JP2004022115A - ヘッドスライダ - Google Patents
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Abstract
【課題】磁気ヘッドスライダそのものの大きさを小型化することなく、磁気ディスクの使用可能な記録領域を広げ、かつ良好な磁気ディスクへの追従性を得る。
【解決手段】ディスク対向面4は、空気流入端2から続く浮上特性には影響を与えない溝部7と浮上特性を持つ浮上面5からなり、この浮上面5は、溝部7より空気流出端3側に位置するステップ軸受け面8aと、レール面6a,6bと、負圧溝9とから構成される。
【選択図】 図1
【解決手段】ディスク対向面4は、空気流入端2から続く浮上特性には影響を与えない溝部7と浮上特性を持つ浮上面5からなり、この浮上面5は、溝部7より空気流出端3側に位置するステップ軸受け面8aと、レール面6a,6bと、負圧溝9とから構成される。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク装置に使用するヘッドスライダに係わり、特にヘッドスライダ自体の大きさを小型化することなく、ディスクへの追従性を向上させたヘッドスライダに関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気ディスク装置の様な回転型記録媒体を用いた記録装置の大容量化を図るためには、媒体の記録密度の増加、及び媒体の記録領域を広く確保することが必要である。また、高記録密度化のためには、ヘッドを備えたヘッドスライダと回転する媒体との間の隙間として定義される浮上量を狭小化し浮上量を常に一定に保つことが重要である。浮上量を常に一定に保つためには、媒体表面に様々な要因で存在している粗さやうねりに対するヘッドスライダの追従性能の向上が必須である。
【0003】
媒体上に存在する粗さやうねりとしては、例えば、アトミック・フォース・マイクロスコープ(AFM)を用いて測定される波長が数μm以下、高さが数nm以下の微少粗さ成分や、レーザー・ドップラー振動計(LDV)で測定される波長が数十μmから1mm程度、高さが数nmの微少うねり(マイクロ・ウエーブネス)成分、そして、波長が数mmから数十mmのランナウト成分などがある。
【0004】
微少粗さ成分と微少うねり成分は、主に媒体の基板材料そのものの粗さやラッピング加工時の加工痕などからなる。また、ランナウト成分は媒体をクランプする時の歪みから生じる。ヘッドスライダは、これらいずれの波長成分に対してもできるだけ追従できることが望ましく、もし追従できない成分が大きくなれば、媒体と接触し易くなるということを意味する。
【0005】
ヘッドスライダの媒体への追従性能を向上させ、かつ磁気ディスクの記録領域をできるだけ広く確保するために、ヘッドスライダの大きさを小型化することが有効である。現在用いられている「ピコスライダ」と一般に呼称されるヘッドスライダの大きさは、長さが1.25mm、幅が1.0mm、厚さが0.3mmである。
【0006】
特開2000−285412公報では、長さを1mm〜3mm、幅を1mm〜2.5mm厚みを0.65mm以下とすることで、安定した浮上特性を得られる磁気ヘッドスライダを開示している。
【0007】
特開平11−149734公報では、長さを1.25mm以下、幅を1.0mm以下、重さを1.6mg以下とすることで、良好な磁気ディスクへの追従性を得られる磁気ヘッドスライダの構造を開示している。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
前述した参考例の様に、ヘッドスライダそのものの大きさを小型化することにより、ヘッドスライダの媒体への追従性能が向上する。また、ヘッドスライダの小型化によって、媒体の使用可能な記録領域も広がる。しかし、ヘッドスライダの大きさを、これ以上小型化すると、ヘッドスライダの浮上面加工を行う際の取り扱い単位であるローバー(スライダが横方向に並んでつながった状態のバー)が、薄く、細くなる。薄く、細くなるとローバーの曲がりやうねりが増加し、浮上面の研磨加工精度が劣化したり、ミリング加工のためのマスクアラインメント精度が大幅に劣化したりする。
【0009】
また、小型化によりスライダ単品となったときの取り扱い性が悪くなる。例えば、ヘッドスライダのサスペンションへの取りつけが難しくなることで、取りつけ位置のばらつきが生じる。そして取り付け位置がばらつくことから、安定した浮上特性が得られなくなるという問題が発生する。
【0010】
これら原因により、ピコスライダよりも小型なヘッドスライダを採用するに際しては、この点についての改善が要望されていた。
【0011】
本発明は、この改善に関するものであり、ディスク使用領域を広げ、取り扱い性能と媒体のうねりや粗さへの追従性能に優れた、ヘッドスライダを提供することを可能とした発明である。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明のヘッドスライダは、媒体上を浮上する圧力を発生・調節する浮上面と、この浮上面の空気流入側に設けられた溝部とから構成される。
