【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は表示デバイスに用いるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）では、ガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で蛍光体を励起して発光させることにより画像表示を行っている。
【０００３】
ＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型とがあり、放電形式では面放電型と対向放電型とがあるが、高精細化、大画面化および構造の簡素性に伴う製造の簡便性から、現状では、３電極構造の面放電型のＰＤＰが主流である。その構造は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を複数有する前面板と、表示電極に対して直交する複数のデータ電極を有する背面板とを対向配置させることにより、表示電極とデータ電極との交差部に放電セルを形成し、且つ放電セル内に蛍光体層を備えたものであり、比較的蛍光体層を厚くすることができることから、蛍光体によるカラー表示に適している。
【０００４】
このようなプラズマディスプレイ装置は、液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、視野角が広いこと、大型化が容易であること、自発光型であるため表示品質が高いことなどの理由から、フラットパネルディスプレイの中で最近特に注目を集めており、多くの人が集まる場所での表示装置や家庭で大画面の映像を楽しむための表示装置として各種の用途に使用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述のＰＤＰに対しては高精細化への要求が高まっており、これに対応するためには放電セルの配列ピッチを狭くする必要があるが、そのような狭ピッチで配列された場合、放電セルにおいては隣り合う放電セル間で誤放電が発生するという問題があり、画像表示に対して悪影響を与えていた。
【０００６】
本発明はこのような現状に鑑みなされたもので、高精細であっても隣接する放電セル間での誤放電を防止でき、良好な画像表示が可能なＰＤＰを製造するための製造方法を実現することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆い、且つ表示電極と重なり合う凹部を表面に備える誘電体層を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、誘電体層を形成する際に、第一層目の誘電体層を形成し、その上に、マスクを用いてパターン状に第二層目の誘電体層を形成することにより表面に凹部を備えた誘電体層を形成することを特徴とするものである。
【０００８】
また、上記の目的を達成するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆い、且つ表示電極と重なり合う凹部を表面に備える誘電体層を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、誘電体層を形成する際に、第一層目の誘電体層を形成し、その上に開口部を有するマスクを配設し、その開口部に誘電体材料を充填することにより表面に凹部を備えた誘電体層を形成することを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆い、且つ表示電極と重なり合う凹部を表面に備える誘電体層を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、誘電体層を形成する際に、第一層目の誘電体層を形成し、その上に、マスクを用いてパターン状に第二層目の誘電体層を形成することにより表面に凹部を備えた誘電体層を形成することを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆い、且つ表示電極と重なり合う凹部を表面に備える誘電体層を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、誘電体層を形成する際に、第一層目の誘電体層を形成し、その上に開口部を有するマスクを配設し、その開口部に誘電体材料を充填することにより表面に凹部を備えた誘電体層を形成することを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、前記マスクが、第一層目の誘電体層上にレジスト層を形成し、そのレジスト層を露光、現像したものである。
【００１２】
また、請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記開口部に誘電体材料を充填する前に、開口部の表面を洗浄する表面処理を行うものである。
