JP2004045986A - 光モジュール、光分岐挿入装置および光伝送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】低コストで容易に製作することができる光モジュール、光分岐挿入装置および光伝送装置を提供する。
【解決手段】光モジュール1は平面導波路2を有している。この平面導波路2には、2×2クロス光導波路A1〜D1で形成された光スイッチ用の光回路3と、2×2クロス光導波路A2〜D2で形成された光可変減衰器用の光回路4とが設けられている。平面導波路2上にはアクチュエータ構造体5が接合されている。このアクチュエータ構造体5は、光スイッチ用のアクチュエータ部6と、光可変減衰器用のアクチュエータ部7とからなっている。そして、平面導波路2の光回路3とアクチュエータ部6とで光スイッチ8が構成され、平面導波路2の光回路4とアクチュエータ部7とで光可変減衰器9が構成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】光モジュール1は平面導波路2を有している。この平面導波路2には、2×2クロス光導波路A1〜D1で形成された光スイッチ用の光回路3と、2×2クロス光導波路A2〜D2で形成された光可変減衰器用の光回路4とが設けられている。平面導波路2上にはアクチュエータ構造体5が接合されている。このアクチュエータ構造体5は、光スイッチ用のアクチュエータ部6と、光可変減衰器用のアクチュエータ部7とからなっている。そして、平面導波路2の光回路3とアクチュエータ部6とで光スイッチ8が構成され、平面導波路2の光回路4とアクチュエータ部7とで光可変減衰器9が構成されている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信等で用いられる光モジュール、光分岐挿入装置および光伝送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光通信等で用いられる光モジュールとしては、例えばIEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS VOL 11.NO.1.JANUARY 1999に記載されているWDM DROPモジュールが知られている。このモジュールは、光スイッチと光可変減衰器などの光部品とを光ファイバで接続して筐体に収納した構成となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術においては、光スイッチ及び光可変減衰器等の光部品を別々に作るため、これら光部品の製作に手間がかかると共に、製作コストが高くなる。
【0004】
本発明の目的は、低コストで容易に製作することができる光モジュール、光分岐挿入装置および光伝送装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、少なくとも1つの光スイッチと少なくとも1つの光可変減衰器とを有する光モジュールにおいて、光スイッチの一部を構成する第1光回路と光可変減衰器の一部を構成する第2光回路とを有する平面導波路と、平面導波路に接合され、光スイッチの一部を構成する第1アクチュエータ部と光可変減衰器の一部を構成する第2アクチュエータ部とを有するアクチュエータ構造体とを備えることを特徴とするものである。
【0006】
このような本発明においては、平面導波路の第1光回路とアクチュエータ構造体の第1アクチュエータ部とで光スイッチが構成され、平面導波路の第2光回路とアクチュエータ構造体の第2アクチュエータ部とで光可変減衰器が構成される。このように第1光回路と第2光回路とを一つの平面導波路に集積させることにより、光スイッチの一部と光可変減衰器の一部とが一括して作られるため、光スイッチ及び光可変減衰器の製作を容易にかつ安価で行うことができる。また、そのような第1光回路及び第2光回路を有する平面導波路を用いることにより、光スイッチと光可変減衰器とを接続する必要がある場合に、両者を光ファイバで接続しなくて済む。これにより、接続損失が低減されると共に、光モジュールの小型化を図ることができる。
【0007】
好ましくは、第1光回路は、平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、第1アクチュエータ部は、溝部内に挿入されるように設けられ、光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、可動ミラーを移動させる駆動手段とを有する。例えば可動ミラーが所定位置にあるときは、光導波路を通る光が可動ミラーで反射して、溝部に対して同じ側に位置する他の光導波路に導かれる。この状態から、駆動手段により可動ミラーを移動させると、光導波路を通る光が溝部をスルーして、溝部に対して反対側に位置する他の光導波路に導かれる。このように第1光回路と第1アクチュエータ部とからなる光スイッチを簡単な構成で実現することができる。
【0008】
また、好ましくは、第2光回路は、平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、第2アクチュエータ部は、溝部内に挿入されるように設けられ、光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、可動ミラーを移動させる駆動手段とを有する。例えば可動ミラーが所定位置にあるときは、光導波路を通る光が可動ミラーで全反射して、溝部に対して同じ側に位置する他の光導波路に導かれ、その結果として光減衰量が最小となる。この状態から、駆動手段により可動ミラーを移動させると、光導波路を通る光の一部だけが可動ミラーで反射するようになり、その結果として光減衰量が増加していく。このように第2光回路と第2アクチュエータ部とからなる光可変減衰器を、可動ミラーによる光の反射を利用した簡単な構成で実現することができる。
【0009】
上記の場合、好ましくは、可動ミラーは、平面導波路上に片持ち支持された片持ち梁に取り付けられており、駆動手段は、平面導波路上に設けられた電極と、片持ち梁と電極との間に静電気力を発生させる手段とを有する。このように静電気力を利用して可動ミラーを駆動することにより、電流を流さずに済むため、消費電力を小さくすることができる。
【0010】
さらに、好ましくは、光スイッチ及び光可変減衰器は、それぞれ500μm以下の幅でアレイ状に複数配置されている。これにより、複数の光スイッチ及び複数の光可変減衰器を有する光モジュールの小型化及び高集積化を図ることができる。
【0011】
また、本発明は、少なくとも1つの光スイッチと少なくとも1つの光カプラとを有する光モジュールにおいて、光スイッチの一部を構成する第1光回路と光カプラを構成する第2光回路とを有する平面導波路と、平面導波路に接合され、光スイッチの一部を構成するアクチュエータ構造体とを備えることを特徴とするものである。
【0012】
このような本発明においては、平面導波路の第1光回路とアクチュエータ構造体とで光スイッチが構成され、平面導波路の第2光回路で光カプラが構成される。このように第1光回路と第2光回路とを一つの平面導波路に集積させることにより、光スイッチの一部と光カプラとが一括して作られるため、光スイッチ及び光カプラの製作を容易にかつ安価で行うことができる。また、そのような第1光回路及び第2光回路を有する平面導波路を用いることにより、光スイッチと光カプラとを接続する必要がある場合に、両者を光ファイバで接続しなくて済む。これにより、接続損失が低減されると共に、光モジュールの小型化を図ることができる。
【0013】
好ましくは、第1光回路は、平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、アクチュエータ構造体は、溝部内に挿入されるように設けられ、光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、可動ミラーを移動させる駆動手段とを有する。これにより、上述したように第1光回路とアクチュエータ構造体とからなる光スイッチを簡単な構成で実現することができる。
【0014】
この場合、好ましくは、可動ミラーは、平面導波路上に片持ち支持された片持ち梁に取り付けられており、駆動手段は、平面導波路上に設けられた電極と、片持ち梁と電極との間に静電気力を発生させる手段とを有する。これにより、電流を流さずに済むため、消費電力を小さくすることができる。
【0015】
本発明の光分岐挿入装置は、上述した光モジュールを備えたことを特徴とするものである。例えば光モジュールが光スイッチ及び光可変減衰器を有している場合、光スイッチは平面導波路の第1光回路とアクチュエータ構造体の第1アクチュエータ部とで構成され、光可変減衰器は平面導波路の第2光回路とアクチュエータ構造体の第2アクチュエータ部とで構成されるので、上述したように、光スイッチ及び光可変減衰器の製作を容易にかつ安価で行うことができる。
