JP2003512186A - 低量の汚染物質を放出する可撓性の研磨材製品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、少なくとも１種のバインダーで小孔のある基材に接着する研磨材粒子を含み、３００ｐｐｂ未満の選択された抽出性カチオン粒子と５００×１０^６/ｍ^２未満の放出性粒子とを含む可撓性研磨材製品を提供する。小孔のある基材（１００）をメイクコーティングで被覆して被覆基材を形成するステップと、（２０）被覆基材（１００）を研磨材粒子で被覆して粒子被覆基材を形成するステップと、（２２）粒子被覆基材を硬化するステップと、硬化粒子被覆基材をサイズコーティングで被覆して、サイズコーティング被覆基材を形成するステップと、（２８）サイズコーティング被覆基材を硬化するステップと、硬化サイズコーティング被覆基材を変換して成形研磨剤製品を形成するステップと、成形研磨剤製品を後清浄化して望ましくない汚染物質を除去するステップと、清浄化された成形研磨剤製品を梱包するステップとを含む、研磨材製品の製造方法が提供される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 背景 本発明は研磨材製品、特に危険な環境または制御環境で使用するのに特に適し
た研磨材製品に関する。

【０００２】 ますます多くの生産工程が、潜在的に遍在する物理的および化学汚染物質から
の隔離を必要とするようになってきた。逆にその他の生産工程は、それらの毒性
または感染性のために、一般的環境からの隔離を必要とするかもしれない。この
ような必要性は、概していわゆる「クリーンルーム」（「ホワイトルーム」とし
ても知られる）の設計、製造、および使用によって満たされる。

【０００３】 このような設備は、好ましくない粒子およびイオンなどの外的汚染物質の存在
を最小化しなくてはならない半導体装置の製造において、広範囲に使用される。
例えば結晶成長、イオン注入、金属蒸着、およびエッチングなどの操作は、典型
的にクリーンルーム環境で操作される低圧（真空）チャンバーまたは反応器内で
実施される。しばらく使用するとこれらのチャンバーは必然的に汚れるので、清
浄化が必要になる。汚染の性質次第で、執拗な汚染物質を除去するために研磨材
製品が必要になるかもしれない。このような研磨操作からは、クリーンルーム環
境を汚染するかもしれない粒子状物質が必然的に生じる。さらに研磨材製品それ
自体も好ましくない粒子および／またはイオン部分をチャンバーおよび／または
クリーンルーム内に持ち込むかもしれない。したがって危険な環境、クリーンル
ーム環境で使用するための研磨材製品に対する必要性がある。このような研磨材
製品は、反応器表面から残留物を効果的に除去して、クリーンルーム環境内への
粒子の放出（ｒｅｌｅａｓｅ）を最小化し、反応器および／またはクリーンルー
ムへのイオン汚染物質の移行を最小化するべきである。

【０００４】 発明の要約 本発明の一実施態様は、小孔のある基材、少なくとも１種のバインダー、およ
び研磨材粒子を含む可撓性の研磨材製品を提供し、研磨材製品は、最小量の放出
性物理的および化学汚染物質を含有し、表面の清浄化に使用した場合、物理的お
よび化学的汚染物質が最小量である清浄な工作物を提供し、工作物表面を傷つけ
ない。

【０００５】 この発明の別の実施態様は、 小孔のある基材を提供するステップと、 小孔のある基材をメイクコーティングでコーティングするステップと、 被覆された基材を研磨材顆粒でコーティングするステップと、 顆粒で被覆された基材を硬化するステップと、 顆粒で被覆された硬化した基材をサイズコーティングでコーティングするステ
ップと、 サイズ被覆された基材を硬化するステップと、 硬化したサイズ被覆された基材を有用な成形研磨材製品に変換するステップと
、 研磨材製品を後清浄化して潜在的な工作物汚染物質を除去するステップと、 後清浄化した研磨材製品を梱包するステップと、 を含む可撓性の研磨材製品を製造する方法を提供する。

【０００６】 「可撓性の研磨材製品」は、研磨材表面を露出して二つ折りにしたとき、研磨
材コーティングの鋭い折り目が生じる研磨材製品を指す。

【０００７】 「小孔のある基材」とは、基材の少なくとも１つの表面全体にある連続空隙に
よって確定された開口部を有する、多孔性有機基材を指す。例えば連続気泡フォ
ーム基材、あるいは嵩高い繊維性不織ウェブまたは布帛のどちらかが、小孔のあ
る基材としての必要条件をそなえている。

【０００８】 「メイクコート前駆物質」とは、そこに研磨材粒子を固定するために、小孔の
ある基材の開口部の塗布できる表面に塗布される、塗布できる樹脂接着剤材料を
指す。

【０００９】 「メイクコート」とは、メイクコート前駆物質を硬化させて形成される、小孔
のある基材の開口部の塗布できる表面にある硬化した樹脂の層を指す。

【００１０】 「サイズコート前駆物質」とは、小孔のある基材の開口部の塗布できる表面で
メイクコート上に塗布される、塗布できる樹脂接着剤材料を指す。

【００１１】 「サイズコート」とは、サイズコート前駆物質を硬化させて形成される、小孔
のある基材の開口部の塗布できる表面にある硬化した樹脂の層を指す。

【００１２】 「硬化した」または「完全に硬化した」とは、硬化して重合した硬化性で塗布
できる樹脂を意味する。

【００１３】 「微細な研磨材粒子」とは、ここで述べる材料のいずれかを含み、高度に好ま
しいメジアン粒子径が約６０μｍ以下である粒子サイズ分布を有する、研磨的に
効果的な粒子を指す。例えばＡＮＳＩ試験法Ｂ７４．１８−１８８４などの粒子
径の測定に利用できる標準試験法に基づき、メジアン粒子径に関して球状の粒子
形が想定される。

【００１４】 「実質的に均一」とは、表面を顕微鏡検査すると観察される樹脂および粒子の
顕著な凝集なしに、輪郭および壁の塗布できる表面、すなわち裂け目または空隙
によって画定される塗布できる表面に沿って分布する、完成品中の微細研磨材粒
子の分布を指す。完成品では、製品の最初の適用において研磨的に効果的である
ために、粒子の大部分は開口部の塗布できる表面に沿って配置される。

【００１５】 この発明の研磨材製品は、ハンドパッド、エンドレスベルト、ディスク、圧縮
または圧搾ホイールなどの形態で提供されても良い。さらに発明の製品を不織布
、独立気泡フォーム、連続気泡フォーム、または硬質フォーム基材などのその他
の製品にラミネートしても良く、あるいは製品をミシン目あり、またはなしのロ
ール形態で提供しても良い。

【００１６】 前述の製品の調製においては、小孔のある基材を調製し、あるいは別のやり方
で提供する。メイクコート前駆物質を小孔のある基材の表面に塗布し、第１のコ
ーティング層を形成する。複数の微細研磨材粒子を第１のコーティング層に塗布
して、メイクコート前駆物質組成物を少なくとも部分的に硬化する。任意に研磨
材粒子および第１のコーティング上に、サイズコート前駆物質組成物を塗布して
第２のコーティング層を形成する。第１およびの第２のコーティング層を硬化さ
せて、研磨材粒子を小孔のある基材の開口部の塗布できる表面に貼り付けて研磨
材製品を提供し、粒子はそれらの輪郭に沿って実質的に均一に分布して表面に貼
りく。

【００１７】 好ましくは米国特許番号第５，８６３，３０５号に述べられる付着方法を使用
して、小孔のある基材の第１の主面、次に小孔のある基材の第２の主面に粒子を
付着させ、微細研磨材粒子をメイクコート前駆物質に付着させる。より大きな、
すなわち直径６０μｍを越える研磨材粒子は、好ましくはドロップコーティング
または静電コーティングなどの既知の方法によって、メイクコート前駆物質上に
塗布する。好ましくはメイクコートおよびサイズコート前駆物質は、熱硬化性で
塗布できるポリウレタン樹脂である。同様に任意のサイズコートを製品に塗布す
る場合、好ましくは少なくとも部分的に硬化したメイクコート上に塗布する。メ
イクコート前駆物質およびサイズコート前駆物質は、次に完全に硬化して発明の
可撓性研磨材製品が提供され、このようにして調製した製品をさらに加工して、
ハンドパッド、エンドレスベルト、ディスク、圧縮または圧搾ホイールなどを提
供しても良い。

【００１８】 発明の詳細な説明 研磨材粒子のための支持材料として使用される有機基材は、織布、メリヤスま
たは不織布などの繊維性基材であっても良い。例えば繊維性基材は、エアレイド
、カード、ステッチボンド、スパンボンド、ウェットレイド、またはメルトブロ
ーン構造のような織布、メリヤス、または不織布などを含む。代案としては、有
機基材として熱可塑性、熱硬化性、または熱可塑性エラストマーフォームが使用
できる。フォーム構造を使用する場合、連続気泡または網状フォーム構造が好ま
しい。

【００１９】 一実施態様では、有機基材は、不織ウェブおよび繊維接着剤処理剤（概して「
結合前」接着剤として知られる）を含む、開放性で嵩高い三次元不織布である。
発明の製品使用するのに適した不織ウェブは、エアレイド、カード、ステッチボ
ンド、スパンボンド、ウェットレイド、またはメルトブローン構造からできてい
ても良い。好ましい不織ウェブは、米国特許番号第２，９５８，５９３号で述べ
られる開放性で嵩高い三次元エアレイド不織布である。ウェブは劣化しないで接
着剤が加熱される硬化温度に耐えられるナイロン、ポリエステルなどのあらゆる
適切な繊維からできていても良い。適切な接着剤と適合性で比較的吸湿性が低い
のと、それに比例してイオン汚染感受性が低いことから、ポリエステル繊維が好
ましい。ウェブ繊維は、好ましくは張力がかけられてクリンプされるが、米国特
許番号第４，２２７，３５０号で述べられるような押出し工程によって形成され
た連続フィラメントであっても良い。

