JP2003529213A - 光ファイバと光電子素子との受動的位置合わせのための方法およびデバイス - Google Patents
光ファイバと光電子素子との受動的位置合わせのための方法およびデバイスInfo
- Publication number
- JP2003529213A JP2003529213A JP2001571152A JP2001571152A JP2003529213A JP 2003529213 A JP2003529213 A JP 2003529213A JP 2001571152 A JP2001571152 A JP 2001571152A JP 2001571152 A JP2001571152 A JP 2001571152A JP 2003529213 A JP2003529213 A JP 2003529213A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- optical fiber
- active region
- optoelectronic
- cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4228—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements
- G02B6/423—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using guiding surfaces for the alignment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4228—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements
- G02B6/4232—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using the surface tension of fluid solder to align the elements, e.g. solder bump techniques
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
- G02B6/4239—Adhesive bonding; Encapsulation with polymer material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01087—Francium [Fr]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
Description
子光学的素子、オプトエレクトロニクス素子)とを正確に組み立てるという目的
のためにこれらを受動的に位置合わせし得るような方法およびデバイスに関する
ものである。
ザータイプの発光器)とすることができる。
(vertical cavity surface emitting laser)すなわち縦型キャビティ表面発光
レーザーとからなる組立体、または、少なくとも1つの光ファイバとプレーナ型
光検出器とからなる組立体、に対して適用される。
ァイバケーブル)を備えた光電子素子の組立に対して、特に応用される。
なる複数の並列組立体に対して適用される。
数の端部コネクタと、各端部コネクタ内に組み付けられた制御回路と、を備えた
ケーブル。 −カードの2つの領域を連結する少なくとも1つの光ファイバを使用している
カード上における光学的相互連結。 −光ファイバと光学回路と制御回路とを連結することを必要とするようなすべ
ての応用。
レーザー発光器)と光ファイバとの間の正確な位置合わせを必要とする。通常は
、10μmに近いような位置合わせが必要とされる。要求される精度は、単一モ
ードの光ファイバどうしの場合よりも、高度なものでさえすらある。光ファイバ
と検出素子(例えば、光検出器として動作するVCSEL)との連結においても
、光ファイバと発光素子との間の連結と同じ精度が要求される。
されている技術においては、レーザー発光器に対して電力を供給することにより
レーザービームを発生させながら、光ファイバとレーザー発光器とを能動的に位
置合わせしている。位置合わせが完了した後には、半田付けによってあるいは接
着剤を使用することによって、レーザー発光器に対して固定される。
がかかってしまう。
せの場合には、光ファイバと発光素子または受光素子との間の相対的位置合わせ
ならびにその後の固定は、(素子に対して)電圧を供給することもなくまた発光
を使用することもなく、行われる。光ファイバと光学素子とは、互いに機械的に
ロックされ、そして、正確に連結される。
るための周知の受動的組立技術が存在する。この組立体は、図1に概略的に示さ
れている。
合わせ支持体(2)を使用することによって、光ファイバ(6)が配置される。
光ファイバは、V字形状シリコン内に結合され、レーザーロッド(8)が、位置
合わせ支持体を使用することによって光ファイバに対して正確に組み付けられる
。
。
と、後に引用することとなる他の文献とは、この説明の最後の部分に列記されて
いる。
レーザーとの組立に際して適用することができるものの、光ファイバと、前面か
ら光を放出するVCSELデバイスと、の組立に際しては適用することができな
い。
まり、機械的手段または光学的手段を使用することによって、VCSELデバイ
スを、光ファイバに対して90°の状態に配置する。
する。特に、補助的位置合わせ手段を必要とする。
たは[4]に記載されたような内面または背面から発光し得るVCSELと、の
連結に際しても、また、同様の問題が発生する。
体を通して発光することにより、縦型キャビティレーザーすなわちVCLを参照
することには、意味がある。
路とを連結するためのフリップチップ技術に注意が必要である。
的位置合わせ(すなわち、素子を動作させずに行う位置合わせ)に関する問題点
を解決することであり、受動的位置合わせを、他の公知の受動的位置合わせ技術
と同等の精度でもってなおかつより容易に行うことである。
する)ような例えば縦型発光レーザーといったような特に平面型光電子素子に関
しての問題点を解決する。
1つの活性領域を有した少なくとも1つの光電子素子と、の受動的位置合わせ方
法であって、 −基板層と、この基板が除去されたときにでも保持されるる第1層と、少なく
とも1つの活性領域を有する第2層であって活性領域が第1層とは反対側に位置
しかつ第1層に関して透明であるような光ビームを放出または検出するために使
用されるものとされている第2層と、を備えてなる光電子素子を使用し、 −光電子素子を、第2層が支持体に対して対向するようにして、支持体上に配
置し、 −光電子素子を、コーティング材料によって、支持体を起点として第1層を超
える高さ位置にまで、少なくとも部分的にコーティングし、 −基板の少なくとも一部と、コーティング材料のうちの、基板の当該一部の上