【００１３】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、表面処理が、紫外線照射、オゾン水を用いた洗浄、イオン水を用いた洗浄の中から選ばれる少なくとも１つの手段を用いるものである。
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態について説明するが、本発明の実施の形態はこれに制限されるものではない。
【００１５】
本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法について、図を用いて以下に説明する。
【００１６】
まず、図１に本発明のプラズマディスプレイ装置の製造方法によって製造されるＰＤＰの概略構成の断面斜視図を示す。
【００１７】
前面板１は、複数の表示電極２が付設された例えばガラスのような透明且つ絶縁性の基板３を、誘電体層４およびＭｇＯ蒸着膜による保護膜５で覆った構造となっている。表示電極２は、走査電極６と維持電極７とが対となったものであり、走査電極６は透明電極６ａとその上に形成された例えばＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等の金属材料による不透明なバス電極６ｂとからなり、維持電極７は透明電極７ａとその上に形成された同じく例えばＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等の金属材料による不透明なバス電極７ｂとからなるものである。
【００１８】
また、背面板８は、例えばガラスのような絶縁性の基板９上に誘電体層１０で覆われた複数のデータ電極１１が付設され、誘電体層１０上のデータ電極１１間にはデータ電極１１と平行してストライプ状の隔壁１２が設けられており、誘電体層１０の表面と隔壁１２の側面にかけてストライプ状に蛍光体層１３が設けられた構造となっている。そして前面板１と背面板８とは、走査電極６および維持電極７とデータ電極１１とが直交するように放電空間１４を挟んで対向して配置されている。そして放電空間１４には、放電ガスとして、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうち、少なくとも１種類の希ガスが封入されており、隔壁１２によって仕切られデータ電極１１と走査電極６および維持電極７との交差部の放電空間１４が放電セル１５として動作する。
【００１９】
ここで、誘電体層４は、放電セル１５毎に、表示電極２とその一部が重なり合うように凹部１６を有する。そして、この凹部１６の形状の一例として、走査電極６との重なり合う面積が維持電極７と重なり合う面積より大きくなるような、例えば、走査電極６と重なり合う部分の凹部１６の開口面の形状が拡がったものとしている。図２（ａ）に放電セル１５側からみた前面板１の拡大図を示す。また図２（ａ）のＸ−Ｘ矢視断面図を図２（ｂ）に示す。また、隔壁１２が前面板１に当接する位置を図２（ａ）に点線で示している。ここで、ＭＧは主放電ギャップである。なお、図２では保護膜５は省略して描いているが、実際には保護膜５は凹部１６の底面および側面を含め誘電体層４の表面を覆って形成されている。
【００２０】
以上述べたような、放電セル１５において凹部１６とそれ以外の領域とで、誘電体層３の厚みが異なる構成を有するＰＤＰによれば、以下のような特徴を持つ。すなわち、放電セル１５の凹部１６とそれ以外の領域とではコンデンサーとしての静電容量が異なり、また、放電電圧も異なる。つまり、凹部１６では電荷がたまり易く、且つ放電電圧が低いことから、放電の発生、維持が容易となり、それ以外の領域では電荷はたまり難く、且つ放電電圧が高いことから、放電の発生、維持が抑制される。以上により、放電セル１５での放電の領域は凹部１６に制限されることとなり、放電領域が広がりにくくなくなるため、高精細化の際、隣り合う放電セル１５間で放電が発生してしまうといういわゆる誤放電は発生し難くなる。また、図２に示したように、走査電極６と重なり合う部分の凹部１６の開口面の形状を拡げたものとし、凹部１６と走査電極６との重なり合う面積が維持電極７と重なり合う面積より大きくなるようにすることにより、走査電極１６に対する放電電圧を低下させることが可能である。したがって書き込み動作時の走査電極６とデータ電極１１との間での書き込み放電を確実に発生させることができ、画像表示の品質を向上させることができるというものである。
【００２１】
上述した構成のＰＤＰを製造するための本発明のＰＤＰの製造方法の一実施の形態について以下に説明する。
【００２２】
まず、前面板１の作製方法を図３に示す。例えばガラスのような透明且つ絶縁性の基板３上にＩＴＯ（インジウム・スズ・オキサイド）の透明導電膜を基板３全面にスパッタリング法で形成し、これをフォトリソグラフィー法にてパターン状とすることにより図３（ａ）に示すような透明電極６ａ、７ａを形成する。
【００２３】
次に、図３（ｂ）に示すように、透明電極６ａ、７ａ上にＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等の金属材料によるバス電極６ｂ、７ｂを形成する。
