のほかに、これらの金属を複数種類含む複合金属、例えばＩｎとＣｕとの合金を用いることも可能である。また、前記金属にＳ、Ｓｅ等の非金属元素を含む複合金属、例えばＣｕＩｎＳｅ２ 、ＣｄＳ、ＺｎＳｅ等の合金を被エッチング部材とすることもできる。
【００５８】
図３には、第１の実施形態に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置により、表面に配線形成用の溝が設けられた基板にＣｕ薄膜を成膜した例を示している。
【００５９】
表面に配線形成用の溝が設けられた基板に成膜を行う場合には、前述した＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において、ハロゲンとしての塩素を含有する原料ガスを他段階（例えば、２段階）に増加させて金属成分（Ｃｕ成分）の粒子径を２段階に大きくするように供給し、チャンバの内部をプラズマ化して発生させたＣｌ２ ガスプラズマで銅板部材をエッチングすることにより銅板部材に含まれるＣｕ成分と塩素ガスとの前駆体を生成し、基板側の温度を銅板部材側の温度よりも低くすることで金属成分（Ｃｕ成分）の粒子径を２段階に増加させて基板に成膜すればよい。これは、Ｃｌ２ ガスの流量を変化させることにより、成膜されるＣｕ粒子の粒径を調整することができることを利用したものである。
【００６０】
これにより、先ずアルゴンガスプラズマにより極めて小粒径かつ高い運動エネルギーのＣｕ粒子による成膜をした後、次に配線形成用の溝の内部にＣｕ成分が成膜され（埋め込まれ）、その後Ｃｕ成分の粒子径が大きくなって所定の大きさの粒子径とされてＣｕ膜を基板の表面に作製することが可能になる。
【００６１】
図３に示すように、基板３の表面には配線形成用の溝１８が設けられ、溝１８は例えば、幅が０．２μｍで深さが１μｍ程度に設定されている。また、基板３の表面には、これから成膜するＣｕ薄膜の拡散防止のため、表面形状に沿ってバリアメタル層２１が成膜されている。
【００６２】
ここで、前述する銅板部材の塩素化後にアルゴンガスプラズマ及びＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）による成膜を行うことで、バリアメタル層２１と高い密着性を有し、かつ溝１８に高い埋め込み性でＣｕ薄膜１６を成膜することが可能となる。
【００６３】
すなわち、チャンバ１内における、基板３と被エッチング部材である銅板部材７との間に、ハロゲンとしての塩素を含有する原料ガスを供給することにより銅板部材７の表面を塩素化した後、プラズマアンテナ９から電磁波を入射しつつ、ノズル１９よりアルゴンガス、ノズル１２より原料ガスを順次供給することにより、Ｃｕ成分の粒子径を段階的に増加（１５ａから１５ｂへの増粒）させて基板に成膜させる。
【００６４】
これにより、成膜開始直後は配線形成用の溝１８に沿って高い被覆性、かつバリアメタル層２１に対して高い密着性で小粒径のＣｕ成分１５ａを成膜し（アルゴンガスプラズマによる成膜）、次に、溝１８の内部にＣｕ成分１５ｂが成膜され（埋め込まれ）、バリアメタル層２１と高い密着性を有し、かつ溝１８に高い埋め込み性で成膜することが可能となる。
【００６５】
ここで、アルゴンガスプラズマによる成膜後のＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）による成膜工程を詳細に説明する。溝に埋め込み性よく成膜するためには、Ｃｌ２ ガスの流量を変化させ、成膜されるＣｕ粒子の粒径を調整して行う。すなわち、成膜開始時に所定の流量（１００とする）でＣｌ２ ガスを供給すると、前述したように大きな粒子径の前駆体１５ｃ（例えば、１μｍを越える）のＣｕの粒子が成膜されることになり、溝１８の内部に粒子が到達できない虞がある。そこで、溝１８のＣｕによる埋め込み完了までは、所定の流量に対して約３０の割合でＣｌ２ ガスを供給することにより、小さな粒径のＣｕ粒子により溝１８の内部を成膜する。粒径が小さなＣｕは溝１８の上方に成長し、溝１８がＣｕにより埋め込まれる。
【００６６】
ここで、溝１８の内部のみ成膜が行われる機構は以下の通りである。本実施例の金属膜作製装置では、エッチング作用のある塩素ラジカルが共存しているため、塩素ラジカルにより面積の大きな溝１８の入口近傍の壁面はエッチングされる。一方、溝１８の奥までは塩素ラジカルが到達しないためエッチング反応は進行せず、溝１８の内部では成膜反応が進行する。
【００６７】
溝１８の埋め込み成膜が完了した後は、Ｃｌ２ ガスの供給量を所定の流量（１００とする）に戻す。この結果、前述したように大きな粒子径の前駆体１５ｃ（例えば、１μｍを越える）のＣｕの粒子が成膜されることになり、成膜速度を速くして成膜することができる。このように、Ｃｌ２ ガスの供給量を変化させて成膜することにより、埋め込み性と成膜速度を両立させた成膜条件とすることができる。
【００６８】
図４ないし図８に基づいて、本発明の第２ないし第６の実施形態に係る金属膜作製方法及び金属膜作製装置を説明する。以下に示した金属膜作製方法及び金属膜作製装置でも、第１に＜被エッチング部材の塩素化工程＞、第２に＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞、第３に＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞を行う。これにより、バリアメタル層等の不活性な膜表面に対して高い密着性を有し、基板に形成された溝に対して優れた埋め込み性を有する金属膜（例えばＣｕ膜）を成膜することが可能になる。
【００６９】