方に位置している対応部分と、を第1層の高さ位置にまで選択的に除去し、この
場合、この除去を、活性領域の反対側において行い、これにより、活性領域の反
対側において第1層の高さ位置までの露出を行い、これにより、少なくとも1つ
の光ファイバの端部を受領し得るとともにこの端部の挿入によって光ファイバと
光電子素子との位置合わせを行い得るキャビティを形成する、 ことを特徴とする方法である。
用しつつ、エッチング技術を使用して行うことができる。
。
光電子素子に対する所定位置にロックされる。
る前に、光電子素子を、第1層および第2層に対して垂直な面であるとともにキ
ャビティを形成すべき基板領域を取り囲む面によって、拘束する。
る前に、活性領域の周囲において、第2層の自由面から基板内へとチャネルを形
成し、活性領域に最も近接したチャネルの壁が、キャビティが後に形成されるこ
ととなる場所において基板領域を形成している。
こととなるような2つの壁によって形成されている。
ィング材料は、第1層を超える高さ位置にまで、光電子素子を完全に被覆する。
にまで、光電子素子を部分的に被覆する。
活性領域を備え、基板は、第1層および第2層と平行な平面内において、光ファ
イバの直径と同じ辺長さを有した正方形形状とされ、基板のすべてが、素子の第
1層の高さ位置にまで除去され、これにより、光ファイバの端部が挿入されると
ともにこの端部に対してのガイドとして機能するキャビティが形成されるように
なっている。
素子の第1層の高さ位置にまで下向きに除去され、これにより、結束手段を使用
することによって互いに堅固に結束された複数の光ファイバの端部が挿入される
キャビティが形成され、キャビティは、光ファイバの複数の端部に対して各活性
領域を光学的に連結させるため、結束手段に対するガイドとして機能する。
数の部分が除去され、これにより、各活性領域に対向した複数の平行キャビティ
が形成され、これらキャビティは、光ファイバの複数の端部に対して各活性領域
を光学的に連結させるため、複数の光ファイバの端部に対するガイドとして機能
する。
の端部に対して光学的に連結されることを意図した複数の活性領域を備えている
光電子素子を、使用することができる。
きる。
ことができる。
光電子素子と、のための受動的位置合わせデバイスであって、このデバイスは、
光電子素子が、層内に少なくとも1つの活性領域を有した層を備え、この活性領
域は、光ビームを放出または検出することができ、光電子素子は、この層が支持
体に対して対向するようにして、支持体上に配置され、光電子素子は、活性領域
を向いているとともに少なくとも1つの光ファイバの端部を受領することができ
る少なくとも1つのキャビティを備え、このキャビティは、このキャビティ内へ
と端部を挿入することによって光ファイバと光電子素子との位置合わせを行うこ
とができ、これにより、端部と活性領域とを光学的に連結させることができるこ
とを特徴としている。
活性領域と、この活性領域を中心としたただ1つのキャビティと、を備え、この
キャビティは、光ファイバの端部と活性領域とを光学的に連結し得るよう、光フ
ァイバの端部を案内することができる。
領域と、各活性領域を中心とした複数の平行キャビティと、を備え、これらキャ
ビティは、複数の光ファイバの各端部と各活性領域とを光学的に連結し得るよう
、複数の光ファイバの端部を案内することができる。
領域と、各活性領域を向いたただ1つのキャビティと、を備え、このキャビティ
は、各活性領域のそれぞれに対して連結されるべき複数の光ファイバの平行端部
上に設置された結束手段を案内することができる。
としての以下の説明を参照することにより、容易に理解されるであろう。
を使用した縦方向機械的位置合わせガイドの形成について、説明する。この位置
合わせにおいては、位置合わせ支持体や付加的な位置合わせ固定具を使用するこ
となく、光ファイバと素子とを位置合わせすることができる。
の組立に関する各製造段階について説明する。
止層をなすとともに、この素子から放出されるまたはこの素子によって検出され
る光(13)に対して透明であるような、層(12)と、 −このエッチング停止層(12)上に形成され、この素子において光を放出し
たりまたは光を検出するために使用される活性部材または活性領域(16)が形
成されるエピタキシャル層をなす、半導性層(14)と、 を備えている。
対して透明である。
結可能とする相互連結部分をなす1つまたは複数の層(18)を備えている。
に示されている。また、図2においては、層(18)上に、電気伝導性コンタク
ト(20)が形成されている。コンタクト(20)を使用することによって素子
をバイアスすることにより、VCSELが発光器である場合には光を放出させる
ことができ、素子が受光器である場合には電気信号を生成することができる。
れ、その後、各素子が、領域(16)を中心としかつDL(図2)という辺長さ
を有した正方形形状へと、カットされる。この寸法(DL)は、素子(10)に
対して連結されることとなる光ファイバの直径のために、必要である。
プチップ法を使用して、素子(10)を、制御回路(24)上へと転送する。制
御回路(24)は、例えば、シリコンやGaAs等からなる相互連結ネットワー
クや能動回路とすることができる。
さらなる電気伝導性コンタクト(26)に対して、半田ボール(28)を使用す
ることによって、連結されていることが示されている。
いること、また、この活性領域(16)から放出されるまたはこの活性領域(1
6)によって検出される光(13)が、エピタキシャル層(14)およびエッチ
ング停止層(12)と交差しなければならないこと、が示されている。
いて、コンタクト(26)に対しての接続をもたらしていることがわかる。
用可能である。すなわち、活性領域(16)が配置されている面とは反対側の面
から利用可能である。
とを目的とするものであり、図4に概略的に示されている。この第3段階におい
ては、樹脂コーティング(30)を使用して素子をコーティングする。
入している。樹脂コーティング(30)は、基板(11)を完全に被覆している
。樹脂コーティングの高さh(h>0)が、エッチング停止層の上面を起点とし
て測定されていることに注意されたい。
方性接着剤や複数の電気伝導性ポリマーボールを使用してさらには予備結合を利
用したハイブリッド化さえも使用して、転送可能であるに注目することは有効で
ある。
)の上面(31)における研磨や機械的薄肉化によって、凹所が形成される。
脂コーティング(30)と基板(11)の一部との、所定厚さを超えている部分
が、同時に除去される。研磨は、機械的に研磨された素子の高さが所定値(H2
)(制御回路(24)を起点として測定されている)となるところまで、行われ
る。
い。つまり、樹脂コーティング(30)は、素子の上面を被覆していない。この
ことは、下側充填として公知である。
していない場合には、付加的なものである。
的にエッチングされる。
される。その後、(適切な液体またはプラズマを使用することによって)化学的
エッチングが使用される。このエッチングによって、エッチング停止層のところ
まで、残りの基板が除去される。これにより、樹脂コーティングの露出内面が残