【００２０】 不織ウェブの製造で使用される繊維としては、天然および合成繊維の双方およ
びそれらの混合物が挙げられる。ポリエステル（例えばポリ（エチレンテレフタ
レート））、ナイロン（例えばポリ（ヘキサメチレンアジパミド）、ポリカプロ
ラクタム）、ポリプロピレン、（アクリロニトリルのポリマーから形成される）
アクリル、レーヨン、酢酸セルロース、ポリ塩化ビニリデン−塩化ビニリデン共
重合体、塩化ビニル−アクリロニトリル共重合体などからできたものなどの合成
繊維が好ましい。天然繊維としては、綿、ウール、ジュート、および麻などが挙
げられる。繊維の選択における重要な考慮すべき事項は、繊維と研磨材の結合剤
として使用される接着剤の溶融または硬化温度以下の温度で、溶融または分解し
ないことである。使用される繊維は、バージン繊維でもあるいは被服裁断、カー
ペット製造、繊維製造、または織物加工などから再生されたウエスでも良い。繊
維材料は、均質な繊維またはバイコンポーネント繊維（例えば同時スパンシース
−コア繊維）などの複合繊維であることができる。

【００２１】 使用される繊維の繊度または線密度は、所望の結果次第で大きく異なって良い
。粗い繊維は、概してラフな研磨作業のためのパッドを製造するのにより役立つ
一方、より細い繊維は、よりアグレッシブでない研磨用途により適している。好
ましい繊維は、概して約１から２５デニールの線密度を有するものであるが、例
えば完成研磨材製品に対して予見される用途次第で、より細いまたは粗い繊維を
使用しても良い。当業者は、発明が用いられる繊維の性質またはそれらのそれぞ
れの長さ、デニールなどによって制限されないことを理解するであろう。

【００２２】 ニューヨーク州マセドンのＲａｎｄｏ Ｍａｃｈｉｎｅ Ｃｏ．から入手され
るような市販のＲＡＮＤＯ−ＷＥＢＢＥＲ装置によって、不織ウェブを形成して
も良い。このような加工装置によって、繊維長は通常約１．２５ｃｍ〜約１０ｃ
ｍに保たれるべきである。しかしその他のタイプの従来のウェブ形成装置では、
異なる長さの繊維またはそれらの組み合わせを使用して、不織ウェブを形成する
こともできる。得られるウェブで最終的に所望される弾力性および靭性を考慮す
れば、繊維の厚さは（加工上の考慮事項以外には）特に制限されない。ＲＡＮＤ
Ｏ−ＷＥＢＢＥＲ装置では、繊維の厚さは好ましくは約２５〜約２５０μｍの範
囲内である。

【００２３】 繊維はカールさせても、クリンプさせてもおよび／またはストレートでも良い
。しかし最大の嵩高さと開放性を有する三次元構造を得るために、繊維の全量ま
たはかなりの量をクリンプさせることが好ましい。繊維が容易に相互に絡み合っ
てウェブ内で高度に開放性で嵩高い関係を形成し保持する場合、クリンプは不必
要かもしれない。

【００２４】 繊維は、ウェブ、バット、またはトウの形態で使用しても良い。ここでの用法
では、「バット」は複数のエアレイドウェブまたは類似構造を指す。

【００２５】 不織研磨材製品に対する任意の増強として、製品がより高い構造強度を有する
ように、不織ウェブ内の繊維結合を促進することが望ましい。このような繊維処
理は、メイク接着剤を使用して研磨材粒子を繊維表面に粘着性に付着させる前ま
たは後に、好ましくは別の処理としてウェブに加えられても良い。研磨材成分の
ない「プリボンド」樹脂として知られる接着剤を使用して、不織ウェブをさらに
強固にしても良い。既知のコーティングまたはスプレー技術を使用して、樹脂接
着剤を液体コーティングとしてエアレイドウェブの繊維に塗布し、続いて接着剤
を（例えば熱硬化によって）硬化させることで、ウェブ繊維をそれらの共通の接
点で相互に結合する。これに関して使用しても良い適切な接着剤材料は既知であ
り、米国特許番号第２，９５８，５９３号で述べられるものなどが挙げられる。
溶融結合性繊維が不織ウェブの構造に含まれる場合、繊維の少なくとも１成分を
溶かすウェブの適切な熱処理によって、繊維が共通の接点で相互に接着しても良
い。溶解した成分は接着剤の機能を果たすので、冷却すると溶解した成分が再凝
固してウェブ繊維の共通の接点で結合を形成する。不織ウェブへの溶融結合性繊
維（米国特許番号第５，０８２，７２０で述べられるもののような）の包含は、
当業者に知られるようにプリボンド樹脂の塗布を伴っても伴わなくても良い。溶
融結合性繊維の選択と使用、プリボンド樹脂の選択と塗布、および不織繊維を相
互に結合させるのに必要な条件（例えば溶融結合またはプリポンド樹脂による）
は、典型的に当業者の技能範囲内である。

【００２６】 既述のように、繊維はそれらの相互接点で共に結合されて、開放性で低密度の
嵩高いウェブを提供し、繊維間の裂け目は、実質的に樹脂または研磨材によって
満たされないままである。典型的な塗布では完成不織研磨材製品の空隙率は、好
ましくは約７５％〜約９５％の範囲である。より低い空隙率では、不織製品は目
詰りする傾向がより高く、それは研磨材の割合を低下させてフラッシングによる
ウェブの清浄化を妨げる。空隙率が高すぎると、ウェブは清浄化または研磨操作
に伴う応力に耐える十分な構造強度を欠くかもしれない。

【００２７】 有機基材が不織可撓性の研磨材製品として、実質的に並列のフィラメントの開
放トウを含んでも良いことも考察された。この実施態様では、例えばトウに研磨
材粒子を付着させる前またはその最中に、フィラメントの開放トウに接着剤をコ
ーティングして不織研磨材パッドを形成しても良い。次に上述のように接着剤を
熱処理して、フィラメント表面に研磨材粒子を融合させる。

【００２８】 発泡型ポリマーまたはフォーム中の気相は、セルと称される裂け目または空隙
中に分布する。これらのセルが、気体がセルからセルへと通過できるように相互
連絡する場合、フォームは連続気泡と称される。対照的にセルが分離して各気相
が他のセルの気相から独立している場合、フォームは独立気泡と称される。フォ
ーム中の連続気泡の分画が、独立気泡の分画を越える場合、フォームは連続気泡
フォームである。独立気泡の含量は、ＡＳＴＭ方法Ｄ３５７４で述べられる空気
流マノメーターの手段によって測定しても良い。

【００２９】 概して基材の少なくとも１表面に塗布できる表面がある連続気泡を有する、あ
らゆる弾性で可撓性のフォーム基材をこの発明の研磨材製品中で使用しても良い
。好ましいフォーム基材は、約４〜約１００個の孔／インチ（ｐｐｉ）（平均孔
径６〜０．２５ｍｍ）を有する。約１００ｐｐｉを越える孔を有するフォーム基
材は、固相面として挙動する表面を有する。このような固相面を発明の方法によ
って被覆しても良いが、このようなフォーム基材は、樹脂および粒子の不均一な
塗布のために、被覆されないフォーム基材の特性を保持しないかもしれない。有
用なフォーム基材としては、ポリウレタン、フォームラバー、およびシリコンな
どの合成ポリマー材料、および天然スポンジ材料からできたものが挙げられる。

【００３０】 フォーム基材の厚さは、可撓性研磨材製品の所望の最終用途によってのみ制限
される。好ましいフォーム基材は、約１ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲の厚さを有する
。

【００３１】 好ましいフォーム材料としては、均一の孔を有し、開放性の網状セル構造を有
するポリエステルウレタンが挙げられる。このような好ましいフォームは、必要
とされる製品の可撓性と研磨材性能を提供し、汚染の傾向を低下させる。

【００３２】 以下により詳細に述べるように、接着剤層は、樹脂メイクコート前駆物質また
は第１の樹脂、そして任意に、メイクコート前駆物質および研磨材粒子上に塗布
されるサイズコート前駆物質または第２の樹脂を小孔のある基材に塗布して形成
される。好ましくは接着剤層は、硬化すると研磨材粒子を基材に強固に結合する
のに必要な接着性を提供する塗布量で、小孔のある基材に塗布されたメイクコー
ト前駆物質とサイズコート前駆物質とから形成される。メイクコートおよびサイ
ズコート前駆物質は、小孔のある基材への塗布に先立って、任意にフロスまたは
泡立てしても良い。発明の完成品では、接着剤層は粒子を樹脂中に埋めることな
く、研磨材粒子上に樹脂の薄いコーティングを提供する。例えば顕微鏡下で観察
すると、個々の粒子は基材の塗布できる表面に固着して、塗布できる表面の外面
から外に伸びているのが観察される。研磨材粒子はこの構造中で、完成品の最初
の適用で即座に研磨的に効果的であるように製品内に配置される。さらに粒子は
、裂け目の塗布できる表面に強固に接着して研磨材製品に十分な可使時間を提供
する。

【００３３】 発明で使用するのに適したメイクコート前駆物質は、塗布できる硬化性接着剤
バインダーであり、１つ以上の熱可塑性または好ましくは熱硬化性樹脂接着剤を
含んでも良い。好ましい接着剤バインダーは、可撓性、靭性、および最小の汚染
物質および着色への貢献度から、ポリウレタンを含むものである。本発明で使用
するのに適したその他の樹脂接着剤としては、フェノール樹脂、ペンダントのα
，β−不飽和カルボニル基を有するアミノプラスト樹脂、エポキシ樹脂、エチレ
ン性不飽和樹脂、アクリル化イソシアヌレート樹脂、ユリアホルムアルデヒド樹
脂、イソシアヌレート樹脂、アクリル化ウレタン樹脂、アクリル化エポキシ樹脂
、ビスマレイミド樹脂、フルオレン変性エポキシ樹脂、およびそれらの組み合わ
せが挙げられる。しかしこのような樹脂の選択は、望ましくない量の汚染物質の
導入、あるいは好ましくない粒子を生じがちである脆いコーティングの生成を避
けるため、非常に注意深く行うべきである。同様に触媒および／または硬化剤も
接着剤バインダーに汚染可能性を加えるかもしれないので、注意を払って選択す
べきである。メイクコート乾燥含浸量は、典型的に５０ｇ／ｍ^２〜１７０ｇ／ｍ ^２ である。

