JP2004076198A - カーボンナノファイバーの製造方法及び装置 - Google Patents

カーボンナノファイバーの製造方法及び装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2004076198A
JP2004076198A JP2002237847A JP2002237847A JP2004076198A JP 2004076198 A JP2004076198 A JP 2004076198A JP 2002237847 A JP2002237847 A JP 2002237847A JP 2002237847 A JP2002237847 A JP 2002237847A JP 2004076198 A JP2004076198 A JP 2004076198A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluidized bed
bed reaction
carbon nanofibers
fluidized
reaction section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2002237847A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshihiko Setoguchi
瀬戸口 稔彦
Yuichi Fujioka
藤岡 祐一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP2002237847A priority Critical patent/JP2004076198A/ja
Publication of JP2004076198A publication Critical patent/JP2004076198A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】流動層方式によるカーボンナノファイバーの製造方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】内部に流動材11を充填した流動流動層反応部12と、炭素原料13を上記流動層反応部12内に供給する原料供給手段14と、触媒金属15を上記流動層反応部12内に供給する触媒供給手段16と、上記流動層反応部12内の流動材11が飛散及び流下する空間を有するフリーボード部17と、上記流動層反応部12に導入し、内部の流動材11を流動させる流動ガス18を供給する流動ガス供給手段19と、流動層反応部12を加熱する加熱手段20と、上記流動層反応部12内にCOを供給するCO供給手段21と、該フリーボード部17から飛散されたカーボンナノファイバー22及び流動材11を回収する回収ライン23と、回収ライン23で回収された流動材11とカーボンナノファイバー22とを分離する分離手段24とを具備する。
【選択図】    図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流動層方式によるカーボンナノファイバーの製造方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
カーボンナノチューブは、黒鉛(グラファイト)シートが円筒状に閉じた構造を有するチューブ状の炭素多面体である。このカーボンナノチューブには、黒鉛シートが円筒状に閉じた多層構造を有する多層ナノチューブと、黒鉛シートが円筒状に閉じた単層構造を有する単層ナノチューブとがある。
【0003】
一方の多層ナノチューブは、1991年に飯島により発見された。すなわち、アーク放電法の陰極に堆積した炭素の塊の中に、多層ナノチューブが存在することが発見された。その後、多層ナノチューブの研究が積極的になされ、近年は多層ナノチューブを多量に合成できるまでにもなった。
【0004】
これに対して、単層ナノチューブは概ね0.4〜100ナノメータ(nm)程度の内径を有しており、その合成は、1993年に飯島とIBMのグループにより同時に報告された。単層ナノチューブの電子状態は理論的に予測されており、ラセンの巻き方により電子物性が金属的性質から半導体的性質まで変化すると考えられている。従って、このような単層ナノチューブは、未来の電子材料として有望視されている。
【0005】
単層ナノチューブのその他の用途としては、ナノエレクトロニクス材料、電界電子放出エミッタ、高指向性放射源、軟X線源、一次元伝導材、高熱伝導材、水素貯蔵材等が考えられている。また、表面の官能基化、金属被覆、異物質内包により、単層ナノチューブの用途はさらに広がると考えられている。
【0006】
従来、上述した単層ナノチューブは、鉄、コバルト、ニッケル、ランタン等の金属を陽極の炭素棒に混入し、アーク放電を行うことにより製造されている。しかし、この製造方法では、生成物中に、単層ナノチューブの他、多層ナノチューブ、黒鉛、アモルファスカーボンが混在し、収率が低いだけでなく、単層ナノチューブの糸径・糸長にもばらつきがあり、糸径・糸長の比較的揃った単層ナノチューブを高収率で製造することは困難であった。
【0007】
なお、カーボンナノチューブの製造方法としては、上述したアーク法の他、気相熱分解法、レーザー昇華法、凝縮相の電解法などが提案されている。
【0008】
ところで、これらの製造方法はいずれも実験室レベルの製造方法であり、特に炭素材料の収率が低い、という問題がある。
【0009】
また、上述した方法では、連続して製造することがができないなど、安定した大量生産を行うことは困難であった。
【0010】
一方、近年ナノ単位の炭素材料(いわゆるカーボンナノファイバー)は多方面において、その有用性が嘱望され、工業的な大量製造できることが望まれている。
【0011】