【００２４】
次に、ガラスフリットに熱可塑性樹脂、熱可塑剤、分散剤、溶剤および紫外線硬化樹脂又は熱硬化樹脂を混合しビーズミル装置を用いて混合分散処理した誘電体材料のペーストを準備し、このペースト化された誘電体材料をダイコートを用いて塗布し赤外線乾燥炉で乾燥させることにより、図３（ｃ）に示すように第一層目の誘電体層４ａを形成する。
【００２５】
次に、図３（ｄ）に示すように、この第一層目の誘電体層４ａ上に、レジスト層１７を形成する。これは例えば、レジスト膜を形成したドライレジストフィルムを、例えば加圧ロールで押圧しながら貼付することで得られる。この際、基板３を６０℃〜８０℃、加圧ロールを８０℃〜１００℃として押圧することにより、第一層目の誘電体層４ａとレジスト層１７との接着力を高めることができる。
【００２６】
次に、図３（ｅ）に示すように、フォトマスク１８を介して紫外線１９をレジスト層１７に照射することでレジスト層１７を露光する。ここでフォトマスク１８は、レジスト層１７が表示電極２の走査電極６と維持電極７の両方に重なり合う領域を除いて開口部を有するように露光するための孔部１８ａを有するものである。したがって、レジスト層１７がポジ型かネガ型かによって、当然フォトマスク１８に設けられるべき孔部１８ａは異なる。図３（ｅ）には、レジスト層１７がネガ型（感光した部分が現像液に不溶性になるもの）の例を示す。
【００２７】
そして、露光したレジスト層１７に対して現像を行い、その後、一般的なレジストマスクを形成する工程を実施することにより、図３（ｆ）に示すように、レジスト層１７は表示電極２の走査電極６と維持電極７の両方に重なり合う領域を除いて開口部１７ａが形成された、第一層目の誘電体層４ａに対するマスク２０として機能することになる。
【００２８】
次に、ガラスフリット８０重量部、熱可塑剤、分散剤、紫外線硬化樹脂等を２０重量部、溶剤を２５重量部で混合しビーズミル装置を用いて混合分散処理した誘電体材料を準備し、例えばスクリーン印刷法にてレジスト層１７であるマスク２０の開口部１７ａに誘電体材料２１を充填し、乾燥させる（図３（ｇ））。ここで、充填された誘電体材料２１は第二の誘電体層４ｂとなる。
【００２９】
最後に、一般的なレジストの剥離方法によって、マスク２０を第一層目の誘電体層４ａ上から除去し、第一層目の誘電体層４ａと第二層目の誘電体層４ｂとを焼成することで、表示電極２の走査電極６と維持電極７の両方に重なり合う領域に第二層目の誘電体層４ｂがない、すなわち、表示電極２の走査電極６と維持電極７の両方に重なり合う領域に凹部１６を有する誘電体層４が形成される（図３（ｈ））。
【００３０】
そして、誘電体層４の表面に酸化マグネシウムからなる保護膜５を、例えば真空蒸着法によって成膜する。以上により、前面板１が完成する。
【００３１】
以上においては、マスク２０は上述の構成に限るものではなく、第一の誘電体層４ａとの密着性が確保され、開口１７ａに充填した誘電体材料２１が漏れたりして形状に悪影響が発生しない構成であれば、例えば金属薄板に開口１７ａを形成したものをマスク２０として使用することが可能である。
【００３２】
また、マスク２０を除去する際、マスク２０と充填した誘電体材料２１との剥離性が悪いとマスク２０除去時にマスク２０の一部、つまりレジスト材料が第二層目の誘電体層４ｂの側面に残留したり、逆に誘電体材料２１の一部がマスク２０の開口部１７ａ側に付着したまま欠落したりする等、第二層目の誘電体層４ｂの形状精度に悪影響を与えてしまう。
【００３３】
また、第一層目の誘電体層４ａと誘電体材料２１との密着性が悪い場合にも、マスク２０の除去時に誘電体材料２１も同時に除去されてしまい、同じく、第二層目の誘電体層４ｂの形状精度に悪影響を与えてしまう。
【００３４】
そこで、以上のような問題を解決するために、開口部１７ａ、すなわちマスク２０部および開口部１７ａの底面に露出している第一の誘電体層４ａの表面を洗浄する表面処理工程を行うと好ましい。
【００３５】
ここで、表面処理としては、例えば主波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍの紫外線をマスク２０に照射する方法がある。これは、発生するオゾンがマスク２０表面および開口部１７ａ内の有機残さ及び有機汚染物を分解除去することにより、マスク２０と誘電体材料２１との剥離性や、第一層目の誘電体層４ａと誘電体材料２１との密着性が向上するというものである。
【００３６】
また、別の表面処理の方法としては、紫外線照射の代わりにイオン水によるスプレー洗浄を用いる方法がある。これは、オゾン水のもつ酸化作用がマスク２０表面および開口部１７ａ内の有機残さ及び有機汚染物を分解除去することにより、マスク２０と誘電体材料２１との剥離性や、第一層目の誘電体層４ａと誘電体材料２１との密着性が向上するというものである。
【００３７】
ここで、このイオン水は、純水にオゾンガスを溶解させたもので、例えばオゾン濃度は５〜１５ｍｇ／ｌ、洗浄時間は２〜５分である。これは、オゾン濃度は５ｍｇ／ｌ以下では洗浄効果が得られず、２０ｍｇ／ｌ以上となるとレジストにダメージを与えるためである。また、洗浄方法は浸漬よりスプレー方式がより洗浄効果が得られ、洗浄時間を短縮することができる。