【００３４】 エポキシ樹脂はオキシラン環を有し、開環によって重合する。このようなエポ
キシド樹脂としては、モノマーエポキシ樹脂およびポリマーエポキシ樹脂が挙げ
られる。これらの樹脂は、それらの主鎖および置換基の性質が大きく異なっても
良い。例えば主鎖は、普通にエポキシ樹脂と関連づけられるいずれのタイプであ
っても良く、その上の置換基は室温でオキシラン環と反応性である活性水素原子
のないいずれの化学基であっても良い。許容可能な置換基の代表例としては、ハ
ロゲン、エステル基、エーテル基、スルホネート基、シロキサン基、ニトロ基、
およびホスフェート基が挙げられる。いくつかの好ましいエポキシ樹脂の例とし
ては、２，２−ビス［４−（２，３−エポキシプロポキシ）−フェニル］プロパ
ン（ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル）］、およびＥＰＯＮ ８２８、
ＥＰＯＮ １００４、およびＥＰＯＮ １００１ Ｆの商品名の下に市販されＳ
ｈｅｌｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏ．から入手できるる材料、Ｄｏｗ Ｃｈｅｍ
ｉｃａｌ Ｃｏ．から入手できるＤＥＲ−３３１、ＤＥＲ−３３２、およびＤＥ
Ｒ−３３４が挙げられる。その他の適切なエポキシ樹脂としては、フェノールホ
ルムアルデヒドノボラックのグリシジルエーテル（例えばＤｏｗ Ｃｈｅｍｉｃ
ａｌ Ｃｏ．から入手できるＤＥＮ−４３１およびＤＥＮ−４２８）が挙げられ
る。

【００３５】 エチレン性不飽和バインダー前駆物質の例としては、ペンダントのα，β不飽
和カルボニル基を有するアミノプラストモノマーまたはオリゴマー、エチレン性
不飽和モノマーまたはオリゴマー、アクリル化イソシアヌレートモノマー、アク
リル化ウレタンオリゴマー、アクリル化エポキシモノマーまたはオリゴマー、エ
チレン性不飽和モノマー、あるいはそれらの希釈液、アクリレート分散体、また
は混合物が挙げられる。

【００３６】 アミノプラストバインダー前駆物質は、分子またはオリゴマーあたり少なくと
も１個のペンダントのα，β−不飽和カルボニル基を有する。これらの材料につ
いては、米国特許番号第４，９０３，４４０号、および米国特許番号第５，２３
６，４７２号でさらに詳しく述べられている。

【００３７】 エチレン性不飽和モノマーまたはオリゴマーは、単官能性、二官能性、三官能
性または四官能性、あるいは官能性がさらに高くても良い。アクリレートという
用語は、アクリレートとメタクリレートの双方を包含する。エチレン性不飽和バ
インダー前駆物質は、炭素、水素および酸素、そして任意に窒素およびハロゲン
原子を含有するモノマーおよびポリマー化合物の双方を含む。酸素または窒素原
子あるいはその両者は、概してエーテル、エステル、ウレタン、アミド、および
ウレア基中に存在する。エチレン性不飽和化合物は、好ましくは約４，０００未
満の分子量を有し、好ましくは脂肪族モノヒドロキシ基または脂肪族ポリヒドロ
キシ基と、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン
酸、マレイン酸などの不飽和カルボン酸を含有する化合物との反応からできたエ
ステルである。エチレン性不飽和モノマーの代表例としては、メチルメタクリレ
ート、エチルメタクリレート、スチレン、ジビニルベンゼン、ヒドロキシエチル
アクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレ
ート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルアクリレート、ヒ
ドロキシブチルメタクリレート、ビニルトルエン、エチレングリコールジアクリ
レート、ポリエチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタク
リレート、ヘキサンジオールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、グリセロールトリアクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタ
クリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、およびペンタエリスリ
トールテトラメタクリレートが挙げられる。その他のエチレン性不飽和樹脂とし
ては、ジアリルフタラート、ジアリルアジペート、およびＮ，Ｎ−ジアリルアジ
パミドなどのカルボン酸のモノアリル、ポリアリル、およびポリメタリルエステ
ルおよびアミドが挙げられる。さらに別の含窒素化合物としては、トリス（２−
アクリロキシエチル）イソシアヌレート、１，３，５−トリ（２−メチルアクリ
ロキシエチル）−ｓ−トリアジン、アクリルアミド、メチルアクリルアミド、Ｎ
−メチル−アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ−ビニルピロ
リドン、およびＮ−ビニル−ピペリドンが挙げられる。

【００３８】 少なくとも１個のペンダントのアクリレート基を有するイソシアヌレート誘導
体、および少なくとも１個のペンダントのアクリレート基を有するイソシアネー
ト誘導体については、米国特許番号第４，６５２，２７４号でさらに詳しく述べ
られている。好ましいイソシアヌレート材料は、トリス（ヒドロキシエチル）イ
ソシアヌレートのトリアクリレートである。

【００３９】 アクリル化ウレタンは、ヒドロキシ末端イソシアネート延長ポリエステルまた
はポリエーテルのジアクリレートエステルである。市販のアクリル化ウレタンの
例としては、Ｍｏｒｔｏｎ Ｃｈｅｍｉｃａｌから入手できるＵＶＩＴＨＡＮＥ
７８２、およびＵＣＢ Ｒａｄｃｕｒｅ Ｓｐｅｃｉａｌｔｉｅｓから入手で
きるＣＭＤ ６６００、ＣＭＤ ８４００、およびＣＭＤ ８８０５が挙げられ
る。アクリル化エポキシは、ビスフェノールＡエポキシ樹脂のジアクリレートエ
ステルなどのエポキシ樹脂のジアクリレートエステルである。市販のアクリル化
エポキシの例としては、ＵＣＢ Ｒａｄｃｕｒｅ Ｓｐｅｃｉａｌｔｉｅｓから
入手できるＣＭＤ ３５００、ＣＭＤ ３６００、およびＣＭＤ ３７００が挙
げられる。

【００４０】 エチレン性不飽和希釈液またはモノマーの例は、米国特許番号第５，６６７，
８４２号および米国特許番号第５，２３６，４７２号にある。これらは水と相溶
性の傾向があるので、場合によってはこれらのエチレン性不飽和希釈液は有用で
ある。

【００４１】 アクリレート分散液に関する詳細は、米国特許番号第５，３７８，２５２号に
ある。

【００４２】 部分的に重合したエチレン性不飽和モノマーをメイクまたはサイズコート前駆
物質中で使用することもこの発明の範囲内である。例えばアクリレートモノマー
を部分的に重合させて、メイクコート前駆物質に組み込める。前駆物質が材料に
塗布できるように、得られる部分的に重合したエチレン性不飽和モノマーが過剰
に高い粘度を有さないよう、部分的重合の程度を調節すべきである。部分的に重
合させても良いアクリレートモノマーの例は、イソオクチルアクリレートである
。部分的に重合したエチレン性不飽和モノマーと、別のエチレン性不飽和モノマ
ーおよび／または縮合硬化性樹脂との組み合わせを使用することもこの発明の範
囲内である。

【００４３】 上述のクリーンルーム用途で使用するためのハンドパッドの製造において、本
発明のメイクコート前駆物質として使用される接着剤材料は、Ｋｉｒｋ−Ｏｔｈ
ｍｅｒ著、Ｅｎｃｙｃｌｏｐｅｄｉａ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｔｅｃｈｎｏ
ｌｏｇｙ、第三版、ＪｏｈｎＷｉｌｅｙ ＆ Ｓｏｎｓ、１９８１年、ニューヨ
ーク、第１７巻、３８４〜３９９ページで述べられるレゾールおよびノボラック
樹脂などの熱硬化性フェノール樹脂を含んでも良い。レゾールフェノール樹脂は
アルカリ性触媒とモル過剰量のホルムアルデヒドから製造され、典型的に１．０
：１．０〜３．０：１．０のホルムアルデヒド対フェノールのモル比を有する。
ノボラック樹脂は酸触媒下、１．０：１．０未満のホルムアルデヒド対フェノー
ルのモル比で調製される。本発明の製品の製造で有用な典型的なレゾール樹脂は
、（重量で）約０．７５％〜約１．４％の放出ホルムアルデヒドと、約６％〜約
８％の放出フェノールと、約７８％の固形分を含有し、残りは水である。このよ
うな樹脂のｐＨは約８．５であり、粘度は約２４００〜約２８００センチポアズ
である。本発明で使用するのに適した市販のフェノール樹脂としては、ニューヨ
ーク州トナワンダのＯｃｃｉｄｅｎｔａｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ Ｃｏｒｐｏｒ
ａｔｉｏｎから入手できるＤＵＲＥＺおよびＶＡＲＣＵＭの商品名の下に知られ
るもの、Ｍｏｎｓａｎｔｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから入手できるＲＥＳＩＮ
ＯＸ、およびどちらもＡｓｈｌａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍｐａｎｙから
入手できるＡＲＯＦＥＮＥおよびＡＲＯＴＡＰ、ならびにカナダ国オンタリオ州
ミシサーガのＮｅｓｔｅ Ｃａｎａｄの一部門ＮｅｓｔｅＲｅｓｉｎｓから商品
名ＢＢ０７７の下に入手できるレゾール初期縮合物が挙げられる。必要ならばま
たは所望するならば、有機溶剤をフェノール樹脂に添加しても良い。

【００４４】 本発明の可撓性の研磨材製品中で使用するのに好ましい接着剤材料は、好まし
くは商品名ＡＤＩＰＲＥＮＥ ＢＬ１６およびＡＤＩＰＲＥＮＥ ＢＬ３１の下
にコネチカット州スタムフォードのＣｒｏｍｐｔｏｎ ＆ Ｋｎｏｗｌｅｓ Ｃ
ｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから市販されるものなどのポリウレタンを含む。

