JP2004036762A - 真空用ゲート弁 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力差のある空間を仕切る真空ゲート弁において、差圧による弁体の傾きを防止し、弁体と弁箱との接触による金属パーティクルの発生を少なくし、高いシール性能と高いクリーン環境を長期に亘り、良好に維持することのできる真空用ゲート弁を提供する。
【解決手段】弁体5の側面に、当板部材26,27を配設するとともに、この当板部材26,27に対応する弁体本体2側にも当板部材23,25を配設し、これら当板部材26,27にテーパ状の案内斜面29,30を設け、これら案内斜面29,30同士の当接により、弁閉状態にある前記弁体5を弁箱本体2内で支持するようにしたことを特徴としている。
【選択図】 図3
【解決手段】弁体5の側面に、当板部材26,27を配設するとともに、この当板部材26,27に対応する弁体本体2側にも当板部材23,25を配設し、これら当板部材26,27にテーパ状の案内斜面29,30を設け、これら案内斜面29,30同士の当接により、弁閉状態にある前記弁体5を弁箱本体2内で支持するようにしたことを特徴としている。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等に使用される真空用ゲート弁に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチングなどのワークの加工、処理などが行われている。
これらに使用される真空用ゲート弁は、例えば、図5に示したような構造を有している。すなわち、真空用ゲート弁31は、弁箱本体32内に弁体36が軸34により直線的に移動自在に配置され、その先端部36aと基端部36bとには、シール部材37が装着されている。このシール部材37は、図6に示したように、長細い環状のシール部材を、波線位置から両側に押し開いた姿勢で使用されるものである。そして、このような弁体36が軸34を介して直線移動されることにより、ゲート開口部33a,33b間が開放されたり、遮断されたりする。
【0003】
そして、このような真空用ゲート弁31は、例えば、半導体製造装置などに組み込まれ、ゲート開口部33aが大気側に、ゲート開口部33bが減圧側にそれぞれ接続されて使用される(例えば、特公平6−50148号公報参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、今、真空用ゲート弁31において、ゲート開口部33a,33b間が、図5に示したように遮断されている。このとき、弁体36は、大気に連通したゲート開口部33a側からの圧力で、ゲート開口部33b側に押圧され、その結果、弁体36の側面36cが、弁箱本体32の内壁面32aなどに密着されてしまうことがある。
【0005】
この際、弁箱および弁体に傷が付き、金属パーティクルの発生原因となる。さらに、弁体が傾くことでシール部材の転動や磨耗が発生し、充分なシール性を得られないという問題があった。
また、このような状態から、弁体36を、図5の下方、すなわち弁が開く方向に移動させる場合は、ゲート開口部33a,33b側に差圧のない環境にて弁体36が移動するため、通常、弁体36は、軸34により一旦、図の左方に引き戻されてから内壁面32aに接触することなく、図5に示す位置にて開閉移動される。
【0006】
さらに、開口部の横方向の長さが600mm以上にもなる大型の真空用ゲート弁31では、重く、長い弁体36を移動させるため、弁板の駆動軌道に多少のずれが生じやすく、弁体36の側面36cが、内壁面32aとの摺接により傷つけられてしまうという問題があった。
しかも、このような弁体36と弁箱本体32とは、ともにアルミニウムなどの金属から形成されているため、金属パーティクルが発生するという問題があった。
【0007】
本発明はこのような実情に鑑み、弁体の傾きを防止し、高いシール性能を維持するとともに、弁体と弁箱本体との接触による金属パーティクルの発生をなくし、長期間使用されたとしても、高いクリーン環境を良好に維持することのできる真空用ゲート弁を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、
略箱形状の弁箱本体に、貫通してゲート開口部が形成されるとともに、このゲート開口部を横断する方向に弁体を移動させるための溝が、前記ゲート開口部と直交する方向に形成されており、前記弁体を取り付けた軸が前記ゲート開口部側へ直線運動することにより、この軸に取り付けられた前記弁体が、前記溝に沿って前記ゲート開口部を横断する方向に移動されるとともに、前記弁体が所定距離移動されて前記ゲート開口部が閉塞される最終到達部に達したときに、前記弁体の外周に取り付けられたシール部材が、前記弁箱本体内のシール座面に当接し、この当接により、前記ゲート開口部が遮断される真空用ゲート弁であって、
前記弁体の側面に、テーパ状の案内斜面を備えた当板部材を配設するとともに、前記弁箱本体の前記溝内に、同じくテーパ状の案内斜面を備えた当板部材を配設し、前記弁体側の当板部材と前記弁箱本体側の当板部材との当接により、弁閉状態において、前記弁体を支持するようにしたことを特徴としている。
【0009】
係る構成による本発明の真空用ゲート弁では、差圧のある環境下で、大気圧側からの圧力により、弁体が真空室側に押圧されたときに、当接部材が弁体の傾きを押さえることができ、シール部材の転動や磨耗の発生を最小限に抑えることができるので、シール性能が低下することはない。また、弁箱と弁体との接触を防止することができる。
さらに、当接部材同士がテーパ面で当接されるため、弁体移動時に速やかに離反し、パーティクルの発生を可及的に少なくすることができる
ここで、前記弁体側の前記当板部材と、前記弁箱本体側の前記当板部材のうちの少なくとも一方の当板部材は、樹脂により形成されていることが好ましい。
【0010】
このような構成であれば、高硬度の金属同士の接触が無くなるので、金属パーティクルの発生をなくすることができる。
さらに、前記弁体側の当板部材と前記弁箱本体側の当板部材との当接面は、前記溝の内壁面より内方に突出して配置されていることが好ましい。
このような構成であれば、弁体の弁箱本体との接触をなくし、弁体の傾きを可及的に少なくすることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
図1は、本発明の一実施例に係る真空用ゲート弁の概略分解斜視図で、図2はその概略断面図である。
真空用ゲート弁1は、略箱形状の弁箱本体2と、サイドプレート3と、弁箱本体2の下端開口を覆うボンネットフランジ部材4と、軸6に支持された長形の弁体5、とから構成されている。
【0012】
弁箱本体2のサイドプレート3が装着される一方の長側壁8と他方の長側壁8との間には、略矩形状のゲート開口部9a,9bが貫通して形成されている。
弁箱本体2内には、ゲート開口部9a,9bを上下に挟む態様で図の上方側に上方シール座面11が、図の下方側に下方シール座面16が形成され、これらのシール座面11,16は、段違いではあっても、変形した環になるように、連続して形成されている。これにより、箱形弁箱本体2内部には、上方シール座面11から下方シール座面16に至るまでの、連続したシール座面が構成されている。なお、弁体5の先端部5aが当接されるシール座面11は、図2の断面図で明らかなように、溝21内に構成されている。
【0013】
また、弁体5は、先端部5a側の幅が細く、基端部5b側の幅が太く形成されることにより、この弁体5が移動したときに、先端部5aおよび基端部5bが、上記した上方シール座面11および下方シール座面16にそれぞれ当接する。
弁体5の先端部5aならびに基端部5bには、図6に示したシール部材37と同じ形状を備えたシール部材13が装着されている。
【0014】
そして、このようなシール部材13を備えた弁体5が、図2の下方から軸6に案内されて図の上方に移動されると、シール部材13が、上方シール座面11ならびに下方シール座面16に当接され、これにより、弁箱本体2のゲート開口部9a,9b間の流通が遮断されることになる。
ところで、本実施例による真空用ゲート弁1では、弁箱本体2の溝21内の両壁面に、一対の当板部材23,23と、一対の当板部材25,25がそれぞれネジ止めなどにより取り付けられている。これらの当板部材23、25は、略同じ形状に形成されている。
【0015】
また、弁体5にも、当板部材26と当板部材27とがネジ止めなどにより取り付けられている。これらの当板部材26と当板部材27も、略同じ形状に形成されている。この当板部材23,26および25,27同士は、ゲート開口部が閉じられた状態で、0.1〜数ミリの隙間をもって配置されている。当板部材23の端面には、テーパ状の案内斜面29が形成され、当板部材23に対向する当板部材26には、テーパ状の案内斜面30が形成されている。当板部材26,27も同様にテーパ状の案内斜面29,30が形成されている。
【0016】
このような構成によれば、ゲート開口部が遮断され、仮にゲート開口部9a側が減圧室側に、ゲート開口部9b側が大気側に接続し、弁体5がゲート開口部9a側に強く押圧された際、当板部材23と当板部材26が、当接部材25と当接部材27とが、それぞれテーパ状の案内斜面29,30同士で係合するため、ゲートが開口する際、摺動がない状態で当板同士が離反し、パーティクルの発生を抑えることができる。
【0017】
しかも、これらの当板部材23,26は、それぞれ溝21の内方に若干、突出して配置されている。したがって、弁体5が差圧により押圧されたとしても、弁体の傾きを防止することができ、弁体5の両側面5c、5dが弁箱本体2の溝21の内面に衝突することはない。
このような当板部材23,26、25,27は、樹脂あるいは金属のいずれかから形成されるが、樹脂から形成される場合は、PTFE,PEEK,PIなどが好ましい。また、金属から形成される場合は、アルミあるいはSUSなどが好ましい。当板部材23,26,25,27は、同じ材質から形成されていることが好ましいが、別の材質であってもかまわない。しかしながら、金属同士の組み合わせでないことが必要である。好ましい組み合わせとしては、樹脂と金属、あるいは樹脂と樹脂である。このような組み合わせで、いずれかの当板部材が形成されていれば、金属パーティクルの発生を可及的になくすことができる。
【0018】
また、弁体5側に取り付けられる当板部材26、27の案内斜面30は、若干円弧状に外方に膨出して形成されていてもよい。
このように、当板部材23、25、ならびに当板部材26,27が、若干溝21の内方に突出して配置されていれば、弁体5が弁箱本体2側面部分と当接することを可及的に防止することができる。
【0019】
また、弁体5と弁箱本体2との上下段に配置される当板部材、例えば当板部材26,25あるいは当板部材23,27同士は、互いに干渉し合わないような構成である。すなわち、図3に示したように、当板部材26,27を上下段で重なり合わないように配置したり、図4に示したように、弁板5および弁箱本体2に段差dを設けて上記当板部材26,25が当接しないように設置することが好ましい。
【0020】
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。
例えば、弁箱本体2の形状、弁体5の形状などは、上記実施例に何ら限定されない。
【0021】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明に係る真空用ゲート弁によれば、ゲート開口部の上流側および下流側との間の差圧により、例えば、大気圧側からの圧力により、弁体が真空室側に押圧されたときに、弁体は全面接触ではなく、当板部材のテーパ面と当板部材のテーパ面との当接で保持されるため、弁体の傾き、移動を防止することができる。したがって、シール部材の転動や磨耗の発生を最小限に抑えることができるので、シール性能が低下することはない。
【0022】
さらに、弁板と弁箱が接触することが無く、金属パーティクルの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の一実施例による真空用ゲート弁の分解斜視図である。
【図2】図2は図1を組み付けたときの要部断面図である。
【図3】図3は本発明の他実施例を示すもので、弁体と当板部材の位置関係を示す弁体の概略正面図である。
【図4】図4は本発明のさらに他の実施例を示すもので、弁体と当板部材との位置関係を示す断面図である。
【図5】図5は従来の真空用ゲート弁の断面図である。
【図6】図6は従来の真空用ゲート弁に使用されたシール部材の部分斜視図である。
【符号の説明】
1 真空用ゲート弁
2 弁箱本体
5 弁体
6 軸
7 短側壁
8 長側壁
9a,9b ゲート開口部
11,16 シール座面
13 シール部材
23,25,26,27 当板部材
29,30 案内斜面
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等に使用される真空用ゲート弁に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチングなどのワークの加工、処理などが行われている。
これらに使用される真空用ゲート弁は、例えば、図5に示したような構造を有している。すなわち、真空用ゲート弁31は、弁箱本体32内に弁体36が軸34により直線的に移動自在に配置され、その先端部36aと基端部36bとには、シール部材37が装着されている。このシール部材37は、図6に示したように、長細い環状のシール部材を、波線位置から両側に押し開いた姿勢で使用されるものである。そして、このような弁体36が軸34を介して直線移動されることにより、ゲート開口部33a,33b間が開放されたり、遮断されたりする。
【0003】
そして、このような真空用ゲート弁31は、例えば、半導体製造装置などに組み込まれ、ゲート開口部33aが大気側に、ゲート開口部33bが減圧側にそれぞれ接続されて使用される(例えば、特公平6−50148号公報参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、今、真空用ゲート弁31において、ゲート開口部33a,33b間が、図5に示したように遮断されている。このとき、弁体36は、大気に連通したゲート開口部33a側からの圧力で、ゲート開口部33b側に押圧され、その結果、弁体36の側面36cが、弁箱本体32の内壁面32aなどに密着されてしまうことがある。
【0005】
この際、弁箱および弁体に傷が付き、金属パーティクルの発生原因となる。さらに、弁体が傾くことでシール部材の転動や磨耗が発生し、充分なシール性を得られないという問題があった。
また、このような状態から、弁体36を、図5の下方、すなわち弁が開く方向に移動させる場合は、ゲート開口部33a,33b側に差圧のない環境にて弁体36が移動するため、通常、弁体36は、軸34により一旦、図の左方に引き戻されてから内壁面32aに接触することなく、図5に示す位置にて開閉移動される。
【0006】
さらに、開口部の横方向の長さが600mm以上にもなる大型の真空用ゲート弁31では、重く、長い弁体36を移動させるため、弁板の駆動軌道に多少のずれが生じやすく、弁体36の側面36cが、内壁面32aとの摺接により傷つけられてしまうという問題があった。
しかも、このような弁体36と弁箱本体32とは、ともにアルミニウムなどの金属から形成されているため、金属パーティクルが発生するという問題があった。
【0007】
本発明はこのような実情に鑑み、弁体の傾きを防止し、高いシール性能を維持するとともに、弁体と弁箱本体との接触による金属パーティクルの発生をなくし、長期間使用されたとしても、高いクリーン環境を良好に維持することのできる真空用ゲート弁を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、
略箱形状の弁箱本体に、貫通してゲート開口部が形成されるとともに、このゲート開口部を横断する方向に弁体を移動させるための溝が、前記ゲート開口部と直交する方向に形成されており、前記弁体を取り付けた軸が前記ゲート開口部側へ直線運動することにより、この軸に取り付けられた前記弁体が、前記溝に沿って前記ゲート開口部を横断する方向に移動されるとともに、前記弁体が所定距離移動されて前記ゲート開口部が閉塞される最終到達部に達したときに、前記弁体の外周に取り付けられたシール部材が、前記弁箱本体内のシール座面に当接し、この当接により、前記ゲート開口部が遮断される真空用ゲート弁であって、
前記弁体の側面に、テーパ状の案内斜面を備えた当板部材を配設するとともに、前記弁箱本体の前記溝内に、同じくテーパ状の案内斜面を備えた当板部材を配設し、前記弁体側の当板部材と前記弁箱本体側の当板部材との当接により、弁閉状態において、前記弁体を支持するようにしたことを特徴としている。
【0009】
係る構成による本発明の真空用ゲート弁では、差圧のある環境下で、大気圧側からの圧力により、弁体が真空室側に押圧されたときに、当接部材が弁体の傾きを押さえることができ、シール部材の転動や磨耗の発生を最小限に抑えることができるので、シール性能が低下することはない。また、弁箱と弁体との接触を防止することができる。
さらに、当接部材同士がテーパ面で当接されるため、弁体移動時に速やかに離反し、パーティクルの発生を可及的に少なくすることができる
ここで、前記弁体側の前記当板部材と、前記弁箱本体側の前記当板部材のうちの少なくとも一方の当板部材は、樹脂により形成されていることが好ましい。
【0010】
このような構成であれば、高硬度の金属同士の接触が無くなるので、金属パーティクルの発生をなくすることができる。
さらに、前記弁体側の当板部材と前記弁箱本体側の当板部材との当接面は、前記溝の内壁面より内方に突出して配置されていることが好ましい。
このような構成であれば、弁体の弁箱本体との接触をなくし、弁体の傾きを可及的に少なくすることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
図1は、本発明の一実施例に係る真空用ゲート弁の概略分解斜視図で、図2はその概略断面図である。
真空用ゲート弁1は、略箱形状の弁箱本体2と、サイドプレート3と、弁箱本体2の下端開口を覆うボンネットフランジ部材4と、軸6に支持された長形の弁体5、とから構成されている。
【0012】
弁箱本体2のサイドプレート3が装着される一方の長側壁8と他方の長側壁8との間には、略矩形状のゲート開口部9a,9bが貫通して形成されている。
弁箱本体2内には、ゲート開口部9a,9bを上下に挟む態様で図の上方側に上方シール座面11が、図の下方側に下方シール座面16が形成され、これらのシール座面11,16は、段違いではあっても、変形した環になるように、連続して形成されている。これにより、箱形弁箱本体2内部には、上方シール座面11から下方シール座面16に至るまでの、連続したシール座面が構成されている。なお、弁体5の先端部5aが当接されるシール座面11は、図2の断面図で明らかなように、溝21内に構成されている。
【0013】
また、弁体5は、先端部5a側の幅が細く、基端部5b側の幅が太く形成されることにより、この弁体5が移動したときに、先端部5aおよび基端部5bが、上記した上方シール座面11および下方シール座面16にそれぞれ当接する。
弁体5の先端部5aならびに基端部5bには、図6に示したシール部材37と同じ形状を備えたシール部材13が装着されている。
【0014】
そして、このようなシール部材13を備えた弁体5が、図2の下方から軸6に案内されて図の上方に移動されると、シール部材13が、上方シール座面11ならびに下方シール座面16に当接され、これにより、弁箱本体2のゲート開口部9a,9b間の流通が遮断されることになる。
ところで、本実施例による真空用ゲート弁1では、弁箱本体2の溝21内の両壁面に、一対の当板部材23,23と、一対の当板部材25,25がそれぞれネジ止めなどにより取り付けられている。これらの当板部材23、25は、略同じ形状に形成されている。
【0015】
また、弁体5にも、当板部材26と当板部材27とがネジ止めなどにより取り付けられている。これらの当板部材26と当板部材27も、略同じ形状に形成されている。この当板部材23,26および25,27同士は、ゲート開口部が閉じられた状態で、0.1〜数ミリの隙間をもって配置されている。当板部材23の端面には、テーパ状の案内斜面29が形成され、当板部材23に対向する当板部材26には、テーパ状の案内斜面30が形成されている。当板部材26,27も同様にテーパ状の案内斜面29,30が形成されている。
【0016】
このような構成によれば、ゲート開口部が遮断され、仮にゲート開口部9a側が減圧室側に、ゲート開口部9b側が大気側に接続し、弁体5がゲート開口部9a側に強く押圧された際、当板部材23と当板部材26が、当接部材25と当接部材27とが、それぞれテーパ状の案内斜面29,30同士で係合するため、ゲートが開口する際、摺動がない状態で当板同士が離反し、パーティクルの発生を抑えることができる。
【0017】
しかも、これらの当板部材23,26は、それぞれ溝21の内方に若干、突出して配置されている。したがって、弁体5が差圧により押圧されたとしても、弁体の傾きを防止することができ、弁体5の両側面5c、5dが弁箱本体2の溝21の内面に衝突することはない。
このような当板部材23,26、25,27は、樹脂あるいは金属のいずれかから形成されるが、樹脂から形成される場合は、PTFE,PEEK,PIなどが好ましい。また、金属から形成される場合は、アルミあるいはSUSなどが好ましい。当板部材23,26,25,27は、同じ材質から形成されていることが好ましいが、別の材質であってもかまわない。しかしながら、金属同士の組み合わせでないことが必要である。好ましい組み合わせとしては、樹脂と金属、あるいは樹脂と樹脂である。このような組み合わせで、いずれかの当板部材が形成されていれば、金属パーティクルの発生を可及的になくすことができる。
【0018】
また、弁体5側に取り付けられる当板部材26、27の案内斜面30は、若干円弧状に外方に膨出して形成されていてもよい。
このように、当板部材23、25、ならびに当板部材26,27が、若干溝21の内方に突出して配置されていれば、弁体5が弁箱本体2側面部分と当接することを可及的に防止することができる。
【0019】
また、弁体5と弁箱本体2との上下段に配置される当板部材、例えば当板部材26,25あるいは当板部材23,27同士は、互いに干渉し合わないような構成である。すなわち、図3に示したように、当板部材26,27を上下段で重なり合わないように配置したり、図4に示したように、弁板5および弁箱本体2に段差dを設けて上記当板部材26,25が当接しないように設置することが好ましい。
【0020】
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。
例えば、弁箱本体2の形状、弁体5の形状などは、上記実施例に何ら限定されない。
【0021】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明に係る真空用ゲート弁によれば、ゲート開口部の上流側および下流側との間の差圧により、例えば、大気圧側からの圧力により、弁体が真空室側に押圧されたときに、弁体は全面接触ではなく、当板部材のテーパ面と当板部材のテーパ面との当接で保持されるため、弁体の傾き、移動を防止することができる。したがって、シール部材の転動や磨耗の発生を最小限に抑えることができるので、シール性能が低下することはない。
【0022】
さらに、弁板と弁箱が接触することが無く、金属パーティクルの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の一実施例による真空用ゲート弁の分解斜視図である。
【図2】図2は図1を組み付けたときの要部断面図である。
【図3】図3は本発明の他実施例を示すもので、弁体と当板部材の位置関係を示す弁体の概略正面図である。
【図4】図4は本発明のさらに他の実施例を示すもので、弁体と当板部材との位置関係を示す断面図である。
【図5】図5は従来の真空用ゲート弁の断面図である。
【図6】図6は従来の真空用ゲート弁に使用されたシール部材の部分斜視図である。
【符号の説明】
1 真空用ゲート弁
2 弁箱本体
5 弁体
6 軸
7 短側壁
8 長側壁
9a,9b ゲート開口部
11,16 シール座面
13 シール部材
23,25,26,27 当板部材
29,30 案内斜面
Claims (3)
- 略箱形状の弁箱本体に、貫通してゲート開口部が形成されるともに、このゲート開口部を横断する方向に弁体を移動させるための溝が、前記ゲート開口部と直交する方向に形成されており、前記弁体を取り付けた軸が前記ゲート開口部側へ直線運動することにより、この軸に取り付けられた前記弁体が、前記溝に沿って前記ゲート開口部を横断する方向に移動されるとともに、前記弁体が所定距離移動されて前記ゲート開口部が閉塞される最終到達部に達したときに、前記弁体の外周に取り付けられたシール部材が、前記弁箱本体内のシール座面に当接し、この当接により、前記ゲート開口部が遮断される真空用ゲート弁であって、
前記弁体の側面に、テーパ状の案内斜面を備えた当板部材を配設するとともに、前記弁箱本体の前記溝内に、同じくテーパ状の案内斜面を備えた当板部材を配設し、前記弁体側の当板部材と前記弁箱本体側の当板部材との当接により、弁閉状態において、前記弁体を支持するようにしたことを特徴とする真空用ゲート弁。 - 前記弁体側の前記当板部材と、前記弁箱本体側の前記当板部材のうちの少なくとも一方の当板部材は、樹脂により形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空用ゲート弁。
- 前記弁体側の当板部材と前記弁箱本体側の当板部材との当接面は、前記溝の内壁面より内方に突出して配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空用ゲート弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002194764A JP2004036762A (ja) | 2002-07-03 | 2002-07-03 | 真空用ゲート弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002194764A JP2004036762A (ja) | 2002-07-03 | 2002-07-03 | 真空用ゲート弁 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004036762A true JP2004036762A (ja) | 2004-02-05 |
Family
ID=31703377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002194764A Withdrawn JP2004036762A (ja) | 2002-07-03 | 2002-07-03 | 真空用ゲート弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004036762A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012072888A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-12 | V Tex:Kk | バルブ装置 |
-
2002
- 2002-07-03 JP JP2002194764A patent/JP2004036762A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012072888A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-12 | V Tex:Kk | バルブ装置 |
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