JP2004063663A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】プロセスチャンバの温度上昇を抑制し、処理品質の安定、長時間に亘る被処理基板への連続処理を可能とし、スループットの向上を図るものである。
【解決手段】プロセスチャンバ4の周囲にプラズマ発生コイル6が設けられ、該プラズマ発生コイルの周囲を覆う様にソースシールド8が設けられ、前記プラズマ発生コイルには冷却水が流通され、前記ソースシールド内部を外気が流通する様にしたプラズマ発生源を具備する。
【選択図】 図1
【解決手段】プロセスチャンバ4の周囲にプラズマ発生コイル6が設けられ、該プラズマ発生コイルの周囲を覆う様にソースシールド8が設けられ、前記プラズマ発生コイルには冷却水が流通され、前記ソースシールド内部を外気が流通する様にしたプラズマ発生源を具備する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマ発生源を有し、プラズマを発生させ、シリコンウェーハ等の被処理基板にCVD処理による薄膜の生成、エッチング、アッシングを行う半導体製造装置に関するものであり、特にプラズマ発生源として誘導結合型プラズマ発生源を有する半導体製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
プラズマ発生源として誘導結合型プラズマ発生源を有する従来の半導体製造装置を図3により説明する。
【0003】
図3は、半導体製造装置の一例として枚葉式アッシング装置を示している。
【0004】
気密な処理室1内に基板載置台2が設けられ、該基板載置台2に被処理基板(以下ウェーハ3)が載置される。前記処理室1の天井部には石英製のプロセスチャンバ4が同心に且つ気密に設けられ、該プロセスチャンバ4は筒状であり、上端は蓋5により気密に閉塞される。
【0005】
前記プロセスチャンバ4の周囲にはプラズマ発生コイル6が同心に設けられ、該プラズマ発生コイル6には図示しないプラズマ発生用の高周波電源が接続されている。又、前記プラズマ発生コイル6は断面が中空の管であり、該プラズマ発生コイル6内には冷却源(図示せず)より供給される冷却水が流通する。
【0006】
前記プラズマ発生コイル6の周囲は円筒状のソースシールド8によって覆われている。尚、前記処理室1には図示していないが、ゲート弁により開閉されるウェーハ搬入出口が設けられ、該ウェーハ搬入出口を介して前記ウェーハ3が搬入、搬出される。
【0007】
前記蓋5にはO2 等の反応ガスを供給する反応ガス導入管7が連通され、前記処理室1には真空ポンプ等を具備する排気装置(図示せず)に接続される排気管9が連通している。
【0008】
前記プロセスチャンバ4に前記反応ガス導入管7より反応ガスが導入され、前記プラズマ発生コイル6に高周波電力が印加され、前記プロセスチャンバ4内部にプラズマ11が発生される。該プラズマ11により前記ウェーハ3の表面に塗布されたレジストが除去される。処理後の排気ガスは前記排気管9より排出される。前記プラズマ発生コイル6は冷却水が流通されることで冷却されている。
【0009】
前記プロセスチャンバ4は前記プラズマ11が発する熱により加熱される。加熱状態が長時間継続した場合、即ち前記ウェーハ3の処理が長時間に亘る場合、前記プロセスチャンバ4は500℃以上の高温となる場合がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記した様に、誘導結合型プラズマ発生源を有する半導体製造装置に於いて、長時間の処理が継続して行われると、プロセスチャンバ4の温度が500℃を越える可能性がある。石英製の該プロセスチャンバ4は、500℃を境に特性が変化することが分っており、該プロセスチャンバ4の温度が500℃を越え該プロセスチャンバ4の特性が変化すると、プラズマの発生状態も変化する。同じロット内でプロセスチャンバ4の特性の変化が生じると、アッシングレート、アッシングの均一性が変化し、同一製品の製造が困難となる。従来、長い処理時間でプロセスチャンバ4の温度が500℃を越えてしまう場合には、基板処理のロット間のアッシングレートやアッシングの均一性を維持する為、定期的にプロセスチャンバ4の冷却期間を設けなければならなかった。この為、半導体製造装置の非稼働時間が増大し、スループットが向上しないという問題があった。
【0011】
本発明は斯かる実情に鑑み、プロセスチャンバの温度上昇を抑制し、長時間に亘る被処理基板への連続処理を可能とし、処理品質の安定、スループットの向上を図るものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、プロセスチャンバの周囲にプラズマ発生コイルが設けられ、該プラズマ発生コイルの周囲を覆う様にソースシールドが設けられ、前記プラズマ発生コイルには冷却水が流通され、前記ソースシールド内部を外気が流通する様にしたプラズマ発生源を具備する半導体製造装置に係るものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【0014】