【0016】
本発明の光伝送装置は、上述した光モジュールを備えたことを特徴とするものである。この場合、光モジュールの光スイッチは、平面導波路の第1光回路とアクチュエータ構造体とで構成され、光モジュールの光カプラは、平面導波路の第2光回路で構成されるので、上述したように、光スイッチ及び光カプラの製作を容易にかつ安価で行うことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光モジュール、光分岐挿入装置および光伝送装置の好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【0018】
図1は、本発明に係る光モジュールの一実施形態を示す概略構成図である。図1において、本実施形態の光モジュール1は平面導波路2を有している。この平面導波路2には、2×2クロス光導波路A1〜D1で形成された光スイッチ用の光回路3と、2×2クロス光導波路A2〜D2で形成された光可変減衰器用の光回路4とが設けられている。光導波路B1と光導波路A2とは直接接続されている。
【0019】
平面導波路2上には、微小電子機械システム(MEMS)技術を用いて形成されたチップ状のアクチュエータ構造体5が接合されている。このアクチュエータ構造体5は、光スイッチ用のアクチュエータ部6と、光可変減衰器用のアクチュエータ部7とからなっている。
【0020】
そして、平面導波路2の光回路3とアクチュエータ部6とで2×2光スイッチ8が構成され、平面導波路2の光回路4とアクチュエータ部7とで光可変減衰器9が構成されている。
【0021】
光スイッチ8の構成を図2及び図3に示す。これらの図において、平面導波路2には溝部10が設けられ、この溝部10を挟んで光導波路A1〜D1がクロス状に形成されている。
【0022】
光スイッチ8のアクチュエータ部6は、平面導波路2の上面にフリップチップボンディング等で位置決めして接合されている。アクチュエータ部6は、平面導波路2の上面に片持ち支持された片持ち梁11を有し、この片持ち梁11の先端側部分には、複数本の櫛歯12が設けられている。
【0023】
片持ち梁11の先端部には、光導波路A1,C1を通る光を光導波路B1,D1に向けて反射させる可動ミラー13が固定されている。この可動ミラー13は、平面導波路2の溝部10内に入り込んだ状態で溝部10の長手方向に移動可能となるように構成されている。なお、溝部10には、可動ミラー13の移動量を規制するためのストッパ14が設けられている。また、可動ミラー13の前面には、位置保持用突起15が設けられている。
【0024】
また、アクチュエータ部6は、平面導波路2の上面に設けられた電極16を有している。この電極16には、片持ち梁11の各櫛歯12間に挿入される複数本の櫛歯17が設けられている。
【0025】
なお、片持ち梁11、可動ミラー13及び電極16は、好ましくは、低コスト化の観点から、導電性を有するSiで形成されている。
【0026】
片持ち梁11と電極16とは電圧源18を介して接続されており、この電圧源18により片持ち梁11と電極16との間に所定の電圧(パルス信号)を印可することで、両者間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力によって片持ち梁11の先端側部分が電極16に引き寄せられて撓み、それに伴って可動ミラー13が溝部10内に挿入された状態で電極16側に移動する(図4参照)。
【0027】
このように片持ち梁11と電極16との間に静電気力を発生させて可動ミラー13を駆動するので、省電力化を図ることができる。また、片持ち梁11には櫛歯12が設けられ、電極16には櫛歯17が設けられているので、片持ち梁11及び電極16の表面積が全体的に大きくなる。従って、その分だけ片持ち梁11と電極16との間に生じる静電気力が増大するため、両者間に印可する電圧を低くすることができる。
【0028】
さらに、アクチュエータ部6は、可動ミラー13の前面側に配置された位置保持機構19を有している。この位置保持機構19は、可動ミラー13が光を反射させる遮断位置と可動ミラー13が光を通過させるスルー位置とにおいて、可動ミラー13を無電力で自己保持させるものである。
【0029】
位置保持機構19はT字型の可動部20を有し、この可動部20の基端には、複数本の櫛歯21が設けられている。可動部20には、可動ミラー13側に付勢するバネ力をもった弾性体22が連結され、この弾性体22の両端部は平面導波路2の上面に固定されている。また、平面導波路2の上面には電極23が設けられ、この電極23には、可動部20の各櫛歯21間に挿入される複数本の櫛歯24が設けられている。なお、このような位置保持機構19の各部も、導電性を有するSiで形成されている。
【0030】
弾性体22と電極23とは電圧源25を介して接続されており、この電圧源25により弾性体22と電極23との間に所定の電圧(パルス信号)を印可することで、両者間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力によって弾性体22が付勢力に抗して収縮しながら、弾性体22に連結された可動部20が電極23側に引き寄せられる。
【0031】
このような光スイッチ8において、電圧源18による電圧の供給がオフの状態では、図2に示すように、片持ち梁11が真っ直ぐに延びており、可動ミラー13が遮断位置にある。このとき、電圧源25による電圧の供給もオフ状態にあり、可動部20の先端が可動ミラー13の前面の位置保持用突起15に係止されることで、可動ミラー13が遮断位置に自己保持されている。
【0032】
この状態では、光導波路A1から出射された光は、可動ミラー13で反射して光導波路B1に入射され、光導波路C1から出射された光は、可動ミラー13で反射して光導波路D1に入射される。
【0033】
このような初期状態から、電圧源25により弾性体22と電極23との間に電圧を印可すると、可動部20と電極23との間に生じる静電気力によって可動部20が電極23側に移動し、可動部20の先端の係止状態が解除される。この状態において、電圧源18により片持ち梁11と電極16との間に電圧を印可すると、図4に示すように片持ち梁11と電極16との間に生じる静電気力によって片持ち梁11が電極16側に移動し、これに伴って可動ミラー13がスルー位置まで移動する。そして、電圧源25による電圧の印可を止めると、図4に示すように、弾性体22の付勢力によって可動部20が可動ミラー13側に移動し、可動部20の先端が可動ミラー13の前面の位置保持用突起15に係止され、可動ミラー13がスルー位置に自己保持される。
【0034】
この状態では、光導波路A1から出射された光は、溝部10をスルーして光導波路D1に入射され、光導波路C1から出射された光は、溝部10をスルーして光導波路B1に入射される。
【0035】
次に、光可変減衰器9の構成を図5及び図6に示す。これらの図において、平面導波路2には、上記の溝部10とは異なる溝部26が設けられ、この溝部26を挟んで光導波路A2〜D2がクロス状に形成されている。
【0036】
光可変減衰器9のアクチュエータ部7は、平面導波路2の上面にフリップチップボンディング等で位置決めして接合されている。アクチュエータ部7は、平面導波路2の上面に片持ち支持された片持ち梁27を有し、この片持ち梁27の先端側部分には、複数本の櫛歯28が設けられている。
【0037】
片持ち梁27の先端部には、光導波路A2を通る光を光導波路B2に向けて反射させる可動ミラー29が固定されている。この可動ミラー29は、平面導波路2の溝部26内に入り込んだ状態で溝部26の長手方向に移動可能となるように構成されている。なお、溝部26には、可動ミラー29の移動量を規制するためのストッパ30が設けられている。
【0038】
また、アクチュエータ部7は、平面導波路2の上面に設けられた電極31を有している。この電極31には、片持ち梁27の各櫛歯28間に挿入される複数本の櫛歯32が設けられている。
【0039】
なお、片持ち梁27、可動ミラー29、電極31は、光スイッチ8のアクチュエータ部6と同様に、導電性を有するSiで形成されている。
【0040】
片持ち梁27と電極31とは電圧源33を介して接続されており、この電圧源33により片持ち梁27と電極31との間に電圧を印可することで、両者間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力によって片持ち梁27の先端側部分が電極31に引き寄せられて撓み、それに伴って可動ミラー29が溝部26内に挿入された状態で電極31側に移動する(図7参照)。