図４ないし図８には、本発明の第２ないし第６の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略構成を示してある。なお、図１に示した金属膜作製装置と同種部材には同一符号を付し、重複する説明は省略してある。
【００７０】
＜第２の実施の形態＞
図４に示した第２の実施形態に係る金属膜作製装置では、チャンバ１の上面は開口部とされ、開口部は絶縁材製（例えば、セラミックス製）の板状の天井板２５によって塞がれている。天井板２５の上方にはチャンバ１の内部をプラズマ化するためのプラズマアンテナ２７が設けられ、プラズマアンテナ２７は天井板２５の面と平行な平面リング状に形成されている。プラズマアンテナ２７には整合器１０及び電源１１が接続されて高周波電流が供給される。
【００７１】
チャンバ１の上面の開口部と天井板２５との間には金属製（Ｃｕ製）の被エッチング部材２６が挟持されている。被エッチング部材２６は、チャンバ１の内壁から径方向中心に向かうと共に円周方向に複数設けられる突起部からなり、突起部同士の間には切欠部（空間）が存在している。このため、プラズマアンテナ２７に流れる電流の流れ方向に対して不連続状態となるように基板３と天井板２５との間に配置されている。
【００７２】
本実施形態に係る金属膜作製装置では、チャンバ１の内部にノズル１９からアルゴンガス、ノズル１２から原料ガスを適宜供給し、プラズマアンテナ２７から電磁波をチャンバ１の内部に入射することで、アルゴンガスまたはＣｌ２ ガスがイオン化されてアルゴンガスプラズマまたはＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）１４が発生する。プラズマアンテナ２７の下部には導電体である被エッチング部材２６が存在しているが、被エッチング部材２６はプラズマアンテナ２７に流れる電流の流れ方向に対して不連続な状態で配置されているので、被エッチング部材２６と基板３との間、すなわち、被エッチング部材２６の下側に前記各ガスプラズマが安定して発生するようになっている。なお、アルゴンガスプラズマは、Ｃｌ２ ガスプラズマ１４と同じ場所に発生する。
【００７３】
＜第３の実施の形態＞
図５に示した第３の実施形態に係る金属膜作製装置では、図１に示した金属膜作製装置と比較して、チャンバ１の筒部の周囲にはプラズマアンテナ９が設けられておらず、銅板部材７に整合器１０及び電源１１が接続されて銅板部材７に高周波電流が供給される。また、支持台２（基板３）はアースされている。
【００７４】
本実施形態に係る金属膜作製装置では、チャンバ１の内部にノズル１９からアルゴンガスまたはノズル１２から原料ガスを適宜供給し、銅板部材７からチャンバ１の内部に静電場を作用させることで、アルゴンガスまたはＣｌ２ ガスがイオン化されてアルゴンガスプラズマまたはＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）１４が発生する。なお、アルゴンガスプラズマは、Ｃｌ２ ガスプラズマ１４と同じ場所に発生する。前記各プラズマにより、銅板部材７にエッチング反応が生じ、第１の実施形態と同じ作用によりＣｕ薄膜１６が成膜される。
【００７５】
本実施形態に係る金属膜作製装置では、銅板部材７自身をプラズマ発生用の電極として適用しているので、チャンバ１の筒部の周囲にプラズマアンテナ９が不要となり、周囲の構成の自由度を増すことができる。
【００７６】
＜第４の実施の形態＞
図６に示した第４の実施形態に係る金属膜作製装置では、チャンバ１の上面は開口部とされ、開口部は、例えば、セラミックス製（絶縁材料製）の天井板２９によって塞がれている。天井板２９の下面には金属製（Ｃｕ製）の被エッチング部材３０が設けられ、被エッチング部材３０は四角錐形状となっている。
【００７７】
被エッチング部材３０とほぼ同じ高さにおけるチャンバ１の筒部の周囲には、スリット状の開口部３１が形成され、開口部３１には筒状の通路３２の一端がそれぞれ固定されている。通路３２の途中部には絶縁体製の筒状の励起室３３が設けられ、励起室３３の周囲にはコイル状のプラズマアンテナ３４が設けられ、プラズマアンテナ３４は整合器１０及び電源１１に接続されて高周波電流が供給される。通路３２の他端側には流量制御器２０、１３が接続され、流量制御器２０を介して通路３２内にアルゴンガスが、流量制御器１３を介して通路３２内に原料ガスが供給される。
【００７８】
以下、原料ガスを例にして、被エッチング部材３０に作用する仕組みを説明する。流量制御器１３を介して通路３２内に供給された原料ガスは、励起室３３に送り込まれる。次に、プラズマアンテナ３４から電磁波を励起室３３の内部に入射することで、Ｃｌ２ ガスをイオン化してＣｌ２ ガスプラズマ（原料ガスプラズマ）３５を発生させる。真空装置８によりチャンバ１内の圧力と励起室３３の圧力とに所定の差圧が設定されているため、励起室３３のＣｌ２ ガスプラズマ３５の励起塩素は開口部３１からチャンバ１内の被エッチング部材３０に送られる。この励起塩素により被エッチング部材３０にエッチング反応が生じ、チャンバ１の内部で前駆体（Ｃｕｘ Ｃｌｙ ）１５が生成され、基板３にＣｕ薄膜１６として成膜される。アルゴンガスも同様にしてＣｕ薄膜１６の成膜に寄与する。なお、アルゴンガスプラズマは、Ｃｌ２ ガスプラズマ３５と同じ場所に発生する。
【００７９】