【0013】
具体的には、空気流入端から連続して形成された溝部と、この溝部から連続形成されたフロントステップ軸受けと、このフロントステップ軸受けから連続形成されたレール面と、このレール面の空気流出端側に形成されフロントステップより深く前記溝部よりも浅い負圧溝とからなる浮上面とからなるヘッドスライダとする。
【0014】
或いは、空気流入端から連続形成されたフロントステップ軸受けと、このフロントステップ軸受けから連続形成されたレール面と、このレール面の空気流出端側に形成されフロントステップより深い負圧溝とからなる浮上面と、この浮上面の空気流出端側に形成された負圧溝よりも深い溝部とからなるヘッドスライダとする。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態に係るヘッドスライダとして磁気抵抗効果素子(磁気ヘッド)を搭載した磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダを用いた磁気ディスク装置について、図面を用いて以下説明する。図1は本発明による磁気ヘッドスライダの第1の実施形態を示す平面図、図2は図1の磁気ヘッドスライダの側面図である。
【0016】
図示するように、磁気ヘッドスライダ1は、記録媒体である磁気ディスク上を浮上する際に磁気ディスクの回転に伴う空気流が流れ込んでくる側の空気流入端2、この空気流入端2の風下側になる空気が流出する側の空気流出端3、磁気ディスクと対向するディスク対向面4を備えて構成される。ディスク対向面4は空気流入端2から続く溝部7と浮上面5を備えて構成される。
【0017】
ここで浮上面5は、溝部7より空気流出端3側に位置する。そして正圧を発生する流入側レール面6a,6bと、この流入側レール面6a,6bを囲む様に形成され、流入側レール面6a,6bで発生する正圧の量を調整するステップ軸受け面8aと、ステップ軸受け面8aに空気流入側を囲まれ負圧を発生する負圧溝9と、空気流出端3近傍に形成され、磁気ディスクに情報を記録し、または磁気ディスクに記録された情報を読み取る磁気ヘッド10を備えたセンタレール6cと、このセンタレール6cで発生する正圧を調整するステップ軸受け8bとから構成される。溝部7は浮上面5の両側において、空気流入端2から空気流出端3まで至るように形成されている。
【0018】
尚、負圧溝9は、ステップ軸受け面8aが流入側レール面6a,6bを囲んでいない場合には、ステップ軸受け面8aと流入側レール面6a,6bとに空気流入側を囲まれた形状となる。また、ステップ軸受け8bは、センタレール6cで正圧を発生する様にすれば良いので、少なくともセンタレール6cの空気流入側2に形成していればよい。
【0019】
図1の磁気ヘッドスライダ1の長さL1は1.25mm、幅W1は1.0mm、厚さtは0.3mmであり、所謂ピコスライダと呼ばれるサイズである。
【0020】
流入側レール面6a,6bとセンタレール6cとは、ほぼ同一平面内にある。ステップ軸受け面8a,8bもほぼ同一平面内にある。レール面6a,6b,6cからステップ軸受け面8a,8bの深さd1は150nm、レール面6a、6b、6cから負圧溝9の深さd2は1μm(1,000nm)であり、レール面6a、6b、6cから溝部7の深さd3は40μm(40,000nm)である。
【0021】
ステップ軸受け面8a、8bや負圧溝9の加工は、深さの精度が要求されることから、イオンミリングあるいはリアクティブ・イオン・エッチング(RIE)等の加工法により形成される。一方、溝部7は、浮上力が発生しない程度に十分深ければ(例えば30μm〜)よい。このように溝部7は浮上力を発生しない深さでかつ、強度的に十分な厚さであればよいので、その加工に際し、深さ及び表面粗さに浮上面5程の精度を必要としない。つまり、溝部7は浮上面5よりも表面が粗くてかまわないし、レール面6(フロントステップ軸受け面8a)からの深さも厳密ではない。よって、浮上面5と同様にエッチング加工で形成せずに、機械加工により形成してもよい。
【0022】
第1実施形態の大きな特徴は、磁気ヘッドスライダ1自体の長さL1をピコスライダと同じ1.25mmとしながら、浮上力を生じない十分な深さを有する溝部7を空気流入端2側と、浮上面5の両側面に設けたことにある。そして、浮上面5の長さL2をピコスライダよりも短く、幅W2をピコスライダよりも狭くしたことにある。
【0023】
より具体的には、空気流入端2から浮上面5までの長さが0.4mmの溝部7を形成し、この溝部7から続くステップ軸受け面8aから空気流出端3までの長さL2が0.85mm、幅W2が0.7mmという、所謂フェムトスライダのサイズの浮上面5を形成した。
【0024】
以下に、このような構成とすることで、磁気ディスクの使用可能な記録領域を広げ、磁気ヘッドスライダの取り扱い性を損なうことなく、磁気ディスクへの良好な追従性能を得ることができる理由を説明する。