【００４５】 サイズコート前駆物質は上述のメイクコート前駆物質と同じでも良く、あるい
はそれはメイクコート前駆物質と異なっても良い。サイズコート前駆物質は、フ
ェノール樹脂、ユリアホルムアルデヒド樹脂、メラミン樹脂、アクリレート樹脂
、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、アミノプラスト樹脂な
どの前述の樹脂系または粘着性接着剤のいずれか、および前述の組み合わせと混
合物を含んでも良い。好ましくはサイズコート前駆物質は、メイクコート前駆物
質で使用される接着剤と類似または同一の樹脂系接着剤を含む。より好ましくは
、サイズコート前駆物質は、熱硬化性樹脂または放射線硬化性樹脂のどちらか含
む。研磨材粒子が樹脂コーティング中に埋もれて、完成品の最初の適用時に利用
できなくならないないように、樹脂のウェット含浸量を低下させるよう、サイズ
コート前駆物質をメイクコートへの塗布に先立って泡立てても良い。サイズコー
ト前駆物質は、好ましくは小孔のある基材に塗布されて、粒子を樹脂の下に埋め
ることなく研磨材粒子を薄い実質的に均一なコーティングで覆う、典型的に約５
０ｇ／ｍ^２〜約２００ｇ／ｍ^２の範囲内である含浸量を提供する。しかし特定の
含浸量は、小孔のある基材の性質、列びに使用する樹脂の性質などのいくつかの
要素に左右される。適切なサイズコート含浸量の判定は、十分当業者の技能の範
囲内である。好ましいサイズコートはポリウレタンである。

【００４６】 本発明の研磨材製品に含めるのに適した有用な研磨材粒子は、１μｍ〜約６０
０μｍのメジアン粒子径を有するあらゆる既知の微細なそしてより大きな研磨材
粒子であり、約１０μｍ〜約１００μｍのメジアン粒子径が好ましい。より好ま
しくはこのような微細研磨材粒子は、メジアン粒子径が約３０μｍ〜約６０μｍ
の粒度分布で提供される。本発明で有用な種々のタイプの研磨材材料としては、
セラミック酸化アルミニウム、熱処理酸化アルミニウム、および白色融解酸化ア
ルミニウムをはじめとする酸化アルミニウム粒子、ならびにシリコンカーバイド
、アルミナジルコニア、ダイアモンド、酸化セリウム、立方晶窒化硼素、ガーネ
ット、粉末ガラス、石英、および前述の組み合わせが挙げられる。有用な研磨材
粒子は、熱硬化性または熱可塑性ポリマー粒子などのより柔軟でよりアグレッシ
ブでない材料、ならびにナットシェルなどの粉砕天然物を含んでも良い。化学的
活性粒子が好ましくないレベルの汚染物質を加えないのであれば、このような化
学的活性粒子が研磨材製品に含まれてもよい。

【００４７】 当業者は、粒子組成物および粒度の選択が、製品によって処理される工作物表
面の性質、および所望の研磨材効果を考慮して、考察される完成研磨材製品の最
終用途に左右されることを理解するであろう。好ましくは発明の製品に含まれる
微細研磨材粒子は、少なくともモース硬度約５を有する材料を含むが、用途によ
ってはより柔軟な粒子も適切かもしれず、発明はいかなる特定の硬度を有する粒
子によっても制限されるものではない。粒子は小孔のある基材の第１または第２
の主面の少なくとも１つに添加されて、考察される完成品の最終用途に十分な粒
子装入量を提供する。研磨材粒子を小孔のある基材に塗布して、約２０９〜６２
８ｇ／ｍ^２（約５０〜１５０グレイン／２４平方インチ）の範囲内の含浸量を提
供しても良い。好ましい研磨材粒子は、比較的低コストで汚染物質が少量である
ことから、溶融白色アルミナの粒子である。より好ましい研磨材粒子は、ナトリ
ウム、酸化ナトリウムまたはその他のナトリウム誘導体を少量含有する溶融白色
アルミナである。

【００４８】 メイクコート前駆物質またはサイズコート前駆物質またはその両者は、充填剤
、繊維、潤滑剤、粉砕助剤、湿潤剤、界面活性剤、顔料、染料、カップリング剤
、光重合開始剤、可塑剤、沈澱防止剤、帯電防止剤などの任意の添加剤を含有し
ても良い。しかし汚染物質の存在を増大させる可能性を有するようなタイプおよ
び量の添加剤は、厳しく避けるべきである。当業者に既知であるように、添加剤
のタイプおよび量は所望の特性を提供するように選択される。

【００４９】 有機溶剤および／または水を前駆物質組成物に添加して、コーティングに先立
って粘度を変化させても良いが、得られる製品中における汚染物質レベル上昇を
避けるため、溶剤を選択するように注意しなくてはならない。特定の有機溶剤お
よび／または水の選択は、当業者の技能の範囲内であると考えられ、メイクまた
はサイズ前駆物質中で使用される熱硬化性樹脂、およびこれらの樹脂の使用量に
左右される。

【００５０】 図２に示されるように、発明の製品の調製では、第１の面１０４および第２の
面１０６を有する小孔のある基材１００を装置１４に供給する。小孔のある基材
１００は、第１の接着剤またはメイクコート前駆物質を小孔のある基材１００に
塗布するコーター２０を最初に通過する。コーター２０は、スプレーコーター、
ロールコーター、ディップコーター、ナイフオーバーロールコーターなどの技術
分野で既知のあらゆる適切なコーターを含むことができる。下で述べるメイクコ
ート前駆物質を塗布する場合、好ましいコーター２０は、小孔のある基材１００
が２つの対向するローラーによって形成されるニップを通過する、ダブルロール
コーターを含む。好ましくはローラーの圧力は、小孔のある基材の厚み中へのメ
イクコート前駆物質の浸透を制御するように制御される。適切なコーターは技術
分野で周知である。技術分野で既知のように、メイクコート前駆物質はパンから
ボトムローラーに塗布される。メイクコート前駆物質を小孔のある基材に塗布す
るためのその他の適切な処置としては、スロットダイでメイクコート前駆物質を
ダブルロールコーターのボトムロールまたは双方のロールに塗布すること、ダブ
ルロールコーターのニップに入れる前に、スロットダイでメイクコート前駆物質
を小孔のある基材に直接塗布すること、ロールコーターなしにスロットダイで、
そして任意にスロットダイに対向する小孔のある基材全体を真空にして、メイク
コート前駆物質を塗布すること、対向するスロットダイでメイクコート前駆物質
を小孔のある基材の両側に塗布して、続いて小孔のある基材をロールコーターに
通過させるまたは通過させないこと、小孔のある基材を横切るホースまたはダク
トでメイクコート前駆物質を塗布すること、が挙げられるがこれに限定されるも
のではない。

【００５１】 第１の接着剤コーター２０を出た後、小孔のある基材１００は第１の粒子コー
ター２２を通過する。第１の粒子コーター２２は、好ましくは小孔のある基材の
第１の表面１０４に微細研磨材粒子を塗布するように設定される。以下でより詳
しく述べるように、研磨材粒子は、小孔のある基材のセルの特性次第で、小孔の
ある基材１００の表面１０４からある程度の深さまで浸透する。研磨材粒子を小
孔のある基材１００の第２の面１０６に塗布することが所望される場合、小孔の
ある基材は、小孔のある基材の向きを変えて第２の面１０６が上になるように、
ローラー２４ａおよび２４ｂの上を通過する。次に研磨材粒子を小孔のある基材
１００の第２の面１０６に塗布するように設定された任意の第２の粒子コーター
２６に、小孔のある基材１００を通過させる。好ましくは第２の粒子コーター２
６は、第１の粒子コーター２２と類似した構造である。しかし特定の塗布では、
第１の粒子コーター２２とは異なるタイプ、または設定の第２のコーター２６を
使用することが好ましいかもしれない。また第２の研磨材粒子コーター２６は、
第１の研磨材粒子コーター２２によって塗布された研磨材粒子と同じ、または異
なる組成物および／またはサイズを有する研磨材粒子を塗布する。粒子は静電コ
ーティング技術を使用して、小孔のある基材上に被覆されても良い。

【００５２】 小孔のある基材１００の少なくとも第１の表面１０４、そして任意に第２の表
面１０６に微細研磨材粒子を塗布した後、好ましくは赤外線ランプまたはオーブ
ンなどの熱源（図示せず）に小孔のある基材１００を暴露して、樹脂を少なくと
も部分的に硬化するのに必要な程度にまでメイクコート前駆物質を加熱する。用
途によっては、この段階でメイクコート前駆物質を完全に硬化することが好まし
いかもしれない。加熱は十分な熱分布および空気流を与えるあらゆる熱源によっ
て実施できる。適切な熱源の例としては、強制空気オーブン、対流オーブン、赤
外線加熱などが挙げられる。放射線または化学線エネルギーも発明の範囲内であ
る。熱活性化できる熱硬化性樹脂では、加熱時間が、残留溶剤を追い出して、樹
脂の硬化を少なくとも部分的に開始するのに十分であることが好ましい。

【００５３】 好ましい実施態様では、小孔のある基材１００が第２の研磨材粒子コーター２
６を出た後に、小孔のある基材１００が第２の接着剤またはサイズ前駆物質コー
ター２８を任意に通過して、任意のしかし好ましいサイズコート前駆物質が適用
される。好ましくはサイズ前駆物質コーターは、メイク前駆物質コーター２０と
同一の設定である。用途によってはそうでなく、第１のコーター２０とは異なる
設定のコーター２８を使用することが所望されるかもしれない。用途によっては
、サイズコートを添加しないことが好ましいかもしれない。

【００５４】 第１の粒子コーター２２の好ましい実施態様を図３により詳細に示す。少なく
ともその１つが駆動ローラーであるローラー３２ａおよび３２ｂの間を回る移動
ベルト３０によって、小孔のある基材１００がコーター２２を通って搬送される
。小孔のある基材１００は粒子スプレーブース３４を通過する。ブース３４は第
１の面３６、第２の面３８、トップ４０、およびボトム４２を含む。ブース４０
は図示されない前面と後面も含む。第１の面３６は、小孔のある基材１００およ
び移動ベルト３０がブース３４に入れる大きさに設定された入り口スロット４４
ａを含む。第２の面３８は、小孔のある基材１００および移動ベルト３０がブー
ス３４を出られる大きさに設定された出口スロット４４ｂを含む。スロット４４
ａ、４４ｂは、面３６、３８それぞれの底辺近くに位置する。ブース３４のトッ
プ４０の開口部を通して装着されるのは、噴霧器の出口４７に装着されたデフレ
クター４８を有する粒子噴霧器４６である。この時点でその上にメイクコート前
駆物質を含む小孔のある基材１００は、ブース３４を通ってベルト３０によって
搬送される。小孔のある基材が入り口スロット４４ａから出口スロット４４ｂへ
と通過する際に、小孔のある基材の第１の面１０４を研磨材粒子でコーティング
するように、粒子噴霧器４６が粒子１０２をブース内に導入する。以下で述べる
ように粒子１０２は、小孔のある基材１００にある程度の深さまで浸透する。こ
の時点でメイクコート前駆物質によって小孔のある基材に接着する研磨材粒子を
含む小孔のある基材１００は、次いでブース３４を出る。

【００５５】 好ましい一実施態様では、粒子噴霧器４６は研磨材粒子／空気混合物を流動床
５２から受容する。研磨材粒子１０２は、流動化空気吸気口５３を経由して床内
に導入される（図示されない適切な供給源からの）流動化空気によって、床５２
内で流動化される。

【００５６】 技術分野で既知のように、流動床５２の頂上にはベンチュリ管吸気口５６があ
る。図示した実施態様ではベンチュリ管５６は、適切な供給源から吸気口５８を
経由して一次空気を受け取る。一次空気はベンチュリ管５６を通過し、ベンチュ
リ管５６から流動床５２に伸びる吸込み管５４を通じて、流動化された粒子と空
気の混合物を吸込む。二時空気は、二時空気吸気口６０を経由してベンチュリ管
吸気口５６に任意に添加できる。二時空気は、粒子がベンチュリ管に吸込まれた
後に、流動化された研磨材粒子のフローに添加されて、ベンチュリ管出口６２か
ら粒子噴霧器４６の吸気口に伸びる粒子ホース６４を経由して、噴霧器４６に流
動化された研磨材粒子／空気混合物をデリバリするのを助ける。

【００５７】 デフレクター４８は、粒子噴霧器４６の出口４７に装着されて、流動化された
研磨材粒子／空気混合物の向きを変える。デフレクター４８は、（図５および６
に示される）デフレクタートップ４９、デフレクターボトム５０、およびデフレ
クター壁５１を含む。好ましい一配置では、デフレクターボトム５０は３２ｍｍ
（１．２６インチ）の直径を有し、デフレクターのボトム端は、スプレーガンの
出口から２０ｍｍ（０．７９インチ）伸びて、小孔のある基材１００の上１５５
ｍｍ（６．１インチ）の高さに保持される。もちろんその他の配置も本発明の範
囲内である。例えばデフレクターの大きさ、デフレクターの形、壁５１の輪郭、
粒子噴霧器４６の数と位置、小孔のある基材上のデフレクターの高さ、小孔のあ
る基材１００の速度、そして粒子／空気混合物中の空気圧および研磨材粒子の割
合はそれぞれ異なっても良い。このようなパラメータは、所望の研磨材粒子含浸
量、小孔のある基材１００中への研磨材粒子の所望の浸透、または小孔のある基
材１００上の研磨材粒子１０２に所望される均一性を達成するために変化しても
良い。

【００５８】 好ましい一実施態様では、噴霧器４６、流動床５２、およびコントローラ（図
示せず）は、インディアナ州インディアナポリスのＧｅｍａ，ａｎ Ｉｌｌｉｎ
ｏｉｓ Ｔｏｏｌ Ｗｏｒｋｓ Ｃｏｍｐａｎｙから入手される、ＭＰＳ １−
Ｌ手動パウダーシステムとして知られる、ＰＧ １−Ｅ型手動エナメルパウダー
ガンを含み、実質的に図５で示すような丸形デフレクター４８が付いた市販のシ
ステムである。

【００５９】 別の好ましい実施態様では、研磨材粒子スプレー装置は、５０ポンド流動化床
、ＧＣＭ−２００ガン制御モジュール、ＳＣＭ−１１０安全制御モジュール、Ｓ
ＴＡＪＥＴ ＳＲＶ ４１４型ガンを含む、標準パウダーポンプが付いたイリノ
イ州フランクリンパークのＢｉｎｋｓ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏｍｐ
ａｎｙ（Ｓａｍｅｓ）から市販されるタイプである。

【００６０】 粒子噴霧器４６の別の好ましい実施態様を図５および６に示す。この実施態様
では、噴霧器は管の一端に出口４７を、他端に吸気口６８を有する細長いチュー
ブ６６を含む。使用においては、この噴霧器４６の実施態様は、既述の図５の実
施態様に関して示したように、吸気口６８に付着した研磨材粒子／空気混合物ホ
ースを有する。図５および６に示す噴霧器４６の実施態様は、スプレーブース３
４に装着されて、図３に示す粒子コーター２２の実施態様に関して述べたように
操作される。

【００６１】 図５および６について述べると、噴霧器４６は、チューブ６６の出口４７に装
着された粒子デフレクター４８を含む。デフレクター４８は、あらゆる適切な装
着手段によってチューブ６６に装着される。好ましい一実施態様では、デフレク
ター取付台７０は概して、第１の端面７４および第２の端面７６を有する長方形
プレートを含むベース７２を含む。ベース７２は、出口４７に最も近いチューブ
６６の末端で、スロット６９にフィットする大きさに設定される。取付台７０は
、チューブ６６に恒久的にまたは取り外しできるように装着できる。図示した実
施態様では、ベース７２は、ベース７２の第１および第２の端面の孔７８に固着
されるばね、クリップまたはその他の適切な留め具（図示せず）によって、スロ
ット６９内に外せるように保持される。ベース７２からは、ベースに（例えばロ
ウ付けによって）固着される第１の末端８２と、チューブ６６の出口４７を越え
て伸びる第２の末端８４とを有するねじ棒８０が伸びている。ねじ棒８２はデフ
レクター４８のトップ４９で、同様にねじ切りされた孔とかみ合うように設定さ
れる。これによってデフレクター４８を回転させることで、デフレクター４８の
一部がチューブ６６の出口４７に関して都合良く調節できるようになる。これに
よって上で述べたように噴霧器４６を出ていく粒子１０２の運動方向が、変えら
れるようになる。デフレクター４８はトップ４９に対向するボトム５０、および
トップ４９とボトム５０の間に広がるデフレクター壁５１も含む。

【００６２】 噴霧器４６の代案の実施態様を図６Ａに示す。この実施態様では、ねじ棒８０
は細長くテーパエンド８２を含み、チューブ６６を通る研磨材粒子の流れを方向
付けるのを助ける。ピン７３はチューブ６６の壁の孔７５を通って伸び、棒８０
の孔を通って伸びて、棒８０を噴霧器４６に装着する。一実施態様では、棒８０
のテーパエンド８２は吸気口６８で終わる。その他の実施態様では、末端８２は
吸気口６８を越えて伸びることができ、または吸気口は棒の末端８２を越えて伸
びても良い。デフレクター４８は、上述のようにねじ切りされた端８４に装着さ
れる。

【００６３】 チューブ６６およびデフレクター４８は、研磨材粒子１０２の所望の均一スプ
レーパターンを提供するような大きさと設定であるべきである。好ましい一実施
態様では、チューブ６６は長さがおよそ６１ｃｍ（２４インチ）で、内径１．０
８ｃｍ（０．４２５インチ）、および外径１．２７ｃｍ（０．５インチ）を有し
、ステンレスで構成される。チューブ６６のその他のサイズおよび材料も、本発
明の範囲内であるものと理解される。

【００６４】 研磨材粒子噴霧器４６の別の好ましい実施態様を図７に示す。この実施態様で
は、噴霧器４６は、スタッド９３で連結された回転する第１および第２の円形デ
ィスク９０および９１をそれぞれ含む。第２のディスク９１は、その中心に孔９
２を有する。第２のディスクは、中心孔９２と同軸である回転軸９４に連結する
。回転軸９４は、回転軸９４が定置供給チューブ９５と同軸になるように、ベア
リング９８の手段によって定置供給チューブ９５の外面に、回転できるように装
着される。このようにして、回転軸９４、第１のプレート９０、および第２のプ
レート９１は、ユニットとして定置供給チューブ９５の周囲を一緒に回転できる
ようになる。回転軸９４は、空気圧モーター（図示せず）などのあらゆる適切な
動力手段で駆動できる。供給チューブ９５は吸気口９６および排気口９７を含む
。好ましい一実施態様では、図４の実施態様に関して説明したように、供給チュ
ーブ９５の吸気口９６が研磨材粒子／空気混合物ホース６４に付着し、粒子噴霧
器４６は粒子ブース３４のトップ４０に装着される。このような配置において、
粒子噴霧器４６は流動床５２から流動化された研磨材粒子を受け取る。この実施
態様のバリエーションでは、流動床５２に代えて振動供給装置が使用できる。振
動供給装置は、供給チューブ９５の吸気口９６内に研磨材粒子を供給するように
接続される。