本実施形態に係る金属膜作製装置は、チャンバ１と隔絶した励起室３３で前記各ガスプラズマを発生させるようにしているので、基板３がプラズマに晒されることがなくなり、基板３にプラズマによる損傷が生じることがない。例えば、前工程で別材料の膜が成膜された基板３に更なる成膜を行う場合には、前工程で成膜された材料の膜を損傷させることなく次の成膜が可能である。なお、励起室３３で前記各ガスプラズマを発生させる手段（励起手段）としては、マイクロ波、レーザ、電子線、放射光等を用いることも可能である。
【００８０】
本実施形態に係る金属膜作製装置においては、第１の＜被エッチング部材の塩素化工程＞は、プラズマアンテナ３４から電磁波を励起室３３の内部に入射させることなく原料ガスを流量制御器１３を介して被エッチング部材３０に供給することにより行う。次に、第２の＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞は、アルゴンガスを流量制御器２０を介して励起室３３に供給すると共にプラズマアンテナ３４から電磁波を励起室３３の内部に入射させて、アルゴンガスプラズマを被エッチング部材３０に供給することにより行う。次に、第３の＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞は、原料ガスを流量制御器１３を介して励起室３３に供給すると共にプラズマアンテナ３４から電磁波を励起室３３の内部に入射させて、Ｃｌ２ ガスプラズマを被エッチング部材３０に供給することにより行う。これにより、バリアメタル層等の不活性な膜表面に対して高い密着性及び埋め込み性を有する金属膜（例えばＣｕ膜）を成膜することが可能になる。
【００８１】
＜第５の実施の形態＞
図７に示した第５の実施形態に係る金属膜作製装置では、図４に示す第２の実施形態と比較して、被エッチング部材２６のチャンバ１への設置方法及び被エッチング部材２６にバイアス電源２３が接続されている点において異なる。従って、図４に示した金属膜作製装置と同種部材には同一符号を付して重複する説明は省略してある。
【００８２】
図７に示すように、被エッチング部材２６にはスイッチ手段２４を介して直流電源であるバイアス電源２３を接続してあり、被エッチング部材２６をバイアス電源２３によりマイナス電位に偏位させることができるようになっている。なお、チャンバ１が金属製（例えば、アルミ製）の部材で形成してある場合には、被エッチング部材２６はこのチャンバ１の金属部分から絶縁してやる必要がある。これは、被エッチング部材２６をマイナス電位に偏位させる際に、チャンバ１が偏位しないようにするためである。このため、同図においては、チャンバ１の一部を絶縁円筒３８で形成し、被エッチング部材２６をこの絶縁円筒３８を介して設置した例を示している。一方、チャンバ１が絶縁材料製（セラミックス製）である場合には、絶縁円筒３８を設けなくてもよい。
【００８３】
バイアス電源２３を使用する際には、スイッチ手段２４の操作により、第２の＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞のときに、積極的に被エッチング部材２６をマイナス電位に偏位させるようにすることが好ましい。これにより、チャンバ１内に発生したアルゴンガスプラズマ中のプラスイオンを被エッチング部材２６に対して電気的に加速して衝突させることができるため、エッチング速度を向上させることができる。
【００８４】
なお、第３の＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞においても、被エッチング部材２６の電位をマイナスに偏位させることにより、被エッチング部材２６のエッチング反応を促進させることが可能である。
【００８５】
本実施形態では、バイアス電源２３からの給電により被エッチング部材２６の電位を制御することで容易に被エッチング部材２６に対するエッチングの速度を制御し得る。アルゴンガスプラズマによるエッチングでは小粒径のＣｕ粒子が生成するため成膜速度が遅いが、電位制御によりエッチング速度を制御することによって小粒径のＣｕ成膜でも成膜速度を向上させることができる。被エッチング部材２６の電位は、バイアス電源２３の出力電圧を制御することにより制御し得る。
【００８６】
＜第６の実施の形態＞
図８に示した第６の実施形態に係る金属膜作製装置では、図１に示す第１の実施形態と比較して、プラズマアンテナ９の設置条件（コイル状態）がコイル可変手段（下）２２ａ、（上）２２ｂにより可変自在となっていると共に、銅板部材７がアースされている点において異なる。従って、図１に示した金属膜作製装置と同種部材には同一符号を付して重複する説明は省略してある。
【００８７】
本実施形態においては、チャンバ１の外壁面にコイル可変手段２２ａ、ｂを設置し、プラズマアンテナ９の設置条件を変更することができるようにした。プラズマアンテナ９の設置条件とは、プラズマアンテナ９のコイルピッチの大きさ（図８の符号ａ参照）及びプラズマアンテナ９と銅板部材７との距離（図８の符号ｂ参照）である。すなわち、上下のコイル可変手段２２ａ、ｂを駆動することにより、プラズマアンテナ９を上下に移動させたり、プラズマアンテナ９のコイルピッチを変化させることができる。
【００８８】
この結果、基本的には誘導結合型のプラズマ発生手段でありながら、容量結合性のプラズマをも付加して発生させることができるようになっている。これは、コイル可変手段２２ａ，ｂの駆動により、プラズマアンテナ９のコイルピッチａを小さくするほど、またプラズマアンテナ９と銅板部材７とを近づける（ｂを小さく）ほど、発生するプラズマ中において容量結合性のプラズマの寄与を大きくすることができるためである。以下、誘導結合性のプラズマと容量結合性のプラズマとが混合したタイプのプラズマをハイブリッドプラズマという。
【００８９】