【００３８】
また、オゾン水の代わりに、オゾン水と同等の効果が得られるイオン水を用いてもよい。イオン水は、両側に電極の付いたイオン交換膜を介した電解槽に純水を入れ、電極間に電界を加え純水を電気分解することによって得られる。洗浄に用いるのは陽極（アノード）側に発生したイオン水で、陽極側のイオン水は強い酸化作用を有している。これらオゾン水やイオン水は高い反応性を持っており、洗浄後の廃液は空気と反応し有害なオゾンガス等の発生も無く、酸やアルカリ成分を含まないので容易に処理することができる。
【００３９】
また、第一層目の誘電体層４ａと第二層面の誘電体層４ｂとは、同一の材料とすることも、また、誘電率等を変化させたり、透過率、耐電圧特性向上等を目的として異なる材料を用いることもできる。この場合、第一の誘電体層４ａと第二の誘電体層４ｂとは同時に焼成しても、個別に焼成してもかまわない。
【００４０】
次に、背面板８の作製方法について説明する。基板９の片面に複数のデータ電極１１を一定間隔でストライプ状に形成する。このデータ電極１１の材質はバス電極６ｂ、７ｂと同様である。そしてデータ電極１１を内包するように絶縁性材料からなる誘電体層１０を形成する。形成方法は、ペースト化した誘電体材料をスクリーン印刷で印刷し、これを乾燥後焼成するという方法が挙げられる。
【００４１】
そして誘電体層１０上に隣接する二本のデータ電極１１の間に隔壁１２を配設する。隔壁１２は、ペースト化した隔壁材料をダイコート法で塗布、乾燥させた後、サンドブラスト法で隔壁１２部を残し、そしてその状態で焼成することにより形成する。
【００４２】
そして、隣接する二つの隔壁１２の間の誘電体層１０上と各隔壁１２の側壁上とには、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の各蛍光体層１３が形成される。以上により背面板８が完成する。
【００４３】
そして次に、上述のようにして作製された前面板１と背面板８を組み立てる。まず、背面板８の周囲に低融点ガラスからなる封止部材を塗布する。次に、前面板１と背面板８とを、内部に放電空間１４が形成され且つ走査電極６および維持電極７とデータ電極１１とが直交するように対向させて重ね合わせ、その状態で焼成して封止部材を溶融させることで前面板１と背面板８とを接合する。その後、放電空間１４に、放電ガスとして、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうち、少なくとも１種類の希ガスを封入し、ＰＤＰとして完成する。
【００４４】
以上述べたＰＤＰの製造方法によれば、図２に示すような、誘電体層４が放電セル１５において、凹部１６とそれ以外の領域とで誘電体層４の厚みが異なり、且つ基板３の表面から凹部１６の底面までを構成する第一層目の誘電体層４ａと、凹部１６の側面を構成する第二層目の誘電体層４ｂとの２層構造を有する構成のＰＤＰの製造が可能となる。ここで、上述の構成のＰＤＰの特徴は前述したとおりである。
【００４５】
【発明の効果】
以上述べてきたように、本発明によれば、高精細であっても隣接する放電セル間での誤放電を防止でき、良好な画像表示が可能なＰＤＰおよびその製造方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法により製造されるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す断面斜視図
【図２】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法により製造されるプラズマディスプレイパネルの前面板の部分拡大図
【図３】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの製造方法の流れ図
【符号の説明】
１ 前面板
２ 表示電極
３ 基板
４ 誘電体層
４ａ 第一層目の誘電体層
４ｂ 第二層目の誘電体層
５ 保護膜
６ 走査電極
６ａ 透明電極
６ｂ バス電極
７ 維持電極
７ａ 透明電極
７ｂ バス電極
８ 背面板
１５ 放電セル
１６ 凹部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel used for a display device.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In a plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP), an image is displayed by generating ultraviolet rays by gas discharge and exciting a phosphor with the ultraviolet rays to emit light.