そこで、カーボンナノファイバーを大量製造の方法として、流動材を用いた流動層反応手段による製造方法が提案されている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、流動層反応手段を用いてカーボンナノファイバーを製造する場合には、製造により得られたカーボンナノファイバーが触媒である金属成分を介して流動材に付着している場合があり、この流動材からカーボンナノファイバーを効率的に精製する必要がある。
従来においては、湿式による酸処理により上記金属成分を溶解させていたが、酸処理の工程や作業等において課題がある。
【0013】
本発明は、上記の事情に鑑み、連続的に大量生産することができるナノ単位の炭素材料であるカーボンナノファイバーを効率よく精製することができるカーボンナノファイバーの製造方法及び装置を提供をすることを課題とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決する第1の発明は、流動層反応手段に炭素原料と触媒金属成分と流動ガスとを供給し、流動材を用いたカーボンナノファイバを製造するカーボンナノファイバーの方法であって、
上記流動層反応手段で製造した流動材に付着した触媒金属成分から成長したカーボンナノファイバー、又は炉壁に付着した触媒金属成分から成長したカーボンナノファイバーに対し、加圧条件下においてCOを供給し、加熱反応により金属カルボニルを生成させ、触媒金属成分を消失させ、カーボンナノファイバーを単離精製させることを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法にある。
【0015】
第2の発明は、第1の発明において、
上記加圧条件が蒸気圧が0.01気圧以上の温度となるように温度制御することを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法にある。
【0016】
第3の発明は、第1の発明において、
上記加圧条件が0.1〜25気圧の範囲であることを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法にある。
【0017】
第4の発明は、第1乃至3のいずれか一の発明において、
上記流動層反応手段によるカーボンナノファイバーの製造が常圧条件で行うことを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法にある。
【0018】
第5の発明は、第1乃至3のいずれか一の発明において、
上記流動層反応手段によるカーボンナノファイバーの製造が加圧条件で行うことを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法にある。
【0019】
第6の発明は、第1乃至3のいずれか一の発明において、
上記流動層反応手段によるカーボンナノファイバーの製造が単離精製の加圧条件よりも高圧で行うことを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法にある。
【0020】
第7の発明は、内部に流動材を充填した流動流動層反応部と、
炭素原料を上記流動層反応部内に供給する原料供給手段と、
触媒金属を上記流動層反応部内に供給する触媒供給手段と、
上記流動層反応部に導入し、内部の流動材を流動させる流動ガスを供給する流動ガス供給手段と、
上記流動層反応部を加熱する加熱手段と、
上記流動層反応部を加圧する加圧手段と、
上記流動層反応部内にCOを供給するCO供給手段とを具備することを特徴とするカーボンナノファイバーの製造装置にある。
【0021】
第8の発明は、第7の発明において、
上記加圧条件が0.1〜25気圧の範囲であることを特徴とするカーボンナノファイバーの製造装置にある。
【0022】
第9の発明は、内部に流動材を充填した流動流動層反応部と、
炭素原料を上記流動層反応部内に供給する原料供給手段と、
触媒金属を上記流動層反応部内に供給する触媒供給手段と、
上記流動層反応部に導入し、内部の流動材を流動させる流動ガスを供給する流動ガス供給手段と、
流動層反応部を加熱する加熱手段と、
上記流動層反応部で生成したカーボンナノファイバーを流動材と共に移送した後に貯留した後加圧する加圧槽と、
該加圧槽内にCOを供給するCO供給手段とを具備することを特徴とするカーボンナノファイバーの製造装置にある。
【0023】
第10の発明は、第9の発明において、
上記加圧条件が0.1〜25気圧の範囲であることを特徴とするカーボンナノファイバーの製造装置にある。
【0024】
【発明の実施の形態】
本発明によるカーボンナノファイバーの製造方法の実施の形態を以下に説明するが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではない。
【0025】
[第1の実施の形態]
図1にカーボンナノファイバーを製造する装置の一例を示す。
図1に示すように、カーボンナノファイバーの製造装置は、内部に流動材11を充填した流動流動層反応部12と、炭素原料13を上記流動層反応部12内に供給する原料供給手段14と、触媒金属15を上記流動層反応部12内に供給する触媒供給手段16と、上記流動層反応部12内の流動材11が飛散及び流下する空間を有するフリーボード部17と、上記流動層反応部12に導入し、内部の流動材11を流動させる流動ガス18を供給する流動ガス供給手段19と、流動層反応部12を加熱する加熱手段20と、上記流動層反応部12内にCOを供給するCO供給手段21と、該フリーボード部17から飛散されたカーボンナノファイバー22及び流動材11を回収する回収ライン23と、回収ライン23で回収された流動材11とカーボンナノファイバー22とを分離する分離手段24とを具備するものである。
【0026】
上記流動層反応部12の流動床反応形式には気泡型流動層型と噴流型流動層型とがあるが、本発明ではいずれのものを用いてもよい。