【0041】
このような光可変減衰器9において、電圧源33による電圧の供給がオフの状態では、図5に示すように片持ち梁27が真っ直ぐに延びている。この状態では、光導波路A2から出射された光は、可動ミラー29で全反射して光導波路B2に入射されるため、光減衰器の機能としては最も小さな光減衰量が得られることになる。
【0042】
このような初期状態から、電圧源33により片持ち梁27と電極31との間に電圧を印可すると、片持ち梁27と電極31との間に生じる静電気力によって可動ミラー29が電極31側に移動する。この状態では、光導波路A2から出射された光の一部だけが、可動ミラー29で反射して光導波路B2に入射され、残りの光は光導波路D2に入射されるため、光減衰量が大きくなる。
【0043】
そして、片持ち梁27と電極31との間に印可する電圧を更に上げると、図7に示すように、可動ミラー29が光導波路A2,B2から完全に外れる。この状態では、光導波路A2から出射された光は、可動ミラー29で反射することなく、全て光導波路D2に入射されるため、光減衰量は無限大(いわゆるシャッター状態)となる。
【0044】
このように光可変減衰器9では、片持ち梁27と電極31との間に印可する電圧をアナログ的に変えて、可動ミラー29での反射光の光量を可変させることにより、光減衰量を調整する。このとき、片持ち梁27には櫛歯28が設けられ、電極31には櫛歯32が設けられており、片持ち梁27の先端側部分と電極31とが近接している。このため、印加電圧に対する光減衰量の線形性が良好となるので、光減衰量の制御が容易に行えるようになる。
【0045】
本実施形態の光モジュール1は、上記の光スイッチ8及び光可変減衰器9をそれぞれ複数有している。つまり、平面導波路2には、複数の光スイッチ用の光回路3と複数の光可変減衰器用の光回路4とが設けられている。また、平面導波路2の上面には、複数の光スイッチ用のアクチュエータ部6と複数の光可変減衰器用のアクチュエータ部7とが接合されている。そして、複数の光回路3と複数のアクチュエータ部6とで光スイッチアレイ34が構成され、複数の光回路4と複数のアクチュエータ部7とで光可変減衰器アレイ35が構成されている(図8参照)。
【0046】
ここで、光モジュール1の小型化及び高集積化を図るべく、光スイッチアレイ34各光スイッチ8及び光可変減衰器アレイ35の各光可変減衰器9は、500μm以下の幅でアレイ状に配置されている。
【0047】
光スイッチ8及び光可変減衰器9の一部を構成する平面導波路2の両端面には、図8に示すように、多芯光ファイバテープ心線36の光ファイバを保持したファイバアレイ37が調芯接続されており、光ファイバによって外部に光を取り出すようにしている。また、平面導波路2、アクチュエータ構造体5及びファイバアレイ37は、1個のパッケージ38内に収納されている。アクチュエータ構造体5の電極端子(図示せず)とパッケージ38に設けられた外部電極端子39とは、ワイヤーボンド(図示せず)により接続されている。
【0048】
図1に戻り、以上のように構成した光モジュール1において、光スイッチ8がオフのときは、光導波路A1に入力された光信号は、光導波路B1,A2を通り、光可変減衰器9で減衰されて光導波路B2から出力される。光導波路C1に入力された光信号は、光導波路D1から出力される。一方、光スイッチ8がオンのときは、光導波路A1に入力された光信号は、光導波路D1から出力される。光導波路C1に入力された光信号は、光導波路B1,A2を通り、光可変減衰器9で減衰されて光導波路B2から出力される。
【0049】
以上のような本実施形態の光モジュール1にあっては、光スイッチ8の一部を構成する光路と光可変減衰器9の一部を構成する光路とを一つの平面導波路2に形成し集積化する構成としたので、光スイッチ8及び光可変減衰器9の光回路を一括して作り上げることができると共に、光スイッチ8及び光可変減衰器9に要する部品が少なくなる。従って、光スイッチ及び光可変減衰器を別々に製作する場合に比べて、光スイッチ及び光可変減衰器の製作が容易にかつ安価に行える。また、光スイッチの光路と光可変減衰器の光路とを光ファイバで接続するのではなく、一つの平面導波路2において光スイッチ8の光路と光可変減衰器9の光路とを接続するようにしたので、接続損失が低減し、光学特性が良くなる。また、この場合には、光ファイバの取り回しのためのスペースが不要となるので、光モジュールを小型にすることができる。
【0050】
図9は、上述した光モジュール1を応用した光分岐挿入装置(OADM)の一例を示したものである。光分岐挿入装置は、波長多重化された信号の中から任意波長の信号をAdd/Dropする機能を有するものである。
【0051】
図9において、光分岐挿入装置40は光モジュール41を有し、この光モジュール41は、複数の光スイッチ42からなる光スイッチアレイ43と、複数の光可変減衰器44からなる光可変減衰器アレイ45とを有している。各光スイッチ42と各光可変減衰器44とは、導波路46を介して接続されている。各光スイッチ42は、入力用導波路47を介して分波器48と接続されている。この分波器48は、1本の光ファイバ49を伝搬してきた波長の異なる複数の光信号を各波長毎に分波する。各光可変減衰器44は、出力用導波路50を介して合波器51と接続されている。この合波器51は、各波長の光信号を合波して1本の光ファイバ52に導く。各出力用導波路50には、光可変減衰器44で減衰された光のパワーを検出する光モニタ53が設けられている。また、各光スイッチ42には、Add用導波路54及びDrop用導波路55が接続されている。
【0052】
光スイッチアレイ43、光可変減衰器アレイ45及び光モニタ53は、コントローラ56と接続されている。このコントローラ56は、各光スイッチ42に電圧を供給する複数の電圧源と、各光可変減衰器44に電圧を供給する複数の電圧源とを有している。コントローラ56は、各光スイッチ42に電圧信号を送出し、光導波路46,47,54,55の光路切換を行う。また、コントローラ56は、光モニタ53の検出値に基づいて、出力光量が所望値となるように各光可変減衰器44に電圧信号を送出する。
【0053】
図10は、本発明に係る光モジュールの他の実施形態を示す概略構成図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0054】
図10において、本実施形態の光モジュール60は、互いに並列に配置された光スイッチ8及び光可変減衰器9を有し、これらの光スイッチ8及び光可変減衰器9が独立して使用できるように構成されている。つまり、平面導波路2には、クロス光導波路A1〜D1とクロス光導波路A2〜D2とが並列に設けられている。そして、平面導波路2の上面には、アクチュエータ構造体5のアクチュエータ部6,7が接合されている。
【0055】
このような光モジュール60において、光スイッチ8がオフのときは、光導波路A1に入力された光信号は光導波路B1から出力され、光導波路C1に入力された光信号は光導波路D1から出力される。一方、光スイッチ8がオンのときは、光導波路A1に入力された光信号は光導波路D1から出力され、光導波路C1に入力された光信号は光導波路B1から出力される。また、光導波路A2に入力された光信号は、光可変減衰器62で減衰されて光導波路B2から出力される。
【0056】
図11は、本発明に係る光モジュールの更に他の実施形態を示す概略構成図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0057】
図11において、本実施形態の光モジュール70は平面導波路71を有している。この平面導波路71には、2×2クロス光導波路A1〜D1で形成された光スイッチ用の光回路72と、2×2クロス光導波路A3〜D3で形成された光スイッチ用の光回路73と、光導波路で形成された光カプラ74とが設けられている。光導波路B3と光導波路C1とは直接接続され、光導波路D1と光カプラ74とは直接接続されている。平面導波路71上には、アクチュエータ部75,76が接合されている。このアクチュエータ部75,76の構成は、上記の光スイッチ用のアクチュエータ部6と同様である。
【0058】
そして、平面導波路71の光回路72とアクチュエータ部75とで2×2光スイッチ77が構成され、平面導波路71の光回路73とアクチュエータ部76とで2×1光スイッチ78が構成されている。
【0059】