図1に於いて第1の実施の形態について説明する。尚、図1中、図3中で示したものと同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【0015】
ソースシールド8を密閉構造とし、該ソースシールド8の下端部所要位置に所要数の外気取入れ口12を穿設し、前記ソースシールド8の上端には排気ダクト13を連通する。該排気ダクト13は図示しない用役に連通している。
【0016】
前記排気ダクト13には前記外気取入れ口12側(上流側)からラジエタ14、ブロア15が設けられている。
【0017】
プラズマ発生コイル6に高周波電力が供給され、プロセスチャンバ4内にプラズマ11が発生される。前記プラズマ発生コイル6には冷却水が流通され、該プラズマ発生コイル6が冷却される。又、前記ブロア15が駆動され、前記ソースシールド8内部が吸引される。前記外気取入れ口12より外気が前記ソースシールド8内に取込まれ、外気は前記ソースシールド8内部を上昇して上端より前記排気ダクト13に排出される。該排気ダクト13を流通する空気は、前記ラジエタ14により冷却され、前記ブロア15により用役に送出される。前記排気ダクト13より排出される空気は、前記ラジエタ14で用役のダクト等傷めない様に冷却される。
【0018】
前記ソースシールド8内を流通する空気により前記プロセスチャンバ4が冷却され、長時間処理が連続した場合も、該プロセスチャンバ4の温度上昇が500℃を越えない様に抑制される。
【0019】
而して、該プロセスチャンバ4が500℃を越えない様に冷却されるので、長時間ウェーハ3の処理を連続した場合も、アッシングレート、アッシングの均一性等の処理品質が保たれる。
【0020】
図2により、第2の実施の形態について説明する。
【0021】
図2中、図1中で示したものと同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。第2の実施の形態ではプラズマ発生源の発熱量が大きい場合を示している。
【0022】
前記プロセスチャンバ4と同心に冷却管17を設ける。該冷却管17は絶縁性を有し、熱伝導性の高い材質、例えばアルミニウムと同等の熱伝導性を有するAlNによって製作される。該冷却管17の外周面に前記プラズマ発生コイル6を固着する。該プラズマ発生コイル6には図示しない冷却源が連通される。尚、前記プラズマ発生コイル6は前記冷却管17の内周面に固着してもよい。
【0023】
前記ソースシールド8は前記冷却管17と共に前記プラズマ発生コイル6を収納する。前記ソースシールド8の内周面にはリング状の邪魔板18が軸心方向に所要間隔で固着されている。
【0024】
前記排気ダクト13から分岐した環流ダクト19が前記外気取入れ口12の1つに接続され、他の外気取入れ口12には外気取入れ管21が接続され、該外気取入れ管21には逆止弁22が設けられている。
【0025】
前記プラズマ発生コイル6に高周波電力が供給され、前記プラズマ11が発生され、前記ウェーハ3の処理が行われる。
【0026】
前記プラズマ発生コイル6には冷却水が流通され、前記ブロア15が駆動され、前記ソースシールド8内が吸引される。前記外気取入れ口12より外気が取込れ、前記ソースシールド8内のプロセスチャンバ4と冷却管17間、及び該冷却管17と前記ソースシールド8間を上昇して、前記排気ダクト13に排出される。該排気ダクト13を流通する過程で、空気は前記ラジエタ14で所要温度迄冷却される。冷却空気の一部は用役に送出され、残りは前記環流ダクト19により前記ソースシールド8内に戻される。冷却空気の一部が用役に送出されることで、用役側の負担が減少する。
【0027】
又、空気の一部が用役に送出されることで、不足となった冷却空気は前記外気取入れ管21から吸引される。尚、前記逆止弁22は冷却空気の不足分だけ取込まれ、前記ソースシールド8内の熱せられた空気が直接外部に排出されない様にする。
【0028】
前記プロセスチャンバ4に蓄積された熱は、熱輻射により前記冷却管17に受熱され、該冷却管17によって冷却され、更に該冷却管17は前記プラズマ発生コイル6によって冷却される。又、前記プロセスチャンバ4、前記冷却管17は前記ソースシールド8内を上昇する冷却空気によっても冷却される。又、前記邪魔板18は前記ソースシールド8を上昇する冷却空気に対して前記邪魔板18の下流側に渦を発生させ、冷却空気の流れを攪拌する。冷却空気の攪拌によって、冷却空気と前記プロセスチャンバ4、冷却管17、プラズマ発生コイル6間の熱伝達率が向上する。
【0029】
尚、前記冷却管17は熱バッファとしても機能し、前記プロセスチャンバ4の急激な変化を抑制する。例えば、前記プラズマ11が消滅し、発熱源が消失した場合の前記プロセスチャンバ4の急激な温度低下を防止し、該プロセスチャンバ4に過大な熱応力が発生することを防止する。
【0030】
尚、前記邪魔板18は流通する空気の攪拌作用があればよく、棒状のものを多数植設してもよい。又、前記冷却管17側に設けてもよい。又、該冷却管17、前記邪魔板18のいずれか一方のみを設けてもよい。
【0031】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明によれば、プロセスチャンバの周囲にプラズマ発生コイルが設けられ、該プラズマ発生コイルの周囲を覆う様にソースシールドが設けられ、前記プラズマ発生コイルには冷却水が流通され、前記ソースシールド内部を外気が流通する様にしたプラズマ発生源を具備するので、プロセスチャンバが冷却され、長時間ウェーハの処理を連続した場合も、アッシングレート、アッシングの均一性等の処理品質が保たれ、更にプロセスチャンバを冷却する為に半導体製造装置を休止させる必要がなくなり、スループットが向上する等の優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す概略図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態を示す概略図である。
【図3】従来例の概略図である。
【符号の説明】
1 処理室
2 基板載置台
3 ウェーハ
4 プロセスチャンバ
6 プラズマ発生コイル
8 ソースシールド
13 排気ダクト
14 ラジエタ
15 ブロア
17 冷却管
18 邪魔板
19 環流ダクト
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマ発生源を有し、プラズマを発生させ、シリコンウェーハ等の被処理基板にCVD処理による薄膜の生成、エッチング、アッシングを行う半導体製造装置に関するものであり、特にプラズマ発生源として誘導結合型プラズマ発生源を有する半導体製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
プラズマ発生源として誘導結合型プラズマ発生源を有する従来の半導体製造装置を図3により説明する。
【0003】
図3は、半導体製造装置の一例として枚葉式アッシング装置を示している。
【0004】
気密な処理室1内に基板載置台2が設けられ、該基板載置台2に被処理基板(以下ウェーハ3)が載置される。前記処理室1の天井部には石英製のプロセスチャンバ4が同心に且つ気密に設けられ、該プロセスチャンバ4は筒状であり、上端は蓋5により気密に閉塞される。
【0005】
前記プロセスチャンバ4の周囲にはプラズマ発生コイル6が同心に設けられ、該プラズマ発生コイル6には図示しないプラズマ発生用の高周波電源が接続されている。又、前記プラズマ発生コイル6は断面が中空の管であり、該プラズマ発生コイル6内には冷却源(図示せず)より供給される冷却水が流通する。
【0006】
前記プラズマ発生コイル6の周囲は円筒状のソースシールド8によって覆われている。尚、前記処理室1には図示していないが、ゲート弁により開閉されるウェーハ搬入出口が設けられ、該ウェーハ搬入出口を介して前記ウェーハ3が搬入、搬出される。
【0007】
前記蓋5にはO2 等の反応ガスを供給する反応ガス導入管7が連通され、前記処理室1には真空ポンプ等を具備する排気装置(図示せず)に接続される排気管9が連通している。
【0008】
前記プロセスチャンバ4に前記反応ガス導入管7より反応ガスが導入され、前記プラズマ発生コイル6に高周波電力が印加され、前記プロセスチャンバ4内部にプラズマ11が発生される。該プラズマ11により前記ウェーハ3の表面に塗布されたレジストが除去される。処理後の排気ガスは前記排気管9より排出される。前記プラズマ発生コイル6は冷却水が流通されることで冷却されている。
【0009】
前記プロセスチャンバ4は前記プラズマ11が発する熱により加熱される。加熱状態が長時間継続した場合、即ち前記ウェーハ3の処理が長時間に亘る場合、前記プロセスチャンバ4は500℃以上の高温となる場合がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記した様に、誘導結合型プラズマ発生源を有する半導体製造装置に於いて、長時間の処理が継続して行われると、プロセスチャンバ4の温度が500℃を越える可能性がある。石英製の該プロセスチャンバ4は、500℃を境に特性が変化することが分っており、該プロセスチャンバ4の温度が500℃を越え該プロセスチャンバ4の特性が変化すると、プラズマの発生状態も変化する。同じロット内でプロセスチャンバ4の特性の変化が生じると、アッシングレート、アッシングの均一性が変化し、同一製品の製造が困難となる。従来、長い処理時間でプロセスチャンバ4の温度が500℃を越えてしまう場合には、基板処理のロット間のアッシングレートやアッシングの均一性を維持する為、定期的にプロセスチャンバ4の冷却期間を設けなければならなかった。この為、半導体製造装置の非稼働時間が増大し、スループットが向上しないという問題があった。
【0011】
本発明は斯かる実情に鑑み、プロセスチャンバの温度上昇を抑制し、長時間に亘る被処理基板への連続処理を可能とし、処理品質の安定、スループットの向上を図るものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、プロセスチャンバの周囲にプラズマ発生コイルが設けられ、該プラズマ発生コイルの周囲を覆う様にソースシールドが設けられ、前記プラズマ発生コイルには冷却水が流通され、前記ソースシールド内部を外気が流通する様にしたプラズマ発生源を具備する半導体製造装置に係るものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【0014】
図1に於いて第1の実施の形態について説明する。尚、図1中、図3中で示したものと同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【0015】
ソースシールド8を密閉構造とし、該ソースシールド8の下端部所要位置に所要数の外気取入れ口12を穿設し、前記ソースシールド8の上端には排気ダクト13を連通する。該排気ダクト13は図示しない用役に連通している。
【0016】
前記排気ダクト13には前記外気取入れ口12側(上流側)からラジエタ14、ブロア15が設けられている。
【0017】
プラズマ発生コイル6に高周波電力が供給され、プロセスチャンバ4内にプラズマ11が発生される。前記プラズマ発生コイル6には冷却水が流通され、該プラズマ発生コイル6が冷却される。又、前記ブロア15が駆動され、前記ソースシールド8内部が吸引される。前記外気取入れ口12より外気が前記ソースシールド8内に取込まれ、外気は前記ソースシールド8内部を上昇して上端より前記排気ダクト13に排出される。該排気ダクト13を流通する空気は、前記ラジエタ14により冷却され、前記ブロア15により用役に送出される。前記排気ダクト13より排出される空気は、前記ラジエタ14で用役のダクト等傷めない様に冷却される。
【0018】
前記ソースシールド8内を流通する空気により前記プロセスチャンバ4が冷却され、長時間処理が連続した場合も、該プロセスチャンバ4の温度上昇が500℃を越えない様に抑制される。
【0019】
而して、該プロセスチャンバ4が500℃を越えない様に冷却されるので、長時間ウェーハ3の処理を連続した場合も、アッシングレート、アッシングの均一性等の処理品質が保たれる。
【0020】
図2により、第2の実施の形態について説明する。
【0021】
図2中、図1中で示したものと同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。第2の実施の形態ではプラズマ発生源の発熱量が大きい場合を示している。
【0022】
前記プロセスチャンバ4と同心に冷却管17を設ける。該冷却管17は絶縁性を有し、熱伝導性の高い材質、例えばアルミニウムと同等の熱伝導性を有するAlNによって製作される。該冷却管17の外周面に前記プラズマ発生コイル6を固着する。該プラズマ発生コイル6には図示しない冷却源が連通される。尚、前記プラズマ発生コイル6は前記冷却管17の内周面に固着してもよい。
【0023】
前記ソースシールド8は前記冷却管17と共に前記プラズマ発生コイル6を収納する。前記ソースシールド8の内周面にはリング状の邪魔板18が軸心方向に所要間隔で固着されている。
【0024】
前記排気ダクト13から分岐した環流ダクト19が前記外気取入れ口12の1つに接続され、他の外気取入れ口12には外気取入れ管21が接続され、該外気取入れ管21には逆止弁22が設けられている。
【0025】
前記プラズマ発生コイル6に高周波電力が供給され、前記プラズマ11が発生され、前記ウェーハ3の処理が行われる。
【0026】
前記プラズマ発生コイル6には冷却水が流通され、前記ブロア15が駆動され、前記ソースシールド8内が吸引される。前記外気取入れ口12より外気が取込れ、前記ソースシールド8内のプロセスチャンバ4と冷却管17間、及び該冷却管17と前記ソースシールド8間を上昇して、前記排気ダクト13に排出される。該排気ダクト13を流通する過程で、空気は前記ラジエタ14で所要温度迄冷却される。冷却空気の一部は用役に送出され、残りは前記環流ダクト19により前記ソースシールド8内に戻される。冷却空気の一部が用役に送出されることで、用役側の負担が減少する。
【0027】
又、空気の一部が用役に送出されることで、不足となった冷却空気は前記外気取入れ管21から吸引される。尚、前記逆止弁22は冷却空気の不足分だけ取込まれ、前記ソースシールド8内の熱せられた空気が直接外部に排出されない様にする。
【0028】
前記プロセスチャンバ4に蓄積された熱は、熱輻射により前記冷却管17に受熱され、該冷却管17によって冷却され、更に該冷却管17は前記プラズマ発生コイル6によって冷却される。又、前記プロセスチャンバ4、前記冷却管17は前記ソースシールド8内を上昇する冷却空気によっても冷却される。又、前記邪魔板18は前記ソースシールド8を上昇する冷却空気に対して前記邪魔板18の下流側に渦を発生させ、冷却空気の流れを攪拌する。冷却空気の攪拌によって、冷却空気と前記プロセスチャンバ4、冷却管17、プラズマ発生コイル6間の熱伝達率が向上する。
【0029】
尚、前記冷却管17は熱バッファとしても機能し、前記プロセスチャンバ4の急激な変化を抑制する。例えば、前記プラズマ11が消滅し、発熱源が消失した場合の前記プロセスチャンバ4の急激な温度低下を防止し、該プロセスチャンバ4に過大な熱応力が発生することを防止する。
【0030】
尚、前記邪魔板18は流通する空気の攪拌作用があればよく、棒状のものを多数植設してもよい。又、前記冷却管17側に設けてもよい。又、該冷却管17、前記邪魔板18のいずれか一方のみを設けてもよい。
【0031】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明によれば、プロセスチャンバの周囲にプラズマ発生コイルが設けられ、該プラズマ発生コイルの周囲を覆う様にソースシールドが設けられ、前記プラズマ発生コイルには冷却水が流通され、前記ソースシールド内部を外気が流通する様にしたプラズマ発生源を具備するので、プロセスチャンバが冷却され、長時間ウェーハの処理を連続した場合も、アッシングレート、アッシングの均一性等の処理品質が保たれ、更にプロセスチャンバを冷却する為に半導体製造装置を休止させる必要がなくなり、スループットが向上する等の優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す概略図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態を示す概略図である。
【図3】従来例の概略図である。
【符号の説明】
1 処理室
2 基板載置台
3 ウェーハ
4 プロセスチャンバ
6 プラズマ発生コイル
8 ソースシールド
13 排気ダクト
14 ラジエタ
15 ブロア
17 冷却管
18 邪魔板
19 環流ダクト
Claims (1)
- プロセスチャンバの周囲にプラズマ発生コイルが設けられ、該プラズマ発生コイルの周囲を覆う様にソースシールドが設けられ、前記プラズマ発生コイルには冷却水が流通され、前記ソースシールド内部を外気が流通する様にしたプラズマ発生源を具備することを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002218294A JP2004063663A (ja) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | 半導体製造装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002218294A JP2004063663A (ja) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004063663A true JP2004063663A (ja) | 2004-02-26 |
Family
ID=31939531
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002218294A Pending JP2004063663A (ja) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004063663A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2002
- 2002-07-26 JP JP2002218294A patent/JP2004063663A/ja active Pending
Cited By (7)
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