本実施の形態では、気泡型の流動層反応部12とフリーボード部17とから流動層反応器25を構成している。
また、フリーボード部17は、流動層反応部12よりもその流路断面積の大きいものが好ましい。
【0027】
上記炭素材料供給手段14より供給される炭素原料13は、炭素を含有する化合物であれば、いずれのものでもよく、例えばメタン,エタン,プロパン及びヘキサンなどのアルカン、エチレン,プロピレン及びアセチレン等の不飽和有機化合物、ベンゼン、トルエン等の芳香族化合物、ポリエチレン、ポリプロピレン等の高分子材料、又は石油や石炭(石炭転換ガスを含む)等を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0028】
この炭素原料13は、流動層反応部12内にガス状態で供給し、流動材11による攪拌により均一な反応が行われ、カーボンナノファイバを成長させている。この際、所定の流動条件となるように、別途流動ガスとしてガス供給手段20により不活性ガスを流動層反応部17内に導入している。
【0029】
上記触媒金属15としては、例えば鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)に代表される遷移金属を単独またはこれら金属からなる合金を挙げることができる。
上記合金としては、例えばCo−Mo系の触媒金属成分を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0030】
そして、上記触媒金属15を用い、400℃から1200℃の温度範囲でベンゼン等の炭素原料を、水素分圧0%乃至90%の混合ガス中で一定時間触媒に接触することによってカーボンファイバを合成している。
【0031】
上記流動材11の粒度は特に限定されるものではないが、例えば0.02〜20mmの範囲のものを用いることができる。
この流動材としては、公知のケイ砂、アルミナ、シリカ、アルミノシリート、ゼオライト等の酸化物粒子等を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0032】
上記サイクロン以外の分離手段24としては、例えばバグフィルタ、セラミックフィルタ、篩等の公知の分離手段を用いることができる。
【0033】
また、回収された流動材11は分離手段24により分離され、再利用するために、新規流動材11と混合して流動材供給手段26により流動層反応部12内に供給するようにしている。
【0034】
そして、流動層反応部12内に、炭素原料10と触媒金属15及び流動材11とを各々供給し、流動材ガス19を供給することで、流動材11を流動させ、所定の圧力及び温度とすることで、流動層による均一な反応を行うことにより、カーボンナノファイバー22を製造することになる。
【0035】
上記得られたカーボンナノファイバー22はそれ単独で存在する場合には、精製が必要とはならないが、流動材や反応部12の壁面に付着する場合があるので、反応終了した後に、加圧手段(図示せず)により加圧し、CO供給手段31からCOを供給することで、図3及び図4に示すように、触媒金属15をFe(CO)5 として消失させ、カーボンナノファイバ22を精製している。
このような状態としてから分離手段で分離し、カーボンナノファイバと流動材とを分離させ、そのままカーボンナノファイバー22が回収される。
【0036】
上記加圧条件は、少なくとも蒸気圧が0.01気圧以上の温度となるように温度制御するようにしている。
例えばFe(CO)5 の沸点102.5℃以上の温度であることが好ましい。
【0037】
そのときの加圧条件は0.1〜25気圧の範囲とするのが好ましい。
【0038】
これにより、触媒金属成分が消失するので、流動材は再利用することができると共に、得られたカーボンナノファイバーは金属触媒が付着するものではないので、純度が高いものを得ることができる。
【0039】
[第2の実施の形態]
図2にカーボンナノファイバーを製造する装置の一例を示す。
図2に示すように、カーボンナノファイバーの製造装置は、内部に流動材11を充填した流動流動層反応部12と、炭素原料13を上記流動層反応部12内に供給する原料供給手段14と、触媒金属15を上記流動層反応部12内に供給する触媒供給手段16と、上記流動層反応部12内の流動材11が飛散及び流下する空間を有するフリーボード部17と、上記流動層反応部12に導入し、内部の流動材11を流動させる流動ガス18を供給する流動ガス供給手段19と、流動層反応部12を加熱する加熱手段20と、上記流動層反応部12で生成したカーボンナノファイバー22を流動材11と共に搬送手段30により搬送した後に貯留した後加圧する加圧槽31と、該加圧槽31内にCOを供給するCO供給手段21と、加圧槽31から分離されたカーボンナノファイバー22と流動材11とを回収する回収ライン33と、回収ライン33で回収された流動材11とカーボンナノファイバー22とを分離する分離手段24とを具備するものである。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、流動層反応手段で製造した流動材に付着した触媒金属成分から成長したカーボンナノファイバー、又は炉壁に付着した触媒金属成分から成長したカーボンナノファイバーに対し、加圧条件下においてCOを供給し、加熱反応により例えば鉄カルボニル等を生成させ、触媒金属成分を消失させ、カーボンナノファイバーを単離精製させるので、流動材は再利用することができると共に、得られたカーボンナノファイバーは金属触媒が付着するものではないので、純度が高いものを得ることができる。
よって、均一な品位の高いのカーボンナノファイバーを製造することが可能となる。
【0041】
