JP2004077238A - Characteristic measuring device of electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ型電子部品の特性測定装置、特に、コンデンサやコイルや高周波複合部品などのチップ型電子部品の電気的特性を自動的に測定するための装置に関する。
【0002】
【従来の技術と課題】
一般に、コンデンサやチップコイルなどの電子部品は出荷する前に検査工程に付す。ここでの検査工程では、例えばコンデンサであれば、静電容量や絶縁抵抗といった電気的特性を測定し、測定結果に基づいて良品のみを選別して出荷する。この種の検査工程は、大量の電子部品を取り扱うために能率的に進めなければならない。
【0003】
従来、例えば、チップ型コンデンサの検査工程においては、図4に示す特性測定装置を用いていた。この特性測定装置は、概略、ターンテーブル50と、パーツフィーダ60と、静電容量測定器70(以下、C測定器と記す)と、絶縁抵抗測定器75(以下、IR測定器と記す)と、取出し装置(図示せず)と、装置全体を制御するコントローラ80とで構成されていた。
【0004】
ターンテーブル50は、周縁部にチップ型コンデンサを1個ずつ保持する保持部51を等間隔に備え、矢印a方向に間欠的に回転駆動可能である。即ち、ターンテーブル50は保持部51にコンデンサを1個ずつ保持して矢印a方向に間欠的に搬送する循環搬送経路を構成している。パーツフィーダ60は供給位置Aにおいてコンデンサを1個ずつ前記保持部51に供給する。C測定器70は測定位置Bにおいてコンデンサの静電容量を測定する。IR測定器75は測定位置Cにおいてコンデンサの絶縁抵抗を測定する。
【0005】
絶縁抵抗の測定は、充電、測定、放電のそれぞれを行うために時間を要することから、例えば図4の装置では、測定位置Cは27個分のコンデンサを一度に測定できる領域に設定され、ターンテーブル50の回転を止めて27個のコンデンサに対して同時にIR測定を行う。取出し装置は特に図示していないが、取出し位置Dにおいて測定済みのコンデンサを良品と不良品を選別的に取り出す。
【0006】
以上の構成からなる特性測定装置において、コンデンサは、供給位置Aにおいて保持部51に1個ずつ供給されて間欠的に搬送され、まず、測定位置Bにおいて静電容量が測定され、測定位置Cに順次搬送されていく。測定位置Cに27個のコンデンサが揃うとターンテーブル50の回転を停止させ、27個のコンデンサに対して一度に絶縁抵抗の測定が行われる。
【0007】
次に、ターンテーブル50を再度間欠回転させつつ、取出し位置Dにて測定済みコンデンサを1個ずつ選別的に取り出す。このとき、パーツフィーダ60からは新たなコンデンサが1個ずつ供給され、前述の静電容量の測定位置B及び絶縁抵抗の測定位置Cへの搬送が行われる。
【0008】
そして、前記C測定器70やIR測定器75の測定ユニットとしては、例えば、特開平8−338852号公報に開示されているテストプローブが知られている。このテストプローブは、筒状体からなる軸芯の先端に球状の測定端子を回転自在に保持し、軸芯の後端からグリス等の潤滑剤を充填して測定端子を滑らかに回転させるようにしたものである。
【0009】
しかしながら、前記テストプローブにおいては、潤滑剤を使用しているために潤滑剤に混入した異物が測定端子に付着したり、測定室内のほこりや被測定物であるコンデンサに付着したほこりが測定端子に転写され、異物やほこりによる測定端子の汚れがクリーニングされないという問題点を有していた。測定端子にこのような汚れが蓄積すると測定端子とコンデンサの外部電極との接触不良が発生し、電気的特性の測定値に誤差を生じることになる。
【0010】
そこで、本発明の目的は、チップ型電子部品の外部電極と接触する球状の測定端子の汚れを確実にクリーニングでき、チップ型電子部品の電気的特性を常時誤差なく測定可能な特性測定装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段及び作用】
以上の目的を達成するため、本発明に係る特性測定装置は、チップ型電子部品の電気的特性を測定するための装置であって、チップ型電子部品の外部電極に接触して電気的に導通する球状の測定端子と、前記測定端子を回転自在に保持するホルダと、前記ホルダを通じて前記測定端子に対して清浄用ガスを供給して測定端子を清浄するガス清浄手段とを備えたことを特徴とする。
【0012】