【0025】
図3は通常のピコスライダが、磁気ディスク11の最外周側を浮上したときの両者の位置関係を説明するために、磁気ヘッドスライダを空気流出端3側から見た図である。図4は本発明の磁気ヘッドスライダ1が、磁気ディスク11の最外周側を浮上したときの両者の位置関係を説明するために、本発明の磁気ヘッドスライダ1を空気流出端3側から見た図である。
【0026】
磁気ヘッドスライダ1がディスク上で浮上するためには、磁気ヘッドスライダ1のディスク外周側のレール面6aが、回転する磁気ディスク11上にある必要がある。そのため、図3に示すピコスライダでは、磁気ヘッド10を磁気ヘッドスライダ1の中央に構成したセンタレール方式の場合、磁気ヘッドスライダ1を磁気ディスク11の最外周側まで移動させた際に、磁気ヘッド10は、磁気ディスク11の最外周からW1/2だけ内周側に配置される。この磁気ヘッド10の位置よりも外側の領域については記録再生を行うことができず、この領域を有効に使うことはできない。
【0027】
一方、本発明の第1実施形態の磁気ヘッドスライダ1では、磁気ヘッドスライダ1のそのものの幅はピコスライダの幅W1と同じであるが、浮上力を発生しないほどに十分な深さを有する溝部7を磁気ヘッドスライダ1のディスク外周側に形成したので、浮上面5の幅W2を一般的な磁気ヘッドスライダの浮上面の幅W1よりも狭くできる。そのため、磁気ヘッドスライダ1を、磁気ディスク11のより外周側に移動することができ、一般的な磁気ヘッドスライダを用いた場合と比較して、磁気ヘッド10を(W1−W2)/2分だけ磁気ディスク11の外周側まで配置させることができる。
【0028】
従って、本実施形態の磁気ヘッドスライダ1用いることで、磁気ディスク11の使用可能な記録領域を広げることができ、磁気ディスク11の面積を有効に使うことができる。とりわけ、小径の磁気ディスクを用いて磁気記録を行う際には、記録領域を少しでも広く確保する必要があるため、この効果は重大である。
【0029】
もちろんこの効果は浮上面5の幅W2に依存しているので、磁気ヘッド10を磁気ヘッドスライダ1の中央部以外に形成した場合にも有効なことは言うまでもない。また、溝部7を浮上面5の両側に空気流入端2から空気流出端3まで至るように形成する代わりに、左右いずれか一方側に浮上面5を寄せても良い。その場合でもW2の幅は変わらないので図1に示した形状と同じ効果を奏することが出来る。
【0030】
次に、本発明による磁気ヘッドスライダ1が磁気ディスク11への良好な追従性を得られる理由について説明する。磁気ヘッドスライダ1が追従できる磁気ディスク11の最小波長は、磁気ヘッドスライダ1の圧力発生部である浮上面5の幾何学的寸法によっておおよそ制限される。このことから、磁気ディスクの短い波長成分に、磁気ヘッドスライダ1を追従させるためには、磁気ヘッドスライダ1の小型化が必須である。とりわけ、スライダ長(1.25mm)より短い0.1mmから1mm程度の微少うねり(マイクロ・ウエーブネス)と呼ばれる磁気ディスク波長成分への追従性能を向上させるためには、磁気ディスク面に接近する浮上面5の長さを短くすることが必要である。つまり溝部7は、空気流入端2側のみではなく、空気流出端3側のみや空気流入端2側及び空気流出端3側の双方にあってもよい。
【0031】
図5は一般的なピコスライダと磁気ディスク11が、磁気ディスク装置内で稼動した時に、両者の位置関係を説明するための図である。図6は本発明の磁気ヘッドスライダ1と磁気ディスク11が、磁気ディスク装置内で稼動した時に、両者の位置関係を説明するための図である。
【0032】
一般的なピコスライダでは、磁気ヘッドスライダ1の長さL1と浮上面の長さが同じであり、スライダ長L1より短い波長λのディスクうねりに対して、十分に追従することができない。一方、本発明の第1実施形態の磁気ヘッドスライダでは、磁気ヘッドスライダそのものの長さは、ピコスライダの長さL1と同じであるが、浮上力を発生しないほどに十分な深さを有する溝部7を、空気流入端2側に形成したので、浮上面5の長さL2が一般的な磁気ヘッドスライダの浮上面の長さL1よりも短くできる。
【0033】
従って、図5に示した例では十分に追従することが出来なかった波長λのディスクうねりも、本実施形態の磁気ヘッドスライダ4を用いれば追従することが出来るようになる。そのため、磁気ディスク装置の信頼性を保ちつつ浮上量を狭小化することができる。
【0034】
上述したように、第1実施例の磁気ヘッドスライダ4により、磁気ディスク11の記録領域を広くすることができ、また、磁気ヘッドスライダ4の磁気ディスク11への追従性を向上することができる。さらに、磁気ヘッドスライダ4そのものの長さL1及び幅W1は、ピコスライダの長さ及び幅にしてあることから、浮上面の研磨加工精度が悪化することはない。
【0035】