される。
に関して選択的なものでなければならない。すなわち、エッチング停止層もコー
ティング樹脂も除去することなく基板を除去し得るものでなければならない。
された光ファイバ(32)が示されている。すなわち、この素子(10)の活性
領域(16)に対して光学的に連結されることとなる光ファイバ(32)が示さ
れている。
ファイバのコア(34)の光学軸が、記号(X)によって示されている。光ファ
イバの直径は、より厳密には、光ファイバのクラッド(36)の直径(外径)は
、記号(DF)によって示されている。素子の光学軸、すなわち、この素子の活
性領域の光学軸は、記号(Y)によって示されている。この場合の目的は、軸(
X,Y)を位置合わせする(軸合わせする)ことである。
たキャビティ(38)に対して位置合わせされる。よって、光ファイバを、この
キャビティ内に挿入することができる。
えば紫外放射の照射によって重合可能なタイプの重合性接着剤といったような接
着剤でもって、コーティングすることができる。
もって、キャビティ内に挿入される。
ドのエッジ(39)に関して、完全なる中心に位置し(所望の精度を完全に制御
し得ることについては、後述する)、 −光ファイバのコアが、光ファイバのクラッドの周縁部に関して、完全なる中
心に位置している、 という場合に得られる。
に、接着剤を硬化させるだけで良い(例えば、接着剤が、紫外照射によって重合
するタイプのものである場合には、紫外光を使用する)。
7段階においては、光ファイバ(32)がキャビティ(38)内に挿入されそし
て素子(10)に対して堅固に連結されてなるという本発明によるデバイスを製
造する。
的連結の良好な剛直さがもたらされる。この接着剤は、コーティング樹脂(30
)と光ファイバ(32)とを被覆する。
)の硬化時に発生しかねない位置ズレの防止を意味していることに、注目された
い。
、の間の良好な位置合わせに関して必要な条件について、以下、説明する。
精度を決定する。
ールドを構成する。よって、キャビティ(38)の幅(キャビティのエッジの長
さ)は、カット後におけるこのチップの幅に等しい。
することは、基準/位置合わせパターンを使用して測定したときには、容易に得
ることができる。よって、光学的活性領域(16)に関しては、ネガタイプモー
ルドの値において5μmよりも良好な精度を得ることができる。
りも良好である。
位置合わせは、10μmよりも良好とすることが容易であると、結論づけること
ができる。よって、光電子素子と光ファイバとの間の受動取付を、何らの特別の
位置合わせ道具を使用することなく、10μmよりも良好な精度でもって行うこ
とができる。
置合わせに関して必要とされる条件について、以下、説明する。
後における素子自体を使用している。
いうエッジ長さを有した光電子素子の使用(ハイブリッド化)が必要とされる。
イバに対する良好な機械的ガイドとしてV字形グルーブを形成するために大きな
光電子素子が使用される場合には、本発明による以下の方法が使用される。
だけが、相違する。
(図11の例においては、複数の活性領域(16)を備えた素子が例示されてい
ることに注意されたい)。図11に示す素子も、また、基板(11)と、この基
板上に形成されたエッチング停止層(12)と、このエッチング停止層上に形成
され、発光器または検出器として使用される複数の領域すなわち複数の活性領域
(16)を有している層すなわち活性層(14)と、を備えている。
クト(20)が形成されている。
チングされていることが示されている。これにより、素子の各活性領域(16)
の周囲には、チャネル(44)が形成されている。
ときには、V字形状とされている。
チップの製造について説明する。
各々が、形成される。深いチャネルは、素子(43)の中のこのようなチャネル
によって囲まれている活性領域(16)と光ファイバとの間のその後の位置合わ
せを可能とするためDLに等しいような内径をチャネル開口部分が有しているよ
うに、その形状が制御されたものでなければならない。
ャネルが、形成されることとなる。
、100μm以上へと、変更することができる。
される。各チップは、(図11の場合のチップのように)複数の光学的画素を有
することができる。これにより、複数の光学的画素からなるストリップやさらに
はマトリクスさえもを、形成することができる。
による光電子デバイスの製造について説明する。この製造は、先に説明したもの
と同様である。制御回路(45)上において、上述の光電子チップがハイブリッ
ド化され、先の第2段階〜第7段階と同様の各段階が行われる。この場合の製造
は、集中的である。
ことができ、この素子に対して、複数の光ファイバからなるリボンやまたは複数
の光ファイバからなる束を連結することができる。
領域(16)と、それぞれ光ファイバ(32)を受領するための複数のキャビテ
ィ(46)を有している樹脂コーティング(30)と、を備えている。各キャビ
ティは、機械的位置合わせガイドを構成している。
活性領域の光学軸(Y)とキャビティの中央軸とが一致していることを意味して
いる。
応活性領域の軸(Y)とが位置合わせされているようにして、挿入される。
いったような接着剤(42)からなる層によって、対応キャビティに対しての所
定位置へと保持されることが、さらに補助される。
(20)と制御回路内における接続のために使用される電気コンタクト(26)
とを接続している半田ボール(28)の使用によって、制御回路(45)に対し
て電気的に接続されていることに注意されたい。
。
により、光電子チップを、より容易に取り扱うことができ、カットやハイブリッ
ド化やコーティングを行うことができる。
わせを行うことにより、この実施形態においては、また、位置合わせガイドと光
ビームとの間の位置合わせ精度を、カット技術を使用した場合(図2)よりも、
より高精度とすることができる。
リッド化の数を低減することができる(光電子チップレベルにおける処理のグル
ープ化)。
PINフォトダイオード、MSM)以外の素子に対しても適用可能であることに
注意されたい。受動素子(レンズ、ミラー、フィルタ、ネットワーク、…)に対
しても、また、このような位置合わせ方法を適用することができる。
発明は、リボンタイプのまたはマトリクスタイプのパラレルケーブルの製造に対
して適用することができる。
に代えて、単一のかつ同一の制御回路に対して複数の光電子素子をハイブリッド
化することは、容易である。これは、図13に概略的に示されている。
6)を備えているような複数の光電子素子(50)をハイブリッド化することが
示されている。また、各素子のキャビティ(38)内にそれぞれ光ファイバ(3
2)が挿入されていることも、明瞭に示されている。各キャビティは、活性領域
(16)を中心としたものである。
2)が、示されている。
取り付けられようとしている状態で図示されている。この光ファイバ(32)は
、一端に、素子に対しての所定位置に光ファイバを堅固に保持するために使用さ
れることとなるいくらかの接着剤(42)を有している。
ハイブリッド化することができる。