このような光モジュール70において、光スイッチ77,78が共にオフのときは、光導波路A1に入力された光信号は光導波路B1から出力される。光導波路A3に入力された光信号は、光導波路B3,C1,D1を通り、光カプラ74を介して出力される。また、光スイッチ78がオフ、光スイッチ77がオンのときは、光導波路A1に入力された光信号は、光導波路D1を通り、光カプラ74を介して出力される。光スイッチ77がオフ、光スイッチ78がオンのときは、光導波路C3に入力された光信号は、光導波路B3,C1,D1を通り、光カプラ74を介して出力される。光スイッチ77,78が共にオンのときは、光導波路C3に入力された光信号は、光導波路B3,C1,B1を通って出力される。
【0060】
以上のような本実施形態の光モジュール70にあっては、光スイッチ77,78の一部を構成する光回路と光カプラ74を構成する光回路とを一つの平面導波路71に集積化したので、これらの光回路を一括して作ることができる。これにより、光スイッチ及び光カプラの製作が容易にかつ安価に行える。
【0061】
図12は、上述した光モジュール70を応用した光分岐挿入装置の一例を示したものである。
【0062】
図12において、光分岐挿入装置80は、複数の光スイッチ81からなる光スイッチアレイ82を有している。各光スイッチ81は、入力用導波路83を介して分波器(図示せず)と接続されていると共に、出力用導波路84を介して合波器(図示せず)と接続されている。また、各光スイッチ81は、Add用導波路85を介して光スイッチ86と接続されていると共に、Drop用導波路87を介して光カプラ88と接続されている。このような構成によって、波長多重化された信号の中から任意波長の信号をAdd/Dropすることができる。
【0063】
図13は、本発明に係る光モジュールの更に他の実施形態を示す概略構成図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0064】
図13において、本実施形態の光モジュール90は、互いに並列に配置された光スイッチ77及び光カプラ74を有し、これらの光スイッチ77及び光カプラ74が独立して使用できるように構成されている。つまり、平面導波路71には、クロス光導波路A1〜D1と光カプラ74とが並列に設けられている。そして、平面導波路71の上面には、光スイッチ77のアクチュエータ部75が接合されている。
【0065】
図14は、上述した光モジュール90を応用した光伝送装置の一例を示したものである。
【0066】
図14において、光伝送装置91は、双方向の光伝送を行うものであり、2組の光モジュール92A,92Bを有している。これらの光モジュール92A,92Bは、互いに並列に配置された光スイッチ93及び光カプラ94を有している。光モジュール92Aの光スイッチ93と光モジュール92Bの光カプラ94とは光ファイバ95,96を介して接続され、光モジュール92Aの光カプラ94と光モジュール92Bの光スイッチ93とは光ファイバ97,98を介して接続されている。
【0067】
このような光伝送装置91において、通常は、光モジュール92A,92Bの光スイッチ93が共にオン状態となっている。この状態では、光モジュール92Aに入力された光信号は、光ファイバ95を通って光モジュール92Bに送られ、光モジュール92Bに入力された光信号は、光ファイバ97を通って光モジュール92Aに送られる。一方、光ファイバ95,97に故障等が発生した場合には、光モジュール92A,92Bの光スイッチ93は共にオフ状態となる。この状態では、光モジュール92Aに入力された光信号は、光ファイバ96を通って光モジュール92Bに送られ、光モジュール92Bに入力された光信号は、光ファイバ98を通って光モジュール92Aに送られる。
【0068】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、光スイッチ用のアクチュエータ部と光可変減衰器用のアクチュエータ部とを別々のチップで構成するものとしたが、これらのアクチュエータ部を1個の同じチップとして構成してもよい。
【0069】
また、上記実施形態では、光可変減衰器を、可動ミラーによる反射光を利用する反射型としたが、可動ミラーの代わりに、スリットを有する光学素子を設け、この光学素子の透過光量を変えることで光減衰量を可変させる透過型としてもよい。このような透過型の光可変減衰器を採用する場合は、平面導波路に形成する光導波路を、2×2クロス光導波路ではなく直線導波路としてもよい。
【0070】
さらに、上記実施形態では、光スイッチ及び光可変減衰器がオフ状態のときに、光が可動ミラーで反射するような構成としたが、特にこれに限らず、光スイッチ及び光可変減衰器をオンさせたときに、可動ミラーが光反射位置に移動するような構成としてもよい。
【0071】
また、上記実施形態では、静電アクチュエータにより光スイッチ及び光可変減衰器の可動ミラーを駆動させるものとしたが、電磁力を利用して可動ミラーを駆動させる電磁アクチュエータ等を用いてもよい。
【0072】
【発明の効果】
本発明によれば、光スイッチの一部を構成する第1光回路と光可変減衰器の一部を構成する第2光回路とを有する平面導波路と、光スイッチの一部を構成する第1アクチュエータ部と光可変減衰器の一部を構成する第2アクチュエータ部とを有するアクチュエータ構造体とを接合する構成としたので、光スイッチ及び光可変減衰器を有する光モジュールを、低コストで容易に製作することができる。
【0073】
また、本発明によれば、光スイッチの一部を構成する第1光回路と光カプラを構成する第2光回路とを有する平面導波路と、光スイッチの一部を構成するアクチュエータ構造体とを接合する構成としたので、光スイッチ及び光カプラを有する光モジュールを、低コストで容易に製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光モジュールの一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】図1に示す光スイッチの平面図である。
【図3】図1に示す光スイッチの垂直方向断面図である。
【図4】図2に示すアクチュエータ部の動作状態を示す平面図である。
【図5】図1に示す光可変減衰器の平面図である。
【図6】図1に示す光可変減衰器の垂直方向断面図である。
【図7】図5に示すアクチュエータ部の動作状態を示す平面図である。
【図8】図1に示す光スイッチ及び光可変減衰器をパッケージに収納した状態を示す断面図である。
【図9】図1に示す光モジュールを応用した光分岐挿入装置の一例を示す構成図である。
【図10】本発明に係る光モジュールの他の実施形態を示す概略構成図である。
【図11】本発明に係る光モジュールの更に他の実施形態を示す概略構成図である。
【図12】図11に示す光モジュールを応用した光分岐挿入装置の一例を示す構成図である。
【図13】本発明に係る光モジュールの更に他の実施形態を示す概略構成図である。
【図14】図13に示す光モジュールを応用した光伝送装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
1…光モジュール、2…平面導波路、3…光回路(光スイッチ用の第1光回路)、4…光回路(光可変減衰器用の第2光回路)、5…アクチュエータ構造体、6…アクチュエータ部(光スイッチ用の第1アクチュエータ部)、7…アクチュエータ部(光可変減衰器用の第2アクチュエータ部)、8…光スイッチ、9…光可変減衰器、10…溝部、11…片持ち梁、13…可動ミラー、16…電極(駆動手段)、18…電圧源(駆動手段)、26…溝部、27…片持ち梁、29…可動ミラー、31…電極(駆動手段)、33…電圧源(駆動手段)、40…光分岐挿入装置、41…光モジュール、60…光モジュール、70…光モジュール、71…平面導波路、72,73…光回路(光スイッチ用の第1光回路)、74…光カプラ(光カプラ用の第2光回路)、75,76…アクチュエータ部(アクチュエータ構造体)、77,78…光スイッチ、80…光分岐挿入装置、90…光モジュール、91…光伝送装置、92A,92B…光モジュール、A1〜D1…光導波路、A2〜D2…光導波路、A3〜D3…光導波路。
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信等で用いられる光モジュール、光分岐挿入装置および光伝送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光通信等で用いられる光モジュールとしては、例えばIEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS VOL 11.NO.1.JANUARY 1999に記載されているWDM DROPモジュールが知られている。このモジュールは、光スイッチと光可変減衰器などの光部品とを光ファイバで接続して筐体に収納した構成となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術においては、光スイッチ及び光可変減衰器等の光部品を別々に作るため、これら光部品の製作に手間がかかると共に、製作コストが高くなる。