また、流動層反応手段により、カーボンナノファイバーを安定して製造することができ、大量生産が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態にかかるカーボンナノファイバーの製造装置の概略を示す図である。
【図2】第1の実施の形態にかかるカーボンナノファイバーの製造装置の概略を示す図である。
【図3】カーボンナノファイバーの精製過程の概略を示す図である。
【図4】カーボンナノファイバーの精製の概要を示す図である。
【符号の説明】
11 流動材
12 流動流動層反応部
13 炭素原料
14 原料供給手段
15 触媒金属
16 触媒供給手段
17 フリーボード部
18 流動ガス
19 流動ガス供給手段
20 加熱手段
21 CO供給手段
22 カーボンナノファイバー
23 回収ライン
24 分離手段

Claims (10)

  1. 流動層反応手段に炭素原料と触媒金属成分と流動ガスとを供給し、流動材を用いたカーボンナノファイバを製造するカーボンナノファイバーの方法であって、
    上記流動層反応手段で製造した流動材に付着した触媒金属成分から成長したカーボンナノファイバー、又は炉壁に付着した触媒金属成分から成長したカーボンナノファイバーに対し、加圧条件下においてCOを供給し、加熱反応により金属カルボニルを生成させ、触媒金属成分を消失させ、カーボンナノファイバーを単離精製させることを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法。
  2. 請求項1において、
    上記精製条件は、金属カルボニルの蒸気圧が0.01気圧以上の温度となるように温度制御することを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法。
  3. 請求項1において、
    上記加圧条件が0.1〜25気圧の範囲であることを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法。
  4. 請求項1乃至3のいずれか一において、
    上記流動層反応手段によるカーボンナノファイバーの製造が常圧条件で行うことを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法。
  5. 請求項1乃至3のいずれか一において、
    上記流動層反応手段によるカーボンナノファイバーの製造が加圧条件で行うことを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法。
  6. 請求項1乃至3のいずれか一において、
    上記流動層反応手段によるカーボンナノファイバーの製造が単離精製の加圧条件よりも高圧で行うことを特徴とするカーボンナノファイバーの製造方法。
  7. 内部に流動材を充填した流動流動層反応部と、
    炭素原料を上記流動層反応部内に供給する原料供給手段と、
    触媒金属を上記流動層反応部内に供給する触媒供給手段と、
    上記流動層反応部に導入し、内部の流動材を流動させる流動ガスを供給する流動ガス供給手段と、
    上記流動層反応部を加熱する加熱手段と、
    上記流動層反応部を加圧する加圧手段と、
    上記流動層反応部内にCOを供給するCO供給手段とを具備することを特徴とするカーボンナノファイバーの製造装置。
  8. 請求項7において、
    上記加圧条件が0.1〜25気圧の範囲であることを特徴とするカーボンナノファイバーの製造装置。
  9. 内部に流動材を充填した流動流動層反応部と、
    炭素原料を上記流動層反応部内に供給する原料供給手段と、
    触媒金属を上記流動層反応部内に供給する触媒供給手段と、
    上記流動層反応部に導入し、内部の流動材を流動させる流動ガスを供給する流動ガス供給手段と、
    流動層反応部を加熱する加熱手段と、
    上記流動層反応部で生成したカーボンナノファイバーを流動材と共に移送した後に貯留した後加圧する加圧槽と、
    該加圧槽内にCOを供給するCO供給手段とを具備することを特徴とするカーボンナノファイバーの製造装置。
  10. 請求項9において、
    上記加圧条件が0.1〜25気圧の範囲であることを特徴とするカーボンナノファイバーの製造装置。
JP2002237847A 2002-08-19 2002-08-19 カーボンナノファイバーの製造方法及び装置 Withdrawn JP2004076198A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002237847A JP2004076198A (ja) 2002-08-19 2002-08-19 カーボンナノファイバーの製造方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002237847A JP2004076198A (ja) 2002-08-19 2002-08-19 カーボンナノファイバーの製造方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004076198A true JP2004076198A (ja) 2004-03-11

Family

ID=32021438

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002237847A Withdrawn JP2004076198A (ja) 2002-08-19 2002-08-19 カーボンナノファイバーの製造方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004076198A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006232595A (ja) * 2005-02-23 2006-09-07 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ナノカーボン材料の製造装置及びナノカーボン材料の製造システム