る。 −光学的ウェハの観点からの共通組立(深いチャネルを使用した変形) −制御回路の観点からの共通組立(チップ上への組立、または、制御回路をな
すウェハ上への組立)
、の連結に関するものである。VCSELレーザーデバイスをなすウェハが形成
され、その後、125μm角の個々の複数のチップへとカットされた。上述の方
法を使用することによって、1つのレーザーチップと1つの制御回路とが連結さ
れる(あるいは、複数のレーザーチップと、複数の制御機能を有した単一制御回
路と、が連結される)。光電子チップは、カットプロセスおよびハイブリッド化
プロセスにおいては、非常に注意深く取り扱う必要がある。
制御回路と、の連結に関するものである。半導体ウェハ上に、マトリクス状をな
す複数のVCSELレーザーデバイスが形成される。この場合、ピッチは、50
0μmとされ、各レーザーの周囲は、125μm幅のチャネルによって囲まれて
いる。得られたチップのサイズは、3×3mmである。このようなチップは、上
述の方法を使用する際の取扱いが容易である。
することによって、100mm直径のまたは150mm直径のシリコンウェハに
対して、直接的にハイブリッド化することができる。
用するという、本発明の他の例を概略的に示している。層(14)内に、複数の
活性領域が配置され、この層(14)の上に、エッチング停止層(12)が配置
されていることが示されている。
活性領域を有する層(14)と、制御回路とは、互いに平行とされている。
れた後に、機械的手法によって薄肉化され、さらに、素子を形成した基板が除去
されたものである。
、キャビティ(56)は、適切なコネクタ(60)を使用することによって平行
端部どうしが互いに堅固に結束されている一群(58)をなす複数の光ファイバ
(32)の端部を受領し得るものとされている。コネクタ(60)は、キャビテ
ィ内へと挿入された後、上述したような接着剤層(42)を使用することによっ
て堅固に固定される。
、図14に示す例と比較して、図15におけるこの例においては基板(11)の
全体が除去されているわけではない点において、相違している。
グする代わりに、図示していないマスクをフォトリソグラフィー法において使用
することによって、基板を貫通するとともに図15における光電子素子(62)
上の各活性領域(16)をそれぞれの中心とした互いに平行な複数のキャビティ
(64)を形成することができる。各キャビティは、上方から見たときには、活
性領域に対して光学的に連結されることとなる各光ファイバの直径と同じ辺長さ
を有した正方形形状とされている。
。各光ファイバは、それぞれ対応するキャビティ内へと挿入した後には、適切な
接着剤(42)を使用することによって、素子(62)に対しての所定位置に堅
固に保持することができる。
の、制御回路(54)に対しての電気接続ラインは、図14および図15をなす
紙面に対して垂直に配置されていることに、注意されたい。そのため、これら接
続ラインは、図示されていない。
このような位置合わせ支持体に起因する位置合わせ誤差が導入されることがない
、という利点を有している。本発明は、高密度に集積された位置合わせデバイス
をもたらす。使用コストが低減される。本発明の主題をなす方法は、共通組立応
用に対して容易に適合することができる。
26号明細書, M.Kato [3]Flip-chip bonded, back-emitting microlensed arrays of monolithic vertical cavity lasers and resonant photodetectors, C.A.Coldren et al.,
IEEE 1999 Electronic components and technology conference, p. 733 to 740 [4]Low cost, free-space optical interconnects, A.Duane et al., Compound semiconductor, December 1998, p. 11 to 13 [5]VCSEL electrical packaging analysis and design guidelines for multi-GHz applications, IEEE Trans. On components, packaging and manufacturing technology - Part B, vol. 20, No. 3, August 1997, p. 191 to 196 [6]Process for coating electronic components hybridized by bumps on a
substrate, 米国特許第5,496,769号明細書, F.Marion and M.Boitel,
仏国特許出願公開明細書第2 704 691号も併せて参照されたい。
示す図である。
図である。
を概略的に示す図である。
である。
子との組立体を概略的に示す図である。
子との組立体を概略的に示す図である。
子との組立体を概略的に示す図である。
Claims (19)
- 【請求項1】 少なくとも1つの光ファイバ(32)と、少なくとも1つの
活性領域(16)を有した少なくとも1つの光電子素子と、の受動的位置合わせ
方法であって、 −基板(11)をなす層と、この基板の除去プロセスに対して耐え得る第1層
(12)と、少なくとも1つの活性領域を有する第2層(14)であって前記活
性領域が前記第1層とは反対側に位置しかつ前記第1層に関して透明であるよう
な光ビームを放出または検出するために使用されるものとされている第2層(1
4)と、を備えてなる少なくとも1つの光電子素子(10,50,43,52,
62)を使用し、 −前記光電子素子を、前記第2層が支持体(24,48,45,54)に対し
て対向するようにして、前記支持体上に配置し、 −前記光電子素子を、コーティング材料(30)によって、前記支持体を起点
として前記第1層を超える高さ位置にまで、少なくとも部分的にコーティングし
、 −前記基板の少なくとも一部と、前記コーティング材料のうちの、前記基板の
当該一部の上方に位置している対応部分と、を前記第1層の高さ位置にまで選択
的に除去し、この場合、この除去を、前記活性領域の反対側において行い、これ
により、前記活性領域に対向した部分に関して前記第1層の高さ位置までの露出
を行い、これにより、少なくとも1つの光ファイバの端部を受領し得るとともに
この端部の挿入によって前記光ファイバと前記光電子素子との位置合わせを行い
得るキャビティを形成する、 ことを特徴とする方法。 - 【請求項2】 請求項1記載の方法において、 前記基板(11)の前記少なくとも一部の除去においては、前記第1層(12
)をエッチング停止層として使用しつつ、前記基板のエッチングを行うことを特
徴とする方法。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の方法において、 前記支持体が、前記光電子素子が接続されることとなる電気回路(29)を備