[0003]
PDPs are roughly classified into two types: an AC type and a DC type in terms of driving, and a discharge type includes a surface discharge type and a counter discharge type. However, manufacturing is accompanied by high definition, large screen and simple structure. At present, a surface discharge type PDP having a three-electrode structure is mainly used because of its simplicity. The structure is such that a front plate having a plurality of display electrodes composed of scan electrodes and sustain electrodes, and a back plate having a plurality of data electrodes orthogonal to the display electrodes are opposed to each other, so that the display electrodes and the data electrodes are Since the discharge cells are formed at the intersections of the above and the phosphor layers are provided in the discharge cells, the phosphor layers can be made relatively thick, so that they are suitable for color display using phosphors.
[0004]
Such a plasma display device is capable of high-speed display as compared with a liquid crystal panel, has a wide viewing angle, is easy to increase in size, and has a high display quality because it is a self-luminous type. Recently, flat panel displays have attracted particular attention, and have been used for various purposes as display devices at places where many people gather and display devices for enjoying large-screen images at home.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
With respect to the above-mentioned PDPs, there is an increasing demand for higher definition. In order to respond to this, it is necessary to narrow the arrangement pitch of the discharge cells. In a cell, there is a problem that an erroneous discharge occurs between adjacent discharge cells, which adversely affects image display.
[0006]
The present invention has been made in view of such a situation, and realizes a manufacturing method for manufacturing a PDP capable of preventing erroneous discharge between adjacent discharge cells even with high definition and capable of displaying a good image. The purpose is to do.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention is directed to a plasma display panel having a dielectric layer that covers a display electrode composed of a scan electrode and a sustain electrode, and has on its surface a recess that overlaps the display electrode. Forming a first dielectric layer, and forming a second dielectric layer in a pattern using a mask on the first dielectric layer when forming the dielectric layer. Thus, a dielectric layer having a concave portion on the surface is formed.
[0008]
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention is directed to a plasma display panel having a dielectric layer which covers a display electrode composed of a scan electrode and a sustain electrode, and has on its surface a recess overlapping with the display electrode. A method for manufacturing a display panel, comprising: forming a first dielectric layer, disposing a mask having an opening thereon, and forming a dielectric material in the opening when forming the dielectric layer. To form a dielectric layer having a concave portion on the surface.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
That is, the invention according to claim 1 of the present invention is a method for manufacturing a plasma display panel having a dielectric layer that covers a display electrode composed of a scan electrode and a sustain electrode and has a concave portion on the surface that overlaps the display electrode. When forming a dielectric layer, a first dielectric layer is formed, and a second dielectric layer is formed in a pattern using a mask on the first dielectric layer. And forming a dielectric layer having the following.
[0010]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a plasma display panel having a dielectric layer which covers a display electrode comprising a scan electrode and a sustain electrode, and has a dielectric layer provided on the surface with a concave portion overlapping the display electrode. When forming the body layer, a first dielectric layer is formed, a mask having an opening is provided thereon, and the opening is filled with a dielectric material to provide a concave portion on the surface. Forming a dielectric layer.
[0011]
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the mask forms a resist layer on the first dielectric layer, and exposes and develops the resist layer. Things.
[0012]
According to a fourth aspect of the present invention, in the second aspect of the invention, the surface of the opening is cleaned before the opening is filled with a dielectric material.
[0013]
According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the surface treatment includes at least one means selected from ultraviolet irradiation, cleaning using ozone water, and cleaning using ionized water. It is used.
[0014]
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described, but the embodiment of the present invention is not limited thereto.
[0015]
A method of manufacturing a PDP according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0016]
First, FIG. 1 is a cross-sectional perspective view showing a schematic configuration of a PDP manufactured by a method of manufacturing a plasma display device according to the present invention.
[0017]
The front plate 1 has a structure in which a transparent and insulating substrate 3 such as glass, on which a plurality of display electrodes 2 are provided, is covered with a dielectric layer 4 and a protective film 5 made of an MgO vapor deposition film. The display electrode 2 is a pair of a scanning electrode 6 and a sustaining electrode 7, and the scanning electrode 6 is opaque by a transparent electrode 6a and a metal material such as Cr / Cu / Cr or Ag formed thereon. The sustain electrode 7 comprises a transparent electrode 7a and an opaque bus electrode 7b formed on the transparent electrode 7a and made of a metal material such as Cr / Cu / Cr or Ag.