また、磁気ヘッドスライダ4の取り扱い性も、一般的なピコスライダと同等であり、磁気ヘッドスライダ4をサスペンションに取りつける際の、取り扱いの難しさによる取りつけ精度の悪化もない。
【0036】
この効果はピコスライダサイズのスライダにフェムトスライダサイズの浮上面5を設ける構成故に奏するわけではなく、浮上面の大きさをスライダ自体の大きさよりも小さく形成すれば奏することは言うまでも無い。このスライダサイズと浮上面5のサイズは互いに規格化した大きさを用いる場合には、実施形態にて示したように、浮上面5の大きさをスライダ自体の大きさの一回り小さいサイズや二回り小さいサイズにすることが適当である。もちろん、スライダ自体と浮上面の一方を規格化したサイズとしてもよいし、どちらも規格化されていないサイズを用いても一向に差し支えない。
【0037】
図7は、本発明による第2実施形態の磁気ヘッドスライダ1の平面図である。第1実施形態では、浮上面5の大きさをピコスライダの浮上面形状を相似形で縮小したのに対し、第2実施形態では浮上面5の幅W2を第一実施形態と比較して広げている。
【0038】
このような構成とすることで、第1実施形態と比べて磁気ヘッドスライダ1の負圧溝9の面積を増やすことができ、発生する負圧力を大きくすることができるので、空気膜剛性を大きくすることができる。こうすることで、磁気ディスク11のうねりに対する追従性を更に向上させ、且つ磁気ヘッドスライダ1の高地における浮上量の低下、および加工のばらつきによる浮上量のばらつきを小さくすることができる。
【0039】
図8は本発明による第1実施形態から第2実施形態に開示した磁気ヘッドスライダ4のいずれかを備えた磁気ディスク装置12である。磁気ヘッドスライダ1はサスペンション13のジンバルバネ部に接着により取りつけられている。本磁気ディスク装置12は、ロード・アンロード機構を備え、装置停止中は磁気ヘッドスライダ1がランプ14上に待機している。装置稼動時のみ磁気ヘッドスライダ1は、磁気ディスク11上にロードされ、記録または再生を行う。また、図8ではロード・アンロード機構を備えた磁気ディスク装置を示したが、これに限ることはなくコンタクトスタート、ストップ(CSS)方式を採用している磁気ディスク装置でも構わない。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、磁気ヘッドスライダそのものの大きさを小型化しないので、浮上面の研磨加工精度等が悪化することはない。また、磁気ヘッドスライダの取り扱い性も、一般的なピコスライダと全く同じであり、磁気ヘッドスライダをサスペンションに取りつける際の、取り扱いの難しさによる取りつけ精度を損なうことなく、同時に良好な磁気ディスクへの追従性を得ることができる。
【0041】
従って、磁気ディスク装置の信頼性を保ちながら浮上量を狭小化することが可能となり、磁気ディスク装置の大容量化を実現できるという効果がある。また、データ領域を広げることができるので、磁気ディスク一面あたりの記憶容量を増やすこと、または、同一容量ならば記録密度を緩和できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態に係るスライダを示す平面図である。
【図2】第1実施形態の側面図である。
【図3】一般的なスライダが、ディスク最外周側を浮上する様子を示した図である。
【図4】本発明のスライダが、ディスク最外周側を浮上する様子を示した図である。
【図5】一般的なスライダが磁気ディスク上を追従する様子を示した図である。
【図6】本発明のスライダが磁気ディスク上を追従する様子を示した図である
【図7】第2実施形態に係るスライダを示す平面図である。
【図8】本発明によるスライダを備えた磁気ディスク装置を示す図である。
【符号の説明】
1…磁気ヘッドスライダ、2…空気流入端、3…空気流出端、4…ディスク対向面、5…浮上面、6a,6b,6c…レール面、7…溝部、8a,8b…ステップ軸受け面、9…負圧溝、10…磁気ヘッド、11…磁気ディスク、12…磁気ディスク装置、13…サスペンション、14…ランプ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク装置に使用するヘッドスライダに係わり、特にヘッドスライダ自体の大きさを小型化することなく、ディスクへの追従性を向上させたヘッドスライダに関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気ディスク装置の様な回転型記録媒体を用いた記録装置の大容量化を図るためには、媒体の記録密度の増加、及び媒体の記録領域を広く確保することが必要である。また、高記録密度化のためには、ヘッドを備えたヘッドスライダと回転する媒体との間の隙間として定義される浮上量を狭小化し浮上量を常に一定に保つことが重要である。浮上量を常に一定に保つためには、媒体表面に様々な要因で存在している粗さやうねりに対するヘッドスライダの追従性能の向上が必須である。
【0003】