えていることを特徴とする方法。 - 【請求項4】 請求項1〜3のいずれかに記載の方法において、 前記光ファイバ(32)の前記端部を、前記キャビティ内に挿入し、前記光フ
ァイバを、前記光電子素子に対して堅固に保持することを特徴とする方法。 - 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の方法において、 前記支持体(24)上に配置する前に、前記光電子素子(10)を、前記第1
層(12)および前記第2層(14)に対して垂直な面であるとともに前記キャ
ビティを形成すべき基板領域を取り囲む面によって、拘束することを特徴とする
方法。 - 【請求項6】 請求項1〜4のいずれかに記載の方法において、 前記支持体(24)上に前記光電子素子を配置する前に、前記活性領域(16
)の周囲において、前記第2層の自由面から前記基板に至るようなチャネル(4
4)を形成し、 前記活性領域に最も近接した前記チャネルの壁が、前記キャビティが後に形成
されることとなる場所において基板領域を囲んでいることを特徴とする方法。 - 【請求項7】 請求項6記載の方法において、 前記チャネル(44)が、前記チャネルの底部へと向かうにつれて互いに接近
することとなるような2つの壁によって形成されていることを特徴とする方法。 - 【請求項8】 請求項1〜7のいずれかに記載の方法において、 前記基板(11)と一緒に除去される前においては、前記コーティング材料(
30)は、前記第1層(12)を超える高さ位置にまで、前記光電子素子(10
)を完全に被覆していることを特徴とする方法。 - 【請求項9】 請求項1〜7のいずれかに記載の方法において、 前記コーティング材料(30)は、前記第1層を超える高さ位置にまで、前記
光電子素子(10)を部分的に被覆していることを特徴とする方法。 - 【請求項10】 請求項1〜9のいずれかに記載の方法において、 前記光電子素子(10)は、この素子の中央に、ただ1つの活性領域(16)
を備え、 前記基板は、前記第1層および前記第2層と平行な平面内において、前記光フ
ァイバの直径と同じ辺長さを有した正方形形状とされ、 前記基板のすべてが、前記素子の前記第1層の高さ位置にまで除去され、これ
により、前記光ファイバ(32)の端部が挿入されるとともにこの端部に対して
のガイドとして機能するキャビティが形成されるようになっていることを特徴と
する方法。 - 【請求項11】 請求項1〜9のいずれかに記載の方法において、 前記光電子素子(52)は、複数の活性領域(16)を備え、 前記基板のすべてが、前記素子の前記第1層の高さ位置にまで除去され、これ
により、結束手段(60)を使用することによって互いに堅固に結束された複数
の光ファイバ(32)の端部が挿入されるキャビティ(56)が形成され、 該キャビティは、前記光ファイバの前記複数の端部に対して各活性領域を光学
的に連結させるため、前記結束手段に対するガイドとして機能することを特徴と
する方法。 - 【請求項12】 請求項1〜9のいずれかに記載の方法において、 前記光電子素子(62)は、複数の活性領域(16)を備え、 前記素子の前記基板(11)の複数の部分が除去され、これにより、各活性領
域に対向した複数の平行キャビティ(64)が形成され、 該キャビティは、前記光ファイバの前記複数の端部に対して各活性領域を光学
的に連結させるため、複数の光ファイバ(32)の端部に対するガイドとして機
能することを特徴とする方法。 - 【請求項13】 請求項1〜12のいずれかに記載の方法において、 前記光電子素子は、複数の光ファイバ(32)の互いに堅固に結束された前記
複数の端部に対して光学的に連結されることを意図した、複数の活性領域(16
)を備えていることを特徴とする方法。 - 【請求項14】 請求項1〜13のいずれかに記載の方法において、 複数の光電子素子(50)が使用され、 これら素子は、単一の支持体(48)上に配置されることを特徴とする方法。
- 【請求項15】 請求項1〜14のいずれかに記載の方法において、 各光電子素子が、縦型キャビティ表面発光レーザーであることを特徴とする方
法。 - 【請求項16】 少なくとも1つの光ファイバ(32)と、少なくとも1つ
の光電子素子(10,50,43,52,62)と、の受動的位置合わせのため
のデバイスであって、 前記光電子素子が、層内に少なくとも1つの活性領域(16)を有した層(1
4)を備え、 前記活性領域は、光ビームを放出または検出することができ、 前記光電子素子は、この層(14)が支持体に対して対向するようにして、前
記支持体上に配置され、 前記光電子素子は、前記活性領域を向いているとともに少なくとも1つの光フ
ァイバの端部を受領することができる少なくとも1つのキャビティを備え、 このキャビティは、このキャビティ内へと前記端部を挿入することによって前
記光ファイバと前記光電子素子との位置合わせを行うことができ、これにより、
前記端部と前記活性領域とを光学的に連結させることを特徴とするデバイス。 - 【請求項17】 請求項16記載のデバイスにおいて、 前記光電子素子が、ただ1つの活性領域(16)と、この活性領域を中心とし
たただ1つのキャビティと、を備え、 このキャビティは、前記光ファイバの前記端部と前記活性領域とを光学的に連
結し得るよう、前記光ファイバ(32)の前記端部を案内することができること
を特徴とするデバイス。 - 【請求項18】 請求項16記載のデバイスにおいて、 前記光電子素子が、複数の活性領域(16)と、各活性領域を中心とした複数
の平行キャビティ(64)と、を備え、 これらキャビティは、複数の光ファイバ(32)の各端部と各活性領域とを光
学的に連結し得るよう、前記複数の光ファイバの端部を案内することができるこ
とを特徴とするデバイス。 - 【請求項19】 請求項16記載のデバイスにおいて、 前記光電子素子が、複数の活性領域(16)と、各活性領域を向いたただ1つ
のキャビティ(56)と、を備え、 このキャビティは、各活性領域のそれぞれに対して連結されるべき複数の光フ
ァイバ(32)の平行端部上に設置された結束手段(60)を案内することがで
きることを特徴とするデバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR00/03950 | 2000-03-29 | ||
FR0003950A FR2807168B1 (fr) | 2000-03-29 | 2000-03-29 | Procede et dispositif d'alignement passif de fibres optiques et de composants optoelectroniques |
PCT/FR2001/000922 WO2001073492A1 (fr) | 2000-03-29 | 2001-03-27 | Procede et dispositif d'alignement passif de fibres optiques et de composants optoelectroniques |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003529213A true JP2003529213A (ja) | 2003-09-30 |