[0018]
The back plate 8 is provided with a plurality of data electrodes 11 covered with a dielectric layer 10 on an insulating substrate 9 such as glass, for example, and a data electrode 11 is provided between the data electrodes 11 on the dielectric layer 10. A stripe-shaped partition wall 12 is provided in parallel with 11, and the phosphor layer 13 is provided in a stripe pattern from the surface of the dielectric layer 10 to the side surface of the partition wall 12. The front plate 1 and the back plate 8 are arranged to face each other with the discharge space 14 interposed therebetween so that the scan electrodes 6 and the sustain electrodes 7 are orthogonal to the data electrodes 11. The discharge space 14 is filled with at least one rare gas selected from helium, neon, argon, and xenon as a discharge gas. The discharge space 14 is partitioned by the partition walls 12 into the data electrode 11, the scan electrode 6, and the sustain electrode 7. The discharge space 14 at the intersection of operates as a discharge cell 15.
[0019]
Here, the dielectric layer 4 has a recess 16 for each discharge cell 15 so that the display electrode 2 partially overlaps the display electrode 2. As an example of the shape of the concave portion 16, the shape of the opening surface of the concave portion 16 in a portion overlapping with the scan electrode 6 is expanded such that the area overlapping with the scanning electrode 6 is larger than the area overlapping with the sustain electrode 7. It is assumed. FIG. 2A is an enlarged view of the front plate 1 as viewed from the discharge cell 15 side. FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG. The position where the partition wall 12 contacts the front plate 1 is shown by a dotted line in FIG. Here, MG is the main discharge gap. Although the protective film 5 is not shown in FIG. 2, the protective film 5 is actually formed so as to cover the surface of the dielectric layer 4 including the bottom and side surfaces of the concave portion 16.
[0020]
As described above, the PDP having the configuration in which the thickness of the dielectric layer 3 is different between the concave portion 16 and the other region in the discharge cell 15 has the following features. That is, the capacitance as a capacitor is different between the concave portion 16 of the discharge cell 15 and the other region, and the discharge voltage is also different. That is, since the electric charge easily accumulates in the concave portion 16 and the discharge voltage is low, it is easy to generate and maintain the discharge. In other areas, the electric charge hardly accumulates and the discharge voltage is high, so that the electric discharge is generated and maintained. Is suppressed. As described above, the discharge region in the discharge cell 15 is limited to the concave portion 16, and the discharge region does not easily spread, so that a discharge is generated between the adjacent discharge cells 15 during high definition. Erroneous discharge hardly occurs. Further, as shown in FIG. 2, it is assumed that the shape of the opening surface of the concave portion 16 in a portion overlapping with the scanning electrode 6 is enlarged, and the area where the concave portion 16 overlaps with the scanning electrode 6 is larger than the area overlapping with the sustain electrode 7. By doing so, it is possible to reduce the discharge voltage to the scan electrode 16. Therefore, a writing discharge can be reliably generated between the scanning electrode 6 and the data electrode 11 during a writing operation, and the quality of image display can be improved.
[0021]
An embodiment of the method for manufacturing a PDP of the present invention for manufacturing a PDP having the above-described configuration will be described below.
[0022]
First, a method for manufacturing the front plate 1 is shown in FIG. For example, a transparent conductive film of ITO (indium tin oxide) is formed on a transparent and insulating substrate 3 such as glass by sputtering over the entire surface of the substrate 3 and formed into a pattern by photolithography. The transparent electrodes 6a and 7a as shown in FIG.
[0023]
Next, as shown in FIG. 3B, bus electrodes 6b and 7b made of a metal material such as Cr / Cu / Cr or Ag are formed on the transparent electrodes 6a and 7a.
[0024]
Next, a thermoplastic resin, a thermoplastic agent, a dispersant, a solvent and an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin are mixed with the glass frit, and a paste of a dielectric material that is mixed and dispersed using a bead mill apparatus is prepared. The obtained dielectric material is applied using a die coat and dried in an infrared drying oven to form a first dielectric layer 4a as shown in FIG. 3C.