【0004】
本発明の目的は、低コストで容易に製作することができる光モジュール、光分岐挿入装置および光伝送装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、少なくとも1つの光スイッチと少なくとも1つの光可変減衰器とを有する光モジュールにおいて、光スイッチの一部を構成する第1光回路と光可変減衰器の一部を構成する第2光回路とを有する平面導波路と、平面導波路に接合され、光スイッチの一部を構成する第1アクチュエータ部と光可変減衰器の一部を構成する第2アクチュエータ部とを有するアクチュエータ構造体とを備えることを特徴とするものである。
【0006】
このような本発明においては、平面導波路の第1光回路とアクチュエータ構造体の第1アクチュエータ部とで光スイッチが構成され、平面導波路の第2光回路とアクチュエータ構造体の第2アクチュエータ部とで光可変減衰器が構成される。このように第1光回路と第2光回路とを一つの平面導波路に集積させることにより、光スイッチの一部と光可変減衰器の一部とが一括して作られるため、光スイッチ及び光可変減衰器の製作を容易にかつ安価で行うことができる。また、そのような第1光回路及び第2光回路を有する平面導波路を用いることにより、光スイッチと光可変減衰器とを接続する必要がある場合に、両者を光ファイバで接続しなくて済む。これにより、接続損失が低減されると共に、光モジュールの小型化を図ることができる。
【0007】
好ましくは、第1光回路は、平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、第1アクチュエータ部は、溝部内に挿入されるように設けられ、光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、可動ミラーを移動させる駆動手段とを有する。例えば可動ミラーが所定位置にあるときは、光導波路を通る光が可動ミラーで反射して、溝部に対して同じ側に位置する他の光導波路に導かれる。この状態から、駆動手段により可動ミラーを移動させると、光導波路を通る光が溝部をスルーして、溝部に対して反対側に位置する他の光導波路に導かれる。このように第1光回路と第1アクチュエータ部とからなる光スイッチを簡単な構成で実現することができる。
【0008】
また、好ましくは、第2光回路は、平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、第2アクチュエータ部は、溝部内に挿入されるように設けられ、光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、可動ミラーを移動させる駆動手段とを有する。例えば可動ミラーが所定位置にあるときは、光導波路を通る光が可動ミラーで全反射して、溝部に対して同じ側に位置する他の光導波路に導かれ、その結果として光減衰量が最小となる。この状態から、駆動手段により可動ミラーを移動させると、光導波路を通る光の一部だけが可動ミラーで反射するようになり、その結果として光減衰量が増加していく。このように第2光回路と第2アクチュエータ部とからなる光可変減衰器を、可動ミラーによる光の反射を利用した簡単な構成で実現することができる。
【0009】
上記の場合、好ましくは、可動ミラーは、平面導波路上に片持ち支持された片持ち梁に取り付けられており、駆動手段は、平面導波路上に設けられた電極と、片持ち梁と電極との間に静電気力を発生させる手段とを有する。このように静電気力を利用して可動ミラーを駆動することにより、電流を流さずに済むため、消費電力を小さくすることができる。
【0010】
さらに、好ましくは、光スイッチ及び光可変減衰器は、それぞれ500μm以下の幅でアレイ状に複数配置されている。これにより、複数の光スイッチ及び複数の光可変減衰器を有する光モジュールの小型化及び高集積化を図ることができる。
【0011】
また、本発明は、少なくとも1つの光スイッチと少なくとも1つの光カプラとを有する光モジュールにおいて、光スイッチの一部を構成する第1光回路と光カプラを構成する第2光回路とを有する平面導波路と、平面導波路に接合され、光スイッチの一部を構成するアクチュエータ構造体とを備えることを特徴とするものである。
【0012】
このような本発明においては、平面導波路の第1光回路とアクチュエータ構造体とで光スイッチが構成され、平面導波路の第2光回路で光カプラが構成される。このように第1光回路と第2光回路とを一つの平面導波路に集積させることにより、光スイッチの一部と光カプラとが一括して作られるため、光スイッチ及び光カプラの製作を容易にかつ安価で行うことができる。また、そのような第1光回路及び第2光回路を有する平面導波路を用いることにより、光スイッチと光カプラとを接続する必要がある場合に、両者を光ファイバで接続しなくて済む。これにより、接続損失が低減されると共に、光モジュールの小型化を図ることができる。
【0013】
好ましくは、第1光回路は、平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、アクチュエータ構造体は、溝部内に挿入されるように設けられ、光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、可動ミラーを移動させる駆動手段とを有する。これにより、上述したように第1光回路とアクチュエータ構造体とからなる光スイッチを簡単な構成で実現することができる。
【0014】
この場合、好ましくは、可動ミラーは、平面導波路上に片持ち支持された片持ち梁に取り付けられており、駆動手段は、平面導波路上に設けられた電極と、片持ち梁と電極との間に静電気力を発生させる手段とを有する。これにより、電流を流さずに済むため、消費電力を小さくすることができる。
【0015】
本発明の光分岐挿入装置は、上述した光モジュールを備えたことを特徴とするものである。例えば光モジュールが光スイッチ及び光可変減衰器を有している場合、光スイッチは平面導波路の第1光回路とアクチュエータ構造体の第1アクチュエータ部とで構成され、光可変減衰器は平面導波路の第2光回路とアクチュエータ構造体の第2アクチュエータ部とで構成されるので、上述したように、光スイッチ及び光可変減衰器の製作を容易にかつ安価で行うことができる。
【0016】
本発明の光伝送装置は、上述した光モジュールを備えたことを特徴とするものである。この場合、光モジュールの光スイッチは、平面導波路の第1光回路とアクチュエータ構造体とで構成され、光モジュールの光カプラは、平面導波路の第2光回路で構成されるので、上述したように、光スイッチ及び光カプラの製作を容易にかつ安価で行うことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光モジュール、光分岐挿入装置および光伝送装置の好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【0018】
図1は、本発明に係る光モジュールの一実施形態を示す概略構成図である。図1において、本実施形態の光モジュール1は平面導波路2を有している。この平面導波路2には、2×2クロス光導波路A1〜D1で形成された光スイッチ用の光回路3と、2×2クロス光導波路A2〜D2で形成された光可変減衰器用の光回路4とが設けられている。光導波路B1と光導波路A2とは直接接続されている。
【0019】
平面導波路2上には、微小電子機械システム(MEMS)技術を用いて形成されたチップ状のアクチュエータ構造体5が接合されている。このアクチュエータ構造体5は、光スイッチ用のアクチュエータ部6と、光可変減衰器用のアクチュエータ部7とからなっている。
【0020】
そして、平面導波路2の光回路3とアクチュエータ部6とで2×2光スイッチ8が構成され、平面導波路2の光回路4とアクチュエータ部7とで光可変減衰器9が構成されている。
【0021】
光スイッチ8の構成を図2及び図3に示す。これらの図において、平面導波路2には溝部10が設けられ、この溝部10を挟んで光導波路A1〜D1がクロス状に形成されている。
【0022】
光スイッチ8のアクチュエータ部6は、平面導波路2の上面にフリップチップボンディング等で位置決めして接合されている。アクチュエータ部6は、平面導波路2の上面に片持ち支持された片持ち梁11を有し、この片持ち梁11の先端側部分には、複数本の櫛歯12が設けられている。
【0023】
片持ち梁11の先端部には、光導波路A1,C1を通る光を光導波路B1,D1に向けて反射させる可動ミラー13が固定されている。この可動ミラー13は、平面導波路2の溝部10内に入り込んだ状態で溝部10の長手方向に移動可能となるように構成されている。なお、溝部10には、可動ミラー13の移動量を規制するためのストッパ14が設けられている。また、可動ミラー13の前面には、位置保持用突起15が設けられている。
【0024】
また、アクチュエータ部6は、平面導波路2の上面に設けられた電極16を有している。この電極16には、片持ち梁11の各櫛歯12間に挿入される複数本の櫛歯17が設けられている。
【0025】
なお、片持ち梁11、可動ミラー13及び電極16は、好ましくは、低コスト化の観点から、導電性を有するSiで形成されている。
【0026】
片持ち梁11と電極16とは電圧源18を介して接続されており、この電圧源18により片持ち梁11と電極16との間に所定の電圧(パルス信号)を印可することで、両者間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力によって片持ち梁11の先端側部分が電極16に引き寄せられて撓み、それに伴って可動ミラー13が溝部10内に挿入された状態で電極16側に移動する(図4参照)。
【0027】
このように片持ち梁11と電極16との間に静電気力を発生させて可動ミラー13を駆動するので、省電力化を図ることができる。また、片持ち梁11には櫛歯12が設けられ、電極16には櫛歯17が設けられているので、片持ち梁11及び電極16の表面積が全体的に大きくなる。従って、その分だけ片持ち梁11と電極16との間に生じる静電気力が増大するため、両者間に印可する電圧を低くすることができる。
【0028】
さらに、アクチュエータ部6は、可動ミラー13の前面側に配置された位置保持機構19を有している。この位置保持機構19は、可動ミラー13が光を反射させる遮断位置と可動ミラー13が光を通過させるスルー位置とにおいて、可動ミラー13を無電力で自己保持させるものである。
【0029】
位置保持機構19はT字型の可動部20を有し、この可動部20の基端には、複数本の櫛歯21が設けられている。可動部20には、可動ミラー13側に付勢するバネ力をもった弾性体22が連結され、この弾性体22の両端部は平面導波路2の上面に固定されている。また、平面導波路2の上面には電極23が設けられ、この電極23には、可動部20の各櫛歯21間に挿入される複数本の櫛歯24が設けられている。なお、このような位置保持機構19の各部も、導電性を有するSiで形成されている。
【0030】
弾性体22と電極23とは電圧源25を介して接続されており、この電圧源25により弾性体22と電極23との間に所定の電圧(パルス信号)を印可することで、両者間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力によって弾性体22が付勢力に抗して収縮しながら、弾性体22に連結された可動部20が電極23側に引き寄せられる。
【0031】
このような光スイッチ8において、電圧源18による電圧の供給がオフの状態では、図2に示すように、片持ち梁11が真っ直ぐに延びており、可動ミラー13が遮断位置にある。このとき、電圧源25による電圧の供給もオフ状態にあり、可動部20の先端が可動ミラー13の前面の位置保持用突起15に係止されることで、可動ミラー13が遮断位置に自己保持されている。
【0032】
この状態では、光導波路A1から出射された光は、可動ミラー13で反射して光導波路B1に入射され、光導波路C1から出射された光は、可動ミラー13で反射して光導波路D1に入射される。
【0033】
このような初期状態から、電圧源25により弾性体22と電極23との間に電圧を印可すると、可動部20と電極23との間に生じる静電気力によって可動部20が電極23側に移動し、可動部20の先端の係止状態が解除される。この状態において、電圧源18により片持ち梁11と電極16との間に電圧を印可すると、図4に示すように片持ち梁11と電極16との間に生じる静電気力によって片持ち梁11が電極16側に移動し、これに伴って可動ミラー13がスルー位置まで移動する。そして、電圧源25による電圧の印可を止めると、図4に示すように、弾性体22の付勢力によって可動部20が可動ミラー13側に移動し、可動部20の先端が可動ミラー13の前面の位置保持用突起15に係止され、可動ミラー13がスルー位置に自己保持される。
【0034】
この状態では、光導波路A1から出射された光は、溝部10をスルーして光導波路D1に入射され、光導波路C1から出射された光は、溝部10をスルーして光導波路B1に入射される。
【0035】
次に、光可変減衰器9の構成を図5及び図6に示す。これらの図において、平面導波路2には、上記の溝部10とは異なる溝部26が設けられ、この溝部26を挟んで光導波路A2〜D2がクロス状に形成されている。
【0036】
光可変減衰器9のアクチュエータ部7は、平面導波路2の上面にフリップチップボンディング等で位置決めして接合されている。アクチュエータ部7は、平面導波路2の上面に片持ち支持された片持ち梁27を有し、この片持ち梁27の先端側部分には、複数本の櫛歯28が設けられている。
【0037】
片持ち梁27の先端部には、光導波路A2を通る光を光導波路B2に向けて反射させる可動ミラー29が固定されている。この可動ミラー29は、平面導波路2の溝部26内に入り込んだ状態で溝部26の長手方向に移動可能となるように構成されている。なお、溝部26には、可動ミラー29の移動量を規制するためのストッパ30が設けられている。
【0038】
また、アクチュエータ部7は、平面導波路2の上面に設けられた電極31を有している。この電極31には、片持ち梁27の各櫛歯28間に挿入される複数本の櫛歯32が設けられている。
【0039】
なお、片持ち梁27、可動ミラー29、電極31は、光スイッチ8のアクチュエータ部6と同様に、導電性を有するSiで形成されている。
【0040】
片持ち梁27と電極31とは電圧源33を介して接続されており、この電圧源33により片持ち梁27と電極31との間に電圧を印可することで、両者間に静電気力を発生させる。そして、この静電気力によって片持ち梁27の先端側部分が電極31に引き寄せられて撓み、それに伴って可動ミラー29が溝部26内に挿入された状態で電極31側に移動する(図7参照)。
【0041】
このような光可変減衰器9において、電圧源33による電圧の供給がオフの状態では、図5に示すように片持ち梁27が真っ直ぐに延びている。この状態では、光導波路A2から出射された光は、可動ミラー29で全反射して光導波路B2に入射されるため、光減衰器の機能としては最も小さな光減衰量が得られることになる。
【0042】
このような初期状態から、電圧源33により片持ち梁27と電極31との間に電圧を印可すると、片持ち梁27と電極31との間に生じる静電気力によって可動ミラー29が電極31側に移動する。この状態では、光導波路A2から出射された光の一部だけが、可動ミラー29で反射して光導波路B2に入射され、残りの光は光導波路D2に入射されるため、光減衰量が大きくなる。
【0043】
そして、片持ち梁27と電極31との間に印可する電圧を更に上げると、図7に示すように、可動ミラー29が光導波路A2,B2から完全に外れる。この状態では、光導波路A2から出射された光は、可動ミラー29で反射することなく、全て光導波路D2に入射されるため、光減衰量は無限大(いわゆるシャッター状態)となる。
【0044】
このように光可変減衰器9では、片持ち梁27と電極31との間に印可する電圧をアナログ的に変えて、可動ミラー29での反射光の光量を可変させることにより、光減衰量を調整する。このとき、片持ち梁27には櫛歯28が設けられ、電極31には櫛歯32が設けられており、片持ち梁27の先端側部分と電極31とが近接している。このため、印加電圧に対する光減衰量の線形性が良好となるので、光減衰量の制御が容易に行えるようになる。
【0045】
本実施形態の光モジュール1は、上記の光スイッチ8及び光可変減衰器9をそれぞれ複数有している。つまり、平面導波路2には、複数の光スイッチ用の光回路3と複数の光可変減衰器用の光回路4とが設けられている。また、平面導波路2の上面には、複数の光スイッチ用のアクチュエータ部6と複数の光可変減衰器用のアクチュエータ部7とが接合されている。そして、複数の光回路3と複数のアクチュエータ部6とで光スイッチアレイ34が構成され、複数の光回路4と複数のアクチュエータ部7とで光可変減衰器アレイ35が構成されている(図8参照)。
【0046】
ここで、光モジュール1の小型化及び高集積化を図るべく、光スイッチアレイ34各光スイッチ8及び光可変減衰器アレイ35の各光可変減衰器9は、500μm以下の幅でアレイ状に配置されている。
【0047】
