JP2004004524A5 - - Google Patents

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Claims (16)

基板と、
前記基板上に形成された薄膜トランジスタと、
記薄膜トランジスタ上に形成された絶縁膜と、
記絶縁膜上に形成され、前記薄膜トランジスタと電気的に接続された第1の電極と、
前記第1の電極の縁及び前記絶縁膜を覆って形成されたバンクと、
前記第1の電極上に形成された発光層と、
前記バンク及び前記発光層上に形成された第2の電極とを有し、
前記発光層の端部は、前記バンクの側面に接して形成されていることを特徴とする電気光学装置。
A substrate,
A thin film transistor formed on the substrate,
An insulating film formed before Symbol thin film transistor,
Before being formed on Kize' Enmaku, a first electrode connected said thin film transistor and electrically,
A bank formed to cover an edge of the first electrode and the insulating film;
A light emitting layer formed on the first electrode;
A second electrode formed on the bank and the light emitting layer;
The electro-optical device is characterized in that an end portion of the light emitting layer is formed in contact with a side surface of the bank .
基板と、
前記基板上に形成された薄膜トランジスタと、
記薄膜トランジスタ上に形成された絶縁膜と、
記絶縁膜上に形成され、前記薄膜トランジスタと電気的に接続された第1の電極と、
前記第1の電極の縁及び前記絶縁膜を覆って形成されたバンクと、
前記第1の電極上に形成された発光層と、
前記バンク及び前記発光層上に形成された第2の電極とを有し、
前記第2の電極は、前記バンクの側面の一部及び上端部に接して形成されていることを特徴とする電気光学装置。
A substrate,
A thin film transistor formed on the substrate,
An insulating film formed before Symbol thin film transistor,
Before being formed on Kize' Enmaku, a first electrode connected said thin film transistor and electrically,
A bank formed to cover an edge of the first electrode and the insulating film;
A light emitting layer formed on the first electrode;
A second electrode formed on the bank and the light emitting layer;
The electro-optical device, wherein the second electrode is formed in contact with a part of a side surface and an upper end portion of the bank .
基板と、
前記基板上に形成された薄膜トランジスタと、
記薄膜トランジスタ上に形成された絶縁膜と、
記絶縁膜上に形成され、前記薄膜トランジスタと電気的に接続された第1の電極と、
前記第1の電極の縁及び前記絶縁膜を覆って形成されたバンクと、
前記第1の電極上に形成された発光層と、
前記バンク及び前記発光層上に形成された第2の電極とを有し、
前記発光層は、前記バンクを乗り越えないことを特徴とする電気光学装置。
A substrate,
A thin film transistor formed on the substrate,
An insulating film formed before Symbol thin film transistor,
Before being formed on Kize' Enmaku, a first electrode connected said thin film transistor and electrically,
A bank formed to cover an edge of the first electrode and the insulating film;
A light emitting layer formed on the first electrode;
A second electrode formed on the bank and the light emitting layer;
The electro-optical device , wherein the light emitting layer does not go over the bank .
基板と、
前記基板上に形成された薄膜トランジスタと、
記薄膜トランジスタ上に形成された絶縁膜と、
記絶縁膜上に形成され、前記薄膜トランジスタと電気的に接続された第1の電極と、
前記第1の電極の縁及び前記絶縁膜を覆って形成された樹脂膜と、
前記第1の電極及び前記樹脂膜上に形成された第2の電極とを有し、
前記第1の電極は、第1の領域及び第2の領域を有し、
前記第1の領域上には前記樹脂膜及び前記第2の電極が形成され、
前記第2の領域上には発光層及び前記第2の電極が形成され、
前記樹脂膜は第2の領域上に開口部を有し、当該開口部の側面は、前記第1の領域及び前記第2の領域の境界上に位置し、
前記開口部の側面に前記発光層の端部が接して形成されていることを特徴とする電気光学装置。
A substrate,
A thin film transistor formed on the substrate,
An insulating film formed before Symbol thin film transistor,
Before being formed on Kize' Enmaku, a first electrode connected said thin film transistor and electrically,
A resin film formed to cover the edge of the first electrode and the insulating film;
A first electrode and a second electrode formed on the resin film,
The first electrode has a first region and a second region;
The resin film and the second electrode are formed on the first region,
A light emitting layer and the second electrode are formed on the second region,
The resin film has an opening on the second region, and a side surface of the opening is located on a boundary between the first region and the second region,
An electro-optical device , wherein an end of the light emitting layer is in contact with a side surface of the opening .