[0025]
Next, as shown in FIG. 3D, a resist layer 17 is formed on the first dielectric layer 4a. This can be obtained, for example, by attaching a dry resist film on which a resist film has been formed while pressing the dry resist film with, for example, a pressure roll. At this time, by pressing the substrate 3 at 60 ° C. to 80 ° C. and the pressure roll at 80 ° C. to 100 ° C., the adhesive strength between the first dielectric layer 4 a and the resist layer 17 can be increased.
[0026]
Next, as shown in FIG. 3E, the resist layer 17 is exposed by irradiating the resist layer 17 with ultraviolet rays 19 via a photomask 18. Here, the photomask 18 has a hole 18a for exposure so that the resist layer 17 has an opening except for a region where the resist layer 17 overlaps both the scanning electrode 6 and the sustaining electrode 7 of the display electrode 2. Therefore, depending on whether the resist layer 17 is a positive type or a negative type, the holes 18a to be provided in the photomask 18 are different. FIG. 3E shows an example in which the resist layer 17 is a negative type (the exposed portion becomes insoluble in the developing solution).
[0027]
Then, the exposed resist layer 17 is developed, and thereafter, a step of forming a general resist mask is performed, so that the resist layer 17 scans the display electrode 2 as shown in FIG. Except for a region overlapping both the electrode 6 and the sustain electrode 7, the opening 17a is formed and functions as a mask 20 for the first dielectric layer 4a.
[0028]
Next, 80 parts by weight of glass frit, 20 parts by weight of a thermoplastic agent, a dispersant, an ultraviolet curable resin, etc., and 25 parts by weight of a solvent were mixed, and mixed and dispersed using a bead mill to prepare a dielectric material. The opening 17a of the mask 20, which is the resist layer 17, is filled with the dielectric material 21 by a screen printing method, and dried (FIG. 3G). Here, the filled dielectric material 21 becomes the second dielectric layer 4b.
[0029]
Finally, the mask 20 is removed from the first dielectric layer 4a by a general resist stripping method, and the first dielectric layer 4a and the second dielectric layer 4b are separated. By baking, there is no second dielectric layer 4b in a region overlapping both the scan electrode 6 and the sustain electrode 7 of the display electrode 2, that is, both the scan electrode 6 and the sustain electrode 7 of the display electrode 2 The dielectric layer 4 having the concave portion 16 is formed in the overlapping region (FIG. 3H).
[0030]
Then, a protective film 5 made of magnesium oxide is formed on the surface of the dielectric layer 4 by, for example, a vacuum evaporation method. As described above, the front plate 1 is completed.
[0031]
In the above, the mask 20 is not limited to the above-described configuration, and the adhesiveness with the first dielectric layer 4a is ensured, and the dielectric material 21 filled in the opening 17a leaks and adversely affects the shape. If not, it is possible to use, for example, a thin metal plate having an opening 17a formed as the mask 20.
[0032]
When the mask 20 is removed, if the releasability between the mask 20 and the filled dielectric material 21 is poor, a part of the mask 20 when the mask 20 is removed, that is, the resist material is coated on the side surface of the second dielectric layer 4b. Or adversely affect the shape accuracy of the second dielectric layer 4b, for example, the dielectric material 21 may drop off while being adhered to the opening 17a side of the mask 20. .
[0033]
Also, when the adhesion between the first dielectric layer 4a and the dielectric material 21 is poor, the dielectric material 21 is also removed when the mask 20 is removed. This adversely affects the shape accuracy of the body layer 4b.
[0034]
Therefore, in order to solve the above problem, a surface treatment step of cleaning the opening 17a, that is, the surface of the first dielectric layer 4a exposed on the mask 20 and the bottom surface of the opening 17a is performed. preferable.
[0035]
Here, as the surface treatment, for example, there is a method of irradiating the mask 20 with ultraviolet rays having main wavelengths of 185 nm and 254 nm. This is because the generated ozone decomposes and removes organic residues and organic contaminants on the surface of the mask 20 and in the opening 17a, thereby removing the mask 20 from the dielectric material 21 and the first dielectric layer. This is to improve the adhesion between the dielectric material 4a and the dielectric material 21.
[0036]
As another surface treatment method, there is a method using spray cleaning with ion water instead of ultraviolet irradiation. This is because the oxidizing action of the ozone water decomposes and removes organic residues and organic contaminants on the surface of the mask 20 and in the opening 17a, thereby removing the mask 20 from the dielectric material 21 and removing the first layer. This is to improve the adhesion between the dielectric layer 4a and the dielectric material 21.
[0037]
Here, the ionized water is obtained by dissolving ozone gas in pure water. For example, the ozone concentration is 5 to 15 mg / l, and the cleaning time is 2 to 5 minutes. This is because the cleaning effect cannot be obtained when the ozone concentration is 5 mg / l or less, and the resist is damaged when the ozone concentration is 20 mg / l or more. Further, as for the cleaning method, the spray method can obtain more cleaning effect than immersion, and the cleaning time can be shortened.
[0038]
Further, instead of the ozone water, ion water which can obtain the same effect as the ozone water may be used. Ion water is obtained by putting pure water into an electrolytic cell through an ion exchange membrane having electrodes on both sides, and applying an electric field between the electrodes to electrolyze the pure water. Ion water generated on the anode (anode) side is used for cleaning, and the ion water on the anode side has a strong oxidizing action. These ozone water and ion water have high reactivity, and the waste liquid after washing reacts with air without generating harmful ozone gas and the like, and can be easily treated because it contains no acid or alkali components.
[0039]
Further, the first dielectric layer 4a and the second dielectric layer 4b may be made of the same material, or may have different dielectric constants or the like, or may have an improved transmittance or withstand voltage characteristic. Different materials can be used for the purpose. In this case, the first dielectric layer 4a and the second dielectric layer 4b may be fired simultaneously or individually.
[0040]
Next, a method for manufacturing the back plate 8 will be described. A plurality of data electrodes 11 are formed on one surface of the substrate 9 in a stripe pattern at regular intervals. The material of the data electrode 11 is the same as that of the bus electrodes 6b and 7b. Then, a dielectric layer 10 made of an insulating material is formed so as to include the data electrode 11. As a forming method, there is a method in which a paste-formed dielectric material is printed by screen printing, which is dried and then fired.
[0041]
Then, a partition 12 is provided between two adjacent data electrodes 11 on the dielectric layer 10. The partition walls 12 are formed by applying a paste-forming partition wall material by a die coating method, drying the paste, and leaving a part of the partition walls 12 by a sand blast method, followed by firing in that state.
[0042]
The red (R), green (G), and blue (B) phosphor layers 13 are formed on the dielectric layer 10 between two adjacent partitions 12 and on the side walls of each partition 12. You. Thus, the back plate 8 is completed.
[0043]
Next, the front plate 1 and the rear plate 8 manufactured as described above are assembled. First, a sealing member made of low-melting glass is applied around the back plate 8. Next, the front plate 1 and the back plate 8 are superposed on each other such that a discharge space 14 is formed therein and the scan electrode 6, the sustain electrode 7, and the data electrode 11 are orthogonal to each other. The front plate 1 and the back plate 8 are joined by melting the sealing member. After that, at least one rare gas of helium, neon, argon, and xenon as a discharge gas is sealed in the discharge space 14 to complete a PDP.
[0044]
According to the PDP manufacturing method described above, as shown in FIG. 2, the dielectric layer 4 is different in the thickness of the dielectric layer 4 between the recess 16 and the other region in the discharge cell 15 and the substrate 3 Production of a PDP having a two-layer structure of a first dielectric layer 4a forming the surface from the surface to the bottom surface of the concave portion 16 and a second dielectric layer 4b forming the side surface of the concave portion 16 is required. It becomes possible. Here, the features of the PDP having the above configuration are as described above.
[0045]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, erroneous discharge between adjacent discharge cells can be prevented even with high definition, and a PDP capable of displaying a good image and a method of manufacturing the same can be realized. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional perspective view showing a schematic configuration of a plasma display panel manufactured by a method of manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention; FIG. FIG. 3 is a partially enlarged view of a front panel of a plasma display panel manufactured by the method. FIG. 3 is a flowchart of a method of manufacturing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention.
Reference Signs List 1 front panel 2 display electrode 3 substrate 4 dielectric layer 4a first dielectric layer 4b second dielectric layer 5 protective film 6 scan electrode 6a transparent electrode 6b bus electrode 7 sustain electrode 7a transparent electrode 7b bus Electrode 8 Back plate 15 Discharge cell 16 Recess