【００６５】 操作においては、プレート９０および９１の回転を引き起こすように回転軸９
４が駆動される。微細研磨材粒子は供給チューブ９５を通過して、出口９７を出
る。チューブ出口９７は、研磨材粒子が第１および第２のプレート９０、９１の
間のスペースに入るように、第２のプレート９１内の孔９２を通して配置される
。研磨材粒子は回転するプレート９０の上面にぶつかって、出口４７を通って、
第１および第２のプレート９０、９１の平面と概して平行な方向に分散する。粒
子は好ましくは、上で述べた実施態様に関して説明したように、好ましくは重力
によって沈降して、小孔のある基材１００の表面に付着する雲状物を形成する。
好ましい一実施態様では、粒子噴霧器４６は、イリノイ州フランクリンパークの
Ｂｉｎｋｓ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ（Ｓａｍｅｓ）から
市販されるＢｉｎｋｓ ＥＰＢ−２０００を含み、研磨材粒子は、オハイオ州ク
リーブランドのＣｌｅｖｅｌａｎｄ Ｖｉｂｒａｔｏｒｙ Ｃｏｍｐａｎｙから
「タイプ１５１」として市販される振動プレ供給装置によって粒子噴霧器に供給
される。粒子噴霧器のプレート９０、９１は、好ましくは６，０００〜９０００
ＲＰＭで駆動されるが、より遅いまたはより早い速度も本発明の範囲内である。
研磨材粒子供速度、粒子供給装置のタイプ、またはプレート回転速度は、所望の
研磨材粒子スプレーパターン、所望の研磨材粒子含浸量、または小孔のある基材
１００中への所望の研磨材粒子浸透程度を提供するように選択されても良い。

【００６６】 ここで述べた好ましい実施態様に共通しているのは、小孔のある基材１００に
垂直な方向から、小孔のある基材１００に平行な平面に近づく、あるいはそれを
越える方向に、噴霧器を出る粒子１０２の流れの方向を変化させる手段を粒子噴
霧器が含むことである。このような方向については、粒子噴霧器４６の出口４７
に接して取り囲む領域に関して述べられる。その後、微細粒子１０２は好ましく
はブース３４内で粒子の雲状物に分散する。次に粒子は、重力の影響下で雲状物
から小孔のある基材に沈降する。好ましい発明の方法の一実施態様では、粒子が
小孔のある基材１００に付着する直前には、粒子噴霧器４６が与える運動量より
も重力が研磨材粒子の動きにより大きく影響する。用途によっては、粒子が小孔
のある基材１００に付着する直前には、粒子噴霧器４６が与える運動量は、粒子
１０２の動きにほとんど影響しない。例えば小孔のある基材１００への研磨材粒
子１０２のより深い浸透が所望されるようなその他の用途では、粒子が小孔のあ
る基材に接着する直前に、噴霧器４６が粒子１０２に与える下向きの運動量が粒
子の動きに、より大きな影響を持つように、上の装置パラメータおよび設定が選
択される。

【００６７】 図３、５、および６に関して述べた実施態様では、粒子噴霧器４６を出る粒子
１０２の流れを方向付ける手段は、デフレクター４８のデフレクター壁５１であ
る。好ましくは、粒子噴霧器の出口４７に対するデフレクター４８の相対的位置
が異なって、粒子噴霧器を出る研磨材粒子１０２の流れの所望の方向転換を得て
も良い。デフレクター４８なしでは、粒子噴霧器４６を出る研磨材粒子は、小孔
のある基材１００に概して垂直である、噴霧器の軸線に概して平行に移動するも
のと理解される。一般にデフレクターの壁５１およびボトム５０が出口４７に近
いほど、粒子１０２の運動方向は小孔のある基材１００に垂直な方向からより大
きく変化する。デフレクターの壁５１およびボトム５０を出口４７からさらに遠
くへ動かすと、小孔のある基材１００に垂直な方向からの粒子の運動方向変化量
が低下する。図７に関して述べた実施態様では、研磨材粒子の流れを方向付ける
構造は、回転プレート９０、９１である。

【００６８】 用途によっては、部品を通過する研磨材粒子の流れの下で磨耗しやすい装置１
４の部品内に、セラミックインサートなどの硬質インサートを取り付けることが
望ましいかもしれない。これは、例えば粒子噴霧器４６、ベンチュリ管吸気口５
６、およびデフレクター４８内で望ましいかもしれない。このようなインサート
は、装置１４の特定部品の耐用年数を延長するが、装置の性能には顕著な影響を
及ぼさないと考えられる。

【００６９】 用途によっては、単一スプレーブース３４内で複数の粒子噴霧器４６を使用す
ることが好ましい。好ましくは各粒子噴霧器は類似した設定であるが、単一ブー
ス内で異なるタイプの粒子噴霧器を使用することもできるものと理解される。粒
子噴霧器４６は、小孔のある基材がブース３４を通過する間に、小孔のある基材
１００に研磨材粒子１０２の均一コーティングを提供するパターンに配置すべき
である。これは小孔のある基材１００の幅を横切る各位置が、各粒子噴霧器４６
によって生じる同数のスプレパターンを横断するように、複数の粒子噴霧器４６
を配置して達成されても良い。粒子噴霧器配置の具体例は、概略的に図８Ａ〜８
Ｄに示される。これらの図は、ブース３４（図示せず）のトップ４０に装着され
た粒子噴霧器４６が作り出すスプレーパターン４５の下を通過する、小孔のある
基材１００の概略的な上面図である。複数の噴霧器４６それぞれの流速を変化さ
せて、あるいは異なる噴霧器４６の設定を使用して、小孔のある基材１００上に
、研磨材粒子１０２の所望のコーティングパターンを得ることも可能である。技
術分野で既知のように、粒子噴霧器４６を揺動または往復させて、所望のスプレ
ーパターンを達成することも可能である。

【００７０】 複数の粒子噴霧器４６を使用する場合、図３に示すように、類似数の粒子コー
ター２２を使用することも可能であり、ここでは各粒子噴霧器が、それぞれの流
動床５２から研磨材粒子１０２を受け取る。用途によっては、単数の流動床５０
で複数の粒子噴霧器４６を供給することが好ましい。このような一配置では、単
一流動床上に複数のベンチュリ管注入器５６が装着される。代案の配置では、複
数の容積測定制御オーガー式供給装置が流動床の側壁に装着されて、流動床５０
から所望の速度で、流動化された研磨材粒子／空気混合物を吸込む。このような
供給装置の操作および設計は周知であり、さらに詳しく考察する必要はない。上
述のように各オーガー式供給装置は、研磨材粒子をベンチュリ管注入器５６内に
付着させる。上述のように各ベンチュリ管注入器５６は、研磨材粒子／空気混合
物を粒子噴霧器４６に搬送するために、研磨材粒子／空気混合ホース６４に接続
される。好ましい一実施態様では、その上に装着された複数のオーガー式供給装
置を有する流動床５０は、イリノイ州インディアナポリスのＧｅｍａ，ａｎ Ｉ
ｌｌｉｎｏｉｓ Ｔｏｏｌ Ｗｏｒｋｓ ＣｏｍｐａｎｙからＰＯＷＤＥＲ Ｄ
ＥＬＩＶＥＲＹ ＣＯＮＴＲＯＬ ＵＮＩＴとして市販されるタイプである。オ
ーガー式供給装置が、ウィスコンシン州ホワイトウォーターのＡｃｃｕＲａｔｅ
からＤＲＹ ＭＡＴＥＲＩＡＬ ＦＥＥＤＥＲとして市販されるタイプの容積測
定供給器から、研磨材粒子を供給することも発明の範囲内である。

【００７１】 研磨材粒子を小孔のある基材１００上にスプレーするように設定された、小孔
のある基材中心部へのより深い浸透を達成するのに十分な力がある、追加的な粒
子噴霧器を含めることも本発明の範囲内である。このような追加的な粒子噴霧器
は、粒子噴霧器４６の配置で、あるいは小孔のある基材が噴霧器４６の下を通過
する前または後に、小孔のある基材１００にスプレーするように配置して、上述
の粒子噴霧器４６と共にスプレーブース３４内に含めることができる。このよう
な追加的な噴霧器は、第２の粒子スプレーブース内にも上述の噴霧器２２、２６
の前または後に配置できる。好ましくは、噴霧器４６によって達成される有利な
スプレーパターンを妨げたり崩壊させたりしないように、追加的な噴霧器は、噴
霧器４６の前に小孔のある基材上に研磨材粒子を付着させるように配置される。
このような噴霧器の組み合わせを使用して、小孔のある基材中心部分にあって研
磨材製品の耐用年数を長くする粒子と共に、ここで述べたような有利な微細粒子
分布を表面１０４、１０６に有する、小孔のある基材１００を提供しても良い。

【００７２】 好ましい一実施態様では、小孔のある基材１００は第１の端１０７から第２の
端１０８までの幅６１ｃｍ（２４インチ）を有し、約３〜３０ｍ／分（１０〜１
００フィート／分）、より好ましくは１６ｍ／分（５２．５フィート／分）の小
孔のある基材速度で、装置１４を通して供給される。第１の接着剤コーター２０
は、小孔のある基材１００が２本の対向するローラーによって形成されるニップ
を通過する、ダブルロールコーターである。微細研磨材粒子１０２は、概して図
５および６に関して述べたようにして、流動床５２に装着された８台のベンチュ
リ管注入器５６が供給する８台の粒子噴霧器４６で塗布される。注入器のスプレ
ーパターンは、概して図８Ｂに関して示した通りである。上で述べたＧｅｍａ粒
子コーターのパラメータは、次の通りである。流動化空気は吸気口５３を通じて
約２〜１５ｐｓｉの圧力で導入され、一次空気はベンチュリ管５６の吸気口５８
内に９０ｐｓｉまで、好ましくは３０〜６０ｐｓｉの圧力で導入され、二次空気
は吸気口６０に０〜約９０ｐｓｉの圧力、好ましくは０〜約２０ｐｓｉの圧力で
導入される。サイズコーティング前駆物質を塗布し、メイクコート前駆物質と同
様にして硬化しても良い。