請求項4において、前記第2の電極は前記樹脂膜上に接して形成されていることを特徴とする電気光学装置。5. The electro-optical device according to claim 4, wherein the second electrode is formed in contact with the resin film. 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、前記第2の電極上にパッシベーション膜が形成されていることを特徴とする電気光学装置。6. The electro-optical device according to claim 1, wherein a passivation film is formed on the second electrode. 請求項6において、前記第2の電極と前記パッシベーション膜の間に第3の電極が形成されていることを特徴とする電気光学装置。The electro-optical device according to claim 6, wherein a third electrode is formed between the second electrode and the passivation film. 請求項1乃至7のいずれか一において、前記薄膜トランジスタは、直列に接続された二つ以上のチャネル形成領域を有する島状の半導体膜を含むことを特徴とする電気光学装置。The electro-optical device according to claim 1, wherein the thin film transistor includes an island-shaped semiconductor film having two or more channel formation regions connected in series. 請求項1乃至請求項8のいずれか一に記載の電気光学装置を用いたことを特徴とするビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ、カーナビゲーション、パーソナルコンピュータ、モバイルコンピュータ、携帯電話、電子書籍、記録媒体を備えた画像再生装置またはカーオーディオ。A video camera, a digital camera, a goggle type display, a car navigation system, a personal computer, a mobile computer, a mobile phone, an electronic book, wherein the electro-optical device according to any one of claims 1 to 8 is used. An image playback device or a car audio provided with a recording medium. 基板上に薄膜トランジスタを形成し、A thin film transistor is formed on the substrate,
前記薄膜トランジスタ上に第1の絶縁膜を形成し、Forming a first insulating film on the thin film transistor;
前記第1の絶縁膜上に前記薄膜トランジスタと電気的に接続された第1の電極を形成し、Forming a first electrode electrically connected to the thin film transistor on the first insulating film;
前記第1の絶縁膜上に、前記第1の電極の縁を覆ってバンクを形成し、Forming a bank on the first insulating film so as to cover an edge of the first electrode;
前記バンクに覆われていない前記第1の電極の領域上に、インクジェット法により発光層を形成し、A light emitting layer is formed by an inkjet method on the region of the first electrode that is not covered by the bank,
前記バンク及び前記発光層上に第2の電極を形成し、Forming a second electrode on the bank and the light emitting layer;
前記第2の電極上に第2の絶縁膜を形成することを特徴とする電気光学装置の作製方法。A method for manufacturing an electro-optical device, wherein a second insulating film is formed over the second electrode.
請求項10において、前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜として、酸化窒化珪素膜又は窒化珪素膜を用いることを特徴とする電気光学装置の作製方法。The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 10, wherein a silicon oxynitride film or a silicon nitride film is used as the first insulating film and the second insulating film. 請求項10又は請求項11において、前記発光層及び前記第2の電極は、大気解放しないで連続的に形成することを特徴とする電気光学装置の作製方法。12. The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 10, wherein the light-emitting layer and the second electrode are continuously formed without being released to the atmosphere. 請求項10又は請求項11において、前記発光層、前記第2の電極及び前記第2の絶縁膜は、大気解放しないで連続的に形成することを特徴とする電気光学装置の作製方法。12. The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 10, wherein the light-emitting layer, the second electrode, and the second insulating film are continuously formed without being released to the atmosphere. 基板上に下地膜を形成し、Form a base film on the substrate,
前記下地膜上に薄膜トランジスタを形成し、Forming a thin film transistor on the base film;
前記薄膜トランジスタ上に第1のパッシベーション膜を形成し、Forming a first passivation film on the thin film transistor;
前記第1のパッシベーション膜上に絶縁膜を形成し、Forming an insulating film on the first passivation film;
前記絶縁膜上に第2のパッシベーション膜を形成し、Forming a second passivation film on the insulating film;
前記第2のパッシベーション膜上に、前記薄膜トランジスタと電気的に接続された第1の電極を形成し、Forming a first electrode electrically connected to the thin film transistor on the second passivation film;
前記第2のパッシベーション膜上に、前記第1の電極の縁を覆ってバンクを形成し、Forming a bank on the second passivation film, covering an edge of the first electrode;
前記バンクに覆われていない前記第1の電極の領域上に、インクジェット法により発光層を形成し、A light emitting layer is formed by an inkjet method on the region of the first electrode that is not covered by the bank,
前記バンク及び前記発光層上に第2の電極を形成し、Forming a second electrode on the bank and the light emitting layer;
前記第2の電極上に第3の電極を形成し、Forming a third electrode on the second electrode;
前記第3の電極上に第3のパッシベーション膜を形成することを特徴とする電気光学装置の作製方法。A method for manufacturing an electro-optical device, wherein a third passivation film is formed on the third electrode.
請求項14において、前記発光層、前記第2の電極及び前記第3の電極は、大気解放しないで連続的に形成することを特徴とする電気光学装置の作製方法。15. The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 14, wherein the light-emitting layer, the second electrode, and the third electrode are continuously formed without being released to the atmosphere. 請求項14において、前記発光層、前記第2の電極、前記第3の電極及び前記第3のパッシベーション膜は、大気解放しないで連続的に形成することを特徴とする電気光学装置の作製方法。15. The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 14, wherein the light emitting layer, the second electrode, the third electrode, and the third passivation film are continuously formed without being released to the atmosphere.
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