光スイッチ8及び光可変減衰器9の一部を構成する平面導波路2の両端面には、図8に示すように、多芯光ファイバテープ心線36の光ファイバを保持したファイバアレイ37が調芯接続されており、光ファイバによって外部に光を取り出すようにしている。また、平面導波路2、アクチュエータ構造体5及びファイバアレイ37は、1個のパッケージ38内に収納されている。アクチュエータ構造体5の電極端子(図示せず)とパッケージ38に設けられた外部電極端子39とは、ワイヤーボンド(図示せず)により接続されている。
【0048】
図1に戻り、以上のように構成した光モジュール1において、光スイッチ8がオフのときは、光導波路A1に入力された光信号は、光導波路B1,A2を通り、光可変減衰器9で減衰されて光導波路B2から出力される。光導波路C1に入力された光信号は、光導波路D1から出力される。一方、光スイッチ8がオンのときは、光導波路A1に入力された光信号は、光導波路D1から出力される。光導波路C1に入力された光信号は、光導波路B1,A2を通り、光可変減衰器9で減衰されて光導波路B2から出力される。
【0049】
以上のような本実施形態の光モジュール1にあっては、光スイッチ8の一部を構成する光路と光可変減衰器9の一部を構成する光路とを一つの平面導波路2に形成し集積化する構成としたので、光スイッチ8及び光可変減衰器9の光回路を一括して作り上げることができると共に、光スイッチ8及び光可変減衰器9に要する部品が少なくなる。従って、光スイッチ及び光可変減衰器を別々に製作する場合に比べて、光スイッチ及び光可変減衰器の製作が容易にかつ安価に行える。また、光スイッチの光路と光可変減衰器の光路とを光ファイバで接続するのではなく、一つの平面導波路2において光スイッチ8の光路と光可変減衰器9の光路とを接続するようにしたので、接続損失が低減し、光学特性が良くなる。また、この場合には、光ファイバの取り回しのためのスペースが不要となるので、光モジュールを小型にすることができる。
【0050】
図9は、上述した光モジュール1を応用した光分岐挿入装置(OADM)の一例を示したものである。光分岐挿入装置は、波長多重化された信号の中から任意波長の信号をAdd/Dropする機能を有するものである。
【0051】
図9において、光分岐挿入装置40は光モジュール41を有し、この光モジュール41は、複数の光スイッチ42からなる光スイッチアレイ43と、複数の光可変減衰器44からなる光可変減衰器アレイ45とを有している。各光スイッチ42と各光可変減衰器44とは、導波路46を介して接続されている。各光スイッチ42は、入力用導波路47を介して分波器48と接続されている。この分波器48は、1本の光ファイバ49を伝搬してきた波長の異なる複数の光信号を各波長毎に分波する。各光可変減衰器44は、出力用導波路50を介して合波器51と接続されている。この合波器51は、各波長の光信号を合波して1本の光ファイバ52に導く。各出力用導波路50には、光可変減衰器44で減衰された光のパワーを検出する光モニタ53が設けられている。また、各光スイッチ42には、Add用導波路54及びDrop用導波路55が接続されている。
【0052】
光スイッチアレイ43、光可変減衰器アレイ45及び光モニタ53は、コントローラ56と接続されている。このコントローラ56は、各光スイッチ42に電圧を供給する複数の電圧源と、各光可変減衰器44に電圧を供給する複数の電圧源とを有している。コントローラ56は、各光スイッチ42に電圧信号を送出し、光導波路46,47,54,55の光路切換を行う。また、コントローラ56は、光モニタ53の検出値に基づいて、出力光量が所望値となるように各光可変減衰器44に電圧信号を送出する。
【0053】
図10は、本発明に係る光モジュールの他の実施形態を示す概略構成図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0054】
図10において、本実施形態の光モジュール60は、互いに並列に配置された光スイッチ8及び光可変減衰器9を有し、これらの光スイッチ8及び光可変減衰器9が独立して使用できるように構成されている。つまり、平面導波路2には、クロス光導波路A1〜D1とクロス光導波路A2〜D2とが並列に設けられている。そして、平面導波路2の上面には、アクチュエータ構造体5のアクチュエータ部6,7が接合されている。
【0055】
このような光モジュール60において、光スイッチ8がオフのときは、光導波路A1に入力された光信号は光導波路B1から出力され、光導波路C1に入力された光信号は光導波路D1から出力される。一方、光スイッチ8がオンのときは、光導波路A1に入力された光信号は光導波路D1から出力され、光導波路C1に入力された光信号は光導波路B1から出力される。また、光導波路A2に入力された光信号は、光可変減衰器62で減衰されて光導波路B2から出力される。
【0056】
図11は、本発明に係る光モジュールの更に他の実施形態を示す概略構成図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0057】
図11において、本実施形態の光モジュール70は平面導波路71を有している。この平面導波路71には、2×2クロス光導波路A1〜D1で形成された光スイッチ用の光回路72と、2×2クロス光導波路A3〜D3で形成された光スイッチ用の光回路73と、光導波路で形成された光カプラ74とが設けられている。光導波路B3と光導波路C1とは直接接続され、光導波路D1と光カプラ74とは直接接続されている。平面導波路71上には、アクチュエータ部75,76が接合されている。このアクチュエータ部75,76の構成は、上記の光スイッチ用のアクチュエータ部6と同様である。
【0058】
そして、平面導波路71の光回路72とアクチュエータ部75とで2×2光スイッチ77が構成され、平面導波路71の光回路73とアクチュエータ部76とで2×1光スイッチ78が構成されている。
【0059】
このような光モジュール70において、光スイッチ77,78が共にオフのときは、光導波路A1に入力された光信号は光導波路B1から出力される。光導波路A3に入力された光信号は、光導波路B3,C1,D1を通り、光カプラ74を介して出力される。また、光スイッチ78がオフ、光スイッチ77がオンのときは、光導波路A1に入力された光信号は、光導波路D1を通り、光カプラ74を介して出力される。光スイッチ77がオフ、光スイッチ78がオンのときは、光導波路C3に入力された光信号は、光導波路B3,C1,D1を通り、光カプラ74を介して出力される。光スイッチ77,78が共にオンのときは、光導波路C3に入力された光信号は、光導波路B3,C1,B1を通って出力される。
【0060】
以上のような本実施形態の光モジュール70にあっては、光スイッチ77,78の一部を構成する光回路と光カプラ74を構成する光回路とを一つの平面導波路71に集積化したので、これらの光回路を一括して作ることができる。これにより、光スイッチ及び光カプラの製作が容易にかつ安価に行える。
【0061】
図12は、上述した光モジュール70を応用した光分岐挿入装置の一例を示したものである。
【0062】
図12において、光分岐挿入装置80は、複数の光スイッチ81からなる光スイッチアレイ82を有している。各光スイッチ81は、入力用導波路83を介して分波器(図示せず)と接続されていると共に、出力用導波路84を介して合波器(図示せず)と接続されている。また、各光スイッチ81は、Add用導波路85を介して光スイッチ86と接続されていると共に、Drop用導波路87を介して光カプラ88と接続されている。このような構成によって、波長多重化された信号の中から任意波長の信号をAdd/Dropすることができる。
【0063】
図13は、本発明に係る光モジュールの更に他の実施形態を示す概略構成図である。図中、上述した実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【0064】
図13において、本実施形態の光モジュール90は、互いに並列に配置された光スイッチ77及び光カプラ74を有し、これらの光スイッチ77及び光カプラ74が独立して使用できるように構成されている。つまり、平面導波路71には、クロス光導波路A1〜D1と光カプラ74とが並列に設けられている。そして、平面導波路71の上面には、光スイッチ77のアクチュエータ部75が接合されている。
【0065】
図14は、上述した光モジュール90を応用した光伝送装置の一例を示したものである。
【0066】
図14において、光伝送装置91は、双方向の光伝送を行うものであり、2組の光モジュール92A,92Bを有している。これらの光モジュール92A,92Bは、互いに並列に配置された光スイッチ93及び光カプラ94を有している。光モジュール92Aの光スイッチ93と光モジュール92Bの光カプラ94とは光ファイバ95,96を介して接続され、光モジュール92Aの光カプラ94と光モジュール92Bの光スイッチ93とは光ファイバ97,98を介して接続されている。