KR100640151B1 (ko) 2005-10-20 2006-11-01 영남대학교 산학협력단 카본 나노튜브 생성장치 및 방법
JPWO2006033367A1 (ja) * 2004-09-24 2008-05-15 独立行政法人科学技術振興機構 カーボンナノ構造物の製造方法及び製造装置
WO2009110591A1 (ja) * 2008-03-07 2009-09-11 日立化成工業株式会社 カーボンナノチューブの製造方法及びカーボンナノチューブ製造装置
JP2021069963A (ja) * 2019-10-29 2021-05-06 日本製鉄株式会社 二酸化炭素分解装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2006033367A1 (ja) * 2004-09-24 2008-05-15 独立行政法人科学技術振興機構 カーボンナノ構造物の製造方法及び製造装置
JP2006232595A (ja) * 2005-02-23 2006-09-07 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ナノカーボン材料の製造装置及びナノカーボン材料の製造システム
KR100640151B1 (ko) 2005-10-20 2006-11-01 영남대학교 산학협력단 카본 나노튜브 생성장치 및 방법
WO2009110591A1 (ja) * 2008-03-07 2009-09-11 日立化成工業株式会社 カーボンナノチューブの製造方法及びカーボンナノチューブ製造装置
CN101959793A (zh) * 2008-03-07 2011-01-26 日立化成工业株式会社 碳纳米管的制造方法及碳纳米管的制造装置
JP5447367B2 (ja) * 2008-03-07 2014-03-19 日立化成株式会社 カーボンナノチューブの製造方法及びカーボンナノチューブ製造装置
US9073045B2 (en) 2008-03-07 2015-07-07 Hitachi Chemical Company, Ltd. Carbon nano-tube manfuacturing method and carbon nano-tube manufacturing apparatus
KR101543052B1 (ko) 2008-03-07 2015-08-07 히타치가세이가부시끼가이샤 카본나노튜브의 제조방법 및 카본나노튜브 제조장치
JP2021069963A (ja) * 2019-10-29 2021-05-06 日本製鉄株式会社 二酸化炭素分解装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3913181B2 (ja) カーボンナノファイバの製造方法及び製造装置
Wei et al. The mass production of carbon nanotubes using a nano-agglomerate fluidized bed reactor: A multiscale space–time analysis
KR101460373B1 (ko) 유동층에서 탄소 나노튜브를 제조하는 방법
KR101500787B1 (ko) 탄소 나노튜브 분말, 탄소 나노튜브, 및 그의 제조 방법
Huang et al. A review of the large-scale production of carbon nanotubes: The practice of nanoscale process engineering
JP4064759B2 (ja) カーボンナノファイバーの製造装置及び方法
JP2006306636A (ja) ナノカーボン材料の精製方法及びナノカーボン材料
JP2016510300A (ja) カーボンナノ構造を生成する方法および装置
JP4064758B2 (ja) カーボンナノファイバーの製造方法及び装置
KR20110092274A (ko) 탄소 나노튜브 (cnt)의 제조 방법
JP3771881B2 (ja) カーボンナノファイバーの製造方法及び装置
JP2006232595A (ja) ナノカーボン材料の製造装置及びナノカーボン材料の製造システム
JP2006231107A (ja) ナノカーボン材料製造用触媒、触媒微粒子、ナノカーボン材料製造用触媒の製造方法
JP4949794B2 (ja) ナノカーボン材料製造用触媒の製造方法
JP2006231247A (ja) ナノカーボン材料製造用触媒、触媒微粒子、ナノカーボン材料製造用触媒の製造方法及びカーボン材料製造システム
JP2004076198A (ja) カーボンナノファイバーの製造方法及び装置
JP2004091959A (ja) カーボンナノファイバーの製造方法及び装置
JP5422625B2 (ja) ナノカーボン材料の製造方法
JP4551240B2 (ja) ナノカーボン材料製造用触媒、その製造方法、ナノカーボン材料の製造装置
JP2019006674A (ja) カーボンナノ構造を生成する方法および装置
JP4468206B2 (ja) ナノカーボン材料製造用触媒粒子の製造方法、ナノカーボン材料製造用触媒粒子
JP2004076195A (ja) カーボンナノファイバーの製造装置
CN113727942A (zh) 碳纳米管的制备方法和制备系统
JP5066828B2 (ja) カーボン材料の製造方法
JP4690748B2 (ja) ナノカーボン材料製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20051101