【００７３】 メイクコート前駆物質をここで述べたようにして適用することで、メイクコー
ト前駆物質が移行または集中して凝集する傾向が低下する。このようにして基材
の塗布できる表面はメイクコート前駆物質で均一に被覆され、塗布できる表面に
研磨材粒子１０２が、より均一の分布で被覆され接着されるようになる。メイク
コート前駆物質と研磨材粒子を異なるステップでコーティングすることで、メイ
クコート前駆物質／研磨材粒子スラリーを塗布する従来技術の方法で起こりがち
であった、研磨材粒子がメイクコート内に「埋もれる」可能性が低くなる。発明
の方法と装置によって製造された完成品では、サイズコートが粒子を樹脂内に埋
めることなく、微細研磨材粒子上に薄い樹脂のコーティングを提供する。例えば
顕微鏡下で観察すると、個々の粒子が開口部の塗布できる表面に固定され、開口
部の塗布できる表面から外に伸びているていることが観察される。この構造では
、微細研磨材粒子は、完成品の最初の適用で即座に研磨的に効果的なように製品
内に配置される。さらに粒子は、小孔のある基材の開口部の塗布できる表面に強
固に接着して、十分な可使時間がある研磨材製品を提供する。

【００７４】 梱包 研磨材製品は好ましくは、連邦規格２０９および軍用規格１２４６Ｃに準拠し
た、クラス１００環境のクラス１００粒子状物質清浄度レベルで梱包される。

【００７５】 あらゆる梱包材料は、このような設備で使用するのに（例えば軍用規格１２４
６Ｃに従って）認定される。最初に製品を減圧フード内に入れて、イオン化空気
の噴射を使用して浄化する。次に製品を内部包装材中に梱包し、さらにイオン化
空気を噴射して清浄化し、次に外部包装材中に梱包する。

【００７６】 実施例 材料 フォーム：ポリエステルポリウレタン網状フォーム、インチあたりセル５０個
、０．３７５インチ（９．５２ｍｍ）、ミネソタ州ミネアポリスのｉｌｌｂｒｕ
ｃｋ，Ｉｎｃ。 ＰＭエーテル：プロピレングリコールモノメチルエーテル、テキサス州ヒュー
ストンのＬｙｏｎｄｅｌｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍｐａｎｙ。 ＰＭアセテート：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、テキ
サス州ヒューストンのＡｒｃｏ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｃｏｍｐａｎｙ。 ＢＬ−１６：オキシムブロックイソシアネート末端ポリウレタンプリポリマー
、コネチカット州スタムフォードのＣｒｏｍｐｔｏｎ ＆ Ｋｎｏｗｌｅｓ Ｃ
ｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ。 ＢＬ−３１：オキシムブロックイソシアネート末端ポリウレタンプリポリマー
、コネチカット州スタムフォードのＣｒｏｍｐｔｏｎ ＆ Ｋｎｏｗｌｅｓ Ｃ
ｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ。 ＰＡＣＭ−２０：ビス（パラ−アミノシクロヘキシル）メタン、脂肪族アミン
硬化剤、ペンシルベニア州アレンタウンのＡｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ａｎｄ
Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ，Ｉｎｃ．。 繊維：ポリエステルステープルファイバー１５デニール×２”、タイプ２２４
、ノースカロライナ州ソールズベリーのＨｏｅｃｈｓｔ Ｃｅｌａｎｅｓｅ。 ミネラルＡ：「Ｐ３２０ ＳＷＰＬ」白色酸化アルミニウム，オーストリア国
フィラッハのＴｒｅｉｂａｃｈｅｒ。 ミネラルＢ：「２２０ ＢＭ」白色酸化アルミニウム、サウスカロライナ州ブ
ラフトンのＧｒａｙｓｔａｒ。 混合物１：６２％のＢＬ１６、８％のＰＡＣＭ２０、３０％のＰＭエーテル（
液体重量百分率）。 混合物２：１４％のＢＬ１６、３９％のＢＬ３１、７％のＰＡＣＭ２０、４０
％のＰＭアセテート（液体重量百分率）。 混合物３：５０％のＢＬ３１、８％のＰＡＣＭ２０、４２％のＰＭアセテート
（液体重量百分率）。

【００７７】 二軸振動試験 二軸振動試験を使用して、激しく撹拌した際に、粒子状残留物または放出性粒
子を生じる本発明の研磨材製品の性向を判定した。試験する１０ｃｍ×１０ｃｍ
の研磨材製品標本を密閉できるプラスチックのバケツに入れた。８００ｍｌのＣ
ＯＵＬＴＥＲ ＩＳＯＴＯＮ溶液をバケツに入れた。バケツを密閉して、二軸運
動塗料缶振盪機（ニュージャージー州ユニオンのＲｅｄ Ｄｅｖｉｌ Ｉｎｃ．
）に固定し、振盪機を３分間動かした。次にバケツを開けて標本を取り出した。
次に溶液の２５０ｍｌアリコートをＣＯＵＬＴＥＲ ＭＵＬＴＩＳＩＺＥＲ Ｉ
Ｉ離散粒子計測器（フロリダ州マイアミのＣｏｕｌｔｅｒＣｏｒｐｏｒａｔｉｏ
ｎ）サンプルフラスコに移した。１００μｍオリフィスチューブ（２μｍ〜１０
０μｍの粒子測定用）を使用して、２ｍｌ容積測定粒子分析を行うように粒子計
測器を設定した。総粒子カウントを測定し標本サイズに関して正規化して、研磨
材製品１平方メートルあたりの放出性粒子数を得た。

【００７８】 元素分析 以下のチャートに示すような種々の方法によって、元素分析を実施した。

【００７９】

【表１】

【００８０】 乾燥シーファー試験 スカッフィング試験を使用して、典型的な自動車塗装表面における研磨材製品
の研磨品質をシミュレートした。試験標本は、商品名ＡＣＲＹＬＩＴＥの下にニ
ュージャージー州ウェインのＡｍｅｒｉｃａｎＣｙａｎａｍｉｄから４８×９６
インチ（１．２２×２．４４ｍ）のシートとして入手される、厚さ１／８インチ
（３．２ｍｍ）でロックウェルボール硬度９０〜１０５のポリ（メチル）メタク
リレートシート材料から調製される。アクリルシート上面から保護カバーを除去
した後に、製造元の推奨に従って、ＰＰＧ ＢＬＡＣＫ ＵＮＩＶＥＲＳＡＬベ
ースコート塗料（オハイオ州クリーブランドのＰＰＧ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ
Ｉｎｃ．，Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ Ｆｉｎｉｓｈｅｓ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ）を二
度塗りした。それぞれの二度塗りの間に約３０分間の「フラッシュ時間」をとり
、製造元の推奨に従ってＰＰＧ ＰＡＩＮＴ ＤＡＵ−８２、クリア（オハイオ
州クリーブランドのＰＰＧ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ Ｉｎｃ．Ａｕｔｏｍｏｔｉ
ｖｅ Ｆｉｎｉｓｈｅｓ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ）を黒色ベースコートに重ねて３回
二度塗りした。被覆したシートをおよそ７２時間風乾させた。塗装面の引掻きを
最小化するように注意して、被覆されたシートから４インチ（１０．２ｃｍ）径
の試験標本をいくつか切り取った。次に被覆された表面にさわらないようにして
、切り取ったディスクをオーブン内で１５０°Ｆ（６６℃）で約１６時間焼付け
して、塗装コーティングを完全に硬化させた。これで試験標本を試験する準備が
できた。

【００８１】 塗装試験標本を下のターンテーブルに固定するばねクリップ留めプレート、お
よび研磨材組成物を上のターンテーブルに保持する機械的留め具（ＳＣＯＴＣＨ
ＭＡＴＥ ＤＵＡＬ ＬＯＣＫ ＳＪ３４４２ １７０型）を取り付けたシーフ
ァー摩擦試験機（メリーランド州ゲーサーズバーグのＦｒａｚｉｅｒ Ｐｒｅｃ
ｉｓｉｏｎ Ｃｏｍｐａｎｙから入手される）で試験を実施した。各試験で５０
０回転するように計測器を設定した。試験する４インチ（１０．２ｃｍ）径の研
磨材製品ディスクを切断し、機械的留め具によって上のターンテーブルにマウン
トした。研磨材製品が互いに顕著に異なる接触表面を有する場合は、どちらの面
を試験したか記録した。あらかじめ調製した４インチ（１０．２ｃｍ）径の塗装
アクリルディスクをミリグラムまで秤量し（Ｗ（１））、塗装表面を上にしてば
ねクリップで下のターンテーブルにマウントした。摩擦試験機の付加台に１０ポ
ンド（４．５５ｋｇ）の重しを載せた。摩擦試験機が湿式試験のために配管され
ている場合は、水の供給を止めた。負荷重量を全部かけて上のターンテーブルを
下げ、塗装アクリルディスクを接触させて機械を始動した。５００回転後、機械
を停止して研磨材製品を上部ターンテーブルから取り外して廃棄し、塗装アクリ
ルディスクを下部ターンテーブルから取り外した。乾燥したペーパータオルでぬ
ぐって、塗装アクリルディスクからあらゆる放出ダストまたはデトリタスを取り
除き、ディスクを再度秤量した（Ｗ（２））。Ｗ（１）−Ｗ（２）の差を「カッ
ト」としてミリグラムまで記録する。

【００８２】 試験は、下にある黒色塗装が除去される程度にまで塗装アクリルディスクを擦
過すべきでない。黒色層を通って擦過が進行した場合は、試験を繰り返した。第
２の試行でも擦過が黒色層を通り抜けた場合は、クリアコーティングの追加層が
ある新しい塗装アクリルディスクを調製すべきである。

【００８３】 湿式シーファー試験 １）アクリルディスクを塗装せず、２）各試験あたり２５００回転、そして３
）試験中に毎秒約１滴の速度で工作物に水を滴下した以外は、乾燥シーファー試
験と同じく湿式シーファー試験を実施した。

【００８４】 実施例Ａ、Ｂ、およびＣ フォーム基材 連続気泡ポリウレタンフォームを基材として使用して、実施例Ａ、Ｂ、および
Ｃを調製した。実施例Ａ、Ｂ、およびＣの組成を表１に示す。二重ロールコータ
ーによってメイクコート前駆物質を塗布した。

【００８５】 実施例Ａでは、メイクコーティングを２分間、サイズコーティングを３分間１
７７℃で硬化した。実施例Ｂでは、メイクコーティングを４分間、サイズコーテ
ィングを１０分間１８９℃で硬化した。実施例Ｃでは、メイクコーティングを６
分間、サイズコーティングを１２分間１７５℃で硬化した

【００８６】

【表２】

【００８７】 総元素分 湿式灰消化に続く誘導結合プラズマ分析によって、実施例Ｃおよび比較される
市販のハンドパッドの総元素分を測定した。結果を表２に示す。適切な限界量を
表３に示す。

【００８８】

【表３】

【００８９】

【表４】

【００９０】 抽出性 １時間の脱イオン水浸漬に続くイオンクロマトグラフィによって、実施例Ｂお
よび市販のハンドパッドについて、抽出性の好ましくないイオン物質材料を測定
した。試験方法についてはＡＳＴＭ Ｄ４３２７およびＵＳＥＰＡ ３００．１
で述べられているが、抑制が化学的でなく電解的であるという修正を加えた。選
択されたアニオンおよびカチオンについて、結果をｐｐｂで表４に示す。許容限
界は表５に示す。

【００９１】

【表５】 ＊「検知されない」を意味する

【００９２】

【表６】

【００９３】 １０ポンドの負荷で５００回転で実施される乾燥シーファー試験によって、実
施例Ａをカットについて評価した。結果を表６に示し、許容値は０．０４ｇ以上
、好ましい値は０．１ｇを越え、より好ましい値は０．１２５ｇを越える。

【００９４】

【表７】

【００９５】 １０ポンドの負荷でアクリル工作物上２５００回転で、水を滴下して実施され
る湿式シーファー試験によって、実施例Ｂをカットについて評価し、許容値は２
．９ｇを越え、好ましい値は３．２ｇを越え、より好ましい値は３．６ｇを越え
なくてはならない。試験結果を表７に示す。

【００９６】

【表８】

【００９７】 二軸振動試験により、放出粒子を生じる性向について実施例Ａを評価した。結
果を表８に示し、許容値は平方メートルあたり５００×１０^６個未満の粒子、好
ましい範囲は平方メートルあたり１００×１０^６〜２００×１０^６個の粒子、そ
してより好ましくは平方メートルあたり０〜１００×１０^６個の粒子である。

【００９８】

【表９】

【００９９】 比較例１ 比較例１は、ミネソタ州セントポールのＭｉｎｎｅｓｏｔａ Ｍｉｎｉｎｇ
ａｎｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙから入手される、商品名
「ＳＣＯＴＣＨ−ＢＲＩＴＥ ７４４７＋汎用ハンドパッド」を有する市販の不
織研磨材表面コンディショニング材料であった。

【０１００】 比較例２ 比較例２は、ミネソタ州セントポールのＭｉｎｎｅｓｏｔａ Ｍｉｎｉｎｇ
ａｎｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙから「ＳＣＯＴＣＨ−Ｂ
ＲＩＴＥ＃９６」として入手される、市販の不織研磨材汎用研磨パッドであった
。

【０１０１】 実施例ＤおよびＥ 不織基材 実施例ＤおよびＥは、繊維性不織基材を使用する際の発明を実証するために調
製した。表９は実施例ＤおよびＥの組成を示す。メイクコーティングを２分間、
サイズコーティングを３分間、オーブン温度３５０°Ｆで実施例ＤおよびＥを硬
化した。

【０１０２】

【表１０】

【０１０３】 総元素分 湿式灰消化に続くイオンクロマトグラフィによって、実施例Ｄの総元素分を測
定した。結果を表１０にｐｐｍで示す。種々の成分の許容レベルを表３にｐｐｍ
で示す。

【０１０４】

【表１１】

【０１０５】 乾燥シーファー試験手順によって、実施例Ｅをカットについて評価し、１０ポ
ンドの負荷の下５００回転で試験を実施した。結果を表１１に示す。許容できる
製品では、乾燥カットが０．０４ｇを越える材料が除去されなくてはならない。
好ましい製品ではカットが０．１ｇを越え、より好ましい製品ではカットが０．
１２５ｇを越える。

【０１０６】

【表１２】

【０１０７】 二軸振動試験を使用して、粒子状残留物についても実施例Ｅを評価した。結果
を表１２に示し、許容値は平方メートルあたり５００×１０^６個未満の粒子であ
り、好ましい値は平方メートルあたり２００×１０^６個以下の粒子であり、より
好ましい値は平方メートルあたり１００×１０^６個以下の粒子である。

【０１０８】

【表１３】

【図面の簡単な説明】

【図１】 繊維性不織基材上の既知のコーティングを示す。

【図２】 好ましいコーティング工程を概略的に示す。

【図３】 好ましいコーティング装置を示す。

【図４】 繊維性不織基材上の好ましいコーティングを示す。

【図５】 発明の粒子コーターを示す。

【図６】 図５の粒子コーターの細部を示す。

【図６ａ】 図５の粒子コーターの細部を示す。

【図７】 粒子コーターの代案の実施態様を示す。

【図８ａ】 種々の複数の粒子コーターの幾何学的配置を示す。

【図８ｂ】 種々の複数の粒子コーターの幾何学的配置を示す。

【図８ｃ】 種々の複数の粒子コーターの幾何学的配置を示す。

【図８ｄ】 種々の複数の粒子コーターの幾何学的配置を示す。

【図９】 既知のフォーム研磨材製品の写真のコピーである。

【図１０】 好ましいフォーム研磨材製品の写真のコピーである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ， ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ， ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＢＺ，Ｃ Ａ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ， ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，Ｋ Ｅ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ， ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，Ｒ Ｕ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ， ＺＡ，ＺＷ Ｆターム(参考） 3C063 AA03 AB07 BC03 BC09 BD01 BG01 BG08

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１種のバインダーで不織布に接着する研磨材粒子
   を含み、３００ｐｐｂ未満の選択された抽出性カチオン粒子および平方メートル
   あたり５００×１０^６未満の放出性粒子を含む可撓性の研磨材製品。
2. 【請求項２】 少なくとも１種のバインダーで連続気泡フォームに接着する
   研磨材粒子を含み、３００ｐｐｂ未満の選択された抽出性カチオン粒子および平
   方メートルあたり５００×１０^６未満の放出性粒子を含む可撓性の研磨材製品。
3. 【請求項３】 研磨材製品が２５０ｐｐｂ未満の選択された抽出性カチオン
   粒子を含む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
4. 【請求項４】 研磨材製品が１５０ｐｐｂ未満の選択された抽出性カチオン
   粒子を含む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
5. 【請求項５】 研磨材製品が平方メートルあたり２００×１０^６未満の放出
   性粒子を含む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
6. 【請求項６】 研磨材製品が平方メートルあたり１００×１０^６未満の放出
   性粒子を含む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
7. 【請求項７】 研磨材製品が約５０００ｐｐｍ未満の選択された元素分を含
   む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
8. 【請求項８】 研磨材製品が約１０００ｐｐｍ未満の選択された元素分を含
   む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
9. 【請求項９】 研磨材製品が約２００ｐｐｍ未満の選択された元素分を含む
   、請求項１または２に記載の研磨材製品。
10. 【請求項１０】 研磨材製品が５０ｐｐｂ未満の選択された抽出性アニオン
    粒子を含む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
11. 【請求項１１】 研磨材製品が４０ｐｐｂ未満の選択された抽出性アニオン
    粒子を含む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
12. 【請求項１２】 研磨材製品が２０ｐｐｂ未満の選択された抽出性アニオン
    粒子を含む、請求項１または２に記載の研磨材製品。
13. 【請求項１３】 研磨材製品が約２．９ｇを越える湿式カットを含む、請求
    項１または２に記載の研磨材製品。
14. 【請求項１４】 研磨材製品が約３．２ｇを越える湿式カットを含む、請求
    項１または２に記載の研磨材製品。
15. 【請求項１５】 研磨材製品が約３．６ｇを越える湿式カットを含む、請求
    項１または２に記載の研磨材製品。
16. 【請求項１６】 研磨材製品が約０．０４ｇを越える乾燥カットを含む、請
    求項１または２に記載の研磨材製品。
17. 【請求項１７】 研磨材製品が約０．１ｇを越える乾燥カットを含む、請求
    項１または２に記載の研磨材製品。
18. 【請求項１８】 研磨材製品が約０．１２５ｇを越える乾燥カットを含む、
    請求項１または２に記載の研磨材製品。
19. 【請求項１９】 研磨材粒子が１０〜１００μｍのメジアン粒子径を有する
    、請求項１または２に記載の研磨材製品。
20. 【請求項２０】 研磨材粒子が３０〜６０μｍの平均粒子径を有する、請求
    項１または２に記載の研磨材製品。
21. 【請求項２１】 不織布が有機繊維およびプリボンド接着剤を含む、請求項
    １に記載の研磨材製品。
22. 【請求項２２】 連続気泡フォームが１インチあたり４〜１００個の孔を含
    む、請求項２に記載の研磨材製品。
23. 【請求項２３】 連続気泡フォームが網状フォームを含む、請求項２に記載
    の研磨材製品。
24. 【請求項２４】 小孔のある基材を提供するステップと、 小孔のある基材をメイクコーティングでコーティングして被覆された基材を形
    成するステップと、 被覆された基材を研磨材粒子でコーティングして、粒子で被覆された基材を形
    成するステップと、 粒子で被覆された基材を硬化するステップと、 硬化した粒子で被覆された基材をサイズコーティングでコーティングしてサイ
    ズ被覆された基材を形成するステップと、 サイズ被覆された基材を硬化するステップと、 硬化したサイズ被覆された基材を変換して成形研磨材製品を形成するステップ
    と、 成形研磨材製品を後清浄化して好ましくない汚染物質を除去するステップと、 清浄化された成形研磨材製品を梱包するステップと、 を含む、最小量の放出性物理的および化学的汚染物質を含有して、表面を清浄化
    するのに使用すると表面に最小の汚染物質を残して表面を傷つけない、可撓性の
    研磨材製品を製造する方法。