JP4885399B2 JP4885399B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=8848598
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001571152A Expired - Fee Related JP4885399B2 (ja) | 2000-03-29 | 2001-03-27 | 光ファイバと光電子素子との受動的位置合わせのための方法およびデバイス |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6942396B2 (ja) |
EP (1) | EP1269238B1 (ja) |
JP (1) | JP4885399B2 (ja) |
DE (1) | DE60129678T2 (ja) |
FR (1) | FR2807168B1 (ja) |
WO (1) | WO2001073492A1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002033546A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Canon Inc | 面型光素子、面型光素子実装体、その作製方法、およびそれを用いた光配線装置 |
JP2006293019A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Denso Corp | 光ファイバセンサ |
JP2008109048A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Toshiba Corp | 光半導体装置及び光伝送装置 |
JP2010123968A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Commiss Energ Atom | 光学機能を備えた検出器システムとそのようなシステムの形成方法 |
JP2011520272A (ja) * | 2008-05-08 | 2011-07-14 | ウニヴェルズィテート・ウルム | 最適化された性質を有する表面実装のための全自動調節された表面放射半導体レーザー |
JP2013160771A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Swatch Group Research & Development Ltd | 時計機構のホイールの位置の検出及び同期デバイス |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3800135B2 (ja) | 2002-06-18 | 2006-07-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光通信モジュール、光通信モジュールの製造方法および電子機器 |
AU2003273517A1 (en) * | 2002-10-22 | 2004-05-13 | Firecomms Limited | Connection of optical waveguides to optical devices |
CA2569265C (en) | 2003-07-24 | 2012-10-09 | Reflex Photonique Inc./Reflex Photonics Inc. | Encapsulated optical package |
US20050077129A1 (en) * | 2003-10-06 | 2005-04-14 | Joel Sloan | Multi-axis shock and vibration relay isolator |
GB0505824D0 (en) * | 2005-03-22 | 2005-04-27 | Conductive Inkjet Tech Ltd | Treatment of items |
US7859071B2 (en) * | 2005-03-31 | 2010-12-28 | Finisar Corporation | Power and communication interface for sensors using a single tethered fiber |
US8154414B2 (en) * | 2005-03-31 | 2012-04-10 | Finisar Corporation | Systems and methods for collecting data with sensors |
FR2885701B1 (fr) * | 2005-05-10 | 2009-01-16 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif emetteur et recepteur optoelectronique |
GB2428103B (en) * | 2005-07-07 | 2009-06-17 | Agilent Technologies Inc | An optical device |
JP2007310083A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Fuji Xerox Co Ltd | 光伝送モジュールおよびその製造方法 |
DE102008050000A1 (de) * | 2008-09-30 | 2010-04-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum gleichzeitigen mechanischen und elektrischen Verbinden von zwei Teilen |
US11181688B2 (en) | 2009-10-13 | 2021-11-23 | Skorpios Technologies, Inc. | Integration of an unprocessed, direct-bandgap chip into a silicon photonic device |
US9882073B2 (en) | 2013-10-09 | 2018-01-30 | Skorpios Technologies, Inc. | Structures for bonding a direct-bandgap chip to a silicon photonic device |
KR20150084999A (ko) * | 2012-11-15 | 2015-07-22 | 4233999 캐나다 인크. | 마이크로 발광 다이오드를 이용하는 고속 단거리 광 통신을 위한 방법 및 장치 |