次に、アルゴンガスを供給した場合を例として、ハイブリッドプラズマが発生する機構を説明する。先ず、チャンバ１の内部にノズル１９からアルゴンガスを供給しつつ、プラズマアンテナ９から電磁波をチャンバ１の内部に入射することで、アルゴンガスをイオン化してアルゴンガスプラズマを発生させる。このアルゴンガスプラズマは、チャンバ１内のプラズマアンテナ９に隣接する空間、すなわちチャンバ１の銅板部材７側（上部）の空間に形成される。
【００９０】
ここで発生するアルゴンガスプラズマは、前述するように誘導結合性プラズマと容量結合性プラズマとが混合したハイブリッドプラズマである。ハイブリッドプラズマ中の誘導結合性プラズマは、コイル状のプラズマアンテナ９を流れる電流により生じる誘導電界の作用で発生する。一方、本装置で容量結合性のプラズマを発生させることができるのは、距離ａを有するコイル間や、アースした銅板部材７とプラズマアンテナ９との間などに発生する静電場の作用を利用するためである。Ｃｌ２ ガス（原料ガス）を供給した場合にも同様にしてハイブリッドプラズマを発生させることができる。
【００９１】
ハイブリッドプラズマにする効果は、基本的には誘導結合性プラズマを発生させるプラズマ発生手段を備えた金属膜作製装置でありながら、スパッタ作用の強い容量結合性のプラズマを利用することができるということである。この効果は、特に第２の＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において利用するのが好ましい。すなわち、第２の＜アルゴンガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において、コイル可変手段２２ａ，ｂによりプラズマアンテナ９のコイル状態を適正化することで発生する容量結合性プラズマを利用し、アルゴンガスプラズマによるスパッタ作用をより強化することができる。この結果、アルゴンガスプラズマにより発生する前駆体の運動エネルギーを更に高め、基板３に対する密着性のよいＣｕ薄膜１６とすることができる。
【００９２】
なお、第３の＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において、このハイブリッドプラズマによる効果を利用してもよい。また、アルゴンガスプラズマ又はＣｌ２ ガスプラズマ１４をハイブリッドプラズマとした場合の容量結合性のプラズマの割合を増加させるには、コイルピッチについては小さくするように、また、プラズマアンテナ９と銅板部材７との距離についても小さくするようにプラズマアンテナ９の設置条件を変化させればよい。容量結合性のプラズマの寄与率を減少させる場合には、これと逆の操作を行う。
【００９３】
以上説明した第２ないし第６の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、成膜時には、小さな粒子径（例えば、０．０１μｍ以下）のＣｕの粒子が初期に成膜され、その上に大きな粒子径のＣｕの粒子（例えば、０．０５μｍ程度）が成膜されることが確認されている。また、この成膜したＣｕ薄膜の密着性を評価するため、粘着テープを使用したピーリングテストにより剥離状況を確認した結果、剥離が全く生じないことが確認されている。さらに、本実施形態においても、図３に示すような溝が形成された基板や表面にバリアメタル層等の不活性膜が存在する基板に対して、埋め込み性および密着性を向上させた成膜を行うことができた。
【００９４】
また、第２ないし第６の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、銅製の被エッチング部材２６、３０、銅板部材７の代わりに、塩化銅からなる被エッチング部材等を用いる場合や、既に表面が塩素化されている被エッチング部材等を用いることにより、前述した＜被エッチング部材の塩素化工程＞を省略することができる。また、被エッチング部材２６、３０、銅板部材７の材質は、銅（Ｃｕ）に限らず、ハロゲン化物形成金属、好ましくは塩化物形成金属であればよく、例えばＡｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｃｄ等を用いることが可能である。更に、これらの金属を複数種類含む複合金属、例えばＩｎとＣｕとの合金を用いることも可能である。また、前記金属にＳ、Ｓｅ等の非金属元素を含む複合金属、例えばＣｕＩｎＳｅ２ 、ＣｄＳ、ＺｎＳｅ等の合金を被エッチング部材等とすることもできる。
【００９５】
また、第２ないし第６の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、表面に配線形成用の溝が設けられた基板に成膜を行う場合には、前述した＜Ｃｌ２ ガスプラズマによるエッチング、成膜工程＞において、原料ガスを他段階（例えば、２段階）に増加させて金属成分（Ｃｕ成分）の粒子径を２段階に大きくするように供給することにより、金属成分（Ｃｕ成分）の粒子径を２段階に増加させて基板に成膜すればよい。これにより、先ずアルゴンガスプラズマにより極めて小粒径かつ高い運動エネルギーのＣｕ粒子による成膜をした後、次に配線形成用の溝の内部にＣｕ成分が成膜され（埋め込まれ）、その後Ｃｕ成分の粒子径が大きくなって所定の大きさの粒子径とされてＣｕ膜を基板の表面に作製することが可能になる（図３参照）。
【００９６】
【発明の効果】
以上、実施形態とともに具体的に説明した通り、
〔請求項１〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲン化工程を行い、次に、希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うこととしたので、
基板に対し、優れた密着性、被覆性および埋め込み性をもって金属薄膜を成膜することができる。特に、バリアメタル膜等が成膜された不活性な表面を有する基板や配線用の溝等が設けられた基板に成膜した金属膜の密着性、被覆性および埋め込み性を効果的に向上させることができる。
【００９７】
〔請求項２〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うこととしたので、 〔請求項１〕に記載する発明の効果に加え、更に、ハロゲン化工程を省略することができる。
【００９８】
〔請求項３〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し、かつ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うこととしたので、 〔請求項１〕に記載する発明の効果に加え、更に、ハロゲン化工程を省略することができる。
【００９９】
〔請求項４〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項３〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さくなるようにしたので、
〔請求項１〕ないし〔請求項３〕に記載する発明の効果をより有効に得ることができる。
【０１００】
〔請求項５〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項４〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記第２金属膜成膜工程では、前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させることにより、成膜される金属成分の粒子径を段階的に増加させながら、前記第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜するようにしたので、
特に、配線用の溝等が設けられた基板に成膜した場合に、埋め込み性を向上させた金属膜を成膜することができる。
【０１０１】
〔請求項６〕に記載する発明では、〔請求項５〕に記載する発明において、
配線形成用の溝が設けられた基板に対して、前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる際には、まず前記配線形成用の溝の内部を成膜しうる粒子径の金属成分に対応する流量でハロゲンガスを供給し、前記溝の内部の成膜が完了した後にハロゲンガスの量を増加させるようにしたので、
〔請求項５〕に記載する発明の効果を更に有効に得ることができる。
【０１０２】
〔請求項７〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項６〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記基板の表面を、成膜したい金属成分に対して不活性な表面としたので、
バリアメタル膜等が成膜された基板に本発明を適用することができる。
【０１０３】
〔請求項８〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項６〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されているので、
電気的な配線が施されている半導体等に本発明を適用することができる。
【０１０４】
〔請求項９〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項８〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記ハロゲンガスを塩素ガスとしたので、
コストを大幅に減少させることができる。また、塩素ガスをプラズマ化することで得られる塩素ガスプラズマにより、反応効率が大幅に向上して成膜速度が速くなる。
【０１０５】
〔請求項１０〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項９〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記金属を銅としたので、
所望の金属膜を成膜することができる。
【０１０６】
〔請求項１１〕に記載する発明では、〔請求項１〕ないし〔請求項１０〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記希ガスをアルゴンガスとしたので、
〔請求項１〕ないし〔請求項１０〕に記載する発明をより効果的に得ることができる。
【０１０７】
〔請求項１２〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを第１所定時間供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記ハロゲンガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたこ金属膜作製装置としたので、
基板に対し、優れた密着性、被覆性および埋め込み性をもって金属薄膜を成膜することができる。特に、バリアメタル膜等が成膜された不活性な表面を有する基板や配線用の溝等が設けられた基板に成膜した金属膜の密着性、被覆性および埋め込み性を効果的に向上させることができる。
【０１０８】
〔請求項１３〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記ハロゲンガス供給手段によりハロゲンガスを第１所定時間供給し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えた金属膜作製装置としたので、
〔請求項１２〕に記載する発明の効果に加え、更に、精度良く各種ガス供給が可能となった。
【０１０９】
〔請求項１４〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記原料ガス供給手段により原料ガスを第１所定時間供給し被エッチング部材をハロゲン化し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により第３所定時間供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えた金属膜作製装置としたので、
〔請求項１３〕に記載する発明の効果に加え、更に、供給ガス種やガス配管を少なくし、コンパクトな装置とすることができる。
【０１１０】
〔請求項１５〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えた金属膜作製装置としたので、
〔請求項１２〕に記載する発明の効果に加え、更に、ハロゲンガス供給手段を省略でき、被エッチング部材のハロゲン化をする必要がなくなった。
【０１１１】
〔請求項１６〕に記載する発明では、基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えた金属膜作製装置としたので、
〔請求項１２〕に記載する発明の効果に加え、更に、ハロゲンガス供給手段を省略でき、被エッチング部材のハロゲン化をする必要がなくなると共に、精度良く各種ガス供給が可能となった。
【０１１２】
〔請求項１７〕に記載する発明では、〔請求項１５〕または〔請求項１６〕に記載する発明において、
前記高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材を、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し且つ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材としたので、
〔請求項１５〕または〔請求項１６〕に記載する発明と同様の効果を得ることができる。
【０１１３】
〔請求項１８〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項１７〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さくなるようにしたので、
〔請求項１２〕ないし〔請求項１７〕に記載する発明の効果をより有効に得ることができる。
【０１１４】
〔請求項１９〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項１８〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記原料ガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる原料ガス流量制御手段を更に備えたので、
特に、配線用の溝等が設けられた基板に成膜した場合に、埋め込み性を向上させた金属膜を成膜することができる。
【０１１５】
〔請求項２０〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項１９〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記基板の表面を、成膜したい金属成分に対して不活性な表面としたので、
バリアメタル膜等が成膜された基板に本発明を適用することができる。
【０１１６】
〔請求項２１〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項１９〕に記載する発明のいずれかにおいて、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されているので、
電気的な配線が施されている半導体等に本発明を適用することができる。
【０１１７】
〔請求項２２〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項２１〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記ハロゲンを、塩素としたので、
コストを大幅に減少させることができる。また、塩素ガスをプラズマ化することで得られる塩素ガスプラズマにより、反応効率が大幅に向上して成膜速度が速くなる。
【０１１８】
〔請求項２３〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項２２〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記金属を銅としたので、
所望の金属膜を成膜することができる。
【０１１９】
〔請求項２４〕に記載する発明では、〔請求項１２〕ないし〔請求項２３〕に記載する発明のいずれかにおいて、前記希ガスを、アルゴンガスとしたので、
〔請求項１２〕ないし〔請求項２３〕に記載する発明をより効果的に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図２】第１の実施形態により成膜されるＣｕ膜の断面図である。
【図３】第１の実施形態により配線形成用の溝を有する基板に対して成膜されるＣｕ膜の断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図６】本発明の第４の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図７】本発明の第５の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【図８】本発明の第６の実施形態に係る金属膜作製方法を実施する金属膜作製装置の概略側面図である。
【符号の説明】
１ チャンバ
２ 支持台
３ 基板
４ ヒータ
５ 冷媒流通手段
６ 温度制御手段
７ 銅板部材
８ 真空装置
９，２７，３４ プラズマアンテナ
１０ 整合器
１１ 電源
１２ ノズル
１３，２０ 流量制御器
１４，３５ Ｃｌ２ ガスプラズマ
１５ 前駆体
１６ Ｃｕ薄膜
１７ 排気口
１８ 溝
１９ ノズル
２１ バリアメタル層
２２ 希ガスノズル
２３ バイアス電源
２４ スイッチ手段
２５，２９ 天井板
２６，３０ 被エッチング部材
３１ 開口部
３２ 通路
３３ 励起室
ａ コイルピッチ
ｂ プラズマアンテナと銅板部材との距離
Claims (24)
- 基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、
前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、
前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲン化工程を行い、
次に、希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、
次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする金属膜作製方法。 - 基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、
前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、
前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、
次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする金属膜作製方法。 - 基板が収容されるチャンバの内部をプラズマ化してガスプラズマを発生させ、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し、かつ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材を前記ガスプラズマでエッチングし、
前記基板の温度を前記被エッチング部材の温度よりも低くすることにより、
前記被エッチング部材の金属成分を前記基板に成膜させる金属膜作製方法において、
まず、希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることにより前記被エッチング部材に含まれる金属成分からなる第１の金属膜を前記基板に成膜する第１金属膜成膜工程を行い、
次に、ハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させた後に前記前駆体の金属成分からなる第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜する第２金属膜成膜工程を行うことを特徴とする金属膜作製方法。 - 〔請求項１〕ないし〔請求項３〕のいずれかに記載の金属膜作製方法において、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さいことを特徴とする金属膜作製方法。 - 〔請求項１〕ないし〔請求項４〕のいずれかに記載の金属膜作製方法において、
前記第２金属膜成膜工程では、
前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させることにより、
成膜される金属成分の粒子径を段階的に増加させながら、前記第２の金属膜を前記第１の金属膜の上に成膜することを特徴とする金属膜作製方法。 - 〔請求項５〕に記載の金属膜作製方法において、
前記基板には配線形成用の溝が設けられ、
前記ハロゲンガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる際には、
まず前記配線形成用の溝の内部を成膜しうる粒子径の金属成分に対応する流量でハロゲンガスを供給し、
前記溝の内部の成膜が完了した後にハロゲンガスの量を増加させるようにしたことを特徴とする金属膜作製方法。 - 〔請求項１〕ないし〔請求項６〕のいずれかに記載の金属膜作製方法において、
前記基板の表面が成膜したい金属成分に対して不活性であることを特徴とする金属膜作製方法。 - 〔請求項１〕ないし〔請求項６〕のいずれかに記載の金属膜作製方法において、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されていることを特徴とする金属膜作製方法。 - 〔請求項１〕ないし〔請求項８〕のいずれかに記載の金属膜作製方法において、
前記ハロゲンガスは、塩素ガスであることを特徴とする金属膜作製方法。 - 〔請求項１〕ないし〔請求項９〕のいずれかに記載の金属膜作製方法において、
前記金属は銅であることを特徴とする金属膜作製方法。 - 〔請求項１〕ないし〔請求項１０〕のいずれかに記載の金属膜作製方法において、
前記希ガスは、アルゴンガスであることを特徴とする金属膜作製方法。 - 基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを第１所定時間供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記ハロゲンガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする金属膜作製装置。 - 基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記被エッチング部材に向けてハロゲンガスを供給することにより、被エッチング部材をハロゲン化するハロゲンガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記ハロゲンガス供給手段によりハロゲンガスを第１所定時間供給し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする金属膜作製装置。 - 基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記原料ガス供給手段により原料ガスを第１所定時間供給し被エッチング部材をハロゲン化し、次に前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記ハロゲン化された被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により第３所定時間供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする金属膜作製装置。 - 基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを第２所定時間供給する希ガス供給手段と、
前記希ガスの供給の後に、前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを第３所定時間供給する原料ガス供給手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする金属膜作製装置。 - 基板が収容されるチャンバと、
高蒸気圧ハロゲン化金属で形成し前記基板に対向する位置におけるチャンバ内に設けられる被エッチング部材と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部に希ガスを供給する希ガス供給手段と、
前記基板と前記被エッチング部材との間における前記チャンバの内部にハロゲン含有の原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、
まず前記希ガス供給手段により希ガスを第２所定時間供給し、次に前記原料ガス供給手段により原料ガスを第３所定時間供給するガス供給制御手段と、
前記希ガス供給手段により供給される希ガスをプラズマ化すると共にこの希ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングし、前記原料ガス供給手段により供給される原料ガスに含まれるハロゲンガスをプラズマ化すると共にハロゲンガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングすることで前記被エッチング部材に含まれる金属成分とハロゲンガスとの前駆体を生成させるプラズマ発生手段と、
前記基板側の温度を前記被エッチング部材側の温度よりも低くすることにより、前記希ガスプラズマによりエッチングされた被エッチング部材に含まれる金属成分を前記基板に成膜して第１の金属膜とし、前記前駆体の金属成分を前記第１の金属膜の上に成膜して第２の金属膜とする温度制御手段とを備えたことを特徴とする金属膜作製装置。 - 〔請求項１５〕または〔請求項１６〕に記載の金属膜作製装置において、
前記高蒸気圧ハロゲン化金属で形成した被エッチング部材は、
高蒸気圧ハロゲン化物を生成しうる金属で形成し且つ表面のみがハロゲン化された被エッチング部材であることを特徴とする金属膜作製装置。 - 〔請求項１２〕ないし〔請求項１７〕のいずれかに記載の金属膜作製装置において、
前記第１の金属膜を形成する金属粒子は、前記第２の金属膜を形成する金属粒子よりも粒子径が小さいことを特徴とする金属膜作製装置。 - 〔請求項１２〕ないし〔請求項１８〕のいずれかに記載の金属膜作製装置において、
前記原料ガスの流量を所定の流量まで多段階に増加させる原料ガス流量制御手段を更に備えたことを特徴とする金属膜作製装置。 - 〔請求項１２〕ないし〔請求項１９〕のいずれかに記載の金属膜作製装置において、
前記基板の表面が成膜したい金属成分に対して不活性であることを特徴とする金属膜作製装置。 - 〔請求項１２〕ないし〔請求項１９〕のいずれかに記載の金属膜作製装置において、
前記基板の表面にバリアメタル膜が成膜されていることを特徴とする金属膜作製装置。 - 〔請求項１２〕ないし〔請求項２１〕のいずれかに記載の金属膜作製装置において、
前記ハロゲンは、塩素であることを特徴とする金属膜作製装置。 - 〔請求項１２〕ないし〔請求項２２〕のいずれかに記載の金属膜作製装置において、
前記金属は銅であることを特徴とする金属膜作製装置。 - 〔請求項１２〕ないし〔請求項２３〕のいずれかに記載の金属膜作製装置において、
前記希ガスは、アルゴンガスであることを特徴とする金属膜作製装置。
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