媒体上に存在する粗さやうねりとしては、例えば、アトミック・フォース・マイクロスコープ(AFM)を用いて測定される波長が数μm以下、高さが数nm以下の微少粗さ成分や、レーザー・ドップラー振動計(LDV)で測定される波長が数十μmから1mm程度、高さが数nmの微少うねり(マイクロ・ウエーブネス)成分、そして、波長が数mmから数十mmのランナウト成分などがある。
【0004】
微少粗さ成分と微少うねり成分は、主に媒体の基板材料そのものの粗さやラッピング加工時の加工痕などからなる。また、ランナウト成分は媒体をクランプする時の歪みから生じる。ヘッドスライダは、これらいずれの波長成分に対してもできるだけ追従できることが望ましく、もし追従できない成分が大きくなれば、媒体と接触し易くなるということを意味する。
【0005】
ヘッドスライダの媒体への追従性能を向上させ、かつ磁気ディスクの記録領域をできるだけ広く確保するために、ヘッドスライダの大きさを小型化することが有効である。現在用いられている「ピコスライダ」と一般に呼称されるヘッドスライダの大きさは、長さが1.25mm、幅が1.0mm、厚さが0.3mmである。
【0006】
特開2000−285412公報では、長さを1mm〜3mm、幅を1mm〜2.5mm厚みを0.65mm以下とすることで、安定した浮上特性を得られる磁気ヘッドスライダを開示している。
【0007】
特開平11−149734公報では、長さを1.25mm以下、幅を1.0mm以下、重さを1.6mg以下とすることで、良好な磁気ディスクへの追従性を得られる磁気ヘッドスライダの構造を開示している。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
前述した参考例の様に、ヘッドスライダそのものの大きさを小型化することにより、ヘッドスライダの媒体への追従性能が向上する。また、ヘッドスライダの小型化によって、媒体の使用可能な記録領域も広がる。しかし、ヘッドスライダの大きさを、これ以上小型化すると、ヘッドスライダの浮上面加工を行う際の取り扱い単位であるローバー(スライダが横方向に並んでつながった状態のバー)が、薄く、細くなる。薄く、細くなるとローバーの曲がりやうねりが増加し、浮上面の研磨加工精度が劣化したり、ミリング加工のためのマスクアラインメント精度が大幅に劣化したりする。
【0009】
また、小型化によりスライダ単品となったときの取り扱い性が悪くなる。例えば、ヘッドスライダのサスペンションへの取りつけが難しくなることで、取りつけ位置のばらつきが生じる。そして取り付け位置がばらつくことから、安定した浮上特性が得られなくなるという問題が発生する。
【0010】
これら原因により、ピコスライダよりも小型なヘッドスライダを採用するに際しては、この点についての改善が要望されていた。
【0011】
本発明は、この改善に関するものであり、ディスク使用領域を広げ、取り扱い性能と媒体のうねりや粗さへの追従性能に優れた、ヘッドスライダを提供することを可能とした発明である。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明のヘッドスライダは、媒体上を浮上する圧力を発生・調節する浮上面と、この浮上面の空気流入側に設けられた溝部とから構成される。
【0013】
具体的には、空気流入端から連続して形成された溝部と、この溝部から連続形成されたフロントステップ軸受けと、このフロントステップ軸受けから連続形成されたレール面と、このレール面の空気流出端側に形成されフロントステップより深く前記溝部よりも浅い負圧溝とからなる浮上面とからなるヘッドスライダとする。
【0014】
或いは、空気流入端から連続形成されたフロントステップ軸受けと、このフロントステップ軸受けから連続形成されたレール面と、このレール面の空気流出端側に形成されフロントステップより深い負圧溝とからなる浮上面と、この浮上面の空気流出端側に形成された負圧溝よりも深い溝部とからなるヘッドスライダとする。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態に係るヘッドスライダとして磁気抵抗効果素子(磁気ヘッド)を搭載した磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダを用いた磁気ディスク装置について、図面を用いて以下説明する。図1は本発明による磁気ヘッドスライダの第1の実施形態を示す平面図、図2は図1の磁気ヘッドスライダの側面図である。
【0016】
図示するように、磁気ヘッドスライダ1は、記録媒体である磁気ディスク上を浮上する際に磁気ディスクの回転に伴う空気流が流れ込んでくる側の空気流入端2、この空気流入端2の風下側になる空気が流出する側の空気流出端3、磁気ディスクと対向するディスク対向面4を備えて構成される。ディスク対向面4は空気流入端2から続く溝部7と浮上面5を備えて構成される。
【0017】
ここで浮上面5は、溝部7より空気流出端3側に位置する。そして正圧を発生する流入側レール面6a,6bと、この流入側レール面6a,6bを囲む様に形成され、流入側レール面6a,6bで発生する正圧の量を調整するステップ軸受け面8aと、ステップ軸受け面8aに空気流入側を囲まれ負圧を発生する負圧溝9と、空気流出端3近傍に形成され、磁気ディスクに情報を記録し、または磁気ディスクに記録された情報を読み取る磁気ヘッド10を備えたセンタレール6cと、このセンタレール6cで発生する正圧を調整するステップ軸受け8bとから構成される。溝部7は浮上面5の両側において、空気流入端2から空気流出端3まで至るように形成されている。
【0018】
尚、負圧溝9は、ステップ軸受け面8aが流入側レール面6a,6bを囲んでいない場合には、ステップ軸受け面8aと流入側レール面6a,6bとに空気流入側を囲まれた形状となる。また、ステップ軸受け8bは、センタレール6cで正圧を発生する様にすれば良いので、少なくともセンタレール6cの空気流入側2に形成していればよい。
【0019】
図1の磁気ヘッドスライダ1の長さL1は1.25mm、幅W1は1.0mm、厚さtは0.3mmであり、所謂ピコスライダと呼ばれるサイズである。
【0020】
流入側レール面6a,6bとセンタレール6cとは、ほぼ同一平面内にある。ステップ軸受け面8a,8bもほぼ同一平面内にある。レール面6a,6b,6cからステップ軸受け面8a,8bの深さd1は150nm、レール面6a、6b、6cから負圧溝9の深さd2は1μm(1,000nm)であり、レール面6a、6b、6cから溝部7の深さd3は40μm(40,000nm)である。
【0021】
ステップ軸受け面8a、8bや負圧溝9の加工は、深さの精度が要求されることから、イオンミリングあるいはリアクティブ・イオン・エッチング(RIE)等の加工法により形成される。一方、溝部7は、浮上力が発生しない程度に十分深ければ(例えば30μm〜)よい。このように溝部7は浮上力を発生しない深さでかつ、強度的に十分な厚さであればよいので、その加工に際し、深さ及び表面粗さに浮上面5程の精度を必要としない。つまり、溝部7は浮上面5よりも表面が粗くてかまわないし、レール面6(フロントステップ軸受け面8a)からの深さも厳密ではない。よって、浮上面5と同様にエッチング加工で形成せずに、機械加工により形成してもよい。
【0022】
第1実施形態の大きな特徴は、磁気ヘッドスライダ1自体の長さL1をピコスライダと同じ1.25mmとしながら、浮上力を生じない十分な深さを有する溝部7を空気流入端2側と、浮上面5の両側面に設けたことにある。そして、浮上面5の長さL2をピコスライダよりも短く、幅W2をピコスライダよりも狭くしたことにある。
【0023】
より具体的には、空気流入端2から浮上面5までの長さが0.4mmの溝部7を形成し、この溝部7から続くステップ軸受け面8aから空気流出端3までの長さL2が0.85mm、幅W2が0.7mmという、所謂フェムトスライダのサイズの浮上面5を形成した。
【0024】
以下に、このような構成とすることで、磁気ディスクの使用可能な記録領域を広げ、磁気ヘッドスライダの取り扱い性を損なうことなく、磁気ディスクへの良好な追従性能を得ることができる理由を説明する。
【0025】
図3は通常のピコスライダが、磁気ディスク11の最外周側を浮上したときの両者の位置関係を説明するために、磁気ヘッドスライダを空気流出端3側から見た図である。図4は本発明の磁気ヘッドスライダ1が、磁気ディスク11の最外周側を浮上したときの両者の位置関係を説明するために、本発明の磁気ヘッドスライダ1を空気流出端3側から見た図である。
【0026】
磁気ヘッドスライダ1がディスク上で浮上するためには、磁気ヘッドスライダ1のディスク外周側のレール面6aが、回転する磁気ディスク11上にある必要がある。そのため、図3に示すピコスライダでは、磁気ヘッド10を磁気ヘッドスライダ1の中央に構成したセンタレール方式の場合、磁気ヘッドスライダ1を磁気ディスク11の最外周側まで移動させた際に、磁気ヘッド10は、磁気ディスク11の最外周からW1/2だけ内周側に配置される。この磁気ヘッド10の位置よりも外側の領域については記録再生を行うことができず、この領域を有効に使うことはできない。
【0027】
一方、本発明の第1実施形態の磁気ヘッドスライダ1では、磁気ヘッドスライダ1のそのものの幅はピコスライダの幅W1と同じであるが、浮上力を発生しないほどに十分な深さを有する溝部7を磁気ヘッドスライダ1のディスク外周側に形成したので、浮上面5の幅W2を一般的な磁気ヘッドスライダの浮上面の幅W1よりも狭くできる。そのため、磁気ヘッドスライダ1を、磁気ディスク11のより外周側に移動することができ、一般的な磁気ヘッドスライダを用いた場合と比較して、磁気ヘッド10を(W1−W2)/2分だけ磁気ディスク11の外周側まで配置させることができる。
【0028】
従って、本実施形態の磁気ヘッドスライダ1用いることで、磁気ディスク11の使用可能な記録領域を広げることができ、磁気ディスク11の面積を有効に使うことができる。とりわけ、小径の磁気ディスクを用いて磁気記録を行う際には、記録領域を少しでも広く確保する必要があるため、この効果は重大である。