US9443835B2 (en) | 2014-03-14 | 2016-09-13 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Methods for performing embedded wafer-level packaging (eWLP) and eWLP devices, packages and assemblies made by the methods |
US9209142B1 (en) | 2014-09-05 | 2015-12-08 | Skorpios Technologies, Inc. | Semiconductor bonding with compliant resin and utilizing hydrogen implantation for transfer-wafer removal |
US9541717B2 (en) * | 2015-01-30 | 2017-01-10 | Avago Technologies General IP (Singapore) Pta. Ltd. | Optoelectronic assembly incorporating an optical fiber alignment structure |
US20190129108A1 (en) * | 2017-10-31 | 2019-05-02 | Versalume LLC | Modular Laser Connector Packaging System and Method |
US10551542B1 (en) | 2018-12-11 | 2020-02-04 | Corning Incorporated | Light modules and devices incorporating light modules |
EP4147876A1 (en) | 2021-09-10 | 2023-03-15 | Carl Zeiss Vision International GmbH | A computer-implemented method for determining printing parameter values of an inkjet printing device, a data processing system, a method for inkjet printing and an inkjet printing device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06237016A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ファイバモジュールおよびその製造方法 |
JP2000019357A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Toshiba Corp | 光アレイモジュール及び反射鏡アレイ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4152713A (en) * | 1977-12-05 | 1979-05-01 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Unidirectional optical device and regenerator |
US4225213A (en) * | 1977-12-23 | 1980-09-30 | Texas Instruments Incorporated | Connector apparatus |
FR2704691B1 (fr) | 1993-04-30 | 1995-06-02 | Commissariat Energie Atomique | Procédé d'enrobage de composants électroniques hybrides par billes sur un substrat. |
US5555333A (en) | 1993-07-12 | 1996-09-10 | Ricoh Company, Ltd. | Optical module and a fabrication process thereof |
JP3166564B2 (ja) * | 1995-06-27 | 2001-05-14 | 松下電器産業株式会社 | 半導体レーザ実装体およびその製造方法 |
JPH09113767A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-05-02 | Motorola Inc | 光伝送構造を整合するための電子部品 |
US6328482B1 (en) * | 1998-06-08 | 2001-12-11 | Benjamin Bin Jian | Multilayer optical fiber coupler |
-
2000
- 2000-03-29 FR FR0003950A patent/FR2807168B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-03-27 EP EP01919575A patent/EP1269238B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2001-03-27 US US10/240,258 patent/US6942396B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-03-27 JP JP2001571152A patent/JP4885399B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-03-27 DE DE60129678T patent/DE60129678T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-03-27 WO PCT/FR2001/000922 patent/WO2001073492A1/fr active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06237016A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ファイバモジュールおよびその製造方法 |
JP2000019357A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Toshiba Corp | 光アレイモジュール及び反射鏡アレイ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002033546A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Canon Inc | 面型光素子、面型光素子実装体、その作製方法、およびそれを用いた光配線装置 |