以上の構成からなる本発明に係る特性測定装置おいては、回転自在な球状の測定端子にグリス等の潤滑剤を供給することはないので潤滑剤中の異物が付着することはなく、また、測定端子に対する清浄用ガスの供給にて測定端子の表面からほこり等が除去される。従って、測定端子の表面は常時清浄に保たれ、チップ型電子部品の電気的特性を誤差なく測定することが可能となる。なお、清浄用ガスは潤滑剤とは異なってフィルタを使用すれば微小な異物やほこりを予め確実に除去しておくことができる。
【0013】
前記清浄用ガスは、空気、酸化防止ガス又は不活性ガスのいずれかをホルダの内部にその後端から供給することが好ましく、少なくとも非測定時に供給すればよい。即ち、清浄用ガスの供給は測定時にはオフするか、あるいは、非測定時を含めて装置の稼働中は常時オンしておいてもよい。
【0014】
本発明に係る特性測定装置において、前記ホルダは電気的に導通する中継体として機能する導電性材料から構成することができる。この場合、電気信号は、電源回路からホルダ、測定端子を介してチップ型電子部品の外部電極に通じ、かつ、測定信号は逆の流れで測定回路に通じることになる。
【0015】
また、前記ホルダは支持部材によってばね部材を介して前記測定端子がチップ型電子部品の外部電極に弾性的に圧接可能に支持されていることが好ましい。測定端子と外部電極との接触性を良好に保つことができる。
【0016】
さらに、前記測定端子、ホルダを備えた一対の測定ユニットが、チップ型電子部品の搬送経路を挟んで対向して設置されていてもよく、あるいは、チップ型電子部品の搬送経路上に並置されていてもよい。
【0017】
また、測定端子の直径は、非測定物であるチップ型電子部品が小型化している現状では、0.2〜0.5mmであることが好ましい。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る電子部品の特性測定装置の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【0019】
(第1実施形態、図1、図2参照)
第1実施形態である特性測定装置は、図1に示すように、概略、一対の測定ユニット10と測定器30とガス供給器40とで構成されている。一対の測定ユニット10は、図4に示すターンテーブル50の保持部51に保持されたコンデンサ65の搬送経路(図1の矢印aに示すターンテーブル50の周方向)を挟んで上下に対向する状態で、例えば、静電容量の測定位置Bに設置されている。
【0020】
各測定ユニット10は、球状の測定端子11と、該測定端子11をその先端部で回転自在に保持するホルダ15と、該ホルダ15を弾性的に上下動可能に支持する支持部材20とで構成されている。
【0021】
前記測定端子11は導電性材料(例えばスチール製)からなる。また、前記ホルダ15も導電性材料(例えば、黄銅製)からなり、リード線31を介して測定器30に接続されている。
【0022】
ホルダ15は、図2に示すように、軸心部分に貫通孔16を有する筒状体であり、先端部分に球状の測定端子11を保持するための保持空間17を備えている。保持空間17は奥側の座面17aと先端側の座面部材17bとで構成され、座面17a及び座面部材17bと測定端子11は接触している。測定端子11は摺動してあらゆる方向に回転自在に保持されると共に、その一部分がホルダ15の先端から外部に突出した状態で保持されている。
【0023】
ホルダ15の貫通孔16は、再び図1に戻ると、その後端部において供給パイプ41を介してガス供給器40に接続されている。ガス供給器40はクリーンな圧縮空気をパイプ41を介してホルダ15の貫通孔16に供給し、この圧縮空気は前記保持空間17に噴出される。すると、奥側の座面17a及び先端側の座面部材17bと測定端子11との間に微小な間隙が発生し、これによりほこり等の異物が座面部材17bと測定端子11との間から外部に排出され、測定端子11の表面が清浄される。なお、前述した微小な間隙が発生しなくても、球状の測定端子11が摺動して回転することにより、異物は外部に排出される。
【0024】
一方、ホルダ15は支持部材20によって定位置で上下動可能に支持されている。即ち、ホルダ15は支持部材20の水平バー21の孔22に挿入され、上下動可能である。また、垂直バー23にてホルダ15を上下方向にガイドするように構成してもよい。
【0025】
そして、ホルダ15はその軸部に巻回したコイルばね24にて、上方のユニット10にあっては下方に弾性的に付勢され、下方のユニット10にあっては上方に弾性的に付勢されている。ホルダ15の後端部分にはストッパ18が取り付けられ、該ストッパ18によって、上方のユニット10にあってはホルダ15の下限位置が決められ、下方のユニット10にあってはホルダ15の上限位置が決められる。
【0026】
即ち、上下に配置された各測定ユニット10の測定端子11の下限位置及び上限位置がストッパ18によって決められ、一対の測定端子11が測定位置Bに搬送されてきたコンデンサ65の外部電極66に上下方向から弾性的に接触することになる。
【0027】
コンデンサ65の静電容量はこの状態(図1参照)で行われる。測定器30には図示しない電源回路や測定回路が内蔵されており、電気信号は電源回路からリード線31、ホルダ15、測定端子11を介してコンデンサ65の外部電極66に通じる。また、測定信号は外部電極66から測定端子11、ホルダ15、リード線31を介して測定回路に通じる。
【0028】
本第1実施形態においては、コンデンサが測定位置Bから次工程に搬送されて次のコンデンサが搬送されてくる間(非測定時)に、ガス供給器40をオンして圧縮空気をホルダ15の貫通孔16に供給し、測定端子11に対する圧縮空気の噴出によって測定端子11の表面がクリーニングされ、測定端子11は常時清浄に保たれる。しかも、本第1実施形態においては、従来のような回転自在な測定端子11にグリス等の潤滑剤を供給することはないので潤滑剤中の異物が付着するおそれはない。
【0029】
ところで、近年では非測定物であるチップ型コンデンサが小型化しており、そのサイズは1.6×0.8mm、1.0×0.5mm、0.6×0.3mmの角柱のものが多い。このような現状に鑑みて、前記測定端子11の直径は、例えば、0.2〜0.5mmが妥当である。
【0030】
(第2実施形態、図3参照)
第2実施形態である特性測定装置は、図3に示すように、一対の測定ユニット10を、ターンテーブル50の保持部51に保持されたコンデンサ65の搬送経路上に並置したものである。この場合、各測定ユニット10の測定端子11は測定位置Bに搬送されてきたコンデンサ65の一対の外部電極66にそれぞれ上方から弾性的に接触して静電容量を測定する。
【0031】
なお、各測定ユニット10、測定器30、ガス供給器40の構成、及びその作用は前記第1実施形態で説明したとおりであり、図3では図1と同じ部材に同じ符号を付し、重複した説明は省略する。
【0032】
(他の実施形態)
なお、本発明に係る電子部品の特性測定装置は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
【0033】
特に、球状の測定端子を回転自在に保持するホルダの構成、支持部材の構成は任意であり、ガス供給器も任意の構成のものを使用することができる。
【0034】
また、本発明に係る特性測定装置は前記チップ型コンデンサに関しては静電容量のみならず絶縁抵抗の測定にも使用することができる。また、被測定物としては、チップ型コンデンサ以外に、チップ型コイルやチップ型コモンモードチョークコイルや高周波複合部品などであってもよい。チップコイルの場合は直流抵抗(Rdc)及び/又はインダクタンスが測定対象となる。コモンモードチョークコイルの場合は直流抵抗(Rdc)、インダクタンス及び/又は絶縁抵抗が測定対象となる。高周波複合部品の場合は回路の周波数特性が測定対象になる。また、測定端子の数はチップ型電子部品の外部電極に合わせて2以上でもよい。
【0035】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、清浄用ガスの噴出によって球状の測定端子の表面がクリーニングされ、チップ型電子部品の電気的特性を常時誤差なく測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る特性測定装置の第1実施形態を示す立面図。
【図2】前記第1実施形態の要部に関する断面図。
【図3】本発明に係る特性測定装置の第2実施形態を示す立面図。
【図4】従来の特性測定装置の一例を示す概略説明図。
【符号の説明】
10…測定ユニット
11…測定端子
15…ホルダ
17…測定端子保持空間
20…支持部材
24…コイルばね
30…測定器
40…ガス供給器
50…ターンテーブル
65…チップ型コンデンサ
66…外部電極[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a device for measuring the characteristics of chip-type electronic components, and more particularly to a device for automatically measuring the electrical characteristics of chip-type electronic components such as capacitors, coils, and high-frequency composite components.
[0002]
[Prior art and problems]
Generally, electronic components such as capacitors and chip coils are subjected to an inspection process before shipment. In the inspection step, for example, in the case of a capacitor, electrical characteristics such as capacitance and insulation resistance are measured, and only non-defective products are sorted and shipped based on the measurement result. This type of inspection process must be efficiently performed to handle a large number of electronic components.
[0003]
Conventionally, for example, in the inspection process of a chip-type capacitor, a characteristic measuring device shown in FIG. 4 has been used. This characteristic measuring device generally includes a
[0004]
The
[0005]
Since the measurement of the insulation resistance requires time to perform each of charging, measuring, and discharging, for example, in the apparatus of FIG. 4, the measuring position C is set to an area where 27 capacitors can be measured at one time, The rotation of the table 50 is stopped, and the IR measurement is simultaneously performed on the 27 capacitors. Although the take-out device is not shown in the drawing, at the take-out position D, the measured capacitors are selectively taken out as non-defective products and defective products.
[0006]
In the characteristic measuring device having the above configuration, the capacitors are supplied one by one to the
[0007]
Next, while the
[0008]
As a measurement unit of the
[0009]
However, in the test probe, since the lubricant is used, foreign matter mixed in the lubricant adheres to the measurement terminal, and dust in the measurement chamber or dust adhered to the capacitor which is an object to be measured is applied to the measurement terminal. There is a problem in that the transfer is transferred and the contamination of the measuring terminal due to foreign matter or dust cannot be cleaned. If such dirt accumulates on the measuring terminal, a poor contact between the measuring terminal and the external electrode of the capacitor occurs, causing an error in the measured value of the electrical characteristics.
[0010]
Therefore, an object of the present invention is to provide a characteristic measuring device which can surely clean dirt on a spherical measuring terminal which comes into contact with an external electrode of a chip-type electronic component and can always measure the electrical characteristics of the chip-type electronic component without error. Is to do.
[0011]
Means and Action for Solving the Problems
In order to achieve the above object, a characteristic measuring device according to the present invention is a device for measuring an electrical characteristic of a chip-type electronic component, and is in contact with an external electrode of the chip-type electronic component to be electrically connected. A spherical measuring terminal, a holder for rotatably holding the measuring terminal, and gas cleaning means for supplying a cleaning gas to the measuring terminal through the holder to clean the measuring terminal. And
[0012]
In the characteristic measuring device according to the present invention having the above configuration, since the lubricant such as grease is not supplied to the rotatable spherical measuring terminal, foreign matter in the lubricant does not adhere, The supply of the cleaning gas to the measuring terminal removes dust and the like from the surface of the measuring terminal. Therefore, the surface of the measurement terminal is kept clean at all times, and the electrical characteristics of the chip-type electronic component can be measured without errors. When a filter is used for the cleaning gas, unlike a lubricant, minute foreign matter and dust can be surely removed in advance.
[0013]
It is preferable that the cleaning gas is supplied from the rear end thereof to the inside of the holder, either of air, an antioxidant gas, or an inert gas. That is, the supply of the cleaning gas may be turned off at the time of measurement, or may be turned on at all times during operation of the apparatus including non-measurement.
[0014]
In the characteristic measuring device according to the present invention, the holder can be made of a conductive material that functions as an electrically conductive relay. In this case, the electric signal passes from the power supply circuit to the external electrode of the chip-type electronic component via the holder and the measuring terminal, and the measuring signal passes to the measuring circuit in a reverse flow.
[0015]
Further, it is preferable that the holder is supported by a support member via a spring member so that the measurement terminal can be elastically pressed against an external electrode of the chip-type electronic component. Good contact between the measurement terminal and the external electrode can be maintained.
[0016]
Further, a pair of measurement units each including the measurement terminal and the holder may be installed to face each other with the conveyance path of the chip-type electronic component interposed therebetween, or may be juxtaposed on the conveyance path of the chip-type electronic component. You may.
[0017]
Further, the diameter of the measuring terminal is preferably 0.2 to 0.5 mm in the present situation where the chip-type electronic component which is not measured is downsized.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of an electronic component characteristic measuring device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0019]
(Refer to the first embodiment, FIGS. 1 and 2)
As shown in FIG. 1, the characteristic measuring device according to the first embodiment generally includes a pair of measuring
[0020]
Each measuring
[0021]
The measuring
[0022]
As shown in FIG. 2, the
[0023]
Returning to FIG. 1 again, the through
[0024]
On the other hand, the
[0025]
The
[0026]
That is, the lower limit position and the upper limit position of the
[0027]
The capacitance of the
[0028]
In the first embodiment, while the condenser is conveyed from the measurement position B to the next step and the next condenser is conveyed (when not measuring), the
[0029]
By the way, in recent years, chip-type capacitors, which are non-measurement objects, have been reduced in size, and their sizes are often prisms of 1.6 × 0.8 mm, 1.0 × 0.5 mm, and 0.6 × 0.3 mm. . In view of such a current situation, the diameter of the measuring
[0030]
(Second embodiment, see FIG. 3)
As shown in FIG. 3, the characteristic measuring device according to the second embodiment has a pair of measuring
[0031]
The configuration and operation of each
[0032]
(Other embodiments)
The electronic component characteristic measuring device according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be variously modified within the scope of the gist.
[0033]
In particular, the configuration of the holder for rotatably holding the spherical measurement terminal and the configuration of the support member are arbitrary, and the gas supply device may have any configuration.
[0034]
Further, the characteristic measuring device according to the present invention can be used for measuring not only the capacitance but also the insulation resistance of the chip type capacitor. The device under test may be a chip-type coil, a chip-type common mode choke coil, a high-frequency composite component, or the like, in addition to the chip-type capacitor. In the case of a chip coil, the direct current resistance (Rdc) and / or the inductance are measured. In the case of a common mode choke coil, DC resistance (Rdc), inductance and / or insulation resistance are measured. In the case of a high-frequency composite component, the frequency characteristics of the circuit are to be measured. The number of measurement terminals may be two or more in accordance with the external electrodes of the chip-type electronic component.
[0035]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, according to the present invention, the surface of the spherical measuring terminal is cleaned by the ejection of the cleaning gas, and the electrical characteristics of the chip-type electronic component can always be measured without errors.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an elevation view showing a first embodiment of a characteristic measuring device according to the present invention.
FIG. 2 is a sectional view of a main part of the first embodiment.
FIG. 3 is an elevation view showing a second embodiment of the characteristic measuring device according to the present invention.
FIG. 4 is a schematic explanatory view showing an example of a conventional characteristic measuring device.
[Explanation of symbols]
Claims (9)
チップ型電子部品の外部電極に接触して電気的に導通する球状の測定端子と、
前記測定端子を回転自在に保持するホルダと、
前記ホルダを通じて前記測定端子に対して清浄用ガスを供給して測定端子を清浄するガス清浄手段と、
を備えたことを特徴とする電子部品の特性測定装置。An apparatus for measuring electrical characteristics of a chip-type electronic component,
A spherical measuring terminal that contacts and electrically conducts the external electrode of the chip-type electronic component;
A holder for rotatably holding the measurement terminal,
Gas cleaning means for supplying a cleaning gas to the measurement terminal through the holder to clean the measurement terminal,
A characteristic measuring device for an electronic component, comprising:
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2002
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009092498A (en) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Elpida Memory Inc | Ic socket |
JP2011002391A (en) * | 2009-06-20 | 2011-01-06 | Murata Mfg Co Ltd | Characteristic measuring device for electronic component |
WO2017009986A1 (en) * | 2015-07-15 | 2017-01-19 | 富士機械製造株式会社 | Inspection device |
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CN107736086B (en) * | 2015-07-15 | 2020-05-01 | 株式会社富士 | Inspection apparatus |
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