【0029】
もちろんこの効果は浮上面5の幅W2に依存しているので、磁気ヘッド10を磁気ヘッドスライダ1の中央部以外に形成した場合にも有効なことは言うまでもない。また、溝部7を浮上面5の両側に空気流入端2から空気流出端3まで至るように形成する代わりに、左右いずれか一方側に浮上面5を寄せても良い。その場合でもW2の幅は変わらないので図1に示した形状と同じ効果を奏することが出来る。
【0030】
次に、本発明による磁気ヘッドスライダ1が磁気ディスク11への良好な追従性を得られる理由について説明する。磁気ヘッドスライダ1が追従できる磁気ディスク11の最小波長は、磁気ヘッドスライダ1の圧力発生部である浮上面5の幾何学的寸法によっておおよそ制限される。このことから、磁気ディスクの短い波長成分に、磁気ヘッドスライダ1を追従させるためには、磁気ヘッドスライダ1の小型化が必須である。とりわけ、スライダ長(1.25mm)より短い0.1mmから1mm程度の微少うねり(マイクロ・ウエーブネス)と呼ばれる磁気ディスク波長成分への追従性能を向上させるためには、磁気ディスク面に接近する浮上面5の長さを短くすることが必要である。つまり溝部7は、空気流入端2側のみではなく、空気流出端3側のみや空気流入端2側及び空気流出端3側の双方にあってもよい。
【0031】
図5は一般的なピコスライダと磁気ディスク11が、磁気ディスク装置内で稼動した時に、両者の位置関係を説明するための図である。図6は本発明の磁気ヘッドスライダ1と磁気ディスク11が、磁気ディスク装置内で稼動した時に、両者の位置関係を説明するための図である。
【0032】
一般的なピコスライダでは、磁気ヘッドスライダ1の長さL1と浮上面の長さが同じであり、スライダ長L1より短い波長λのディスクうねりに対して、十分に追従することができない。一方、本発明の第1実施形態の磁気ヘッドスライダでは、磁気ヘッドスライダそのものの長さは、ピコスライダの長さL1と同じであるが、浮上力を発生しないほどに十分な深さを有する溝部7を、空気流入端2側に形成したので、浮上面5の長さL2が一般的な磁気ヘッドスライダの浮上面の長さL1よりも短くできる。
【0033】
従って、図5に示した例では十分に追従することが出来なかった波長λのディスクうねりも、本実施形態の磁気ヘッドスライダ4を用いれば追従することが出来るようになる。そのため、磁気ディスク装置の信頼性を保ちつつ浮上量を狭小化することができる。
【0034】
上述したように、第1実施例の磁気ヘッドスライダ4により、磁気ディスク11の記録領域を広くすることができ、また、磁気ヘッドスライダ4の磁気ディスク11への追従性を向上することができる。さらに、磁気ヘッドスライダ4そのものの長さL1及び幅W1は、ピコスライダの長さ及び幅にしてあることから、浮上面の研磨加工精度が悪化することはない。
【0035】
また、磁気ヘッドスライダ4の取り扱い性も、一般的なピコスライダと同等であり、磁気ヘッドスライダ4をサスペンションに取りつける際の、取り扱いの難しさによる取りつけ精度の悪化もない。
【0036】
この効果はピコスライダサイズのスライダにフェムトスライダサイズの浮上面5を設ける構成故に奏するわけではなく、浮上面の大きさをスライダ自体の大きさよりも小さく形成すれば奏することは言うまでも無い。このスライダサイズと浮上面5のサイズは互いに規格化した大きさを用いる場合には、実施形態にて示したように、浮上面5の大きさをスライダ自体の大きさの一回り小さいサイズや二回り小さいサイズにすることが適当である。もちろん、スライダ自体と浮上面の一方を規格化したサイズとしてもよいし、どちらも規格化されていないサイズを用いても一向に差し支えない。
【0037】
図7は、本発明による第2実施形態の磁気ヘッドスライダ1の平面図である。第1実施形態では、浮上面5の大きさをピコスライダの浮上面形状を相似形で縮小したのに対し、第2実施形態では浮上面5の幅W2を第一実施形態と比較して広げている。
【0038】
このような構成とすることで、第1実施形態と比べて磁気ヘッドスライダ1の負圧溝9の面積を増やすことができ、発生する負圧力を大きくすることができるので、空気膜剛性を大きくすることができる。こうすることで、磁気ディスク11のうねりに対する追従性を更に向上させ、且つ磁気ヘッドスライダ1の高地における浮上量の低下、および加工のばらつきによる浮上量のばらつきを小さくすることができる。
【0039】
図8は本発明による第1実施形態から第2実施形態に開示した磁気ヘッドスライダ4のいずれかを備えた磁気ディスク装置12である。磁気ヘッドスライダ1はサスペンション13のジンバルバネ部に接着により取りつけられている。本磁気ディスク装置12は、ロード・アンロード機構を備え、装置停止中は磁気ヘッドスライダ1がランプ14上に待機している。装置稼動時のみ磁気ヘッドスライダ1は、磁気ディスク11上にロードされ、記録または再生を行う。また、図8ではロード・アンロード機構を備えた磁気ディスク装置を示したが、これに限ることはなくコンタクトスタート、ストップ(CSS)方式を採用している磁気ディスク装置でも構わない。
【0040】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、磁気ヘッドスライダそのものの大きさを小型化しないので、浮上面の研磨加工精度等が悪化することはない。また、磁気ヘッドスライダの取り扱い性も、一般的なピコスライダと全く同じであり、磁気ヘッドスライダをサスペンションに取りつける際の、取り扱いの難しさによる取りつけ精度を損なうことなく、同時に良好な磁気ディスクへの追従性を得ることができる。
【0041】
従って、磁気ディスク装置の信頼性を保ちながら浮上量を狭小化することが可能となり、磁気ディスク装置の大容量化を実現できるという効果がある。また、データ領域を広げることができるので、磁気ディスク一面あたりの記憶容量を増やすこと、または、同一容量ならば記録密度を緩和できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態に係るスライダを示す平面図である。
【図2】第1実施形態の側面図である。
【図3】一般的なスライダが、ディスク最外周側を浮上する様子を示した図である。
【図4】本発明のスライダが、ディスク最外周側を浮上する様子を示した図である。
【図5】一般的なスライダが磁気ディスク上を追従する様子を示した図である。
【図6】本発明のスライダが磁気ディスク上を追従する様子を示した図である
【図7】第2実施形態に係るスライダを示す平面図である。
【図8】本発明によるスライダを備えた磁気ディスク装置を示す図である。
【符号の説明】
1…磁気ヘッドスライダ、2…空気流入端、3…空気流出端、4…ディスク対向面、5…浮上面、6a,6b,6c…レール面、7…溝部、8a,8b…ステップ軸受け面、9…負圧溝、10…磁気ヘッド、11…磁気ディスク、12…磁気ディスク装置、13…サスペンション、14…ランプ。
Claims (6)
- 媒体上を浮上する圧力を発生・調節する浮上面と、この浮上面の空気流入側に設けられた溝部とからなるヘッドスライダ。
- 空気流入端から連続して形成された溝部と、
この溝部から連続形成されたフロントステップ軸受けと、このフロントステップ軸受けから連続形成されたレール面と、このレール面の空気流出端側に形成され前記フロントステップより深く前記溝部よりも浅い負圧溝とからなる浮上面とからなるヘッドスライダ。 - 空気流入端から連続形成されたフロントステップ軸受けと、このフロントステップ軸受けから連続形成されたレール面と、このレール面の空気流出端側に形成され前記フロントステップより深い負圧溝とからなる浮上面と、
この浮上面の空気流出端側に形成された前記負圧溝よりも深い溝部と
からなるヘッドスライダ。 - 前記ヘッドスライダの全長は1.25mmであり、前記浮上面の全長は0.85mmである請求項1乃至3の何れか1項に記載のヘッドスライダ。
- 前記ヘッドスライダの全長はピコスライダサイズであり、前記浮上面の全長はフェムトスライダサイズである請求項1乃至3の何れか1項に記載のヘッドスライダ。
- 前記ヘッドスライダの全長及び浮上面の長さは規格化されているサイズであり、前記浮上面の長さは前記全長より一回り小さいサイズである請求項1乃至3の何れか1項に記載のヘッドスライダ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002177878A JP2004022115A (ja) | 2002-06-19 | 2002-06-19 | ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
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ID=31175754
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JP (1) | JP2004022115A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7701669B2 (en) | 2005-08-08 | 2010-04-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head slider having aperture to prevent fall forward and magnetic disk drive for using said slider |
-
2002
- 2002-06-19 JP JP2002177878A patent/JP2004022115A/ja active Pending
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