JP2006293019A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Denso Corp | 光ファイバセンサ |
JP2008109048A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Toshiba Corp | 光半導体装置及び光伝送装置 |
JP2011520272A (ja) * | 2008-05-08 | 2011-07-14 | ウニヴェルズィテート・ウルム | 最適化された性質を有する表面実装のための全自動調節された表面放射半導体レーザー |
JP2010123968A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Commiss Energ Atom | 光学機能を備えた検出器システムとそのようなシステムの形成方法 |
JP2013160771A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Swatch Group Research & Development Ltd | 時計機構のホイールの位置の検出及び同期デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1269238B1 (fr) | 2007-08-01 |
US20040037514A1 (en) | 2004-02-26 |
FR2807168B1 (fr) | 2002-11-29 |
EP1269238A1 (fr) | 2003-01-02 |
DE60129678T2 (de) | 2008-04-30 |
DE60129678D1 (de) | 2007-09-13 |
FR2807168A1 (fr) | 2001-10-05 |
WO2001073492A1 (fr) | 2001-10-04 |
JP4885399B2 (ja) | 2012-02-29 |
US6942396B2 (en) | 2005-09-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4885399B2 (ja) | 光ファイバと光電子素子との受動的位置合わせのための方法およびデバイス | |
JP3730664B2 (ja) | 単結晶材料を使用する受動位置合わせフレーム | |
US20180335586A1 (en) | Optical interconnect modules based on glass substrate with polymer waveguide | |
EP2802915B1 (en) | Optical interposer | |
US6404960B1 (en) | Flexible optic connector assembly | |
US6850658B2 (en) | Apparatus for coupling an optoelectronic device to a fiber optic cable and a microelectronic device, a system including the apparatus, and a method of forming the same | |
US6599769B2 (en) | Process for mounting device and optical transmission apparatus | |
JP4512640B2 (ja) | 光学チップ間相互連結のための製造可能なコネクタ化プロセス | |
US7720337B2 (en) | Wafer based optical interconnect | |
US8842951B2 (en) | Systems and methods for passive alignment of opto-electronic components | |
JP4128868B2 (ja) | 光ガイド部材およびオプトエレクトロニクス素子を受動的に軸合わせするための方法およびデバイスならびにそのようなデバイスを使用した光学システム | |
KR20050064571A (ko) | 병렬 광접속 모듈용 광접속 장치 및 이를 이용한 병렬광접속 모듈 | |
US9658415B2 (en) | Structured substrate for optical fiber alignment | |
US11686906B1 (en) | Self-aligned structure and method on interposer-based PIC | |
KR20140119001A (ko) | 유리-실리콘 웨이퍼-적층된 광학-전자 플랫폼 | |
US20230228953A1 (en) | Self-Aligned Fanout Waveguide Structure on Interposer with Linear Multicore Optical Fiber | |
SE525405C2 (sv) | Speglar för polymera vägledare, förfarande för deras framställning, samt optisk vågledaranordning | |
US7767486B2 (en) | High-volume on-wafer heterogeneous packaging of optical interconnects | |
CN114026479A (zh) | 光纤阵列到波导的无源对准配置 | |
US6614949B2 (en) | Precision grid standoff for optical components on opto-electronic devices | |
CN116027575A (zh) | 具有多层多深度光纤到片上光学部件连接的pic管芯和封装 | |
GB2454813A (en) | Optoelectronic connectors | |
EP3929641A1 (en) | A semiconductor package comprising one or more optical integrated circuits | |
JP6322059B2 (ja) | 光デバイスの作製方法 | |
Ambrosy et al. | Multichannel optical modules compatible with the fiber-in-board technology |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110908 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111108 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111208 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |