JP2004051995A5 - - Google Patents

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すなわち、本発明の第一の要旨は下記式（１）〜（３）
Figure 2004051995
 （式中、ａ〜ｆはそれぞれ０〜２の整数を示し、Ｒ１〜Ｒ３は水素原子またはメチル基を示し、Ｚ１〜Ｚ３は炭素数１０〜２２の多環式炭化水素構造を示す。ただし、ａとｂ、ｃとｄ、ｅとｆが同時に０であることはない。）で表される構成単位から選ばれる１種又は２種以上を含む（共）重合体であって、
上記式（１）で表される構成単位が、下記式（１６）および（１７）から選ばれる少なくとも１種の単量体から導かれる構成単位であり、
上記式（２）で表される構成単位が、下記式（１８）、（１９）、（２０）、および（２２）〜（３０）から選ばれる少なくとも１種の単量体から導かれる構成単位である（共）重合体。
Figure 2004051995
Figure 2004051995
 （ただし、式（１６）〜（３０）で表される単量体中の多環式炭化水素構造は、
炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基で置換された多環式炭化水素構造でもよく、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数１〜６のエステル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、アミノ基、またはシアノ基のいずれかを有していてもよい。）

Claims (2)

  1. 下記式（１）〜（３）
    Figure 2004051995
     （式中、ａ〜ｆはそれぞれ０〜２の整数を示し、Ｒ１〜Ｒ３は水素原子またはメチル基を示し、Ｚ１〜Ｚ３は炭素数１０〜２２の多環式炭化水素構造を示す。ただし、ａとｂ、ｃとｄ、ｅとｆはそれぞれ同時に０であることはない。）で表される構成単位から選ばれる１種又は２種以上を含む（共）重合体であって、
    上記式（１）で表される構成単位が、下記式（１６）および（１７）から選ばれる少なくとも１種の単量体から導かれる構成単位であり、
    上記式（２）で表される構成単位が、下記式（１８）、（１９）、（２０）、および（２２）〜（３０）から選ばれる少なくとも１種の単量体から導かれる構成単位である（共）重合体。
    Figure 2004051995
    Figure 2004051995
     （ただし、式（１６）〜（３０）で表される単量体中の多環式炭化水素構造は、
    炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基で置換された多環式炭化水素構造でもよく、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数１〜６のエステル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、アミノ基、またはシアノ基のいずれかを有していてもよい。）
  2. 下記式（Ａ）〜（Ｃ）
    Figure 2004051995
     （式中、ｑは１〜４の整数を示し、Ｒ４、Ｒ６はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示し、Ｒ５は置換基を有していてもよい炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、置換基を有していてもよい炭素数４〜８の環式飽和炭化水素基、または、置換基を有していてもよい炭素数４〜１６の橋かけ環式飽和炭化水素基を示し、Ｒ７は水素原子、置換基を有していてもよい親水性官能基、親水性官能基を有する炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐アルキル基、置換基を有していてもよい炭素数４〜８の環式飽和炭化水素基、または、置換基を有していてもよい炭素数４〜１６の橋かけ環式飽和炭化水素基を示し、Ｒ８、Ｒ９はそれぞれ独立して水素原子、メチル基、またはエチル基を示す。）
    で表される構成単位から選ばれる１種又は２種以上含むことを特徴とする請求項１記載の（共）重合体。
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US20060147832A1 (en) * 2003-03-04 2006-07-06 Hideo Hada Polymer and positive type resist composition
JP4796794B2 (ja) * 2005-07-27 2011-10-19 ダイセル化学工業株式会社 ラクトン骨格を含む多環式エステル
JP5005197B2 (ja) * 2005-07-27 2012-08-22 株式会社ダイセル 多環式エステル
JP4832019B2 (ja) * 2005-07-27 2011-12-07 株式会社ダイセル 環状カーボネート骨格を含む多環式エステル
JP4781086B2 (ja) * 2005-10-31 2011-09-28 ダイセル化学工業株式会社 脂環式骨格を有する高分子化合物
JP5285884B2 (ja) * 2007-09-07 2013-09-11 東京応化工業株式会社 高分子化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
JP5418268B2 (ja) * 2010-02-10 2014-02-19 Ｊｓｒ株式会社 感放射線性樹脂組成物
JP5572127B2 (ja) * 2011-06-08 2014-08-13 株式会社ダイセル 脂環式骨格を有する高分子化合物
JP5793388B2 (ja) * 2011-09-30 2015-10-14 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法
JP6002378B2 (ja) 2011-11-24 2016-10-05 東京応化工業株式会社 高分子化合物の製造方法
JP5757851B2 (ja) * 2011-11-25 2015-08-05 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたレジスト膜及びパターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法
JP5775804B2 (ja) * 2011-12-06 2015-09-09 富士フイルム株式会社 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法及び電子デバイス
JP2013130654A (ja) * 2011-12-20 2013-07-04 Fujifilm Corp 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたレジスト膜及びパターン形成方法、並びに電子デバイスの製造方法及び電子デバイス
JP2013137338A (ja) * 2011-12-27 2013-07-11 Fujifilm Corp 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたレジスト膜及びパターン形成方法、並びに電子デバイスの製造方法及び電子デバイス

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