【0067】
このような光伝送装置91において、通常は、光モジュール92A,92Bの光スイッチ93が共にオン状態となっている。この状態では、光モジュール92Aに入力された光信号は、光ファイバ95を通って光モジュール92Bに送られ、光モジュール92Bに入力された光信号は、光ファイバ97を通って光モジュール92Aに送られる。一方、光ファイバ95,97に故障等が発生した場合には、光モジュール92A,92Bの光スイッチ93は共にオフ状態となる。この状態では、光モジュール92Aに入力された光信号は、光ファイバ96を通って光モジュール92Bに送られ、光モジュール92Bに入力された光信号は、光ファイバ98を通って光モジュール92Aに送られる。
【0068】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、光スイッチ用のアクチュエータ部と光可変減衰器用のアクチュエータ部とを別々のチップで構成するものとしたが、これらのアクチュエータ部を1個の同じチップとして構成してもよい。
【0069】
また、上記実施形態では、光可変減衰器を、可動ミラーによる反射光を利用する反射型としたが、可動ミラーの代わりに、スリットを有する光学素子を設け、この光学素子の透過光量を変えることで光減衰量を可変させる透過型としてもよい。このような透過型の光可変減衰器を採用する場合は、平面導波路に形成する光導波路を、2×2クロス光導波路ではなく直線導波路としてもよい。
【0070】
さらに、上記実施形態では、光スイッチ及び光可変減衰器がオフ状態のときに、光が可動ミラーで反射するような構成としたが、特にこれに限らず、光スイッチ及び光可変減衰器をオンさせたときに、可動ミラーが光反射位置に移動するような構成としてもよい。
【0071】
また、上記実施形態では、静電アクチュエータにより光スイッチ及び光可変減衰器の可動ミラーを駆動させるものとしたが、電磁力を利用して可動ミラーを駆動させる電磁アクチュエータ等を用いてもよい。
【0072】
【発明の効果】
本発明によれば、光スイッチの一部を構成する第1光回路と光可変減衰器の一部を構成する第2光回路とを有する平面導波路と、光スイッチの一部を構成する第1アクチュエータ部と光可変減衰器の一部を構成する第2アクチュエータ部とを有するアクチュエータ構造体とを接合する構成としたので、光スイッチ及び光可変減衰器を有する光モジュールを、低コストで容易に製作することができる。
【0073】
また、本発明によれば、光スイッチの一部を構成する第1光回路と光カプラを構成する第2光回路とを有する平面導波路と、光スイッチの一部を構成するアクチュエータ構造体とを接合する構成としたので、光スイッチ及び光カプラを有する光モジュールを、低コストで容易に製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光モジュールの一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】図1に示す光スイッチの平面図である。
【図3】図1に示す光スイッチの垂直方向断面図である。
【図4】図2に示すアクチュエータ部の動作状態を示す平面図である。
【図5】図1に示す光可変減衰器の平面図である。
【図6】図1に示す光可変減衰器の垂直方向断面図である。
【図7】図5に示すアクチュエータ部の動作状態を示す平面図である。
【図8】図1に示す光スイッチ及び光可変減衰器をパッケージに収納した状態を示す断面図である。
【図9】図1に示す光モジュールを応用した光分岐挿入装置の一例を示す構成図である。
【図10】本発明に係る光モジュールの他の実施形態を示す概略構成図である。
【図11】本発明に係る光モジュールの更に他の実施形態を示す概略構成図である。
【図12】図11に示す光モジュールを応用した光分岐挿入装置の一例を示す構成図である。
【図13】本発明に係る光モジュールの更に他の実施形態を示す概略構成図である。
【図14】図13に示す光モジュールを応用した光伝送装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
1…光モジュール、2…平面導波路、3…光回路(光スイッチ用の第1光回路)、4…光回路(光可変減衰器用の第2光回路)、5…アクチュエータ構造体、6…アクチュエータ部(光スイッチ用の第1アクチュエータ部)、7…アクチュエータ部(光可変減衰器用の第2アクチュエータ部)、8…光スイッチ、9…光可変減衰器、10…溝部、11…片持ち梁、13…可動ミラー、16…電極(駆動手段)、18…電圧源(駆動手段)、26…溝部、27…片持ち梁、29…可動ミラー、31…電極(駆動手段)、33…電圧源(駆動手段)、40…光分岐挿入装置、41…光モジュール、60…光モジュール、70…光モジュール、71…平面導波路、72,73…光回路(光スイッチ用の第1光回路)、74…光カプラ(光カプラ用の第2光回路)、75,76…アクチュエータ部(アクチュエータ構造体)、77,78…光スイッチ、80…光分岐挿入装置、90…光モジュール、91…光伝送装置、92A,92B…光モジュール、A1〜D1…光導波路、A2〜D2…光導波路、A3〜D3…光導波路。
Claims (10)
- 少なくとも1つの光スイッチと少なくとも1つの光可変減衰器とを有する光モジュールにおいて、
前記光スイッチの一部を構成する第1光回路と前記光可変減衰器の一部を構成する第2光回路とを有する平面導波路と、
前記平面導波路に接合され、前記光スイッチの一部を構成する第1アクチュエータ部と前記光可変減衰器の一部を構成する第2アクチュエータ部とを有するアクチュエータ構造体とを備えることを特徴とする光モジュール。 - 前記第1光回路は、前記平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、
前記第1アクチュエータ部は、前記溝部内に挿入されるように設けられ、前記光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、前記可動ミラーを移動させる駆動手段とを有することを特徴とする請求項1記載の光モジュール。 - 前記第2光回路は、前記平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、
前記第2アクチュエータ部は、前記溝部内に挿入されるように設けられ、前記光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、前記可動ミラーを移動させる駆動手段とを有することを特徴とする請求項1記載の光モジュール。 - 前記可動ミラーは、前記平面導波路上に片持ち支持された片持ち梁に取り付けられており、
前記駆動手段は、前記平面導波路上に設けられた電極と、前記片持ち梁と前記電極との間に静電気力を発生させる手段とを有することを特徴とする請求項2または3記載の光モジュール。 - 前記光スイッチ及び前記光可変減衰器は、それぞれ500μm以下の幅でアレイ状に複数配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の光モジュール。
- 少なくとも1つの光スイッチと少なくとも1つの光カプラとを有する光モジュールにおいて、
前記光スイッチの一部を構成する第1光回路と前記光カプラを構成する第2光回路とを有する平面導波路と、
前記平面導波路に接合され、前記光スイッチの一部を構成するアクチュエータ構造体とを備えることを特徴とする光モジュール。 - 前記第1光回路は、前記平面導波路に設けられた溝部を挟んでクロス状に形成された光導波路を有し、
前記アクチュエータ構造体は、前記溝部内に挿入されるように設けられ、前記光導波路を通る光を反射させる可動ミラーと、前記可動ミラーを移動させる駆動手段とを有することを特徴とする請求項6記載の光モジュール。 - 前記可動ミラーは、前記平面導波路上に片持ち支持された片持ち梁に取り付けられており、
前記駆動手段は、前記平面導波路上に設けられた電極と、前記片持ち梁と前記電極との間に静電気力を発生させる手段とを有することを特徴とする請求項7記載の光モジュール。 - 請求項1〜8のいずれか一項記載の光モジュールを備えたことを特徴とする光分岐挿入装置。
- 請求項6〜8のいずれか一項記載の光モジュールを備えたことを特徴とする光伝送装置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050623 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080408 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080805 |